JP6754463B2 - Image measuring device - Google Patents
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Description
本発明は、画像測定装置に係り、特に、画像測定機や、画像ユニットを搭載した測定顕微鏡等に用いるのに好適な、ステージ上に載置した測定対象物をカメラで撮影した画像を表示した撮影画像表示画面を用いて測定した結果に基づく判定結果を、測定対象物の撮影画像とは別にリストで一覧表示するようにした画像測定装置の改良に関する。 The present invention relates to an image measuring device, and displays an image of a measurement object placed on a stage taken by a camera, which is particularly suitable for use in an image measuring machine, a measuring microscope equipped with an image unit, or the like. The present invention relates to an improvement of an image measuring device in which a determination result based on a result measured using a captured image display screen is displayed in a list separately from a captured image of a measurement object.
特許文献1や2に記載されているような一般的な画像測定機は、一度実行した測定手順を記録しておき、同一形状の測定対象物(ワークとも称する)を測定する際には、記録した測定手順を自動で再現することができるパートプログラム機能を有する。又、特許文献3に記載されているように、測定対象物の測定を行なった後に、測定値が設計値に対して所定の公差以内であるか否かを照合する公差照合機能を有する。通常、画像測定機でパートプログラム機能を使用して複数の同一形状ワークの連続測定を行なう場合、オペレータは、それぞれのワークに対してパートプログラムを実行し、出力される公差判定結果を確認してワークの良否を判定する。 A general image measuring machine as described in Patent Documents 1 and 2 records a measurement procedure once executed, and records the measurement object (also referred to as a work) having the same shape when measuring. It has a part program function that can automatically reproduce the measured measurement procedure. Further, as described in Patent Document 3, it has a tolerance collation function for collating whether or not the measured value is within a predetermined tolerance with respect to the design value after measuring the object to be measured. Normally, when the image measuring machine uses the part program function to continuously measure multiple workpieces of the same shape, the operator executes the part program for each workpiece and confirms the output tolerance judgment result. Judge the quality of the work.
公差照合の判定結果(「OK」又は「NG」)の表示は、例えば図1に示す如く、測定結果の表示領域に測定値や設計値と表記して表示している。しかし、これでは公差判定結果が分かり難いので、特許文献4に記載されているように、測定対象物の画像とは別に判定結果をリストで一覧表示することが行われている。 As shown in FIG. 1, for example, the display of the tolerance matching determination result (“OK” or “NG”) is displayed as a measured value or a design value in the display area of the measurement result. However, since it is difficult to understand the tolerance determination result in this case, as described in Patent Document 4, the determination result is listed in a list separately from the image of the measurement object.
公差照合の判定結果は、通常、図1に示したように、測定結果と共に、「OK」や「NG」等の文字で表示されるため、測定結果が設計値に近いのかそれとも公差範囲ぎりぎりなのか、測定結果が設計値に対して大きいのか小さいのか、などを直感的に理解することが難しい。 As shown in FIG. 1, the judgment result of the tolerance collation is usually displayed in characters such as "OK" and "NG" together with the measurement result. Therefore, the measurement result is close to the design value or is close to the tolerance range. It is difficult to intuitively understand whether the measurement result is larger or smaller than the design value.
又、従来の画像測定システムで同一形状ワークの連続測定を行なった場合、その測定結果の推移を確認するには、その画像測定システムに搭載された統計・分析のための機能や、統計・分析機能を有する外部プログラムを使用して、測定結果の解析を別途行なう必要があり、オペレータが測定結果の推移をリアルタイムに確認することが難しかった。 In addition, when continuous measurement of workpieces of the same shape is performed with a conventional image measurement system, in order to check the transition of the measurement result, the function for statistics / analysis installed in the image measurement system and statistics / analysis It was necessary to analyze the measurement results separately using an external program with a function, and it was difficult for the operator to check the transition of the measurement results in real time.
これらの問題のため、オペレータがワーク形状の偏りや変遷を確認することは困難であり、例えば、ワークを加工する工具が摩耗するなどして、ワークの加工精度が時間とともに劣化していったとしても、測定を行なうオペレータがその劣化に気付くのは困難で、公差判定結果で「NG」が発生するまで気付くことができなかった。 Due to these problems, it is difficult for the operator to confirm the bias and transition of the workpiece shape. For example, the machining accuracy of the workpiece deteriorates over time due to wear of the tool for machining the workpiece. However, it was difficult for the operator performing the measurement to notice the deterioration, and he could not notice it until "NG" was generated in the tolerance determination result.
