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JP6879826B2 - Touch sensor - Google Patents

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JP6879826B2
JP6879826B2 JP2017104593A JP2017104593A JP6879826B2 JP 6879826 B2 JP6879826 B2 JP 6879826B2 JP 2017104593 A JP2017104593 A JP 2017104593A JP 2017104593 A JP2017104593 A JP 2017104593A JP 6879826 B2 JP6879826 B2 JP 6879826B2
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Description

本発明は、押圧検出機能を備えたタッチセンサに関するものである。 The present invention relates to a touch sensor having a press detection function.

近年、スマートフォンやタブレットなどの電子機器にタッチセンサが導入され、直感的なヒューマン−マシンインターフェースとして利用されている。タッチセンサは指やペンでタッチされた2次元位置を検出している。ディスプレイの表示にあわせてタッチされた位置を検出することで電子機器を操作する。 In recent years, touch sensors have been introduced into electronic devices such as smartphones and tablets, and are used as intuitive human-machine interfaces. The touch sensor detects the two-dimensional position touched by a finger or a pen. The electronic device is operated by detecting the touched position according to the display.

また、入力情報を増やし、操作性を向上させる目的で押圧力を検知するタッチセンサが開発および開示されている。たとえば、筐体がひずんだときの静電容量の変化や感圧ゴムを用いた抵抗値の変化などで押圧力を検出する方法、圧電材料の電荷の変化を検出する方法などがある。圧電材料を利用する技術には、無機系のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いたものや有機系のポリフッ化ビニリデンやポリ乳酸などの様々な材料が用いられる。 Further, a touch sensor for detecting a pressing force has been developed and disclosed for the purpose of increasing input information and improving operability. For example, there are a method of detecting a pressing force by a change in capacitance when the housing is distorted, a change in resistance value using a pressure-sensitive rubber, and a method of detecting a change in electric charge of a piezoelectric material. As a technique for utilizing a piezoelectric material, various materials such as those using an inorganic lead zirconate titanate (PZT) and organic polyvinylidene fluoride and polylactic acid are used.

このような指のタッチする圧力(Z座標)も検出できるタッチパネルの圧電フィルムとしては、例えば、特許文献1(特開2010−26938)に記載されている。特許文献1のタッチパネルでは、ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に透明電極が積層された積層体が用いられる。ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層は、キャスティング法あるいは押し出し法で製造することが記載されており、単独のフィルムになっている。そして、圧電体層の厚さは20μm〜300μmである。ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の厚さが20μm〜100μmの実施例において、全光線透過率は95%、ヘイズ値(曇り値)は5%〜7%である。 As a piezoelectric film for a touch panel capable of detecting the pressure (Z coordinate) touched by a finger, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2010-26938) is described. In the touch panel of Patent Document 1, a laminate in which transparent electrodes are laminated on both sides of a piezoelectric layer containing a polyvinylidene fluoride-ethylene tetrafluoride copolymer is used. The piezoelectric layer containing the polyvinylidene fluoride-ethylene tetrafluoride copolymer is described to be produced by a casting method or an extrusion method, and is a single film. The thickness of the piezoelectric layer is 20 μm to 300 μm. In the example of the piezoelectric layer containing the polyvinylidene fluoride-ethylene tetrafluoride copolymer having a thickness of 20 μm to 100 μm, the total light transmittance was 95% and the haze value (cloudiness value) was 5% to 7%. is there.

タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性を損なわないためには、ヘイズ値は5%未満が望ましく、ヘイズ値をさらに低減する必要がある。また、有機系の圧電フィルムは材料費、加工費が一般的に高価であり、タッチセンサ用途用いるにはさらなる低コスト化が必要である。 In order not to impair the visibility of the image on the display on the back of the touch panel, the haze value is preferably less than 5%, and it is necessary to further reduce the haze value. In addition, organic piezoelectric films are generally expensive in terms of material cost and processing cost, and further cost reduction is required for use in touch sensor applications.

タッチ位置検出として、検出感度の高い静電容量方式を用い、押込み圧力検出として透明な有機系の圧電フィルムを用いることで、検出精度の高いタッチセンサが提案されている(特許文献2参照)。しかしながら、静電容量センサ基材と圧電フィルムを貼り合せることで形成されるため、部材の増加によるコストアップと、タッチセンサの厚みが増してしまうといった問題があった。 A touch sensor with high detection accuracy has been proposed by using a capacitance method having high detection sensitivity for touch position detection and using a transparent organic piezoelectric film for indentation pressure detection (see Patent Document 2). However, since it is formed by laminating the capacitance sensor base material and the piezoelectric film, there are problems that the cost increases due to the increase in the number of members and the thickness of the touch sensor increases.

特開2010−26938JP 2010-26938 特許5722954Patent 5722954

本発明の目的は、従来に比べて、全光線透過率およびヘイズの改善、部材削減による薄型化、および低コスト化を達成したタッチセンサを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a touch sensor which has achieved improvement in total light transmittance and haze, thinning by reducing the number of members, and cost reduction as compared with the prior art.

本発明のタッチセンサは、圧電センサおよび静電容量センサを備える。圧電センサは、基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルムを備える。 The touch sensor of the present invention includes a piezoelectric sensor and a capacitance sensor. The piezoelectric sensor includes a piezoelectric film in which a coating layer having piezoelectric properties is laminated on a base film.

前記圧電フィルムの一面側および他面側に透明電極が配置される。透明電極は、圧電センサのみに使用される透明電極、静電容量センサにのみ使用される透明電極、圧電センサと静電容量センサの両方に使用される透明電極がある。タッチセンサの種類に応じて製造時に積層する透明電極を選択する。 Transparent electrodes are arranged on one side and the other side of the piezoelectric film. The transparent electrode includes a transparent electrode used only for the piezoelectric sensor, a transparent electrode used only for the capacitance sensor, and a transparent electrode used for both the piezoelectric sensor and the capacitance sensor. Select the transparent electrodes to be laminated at the time of manufacture according to the type of touch sensor.

前記圧電性を有するコーティング層の厚みが0.5μm以上、20μm以下である。また、前記圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む。さらに、前記フッ素系樹脂がフッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロチレンのうちの2種類以上の共重合体またはフッ化ビニリデンの重合体である。 The thickness of the piezoelectric coating layer is 0.5 μm or more and 20 μm or less. Further, the piezoelectric coating layer contains a fluororesin. Further, the fluororesin is a copolymer of two or more of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluorotilene, or a polymer of vinylidene fluoride.

前記基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との間にアンダーコート層、屈折率調整層、光学調整層、アンチブロッキング層の少なくとも1層を備える。または基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が直接形成されていても良い。 At least one undercoat layer, a refractive index adjusting layer, an optical adjusting layer, and an anti-blocking layer is provided between the base film and the piezoelectric coating layer. Alternatively, a coating layer having piezoelectricity may be directly formed on the base film.

前記コーティング層の厚みが0.5〜10μm、屈折率調整層の厚みが80〜160nm、透明電極の厚みが20nm以上である。また、前記コーティング層の屈折率が1.40〜1.50、屈折率調整層の屈折率が1.50〜1.70、透明電極の屈折率が1.90〜2.10である。 The thickness of the coating layer is 0.5 to 10 μm, the thickness of the refractive index adjusting layer is 80 to 160 nm, and the thickness of the transparent electrode is 20 nm or more. The refractive index of the coating layer is 1.40 to 1.50, the refractive index of the refractive index adjusting layer is 1.50 to 1.70, and the refractive index of the transparent electrode is 1.90 to 2.10.

前記圧電フィルムと透明電極との間にアンダーコート層、屈折率調整層、光学調整層、アンチブロッキング層の少なくとも1層を備える。または圧電フィルムに透明電極が直接形成されていても良い。 At least one undercoat layer, a refractive index adjusting layer, an optical adjusting layer, and an anti-blocking layer is provided between the piezoelectric film and the transparent electrode. Alternatively, the transparent electrode may be directly formed on the piezoelectric film.

前記圧電フィルムおよび透明電極に透明充填層が積層されている。圧電フィルムに直接透明電極を積層しない場合、基材フィルムに透明電極を形成した積層体を準備し、積層体と圧電フィルムは透明充填層を介して積層しても良い。 A transparent packing layer is laminated on the piezoelectric film and the transparent electrode. When the transparent electrode is not directly laminated on the piezoelectric film, a laminate in which the transparent electrode is formed on the base film may be prepared, and the laminate and the piezoelectric film may be laminated via the transparent packing layer.

前記基材フィルムがポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィンコポリマー、ポリシクロオレフィン、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネートの少なくとも1つから選ばれる。 The base film is selected from at least one of polyethylene terephthalate, cycloolefin copolymer, polycycloolefin, polyethylene naphthalate, and polycarbonate.

前記透明電極が酸化インジウムを主成分とする透明電極である。 The transparent electrode is a transparent electrode containing indium oxide as a main component.

本発明のタッチセンサは、基材フィルムに圧電性を有するコーティング層を形成しており、コーティング層を薄くできる。コーティング層が薄いため、全光線透過率およびヘイズを悪化させにくい。 In the touch sensor of the present invention, a coating layer having piezoelectricity is formed on the base film, and the coating layer can be made thin. Since the coating layer is thin, it does not easily deteriorate the total light transmittance and haze.

本発明のタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor of this invention. 図1のタッチセンサを構成部品ごとに分解した斜視図である。It is a perspective view which disassembled the touch sensor of FIG. 1 for each component. 静電容量センサの他の構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows the other structure of the capacitance sensor schematically. 本発明の実施形態2に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態4に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態5に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施形態6に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 6 of this invention. 本発明の実施形態7に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態8に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 8 of this invention. 本発明の実施形態9に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 9 of this invention. 本発明の実施形態10に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 10 of this invention. 本発明の実施形態11に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 11 of this invention. 本発明の実施形態12に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 12 of this invention. 本発明の実施形態13に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 13 of this invention. 本発明の実施形態14に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 14 of this invention. 本発明の実施形態15に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 15 of this invention. 本発明の実施形態16に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 16 of this invention. 本発明の実施形態16に係るタッチセンサの他の構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the other structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 16 of this invention. 本発明の実施形態17に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 17 of this invention. 本発明の実施形態18に係るタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor which concerns on Embodiment 18 of this invention. 比較例のタッチセンサの構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the touch sensor of the comparative example. 実施例4〜10をおこなった構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure which carried out Examples 4-10.

本発明のタッチセンサについて図面を使用して説明する。一の実施形態で説明した構成について他の実施形態で同じ構成が有れば、その構成の説明を省略し、図面に同一の符号を付す場合が有る。 The touch sensor of the present invention will be described with reference to the drawings. If the configuration described in one embodiment has the same configuration in another embodiment, the description of the configuration may be omitted and the same reference numerals may be given to the drawings.

[実施形態1]
図1、図2に示す本発明のタッチセンサ10は、ディスプレイの表示面に配置されるものである。本発明のタッチセンサ10は、圧電センサ11および静電容量センサ12を備える。圧電センサ11は押圧力を圧電方式で検出する。静電容量センサ12は押圧された位置(X座標およびY座標)を静電容量方式で検出する。圧電センサ11と静電容量センサ12は透明充填層13によって接着されている。
[Embodiment 1]
The touch sensor 10 of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 is arranged on a display surface of a display. The touch sensor 10 of the present invention includes a piezoelectric sensor 11 and a capacitance sensor 12. The piezoelectric sensor 11 detects the pressing force by a piezoelectric method. The capacitance sensor 12 detects the pressed position (X coordinate and Y coordinate) by the capacitance method. The piezoelectric sensor 11 and the capacitance sensor 12 are adhered to each other by a transparent packing layer 13.

