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JP6572039B2 - Thin film solar cell and method for manufacturing thin film solar cell - Google Patents

Thin film solar cell and method for manufacturing thin film solar cell Download PDF

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JP6572039B2
JP6572039B2 JP2015145031A JP2015145031A JP6572039B2 JP 6572039 B2 JP6572039 B2 JP 6572039B2 JP 2015145031 A JP2015145031 A JP 2015145031A JP 2015145031 A JP2015145031 A JP 2015145031A JP 6572039 B2 JP6572039 B2 JP 6572039B2
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Description

本発明は、光電変換効率を高めることができ、特に開放電圧を高めることができる薄膜太陽電池に関する。また、本発明は該薄膜太陽電池の製造方法に関する。 The present invention relates to a thin film solar cell that can increase the photoelectric conversion efficiency, and in particular, can increase the open-circuit voltage. Moreover, this invention relates to the manufacturing method of this thin film solar cell.

従来から、有機半導体層と無機半導体層とを積層し、この積層体の両側に電極を設けた光電変換素子が開発されている。このような構造の光電変換素子では、光励起により有機半導体層又は無機半導体層で光キャリア(電子−ホール対)が生成し、電子が無機半導体層を、ホールが有機半導体層を移動することで、電界が生じる。更に、電子又はホールが効率的に移動するよう、無機半導体層と電極との間に電子輸送層を設けたり、有機半導体層と電極との間にホール輸送層を設けたりすることも検討されている。
しかしながら、光キャリア生成に活性な領域は有機半導体層と無機半導体層との接合界面付近の数十nm程度と非常に狭く、この活性な領域以外は光キャリア生成に寄与できないため、光電変換効率が低くなってしまうという欠点があった。
Conventionally, a photoelectric conversion element in which an organic semiconductor layer and an inorganic semiconductor layer are stacked and electrodes are provided on both sides of the stacked body has been developed. In the photoelectric conversion element having such a structure, photocarriers (electron-hole pairs) are generated in the organic semiconductor layer or the inorganic semiconductor layer by photoexcitation, electrons move through the inorganic semiconductor layer, and holes move through the organic semiconductor layer. An electric field is generated. Furthermore, in order to move electrons or holes efficiently, an electron transport layer is provided between the inorganic semiconductor layer and the electrode, or a hole transport layer is provided between the organic semiconductor layer and the electrode. Yes.
However, the active region for photocarrier generation is very narrow, around several tens of nanometers near the junction interface between the organic semiconductor layer and the inorganic semiconductor layer, and since this active region cannot contribute to photocarrier generation, the photoelectric conversion efficiency is high. There was a drawback of being lowered.

この問題を解決する目的で、有機半導体と、無機半導体とを混合して複合化した複合膜を用いることが検討されている。
例えば、特許文献1には、有機半導体と無機半導体を共蒸着によって複合化した共蒸着薄膜と、この薄膜を挟んでその両面に設けられ、この複合薄膜に内蔵電界を与えるための半導体もしくは金属、又はそれら双方からなる電極部とを備えた有機・無機複合薄膜太陽電池が記載されている。特許文献1には、同文献に記載の有機・無機複合薄膜においては、pn接合(有機/無機半導体接合)が膜全体に張り巡らされた構造のため、膜全体が光キャリア生成に対して活性に働き、膜で吸収された光すべてがキャリア生成に寄与するため、大きな光電流が得られる効果がある旨が記載されている。
In order to solve this problem, it has been studied to use a composite film in which an organic semiconductor and an inorganic semiconductor are mixed to form a composite.
For example, Patent Document 1 discloses a co-deposited thin film in which an organic semiconductor and an inorganic semiconductor are combined by co-evaporation, and a semiconductor or metal for providing a built-in electric field to the composite thin film provided on both sides of the thin film, Or the organic-inorganic composite thin film solar cell provided with the electrode part which consists of both of them is described. In Patent Document 1, the organic / inorganic composite thin film described in the same document has a structure in which a pn junction (organic / inorganic semiconductor junction) is stretched over the entire film, so that the entire film is active against photocarrier generation. It is described that since all the light absorbed by the film contributes to carrier generation, a large photocurrent can be obtained.

また、有機半導体に対して無機半導体を密充填させて、光電変換効率を向上させる試みもなされている。
例えば、特許文献2には、有機電子供与体と化合物半導体結晶とを含有する活性層を二つの電極の間に設けた有機太陽電池において、前記活性層は有機電子供与体と化合物半導体結晶とを混合して分散してなり、且つ、化合物半導体結晶が平均粒径が異なる二種類のロッド状の結晶を含み、この二種類のロッド状結晶の平均粒径及び含有比率を所定範囲内とする有機太陽電池が記載されている。特許文献2には、活性層中における化合物半導体結晶の充填率を増大することができ、これにより変換効率の高い太陽電池を得ることができる旨が記載されている。
しかしながら、特許文献1又は2に記載の光電変換素子であっても未だ光電変換効率はかなり低く、実用化に耐えうる有機太陽電池の開発のためには更なる光電変換効率の改善が不可欠である。
Attempts have also been made to improve photoelectric conversion efficiency by closely packing an inorganic semiconductor with an organic semiconductor.
For example, in Patent Document 2, in an organic solar cell in which an active layer containing an organic electron donor and a compound semiconductor crystal is provided between two electrodes, the active layer includes an organic electron donor and a compound semiconductor crystal. An organic compound that is mixed and dispersed, and the compound semiconductor crystal includes two types of rod-shaped crystals having different average particle sizes, and the average particle size and content ratio of the two types of rod-shaped crystals are within a predetermined range. A solar cell is described. Patent Document 2 describes that the filling rate of the compound semiconductor crystal in the active layer can be increased, and thereby a solar cell with high conversion efficiency can be obtained.
However, even with the photoelectric conversion element described in Patent Document 1 or 2, the photoelectric conversion efficiency is still quite low, and further improvement of the photoelectric conversion efficiency is indispensable for the development of an organic solar cell that can withstand practical use. .

特開2002−100793号公報JP 2002-1000079 A 特許第4120362号公報Japanese Patent No. 4120362

本発明は、光電変換効率を高めることができ、特に開放電圧を高めることができる薄膜太
陽電池を提供することを目的とする。また、本発明は、該薄膜太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
An object of this invention is to provide the thin film solar cell which can raise a photoelectric conversion efficiency and can raise an open circuit voltage especially. Moreover, an object of this invention is to provide the manufacturing method of this thin film solar cell.

陰極と、陽極と、前記陰極と前記陽極との間に配置された光電変換層を有し、前記光電変換層が、有機半導体を含有する部位と、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位とを有し、前記有機半導体を含有する部位と、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を有することを特徴とする薄膜太陽電池である。
以下、本発明を詳述する。
A cathode, an anode, and a photoelectric conversion layer disposed between the cathode and the anode, wherein the photoelectric conversion layer includes an organic semiconductor-containing site, a sulfide site, a selenide site, and / or an organic material. A portion containing an inorganic perovskite compound, and a portion containing a fluorine-containing compound between a portion containing the organic semiconductor and a sulfide portion, a selenide portion, and / or a portion containing an organic inorganic perovskite compound It is a thin film solar cell characterized by having.
The present invention is described in detail below.

