[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP6506604B2 - 磁気センサ - Google Patents

磁気センサ Download PDF

Info

Publication number
JP6506604B2
JP6506604B2 JP2015087867A JP2015087867A JP6506604B2 JP 6506604 B2 JP6506604 B2 JP 6506604B2 JP 2015087867 A JP2015087867 A JP 2015087867A JP 2015087867 A JP2015087867 A JP 2015087867A JP 6506604 B2 JP6506604 B2 JP 6506604B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
disposed
extending portion
substrate
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015087867A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016206006A (ja
Inventor
広明 遠藤
広明 遠藤
安藤 秀人
秀人 安藤
澄人 森田
澄人 森田
貴史 野口
貴史 野口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Alps Alpine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd, Alps Alpine Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP2015087867A priority Critical patent/JP6506604B2/ja
Priority to US15/093,905 priority patent/US9939498B2/en
Publication of JP2016206006A publication Critical patent/JP2016206006A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6506604B2 publication Critical patent/JP6506604B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09Magnetoresistive devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9006Details, e.g. in the structure or functioning of sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9013Arrangements for scanning
    • G01N27/902Arrangements for scanning by moving the sensors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Description

本発明は、磁気センサに関する。
たとえば、特許文献1は、垂直磁界成分を簡単且つ適切に検知できる磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサを開示する。当該磁気センサは、基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子と、外部からの垂直磁界成分を水平方向への磁界成分に変換し、前記水平方向へ変換された磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える前記磁気抵抗効果素子と非接触の軟磁性体と、を有する。当該磁気センサによれば、簡単な構成により、垂直磁界成分を検知することが可能な磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサを製造することができ、磁気センサを安価に製造でき、小型化も促進できる、とされている。
国際公開WO2011/068146号
特許文献1に記載の磁気センサでは、外部からの垂直磁界を、軟磁性体によって水平方向に変換し、これを磁気抵抗効果素子に与えて垂直磁界を検知する。ここで、変換された水平方向の磁界成分は、軟磁性体を平面視した場合の第1側方向とその反対の第2側方向の2成分に分かれる。よって、たとえばGMR(Giant Magneto Resistive effect)素子等、固定磁性層とフリー磁化層との磁化方向の違いを抵抗値の変化で検出する素子を用いれば、当該素子を、軟磁性体を平面視した場合の第1側方向または第2側方向の何れの側に置くかによって、同じ外部磁界入力に対し、抵抗値変化が逆方向に出力されるよう構成することが可能になる。つまり、第1側方向に配置した素子と第2側方向に配置した素子を組み合わせてブリッジ回路を極めて容易に構成することが可能になる。
ところで、軟磁性体の第1側方向または第2側方向の何れか一方にのみ素子を配置する場合には、他方の磁界は利用されず、素子面積が無駄であり、検出感度の観点からも好ましくない。よって、軟磁性体の第1側方向および第2側方向の両方に素子を配置するような利用が望ましい。
しかしながら、磁気抵抗効果素子の抵抗値を小さくしたい場合等では磁気抵抗効果素子を並列に接続する必要が生じ、このような場合、磁気抵抗効果素子と軟磁性体との配置条件を満足しつつ、磁気抵抗効果素子を適切に配線することが困難になる場合がある。
