JP6671639B2 - Glass interleaving paper, glass plate laminate, and glass plate package - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス合紙、ガラス板積層体、及びガラス板梱包体に関する。 The present invention relates to a glass interleaving paper, a glass plate laminate, and a glass plate package.
建築用ガラス板、自動車用ガラス板、プラズマディスプレイ用ガラス板や液晶ディスプレイ用ガラス板などのFPD(Flat Panel Display)用のガラス板は、保管中や搬送中に、表面に疵が入る、表面が雰囲気中の汚染物質により汚染される等で、製品欠陥が生じることがある。 Glass sheets for FPD (Flat Panel Display), such as glass sheets for construction, glass sheets for automobiles, glass sheets for plasma displays, and glass sheets for liquid crystal displays, have scratches on the surface during storage or transportation, Product defects may occur due to contamination by contaminants in the atmosphere.
特に、FPD用のガラス板(ガラス基板)は、表面に微細な電気配線(以下、配線とも言う)、電極、電気回路、隔壁等の素子が形成されるので、表面に僅かな疵や汚染が有っても、断線等の不良の原因となる。そのため、これらの用途に用いられるガラス板には、高い表面の清浄性が要求される。 In particular, a glass plate (glass substrate) for FPD has fine electric wiring (hereinafter also referred to as wiring), an electrode, an electric circuit, a partition, and other elements formed on the surface, so that a slight flaw or contamination on the surface is obtained. Even if there is, it may cause a defect such as disconnection. Therefore, glass plates used in these applications are required to have high surface cleanliness.
一般的に、ガラス板は、梱包用のパレット等に積層された状態で、保管、搬送される。 Generally, glass sheets are stored and transported in a state of being stacked on a pallet or the like for packing.
このときガラス板の間に、いわゆるガラス合紙を介在させることにより、隣接するガラス板の表面同士を分離し、ガラス板の表面の疵や雰囲気中の汚染物質による汚染を防止している。 At this time, so-called glass interleaving paper is interposed between the glass plates to separate the surfaces of adjacent glass plates from each other, thereby preventing flaws on the surface of the glass plates and contamination by contaminants in the atmosphere.
しかしながら、ガラス板間にガラス合紙を介在させる方法では、ガラス合紙とガラス板の表面とが、直接、接触する。そのため、ガラス合紙の表面に存在する樹脂など各種の成分(異物)などがガラス板の表面に転写される。表面に異物が多く存在するガラス合紙を使用した場合には、ガラス板に、紙肌模様や焼けや汚れ等の問題が生じ易い。また、ガラス板の表面に形成された微細な配線が断線する等の不良の原因となる。このような異物は、洗浄を行っても、ガラス板の表面から完全に除去するのは困難である。 However, in the method of interposing a glass sheet between glass plates, the glass sheet and the surface of the glass plate come into direct contact with each other. Therefore, various components (foreign matter) such as resin existing on the surface of the glass interleaf are transferred to the surface of the glass plate. If glass interleaving paper having many foreign substances on its surface is used, problems such as paper texture, scorching, and dirt are likely to occur on the glass plate. In addition, it causes defects such as disconnection of fine wiring formed on the surface of the glass plate. It is difficult to completely remove such foreign matter from the surface of the glass plate even after cleaning.
上記問題を解決する方法として、例えば、特許文献1には、高級飽和脂肪酸の含有率を0.08質量%以下としたガラス合紙を用いて、ガラス板を梱包したガラス板梱包体が開示されている。 As a method for solving the above problem, for example, Patent Literature 1 discloses a glass sheet package in which glass sheets are packed using glass slip paper having a content of higher saturated fatty acids of 0.08% by mass or less. ing.
また、特許文献2には、ケイ素元素を有する有機化合物の含有量が3ppm以下のガラス合紙が開示されている。 Patent Literature 2 discloses a glass slip sheet having a content of an organic compound having a silicon element of 3 ppm or less.
特許文献1、2では、ガラス合紙に含まれる異物の含有量を低減することにより、ガラス板の表面の汚染の発生、ガラス板の表面に形成された配線の断線等の不良の発生を抑制している。 In Patent Literatures 1 and 2, by reducing the content of foreign substances contained in the glass slip sheet, the occurrence of contamination on the surface of the glass plate and the occurrence of defects such as disconnection of wiring formed on the surface of the glass plate are suppressed. doing.
しかしながら、ガラス合紙中の異物の含有量を低減するだけでは、ガラス板の表面に形成された配線の断線等の不良の発生を充分に抑制できない場合がある。 However, simply reducing the content of foreign matter in the glass slip sheet may not sufficiently suppress the occurrence of defects such as disconnection of wiring formed on the surface of the glass plate.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス合紙から転写される異物に起因する汚染、及び配線等の不良の発生を充分に抑制できるガラス合紙、および、このガラス合紙を用いるガラス板積層体、及びガラス板梱包体を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and a glass interleaf that can sufficiently suppress the occurrence of contamination and defects such as wiring due to foreign matters transferred from the glass interleaf, and a glass interleaf that can suppress the occurrence of defects such as wiring. An object of the present invention is to provide a glass plate laminate using paper and a glass plate package.
本発明の一態様によるガラス合紙は、下記の測定方法により計数した50μm以下の大きさの白色異物の数が10個/269m2以下である。 In the glass slip sheet according to one embodiment of the present invention, the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less counted by the following measurement method is 10/269 m 2 or less.
[測定方法]
(A)評価用ガラス板(厚さ0.7mmで、370mm×470mmのサイズ)に、ガラス合紙を(回数:100回、時間:4秒/回、圧力:0.45MPa、評価用ガラス板温度:55℃)押圧し、(B)押圧を終えた前記評価用ガラス板を搬送(ラインスピード200cm/min)しながら、純水を供給(流量:57L/min)し、前記評価用ガラス板の上側に2本、及び下側に2本配置された合計4本のロールブラシ(ロール径(内径):φ60、ロール径(外径):φ80、毛径:0.06mm/密巻、材質:ナイロン612、回転数:300rpm、距離:上下0mm)で前記評価用ガラス板を洗浄し、(C)オルボテック社製 オフライン欠陥検査システム(FPI−6000シリーズ(型番:FPI6090D))を用いて、洗浄された前記評価用ガラス板の全異物を検査して、全異物の画像を取得し、(D)前記画像に基づいて前記全異物を目視で外観観察し、前記全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数する。
[Measuring method]
(A) Glass interleaf paper (number of times: 100 times, time: 4 seconds / time, pressure: 0.45 MPa, glass plate for evaluation) on a glass plate for evaluation (a size of 370 mm × 470 mm with a thickness of 0.7 mm) (Temperature: 55 ° C.) and (B) pure water is supplied (flow rate: 57 L / min) while the pressed glass plate is conveyed (line speed 200 cm / min). Roll brushes (roll diameter (inner diameter): φ60, roll diameter (outer diameter): φ80, bristle diameter: 0.06 mm / close winding, material: two on the upper side and two on the lower side) : Nylon 612, rotation speed: 300 rpm, distance: 0 mm above and below), the glass plate for evaluation was washed, and (C) an off-line defect inspection system (FPI-6000 series (model number: FPI6090D) manufactured by Orbotech) was used. Inspection of all the foreign substances on the cleaned glass plate for evaluation, obtaining an image of all the foreign substances, and (D) visually observing the appearance of all the foreign substances based on the image, and selecting 50 μm or less from the total foreign substances. The number of white foreign substances having a size of is counted.
好ましくは、ガラス合紙であって、前記測定方法により計数した50μm以下の大きさの白色異物の数が6個/269m2以下である。 Preferably, the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less, which is glass interleaving paper and counted by the measurement method, is 6/269 m 2 or less.
好ましくは、ガラス合紙であって、前記測定方法により計数した50μm以下の大きさの白色異物の数が3個/269m2以下である。 Preferably, the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less, which is glass interleaving paper and counted by the measurement method, is 3/269 m 2 or less.
好ましくは、ガラス合紙であって、JIS P8224: 2002に準拠して測定さ
れる有機物の含有量が0.08質量%以下である。
Preferably, it is glass interleaving paper, and the content of the organic substance measured according to JIS P8224: 2002 is 0.08% by mass or less.
本発明の別の一態様によるガラス板積層体は、上記ガラス合紙とガラス板とを交互に積層させたガラス板積層体である。 A glass plate laminate according to another aspect of the present invention is a glass plate laminate obtained by alternately laminating the glass interleaving paper and the glass plate.
本発明の別の一態様によるガラス板梱包体は、上記ガラス板積層体と、前記ガラス板積層体を載置するパレットとを備える。 A glass sheet package according to another aspect of the present invention includes the above-described glass sheet laminate and a pallet on which the glass sheet laminate is placed.
好ましくは、前記パレットが、前記ガラス板積層体が平積み状態で載置されるパレットである。 Preferably, the pallet is a pallet on which the glass sheet laminate is placed in a flat-stacked state.
本発明によれば、ガラス合紙から転写される異物に起因する汚染、及び配線等の不良の発生を抑制できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of the contamination resulting from the foreign material transferred from glass interleaving paper, and the defect of wiring etc. can be suppressed.
以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The present invention is described by the following preferred embodiments. Changes can be made in many ways without departing from the scope of the invention, and other embodiments other than this embodiment can be used. Accordingly, all modifications within the scope of the present invention are included in the appended claims.
ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“ 〜 ”を用いて表す場合は、“ 〜 ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。 Here, parts denoted by the same symbols in the drawings are similar elements having similar functions. Further, in the present specification, when a numerical range is expressed by using “”, upper and lower numerical values indicated by “〜” are also included in the numerical range.
