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JP6435535B2 - Work characteristic measuring apparatus and work characteristic measuring method - Google Patents

Work characteristic measuring apparatus and work characteristic measuring method Download PDF

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JP6435535B2 JP2015001621A JP2015001621A JP6435535B2 JP 6435535 B2 JP6435535 B2 JP 6435535B2 JP 2015001621 A JP2015001621 A JP 2015001621A JP 2015001621 A JP2015001621 A JP 2015001621A JP 6435535 B2 JP6435535 B2 JP 6435535B2
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Description

本発明は、搬送テーブルに形成された複数のワーク収納孔に電子部品等のワークを個別に収納して搬送し、搬送テーブルの回転経路に配置されたワークの特性測定部によりワークの特性を測定するワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法に係り、とりわけ押圧により傷を生じやすい低硬度部を有するワークの測定時に、低硬度部を押圧せずにワークを固定することができるワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法に関する。   The present invention individually stores and conveys workpieces such as electronic components in a plurality of workpiece storage holes formed in the conveyance table, and measures the characteristics of the workpiece by the workpiece characteristic measurement unit arranged in the rotation path of the conveyance table. The present invention relates to a workpiece property measuring apparatus and a workpiece property measuring method, and in particular, when measuring a workpiece having a low hardness portion that is likely to be scratched by pressing, the workpiece property can be fixed without pressing the low hardness portion. The present invention relates to a measuring apparatus and a workpiece characteristic measuring method.

従来から、回転自在の搬送テーブルに形成される複数のワーク収納孔に電子部品等のワークを個別に収納して搬送するワーク特性測定装置が知られている(特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a workpiece characteristic measuring apparatus that individually accommodates and conveys workpieces such as electronic components in a plurality of workpiece accommodation holes formed on a rotatable conveyance table (see Patent Document 1).

特許文献1に記載のワーク搬送装置の平面図を図28に示す。ワーク搬送装置100は、水平なテーブルベース101の上に配置された回転自在の搬送テーブル102を有する。   FIG. 28 shows a plan view of the workpiece transfer device described in Patent Document 1. The workpiece transfer apparatus 100 includes a rotatable transfer table 102 disposed on a horizontal table base 101.

搬送テーブル102の外周部には、図29に示すチップ形電子部品等のワークW0を個別に収納する複数のワーク収納孔103が形成されている。搬送テーブル102は、図示されない駆動機構の作用により、中心軸104の周囲に時計回り(矢印A方向)に間歇回転する。また、後述する分離供給部107に位置するワーク収納孔103を除いて、ワーク収納孔103の上面はテーブルカバー105により覆われている。   A plurality of workpiece storage holes 103 for individually storing workpieces W0 such as chip-type electronic components shown in FIG. 29 are formed on the outer periphery of the transfer table 102. The transport table 102 is intermittently rotated clockwise (in the direction of arrow A) around the central shaft 104 by the action of a drive mechanism (not shown). Further, the upper surface of the work storage hole 103 is covered with a table cover 105 except for the work storage hole 103 located in the separation supply unit 107 described later.

ワークW0の斜視図を図29に示す。ワークW0は発光ダイオード(LED)であり、上面に発光面W0sを有する直方体形状の本体W0xと、本体W0xから長手方向の前方および後方へ突出するリード端子W0a、W0bとを有している。   A perspective view of the workpiece W0 is shown in FIG. The work W0 is a light emitting diode (LED), and has a rectangular parallelepiped main body W0x having a light emitting surface W0s on the upper surface, and lead terminals W0a and W0b protruding from the main body W0x forward and rearward in the longitudinal direction.

ワークW0を図29におけるE0方向、F0方向、G0方向、H0方向から見た図を、それぞれ図30(a)(b)(c)(d)に示す。図30(a)(c)に示すように、リード端子W0a、W0bはそれぞれ本体W0xの後方面W0c、前方面W0dから突出し、それらの底面は本体W0xの底面に一致する。ワークW0の内部回路を図31に示す。内部回路は発光ダイオードD0であり、リード端子W0aがアノード、リード端子W0bがカソードである。リード端子W0a、W0bの間にW0aが高電位になるように電圧を印加すると、発光ダイオードD0が発光する。   FIGS. 30A, 30B, 30C, and 30D show the work W0 viewed from the E0 direction, the F0 direction, the G0 direction, and the H0 direction in FIG. 29, respectively. As shown in FIGS. 30A and 30C, the lead terminals W0a and W0b protrude from the rear surface W0c and the front surface W0d of the main body W0x, respectively, and their bottom surfaces coincide with the bottom surface of the main body W0x. FIG. 31 shows an internal circuit of the work W0. The internal circuit is a light emitting diode D0, the lead terminal W0a being an anode, and the lead terminal W0b being a cathode. When a voltage is applied between the lead terminals W0a and W0b so that W0a has a high potential, the light emitting diode D0 emits light.

この時、外観上は図29における発光面W0sが発光する。なお、発光面W0sは図30(b)(c)に示すように、本体W0xの上面W0tよりもわずかにへこんでいる。市販されている発光ダイオードの例として、図29に示す本体W0xの縦X0が3mm、横Y0が5mm、高さZ0が1mm、リード端子W0aおよびW0bの突出部の長さjが0.3mm、高さkが0.25mmのものがある。   At this time, the light emitting surface W0s in FIG. 29 emits light in appearance. The light emitting surface W0s is slightly recessed from the upper surface W0t of the main body W0x, as shown in FIGS. As an example of a commercially available light emitting diode, the main body W0x shown in FIG. 29 has a vertical X0 of 3 mm, a horizontal Y0 of 5 mm, a height Z0 of 1 mm, and the length j of the protruding portions of the lead terminals W0a and W0b is 0.3 mm. Some have a height k of 0.25 mm.

図29に示すワークW0は、図28に示すワーク搬送装置において、直線形状のリニアフィーダ106の振動の作用によって一列で矢印B方向に搬送される。この時、図29に示すリード端子W0bが図28に示す矢印B方向に位置するようになっている。リニアフィーダ106の終端部は搬送テーブル102の外周部に形成されたワーク収納孔103の開口部に対向しており、そこには分離供給部107が設けられている。リニアフィーダ106上を一列状態で搬送されたワークW0は、分離供給部107において分離されて、搬送テーブル102の外周部に形成されたワーク収納孔103に個別に収納される。そして、搬送テーブル102の図28における矢印A方向の間歇回転によって搬送される。   The workpiece W0 shown in FIG. 29 is conveyed in the direction of arrow B in a row by the action of vibration of the linear linear feeder 106 in the workpiece conveyance device shown in FIG. At this time, the lead terminal W0b shown in FIG. 29 is positioned in the direction of arrow B shown in FIG. The terminal portion of the linear feeder 106 faces the opening of the work storage hole 103 formed in the outer peripheral portion of the transfer table 102, and a separation supply unit 107 is provided there. The workpieces W0 conveyed in a line on the linear feeder 106 are separated by the separation supply unit 107 and individually stored in the workpiece storage holes 103 formed in the outer peripheral portion of the conveyance table 102. And it is conveyed by intermittent rotation of the conveyance table 102 in the direction of arrow A in FIG.

搬送テーブル102の外周部には、間歇回転方向(矢印A方向)に沿って第1検査部108、第2検査部109、排出部110がこの順に設置されている。第1検査部108において、ワークW0の電気特性検査が行われる。その様子を図28のC−C´断面図として、図32乃至図34に示す。   A first inspection unit 108, a second inspection unit 109, and a discharge unit 110 are installed in this order along the intermittent rotation direction (arrow A direction) on the outer periphery of the transport table 102. In the first inspection unit 108, an electrical characteristic inspection of the workpiece W0 is performed. This is shown in FIG. 32 through FIG. 34 as CC ′ sectional views of FIG.

図32において、搬送テーブル102は停止し、第1検査部108にワークW0が位置している。第1検査部108において、リード端子W0a、W0bの直下位置のテーブルベース101内には、プローブP0a、P0bが配置されている。そして、図示されない駆動機構の作用により、プローブP0a、P0bは図33に示すように、リード端子W0a、W0bに向けて矢印K1方向に進出する。そして、プローブP0a、P0bはリード端子W0a、W0bに当接した状態でワークW0を押し上げ、ワーク収納孔103の上面を覆っている第1検査部カバー108aの下面108asにワークW0の上面W0tが当接した状態で停止する。この状態で、プローブP0a、P0bは図示されない測定器に接続され、ワークW0の電気特性を測定する。   In FIG. 32, the transfer table 102 is stopped, and the workpiece W0 is positioned in the first inspection unit 108. In the first inspection unit 108, probes P0a and P0b are disposed in the table base 101 immediately below the lead terminals W0a and W0b. Then, by the action of a drive mechanism (not shown), the probes P0a and P0b advance in the direction of the arrow K1 toward the lead terminals W0a and W0b as shown in FIG. The probes P0a and P0b push up the workpiece W0 in contact with the lead terminals W0a and W0b, so that the upper surface W0t of the workpiece W0 contacts the lower surface 108as of the first inspection unit cover 108a covering the upper surface of the workpiece storage hole 103. Stop in contact. In this state, the probes P0a and P0b are connected to a measuring device (not shown) and measure the electrical characteristics of the workpiece W0.

その後、図34に示すように、図示されない駆動機構の作用により、プローブP0a、P0bは矢印K2方向に退出して、図32に示す状態に戻る。そして、搬送テーブル102が間歇回転して、ワークW0は搬送される。その後、ワークW0は第2検査部109に到達して、第1検査部108とは異なる検査項目について検査を実施する。そして、排出部110に到達して、図示されない排出手段により、ワーク収納孔103から排出される。   Thereafter, as shown in FIG. 34, the probes P0a and P0b are retracted in the direction of the arrow K2 by the action of a drive mechanism (not shown), and return to the state shown in FIG. And the conveyance table 102 rotates intermittently and the workpiece | work W0 is conveyed. Thereafter, the workpiece W0 reaches the second inspection unit 109 and inspects inspection items different from those of the first inspection unit 108. And it reaches | attains the discharge part 110 and is discharged | emitted from the workpiece | work storage hole 103 by the discharge means which is not shown in figure.

以上のような、従来技術によるワーク搬送装置100には、以下の問題点がある。図33に示すように、ワークW0の電気特性測定に際して、プローブP0a、P0bはリード端子W0a、W0bに当接した状態でワークW0を押し上げ、ワーク収納孔103の上面を覆っている第1検査部カバー108aの下面108asにワークW0の上面W0tが当接した状態で停止する。この状態で測定を実施する理由は、ワークW0を固定した状態でプローブP0a、P0bとリード端子W0a、W0bとを当接させることによって、プローブP0a、P0bがリード端子W0a、W0bに十分に大きな圧力で当接して接触抵抗が低減し、測定精度を確保することができるためである。   The work conveying apparatus 100 according to the conventional technique as described above has the following problems. As shown in FIG. 33, when measuring the electrical characteristics of the workpiece W0, the probes P0a and P0b push up the workpiece W0 in contact with the lead terminals W0a and W0b, and cover the upper surface of the workpiece storage hole 103. The operation stops in a state where the upper surface W0t of the workpiece W0 is in contact with the lower surface 108as of the cover 108a. The reason for performing the measurement in this state is that the probes P0a and P0b are brought into contact with the lead terminals W0a and W0b with the workpiece W0 fixed, so that the probes P0a and P0b have a sufficiently large pressure on the lead terminals W0a and W0b. This is because the contact resistance is reduced by the contact and the measurement accuracy can be ensured.

ところで、図29に示すワークW0の本体W0xは、押圧により傷を生じにくい高硬度部である誘電体により覆われている。このため、その上面W0tが図33に示すように第1検査部カバー108aの下面108asに当接しても、その後で図34に示すように離間すれば、本体W0xの上面W0tに傷を生じることはない。   Incidentally, the main body W0x of the workpiece W0 shown in FIG. 29 is covered with a dielectric that is a high-hardness portion that is less likely to be damaged by pressing. For this reason, even if the upper surface W0t abuts on the lower surface 108as of the first inspection section cover 108a as shown in FIG. 33, if it is subsequently separated as shown in FIG. 34, the upper surface W0t of the main body W0x is damaged. There is no.

これに対して、図29に示す発光面W0sは、押圧により傷を生じやすい低硬度部である樹脂により形成されており、第1検査部カバー108aの下面108asに当接した場合、その後図34に示すように離間しても、図29に示す発光面W0sに傷を生じてしまう。   On the other hand, the light emitting surface W0s shown in FIG. 29 is formed of a resin that is a low-hardness portion that is easily damaged by pressing, and when it comes into contact with the lower surface 108as of the first inspection portion cover 108a, the light emitting surface W0s shown in FIG. Even if separated as shown in FIG. 29, the light emitting surface W0s shown in FIG. 29 is damaged.

一般に図29に示すワークW0の場合には、図30(b)(c)に示すように、発光面W0sは本体W0xの上面の内部に形成され、かつ上面よりもわずかにへこんでいるので、発光面W0sが第1検査部カバー108aの下面108asに当接することはない。   In general, in the case of the workpiece W0 shown in FIG. 29, as shown in FIGS. 30B and 30C, the light emitting surface W0s is formed inside the upper surface of the main body W0x and is slightly recessed from the upper surface. The light emitting surface W0s does not contact the lower surface 108as of the first inspection unit cover 108a.

しかしながら、発光ダイオードの中には、発光する部分(以下発光部)が図29のワークW0における発光面W0sのような平面形状ではなく、ワークの上面からさらに上方に突出している立体形状のものがある。また、発光部がさらに上面の周囲を覆って四方に突出している形状のものもある。その場合には、測定の際にワークを固定するときに、図33に示すような従来技術による固定方法を採用すると、押圧されることによって発光部に傷を生じてしまう。   However, among the light emitting diodes, a light emitting portion (hereinafter referred to as a light emitting portion) is not a planar shape like the light emitting surface W0s of the workpiece W0 in FIG. 29, but a solid shape that protrudes further upward from the upper surface of the workpiece. is there. In addition, there is a shape in which the light emitting portion further protrudes in four directions covering the periphery of the upper surface. In that case, when the work is fixed at the time of measurement, if a fixing method according to the prior art as shown in FIG. 33 is adopted, the light emitting part is damaged by being pressed.

他方、この状態を回避するためにワークをワーク収納孔103内に置いたまま、固定しない状態でプローブをワークの端子に当接させると、プローブをワークの端子に十分に大きな圧力により当接させることができなくなる。このため、プローブとワークの端子との間の接触抵抗が大きくなり、測定精度が確保できなくなる。また、低硬度部である発光部をどこにも当接させずに、高硬度部である本体だけをワーク収納孔103の周囲のどこかに当接させて固定することはむずかしく、また当接させることができる範囲が狭くなる。さらに、このように固定する際にワークの高硬度部のみを押圧すると、押圧力が狭い範囲に印加されるためにワークの姿勢が傾く等の異常が生じて、正しい測定ができなくなるおそれがある。   On the other hand, in order to avoid this state, if the probe is brought into contact with the work terminal without being fixed while the work is placed in the work storage hole 103, the probe is brought into contact with the work terminal with a sufficiently large pressure. I can't do that. For this reason, the contact resistance between the probe and the terminal of the workpiece increases, and measurement accuracy cannot be ensured. In addition, it is difficult to abut the light emitting portion, which is a low hardness portion, anywhere on the periphery of the work storage hole 103 without fixing the main body, which is a high hardness portion. The range that can be reduced. Furthermore, when only the high hardness part of the workpiece is pressed when fixing in this way, the pressing force is applied to a narrow range, so that an abnormality such as tilting of the posture of the workpiece may occur and correct measurement may not be possible. .

特開2012−20822号公報JP 2012-20822 A

本発明の目的は、このような点を考慮してなされたものであり、発光ダイオード等のように、押圧により傷を生じにくい高硬度部と、押圧により傷を生じやすい低硬度部とを有するワークの電気的特性等を測定する際に、高硬度部だけを押圧することによって、低硬度部に傷を生じることなくワークを固定することができるワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法を提供することを目的とする。   The object of the present invention has been made in consideration of such points, and has a high-hardness portion that is unlikely to be damaged by pressing and a low-hardness portion that is likely to be damaged by pressing, such as a light-emitting diode. A workpiece characteristic measuring apparatus and workpiece characteristic measuring method capable of fixing a workpiece without causing scratches on a low hardness portion by pressing only the high hardness portion when measuring the electrical characteristics of the workpiece. The purpose is to provide.