本発明の目的は、軟磁性体を用いて垂直磁界を検知するような、磁気抵抗効果素子と軟磁性体との相対配置関係に制約が存在するような場合であっても、磁気抵抗効果素子の配線レイアウトの自由度を高め、素子面積を小さくすること、ひいてはコスト削減が可能な技術を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、基板と、前記基板の表面に配置された複数の磁気抵抗効果素子と、前記基板の表面に配置された第1配線と、前記磁気抵抗効果素子および前記第1配線を覆う絶縁層と、前記絶縁層上に配置された軟磁性体と、前記絶縁層上に配置された第2配線と、を有し、前記基板を平面視した場合に互いに直交する二方向を第1方向および第2方向としたとき、前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれが、前記第1方向に伸長し、前記第2方向に離間して配置され、前記軟磁性体が、前記第1方向に伸長する第1方向伸長部を有し、平面視した場合に、前記第1方向伸長部が、前記第2方向に離間して配置されている前記磁気抵抗効果素子の間に配置され、前記第2配線が、前記絶縁層に形成されたスルーホールを介して前記第1配線に接続されており、前記第1配線が、前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれの前記第1方向における端部に接続され、前記第2配線が、前記軟磁性体が配置された軟磁性体配置領域の周辺に配置されている磁気センサを提供する。
本発明においては、基板と、前記基板の表面に配置された複数の磁気抵抗効果素子と、前記基板の表面に配置された第1配線と、前記磁気抵抗効果素子および前記第1配線を覆う絶縁層と、前記絶縁層上に配置された軟磁性体と、前記絶縁層上に配置された第2配線と、を有し、前記基板を平面視した場合に互いに直交する二方向を第1方向および第2方向としたとき、前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれが、前記第1方向に伸長し、前記第2方向に離間して配置され、前記軟磁性体が、前記第1方向に伸長する第1方向伸長部を有し、平面視した場合に、前記第1方向伸長部が、前記第2方向に離間して配置されている前記磁気抵抗効果素子の間に配置され、前記第2配線が、前記絶縁層に形成されたスルーホールを介して前記第1配線に接続されており、前記第1配線が、平面視した場合に櫛形パターンを呈する櫛形配線と、平面視した場合にラインパターンを呈する直線配線と、を有し、前記直線配線が、前記櫛形配線の櫛歯の間に配置され、前記第2配線が、前記櫛形配線の前記櫛歯を跨いで、複数の前記直線配線を接続されている磁気センサを提供する。この場合、前記櫛形配線と、前記直線配線および前記第2配線とによって、複数の前記磁気抵抗効果素子を並列に接続されてもよい。また、前記櫛形配線と、複数の前記磁気抵抗効果素子と、前記直線配線および前記第2配線とを接続することでブリッジ回路を構成することができる。
平面視した場合の前記第1方向伸長部の前記第2方向における両端部の近傍に前記磁気抵抗効果素子が配置されていてもよい。
前記軟磁性体が、前記第2方向に伸長する第2方向伸長部を有し、前記第1方向伸長部の前記第1方向における両端部が、前記第2方向伸長部で短絡され、前記第1方向伸長部および前記第2方向伸長部によって閉磁界路が構成されてもよい。前記軟磁性体が、外部からの垂直磁界成分を水平方向への磁界成分に変換し、前記水平方向へ変換された磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与えるものであってもよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
磁気センサ100の平面図である。 磁気センサ100の一部断面図である。 磁気センサ100の一部を拡大して示した平面図である。 図3におけるA−A線断面図を示す。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、磁気センサ100の平面図を示す。図2は、磁気センサ100の一部断面図である。図2において、図1の特定の場所における正確な断面を示している訳ではない。説明の都合上、一部概念化して示している。なお、図1中、基板102を平面視したときの互いに直交する第1方向および第2方向を、それぞれx方向およびy方向とし、x方向とy方向のどちらにも直交する方向をz方向とする。
磁気センサ100は、基板102と、複数の磁気抵抗効果素子104と、第1配線106と、絶縁層108と、軟磁性体110と、第2配線112と、を有する。
基板102は、非磁性材料で構成される。基板102は非磁性材料である限り、特に材料等は問われない。基板102として、セラミック基板や半導体基板などが例示できる。複数の磁気抵抗効果素子104は、基板102の表面に形成され、第1配線106は、基板102の表面に形成されている。絶縁層108は、磁気抵抗効果素子104および第1配線106を覆い、軟磁性体110は、絶縁層108上に配置される。第2配線112は、絶縁層108上に形成される。第1配線106は、平面視した場合に櫛形パターンを呈する櫛形配線106aと、平面視した場合にラインパターンを呈する直線配線106bと、を有する。軟磁性体110は、第1方向(x方向)に伸長する第1方向伸長部110aと、第2方向(y方向)に伸長する第2方向伸長部110bとを有する。
