JP6659289B2

JP6659289B2 - heater

Info

Publication number: JP6659289B2
Application number: JP2015189501A
Authority: JP
Inventors: 徹松岡
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2015-09-28
Filing date: 2015-09-28
Publication date: 2020-03-04
Anticipated expiration: 2035-09-28
Also published as: JP2017068910A

Description

本発明は、液体加熱用ヒータ、粉体加熱用ヒータ、気体加熱用ヒータおよび酸素センサ用ヒータ等に用いられるヒータに関するものである。 The present invention relates to a heater used for a heater for heating a liquid, a heater for heating a powder, a heater for a gas, a heater for an oxygen sensor, and the like.

液体加熱用ヒータ、粉体加熱用ヒータ、気体加熱用ヒータおよび酸素センサ用ヒータ等に用いられるヒータとして、例えば特許文献１に開示されたヒータ装置が知られている。特許文献１に開示されたヒータ装置は、内部に発熱抵抗体が埋設されたセラミック体と、セラミック体の表面に設けられた電極パッドと、電極パッドに接合された端子部材とを備えている。 As a heater used for a heater for liquid heating, a heater for powder heating, a heater for gas heating, a heater for oxygen sensor, and the like, for example, a heater device disclosed in Patent Document 1 is known. The heater device disclosed in Patent Literature 1 includes a ceramic body in which a heating resistor is embedded, an electrode pad provided on a surface of the ceramic body, and a terminal member joined to the electrode pad.

特開２０１１−６０７１２号公報JP 2011-60712 A

特許文献１に開示されたヒータ装置は、端子部材が電極パッドから立ち上がるように設けられている。そこで、端子部材と電極パッドとの接合強度を高めるべく、端子部材と電極パッドとを接合するろう材の量を増やすことが考えられる。しかしながら、ろう材の量を増やしてしまうと、ヒートサイクル下においてろう材の周囲に生じる熱応力が大きくなってしまうおそれがあった。そのため、ヒータ装置の接合強度を高めつつ、長期信頼性を向上させることが困難であった。 The heater device disclosed in Patent Literature 1 is provided so that a terminal member rises from an electrode pad. Then, in order to increase the joining strength between the terminal member and the electrode pad, it is conceivable to increase the amount of brazing material for joining the terminal member and the electrode pad. However, when the amount of the brazing material is increased, there is a possibility that thermal stress generated around the brazing material under a heat cycle may increase. Therefore, it has been difficult to improve the long-term reliability while increasing the bonding strength of the heater device.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒータ（ヒータ装置）においてリード端子（端子部材）と電極層（電極パッド）との接合強度高めつつ、ヒータの長期信頼性を向上させることにある。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to improve the long-term reliability of a heater (heater device) while increasing the bonding strength between a lead terminal (terminal member) and an electrode layer (electrode pad) in the heater (heater device). To improve it.

本発明の一態様のヒータは、棒状または筒状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた発熱抵抗体と、前記セラミック体の表面に設けられて前記発熱抵抗体に接続された電極層と、該電極層に接合材によって接合されたリード端子とを備えており、
該リード端子は、前記電極層から立ち上がる第１部分と、前記セラミック体の外周から外側において長さ方向に沿って伸びた第２部分とを備えており、前記第１部分のうち前記電極層に接合された端部は、前記長さ方向に平行な方向の幅が前記長さ方向に垂直な方向の幅よりも小さく、かつ、前記長さ方向を含む断面を見たときに、前記第１部分の端部は先端に向かうに連れて細くなっていることを特徴とする。 A heater according to one embodiment of the present invention includes a rod-shaped or cylindrical ceramic body, a heating resistor provided inside the ceramic body, and an electrode provided on a surface of the ceramic body and connected to the heating resistor. And a lead terminal joined to the electrode layer by a joining material,
The lead terminal includes a first portion rising from the electrode layer, and a second portion extending along the length direction outside the outer periphery of the ceramic body. The joined end has a width in a direction parallel to the length direction smaller than a width in a direction perpendicular to the length direction and, when viewing a cross section including the length direction, the first end. The end of the portion is characterized in that it is tapered toward the tip.