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、例えばパートプログラム機能を使用した同一形状の測定対象物の連続測定において、判定結果の詳細と測定結果の推移をオペレータに直感的に分かり易く通知できるようにすると共に再測定を容易にすることを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. For example, in continuous measurement of a measurement object having the same shape using a part program function, the operator can intuitively see the details of the determination result and the transition of the measurement result. The task is to make it easy to notify the person and to facilitate the remeasurement.
本発明は、ステージ上に載置した測定対象物をカメラで撮影した画像を表示した撮影画像表示画面を用いて測定した結果に基づく判定結果を、測定対象物の撮影画像とは別にリストで一覧表示するようにした画像測定装置において、測定位置毎の個別判定結果をリストで表示する個別判定結果表示領域34B1と、測定対象物単位の総合判定結果を表示する総合判定結果表示領域34B2を設け、個別判定結果と総合判定結果を合わせて表示すると共に、再測定対象の個別判定結果に対応する測定位置が撮影画像表示画面の中にない場合は、ステージ移動をナビゲートし、再測定対象の個別判定結果に対応する測定位置が撮影画像表示画面内に表れるようにして、前記課題を解決したものである。 The present invention lists the determination results based on the measurement results using the captured image display screen that displays the images captured by the camera of the measurement object placed on the stage in a list separately from the captured images of the measurement object. In the image measuring device to be displayed, an individual judgment result display area 34B1 for displaying the individual judgment results for each measurement position in a list and a comprehensive judgment result display area 34B2 for displaying the comprehensive judgment results for each measurement object are provided. The individual judgment result and the comprehensive judgment result are displayed together, and if the measurement position corresponding to the individual judgment result of the remeasurement target is not in the captured image display screen, the stage movement is navigated and the individual judgment target is individually remeasured. The above-mentioned problem is solved by making the measurement position corresponding to the determination result appear in the captured image display screen.
本発明によれば、例えばパートプログラム機能を使用した同一形状の測定対象物の連続測定において、判定結果の詳細と測定結果の推移をオペレータに直感的に分かり易く通知すると共に再測定を容易にすることができる。 According to the present invention, for example, in continuous measurement of a measurement object having the same shape using a part program function, the operator is intuitively notified of the details of the determination result and the transition of the measurement result, and remeasurement is facilitated. be able to.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態及び実施例に記載した内容により限定されるものではない。又、以下に記載した実施形態及び実施例における構成要件には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。更に、以下に記載した実施形態及び実施例で開示した構成要素は適宜組み合わせてもよいし、適宜選択して用いてもよい。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the contents described in the following embodiments and examples. Further, the constituent requirements in the embodiments and examples described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, those that are substantially the same, that is, those in a so-called equal range. Further, the components disclosed in the embodiments and examples described below may be appropriately combined or appropriately selected and used.
図3は、本発明が適用されるマニュアル操作型の画像測定機の全体構成を示す。この画像測定機は、非接触画像計測型の測定機本体1と、この測定機本体1のステージ移動操作をアシストする処理を実行すると共に、必要な測定データ処理を実行するコンピュータシステム2と、測定機本体1に対して必要な測定指令や測定パラメータを与えるための指令入力部3、キーボード32及びマウス33と、各部に安定した電力を供給する電源ユニット4とから構成されている。 FIG. 3 shows the overall configuration of a manually operated image measuring machine to which the present invention is applied. This image measuring machine includes a non-contact image measuring type measuring machine main body 1, a computer system 2 that executes a process of assisting a stage movement operation of the measuring machine main body 1, and a computer system 2 that executes necessary measurement data processing. It is composed of a command input unit 3, a keyboard 32 and a mouse 33 for giving necessary measurement commands and measurement parameters to the machine body 1, and a power supply unit 4 for supplying stable power to each unit.
