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JP6539383B2 - Adhesive tape - Google Patents

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JP6539383B2
JP6539383B2 JP2018115570A JP2018115570A JP6539383B2 JP 6539383 B2 JP6539383 B2 JP 6539383B2 JP 2018115570 A JP2018115570 A JP 2018115570A JP 2018115570 A JP2018115570 A JP 2018115570A JP 6539383 B2 JP6539383 B2 JP 6539383B2
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福岡 正輝
正輝 福岡
戸田 智基
智基 戸田
由貴 石川
由貴 石川
泰志 石堂
泰志 石堂
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Description

本発明は、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープに関する。 The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape that can be easily peeled from an adherend while reducing adhesive residue.

半導体ウエハの加工(例えば、裏面研削、ダイシング等)は一般に半導体ウエハに粘着テープを貼り合わせた状態で行われ、加工後に粘着テープが剥離される。
特許文献1及び2には、ダイシング用粘着テープに用いる紫外線硬化型アクリル粘着剤が開示されている。これらの紫外線硬化型アクリル粘着剤は、主鎖の末端又は側鎖に紫外線硬化が可能な不飽和結合を有しており、紫外線の照射により架橋反応を起こして硬化し、粘着力が低下する。特許文献1及び2では、半導体ウエハを加工している間は強力な粘着力でダイシング用粘着テープにより半導体ウエハを固定し、加工後に紫外線を照射してダイシング用粘着テープを剥離し、加工された半導体ウエハ又は半導体チップを得ている。
Processing of a semiconductor wafer (for example, back surface grinding, dicing, etc.) is generally performed in a state where an adhesive tape is attached to the semiconductor wafer, and the adhesive tape is peeled off after processing.
Patent Documents 1 and 2 disclose ultraviolet-curable acrylic pressure-sensitive adhesives used for pressure-sensitive adhesive tapes for dicing. These ultraviolet-curable acrylic pressure-sensitive adhesives have an unsaturated bond capable of ultraviolet-curable at the end or side chain of the main chain, and cause crosslinking reaction upon irradiation with ultraviolet light to cure and reduce the adhesive strength. In Patent Documents 1 and 2, while processing a semiconductor wafer, the semiconductor wafer is fixed by a pressure-sensitive adhesive tape for dicing with strong adhesive force, and after processing, ultraviolet light is irradiated to peel off the pressure-sensitive adhesive tape for dicing A semiconductor wafer or a semiconductor chip is obtained.

しかしながら、半導体ウエハは壊れやすく、近年では微細な加工や極めて薄い薄膜が表面に形成された半導体ウエハが登場している。このような壊れやすい半導体ウエハからであっても加工後に容易に剥離することができる粘着テープが望まれているが、従来の紫外線硬化型アクリル粘着剤では、半導体ウエハから剥離するときに粘着力が充分に低下せず、糊残りが生じてしまうという問題点があった。 However, semiconductor wafers are easily broken, and in recent years, semiconductor wafers in which fine processing or extremely thin films are formed on the surface have appeared. Although there is a demand for an adhesive tape which can be easily peeled off after processing even from such fragile semiconductor wafers, the conventional ultraviolet-curable acrylic pressure-sensitive adhesive exhibits adhesion when peeled from the semiconductor wafer. There is a problem that the adhesive does not decrease sufficiently and adhesive residue is generated.

特開平5−32946号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 5-32946 特開2013−98408号公報JP, 2013-98408, A

本発明は、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape which can be easily peeled from an adherend while reducing adhesive residue.

本発明は、粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布(Mw/Mn)1.05〜2.5のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマーを含有する粘着テープである。
以下、本発明を詳述する。
The present invention is a pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer, wherein the pressure-sensitive adhesive layer has a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5 and can be ultraviolet-cured on the side chain of a living radically polymerized polymer. It is an adhesive tape containing the (meth) acrylic polymer which introduce | transduced the property group.
Hereinafter, the present invention will be described in detail.

粘着剤層には、一般に(メタ)アクリルモノマー等のラジカル重合性モノマーを「フリーラジカル重合」により重合させて得られたポリマーが用いられている。特許文献1及び2に記載されているような紫外線の照射により架橋反応を起こして硬化し、粘着力が低下する粘着剤層にも、一般にフリーラジカル重合により得られたポリマー(本明細書中「フリーラジカル重合ポリマー」ともいう)に紫外線硬化が可能な重合性基を導入したポリマーが用いられている。
しかしながら、フリーラジカル重合は、分子量及び分子量分布、共重合体組成等を充分に制御できず、低分子量成分が生成したり、共重合の場合であってもホモポリマーが生成したりするという欠点がある。本発明者らは、このような低分子量成分又はホモポリマーが糊残りの原因となっていると考えた。また、本発明者らは、フリーラジカル重合ポリマーにおいては、紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる官能基を有する(メタ)アクリルモノマーが、各ポリマー分子に均一に共重合されていないために、粘着剤層の紫外線硬化性が阻害され、糊残りが発生することを見出した。そこで、本発明者らは、フリーラジカル重合ではなく「リビングラジカル重合」により得られたポリマー(本明細書中「リビングラジカル重合ポリマー」ともいう)を用いることを検討した。
In the pressure-sensitive adhesive layer, generally, a polymer obtained by polymerizing a radical polymerizable monomer such as a (meth) acrylic monomer by "free radical polymerization" is used. Polymers generally obtained by free radical polymerization also in a pressure-sensitive adhesive layer which causes a crosslinking reaction to be cured by irradiation of ultraviolet rays as described in Patent Documents 1 and 2 and in which the adhesive strength is reduced (herein The polymer which introduce | transduced the polymeric group which can be ultraviolet-cured is used for the free radical polymerization polymer ".
However, free radical polymerization has the disadvantage that the molecular weight and molecular weight distribution, copolymer composition, etc. can not be controlled sufficiently, and low molecular weight components are formed, and even in the case of copolymerization, homopolymers are formed. is there. The inventors considered that such low molecular weight components or homopolymers were responsible for the adhesive residue. Moreover, in the free radical polymerization polymer, the present inventors uniformly (meth) acrylic monomer having a functional group serving as a reaction point for introducing a polymerizable group capable of being cured with ultraviolet light uniformly co-polymers with each polymer molecule. It has been found that the UV cure of the pressure-sensitive adhesive layer is inhibited due to the absence of polymerization, and adhesive residue is generated. Therefore, the present inventors examined using a polymer obtained by "living radical polymerization" instead of free radical polymerization (also referred to as "living radical polymerized polymer" in the present specification).

リビングラジカル重合は、重合反応が停止反応又は連鎖移動反応等の副反応で妨げられることなく分子鎖が生長していく重合であるため、分子量及び分子量分布、共重合体組成等を制御しやすく、例えばフリーラジカル重合等と比較してより均一な分子量及び組成を有するポリマーを得ることができる。
本発明者らは、特定範囲の分子量分布(Mw/Mn)のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマーを用いることにより、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープが得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。糊残りを低減できる理由としては、リビングラジカル重合によれば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、上記官能基を反応点として紫外線硬化が可能な重合性基を均一に導入することができるため、粘着剤層の紫外線硬化性を高め、被着体から剥離するときに粘着力を充分に低下させることができる点が挙げられる。
Since living radical polymerization is polymerization in which the molecular chain grows without being hindered by side reactions such as termination reaction or chain transfer reaction, it is easy to control molecular weight, molecular weight distribution, copolymer composition, etc. For example, a polymer having more uniform molecular weight and composition as compared to free radical polymerization etc. can be obtained.
The present inventors reduced adhesive residue by using a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of UV curing is introduced to the side chain of a living radically polymerized polymer having a specific range of molecular weight distribution (Mw / Mn). However, it has been found that a pressure-sensitive adhesive tape which can be easily peeled off from an adherend can be obtained, and the present invention has been completed. The reason why the adhesive residue can be reduced is that according to living radical polymerization, a (meth) acrylic monomer having a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group is copolymerized. These monomers can be copolymerized uniformly with each polymer molecule, and a polymerizable group capable of UV curing can be uniformly introduced with the above-mentioned functional group as a reaction point, so that the UV curing property of the pressure-sensitive adhesive layer It can be mentioned that the adhesive strength can be sufficiently reduced when peeling from the adherend.

本発明の粘着テープは、粘着剤層を有する粘着テープである。上記粘着剤層は、分子量分布(Mw/Mn)1.05〜2.5のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマーを含有する。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is a pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer. The pressure-sensitive adhesive layer contains a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of UV curing is introduced into the side chain of a living radically polymerized polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5.