[圧電センサ]
圧電センサ11は、第1基材フィルム14と圧電性を有するコーティング層15からなる第1積層体である圧電フィルム16、圧電フィルム16の一面に形成された第1透明電極17、圧電フィルム13の他面に形成された第2透明電極18を備える。タッチセンサ10が押圧されると圧電性を有するコーティング層15が分極し、その際の電位の変化を透明電極17、18で検出することで、押圧力を検出することができる。
[Piezoelectric sensor]
The piezoelectric sensor 11 is a piezoelectric film 16 which is a first laminated body composed of a first base film 14 and a coating layer 15 having piezoelectricity, a first transparent electrode 17 formed on one surface of the piezoelectric film 16, and a piezoelectric film 13. A second transparent electrode 18 formed on the other surface is provided. When the touch sensor 10 is pressed, the piezoelectric coating layer 15 is polarized, and the pressing force can be detected by detecting the change in the potential at that time with the transparent electrodes 17 and 18.

[静電容量センサ]
静電容量センサ12は、圧電センサ13の一面側に配置されている。静電容量センサ12は、第2基材フィルム19の一面に第3透明電極20を形成した第2積層体21、第3基材フィルム22の一面に第4透明電極23を形成した第3積層体24、第2積層体21と第3積層体24とを接着する透明充填層25を備える。透明電極20、24同士は絶縁されている。静電容量センサ12は、指またはペンがタッチセンサ10に接触または近接したときにその位置の静電容量が変化し、その位置にある透明電極20、24の電位が変化し、その電位の変化によってタッチ位置を検出することができる。
[Capacitance sensor]
The capacitance sensor 12 is arranged on one side of the piezoelectric sensor 13. The capacitance sensor 12 is a second laminated body 21 having a third transparent electrode 20 formed on one surface of a second base film 19, and a third laminated body having a fourth transparent electrode 23 formed on one surface of a third base film 22. A transparent packing layer 25 for adhering the body 24, the second laminated body 21 and the third laminated body 24 is provided. The transparent electrodes 20 and 24 are insulated from each other. In the capacitance sensor 12, when a finger or a pen touches or approaches the touch sensor 10, the capacitance at that position changes, and the potentials of the transparent electrodes 20 and 24 at that position change, and the potential changes. The touch position can be detected by.

[基材フィルム]
第1および第2、第3基材フィルム14、19、22は、たとえばポリエチレンテレフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンなどの高分子フィルムが挙げられる。それぞれの基材フィルム14、19、22は透明性、耐熱性、および機械特性に優れるポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム)が好ましいが、これに限定されない。また、異なる材料のフィルムを積層して1枚の基材フィルムにしても良い。
[Base film]
The first and second and third substrate films 14, 19 and 22 are, for example, polyethylene terephthalate, cycloolefin polymer, polyethylene naphthalate, polyolefin, polycycloolefin, polycarbonate, polyether sulfone, polyarylate, polyimide, polyamide, polystyrene. , Polymer films such as polynorbornen. The base films 14, 19 and 22 are preferably polyethylene terephthalate films (PET films) having excellent transparency, heat resistance and mechanical properties, but are not limited thereto. Further, films of different materials may be laminated to form one base film.

各基材フィルム14、19、22の厚さは、好ましくは、10μm以上、150μm以下であるが、これに限定されることはない。ただし基材フィルム14、19、22の厚さが10μm未満であると取り扱いが困難になるおそれがある。また基材フィルム14、19、22の厚さが150μmを超えると、圧電フィルム16、第2積層体21および第3積層体24を巻き取ってロールにするのが難しくなるおそれがある。 The thickness of each of the base films 14, 19 and 22 is preferably 10 μm or more and 150 μm or less, but is not limited thereto. However, if the thicknesses of the base films 14, 19 and 22 are less than 10 μm, handling may become difficult. Further, if the thicknesses of the base films 14, 19 and 22 exceed 150 μm, it may be difficult to wind the piezoelectric film 16, the second laminated body 21 and the third laminated body 24 into a roll.

[圧電性を有するコーティング層]
圧電性を有するコーティング層15は、第1基材フィルム14のいずれかの面上に薄膜状にコーティングされたものである。圧電性を有するコーティング層15は、コーティング後の膜が圧電性を有するものであれば、特に限定されない。圧電性を有するコーティング層15は、ポーリング(分極処理)を行なわなくても圧電性を示すものが望ましいが、ポーリング後に圧電性を示すものでもよい。
[Piezoelectric coating layer]
The piezoelectric coating layer 15 is a thin film coated on any surface of the first base film 14. The piezoelectric coating layer 15 is not particularly limited as long as the film after coating has piezoelectricity. The coating layer 15 having piezoelectricity is preferably one that exhibits piezoelectricity without polling (polarization treatment), but may be one that exhibits piezoelectricity after polling.

ポーリングにはコロナ放電処理分極による非接触式と、2枚の金属板でフィルムを挟み電圧を印加して分極する接触式との、2種類の方式が知られている。 Two types of polling are known: a non-contact type by corona discharge treatment polarization and a contact type in which a film is sandwiched between two metal plates and a voltage is applied to polarize the polling.

圧電性を有するコーティング層15は、例えば、コーティング層15の材料を溶媒に溶解させて溶液とし、バーコーターやグラビアコーターなどの既知のコーティング装置によって第1基材フィルム14の上に薄く一様にコーティングし、その後乾燥させて得られる。 The piezoelectric coating layer 15 is formed, for example, by dissolving the material of the coating layer 15 in a solvent to prepare a solution, and thinly and uniformly on the first base film 14 by a known coating device such as a bar coater or a gravure coater. Obtained by coating and then drying.

[圧電性を有するコーティング層の材料]
圧電性を有するコーティング層15の材料は、例えば、フッ素樹脂を含む材料が好適に用いられる。フッ素樹脂を含む材料を具体的に例示すると、フッ化ビニリデン成分含有ポリマーであるポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレンの共重合体、ヘキサフルオロプロピレン−ビニリデンフロライドの共重合体、パーフルオロビニルエーテル−ビニリデンフロライドの共重合体、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシド−ビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシド−テトラフルオロエチレン−ビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエチレン−ビニリデンフロライドの共重合体から選ぶことができる。そしてこれらのポリマーは単独でも混合体でも用いることができる。より好ましくは、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンの重合体である。
[Piezoelectric coating layer material]
As the material of the coating layer 15 having piezoelectricity, for example, a material containing a fluororesin is preferably used. Specific examples of the material containing a fluororesin include polyvinylidene fluoride, which is a polymer containing a vinylidene fluoride component, a copolymer of vinylidene fluoride-trifluoroethylene, and vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorotrifluoroethylene. Polymer, hexafluoropropylene-vinylidene fluoride copolymer, perfluorovinyl ether-vinylidene fluoride copolymer, tetrafluoroethylene-vinylidene fluoride copolymer, hexafluoropropylene oxide-vinylidene fluoride copolymer It can be selected from a coalescence, a copolymer of hexafluoropropylene oxide-tetrafluoroethylene-vinylidene fluoride, and a copolymer of hexafluoropropylene-tetrafluoroethylene-vinylidene fluoride. And these polymers can be used alone or in admixture. More preferably, it is a copolymer of vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorotrifluoroethylene, a copolymer of vinylidene fluoride-trifluoroethylene, or a polymer of vinylidene fluoride.

フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレンの共重合体をコーティング層15の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比は全体を100として、(50〜85):(50〜15)が適切である。また、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレンの共重合体をコーティング層15の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比は全体を100として、(63〜65):(27〜29):(10〜6)が適切である。 When a copolymer of vinylidene fluoride-trifluoroethylene is used as the material of the coating layer 15, the molar ratio of vinylidene fluoride to trifluoroethylene is 100 as a whole, and (50 to 85) :( 50 to 15) is appropriate. Is. When a copolymer of vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorotrifluoroethylene is used as the material of the coating layer 15, the molar ratio of vinylidene fluoride, trifluoroethylene and chlorotrifluoroethylene is 100 as a whole. 63 to 65) :( 27 to 29): (10 to 6) are appropriate.

[圧電性を有するコーティング層の厚さ]
圧電性を有するコーティング層15の乾燥後の厚さが限定されることはないが、後述する光学特性を考慮すると、0.5μm以上、20μm以下が適切であるが、0.5〜10μmがより好ましく、0.5〜5μmがさらに好ましい。圧電性を有するコーティング層15の乾燥後の厚さが0.5μm未満であると、形成された膜が不完全であるおそれがある。圧電性を有するコーティング層15の乾燥後の厚さが20μmを超えると、光学特性(ヘイズおよび全光線透過率)が不適切になるおそれがある。
[Thickness of coating layer with piezoelectricity]
The thickness of the piezoelectric coating layer 15 after drying is not limited, but considering the optical characteristics described later, 0.5 μm or more and 20 μm or less are appropriate, but 0.5 to 10 μm is more suitable. It is preferable, and 0.5 to 5 μm is more preferable. If the thickness of the piezoelectric coating layer 15 after drying is less than 0.5 μm, the formed film may be incomplete. If the thickness of the piezoelectric coating layer 15 after drying exceeds 20 μm, the optical characteristics (haze and total light transmittance) may become inappropriate.

[圧電フィルムの光学特性]
ディスプレイの画像が明瞭に視認されなければならないため、圧電フィルム16のヘイズ値は5%未満が好ましく、全光線透過率は90%以上が好ましい。圧電フィルム16のヘイズ値が5%以上の場合、あるいは、全光線透過率が85%未満となった場合、ディスプレイの画像が明瞭に視認できなくなるおそれがある。
[Optical characteristics of piezoelectric film]
Since the image on the display must be clearly visible, the haze value of the piezoelectric film 16 is preferably less than 5%, and the total light transmittance is preferably 90% or more. If the haze value of the piezoelectric film 16 is 5% or more, or if the total light transmittance is less than 85%, the image on the display may not be clearly visible.

[透明電極]
第1および第2透明電極17、18は押圧力を検出するための電極であり、第3および第4透明電極20、23は押圧位置を検出するための電極である。
[Transparent electrode]
The first and second transparent electrodes 17 and 18 are electrodes for detecting the pressing force, and the third and fourth transparent electrodes 20 and 23 are electrodes for detecting the pressing position.

第1透明電極17が圧電フィルム16の一面全体を覆い、第2透明電極18が圧電フィルム16の他面全体を覆う。タッチセンサ10が押圧されたとき、圧電性を有するコーティング層15が分極する。その際に、第1および第2透明電極17、18で圧電性を有するコーティング層15の電位の変化を検出する。たとえば第2透明電極18は基準電位(アース電位)にして、第1透明電極17で電位の変化を検出する。 The first transparent electrode 17 covers the entire surface of the piezoelectric film 16, and the second transparent electrode 18 covers the entire other surface of the piezoelectric film 16. When the touch sensor 10 is pressed, the piezoelectric coating layer 15 is polarized. At that time, the change in the potential of the piezoelectric coating layer 15 is detected by the first and second transparent electrodes 17 and 18. For example, the second transparent electrode 18 is set to a reference potential (earth potential), and the first transparent electrode 17 detects a change in potential.