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態を説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
前述のように、ガラス合紙から異物がガラス板に転写して、ガラス板の表面の汚染、ガラス板の表面に形成された配線の断線等の不良を抑制するために、従来、ガラス合紙中の異物の含有量を低減することが行われている。 As described above, foreign substances are transferred from the glass interleaf to the glass plate, and contamination of the surface of the glass plate, disconnection of wiring formed on the surface of the glass plate, and other defects are suppressed. It has been practiced to reduce the content of foreign substances therein.
しかしながら、本発明者らの検討によれば、FPD用のガラス板などの、表面に配線や電極等の素子が形成されるガラス板では、昨今のディスプレイの大型化や高精細化により、従来は問題が発生していなかった異物の個数が少ないガラス合紙であっても、配線等の不良が、決して低くはない確率で発生した。そこで、さらに検討したところ、50μm以下の特定の異物の個数を低減することにより、配線の断線等の不良を抑制することを見出し、本発明に至った。 However, according to the study of the present inventors, in a glass plate such as a glass plate for an FPD on which elements such as wirings and electrodes are formed on the surface, conventionally, due to the recent increase in size and high definition of the display, the conventional technology has been proposed. Even in the case of glass interleaf paper in which the number of foreign substances in which no problem occurred was small, defects such as wiring occurred with a probability that was not low. Therefore, as a result of further study, they have found that the number of specific foreign substances having a size of 50 μm or less is reduced to thereby suppress defects such as disconnection of wirings, and have reached the present invention.
(ガラス合紙)
本実施形態に使用されるガラス合紙としては、クラフトパルプ(KP)、サルファイトパルプ(SP)、ソーダパルプ(AP)等の化学パルプ;セミケミカルパルプ(SCP)、ケミグランドウッドパルプ(CGP)等の半化学パルプ;砕木パルプ(GP)、サーモメカニカルパルプ(TMP、BCTMP)、リファイナーグランドウッドパルプ(RGP)等の機械パルプ;楮、三椏、麻、ケナフ等を原料とする非木材繊維パルプ;合成パルプ;等、各種の原料からなるガラス合紙を利用することができる。さらに、本発明のガラス合紙は、これらの混合物を原料とするものでもよく、セルロース等を含有するものを原料としてもよい。
(Glass insert)
Chemical pulp such as kraft pulp (KP), sulfite pulp (SP), and soda pulp (AP); semi-chemical pulp (SCP), and chemical ground wood pulp (CGP) are used as glass interleaf paper used in the present embodiment. Semi-chemical pulp; mechanical pulp such as groundwood pulp (GP), thermomechanical pulp (TMP, BCTMP), refiner ground wood pulp (RGP); Glass paper made of various raw materials such as synthetic pulp; can be used. Further, the glass interleaving paper of the present invention may be a mixture of these as a raw material, or a mixture containing cellulose or the like.
また、これらの原料は、古紙であっても、バージンパルプ(Virgin pulp)であっても、古紙とバージンパルプとの混合物であってもよい。中でも、バージンパルプが好ましい。 These raw materials may be used paper, virgin pulp, or a mixture of used paper and virgin pulp. Among them, virgin pulp is preferred.
本実施形態のガラス合紙においては、何れのパルプであっても、ガラス板に転写した際に配線や電極の不良等の大きな原因となる、シリコーン系の消泡剤(シリコーンを含有する消泡剤)を使用しないで製造したパルプを原料として用いるのが好ましい。 In the glass interleaf paper of this embodiment, any of the pulp is a silicone-based defoaming agent (a defoaming agent containing silicone), which is a major cause of defects in wiring and electrodes when transferred to a glass plate. It is preferable to use pulp produced without using the agent) as a raw material.
中でも、ポリジメチルシロキサンを含有する消泡剤を使用しないで製造したパルプが、本実施形態のガラス合紙の原料として、特に好適に用いられる。 Above all, pulp produced without using an antifoaming agent containing polydimethylsiloxane is particularly preferably used as a raw material of the glass interleaf paper of the present embodiment.
また、ガラス合紙は、JIS P8224: 2002に準拠して測定される有機物の
含有量が0.08質量%以下であることが好ましい。有機物の含有量の下限値は、特に限定されるものではないが、例えば0・001質量%以上である。有機物の含有量が0.08質量%以下とすることにより、ガラス合紙からガラス板に有機物が転写されるのを抑制することができる。
Further, the glass interleaving paper preferably has an organic matter content of 0.08% by mass or less measured in accordance with JIS P8224: 2002. The lower limit of the content of the organic substance is not particularly limited, but is, for example, 0.001% by mass or more. When the content of the organic substance is 0.08% by mass or less, the transfer of the organic substance from the glass interleaving paper to the glass plate can be suppressed.
(測定方法)
次に、ガラス合紙の異物の測定方法について説明する。図1には、実施形態の測定装置10の全体構成図が示されている。
(Measuring method)
Next, a method for measuring foreign matter in glass slip paper will be described. FIG. 1 shows an overall configuration diagram of a measuring apparatus 10 according to the embodiment.
図1(A)には押圧装置12、図1(B)には洗浄装置14、図1(C)には欠陥検査装置16、及び図1(D)には表示装置18が、それぞれ示されている。 1A shows the pressing device 12, FIG. 1B shows the cleaning device 14, FIG. 1C shows the defect inspection device 16, and FIG. 1D shows the display device 18. ing.
押圧装置12は、下定盤20、上定盤22、及びシリンダ装置24から構成される。下定盤20の上面には、板状の吸着パッド26が貼り付けられており、吸着パッド26の水平な上面に検査対象の矩形状の評価用ガラス板28が着脱自在に吸着保持される。ここで評価用ガラス板28は、厚さ0.7mmで、370mm×470mmのサイズである。 The pressing device 12 includes a lower platen 20, an upper platen 22, and a cylinder device 24. A plate-shaped suction pad 26 is attached to the upper surface of the lower stool 20, and a rectangular evaluation glass plate 28 to be inspected is detachably suction-held on the horizontal upper surface of the suction pad 26. Here, the evaluation glass plate 28 has a thickness of 0.7 mm and a size of 370 mm × 470 mm.
評価用ガラス板28としては、液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)、有機エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ等のFPD用ガラス板を例示するが、これに限定されるものではなく、建築用ガラス板、車両用ガラス板等を含む、平板状のガラス板を挙げることもできる。 Examples of the evaluation glass plate 28 include a glass plate for FPD such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic electroluminescence (EL) display, but are not limited thereto. A flat glass plate including a glass plate, a glass plate for a vehicle, and the like can also be given.
上定盤22は、下定盤20に対し、上下方向に対向して配置される。また、上定盤22は、不図示のフレームに固定されている。また、上定盤22の下面には、板状の吸着パッド30が貼り付けられており、吸着パッド30の水平な下面にダミーのガラス板32が着脱自在に吸着保持されている。 The upper stool 22 is arranged to face the lower stool 20 in the up-down direction. The upper stool 22 is fixed to a frame (not shown). A plate-like suction pad 30 is attached to the lower surface of the upper stool 22, and a dummy glass plate 32 is detachably suction-held on a horizontal lower surface of the suction pad 30.
後述する合紙供給装置(図2参照)34から巻き戻された帯状のガラス合紙36は、評価用ガラス板28とダミーのガラス板32との間の隙間に、評価用ガラス板28及びダミーのガラス板32の各々の表面と平行に挿通される。 The strip-shaped glass interleaving paper 36 unwound from the interleaf paper supply device 34 (see FIG. 2) described later is placed in the gap between the evaluation glass plate 28 and the dummy glass plate 32 and the evaluation glass plate 28 and the dummy glass plate 32. Is inserted in parallel with each surface of the glass plate 32.
シリンダ装置24は、下定盤20を昇降させる流体シリンダであり、シリンダ本体38が不図示の架台に固定され、シリンダ本体38に対して伸縮動作するピストン40の上端部が下定盤20の下面に固定されている。 The cylinder device 24 is a fluid cylinder that raises and lowers the lower platen 20. The cylinder body 38 is fixed to a pedestal (not shown), and the upper end of a piston 40 that expands and contracts with respect to the cylinder body 38 is fixed to the lower surface of the lower platen 20. Have been.
したがって、ピストン40が伸長動作されると、下定盤20が上昇することにより、下定盤20の上方に位置しているガラス合紙36に評価用ガラス板28が当接する。継続する下定盤20の上昇移動により、ガラス合紙36が上方(ダミーのガラス板32に近づく方向)に持ち上げられた後、評価用ガラス板28とダミーのガラス板32とに挟圧される。これにより、評価用ガラス板28とガラス合紙36とが押圧される。また、押圧時において、ガラス合紙36は上定盤22にガラス板32を介して支持される。更に、評価用ガラス板28とダミーのガラス板32とによってガラス合紙36を挟圧することにより、梱包体(図6)に合紙を介して積層されたガラス板積層体(図6)の形態が再現される。また、所定の押圧力によって評価用ガラス板28をガラス合紙36に押圧することによって実際の輸送時に近い負荷を再現できる。更に、ピストン40を収縮動作させると、下定盤20が押圧を除去する方向に下降する。 Therefore, when the piston 40 is extended, the lower platen 20 rises, and the evaluation glass plate 28 comes into contact with the glass interleaf 36 located above the lower platen 20. The glass interleaf 36 is lifted upward (in a direction approaching the dummy glass plate 32) by the continued upward movement of the lower platen 20, and then pressed between the evaluation glass plate 28 and the dummy glass plate 32. Thereby, the evaluation glass plate 28 and the glass interleaf 36 are pressed. At the time of pressing, the glass interleaf 36 is supported on the upper platen 22 via the glass plate 32. Further, the glass interleaf 36 is sandwiched between the evaluation glass plate 28 and the dummy glass plate 32 to form a glass plate laminate (FIG. 6) laminated on the package (FIG. 6) via the interleaf. Is reproduced. Further, by pressing the evaluation glass plate 28 against the glass interleaf paper 36 with a predetermined pressing force, a load close to the time of actual transportation can be reproduced. Further, when the piston 40 is contracted, the lower platen 20 descends in a direction to remove the pressing.