上記リビングラジカル重合ポリマーは、リビングラジカル重合、好ましくは有機テルル重合開始剤を用いたリビングラジカル重合により得られたポリマーである。
上記粘着剤層が上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマーを含有することにより、本発明の粘着テープは、被着体から剥離するときに紫外線照射されるまでは、剥がれにくいものとなる。一方、本発明の粘着テープは、被着体から剥離するときには紫外線の照射により上記粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに架橋反応を起こして硬化し、粘着力が大きく低下し、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる。糊残りを低減できる理由としては、リビングラジカル重合によれば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、上記官能基を反応点として紫外線硬化が可能な重合性基を均一に導入することができるため、粘着剤層の紫外線硬化性を高め、被着体から剥離するときに粘着力を充分に低下させることができる点が挙げられる。
The living radical polymerization polymer is a polymer obtained by living radical polymerization, preferably living radical polymerization using an organic tellurium polymerization initiator.
When the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is peeled from an adherend by the pressure-sensitive adhesive layer containing a (meth) acrylic polymer in which a polymerizable group capable of UV curing is introduced into the side chain of the living radically polymerized polymer It becomes difficult to peel off until it is irradiated with ultraviolet light. On the other hand, in the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention, when it is peeled off from the adherend, the whole of the pressure-sensitive adhesive layer crosslinks uniformly and rapidly by the irradiation of ultraviolet rays and cures. It can be easily peeled off from the adherend while reducing it. The reason why the adhesive residue can be reduced is that according to living radical polymerization, a (meth) acrylic monomer having a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group is copolymerized. These monomers can be copolymerized uniformly with each polymer molecule, and a polymerizable group capable of UV curing can be uniformly introduced with the above-mentioned functional group as a reaction point, so that the UV curing property of the pressure-sensitive adhesive layer It can be mentioned that the adhesive strength can be sufficiently reduced when peeling from the adherend.

なかでも、有機テルル重合開始剤を用いたリビングラジカル重合は、他のリビングラジカル重合とは異なり、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有する(メタ)アクリルモノマーをいずれも保護することなく、同一の開始剤で重合して均一な分子量及び組成を有するポリマーを得ることができる。このため、このような官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを容易に共重合することができる。 Among them, living radical polymerization using an organic tellurium polymerization initiator has a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group unlike the other living radical polymerization (meth) It is possible to polymerize with the same initiator to obtain a polymer having uniform molecular weight and composition without protecting any acrylic monomer. For this reason, the (meth) acrylic monomer which has such a functional group can be copolymerized easily.

上記有機テルル重合開始剤は、リビングラジカル重合に一般的に用いられるものであれば特に限定されず、例えば、有機テルル化合物、有機テルリド化合物等が挙げられる。
上記有機テルル化合物として、例えば、(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−クロロ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−ヒドロキシ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−メトキシ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−アミノ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−ニトロ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−シアノ−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−メチルカルボニル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−フェニルカルボニル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−メトキシカルボニル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−フェノキシカルボニル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−スルホニル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−トリフルオロメチル−4−(メチルテラニル−メチル)ベンゼン、1−クロロ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−ヒドロキシ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−メトキシ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−アミノ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−ニトロ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−シアノ−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−メチルカルボニル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−フェニルカルボニル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−メトキシカルボニル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−フェノキシカルボニル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−スルホニル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−トリフルオロメチル−4−(1−メチルテラニル−エチル)ベンゼン、1−クロロ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−ヒドロキシ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−メトキシ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−アミノ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−ニトロ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−シアノ−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−メチルカルボニル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−フェニルカルボニル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−メトキシカルボニル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−フェノキシカルボニル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−スルホニル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、1−トリフルオロメチル−4−(2−メチルテラニル−プロピル)ベンゼン、2−(メチルテラニル−メチル)ピリジン、2−(1−メチルテラニル−エチル)ピリジン、2−(2−メチルテラニル−プロピル)ピリジン、2−メチルテラニル−エタン酸メチル、2−メチルテラニル−プロピオン酸メチル、2−メチルテラニル−2−メチルプロピオン酸メチル、2−メチルテラニル−エタン酸エチル、2−メチルテラニル−プロピオン酸エチル、2−メチルテラニル−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メチルテラニルアセトニトリル、2−メチルテラニルプロピオニトリル、2−メチル−2−メチルテラニルプロピオニトリル等が挙げられる。これらの有機テルル化合物中のメチルテラニル基は、エチルテラニル基、n−プロピルテラニル基、イソプロピルテラニル基、n−ブチルテラニル基、イソブチルテラニル基、t−ブチルテラニル基、フェニルテラニル基等であってもよく、また、これらの有機テルル化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The organic tellurium polymerization initiator is not particularly limited as long as it is generally used for living radical polymerization, and examples thereof include organic tellurium compounds and organic telluride compounds.
Examples of the organic tellurium compound include (methyl-teranyl-methyl) benzene, (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-chloro-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-hydroxy- 4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-methoxy-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-amino-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-nitro-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1- Cyano-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-methylcarbonyl-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-phenylcarbonyl-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-methoxycarbonyl-4- (methyl-teranyl-methyl) ) Benzene, 1- Phenoxycarbonyl-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-sulfonyl-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-trifluoromethyl-4- (methyl-teranyl-methyl) benzene, 1-chloro-4- (1 -Methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-hydroxy-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-methoxy-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-amino-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene Benzene, 1-nitro-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-cyano-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-methylcarbonyl-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1- Phenylcarbonyl-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-meth Cyclocarbonyl-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-phenoxycarbonyl-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-sulfonyl-4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-trifluoromethyl -4- (1-methyl-teranyl-ethyl) benzene, 1-chloro-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-hydroxy-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-methoxy-4- (2) -Methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-amino-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-nitro-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-cyano-4- (2-methyl-teranyl-propyl) Benzene, 1-methylcarbonyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) ) Benzene, 1-phenylcarbonyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-methoxycarbonyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-phenoxycarbonyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene 1-sulfonyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 1-trifluoromethyl-4- (2-methyl-teranyl-propyl) benzene, 2- (methyl-teranyl-methyl) pyridine, 2- (1-methyl-teranyl-ethyl) ) Pyridine, 2- (2-methyl-teranyl-propyl) pyridine, methyl 2-methyl-teranyl-ethanoate, methyl 2-methyl-teranyl-propionate, methyl 2-methyl-teranyl-2-methyl-propionate, ethyl 2-methyl-teranyl-ethanoate, 2 -Methyl teranyl Ethyl propionate, 2-Mechiruteraniru -2-methylpropionic acid ethyl, 2-methyl-Terra alkylsulfonyl acetonitrile, 2-methyl-Terra sulfonyl propionitrile, 2-methyl-2-methyl-Terra sulfonyl propionitrile, and the like. The methyl teranyl group in these organic tellurium compounds may be ethyl teranyl group, n-propyl teranyl group, isopropyl teranyl group, n-butyl teranyl group, isobutyl teranyl group, t-butyl teranyl group, phenyl teranyl group, etc. These organic tellurium compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記有機テルリド化合物として、例えば、ジメチルジテルリド、ジエチルジテルリド、ジ−n−プロピルジテルリド、ジイソプロピルジテルリド、ジシクロプロピルジテルリド、ジ−n−ブチルジテルリド、ジ−sec−ブチルジテルリド、ジ−tert−ブチルジテルリド、ジシクロブチルジテルリド、ジフェニルジテルリド、ビス−(p−メトキシフェニル)ジテルリド、ビス−(p−アミノフェニル)ジテルリド、ビス−(p−ニトロフェニル)ジテルリド、ビス−(p−シアノフェニル)ジテルリド、ビス−(p−スルホニルフェニル)ジテルリド、ジナフチルジテルリド、ジピリジルジテルリド等が挙げられる。これらの有機テルリド化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。なかでも、ジメチルジテルリド、ジエチルジテルリド、ジ−n−プロピルジテルリド、ジ−n−ブチルジテルリド、ジフェニルジテルリドが好ましい。 As the organic telluride compound, for example, dimethyl ditelluride, diethyl ditelluride, di-n-propyl ditelluride, diisopropyl ditelluride, dicyclopropyl ditelluride, di-n-butyl ditelluride, di-sec-butyl ditelluride Di-tert-butyl ditelluride, dicyclobutyl ditelluride, diphenyl ditelluride, bis- (p-methoxyphenyl) ditelluride, bis- (p-aminophenyl) ditelluride, bis- (p-nitrophenyl) ditelluride, bis And-(p-cyanophenyl) ditelluride, bis- (p-sulfonylphenyl) ditelluride, dinaphthyl ditelluride, dipyridyl ditelluride and the like. These organic telluride compounds may be used alone or in combination of two or more. Among these, dimethyl ditelluride, diethyl ditelluride, di-n-propyl ditelluride, di-n-butyl ditelluride and diphenyl ditelluride are preferable.