本発明の一態様のヒータによれば、リード端子と電極層との接合強度を高めつつ、ヒータの長期信頼性を向上できる。 According to the heater of one embodiment of the present invention, long-term reliability of the heater can be improved while increasing the bonding strength between the lead terminal and the electrode layer.

本実施形態のヒータの一例を示す縦断面図である。It is a longitudinal section showing an example of a heater of this embodiment. 図１に示すヒータのうち電極層とリード端子との接合部分を示す拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view showing a joint between an electrode layer and a lead terminal in the heater shown in FIG. 1. 図１に示すヒータのうち電極層とリード端子との接合部分を示す横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a joint between an electrode layer and a lead terminal in the heater shown in FIG. 1. 図１に示すヒータのうち電極層とリード端子との接合部分を示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a joint between an electrode layer and a lead terminal in the heater shown in FIG. 1.

本実施形態の一例のヒータ１０について詳細に説明する。 The heater 10 as an example of the embodiment will be described in detail.

図１は、本実施形態のヒータ１０を示す縦断面図である。図１に示すように、このヒータ１０は、棒状または筒状のセラミック体１と、セラミック体１の内部に設けられた発熱抵抗体２と、セラミック体１の表面に設けられた電極層３と、電極層３に接合されたリード端子４とを備えている。 FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a heater 10 of the present embodiment. As shown in FIG. 1, the heater 10 includes a rod-shaped or cylindrical ceramic body 1, a heating resistor 2 provided inside the ceramic body 1, and an electrode layer 3 provided on the surface of the ceramic body 1. And a lead terminal 4 joined to the electrode layer 3.

セラミック体１は、発熱抵抗体２を保護するために設けられる部材である。セラミック体１の形状は、棒状または筒状である。棒状としては、例えば円柱状または角柱状等の柱状等が挙げられる。なお、ここでいう柱状とは、例えば特定の方向に長く伸びた板状も含んでいる。筒状としては、例えば円筒状または角筒状が挙げられる。図１に示すヒータ１０においては、セラミック体１は円柱状である。 The ceramic body 1 is a member provided to protect the heating resistor 2. The shape of the ceramic body 1 is a rod shape or a cylindrical shape. Examples of the rod shape include a columnar shape such as a columnar shape or a prismatic shape. In addition, the column shape here includes, for example, a plate shape elongated in a specific direction. Examples of the tubular shape include a cylindrical shape and a rectangular tubular shape. In the heater 10 shown in FIG. 1, the ceramic body 1 has a columnar shape.

セラミック体１は、絶縁性のセラミック材料から成る。絶縁性のセラミック材料としては、例えばアルミナ、窒化珪素または窒化アルミニウムが挙げられる。熱伝導率に優れるという観点からは窒化アルミニウムを用いることが好ましい。特に、窒化アルミニウムを用いる場合には、セラミック体１の熱伝導率を１５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）と高くできるので、セラミック体１の内部に形成した発熱抵抗体２で発生した熱をヒータ１０の表面に効率良く伝えることができる。したがって、ヒータ１０の急速昇温が可能となる。 The ceramic body 1 is made of an insulating ceramic material. Examples of the insulating ceramic material include alumina, silicon nitride, and aluminum nitride. From the viewpoint of excellent thermal conductivity, it is preferable to use aluminum nitride. In particular, when aluminum nitride is used, the thermal conductivity of the ceramic body 1 can be increased to 150 W / (m · K), so that the heat generated by the heating resistor 2 formed inside the ceramic body 1 It can be efficiently transmitted to the surface. Therefore, the temperature of the heater 10 can be rapidly increased.

また、製造のしやすさの観点からはアルミナを用いることが好ましい。セラミック体１が円柱状の場合には、セラミック体１の寸法は、例えば長さを１００ｍｍに、外径を２０ｍｍに設定することができる。また、セラミック体１が板状の場合には、セラミック体１の寸法は、例えば長さを８０ｍｍに、幅を５０ｍｍに、厚みを２ｍｍに設定することができる。セラミック体１が円筒状の場合には、セラミック体１の寸法は、例えば長さを１００ｍｍに、外径を２０ｍｍに、内径を１４ｍｍに設定することができる。 From the viewpoint of ease of production, it is preferable to use alumina. When the ceramic body 1 is cylindrical, the dimensions of the ceramic body 1 can be set to, for example, a length of 100 mm and an outer diameter of 20 mm. When the ceramic body 1 has a plate shape, the dimensions of the ceramic body 1 can be set to, for example, a length of 80 mm, a width of 50 mm, and a thickness of 2 mm. When the ceramic body 1 is cylindrical, the dimensions of the ceramic body 1 can be set to, for example, a length of 100 mm, an outer diameter of 20 mm, and an inner diameter of 14 mm.