なお、実施形態では、下定盤20を昇降動作させたが、これに限定されるものではなく、下定盤20及び上定盤22を相対的に昇降動作させればよい。 In the embodiment, the lower platen 20 is moved up and down. However, the present invention is not limited to this. The lower platen 20 and the upper platen 22 may be moved up and down relatively.
図2は、押圧装置12と合紙供給装置34とによる押圧動作及び合紙供給動作を継時的に示した説明図である。 FIG. 2 is an explanatory diagram showing the pressing operation and the interleaf paper supply operation by the pressing device 12 and the interleaf paper supply device 34 over time.
実際にFPD用のガラス板を包装して搬送する際、一般的に、ガラス合紙は、製紙メーカー等からロール状で提供されたものを所望の寸法、形状(包装対象のガラス板と概ね相似形の矩形形状)に切断された状態で使用される。実施形態の測定装置10においては、切断前のロールの状態から巻き戻された状態の帯状のガラス合紙36が使用される。 When actually packaging and transporting a glass plate for FPD, glass interleaf generally has a desired size and shape (generally similar to the glass plate to be packaged) provided in a roll form from a paper maker or the like. It is used in the state cut into a rectangular shape. In the measuring device 10 of the embodiment, a band-shaped glass slip sheet 36 in a state of being unwound from a roll state before cutting is used.
合紙供給装置34は、ロール状に巻回された合紙ロール42を、その巻回軸44を中心に回転自在に支持する回転支持部46と、合紙ロール42から帯状のガラス合紙36を巻き取る巻取部48とから構成される。 The slip sheet supply device 34 includes a rotation support portion 46 that rotatably supports the slip sheet roll 42 wound in a roll shape about the winding shaft 44, and a band-shaped glass slip sheet 36 from the slip sheet roll 42. And a take-up section 48 for taking up.
図2(A)に示すように、ガラス合紙36の先端部を巻取軸54に固定する。このとき、下定盤20は、押圧位置から下方に退避した押圧除去位置に位置される。 As shown in FIG. 2A, the leading end of the glass slip sheet 36 is fixed to the winding shaft 54. At this time, the lower platen 20 is located at the pressure removing position retracted downward from the pressing position.
評価開始前の初期設定において、ガラス合紙36は合紙ロール42から矢印A方向に巻き戻されて、テンションローラ50に巻き掛けられるとともに、下定盤20と上定盤22との間の隙間に挿通される。そして、ガラス合紙36は、テンションローラ52に巻き掛けられて、ガラス合紙36の先端部が巻取部48の巻取軸54に固定される。巻取軸54は、モータ56の動力が伝達されて、ガラス合紙36を合紙ロール42から巻き戻す方向(矢印A方向)と同じ方向に回転される。このようにして、ガラス合紙36は、巻取軸54に巻き取られる。 In the initial setting before the start of the evaluation, the glass interleaf 36 is rewound in the direction of arrow A from the interleaf roll 42, is wound around the tension roller 50, and is inserted into the gap between the lower platen 20 and the upper platen 22. It is inserted. Then, the glass insert 36 is wound around the tension roller 52, and the leading end of the glass insert 36 is fixed to the winding shaft 54 of the winding section 48. The power of the motor 56 is transmitted to the winding shaft 54, and the winding shaft 54 is rotated in the same direction as the direction in which the glass slip sheet 36 is rewound from the slip sheet roll 42 (the direction of the arrow A). In this way, the glass interleaf 36 is wound around the winding shaft 54.
次に、図2(B)に示すように、シリンダ装置24のピストン40を伸長動作させ、評価用ガラス板28とガラス合紙36とを押圧する矢印B方向に下定盤20を上昇させてガラス合紙36に評価用ガラス板28の表面を押圧する。このときの条件は、4秒/回の時間、0.45MPaの圧力、及び評価用ガラス板28の温度を55℃とする。 Next, as shown in FIG. 2 (B), the piston 40 of the cylinder device 24 is extended, and the lower platen 20 is raised in the direction of arrow B pressing the evaluation glass plate 28 and the glass interleaf 36 so that the glass is removed. The surface of the evaluation glass plate 28 is pressed against the slip sheet 36. The conditions at this time are 4 seconds / time, a pressure of 0.45 MPa, and a temperature of the evaluation glass plate 28 of 55 ° C.
次に、図2(C)に示すように、シリンダ装置24のピストン40を収縮動作させ、下定盤20を、押圧位置から下方に退避した押圧除去位置に位置させる。この後、合紙供給装置34によってガラス合紙36を合紙ロール42から1枚分だけ巻き戻す。 Next, as shown in FIG. 2C, the piston 40 of the cylinder device 24 is contracted, and the lower platen 20 is positioned at the pressure removing position retracted downward from the pressing position. Thereafter, the interleaf paper supply device 34 rewinds the glass interleaf 36 from the interleaf roll 42 by one sheet.
なお、図2では不図示であるが、シリンダ装置24とモータ56とを間欠的に駆動制御する制御装置が備えられている。この制御装置は、矢印B、Cで示すシリンダ装置24による間欠的な押圧・押圧解除動作と、矢印Aで示すモータ56による1枚分の間欠的な合紙巻取動作とを交互に複数回行うように制御する。すなわち、制御装置は、合紙供給装置34による合紙供給工程と、シリンダ装置24による押圧工程とを評価用ガラス板28に対して交互に複数回行うように、シリンダ装置24とモータ56とを間欠的に駆動制御する。 Although not shown in FIG. 2, a control device for intermittently controlling the driving of the cylinder device 24 and the motor 56 is provided. This control device alternately performs the intermittent pressing and releasing operation of the cylinder device 24 indicated by arrows B and C and the intermittent take-up operation of one sheet by the motor 56 indicated by arrow A alternately a plurality of times. Control. That is, the control device controls the cylinder device 24 and the motor 56 so that the slip sheet supply process by the slip sheet supply device 34 and the pressing process by the cylinder device 24 are alternately performed a plurality of times on the evaluation glass plate 28. Drive control intermittently.
ガラス合紙36の1枚分の合紙巻取動作とは、評価用ガラス板28を包装して搬送する際に使用されるガラス合紙36のサイズを1枚分とし、その1枚分を巻き取る動作をいう。これにより、評価用ガラス板28は、常に新しいガラス合紙36に押圧されることになる。合紙ロール42に対して、合紙巻取動作を複数回繰り返すことにより、大面積の合紙ロール42の異物情報を1枚の評価用ガラス板28に集約することができる。 The take-up operation for one sheet of the glass sheet 36 is performed when the size of the glass sheet 36 used for packaging and transporting the evaluation glass plate 28 is set to one sheet, and the one sheet is wound. Take action. As a result, the evaluation glass plate 28 is always pressed against the new glass interleaf 36. By repeating the interleaf take-up operation on the interleaf roll 42 a plurality of times, the foreign substance information of the large interleaf roll 42 can be collected on one evaluation glass plate 28.
図2(D)においては、上記動作を100回分繰り返す。 In FIG. 2D, the above operation is repeated 100 times.
合紙ロール42の全長分の合紙巻取動作を繰り返すことができるが、異物情報を1枚の評価用ガラス板28に集約するための時間が長くなる。評価用ガラス板28に集約される異物情報と時間とを考慮して、本実施形態では合紙巻取動作を100回、つまりガラス合紙36の100枚分の異物情報を評価用ガラス板28に集約させている。 Although the interleaf take-up operation for the entire length of the interleaf roll 42 can be repeated, the time required for collecting the foreign substance information on one evaluation glass plate 28 becomes longer. In consideration of the foreign substance information and time gathered on the evaluation glass plate 28, in the present embodiment, the slip sheet take-up operation is performed 100 times, that is, the foreign substance information for 100 sheets of the glass insert paper 36 is transferred to the evaluation glass plate 28. They are being aggregated.
また、実施形態の押圧装置12で、評価用ガラス板28と同サイズに切断したガラス合紙36を使用する場合には、上定盤22のダミーのガラス板32の下面に、そのガラス合紙36を貼り付ければよい。これにより、ガラス合紙36は、ダミーのガラス板32を介して上定盤22に支持される。 In the case where the pressing device 12 of the embodiment uses the glass interleaf 36 cut to the same size as the evaluation glass plate 28, the glass interleaf 36 is placed on the lower surface of the dummy glass plate 32 of the upper stool 22. 36 may be attached. As a result, the glass interleaf 36 is supported by the upper stool 22 via the dummy glass plate 32.
図1(B)に示す洗浄装置14は、押圧装置12によってガラス合紙36が押圧された評価用ガラス板28の表面を洗浄し、ガラス合紙36から評価用ガラス板28の表面に付着(転写)した異物を除去する。 The cleaning device 14 shown in FIG. 1B cleans the surface of the evaluation glass plate 28 on which the glass interleaf 36 is pressed by the pressing device 12 and adheres to the surface of the evaluation glass plate 28 from the glass interleaf 36 ( The transferred foreign matter is removed.