測定機本体1は、架台11と、この上に装着された、測定対象物であるワーク12を載置するためのステージ13を有する。このステージ13は、X軸駆動軸14及びY軸駆動軸15によりX軸方向及びY軸方向に駆動される。架台11の後端部には上方に延びるフレーム17が固定されている。このフレーム17にカメラユニット18が支持されている。このカメラユニット18は、Z軸駆動軸19により、フレーム17に形成されたガイドレールに沿ってZ軸方向に移動可能になっている。カメラユニット18の内部には、ステージ13を上部から撮影するように、カメラ(例えばCCDカメラ等)20が取り付けられている。カメラ20の下端近傍には、ワーク12を照明するリング状の照明装置21が備えられている。 The measuring machine main body 1 has a pedestal 11 and a stage 13 on which a work 12 which is a measurement object is placed. The stage 13 is driven in the X-axis direction and the Y-axis direction by the X-axis drive shaft 14 and the Y-axis drive shaft 15. A frame 17 extending upward is fixed to the rear end of the gantry 11. The camera unit 18 is supported by the frame 17. The camera unit 18 can be moved in the Z-axis direction along a guide rail formed on the frame 17 by the Z-axis drive shaft 19. Inside the camera unit 18, a camera (for example, a CCD camera or the like) 20 is attached so as to shoot the stage 13 from above. A ring-shaped lighting device 21 that illuminates the work 12 is provided near the lower end of the camera 20.
コンピュータシステム2は、コンピュータ本体31、キーボード32、マウス33及びディスプレイ(例えば液晶ディスプレイやCRTディスプレイ等)34を備えて構成されている。コンピュータ本体31を中心とするこのシステムは例えば、図4のように構成されている。カメラ20で捉えられたワーク12の画像信号は、AD変換部35でデジタル画像データに変換され、画像メモリ36に格納される。画像メモリ36に格納されたデジタル画像データは、表示制御部37の動作によりディスプレイ34に表示される。キーボード32及びマウス33からのオペレータの指令は、インターフェイス(I/F)38を介してCPU39に伝えられる。CPU39は、オペレータの指令又は、プログラムメモリ40に格納されたパートプログラムに従って測定処理を実行する。ワークメモリ41は、CPU39の各種処理のための作業領域を提供する。 The computer system 2 includes a computer main body 31, a keyboard 32, a mouse 33, and a display (for example, a liquid crystal display, a CRT display, etc.) 34. This system centered on the computer main body 31 is configured as shown in FIG. 4, for example. The image signal of the work 12 captured by the camera 20 is converted into digital image data by the AD conversion unit 35 and stored in the image memory 36. The digital image data stored in the image memory 36 is displayed on the display 34 by the operation of the display control unit 37. The operator's command from the keyboard 32 and the mouse 33 is transmitted to the CPU 39 via the interface (I / F) 38. The CPU 39 executes the measurement process according to an operator's command or a part program stored in the program memory 40. The work memory 41 provides a work area for various processes of the CPU 39.
また、ステージ13に対するカメラ20のX軸、Y軸、Z軸方向の位置をそれぞれ検出するために、X軸エンコーダ42、Y軸エンコーダ43及びZ軸エンコーダ44が設けられている。これらのエンコーダ42〜44の出力は、CPU39に取り込まれる。照明制御部45は、CPU39で生成された指令値に基づいてアナログ量の指令電圧を生成し、照明装置21を駆動する。 Further, in order to detect the positions of the camera 20 in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions with respect to the stage 13, an X-axis encoder 42, a Y-axis encoder 43, and a Z-axis encoder 44 are provided. The outputs of these encoders 42 to 44 are taken into the CPU 39. The lighting control unit 45 generates an analog amount of command voltage based on the command value generated by the CPU 39, and drives the lighting device 21.
以下、参考形態及び本発明の実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, reference embodiments and embodiments of the present invention will be described in detail.
リスト中の判定結果を指定したときに、対応する撮影画像表示画面上の測定位置を強調表示するようにした第1参考形態の処理手順を図5に、そのディスプレイ34上の表示例を図6に示す。 FIG. 5 shows a processing procedure of the first reference mode in which the measurement position on the corresponding photographed image display screen is highlighted when the determination result in the list is specified, and FIG. 6 shows a display example on the display 34. Shown in.
この第1参考形態においては、まずステップ100で測定機本体1のステージ13上に測定対象物(ワーク12)を載置する。 In this first reference embodiment, first, in step 100, the object to be measured (work 12) is placed on the stage 13 of the measuring machine main body 1.
次いでステップ110で、測定機本体1に取り付けられたカメラ20でワーク12を撮像する。 Next, in step 110, the work 12 is imaged by the camera 20 attached to the measuring machine main body 1.