なお、本発明の効果を損なわない範囲内で、上記有機テルル重合開始剤に加えて、重合速度の促進を目的として重合開始剤としてアゾ化合物を用いてもよい。
上記アゾ化合物は、ラジカル重合に一般的に用いられるものであれば特に限定されず、例えば、2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)、1,1−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、1−[(1−シアノ−1−メチルエチル)アゾ]ホルムアミド、4,4’−アゾビス(4−シアノバレリアン酸)、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、ジメチル−1,1’−アゾビス(1−シクロヘキサンカルボキシレート)、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1’−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]二塩酸塩、2,2’−アゾビス{2−[1−(2−ヒドロキシエチル)−2−イミダゾリン−2−イル]プロパン}二塩酸塩、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]、2,2’−アゾビス(2−アミジノプロパン)二塩酸塩、2,2’−アゾビス[N−(2−カルボキシエチル)−2−メチルプロピオンアミジン]四水和物、2,2’−アゾビス(1−イミノ−1−ピロリジノ−2−メチルプロパン)二塩酸塩、2,2’−アゾビス(2,4,4−トリメチルペンタン)等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
In addition to the organic tellurium polymerization initiator, an azo compound may be used as a polymerization initiator for the purpose of accelerating the polymerization rate, as long as the effects of the present invention are not impaired.
The azo compound is not particularly limited as long as it is generally used for radical polymerization, and, for example, 2,2'-azobis (isobutyronitrile), 2,2'-azobis (2-methylbutyronitrile) ), 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 1,1-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) ), 1-[(1-cyano-1-methylethyl) azo] formamide, 4,4'-azobis (4-cyanovaleric acid), dimethyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate), Dimethyl-1,1′-azobis (1-cyclohexanecarboxylate), 2,2′-azobis {2-methyl-N- [1,1′-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] Propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [2- (2-imidazoline-2) -Yl) propane] dihydrochloride, 2,2'-azobis {2- [1- (2-hydroxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propane} dihydrochloride, 2,2'-azobis [2 -(2-Imidazolin-2-yl) propane], 2,2'-azobis (2-amidinopropane) dihydrochloride, 2,2'-azobis [N- (2-carboxyethyl) -2-methylpropionamide ], Tetrahydrate, 2,2'-azobis (1-imino-1-pyrrolidino-2-methylpropane) dihydrochloride, 2,2'-azobis (2,4,4-trimethylpentane) etc. Be These azo compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記リビングラジカル重合においては、分散安定剤を用いてもよい。上記分散安定剤として、例えば、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、エチルセルロース、ポリ(メタ)アクリル酸、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポリエチレングリコール等が挙げられる。
上記リビングラジカル重合の方法として、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合(沸点重合又は定温重合)、乳化重合、懸濁重合、塊状重合等が挙げられる。
上記リビングラジカル重合において重合溶媒を用いる場合、該重合溶媒は特に限定されず、例えば、ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン、トルエン、キシレン等の非極性溶媒や、水、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、N,N−ジメチルホルムアミド等の高極性溶媒を用いることができる。これらの重合溶媒は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
また、重合温度は、重合速度の観点から0〜110℃が好ましい。
In the above living radical polymerization, a dispersion stabilizer may be used. Examples of the dispersion stabilizer include polyvinyl pyrrolidone, polyvinyl alcohol, methyl cellulose, ethyl cellulose, poly (meth) acrylic acid, poly (meth) acrylic acid ester, polyethylene glycol and the like.
As the method of the living radical polymerization, conventionally known methods are used, and for example, solution polymerization (boiling point polymerization or constant temperature polymerization), emulsion polymerization, suspension polymerization, bulk polymerization and the like can be mentioned.
When a polymerization solvent is used in the above living radical polymerization, the polymerization solvent is not particularly limited. For example, nonpolar solvents such as hexane, cyclohexane, octane, toluene and xylene, water, methanol, ethanol, propanol, butanol, acetone, Highly polar solvents such as methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, tetrahydrofuran, dioxane, N, N-dimethylformamide can be used. These polymerization solvents may be used alone or in combination of two or more.
The polymerization temperature is preferably 0 to 110 ° C. from the viewpoint of the polymerization rate.

上記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたポリマーであることが好ましい。有機テルル重合開始剤を用いることで、このような官能基を有する(メタ)アクリルモノマーであってもいずれも保護することなく用いることができる。上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、例えば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する(メタ)アクリルモノマーが好ましい。
なお、上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーの官能基は、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる部分である。
The living radical polymerization polymer is preferably a polymer obtained by copolymerizing a monomer mixture containing a (meth) acrylic monomer having a functional group. By using the organic tellurium polymerization initiator, even such a (meth) acrylic monomer having such a functional group can be used without protection. The (meth) acrylic monomer having a functional group is preferably, for example, a (meth) acrylic monomer having a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group.
The functional group of the (meth) acrylic monomer having the above-mentioned functional group is a portion which becomes a reaction point for introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of the above-mentioned living radical polymerization polymer.

上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーとしては、具体的には例えば、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリルモノマー;N−メチル(メタ)アクリルアミド等のアミド基を有する(メタ)アクリルモノマー;(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロぺニル−α,α−ジメチルベンジルイソシアネート、(メタ)アクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート等のイソシアネート基を有する(メタ)アクリルモノマー;グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有する(メタ)アクリルモノマー;(メタ)アクリル酸等のカルボキシル基を有する(メタ)アクリルモノマー;(メタ)アクリル酸アミノエチル等のアミノ基を有する(メタ)アクリルモノマー等が挙げられる。これらの官能基を有する(メタ)アクリルモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Specific examples of the (meth) acrylic monomer having a functional group include 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 1,6-hexanediol (meth) acrylate and hydroxyethyl (meth) acrylate. ) (Meth) acrylic monomers having a hydroxyl group such as acrylate and polypropylene glycol mono (meth) acrylate; (meth) acrylic monomers having an amide group such as N-methyl (meth) acrylamide; (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, meta- (Meth) acrylic monomers having isocyanate groups such as isopropenyl-α, α-dimethylbenzyl isocyanate, (meth) acryloyl isocyanate, allyl isocyanate, etc .; epoxy groups such as glycidyl (meth) acrylate And (meth) acrylic monomers having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid; and (meth) acrylic monomers having an amino group such as aminoethyl (meth) acrylate. These (meth) acrylic monomers having these functional groups may be used alone or in combination of two or more.

上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーの含有量は、上記モノマー混合物中の好ましい下限が1重量%、好ましい上限が35重量%である。上記含有量が1重量%未満であると、紫外線硬化が可能な重合性基を充分に導入することができず、上記粘着剤層の紫外線硬化性が低下し、被着体から剥離するときに粘着力が充分に低下しないことがある。上記含有量が35重量%を超えると、ガラス転移温度の上昇により、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は2重量%、より好ましい上限は30重量%であり、更に好ましい下限は3重量%、更に好ましい上限は25重量%である。 The content of the (meth) acrylic monomer having a functional group is preferably 1% by weight and 35% by weight, respectively, in the monomer mixture. When the content is less than 1% by weight, a polymerizable group capable of UV curing can not be sufficiently introduced, and the UV curing property of the pressure-sensitive adhesive layer is lowered, and the adhesive layer is peeled off from the adherend Adhesion may not be reduced sufficiently. When the content exceeds 35% by weight, the pressure-sensitive adhesive tape may be easily peeled off before being irradiated with ultraviolet light due to the increase of the glass transition temperature. A more preferable lower limit of the content is 2% by weight, a more preferable upper limit is 30% by weight, a still more preferable lower limit is 3% by weight, and a still more preferable upper limit is 25% by weight.

また、上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーの官能基は、上述した通り、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入するための反応点となる部分であるが、反応点の全てを反応させないことが好ましく、反応点の2%未満を反応させずに残しておくことがより好ましい。このように反応点を反応させずに残すことにより、最終的に得られる粘着テープの粘着力又は凝集力を向上させることができる。 Further, as described above, the functional group of the (meth) acrylic monomer having the above-mentioned functional group is a portion to be a reactive point for introducing a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of the living radically polymerized polymer. However, it is preferable not to react all of the reaction points, and it is more preferable to leave less than 2% of the reaction points without reaction. By leaving the reaction point unreacted in this way, the adhesion or cohesion of the finally obtained adhesive tape can be improved.

上記モノマー混合物は、上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーに加えて、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソノニル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステルや、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ブトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等を含有していてもよい。これらのモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 The monomer mixture is, in addition to the (meth) acrylic monomer having the functional group, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (Meth) acrylates such as (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, isomyristyl (meth) acrylate and stearyl (meth) acrylate Acrylic acid alkyl ester, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-butoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate Tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate may contain. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

上記モノマー混合物は、更に、ビニル化合物を含有していてもよい。
上記ビニル化合物は特に限定されず、例えば、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、N−アクリロイルモルフォリン、アクリロニトリル、スチレン、酢酸ビニル等が挙げられる。これらのビニル化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The above-mentioned monomer mixture may further contain a vinyl compound.
The vinyl compound is not particularly limited, and examples thereof include N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, N-acryloyl morpholine, acrylonitrile, styrene, vinyl acetate and the like. These vinyl compounds may be used alone or in combination of two or more.

上記リビングラジカル重合ポリマーは、分子量分布(Mw/Mn)が1.05〜2.5である。上記分子量分布が2.5を超えると、上記リビングラジカル重合において生成した低分子量成分等が増えるため、粘着テープが剥がれやすくなる。上記分子量分布の好ましい上限は2.0であり、より好ましい上限は1.8である。 The living radical polymerized polymer has a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5. When the molecular weight distribution exceeds 2.5, the low molecular weight component and the like generated in the living radical polymerization increase, so the adhesive tape is easily peeled off. The upper limit of the molecular weight distribution is preferably 2.0, and more preferably 1.8.