洗浄装置14では、評価用ガラス板28をラインスピード200cm/minで搬送しながら、ノズル58から純水を57L/minの流量で供給するとともに、上側第1ロールブラシ60、上側第2ロールブラシ62、下側第1ロールブラシ64、及び下側第2ロールブラシ66を300rpmの回転数(評価用ガラス板28の搬送方向と同方向)で、評価用ガラス板28を洗浄する。なお、洗浄で除去し難い異物は除去できずに評価用ガラス板28の表面に残る。 In the cleaning device 14, while conveying the evaluation glass plate 28 at a line speed of 200 cm / min, pure water is supplied from the nozzle 58 at a flow rate of 57 L / min, and the upper first roll brush 60 and the upper second roll brush 62. The lower first roll brush 64 and the lower second roll brush 66 are cleaned at a rotation speed of 300 rpm (in the same direction as the transport direction of the evaluation glass plate 28). Note that foreign substances that are difficult to remove by cleaning cannot be removed and remain on the surface of the evaluation glass plate 28.
実施形態では、評価用ガラス板28の上側に配置された上側第1ロールブラシ60、及び上側第2ロールブラシ62、評価用ガラス板28の下側に配置された下側第1ロールブラシ64及び下側第2ロールブラシ66を備えている。また、評価用ガラス板28の表面に純水を噴射するノズル58が設けられている。 In the embodiment, the upper first roll brush 60 and the upper second roll brush 62 disposed above the evaluation glass plate 28, the lower first roll brush 64 disposed below the evaluation glass plate 28, and A lower second roll brush 66 is provided. A nozzle 58 for injecting pure water onto the surface of the evaluation glass plate 28 is provided.
上側第1ロールブラシ60、上側第2ロールブラシ62、下側第1ロールブラシ64、及び下側第2ロールブラシ66は、評価用ガラス板28の表面に接触して回転される。 The upper first roll brush 60, the upper second roll brush 62, the lower first roll brush 64, and the lower second roll brush 66 are rotated in contact with the surface of the evaluation glass plate.
上側第1ロールブラシ60、上側第2ロールブラシ62、下側第1ロールブラシ64、及び下側第2ロールブラシ66は、全て同じロールブラシである。ロールブラシは、60φのロール径(内径)と、80φのロール径(外径)と、0.06mmの毛径を有する密巻のロールブラシである。ロールブラシの毛はナイロン612で構成される。密巻とは、植毛したチャンネルブラシを隙間なくロールに巻きつけることを意味する。 The upper first roll brush 60, the upper second roll brush 62, the lower first roll brush 64, and the lower second roll brush 66 are all the same roll brush. The roll brush is a close-wound roll brush having a roll diameter (inner diameter) of 60φ, a roll diameter (outer diameter) of 80φ, and a bristle diameter of 0.06 mm. The bristles of the roll brush are made of nylon 612. Close winding means that the planted channel brush is wound around the roll without any gap.
図3(A)に示すように、上側第1ロールブラシ60と上側第2ロールブラシ62との距離L1は200mmである。また、上側第1ロールブラシ60と下側第1ロールブラシ64との距離L2は50mmである。 As shown in FIG. 3A, the distance L1 between the upper first roll brush 60 and the upper second roll brush 62 is 200 mm. The distance L2 between the upper first roll brush 60 and the lower first roll brush 64 is 50 mm.
また、図3(A)に示すように、評価用ガラス板28が通過する前は、上側第1ロールブラシ60と下側第1ロールブラシ64とは、それぞれの毛が接触する位置に、つまり上下0mmの位置に配置されている。同様に、上側第2ロールブラシ62と下側第2ロールブラシ66とは、それぞれの毛が接触する位置に、つまり上下0mmの位置に配置されている。 Further, as shown in FIG. 3A, before the evaluation glass plate 28 passes, the upper first roll brush 60 and the lower first roll brush 64 are located at positions where their hairs come into contact with each other, that is, It is arranged at a position of 0 mm vertically. Similarly, the upper second roll brush 62 and the lower second roll brush 66 are arranged at positions where the respective bristles come into contact, that is, at positions of 0 mm vertically.
洗浄装置14によれば、評価用ガラス板28を矢印D方向に搬送しながら、ノズル58から評価用ガラス板28の表面に純水を供給するとともに、上側第1ロールブラシ60、上側第2ロールブラシ62、下側第1ロールブラシ64、及び下側第2ロールブラシ66を評価用ガラス板28の搬送方向と同じ向きに回転させることによって、評価用ガラス板28の表面を洗浄する。 According to the cleaning device 14, while conveying the evaluation glass plate 28 in the direction of arrow D, pure water is supplied from the nozzle 58 to the surface of the evaluation glass plate 28, and the upper first roll brush 60 and the upper second roll The surface of the evaluation glass plate 28 is cleaned by rotating the brush 62, the lower first roll brush 64, and the lower second roll brush 66 in the same direction as the transport direction of the evaluation glass plate 28.
図3(A)に示すように、上側第1ロールブラシ60と下側第1ロールブラシ64との距離、及び上側第2ロールブラシ62と下側第2ロールブラシ66との距離は上下0mmに設置されている。したがって、図3(B)に示すように、評価用ガラス板28が、上側第1ロールブラシ60と下側第1ロールブラシ64との間、及び上側第2ロールブラシ62と下側第2ロールブラシ66との間を通過する際、上側第1ロールブラシ60、上側第2ロールブラシ62、下側第1ロールブラシ64、及び下側第2ロールブラシ66は、評価用ガラス板28の板厚相当分の圧力で、評価用ガラス板28に押し当てられることとなる。 As shown in FIG. 3A, the distance between the upper first roll brush 60 and the lower first roll brush 64 and the distance between the upper second roll brush 62 and the lower second roll brush 66 are 0 mm up and down. is set up. Therefore, as shown in FIG. 3B, the evaluation glass plate 28 is positioned between the upper first roll brush 60 and the lower first roll brush 64, and between the upper second roll brush 62 and the lower second roll brush. When passing through the brush 66, the upper first roll brush 60, the upper second roll brush 62, the lower first roll brush 64, and the lower second roll brush 66 have a thickness of the evaluation glass plate 28. It is pressed against the evaluation glass plate 28 with a considerable pressure.
押圧装置12による押圧工程を経た評価用ガラス板28の表面には、ガラス合紙36からの塵、紙屑等の洗浄で除去し得る異物と、洗浄で除去し難い異物が付着している。ガラス合紙36、及び評価用ガラス板28の評価対象物は、評価用ガラス板28の表面に存在する洗浄で除去し難い異物である。よって、洗浄装置14による洗浄工程では、洗浄で除去し得る異物を評価用ガラス板28から除去し、洗浄で除去し難い異物をガラス板に残す。 On the surface of the evaluation glass plate 28 that has been subjected to the pressing step by the pressing device 12, foreign matter that can be removed by cleaning such as dust and paper debris from the glass interleaf paper 36 and foreign matter that is difficult to remove by cleaning adhere. The objects to be evaluated of the glass interleaf 36 and the evaluation glass plate 28 are foreign substances present on the surface of the evaluation glass plate 28 that are difficult to remove by washing. Therefore, in the cleaning process by the cleaning device 14, foreign substances that can be removed by cleaning are removed from the evaluation glass plate 28, and foreign substances that are difficult to remove by cleaning remain on the glass plate.
図1(C)に示すように、洗浄された評価用ガラス板28を欠陥検査装置16(オルボテック社のオフライン欠陥検査システム FPI−6000シリーズ(型番:FPI6090D)に搬送する。欠陥検査装置16は洗浄された評価用ガラス板28の表面の異物を検査する。欠陥検査装置16は、光透過方式により、評価用ガラス板28の表面に存在する洗浄で除去し難い異物を検査し、全異物の画像を取得する。 1C, the cleaned evaluation glass plate 28 is transported to a defect inspection device 16 (offline defect inspection system FPI-6000 series (model number: FPI6090D) of Orbotech Co.). The inspected foreign material on the surface of the evaluation glass plate 28 is inspected by the light transmission method, and the defect inspection device 16 inspects the foreign material on the surface of the evaluation glass plate 28 which is difficult to remove by washing, and an image of all the foreign materials. To get.
次に、図1(D)に示すように、表示装置18に、欠陥検査装置16で取得された画像80を表示する。画像80に基づいて、全異物を目視で外観観察する。全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数する。白色異物の大きさの下限値は、特に限定されるものではないが、例えば0.1μm以上である。 Next, as shown in FIG. 1D, an image 80 acquired by the defect inspection device 16 is displayed on the display device 18. Based on the image 80, the appearance of all foreign substances is visually observed. The number of white foreign substances having a size of 50 μm or less is counted from all the foreign substances. The lower limit of the size of the white foreign matter is not particularly limited, but is, for example, 0.1 μm or more.
次に、白色異物の数を計数する測定方法について説明する。 Next, a measuring method for counting the number of white foreign substances will be described.
欠陥検査装置16であるオルボテック社製 オフライン欠陥検査システム(FPI−6000シリーズ(型番:FPI6090D))を用いて、洗浄された評価用ガラス板28の全異物を検査して、全異物の画像を取得する。 Using a defect inspection apparatus 16 or an off-line defect inspection system manufactured by Orbotech (FPI-6000 series (model number: FPI6090D)), all the foreign substances on the cleaned evaluation glass plate 28 are inspected, and an image of all the foreign substances is obtained. I do.
オフライン欠陥検査システムを使用する際の条件を以下に示す。 The conditions for using the offline defect inspection system are shown below.
感度を高感度モード(2μm)とし、非測定エリアを端から10mmとする。さらに、ランプ照度を、標準感度モード(4μm)の「66」ではなく「30」に設定する。つまり、標準感度モードと比較してランプ照度を下げる。 The sensitivity is set to the high sensitivity mode (2 μm), and the non-measurement area is set to 10 mm from the end. Further, the lamp illuminance is set to “30” instead of “66” in the standard sensitivity mode (4 μm). That is, the lamp illuminance is reduced as compared with the standard sensitivity mode.