磁気抵抗効果素子104として、たとえばGMR(Giant Magneto Resistive effect)素子やTMR(Tunnel Magneto Resistance Effect)素子等、磁界に応じて抵抗値が変化する素子が例示できる。たとえば磁気抵抗効果素子104がGMR素子である場合、磁気抵抗効果素子104は、たとえば、下から反強磁性層、固定磁性層、非磁性層およびフリー磁性層の順に積層されて成膜され、フリー磁性層の表面が保護層で覆われる。磁気抵抗効果素子104は例えばスパッタにて成膜される。
反強磁性層は、IrMn合金(イリジウム−マンガン合金)などの反強磁性材料で形成されている。固定磁性層はCoFe合金(コバルト−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。固定磁性層は積層フェリ構造で形成されることが好ましい。非磁性層はCu(銅)などである。フリー磁性層は、NiFe合金(ニッケル−鉄合金)などの軟磁性材料で形成されている。保護層はTa(タンタル)などである。磁気抵抗効果素子の積層構成は他の積層構成であってもよい。
複数の磁気抵抗効果素子104は、第1方向(x方向)に伸長し、第2方向(y方向)に離間して並設される。軟磁性体110の複数の第1方向伸長部110aは、複数の磁気抵抗効果素子104の第2方向(y方向)の間にそれぞれ配置される。また、磁気抵抗効果素子104は、それぞれの第1方向伸長部110aの第2方向における両端部の近傍に形成される。図3および図4はこれを詳細に示した図であり、複数ある第1方向伸長部110aのうちの一つを拡大した図である。軟磁性体110は、平面視した場合の上下方向(z方向)の磁界を第2方向(y方向)に変換する。磁気抵抗効果素子104が軟磁性体110(第1方向伸長部110a)の第2方向における両端部の近傍に形成されることで、上下方向の磁界をロスなく有効にとらえることができる。このとき、ある第1方向伸長部110aの両端部近傍に配置された2つの磁気抵抗効果素子104は、上下方向(Z方向)の磁界に対して互いに抵抗値変化が逆方向に出力される。
第1配線106は、磁気抵抗効果素子104の第1方向(x方向)における端部に接続される。ここで、複数の磁気抵抗効果素子104は、上下方向(Z方向)の磁界に対して互いに抵抗値変化が逆方向に出力されるものが、Y方向において交互に配置されている。抵抗値変化が同じ方向の磁気抵抗効果素子104どうしを電気的に並列接続することで得られる出力を大きくすることができ、さらに一方の抵抗値変化が同じ方向の磁気抵抗効果素子104どうしを電気的に並列接続したものと他方の抵抗値変化が同じ方向の磁気抵抗効果素子104どうしを電気的に並列接続したものとでブリッジ回路を構成することで外乱磁界の影響を低減し、検出感度を高めることができる。ところが、上下方向(Z方向)の磁界に対して互いに抵抗値変化が逆方向に出力される磁気抵抗効果素子104がY方向において交互に配置されていることから、抵抗値変化の方向が同じ磁気抵抗効果素子104を電気的に接続するには配線が複雑になるとともに、基板102の表面における配線の引き回しが長くなり配線領域が広くなってしまうことから磁気センサ全体の大きさを小さくすることが難しいという課題がある。
上記のような課題に対し、本実施形態の磁気センサ100では、第1配線106は、磁気抵抗効果素子104が形成された領域には存在せず、磁気抵抗効果素子104が形成された領域の周辺にのみ形成されている。このため、磁気抵抗効果素子104の密度を高め、磁気センサ全体の大きさを小さくすることができる。この結果、生産性を向上し、コストを下げることができる。
また、第2配線112は、軟磁性体110が配置された軟磁性体配置領域の周辺に形成されており、第2配線112は、絶縁層108に形成されたスルーホール114を介して第1配線106に接続されている。第2配線112は、第1配線106とは異なる層に形成されるので、絶縁性を保ちながら第1配線106を跨いで形成することができ、この結果、基板102の表面における配線の引き回しが短くなり、配線領域を狭くすることができ、磁気センサ全体の大きさを小さくすることができる。さらに配線設計の自由度も増すことができる。
第1配線106の直線配線106bは、櫛形配線106aの櫛歯の間に形成され、第2配線112は、櫛形配線106aの櫛歯を跨いで、複数の直線配線106bを接続する。櫛形配線106aを用いることで、容易に磁気抵抗効果素子104を並列に接続することができる。また、直線配線106bを、櫛形配線106aの櫛歯の間に形成し、複数の直線配線106bを第2配線112で接続することで、軟磁性体110と磁気抵抗効果素子104の配置上の制約を満たしつつ、磁気抵抗効果素子104の並列接続を実現することができる。また、櫛形配線106aと、複数の磁気抵抗効果素子104と、直線配線106bおよび第2配線112とを接続することでブリッジ回路を構成することができる。
軟磁性体110の第1方向伸長部110aの第1方向における両端部は、第2方向伸長部110bで短絡され、第1方向伸長部110aおよび第2方向伸長部110bによって閉磁界路が構成される。軟磁性体110の第2方向伸長部110bを設けることで、横方向(x方向またはy方向)からの外部磁界の影響を軽減することができる。
本実施形態の磁気センサ100によれば、磁気抵抗効果素子104と軟磁性体110との相対配置関係に制約があるような場合でも、磁気抵抗効果素子104の配線レイアウトの自由度を高め、素子面積を小さくすることができる。その結果、コスト削減を実現できる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
100…磁気センサ、102…基板、104…磁気抵抗効果素子、106…第1配線、106a…櫛形配線、106b…直線配線、108…絶縁層、110…軟磁性体、110a…第1方向伸長部、110b…第2方向伸長部、112…第2配線、
114…スルーホール