上記リビングラジカル重合ポリマーは、重量平均分子量(Mw)の好ましい下限が10万、好ましい上限が200万である。上記重量平均分子量が10万未満であると、上記粘着剤層が柔らかくなりすぎて、使用状況によっては糊残りすることがあり、耐熱性が低下することがある。上記重量平均分子量が200万を超えると、塗工時の粘度が高すぎて塗工し難くなり、上記粘着剤層の厚みムラを発生させてしまうことがある。上記重量平均分子量のより好ましい下限は20万である。 The lower limit of the weight average molecular weight (Mw) is preferably 100,000 and the upper limit is preferably 2,000,000. If the weight-average molecular weight is less than 100,000, the pressure-sensitive adhesive layer may be too soft, and depending on the use condition, the adhesive may be left, and the heat resistance may be reduced. When the weight average molecular weight exceeds 2,000,000, the viscosity at the time of coating is too high to make coating difficult, and the thickness unevenness of the pressure-sensitive adhesive layer may be generated. A more preferable lower limit of the above weight average molecular weight is 200,000.

なお、分子量分布(Mw/Mn)は、重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比である。
重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、ゲルパミエーションクロマトグラフィ(GPC)法によりポリスチレン換算分子量として測定される。具体的には、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、リビングラジカル重合ポリマーをテトラヒドロフラン(THF)によって50倍希釈して得られた希釈液をフィルターで濾過し、得られた濾液を用いてGPC法によりポリスチレン換算分子量として測定される。GPC法では、例えば、2690 Separations Model(Waters社製)等を使用できる。
The molecular weight distribution (Mw / Mn) is the ratio of weight average molecular weight (Mw) to number average molecular weight (Mn).
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) are measured by gel permeation chromatography (GPC) as polystyrene equivalent molecular weight. Specifically, the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) are obtained by filtering the diluted solution obtained by diluting the living radical polymerized polymer 50 times with tetrahydrofuran (THF) with a filter, and obtained filtrate It is measured as polystyrene conversion molecular weight by GPC method using. In the GPC method, for example, 2690 Separations Model (manufactured by Waters) can be used.

上記(メタ)アクリルポリマーは、上記リビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入したものである。
上記紫外線硬化が可能な重合性基としては、例えば、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基等の炭素−炭素二重結合を有する基が挙げられる。上記紫外線硬化が可能な重合性基は、炭素−炭素三重結合を有する基であってもよい。
The (meth) acrylic polymer is one in which a polymerizable group capable of UV curing is introduced into the side chain of the living radical polymerized polymer.
Examples of the polymerizable group that can be cured by ultraviolet light include groups having a carbon-carbon double bond such as a vinyl group, an acryloyl group, and a methacryloyl group. The polymerizable group capable of UV curing may be a group having a carbon-carbon triple bond.

上記(メタ)アクリルポリマーは、例えば、次の方法により得ることが好ましい。
上記リビングラジカル重合により上記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを共重合させることで、これらのモノマーを各ポリマー分子に均一に共重合させることができ、得られたリビングラジカル重合ポリマーは側鎖に上記官能基を有するものとなる。このようなリビングラジカル重合ポリマーに、上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させることで、側鎖に重合性基を結合させる。
即ち、上記(メタ)アクリルポリマーは、上記リビングラジカル重合ポリマーに、上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものであることが好ましい。
The above (meth) acrylic polymer is preferably obtained, for example, by the following method.
By copolymerizing the (meth) acrylic monomer having the above functional group by the above living radical polymerization, these monomers can be uniformly copolymerized with each polymer molecule, and the obtained living radical polymerized polymer has side chains It becomes what has the said functional group. A polymerizable group is bonded to a side chain by reacting a compound having a polymerizable group that is capable of reacting with the above functional group and capable of curing with ultraviolet rays to such a living radically polymerized polymer.
That is, the above (meth) acrylic polymer is obtained by reacting the above living radical polymerization polymer with a compound which is capable of reacting with the above functional group and has a polymerizable group which can be cured by ultraviolet light. Is preferred.

上記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物としては、例えば、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、アミド基等の官能基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。具体的には例えば、次の(1)〜(4)の場合が挙げられる。
(1)側鎖に水酸基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、アミド基、イソシアネート基、エポキシ基及びカルボキシル基からなる群より選択される少なくとも1つを有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(2)側鎖にカルボキシル基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、エポキシ基又はイソシアネート基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(3)側鎖にエポキシ基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、カルボキシル基又はアミド基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
(4)側鎖にアミノ基を有するリビングラジカル重合ポリマーに対しては、エポキシ基を有し、かつ、(メタ)アクリロイル基を有する化合物を反応させればよい。
As a compound which can be reacted with the above functional group and has a polymerizable group which can be cured by ultraviolet light, it has, for example, functional groups such as carboxyl group, hydroxyl group, epoxy group, amino group, isocyanate group, amide group and the like And compounds having a (meth) acryloyl group. Specifically, for example, the following cases (1) to (4) may be mentioned.
(1) For a living radically polymerized polymer having a hydroxyl group in the side chain, it has at least one selected from the group consisting of an amide group, an isocyanate group, an epoxy group and a carboxyl group, and a (meth) acryloyl group A compound having the formula can be reacted.
(2) With respect to a living radically polymerized polymer having a carboxyl group in a side chain, a compound having an epoxy group or an isocyanate group and having a (meth) acryloyl group may be reacted.
(3) With respect to a living radically polymerized polymer having an epoxy group in the side chain, a compound having a carboxyl group or an amido group and having a (meth) acryloyl group may be reacted.
(4) With respect to a living radically polymerized polymer having an amino group in the side chain, a compound having an epoxy group and having a (meth) acryloyl group may be reacted.

上記粘着剤層は、光重合開始剤を含有してもよい。
上記光重合開始剤は、例えば、250〜800nmの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス(η5−シクロペンタジエニル)チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a photopolymerization initiator.
Examples of the photopolymerization initiator include those activated by irradiation with light having a wavelength of 250 to 800 nm. Examples of such a photopolymerization initiator include acetophenone derivative compounds such as methoxyacetophenone and the like, and Benzoin ether compounds such as benzoin propyl ether and benzoin isobutyl ether, ketal derivative compounds such as benzyl dimethyl ketal and acetophenone diethyl ketal, phosphine oxide derivative compounds, bis (η5-cyclopentadienyl) titanocene derivative compounds, Benzophenone, Michler's ketone, chlorothioxanthone, todecyl thioxanthone, dimethyl thioxanthone, diethyl thioxanthone, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxymethyl phenyl phenyl ether Photo radical polymerization initiators such as Lopan are mentioned. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

上記粘着剤層は、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有してもよい。
上記粘着剤層が上記気体発生剤を含有することにより、被着体から剥離するとき、上記粘着剤層の粘着力が大きく低下することに加えて上記気体発生剤から気体が発生し、これにより、上記粘着剤層の剥離応力が発生するか、又は、被着体との接着面積が減少して、強く引き剥がさずとも剥離できる。
上記気体発生剤としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、テトラゾール化合物又はその塩、ビステトラゾール化合物等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a gas generating agent that generates a gas by ultraviolet light.
When the pressure-sensitive adhesive layer contains the gas generating agent, when the pressure-sensitive adhesive layer peels off from the adherend, gas is generated from the gas generating agent in addition to the large decrease in the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer. The peeling stress of the pressure-sensitive adhesive layer is generated, or the bonding area with the adherend decreases, so that peeling can be performed without strongly peeling.
Examples of the gas generating agent include an azo compound, an azide compound, a tetrazole compound or a salt thereof, and a bistetrazole compound.

上記気体発生剤の含有量は、上記(メタ)アクリルポリマー100重量部に対する好ましい下限が5重量部、好ましい上限が50重量部である。上記含有量がこの範囲内であると、被着体から剥離するときには充分な気体が発生して上記粘着剤層の剥離を行うことができ、かつ、上記接着剤層の粘着力を損なうこともない。上記含有量のより好ましい下限は10重量部、より好ましい上限は30重量部である。 The content of the gas generating agent is preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer and 50 parts by weight with a preferable upper limit. When the content is within this range, a sufficient gas is generated when peeling from the adherend, and the pressure-sensitive adhesive layer can be peeled off, and the adhesion of the adhesive layer is also impaired. Absent. The more preferable lower limit of the content is 10 parts by weight, and the more preferable upper limit is 30 parts by weight.

上記粘着剤層は、更に、光増感剤を含有してもよい。
上記光増感剤は、上記気体発生剤への光による刺激を増幅する効果を有することから、より少ない光の照射により気体を放出させることができる。また、より広い波長領域の光により気体を放出させることができる。
上記光増感剤としては、例えば、アミノ系化合物、ニトロ化合物、キノン系化合物、キサントン系化合物、アンスロン化合物、ケトン系化合物等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may further contain a photosensitizer.
The photosensitizer has an effect of amplifying the stimulation of the gas generating agent with light, so that the gas can be released by irradiation with less light. In addition, gas can be released by light in a wider wavelength range.
Examples of the photosensitizer include amino compounds, nitro compounds, quinone compounds, xanthone compounds, anthrone compounds, ketone compounds and the like.