本発明者らは、陰極と、陽極と、前記陰極と前記陽極との間に配置された光電変換層を有し、上記光電変換層が、有機半導体を含有する部位と、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位とを有する薄膜太陽電池に対して、上記有機半導体を含有する部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を有することによって、前記有機半導体を含有する部位と、前記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との接合性が向上し、薄膜太陽電池の光電変換効率を高め、特に開放電圧を高めることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。
なお、光電変換効率は、開放電圧の高さ等に依存するものであるため、開放電圧が高くなると、光電変換効率も高くなる。また、開放電圧が高くなると、実際に得られる電圧も大きくなるため、薄膜太陽電池セル同士を並列に接続することが可能となり、太陽電池モジュール(透明保護剤と裏面保護剤との間に薄膜太陽電池セルを封止したもの)の施工面での簡便性及び自由度が向上するという利点もある。
The inventors have a cathode, an anode, and a photoelectric conversion layer disposed between the cathode and the anode, wherein the photoelectric conversion layer includes an organic semiconductor-containing site, a sulfide site, and selenium. A thin-film solar cell having a halide portion and / or a portion containing an organic / inorganic perovskite compound, the portion containing the organic semiconductor, and the sulfide portion, the selenide portion, and / or the organic / inorganic perovskite compound. By having a part containing a fluorine-containing compound between the part, the bonding property between the part containing the organic semiconductor and the part containing the sulfide part, selenide part and / or organic inorganic perovskite compound is improved. It has been found that the photoelectric conversion efficiency of the thin film solar cell can be improved, and in particular, the open circuit voltage can be increased, and the present invention has been completed.
In addition, since the photoelectric conversion efficiency depends on the height of the open circuit voltage, the photoelectric conversion efficiency increases as the open circuit voltage increases. Moreover, since the voltage actually obtained increases as the open circuit voltage increases, it becomes possible to connect the thin film solar cells in parallel, and the solar cell module (the thin film solar cell between the transparent protective agent and the back surface protective agent). There is also an advantage that simplicity and flexibility in construction of a battery cell sealed) is improved.

本発明の薄膜太陽電池は、陰極と、陽極と、上記陰極と上記陽極との間に配置された光電変換層を有する。
なお、本明細書中、層とは、明確な境界を有する層だけではなく、含有元素が徐々に変化する濃度勾配のある層をも意味に含む。なお、層の元素は、例えば、薄膜太陽電池の断面のFE−TEM/EDS線分析測定を行い、特定元素の元素分布を確認する等によって分析できる。また、本明細書中、層とは、平坦な薄膜状の層だけではなく、他の層との境界が不鮮明であり、複雑に入り組んだ構造を形成しうる層をも意味する。
The thin-film solar cell of the present invention has a cathode, an anode, and a photoelectric conversion layer disposed between the cathode and the anode.
In this specification, the term “layer” includes not only a layer having a clear boundary but also a layer having a concentration gradient in which the contained element gradually changes. In addition, the element of a layer can be analyzed by, for example, performing FE-TEM / EDS line analysis measurement of the cross section of a thin film solar cell and confirming the element distribution of a specific element. In addition, in this specification, the term “layer” means not only a flat thin film layer but also a layer whose boundary with another layer is unclear and can form a complicated structure.

上記陰極及び上記陽極の材料は特に限定されず、従来公知の材料を用いることができる。陰極材料として、例えば、FTO(フッ素ドープ酸化スズ)、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、リチウム、マグネシウム、アルミニウム、マグネシウム−銀混合物、マグネシウム−インジウム混合物、アルミニウム−リチウム合金、Al/Al混合物、Al/LiF混合物等が挙げられる。陽極材料として、例えば、金等の金属、CuI、ITO(インジウムスズ酸化物)、SnO、AZO(アルミニウム亜鉛酸化物)、IZO(インジウム亜鉛酸化物)、GZO(ガリウム亜鉛酸化物)等の導電性透明材料、導電性透明ポリマー等が挙げられる。これらの材料は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The materials for the cathode and the anode are not particularly limited, and conventionally known materials can be used. Examples of the cathode material include FTO (fluorine-doped tin oxide), sodium, sodium-potassium alloy, lithium, magnesium, aluminum, magnesium-silver mixture, magnesium-indium mixture, aluminum-lithium alloy, Al / Al 2 O 3 mixture, Al / LiF mixture etc. are mentioned. Examples of anode materials include metals such as gold, conductive materials such as CuI, ITO (indium tin oxide), SnO 2 , AZO (aluminum zinc oxide), IZO (indium zinc oxide), and GZO (gallium zinc oxide). Conductive transparent materials, conductive transparent polymers, and the like. These materials may be used alone or in combination of two or more.

上記光電変換層は、有機半導体を含有する部位(以下、「有機半導体部位」ともいう)と、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は一般式R−M−X(但し、Rは有機分子、Mは金属原子、Xはハロゲン原子又はカルコゲン原子である。)で表される有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位(以下、「硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位」ともいう)とを有する。
このような光電変換層においては、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位が主にN型半導体として、上記有機半導体部位が主にP型半導体として働くと推測され、光励起によりP型半導体又はN型半導体で光キャリア(電子−ホール対)が生成し、電子がN型半導体を、ホールがP型半導体を移動することで、電界が生じる。ただし、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位は、部分的にはP型半導体として働いていてもよいし、上記有機半導体部位は、部分的にはN型半導体として働いていてもよい。
上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位とを有することにより、本発明の薄膜太陽電池は、光電変換効率が高くなる。また、P型半導体とN型半導体とがいずれも無機半導体である場合はこれらの固溶体が界面で析出する可能性があるのに対し、本発明の薄膜太陽電池においては固溶体の析出がなく、高温時においても高い安定性を得ることができるため、高温での加温後にも光電変換効率の低下が少ない。
The photoelectric conversion layer includes a portion containing an organic semiconductor (hereinafter also referred to as “organic semiconductor portion”), a sulfide portion, a selenide portion, and / or a general formula R-M-X 3 (where R is an organic molecule) , M is a metal atom, and X is a halogen atom or a chalcogen atom. A site containing an organic inorganic perovskite compound (hereinafter referred to as “sulfide site, selenide site and / or organic inorganic perovskite compound site”) Say).
In such a photoelectric conversion layer, it is speculated that the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site mainly functions as an N-type semiconductor, and the organic semiconductor site mainly functions as a P-type semiconductor. Generates a photocarrier (electron-hole pair) in a P-type semiconductor or an N-type semiconductor, and electrons move in the N-type semiconductor and holes move in the P-type semiconductor to generate an electric field. However, the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site may partially serve as a P-type semiconductor, and the organic semiconductor site partially serves as an N-type semiconductor. It may be.
By having the organic semiconductor part and the sulfide part, selenide part, and / or organic inorganic perovskite compound part, the thin film solar cell of the present invention has high photoelectric conversion efficiency. Further, when both the P-type semiconductor and the N-type semiconductor are inorganic semiconductors, these solid solutions may be precipitated at the interface, whereas in the thin film solar cell of the present invention, there is no precipitation of the solid solution, and the high temperature Since high stability can be obtained even at times, there is little decrease in photoelectric conversion efficiency even after heating at high temperature.

上記有機半導体部位を有することにより、本発明の薄膜太陽電池は、耐衝撃性、フレキシビリティ等が優れたものとなる。上記有機半導体は特に限定されず、例えば、ポリ(3−アルキルチオフェン)等のチオフェン骨格を有する化合物等が挙げられる。また、例えば、ポリパラフェニレンビニレン骨格、ポリビニルカルバゾール骨格、ポリアニリン骨格、ポリアセチレン骨格等を有する導電性高分子等も挙げられる。更に、例えば、フタロシアニン骨格、ナフタロシアニン骨格、ペンタセン骨格、ベンゾポルフィリン骨格等のポルフィリン骨格等を有する化合物も挙げられる。なかでも、比較的耐久性が高いことから、チオフェン骨格、フタロシアニン骨格、ナフタロシアニン骨格、ベンゾポルフィリン骨格を有する化合物が好ましい。 By having the said organic-semiconductor site | part, the thin film solar cell of this invention becomes the thing excellent in impact resistance, flexibility, etc. The organic semiconductor is not particularly limited, and examples thereof include a compound having a thiophene skeleton such as poly (3-alkylthiophene). In addition, for example, conductive polymers having a polyparaphenylene vinylene skeleton, a polyvinyl carbazole skeleton, a polyaniline skeleton, a polyacetylene skeleton, and the like can be given. Furthermore, for example, compounds having a porphyrin skeleton such as a phthalocyanine skeleton, a naphthalocyanine skeleton, a pentacene skeleton, and a benzoporphyrin skeleton are also included. Among these, compounds having a thiophene skeleton, a phthalocyanine skeleton, a naphthalocyanine skeleton, and a benzoporphyrin skeleton are preferable because of their relatively high durability.