Claims (7)

  1. 基板と、
    前記基板の表面に配置された複数の磁気抵抗効果素子と、
    前記基板の表面に配置された第1配線と、
    前記磁気抵抗効果素子および前記第1配線を覆う絶縁層と、
    前記絶縁層上に配置された軟磁性体と、
    前記絶縁層上に配置された第2配線と、を有し、
    前記基板を平面視した場合に互いに直交する二方向を第1方向および第2方向としたとき、
    前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれが、前記第1方向に伸長し、前記第2方向に離間して配置され、
    前記軟磁性体が、前記第1方向に伸長する第1方向伸長部を有し、平面視した場合に、前記第1方向伸長部が、前記第2方向に離間して配置されている前記磁気抵抗効果素子の間に配置され、
    前記第2配線が、前記絶縁層に形成されたスルーホールを介して前記第1配線に接続されており、
    前記第1配線が、前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれの前記第1方向における端部に接続され、
    前記第2配線が、前記軟磁性体が配置された軟磁性体配置領域の周辺に配置されている
    磁気センサ。
  2. 基板と、
    前記基板の表面に配置された複数の磁気抵抗効果素子と、
    前記基板の表面に配置された第1配線と、
    前記磁気抵抗効果素子および前記第1配線を覆う絶縁層と、
    前記絶縁層上に配置された軟磁性体と、
    前記絶縁層上に配置された第2配線と、を有し、
    前記基板を平面視した場合に互いに直交する二方向を第1方向および第2方向としたとき、
    前記複数の磁気抵抗効果素子のそれぞれが、前記第1方向に伸長し、前記第2方向に離間して配置され、
    前記軟磁性体が、前記第1方向に伸長する第1方向伸長部を有し、平面視した場合に、前記第1方向伸長部が、前記第2方向に離間して配置されている前記磁気抵抗効果素子の間に配置され、
    前記第2配線が、前記絶縁層に形成されたスルーホールを介して前記第1配線に接続されており、
    前記第1配線が、平面視した場合に櫛形パターンを呈する櫛形配線と、平面視した場合にラインパターンを呈する直線配線と、を有し、
    前記直線配線が、前記櫛形配線の櫛歯の間に配置され、
    前記第2配線が、前記櫛形配線の前記櫛歯を跨いで、複数の前記直線配線を接続する
    磁気センサ。
  3. 前記櫛形配線と、前記直線配線および前記第2配線とによって、複数の前記磁気抵抗効
    果素子を並列に接続する
    請求項2に記載の磁気センサ。
  4. 前記櫛形配線と、複数の前記磁気抵抗効果素子と、前記直線配線および前記第2配線と
    を接続することでブリッジ回路を構成する
    請求項2または請求項3に記載の磁気センサ。
  5. 平面視した場合の前記第1方向伸長部の前記第2方向における両端部の近傍に前記磁気抵抗効果素子が配置されている
    請求項1から請求項4の何れか一項に記載の磁気センサ。
  6. 前記軟磁性体が、前記第2方向に伸長する第2方向伸長部を有し、
    前記第1方向伸長部の前記第1方向における両端部が、前記第2方向伸長部で短絡され、
    前記第1方向伸長部および前記第2方向伸長部によって閉磁界路が構成される
    請求項1から請求項5の何れか一項に記載の磁気センサ。
  7. 前記軟磁性体が、外部からの垂直磁界成分を水平方向への磁界成分に変換し、前記水平
    方向へ変換された磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える
    請求項1から請求項6の何れか一項に記載の磁気センサ。
JP2015087867A 2015-04-22 2015-04-22 磁気センサ Active JP6506604B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015087867A JP6506604B2 (ja) 2015-04-22 2015-04-22 磁気センサ
US15/093,905 US9939498B2 (en) 2015-04-22 2016-04-08 Magnetic sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015087867A JP6506604B2 (ja) 2015-04-22 2015-04-22 磁気センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016206006A JP2016206006A (ja) 2016-12-08
JP6506604B2 true JP6506604B2 (ja) 2019-04-24