図1、図2に示すように、圧電センサ11の一面側に第3透明電極20と第4透明電極23が配置されている。これらの透明電極20、23は静電容量センサ12の一部である。図1に示すように、第3透明電極20と第4透明電極23は間に第2基材フィルム19と透明充填層25が有ることで絶縁されている。さらに図2に示すように、第3および第4透明電極20、23は帯状になっており、電極20、23同士が直交する方向を向いている。たとえば第3透明電極20が押圧位置のX座標を検出し、第4透明電極23がY座標を検出するための電極とする。タッチセンサ10の表面を指やペンで押圧または近づくことで、その位置の第3および第4透明電極20、23の電位が変化し、その電位の変化を利用してX座標およびY座標を検出する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are arranged on one surface side of the piezoelectric sensor 11. These transparent electrodes 20 and 23 are a part of the capacitance sensor 12. As shown in FIG. 1, the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are insulated by having a second base film 19 and a transparent packing layer 25 between them. Further, as shown in FIG. 2, the third and fourth transparent electrodes 20 and 23 have a band shape, and the electrodes 20 and 23 are oriented in a direction orthogonal to each other. For example, the third transparent electrode 20 detects the X coordinate of the pressing position, and the fourth transparent electrode 23 serves as an electrode for detecting the Y coordinate. By pressing or approaching the surface of the touch sensor 10 with a finger or a pen, the potentials of the third and fourth transparent electrodes 20 and 23 at that positions change, and the X and Y coordinates are detected using the changes in the potentials. To do.

なお、図1の静電容量センサ12は、第2基材フィルム19の一面に第3透明電極20、第3基材フィルム22の一面に第4透明電極23が積層されているが、この構成に限定されない。たとえば、図3(a)、(b)、(c)の静電容量センサ27、28、29のように、基材フィルム19、22の一面または他面に透明電極20、23を積層し、透明充填層25によって積層体21、24を接着しても良い。また、第3積層体24の上方に第2積層体21が配置されているが、逆に配置されても良い。 In the capacitance sensor 12 of FIG. 1, the third transparent electrode 20 is laminated on one surface of the second base film 19, and the fourth transparent electrode 23 is laminated on one surface of the third base film 22. Not limited to. For example, as shown in FIGS. 27, 28, and 29 of the capacitance sensors 27, 28, and 29 of FIGS. The laminated bodies 21 and 24 may be adhered by the transparent packing layer 25. Further, although the second laminated body 21 is arranged above the third laminated body 24, it may be arranged in reverse.

各透明電極17、18、20、23は、インジウム系複合酸化物、代表的にはインジウムスズ複合酸化物(ITO:Indium Tin Oxide)、インジウム亜鉛複合酸化物が挙げられるが、4価金属イオンまたは2価金属イオンがドープされた酸化インジウム(In203)が挙げられる。インジウム系複合酸化物は、可視光領域(380〜780nm)で透過率が80%以上と高く、かつ単位面積当たりの表面抵抗が低い(30〜1000Ω/□(ohms per square))という特徴を有している。 Examples of the transparent electrodes 17, 18, 20, and 23 include indium-based composite oxides, typically indium tin oxide (ITO: Indium Tin Oxide), and indium zinc composite oxides, which are tetravalent metal ions or Examples thereof include indium oxide (In203) doped with divalent metal ions. The indium-based composite oxide is characterized by having a high transmittance of 80% or more in the visible light region (380 to 780 nm) and a low surface resistance per unit area (30 to 1000 Ω / □ (ohms per square)). doing.

上記インジウム系複合酸化物の厚みは35nm以下が好ましい。厚みが厚くなりすぎると可視光領域の透過率等が悪くなるためである。また、インジウム系複合酸化物の表面抵抗値は、好ましくは300Ω/□以下であり、さらに好ましくは150Ω/□以下である。表面抵抗値が高くなると電極として機能しなくなるためである。 The thickness of the indium-based composite oxide is preferably 35 nm or less. This is because if the thickness becomes too thick, the transmittance in the visible light region and the like deteriorate. The surface resistance value of the indium-based composite oxide is preferably 300 Ω / □ or less, and more preferably 150 Ω / □ or less. This is because when the surface resistance value becomes high, it does not function as an electrode.

表面抵抗の小さい透明電極は、たとえば、スパッタリング法または真空蒸着法により、インジウム系複合酸化物の非晶質層を基材フィルム上に形成した後、80〜200℃で加熱処理して、非晶質層を結晶質層に変化することにより得られる。 A transparent electrode having a low surface resistance is formed by forming an amorphous layer of an indium-based composite oxide on a base film by, for example, a sputtering method or a vacuum vapor deposition method, and then heat-treated at 80 to 200 ° C. to form an amorphous layer. It is obtained by changing the quality layer into a crystalline layer.

各透明電極17、18、20、23は上記の材料に限定されず、スズ亜鉛酸化物、酸化亜鉛、フッ素ドープスズ酸化物などの透明導電性酸化物、ポリエチレンジオキシチオフェンなどの導電性高分子、を用いることができる。 The transparent electrodes 17, 18, 20, and 23 are not limited to the above materials, and are transparent conductive oxides such as tin zinc oxide, zinc oxide, and fluorine-doped tin oxide, and conductive polymers such as polyethylene dioxythiophene. Can be used.

圧電性を有するコーティング層15をポーリングする場合、第1および第2透明電極17、18を形成した後にポーリングしても良いし、第1および第2透明電極17、18を形成するより前にコーティング層をポーリングしても良い。第1および第2透明電極17、18をスパッタリングで形成する場合、ポーリングとスパッタリングはいずれが先になっても良い。 When polling the piezoelectric coating layer 15, the polling may be performed after the first and second transparent electrodes 17 and 18 are formed, or the coating may be performed before the first and second transparent electrodes 17 and 18 are formed. You may poll the layer. When the first and second transparent electrodes 17 and 18 are formed by sputtering, either polling or sputtering may come first.

[層間]
第1基材フィルム14と圧電性を有するコーティング層15、第1、第2および第3基材フィルム14、19、22と第1、第3、第4透明電極17、20、23の間にアンダーコート層(ancher coat layer)、屈折率調整層(Index matching layer)(光学調整層)などの数nm〜数十nm程度の薄層を設けても良い。アンダーコート層は層間の密着性を高め、屈折率調整層は反射率を調整する。さらに、各基材フィルム14、19、22と透明電極17、20、23の間にアンチブロッキング層を設けても良い。アンチブロッキング層は積み重ねられたフィルムが圧着(ブロッキング)することを防止する効果がある。
[Interlayer]
Between the first base film 14 and the piezoelectric coating layers 15, the first, second and third base films 14, 19, 22 and the first, third and fourth transparent electrodes 17, 20, 23. A thin layer having a thickness of several nm to several tens of nm, such as an undercoat layer and an index matching layer (optical adjustment layer), may be provided. The undercoat layer enhances the adhesion between layers, and the refractive index adjusting layer adjusts the reflectance. Further, an anti-blocking layer may be provided between the base films 14, 19, 22 and the transparent electrodes 17, 20, 23. The anti-blocking layer has the effect of preventing the stacked films from being crimped (blocking).

[透明充填層]
透明充填層13、25は、空気層を作らずに層間を満たすようにする。第1および第4透明電極17、23の表面は透明充填層13、25で覆われる。第1および第4透明電極17、23の表面による反射と微細な凹凸によって生じる散乱により、全光線透過率とヘイズが低下するのを防止するためである。
[Transparent packing layer]
The transparent packing layers 13 and 25 fill the layers without forming an air layer. The surfaces of the first and fourth transparent electrodes 17 and 23 are covered with the transparent packing layers 13 and 25. This is to prevent the total light transmittance and haze from being lowered due to reflection by the surfaces of the first and fourth transparent electrodes 17 and 23 and scattering caused by fine irregularities.

透明充填層13、25は光学透明接着材料または光学透明粘着材料から成る接着剤または樹脂を用いる。シート状になった光学透明接着材料または光学透明粘着材料を貼りあわせて透明充填層13、25を形成しても良いし、液状の光学透明接着材料または光学透明粘着材料を塗布し、紫外線を照射して硬化させることで透明充填層13、25を形成しても良い。 The transparent packing layers 13 and 25 use an adhesive or resin made of an optically transparent adhesive material or an optically transparent adhesive material. The transparent packing layers 13 and 25 may be formed by laminating the optical transparent adhesive material or the optical transparent adhesive material in the form of a sheet, or the liquid optical transparent adhesive material or the optical transparent adhesive material may be applied and irradiated with ultraviolet rays. Then, the transparent packed layers 13 and 25 may be formed by curing.

[ディスプレイ]
ディスプレイの前面にタッチセンサ10が配置される。ディスプレイは液晶ディスプレイまたは有機ELディスプレイなどの平面ディスプレイを使用することができる。押圧位置を検出するための静電容量センサ12が圧電センサ11よりも上方(タッチする側)に配置されるようにする。第1および第2透明電極17、18は圧電フィルム16を覆うように形成されており、圧電センサ11が静電容量センサ12よりも上方に配置されると、第3および第4透明電極20、23が静電容量の変化を検出できなくなるためである。タッチセンサ10とディスプレイは透明充填層で接着する。透明充填層は上記の光学透明接着材料または光学透明粘着材料が使用可能である。
[display]
The touch sensor 10 is arranged on the front surface of the display. As the display, a flat display such as a liquid crystal display or an organic EL display can be used. The capacitance sensor 12 for detecting the pressing position is arranged above (touching side) the piezoelectric sensor 11. The first and second transparent electrodes 17 and 18 are formed so as to cover the piezoelectric film 16, and when the piezoelectric sensor 11 is arranged above the capacitance sensor 12, the third and fourth transparent electrodes 20 and This is because the 23 cannot detect the change in capacitance. The touch sensor 10 and the display are adhered with a transparent packing layer. As the transparent packing layer, the above-mentioned optical transparent adhesive material or optical transparent adhesive material can be used.

以上のように、本発明は第1基材フィルム14に圧電性を有するコーティング層15を形成しており、従来よりも圧電材料の厚さを薄くできる。圧電性を有するコーティング層15が薄いため、全光線透過率およびヘイズを悪化させにくい。そのため、光学特性の良いタッチセンサ10が実現できる。 As described above, in the present invention, the coating layer 15 having piezoelectricity is formed on the first base film 14, and the thickness of the piezoelectric material can be made thinner than before. Since the piezoelectric coating layer 15 is thin, it is unlikely to deteriorate the total light transmittance and haze. Therefore, the touch sensor 10 having good optical characteristics can be realized.

[実施形態2]
図1のタッチセンサ10において、圧電フィルム16の方向は任意である。図4のタッチセンサ30のように、圧電性を有するコーティング層15が第1基材フィルム14の上側に配置されても良い。
[Embodiment 2]
In the touch sensor 10 of FIG. 1, the direction of the piezoelectric film 16 is arbitrary. As in the touch sensor 30 of FIG. 4, the piezoelectric coating layer 15 may be arranged on the upper side of the first base film 14.

図4のタッチセンサ30は図1のタッチセンサ10に対して圧電フィルム16の方向を変更したが、圧電センサ11の方向を変更しても良い。第2透明電極18が透明充填層13に接着されるようにし、上から第2透明電極18、圧電センサ11、第1透明電極17の順番に並ぶようにする。 Although the touch sensor 30 of FIG. 4 has changed the direction of the piezoelectric film 16 with respect to the touch sensor 10 of FIG. 1, the direction of the piezoelectric sensor 11 may be changed. The second transparent electrode 18 is adhered to the transparent packing layer 13, and the second transparent electrode 18, the piezoelectric sensor 11, and the first transparent electrode 17 are arranged in this order from the top.

[実施形態3]
図5(a)のタッチセンサ40の圧電センサ41のように、圧電フィルム16に第2透明電極18を直接形成していなくても良い。第4基材フィルム42に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって圧電フィルム16と第4積層体を接着している。第4基材フィルム42は第1基材フィルム14などと同じ材料で構成することができる。また、透明充填層44は他の透明充填層13などと同じ材料で構成することができる。
[Embodiment 3]
It is not necessary to directly form the second transparent electrode 18 on the piezoelectric film 16 as in the piezoelectric sensor 41 of the touch sensor 40 in FIG. 5 (a). A fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on the fourth base film 42 is prepared, and the piezoelectric film 16 and the fourth laminated body are adhered by the transparent packing layer 44. The fourth base film 42 can be made of the same material as the first base film 14 and the like. Further, the transparent packed layer 44 can be made of the same material as other transparent packed layers 13 and the like.