一方、受光素子側の設定(閾値)について、暗い部分に有効な閾値は、標準感度モードの「15」ではなく「30」に設定される。つまり、閾値を上げているので、標準感度モードと比較して、より明るい部分を検出する。 On the other hand, as for the setting (threshold) on the light receiving element side, the threshold effective for the dark part is set to “30” instead of “15” in the standard sensitivity mode. That is, since the threshold is raised, a brighter portion is detected as compared with the standard sensitivity mode.
また、明るい部分に有効な閾値は、標準感度モードの「10」と同様に「10」に設定される。 In addition, the threshold value effective for a bright portion is set to “10” in the same manner as “10” in the standard sensitivity mode.
欠陥検査装置16には全欠陥画像が自動的に保存される。 The defect inspection device 16 automatically saves all defect images.
最後に、欠陥検査装置16で得られた画像80を表示装置18に表示し、画像80に基づいて全異物を目視で外観観察し、全異物の中から50μm以下の白色異物の数を計数する。 Finally, the image 80 obtained by the defect inspection device 16 is displayed on the display device 18, and the appearance of all foreign substances is visually observed based on the image 80, and the number of white foreign substances of 50 μm or less is counted from among all the foreign substances. .
ここで「目視で外観観察」とは、欠陥検査装置16で得られた画像80に付与されるスケールバーを参考に、長径方向を基準にして、50μm以下の異物を挙げる行為と、下記に示す複数の異物の種類の中から、白色異物を挙げる行為とを、順不同で含む。 Here, “visually observing the appearance” refers to the act of raising a foreign substance of 50 μm or less based on the major axis direction with reference to a scale bar attached to the image 80 obtained by the defect inspection device 16 and The act of listing a white foreign substance from among a plurality of types of foreign substances is included in any order.
次に、欠陥検査装置16により取得される評価用ガラス板28の全異物の種類について説明する。図4は、評価用ガラス板28にガラス合紙36を100回分押圧し、洗浄装置14で洗浄した後に、欠陥検査装置16により取得された異物の画像である。発明者らは、欠陥検査装置16により取得された画像に基づいて異物を検討したところ、異物には、いくつかの種類が存在することを見出した。 Next, the types of all foreign substances on the evaluation glass plate 28 acquired by the defect inspection device 16 will be described. FIG. 4 is an image of the foreign matter acquired by the defect inspection device 16 after the glass interleaf 36 is pressed against the evaluation glass plate 28 by 100 times and washed by the cleaning device 14. The present inventors have examined foreign matter based on an image acquired by the defect inspection device 16 and found that there are several types of foreign matter.
図4(A)は、50μm以下のサイズの黒色の異物(黒/小)を示している。図4(B)は、50μmより大きいサイズの黒色の異物((黒/大)を示している。図4(C)は、50μm以下のサイズの白色の異物(白/小)を示している。図4(D)は、50μmより大きいサイズの白色の異物(白/大)を示している。図4(E)は、複数個の異物の集合体(密集)を示している。図4(F)は、図4(A)から(E)の異物に含まれない異物(その他)を示している。 FIG. 4A shows a black foreign substance (black / small) having a size of 50 μm or less. 4 (B) shows a black foreign substance ((black / large) having a size of more than 50 μm, and FIG. 4 (C) shows a white foreign substance (white / small) having a size of 50 μm or less. Fig. 4 (D) shows a white foreign substance (white / large) having a size larger than 50 µm, and Fig. 4 (E) shows an aggregate (dense) of a plurality of foreign substances. (F) shows foreign matter (others) not included in the foreign matter of FIGS. 4 (A) to (E).
ここで、白色の異物(白色異物)とは、図4で示す如く、上記欠陥検査条件で撮影された画像において、異物の外周部(輪郭部)と異物の内部に、色味のコントラストが確認できる箇所を有する異物を指す。 Here, the white foreign matter (white foreign matter) is, as shown in FIG. 4, in an image photographed under the above defect inspection conditions, the color contrast is confirmed between the outer peripheral portion (outline portion) of the foreign material and the inside of the foreign material. Refers to a foreign object that has a possible location.
また、一つの画像内に複数個の異物の集合体が存在する場合、その集合体を一つの異物と捉えて、その長径方向を基準にして、大きさを判断する。 When a plurality of aggregates of foreign substances are present in one image, the aggregate is regarded as one foreign substance, and the size is determined based on the major axis direction.
異物のサイズは、長径方向を基準にして、50μm以下の異物と50μmより大きい異物に分類される。 The size of the foreign matter is classified into a foreign matter of 50 μm or less and a foreign matter of more than 50 μm based on the major axis direction.
また、例えば、2種類の異なるガラス合紙について、全異物の個数を計数したときに、異物の総数はほぼ同じであるが、一方のガラス合紙の50μm以下の大きさの白色異物の数が、もう一方のガラス合紙の50μm以下の大きさの白色異物の数より少ない場合がある。 Also, for example, when counting the total number of foreign substances for two different types of glass slip sheets, the total number of foreign substances is almost the same, but the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less in one glass slip sheet is reduced. In some cases, the number is smaller than the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less in the other glass interleaving paper.
また、別の2種類の異なるガラス合紙について、一方のガラス合紙の異物の総数はもう一方のガラス合紙の異物の総数より少ないとしても、50μm以下の大きさの白色異物の個数に関しては、一方のガラス合紙の個数が、もう一方のガラス合紙の個数より多いことがある。なお、白色異物の数の下限値は、特に限定されるものではないが、例えば1個/269m2以上である。 In addition, for another two different types of glass slip sheets, even if the total number of foreign matters on one glass slip sheet is smaller than the total number of foreign matters on the other glass slip sheet, the number of white foreign matters having a size of 50 μm or less is In some cases, the number of one glass interleaving paper is larger than the number of the other glass interleaving paper. The lower limit of the number of white foreign substances is not particularly limited, but is, for example, 1/269 m 2 or more.
つまり、異物の総数に占める50μm以下の大きさの白色異物の個数はガラス合紙ごとに異なる。発明者らは異物の総数ではなく、50μm以下の大きさの白色異物の個数に注目し、50μm以下の大きさの白色異物の少ないガラス合紙が、結果としてガラス板の断線等の不良の発生を抑制できることを見出した。この結果については、後述の実施例で説明する。 That is, the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less in the total number of foreign substances differs for each glass slip sheet. The inventors focused on the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less, instead of the total number of foreign substances, and the glass interleaving paper with a small white foreign substance having a size of 50 μm or less resulted in the occurrence of defects such as disconnection of the glass plate. Can be suppressed. This result will be described in an example described later.
白色異物について分析したところ、PET(ポリエチレンテレフタレート)やナイロン、EVA(エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂)等のいわゆる人工有機物が主であった。人工有機物は、例えば、ワイヤパートで使用されるプラスチック製のワイヤを紙原料液が通過した際、又はプレスパートで湿紙を数組のロールとフェルトを介して、機械的に圧搾脱水した際等、樹脂部材と紙原料液又は湿紙とが接触した際に混入すると考えられる。 When white foreign matter was analyzed, so-called artificial organic substances such as PET (polyethylene terephthalate), nylon, and EVA (ethylene / vinyl acetate copolymer resin) were mainly used. The artificial organic matter is, for example, when the paper raw material liquid passes through the plastic wire used in the wire part, or when the wet paper is mechanically squeezed and dewatered through several sets of rolls and felt in the press part, and the like. It is considered that the resin material is mixed when the resin material comes into contact with the paper raw material liquid or the wet paper.
発明者らが鋭意検討を重ねた結果、特に、白色異物の発生原因としてカンバスと呼ばれる接触部材からの影響が大きいことが分かった。 As a result of extensive studies by the inventors, it has been found that the influence of a contact member called a canvas is particularly large as a cause of the generation of white foreign matter.
(ガラス合紙の製造方法)
図5は、ガラス合紙を製紙する抄紙機100の概略構成図ある。
(Method of manufacturing glass interleaving paper)
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a paper machine 100 that makes glass interleaving paper.
図5に示すように、ガラス合紙用原料液(パルプを水で希釈した液体)は、ヘッドボックス112から、ワイヤパート114に設置された下ワイヤ116の上に、シート状に供給される。下ワイヤ116に供給された紙原料液は、次いで、下ワイヤ116と上ワイヤ118とによって挟み込まれることにより、均一の厚さに広げられ、かつ脱水されて、湿紙(紙)となる。 As shown in FIG. 5, a raw material liquid for glass interleaving paper (a liquid obtained by diluting pulp with water) is supplied in a sheet shape from a head box 112 onto a lower wire 116 installed in a wire part 114. The paper raw material liquid supplied to the lower wire 116 is then sandwiched between the lower wire 116 and the upper wire 118 to be spread to a uniform thickness and dewatered to become wet paper (paper).
ワイヤパート114の下ワイヤ116および上ワイヤ118は、無端帯状に形成された透過膜である。具体的には、プラスチックまたは金属材料で作られた網、もしくは、天然繊維または合成繊維からなるフェルト製の無端帯である。 The lower wire 116 and the upper wire 118 of the wire part 114 are permeable membranes formed in an endless strip shape. Specifically, it is a net made of a plastic or a metal material, or a felt endless band made of a natural fiber or a synthetic fiber.
下ワイヤ116および上ワイヤ118は、複数のローラに掛け渡されて、図示を省略するモータの駆動力を、複数のローラの中の駆動ローラに伝達することにより、所定の速度で周回移動されている。 The lower wire 116 and the upper wire 118 are wrapped around a plurality of rollers and transmitted at a predetermined speed by transmitting a driving force of a motor (not shown) to a driving roller among the plurality of rollers. I have.