上記有機半導体は、長波長領域の光を吸収できることから、ドナー−アクセプター型であることも好ましい。なかでも、チオフェン骨格を有するドナー−アクセプター型の化合物がより好ましく、チオフェン骨格を有するドナー−アクセプター型の化合物のなかでも、光吸収波長の観点から、チオフェン−ジケトピロロピロール重合体が特に好ましい。 The organic semiconductor is preferably a donor-acceptor type because it can absorb light in a long wavelength region. Among these, a donor-acceptor type compound having a thiophene skeleton is more preferable, and among the donor-acceptor type compounds having a thiophene skeleton, a thiophene-diketopyrrolopyrrole polymer is particularly preferable from the viewpoint of light absorption wavelength.

上記硫化物部位、セレン化物部位は耐久性が高いことから、上記硫化物部位やセレン化物部位を有することにより、本発明の薄膜太陽電池は、耐久性に優れたものとなる。上記硫化物及び/又はセレン化物は特に限定されず、好ましくは周期表14族又は15族元素の硫化物及び/又はセレン化物であり、より好ましくは周期表15族元素の硫化物及び/又はセレン化物である。硫化物及び/又はセレン化物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよく、周期表14族又は15族元素の2種以上の元素を同一の分子に含有する複合硫化物及び/又は複合セレン化物であってもよい。なかでも、硫化アンチモン、硫化ビスマス、硫化スズ、硫化鉛、セレン化アンチモン、セレン化ビスマスが好ましく、硫化アンチモン、硫化スズ、硫化鉛、セレン化アンチモンがより好ましく、硫化アンチモン、セレン化アンチモンが更に好ましい。 Since the sulfide sites and selenide sites have high durability, the thin film solar cell of the present invention has excellent durability by having the sulfide sites and selenide sites. The sulfide and / or selenide is not particularly limited, and is preferably a sulfide and / or selenide of a group 14 or 15 element of the periodic table, more preferably a sulfide and / or selenium of the group 15 element of the periodic table. It is a monster. The sulfide and / or selenide may be used alone or in combination of two or more, and is a composite sulfide containing two or more elements of Group 14 or Group 15 elements in the same molecule. And / or complex selenides. Among them, antimony sulfide, bismuth sulfide, tin sulfide, lead sulfide, antimony selenide, and bismuth selenide are preferable, antimony sulfide, tin sulfide, lead sulfide, and antimony selenide are more preferable, and antimony sulfide and antimony selenide are more preferable. .

硫化アンチモン及びセレン化アンチモンは、有機半導体とのエネルギー準位の相性がよく、かつ、従来の酸化亜鉛、酸化チタン等より可視光に対する吸収が大きい。このため、上記硫化物部位及び/又はセレン化物部位に硫化アンチモン及び/又はセレン化アンチモンが含まれることにより、薄膜太陽電池のバンドギャップ電圧が高くなり、開放電圧が高くなるため、光電変換効率が高くなる。 Antimony sulfide and antimony selenide have good energy level compatibility with organic semiconductors, and absorb more visible light than conventional zinc oxide, titanium oxide, and the like. For this reason, the antimony sulfide and / or antimony selenide is contained in the sulfide part and / or selenide part, so that the band gap voltage of the thin-film solar cell is increased and the open circuit voltage is increased. Get higher.

上記有機無機ペロブスカイト化合物部位を含む薄膜太陽電池は、有機無機ハイブリッド型薄膜太陽電池とも呼ばれる。
上記光電変換層に上記有機無機ペロブスカイト化合物を用いることにより、薄膜太陽電池の光電変換効率を向上させることができる。
The thin film solar cell including the organic / inorganic perovskite compound portion is also called an organic / inorganic hybrid thin film solar cell.
By using the organic-inorganic perovskite compound for the photoelectric conversion layer, the photoelectric conversion efficiency of the thin film solar cell can be improved.

一般式R−M−Xにおいて、上記Rは有機分子であり、C(l、m、nはいずれも正の整数)で示されることが好ましい。
上記Rは、具体的には例えば、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、エチルメチルアミン、メチルプロピルアミン、ブチルメチルアミン、メチルペンチルアミン、ヘキシルメチルアミン、エチルプロピルアミン、エチルブチルアミン、イミダゾール、アゾール、ピロール、アジリジン、アジリン、アゼチジン、アゼト、アゾール、イミダゾリン、カルバゾール及びこれらのイオン(例えば、メチルアンモニウム(CHNH)等)やフェネチルアンモニウム等が挙げられる。なかでも、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン及びこれらのイオンやフェネチルアンモニウムが好ましく、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン及びこれらのイオンがより好ましい。
In the general formula R-M-X 3 , R is an organic molecule, and is preferably represented by C 1 N m H n (l, m, and n are all positive integers).
Specifically, R is, for example, methylamine, ethylamine, propylamine, butylamine, pentylamine, hexylamine, dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, dibutylamine, dipentylamine, dihexylamine, trimethylamine, triethylamine, tripropyl. Amine, tributylamine, tripentylamine, trihexylamine, ethylmethylamine, methylpropylamine, butylmethylamine, methylpentylamine, hexylmethylamine, ethylpropylamine, ethylbutylamine, imidazole, azole, pyrrole, aziridine, azirine, Azetidine, azeto, azole, imidazoline, carbazole and their ions (eg, methylammonium (CH 3 NH 3 )) and fluorine And enethylammonium. Of these, methylamine, ethylamine, propylamine, butylamine, pentylamine, hexylamine and their ions and phenethylammonium are preferred, and methylamine, ethylamine, propylamine and these ions are more preferred.

一般式R−M−Xにおいて、上記Mは金属原子であり、例えば、鉛、スズ、亜鉛、チタン、アンチモン、ビスマス、ニッケル、鉄、コバルト、銀、銅、ガリウム、ゲルマニウム、マグネシウム、カルシウム、インジウム、アルミニウム、マンガン、クロム、モリブデン、ユーロピウム等が挙げられる。これらの金属原子は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 In the general formula R-M-X 3 , M is a metal atom, for example, lead, tin, zinc, titanium, antimony, bismuth, nickel, iron, cobalt, silver, copper, gallium, germanium, magnesium, calcium, Examples include indium, aluminum, manganese, chromium, molybdenum, and europium. These metal atoms may be used independently and 2 or more types may be used together.

一般式R−M−Xにおいて、上記Xはハロゲン原子又はカルコゲン原子であり、例えば、塩素、臭素、ヨウ素、硫黄、セレン等が挙げられる。これらのハロゲン原子又はカルコゲン原子は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。なかでも、構造中にハロゲンを含有することで、上記有機無機ペロブスカイト化合物が有機溶媒に可溶になり、安価な印刷法等への適用が可能になることから、ハロゲン原子が好ましい。更に、上記有機無機ペロブスカイト化合物のエネルギーバンドギャップが狭くなることから、ヨウ素がより好ましい。 In the general formula R-M-X 3 , X is a halogen atom or a chalcogen atom, and examples thereof include chlorine, bromine, iodine, sulfur, and selenium. These halogen atoms or chalcogen atoms may be used alone or in combination of two or more. Among these, the halogen atom is preferable because the organic / inorganic perovskite compound becomes soluble in an organic solvent and can be applied to an inexpensive printing method by containing halogen in the structure. Furthermore, iodine is more preferable because the energy band gap of the organic-inorganic perovskite compound becomes narrow.

上記有機無機ペロブスカイト化合物は、体心に金属原子M、各頂点に有機分子R、面心にハロゲン原子又はカルコゲン原子Xが配置された立方晶系の構造を有することが好ましい。詳細は明らかではないが、上記構造を有することにより、結晶格子内の八面体の向きが容易に変わることができるため、上記有機無機ペロブスカイト化合物中の電子の移動度が高くなり、薄膜太陽電池の光電変換効率が向上すると推定される。 The organic / inorganic perovskite compound preferably has a cubic structure in which a metal atom M is disposed at the body center, an organic molecule R is disposed at each vertex, and a halogen atom or a chalcogen atom X is disposed at the face center. Although details are not clear, since the orientation of the octahedron in the crystal lattice can be easily changed by having the above structure, the mobility of electrons in the organic-inorganic perovskite compound is increased, and the thin film solar cell It is estimated that the photoelectric conversion efficiency is improved.