次いでステップ120で、図6の左上に示すカメラ20からの撮影画像(ワーク12の拡大画像)を表示した撮影画像表示画面34Aに対して、任意の要素及びエッジ検出ツールを選択して測定を行なう。 Next, in step 120, an arbitrary element and an edge detection tool are selected and measured on the photographed image display screen 34A displaying the photographed image (enlarged image of the work 12) taken from the camera 20 shown in the upper left of FIG. ..
その際、測定を行なう毎に、公差判定結果を含む測定結果の情報を記録していき(ステップ130)、オペレータが随時、把握可能な公差判定結果のリスト34Bを作成する(ステップ140)。 At that time, every time the measurement is performed, the information of the measurement result including the tolerance determination result is recorded (step 130), and the list 34B of the tolerance determination result that the operator can grasp at any time is created (step 140).
ステップ150で測定終了と判定されるまで、ステップ160で次の測定位置へ移って、ステップ120乃至140を繰り返す。 Steps 160 move to the next measurement position, and steps 120 to 140 are repeated until it is determined in step 150 that the measurement is completed.
公差判定結果は、例えばOKは緑、NGは赤と、色を変えて表示することができる。 The tolerance determination result can be displayed in different colors, for example, OK is green and NG is red.
ステップ150で測定終了と判定された後、ステップ170で、作成した公差判定結果のリスト34Bに表示された任意の判定結果を含む測定結果(図6では一番上のID1)をオペレータが指定すると、ステップ180で対応する撮影画像表示画面34A上に表示された測定位置(図6ではLine−1)を例えばハイライトで強調表示する。 After it is determined in step 150 that the measurement is completed, in step 170, when the operator specifies a measurement result (ID1 at the top in FIG. 6) including an arbitrary determination result displayed in the created tolerance determination result list 34B. , The measurement position (Line-1 in FIG. 6) displayed on the corresponding captured image display screen 34A in step 180 is highlighted, for example.
これにより、1画面内の複数の測定結果(図6ではID1の他、ID2:Circle1、ID3:Line−2、ID4:Distance−1、ID5:Circle−2の5つ)が表示され、指定した測定結果(ここではID1)の撮影画像表示画面34A中での選択が困難な場合でも、リスト化された公差判定結果を含む測定結果を選択することで、リスト34B中の測定結果に対応する撮影画像表示画面34A中の測定位置を容易に知ることができ、オペレータによる測定結果の選択ミスを未然に防ぐことができる。 As a result, a plurality of measurement results in one screen (in addition to ID1 in FIG. 6, ID2: Circle1, ID3: Line-2, ID4: Distance-1, ID5: Circle-2) are displayed and designated. Even if it is difficult to select the measurement result (ID1 in this case) on the captured image display screen 34A, by selecting the measurement result including the listed tolerance determination result, the imaging corresponding to the measurement result in the list 34B can be taken. The measurement position on the image display screen 34A can be easily known, and it is possible to prevent the operator from making a mistake in selecting the measurement result.
この第1参考形態においては、図2に示す如くリスト34Bを、測定位置毎の公差判定結果の詳細を示す個別判定結果表示領域34B1と、ワーク12単位の総合判定結果を示す総合判定結果表示領域34B2で構成し、個別判定結果だけでなく総合判定結果(図ではNG)も表示するようにしているので、総合判定結果を極めて容易に知ることができる。 In this first reference embodiment, as shown in FIG. 2, the list 34B is shown in the individual judgment result display area 34B1 showing the details of the tolerance judgment result for each measurement position, and the comprehensive judgment result display area showing the total judgment result of 12 units of the work. Since it is composed of 34B2 and not only the individual judgment result but also the comprehensive judgment result (NG in the figure) is displayed, the comprehensive judgment result can be known extremely easily.
本参考形態においては、更に、総合判定結果表示領域34B2中でNGの個数もカッコ内に表示しているので、NGの程度も知ることができる。 In this reference mode, the number of NGs in the comprehensive determination result display area 34B2 is also displayed in parentheses, so that the degree of NG can also be known.
なお、図7に示す第2参考形態の如く、測定結果の全体数(ここでは5)を分母とし、NG個数(ここでは2)を分子で示すことによって、測定結果全体に対するNG数の割合も分かるようにすることができる。 As in the second reference embodiment shown in FIG. 7, by using the total number of measurement results (5 in this case) as the denominator and indicating the number of NGs (2 in this case) in numerator, the ratio of the number of NGs to the total number of measurement results can also be obtained. Can be understood.
