JP6751447B2 - 真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置、及びそのための方法 - Google Patents

Description

本開示は、基板の連続処理のための装置に関する。具体的には、本発明の実施形態は、フレキシブル基板上に材料を堆積するための装置に関する。より具体的には、本開示の実施形態は、真空条件下でフレキシブル基板上に液体材料を堆積するための装置に関する。例えば、本明細書に記載された実施形態は、具体的には、真空条件下の回転コーティング又は印刷プロセスで使用するドクターブレードチャンバを装備した装置に関する。

プラスチック膜、箔、又は紙などのフレキシブル基板の処理は、パッケージング業界、半導体業界、及びその他の業界において需要が高い。例えば、処理は、特定の用途のために所望の材料でフレキシブル基板をコーティングすることを含み得る。例えば、フレキシブル基板のコーティングに使用される材料には、ポリマー、染料、金属、半導体、又は誘電材料が含まれ得る。典型的に、このタスクを実行するシステムには、例えば、基板をコーティング又はプリントするために処理領域を通るよう基板を搬送する処理ドラムが含まれる。このような処理システムは、通常、回転式システム又はロールツーロール（Ｒ２Ｒ）システムと呼ばれる。

具体的には、液体コーティング又はプリント材料を使用するコーティング又はプリントシステムでは、高品質なコーティング又はプリント結果を得るために、コーティング又はインキングローラの表面に供給される液体材料を正確且つ均一に制御する必要がある。したがって、回転コーティング又はプリント機の分野では、通常、ドクターブレードを装備したコーティング又はインキングユニットが設けられる。ドクターブレードは、コーティング又はインキングローラの外表面に対して押圧され、コーティング又はインキングローラの表面に施された液体コーティング又はインキング材料の層の厚さを制御する。液体材料の粘度やローラの回転速度などの他の要因も液体材料の総厚に影響を与えるが、コーティング又はインキングローラに施される液体材料層の厚さに関しては、ドクターブレードをコーティング又はインキングローラの表面に対して押圧する力がより決定的である。

しかしながら、特に大きな基板幅を有する基板のコーティング又はプリンティングにおいて、コーティング又はインキングローラとのドクターブレードの一定の接触圧を正確に調節且つ制御することは依然として困難である。

上記の観点から、独立請求項に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置、及びドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法が提供される。さらなる利点、特徴、態様、及び詳細は、従属請求項、本明細書の記載、及び添付図面から明らかである。

本開示の一態様によれば、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置が提供される。当該装置は、処理ローラ、処理ローラの軸方向に延在するドクターブレードを有するドクターブレードアセンブリ、及びドクターブレードアセンブリを処理ローラの表面に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリを含む。力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための逆圧ユニットを含む。

本開示の別の態様によれば、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置が提供される。当該装置は、処理ローラ、処理ローラの軸方向に延在するドクターブレードを有するドクターブレードアセンブリ、及びドクターブレードを処理ローラの表面上へと動かすように構成された第１の力伝達アセンブリを含む。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための第１の気体圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための第１の気体逆圧ユニット（ｆｉｒｓｔ ｐｎｅｕｍａｔｉｃ ｃｏｕｎｔｅｒ−ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｕｎｉｔ）を含む。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリの第１の軸端部において配置される。第１の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに接続された第１の荷重伝達要素を含む。第１の荷重伝達要素は、第１の気体圧力ユニットからドクターブレードアセンブリへと力を伝達し、且つ第１の気体逆圧ユニットからドクターブレードアセンブリへと対抗力を伝達するように構成されている。さらに、当該装置は、ドクターブレードを処理ローラの表面上へと動かすように構成された第２の力伝達アセンブリを含む。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための第２の気体圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための第２の気体逆圧ユニットを含む。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリの第１の軸端部の反対側のドクターブレードアセンブリの第２の軸端部において配置されている。第２の力伝達アセンブリは、ドクターブレードアセンブリに接続された第２の荷重伝達要素を含む。第２の荷重伝達要素は、第２の気体圧力ユニットからドクターブレードアセンブリへと力を伝達し、且つ第２の気体逆圧ユニットからドクターブレードアセンブリへと対抗力を伝達するように構成されている。

本開示のさらなる態様によれば、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法が提供される。当該方法は、圧力ユニットを使用することによって、ドクターブレードを備えたドクターブレードアセンブリに力をに加えることと、逆圧ユニットによって、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御することとを含む。