本発明は、高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定装置において、テーブルベースと、前記テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルと、前記搬送テーブルの外周部に設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性測定を行なうワークの特性検査部とを備え、前記ワークの特性検査部は、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材と、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定する固定手段とを有し、各ワーク収納孔の内壁にワークが内壁に当接した場合にワークの低硬度部を逃がす切欠部が形成されていることを特徴とするワークの特性測定装置である。   The present invention relates to a workpiece characteristic measuring apparatus for measuring the characteristics of a workpiece having a high hardness portion and a low hardness portion, and a table base and an opening portion that is rotatably disposed on the table base and opens outward. And a work table having a plurality of work storage holes provided along the outer periphery of the work table, and a work piece provided on the outer periphery of the transport table for measuring the characteristics of the work stored in the work storage hole. The workpiece characteristic inspection unit includes an inspection member that abuts against the workpiece and performs workpiece characteristic inspection, and an inner wall side of the workpiece storage hole that faces the opening of the workpiece storage hole. And a fixing means for fixing the workpiece toward the wall, and a notch is formed on the inner wall of each workpiece storage hole to release the low hardness portion of the workpiece when the workpiece abuts against the inner wall. A characteristic measuring device of a work.

本発明は、前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、前記ワークの特性検査部はプッシャの移動距離を計測する距離計測手段と、距離計測手段により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とするワークの特性測定装置である。   In the present invention, the fixing means includes a pusher that presses the high hardness portion of the workpiece from the opening toward the inner wall side, and the characteristic inspection portion of the workpiece includes a distance measurement unit that measures a movement distance of the pusher, and a distance measurement unit And a forcible discharging means that is operated by the control unit to discharge the work in the work storage hole when the moving distance measured by the step is larger than a predetermined distance. It is.

本発明は、前記ワークの特性検査部は、テーブルベースに設けられテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引通路と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測手段と、真空度計測手段により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とする特性測定装置である。   According to the present invention, the workpiece characteristic inspection unit includes a suction passage that is provided in the table base and sucks the workpiece toward the table base, a vacuum degree measurement unit that measures the degree of vacuum in the suction passage, and a vacuum degree measurement unit. When the measured degree of vacuum is lower than a predetermined degree of vacuum, the characteristic measuring apparatus further includes forcible discharge means for discharging the work in the work storage hole by the control unit.

本発明は、前記強制排出手段は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出手段を含むことを特徴とするワークの特性測定装置である。   The present invention provides the workpiece characteristic measuring apparatus, wherein the forced discharge means includes discharge detection means for detecting that the work in the work storage hole has been discharged.

本発明は、高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定方法において、テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルによってワークを搬送する搬送工程と、前記搬送テーブルの外周部に設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性検査をワークの特性検査部によって行なうワークの特性検査工程とを備え、前記ワークの特性検査工程は、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定手段により固定するワークの固定工程と、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材によりワークの特性検査を行なう検査工程とを有し、各ワーク収納孔の内壁にワークが内壁に当接した場合にワークの低硬度部を逃がす切欠部が形成されていることを特徴とするワークの特性測定方法である。   The present invention relates to a workpiece characteristic measuring method for measuring the characteristics of a workpiece having a high hardness portion and a low hardness portion, and is arranged rotatably on a table base and has an opening portion that opens outward and accommodates the workpiece. A plurality of workpiece storage holes are transported by a transport table provided along an outer peripheral edge, and a characteristic inspection of the workpiece stored in the workpiece storage hole is provided on the outer periphery of the transport table. A workpiece property inspection step performed by a workpiece property inspection unit, wherein the workpiece property inspection step fixes the workpiece in the workpiece storage hole by a fixing means toward the inner wall side of the workpiece storage hole facing the opening. A workpiece fixing process, and an inspection process for inspecting the workpiece characteristics with an inspection member that abuts against the workpiece and inspects the workpiece characteristics. Work on the inner wall of the hole is a characteristic measuring method of the workpiece, characterized in that the notch to release the low hardness of the workpiece is formed when in contact with the inner wall.

本発明は、前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、前記ワークの特性測定工程はプッシャの移動距離を計測する距離計測工程と、距離計測工程により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法である。   In the present invention, the fixing means includes a pusher that presses the high hardness portion of the workpiece from the opening toward the inner wall, and the workpiece characteristic measurement step includes a distance measurement step for measuring the movement distance of the pusher, and a distance measurement step. And a forcible discharging step of operating the control unit to discharge the workpiece in the workpiece storage hole when the moving distance measured by the step is greater than a predetermined distance. It is.

本発明は、前記ワークの特性測定工程は、テーブルベースに設けられた吸引通路によりテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引工程と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測工程と、真空度計測工程により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法である。   According to the present invention, the workpiece characteristic measuring step includes a suction step of sucking the workpiece toward the table base by a suction passage provided in the table base, a vacuum degree measuring step of measuring a vacuum degree in the suction passage, and a vacuum The workpiece characteristic measurement further includes a forcible discharging step of discharging the workpiece in the workpiece storage hole by the control unit when the degree of vacuum measured by the degree measuring step is lower than a predetermined degree of vacuum. Is the method.

本発明は、前記強制排出工程は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出工程を含むことを特徴とするワークの特性測定方法である。   The present invention is the workpiece characteristic measurement method, wherein the forced discharge step includes a discharge detection step of detecting that the workpiece in the workpiece storage hole is discharged.

以上のように本発明によれば、ワークの低硬度部に傷を付けることなくワークを固定してワークに対して精度の良い特性測定を行なうことができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to perform accurate characteristic measurement on a workpiece by fixing the workpiece without damaging the low hardness portion of the workpiece.

図1は本発明によるワーク特性測定装置を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a workpiece characteristic measuring apparatus according to the present invention. 図2はワークを示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a workpiece. 図3(a)(b)(c)(d)は各々ワークを図2におけるE1方向、F1方向、G1方向、H1方向から見た図。3A, 3B, 3C, and 3D are views of the workpiece as viewed from the E1, F1, G1, and H1 directions in FIG. 図4はワークの内部回路を示す図。FIG. 4 is a diagram showing an internal circuit of the work. 図5はワーク収納孔を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing a work storage hole. 図6はワーク収納孔近傍の搬送テーブルを示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing a transfer table in the vicinity of the workpiece storage hole. 図7(a)はワーク収納孔が図1における位置Nにあるときの図6におけるR1断面図、図7(b)(c)はワーク収納孔が図1における不良品排出部および良品排出部にあるときの図6におけるR1断面図、図7(d)は図6におけるR2断面図。7A is a cross-sectional view taken along the line R1 in FIG. 6 when the workpiece storage hole is at the position N in FIG. 1, and FIGS. 7B and 7C are schematic views of the workpiece storage hole in FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line R1, and FIG. 7D is a cross-sectional view taken along line R2 in FIG. 図8は図5に示すワーク収納孔にワークが収納されている様子を示す斜視図。FIG. 8 is a perspective view illustrating a state in which a workpiece is stored in the workpiece storage hole illustrated in FIG. 5. 図9は図8を矢印U1方向から見た透視図。9 is a perspective view of FIG. 8 viewed from the direction of the arrow U1. 図10はワーク収納孔が図1に示す光電気特性検査部に停止している様子を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the work accommodation hole is stopped at the photoelectric characteristic inspection section shown in FIG. 1. 図11はプローブ通路を図10における矢印U2方向から見た透視図。11 is a perspective view of the probe passage viewed from the direction of arrow U2 in FIG. 図12はワークが光電気特性検査部に到達した時の様子を、図10における矢印U2方向から見た透視図。FIG. 12 is a perspective view of the work when it reaches the photoelectric property inspection unit as seen from the direction of the arrow U2 in FIG. 図13はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。FIG. 13 is a diagram illustrating a state in which a workpiece is fixed and inspected in the photoelectric characteristic inspection unit. 図14はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。FIG. 14 is a diagram illustrating a state in which a workpiece is fixed and inspected in the photoelectric characteristic inspection unit. 図15はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。FIG. 15 is a diagram illustrating a state in which a workpiece is fixed and inspected in the photoelectric characteristic inspection unit. 図16(a)(b)(c)は図13において、プッシャが矢印M1方向に進出して、当接部の先端面がワークの本体の面に当接する際に、ワークがワーク収納孔内で傾斜する一例の説明図。16 (a), 16 (b), and 16 (c) show the work in the work storage hole when the pusher advances in the direction of the arrow M1 in FIG. 13 and the tip surface of the contact part comes into contact with the surface of the work body. Explanatory drawing of an example which inclines in. 図17は図16(c)の状態から、プローブを図14における矢印K1方向に上昇させた様子を示す図。17 is a view showing a state where the probe is raised in the direction of arrow K1 in FIG. 14 from the state of FIG. 図18はプッシャを示す平面図。FIG. 18 is a plan view showing a pusher. 図19(a)(b)は図18における検出ブロックおよび近接センサの作用についての説明のための、領域V1の拡大図。FIGS. 19A and 19B are enlarged views of the region V1 for explaining the operation of the detection block and the proximity sensor in FIG. 図20(a)(b)はワークの本体の製造偏差に起因して、光電気特性検査部におけるワーク収納孔内のワークの姿勢が傾斜する他の要因の説明図。FIGS. 20A and 20B are explanatory diagrams of other factors that cause the posture of the workpiece in the workpiece storage hole in the photoelectric property inspection section to be inclined due to the manufacturing deviation of the main body of the workpiece. 図21(a)(b)は搬送テーブルの回転方向の後方のみが固定されたワークに対して、図11に示すプローブが矢印K1方向に上昇した時の様子を、搬送テーブルの中心軸側から見た透視図。FIGS. 21 (a) and 21 (b) show the state when the probe shown in FIG. 11 is raised in the direction of the arrow K1 with respect to the work in which only the rear in the rotation direction of the transfer table is fixed, from the center axis side of the transfer table. A perspective view. 図22は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 22 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is tilted in the photoelectric characteristic inspection unit. 図23は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 23 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is tilted in the photoelectric characteristic inspection unit. 図24は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 24 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is tilted in the photoelectric characteristic inspection unit. 図25は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 25 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is tilted in the photoelectric characteristic inspection unit. 図26は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 26 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is tilted in the photoelectric characteristic inspection unit. 図27は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。FIG. 27 is an explanatory diagram of the action of discharging the workpiece from the workpiece storage hole when it is detected that the posture of the workpiece is inclined in the photoelectric characteristic inspection unit. 図28は従来技術によるワーク搬送装置の平面図。FIG. 28 is a plan view of a conventional workpiece transfer apparatus. 図29はワークを示す斜視図。FIG. 29 is a perspective view showing a workpiece. 図30(a)(b)(c)(d)は各々ワークを図29におけるE0方向、F0方向、G0方向、H0方向から見た図。30 (a), (b), (c), and (d) are views of the workpiece as viewed from the E0 direction, the F0 direction, the G0 direction, and the H0 direction in FIG. 図31はワークの内部回路を示す図。FIG. 31 is a diagram showing an internal circuit of a work. 図32は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。FIG. 32 is an explanatory view showing electrical property inspection of a workpiece according to the prior art. 図33は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。FIG. 33 is an explanatory view showing an electrical property inspection of a workpiece according to the prior art. 図34は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。FIG. 34 is an explanatory view showing an electrical property inspection of a workpiece according to the prior art.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について述べる。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

はじめに本発明によるワーク特性測定装置により測定されるワークW1について述べる。まずワークW1の斜視図を図2に示す。ワークW1は発光ダイオード(LED)であり、本体W1xと、本体W1xの下面に形成される電極W1a、W1bと、発光体W1pとからなる。ワークW1を図2におけるE1方向、F1方向、G1方向、H1方向から見た図を、それぞれ図3(a)(b)(c)(d)に示す。図3(a)(b)(c)に示すように、発光体W1pは本体W1xの上面を覆い、かつ当該上面よりも上方に突出した形状をもつ。   First, the workpiece W1 measured by the workpiece characteristic measuring apparatus according to the present invention will be described. First, a perspective view of the workpiece W1 is shown in FIG. The work W1 is a light emitting diode (LED), and includes a main body W1x, electrodes W1a and W1b formed on the lower surface of the main body W1x, and a light emitter W1p. FIGS. 3A, 3B, 3C, and 3D show the work W1 viewed from the E1, F1, G1, and H1 directions in FIG. 2, respectively. As shown in FIGS. 3A, 3B, and 3C, the light emitter W1p covers the upper surface of the main body W1x and has a shape protruding upward from the upper surface.

そして、発光体W1pは本体W1xとの境界部分において、本体W1xの周囲にわずかに突出する縁部W1eを有する。また、図3(c)(d)に示すように、本体W1xの下面には極めて薄い電極W1a、W1bが形成されている。本体W1xは押圧により傷を生じにくい高硬度部である誘電体により覆われており、これにより本体W1xは高硬度部W1xを構成する。これに対して発光部W1pは押圧により傷を生じやすい低硬度部である樹脂により形成されている。これにより発光部W1pは低硬度部W1pを構成する。   And the light-emitting body W1p has the edge part W1e which protrudes slightly around the main body W1x in the boundary part with the main body W1x. As shown in FIGS. 3C and 3D, extremely thin electrodes W1a and W1b are formed on the lower surface of the main body W1x. The main body W1x is covered with a dielectric that is a high-hardness part that is less likely to be damaged by pressing, and thus the main body W1x constitutes the high-hardness part W1x. On the other hand, the light emitting portion W1p is formed of a resin that is a low hardness portion that is easily damaged by pressing. Thereby, the light emission part W1p comprises the low hardness part W1p.

ワークW1の内部回路を図4に示す。内部回路は発光ダイオードD1であり、電極W1aがアノード、電極W1bがカソードである。電極W1a、W1bの間にW1aが高電位になるように電圧を印加すると、発光ダイオードD1が発光する。このとき、外観上は図2における発光体W1pが発光する。また、図3(d)に示すように、電極W1aにはアノードであることを示すアノードマークW1arが半円形の切欠きとして形成されている。   An internal circuit of the work W1 is shown in FIG. The internal circuit is the light emitting diode D1, the electrode W1a is the anode, and the electrode W1b is the cathode. When a voltage is applied between the electrodes W1a and W1b so that W1a has a high potential, the light emitting diode D1 emits light. At this time, the outer appearance of the light emitter W1p in FIG. 2 emits light. Further, as shown in FIG. 3D, the electrode W1a is formed with an anode mark W1ar indicating an anode as a semicircular cutout.

市販されている発光ダイオードの例として、図2に示す本体W1xの幅X1が1.5mm〜2.0mm、長さY1が2.0mm〜2.5mm、高さZ1が0.7〜1.0mm、図3(b)に示す本体幅X1aが1.5mm〜1.7mm、本体高さZ1aが0.2〜0.4mm、電極の厚さZ1eが0.05mm程度、図3(c)に示す本体長さY1aが2.0mm程度のものがある。   As an example of a commercially available light emitting diode, the width X1 of the main body W1x shown in FIG. 2 is 1.5 mm to 2.0 mm, the length Y1 is 2.0 mm to 2.5 mm, and the height Z1 is 0.7 to 1. 3 mm, the main body width X1a shown in FIG. 3B is 1.5 mm to 1.7 mm, the main body height Z1a is 0.2 to 0.4 mm, and the electrode thickness Z1e is about 0.05 mm. FIG. The main body length Y1a shown in FIG.

次に図面を参照して本発明によるワークの特性測定装置100について述べる。   Next, a workpiece characteristic measuring apparatus 100 according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図1および図5に示すように、ワークの特性測定装置100は高硬度部W1xと低硬度部W1pを
有するワークW1の特性を測定するものであり、テーブルベース1と、テーブルベース1上に回転自在に設置された搬送テーブル2とを備えている。また搬送テーブル2の外周縁に沿って、複数のワーク収納孔3が設けられている。また各ワーク収納孔3はワークW1を収納するものであり、外方へ開口する開口部30と、開口部30に対向する奥面壁3siと、ワーク収納孔3の両側面となる左壁面3sf1および右壁面3sf2とを有している。
As shown in FIGS. 1 and 5, a workpiece characteristic measuring apparatus 100 measures the characteristics of a workpiece W1 having a high hardness portion W1x and a low hardness portion W1p, and rotates on the table base 1 and the table base 1. A transport table 2 that is freely installed is provided. A plurality of workpiece storage holes 3 are provided along the outer peripheral edge of the transfer table 2. Each workpiece storage hole 3 stores a workpiece W1, an opening 30 that opens outward, a back wall 3si that faces the opening 30, a left wall 3sf1 that forms both sides of the workpiece storage hole 3, and A right wall surface 3sf2.

なお後述のようにワーク収納孔3の奥面壁3siは、後述するテーブルチップ5の押圧面5sとともに、ワーク収納孔3の内壁を構成する。   As will be described later, the back wall 3si of the workpiece storage hole 3 constitutes an inner wall of the workpiece storage hole 3 together with a pressing surface 5s of the table chip 5 described later.