上記光増感剤は特に限定されず、例えば、アルコキシ基を少なくとも1つ以上有する多環芳香族化合物が挙げられる。なかでも、一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物が好ましい。このような化合物は、耐昇華性が高く、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基又は水酸基で置換されることにより、上記粘着剤層への溶解性が高まり、ブリードアウトを防止することができる。
上記多環芳香族化合物は、アントラセン誘導体が好ましい。上記アルコキシ基は、炭素数1〜18のものが好ましく、炭素数1〜8のものがより好ましい。
The photosensitizer is not particularly limited, and examples thereof include polycyclic aromatic compounds having at least one or more alkoxy groups. Among them, a substituted alkoxy polycyclic aromatic compound having an alkoxy group partially substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group is preferable. Such compounds are highly resistant to sublimation and can be used at high temperatures. In addition, when a part of the alkoxy group is substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group, the solubility in the pressure-sensitive adhesive layer is enhanced, and bleed-out can be prevented.
The above-mentioned polycyclic aromatic compound is preferably an anthracene derivative. The alkoxy group preferably has 1 to 18 carbon atoms, and more preferably 1 to 8 carbon atoms.

上記アルコキシ基を少なくとも1つ以上有する多環芳香族化合物は、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、2−tブチル−9,10−ジメトキシアントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9−メトキシ−10−メチルアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、2−tブチル−9,10−ジエトキシアントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジエトキシアントラセン、9−エトキシ−10−メチルアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジプロポキシアントラセン、2−tブチル−9,10−ジプロポキシアントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジプロポキシアントラセン、9−イソプロポキシ−10−メチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジベンジルオキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジベンジルオキシアントラセン、2−tブチル−9,10−ジベンジルオキシアントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジベンジルオキシアントラセン、9−ベンジルオキシ−10−メチルアントラセン、9,10−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、2−tブチル−9,10−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、9−(α−メチルベンジルオキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシエトキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(2−カルボキシエトキシ)アントラセン等のアントラセン誘導体等が挙げられる。 Examples of polycyclic aromatic compounds having at least one or more of the above alkoxy groups include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 2-t-butyl-9,10-dimethoxyanthracene, 3-dimethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9-methoxy-10-methylanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, 2-t-butyl-9,10-di Ethoxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-diethoxyanthracene, 9-ethoxy-10-methylanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dipropoxyanthracene, 2-t-butyl -9,10-dipropoxyanthracene, 2,3-dimethyl-9, 0-dipropoxyanthracene, 9-isopropoxy-10-methylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dibenzyloxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dibenzyloxyanthracene, 2-t-butyl -9,10-dibenzyloxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-dibenzyloxyanthracene, 9-benzyloxy-10-methylanthracene, 9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2- Ethyl-9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2-t-butyl-9,10-di-α-methylbenzyloxyanthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di-α-methylbenzyloxy Anthracene, 9- (α-methylbenzyloxy) -10-methylanthrase , 9,10-di (2-hydroxyethoxy) anthracene, and the like anthracene derivative such as 2-ethyl-9,10-di (2-carboxyethoxy) anthracene.

上記一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物は、例えば、9,10−ジ(グリシジルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(グリシジルオキシ)アントラセン、2−tブチル−9,10−ジ(グリシジルオキシ)アントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ(グリシジルオキシ)アントラセン、9−(グリシジルオキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(2−ビニルオキシエトキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(2−ビニルオキシエトキシ)アントラセン、2−tブチル−9,10−ジ(2−ビニルオキシエトキシ)アントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ(2−ビニルオキシエトキシ)アントラセン、9−(2−ビニルオキシエトキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(3−メチル−3−オキセタニルメメトキシ)アントラセン、2−tブチル−9,10−ジ(3−メチル−3−オキセタニルメメトキシ)アントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ(3−メチル−3−オキセタニルメメトキシ)アントラセン、9−(3−メチル−3−オキセタニルメメトキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(p−エポキシフェニルメトキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(p−エポキシフェニルメトキシ)アントラセン、2−tブチル−9,10−ジ(p−エポキシフェニルメトキシ)アントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ(p−エポキシフェニルメトキシ)アントラセン、9−(p−エポキシフェニルメトキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(p−ビニルフェニルメトキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジ(p−ビニルフェニルメトキシ)アントラセン、2−tブチル−9,1−ジ(p−ビニルフェニルメトキシ)アントラセン、2,3−ジメチル−9,10−ジ(p−ビニルフェニルメトキシ)アントラセン、9−(p−ビニルフェニルメトキシ)−10−メチルアントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシエトキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシプロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシブトキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシ−3−ブトキシプロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシ−3−(2−エチルヘキシルオキシ)プロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシ−3−アリロキシプロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(2,3−ジヒドロキシプロポキシ)アントラセン等が挙げられる。 The substituted alkoxy polycyclic aromatic compound having an alkoxy group in which a part of the above is substituted with a glycidyl group or a hydroxyl group is, for example, 9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (glycidyloxy) ) Anthracene, 2-t-butyl-9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (glycidyloxy) anthracene, 9- (glycidyloxy) -10-methylanthracene, 9, 10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2-t-butyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 2 , 3-Dimethyl-9,10-di (2-vinyloxyethoxy) anthracene, 9- (2-vinyloxy) Ethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 2-t Butyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (3-methyl-3-oxetanylmemethoxy) anthracene, 9- (3-methyl -3-oxetanyl memethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2-t-butyl- 9,10-di (p-epoxyphenylmethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (p-e) Xyphenylmethoxy) anthracene, 9- (p-epoxyphenylmethoxy) -10-methylanthracene, 9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 2-ethyl-9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) ) Anthracene, 2-t-butyl-9,1-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 2,3-dimethyl-9,10-di (p-vinylphenylmethoxy) anthracene, 9- (p-vinylphenylmethoxy) ) -10-Methylanthracene, 9,10-di (2-hydroxyethoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxybutoxy) anthracene, 9,10- Di (2-hydroxy-3-butoxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxy-3- (2-ethylhexyloxy) propoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxy-3-allyloxypropoxy) anthracene, 9,10-di (2-hydroxy-3-phenoxypropoxy) Anthracene, 9,10-di (2,3-dihydroxypropoxy) anthracene and the like can be mentioned.

上記光増感剤の含有量は、上記(メタ)アクリルポリマー100重量部に対する好ましい下限が0.05重量部、好ましい上限が10重量部である。上記含有量が0.05重量部未満であると、充分な増感効果が得られないことがある。上記含有量が10重量部を超えると、光増感剤に由来する残存物が増え、充分な剥離を行えなくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は0.1重量部、より好ましい上限は5重量部である。 The content of the photosensitizer is preferably 0.05 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer, and 10 parts by weight with a preferable upper limit. When the content is less than 0.05 parts by weight, a sufficient sensitization effect may not be obtained. When the content is more than 10 parts by weight, the residue derived from the photosensitizer may increase, and sufficient peeling may not be performed. The more preferable lower limit of the content is 0.1 parts by weight, and the more preferable upper limit is 5 parts by weight.

上記粘着剤層は、更に、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有してもよい。上記粘着剤層がラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーを含有することにより、上記粘着剤層の紫外線硬化性が向上する。
上記多官能オリゴマー又はモノマーは、分子量が1万以下であるものが好ましく、紫外線の照射による上記粘着剤層の硬化が効率よくなされるように、その分子量が5000以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が2〜20個のものがより好ましい。
The pressure-sensitive adhesive layer may further contain a radically polymerizable polyfunctional oligomer or monomer. When the pressure-sensitive adhesive layer contains a radically polymerizable polyfunctional oligomer or monomer, the ultraviolet ray curability of the pressure-sensitive adhesive layer is improved.
The polyfunctional oligomer or monomer preferably has a molecular weight of 10,000 or less, and the molecular weight is 5,000 or less and the intramolecular radical polymerization so that curing of the pressure-sensitive adhesive layer by irradiation of ultraviolet rays can be efficiently performed. It is more preferable that the number of unsaturated bonds of is 2 to 20.

上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。また、1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the polyfunctional oligomer or monomer include, for example, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxy pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate or the same as above. Methacrylates etc. are mentioned. In addition, 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, commercially available oligoester acrylate, methacrylates similar to the above, and the like can be mentioned. These polyfunctional oligomers or monomers may be used alone or in combination of two or more.

上記粘着剤層は、粘着付与樹脂を含有してもよい。上記粘着剤層が粘着付与樹脂を含有することにより、粘着テープは、被着体から剥離するときに紫外線照射されるまでは、剥がれにくいものとなる。
上記粘着付与樹脂としては、例えば、ロジン樹脂、不均化ロジン樹脂、重合ロジン樹脂、水添ロジン樹脂、ロジン変性フェノール樹脂、ロジンエステル樹脂、不均化ロジンエステル樹脂、重合ロジンエステル樹脂、水添ロジンエステル樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、クマロンインデン樹脂、石油系樹脂等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive layer may contain a tackifying resin. When the pressure-sensitive adhesive layer contains a tackifying resin, the pressure-sensitive adhesive tape becomes difficult to be peeled until it is irradiated with ultraviolet light when it is peeled from an adherend.
Examples of the tackifier resin include rosin resin, disproportionated rosin resin, polymerized rosin resin, hydrogenated rosin resin, rosin modified phenolic resin, rosin ester resin, disproportionated rosin ester resin, polymerized rosin ester resin, hydrogenated Examples include rosin ester resins, terpene resins, terpene phenol resins, coumarone indene resins, petroleum resins and the like.