上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位は、結晶性半導体であることが好ましい。上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位が結晶性半導体であることにより、電子の移動度が高くなり、光電変換効率が向上する。
なお、結晶性半導体とは、X線回折測定等で測定し、散乱ピークが検出できる半導体を意味する。
The sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site is preferably a crystalline semiconductor. When the sulfide site, selenide site, and / or organic / inorganic perovskite compound site is a crystalline semiconductor, electron mobility is increased, and photoelectric conversion efficiency is improved.
A crystalline semiconductor means a semiconductor that can be measured by X-ray diffraction measurement or the like and from which a scattering peak can be detected.

また、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位の結晶性の指標として、結晶化度を用いることもできる。上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位の結晶化度は、好ましい下限が30%である。上記結晶化度が30%以上であれば、電子の移動度が高くなり、光電変換効率が向上する。上記結晶化度のより好ましい下限は50%、更に好ましい下限は70%である。
なお、結晶化度は、X線回折測定等により検出された結晶質由来の散乱ピークと、非晶質部由来のハローとをフィッティングにより分離し、それぞれの強度積分を求めて、全体のうちの結晶質部分の比を算出することにより求めることができる。
Further, the crystallinity can be used as an index of crystallinity of the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site. The preferred lower limit of the crystallinity of the sulfide moiety, selenide moiety and / or organic / inorganic perovskite compound moiety is 30%. If the said crystallinity is 30% or more, the mobility of an electron will become high and a photoelectric conversion efficiency will improve. A more preferred lower limit of the crystallinity is 50%, and a more preferred lower limit is 70%.
The crystallinity is determined by separating the scattering peak derived from the crystalline substance detected by X-ray diffraction measurement and the like from the halo derived from the amorphous part by fitting, and obtaining the intensity integral of each, It can be determined by calculating the ratio of the crystalline part.

上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位の結晶化度を高める方法として、例えば、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位に対して、焼成、レーザー又はフラッシュランプ等の強度の強い光の照射、エキシマ光照射、プラズマ照射等を行う方法が挙げられる。なかでも、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位の酸化を低減できることから、強度の強い光の照射、プラズマ照射等を行う方法が好ましい。 As a method for increasing the crystallinity of the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site, for example, firing, laser, etc. on the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site. Alternatively, a method of performing irradiation with strong light such as a flash lamp, excimer light irradiation, plasma irradiation, or the like can be given. Among these, since the oxidation of the sulfide moiety, selenide moiety and / or organic / inorganic perovskite compound moiety can be reduced, a method of performing irradiation with strong light, plasma irradiation, or the like is preferable.

上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位は、本発明の効果を阻害しない範囲内であれば、上述したような主成分となる金属元素に加えて他の元素を含有していてもよい。上記他の元素は特に限定されないが、具体的には例えば、カドミウム、亜鉛、アルミニウム、チタン、ランタン等が挙げられる。これらの他の元素は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。なかでも、特に結晶化が促進しやすく開放電圧が高くなることから、他の元素は亜鉛が好ましい。 The sulfide site, selenide site, and / or organic / inorganic perovskite compound site contains other elements in addition to the metal element as the main component as described above, as long as the effect of the present invention is not impaired. It may be. The other elements are not particularly limited, and specific examples include cadmium, zinc, aluminum, titanium, lanthanum, and the like. These other elements may be used independently and 2 or more types may be used together. Among these, zinc is preferable as the other element because crystallization is particularly facilitated and the open circuit voltage is increased.

上記他の元素の含有量は、上記硫化物及び/又はセレン化物中の好ましい上限が50重量%である。上記含有量が50重量%以下であれば、上記硫化物及び/又はセレン化物の光学特性を維持しつつ、付加機能を付与することが可能である。 The upper limit of the content of the other element is preferably 50% by weight in the sulfide and / or selenide. When the content is 50% by weight or less, it is possible to provide an additional function while maintaining the optical properties of the sulfide and / or selenide.

上記光電変換層が薄膜状の上記有機半導体部位と、薄膜状の上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位とを備えた積層体である場合、上記薄膜状の有機半導体部位の厚みは、好ましい下限が5nm、好ましい上限が5000nmである。上記厚みが5nm以上であれば、充分に光を吸収することができるようになり、光電変換効率が高くなる。上記厚みが5000nm以下であれば、電荷分離できない領域が発生することを抑制できるため、光電変換効率の向上につながる。上記厚みのより好ましい下限は10nm、より好ましい上限は2000nmであり、更に好ましい下限は20nm、更に好ましい上限は1000nmである。 When the photoelectric conversion layer is a laminate including the thin-film organic semiconductor portion and the thin-film sulfide portion, selenide portion and / or organic-inorganic perovskite compound portion, the thin-film organic semiconductor portion The preferred lower limit is 5 nm, and the preferred upper limit is 5000 nm. If the thickness is 5 nm or more, light can be sufficiently absorbed, and the photoelectric conversion efficiency is increased. If the said thickness is 5000 nm or less, since it can suppress that the area | region which cannot carry out charge separation generate | occur | produces, it will lead to the improvement of photoelectric conversion efficiency. The more preferable lower limit of the thickness is 10 nm, the more preferable upper limit is 2000 nm, the still more preferable lower limit is 20 nm, and the still more preferable upper limit is 1000 nm.

また、上記薄膜状の硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位の厚みは、好ましい下限が5nm、好ましい上限が5000nmである。上記厚みが5nm以上であれば、充分に光を吸収することができるようになり、光電変換効率が高くなる。上記厚みが5000nm以下であれば、電荷分離できない領域が発生することを抑制できるため、光電変換効率の向上につながる。上記厚みのより好ましい下限は10nm、より好ましい上限は1000nmであり、更に好ましい下限は20nm、更に好ましい上限は500nmである。 Further, the thickness of the thin-film sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site has a preferable lower limit of 5 nm and a preferable upper limit of 5000 nm. If the thickness is 5 nm or more, light can be sufficiently absorbed, and the photoelectric conversion efficiency is increased. If the said thickness is 5000 nm or less, since it can suppress that the area | region which cannot carry out charge separation generate | occur | produces, it will lead to the improvement of photoelectric conversion efficiency. The more preferable lower limit of the thickness is 10 nm, the more preferable upper limit is 1000 nm, the still more preferable lower limit is 20 nm, and the still more preferable upper limit is 500 nm.

上記光電変換層が上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位と、後述するフッ素含有化合物を含有する部位とを複合化した複合膜である場合、上記複合膜の厚みの好ましい下限は30nm、好ましい上限は3000nmである。上記厚みが30nm以上であれば、充分に光を吸収することができるようになり、光電変換効率が高くなる。上記厚みが3000nm以下であれば、電荷が電極に到達しやすくなるため、光電変換効率が高くなる。上記厚みのより好ましい下限は40nm、より好ましい上限は2000nmであり、更に好ましい下限は50nm、更に好ましい上限は1000nmである。 When the photoelectric conversion layer is a composite film in which the organic semiconductor part, the sulfide part, the selenide part and / or the organic / inorganic perovskite compound part, and the part containing a fluorine-containing compound described later are combined, The preferable lower limit of the thickness of the composite film is 30 nm, and the preferable upper limit is 3000 nm. If the thickness is 30 nm or more, light can be sufficiently absorbed, and the photoelectric conversion efficiency is increased. If the said thickness is 3000 nm or less, since it becomes easy to reach | attain an electrode, a photoelectric conversion efficiency becomes high. The more preferable lower limit of the thickness is 40 nm, the more preferable upper limit is 2000 nm, the still more preferable lower limit is 50 nm, and the still more preferable upper limit is 1000 nm.

また、上記複合膜においては、上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位との比率が非常に重要である。上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位との比率は、1:9〜9:1(体積比)であることが好ましい。上記比率が上記範囲内であれば、ホール又は電子が電極まで到達しやすくなり、そのため光電変換効率の向上につながる。上記比率は、2:8〜8:2(体積比)であることがより好ましい。 In the composite film, the ratio between the organic semiconductor portion and the sulfide portion, selenide portion and / or organic / inorganic perovskite compound portion is very important. The ratio of the organic semiconductor site to the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site is preferably 1: 9 to 9: 1 (volume ratio). If the said ratio is in the said range, it will become easy for a hole or an electron to reach | attain an electrode, therefore it leads to the improvement of photoelectric conversion efficiency. The ratio is more preferably 2: 8 to 8: 2 (volume ratio).