また搬送テーブル2は、図示されない駆動機構の作用により、中心軸4の周囲に時計回り(矢印A方向)に間歇回転する。そして、搬送テーブル2のワーク収納孔3が形成された位置におけるテーブルベース1側の面には、各ワーク収納孔3から見て中心軸4の側に隣接する位置に、搬送テーブル2に組込まれたテーブルチップ5が形成されている。   Further, the transfer table 2 is intermittently rotated clockwise (in the direction of arrow A) around the central axis 4 by the action of a drive mechanism (not shown). The surface of the transport table 2 on the side of the table base 1 at the position where the work storage hole 3 is formed is incorporated in the transport table 2 at a position adjacent to the central axis 4 side when viewed from each work storage hole 3. A table chip 5 is formed.

また図1において、搬送テーブル2に向けて直線状のリニアフィーダ6が配置されている。リニアフィーダ6は図示されない駆動機構の作用により振動し、ワークW1を一列状態で搬送テーブル2に向けて、矢印B方向に搬送する。リニアフィーダ6の終端部は搬送テーブル2の外周縁に形成されたワーク収納孔3の開口部に対向し、そこに分離供給部7が配置されている。分離供給部7は、リニアフィーダ6により搬送されたワークW1をワーク収納孔3に個別に供給する機能を有する。   In FIG. 1, a linear linear feeder 6 is disposed toward the conveyance table 2. The linear feeder 6 vibrates due to the action of a drive mechanism (not shown) and conveys the workpiece W1 in a line toward the conveyance table 2 in the direction of arrow B. The terminal portion of the linear feeder 6 faces the opening of the work storage hole 3 formed on the outer peripheral edge of the transfer table 2, and the separation supply unit 7 is disposed there. The separation supply unit 7 has a function of individually supplying the workpiece W1 conveyed by the linear feeder 6 to the workpiece storage hole 3.

また図1に示すように、搬送テーブル2の外周部に分離供給部7から搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)に沿って、ワークW1の上面を撮像して外観検査を行う第1画像検査部8、ワークW1の下面を撮像して外観検査を行う第2画像検査部9、ワークW1の光特性および電気特性の検査を行う測定手段としての光電気特性検査部10、前記各検査の結果が不良であったワークW1をワーク収納孔3から排出する不良品排出部11、前記各検査の結果が良品であったワークW1をワーク収納孔3から排出する良品排出部12が、この順に配置されている。   Further, as shown in FIG. 1, a first image that performs an appearance inspection by imaging the upper surface of the work W <b> 1 along the rotation direction (arrow A direction) of the transfer table 2 from the separation supply unit 7 to the outer periphery of the transfer table 2. The inspection unit 8, the second image inspection unit 9 that performs an appearance inspection by imaging the lower surface of the workpiece W1, the photoelectric characteristic inspection unit 10 as a measuring unit that inspects the optical characteristics and the electrical characteristics of the workpiece W1, and each of the inspections A defective product discharge unit 11 that discharges the workpiece W1 having a defective result from the workpiece storage hole 3, and a non-defective product discharge unit 12 that discharges the workpiece W1 whose result of each inspection is a non-defective product from the workpiece storage hole 3 are in this order. Has been placed.

なお、搬送テーブル2のワーク収納孔3の上面および搬送テーブル2の外側は、上記の分離供給部7、第1画像検査部8、第2画像検査部9、光電気特性検査部10、不良品排出部11、良品排出部12を除いて、それぞれテーブルカバー13およびテーブルガイド14により覆われている。   Note that the separation supply unit 7, the first image inspection unit 8, the second image inspection unit 9, the photoelectric characteristic inspection unit 10, and defective products are arranged on the upper surface of the work storage hole 3 of the conveyance table 2 and the outside of the conveyance table 2. Except for the discharge unit 11 and the non-defective product discharge unit 12, they are covered with a table cover 13 and a table guide 14, respectively.

光電気特性検査部(特性検査部)10における搬送テーブル2の外側には、図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔3の開口部に向けて、矢印M1およびM2方向に進退自在のプッシャ15が配置されている。プッシャ15は、光電気特性検査部10においてワーク収納孔3内のワークW1の検査を行う際に、ワークW1を押圧するワーク固定手段としての機能を有する。   A pusher 15 that can be moved back and forth in the directions of arrows M1 and M2 toward the opening of the work storage hole 3 by the action of a drive mechanism (not shown) is provided outside the transfer table 2 in the photoelectric property inspection unit (characteristic inspection unit) 10. Has been placed. The pusher 15 has a function as a work fixing means for pressing the work W1 when the photoelectric characteristic inspection unit 10 inspects the work W1 in the work storage hole 3.

また、搬送テーブル2の上側かつ光電気特性検査部10の近傍には、図示されない駆動機構の作用により図1に示す待機位置と光電気特性検査部10直上位置との間を、矢印L1およびL2方向に進退する姿勢不良ワーク排出部(強制排出手段)16が配置されている。姿勢不良ワーク排出部16は、光電気特性検査部10において、後述のように姿勢不良と判断されたワークW1をワーク収納孔3から排出する強制排出手段としての機能を有する。そして、この姿勢不良ワーク排出部16はワークW1を吸引する排出ヘッド16aと、吸引したワークW1を後述する収納箱25へと導く排出パイプ16bとを有する。さらに、上述の各部の動作について制御を行う制御部17が配置されている。   Further, on the upper side of the transport table 2 and in the vicinity of the photoelectric characteristic inspection unit 10, an arrow L1 and L2 are provided between the standby position shown in FIG. A posture defective work discharge unit (forced discharge means) 16 that moves forward and backward in the direction is arranged. The poor posture workpiece discharge unit 16 has a function as a forced discharge unit that discharges the workpiece W1 that has been determined as a poor posture in the photoelectric characteristic inspection unit 10 from the workpiece storage hole 3 as described later. The defective posture work discharge unit 16 includes a discharge head 16a that sucks the work W1 and a discharge pipe 16b that guides the sucked work W1 to a storage box 25 described later. Furthermore, the control part 17 which controls about operation | movement of each above-mentioned part is arrange | positioned.

次にワーク収納部3について述べる。図5はワーク収納孔3の斜視図であり、図1における搬送テーブル2の回転方向である矢印Aが、図5に示されている。ワーク収納孔3は搬送テーブル2の外側に向けて開口している。上述のように、ワーク収納孔3は、対向する左壁面3sf1および右壁面3sf2と、奥壁面3siとにより3方向を囲まれており、残り1面が開口部30となる。   Next, the work storage unit 3 will be described. FIG. 5 is a perspective view of the work storage hole 3, and an arrow A that is the rotation direction of the transfer table 2 in FIG. 1 is shown in FIG. 5. The work storage hole 3 opens toward the outside of the transfer table 2. As described above, the workpiece storage hole 3 is surrounded in three directions by the opposing left wall surface 3sf1, right wall surface 3sf2, and back wall surface 3si, and the remaining one surface is the opening 30.

前記3つの壁面のうち、奥壁面3siが図1に示す中心軸4側に位置している。また、上述のように、搬送テーブル2のうちワーク収納孔3が形成された位置におけるテーブルベース1側の面には、各ワーク収納孔3から見て中心軸4の側に隣接する位置にテーブルチップ5が組込まれている。そして、搬送テーブル2の外側に向いたテーブルチップ5の押圧面5sは、ワーク収納孔3の奥壁面3siよりも長さδ1だけ搬送テーブル2の外側、すなわちワーク収納孔3内に突出している。   Of the three wall surfaces, the back wall surface 3si is located on the central axis 4 side shown in FIG. Further, as described above, the table on the side of the table base 1 at the position where the workpiece storage hole 3 is formed in the transfer table 2 is positioned adjacent to the central axis 4 side when viewed from each workpiece storage hole 3. Chip 5 is incorporated. The pressing surface 5 s of the table chip 5 facing the outside of the transfer table 2 protrudes outside the transfer table 2, that is, into the work storage hole 3 by the length δ 1 from the back wall surface 3si of the work storage hole 3.

このように構成されたワーク収納孔3の奥壁面3siと押圧面5sにより、開口部30に対向する内壁が構成されている。さらに、テーブルチップ5の押圧面5sには、ワーク収納孔3の左壁面3sf1および右壁面3sf2に接する位置に、第1のテーブルチップ真空通路51vおよび第2のテーブルチップ真空通路52vが形成されている。第1のテーブルチップ真空通路51vおよび第2のテーブルチップ真空通路52vは、後述のように真空発生源18に連通し、矢印S1およびS2方向に常時吸引されている。   The inner wall facing the opening 30 is configured by the inner wall surface 3si and the pressing surface 5s of the workpiece storage hole 3 configured as described above. Further, a first table chip vacuum passage 51v and a second table chip vacuum passage 52v are formed on the pressing surface 5s of the table chip 5 at positions in contact with the left wall surface 3sf1 and the right wall surface 3sf2 of the work storage hole 3. Yes. The first table chip vacuum passage 51v and the second table chip vacuum passage 52v communicate with the vacuum generation source 18 as described later, and are always sucked in the directions of arrows S1 and S2.

また、搬送テーブル2には、ワーク収納孔3の奥壁面3siの中央部かつテーブルチップ5の直上位置に、搬送テーブルエア噴射通路31aが形成されている。搬送テーブルエア噴射通路31aは、後述する排出部切替弁19の作用によって、矢印J1方向に圧縮エアが噴射される。   Further, in the transfer table 2, a transfer table air injection passage 31 a is formed at the central portion of the back wall surface 3 si of the work storage hole 3 and at a position directly above the table chip 5. In the transfer table air injection passage 31a, compressed air is injected in the direction of arrow J1 by the action of a discharge unit switching valve 19 described later.

ワーク収納孔3近傍の搬送テーブル2の平面図を、図6に示す。図6には図1における搬送テーブル2の回転方向である矢印Aが示されている。また、図6におけるワーク収納孔3が図1における位置Nにあるときの、図6に示す搬送テーブルエア噴射通路31aのR1断面図を図7(a)に、また、第1のテーブルチップ真空通路51vのR2断面図を図7(d)に各々示す。   A plan view of the transfer table 2 in the vicinity of the work storage hole 3 is shown in FIG. 6 shows an arrow A that is the rotation direction of the transfer table 2 in FIG. 6 is a cross-sectional view of the transfer table air injection passage 31a shown in FIG. 6 when the workpiece storage hole 3 is at the position N in FIG. 1, and FIG. 7A shows the first table chip vacuum. FIG. 7 (d) shows R2 cross-sectional views of the passage 51v.

図5において、搬送テーブル2のうちワーク収納孔3の奥壁面3siから水平方向に形成された搬送テーブルエア噴射通路31aは、図6に示すように、回転軸4(図1)の方向すなわち図6における右方向においてやや広がり、さらに図7(a)に示すように、90°方向を変えてテーブルチップ5を貫通してテーブルベース1の上面に至る。   In FIG. 5, the transfer table air injection passage 31a formed in the horizontal direction from the back wall surface 3si of the work storage hole 3 in the transfer table 2 is the direction of the rotary shaft 4 (FIG. 1), that is, as shown in FIG. 6 extends slightly in the right direction, and further changes the direction of 90 ° to penetrate the table chip 5 to reach the upper surface of the table base 1 as shown in FIG.

一方、図5に示すように、テーブルチップ5の押圧面5sからテーブルチップ5に水平方向に形成された第1のテーブルチップ真空通路51vは、図7(d)に示すように、回転軸4(図1)の方向すなわち図6における右方向において90°方向を変えて搬送テーブル2に至り、その後、さらに90°方向を変えてテーブルチップ5の直上に位置する搬送テーブル2の下面において、第1の搬送テーブル真空通路31vとなる。   On the other hand, as shown in FIG. 5, the first table chip vacuum passage 51v formed in the horizontal direction from the pressing surface 5s of the table chip 5 to the table chip 5 has a rotating shaft 4 as shown in FIG. In the direction of (FIG. 1), that is, in the right direction in FIG. 6, the direction of 90 ° is changed to reach the transfer table 2, and then the direction of 90 ° is changed further to the lower surface of the transfer table 2 positioned immediately above the table chip 5. 1 conveyance table vacuum passage 31v.

また図6に示すように、テーブルチップ5に形成された第2のテーブルチップ真空通路52vは第1のテーブルチップ真空通路51vと同様の経路で搬送テーブル2の下面において第2の搬送テーブル真空通路32vとなり、第1の搬送テーブル真空通路31vと第2の搬送テーブル真空通路32vは、図6に示すように合体して、搬送テーブル基幹真空通路3vとなる。   As shown in FIG. 6, the second table chip vacuum passage 52v formed in the table chip 5 is the same path as the first table chip vacuum passage 51v, and the second transport table vacuum passage on the lower surface of the transport table 2. Thus, the first transfer table vacuum passage 31v and the second transfer table vacuum passage 32v are combined as shown in FIG. 6 to form a transfer table basic vacuum passage 3v.

そして、図7(d)に示すように、この搬送テーブル基幹真空通路3vは90°方向を変えてテーブルチップ5を貫通し、テーブルベース1内に至る。そして、テーブルベース1内に設置された真空発生源18に連通し、これにより、第1のテーブルチップ真空通路51vおよび第2のテーブルチップ真空通路52vは、矢印S1およびS2方向に常時吸引されている。すなわち、ワーク収納孔3内は、常時真空吸引されている。なお、搬送テーブル基幹真空通路3vは図7(a)にも示されている。   Then, as shown in FIG. 7 (d), the transport table basic vacuum passage 3 v changes the direction of 90 ° to penetrate the table chip 5 and reach the table base 1. The first table chip vacuum passage 51v and the second table chip vacuum passage 52v are always sucked in the directions of arrows S1 and S2 by communicating with the vacuum generation source 18 installed in the table base 1. Yes. That is, the work storage hole 3 is constantly vacuumed. The transfer table basic vacuum passage 3v is also shown in FIG.

また、図6におけるワーク収納孔3が図1における不良品排出部11および良品排出部12に位置する場合における、図6に示す搬送テーブルエア噴射通路31aのR1断面図を図7(b)(c)に示す。図7(b)(c)と図7(a)とが異なる点は、図7(a)においてテーブルベース1の上面が終端となっていた搬送テーブルエア噴射通路31aが、図7(b)(c)においては、テーブルベース1内に通じていることである。   6 is an R1 cross-sectional view of the transfer table air injection passage 31a shown in FIG. 6 when the workpiece storage hole 3 is located in the defective product discharge portion 11 and the non-defective product discharge portion 12 in FIG. c). 7 (b) and FIG. 7 (a) are different from FIG. 7 (b) in that the transfer table air injection passage 31a whose upper surface of the table base 1 is terminated in FIG. In (c), it is connected to the table base 1.

そして、搬送テーブルエア噴射通路31aはテーブルベース1内に配置された排出部切替弁19に接続されている。排出部切替弁19は、搬送テーブルエア噴射通路31aの連通先を大気圧および圧縮エア源20から選択する作用を有する。図7(b)は、排出部切替弁19がn側すなわち大気圧を選択している様子を示す。この時、搬送テーブルエア噴射通路31a内は大気圧を保つ。また、図7(c)は、排出部切替弁19がa側すなわち圧縮エア源20を選択している様子を示す。この時、搬送テーブルエア噴射通路31a内には矢印J1方向に圧縮エアが噴射される。このように、搬送テーブルエア噴射通路31aがテーブルベース1内に通じて排出部切替弁19に接続されるのは、図1における不良品排出部11および良品排出部12にあるときだけである。   The transfer table air injection passage 31 a is connected to a discharge unit switching valve 19 disposed in the table base 1. The discharge unit switching valve 19 has an action of selecting the communication destination of the transfer table air injection passage 31 a from the atmospheric pressure and the compressed air source 20. FIG. 7B shows a state in which the discharge unit switching valve 19 selects the n side, that is, the atmospheric pressure. At this time, the atmospheric pressure is maintained in the transfer table air injection passage 31a. Moreover, FIG.7 (c) shows a mode that the discharge part switching valve 19 has selected the a side, ie, the compressed air source 20. FIG. At this time, compressed air is injected in the direction of arrow J1 into the transfer table air injection passage 31a. In this way, the conveyance table air injection passage 31a passes through the table base 1 and is connected to the discharge unit switching valve 19 only when the defective table discharge unit 11 and the non-defective product discharge unit 12 in FIG.