又、第1参考形態においては、カメラ20からの撮影画像34Aとリスト34Bに加えて、測定対象物の全体を示す測定対象全体図34Cも表示しているので、測定対象物全体に対する撮影画像(34A)の位置を容易に知ることができる。なお、測定対象全体図34Cは省略することもできる。 Further, in the first reference embodiment, in addition to the captured image 34A and the list 34B from the camera 20, the entire measurement target FIG. 34C showing the entire measurement object is also displayed, so that the captured image for the entire measurement object ( The position of 34A) can be easily known. Note that the overall measurement target FIG. 34C may be omitted.
次に、測定結果選択時の再測定を容易とした第2参考形態を詳細に説明する。図8は第2参考形態の処理手順、図9はそのディスプレイ34上の表示例を示したものである。 Next, a second reference mode that facilitates remeasurement when the measurement result is selected will be described in detail. FIG. 8 shows the processing procedure of the second reference embodiment, and FIG. 9 shows a display example on the display 34.
図5と同じステップ100乃至150を行なって測定を終了した後、ステップ270で撮影画像表示画面34A中に表示された測定結果(図9では、Line−1)をクリックすると、ステップ280で、図9に示す如く、測定結果の詳細(ここではX、Y座標、投影角度、真直度)を表示する。測定結果が表示されている間は、詳細表示をクリックすることにより再測定を行う(ステップ290)。再測定を実施するに際しては、測定時に使用した検出ツールの検出位置の編集(測定開始時に手動入力した設計値の入れ直し)や、公差判定結果に係わる設計値、上限値/下限値の編集を可能とし、測定結果の更新が行なえる状態とする。 After performing the same steps 100 to 150 as in FIG. 5 to complete the measurement, the measurement result (Line-1 in FIG. 9) displayed on the captured image display screen 34A in step 270 is clicked, and in step 280, FIG. As shown in 9, the details of the measurement result (here, X and Y coordinates, projection angle, straightness) are displayed. While the measurement result is displayed, the measurement is performed again by clicking the detailed display (step 290). When performing remeasurement, it is possible to edit the detection position of the detection tool used at the time of measurement (re-enter the design value manually input at the start of measurement), and edit the design value and upper limit value / lower limit value related to the tolerance judgment result. Then, the measurement result can be updated.
本参考形態によれば、撮影画像表示画面34A中に表示される測定結果をクリックするだけで、再測定を行って作業効率を向上することができる。 According to this reference embodiment, it is possible to perform remeasurement and improve work efficiency simply by clicking the measurement result displayed on the captured image display screen 34A.
なお、撮影画像表示画面34A中に表示される測定結果の代わりに、リスト34Bの個別判定結果表示領域34B1中に表示される測定結果や判定結果を指定して、再測定を行うこともできる。 Instead of the measurement result displayed on the captured image display screen 34A, the measurement result or the determination result displayed in the individual determination result display area 34B1 of the list 34B can be specified to perform the remeasurement.
次に、測定結果とステージ位置とをリンクさせて、表示されている撮影画像表示画面34A中に測定位置が無い場合にステージ移動のナビゲートを可能とした本発明の実施形態を詳細に説明する。図10は、本実施形態の処理手順を、図11はそのディスプレイ34上の表示例を示したものである。 Next, an embodiment of the present invention in which the measurement result and the stage position are linked to enable navigation of the stage movement when there is no measurement position in the displayed photographed image display screen 34A will be described in detail. .. FIG. 10 shows the processing procedure of the present embodiment, and FIG. 11 shows a display example on the display 34.
第1参考形態と同様のステップ170終了後、ステップ372に進み、リスト上で指定(選択)した測定結果(ここではID5)に対応する測定位置が、撮影画像34Aの現在の表示画面内にあるか否かを判定する。判定結果が否である場合にはステップ374に進み、ステージ移動のナビゲート画面(ここではID5へのX軸方向及びY軸方向の移動距離)を画面上に表示してステージ移動(ステップ376)を促す。なお、残り距離の情報は、ステージ移動に合わせて更新することができる。 After completing step 170 similar to the first reference embodiment, the process proceeds to step 372, and the measurement position corresponding to the measurement result (ID5 in this case) specified (selected) on the list is in the current display screen of the captured image 34A. Judge whether or not. If the determination result is negative, the process proceeds to step 374, and the stage movement navigation screen (here, the moving distance in the X-axis direction and the Y-axis direction to the ID 5) is displayed on the screen to move the stage (step 376). To urge. The information on the remaining distance can be updated according to the movement of the stage.