第4積層体43の方向は限定されない。図5(a)のタッチセンサ40の圧電センサ41は第2透明電極18が透明充填層44に接着されている。図5(b)のタッチセンサ45の圧電センサ46のように、第4基材フィルム42が透明充填層44に接着されても良い。 The direction of the fourth laminated body 43 is not limited. In the piezoelectric sensor 41 of the touch sensor 40 of FIG. 5A, the second transparent electrode 18 is adhered to the transparent packing layer 44. The fourth base film 42 may be adhered to the transparent packing layer 44 as in the piezoelectric sensor 46 of the touch sensor 45 in FIG. 5 (b).

さらに、本実施形態は図4のタッチセンサ30に適用することができる。タッチセンサ30において、第2透明電極18を第1基材フィルム14に直接形成せず、第4積層体43を準備し、第1基材フィルムと第4積層体43を透明充填層44によって接着する。第4積層体43の方向は限定されず、第2透明電極18と第4基材フィルム42のいずれが透明充填層44に接着されても良い。 Further, this embodiment can be applied to the touch sensor 30 of FIG. In the touch sensor 30, the second transparent electrode 18 is not directly formed on the first base film 14, but the fourth laminated body 43 is prepared, and the first base film and the fourth laminated body 43 are adhered by the transparent packing layer 44. To do. The direction of the fourth laminated body 43 is not limited, and either the second transparent electrode 18 or the fourth base film 42 may be adhered to the transparent packing layer 44.

[実施形態4]
図6(a)のタッチセンサ50の圧電センサ51のように、圧電フィルム16に第1透明電極17を直接形成しなくても良い。第5基材フィルム52に第1透明電極17を積層した第5積層体53を準備し、透明充填層54によって圧電フィルム16と第5積層体53を接着している。第5基材フィルム52は第1基材フィルム14などと同じ材料で構成することができる。また、透明充填層54は他の透明充填層13などと同じ材料で構成することができる。
[Embodiment 4]
It is not necessary to directly form the first transparent electrode 17 on the piezoelectric film 16 as in the piezoelectric sensor 51 of the touch sensor 50 of FIG. 6A. A fifth laminated body 53 in which the first transparent electrode 17 is laminated on the fifth base film 52 is prepared, and the piezoelectric film 16 and the fifth laminated body 53 are adhered to each other by the transparent packing layer 54. The fifth base film 52 can be made of the same material as the first base film 14 and the like. Further, the transparent packed layer 54 can be made of the same material as other transparent packed layers 13 and the like.

第5積層体53の方向は限定されない。図6(a)のタッチセンサ50の圧電センサ51は第5基材フィルム52が透明充填層54に接着されている。図6(b)のタッチセンサ55の圧電センサ56のように、第1透明電極17が透明充填層54に接着されても良い。 The direction of the fifth laminated body 53 is not limited. In the piezoelectric sensor 51 of the touch sensor 50 of FIG. 6A, the fifth base film 52 is adhered to the transparent packing layer 54. The first transparent electrode 17 may be adhered to the transparent packing layer 54 as in the piezoelectric sensor 56 of the touch sensor 55 of FIG. 6B.

さらに、本実施形態は図4のタッチセンサ30に適用することができる。タッチセンサ30において、第1透明電極17を圧電性を有するコーティング層15に直接形成せず、第5積層体53を準備し、圧電性を有するコーティング層15と第5積層体53を透明充填層54によって接着する。第5積層体53の方向は限定されず、第1透明電極17と第5基材フィルム52のいずれが透明充填層54に接着されても良い。 Further, this embodiment can be applied to the touch sensor 30 of FIG. In the touch sensor 30, the first transparent electrode 17 is not directly formed on the piezoelectric coating layer 15, but the fifth laminated body 53 is prepared, and the piezoelectric coating layer 15 and the fifth laminated body 53 are transparently packed. Adhere by 54. The direction of the fifth laminated body 53 is not limited, and either the first transparent electrode 17 or the fifth base film 52 may be adhered to the transparent packing layer 54.

[実施形態5]
図7のタッチセンサ60の圧電センサ61は、圧電フィルム16、第4積層体43、第5積層体53を透明充填層44、54によって接着した構成である。圧電センサ61は、図5の圧電センサ41と図6の圧電センサ51を組み合わせた構成である。
[Embodiment 5]
The piezoelectric sensor 61 of the touch sensor 60 of FIG. 7 has a configuration in which the piezoelectric film 16, the fourth laminated body 43, and the fifth laminated body 53 are bonded by the transparent packing layers 44 and 54. The piezoelectric sensor 61 has a configuration in which the piezoelectric sensor 41 of FIG. 5 and the piezoelectric sensor 51 of FIG. 6 are combined.

圧電センサ61は、圧電フィルム16および第4積層体43、第5積層体53の方向は任意である。第1基材フィルム14と圧電性を有するコーティング層15の位置、第2透明電極18と第4基材フィルム42の位置、および第1透明電極17と第5基材フィルム52の位置は入れ替わっても良い。したがって、圧電センサ61の構成は8通りになる。 In the piezoelectric sensor 61, the directions of the piezoelectric film 16, the fourth laminated body 43, and the fifth laminated body 53 are arbitrary. The positions of the first base film 14 and the piezoelectric coating layer 15, the positions of the second transparent electrode 18 and the fourth base film 42, and the positions of the first transparent electrode 17 and the fifth base film 52 are interchanged. Is also good. Therefore, the piezoelectric sensor 61 has eight configurations.

[実施形態6]
図8のタッチセンサ70の静電容量センサ71は、第6基材フィルム72の一面に第3透明電極20が形成され、第6基材フィルム72の他面に第4透明電極23が形成されている。第6基材フィルム72は第1基材フィルム14などと同じものを使用できる。図8では第4透明電極23が透明充填層13に接着されているが、第3透明電極20を透明充填層13に接着しても良い。
[Embodiment 6]
In the capacitance sensor 71 of the touch sensor 70 of FIG. 8, the third transparent electrode 20 is formed on one surface of the sixth base film 72, and the fourth transparent electrode 23 is formed on the other surface of the sixth base film 72. ing. As the sixth base film 72, the same one as the first base film 14 or the like can be used. Although the fourth transparent electrode 23 is adhered to the transparent packing layer 13 in FIG. 8, the third transparent electrode 20 may be adhered to the transparent filling layer 13.

図8の静電容量センサ71は、図1の静電容量センサ12と比較して、基材フィルムの数と透明充填層の数が減っている。そのため、タッチセンサ70の薄型化が可能である。 The capacitance sensor 71 of FIG. 8 has a smaller number of base films and a smaller number of transparent packing layers than the capacitance sensor 12 of FIG. Therefore, the touch sensor 70 can be made thinner.

実施形態1から6で説明したタッチセンサ10、30、40、45、50、55、60に使用される静電容量センサ12を静電容量センサ71に変更することが可能である。 The capacitance sensor 12 used in the touch sensors 10, 30, 40, 45, 50, 55, 60 described in the first to sixth embodiments can be changed to the capacitance sensor 71.

[実施形態7]
図9(a)のタッチセンサ80の静電容量センサ81は、第6基材フィルム72の一面側に第3'透明電極82と第4'透明電極83が形成されている。第3'透明電極82と第4'透明電極83は第3透明電極20と第4透明電極23と同じ材料で形成されている。
[Embodiment 7]
In the capacitance sensor 81 of the touch sensor 80 of FIG. 9A, a third'transparent electrode 82 and a fourth'transparent electrode 83 are formed on one surface side of the sixth base film 72. The 3'transparent electrode 82 and the 4'transparent electrode 83 are made of the same material as the 3rd transparent electrode 20 and the 4th transparent electrode 23.

図9(b)に示すように、第3'透明電極82と第4'透明電極83は、それぞれ複数の矩形状部分85、86が並べられており、矩形状部分85、86同士はX方向またはY方向に線状部分87、88でつなげられている。したがって、第3'透明電極82と第4'透明電極83は、互いに直交する方向を向いている。矩形状部分85、86は菱形、正方形、六角形などの形状である。第3'透明電極82と第4'透明電極83は短絡しないように、絶縁体84を介して交差している。 As shown in FIG. 9B, a plurality of rectangular portions 85 and 86 are arranged in the third'transparent electrode 82 and the fourth'transparent electrode 83, respectively, and the rectangular portions 85 and 86 are in the X direction. Alternatively, they are connected by linear portions 87 and 88 in the Y direction. Therefore, the 3'transparent electrode 82 and the 4'transparent electrode 83 are oriented in directions orthogonal to each other. The rectangular portions 85 and 86 have shapes such as a rhombus, a square, and a hexagon. The third'transparent electrode 82 and the fourth'transparent electrode 83 intersect with each other via an insulator 84 so as not to cause a short circuit.

図9では第4'透明電極83の上を第3'透明電極82が交差するようになっているが、第3'透明電極82の上を第4'透明電極83が交差するようにしても良い。静電容量センサ81の方向は限定されず、透明電極82、83が透明充填層13に接着される構成であっても良い。 In FIG. 9, the 3'transparent electrode 82 intersects the 4'transparent electrode 83, but the 4'transparent electrode 83 may intersect the 3'transparent electrode 82. good. The direction of the capacitance sensor 81 is not limited, and the transparent electrodes 82 and 83 may be adhered to the transparent packing layer 13.

実施形態1から6で説明したタッチセンサ10、30、40、45、50、55、60に使用される静電容量センサ12を静電容量センサ81に変更することが可能である。 The capacitance sensor 12 used in the touch sensors 10, 30, 40, 45, 50, 55, 60 described in the first to sixth embodiments can be changed to the capacitance sensor 81.

[実施形態8]
静電容量センサは2本の透明電極20、23で静電容量の変化を検出する構成に限定されない。図10のタッチセンサ90の静電容量センサ91は、第6基材フィルム72の一面に縦横に配列された矩形状の透明電極92を備える。矩形状の透明電極92に引出配線93が接続されている。矩形状の透明電極92と引出配線93は、第3透明電極20と第4透明電極23と同じ材料で形成されている。
[Embodiment 8]
The capacitance sensor is not limited to a configuration in which two transparent electrodes 20 and 23 detect a change in capacitance. The capacitance sensor 91 of the touch sensor 90 of FIG. 10 includes rectangular transparent electrodes 92 arranged vertically and horizontally on one surface of the sixth base film 72. The lead wire 93 is connected to the rectangular transparent electrode 92. The rectangular transparent electrode 92 and the lead wiring 93 are made of the same material as the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23.

実施形態1から6で説明したタッチセンサ10、30、40、45、50、55、60に使用される静電容量センサ12を静電容量センサ91に変更することが可能である。 The capacitance sensor 12 used in the touch sensors 10, 30, 40, 45, 50, 55, 60 described in the first to sixth embodiments can be changed to the capacitance sensor 91.

[実施形態9]
本願は静電容量センサと圧電センサを完全に分離した形態に限定されない。たとえば、図11(a)のタッチセンサ100は、図1のタッチセンサ10と比較して第1透明電極17を省略している。圧電フィルム16の一面側に配置された第4透明電極23が、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出する電極であり、かつ圧電性を有するコーティング層15が分極したときの電位を検出するための電極である。第4透明電極23が上記実施形態の第1透明電極17の機能も備える。
[Embodiment 9]
The present application is not limited to a form in which the capacitance sensor and the piezoelectric sensor are completely separated. For example, the touch sensor 100 of FIG. 11A omits the first transparent electrode 17 as compared with the touch sensor 10 of FIG. The fourth transparent electrode 23 arranged on one side of the piezoelectric film 16 is an electrode that detects the coordinates of the touch position by the capacitance method, and detects the potential when the piezoelectric coating layer 15 is polarized. It is an electrode for. The fourth transparent electrode 23 also has the function of the first transparent electrode 17 of the above embodiment.