本開示は、方法を実施するための装置部分を含む開示の方法を実施するための装置も対象とする。本方法は、ハードウェア構成要素、適切なソフトウェアによってプログラミングされたコンピュータ、これらの２つの任意の組合せ、又は任意の他の方法で実施され得る。さらに、本開示は、記載された装置を操作する方法も対象とする。これは、装置のあらゆる機能を実施するための方法を含む。

本開示の上述の特徴を細部まで理解し得るように、実施形態を参照することによって、上記に簡単に要約された本開示のより詳細な説明を得ることができる。添付図面は、本開示の実施形態に関するものであり、下記で説明される。
本明細書に記載された実施形態に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置の概略斜視図を示す。 図１に示す装置のドクターブレードアセンブリの一部の概略斜視図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る装置の概略正面図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る、装置の両側の部分の概略上面図を示す。 図４Ａ及び図４Ｂに示す装置の部分のそれぞれのより詳細な図を示す。 本明細書に記載された実施形態に係る、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法の実施形態を示すブロック図を示す。

本開示の様々な実施形態をこれより詳細に参照していく。これらの実施形態の１つ又は複数の実施例が図面で示されている。図面についての以下の説明の中で、同じ参照番号は、同じ構成要素を表している。下記において、個々の実施形態に関する違いのみが説明される。各実施例は、本開示の説明のために提供されているが、本開示を限定することが意図されているわけではない。さらに、１つの実施形態の一部として図示且つ説明されている特徴は、さらに別の実施形態をもたらすために、他の実施形態において用いてもよく、又は、他の実施形態と共に用いてもよい。本記載がこのような修正例及び変形例を含むことが意図されている。

図１は、本明細書に記載された実施形態に係る、真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置１００の概略斜視図を示す。具体的には、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、当該装置は、処理ローラ１１０、及び処理ローラ１１０の軸方向に延在するドクターブレード１２１を有するドクターブレードアセンブリ１２０を含む。さらに、当該装置は、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリ１３０を含む。具体的には、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリに力を加えるための圧力ユニット、及びドクターブレードアセンブリに対抗力を加えるための逆圧ユニットを含む。図１に示す力伝達アセンブリ１３０は、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂでより詳細に示されている。

したがって、本明細書に記載された力伝達アセンブリを有する、フレキシブル基板の連続処理のための装置を提供することにより、有益には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を非常に正確に制御且つ調節することができる。具体的には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を制御且つ／又は調節する逆圧ユニットを利用することにより、周囲圧力から実質的に独立するように接触圧を制御することができる装置が提供され得る。したがって、有益には、周囲圧力の変化が生じたときに、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を一定になるよう制御することができる装置が提供され得る。

例えば、周囲圧力の変化は、第１の周囲圧力（例えば、装置が設定された周囲圧力）から第２の周囲圧力（例えば、処理中に装置が操作される周囲圧力）への変化であり得る。具体的には、第１の周囲圧力は、大気圧であってもよく、第２の周囲圧力は、真空圧力であってもよい。したがって、本明細書に記載された実施形態は、フレキシブル基板が処理される処理チャンバを排気する間、対応する処理ローラとのドクターブレードの一定の接触圧の維持をもたらすことを理解するべきである。

したがって、図面では明示的に示されていないが、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、装置は、真空処理チャンバを含む。具体的には、本明細書に記載された処理ローラ、ドクターブレードアセンブリ、及び力伝達アセンブリは、装置の真空処理チャンバ内に配置され得る。

本開示では、「フレキシブル基板」は、基板が屈曲可能であるという点において特徴付けられ得る。例えば、フレキシブル基板は、箔であってよい。具体的には、本明細書に記載された装置の実施形態は、例えば、フレキシブル基板上でコーティング又は電子デバイスを製造するために、任意の種類のフレキシブル基板を処理するために利用することができることを理解するべきである。例えば、本明細書に記載された基板には、ＰＥＴ、ＨＣ−ＰＥＴ、ＰＥ、ＰＩ、ＰＵ、ＴａＣのような材料、１つ又は複数の金属、紙、これらの組み合わせ、及びハードコートＰＥＴ（例えば、ＨＣ−ＰＥＴ、ＨＣ−ＴＡＣ）など既にコーティングされた基板が含まれ得る。