ナビゲートは図11のように残り距離を数値で表示するだけでなく、例えばクロスヘアラインの交点が撮影画像表示画面34Aの中心となるよう移動するように提示したり、あるいは矢印等で移動方向を直接表示することも可能である。又、CNC等自動制御型画像測定機の場合には、ステップ376のステージ移動を自動的に行うことができる。 The navigation not only displays the remaining distance numerically as shown in FIG. 11, but also indicates that the intersection of the cross hairlines moves so as to be the center of the captured image display screen 34A, or indicates the moving direction with an arrow or the like. It is also possible to display it directly. Further, in the case of an automatically controlled image measuring machine such as CNC, the stage movement in step 376 can be automatically performed.
ステージ移動により、リスト上で指定(選択)した測定結果に対応する測定位置が表示中の画面内に入るか、又は指定(選択)した測定結果に対応する測定位置が表示中の画面内にあるとステップ372で判定されたときには、ステップ380に進み、画面上に表示された測定結果を例えばハイライトで強調表示する。 By moving the stage, the measurement position corresponding to the measurement result specified (selected) on the list is in the displayed screen, or the measurement position corresponding to the specified (selected) measurement result is in the displayed screen. When it is determined in step 372, the process proceeds to step 380, and the measurement result displayed on the screen is highlighted, for example, by highlighting.
本実施形態によれば、リスト上の判定結果を含む測定結果を指定(選択)することで、対応する測定位置への移動がナビゲートされるため、作業効率を向上させることができる。 According to the present embodiment, by designating (selecting) a measurement result including the determination result on the list, the movement to the corresponding measurement position is navigated, so that the work efficiency can be improved.
なお前記参考形態及び実施形態においては、いずれも、総合判定結果表示領域34B2で総合判定結果が、色分け、及び、OK又はNGの文字とNG数により表示されていたが、図12(A)(OKの場合)、(B)(NGの場合)に示す第3参考形態の如く、総合判定結果表示領域34B2内に、公差範囲MIN〜MAXに対する測定値の位置を、例えば図中で左右に動く縦線でなるメーター指針34Dを用いてメーター状に表示することもできる。これにより、オペレータは公差判定結果の詳細、即ち、測定結果が設計値に近いのかそれとも公差範囲ぎりぎりなのか、測定結果が設計値に対して大きいのか小さいのか、などを直感的に理解することができる。 In both the reference embodiment and the embodiment, the comprehensive judgment result is displayed in the comprehensive judgment result display area 34B2 by color coding, the characters OK or NG, and the number of NG. As in the third reference mode shown in (OK), (B) (NG), the position of the measured value with respect to the tolerance range MIN to MAX is moved left and right in the figure, for example, in the comprehensive judgment result display area 34B2. It can also be displayed in a meter shape by using the meter pointer 34D formed by a vertical line. As a result, the operator can intuitively understand the details of the tolerance judgment result, that is, whether the measurement result is close to the design value or just within the tolerance range, and whether the measurement result is larger or smaller than the design value. it can.
更に、前回の測定結果に対する今回の測定結果の値の増減方向を示す矢印マーク34Eを合わせて表示することもできる。これにより、オペレータは測定結果の推移をリアルタイムに確認することができる。 Further, the arrow mark 34E indicating the increasing / decreasing direction of the value of the current measurement result with respect to the previous measurement result can also be displayed. As a result, the operator can confirm the transition of the measurement result in real time.
あるいは、図13(A)(OKの場合)、(B)(NGの場合)に示す第4参考形態のように、総合判定結果表示領域34B2内に、測定結果の推移を示すトレンドグラフ34Fを背景として表示することもできる。この際、図中に示したように最大値MAXと最小値MINの限界(上限値34G、下限値34H)を合わせて表示すれば、トレンドだけでなく上限値、下限値に対する関係も容易に把握することができる。なお、トレンドグラフ34Fのみとしても良い。 Alternatively, as in the fourth reference mode shown in FIGS. 13 (A) (OK) and (B) (NG), a trend graph 34F showing the transition of the measurement result is displayed in the comprehensive judgment result display area 34B2. It can also be displayed as a background. At this time, if the maximum value MAX and the minimum value MIN limits (upper limit value 34G, lower limit value 34H) are displayed together as shown in the figure, not only the trend but also the relationship with the upper limit value and the lower limit value can be easily grasped. can do. In addition, only the trend graph 34F may be used.