その理由は、上述のように、不良品排出部11および良品排出部12はそれぞれ検査結果が不良であったワークおよび良品であったワークを、ワーク収納孔3から排出する機能を有しているためである。すなわち、ワークW1を収納したワーク収納孔3が不良品排出部11および良品排出部12に停止すると、図1の制御部17の制御により、最初は図7(b)のように排出部切替弁19がn側すなわち大気圧を選択する。この時、搬送テーブルエア噴射通路31a内は大気圧を保つ。次に、ワーク収納孔3内のワークW1が当該排出部において排出されるべきワークである場合には、図1の制御部17の制御により、図7(c)のように排出部切替弁19がa側すなわち圧縮エア源20を選択する。この時、搬送テーブルエア噴射通路31a内には矢印J1方向に圧縮エアが噴射される。このとき図5において、ワーク収納孔3内に矢印J1方向に圧縮エアが噴射される。この圧縮エアの作用により、ワーク収納孔3内のワークW1は搬送テーブル2の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。なお、上述のように、ワーク収納孔3内は常時真空吸引されているが、矢印J1方向の圧縮エアの噴射圧力は、真空吸引力に打ち勝つことができる大きさに設定されているため、ワーク収納孔3からのワークの排出は円滑に行われる。   The reason is that, as described above, the defective product discharge unit 11 and the non-defective product discharge unit 12 have a function of discharging the work having a defective inspection result and the work having a non-defective product from the work storage hole 3, respectively. Because. That is, when the workpiece storage hole 3 storing the workpiece W1 stops at the defective product discharge unit 11 and the non-defective product discharge unit 12, the discharge unit switching valve is initially shown in FIG. 7B by the control of the control unit 17 of FIG. 19 selects the n side, i.e. atmospheric pressure. At this time, the atmospheric pressure is maintained in the transfer table air injection passage 31a. Next, when the workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 is a workpiece to be discharged in the discharge portion, the discharge portion switching valve 19 is controlled as shown in FIG. 7C by the control of the control portion 17 in FIG. Selects the a side, that is, the compressed air source 20. At this time, compressed air is injected in the direction of arrow J1 into the transfer table air injection passage 31a. At this time, in FIG. 5, compressed air is injected into the workpiece storage hole 3 in the direction of the arrow J1. By the action of the compressed air, the workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 jumps out toward the outer peripheral side of the transfer table 2, is guided to a discharge pipe (not shown), and is stored in a storage box (not shown). As described above, the work storage hole 3 is constantly vacuumed, but the jet pressure of the compressed air in the direction of the arrow J1 is set to a size that can overcome the vacuum suction force. The work is discharged smoothly from the storage hole 3.

図5に示すワーク収納孔3にワークW1が収納されている様子を、斜視図として図8に示す。ここに、図8においては、図1に示すテーブルカバー13およびテーブルガイド14は省略している。また、図8を矢印U1方向から見た透視図を図9に示す。ただし、図9においては、簡単のために、第1のテーブルチップ真空通路51vのみ示している。   FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the workpiece W1 is stored in the workpiece storage hole 3 shown in FIG. Here, in FIG. 8, the table cover 13 and the table guide 14 shown in FIG. 1 are omitted. 9 is a perspective view of FIG. 8 viewed from the direction of the arrow U1. However, in FIG. 9, only the first table chip vacuum passage 51v is shown for simplicity.

図8および図9に示すように、ワークW1は低硬度部である発光体W1pをワーク収納孔3の上側に向け、高硬度部である本体W1xの一面W1s2をテーブルチップ5の押圧面5sに当接させて、ワーク収納孔3に収納されている。そして、高硬度部である本体W1xと低硬度部である発光体W1pの両方がワーク収納孔3の開口部30およびそれに対向する内壁(奥壁面3siと押圧面5s)に面している。   As shown in FIGS. 8 and 9, the work W <b> 1 has a light-emitting body W <b> 1 p that is a low-hardness part facing upward of the work housing hole 3, and one surface W <b> 1 s <b> 2 that is a high-hardness part is It is made to contact and is stored in the work storage hole 3. And both the main body W1x which is a high hardness part and the light-emitting body W1p which is a low hardness part face the opening part 30 of the workpiece | work storage hole 3, and the inner wall (back wall surface 3si and press surface 5s) which opposes it.

この時、上述のように、第1のテーブルチップ真空通路51vおよび第2のテーブルチップ真空通路52vは、矢印S1およびS2方向に常時吸引されている。この吸引の作用により、ワークW1は図8および図9の姿勢を保つ。また、上述のように、ワークW1の発光体W1pは本体W1xとの境界部分において、本体W1xの周囲にわずかに突出する縁部W1eを有する。その突出長を図9においてδ2で示す。一方、上述のように、搬送テーブル2の外側に向いたテーブルチップ5の押圧面5sは、ワーク収納孔3の奥壁面3siよりも長さδ1だけワーク収納孔3内に突出している(図5)。この突出長δ1をδ1>δ2の関係を満足するように設定することにより、図9に示すように、奥壁面3siと押圧面5sからなるワーク収納孔3の内壁には、低硬度部である縁部W1eの外周が当接する範囲に壁面が形成されないようにしている。すなわち、高硬度部である本体W1xの一面W1s2がテーブルチップ5の押圧面5sに当接して、矢印S1方向の吸引により押圧されても、低硬度部である縁部W1eはどこにも当接しない。これにより、押圧によって縁部W1eに傷を生じることを防止することができる。   At this time, as described above, the first table chip vacuum passage 51v and the second table chip vacuum passage 52v are always sucked in the directions of the arrows S1 and S2. The workpiece W1 maintains the posture shown in FIGS. 8 and 9 by this suction action. Further, as described above, the light emitter W1p of the workpiece W1 has the edge W1e that slightly protrudes around the main body W1x at the boundary with the main body W1x. The protruding length is indicated by δ2 in FIG. On the other hand, as described above, the pressing surface 5s of the table chip 5 facing the outside of the transfer table 2 protrudes into the work storage hole 3 by a length δ1 from the back wall surface 3si of the work storage hole 3 (FIG. 5). ). By setting the protrusion length δ1 so as to satisfy the relationship of δ1> δ2, as shown in FIG. 9, the inner wall of the work storage hole 3 including the back wall surface 3si and the pressing surface 5s is a low hardness portion. A wall surface is not formed in a range where the outer periphery of the edge W1e contacts. That is, even if one surface W1s2 of the main body W1x that is a high hardness portion abuts against the pressing surface 5s of the table chip 5 and is pressed by suction in the direction of the arrow S1, the edge W1e that is a low hardness portion does not abut anywhere. . Thereby, it is possible to prevent the edge W1e from being damaged by the pressing.

図9において、ワーク収納孔3の内壁を構成する奥壁面3siは、発光体(低硬度部)W1pと当接することはなく、同様に内壁を構成するテーブルチップ5の押圧面5sに対して、発光体W1pを逃がす切欠部として機能する。   In FIG. 9, the back wall surface 3si constituting the inner wall of the work storage hole 3 does not contact the light emitter (low hardness portion) W1p, and similarly against the pressing surface 5s of the table chip 5 constituting the inner wall. It functions as a notch that allows the light emitter W1p to escape.

次に、ワーク収納孔3が図1に示す光電気特性検査部10に停止している様子を、斜視図として図10に示す。光電気特性検査部10のテーブルベース1には、吸引噴射通路10aが形成されている。吸引噴射通路10aは、後述する検査部切替弁21の作用により、矢印S3方向に真空吸引され、あるいは矢印J2方向に圧縮エアが噴射される。また、吸引噴射通路10aを搬送テーブル2の直径方向に挟む形で、プローブ通路10b、10cが形成されている。   Next, FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the work storage hole 3 is stopped at the photoelectric characteristic inspection unit 10 shown in FIG. A suction injection passage 10 a is formed in the table base 1 of the photoelectric characteristic inspection unit 10. The suction / injection passage 10a is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3 or compressed air is injected in the direction of the arrow J2 by the action of the inspection unit switching valve 21 described later. Probe passages 10b and 10c are formed so as to sandwich the suction / injection passage 10a in the diameter direction of the transport table 2.

プローブ通路10b、10cを図10における矢印U2方向から見た透視図として図11に示す。テーブルベース1内のプローブ通路10b、10cには、それぞれプローブP1a、P1bが配置されており、それらはテーブルベース内において図示されない測定器に接続されている。そして、プローブP1a、P1bは、ワークW1と当接してワークW1の特性検査を行なう検査部材として機能し、図示されない駆動機構の作用により、K1方向およびK2方向に昇降自在になっている。   FIG. 11 shows a perspective view of the probe passages 10b and 10c as seen from the direction of the arrow U2 in FIG. Probes P1a and P1b are respectively arranged in the probe passages 10b and 10c in the table base 1, and they are connected to a measuring instrument (not shown) in the table base. The probes P1a and P1b function as inspection members that contact the workpiece W1 to inspect the characteristics of the workpiece W1, and can be raised and lowered in the K1 direction and the K2 direction by the action of a drive mechanism (not shown).

ワーク収納孔3が光電気特性検査部10に位置する時には、ワーク収納孔3内のワークW1の電極W1a、W1bはプローブ通路10b、10cの直上に位置する。このため、K1方向に上昇したプローブP1a、P1bは、ワークW1の電極W1a、W1bに当接する。また、図10に示すように、光電気特性検査部10における搬送テーブル2の外側には、図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔3の開口部30に向けて、矢印M1およびM2方向に進退自在となるプッシャ15の当接部15aが配置されている。   When the workpiece storage hole 3 is positioned in the photoelectric characteristic inspection unit 10, the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 are positioned immediately above the probe passages 10b and 10c. For this reason, the probes P1a and P1b raised in the K1 direction come into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1. Further, as shown in FIG. 10, the outer side of the conveyance table 2 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 advances and retreats in the directions of arrows M1 and M2 toward the opening 30 of the work storage hole 3 by the action of a drive mechanism (not shown). An abutting portion 15a of the pusher 15 that can be freely arranged is disposed.

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.

図1において、ワークW1は図示されない駆動機構の作用により振動するリニアフィーダ6により、一列状態で矢印B方向に搬送される。その際、ワークW1の図2に示す電極W1a、W1bが、図1における矢印B方向に沿うように搬送される。このとき電極W1a、W1bのいずれが矢印B方向の前後に位置するかは決まっていない。   In FIG. 1, a workpiece W1 is conveyed in the direction of arrow B in a single row state by a linear feeder 6 that vibrates by the action of a drive mechanism (not shown). At that time, the electrodes W1a and W1b shown in FIG. 2 of the workpiece W1 are conveyed along the arrow B direction in FIG. At this time, it is not determined which of the electrodes W1a and W1b is positioned before and after the arrow B direction.

リニアフィーダ6により搬送されたワークW1は、図1に示す分離供給部7において、図示されない分離機構の作用により個別に分離されて、搬送テーブル2のワーク収納孔3に収納される。そして、ワーク収納孔3内に収納されたワークW1は搬送テーブル2の矢印A方向の間歇回転により搬送され、はじめに第1画像検査部8に到達する。そして、図示されない撮像手段によりワークW1の上面を撮像して外観検査を行う。次にワークW1は第2画像検査部9に到達して、図示されない撮像手段によりワークW1の下面を撮像して外観検査を行う。そして、この撮像画像を画像処理プログラムにより処理して、図3(d)に示すアノードマークW1arを検出し、当該ワークW1の電極W1a、W1bの位置を判別する。その情報は図1に示す制御部17に送信される。   The workpieces W1 conveyed by the linear feeder 6 are individually separated by the action of a separation mechanism (not shown) in the separation supply unit 7 shown in FIG. 1 and are stored in the workpiece storage holes 3 of the transfer table 2. The work W1 stored in the work storage hole 3 is transported by intermittent rotation in the direction of arrow A of the transport table 2 and first reaches the first image inspection unit 8. Then, the upper surface of the work W1 is imaged by an imaging unit (not shown) to perform an appearance inspection. Next, the workpiece W1 reaches the second image inspection unit 9, and an appearance inspection is performed by imaging the lower surface of the workpiece W1 by an imaging unit (not shown). Then, this captured image is processed by an image processing program to detect the anode mark W1ar shown in FIG. 3D and determine the positions of the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1. The information is transmitted to the control unit 17 shown in FIG.

搬送テーブル2が更に回転して、ワーク収納孔3内のワークW1は光電気特性検査部10に到達する。そして上述のように、ワーク収納孔3内のワークW1の電極W1a、W1bは、図11におけるプローブ通路10b、10cの直上に位置する。この時の様子を、図10における矢印U2方向から見た透視図として図12に示す。   The conveyance table 2 further rotates, and the workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 reaches the photoelectric characteristic inspection unit 10. As described above, the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 in the workpiece housing hole 3 are located immediately above the probe passages 10b and 10c in FIG. The state at this time is shown in FIG. 12 as a perspective view seen from the direction of arrow U2 in FIG.

図12において、吸引噴射通路10aはテーブルベース1内において検査部切替弁21に接続されている。検査部切替弁21は、吸引噴射通路10aの連通先を真空発生源22および圧縮エア源23から選択する作用を有する。図12は、検査部切替弁21がv側すなわち真空発生源22側を選択している様子を示す。この時、検査部切替弁21と真空発生源22により、ワークW1のテーブルベース側の面を真空吸引するとともに、吸引噴射通路10aは吸引通路として作用する。   In FIG. 12, the suction / injection passage 10 a is connected to the inspection unit switching valve 21 in the table base 1. The inspection unit switching valve 21 has an action of selecting a communication destination of the suction / injection passage 10 a from the vacuum generation source 22 and the compressed air source 23. FIG. 12 shows a state where the inspection section switching valve 21 selects the v side, that is, the vacuum generation source 22 side. At this time, the table base side surface of the workpiece W1 is vacuum-sucked by the inspection section switching valve 21 and the vacuum generation source 22, and the suction / injection passage 10a functions as a suction passage.

すなわち、吸引噴射通路10a内は矢印S3方向に真空吸引され、ワークW1のテーブルベース側の底面はテーブルベース1の上面に吸着される。   That is, the inside of the suction / injection passage 10a is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3, and the bottom surface of the workpiece W1 on the table base side is adsorbed on the top surface of the table base 1.

なお、検査部切替弁21と真空発生源22との間の吸引通路22xには、真空度を計測するための真空度計測手段としての真空圧計24が接続されている。また、図12において、プローブ通路10b、10c内のプローブP1a、P1bは、テーブルベース1内の待機位置にある。さらに、ワーク収納孔3から見て搬送テーブル2の外側に位置しているプッシャ15の当接部15aは、その先端面15asがテーブルガイド14の搬送テーブル2側の面14sと略面一となる待機位置にある。   A vacuum pressure gauge 24 as a vacuum degree measuring means for measuring the degree of vacuum is connected to the suction passage 22x between the inspection unit switching valve 21 and the vacuum generation source 22. In FIG. 12, the probes P <b> 1 a and P <b> 1 b in the probe passages 10 b and 10 c are at a standby position in the table base 1. Further, the abutting portion 15a of the pusher 15 positioned outside the transport table 2 when viewed from the work storage hole 3 has a tip surface 15as substantially flush with the surface 14s of the table guide 14 on the transport table 2 side. It is in the standby position.

この状態から、制御部17の制御により、ワークW1が光電気特性検査部10において固定され検査される。ワークW1に対する固定および検査の作用を図13乃至図15を用いて説明する。   From this state, the workpiece W1 is fixed and inspected by the photoelectric characteristic inspection unit 10 under the control of the control unit 17. The operation of fixing and inspecting the workpiece W1 will be described with reference to FIGS.

まず図13に示すように、プッシャ15は図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔3内に矢印M1方向に向って進出する。そして、当接部15aの先端面15asがワークW1の本体W1xの面W1s1に当接する。次に図示されない加圧手段がプッシャ15を矢印M1方向に加圧し、ワークW1の本体W1xの面W1s2はテーブルチップ5の押圧面5sに押圧される。このときワークW1は光電気特性検査部10において、吸引噴射通路10aにおける矢印S3方向の真空吸引の作用によりテーブルベース1の上面に吸着されるとともに、プッシャ15の作用によりテーブルチップ5の押圧面5sに押圧されて固定される。   First, as shown in FIG. 13, the pusher 15 advances into the workpiece accommodation hole 3 in the direction of the arrow M1 by the action of a drive mechanism (not shown). And the front end surface 15as of the contact part 15a contact | abuts to the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece | work W1. Next, pressing means (not shown) presses the pusher 15 in the direction of the arrow M1, and the surface W1s2 of the main body W1x of the workpiece W1 is pressed against the pressing surface 5s of the table chip 5. At this time, the work W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the vacuum suction action in the direction of the arrow S3 in the suction / injection passage 10a in the photoelectric characteristic inspection unit 10, and the pressing surface 5s of the table chip 5 by the action of the pusher 15. Pressed and fixed.