発熱抵抗体２は、電流が流れることによって発熱する抵抗体である。発熱抵抗体２はセラミック体１の内部に設けられている。すなわち、発熱抵抗体２はセラミック体１に埋設されている。本実施形態のヒータ１０における発熱抵抗体２は折り返し形状を有している。発熱抵抗体２の両端部は引出電極２１に接続されている。引出電極２１は、セラミック体１の一方の端部へと引き出されており、端部においてセラミック体１の外周面に引き出されている。 The heating resistor 2 is a resistor that generates heat when a current flows. The heating resistor 2 is provided inside the ceramic body 1. That is, the heating resistor 2 is embedded in the ceramic body 1. The heating resistor 2 in the heater 10 of the present embodiment has a folded shape. Both ends of the heating resistor 2 are connected to the extraction electrode 21. The extraction electrode 21 is extended to one end of the ceramic body 1, and is extended to the outer peripheral surface of the ceramic body 1 at the end.

発熱抵抗体２の折り返し部がセラミック体１の他方の端部に設けられている。すなわち、引出電極２１は、セラミック体１のうち発熱抵抗体２の折り返し部とは反対側の領域に設けられている。発熱抵抗体２の両端部は、引出電極２１を介して、セラミック体１の外周面に設けられた電極層３に電気的に接続されている。 The folded portion of the heating resistor 2 is provided at the other end of the ceramic body 1. That is, the extraction electrode 21 is provided in a region of the ceramic body 1 opposite to the folded portion of the heating resistor 2. Both ends of the heating resistor 2 are electrically connected to the electrode layers 3 provided on the outer peripheral surface of the ceramic body 1 via the extraction electrodes 21.

発熱抵抗体２は金属材料から成る。金属材料としては、例えばタングステン、モリブデンまたはレニウム等が挙げられる。発熱抵抗体２の寸法は、例えば幅を１ｍｍに、全長を３０００ｍｍに、厚みを０．０２ｍｍに設定することができる。引出電極２１は、発熱抵抗体２と同じ金属材料を用いて、発熱抵抗体２と同時に形成することができる。また、引出電極２１は、発熱抵抗体２とは異なる材料を用いて別々に形成することもできる。 The heating resistor 2 is made of a metal material. Examples of the metal material include tungsten, molybdenum, rhenium, and the like. The dimensions of the heating resistor 2 can be set to, for example, a width of 1 mm, a total length of 3000 mm, and a thickness of 0.02 mm. The extraction electrode 21 can be formed simultaneously with the heating resistor 2 using the same metal material as the heating resistor 2. Further, the extraction electrode 21 can be separately formed using a material different from that of the heating resistor 2.

電極層３はセラミック体１の表面に設けられている。電極層３は、引出電極２１を介して発熱抵抗体２に接続されている。電極層３は金属材料からなる。金属材料としては、例えばタングステン、モリブデンまたはレニウム等が挙げられる。電極層３の寸法は、例えば長さを９ｍｍに、幅を５ｍｍに、厚みを０．０２ｍｍに設定することができる。なお、本実施形態においては、電極層３が引出電極２１を介して発熱抵抗体２に接続されているが、これに限られない。具体的には、ヒータ１０が引出電極２１を有しておらず、電極層３と発熱抵抗体２とが直接接続されていてもよい。 The electrode layer 3 is provided on the surface of the ceramic body 1. The electrode layer 3 is connected to the heating resistor 2 via the extraction electrode 21. The electrode layer 3 is made of a metal material. Examples of the metal material include tungsten, molybdenum, rhenium, and the like. The dimensions of the electrode layer 3 can be set to, for example, a length of 9 mm, a width of 5 mm, and a thickness of 0.02 mm. In the present embodiment, the electrode layer 3 is connected to the heating resistor 2 via the extraction electrode 21, but is not limited to this. Specifically, the heater 10 may not have the extraction electrode 21 and the electrode layer 3 and the heating resistor 2 may be directly connected.