タッチセンサ100は、圧電センサ101と静電容量センサ12が駆動できる。圧電センサ101が動作するときは第4透明電極23と第2透明電極18を使用する。静電容量センサ12が動作するときは第3透明電極20と第4透明電極23を使用する。圧電センサ101と静電容量センサ12が駆動するときの各電極18、20、23での電位の検出方法は、上記実施形態の方法と同じである。第4透明電極23が圧電センサ101と静電容量センサ12で使用されれば、圧電センサ101と静電容量センサ12の駆動方法は限定されない。 The touch sensor 100 can drive the piezoelectric sensor 101 and the capacitance sensor 12. When the piezoelectric sensor 101 operates, the fourth transparent electrode 23 and the second transparent electrode 18 are used. When the capacitance sensor 12 operates, the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are used. The method of detecting the potential at each of the electrodes 18, 20 and 23 when the piezoelectric sensor 101 and the capacitance sensor 12 are driven is the same as the method of the above embodiment. If the fourth transparent electrode 23 is used in the piezoelectric sensor 101 and the capacitance sensor 12, the driving method of the piezoelectric sensor 101 and the capacitance sensor 12 is not limited.

図11(b)のタッチセンサ102のように、図11(a)と比較して圧電性を有するコーティング層15と第1基材フィルム14の位置を入れ替えた圧電センサ103であっても良い。 Like the touch sensor 102 in FIG. 11 (b), the piezoelectric sensor 103 may have the positions of the coating layer 15 and the first base film 14 which have piezoelectricity as compared with those in FIG. 11 (a).

タッチセンサ100、102は、図1のタッチセンサ10に比べて第1透明電極17を省略しており、タッチセンサ100、102は薄型化できる。 The touch sensors 100 and 102 omit the first transparent electrode 17 as compared with the touch sensor 10 of FIG. 1, and the touch sensors 100 and 102 can be made thinner.

[実施形態10]
また、図12(a)のタッチセンサ110の圧電センサ111のように、第2透明電極18を圧電フィルム16に直接形成しない構成であっても良い。図5の圧電センサ41、46と同様に、圧電センサ111は第4基材フィルム42のいずれかの面に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって第4積層体43と圧電フィルム16を接着している。
[Embodiment 10]
Further, the second transparent electrode 18 may not be directly formed on the piezoelectric film 16 as in the piezoelectric sensor 111 of the touch sensor 110 shown in FIG. 12 (a). Similar to the piezoelectric sensors 41 and 46 of FIG. 5, the piezoelectric sensor 111 prepares a fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on any surface of the fourth base film 42, and the transparent packing layer 44 is used. The fourth laminated body 43 and the piezoelectric film 16 are adhered to each other.

図11のタッチセンサ100、102と同様に、タッチセンサ110は、第4透明電極23が静電容量センサ12と圧電センサ111に使用される。第4透明電極24が静電容量センサ12と圧電センサ111で使用されれば、静電容量センサ12と圧電センサ111の駆動方法は限定されない。静電容量センサ12が駆動するときは第3透明電極20と第4透明電極23を使用する。圧電センサ111が駆動するときは第2透明電極18と第4透明電極23を使用する。 Similar to the touch sensors 100 and 102 of FIG. 11, in the touch sensor 110, the fourth transparent electrode 23 is used for the capacitance sensor 12 and the piezoelectric sensor 111. If the fourth transparent electrode 24 is used in the capacitance sensor 12 and the piezoelectric sensor 111, the driving method of the capacitance sensor 12 and the piezoelectric sensor 111 is not limited. When the capacitance sensor 12 is driven, the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are used. When the piezoelectric sensor 111 is driven, the second transparent electrode 18 and the fourth transparent electrode 23 are used.

図12(b)のタッチセンサ112の圧電センサ113ように、圧電センサ111に対して第4積層体43の方向を変更しても良い。第4基材フィルム43を透明充填層44に接着させる。 As in the piezoelectric sensor 113 of the touch sensor 112 of FIG. 12B, the direction of the fourth laminated body 43 may be changed with respect to the piezoelectric sensor 111. The fourth base film 43 is adhered to the transparent packing layer 44.

さらに、図12(a)、(b)の圧電センサ111、113は、圧電フィルム16の方向を変更することも可能である。図12では圧電性を有するコーティング層15が第1基材フィルム14の上になっているが、第1基材フィルム14が圧電性を有するコーティング層15の上になっても良い。 Further, the piezoelectric sensors 111 and 113 of FIGS. 12A and 12B can change the direction of the piezoelectric film 16. In FIG. 12, the piezoelectric coating layer 15 is on the first base film 14, but the first base film 14 may be on the piezoelectric coating layer 15.

[実施形態11]
図13(a)のタッチセンサ120のように圧電フィルム16に第4透明電極23を直接形成しても良い。圧電フィルム16の一面に第4透明電極23、圧電フィルム16の他面に第2透明電極18が積層されている。第3透明電極20から第4透明電極23までが121になっており、第4透明電極23から第2透明電極18までが圧電センサ122になっている。
[Embodiment 11]
The fourth transparent electrode 23 may be directly formed on the piezoelectric film 16 as in the touch sensor 120 of FIG. 13 (a). The fourth transparent electrode 23 is laminated on one surface of the piezoelectric film 16, and the second transparent electrode 18 is laminated on the other surface of the piezoelectric film 16. The third transparent electrode 20 to the fourth transparent electrode 23 are 121, and the fourth transparent electrode 23 to the second transparent electrode 18 are piezoelectric sensors 122.

タッチセンサ120は、図11と図12のタッチセンサ100、102、110、112と同様に、第4透明電極23が静電容量センサ121と圧電センサ122で使用される。 In the touch sensor 120, the fourth transparent electrode 23 is used in the capacitance sensor 121 and the piezoelectric sensor 122, as in the touch sensors 100, 102, 110, 112 of FIGS. 11 and 12.

図13(b)のタッチセンサ123の圧電センサ124のように、圧電センサ122と比較して圧電フィルム16の方向を変更しても良い。圧電センサ124は圧電性を有するコーティング層15に第4透明電極23が積層され、第1基材フィルム14に第2透明電極18が積層されている。 As in the piezoelectric sensor 124 of the touch sensor 123 in FIG. 13B, the direction of the piezoelectric film 16 may be changed as compared with the piezoelectric sensor 122. In the piezoelectric sensor 124, the fourth transparent electrode 23 is laminated on the piezoelectric coating layer 15, and the second transparent electrode 18 is laminated on the first base film 14.

[実施形態12]
図14(a)のタッチセンサ130の圧電センサ131のように、第2透明電極18を圧電フィルム16に直接形成しない構成であっても良い。図5の圧電センサ41、46と同様に、圧電センサ131は、第4基材フィルム42のいずれかの面に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって第4積層体43と圧電フィルム16を接着している。
[Embodiment 12]
Like the piezoelectric sensor 131 of the touch sensor 130 in FIG. 14A, the second transparent electrode 18 may not be directly formed on the piezoelectric film 16. Similar to the piezoelectric sensors 41 and 46 of FIG. 5, the piezoelectric sensor 131 prepares a fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on any surface of the fourth base film 42, and prepares a fourth laminated body 43, and the transparent packing layer 44 The fourth laminated body 43 and the piezoelectric film 16 are adhered to each other.

また、図14(b)のタッチセンサ132の圧電センサ133のように、圧電フィルム16の方向を変更しても良い。圧電性を有するコーティング層15に第4透明電極23を積層する。 Further, the direction of the piezoelectric film 16 may be changed as in the piezoelectric sensor 133 of the touch sensor 132 of FIG. 14B. The fourth transparent electrode 23 is laminated on the piezoelectric coating layer 15.

さらに、図14の圧電センサ131、133において、第4積層体43の方向を変更しても良い。第4積層体43の第4基材フィルム42が透明接着層44に接着されるようにする。 Further, in the piezoelectric sensors 131 and 133 of FIG. 14, the direction of the fourth laminated body 43 may be changed. The fourth base film 42 of the fourth laminated body 43 is adhered to the transparent adhesive layer 44.

[実施形態13]
実施形態11、12において、図8の静電容量センサ71を使用しても良い。図15(a)のタッチセンサ140のように、第6基材フィルム72の一面に第3透明電極20、他面に第4透明電極23を積層した静電容量センサ71を使用する。圧電センサ141は圧電フィルム16の他面に第2透明電極18を積層し、一面を透明充填層25に接着する。透明充填層25は第4透明電極23に接着されており、第4透明電極23から第2透明電極18までが圧電センサ141である。
[Embodiment 13]
In the 11th and 12th embodiments, the capacitance sensor 71 shown in FIG. 8 may be used. Like the touch sensor 140 in FIG. 15A, the capacitance sensor 71 in which the third transparent electrode 20 is laminated on one surface of the sixth base film 72 and the fourth transparent electrode 23 is laminated on the other surface is used. In the piezoelectric sensor 141, the second transparent electrode 18 is laminated on the other surface of the piezoelectric film 16, and one surface is adhered to the transparent packing layer 25. The transparent packing layer 25 is adhered to the fourth transparent electrode 23, and the fourth transparent electrode 23 to the second transparent electrode 18 are the piezoelectric sensors 141.

本実施形態においても第4透明電極23が静電容量センサ71と圧電センサ141に使用されれば、静電容量センサ71と圧電センサ141の駆動方法は限定されない。 Also in this embodiment, if the fourth transparent electrode 23 is used for the capacitance sensor 71 and the piezoelectric sensor 141, the driving method of the capacitance sensor 71 and the piezoelectric sensor 141 is not limited.

また、図15(b)のタッチセンサ142の圧電センサ143のように、第1基材フィルム14に第2透明電極18を積層し、圧電性を有するコーティング層15を透明充填層25に接着しても良い。 Further, as in the piezoelectric sensor 143 of the touch sensor 142 in FIG. 15B, the second transparent electrode 18 is laminated on the first base film 14, and the piezoelectric coating layer 15 is adhered to the transparent packing layer 25. You may.

さらに、第2透明電極18は圧電フィルム16に直接形成せず、図14のタッチセンサ130、132のように、第4基材フィルム42に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって圧電フィルム16と第4積層体43を接着しても良い。第4積層体43の透明充填層44に接着される面は限定されない。 Further, the second transparent electrode 18 is not directly formed on the piezoelectric film 16, and the fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on the fourth base film 42 is formed as in the touch sensors 130 and 132 of FIG. The piezoelectric film 16 and the fourth laminated body 43 may be bonded to each other by the transparent packing layer 44. The surface of the fourth laminated body 43 to be adhered to the transparent packing layer 44 is not limited.

[実施形態14]
図16(a)のタッチセンサ150のように、図9の静電容量センサ81を使用しても良い。圧電フィルム16の圧電性を有するコーティング層15に第2透明電極18を積層し、第1基材フィルム14と第6基材フィルム72が透明充填層13で接着されている。圧電センサ151は第2透明電極18から静電容量センサ81の第4'透明電極83までである。
[Embodiment 14]
As in the touch sensor 150 of FIG. 16A, the capacitance sensor 81 of FIG. 9 may be used. The second transparent electrode 18 is laminated on the piezoelectric coating layer 15 of the piezoelectric film 16, and the first base film 14 and the sixth base film 72 are adhered to each other by the transparent packing layer 13. The piezoelectric sensor 151 is from the second transparent electrode 18 to the fourth'transparent electrode 83 of the capacitance sensor 81.