図１を例示的に参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、処理ローラ１１０は、アニロックスローラ又はスクリーンローラであってもよい。さらに、装置は、１つ又は複数のさらなる処理ローラ、例えば、図１で例示するように移送ローラ１１５を含み得る。具体的には、処理ローラ１１０は、装置のさらなる処理ローラに対して平行に、例えば、移送ローラ１１５に対して平行に配置され得る。処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５を回転させることにより、フレキシブル基板が、処理（例えば、フレキシブル基板のコーティング又はプリンティング）の間に、処理ローラ１１０と移送ローラ１１５との間で搬送され得る。したがって、処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５が、それらの長手方向軸の周りで回転可能であるように、処理ローラ１１０及び移送ローラ１１５は装置１００のフレーム構造体１６０に接続され得る。

本開示では、用語「処理ローラ」は、本明細書に記載されたようなフレキシブル基板の処理の間に使用されるローラであると理解するべきである。具体的には、フレキシブル基板の処理は、液体堆積材料又は液体インキング材料を使用した、フレキシブル基板のコーティング又はプリンティングを含み得る。具体的には、本明細書に記載された「処理ローラ」は、セルとも呼ばれる微細なくぼみを含む外表面を有する円筒（例えば、金属、セラミック、又はプラスチックの円筒）であってもよい。より具体的には、本明細書に記載された実施形態に係る「処理ローラ」は、アニロックスローラ又はスクリーンローラであってもよい。

図１で例示されるように、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、ドクターブレードアセンブリ１２０は、処理ローラ１１０及び／又は移送ローラ１１５に対して平行方向に延在する細長い構造を有するよう構成され得る。本開示では、用語「ドクターブレードアセンブリ」は、少なくとも１つの細長いドクターブレードを含むアセンブリであると理解するべきである。具体的には、本明細書に記載された「ドクターブレードアセンブリ」は、ドクターブレードチャンバを含み得る。

図１及び図２を例示として参照すると、本明細書に記載の任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、ドクターブレードアセンブリ１２０は、ドクターブレードチャンバ１２５を含み得る。具体的には、ドクターブレードチャンバ１２５は、処理ローラ１１０の軸方向に延在する第１のドクターブレード１２１Ａ、及び処理ローラ１１０の軸方向に延在する第２のドクターブレード１２１Ｂを含み得る。例えば、本明細書に記載されたドクターブレードチャンバ１２５は、堆積される液体材料を受け入れるリザーバ１２６を含み得る。具体的には、リザーバ１２６は、２つの離間されたドクターブレード、例えば、第１のドクターブレード１２１Ａ及び第２のドクターブレード１２１Ｂによって画定され得、その両方とも対応する処理ローラの軸方向に延在する。さらに、ドクターブレードの両端に端部プレート（図示せず）が設けられてもよく、それにより、２つの離間されたドクターブレードと協働して、液体材料が堆積されるリザーバが画定される。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置は、液体コーティング材料又は液体インキング材料をドクターブレードチャンバ内のリザーバに供給するための供給デバイスを含み得る。したがって、処理ローラの表面が、２つのドクターブレード及び端部プレートによって画定されたリザーバを通り過ぎる間、液体コーティング材料又は液体インキング材料は、リザーバから、処理ローラの表面（例えば、アニロックスローラの表面）に施され得ることを理解するべきである。

本明細書に記載された実施形態に鑑みて、当業者であれば、本開示の装置が、高品質なコーティング又はプリンティング結果を得ることを提供することを理解されよう。具体的には、周囲圧力から独立した、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を伝達するように構成された力伝達アセンブリを設けることにより、コーティング又はインキング処理にわたって、処理ローラ上の液体コーティング材料又は液体インキング材料の一定の総厚をもたらすことができる。さらに、力伝達アセンブリの実施形態は、処理チャンバの排気及び初期設定の間、処理ローラの対応する表面とのドクターブレードの接触圧を維持することができるように構成される。したがって、本明細書に記載された実施形態は、処理ローラの表面の軸長に沿って供給された液体コーティング材料又は液体インキング材料の層厚の正確且つ均一な制御をもたらす。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、ドクターブレードアセンブリ１２０は、図２で例示されているように、ドクターブレードチャンバ１２５に取り付けられた保持アレンジメント１４０を含み得る。図２は、図１に示す装置の一部のより詳細な概略斜視図を示す。具体的には、ドクターブレードアセンブリ１２０は、ドクターブレードアセンブリ１２０を保持するように構成された保持アレンジメント１４０に接続され得る。保持アレンジメント１４０は、処理ローラ１１０の軸方向に延在する支持要素１４１、例えば、梁要素を含み得る。支持要素１４１は、接続要素を介して、装置１００のフレーム構造体１６０に接続され得る。例えば、接続要素は、ドクターブレードアセンブリの回転運動をもたらすように構成され得る。具体的には、ドクターブレードアセンブリの回転運動は、処理ローラ１１０の軸に対して平行な軸の周りの回転を含み得る。したがって、有益には、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて且つそこから離れるよう動かすために、ドクターブレードアセンブリは枢動自在であるよう構成され得る。例えば、ドクターブレード又はドクターブレードアセンブリのその他の部品を交換しなければならないとき、このような構成がメンテナンスのために特に有益であり得る。