リード端子４は発熱抵抗体２に電力を供給するための部材である。リード端子４は外部の電源（図示せず）に接続されて用いられる。リード端子４としては、ニッケルまたは銅の金属からなる線材または板材を用いることができる。リード端子４は、電極層３の表面上に接合材５を用いて取り付けることができる。接合材５としては、例えば、ろう材を用いることができる。 The lead terminal 4 is a member for supplying power to the heating resistor 2. The lead terminal 4 is used by being connected to an external power supply (not shown). As the lead terminal 4, a wire or plate made of nickel or copper metal can be used. The lead terminal 4 can be mounted on the surface of the electrode layer 3 using a bonding material 5. As the bonding material 5, for example, a brazing material can be used.

リード端子４は、電極層３から立ち上がる第１部分４１と、セラミック体１の外周から外側において長さ方向に沿って延びた第２部分４２と、第２部分４２よりも外側を経由して第１部分４１と第２部分４２とを繋ぐ湾曲部４３とを備えている。これにより、セラミック体１の長さ方向における振動が生じたときに、湾曲部４３がたわむことによって、この振動を低減することができる。このため、第１部分４１と電極層３との接合部に生じる応力を低減できる。その結果、セラミック体１の長さ方向における振動に対する強度を向上させることができる。 The lead terminal 4 includes a first portion 41 rising from the electrode layer 3, a second portion 42 extending along the length direction outside the outer periphery of the ceramic body 1, and a second portion 42 extending outside the second portion 42. A curved portion 43 connecting the first portion 41 and the second portion 42 is provided. Thus, when vibration occurs in the length direction of the ceramic body 1, the bending can be reduced by bending the bending portion 43. For this reason, the stress generated at the joint between the first portion 41 and the electrode layer 3 can be reduced. As a result, the strength against vibration in the length direction of the ceramic body 1 can be improved.

本実施形態においては、リード端子４の断面（第１部分４１、第２部分４２および湾曲部４３の断面）が円形状である。特に、湾曲部４３の断面が円形状であることによって、湾曲部４３がたわんだときに、湾曲部４３が損傷してしまうおそれを低減できる。リード端子４の断面のその他の形状としては、例えば、矩形状、コの字形状または中空状等が挙げられる。特に、湾曲部４３の断面形状がコの字形状の場合には、コの字のうち開口している側がセラミック体１とは反対側（すなわち、湾曲部４３の外周側）に位置していることが好ましい。これにより、湾曲部４３をたわませやすくすることができる。なお、ここでいうコの字形状としては、例えば、いわゆるＣ字形状等のように角が丸い場合も含む。 In the present embodiment, the cross section of the lead terminal 4 (the cross section of the first portion 41, the second portion 42, and the curved portion 43) is circular. In particular, since the curved section 43 has a circular cross section, the possibility that the curved section 43 is damaged when the curved section 43 bends can be reduced. Other shapes of the cross section of the lead terminal 4 include, for example, a rectangular shape, a U-shape, and a hollow shape. In particular, when the cross-sectional shape of the curved portion 43 is a U-shape, the open side of the U-shape is located on the opposite side to the ceramic body 1 (ie, the outer peripheral side of the curved portion 43). Is preferred. Thereby, the bending portion 43 can be easily bent. The U-shape here includes a rounded corner such as a so-called C-shape.

また、本実施形態においては、リード端子４のうち、第１部分４１、第２部分４２および湾曲部４３の断面の形状および大きさが同一であるが、これに限られない。具体的には、それぞれの部位で形状および大きさが異なっていてもよい。特に、湾曲部４３は第１部分４１および第２部分４２よりも細いことが好ましい。これにより、リード端子４の強度を確保しつつ、湾曲部４３をたわませやすくすることができる。 Further, in the present embodiment, among the lead terminals 4, the first portion 41, the second portion 42, and the curved portion 43 have the same cross-sectional shape and size, but are not limited thereto. Specifically, the shape and size may be different in each part. In particular, the curved portion 43 is preferably thinner than the first portion 41 and the second portion 42. Thereby, the bending portion 43 can be easily bent while securing the strength of the lead terminal 4.