Family

ID=57147632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015087867A Active JP6506604B2 (ja) 2015-04-22 2015-04-22 磁気センサ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9939498B2 (ja)
JP (1) JP6506604B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103995240B (zh) * 2014-05-30 2017-11-10 江苏多维科技有限公司 一种磁电阻z轴梯度传感器芯片
CN108075036B (zh) * 2016-11-18 2021-08-13 旭化成微电子株式会社 霍尔元件以及霍尔元件的制造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0728060B2 (ja) * 1984-07-18 1995-03-29 株式会社日立製作所 磁気低抗素子
US6462541B1 (en) * 1999-11-12 2002-10-08 Nve Corporation Uniform sense condition magnetic field sensor using differential magnetoresistance
US7145331B2 (en) * 2001-07-19 2006-12-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic sensor having a closed magnetic path formed by soft magnetic films
US7183767B2 (en) * 2002-03-27 2007-02-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic sensing element, magnetic sensor, and its manufacturing method
JP4727943B2 (ja) * 2004-04-15 2011-07-20 ルネサスエレクトロニクス株式会社 検査回路およびそれを用いた検査方法、ならびに当該検査回路を含む半導体装置
JP4899877B2 (ja) * 2007-01-15 2012-03-21 三菱電機株式会社 磁界検出装置
US8106654B2 (en) * 2008-05-27 2012-01-31 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor integrated circuit device and method
JP4835805B2 (ja) * 2009-02-27 2011-12-14 愛知製鋼株式会社 マグネトインピーダンスセンサ素子及びその製造方法
JP5597206B2 (ja) * 2009-12-02 2014-10-01 アルプス電気株式会社 磁気センサ
JP2012173206A (ja) * 2011-02-23 2012-09-10 Yamanashi Nippon Denki Kk 磁気センサ及びその製造方法
JP6308784B2 (ja) * 2014-01-08 2018-04-11 アルプス電気株式会社 磁気センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016206006A (ja) 2016-12-08
US20160313409A1 (en) 2016-10-27
US9939498B2 (en) 2018-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5066579B2 (ja) 磁気センサ及び磁気センサモジュール
US9182458B2 (en) Magnetoresistive sensing device
US9530957B2 (en) Magnetic sensor
JP4870227B2 (ja) 磁気センサ及び磁気エンコーダ
JP5021764B2 (ja) 磁気センサ
JP6121316B2 (ja) 磁気検知装置
JP2018072026A (ja) 磁場検出装置
JP2009175120A (ja) 磁気センサ及び磁気センサモジュール
WO2009151024A1 (ja) 磁気センサ及び磁気センサモジュール
JP5171933B2 (ja) 磁気センサ
JP5802565B2 (ja) 磁気センサ
US20100079135A1 (en) Magnetic detecting device and method for making the same, and angle detecting apparatus, position detecting apparatus, and magnetic switch each including the magnetic detecting device
US9835692B2 (en) Magnetic detection device
JP6506604B2 (ja) 磁気センサ
JP6438930B2 (ja) 磁場検出装置
JP5223001B2 (ja) 磁気センサ
JP2009281784A (ja) 磁気センサ
JP2012052912A (ja) 電流センサ
JP5265689B2 (ja) 磁気結合型アイソレータ
JP2017040628A (ja) 磁気センサ
JP4914502B2 (ja) 磁気センサ及び磁気エンコーダ
JP2018096895A (ja) 磁場検出装置
JPWO2010137606A1 (ja) 磁気センサ
WO2010032823A1 (ja) 磁気結合型アイソレータ
JP6477752B2 (ja) 磁気センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180925

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181101

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190305

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190329

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6506604

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150