ワイヤパート114で形成された湿紙は、プレスローラ、無端帯状のフェルト、およびプレスローラ対等を有するプレスパート120に搬送され、ここで、さらなる脱水とプレスとが、同時に行われる。 The wet paper formed by the wire part 114 is transported to a press part 120 having a press roller, an endless belt-shaped felt, a pair of press rollers, and the like, where further dewatering and pressing are performed simultaneously.
プレスパート120を通過した湿紙は、複数本のローラで構成されるドライヤパート124に搬送され、ドライヤパート124を通過中に、例えば約120℃の雰囲気で乾燥される。 The wet paper web that has passed through the press part 120 is conveyed to a dryer part 124 composed of a plurality of rollers, and is dried in an atmosphere of, for example, about 120 ° C. while passing through the dryer part 124.
ドライヤパート124を通過する際、湿紙をそのまま高速で搬送すると紙切れのおそれがあるため、カンバスと呼ばれる補助部材を湿紙に接触させた状態で搬送する。本実施形態のような白色異物の少ないガラス板を得るためには、以下のようにすることが好ましい。すなわち、このカンバスを構成する材料にPET(ポリエチレンテレフタレート)やナイロン、EVA(エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂)等のいわゆる人工有機物を用いないこと、又はカンバスが使用により劣化する前に交換すること、又はカンバスの表面をセルロースやSiO2等の白色異物になり得ないものでコーティングすること、などが挙げられる。 When the wet paper is transported as it is at a high speed as it passes through the dryer part 124, there is a risk that the wet paper will run out. Therefore, an auxiliary member called a canvas is transported in contact with the wet paper. In order to obtain a glass plate with few white foreign substances as in the present embodiment, the following is preferable. That is, so-called artificial organic substances such as PET (polyethylene terephthalate), nylon, and EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer resin) are not used for the material constituting the canvas, or the canvas is replaced before the canvas is deteriorated by use. Alternatively, the surface of the canvas is coated with a material that cannot become a white foreign substance such as cellulose or SiO 2 .
ドライヤパート124で乾燥された紙は、カレンダーパート126に搬送され、カレンダーロールによる挟持搬送等によってカレンダー処理を施されて、表裏面が平滑化される。なお、必要に応じて、ドライヤパート124とカレンダーパート126との間にコータパートを設け、平滑化された紙の表面に塗料等を塗布してもよい。 The paper dried in the dryer part 124 is conveyed to the calender part 126 and subjected to a calendering process by nipping and conveying with a calender roll, so that the front and back surfaces are smoothed. If necessary, a coater part may be provided between the dryer part 124 and the calendar part 126, and a paint or the like may be applied to the surface of the smoothed paper.
カレンダーパート126においてカレンダー処理を施された紙は、ガラス合紙としてリール128に巻き取られ、ロール状(以下、ジャンボロール130とする)にされる。 The paper that has been subjected to the calendar processing in the calendar part 126 is wound on a reel 128 as a glass interleaving paper, and formed into a roll (hereinafter, referred to as a jumbo roll 130).
ジャンボロール130とされたガラス合紙は、通常、例えば、ガラス合紙は、製品に応じた幅に切断されて、巻き取られ、8000〜10000m程度の所定長の長尺なガラス合紙を巻回した合紙ロール42とされる。すなわち、通常、ガラス合紙は、ジャンボロール130から小分けされる。 Usually, for example, the glass interleaf cut into a jumbo roll 130 is cut into a width corresponding to the product and wound up, and a long glass interleaf having a predetermined length of about 8000 to 10000 m is wound. The interleaf roll 42 is turned. That is, the glass interleaving paper is usually subdivided from the jumbo roll 130.
ガラス合紙は、ジャンボロール130から送り出され、カッタ134によって所定幅に切断(長手方向に切断)され、ワインダ136によって巻き取られる。ジャンボロール130から送り出したガラス合紙が、所定の長さになった時点で、カッタ134によって所定長さに切断(幅方向に切断)されて、所定の幅で、長尺なガラス合紙を巻回してなる合紙ロール42とされる。 The glass slip sheet is sent out from the jumbo roll 130, cut into a predetermined width by the cutter 134 (cut in the longitudinal direction), and wound up by the winder 136. When the glass interleaf sent from the jumbo roll 130 reaches a predetermined length, the glass interleaf is cut into a predetermined length (cut in the width direction) by the cutter 134, and a long glass interleaf with a predetermined width is cut. The interleaf roll 42 is wound.
合紙ロール42に巻回された長尺なガラス合紙は、積層するガラス板に応じたサイズのカットシート状(矩形状)に切断され、積層されるガラス板の間に介在される。 The long glass interleaf wound around the interleaf roll 42 is cut into a cut sheet shape (rectangular shape) having a size corresponding to the glass plate to be laminated, and is interposed between the laminated glass plates.
ガラス合紙の抄紙機100(製紙工程)において、ヘッドボックス112に供給する紙原料液を調製する際に、原料となるパルプシートとして、白色異物の少ないパルプを使用することが好ましい。 When preparing a paper raw material liquid to be supplied to the head box 112 in the glass papermaking machine 100 (papermaking process), it is preferable to use pulp with less white foreign matter as a pulp sheet as a raw material.
例えば、上述したガラス合紙に対して実施された測定方法と同様の方法で、パルプシートの白色異物の個数を計数する。白色異物の個数に基づいてパルプシートを選別することで、白色異物の少ないパルプシートを使用することができる。 For example, the number of white foreign substances on the pulp sheet is counted by a method similar to the measurement method performed on the glass interleaving paper described above. By selecting pulp sheets based on the number of white foreign substances, a pulp sheet with few white foreign substances can be used.
パルプシートの製造過程においても、樹脂部材と接触する際に、パルプシートに人工有機物が付着する場合がある。さらに、パルプシートの人工有機物が、ガラス合紙に混入する問題がある。なお、パルプシート中の人工有機物の含有量が0.08質量%以下であることが好ましい。人工有機物の含有量が0.08質量%以下であることで、ガラス合紙に混入する人工有機物を低減できる。ここでいう人工有機物とは、JIS P8224: 2002にて測定されるパルプシート中の樹脂分である。 In the manufacturing process of the pulp sheet, artificial organic matter may adhere to the pulp sheet when it comes into contact with the resin member. Further, there is a problem that the artificial organic matter of the pulp sheet is mixed into the glass interleaving paper. In addition, it is preferable that the content of the artificial organic matter in the pulp sheet is 0.08% by mass or less. When the content of the artificial organic matter is 0.08% by mass or less, the amount of the artificial organic matter mixed into the glass interleaving paper can be reduced. The term “artificial organic matter” as used herein refers to a resin content in a pulp sheet measured according to JIS P8222: 2002.
白色異物の少ないパルプを使用することが、白色異物の少ないガラス合紙を製造するのに好適である。 The use of pulp with less white foreign matter is suitable for producing glass interleaving paper with less white foreign matter.
パルプシートにて白色異物の個数を計数する場合、50μm以下の大きさの白色異物の個数が200個/m2以下であることが好ましい。 When counting the number of white foreign substances on a pulp sheet, the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less is preferably 200 / m 2 or less.
抄紙工程で有機物の混入を少なくするため、抄紙工程で使用され、紙原料液や湿紙等と接触する樹脂部材の樹脂バリを除去することが好ましい。樹脂バリは脱落しやすく、紙原料液や湿紙等に混入しやすいため、樹脂バリを除去することは有効である。 In order to reduce the contamination of organic matter in the paper making process, it is preferable to remove resin burrs of the resin member used in the paper making process and coming into contact with the paper raw material liquid, the wet paper and the like. Since resin burrs are easily removed and easily mixed into a paper raw material liquid, wet paper, or the like, it is effective to remove resin burrs.
また、抄紙する前に、配管、工程すべておいて、弱アルカリ洗浄や弱酸性洗浄を行うことが好ましい。新たにガラス合紙を製造する際に、他の合紙を抄紙した際に発生した有機物が混入することを抑制するためである。 Further, before papermaking, it is preferable to perform weak alkali washing or weak acidic washing in all piping and steps. This is because, when newly producing glass interleaving paper, it is possible to suppress the entry of organic substances generated when another interleaving paper is made.
以上のように従来実施していない徹底した管理をしないと白色異物の少ないガラス合紙を製造することは困難である。 As described above, it is difficult to produce a glass interleaving paper with less white foreign matter unless it is thoroughly managed, which has not been conventionally performed.
(ガラス板梱包体)
本実施形態のガラス板梱包体は、ガラス合紙とガラス板とを交互に積層させたガラス板積層体と、ガラス板積層体を載置するパレットとを有している。
(Glass plate package)
The glass plate package of the present embodiment has a glass plate laminate in which glass slip sheets and glass plates are alternately laminated, and a pallet on which the glass plate laminate is placed.
図6に、ガラス板梱包体の一例を概念的に示す。なお、図6は、ガラス板梱包体を、ガラスの側面方向から見た図(側面図)である。 FIG. 6 conceptually shows an example of the glass plate package. FIG. 6 is a view (side view) of the glass plate package viewed from the side of the glass.
図6に示すガラス板梱包体250は、ガラス合紙260とガラス板Gとを交互に積層させたガラス板積層体262と、ガラス板積層体262を載置するパレット252とを含んでいる。 The glass plate package 250 shown in FIG. 6 includes a glass plate laminate 262 in which glass slip sheets 260 and glass plates G are alternately laminated, and a pallet 252 on which the glass plate laminate 262 is placed.
パレット252は、公知のガラス板梱包用のパレットであり、基台254と、基台254の上面に立設された傾斜台256と、基台254の上面に載置された載置台258とを有する。 The pallet 252 is a known pallet for packing glass plates, and includes a base 254, an inclined table 256 erected on the upper surface of the base 254, and a mounting table 258 mounted on the upper surface of the base 254. Have.