次に、制御部17により制御される図示されない駆動機構の作用により、プローブP1a、P1bは図14における矢印K1方向に上昇して、ワークW1の電極W1a、W1bに当接する。ところで上述のように、第2画像検査部9において、図3(d)に示すアノードマークW1arを検出して当該ワークW1の電極W1a、W1bの位置を判別した情報が、制御部17に送信されている。この情報に基づいて、制御部17の制御により、光電気特性検査部10においてワークW1の電気回路(図4)である発光ダイオードD1のアノード(電極W1a)とカソード(電極W1b)に対して、図示されない測定器が正しく接続されるように、該測定器がプローブP1a、P1bに接続される。なお、図14においては、ワークW1の電極W1a、W1bはそれぞれ搬送テーブル2の外周側および中心軸4(図1)側に位置している。ワーク収納孔3内のすべてのワークW1の電極W1a、W1bが図14と同一の位置にあるとは限らないが、本明細書の図面においては、簡単のために、すべての図面においてワークW1の電極W1a、W1bの位置は図14と同一に記載している。   Next, by the action of a driving mechanism (not shown) controlled by the control unit 17, the probes P1a and P1b are raised in the direction of the arrow K1 in FIG. 14 and come into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1. By the way, as described above, the second image inspection unit 9 detects the anode mark W1ar shown in FIG. 3D and transmits information to the control unit 17 to determine the positions of the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1. ing. Based on this information, the control of the control unit 17 causes the photoelectric characteristic inspection unit 10 to perform the operation on the anode (electrode W1a) and cathode (electrode W1b) of the light-emitting diode D1 that is the electric circuit (FIG. 4) of the workpiece W1. The measuring instrument is connected to the probes P1a and P1b so that the measuring instrument (not shown) is correctly connected. In FIG. 14, the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 are positioned on the outer peripheral side and the central axis 4 (FIG. 1) side of the transfer table 2, respectively. Although the electrodes W1a and W1b of all the workpieces W1 in the workpiece housing hole 3 are not necessarily located at the same position as in FIG. 14, in the drawings of this specification, for the sake of simplicity, the electrodes W1a and W1b The positions of the electrodes W1a and W1b are the same as in FIG.

図14においてプローブP1a、P1bがワークW1の電極W1a、W1bに当接すると、今度は図示されない押圧手段がプローブP1a、P1bを矢印K1方向に押圧し、プローブP1a、P1bはワークW1の電極W1a、W1bに押圧される。   In FIG. 14, when the probes P1a and P1b come into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1, pressing means (not shown) press the probes P1a and P1b in the direction of the arrow K1, and the probes P1a and P1b Pressed by W1b.

この際、上記のように、ワークW1は吸引噴射通路10aにおける矢印S3方向の真空吸引の作用およびプッシャ15の押圧作用により固定されている。このため、プローブP1a、P1bはワークW1の電極W1a、W1bと十分に大きな圧力により当接することができる。すなわち、プローブP1a、P1bとワークの電極W1a、W1bとの間の接触抵抗は小さくなり、測定精度を確保することができる。   At this time, as described above, the workpiece W1 is fixed by the vacuum suction action in the arrow S3 direction and the pusher 15 pressing action in the suction / injection passage 10a. Therefore, the probes P1a and P1b can come into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 with a sufficiently large pressure. That is, the contact resistance between the probes P1a and P1b and the workpiece electrodes W1a and W1b is reduced, and the measurement accuracy can be ensured.

また、プッシャ15の作用により、ワークW1の本体W1xの面W1s2がテーブルチップ5の押圧面5sにより強い力で押圧される際、高硬度部である本体W1xだけがテーブルチップ5の押圧面5sに当接し、低硬度部である縁部W1eは、奥面壁3siに当接することはない。その理由は上述のように、図9においてテーブルチップ5の押圧面5sがワーク収納孔3の奥壁面3siから突出する突出長δ1と、ワークW1の発光体W1pが本体W1xとの境界部分において突出する縁部W1eの突出長δ2との間にδ1>δ2の関係があるためである。すなわち、この関係を満足することで、奥壁面3siと押圧面5sからなるワーク収納孔3の内壁には、低硬度部である縁部W1eの外周が当接する範囲に壁面が形成されないようにしているのである。   Further, when the surface W1s2 of the main body W1x of the workpiece W1 is pressed with a strong force by the pressing surface 5s of the table chip 5 by the action of the pusher 15, only the main body W1x which is a high hardness portion is applied to the pressing surface 5s of the table chip 5. The edge W1e which is in contact with the low hardness portion does not contact the back wall 3si. As described above, the reason is that in FIG. 9, the pressing surface 5s of the table chip 5 protrudes from the rear wall surface 3si of the workpiece housing hole 3 and the light emitter W1p of the workpiece W1 protrudes at the boundary between the main body W1x. This is because there is a relationship of δ1> δ2 with the protrusion length δ2 of the edge W1e. That is, by satisfying this relationship, the inner wall of the work storage hole 3 composed of the back wall surface 3si and the pressing surface 5s is not formed with a wall surface in a range where the outer periphery of the edge W1e that is a low hardness portion abuts. It is.

このようにして、図14においてワークW1は固定され、プローブP1a、P1bはワークW1の電極W1a、W1bと十分に大きな圧力により当接し、図示されない測定器とワークW1の電極W1a、W1bが接続される。そして、測定器から電極W1a、W1bに所定の電圧が印加されて発光体W1pが発光する。   In this way, the workpiece W1 is fixed in FIG. 14, and the probes P1a and P1b are brought into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 with a sufficiently large pressure, and the measuring instrument (not shown) and the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 are connected. The Then, a predetermined voltage is applied from the measuring instrument to the electrodes W1a and W1b, and the light emitter W1p emits light.

光電気特性検査部10においては、ワーク収納孔3の上側にはテーブルカバー13は設置されておらず、開放されている。このため、この発光体W1pの光をワークW1の上側に配置された図示されない測定器により受光し、光の波長や輝度等の光特性検査が行われる。また、プローブP1a、P1bに接続された図示されない測定器により、前記所定の電圧を印加した時にワークW1を流れる電流等の電気特性検査が行われる。これらの光特性検査および電気特性検査の結果は、図1に示す制御部17に送信される。   In the photoelectric characteristic inspection unit 10, the table cover 13 is not installed above the work storage hole 3 and is open. For this reason, the light from the light emitter W1p is received by a measuring instrument (not shown) disposed on the upper side of the work W1, and optical characteristics such as the wavelength and luminance of the light are inspected. In addition, an electrical characteristic test such as a current flowing through the workpiece W1 when the predetermined voltage is applied is performed by a measuring instrument (not shown) connected to the probes P1a and P1b. The results of these optical characteristic inspection and electrical characteristic inspection are transmitted to the control unit 17 shown in FIG.

以上の検査を終了すると、制御部17の制御による図示されない駆動機構の作用により、プローブP1a、P1bは図15における矢印K2方向に下降して、図12と同様の待機位置に戻る。   When the above inspection is completed, the probes P1a and P1b are lowered in the direction of the arrow K2 in FIG. 15 by the action of a drive mechanism (not shown) under the control of the control unit 17, and return to the standby position similar to FIG.

次に、プッシャ15は図15におけるM2方向に退出し、図12と同様の待機位置に戻る。そして、搬送テーブル2は回転して、検査を終了したワーク収納孔3内のワークW1は図1に示す不良品排出部11へと搬送される。ワーク収納孔3内のワークW1が不良品排出部11に到達すると、制御部17は光電気特性検査部10における当該ワークW1の検査結果が不良であるか否か判断し、不良であると判断した場合、制御部17が排出部切替弁19を作動させて、図5に示す搬送テーブルエア噴射通路31aから、矢印J1方向に圧縮エアが噴射される。そして、ワーク収納孔3内のワークW1は搬送テーブル2の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。一方、光電気特性検査部10における当該ワークW1の検査結果が良品であると判断された場合には、不良品排出部11においてワーク収納孔3内のワークW1は排出されることなく、良品排出部12へと搬送される。   Next, the pusher 15 retreats in the direction M2 in FIG. 15, and returns to the standby position similar to FIG. And the conveyance table 2 rotates and the workpiece | work W1 in the workpiece | work storage hole 3 which complete | finished inspection is conveyed to the inferior goods discharge part 11 shown in FIG. When the workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 reaches the defective product discharge unit 11, the control unit 17 determines whether the inspection result of the workpiece W1 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is defective, and determines that it is defective. In this case, the control unit 17 operates the discharge unit switching valve 19 so that compressed air is injected in the direction of the arrow J1 from the transfer table air injection passage 31a shown in FIG. The workpiece W1 in the workpiece storage hole 3 jumps out toward the outer peripheral side of the transfer table 2, is guided to a discharge pipe (not shown), and is stored in a storage box (not shown). On the other hand, when it is determined that the inspection result of the work W1 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is a non-defective product, the non-defective product discharge unit 11 does not discharge the work W1 in the work storage hole 3 and discharges the non-defective product. It is conveyed to the section 12.

良品排出部12に到達した良品ワークW1は、不良品排出部11と同様に、図5に示す搬送テーブルエア噴射通路31aから噴射される圧縮エアの作用により、搬送テーブル2の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。   The non-defective workpiece W1 that has reached the non-defective product discharge portion 12 is directed toward the outer peripheral side of the transfer table 2 by the action of compressed air injected from the transfer table air injection passage 31a shown in FIG. It jumps out, is guided to a discharge pipe (not shown), and is stored in a storage box (not shown).

この間、図13に示すように、プッシャ15が矢印M1方向に進出して、当接部15aの先端面15asがワークW1の本体W1xの面W1s1に当接する際に、ワークW1がワーク収納孔3内で傾斜してしまう場合がある。その一例を、図13のワークW1近傍の拡大図として、図16(a)(b)(c)に示す。図16(a)は、プッシャ15が矢印M1方向に進出して、当接部15aの先端面15asがワークW1の本体W1xの面W1s1に当接した時の様子を示す。   During this time, as shown in FIG. 13, when the pusher 15 advances in the direction of the arrow M1 and the tip surface 15as of the contact portion 15a contacts the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece W1, the workpiece W1 moves to the workpiece storage hole 3. In some cases. An example thereof is shown in FIGS. 16A, 16B, and 16C as enlarged views of the vicinity of the workpiece W1 in FIG. FIG. 16A shows a state where the pusher 15 has advanced in the direction of the arrow M1 and the tip surface 15as of the contact portion 15a has contacted the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece W1.

図16(a)(b)(c)に示すように、本体W1xの面W1s1は、これに当接するプッシャ15の当接部15aの先端面15asに対して完全に平行ではない。これは、ワークW1の本体W1xの製造偏差に起因するものである。   As shown in FIGS. 16A, 16B, and 16C, the surface W1s1 of the main body W1x is not completely parallel to the tip surface 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 that abuts on the surface W1s1. This is due to a manufacturing deviation of the main body W1x of the workpiece W1.

ワークW1の各部の寸法は、上述のようにたかだか1〜3mmであるため、この製造誤差を低減することは極めて困難である。ところで、これらの平行ではない2面が当接すると、それらの面の一方の端から他方の端に向けて、次第に間隔が開く略V字形の隙間が生じる。図16(a)の場合には、当接部15aの先端面15asが本体W1xの面W1s1の発光体W1pに近い位置に当接し、そこに矢印M1方向への進出により生じる進出力FX1が集中して印加される。そして、プッシャ15の先端面15asとワークW1の面W1s1との間には、電極W1aが形成されている本体W1xの底面に向けて、次第に間隔がαとなるように開く略V字形の隙間が生じている。   Since the dimension of each part of the workpiece W1 is at most 1 to 3 mm as described above, it is extremely difficult to reduce this manufacturing error. By the way, when these two non-parallel surfaces come into contact with each other, a substantially V-shaped gap gradually opening from one end of the surfaces to the other end is generated. In the case of FIG. 16A, the front end surface 15as of the contact portion 15a contacts the position near the light emitter W1p of the surface W1s1 of the main body W1x, and the advance output FX1 generated by the advance in the direction of the arrow M1 is concentrated there. Applied. A substantially V-shaped gap that gradually opens toward the bottom surface of the main body W1x on which the electrode W1a is formed is formed between the tip surface 15as of the pusher 15 and the surface W1s1 of the workpiece W1. Has occurred.

ところで、プッシャ15の当接部15aは紙面に平行方向に薄くかつ紙面に垂直方向に厚く形成されており、かつその先端面15asと面W1s1の2面間には、前記薄く形成された方向に沿って略V字形の隙間が形成されている。   By the way, the abutting portion 15a of the pusher 15 is formed so as to be thin in a direction parallel to the paper surface and thick in a direction perpendicular to the paper surface, and between the two surfaces of the front end surface 15as and the surface W1s1 in the thinly formed direction. A substantially V-shaped gap is formed along.

このため図16(a)の状態からプッシャ15が矢印M1方向にさらに進出すると、進出力FX1の作用により、これら2面15as、W1s1間にすべりを生じる。そして、図16(b)に示すように、力FX1が印加される位置が該隙間の間隔が開く側、すなわち電極W1aが形成されている本体W1xの底面側に移動する。このため、本体W1xの底面の電極W1aが形成されている側がテーブルベース1の上面から浮き上がり、ワークW1の姿勢がワーク収納孔3内で傾斜する。さらにこの状態からプッシャ15が矢印M1方向に進出すると、図16(c)に示すように、ワークW1の傾斜がさらに大きくなり、当接部15aの先端面15asがワークW1の下側に侵入して停止する。当接部15aが図16(c)に示す位置まで進出して停止する理由は、この位置が、ワーク収納孔3内にワークW1が存在しない時にプッシャ15を停止させる位置に相当するためである。   For this reason, when the pusher 15 further advances in the direction of the arrow M1 from the state of FIG. 16A, a slip occurs between the two surfaces 15as and W1s1 by the action of the advance output FX1. Then, as shown in FIG. 16B, the position where the force FX1 is applied moves to the side where the gap is opened, that is, the bottom side of the main body W1x where the electrode W1a is formed. For this reason, the side on which the electrode W1a is formed on the bottom surface of the main body W1x is lifted from the top surface of the table base 1, and the posture of the workpiece W1 is inclined in the workpiece housing hole 3. When the pusher 15 further advances from this state in the direction of the arrow M1, as shown in FIG. 16C, the inclination of the workpiece W1 further increases, and the tip surface 15as of the contact portion 15a enters the lower side of the workpiece W1. And stop. The reason why the contact portion 15a advances to the position shown in FIG. 16C and stops is that this position corresponds to a position where the pusher 15 is stopped when the work W1 is not present in the work storage hole 3. .

以上の説明においては、プッシャ15の当接部15aの先端面15asに当接するワークW1の本体W1xの面W1s1が当接部15aの先端面15asに対して完全に平行ではないために、ワークW1の姿勢が傾斜する場合について説明した。この他に、図16(a)において、テーブルチップ5の押圧面5sと、押圧面5sに当接するワークW1の本体W1xの面W1s2が完全に平行ではない場合にも、同様に押圧面5sと面W1s2の間にすべりを生じて、ワークW1の姿勢が傾斜する。   In the above description, since the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece W1 that contacts the tip surface 15as of the contact portion 15a of the pusher 15 is not completely parallel to the tip surface 15as of the contact portion 15a, the workpiece W1. The case where the posture of the vehicle is inclined has been described. In addition, in FIG. 16A, when the pressing surface 5s of the table chip 5 and the surface W1s2 of the main body W1x of the work W1 that is in contact with the pressing surface 5s are not completely parallel, A slip occurs between the surfaces W1s2, and the posture of the workpiece W1 is inclined.

図16(c)の状態から、プローブP1a、P1bを図14における矢印K1方向に上昇させた様子を図17に示す。図17において、プローブP1a、P1bはワーク収納孔3内に侵入して停止している。このときのプローブP1a、P1bの位置は、ワーク収納孔3内にワークW1が存在しない時にプローブP1a、P1bを停止させる位置に対応する。図17において、電極W1aとプローブP1aは当接していないので、正しい測定ができない。   FIG. 17 shows how the probes P1a and P1b are raised in the direction of the arrow K1 in FIG. 14 from the state of FIG. In FIG. 17, the probes P <b> 1 a and P <b> 1 b have entered the work storage hole 3 and stopped. The positions of the probes P1a and P1b at this time correspond to the positions at which the probes P1a and P1b are stopped when the work W1 is not present in the work storage hole 3. In FIG. 17, since the electrode W1a and the probe P1a are not in contact with each other, correct measurement cannot be performed.

図17の状態を正常にするために、図15のようにプローブP1a、P1bを矢印K2方向に下降させて待機位置に戻し、プッシャ15を矢印M2方向に退出させて待機位置に戻し、再度プッシャ15を図14のように矢印M1方向に進出させてワークW1の本体W1xに当接させることが必要である。しかしながら、図17の状態になる原因が上記のようなワークW1の形状に係るものであれば、再度同一の状態になる可能性がきわめて高い。このため、図17の状態を検出してワークW1を排出し、後続の新規のワークW1を光電気特性検査部10に到達させて、そのワークW1にプッシャ15を当接させて固定し、検査することが好ましい。   In order to make the state of FIG. 17 normal, the probes P1a and P1b are lowered in the direction of arrow K2 to return to the standby position as shown in FIG. 15, the pusher 15 is retracted in the direction of arrow M2 to return to the standby position, and the pusher again. As shown in FIG. 14, it is necessary to move 15 in the direction of the arrow M1 to contact the main body W1x of the workpiece W1. However, if the cause of the state shown in FIG. 17 is related to the shape of the workpiece W1 as described above, there is a very high possibility that the state will be the same again. For this reason, the state of FIG. 17 is detected, the workpiece W1 is discharged, the subsequent new workpiece W1 is made to reach the photoelectric characteristic inspection unit 10, the pusher 15 is brought into contact with and fixed to the workpiece W1, and the inspection is performed. It is preferable to do.