本発明の薄膜太陽電池においては、上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間に、フッ素含有化合物を含有する部位を有する。上記有機半導体部位と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間に、フッ素含有化合物を含有する部位を有することにより、上記有機半導体部位との接合性を高めることができ、光電変換効率を高め、特に開放電圧を高めることができる。また、フッ素元素は電気陰性度が比較的小さいため、電子が移動し易くなる。上記フッ素含有化合物は単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 In the thin film solar cell of this invention, it has a site | part containing a fluorine-containing compound between the said organic-semiconductor site | part and the site | part containing the said sulfide site | part, a selenide site | part, and / or an organic inorganic perovskite compound. By having a part containing a fluorine-containing compound between the organic semiconductor part and the sulfide part, selenide part, and / or part containing the organic inorganic perovskite compound, the bondability with the organic semiconductor part is achieved. And the photoelectric conversion efficiency can be increased, and in particular, the open circuit voltage can be increased. In addition, since the elemental fluorine has a relatively low electronegativity, electrons easily move. The said fluorine-containing compound may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記フッ素含有化合物は、カルボキシル基、チオール基、ジスルフィド基、リン酸基、アルコキシシリル基から選ばれる少なくとも一種の官能基を有することが好ましい。上記フッ素含有化合物がカルボキシル基、チオール基、ジスルフィド基、リン酸基及び/又はアルコキシシリル基を有することで、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位とフッ素含有化合物との密着性が向上し、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位と有機半導体部位との接合性を高めることができ、開放電圧を高めることができる。なかでも、接合性をより高めることができることから、リン酸基を有することが好ましい。 The fluorine-containing compound preferably has at least one functional group selected from a carboxyl group, a thiol group, a disulfide group, a phosphate group, and an alkoxysilyl group. Since the fluorine-containing compound has a carboxyl group, a thiol group, a disulfide group, a phosphoric acid group and / or an alkoxysilyl group, the sulfide portion, the selenide portion and / or the organic / inorganic perovskite compound portion and the fluorine-containing compound Adhesiveness is improved, the bonding property between the sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site and the organic semiconductor site can be increased, and the open circuit voltage can be increased. Among them, it is preferable to have a phosphate group because the bondability can be further improved.

上記カルボキシル基を有するフッ素含有化合物としては、例えば、パーフルオロオクタン酸、パーフルオロヘキサン酸、パーフルオロフェニルカルボン酸等が挙げられる。
上記チオール基を有するフッ素含有化合物としては、例えば、フルオロアルキルチオール、フルオロフェニルアルキルチオール等が挙げられる。
上記ジスルフィド基を有するフッ素含有化合物としては、例えば、フルオロアルキルジスルフィド、フルオロフェニルジスルフィド等が挙げられる。
上記リン酸基を有するフッ素含有化合物としては、例えば、フルオロオクチルホスホン酸、フルオロドデシルホスホン酸、フルオロヘキシルホスホン酸等が挙げられる。
上記アルコキシシリル基を有するフッ素含有化合物としては、例えば、フルオロアルコキシシラン、フルオロフェニルアルコキシシラン等が挙げられる。
Examples of the fluorine-containing compound having a carboxyl group include perfluorooctanoic acid, perfluorohexanoic acid, and perfluorophenylcarboxylic acid.
Examples of the fluorine-containing compound having a thiol group include fluoroalkylthiol and fluorophenylalkylthiol.
Examples of the fluorine-containing compound having a disulfide group include fluoroalkyl disulfide and fluorophenyl disulfide.
Examples of the fluorine-containing compound having a phosphoric acid group include fluorooctylphosphonic acid, fluorododecylphosphonic acid, and fluorohexylphosphonic acid.
Examples of the fluorine-containing compound having an alkoxysilyl group include fluoroalkoxysilane and fluorophenylalkoxysilane.

本発明の薄膜太陽電池においては、陰極と前記光電変換層との間に、電子輸送層が配置されていてもよい。
上記電子輸送層の材料は特に限定されず、例えば、N型導電性高分子、N型低分子有機半導体、N型金属酸化物、N型金属硫化物、ハロゲン化アルカリ金属、アルカリ金属、界面活性剤等が挙げられ、具体的には例えば、シアノ基含有ポリフェニレンビニレン、ホウ素含有ポリマー、バソキュプロイン、バソフェナントレン、ヒドロキシキノリナトアルミニウム、オキサジアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ナフタレンテトラカルボン酸化合物、ペリレン誘導体、ホスフィンオキサイド化合物、ホスフィンスルフィド化合物、フルオロ基含有フタロシアニン、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ、酸化ガリウム、硫化スズ、硫化インジウム、硫化亜鉛等が挙げられる。
In the thin film solar cell of this invention, the electron carrying layer may be arrange | positioned between the cathode and the said photoelectric converting layer.
The material of the electron transport layer is not particularly limited. For example, N-type conductive polymer, N-type low molecular organic semiconductor, N-type metal oxide, N-type metal sulfide, alkali metal halide, alkali metal, surface activity Specific examples include, for example, cyano group-containing polyphenylene vinylene, boron-containing polymer, bathocuproine, bathophenanthrene, hydroxyquinolinato aluminum, oxadiazole compound, benzimidazole compound, naphthalene tetracarboxylic acid compound, perylene derivative, Examples include phosphine oxide compounds, phosphine sulfide compounds, fluoro group-containing phthalocyanines, titanium oxide, zinc oxide, indium oxide, tin oxide, gallium oxide, tin sulfide, indium sulfide, and zinc sulfide.

上記電子輸送層は、薄膜状の電子輸送層のみからなっていてもよいが、多孔質状の電子輸送層を含むことが好ましい。特に、上記光電変換層が上記有機半導体部位と上記硫化物部位、セレン化物部位、及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位とを複合化した複合膜である場合、複雑な構造の複合膜(複雑に入り組んだ構造)が得られ、光電変換効率が高くなることから、多孔質状の電子輸送層上に硫化物部位、セレン化物部位、及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位が成膜されていることが好ましい。 The electron transport layer may consist of only a thin film electron transport layer, but preferably includes a porous electron transport layer. In particular, when the photoelectric conversion layer is a composite film in which the organic semiconductor part and the sulfide part, selenide part, and / or organic / inorganic perovskite compound part are combined, a composite film having a complicated structure (complex and complicated Therefore, it is preferable that a sulfide site, a selenide site, and / or an organic / inorganic perovskite compound site be formed on the porous electron transport layer. .

上記電子輸送層の厚みは、好ましい下限が1nm、好ましい上限が2000nmである。上記厚みが1nm以上であれば、充分にホールをブロックできるようになる。上記厚みが2000nm以下であれば、電子輸送の際の抵抗になり難く、光電変換効率が高くなる。上記電子輸送層の厚みのより好ましい下限は3nm、より好ましい上限は1000nmであり、更に好ましい下限は5nm、更に好ましい上限は500nmである。 The preferable lower limit of the thickness of the electron transport layer is 1 nm, and the preferable upper limit is 2000 nm. If the thickness is 1 nm or more, holes can be sufficiently blocked. If the said thickness is 2000 nm or less, it will become difficult to become resistance at the time of electron transport, and photoelectric conversion efficiency will become high. The more preferable lower limit of the thickness of the electron transport layer is 3 nm, the more preferable upper limit is 1000 nm, the still more preferable lower limit is 5 nm, and the still more preferable upper limit is 500 nm.