図３では、本明細書に記載された実施形態に係る装置の概略正面図が示される。図３で示すように、ドクターブレードアセンブリ１２０は、処理ローラ１１０の回転軸１１２に対して平行に延在する細長い構成を有し得る。具体的には、ドクターブレードアセンブリは、処理ローラ１１０の長さの少なくとも５０％以上の長さを有し得る。より具体的には、ドクターブレードアセンブリは、処理ローラ１１０の長さの少なくとも７５％以上の長さを有し得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、図３に例示するように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂが設けられ得る。具体的には、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０の両側に配置され得る。例えば、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａは、ドクターブレードアセンブリ１２０の第１の軸端部１２０Ａにおいて配置され得、第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０の第１の軸端部１２０Ａの反対側の第２の軸端部１２０Ｂにおいて配置され得る。したがって、本明細書に記載されたように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂを設けることは、特に、処理ローラの表面の軸長に沿って供給された液体コーティング材料又は液体インキング材料の層厚を正確且つ均一に制御することにおいて特に有益であり得る。具体的には、本明細書に記載されたように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂを設けることは、処理ローラの表面との、ドクターブレードチャンバの第１のドクターブレード及び第２のドクターブレードの接触圧を正確に制御且つ調節するのに有益である。

したがって、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、ドクターブレードアセンブリ１２０を処理ローラ１１０の表面１１１上へと動かすように構成されることを理解するべきである。さらに、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂを参照してより詳細に説明されるように、第１の力伝達アセンブリ１３０Ａ及び第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂは、処理ローラの対応する表面とのドクターブレードの接触圧を制御且つ調節するように構成され得る。

図４Ａ及び図４Ｂは、本明細書に記載された実施形態に係る、ドクターブレードアセンブリ及び力伝達アセンブリを有する装置の両側の部分の概略上面図を示す。図５Ａ及び図５Ｂでは、図４Ａ及び図４Ｂに示す装置の部分のそれぞれのより詳細な図が示される。

本開示では、用語「力伝達アセンブリ」は、本明細書に記載されたように、ドクターブレードアセンブリに加えられた力を処理ローラの外表面上へと伝達するように構成されたアセンブリであると理解するべきである。具体的には、本明細書に記載された「力伝達アセンブリ」は、ドクターブレードアセンブリのドクターブレードと対応する処理ローラの表面との間の接触力を供給するように構成され得る。より具体的には、本明細書に記載された実施形態に係る「力伝達アセンブリ」は、アニロックスローラ又はスクリーンローラの表面との、ドクターブレードチャンバの接触圧を供給且つ調節するように構成され得る。

図５Ａを例示として参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリ１２０に力Ｆ_１を加えるための圧力ユニット１３１、及びドクターブレードアセンブリ１２０に対抗力Ｆ_２を加えるための逆圧ユニット１３２を含む。具体的には、圧力ユニット１３１及び逆圧ユニット１３２は、気体圧ユニット、例えば、図５Ａ及び図５Ｂに示す第１の気体圧力ユニット１３１Ａ、第２の気体圧力ユニット１３１Ｂ、第１の気体逆圧ユニット１３２Ａ、及び第２の気体逆圧ユニット１３２Ｂであるように構成され得る。さらに、力伝達アセンブリ１３０は、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂで例示されているように、荷重伝達要素１３３を含み得る。本明細書に記載された実施形態に係る力伝達アセンブリの特徴は、本明細書に記載された第１の力伝達アセンブリ１３０Ａを示す図５Ａを参照して説明されるが、第１の力伝達アセンブリの特徴の説明は、図３、図４Ｂ、及び図５Ｂで例示されている第２の力伝達アセンブリ１３０Ｂの特徴にも適用され得る。