図17の状態を検出するために、ワークW1を押圧する際のプッシャ15の移動距離を計測する距離計測手段が設けられている。これについて、図18乃至図19(a)(b)を用いて説明する。図18は、プッシャ15の平面図である。プッシャ15は搬送テーブル2のワーク収納孔3内のワークW1に比べて遥かに大きいので、長手方向の途中を省略した表記としてある。プッシャ15は、ワークW1と略同一の幅を有する当接部15aと、この当接部15aに一体的に連結され、テーブルガイド14の間隙に入る幅を有する中央部15bとを有する。   In order to detect the state of FIG. 17, a distance measuring unit is provided for measuring the moving distance of the pusher 15 when the work W1 is pressed. This will be described with reference to FIGS. 18 to 19A and 19B. FIG. 18 is a plan view of the pusher 15. Since the pusher 15 is much larger than the work W1 in the work storage hole 3 of the transfer table 2, the notation in the longitudinal direction is omitted. The pusher 15 has a contact portion 15a having substantially the same width as the workpiece W1, and a central portion 15b that is integrally connected to the contact portion 15a and has a width that enters the gap between the table guides 14.

さらに中央部15bに続いて、図示されない駆動機構に接続される基部15cが一体的に連結されている。基部15cには、プッシャ15が待機位置(図12)からワークW1の本体W1x(図12)に当接するまでの移動距離を計測する距離計測手段としての検出ブロック15dおよび近接センサ15eが設置されている。検出ブロック15dはプッシャ15の位置を示す目印として機能し、後述のように近接センサ15eによりその位置が検出される。近接センサ15eは基部15cから離間し、かつ検出ブロック15dに対向する位置に配置されている。近接センサ15eは検出対象物の存在情報を電気信号に変換して、対象物が接近したか否かを検出する機能を有する。近接センサ15eには、検出ブロック15dの接近を検出した警報を図1に示す制御部17に送信するためのケーブル15fが接続されている。   Further, following the central portion 15b, a base portion 15c connected to a drive mechanism (not shown) is integrally coupled. The base 15c is provided with a detection block 15d and a proximity sensor 15e as distance measuring means for measuring the moving distance from the standby position (FIG. 12) to the main body W1x (FIG. 12) of the workpiece W1. Yes. The detection block 15d functions as a mark indicating the position of the pusher 15, and the position is detected by the proximity sensor 15e as described later. The proximity sensor 15e is arranged at a position that is separated from the base portion 15c and faces the detection block 15d. The proximity sensor 15e has a function of detecting whether or not the object has approached by converting presence information of the object to be detected into an electrical signal. The proximity sensor 15e is connected with a cable 15f for transmitting an alarm that detects the approach of the detection block 15d to the control unit 17 shown in FIG.

図18における検出ブロック15dおよび近接センサ15eの作用について、領域V1の拡大図である図19(a)(b)を用いて説明する。図19(a)及び図19(b)において、一点鎖線で示される警報境界線15xよりも右方に近接センサ15eの検出物体である検出ブロック15dがある場合、近接センサ15e内の警報送出部15e1によって、検出ブロック15dの接近を検出した警報PALM(図19(b))が図1に示す制御部17に送信される。この場合、図19(a)においては、近接センサ15eと、検出物体である検出ブロック15dとの間隙15Gが大きい。すなわち検出面15dsが一点鎖線で示される警報境界線15xよりも左方にあるため、近接センサ15eは、検出ブロック15dを検出しない。   The operation of the detection block 15d and the proximity sensor 15e in FIG. 18 will be described with reference to FIGS. 19A and 19B which are enlarged views of the region V1. In FIG. 19A and FIG. 19B, when there is a detection block 15d that is a detection object of the proximity sensor 15e on the right side of the alarm boundary line 15x indicated by the alternate long and short dash line, an alarm transmission unit in the proximity sensor 15e The alarm PALM (FIG. 19B) that has detected the approach of the detection block 15d is transmitted to the control unit 17 shown in FIG. 1 by 15e1. In this case, in FIG. 19A, the gap 15G between the proximity sensor 15e and the detection block 15d as a detection object is large. That is, the proximity sensor 15e does not detect the detection block 15d because the detection surface 15ds is on the left side of the alarm boundary line 15x indicated by the alternate long and short dash line.

これに対して、図19(b)に、プッシャ15が矢印M1方向に進出し、検出面15dsが警報境界線15xよりも右方まで到達した様子を示す。この場合、間隙15Gは小さくなり、近接センサ15eは、検出物体である検出ブロック15dを検出する。そして、近接センサ15eからはプッシャ警報PALMが発出されて、図18に示すケーブル15fにより図1に示す制御部17に送信される。   On the other hand, FIG. 19B shows a state where the pusher 15 has advanced in the direction of the arrow M1 and the detection surface 15ds has reached the right side of the alarm boundary line 15x. In this case, the gap 15G becomes small, and the proximity sensor 15e detects the detection block 15d that is a detection object. Then, a pusher warning PALM is issued from the proximity sensor 15e and transmitted to the control unit 17 shown in FIG. 1 through the cable 15f shown in FIG.

次に、図19(a)(b)における警報境界線15xの設定例について述べる。例として、以下の条件を考える。   Next, a setting example of the alarm boundary 15x in FIGS. 19 (a) and 19 (b) will be described. As an example, consider the following conditions:

条件1:ワーク収納孔3にワークW1が収納されていない状態で、プッシャ15の移動距離は0.4mmである。   Condition 1: In a state where the workpiece W1 is not stored in the workpiece storage hole 3, the moving distance of the pusher 15 is 0.4 mm.

条件2:ワークW1の寸法偏差およびプッシャ15の製造偏差を除いて、図13に示すようにプッシャ15がワークW1を正しく固定した場合のプッシャ15の移動距離は0.2mmである。   Condition 2: Except for the dimensional deviation of the workpiece W1 and the manufacturing deviation of the pusher 15, as shown in FIG. 13, the movement distance of the pusher 15 when the pusher 15 correctly fixes the workpiece W1 is 0.2 mm.

条件3:図17に示すようにプッシャ15がワークW1を正しく固定することができなかった場合のプッシャ15の移動距離は0.2mmを超えて0.4mm以下である。   Condition 3: As shown in FIG. 17, the movement distance of the pusher 15 when the pusher 15 cannot correctly fix the workpiece W1 is more than 0.2 mm and not more than 0.4 mm.

条件4:条件1においてプッシャ15を0.4mm移動させた状態で、図19(a)(b)に示す近接センサ15eと検出ブロック15dの間隙15Gが0.1mmとなるように調整する。   Condition 4: In a state where the pusher 15 is moved by 0.4 mm under the condition 1, adjustment is performed so that the gap 15G between the proximity sensor 15e and the detection block 15d shown in FIGS. 19A and 19B is 0.1 mm.

ここに、図19(a)のようにプッシャ15の進出方向M1の移動距離が小さい、すなわち間隙15Gが大きい場合には、図13のように正しく固定できたと判断できることがわかる。また、図19(b)のように該移動距離が大きい、すなわち間隙15Gが小さい場合には、図17のように正しく固定できなかったと判断できることがわかる。よって、正しく固定できた場合の間隙15Gは、条件3、4により、0.1mmに0.2mmを加算した0.3mm以上となる。このことから、図19(a)(b)における警報境界線15xは、近接センサ15eから0.3mmになるように、近接センサ15eに内蔵された図示されない調整機構を用いて設定すればよい。   Here, as shown in FIG. 19A, when the movement distance of the pusher 15 in the advance direction M1 is small, that is, when the gap 15G is large, it can be determined that the pusher 15 can be correctly fixed as shown in FIG. Further, it can be seen that when the moving distance is large as shown in FIG. 19B, that is, when the gap 15G is small, it can be determined that the fixing cannot be performed correctly as shown in FIG. Therefore, the gap 15G when correctly fixed is 0.3 mm or more obtained by adding 0.2 mm to 0.1 mm under the conditions 3 and 4. Therefore, the alarm boundary line 15x in FIGS. 19A and 19B may be set using an adjustment mechanism (not shown) built in the proximity sensor 15e so that the distance from the proximity sensor 15e is 0.3 mm.

以上のように、図18に示す検出ブロック15dおよび近接センサ15eにより、プッシャ15が待機位置(図12)からワークW1の本体W1x(図12)に当接するまでの移動距離を計測して、制御部17は計測された距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、光電気特性検査部10におけるワークW1の姿勢が傾斜したことを検出することができる。   As described above, the detection block 15d and the proximity sensor 15e shown in FIG. 18 measure and control the movement distance from the standby position (FIG. 12) to the main body W1x of the workpiece W1 (FIG. 12). The unit 17 can detect that the posture of the workpiece W1 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is inclined when the measured distance is larger than a predetermined distance.

上述のようなワークW1の本体W1xの製造偏差に起因して、光電気特性検査部10におけるワーク収納孔3内のワークW1の姿勢が傾斜する要因は、他にもある。それについて、図20乃至図22を用いて説明する。図20(a)は、図13のワークW1近傍の拡大平面図である。ただし、簡単のため、ワークW1の発光体W1pは記載していない。図20(a)は、プッシャ15が矢印M1方向に進出して、当接部15aの先端面15asがワークW1の本体W1xの面W1s1に当接した時の様子を示す。ここに、本体W1xの面W1s1は、上述したワークW1の本体W1xの製造偏差によって、これに当接するプッシャ15の当接部15aの先端面15asに対して完全に平行ではない。そして、これらの平行ではない2面W1s1、15asが当接すると、それらの面の一方の端から他方の端に向けて、次第に間隔が開く略V字形の隙間が生じる。図20(a)の場合には、本体W1xの面W1s1における搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方に当接部15aの先端面15asが当接し、そこにプッシャ15の矢印M1方向への進出により生じる進出力FX2が集中して印加される。そして、先端面15asと面W1s1との間には、搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)に向けて、次第に間隔がβ1となるように開く略V字形の隙間が生じている。   There are other factors that cause the posture of the workpiece W1 in the workpiece accommodation hole 3 in the photoelectric property inspection unit 10 to be inclined due to the manufacturing deviation of the main body W1x of the workpiece W1 as described above. This will be described with reference to FIGS. FIG. 20A is an enlarged plan view in the vicinity of the workpiece W1 in FIG. However, for simplicity, the light emitter W1p of the workpiece W1 is not shown. FIG. 20A shows a state where the pusher 15 has advanced in the direction of the arrow M1 and the tip surface 15as of the contact portion 15a has contacted the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece W1. Here, the surface W1s1 of the main body W1x is not completely parallel to the front end surface 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 that abuts on the surface W1x of the main body W1x of the workpiece W1 described above. When these non-parallel two surfaces W1s1 and 15as come into contact with each other, a substantially V-shaped gap gradually opening from one end of the surfaces to the other end is generated. In the case of FIG. 20 (a), the front end surface 15as of the abutting portion 15a abuts behind the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2 on the surface W1s1 of the main body W1x, and the pusher 15 in the direction of arrow M1 there. The advance output FX2 generated by the advance to is concentratedly applied. A substantially V-shaped gap is formed between the front end surface 15as and the surface W1s1 so that the gap gradually becomes β1 in the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2.

ところで、プッシャ15の当接部15aは紙面に平行方向に厚くかつ紙面に垂直方向に薄く形成されており、かつその先端面15asと面W1s1の2面間には、前述のように、厚く形成された方向に沿って略V字形の隙間が形成されている。よって、図20(a)において、先端面15asと面W1s1が当接する領域V2は進出力FX2により押圧されるが、当接しない領域V3は全く押圧されない。すなわち、ワークW1は搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方のみが固定される。   By the way, the abutting portion 15a of the pusher 15 is formed to be thick in a direction parallel to the paper surface and thin in a direction perpendicular to the paper surface, and is formed thick between the two surfaces of the tip surface 15as and the surface W1s1 as described above. A substantially V-shaped gap is formed along the formed direction. Therefore, in FIG. 20A, the region V2 where the tip surface 15as contacts the surface W1s1 is pressed by the advance output FX2, but the region V3 where it does not contact is not pressed at all. In other words, the work W1 is fixed only at the rear in the rotation direction (arrow A direction) of the transfer table 2.

また、図20(b)は、本体W1xの面W1s2が、これに当接するテーブルチップ5の押圧面5sに対して完全に平行ではない場合を示す。図20(b)においては、押圧面5sと面W1s2との間に、搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)に向けて、次第に間隔がβ2となるように開く略V字形の隙間が生じている。そして、図20(a)と同様の理由により、押圧面5sと面W1s2が当接する領域V4は進出力FX3により押圧されるが、当接しない領域V5は全く押圧されない。そして、ワークW1は搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方のみが固定される。   FIG. 20B shows a case where the surface W1s2 of the main body W1x is not completely parallel to the pressing surface 5s of the table chip 5 in contact therewith. In FIG. 20 (b), a substantially V-shaped gap is formed between the pressing surface 5s and the surface W1s2 so that the gap gradually becomes β2 in the rotation direction of the transfer table 2 (arrow A direction). ing. Then, for the same reason as in FIG. 20A, the region V4 where the pressing surface 5s and the surface W1s2 are in contact is pressed by the advance output FX3, but the region V5 that is not in contact is not pressed at all. And only the back of the rotation direction (arrow A direction) of the conveyance table 2 is fixed to the workpiece W1.

このように、搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方のみが固定されたワークW1に対して、図11に示すプローブP1a、P1bが矢印K1方向に上昇した時の様子を、搬送テーブル2の中心軸4(図1)側から見た透視図として、図21(a)(b)に示す。図21(a)は、図20の状態で、プローブ通路10c内のプローブP1bが、テーブルベース1内の待機位置にある様子を示す。この時、プローブ通路10b内のプローブP1aは、プローブ通路10cおよびプローブP1bに隠れて見えないが、プローブP1bと同様に待機位置にある。   In this way, the state when the probes P1a and P1b shown in FIG. 11 are raised in the direction of the arrow K1 with respect to the workpiece W1 in which only the rear side of the rotation direction of the transfer table 2 (arrow A direction) is fixed is shown in FIG. FIGS. 21A and 21B are perspective views seen from the center axis 4 (FIG. 1) side of No. 2. FIG. 21A shows a state in which the probe P1b in the probe passage 10c is at the standby position in the table base 1 in the state of FIG. At this time, the probe P1a in the probe passage 10b is hidden behind the probe passage 10c and the probe P1b, but is in a standby position like the probe P1b.

同様に、ワークW1の電極W1aは電極W1bに隠れて見えない。   Similarly, the electrode W1a of the workpiece W1 is hidden behind the electrode W1b and cannot be seen.

また、検査部切替弁21はv側すなわち真空発生源22側を選択し、吸引噴射通路10a内は矢印S3方向に真空吸引される。この矢印S3方向の真空吸引の作用により、ワークW1はテーブルベース1の上面に吸着される。この時、真空圧計24は吸引通路22xの真空度を計測しているが、その計測値は上記の吸着の作用により、十分に高い真空度を示す値である。   Further, the inspection section switching valve 21 selects the v side, that is, the vacuum generation source 22 side, and the inside of the suction / injection passage 10a is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3. The work W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the action of vacuum suction in the direction of the arrow S3. At this time, the vacuum pressure gauge 24 measures the degree of vacuum of the suction passage 22x, and the measured value is a value indicating a sufficiently high degree of vacuum due to the above-described adsorption action.

次に、この状態からプローブP1a、P1bは図21(b)における矢印K1方向に上昇して、ワークW1の電極W1a、W1bに当接する。この時、上述のように、ワークW1は搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方のみがプッシャ15の当接部15aにより固定されている。このため、プローブP1bが上昇してワークW1の電極W1bに当接すると、ワークW1の固定されていない側、すなわち図21(b)における矢印Aの前方側が上方に移動する。この時、図17と同様に、プローブP1a、P1bはワーク収納孔3内に侵入して停止している。図21(b)において、電極W1bとプローブP1bは正しく当接しておらず、同様に、図示されない電極W1aとプローブP1aも正しく当接していない。このため、正しい測定ができない。   Next, from this state, the probes P1a and P1b rise in the direction of the arrow K1 in FIG. 21B, and come into contact with the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1. At this time, as described above, the work W <b> 1 is fixed by the contact portion 15 a of the pusher 15 only in the rear side in the rotation direction (arrow A direction) of the transfer table 2. For this reason, when the probe P1b rises and contacts the electrode W1b of the workpiece W1, the side on which the workpiece W1 is not fixed, that is, the front side of the arrow A in FIG. At this time, as in FIG. 17, the probes P <b> 1 a and P <b> 1 b have entered the work storage hole 3 and stopped. In FIG. 21 (b), the electrode W1b and the probe P1b are not in contact correctly, and similarly, the electrode W1a and the probe P1a (not shown) are not in contact correctly. For this reason, correct measurement cannot be performed.