傾斜台256の水平方向の一面(ガラス板Gとの接触面=背面)は、鉛直方向に対して傾斜している(以下、傾斜面とも言う)。この傾斜面の角度は、積層されたガラス板Gが安定して積載、保管および搬送できる角度であればよく、通常、水平方向に対して85°以下であり、例えば、85°〜70°が好ましい。 One surface of the inclined table 256 in the horizontal direction (the contact surface with the glass plate G = back surface) is inclined with respect to the vertical direction (hereinafter, also referred to as an inclined surface). The angle of the inclined surface may be any angle at which the stacked glass plates G can be stably stacked, stored and transported, and is usually 85 ° or less with respect to the horizontal direction, for example, 85 ° to 70 °. preferable.
また、載置台258の上面は、水平方向に対して傾斜台256に向かって下降するように傾斜する。図示例においては、一例として、載置台258の上面は、傾斜台256の傾斜面に対して90°となるように構成される。 The upper surface of the mounting table 258 is inclined so as to descend toward the inclined table 256 with respect to the horizontal direction. In the illustrated example, as an example, the upper surface of the mounting table 258 is configured to be 90 ° with respect to the inclined surface of the inclined table 256.
パレット252において、ガラス板Gは、載置台258の上面に載置され、かつ、傾斜台256の傾斜面に立て掛けられた状態で積層される。 On the pallet 252, the glass plate G is placed on the upper surface of the mounting table 258 and stacked on the inclined surface of the inclined table 256.
また、ガラス板Gの間には、本実施形態のガラス合紙260が介在される。ガラス合紙260は、ガラス板Gよりも大きなサイズであり、ガラス板Gの全面を覆うように、ガラス板Gの間に介在される。なお、ガラス板Gのサイズは、2200mm×1800mm以上であることが好ましい。このようにガラス板のサイズが大きい場合に、配線の断線等の不良などの発生率が高くなるため本実施形態のガラス合紙を好適に適用できる。さらに、ガラス板Gのサイズは、2400mm×2100mmが好ましい。ガラス合紙のサイズとしては、ガラス板のサイズと同じ、もしくはそれより大きく、特には縦横ともに20mm以上大きいことが好ましい。 Further, between the glass plates G, the glass interleaving paper 260 of the present embodiment is interposed. The glass interleaving paper 260 is larger in size than the glass plate G, and is interposed between the glass plates G so as to cover the entire surface of the glass plate G. Note that the size of the glass plate G is preferably 2200 mm × 1800 mm or more. As described above, when the size of the glass plate is large, the occurrence rate of defects such as disconnection of the wiring increases, so that the glass interleaving paper of the present embodiment can be suitably applied. Further, the size of the glass plate G is preferably 2400 mm × 2100 mm. The size of the glass interleaving paper is preferably the same as or larger than the size of the glass plate, and particularly preferably 20 mm or more in both the vertical and horizontal directions.
なお、積層されたガラス板Gと傾斜台256との間にも、同様にガラス合紙260を介在させてもよく、また、最前面のガラス板Gの表面を同様にガラス合紙260で覆ってもよい。 A glass slip sheet 260 may be similarly interposed between the laminated glass sheet G and the inclined table 256, and the surface of the frontmost glass sheet G is similarly covered with the glass slip sheet 260. You may.
上記のようにして、ガラス板梱包体250が形成される。この場合、さらに、必要に応じて、最前面のガラス板G(ガラス合紙)に当て板を当接して、帯状体を掛け渡して傾斜台256に固定してもよく、また、全てのガラス板Gを覆うようにカバーを掛けてもよい。 As described above, the glass plate package 250 is formed. In this case, if necessary, an abutment plate may be brought into contact with the frontmost glass plate G (glass interleaf paper), and the belt-shaped body may be stretched over and fixed to the inclined base 256. A cover may be hung so as to cover the plate G.
なお、本発明のガラス板梱包体は、図6に示すガラス板梱包体250のようにガラス板Gを立て掛けて積層(いわゆる縦積み)するものに限定はされない。ガラス板梱包体は、例えば日本実用新案登録第3165973号公報に示される板状体収納容器のように、ガラス板Gを水平に積層(いわゆる平積み)することができるパレットを使用したものであってもよい。 The glass plate package of the present invention is not limited to the glass plate package 250 shown in FIG. 6 in which the glass plates G are leaned and stacked (so-called vertical stacking). The glass plate package uses a pallet on which glass plates G can be horizontally stacked (so-called flat stacking), for example, like a plate-shaped body storage container disclosed in Japanese Utility Model Registration No. 3165973. You may.
平積みの場合、底に近いガラス板およびガラス合紙に作用する荷重が大きくなるためガラス合紙からガラス板へ異物が転写しやすく、多くの枚数を積載できなかったが、本実施形態のガラス合紙を採用することにより、多くの枚数を積載できるようになる。具体的には単位面積当たりの荷重で30g/cm2以上の面圧でガラス合紙がガラス板に押し付けられるような場合であっても、ガラス合紙から転写される異物を抑制できる。 In the case of flat stacking, the load acting on the glass plate and the glass interleaf near the bottom is increased, so that foreign substances are easily transferred from the glass interleaf to the glass plate, and a large number of sheets cannot be stacked. By using the slip sheet, a large number of sheets can be stacked. Specifically, even when the glass slip sheet is pressed against the glass plate with a surface pressure of 30 g / cm 2 or more at a load per unit area, foreign matters transferred from the glass slip sheet can be suppressed.
本実施形態のガラス板梱包体において、ガラス板Gとしては、公知のガラス板が、各種、例示される。中でも、表面に前述のような配線や電極等の素子を形成されるガラス板が好適であり、特に、FPD用のガラス板が好適である。 In the glass plate package of the present embodiment, various types of known glass plates are exemplified as the glass plate G. Among them, a glass plate on which elements such as wirings and electrodes are formed on the surface is preferable, and a glass plate for FPD is particularly preferable.
以上、ガラス合紙、ガラス板積層体、及びガラス板梱包体について詳細に説明したが、本発明は、上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、勿論である。 As described above, the glass interleaving paper, the glass plate laminate, and the glass plate package have been described in detail, but the present invention is not limited to the above-described example, and various improvements and modifications can be made without departing from the gist of the present invention. Of course, changes may be made.
以下に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
[実施例1]
図5で示す、一般的なガラス合紙の抄紙機を用い、原料としてバージンパルプ(パルプシート)を用いて、ガラス合紙を作製した。原料として、JIS P8224: 200
2に準拠して測定される有機物の含有量が0.08質量%以下で、かつ目視観察した白色異物が0.14個/m2以下であるパルプシートを使用した。
[Example 1]
A glass interleaf was produced using a general glass interleaf paper machine shown in FIG. 5 and using virgin pulp (pulp sheet) as a raw material. As a raw material, JIS P8224: 200
A pulp sheet having an organic matter content of 0.08% by mass or less and a white foreign matter visually observed of 0.14 / m 2 or less was used.
このパルプシートで作製されたガラス合紙を、(A)評価用ガラス板(厚さ0.7mmで、370mm×470mmのサイズ)に、ガラス合紙を(回数:100回、時間:4秒/回、圧力:0.45MPa、評価用ガラス板温度:55℃)押圧し、(B)押圧を終えた評価用ガラス板を搬送(ラインスピード200cm/min)しながら、純水を供給(流量:57L/min)し、評価用ガラス板の上側に2本、及び下側に2本配置された合計4本のロールブラシ(ロール径:φ60、毛径:0.06mm/密巻、材質:ナイロン612、回転数:300rpm、距離:上下0mm)で前記評価用ガラス板を洗浄し、(C)オルボテック社製 オフライン欠陥検査システム(FPI−6000シリーズ(型番:FPI6090D))を用いて、洗浄された評価用ガラス板の全異物を検査して、全異物の画像を取得し、(D)画像に基づいて全異物を目視で外観観察し、全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数したところ、ガラス合紙の異物の総数は32個/269m2で、50μm以下の大きさの白色異物の個数は10個/269m2であった。 The glass paper produced from this pulp sheet was placed on a glass plate for evaluation (A) having a thickness of 0.7 mm and a size of 370 mm × 470 mm, and the glass paper was inserted (number of times: 100 times, time: 4 seconds / Times, pressure: 0.45 MPa, glass plate temperature for evaluation: 55 ° C.), and (B) pure water is supplied while conveying the pressed glass plate (line speed: 200 cm / min) (flow rate: 57 L / min) and a total of four roll brushes (roll diameter: φ60, bristle diameter: 0.06 mm / close winding, material: nylon), two on the upper side of the evaluation glass plate and two on the lower side 612, rotation speed: 300 rpm, distance: upper and lower sides 0 mm), the glass plate for evaluation is washed, and (C) an off-line defect inspection system (FPI-6000 series (model number: FPI6090D) manufactured by Orbotech) is used. Inspection of all the foreign substances on the washed evaluation glass plate, obtaining an image of all the foreign substances, (D) visually observing the external appearance of all the foreign substances based on the image, and measuring a size of 50 μm or less from among all the foreign substances. When the number of white foreign matters was counted, the total number of foreign matters in the glass slip sheet was 32 pieces / 269 m 2 , and the number of white foreign matters having a size of 50 μm or less was 10 pieces / 269 m 2 .
[実施例2]
原料として、JIS P8224: 2002に準拠して測定される有機物の含有量が0.05質量%以下で、かつ目視観察して白色異物が0.1個/m2以下であるパルプシートを使用した以外は、実施例1と同様にガラス合紙を作製した。
[Example 2]
As a raw material, a pulp sheet having an organic substance content of 0.05% by mass or less as measured according to JIS P8224: 2002 and white foreign matter of 0.1 / m 2 or less visually observed was used. Except for the above, a glass interleaf was produced in the same manner as in Example 1.