リード端子４の寸法は、例えば、以下のように設定できる。図１に示すヒータ１０の場合には、第１部分４１の長さを２．３ｍｍに設定できる。湾曲部４３の長さは、セラミック体１の長さ方向に垂直な方向の長さを１．５ｍｍに、セラミック体１の長さ方向に平行な方向の長さを２．５ｍｍに設定できる。また、第２部分４２の長さを６．５ｍｍに設定できる。また、第１部分４１、第２部分４２および湾曲部４３のそれぞれの断面は、直径がΦ０．８ｍｍの円形状に設定できる。 The dimensions of the lead terminal 4 can be set, for example, as follows. In the case of the heater 10 shown in FIG. 1, the length of the first portion 41 can be set to 2.3 mm. The length of the curved portion 43 can be set to 1.5 mm in a direction perpendicular to the length direction of the ceramic body 1 and 2.5 mm in a direction parallel to the length direction of the ceramic body 1. Further, the length of the second portion 42 can be set to 6.5 mm. The cross section of each of the first portion 41, the second portion 42, and the curved portion 43 can be set to a circular shape with a diameter of 0.8 mm.

図２は、図１に示すヒータのうち電極層３とリード端子４との接合部分を示している。図２においては、リード端子４の形状を分かりやすくするために、接合材５を省略している。図２〜４に示すように、リード端子４の第１部分４１のうち電極層３に接合された端部は、セラミック体１の長さ方向に平行な方向の幅Ｘが、長さ方向に垂直な方向の幅Ｙよりも小さい。そして、図３に示すように、長さ方向を含む断面を見たときに、第１部分４１の端部は先端に向かうに連れて細くなっている。 FIG. 2 shows a joint between the electrode layer 3 and the lead terminal 4 in the heater shown in FIG. In FIG. 2, the joining material 5 is omitted to make the shape of the lead terminal 4 easy to understand. As shown in FIGS. 2 to 4, the end portion of the first portion 41 of the lead terminal 4 joined to the electrode layer 3 has a width X in a direction parallel to the length direction of the ceramic body 1 in the length direction. It is smaller than the width Y in the vertical direction. Then, as shown in FIG. 3, when the cross section including the length direction is viewed, the end of the first portion 41 becomes thinner toward the tip.

ここでいう、「セラミック体１の長さ方向に平行な方向の幅」および「長さ方向に垂直な方向の幅」とは、第１部分４１において接合材５に接触する部分のうちそれぞれ最も幅が大きい部分の幅を意味している。 Here, the “width in the direction parallel to the length direction of the ceramic body 1” and the “width in the direction perpendicular to the length direction” are the most significant of the portions of the first portion 41 that come into contact with the bonding material 5 respectively. It means the width of the part where the width is large.

本実施形態のヒータ１においては、上述の構成を備えていることによって、リード端子４と電極層３との接合強度を高めつつ、長期信頼性を向上できる。具体的には、セラミック体１の長さ方向に平行な方向の幅Ｘが長さ方向に垂直な方向の幅Ｙよりも小さい。そして、長さ方向を含む断面を見たときに、第１部分４１の端部は先端に向かうに連れて細くなっている。そのため、第１部分４１の端部と電極層３との間に、先端に向かうに連れて大きくなる隙間Ａが形成されることになる。電極層３とリード端子４とを接合するときに、この隙間に接合材５が入り込むことによって、長さ方向を含む断面における接合材５の量（図３において占める面積）を多く（大きく）することができる。 In the heater 1 according to the present embodiment, by providing the above-described configuration, long-term reliability can be improved while increasing the bonding strength between the lead terminal 4 and the electrode layer 3. Specifically, the width X in the direction parallel to the length direction of the ceramic body 1 is smaller than the width Y in the direction perpendicular to the length direction. When the cross section including the length direction is viewed, the end of the first portion 41 becomes thinner toward the tip. Therefore, a gap A that increases toward the tip is formed between the end of the first portion 41 and the electrode layer 3. When the electrode layer 3 and the lead terminal 4 are joined, the joining material 5 enters the gap, thereby increasing (increase) the amount (area occupied in FIG. 3) of the joining material 5 in a cross section including the length direction. be able to.