上記粘着付与樹脂の含有量は、上記(メタ)アクリルポリマー100重量部に対する好ましい下限が5重量部、好ましい上限が40重量部である。上記含有量が5重量部未満であると、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなり、上記含有量が40重量部を超えると、ガラス転移温度の上昇により、紫外線照射される前に粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記含有量のより好ましい下限は10重量部、より好ましい上限は30重量部である。 The content of the tackifying resin is preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer and 40 parts by weight with a preferable upper limit. When the content is less than 5 parts by weight, the pressure-sensitive adhesive tape is easily peeled off before being irradiated with ultraviolet light, and when the content exceeds 40 parts by weight, adhesion is caused before the ultraviolet light is irradiated due to the increase of the glass transition temperature. The tape may come off easily. The more preferable lower limit of the content is 10 parts by weight, and the more preferable upper limit is 30 parts by weight.

上記粘着剤層は、必要に応じて、可塑剤、乳化剤、軟化剤、微粒子、充填剤、顔料、染料、シランカップリング剤、酸化防止剤、界面活性剤、ワックス、充填剤等の公知の添加剤を含有してもよい。 The pressure-sensitive adhesive layer is, if necessary, known additives such as plasticizers, emulsifiers, softeners, fine particles, fillers, pigments, dyes, silane coupling agents, antioxidants, surfactants, waxes, fillers, etc. It may contain an agent.

上記粘着剤層は、ゲル分率の好ましい下限が1重量%、好ましい上限が70重量%である。上記ゲル分率が1重量%未満であると、上記粘着剤層が柔らかくなりすぎて、耐熱性が低下することがある。上記ゲル分率が70重量%を超えると、粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記ゲル分率のより好ましい下限は5重量%、より好ましい上限は60重量%である。
なお、ゲル分率は、次のようにして測定される。まず、粘着テープを50mm×100mmの平面長方形状に裁断して試験片を作製し、試験片を酢酸エチル中に23℃にて24時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、110℃の条件下で1時間乾燥させる。乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式(1)を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片には、粘着剤層を保護するための離型フィルムは積層されていないものとする。
ゲル分率(重量%)=100×(W2−W0)/(W1−W0) (1)
(W0:基材の重量、W1:浸漬前の試験片の重量、W2:浸漬、乾燥後の試験片の重量)
In the pressure-sensitive adhesive layer, the lower limit of the gel fraction is preferably 1% by weight, and the upper limit is preferably 70% by weight. If the gel fraction is less than 1% by weight, the pressure-sensitive adhesive layer may be too soft and heat resistance may be reduced. When the gel fraction exceeds 70% by weight, the pressure-sensitive adhesive tape may be easily peeled off. The more preferable lower limit of the gel fraction is 5% by weight, and the more preferable upper limit is 60% by weight.
The gel fraction is measured as follows. First, a pressure-sensitive adhesive tape is cut into a flat rectangular shape of 50 mm × 100 mm to prepare a test piece, and the test piece is immersed in ethyl acetate at 23 ° C. for 24 hours, then taken out of ethyl acetate and subjected to 110 ° C. conditions Let dry for 1 hour. The weight of the test piece after drying is measured, and the gel fraction is calculated using the following formula (1). In addition, the release film for protecting an adhesive layer shall not be laminated | stacked on a test piece.
Gel fraction (% by weight) = 100 × (W2-W0) / (W1-W0) (1)
(W0: Weight of base material, W1: Weight of test piece before immersion, W2: Weight of test piece after immersion, drying)

上記範囲のゲル分率の粘着剤層を得る方法としては、架橋剤を添加して上記粘着剤層を構成する樹脂の主鎖間に架橋構造を形成する方法が好ましい。上記架橋剤の種類又は量を適宜調整することによって、上記粘着剤層のゲル分率を上記範囲に調整しやすくなる。 As a method of obtaining a pressure-sensitive adhesive layer having a gel fraction in the above range, a method of adding a crosslinking agent to form a crosslinked structure between main chains of the resin constituting the pressure-sensitive adhesive layer is preferable. By appropriately adjusting the type or amount of the crosslinking agent, the gel fraction of the pressure-sensitive adhesive layer can be easily adjusted to the above range.

上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤等が挙げられる。なかでも、基材に対する密着安定性に優れるため、イソシアネート系架橋剤が好ましい。上記イソシアネート系架橋剤として、例えば、コロネートHX(日本ポリウレタン工業社製)、コロネートL(日本ポリウレタン工業社製)、マイテックNY260A(三菱化学社製)等が挙げられる。
上記架橋剤の配合量は、上記(メタ)アクリルポリマー100重量部に対して0.01〜5重量部が好ましく、0.1〜3重量部がより好ましい。
The said crosslinking agent is not specifically limited, For example, an isocyanate type crosslinking agent, an aziridine type crosslinking agent, an epoxy type crosslinking agent, a metal chelate type crosslinking agent etc. are mentioned. Especially, since it is excellent in the adhesion stability with respect to a base material, an isocyanate type crosslinking agent is preferable. As said isocyanate type crosslinking agent, Coronate HX (made by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), Coronate L (made by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), Mytec NY260A (made by Mitsubishi Chemical Corporation) etc. are mentioned, for example.
The blending amount of the crosslinking agent is preferably 0.01 to 5 parts by weight, and more preferably 0.1 to 3 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (meth) acrylic polymer.

上記粘着剤層の厚みは用途によって設定されるので特に限定されないが、好ましい下限が1μm、好ましい上限が100μmである。上記厚みが1μm未満であると、粘着テープが剥がれやすくなることがある。上記厚みが100μmを超えると、薄い粘着テープが得られないことがある。上記厚みのより好ましい下限は25μm、より好ましい上限は75μmである。 The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited because it is set depending on the application, but a preferable lower limit is 1 μm, and a preferable upper limit is 100 μm. When the thickness is less than 1 μm, the pressure-sensitive adhesive tape may be easily peeled off. When the said thickness exceeds 100 micrometers, a thin adhesive tape may not be obtained. The more preferable lower limit of the thickness is 25 μm, and the more preferable upper limit is 75 μm.

本発明の粘着テープは、基材を有するサポートタイプであってもよいし、基材を有さないノンサポートタイプであってもよい。サポートタイプの場合には、基材の片面に上記粘着剤層が形成されていてもよいし、両面に上記粘着剤層が形成されていてもよい。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be a support type having a substrate or may be a non-support type having no substrate. In the case of the support type, the pressure-sensitive adhesive layer may be formed on one side of the substrate, or the pressure-sensitive adhesive layer may be formed on both sides.

上記基材は特に限定されないが、樹脂フィルム、樹脂発泡体、紙、不織布、ヤーンクロス布等が挙げられる。
上記樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系樹脂フィルムや、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム等のポリエステル系樹脂フィルムや、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体等の変性オレフィン系樹脂フィルムや、ポリ塩化ビニル系樹脂フィルム、ポリウレタン系樹脂フィルム、シクロオレフィンポリマー樹脂フィルム、アクリル樹脂フィルム、ポリカーボネートフィルム、ABS(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン)樹脂フィルム、ポリアミドフィルム、ポリウレタンフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。
上記樹脂発泡体としては、例えば、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、アクリルフォーム、ウレタンフォーム、エチレンプロピレンゴムフォーム等が挙げられる。上記ヤーンクロス布としては、例えば、ポリエチレンフラットヤーンを織ったものや、その表面に樹脂フィルムをラミネートしたもの等が挙げられる。
上記基材は、透明な樹脂からなる基材であってもよく、網目状の構造を有する基材であってもよく、孔が開けられた基材であってもよい。
Although the said base material is not specifically limited, A resin film, a resin foam, paper, a nonwoven fabric, a yarn cloth cloth etc. are mentioned.
Examples of the resin film include polyolefin resin films such as polyethylene films and polypropylene films, polyester resin films such as polyethylene terephthalate (PET) films and polyethylene naphthalate (PEN) films, and ethylene-vinyl acetate copolymer , Modified olefin resin films such as ethylene-acrylic acid ester copolymer, polyvinyl chloride resin film, polyurethane resin film, cycloolefin polymer resin film, acrylic resin film, polycarbonate film, ABS (acrylonitrile-butadiene-styrene) And the like) resin films, polyamide films, polyurethane films, polyimide films and the like.
Examples of the resin foam include polyethylene foam, polypropylene foam, acrylic foam, urethane foam, ethylene propylene rubber foam and the like. Examples of the yarn cloth include those obtained by weaving polyethylene flat yarns, and those obtained by laminating a resin film on the surface thereof.
The base material may be a base material made of a transparent resin, may be a base material having a network structure, or may be a base material with holes.