本開示では、「荷重伝達要素」は、本明細書に記載された圧力ユニットによって生成された荷重又は力を本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリに伝達するように構成された要素として理解するべきである。さらに、「荷重伝達要素」は、逆圧ユニットによって生成された反荷重（ｃｏｕｎｔｅｒ−ｌｏａｄ）又は対抗力を本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリに伝達するように構成され得る。

したがって、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、荷重伝達要素１３３は、圧力ユニット１３１からドクターブレードアセンブリ１２０へと力を伝達するように構成されている。さらに、荷重伝達要素１３３は、逆圧ユニット１３２からドクターブレードアセンブリ１２０へと対抗力を伝達するように構成され得る。例えば、図５Ａ及び図５Ｂで例示されているように、荷重伝達要素１３３は、圧力ユニット１３１から力Ｆ_１を荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４で受けるように構成され得、逆圧ユニット１３２から対抗力Ｆ_２を荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５で受けるように構成され得る。具体的には、荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５は、荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４の対向側に位置し得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、荷重伝達要素１３３は、例えば、図５Ａで示すようにＳ形状であってもよく、又は図５Ｂで示すようにＺ形状であってもよい。図面に示されていない荷重伝達要素の代替的実装形態によれば、荷重伝達要素は、処理ローラの軸方向に延在するプレートであってもよい。

本開示では、用語「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために流体の圧力が利用されるユニットと理解するべきである。例えば、本明細書に記載された「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために圧縮可能な流体、具体的には、ガス（例えば、空気）が使用される気体圧ユニットであってもよい。処理チャンバの排気の間、気体圧ユニットは圧力変化に自動的に反応するので、気体圧ユニットの使用は特に真空処理において有益であり得る。代替的に、本明細書に記載された「圧力ユニット」は、力又は運動を生成するために圧縮不可能な流体、具体的には、液体（例えば、油又は水）が使用される液圧ユニットであってもよい。

したがって、本開示では、用語「逆圧ユニット」は、本明細書に記載された「圧力ユニット」によって生成された力又は運動に対する対抗力又は対抗運動を生成するために流体の圧力が利用されるユニットと理解するべきである。具体的には、「逆圧ユニット」は、本明細書に記載された圧力ユニットと類似する気体圧ユニット又は液圧ユニットであってもよい。

図５Ａを例示的に参照すると、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該装置は、圧力ユニット１３１によって生成された第１の圧力を制御するように構成された第１の圧力弁１５１を含み得る。さらに、逆圧ユニット１３２によって生成された第２の圧力を制御するように構成された第２の圧力弁１５２が設けられ得る。例えば、第１の圧力弁１５１及び／又は第２の圧力弁１５２は、第１の圧力及び／又は第２の圧力を制御するために構成され得るコントローラ１５０に接続され得る。したがって、有益には、高品質なコーティング又はプリンティング結果を達成できるように、本明細書に記載された装置の操作の間、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧を正確に制御し、且つ適合させることができる。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力は、下限値が２ｂａｒ、具体的には、下限値が３ｂａｒ、より具体的には、下限値が４ｂａｒであり、上限値が４ｂａｒ、具体的には、上限値が６ｂａｒ、より具体的には、上限値が８ｂａｒである範囲から選択され得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力は、下限値が０ｂａｒ、具体的には、下限値が１ｂａｒ、より具体的には、下限値が２ｂａｒであり、上限値が２ｂａｒ、具体的には、上限値が４ｂａｒ、より具体的には、上限値が６ｂａｒである範囲から選択され得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置のコントローラ１５０は、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差を制御するように構成され得る。具体的には、コントローラ１５０は、一定であるよう圧力差を制御するように構成され得る。例えば、圧力差は、下限値が１ｂａｒ、具体的には、下限値が１．５ｂａｒであり、上限値が３ｂａｒ、具体的には、４ｂａｒである範囲から選択され得る。例えば、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差は、２ｂａｒ±０．５ｂａｒ、具体的には、２ｂａｒ±０．１ｂａｒ、より具体的には、２ｂａｒ±０．０５ｂａｒであってもよい。