本発明の薄膜太陽電池においては、上記陽極と上記光電変換層との間に、ホール輸送層が配置されていてもよい。
上記ホール輸送層の材料は特に限定されず、例えば、P型導電性高分子、P型低分子有機半導体、P型金属酸化物、P型金属硫化物、界面活性剤等が挙げられ、具体的には例えば、ポリエチレンジオキシチオフェンのポリスチレンスルホン酸付加物、カルボキシル基含有ポリチオフェン、フタロシアニン、ポルフィリン、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化タングステン、酸化ニッケル、酸化銅、酸化スズ、硫化モリブデン、硫化タングステン、硫化銅、硫化スズ等、フルオロ基含有ホスホン酸、カルボニル基含有ホスホン酸等が挙げられる。
In the thin film solar cell of this invention, the hole transport layer may be arrange | positioned between the said anode and the said photoelectric converting layer.
The material of the hole transport layer is not particularly limited, and examples thereof include a P-type conductive polymer, a P-type low molecular organic semiconductor, a P-type metal oxide, a P-type metal sulfide, and a surfactant. Examples include polystyrene sulfonate adduct of polyethylenedioxythiophene, carboxyl group-containing polythiophene, phthalocyanine, porphyrin, molybdenum oxide, vanadium oxide, tungsten oxide, nickel oxide, copper oxide, tin oxide, molybdenum sulfide, tungsten sulfide, copper sulfide. , Tin sulfide and the like, fluoro group-containing phosphonic acid, carbonyl group-containing phosphonic acid and the like.

上記ホール輸送層の厚みは、好ましい下限は1nm、好ましい上限は2000nmである。上記厚みが1nm以上であれば、充分に電子をブロックできるようになる。上記厚みが2000nm以下であれば、ホール輸送の際の抵抗になり難く、光電変換効率が高くなる。上記厚みのより好ましい下限は3nm、より好ましい上限は1000nmであり、更に好ましい下限は5nm、更に好ましい上限は500nmである。 The preferable lower limit of the thickness of the hole transport layer is 1 nm, and the preferable upper limit is 2000 nm. If the thickness is 1 nm or more, electrons can be sufficiently blocked. If the said thickness is 2000 nm or less, it will become difficult to become resistance at the time of hole transport, and a photoelectric conversion efficiency will become high. The more preferable lower limit of the thickness is 3 nm, the more preferable upper limit is 1000 nm, the still more preferable lower limit is 5 nm, and the still more preferable upper limit is 500 nm.

本発明の薄膜太陽電池は、更に、基板等を有していてもよい。上記基板は特に限定されず、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等の透明ガラス基板、セラミック基板、透明プラスチック基板等が挙げられる。 The thin film solar cell of the present invention may further have a substrate or the like. The said board | substrate is not specifically limited, For example, transparent glass substrates, such as soda-lime glass and an alkali free glass, a ceramic substrate, a transparent plastic substrate, etc. are mentioned.

図1に、薄膜状の有機半導体部位と、薄膜状の硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位とを積層した積層体である光電変換層を有する本発明の薄膜太陽電池の一例を模式的に示す。図1に示す薄膜太陽電池1においては、基板2、透明電極(陰極)3、電子輸送層4、光電変換層8(薄膜状の硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位5、フッ素含有化合物を含有する部位6、薄膜上の有機半導体部位7を含む積層体)、ホール輸送層9、電極(陽極)10がこの順で積層されている。 FIG. 1 shows a thin film solar cell of the present invention having a photoelectric conversion layer which is a laminate in which a thin film organic semiconductor site and a thin film sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site are laminated. An example is shown schematically. In the thin film solar cell 1 shown in FIG. 1, a substrate 2, a transparent electrode (cathode) 3, an electron transport layer 4, a photoelectric conversion layer 8 (thin film-like sulfide site, selenide site and / or organic / inorganic perovskite compound site 5 , A part 6 containing a fluorine-containing compound, a laminate including an organic semiconductor part 7 on the thin film), a hole transport layer 9, and an electrode (anode) 10 are laminated in this order.

本発明の薄膜太陽電池を製造する方法は特に限定されず、例えば、基板上に電極(陰極)、電子輸送層、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位、フッ素含有化合物を含有する部位、有機半導体部位、光電変換層、電極(陽極)をこの順で形成する方法等が挙げられる。 The method for producing the thin film solar cell of the present invention is not particularly limited. For example, an electrode (cathode), an electron transport layer, a sulfide site, a selenide site and / or an organic / inorganic perovskite compound site, a fluorine-containing compound is formed on a substrate. The method of forming the part to contain, an organic-semiconductor part, a photoelectric converting layer, an electrode (anode) in this order, etc. are mentioned.

本発明の薄膜太陽電池を製造する方法であって、有機半導体を含有する部位と、硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を形成する工程を有することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法もまた、本発明の1つである。
上記有機半導体と、上記硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を形成する工程は特に限定されず、例えば、真空蒸着法、スピンコート法等の印刷法、ディップコーティング法、その他の真空プロセス(例えば、スパッタリング法、CVD等)等が挙げられる。なかでも、高い光電変換効率を発揮できる薄膜太陽電池を大面積で簡易に形成できることから、ディップコーティング法が好ましい。
A method for producing a thin film solar cell of the present invention, comprising a fluorine-containing compound between a site containing an organic semiconductor and a site containing a sulfide site, a selenide site and / or an organic inorganic perovskite compound. A method of manufacturing a thin-film solar cell including a step of forming a part is also one aspect of the present invention.
The step of forming a part containing a fluorine-containing compound between the organic semiconductor and the part containing the sulfide part, selenide part and / or organic inorganic perovskite compound is not particularly limited. And a printing method such as a spin coating method, a dip coating method, and other vacuum processes (for example, sputtering method, CVD, etc.). Especially, since the thin film solar cell which can exhibit high photoelectric conversion efficiency can be easily formed in a large area, the dip coating method is preferable.

上記ディップコーティング法においては、上記フッ素含有化合物を溶媒に溶解させた溶液をコーティング液としてもよいし、上記フッ素含有化合物が常温(23℃)で液体の場合には、上記フッ素含有化合物を溶媒に溶解せずにコーティング液としてもよい。なかでも、上記フッ素含有化合物を溶媒に溶解させた溶液をコーティング液として用いたディップコーティング法が好適である。
なお、上記フッ素含有化合物を溶媒に溶解させた溶液をコーティング液とした場合、該コーティング液中の上記フッ素含有化合物の濃度の好ましい上限は1M、好ましい下限は1mMである。上記フッ素含有化合物の濃度がこの範囲内であると、充分に表面にフッ素含有化合物を吸着させて、表面をフッ素含有化合物で覆うことができる。
In the dip coating method, a solution obtained by dissolving the fluorine-containing compound in a solvent may be used as a coating solution. When the fluorine-containing compound is liquid at room temperature (23 ° C.), the fluorine-containing compound is used as a solvent. A coating solution may be used without dissolving. Among these, a dip coating method using a solution obtained by dissolving the fluorine-containing compound in a solvent as a coating solution is preferable.
In addition, when the solution which melt | dissolved the said fluorine-containing compound in the solvent is used as a coating liquid, the preferable upper limit of the density | concentration of the said fluorine-containing compound in this coating liquid is 1M, and a preferable minimum is 1 mM. When the concentration of the fluorine-containing compound is within this range, the surface of the fluorine-containing compound can be sufficiently adsorbed and covered with the fluorine-containing compound.

上記光電変換層を形成する方法は特に限定されず、真空蒸着法、スパッタ法、気相反応法(CVD)、電気化学沈積法等であってもよいが、硫黄含有化合物及び/又はセレン含有化合物とを含有する半導体形成用塗布液を用いた印刷法が好ましい。印刷法を採用することで、高い光電変換効率を発揮できる薄膜太陽電池を大面積で簡易に形成することができ、大量生産が可能となる。更に、印刷法を採用することで、薄膜太陽電池の性能安定性を高めることもできる。性能安定性が高いと、薄膜太陽電池の製造の際に、不良品を減らすことができる。印刷法として、例えば、スピンコート法、キャスト法等が挙げられ、印刷法を用いた方法としてロールtoロール法等が挙げられる。
より具体的には、例えば、上記光電変換層が薄膜状の上記硫化物部位、セレン化物部位、及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位と薄膜状の上記有機半導体部位とを積層した積層体である場合には、上記半導体形成用塗布液を用いてスピンコート法等の印刷法により薄膜状の硫化物部位、セレン化物部位、及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位を成膜し、フッ素含有化合物を含有する部位を形成させた上で、更にスピンコート法等の印刷法により薄膜状の有機半導体部位を成膜することが好ましい。
The method for forming the photoelectric conversion layer is not particularly limited, and may be a vacuum deposition method, a sputtering method, a gas phase reaction method (CVD), an electrochemical deposition method, etc., but a sulfur-containing compound and / or a selenium-containing compound. A printing method using a semiconductor-forming coating solution containing the above is preferred. By adopting the printing method, a thin film solar cell that can exhibit high photoelectric conversion efficiency can be easily formed in a large area, and mass production becomes possible. Furthermore, by adopting a printing method, the performance stability of the thin film solar cell can be enhanced. When the performance stability is high, defective products can be reduced in the production of thin film solar cells. Examples of the printing method include a spin coating method and a casting method, and examples of a method using the printing method include a roll-to-roll method.
More specifically, for example, when the photoelectric conversion layer is a laminate in which the thin-film sulfide site, selenide site, and / or organic-inorganic perovskite compound site and the thin-film organic semiconductor site are stacked. Includes forming a thin film sulfide portion, selenide portion, and / or organic / inorganic perovskite compound portion by a printing method such as a spin coat method using the above-described semiconductor-forming coating solution, and containing a fluorine-containing compound. It is preferable to form a thin organic semiconductor region by a printing method such as spin coating after forming the region.