第4'透明電極83が静電容量センサ81と圧電センサ151に使用されれば、静電容量センサ81と圧電センサ151の駆動方法は限定されない。 If the 4'transparent electrode 83 is used for the capacitance sensor 81 and the piezoelectric sensor 151, the driving method of the capacitance sensor 81 and the piezoelectric sensor 151 is not limited.

また、図16(b)のタッチセンサ152の圧電センサ153のように、第1基材フィルム14に第2透明電極18を積層し、圧電性を有するコーティング層15を透明充填層13に接着しても良い。 Further, as in the piezoelectric sensor 153 of the touch sensor 152 in FIG. 16B, the second transparent electrode 18 is laminated on the first base film 14, and the piezoelectric coating layer 15 is adhered to the transparent packing layer 13. You may.

さらに、第2透明電極18は圧電フィルム16に直接形成せず、図14のタッチセンサ130、132のように、第4基材フィルム42に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって圧電フィルム16と第4積層体43を接着しても良い。第4積層体43の透明充填層44に接着される面は限定されない。 Further, the second transparent electrode 18 is not directly formed on the piezoelectric film 16, and the fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on the fourth base film 42 is formed as in the touch sensors 130 and 132 of FIG. The piezoelectric film 16 and the fourth laminated body 43 may be bonded to each other by the transparent packing layer 44. The surface of the fourth laminated body 43 to be adhered to the transparent packing layer 44 is not limited.

[実施形態15]
図17(a)のタッチセンサ160のような静電容量センサ161を使用しても良い。静電容量センサ161は、圧電フィルム16の一面側に図9の静電容量センサ81の2方向の透明電極82、83を形成している。なお、説明の便宜上、圧でフィルム161よりも上側を静電容量センサ161としているが、第4'透明電極83よりも上を静電容量センサ161としても良い。
[Embodiment 15]
A capacitance sensor 161 such as the touch sensor 160 of FIG. 17A may be used. The capacitance sensor 161 has transparent electrodes 82 and 83 in two directions of the capacitance sensor 81 shown in FIG. 9 formed on one surface side of the piezoelectric film 16. For convenience of explanation, the capacitance sensor 161 is located above the film 161 in terms of pressure, but the capacitance sensor 161 may be located above the 4'transparent electrode 83.

タッチセンサ160の圧電センサ162は、圧電フィルム16の一面に第4'透明電極83、他面に第2透明電極18を形成したものである。 The piezoelectric sensor 162 of the touch sensor 160 has a 4'transparent electrode 83 formed on one surface of the piezoelectric film 16 and a second transparent electrode 18 formed on the other surface.

図16のタッチセンサ150、152と同様に、第4'透明電極83が静電容量センサ81と圧電センサ151に使用されれば、静電容量センサ81と圧電センサ151の駆動方法は限定されない。 Similar to the touch sensors 150 and 152 of FIG. 16, if the 4'transparent electrode 83 is used for the capacitance sensor 81 and the piezoelectric sensor 151, the driving method of the capacitance sensor 81 and the piezoelectric sensor 151 is not limited.

また、図17(b)のタッチセンサ164の圧電センサ165のように、第1基材フィルム14に第2透明電極18を積層し、圧電性を有するコーティング層15を透明充填層13に接着しても良い。 Further, as in the piezoelectric sensor 165 of the touch sensor 164 in FIG. 17B, the second transparent electrode 18 is laminated on the first base film 14, and the piezoelectric coating layer 15 is adhered to the transparent packing layer 13. You may.

さらに、第2透明電極18は圧電フィルム16に直接形成せず、上記実施形態のように、第4基材フィルム42に第2透明電極18を積層した第4積層体43を準備し、透明充填層44によって圧電フィルム16と第4積層体43を接着しても良い。第4積層体43の透明充填層44に接着される面は限定されない。 Further, the second transparent electrode 18 is not directly formed on the piezoelectric film 16, but a fourth laminated body 43 in which the second transparent electrode 18 is laminated on the fourth base film 42 is prepared and transparently filled as in the above embodiment. The piezoelectric film 16 and the fourth laminated body 43 may be adhered by the layer 44. The surface of the fourth laminated body 43 to be adhered to the transparent packing layer 44 is not limited.

[実施形態16]
圧電フィルム16の一面側と他面側にある透明電極が静電容量センサと圧電センサの両方で使用されるようにしても良い。たとえば、図18のタッチセンサ170のように、圧電フィルム16の一面に第3透明電極20、圧電フィルム16の他面に第4透明電極23を積層しても良い。
[Embodiment 16]
The transparent electrodes on one side and the other side of the piezoelectric film 16 may be used in both the capacitance sensor and the piezoelectric sensor. For example, as in the touch sensor 170 of FIG. 18, the third transparent electrode 20 may be laminated on one surface of the piezoelectric film 16 and the fourth transparent electrode 23 may be laminated on the other surface of the piezoelectric film 16.

第3透明電極20と第4透明電極23は、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出する電極であり、かつ圧電性を有するコーティング層15が分極したときの電位を検出するための電極である。第3透明電極20と第4透明電極23は、静電容量センサ171と圧電センサ172に使用されれば、静電容量センサ170と圧電センサ172の駆動方法は限定されない。静電容量センサ171が駆動するときは、透明電極20、23によって静電容量の変化を検出する。圧電センサ172が駆動するときは、一方の透明電極20、23がアース電位になり、他方の電極23、20でコーティング層15の分極による電位の変化を検出する。 The third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are electrodes that detect the coordinates of the touch position by the capacitance method, and are electrodes for detecting the potential when the piezoelectric coating layer 15 is polarized. is there. If the third transparent electrode 20 and the fourth transparent electrode 23 are used for the capacitance sensor 171 and the piezoelectric sensor 172, the driving method of the capacitance sensor 170 and the piezoelectric sensor 172 is not limited. When the capacitance sensor 171 is driven, changes in capacitance are detected by the transparent electrodes 20 and 23. When the piezoelectric sensor 172 is driven, one of the transparent electrodes 20 and 23 becomes the ground potential, and the other electrodes 23 and 20 detect a change in the potential due to the polarization of the coating layer 15.

圧電センサ16の上下方向は任意である。第1基材フィルム14に第4透明電極23を積層し、圧電性を有するコーティング層15に第3透明電極20が積層されても良い。 The vertical direction of the piezoelectric sensor 16 is arbitrary. The fourth transparent electrode 23 may be laminated on the first base film 14, and the third transparent electrode 20 may be laminated on the piezoelectric coating layer 15.

圧電フィルム16に直接透明電極20、23を形成することに限定されない。たとえば、図19(a)のタッチセンサ190のように、第3基材フィルム22に第4透明電極23を積層した第3積層体24を準備し、第3積層体24を透明充填層44によって圧電フィルム16に接着しても良い。上記と同様に静電容量センサ191と圧電センサ192は、同じ透明電極20、23を交互に使用する。 The present invention is not limited to forming the transparent electrodes 20 and 23 directly on the piezoelectric film 16. For example, as in the touch sensor 190 of FIG. 19A, a third laminated body 24 in which the fourth transparent electrode 23 is laminated on the third base film 22 is prepared, and the third laminated body 24 is formed by the transparent packing layer 44. It may be adhered to the piezoelectric film 16. Similar to the above, the capacitance sensor 191 and the piezoelectric sensor 192 alternately use the same transparent electrodes 20 and 23.

また、図19(b)のタッチセンサ193は、第2基材フィルム19に第3透明電極20を積層した第2積層体21を準備し、第2積層体21を圧電フィルム16に接着している。上記と同様に静電容量センサ194と圧電センサ195は、同じ透明電極20、23を交互に使用する。 Further, the touch sensor 193 of FIG. 19B prepares a second laminated body 21 in which the third transparent electrode 20 is laminated on the second base film 19, and adheres the second laminated body 21 to the piezoelectric film 16. There is. Similar to the above, the capacitance sensor 194 and the piezoelectric sensor 195 alternately use the same transparent electrodes 20 and 23.

さらに、図19(c)のタッチセンサ196は、上記の第2積層体21と第3積層体24を準備し、圧電フィルム16に接着している。上記と同様に静電容量センサ197と圧電センサ198は、同じ透明電極20、23を交互に使用する。 Further, the touch sensor 196 of FIG. 19C prepares the above-mentioned second laminated body 21 and third laminated body 24 and adheres them to the piezoelectric film 16. Similar to the above, the capacitance sensor 197 and the piezoelectric sensor 198 alternately use the same transparent electrodes 20 and 23.

図19において、圧電フィルム16の方向は限定されず、第1基材フィルム14と圧電性を有するコーティング層15の位置が入れ替わり、第1基材フィルム14が透明充填層44に接着されても良い。また、第2積層体21の方向は限定されず、第3透明電極20が透明充填層25に接着されても良い。さらに第3積層体24の方向は限定されず、第3積層体22が透明充填層44に接着されても良い。 In FIG. 19, the direction of the piezoelectric film 16 is not limited, and the positions of the first base film 14 and the piezoelectric coating layer 15 may be exchanged, and the first base film 14 may be adhered to the transparent packing layer 44. .. Further, the direction of the second laminated body 21 is not limited, and the third transparent electrode 20 may be adhered to the transparent packing layer 25. Further, the direction of the third laminated body 24 is not limited, and the third laminated body 22 may be adhered to the transparent packing layer 44.

実施形態1で説明したアンダーコート層(ancher coat layer)、屈折率調整層(Index matching layer)(光学調整層)、アンチブロッキング層の少なくとも1層を圧電フィルム16と第3および第4透明電極20、23の間に形成しても良い。 At least one of the undercoat layer (ancher coat layer), the refractive index adjusting layer (index matching layer) (optical adjustment layer), and the anti-blocking layer described in the first embodiment is formed of the piezoelectric film 16 and the third and fourth transparent electrodes 20. , 23 may be formed.

[実施形態17]
各実施形態において、タッチセンサとディスプレイの間に透明電極を配置しても良い。たとえば図20のタッチセンサ200のように、第7透明電極201を第7基材フィルム202の一面全体に積層した積層体を準備し、透明充填層203で接着する。第7透明電極201がシールドの役目を果たす。
[Embodiment 17]
In each embodiment, a transparent electrode may be arranged between the touch sensor and the display. For example, as in the touch sensor 200 of FIG. 20, a laminated body in which the seventh transparent electrode 201 is laminated on the entire surface of the seventh base film 202 is prepared and bonded with the transparent packing layer 203. The seventh transparent electrode 201 serves as a shield.

[実施形態18]
上記実施形態で屈折率調整層について説明したが、図21のタッチセンサ210のように圧電フィルム16と第2透明電極18の間に屈折率調整層210を配置しても良い。図21のタッチセンサ210は、図1のタッチセンサ10に屈折率調整層210を追加した以外は同じ構成である。また、屈折率調整層210は圧電フィルム16と第1透明電極17の間に配置されても良い。
[Embodiment 18]
Although the refractive index adjusting layer has been described in the above embodiment, the refractive index adjusting layer 210 may be arranged between the piezoelectric film 16 and the second transparent electrode 18 as in the touch sensor 210 of FIG. The touch sensor 210 of FIG. 21 has the same configuration except that the refractive index adjusting layer 210 is added to the touch sensor 10 of FIG. Further, the refractive index adjusting layer 210 may be arranged between the piezoelectric film 16 and the first transparent electrode 17.