リード端子４と電極層３との間に働く外力は、リード端子４の第２部分４２の伸びる方向（すなわちセラミック体１の長さ方向）に沿う方向に加わりやすいことから、この長さ方向における接合材５の量を多くすることによって、リード端子４と電極層３との接合強度を向上させることができる。また、長さ方向に対して垂直な方向、つまり、外力が加わりにくい方向においては、接合材５の量を少なくすることによって、ヒートサイクル下において接合材５の周りに生じる熱応力を低減できる。これらの結果、リード端子４と電極層３との接合強度を高めつつ、長期信頼性を向上させることができる。 An external force acting between the lead terminal 4 and the electrode layer 3 is likely to be applied in a direction along the direction in which the second portion 42 of the lead terminal 4 extends (that is, the length direction of the ceramic body 1). By increasing the amount of the bonding material 5, the bonding strength between the lead terminal 4 and the electrode layer 3 can be improved. Further, in a direction perpendicular to the length direction, that is, in a direction in which external force is less likely to be applied, by reducing the amount of the bonding material 5, thermal stress generated around the bonding material 5 during a heat cycle can be reduced. As a result, the long-term reliability can be improved while increasing the bonding strength between the lead terminal 4 and the electrode layer 3.

また、図４に示すように、長さ方向に対して垂直な断面を見たときに、第１部分４１の端部は幅が一定であってもよい。これにより、長さ方向に対して垂直な断面において、接合材５を分布に偏りが無いように設けやすくすることができるので、リード端子４を電極層３に接合する際にリード端子４が傾いて固定されてしまうおそれを低減できる。 In addition, as shown in FIG. 4, when viewing a cross section perpendicular to the length direction, the end of the first portion 41 may have a constant width. Accordingly, in the cross section perpendicular to the length direction, the bonding material 5 can be easily provided so as not to be biased in distribution, so that when the lead terminal 4 is bonded to the electrode layer 3, the lead terminal 4 is inclined. Can be reduced.

また、図３に示すように、セラミック体１の長さ方向を含む断面を見たときに、第１部分４１と電極層３との間隔が、第１部分４１の幅方向の中心に向かうに連れて狭まっていてもよい。これにより、第１部分４１と電極層３とを接合材５を用いて接合する際に、第１部分４１と電極層３との間に存在している空気を押し出しやすくすることができる。そのため、第１部分４１と電極層３との間に空気溜まりが生じてしまうおそれを低減できる。 As shown in FIG. 3, when the cross section including the length direction of the ceramic body 1 is viewed, the distance between the first portion 41 and the electrode layer 3 becomes closer to the center of the first portion 41 in the width direction. It may be narrowed. Thereby, when joining the first portion 41 and the electrode layer 3 using the joining material 5, it is possible to easily push out the air existing between the first portion 41 and the electrode layer 3. Therefore, the possibility that air pools are generated between the first portion 41 and the electrode layer 3 can be reduced.

１：セラミック体
２：発熱抵抗体
２１：引出電極
３：電極層
４：リード端子
４１：第１部分
４２：第２部分
４３：湾曲部
５：接合材
１０：ヒータ 1: ceramic body 2: heating resistor 21: extraction electrode 3: electrode layer 4: lead terminal 41: first portion 42: second portion 43: curved portion 5: bonding material 10: heater

Claims

A rod-shaped or cylindrical ceramic body, a heating resistor provided inside the ceramic body, an electrode layer provided on the surface of the ceramic body and connected to the heating resistor, and a bonding material attached to the electrode layer. And a lead terminal joined by
The lead terminal includes a first portion rising from the electrode layer, and a second portion extending along the length direction outside the outer periphery of the ceramic body,
An end of the first portion joined to the electrode layer has a width in a direction parallel to the length direction smaller than a width in a direction perpendicular to the length direction, and includes the length direction. When viewed in a cross section, the end of the first portion becomes thinner toward the tip.

2. The heater according to claim 1, wherein a width of an end of the first portion is constant when a cross section perpendicular to the length direction is viewed. 3.

When the cross section including the length direction is viewed, the distance between the first portion and the electrode layer is reduced toward the center in the width direction of the first portion. The heater according to claim 1 or 2.