本発明によれば、光電変換効率を高めることができ、特に有機半導体部位と硫化物部位、セレン化物部位、及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位との接合性を高めることで開放電圧を高めることができる。また、本発明によれば、該薄膜太陽電池の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, the photoelectric conversion efficiency can be increased, and in particular, the open-circuit voltage can be increased by increasing the bondability between the organic semiconductor portion and the sulfide portion, the selenide portion, and / or the organic / inorganic perovskite compound portion. it can. Moreover, according to this invention, the manufacturing method of this thin film solar cell can be provided.

薄膜状の有機半導体部位と薄膜状の硫化物及び/又はセレン化物半導体部位とを積層した積層体である光電変換層を有する本発明の薄膜太陽電池の一例を、模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the thin film solar cell of this invention which has a photoelectric converting layer which is a laminated body which laminated | stacked the thin film-like organic-semiconductor site | part and the thin-film-like sulfide and / or selenide semiconductor site | part. .

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.

参考例1
(チタンを含有する塗布液の作製)
チタン粉末10mmolを精秤し、ビーカーに入れ、過酸化水素水40gを加え、更にアンモニア水10gを加えた。これを2時間水冷した後、L−乳酸30mmolを添加し、80℃に設定したホットプレートで一日加温し、そこへ蒸留水10mLを添加し、チタンを含有する塗布液を作製した。
( Reference Example 1 )
(Preparation of coating solution containing titanium)
Titanium powder 10 mmol was precisely weighed and placed in a beaker, hydrogen peroxide water 40 g was added, and ammonia water 10 g was further added. After this was cooled with water for 2 hours, 30 mmol of L-lactic acid was added and heated on a hot plate set at 80 ° C. for one day, and 10 mL of distilled water was added thereto to prepare a coating solution containing titanium.

(フッ素含有化合物を含有する溶液の作製)
エタノール100重量部に、フッ化オクチルホスホン酸0.1重量部を添加した後、攪拌することによって、フッ素含有化合物を含有する溶液を作製した。
(Preparation of a solution containing a fluorine-containing compound)
A solution containing a fluorine-containing compound was prepared by adding 0.1 part by weight of octylphosphonic acid fluoride to 100 parts by weight of ethanol and then stirring.

(半導体形成用塗布液の作製)
N,N−ジメチルホルムアミド100重量部に、塩化アンチモン(III)20重量部を添加した後、攪拌することによって溶解した。N,N−ジメチルホルムアミド100重量部に、チオ尿素(CS(NH)20重量部を添加した後、攪拌することによって溶解した。塩化アンチモンのN,N−ジメチルホルムアミド溶液50重量部に、チオ尿素のN,N−ジメチルホルムアミド溶液40重量部を攪拌しながら徐々に添加した。その際、溶液は混合前の無色透明から黄色透明に変わった。添加終了後に更に30分間攪拌することによって、塩化アンチモンとチオ尿素とを含有する半導体形成用塗布液を作製した。
(Preparation of coating liquid for semiconductor formation)
After adding 20 parts by weight of antimony (III) chloride to 100 parts by weight of N, N-dimethylformamide, it was dissolved by stirring. After adding 20 parts by weight of thiourea (CS (NH 2 ) 2 ) to 100 parts by weight of N, N-dimethylformamide, it was dissolved by stirring. To 50 parts by weight of an antimony chloride N, N-dimethylformamide solution, 40 parts by weight of a thiourea N, N-dimethylformamide solution was gradually added with stirring. At that time, the solution changed from colorless and transparent to yellow and transparent before mixing. After completion of the addition, the mixture was further stirred for 30 minutes to prepare a semiconductor-forming coating solution containing antimony chloride and thiourea.

(薄膜太陽電池の作製)
FTOガラス基板上に、チタンを含有する塗布液を回転数1500rpmの条件でスピンコート法により100nmの厚みに塗布した。塗布後、大気中550℃で10分間焼成し、電子輸送層を形成した。
得られた電子輸送層上に、半導体形成用塗布液を回転数1500rpmの条件でスピンコート法により塗布した。塗布後、サンプルを真空炉に入れ、真空環境下で260℃で10分間焼成し、硫化物半導体薄膜(薄膜状の硫化物半導体部位)を形成した。真空炉から取出した硫化物半導体薄膜は黒色であった。真空炉から取出した後、フッ素含有化合物を含有する溶液に3分間浸漬した。溶液から取出した後、エタノールで洗浄し、乾燥させ、フッ素含有化合物を含有する部位を形成した。更に、有機半導体薄膜(薄膜状の有機半導体部位)としてポリ(3−ヘキシルチオフェン)(P3HT)をスピンコート法により50nmの厚みに成膜した。その後、有機半導体薄膜の上にホール輸送層としてポリエチレンジオキサイドチオフェン:ポリスチレンスルフォネート(PEDOT:PSS)をスピンコート法により50nmの厚みに成膜した。次いで、ホール輸送層の上に厚み80nmの金電極を真空蒸着法により成膜することによって薄膜太陽電池を作製した。
(Production of thin film solar cells)
On the FTO glass substrate, a coating solution containing titanium was applied to a thickness of 100 nm by a spin coating method under the condition of a rotational speed of 1500 rpm. After the application, it was baked at 550 ° C. for 10 minutes in the atmosphere to form an electron transport layer.
On the obtained electron transport layer, a coating solution for forming a semiconductor was applied by a spin coat method under the condition of a rotational speed of 1500 rpm. After the application, the sample was put in a vacuum furnace and baked at 260 ° C. for 10 minutes in a vacuum environment to form a sulfide semiconductor thin film (a thin film-like sulfide semiconductor portion). The sulfide semiconductor thin film taken out from the vacuum furnace was black. After taking out from the vacuum furnace, it was immersed in the solution containing a fluorine-containing compound for 3 minutes. After removal from the solution, it was washed with ethanol and dried to form a site containing a fluorine-containing compound. Furthermore, poly (3-hexylthiophene) (P3HT) was formed to a thickness of 50 nm by spin coating as an organic semiconductor thin film (thin film-shaped organic semiconductor portion). Thereafter, polyethylene dioxide thiophene: polystyrene sulfonate (PEDOT: PSS) was deposited as a hole transport layer on the organic semiconductor thin film to a thickness of 50 nm by a spin coating method. Next, a thin film solar cell was fabricated by forming a gold electrode having a thickness of 80 nm on the hole transport layer by vacuum deposition.

(比較例5)
フッ素含有化合物を含有する部位を形成しなかった以外は、参考例1と同様にして薄膜太陽電池を作製した。
(Comparative Example 5)
A thin-film solar cell was produced in the same manner as in Reference Example 1 except that the portion containing the fluorine-containing compound was not formed.

参考例2〜7、比較例1〜4)
フッ素含有化合物を表1に示す化合物に変更したこと以外は、参考例1と同様にして薄膜太陽電池を作製した。
( Reference Examples 2-7 , Comparative Examples 1-4)
A thin film solar cell was produced in the same manner as in Reference Example 1 , except that the fluorine-containing compound was changed to the compound shown in Table 1.