上記基材の厚みは用途によって設定されるので特に限定されないが、例えばフィルム基材の場合には1〜100μmが好ましく、5〜75μmがより好ましい。上記基材の厚みが1μm未満であると、粘着テープの機械的強度が低下することがある。上記基材の厚みが100μmを超えると、粘着テープの腰が強くなりすぎて、被着体の形状に沿って密着させて貼り合わせることが困難になることがある。 The thickness of the substrate is not particularly limited because it is set depending on the application, but in the case of a film substrate, for example, 1 to 100 μm is preferable, and 5 to 75 μm is more preferable. The mechanical strength of an adhesive tape may fall that the thickness of the said base material is less than 1 micrometer. When the thickness of the base material exceeds 100 μm, the stiffness of the pressure-sensitive adhesive tape becomes too strong, which may make it difficult to closely adhere and bond along the shape of the adherend.

本発明の粘着テープの製造方法は特に限定されず、例えば、上記(メタ)アクリルポリマーを、必要に応じて上記光重合開始剤、上記気体発生剤、上記光増感剤、上記粘着付与樹脂、上記架橋剤等のその他の配合成分と共に混合し、攪拌して粘着剤溶液を調製し、続いて、この粘着剤溶液を離型処理したPETフィルムに塗工乾燥させて粘着剤層を形成し、得られた粘着剤層を基材の片面又は両面に転着させる方法、基材に直接塗工乾燥させる方法等が挙げられる。粘着剤溶液を離型処理したPETフィルムに塗工乾燥させて形成した粘着剤層を、基材なしでそのままノンサポートタイプの粘着テープとしてもよい。 The method for producing the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is not particularly limited, and, for example, the (meth) acrylic polymer, if necessary, the photopolymerization initiator, the gas generator, the photosensitizer, and the tackifier resin The mixture is mixed with other components such as the above cross-linking agent and stirred to prepare a pressure-sensitive adhesive solution, and then the pressure-sensitive adhesive solution is coated and dried on a release-treated PET film to form a pressure-sensitive adhesive layer The method of transferring the obtained adhesive layer on one side or both sides of a base material, the method of carrying out direct coating drying of a base material, etc. are mentioned. The pressure-sensitive adhesive layer formed by coating and drying the pressure-sensitive adhesive solution on a release-treated PET film may be directly used as a non-support type pressure-sensitive adhesive tape without a substrate.

本発明の粘着テープの用途は特に限定されないが、例えば、半導体ウエハを加工する際のバックグラインドテープ又はダイシング用粘着テープや、反り易い部材(例えば、極薄ガラス基板等の脆弱部材、プラスチックスフィルム、コアレスFPC基板等)の支持用テープ等に好適に用いることができる。
また、本発明の粘着テープは、例えば、半導体ウエハに薬液処理、加熱処理又は発熱を伴う処理を施す際、或いは、半導体ウエハに電極を有する貫通孔を形成させる際に、半導体ウエハを保護する目的で支持板を貼り合わせる際に用いることができる。これらの処理を終えた後には、光を照射することにより容易に半導体ウエハから支持板を剥離することができる。
Although the application of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is not particularly limited, for example, backgrind tape or pressure-sensitive adhesive tape for dicing when processing a semiconductor wafer, a member easy to warp (for example, fragile member such as ultrathin glass substrate, plastics film And coreless FPC substrate etc.) can be suitably used.
Further, the adhesive tape of the present invention is for the purpose of protecting a semiconductor wafer, for example, when the semiconductor wafer is subjected to a chemical treatment, a heating treatment or a process involving heat generation, or when the through hole having an electrode is formed on the semiconductor wafer. Can be used when pasting a support plate together. After these treatments, the support plate can be easily peeled off from the semiconductor wafer by light irradiation.

本発明によれば、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive tape which can be easily peeled from a to-be-adhered body is provided, reducing adhesive residue.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail by way of the following examples, but the present invention is not limited to these examples.

(合成1)
(リビングラジカル重合ポリマーの合成)
Tellurium(40メッシュ、金属テルル、アルドリッチ社製)6.38g(50mmol)をテトラヒドロフラン(THF)50mLに懸濁させ、これに1.6mol/Lのn−ブチルリチウム/ヘキサン溶液(アルドリッチ社製)34.4mL(55mmol)を、室温でゆっくり滴下した。この反応溶液を金属テルルが完全に消失するまで攪拌した。この反応溶液に、エチル−2−ブロモ−イソブチレート10.7g(55mmol)を室温で加え、2時間攪拌した。反応終了後、減圧下で溶媒を濃縮し、続いて減圧蒸留して、黄色油状物の2−メチル−2−n−ブチルテラニル−プロピオン酸エチルを得た。
(Composition 1)
(Synthesis of living radical polymerization polymer)
6.38 g (50 mmol) of Tellurium (40 mesh, metal tellurium, manufactured by Aldrich) is suspended in 50 mL of tetrahydrofuran (THF), and 1.6 mol / L of n-butyllithium / hexane solution (manufactured by Aldrich) 34 .4 mL (55 mmol) was slowly dropped at room temperature. The reaction solution was stirred until the metal tellurium disappeared completely. To this reaction solution, 10.7 g (55 mmol) of ethyl-2-bromo-isobutyrate was added at room temperature and stirred for 2 hours. After completion of the reaction, the solvent was concentrated under reduced pressure and then distilled under reduced pressure to obtain ethyl 2-methyl-2-n-butyl-teranyl-propionate as a yellow oil.

アルゴン置換したグローブボックス内で、反応容器中に、上記で得られた2−メチル−2−n−ブチルテラニル−プロピオン酸エチル38μL、V−60(2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製)2.8mg、酢酸エチル1mLを投入した後、反応容器を密閉し、反応容器をグローブボックスから取り出した。続いて、反応容器にアルゴンガスを流入しながら、反応容器内に、表1に示すモノマー(2EHA:2−エチルヘキシルアクリレート、Mac:メタクリル酸、HEA:ヒドロキシエチルアクリレート)の合計100g、重合溶媒として酢酸エチル66.5gを投入し、60℃で20時間重合反応を行い、リビングラジカル重合ポリマー含有溶液を得た。
得られたリビングラジカル重合ポリマーをテトラヒドロフラン(THF)によって50倍希釈して得られた希釈液をフィルター(材質:ポリテトラフルオロエチレン、ポア径:0.2μm)で濾過し、得られた濾液をゲルパミエーションクロマトグラフ(Waters社製、2690 Separations Model)に供給して、サンプル流量1ミリリットル/min、カラム温度40℃の条件でGPC測定を行い、ポリマーのポリスチレン換算分子量を測定して、重量平均分子量(Mw)及び分子量分布(Mw/Mn)を求めた。カラムとしてはGPC KF−806L(昭和電工社製)を用い、検出器としては示差屈折計を用いた。
In a reaction vessel, in an argon-substituted glove box, 38 μL of ethyl 2-methyl-2-n-butyl-teranyl-propionate obtained above, V-60 (2,2'-azobisisobutyronitrile, sum After charging 2.8 mg of Optical Pure Chemical Industries, Ltd. and 1 mL of ethyl acetate, the reaction vessel was sealed, and the reaction vessel was taken out of the glove box. Then, while flowing argon gas into the reaction vessel, a total of 100 g of monomers (2EHA: 2-ethylhexyl acrylate, Mac: methacrylic acid, HEA: hydroxyethyl acrylate) shown in Table 1 in the reaction vessel, acetic acid as a polymerization solvent 66.5 g of ethyl was charged, and a polymerization reaction was carried out at 60 ° C. for 20 hours to obtain a solution containing a living radically polymerized polymer.
The resulting living radical-polymerized polymer is diluted 50 times with tetrahydrofuran (THF), and the diluted solution obtained is filtered with a filter (material: polytetrafluoroethylene, pore diameter: 0.2 μm), and the obtained filtrate is gelled. Supply to a permeation chromatograph (manufactured by Waters, 2690 Separations Model), perform GPC measurement under the conditions of sample flow rate 1 ml / min, column temperature 40 ° C., and measure polystyrene equivalent molecular weight of polymer, weight average molecular weight (Mw) and molecular weight distribution (Mw / Mn) were determined. As a column, GPC KF-806L (manufactured by Showa Denko KK) was used, and as a detector, a differential refractometer was used.