したがって、有益には、特に、周囲圧力が大気圧から真空圧に変わる排気の間、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧が、処理チャンバ内の周囲圧力の任意の変化に実質的に影響を受けないように、コーティング又はプリンティング処理全体にわたって、接触圧を一定であるよう制御することができる。したがって、大気圧条件下で有益に且つ初期的に設定された接触圧は、真空条件下での装置の操作の間の実際の接触圧に対応する。さらに、有益には、圧力ユニットによって供給される第１の圧力を増加させ、且つ逆圧ユニットによって供給される第２の圧力を増加させることにより、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの間の接触圧の全体的安定性を向上させることができる。例えば、圧力ユニットによって８ｂａｒの第１の圧力、及び逆圧ユニットによって６ｂａｒの第２の圧力で確立された２ｂａｒの接触圧は、圧力ユニットで４ｂａｒの第１の圧力、及び逆圧ユニットによって２ｂａｒの第２の圧力で確立された２ｂａｒの接触圧の状況より安定し得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、装置は、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力及び／又は逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力をモニタリングするモニタリングデバイスをさらに含み得る。例えば、モニタリングデバイスは、圧力センサであってよい。具体的には、圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力を測定するよう設定且つ配置された第１の圧力センサが設けられ得、且つ／又は、逆圧ユニット１３２によって供給される第２の圧力を測定するよう設定且つ配置された第２の圧力センサが設けられ得る。第１の圧力センサ及び／又は第２の圧力センサは、本明細書に記載されたコントローラに接続され得る。したがって、有益には、例えば、測定圧力が、本明細書で特定されたように予め選択された第１の圧力及び／又は第２の圧力から逸れる場合、コントローラは、第１の圧力及び／又は第２の圧力を調節するように構成され得る。

したがって、本明細書に記載された実施形態は、処理ローラとドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの接触圧の自動適合又は再調節をもたらし、これは、特にドクターブレードのアブレーシブ摩耗の効果を補償するのに有益であり得ることを理解するべきである。さらに、本明細書に記載された実施形態は、装置を操作する間、対応する処理ローラとのドクターブレードの接触圧を調節することを提供し、これは、種々の処理条件、特に、液体コーティング又はプリンティング材料の種々の総厚を装置の操作の間に選択しなければならない場合に有益であり得る。したがって、本明細書に記載された実施形態は、真空条件下で処理ローラとドクターブレードの接触圧を適合させ、再調節することを提供する。具体的には、処理中に確立された真空を破壊せずに接触圧を制御且つ調節することができる。さらに、特に力伝達アセンブリが気体圧ユニットを含む場合、本明細書に記載された実施形態は、例えば、熱膨張によって引き起こされる処理ローラの変形を補償するように構成されることを理解するべきである。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、図４Ａ、図４Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂで示すように、力伝達アセンブリ１３０は、ドクターブレードアセンブリ１２０の運動を処理ローラ１１０の表面１１１に向けて誘導するための誘導要素１４４を含み得る。例えば、誘導要素１４４は、低摩擦の線状誘導要素であってもよい。具体的には、誘導運動は、処理ローラの軸に対して実質的に垂直な運動であり得る。したがって、有益には、本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリのドクターブレードは、対応する処理ローラの表面上に正確に位置付けされ得る。さらに、本明細書に記載された誘導要素を設けることは、対応する処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を正確に調節する上でさらに有益であり得る。

したがって、本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、ドクターブレードアセンブリ、特にドクターブレードチャンバは、接触圧を供給するため、処理ローラの表面に向けてドクターブレードアセンブリの正確且つ誘導された運動をもたらす誘導要素によって誘導され得ることを理解するべきである。