このパルプシートで作製されたガラス合紙は、全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数したところ、異物の総数が25個/269m2で、50μm以下の大きさの白色異物の個数が6個/269m2であった。 When the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less was counted from all the foreign substances, the total number of foreign substances was 25/269 m 2 , and the glass interleaving paper made of this pulp sheet had a total number of white foreign substances of 50 μm or less. The number of foreign substances was 6/269 m 2 .
[実施例3]
原料として、JIS P8224: 2002に準拠して測定される有機物の含有量が
0.01質量%以下で、かつ目視観察して白色異物が0.05個/m2以下であるパルプシートを使用した以外は、実施例1と同様にガラス合紙を作製した。
[Example 3]
As a raw material, a pulp sheet having an organic substance content of 0.01% by mass or less as measured in accordance with JIS P8222: 2002 and a white foreign matter of 0.05 / m 2 or less visually observed was used. Except for the above, a glass interleaf was produced in the same manner as in Example 1.
このパルプシートで作製されたガラス合紙は、全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数したところ、異物の総数が24個/269m2で、50μm以下の大きさの白色異物の個数が3個/269m2であった。 When the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less was counted from all the foreign substances, the total number of foreign substances was 24/269 m 2 , and the glass interleaf paper made of this pulp sheet showed a white foreign substance having a size of 50 μm or less. The number of foreign matters was 3/269 m 2 .
[比較例1]
原料として、JIS P8224: 2002に準拠して測定される有機物の含有量が
0.1質量%以下で、かつ目視観察した白色異物が0.3個/m2以下であるパルプシートを使用し、樹脂部材の洗浄処理などを実施していないラインで抄紙した以外は、実施例1と同様にガラス合紙を作製した。
[Comparative Example 1]
As a raw material, JIS P8224: at a content of organic matter which is measured in accordance with 2002 0.1 mass% or less, and white foreign substances was visually observed using a pulp sheet is 0.3 pieces / m 2 or less, A glass interleaf was produced in the same manner as in Example 1, except that the paper was made in a line where the resin member was not washed.
このパルプシートで作製されたガラス合紙は、全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数したところ、異物の総数が40個/269m2で、50μm以下の大きさの白色異物の個数が15個/269m2であった。 When the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less was counted from all the foreign substances, the total number of foreign substances was 40/269 m 2 , and the white paper having a size of 50 μm or less was obtained. The number of foreign matters was 15 pieces / 269 m 2 .
[性能評価]
以上の実施例1〜3、ならびに、比較例1で作製したガラス合紙を、厚さが0.5mmで、2500×2200mmサイズのFPD用のガラス板の間に介在させて、複数枚のガラス板を積層したガラス板積層体にした。
[Performance evaluation]
The glass slip sheets prepared in Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 were interposed between glass plates for FPD having a thickness of 0.5 mm and a size of 2500 × 2200 mm to form a plurality of glass plates. The laminated glass plate was obtained.
このガラス板積層体を、実施例1〜3、ならびに、比較例1の各ガラス合紙に、縦積みの図6に示すパレットに載置し(ガラス板2000枚)、ガラス板梱包体を作製した。ガラス板梱包体を10日間保管した。 This glass plate laminate was placed on the pallets shown in FIG. 6 vertically stacked on each of the glass inserts of Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 (2000 glass plates) to produce a glass plate package. did. The glass plate package was stored for 10 days.
ガラス梱包体からガラス板を取り出し、ガラス板を洗浄した後、ガラス板の表面に、既存の手法により、幅が10μmの直線状の配線を形成し、配線の断線状況を確認した。 After taking out the glass plate from the glass package and washing the glass plate, a straight wire having a width of 10 μm was formed on the surface of the glass plate by an existing method, and the disconnection state of the wire was confirmed.
2000枚のガラス板を使用し、20枚以下の断線不良が発生した場合を○と評価し、20枚より多い断線不良が発生した場合を×とした。 When 2000 glass plates were used and 20 or less disconnection failures occurred, it was evaluated as ○, and when more than 20 disconnection failures occurred, it was evaluated as x.
表1は、測定結果と評価結果とを示している。表1によれば、50μm以下の大きさの白色異物が10個/269m2以下の場合、評価結果は全て○であった。50μm以下の大きさの白色異物が10個/269m2より多い場合は、評価結果は全て×であった。 Table 1 shows the measurement results and the evaluation results. According to Table 1, when the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less was 10 pieces / 269 m 2 or less, all the evaluation results were ○. When the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less was more than 10 pieces / 269 m 2 , all evaluation results were ×.
この結果から、50μm以下の大きさの白色異物の個数が、ガラス板に発生する断線等の不良に関連していることが理解できる。 From this result, it can be understood that the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less is related to defects such as disconnection occurring on the glass plate.
50μmより大きい異物についてはガラス板を洗浄する際に除去され、一方、50μm以下の大きさの白色異物は洗浄では除去されにくいと推測できる。したがって、50μm以下の大きさの白色異物の個数を10個/269m2以下にすることにより、ガラス板に発生する断線等の不良を抑制することができる。 It can be assumed that foreign substances larger than 50 μm are removed when cleaning the glass plate, while white foreign substances having a size of 50 μm or less are hardly removed by cleaning. Therefore, by setting the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less to 10 pieces / 269 m 2 or less, it is possible to suppress defects such as disconnection occurring in the glass plate.
本出願は、2015年9月29日出願の日本特許出願2015−190848に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。 This application is based on Japanese Patent Application No. 2015-190848 filed on September 29, 2015, the contents of which are incorporated herein by reference.
10…測定装置、12…押圧装置、14…洗浄装置、16…欠陥検査装置、18…表示装置、20…下定盤、22…上定盤、24…シリンダ装置、26…吸着パッド、28…評価用ガラス板、30…吸着パッド、32…ダミーのガラス板、34…合紙供給装置、36…ガラス合紙、38…シリンダ本体、40…ピストン、42…合紙ロール、44…巻回軸、46…回転支持部、48…巻取部、50…テンションローラ、52…テンションローラ、54…巻取軸、56…モータ、58…ノズル、60…上側第1ロールブラシ、62…上側第2ロールブラシ、64…下側第1ロールブラシ、66…下側第2ロールブラシ、250…ガラス板梱包体、252…パレット、254…基台、256…傾斜台、258…載置台、260…ガラス合紙、262…ガラス板積層体 Reference Signs List 10 measuring device, 12 pressing device, 14 cleaning device, 16 defect inspection device, 18 display device, 20 lower platen, 22 upper platen, 24 cylinder device, 26 suction pad, 28 evaluation Glass plate, 30: suction pad, 32: dummy glass plate, 34: interleaf paper supply device, 36: glass interleaf, 38: cylinder body, 40: piston, 42: interleaf roll, 44: winding shaft, Reference numeral 46: rotation support portion, 48: winding portion, 50: tension roller, 52: tension roller, 54: winding shaft, 56: motor, 58: nozzle, 60: upper first roll brush, 62: upper second roll Brush: 64: Lower first roll brush, 66: Lower second roll brush, 250: Glass plate package, 252: Pallet, 254: Base, 256: Inclined table, 258: Mounting table, 260: Glass plate Paper, 26 ... glass plate laminate
Claims (9)
[測定方法]
(A)評価用ガラス板(厚さ0.7mmで、370mm×470mmのサイズ)に、ガラス合紙を(回数:100回、時間:4秒/回、圧力:0.45MPa、評価用ガラス板温度:55℃)押圧し、
(B)押圧を終えた前記評価用ガラス板を搬送(ラインスピード200cm/min)しながら、純水を供給(流量:57L/min)し、前記評価用ガラス板の上側に2本、及び下側に2本配置された合計4本のロールブラシ(ロール径(内径):φ60、ロール径(外径):φ80、毛径:0.06mm/密巻、材質:ナイロン612、回転数:300rpm、距離:上下0mm)で前記評価用ガラス板を洗浄し、
(C)オルボテック社製 オフライン欠陥検査システム(FPI−6000シリーズ(型番:FPI6090D))を用いて、洗浄された前記評価用ガラス板の全異物を検査して、全異物の画像を取得し、
(D)前記画像に基づいて前記全異物を目視で外観観察し、前記全異物の中から50μm以下の大きさの白色異物の数を計数する。 Glass interleaving paper, wherein the number of white foreign matters having a size of 50 μm or less counted by the following measurement method is 10/269 m 2 or less.
[Measuring method]
(A) Glass interleaf paper (number of times: 100 times, time: 4 seconds / time, pressure: 0.45 MPa, glass plate for evaluation) on a glass plate for evaluation (a size of 370 mm × 470 mm with a thickness of 0.7 mm) Temperature: 55 ° C)
(B) While conveying the pressed glass sheet for evaluation (line speed 200 cm / min), pure water is supplied (flow rate: 57 L / min), and two pieces are provided above and below the glass sheet for evaluation. A total of four roll brushes (roll diameter (inner diameter): φ60, roll diameter (outer diameter): φ80, bristle diameter: 0.06 mm / close wound, material: nylon 612, rotation speed: 300 rpm , Distance: 0 mm above and below) to wash the glass plate for evaluation.
(C) Using an off-line defect inspection system (FPI-6000 series (model number: FPI6090D)) manufactured by Orbotech, all foreign substances on the cleaned evaluation glass plate are inspected, and images of all foreign substances are obtained.
(D) The external appearance of all the foreign substances is visually observed based on the image, and the number of white foreign substances having a size of 50 μm or less is counted from among all the foreign substances.
%以下である請求項1から5のいずれか一に記載のガラス合紙。 The glass interleaving paper according to any one of claims 1 to 5 , wherein the content of the organic substance measured according to JIS P8224: 2002 is 0.08% by mass or less.
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