このような図21(b)の状態を検出するために、真空圧計24が配置されている。上述のように、図21(a)においては矢印S3方向の真空吸引の作用により、ワークW1はテーブルベース1の上面に吸着されている。このため、真空圧計24による吸引通路22xの真空度の計測値は十分に高い。これに対して、図21(b)においては、ワークW1の底面がテーブルベース1の上面から離間している。このため、吸引噴射通路10aから検査部切替弁21を経由して吸引通路22xに大気が侵入する。そして、真空圧計24による吸引通路22xの真空度の計測値は低くなる。この計測値が、予め規定された真空度よりも低い場合に、真空圧計24は真空警報VALMを発出し、それを図1に示す制御部17に送出する。   In order to detect such a state of FIG. 21B, a vacuum pressure gauge 24 is disposed. As described above, in FIG. 21A, the work W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the action of vacuum suction in the direction of the arrow S3. For this reason, the measured value of the degree of vacuum of the suction passage 22x by the vacuum pressure gauge 24 is sufficiently high. In contrast, in FIG. 21B, the bottom surface of the work W <b> 1 is separated from the top surface of the table base 1. For this reason, the atmosphere enters the suction passage 22x from the suction injection passage 10a via the inspection section switching valve 21. And the measured value of the vacuum degree of the suction passage 22x by the vacuum pressure gauge 24 becomes low. When this measured value is lower than a predetermined vacuum level, the vacuum pressure gauge 24 issues a vacuum alarm VARM and sends it to the control unit 17 shown in FIG.

以上のように、図12に示す真空圧計24により吸引通路22xの真空度を計測して、計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部17は光電気特性検査部10におけるワークW1の姿勢が傾斜したことを検出する。   As described above, when the degree of vacuum of the suction passage 22x is measured by the vacuum pressure gauge 24 shown in FIG. 12, and the measured degree of vacuum is lower than the predetermined degree of vacuum, the control unit 17 performs the photoelectric characteristic inspection. It is detected that the posture of the workpiece W1 in the unit 10 is inclined.

なお、上記の説明においては、図20(a)(b)のように、ワークW1の面W1s1あるいは面W1s2において、各面の搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方(図20(a)における領域V2および図20(b)における領域V4)のみがプッシャ15の当接部15aにより固定されるとした。   In the above description, as shown in FIGS. 20A and 20B, the surface W1s1 or the surface W1s2 of the workpiece W1 is behind (in FIG. Only the region V2 in a) and the region V4) in FIG. 20B are fixed by the contact portion 15a of the pusher 15.

しかしながら、ワークW1の本体W1xの製造偏差によっては、図20(a)(b)に示す略V字形の隙間がβ1あるいはβ2に開く側が、搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の後方(図20(a)における領域V2側および図20(b)における領域V4側)になる場合もある。その場合は、面W1s1あるいは面W1s2において、各面の搬送テーブル2の回転方向(矢印A方向)の前方(図20(a)における領域V3および図20(b)における領域V5)のみがプッシャ15の当接部15aにより固定される。そして、その状態で図21(b)のようにプローブP1bが上昇してワークW1の電極W1bに当接すると、ワークW1は図21(b)における矢印Aの後方側が上方に移動する。その場合も、図12に示す真空圧計24により吸引通路22xの真空度を計測すれば、上述の理由により、計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部17は光電気特性検査部10におけるワークW1の姿勢が傾斜したことを検出する。   However, depending on the manufacturing deviation of the main body W1x of the workpiece W1, the side where the substantially V-shaped gap shown in FIGS. 20A and 20B opens to β1 or β2 is behind the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2 ( In some cases, the region V2 side in FIG. 20A and the region V4 side in FIG. In that case, on the surface W1s1 or the surface W1s2, the pusher 15 is only the front (region V3 in FIG. 20A and region V5 in FIG. 20B) in the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2 on each surface. It is fixed by the contact part 15a. In this state, when the probe P1b rises and contacts the electrode W1b of the workpiece W1 as shown in FIG. 21B, the workpiece W1 moves upward on the rear side of the arrow A in FIG. Also in that case, if the degree of vacuum of the suction passage 22x is measured by the vacuum pressure gauge 24 shown in FIG. 12, the control unit 17 can be used when the measured degree of vacuum is lower than a predetermined degree of vacuum for the reason described above. It is detected that the posture of the workpiece W1 in the photoelectric property inspection unit 10 is inclined.

以上のように、本発明によるワークの特性測定装置100は、ワークW1が光電気特性検査部10におけるプッシャ15の作用により固定される際に、ワークW1の本体W1xの製造偏差に起因してワーク収納孔3内で姿勢が傾斜したことを、プッシャ15の移動距離の計測および吸引通路22xの真空度の計測という2種類の計測により検出している。このため、ワークW1のワーク収納孔3内における姿勢の傾斜を確実に検出することができる。   As described above, the workpiece characteristic measuring apparatus 100 according to the present invention causes the workpiece W1 due to the manufacturing deviation of the main body W1x of the workpiece W1 when the workpiece W1 is fixed by the action of the pusher 15 in the photoelectric characteristic inspection unit 10. The inclination of the posture in the storage hole 3 is detected by two types of measurement, that is, measurement of the movement distance of the pusher 15 and measurement of the degree of vacuum of the suction passage 22x. For this reason, the inclination of the attitude | position in the workpiece | work storage hole 3 of the workpiece | work W1 can be detected reliably.

上述のように図18に示す検出ブロック15dおよび近接センサ15e、あるいは図12に示す真空圧計24により、光電気特性検査部10におけるワークW1の姿勢が傾斜したことを検出すると、それぞれプッシャ警報PALMあるいは真空警報VALMが発出されて制御部17に送信される。これらの警報を制御部17が受信すると、制御部17の制御により、当該ワークW1をワーク収納孔3から排出する。その作用について、図22乃至図27を用いて説明する。   As described above, when the detection block 15d and the proximity sensor 15e shown in FIG. 18 or the vacuum pressure gauge 24 shown in FIG. 12 detects that the posture of the work W1 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is inclined, the pusher alarm PALM or A vacuum alarm VAL is issued and transmitted to the control unit 17. When the control unit 17 receives these alarms, the control unit 17 controls to discharge the workpiece W1 from the workpiece storage hole 3. The operation will be described with reference to FIGS.

図22(a)は、図16(a)(b)(c)を用いて説明したように、ワークW1の本体W1xの面W1s1が、これに当接するプッシャ15の当接部15aの先端面15asに対して完全に平行ではないことに起因して、ワーク収納孔3内で傾斜している様子を示す。また、図22(b)は図21(a)を搬送テーブル2の中心軸4(図1)側から見た図である。   FIG. 22A shows the front end surface of the abutting portion 15a of the pusher 15 in which the surface W1s1 of the main body W1x of the workpiece W1 abuts as described with reference to FIGS. 16A, 16B, and 16C. A state in which the workpiece storage hole 3 is inclined due to being not completely parallel to 15as is shown. FIG. 22B is a view of FIG. 21A as viewed from the central axis 4 (FIG. 1) side of the transfer table 2.

図22(a)(b)において、プッシャ15の当接部15aの先端面15asがワークW1の下側に侵入して停止している。また、プローブP1a、P1bが矢印K1方向に上昇し、ワーク収納孔3内に侵入して停止している。そして、ワークW1はワーク収納孔3内で姿勢が傾斜している。図22(a)の下部には、この時の図18における検出ブロック15dおよび近接センサ15e近傍(領域V1)の拡大図を、併せて記載してある。この図は図19(b)と同一であり、近接センサ15e内の警報送出部15e1はプッシャ警報PALMを発出している。また、図22(b)には、吸引噴射通路10aが検査部切替弁21の作用により真空発生源22に連通して、吸引噴射通路10a内が矢印S3方向に真空吸引されている様子を、併せて示す。   22A and 22B, the front end surface 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 enters the lower side of the work W1 and stops. Further, the probes P1a and P1b are raised in the direction of the arrow K1 and enter the work storage hole 3 and stop. The posture of the workpiece W1 is inclined in the workpiece storage hole 3. In the lower part of FIG. 22A, an enlarged view of the vicinity of the detection block 15d and the proximity sensor 15e (area V1) in FIG. This figure is the same as FIG. 19B, and the alarm sending unit 15e1 in the proximity sensor 15e issues a pusher alarm PALM. FIG. 22B shows a state in which the suction / injection passage 10a communicates with the vacuum generation source 22 by the action of the inspection unit switching valve 21, and the suction / injection passage 10a is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3. Also shown.

この状態で、プッシャ警報PALMを受信した制御部17(図1)の制御により、図23(a)(b)の状態となる。すなわち、プッシャ15は図示されない駆動機構の作用により、矢印M2方向に退出して待機位置に停止する。そして、プローブP1a、P1bは図示されない駆動機構の作用により、矢印K2方向に下降して待機位置に停止する。この時、プッシャ15が待機位置まで退出するので、上記近接センサ15e内の警報送出部15e1はプッシャ警報PALMの発出を停止する。この様子を、図23(a)の下部に併せて示す。この図は図19(a)と同一である。   In this state, under the control of the control unit 17 (FIG. 1) that has received the pusher alarm PALM, the state shown in FIGS. That is, the pusher 15 retreats in the direction of the arrow M2 and stops at the standby position by the action of a drive mechanism (not shown). The probes P1a and P1b are lowered in the direction of the arrow K2 and stopped at the standby position by the action of a drive mechanism (not shown). At this time, since the pusher 15 retreats to the standby position, the alarm sending unit 15e1 in the proximity sensor 15e stops issuing the pusher alarm PALM. This situation is also shown in the lower part of FIG. This figure is the same as FIG.

以上のように、プッシャ15とプローブP1a、P1bがいずれも待機位置に停止することにより、図23(a)(b)に示すように、ワーク収納孔3内のワークW1はその底面に形成された電極W1a、W1bがテーブルベース1上面に載置される。   As described above, when the pusher 15 and the probes P1a and P1b are both stopped at the standby position, the work W1 in the work storage hole 3 is formed on the bottom surface thereof as shown in FIGS. The electrodes W1a and W1b are placed on the upper surface of the table base 1.

次に、図1に示す制御部17の制御により、光電気特性検査部10直上に位置する図示されない測定器が、図示されない駆動機構の作用により上昇して、図示されない退避位置に停止する。   Next, under the control of the control unit 17 shown in FIG. 1, a measuring instrument (not shown) located immediately above the photoelectric characteristic inspection unit 10 is raised by the action of a driving mechanism (not shown) and stops at a retracted position (not shown).

そして、図1に示す強制排出手段としての姿勢不良ワーク排出部16が、図示されない駆動機構の作用により、図1に示す待機位置から矢印L1方向に進出して、今まで該測定器が位置していた光電気特性検査部10直上に停止する。この様子を、図24に示す。   1 moves forward in the direction of the arrow L1 from the standby position shown in FIG. 1 by the action of a drive mechanism (not shown) as the forced discharge means shown in FIG. It stops immediately above the optoelectric characteristic inspection unit 10 that has been on. This is shown in FIG.

ここに、図24乃至図27は、図23(b)と同様に、光電気特性検査部10を搬送テーブル2の中心軸4(図1)側から見た図である。図24において、光電気特性検査部10直上には、ワークW1を吸引する姿勢不良ワーク排出部16の排出ヘッド16aが位置している。排出ヘッド16aの排出通路16apは排出パイプ16bに接続され、排出パイプ16bの終端部には収納箱25が接続されている。排出パイプ16bが収納箱25に接続される位置には、排出されるワークW1が収納箱25に収納されたことを検出する排出検出手段としての通過センサ26が配置されている。   Here, FIGS. 24 to 27 are views of the photoelectric characteristic inspection unit 10 as viewed from the central axis 4 (FIG. 1) side of the transport table 2, as in FIG. 23 (b). In FIG. 24, the discharge head 16 a of the posture defective work discharge unit 16 that sucks the work W <b> 1 is located immediately above the photoelectric characteristic inspection unit 10. A discharge passage 16ap of the discharge head 16a is connected to a discharge pipe 16b, and a storage box 25 is connected to a terminal portion of the discharge pipe 16b. At a position where the discharge pipe 16 b is connected to the storage box 25, a passage sensor 26 is disposed as a discharge detection unit that detects that the discharged work W <b> 1 is stored in the storage box 25.

次に、図24の状態から制御部17の制御により、図25に示すように、検査部切替弁21がa側すなわち圧縮エア源23側を選択する。これにより、吸引噴射通路10aの連通先が圧縮エア源23となり、吸引噴射通路10aには矢印J2方向に圧縮エアが噴射される。また同時に、姿勢不良ワーク排出部16内に配置された図示されない真空吸引機構の作用により、排出通路16apから排出パイプ16bを経由して収納箱25に至る経路が、収納箱25に向けて矢印S4方向に真空吸引される。この矢印J2方向の圧縮エアの噴射と矢印S4方向の真空吸引が同時に作用して、ワーク収納孔3内のワークW1は排出ヘッド16aの排出通路16apに入る。そして、図26に示すように、排出パイプ16bに入り、図27に示すように収納箱25に収納される。   Next, as shown in FIG. 25, the inspection unit switching valve 21 selects the a side, that is, the compressed air source 23 side, under the control of the control unit 17 from the state of FIG. As a result, the communication destination of the suction injection passage 10a becomes the compressed air source 23, and the compressed air is injected into the suction injection passage 10a in the direction of the arrow J2. At the same time, a path from the discharge passage 16ap to the storage box 25 via the discharge pipe 16b through the action of a vacuum suction mechanism (not shown) arranged in the posture defective work discharge unit 16 is directed to the storage box 25 by an arrow S4. Vacuum sucked in the direction. The jet of compressed air in the direction of arrow J2 and the vacuum suction in the direction of arrow S4 act simultaneously, and the work W1 in the work storage hole 3 enters the discharge passage 16ap of the discharge head 16a. Then, as shown in FIG. 26, it enters the discharge pipe 16b and is stored in the storage box 25 as shown in FIG.

図27において、ワークW1が収納箱25に収納されたことを通過センサ26が検出して、収納情報DISを発出する。収納情報DISは図1に示す制御部17に送信され、制御部17の制御により、検査部切替弁21がv側すなわち真空発生源22側を選択する。   In FIG. 27, the passage sensor 26 detects that the workpiece W1 has been stored in the storage box 25, and issues storage information DIS. The storage information DIS is transmitted to the control unit 17 shown in FIG. 1, and the control unit 17 controls the inspection unit switching valve 21 to select the v side, that is, the vacuum generation source 22 side.

これにより、吸引噴射通路10aの連通先が真空発生源22となり、吸引噴射通路10aは矢印S3方向に真空吸引される。そして、光電気特性検査部10直上に位置していた姿勢不良ワーク排出部16が矢印L2方向に退出して、図1の待機位置に停止する。そして、図示されない退避位置に停止していた図示されない測定器が、図示されない駆動機構の作用により下降して、光電気特性検査部10直上に停止する。次に、制御部17の制御により、搬送テーブル2が矢印A方向に回転し、ワークW1を収納した次のワーク収納孔3が光電気特性検査部10に到達する。そして、このワークW1について、上述の電気特性ならびに光特性の測定が行われる。   As a result, the communication destination of the suction / injection passage 10a becomes the vacuum generation source 22, and the suction / injection passage 10a is sucked in the direction of arrow S3. Then, the poor posture workpiece discharge unit 16 located immediately above the photoelectric characteristic inspection unit 10 moves out in the direction of the arrow L2 and stops at the standby position in FIG. Then, a measuring instrument (not shown) that has been stopped at a retracted position (not shown) is lowered by the action of a driving mechanism (not shown) and stops immediately above the photoelectric characteristic inspection unit 10. Next, under the control of the control unit 17, the transfer table 2 rotates in the direction of arrow A, and the next workpiece storage hole 3 that stores the workpiece W <b> 1 reaches the photoelectric characteristic inspection unit 10. And about this workpiece | work W1, the measurement of the above-mentioned electrical property and optical property is performed.

上記の光電気特性検査部10における姿勢不良ワーク排出部16によるワークW1の排出に関する説明は、ワーク収納孔3内のワークW1が、図16(a)(b)(c)の過程を経て図17のように姿勢が傾斜した場合について行った。他方、ワーク収納孔3内のワークW1が、図20(a)または図20(b)から図21(a)の過程を経て図21(b)のように姿勢が傾斜した場合には、図21(b)の状態から図23(a)(b)のようにプッシャ15およびプローブP1a、P1bを退出させて、それぞれの待機位置に戻すことにより、同様にワーク収納孔3内のワークW1はその底面に形成された電極W1a、W1bがテーブルベース1上面に載置される。   The explanation about the discharge of the work W1 by the poor posture work discharge unit 16 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is a diagram in which the work W1 in the work storage hole 3 is subjected to the processes of FIGS. 16 (a), 16 (b), and 16 (c). The test was performed when the posture was inclined as in FIG. On the other hand, when the work W1 in the work storage hole 3 is tilted as shown in FIG. 21B through the process of FIG. 21A from FIG. 20A or 20B, FIG. As shown in FIGS. 23A and 23B, the pusher 15 and the probes P1a and P1b are withdrawn from the state of 21 (b) and returned to the respective standby positions. The electrodes W1a and W1b formed on the bottom surface are placed on the top surface of the table base 1.