(合成2)
(フリーラジカル重合ポリマーの合成)
反応容器内に、重合溶媒として酢酸エチル50gを加え、窒素でバブリングした後、窒素を流入しながら反応容器を加熱して還流を開始した。続いて、重合開始剤としてV−60(2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製)0.15gを酢酸エチルで10倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に投入し、表1に示すモノマーの合計100gを2時間かけて滴下添加した。滴下終了後、重合開始剤としてV−60(2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、和光純薬工業社製)0.15gを酢酸エチルで10倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に再度投入し、4時間重合反応を行い、フリーラジカル重合ポリマー含有溶液を得た。合成1と同様にして、重量平均分子量(Mw)及び分子量分布(Mw/Mn)を求めた。
(Composition 2)
(Synthesis of free radical polymerization polymer)
In a reaction vessel, 50 g of ethyl acetate as a polymerization solvent was added, and after bubbling with nitrogen, the reaction vessel was heated while flowing nitrogen and reflux was started. Subsequently, a polymerization initiator solution prepared by diluting 0.15 g of V-60 (2,2′-azobisisobutyronitrile, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) as a polymerization initiator with 10 times of ethyl acetate in a reaction vessel After charging, a total of 100 g of the monomers shown in Table 1 was added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, a polymerization initiator solution in which 0.15 g of V-60 (2,2′-azobisisobutyronitrile, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was diluted 10 times with ethyl acetate as a polymerization initiator was added to the reaction vessel The reaction mixture was again charged for 4 hours to carry out polymerization reaction for 4 hours to obtain a solution containing a free radical polymerization polymer. The weight average molecular weight (Mw) and the molecular weight distribution (Mw / Mn) were determined in the same manner as in Synthesis 1.

Figure 0006539383
Figure 0006539383

(実施例1〜6、比較例1〜3)
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応容器を用意し、この反応容器内に、合成1又は2で得た固形分換算で100重量部のラジカル重合ポリマー含有溶液に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、ラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマー1又は2を含有する酢酸エチル溶液を得た。
更に、(メタ)アクリルポリマー1又は2を含有する酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、表2、表3に示す所定量の光重合開始剤(イルガキュア651、BASF社製)、架橋剤(IPDI:イソホロンジイソシアネート)を添加して攪拌し、不揮発分30重量%の粘着剤溶液を得た。このとき、実施例4〜6では、表3に示す所定量の気体発生剤(アゾジカルボンアミド)、光増感剤(9,10−ジグリシジルオキシアントラセン)を添加した。
厚み50μmの離型処理したPETフィルムに、得られた粘着剤溶液を、乾燥後の粘着剤層の厚みが50μmとなるように塗工した後、70℃で10分間乾燥させ、粘着テープを得た。なお、粘着剤層を保護するために粘着剤層のもう一方の面にも厚み50μmの離型処理したPETフィルムを積層した。
(Examples 1 to 6, Comparative Examples 1 to 3)
A reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, and a cooling pipe is prepared, and 2-isocyanato is added to the solution containing 100 parts by weight of the radical polymerization polymer in terms of solid content obtained in Synthesis 1 or 2 in this reaction vessel. 3.5 parts by weight of ethyl methacrylate was added and reacted to obtain an ethyl acetate solution containing the (meth) acrylic polymer 1 or 2 in which a polymerizable group capable of UV curing was introduced to the side chain of the radically polymerized polymer.
Furthermore, with respect to 100 parts by weight of resin solid content of an ethyl acetate solution containing (meth) acrylic polymer 1 or 2, a predetermined amount of photopolymerization initiator (IRGACURE 651, manufactured by BASF AG) shown in Tables 2 and 3; A crosslinking agent (IPDI: isophorone diisocyanate) was added and stirred to obtain a pressure-sensitive adhesive solution having a nonvolatile content of 30% by weight. At this time, in Examples 4 to 6, predetermined amounts of a gas generating agent (azodicarbonamide) and a photosensitizer (9, 10-diglycidyl oxyanthracene) shown in Table 3 were added.
The resulting pressure-sensitive adhesive solution is applied to a release-treated PET film having a thickness of 50 μm so that the thickness of the dried pressure-sensitive adhesive layer is 50 μm, and then dried at 70 ° C. for 10 minutes to obtain a pressure-sensitive adhesive tape. The In order to protect the pressure-sensitive adhesive layer, a 50 μm-thick release-treated PET film was laminated also on the other side of the pressure-sensitive adhesive layer.

得られた粘着テープを50mm×100mmの平面長方形状に裁断して試験片を作製し、離型フィルムを剥離除去した。試験片を酢酸エチル中に23℃にて24時間浸漬した後、酢酸エチルから取り出して、110℃の条件下で1時間乾燥させた。乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式(1)を用いてゲル分率を算出した。
ゲル分率(重量%)=100×(W2−W0)/(W1−W0) (1)
(W0:基材の重量、W1:浸漬前の試験片の重量、W2:浸漬、乾燥後の試験片の重量)
The obtained adhesive tape was cut into a 50 mm × 100 mm flat rectangular shape to prepare a test piece, and the release film was peeled and removed. The test pieces were immersed in ethyl acetate at 23 ° C. for 24 hours, removed from the ethyl acetate, and dried at 110 ° C. for 1 hour. The weight of the test piece after drying was measured, and the gel fraction was calculated using the following formula (1).
Gel fraction (% by weight) = 100 × (W2-W0) / (W1-W0) (1)
(W0: Weight of base material, W1: Weight of test piece before immersion, W2: Weight of test piece after immersion, drying)

<評価>
実施例、比較例で得られた粘着テープについて、下記の評価を行った。結果を表2、表3に示した。
<Evaluation>
The following evaluation was performed about the adhesive tape obtained by the Example and the comparative example. The results are shown in Tables 2 and 3.

(1)鋼板(SUS板)に対する糊残りの有無の観察
幅20mm×50mmに切り出した粘着テープの片面の離型処理したPETフィルムを剥がし、コロナ処理した厚み50μmのPETフィルムで裏打ちした。この粘着テープのもう一方の離型処理したPETフィルムを剥がし、鋼板(SUS板)に貼り、23℃50%湿度で一晩養生した後、超高圧水銀灯を用いて365nmの紫外線を照射強度が40mW/cmとなるよう照度を調節して10秒間照射した。その後、粘着テープを23℃で90°の方向に引き剥がした。
◎:糊残りがまったく見られない
○:粘着テープを剥がした面にわずかに曇りが見られる
×:糊残りあり
(1) Observation of presence or absence of adhesive residue on steel plate (SUS plate) The release-treated PET film on one side of the pressure-sensitive adhesive tape cut out with a width of 20 mm × 50 mm was peeled off and backed with a corona-treated 50 μm-thick PET film. The other release-treated PET film of this adhesive tape is peeled off and attached to a steel plate (SUS plate) and aged overnight at 23 ° C. and 50% humidity, and then irradiated with ultraviolet light of 365 nm using an ultra-high pressure mercury lamp The illumination was adjusted to 10 cm 2 for 10 seconds. Thereafter, the adhesive tape was peeled off in the direction of 90 ° at 23 ° C.
:: no adhesive residue was observed at all ○: slightly cloudy on the surface from which the adhesive tape was removed ×: adhesive residue was present

Figure 0006539383
Figure 0006539383

Figure 0006539383
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本発明によれば、糊残りを低減しつつ被着体から容易に剥離することができる粘着テープを提供する。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive tape which can be easily peeled from a to-be-adhered body is provided, reducing adhesive residue.

Claims (4)

粘着剤層を有する粘着テープであって、前記粘着剤層は、分子量分布(Mw/Mn)1.05〜2.5のリビングラジカル重合ポリマーの側鎖に紫外線硬化が可能な重合性基を導入した(メタ)アクリルポリマーを含有し、
前記リビングラジカル重合ポリマーは、官能基を有する(メタ)アクリルモノマーを含有するモノマー混合物を共重合させて得られたランダム共重合体であり、
前記モノマー混合物における前記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーの含有量が25重量%以下であり、
前記(メタ)アクリルポリマーは、前記リビングラジカル重合ポリマーに、前記官能基と反応可能であり、かつ、紫外線硬化が可能な重合性基を有する化合物を反応させて得られたものである
ことを特徴とする粘着テープ。
A pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer, wherein the pressure-sensitive adhesive layer introduces a polymerizable group capable of ultraviolet curing into the side chain of a living radically polymerized polymer having a molecular weight distribution (Mw / Mn) of 1.05 to 2.5. Containing (meth) acrylic polymer
The living radical polymerization polymer is a random copolymer obtained by copolymerizing a monomer mixture containing a (meth) acrylic monomer having a functional group,
The content of the (meth) acrylic monomer having the functional group in the monomer mixture is 25% by weight or less,
The (meth) acrylic polymer is characterized in that it is obtained by reacting the living radical polymerized polymer with a compound which is capable of reacting with the functional group and has a polymerizable group which can be cured by ultraviolet light. Adhesive tape with.
前記粘着剤層は、更に、紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有することを特徴とする請求項1記載の粘着テープ。The pressure-sensitive adhesive tape according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive layer further contains a gas generating agent which generates a gas by ultraviolet light. 前記官能基を有する(メタ)アクリルモノマーは、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基又はアミド基を有する(メタ)アクリルモノマーであることを特徴とする請求項1又は2記載の粘着テープ。 The adhesion according to claim 1 or 2, wherein the (meth) acrylic monomer having a functional group is a (meth) acrylic monomer having a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group or an amide group. tape. 前記粘着剤層は、架橋剤を含有することを特徴とする請求項1、2又は3記載の粘着テープ。 The pressure-sensitive adhesive tape according to any one of claims 1 to 3 , wherein the pressure-sensitive adhesive layer contains a crosslinking agent.
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