圧電性を有するコーティング層15の厚さとして0.5〜10μm、屈折率調整層210の厚さとして80〜160nm、第2透明電極18の厚さとして20nm以上を一例としてあげられる。また、圧電性を有するコーティング層15の屈折率として1.40〜1.50、屈折率調整層210の屈折率として1.50〜1.70、第2透明電極18の屈折率として1.90〜2.10が一例としてあげられる。また、第1基材フィルム14の厚さを2〜100μm、屈折率を1.50〜1.70にする。以上の厚さと屈折率にすることで、第2透明電極18と屈折率調整層210の反射率差が2.0%以下になり、見栄えが良くなる。 As an example, the thickness of the piezoelectric coating layer 15 is 0.5 to 10 μm, the thickness of the refractive index adjusting layer 210 is 80 to 160 nm, and the thickness of the second transparent electrode 18 is 20 nm or more. Further, the refractive index of the coating layer 15 having piezoelectricity is 1.40 to 1.50, the refractive index of the refractive index adjusting layer 210 is 1.50 to 1.70, and the refractive index of the second transparent electrode 18 is 1.90. ~ 2.10 is given as an example. Further, the thickness of the first base film 14 is set to 2 to 100 μm, and the refractive index is set to 1.50 to 1.70. With the above thickness and refractive index, the reflectance difference between the second transparent electrode 18 and the refractive index adjusting layer 210 becomes 2.0% or less, and the appearance is improved.

[実施例1〜3]
図12においてコーティング層15の厚みが1μm、5μm、10μmの場合のタッチセンサ10の全光線透過率とヘイズを測定したので、その結果を表1に示す。コーティング層15はP(VDF−TrFE)を使用し、モル比は72:25であった。基材フィルム14はPETを使用し、その厚みは23μmであった。全光線透過率およびヘイズはDirect reading haze computer(Suga Test Instruments社製 HGM−ZDP)を用いて測定した。
[Examples 1 to 3]
In FIG. 12, the total light transmittance and haze of the touch sensor 10 when the thickness of the coating layer 15 is 1 μm, 5 μm, and 10 μm were measured, and the results are shown in Table 1. P (VDF-TrFE) was used for the coating layer 15, and the molar ratio was 72:25. PET was used for the base film 14, and the thickness thereof was 23 μm. Total light transmittance and haze were measured using a Direct reading haze computer (HGM-ZDP manufactured by Suga Test Instruments).

[比較例1]
なお、比較例として、図22に示すタッチセンサ220のように、透明充填層221によって圧電フィルム222を第1基材フィルム14に貼りつけた場合について、全光線透過率とヘイズを測定した。圧電フィルム222はPVDFを使用して押出しで製造した単独のフィルムであり、厚みは80μmであった。透明充填層221は光学透明粘着剤を使用し、その厚みは22μmであった。その他の構成は実施例の場合と同じである。
[Comparative Example 1]
As a comparative example, the total light transmittance and the haze were measured when the piezoelectric film 222 was attached to the first base film 14 by the transparent packing layer 221 as in the touch sensor 220 shown in FIG. The piezoelectric film 222 was a single film produced by extrusion using PVDF, and had a thickness of 80 μm. The transparent packing layer 221 used an optical transparent adhesive and had a thickness of 22 μm. Other configurations are the same as in the case of the embodiment.

Figure 0006879826
Figure 0006879826

表1から全ての実施例は比較例よりも全光線透過率およびヘイズが良い。比較例は圧電フィルム222の厚みが厚くなりすぎ、その厚みによって特にヘイズが悪くなったと考えられる。 From Table 1, all the examples have better total light transmittance and haze than the comparative examples. In the comparative example, it is considered that the thickness of the piezoelectric film 222 became too thick, and the haze was particularly deteriorated due to the thickness.

[実施例4〜9]
また、図21の屈折率調整層211による見栄えの変化を確認するために、図23のように厚さ23μmの第1基材フィルム14の上に圧電性を有するコーティング層15、屈折率調整層211、第2透明電極18を作成し、厚さおよび屈折率を測定した。その結果を表2に示すが、「第1層」が圧電性を有するコーティング層15、「第2層」が屈折率調整層211、「第3層」が第2透明電極18である。
[Examples 4 to 9]
Further, in order to confirm the change in appearance due to the refractive index adjusting layer 211 of FIG. 21, the coating layer 15 having piezoelectricity and the refractive index adjusting layer are placed on the first base film 14 having a thickness of 23 μm as shown in FIG. 23. 211, the second transparent electrode 18 was prepared, and the thickness and the refractive index were measured. The results are shown in Table 2. The "first layer" is the piezoelectric coating layer 15, the "second layer" is the refractive index adjusting layer 211, and the "third layer" is the second transparent electrode 18.

圧電フィルム16は、ポリエチレンテレフタレート基材フィルム上に、フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンの共重合体をコーティングして作製した。フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンの共重合体はアルケマ(株)社製Piezotech RTTMTSであって、MIBK(メチルイソブチルケトン)に超音波により溶液を作製した。次にフッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレンの共重合体の溶液を、バーコーターによって、ポリエチレンテレフタレート基材フィルム上にコーティングした。次に、ポリエチレンテレフタレート基材フィルムおよび未乾燥のコーティング層を、110℃、5分で乾燥してコーティング層を作製した。表2に示すコーティング層15の厚さは乾燥後の厚さである。 The piezoelectric film 16 was prepared by coating a polyethylene terephthalate base film with a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene. The copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene was Piezotech RT TM TS manufactured by Arkema Co., Ltd., and a solution was prepared in MIBK (methyl isobutyl ketone) by ultrasonic waves. Next, a solution of a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene was coated on the polyethylene terephthalate base film by a bar coater. Next, the polyethylene terephthalate base film and the undried coating layer were dried at 110 ° C. for 5 minutes to prepare a coating layer. The thickness of the coating layer 15 shown in Table 2 is the thickness after drying.

屈折率調整層211は下の表に2に示すように、屈折率が1.54、1.62、1.7の場合がある。屈折率によって製造方法が異なるので屈折率ごとに説明する。屈折率が1.54の場合、圧電性を有するコーティング層15の一方の面に、メラミン樹脂:アルキド樹脂:有機シラン縮合物の重量比2:2:1の熱硬化型樹脂(光の屈折率n=1.54)により、厚さが120nmの屈折率調整層211を形成した。 The refractive index adjusting layer 211 may have a refractive index of 1.54, 1.62, or 1.7, as shown in 2 in the table below. Since the manufacturing method differs depending on the refractive index, each refractive index will be described. When the refractive index is 1.54, a thermosetting resin (refractive index of light) having a weight ratio of melamine resin: alkyd resin: organic silane condensate of 2: 2: 1 is placed on one surface of the piezoelectric coating layer 15. n = 1.54) formed the refractive index adjusting layer 211 having a thickness of 120 nm.

屈折率が1.62の場合、圧電性を有するコーティング層15の一方の面に、紫外線硬化性樹脂47質量部、酸化ジルコニア粒子(メジアン径40nm)57質量部およびPGMEを含有した光学調整組成物(JSR社製、「オプスターZ7412」、固形分12質量%)をグラビアコーターを用いて塗布し、無風状態(0.1m/s未満)で直ちに60℃で1分間加熱乾燥した。その後、高圧水銀ランプにて、積算光量250mJ/cmの紫外線を照射して硬化処理を実施した。この方法により、厚み90、120、または150nmで屈折率1.62の屈折率調整層211を、圧電性を有するコーティング層15の上に形成した。 When the refractive index is 1.62, an optically adjusting composition containing 47 parts by mass of an ultraviolet curable resin, 57 parts by mass of zirconia oxide particles (median diameter 40 nm) and PGME on one surface of the coating layer 15 having piezoelectricity. (JSR, "Opstar Z7412", solid content 12% by mass) was applied using a gravure coater, and immediately heated and dried at 60 ° C. for 1 minute in a windless state (less than 0.1 m / s). Then, the curing treatment was carried out by irradiating ultraviolet rays having an integrated light intensity of 250 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp. By this method, a refractive index adjusting layer 211 having a thickness of 90, 120, or 150 nm and a refractive index of 1.62 was formed on the coating layer 15 having piezoelectricity.

屈折率が1.7の場合、メラミン樹脂、アルキド樹脂及び有機シラン縮合物からなる熱硬化型樹脂(重量比で、メラミン樹脂:アルキド樹脂:有機シラン縮合物=2:2:1)にTiO(屈折率=2.35)の微粒子を混合した樹脂組成物を調製した。この際、上記樹脂組成物の屈折率が1.70となるようにTiO微粒子の混合量を調整した。そして、圧電性を有するコーティング層15の上に上記樹脂組成物を塗工し、これを硬化させて、厚み150nmの屈折率調整層211(屈折率1.70)を形成した。 When the refractive index is 1.7, TiO 2 is added to a thermosetting resin (melamine resin: alkyd resin: organic silane condensate = 2: 2: 1 by weight) composed of a melamine resin, an alkyd resin, and an organic silane condensate. A resin composition was prepared by mixing fine particles of (refractive index = 2.35). At this time, the mixing amount of the TiO 2 fine particles was adjusted so that the refractive index of the resin composition was 1.70. Then, the resin composition was applied onto the piezoelectric coating layer 15 and cured to form a refractive index adjusting layer 211 (refractive index 1.70) having a thickness of 150 nm.

なお、第1基材フィルム14におけるコーティング層15の反対面にはアンチブロッキング機能を有するハードコート層231を形成している。 A hard coat layer 231 having an anti-blocking function is formed on the opposite surface of the coating layer 15 in the first base film 14.

各実施例は上記のように圧電性を有するコーティング層15の厚さが0.5〜10μm、屈折率調整層211の厚さが80〜160nm、第2透明電極18の厚さが20nm以上になっている。また、圧電性を有するコーティング層15の屈折率が1.40〜1.50、屈折率調整層211の屈折率が1.50〜1.70、第2透明電極18の屈折率が1.90〜2.10になっている。第2透明電極18と屈折率調整層211の反射率差は2%以下であり、見栄えは良かった。 In each embodiment, as described above, the thickness of the piezoelectric coating layer 15 is 0.5 to 10 μm, the thickness of the refractive index adjusting layer 211 is 80 to 160 nm, and the thickness of the second transparent electrode 18 is 20 nm or more. It has become. Further, the refractive index of the coating layer 15 having piezoelectricity is 1.40 to 1.50, the refractive index of the refractive index adjusting layer 211 is 1.50 to 1.70, and the refractive index of the second transparent electrode 18 is 1.90. It is ~ 2.10. The difference in reflectance between the second transparent electrode 18 and the refractive index adjusting layer 211 was 2% or less, and the appearance was good.

なお、必要に応じて第2透明電極18はエッチングされて所望の電極等になる。上記屈折率を求める際、屈折率調整層211の屈折率は第2透明電極18をエッチングによって取り除いた部分を用いた。そのため、各屈折率から空気と第2透明電極18、空気と屈折率調整層211の反射率を求めることで、反射率差を求めた。 If necessary, the second transparent electrode 18 is etched to obtain a desired electrode or the like. When determining the refractive index, the portion of the refractive index adjusting layer 211 from which the second transparent electrode 18 was removed by etching was used. Therefore, the reflectance difference was obtained by obtaining the reflectances of the air and the second transparent electrode 18 and the air and the refractive index adjusting layer 211 from each refractive index.

[比較例2〜3]
実施例4〜9に対する比較例として、屈折率調整層211の無い場合(比較例3)と屈折率調整層211の屈折率が1.5より小さい場合(比較例4)をおこなった。屈折率調整層211が無い場合、反射率差は第2透明電極18と圧電性を有するコーティング層15の差である。反射率差が2%より大きくなり、見栄えが悪くなった。
[Comparative Examples 2-3]
As a comparative example with respect to Examples 4 to 9, the case where the refractive index adjusting layer 211 was not present (Comparative Example 3) and the case where the refractive index of the refractive index adjusting layer 211 was smaller than 1.5 (Comparative Example 4) were performed. In the absence of the refractive index adjusting layer 211, the reflectance difference is the difference between the second transparent electrode 18 and the piezoelectric coating layer 15. The reflectance difference became larger than 2%, and the appearance became poor.