以上のように、ワーク特性測定装置100は、ワークW1が光電気特性検査部10に設けられたプッシャ15の作用により固定される際に、ワークW1の本体W1xの製造偏差に起因してワーク収納孔3内で姿勢が傾斜したことを検出すると、当該ワークW1を姿勢不良ワークとして排出した後に、次に光電気特性検査部10に到達したワークW1を検査することができる。このため、姿勢不良ワークを速やかに排出して正常なワークを検査することが可能である。また、不良ワークを作業者が手動で排出する必要もない。従って、検査効率および検査精度の向上ならびに作業員の稼働時間低減を実現することが可能である。   As described above, when the workpiece W1 is fixed by the action of the pusher 15 provided in the photoelectric characteristic inspection unit 10, the workpiece characteristic measuring apparatus 100 stores the workpiece due to the manufacturing deviation of the main body W1x of the workpiece W1. When it is detected that the posture is inclined in the hole 3, the workpiece W <b> 1 that has reached the photoelectric characteristic inspection unit 10 can be inspected after the workpiece W <b> 1 is discharged as a posture defective workpiece. For this reason, it is possible to quickly eject a defective posture workpiece and inspect a normal workpiece. Further, it is not necessary for the operator to manually discharge the defective workpiece. Accordingly, it is possible to improve the inspection efficiency and inspection accuracy and reduce the operation time of the worker.

以上の説明においては、ワークW1の検査を行う特性検査部として光電気特性検査部10の例を示したが、これに限らず特性検査部として第1画像検査部8および第2画像検査部9を用いてもよい。   In the above description, the example of the photoelectric characteristic inspection unit 10 is shown as the characteristic inspection unit for inspecting the workpiece W1, but the first image inspection unit 8 and the second image inspection unit 9 are not limited to this and are used as the characteristic inspection unit. May be used.

また、以上の説明においては、検査を終了したワークW1を排出する排出部として、各検査の結果が不良であったワークW1をワーク収納孔3から排出する不良品排出部11と、前記各検査の結果が良品であったワークW1をワーク収納孔3から排出する良品排出部12の2つを設けた例を示したが、これに限らず良品排出部12の代わりに、検査結果に基づいてワークW1を複数の等級に分類して、各等級に対応する収納箱に排出する分類排出部を配置しても良い。   Further, in the above description, as the discharge unit that discharges the workpiece W1 that has been inspected, the defective product discharge unit 11 that discharges the workpiece W1 whose result of each inspection is defective from the workpiece storage hole 3, and each of the inspections. Although the example which provided two of the good quality discharge parts 12 which discharge | emit the workpiece | work W1 which was the result of non-defective goods from the workpiece | work storage hole 3 was shown, it replaces with the good quality discharge part 12, and is based on an inspection result. A classification discharge unit that classifies the workpiece W1 into a plurality of grades and discharges them into a storage box corresponding to each grade may be arranged.

また、以上の説明においては、搬送テーブル2が水平に設置されている例を示したが、これに限らず、本発明は、搬送テーブル2が垂直に設置されている場合および傾斜して設置されている場合にも適用することができる。   In the above description, the example in which the transport table 2 is installed horizontally is shown. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is installed in a case where the transport table 2 is installed vertically or in an inclined manner. It can also be applied when

また、以上の説明においては、光電気特性検査部10においてワークW1の電極W1aおよびW1bについて、それぞれ1本のプローブP1aおよびP1bを当接させる例を示したが、これに限らず、本発明は、電極W1aおよびW1bについて、それぞれ2本のプローブを当接させる4端子測定の場合にも適用することができる。   In the above description, an example in which one probe P1a and P1b is brought into contact with each of the electrodes W1a and W1b of the workpiece W1 in the photoelectric property inspection unit 10 is not limited thereto. The electrodes W1a and W1b can also be applied to the four-terminal measurement in which two probes are brought into contact with each other.

以上のように本実施の形態によれば、搬送テーブル2のワーク収納孔3の位置において、中心側のテーブルベース1側にワーク収納孔3に隣接してテーブルチップ5を形成し、テーブルチップ5をワーク収納孔3内に突出させた押圧面5sにワークW1の高硬度部を搬送テーブル2の外側からプッシャ15により押圧し、特性測定時に固定している。このため、ワークW1の低硬度部である発光体は固定の際にどこにも当接せず、押圧により傷を生じることを防止することができる。また、押圧時にワークW1の製造偏差に起因して生じるワークW1の姿勢傾斜を、プッシャ15の移動距離計測および吸引通路22x内の真空度計測からなる2種類の計測により、確実に検出することができる。また、姿勢傾斜を検出したワークW1を姿勢不良ワーク排出部16により排出して次のワークを検査するので、検査効率および検査精度の向上ならびに作業員の稼働時間低減を実現することができる。   As described above, according to the present embodiment, the table chip 5 is formed adjacent to the work storage hole 3 on the table base 1 side on the center side at the position of the work storage hole 3 of the transfer table 2. The high hardness portion of the workpiece W1 is pressed from the outside of the transfer table 2 by the pusher 15 to the pressing surface 5s that protrudes into the workpiece housing hole 3, and is fixed during characteristic measurement. For this reason, the light emitter, which is the low hardness portion of the workpiece W1, does not come into contact with any place during fixing, and it is possible to prevent the press from being damaged. Further, the posture inclination of the workpiece W1 caused by the manufacturing deviation of the workpiece W1 at the time of pressing can be reliably detected by two types of measurement including the movement distance measurement of the pusher 15 and the vacuum degree measurement in the suction passage 22x. it can. Further, since the workpiece W1 in which the posture inclination is detected is discharged by the posture defective workpiece discharge unit 16 and the next workpiece is inspected, it is possible to improve the inspection efficiency and the inspection accuracy and reduce the operation time of the worker.

1 テーブルベース、2 搬送テーブル、3 ワーク収納孔、4 中心軸、5 テーブルチップ、5s 押圧面、6 リニアフィーダ、7 分離供給部、8 第1画像検査部、9 第2画像検査部、10 光電気特性検査部、10a 吸引噴射通路、11 不良品排出部、12 良品排出部、13 テーブルカバー、14 テーブルガイド、15 プッシャ、15a 当接部、15d 検出ブロック、15e 近接センサ、16 姿勢不良ワーク排出部、16a 排出ヘッド、16b 排出パイプ、17 制御部、18 真空発生源、19 排出部切替弁、20 圧縮エア源、21 検査部切替弁、22 真空発生源、23 圧縮エア源、24 真空圧計、25 収納箱、26 通過センサ、P1a、P1b プローブ、W1 ワーク、W1x 本体、W1p 発光体、W1a、W1b 電極。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Table base, 2 Conveyance table, 3 Work storage hole, 4 Center axis, 5 Table chip, 5s Pressing surface, 6 Linear feeder, 7 Separation supply part, 8 1st image inspection part, 9 2nd image inspection part, 10 light Electrical property inspection section, 10a suction injection passage, 11 defective product discharge section, 12 non-defective product discharge section, 13 table cover, 14 table guide, 15 pusher, 15a abutment section, 15d detection block, 15e proximity sensor, and 16 posture defective work discharge 16a discharge head, 16b discharge pipe, 17 control unit, 18 vacuum generation source, 19 discharge unit switching valve, 20 compressed air source, 21 inspection unit switching valve, 22 vacuum generation source, 23 compressed air source, 24 vacuum pressure gauge, 25 storage box, 26 passage sensor, P1a, P1b probe, W1 work, W1x body, W1p light emitter W1a, W1b electrode.

Claims (6)

高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定装置において、
テーブルベースと、
前記テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルと、
前記搬送テーブルの外周に沿って任意の位置に固定して設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性測定を行なうワークの特性検査部とを備え、
前記ワークの特性検査部は、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材と、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定する固定手段とを有し、
前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、
前記ワークの特性検査部はプッシャの移動距離を計測する距離計測手段と、距離計測手段により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とするワークの特性測定装置。
In the workpiece characteristic measuring device for measuring the properties of a workpiece having a high hardness portion and a low hardness portion,
Table base,
A transport table that is rotatably arranged on the table base, has an opening that opens outward, and is provided with a plurality of workpiece storage holes along the outer peripheral edge for storing workpieces;
A workpiece characteristic inspection unit that is fixedly provided at an arbitrary position along the outer periphery of the transfer table, and that measures a property of the workpiece stored in the workpiece storage hole;
The workpiece property inspection unit includes an inspection member that abuts against the workpiece and inspects the workpiece property, and a fixing unit that fixes the workpiece in the workpiece storage hole toward the inner wall of the workpiece storage hole facing the opening. Have
The fixing means comprises a pusher that presses the high hardness portion of the workpiece from the opening toward the inner wall side,
The workpiece characteristic inspection unit is a distance measurement unit that measures the movement distance of the pusher, and when the movement distance measured by the distance measurement unit is larger than a predetermined distance, further word over click characteristic measuring apparatus characterized by having a forced discharge means for discharging the workpiece.
前記ワークの特性検査部は、テーブルベースに設けられテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引通路と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測手段と、真空度計測手段により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とする請求項1記載のワークの特性測定装置。   The workpiece characteristic inspection unit includes a suction passage that is provided on the table base and sucks the workpiece toward the table base, a vacuum degree measurement unit that measures the degree of vacuum in the suction passage, and a vacuum measured by the vacuum degree measurement unit. 2. The workpiece characteristic measuring apparatus according to claim 1, further comprising forced discharge means for discharging the workpiece in the workpiece storage hole by the control unit when the degree is lower than a predetermined vacuum degree. 前記強制排出手段は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出手段を含むことを特徴とする請求項または記載のワークの特性測定装置。 The forced discharge means is characteristic measuring device of a work according to claim 1 or 2, wherein the containing discharge detecting means for detecting that the workpiece workpiece storage hole is discharged. 高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定方法において、
テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルによってワークを搬送する搬送工程と、
前記搬送テーブルの外周に沿って任意の位置に固定して設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性検査をワークの特性検査部によって行なうワークの特性検査工程とを備え、
前記ワークの特性検査工程は、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定手段により固定するワークの固定工程と、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材によりワークの特性検査を行なう検査工程とを有し、
前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、
前記ワークの特性測定工程はプッシャの移動距離を計測する距離計測工程と、距離計測工程により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法。
In the workpiece characteristic measuring method for measuring the properties of a workpiece having a high hardness portion and a low hardness portion,
A conveying step of conveying the workpiece by a conveying table that is rotatably arranged on the table base and has an opening that opens outward, and a plurality of workpiece accommodating holes that accommodate the workpiece are provided along the outer peripheral edge;
A workpiece characteristic inspection step that is fixedly provided at an arbitrary position along the outer periphery of the transfer table, and that performs a workpiece property inspection performed by a workpiece property inspection unit in the workpiece storage hole,
The workpiece characteristic inspection step includes a workpiece fixing step in which the workpiece in the workpiece storage hole is fixed by a fixing means toward the inner wall side facing the opening of the workpiece storage hole, and the workpiece property inspection is performed in contact with the workpiece. And an inspection process for inspecting the characteristics of the workpiece by the inspection member performing
The fixing means comprises a pusher that presses the high hardness portion of the workpiece from the opening toward the inner wall side,
The workpiece characteristic measurement step includes a distance measurement step for measuring the movement distance of the pusher, and a movement by the control unit when the movement distance measured by the distance measurement step is larger than a predetermined distance. further characteristic measuring method of the word over click, characterized in that it comprises a forced discharge step of discharging the workpiece.
前記ワークの特性測定工程は、テーブルベースに設けられた吸引通路によりテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引工程と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測工程と、真空度計測工程により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とする請求項記載のワークの特性測定方法。 The workpiece characteristic measurement step includes a suction step for sucking a workpiece toward the table base by a suction passage provided in the table base, a vacuum degree measurement step for measuring the degree of vacuum in the suction passage, and a vacuum degree measurement step. 5. The workpiece characteristic according to claim 4 , further comprising a forcible discharge step of discharging the workpiece in the workpiece storage hole by the control unit when the measured vacuum level is lower than a predetermined vacuum level. Measuring method. 前記強制排出工程は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出工程を含むことを特徴とする請求項または記載のワークの特性測定方法。 The forced discharge process, according to claim 4 or 5 characteristic measuring method of the work according to comprising the discharge detection step of detecting that the workpiece workpiece storage hole is discharged.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107490723A (en) * 2017-08-14 2017-12-19 苏州马尔萨斯文化传媒有限公司 A kind of automatic detection device and its detection method for insulator
TWI611999B (en) * 2017-08-15 2018-01-21 致茂電子股份有限公司 Electronic device testing apparatus and method thereof capable of preventing mis-sorting
JP6828640B2 (en) * 2017-08-31 2021-02-10 日亜化学工業株式会社 Light emission inspection method for light emitting device
KR102066685B1 (en) * 2018-04-18 2020-01-15 주재철 Work feed rotation table
KR20190124132A (en) * 2018-04-25 2019-11-04 (주)테크윙 Test handler for testing electronic component
TWI727520B (en) * 2019-11-27 2021-05-11 萬潤科技股份有限公司 Electronic component conveying method, electronic component conveying device and conveying equipment
TWI722682B (en) * 2019-11-27 2021-03-21 萬潤科技股份有限公司 Electronic component transport method and equipment
CN111208406B (en) * 2020-03-09 2020-11-20 海宁永力电子陶瓷有限公司 Semiconductor light-emitting diode testing device
JP7370069B2 (en) * 2020-08-31 2023-10-27 株式会社 東京ウエルズ Workpiece inspection device
CN113634507B (en) * 2021-08-13 2023-02-17 东阳东磁自动化科技有限公司 Thickness measurement grading equipment for soft magnetic product and implementation method thereof
WO2023105665A1 (en) * 2021-12-08 2023-06-15 フジオーゼックス株式会社 Workpiece appearance image inspection apparatus
CN114291564B (en) * 2021-12-31 2022-09-06 昆山市和博电子科技有限公司 Product feeding structure and feeding method thereof
CN114994473B (en) * 2022-05-26 2023-02-28 深圳市标谱半导体股份有限公司 Electrical voltage withstand test machine

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0415298U (en) * 1990-05-28 1992-02-06
EP0740184A3 (en) * 1995-04-28 1998-07-29 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device, process for producing same and liquid crystal apparatus
JP4151041B2 (en) * 1998-06-19 2008-09-17 日東工業株式会社 Eliminating means for trouble chips in a single chip separating and conveying device
JP3690257B2 (en) * 2000-08-28 2005-08-31 株式会社村田製作所 Chip parts transfer device
US6797936B1 (en) * 2002-01-03 2004-09-28 Opto Electronic Systems, Inc. Automated laser diode testing
JP4346912B2 (en) * 2003-01-20 2009-10-21 株式会社 東京ウエルズ Vacuum suction system and control method thereof
JP2004226101A (en) * 2003-01-20 2004-08-12 Tokyo Weld Co Ltd Work inspection system
JP2004315123A (en) * 2003-04-14 2004-11-11 Tokyo Weld Co Ltd Workpiece separation and conveyance system
JP4021812B2 (en) * 2003-06-26 2007-12-12 株式会社 東京ウエルズ Work feeding device
JP4930971B2 (en) * 2005-12-16 2012-05-16 株式会社 東京ウエルズ Work transfer device
JP5294195B2 (en) * 2008-05-01 2013-09-18 株式会社 東京ウエルズ Work characteristic measuring apparatus and work characteristic measuring method
JP5388282B2 (en) * 2009-04-17 2014-01-15 株式会社 東京ウエルズ Work conveying apparatus and work conveying method
JP2012020822A (en) 2010-07-13 2012-02-02 Tokyo Weld Co Ltd Workpiece transferring device
JP5679195B2 (en) * 2011-05-27 2015-03-04 株式会社 東京ウエルズ Workpiece conveyance inspection device and workpiece conveyance inspection method
TWI447060B (en) * 2011-10-05 2014-08-01 Tokyo Weld Co Ltd Workpiece handling equipment
JP2014076519A (en) * 2012-10-11 2014-05-01 Seiko Epson Corp Component transport device, electronic component inspection device, and component transport method
JP6144065B2 (en) * 2013-02-14 2017-06-07 株式会社 東京ウエルズ Work measuring apparatus and work measuring method

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