又、図14(A)(OKの場合)、(B)(NGの場合)に示す第5参考形態のように、総合判定結果表示領域34B2内にOKの数、NGの数、測定エラーの数を合わせて表示することもできる。なお、総合判定結果がOKとなるのが、個別判定結果が全てOKである場合のみである時には、図14(A)に示すOKの場合は右側の表示を省略して見易くすることもできる。又、エラー表示は省略することもできる。なお、エラーを無視しても良い場合には、エラー個数の表示も不要である。 Further, as in the fifth reference mode shown in FIGS. 14 (A) (OK) and (B) (NG), the number of OK, the number of NG, and the measurement error in the comprehensive judgment result display area 34B2. It is also possible to display the numbers together. When the comprehensive judgment result is OK only when all the individual judgment results are OK, the display on the right side can be omitted in the case of OK shown in FIG. 14A to make it easier to see. Also, the error display can be omitted. If the error can be ignored, it is not necessary to display the number of errors.
前記参考形態及び実施形態においては、いずれも、リスト34B中に個別判定結果と総合判定結果が表示されているので、両者の比較対象が容易である。なお、個別判定結果と総合判定結果を別ウィンドウに表示させることも可能である。 In both the reference embodiment and the embodiment, since the individual determination result and the comprehensive determination result are displayed in the list 34B, it is easy to compare the two. It is also possible to display the individual judgment result and the comprehensive judgment result in a separate window.
又、前記参考形態及び実施形態においては、いずれも、リスト34Bに公差判定結果が表示されていたが、リストに表示する判定結果は、これに限定されない。更に、リスト34Bの表示位置も前記参考形態及び実施形態に限定されず、例えば撮影画像表示画面34Aの隅に表示することもできる。 Further, in both the reference embodiment and the embodiment, the tolerance determination result is displayed in the list 34B, but the determination result displayed in the list is not limited to this. Further, the display position of the list 34B is not limited to the reference embodiment and the embodiment, and can be displayed in the corner of the captured image display screen 34A, for example.
本発明の適用対象は画像測定機に限定されず、例えば画像ユニットを搭載した測定顕微鏡等にも適用することができる。 The application target of the present invention is not limited to the image measuring machine, and can be applied to, for example, a measuring microscope equipped with an image unit.
1…測定機本体
2…コンピュータシステム
3…指令入力部
12…ワーク(測定対象物)
13…ステージ
20…カメラ
31…コンピュータ本体
32…キーボード
33…マウス
34…ディスプレイ
34A…撮影画像(表示画面)
34B…リスト
34B1…個別判定結果表示領域
34B2…総合判定結果表示領域
34D…メーター指針
34F…トレンドグラフ
34G…上限値
34H…下限値
1 ... Measuring machine body 2 ... Computer system 3 ... Command input unit 12 ... Work (measurement object)
13 ... Stage 20 ... Camera 31 ... Computer body 32 ... Keyboard 33 ... Mouse 34 ... Display 34A ... Captured image (display screen)
34B ... List 34B1 ... Individual judgment result display area 34B2 ... Comprehensive judgment result display area 34D ... Meter pointer 34F ... Trend graph 34G ... Upper limit value 34H ... Lower limit value
Claims (1)
測定位置毎の個別判定結果をリストで表示する個別判定結果表示領域と、測定対象物単位の総合判定結果を表示する総合判定結果表示領域を設けて、
個別判定結果と総合判定結果を合わせて表示すると共に、
再測定対象の個別判定結果に対応する測定位置が撮影画像表示画面の中にない場合は、ステージ移動をナビゲートして、再測定対象の個別判定結果に対応する測定位置が撮影画像表示画面内に表れるようにしたことを特徴とする画像測定装置。 Judgment results based on the measurement results using the captured image display screen that displays the image of the measurement object placed on the stage taken by the camera are displayed in a list separately from the captured image of the measurement object. In the image measuring device
An individual judgment result display area for displaying the individual judgment results for each measurement position in a list and a comprehensive judgment result display area for displaying the comprehensive judgment results for each measurement object are provided.
While displaying the individual judgment result and the comprehensive judgment result together,
If the measurement position corresponding to the individual judgment result of the remeasurement target is not in the captured image display screen, navigate the stage movement and the measurement position corresponding to the individual judgment result of the remeasurement target is in the captured image display screen. An image measuring device characterized in that it appears in.
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