図６Ａから図６Ｃは、ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上に供給するための方法２００の実施形態を示すブロック図を示す。本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該方法２００は、図６Ａのブロック図で例示するように、圧力ユニットを使用することによって、ドクターブレードを含むドクターブレードアセンブリに力をに加えること２１０と、逆圧ユニットを使用することによって、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御すること２２０とを含む。具体的には、ドクターブレードアセンブリに力を加えること２１０は、本明細書に記載された実施形態に係る圧力ユニットを使用することを含み得る。さらに、ドクターブレードアセンブリに対抗力を加えることにより、接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載された実施形態に係る逆圧ユニットを使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、有益には、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を非常に正確に制御且つ調節することを提供する。具体的には、本明細書に記載された方法の実施形態は、周囲圧力から実質的に独立するように当該接触圧を制御することを提供する。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態では、周囲圧力の変化が生じたときでも、処理ローラの表面とのドクターブレードの接触圧を一定になるよう制御することができる。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、接触圧を制御すること２２０は、圧力ユニットによって荷重伝達要素に加えられた第１の圧力と、逆圧ユニットによって荷重伝達要素に加えられた第２の圧力との間の圧力差を生成すること２２１を含む。具体的には、圧力差を生成すること２２１は、圧力ユニット１３１から力Ｆ_１を荷重伝達要素１３３の第１の表面１３４に加えることと、逆圧ユニット１３２から対抗力Ｆ_２を荷重伝達要素１３３の第２の表面１３５に加えることとを含み得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、圧力差を生成すること２２１は、下限値が２ｂａｒ、具体的には、下限値が３ｂａｒ、より具体的には、下限値が４ｂａｒであり、上限値が４ｂａｒ、具体的には、上限値が６ｂａｒ、より具体的には、上限値が８ｂａｒである範囲から圧力ユニット１３１によって供給される第１の圧力を選択することを含み得る。さらに、圧力差を生成すること２２１は、下限値が０ｂａｒ、具体的には、下限値が１ｂａｒ、より具体的には、下限値が２ｂａｒであり、上限値が２ｂａｒ、具体的には、上限値が４ｂａｒ、より具体的には、上限値が６ｂａｒである範囲から逆圧ユニット１３２によって供給された第２の圧力を選択することを含み得る。

接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載された第１の圧力弁１５１及び／又は第２の圧力弁１５２を使用することを含み得ることを理解するべきである。具体的には、接触圧を制御すること２２０は、本明細書に記載されたコントローラ１５０を使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、対応する処理ローラと本明細書に記載されたドクターブレードアセンブリのドクターブレードとの接触圧の自動適合又は再調節をもたらし、これは、特にドクターブレードのアブレーシブ摩耗の効果を補償するのに有益であり得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によると、当該方法２００は、図６Ｂのブロック図で例示されているように、圧力差をモニタリングすること２３０を含み得る。具体的には、圧力差をモニタリングすること２３０は、本明細書に記載された、モニタリングデバイス、例えば、第１の圧力センサ及び／又は第２の圧力センサを使用することを含み得る。したがって、本明細書に記載された方法の実施形態は、本明細書で特定されたように、第１の圧力及び／又は第２の圧力をモニタリング且つ調節するように構成される。これは、具体的には、測定圧力が、本明細書で特定されたように予め選択された第１の圧力及び／又は第２の圧力から逸れる場合に有益であり得る。

本明細書に記載された任意の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、当該方法２００は、処理ローラとのドクターブレードの接触圧が周囲圧力から独立しているように、圧力差を一定であるように制御すること２４０をさらに含み得る。例えば、圧力差を制御すること２４０は、下限値が１ｂａｒ、具体的には、下限値が１．５ｂａｒであり、上限値が３ｂａｒ、具体的には、４ｂａｒである範囲から圧力差を選択することを含み得る。具体的には、圧力ユニット１３１と逆圧ユニット１３２との間の圧力差を一定であるように制御すること２４０は、圧力差を２ｂａｒ±０．２ｂａｒ、具体的には、２ｂａｒ±０．１ｂａｒ、より具体的には、２ｂａｒ±０．０５ｂａｒとなるように選択することを含み得る。

本開示に記載された実施形態の観点から見ると、当業者であれば、装置の実施形態、及び本明細書に記載された方法は、特に大きな基板幅を有するフレキシブル基板のコーティング又はプリンティングのために、アニロックスローラ又はスクリーンローラとのドクターブレードチャンバのドクターブレードの一定の接触圧を正確に調節且つ制御するのに特に適していることを理解されよう。

Claims (10)