なお、屈折率が1.46の場合(比較例4)の屈折率調整層211は、シリカゾル(コルコート(株)製,コルコートP)を、固形分濃度2%になるようにエタノールで希釈し、圧電性を有するコーティング層15の一方の上に、シリカコート法により塗布し、その後、150℃で2分間乾燥、硬化させて、厚さが120nmの層(SiO膜,光の屈折率1.46)を形成して屈折率調整層211とした。比較例において他の構成の製造方法は実施例と同じである。 When the refractive index is 1.46 (Comparative Example 4), the refractive index adjusting layer 211 is obtained by diluting silica sol (Colcoat P, manufactured by Colcoat Co., Ltd.) with ethanol so that the solid content concentration is 2%. A layer having a thickness of 120 nm (SiO 2 film, refractive index of light 1.) is coated on one of the piezoelectric coating layers 15 by a silica coating method, then dried and cured at 150 ° C. for 2 minutes. 46) was formed to form the refractive index adjusting layer 211. In the comparative example, the manufacturing method of other configurations is the same as that of the embodiment.

Figure 0006879826
Figure 0006879826

以上より圧電性を有するコーティング層15の上に第2透明電極18を備えることで第2透明電極18によって黄色または茶色に呈色して見栄えを損ねる場合がある。本発明のように屈折率調整層211を設け、第2透明電極18、屈折率調整層211、圧電性を有するコーティング層15の厚さおよび屈折率を上述した値の範囲になるように調節することで、表2のように反射率差を小さくでき、見栄えを損ねないことがわかった。圧電フィルム16に屈折率調整層211と第2透明電極18を積層した構成をディスプレイの前面に配置してもディスプレイの見栄えを損ないにくいことがわかった。 From the above, by providing the second transparent electrode 18 on the coating layer 15 having piezoelectricity, the second transparent electrode 18 may develop a yellow or brown color and impair the appearance. As in the present invention, the refractive index adjusting layer 211 is provided, and the thickness and the refractive index of the second transparent electrode 18, the refractive index adjusting layer 211, and the piezoelectric coating layer 15 are adjusted so as to be within the above-mentioned values. As a result, it was found that the difference in refractive index can be reduced as shown in Table 2 and the appearance is not impaired. It was found that even if the structure in which the refractive index adjusting layer 211 and the second transparent electrode 18 are laminated on the piezoelectric film 16 is arranged on the front surface of the display, the appearance of the display is not spoiled.

その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。 In addition, the present invention can be carried out in a mode in which various improvements, modifications and changes are made based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the gist thereof.

本発明のタッチセンサはディスプレイの前面に配置され、ディスプレイと一体として利用することができる。 The touch sensor of the present invention is arranged on the front surface of the display and can be used integrally with the display.

10、30、40、45、50、55、60、70、80、90、100、102、110、112、120、123、130、132、140、142、150、152、160、164、170、190、193、196、200、210:タッチセンサ
11、41、46、56、61、101、103、111、113、122、124、131、133、141、143、151、153、162、165、172、192、195、198:圧電センサ
12、27、28、29、71、81、91、121、161、171、191、194、197:静電容量センサ
13、25、44、183:透明充填層
14、19、22、42、52、72、182:基材フィルム
15:圧電性を有するコーティング層
16、21、24、43、53、62、71、81:積層体
17、18、20、23、82、83、92、181:透明電極
84:絶縁体
211:屈折率調整層
231:アンチブロッキング機能を有するハードコート層
10, 30, 40, 45, 50, 55, 60, 70, 80, 90, 100, 102, 110, 112, 120, 123, 130, 132, 140, 142, 150, 152, 160, 164, 170, 190, 193, 196, 200, 210: Touch sensors 11, 41, 46, 56, 61, 101, 103, 111, 113, 122, 124, 131, 133, 141, 143, 151, 153, 162, 165, 172, 192, 195, 198: Piezoelectric sensor 12, 27, 28, 29, 71, 81, 91, 121, 161, 171, 191, 194, 197: Capacitance sensor 13, 25, 44, 183: Transparent filling Layers 14, 19, 22, 42, 52, 72, 182: Base film 15: Piezoelectric coating layers 16, 21, 24, 43, 53, 62, 71, 81: Laminates 17, 18, 20, 23, 82, 83, 92, 181: Transparent electrode 84: Insulator 211: Refractive index adjusting layer 231: Hard coat layer having anti-blocking function

Claims (15)

静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出する静電容量センサと、
前記静電容量センサの裏面に備えられ、基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルムを用い、押圧検出をおこなう圧電センサと、
を備えたタッチセンサ。
A capacitance sensor that detects the coordinates of the touch position by the capacitance method,
A piezoelectric sensor provided on the back surface of the capacitance sensor and having a piezoelectric coating layer laminated on a base film is used to detect pressure.
Touch sensor with.
基材フィルムの裏面に圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルムを用い、押圧検出をおこなう圧電センサと、
前記基材フィルムの表面に積層され、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出するための透明電極と、
を備えたタッチセンサ。
A piezoelectric sensor that detects pressure using a piezoelectric film in which a piezoelectric coating layer is laminated on the back surface of the base film,
A transparent electrode laminated on the surface of the base film and for detecting the coordinates of the touch position by the capacitance method,
Touch sensor with.
基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルム、および該圧電フィルムの一面側と他面側に配置され、圧電性を有するコーティング層が分極したときの電位の変化を検出するための透明電極を備えた圧電センサと、
前記圧電センサの一面側に配置され、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出するための透明電極と、
を備えたタッチセンサ。
To detect a change in potential when a piezoelectric film in which a piezoelectric coating layer is laminated on a base film, and a piezoelectric film arranged on one side and the other side of the piezoelectric film and polarized. Piezoelectric sensor with transparent electrode
A transparent electrode arranged on one side of the piezoelectric sensor and for detecting the coordinates of the touch position by the capacitance method,
Touch sensor with.
基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルム、および該圧電フィルムの一面側と他面側に配置され透明電極を備えた圧電センサと、
前記圧電センサの一面側に配置され、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出する静電容量センサと、
を備え、
前記圧電フィルムの一面側に配置された透明電極が、圧電性を有するコーティング層が分極したときの電位の変化を検出するための透明電極および静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出するための透明電極であるタッチセンサ。
A piezoelectric film in which a coating layer having piezoelectricity is laminated on a base film, and a piezoelectric sensor provided with transparent electrodes arranged on one side and the other side of the piezoelectric film.
A capacitance sensor that is placed on one side of the piezoelectric sensor and detects the coordinates of the touch position by the capacitance method,
With
The transparent electrode arranged on one side of the piezoelectric film is a transparent electrode for detecting a change in electric potential when the piezoelectric coating layer is polarized, and a capacitance method for detecting the coordinates of the touch position. A touch sensor that is a transparent electrode.
基材フィルムに圧電性を有するコーティング層が積層された圧電フィルムと、
前記圧電フィルムの一面側と他面側に配置された透明電極と、
を備え、
前記圧電フィルムの一面側と他面側に配置された透明電極が、圧電性を有するコーティング層が分極したときの電位の変化を検出するための透明電極であり、かつ少なくとも前記圧電フィルムの一面側に配置された透明電極が、静電容量方式によってタッチ位置の座標を検出するための透明電極であるタッチセンサ。
A piezoelectric film in which a piezoelectric coating layer is laminated on a base film, and
The transparent electrodes arranged on one side and the other side of the piezoelectric film,
With
The transparent electrodes arranged on one surface side and the other surface side of the piezoelectric film are transparent electrodes for detecting a change in potential when the coating layer having piezoelectricity is polarized, and at least one surface side of the piezoelectric film. A touch sensor in which the transparent electrode arranged in is a transparent electrode for detecting the coordinates of the touch position by the capacitance method.
前記圧電性を有するコーティング層の厚みが0.5μmを越え、20μm未満である請求項1から5のいずれかに記載のタッチセンサ。 The touch sensor according to any one of claims 1 to 5, wherein the thickness of the piezoelectric coating layer exceeds 0.5 μm and is less than 20 μm. 前記圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む請求項1から6のいずれかに記載のタッチセンサ。 The touch sensor according to any one of claims 1 to 6, wherein the piezoelectric coating layer contains a fluororesin. 前記フッ素系樹脂がフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロチレンのうちの2種類以上の共重合体またはフッ化ビニリデンの重合体である請求項7に記載のタッチセンサ。 The touch sensor according to claim 7, wherein the fluororesin is a copolymer of two or more of vinylidene fluoride, tetrafluoroethylene, and chlorotrifluorotilene, or a polymer of vinylidene fluoride. 前記基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との間にアンダーコート層、屈折率調整層、アンチブロッキング層の少なくとも1層を備えた請求項1から8のいずれかに記載のタッチセンサ。 The touch sensor according to any one of claims 1 to 8, further comprising at least one undercoat layer, a refractive index adjusting layer, and an anti-blocking layer between the base film and the piezoelectric coating layer. 前記圧電フィルムとタッチ位置の座標を検出するための透明電極との間、前記圧電フィルムと圧電性を有するコーティング層が分極したときの電位の変化を検出するための透明電極との間、またはその両方の間にアンダーコート層、屈折率調整層、アンチブロッキング層の少なくとも1層を備えた請求項1から9のいずれかに記載のタッチセンサ。 Between the piezoelectric film and the transparent electrode for detecting the coordinates of the touch position, between the piezoelectric film and the transparent electrode for detecting the change in electric potential when the coating layer having piezoelectricity is polarized, or the like. The touch sensor according to any one of claims 1 to 9, further comprising at least one undercoat layer, a refractive index adjusting layer, and an anti-blocking layer between the two. 前記コーティング層の厚みが0.5〜10μm、屈折率調整層の厚みが80〜160nm、透明電極の厚みが20nm以上である請求項10のタッチセンサ。 The touch sensor according to claim 10, wherein the thickness of the coating layer is 0.5 to 10 μm, the thickness of the refractive index adjusting layer is 80 to 160 nm, and the thickness of the transparent electrode is 20 nm or more. 前記コーティング層の屈折率が1.40〜1.50、屈折率調整層の屈折率が1.50〜1.70、透明電極の屈折率が1.90〜2.10である請求項10または11のタッチセンサ。 Claim 10 or claim 10, wherein the refractive index of the coating layer is 1.40 to 1.50, the refractive index of the refractive index adjusting layer is 1.50 to 1.70, and the refractive index of the transparent electrode is 1.90 to 2.10. 11 touch sensors. 前記タッチ位置の座標を検出するための透明電極、前記圧電性を有するコーティング層が分極したときの電位の変化を検出するための透明電極、またはその両方が前記圧電フィルムに直接形成された請求項1から12のいずれかに記載のタッチセンサ。 A claim in which a transparent electrode for detecting the coordinates of the touch position, a transparent electrode for detecting a change in electric potential when the piezoelectric coating layer is polarized, or both are directly formed on the piezoelectric film. The touch sensor according to any one of 1 to 12. 前記基材フィルムが、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンの少なくとも1種から選択される請求項1から13のいずれかに記載のタッチセンサ。 A claim in which the base film is selected from at least one of polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyolefin, polycycloolefin, cycloolefin copolymer, polycarbonate, polyether sulfone, polyarylate, polyimide, polyamide, polystyrene, and polynorbornene. The touch sensor according to any one of 1 to 13. 前記透明電極が酸化インジウムを主成分とする透明電極である請求項1から14のいずれかに記載のタッチセンサ。 The touch sensor according to any one of claims 1 to 14, wherein the transparent electrode is a transparent electrode containing indium oxide as a main component.
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