(実施例8)
FTOガラス基板上に、チタンを含有する塗布液を回転数1500rpmの条件でスピンコート法により100nmの厚みに塗布した。塗布後、大気中550℃で10分間焼成し、電子輸送層を形成した。
更に、薄膜状の電子輸送層上に、有機バインダとしてのポリイソブチルメタクリレートと酸化チタン(平均粒子径10nmと30nmとの混合物)とを含有する酸化チタンペーストをスピンコート法により塗布した後、500℃で10分間焼成し、厚み300nmの多孔質状の電子輸送層を形成した。次いで、ハロゲン化金属化合物としてヨウ化鉛をN,N−ジメチルホルムアミド(DMF)に溶解させて1Mの溶液を調製した。これを上記酸化チタンの層上にスピンコート法によって製膜した。更に、アミン化合物としてヨウ化メチルアンモニウムを2−プロパノールに溶解させて1Mの溶液を調製した。この溶液内に上記のヨウ化鉛を製膜したサンプルを浸漬させることによって有機無機ペロブスカイト化合物であるCHNHPbIを含む層を形成した。浸漬後、得られたサンプルに対して80℃にて30分間加熱処理を行った。熱処理後、フッ素含有化合物を含有する溶液に2分間浸漬した。溶液から取出した後、プロパノールで洗浄し、乾燥させ、フッ素含有化合物を含有する部位を形成した。更に、有機半導体薄膜(薄膜状の有機半導体部位)としてPoly−TPD(1−Material社製)をスピンコート法により50nmの厚みに成膜した。その後、有機半導体薄膜の上に厚み80nmの金電極を真空蒸着法により成膜することによって薄膜太陽電池を作製した。
(Example 8)
On the FTO glass substrate, a coating solution containing titanium was applied to a thickness of 100 nm by a spin coating method under the condition of a rotational speed of 1500 rpm. After the application, it was baked at 550 ° C. for 10 minutes in the atmosphere to form an electron transport layer.
Further, a titanium oxide paste containing polyisobutyl methacrylate as an organic binder and titanium oxide (a mixture of an average particle size of 10 nm and 30 nm) is applied onto the thin film electron transport layer by a spin coat method, and then heated to 500 ° C. Was fired for 10 minutes to form a porous electron transport layer having a thickness of 300 nm. Subsequently, lead iodide as a metal halide compound was dissolved in N, N-dimethylformamide (DMF) to prepare a 1M solution. This was formed on the titanium oxide layer by spin coating. Further, methylammonium iodide as an amine compound was dissolved in 2-propanol to prepare a 1M solution. A layer containing CH 3 NH 3 PbI 3 , which is an organic / inorganic perovskite compound, was formed by immersing the sample formed of lead iodide in the solution. After immersion, the obtained sample was heat-treated at 80 ° C. for 30 minutes. After the heat treatment, it was immersed in a solution containing a fluorine-containing compound for 2 minutes. After removal from the solution, it was washed with propanol and dried to form a site containing a fluorine-containing compound. Furthermore, Poly-TPD (manufactured by 1-Material) was formed as an organic semiconductor thin film (thin film-like organic semiconductor portion) to a thickness of 50 nm by spin coating. Thereafter, a gold electrode having a thickness of 80 nm was formed on the organic semiconductor thin film by a vacuum vapor deposition method to produce a thin film solar cell.

(比較例10)
フッ素含有化合物を含有する部位を形成しなかった以外は、実施例8と同様にして薄膜太陽電池を作製した。
(Comparative Example 10)
A thin-film solar cell was produced in the same manner as in Example 8 except that the portion containing the fluorine-containing compound was not formed.

(実施例9〜14、比較例6〜9)
フッ素含有化合物を表2に示す化合物に変更したこと以外は、実施例8と同様にして薄膜太陽電池を作製した。
(Examples 9-14, Comparative Examples 6-9)
A thin film solar cell was produced in the same manner as in Example 8 except that the fluorine-containing compound was changed to the compound shown in Table 2.

<評価>
実施例、比較例及び参考例で得られた薄膜太陽電池について、以下の評価を行った。
(開放電圧評価)
薄膜太陽電池の電極間に、電源(KEITHLEY社製、236モデル)を接続し、強度100mW/cmのソーラーシミュレーション(山下電装社製)を用いて薄膜太陽電池の開放電圧V0Cを測定した。なお、フッ素含有化合物を含有する部位を形成していないこと以外は参考例1と同様の条件で作製した薄膜太陽電池の開放電圧を基準とし、開放電圧の増加量を表1、2に示した。
<Evaluation>
The following evaluation was performed about the thin film solar cell obtained by each Example, the comparative example, and the reference example .
(Open voltage evaluation)
A power source (manufactured by KEITHLEY, model 236) was connected between the electrodes of the thin film solar cell, and the open circuit voltage V 0C of the thin film solar cell was measured using a solar simulation (manufactured by Yamashita Denso Co., Ltd.) having an intensity of 100 mW / cm 2 . Tables 1 and 2 show the amount of increase in the open-circuit voltage based on the open-circuit voltage of the thin-film solar cell manufactured under the same conditions as in Reference Example 1 except that no portion containing a fluorine-containing compound was formed. .

Figure 0006572039
Figure 0006572039

Figure 0006572039
Figure 0006572039

本発明によれば、光電変換効率を高めることができ、特に開放電圧を高めることができる薄膜太陽電池を提供することができる。また、本発明によれば、該薄膜太陽電池の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a photoelectric conversion efficiency can be improved and the thin film solar cell which can raise an open circuit voltage especially can be provided. Moreover, according to this invention, the manufacturing method of this thin film solar cell can be provided.

1 薄膜太陽電池
2 基板
3 透明電極(陰極)
4 電子輸送層
5 薄膜状の硫化物部位、セレン化物部位及び/又は有機無機ペロブスカイト化合物部位
6 フッ素含有化合物を含有する部位
7 薄膜状の有機半導体部位
8 光電変換層(積層体)
9 ホール輸送層
10 電極(陽極)
1 thin film solar cell 2 substrate 3 transparent electrode (cathode)
4 Electron Transport Layer 5 Thin-Film Sulfide Site, Selenide Site and / or Organic Inorganic Perovskite Compound Site 6 Site Containing Fluorine-Containing Compound 7 Thin-Film Organic Semiconductor Site 8 Photoelectric Conversion Layer (Laminate)
9 Hole transport layer 10 Electrode (anode)

Claims (4)

陰極と、陽極と、前記陰極と前記陽極との間に配置された光電変換層を有し、
前記光電変換層が、有機半導体を含有する部位と、有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位とを有し、
前記有機半導体を含有する部位と、有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を有することを特徴とする薄膜太陽電池。
A cathode, an anode, and a photoelectric conversion layer disposed between the cathode and the anode;
The photoelectric conversion layer has a region containing an organic semiconductor, and a region containing an organic inorganic perovskite compounds,
Thin-film solar cell and having a portion containing a fluorine-containing compound during the site containing the organic semiconductor, a part containing organic inorganic perovskite compound.
フッ素含有化合物は、カルボキシル基、チオール基、ジスルフィド基、リン酸基、アルコキシシリル基から選ばれる少なくとも1種の官能基を有することを特徴とする請求項1記載の薄膜太陽電池。 The thin film solar cell according to claim 1, wherein the fluorine-containing compound has at least one functional group selected from a carboxyl group, a thiol group, a disulfide group, a phosphate group, and an alkoxysilyl group. 極と光電変換層との間に配置された電子輸送層を有することを特徴とする請求項1又は2記載の薄膜太陽電池。 Thin-film solar cell of claim 1, wherein further comprising an electron transport layer disposed between the negative electrode and the photoelectric conversion layer. 請求項1、2又は3記載の薄膜太陽電池を製造する方法であって、有機半導体を含有する部位と、有機無機ペロブスカイト化合物を含有する部位との間にフッ素含有化合物を含有する部位を形成する工程を有することを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。 A method of manufacturing a thin film solar cell according to claim 1, 2 or 3, wherein forming the portion containing the fluorine-containing compound during the site containing an organic semiconductor, a part containing organic inorganic perovskite compound The manufacturing method of the thin film solar cell characterized by having the process to do.
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