1. 真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置（１００）であって、
   処理ローラ（１１０）と、
   前記処理ローラ（１１０）の軸方向に延在するドクターブレード（１２１）を有するドクターブレードアセンブリ（１２０）と、
   前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）を前記処理ローラ（１１０）の表面（１１１）に向けて動かすように構成された力伝達アセンブリ（１３０）であって、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための圧力ユニット（１３１）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための逆圧ユニット（１３２）とを備えた、力伝達アセンブリ（１３０）と、
   前記圧力ユニット（１３１）によって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、
   前記逆圧ユニット（１３２）によって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサと、
   前記第１の圧力センサによって測定される圧力と前記第２の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定に制御するためのコントローラ（１５０）と、
   を備えている装置。
2. 前記力伝達アセンブリ（１３０）が、荷重伝達要素（１３３）を備え、前記荷重伝達要素（１３３）が、前記圧力ユニット（１３１）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記逆圧ユニット（１３２）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、請求項１に記載の装置（１００）。
3. 前記圧力ユニット（１３１）によって生成された前記圧力を制御するように構成された第１の圧力弁（１５１）、及び前記逆圧ユニット（１３２）によって生成された前記対抗圧力を制御するように構成された第２の圧力弁（１５２）をさらに備えている、請求項１又は２に記載の装置（１００）。
4. 前記圧力が、２ｂａｒから８ｂａｒより選択され、前記対抗圧力が、０ｂａｒから６ｂａｒより選択される、請求項３に記載の装置（１００）。
5. 前記圧力差が、１ｂａｒから４ｂａｒである、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置（１００）。
6. 前記力伝達アセンブリ（１３０）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の動きを前記処理ローラ（１１０）の前記表面（１１１）に向けて誘導するための誘導要素（１４４）を備えている、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置（１００）。
7. 真空内のフレキシブル基板の連続処理のための装置（１００）であって、
   処理ローラ（１１０）と、
   前記処理ローラ（１１０）の軸方向に延在するドクターブレード（１２１）を有するドクターブレードアセンブリ（１２０）と、
   前記ドクターブレード（１２１）を前記処理ローラ（１１０）の表面上へと動かすように構成された第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）であって、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）とを備え、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の第１の軸端部（１２０Ａ）において配置され、前記第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に接続された第１の荷重伝達要素（１３３Ａ）を備え、前記第１の荷重伝達要素（１３３Ａ）が、前記第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、第１の力伝達アセンブリ（１３０Ａ）と、
   前記ドクターブレード（１２１）を前記処理ローラ（１１０）の前記表面上へと動かすように構成された第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）であって、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に圧力を加えるための第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）と、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に対抗圧力を加えるための第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）とを備え、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の前記第１の軸端部（１２０Ａ）の反対側の前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）の第２の軸端部（１２０Ｂ）において配置され、前記第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）が、前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）に接続された第２の荷重伝達要素（１３３Ｂ）を備え、前記第２の荷重伝達要素（１３３Ｂ）が、前記第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記圧力を伝達し、且つ前記第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）から前記ドクターブレードアセンブリ（１２０）へと前記対抗圧力を伝達するように構成されている、第２の力伝達アセンブリ（１３０Ｂ）と、
   前記第１の気体圧力ユニット（１３１Ａ）によって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、
   前記第１の気体逆圧ユニット（１３２Ａ）によって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサと、
   前記第２の気体圧力ユニット（１３１Ｂ）によって加えられる圧力を測定する第３の圧力センサと、
   前記第２の気体逆圧ユニット（１３２Ｂ）によって加えられる対抗圧力を測定する第４の圧力センサと、
   前記第１の圧力センサによって測定される圧力と前記第２の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定にするように制御するとともに、前記第３の圧力センサによって測定される圧力と前記第４の圧力センサによって測定される対抗圧力との圧力差を一定にするように制御するためのコントローラ（１５０）と、
   を備えている装置。
8. ドクターブレードの接触圧を処理ローラの表面上へと供給するための方法（２００）であって、
   圧力ユニットを使用することによって、前記ドクターブレードを備えたドクターブレードアセンブリに圧力を加えること（２１０）と、
   逆圧ユニットを使用することによって、前記ドクターブレードアセンブリに対抗圧力を加えることにより、前記接触圧を制御すること（２２０）と
   前記圧力ユニットによって加えられる圧力を測定する第１の圧力センサと、前記逆圧ユニットによって加えられる対抗圧力を測定する第２の圧力センサとを用いて、前記圧力と前記対抗圧力との圧力差をモニタリングすること（２３０）と、
   前記処理ローラとの前記ドクターブレードの前記接触圧が、前記処理ローラ及び前記ドクターブレードの周囲の気圧から独立しているように、前記圧力差を一定であるように制御すること（２４０）と、
   を含む方法。
9. 前記圧力が、２ｂａｒから８ｂａｒより選択され、前記対抗圧力が、０ｂａｒから６ｂａｒより選択される、請求項８に記載の方法（２００）。
10. 前記圧力差が、１ｂａｒから４ｂａｒより選択される、請求項８又は９に記載の方法（２００）。

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