JP6429015B2 - ガスパージユニットおよびガスパージ装置 - Google Patents

Description

本発明は、たとえば半導体の製造工程などに用いられるガスパージユニットおよびガスパージ装置に関する。

半導体の製造工程において、ウエハ搬送容器内に収容されているウエハには、たとえば金属配線等が形成されたものが存在する。このような金属配線は表面が酸化されることによって素子完成時に所望の特性が得られなくなるおそれがあり、このために容器内部における酸素濃度を低レベルに保つ必要がある。

しかし、ポッド内のウエハを各種処理装置に持ち込んで所定の処理を施す際には、容器内部と処理装置内部とは常に連通した状態に維持されることとなる。移載ロボットが配置される室の上部にはファン及びフィルタが配置され、当該室内部には通常パーティクル等が管理された清浄空気が導入されている。しかし、このような空気が容器内部に侵入した場合、空気中の酸素あるいは水分によってウエハ表面が酸化されるおそれがある。

そこで、たとえば特許文献１では、容器の内部に向けて窒素ガスなどのパージガスを導入すると共に、処理室の内部から容器の内部への汚れた空気の導入を遮断するために、開口部の開口面に沿ってガスを吹き出すことが提案されている。

しかしながら、従来の装置では、容器の内部に向けてガスを吹き出す容器内向きノズルは、開口部の側辺部に配置されている。

そのため、移載ロボットが配置される室の設計によっては、ロボットの搬出アームがパージユニットと干渉してしまう恐れがあった。また、従来の装置では、容器内部のガス置換を行うにあたり均質な置換が十分に行われない場合があった。均質な置換が十分に行われない場合には、たとえば容器の上部に配置されるウエハと、容器の下部に配置されるウエハとで、雰囲気中の酸素あるいいは水分濃度が異なり、その後の製造工程で、ウエハの処理にバラツキが生じるなどの課題を有している。

ＷＯ２００５／１２４８５３号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、ロボットアームの動きを遮ることなく容器の内部をパージすることが可能であり、容器の内部のガス置換を均質に行うことができるガスパージユニットおよびガスパージ装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係るガスパージユニットは、
開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記開口の上辺部から前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す上辺ノズル口が形成してある上辺ノズル部材と、
前記開口の下辺部から前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す下辺ノズル口が形成してある下辺ノズル部材とを有する。

本発明のガスパージユニットでは、上辺ノズル部材と下辺ノズル部材とにより、パージ対象容器の内部のガス置換を行う。そのため、開口の側辺部には、ノズル部材を配置する必要がなくなる。たとえばウエハ搬送用のロボットアームの動きには、回転動作があり、その回転動作時に、従来では、開口の側辺部に位置するノズル部材が邪魔になることがある。本発明では、開口の側辺部には、ノズル部材を配置する必要がなくなるので、ロボットアームの動きを遮ることなくパージ可能となる。

また、本発明のパージユニットでは、開口の上下から容器の内部へガスを放出するため、開口部中央付近でガスが抜ける。これに対して、上側から一方のみの場合は、容器の下部におけるガスの置換が不十分と成る恐れがある。したがって本発明では、特に上下方向で均一にガス置換することが可能になる。その結果、容器内に収容してあるウエハなどの処理対象物の品質を均一化することができる。

前記上辺ノズル部材には、前記開口の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す上辺カーテンノズル口がさらに形成してあってもよい。また、前記下辺ノズル部材には、前記開口の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す下辺カーテンノズル口がさらに形成してあってもよい。このように構成することで、従来のカーテンノズル部材も省略することも可能である。また、このように構成することで、部品点数を削減することが可能であり、ユニットの小型化に寄与する。

なお、上辺カーテンノズル口および／または下辺カーテンノズル口は、それぞれ上辺ノズル部材および下辺ノズル部材とは別のノズル部材に形成して、それらの近くに配置しても良い。

好ましくは、前記上辺ノズル口および前記下辺ノズル口は、それぞれ前記開口の上辺部および下辺部の長手方向に沿って連続的または断続的に形成してある。これらのノズル口は、スリット状に細長い吹き出し口でも良く、あるいは、複数の吹き出し口の集合体であっても良い。これらのノズル口は、管状部材の長手方向に沿って形成されたスリット状の貫通孔、円形の貫通孔、あるいは管状部材から突出したノズルの内部に形成してある貫通孔であっても良い。

本発明のガスパージ装置では、
前記パージ対象容器が、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
上記のいずれかに記載のガスパージユニットが、前記壁の内側で、前記壁側開口の上辺部および下辺部に取り付けてある。

図１Ａは本発明の一実施形態に係るガスパージユニットが適用されるロードポート装置の一部断面概略図である。 図１Ｂは図１Ａに示すロードポート装置の一部断面斜視図である。 図１Ｃは図１Ｂに示すガスパージユニットのノズル部材の横断面図である。 図１Ｄは本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるノズル部材の横断面図である。 図２(Ａ）は図１Ｃに示すガスパージユニットのノズル部材の斜視図、 図２(Ｂ）は図２（Ａ）に示すノズル部材の変形例を示す斜視図、 図２(Ｃ）は図２（Ａ）に示すノズル部材のその他の変形例を示す斜視図、 図２(Ｄ）は図２（Ａ）に示すノズル部材のさらにその他の変形例を示す斜視図である。 図３Ａはフープの蓋がロードポート装置により開けられる工程を示す概略図である。 図３Ｂは図３Ａの続きの工程を示す概略図である。 図３Ｃは図３Ｂの続きの工程を示す概略図である。 図３Ｄは図３Ｃの続きの工程を示す概略図である。 図４は本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットが適用されるロードポート装置の一部断面概略図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。

第１実施形態
図１Ａに示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０は、イーフェム（ＥＦＥＭ）などの中間室６０に連結してある。ロードポート装置１０は、設置台１２と、その設置台１２に対して、Ｘ軸方向に移動可能な可動テーブル１４とを有する。なお、図面において、Ｘ軸が可動テーブル１４の移動方向を示し、Ｚ軸が鉛直方向の上下方向を示し、Ｙ軸がこれらのＸ軸およびＺ軸に垂直な方向を示す。

可動テーブル１４のＺ軸方向の上部には、複数のウエハ１を密封して保管して搬送するポットやフープなどで構成される密封搬送容器２が着脱自在に載置可能になっている。密封搬送容器２は、ケーシング２ａを有する。ケーシング２ａの内部には、被処理物たるウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。ケーシング２ａは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する略箱状の形状を有する。

また、密封搬送容器２は、ケーシング２ａの開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。ケーシング２ａの内部に水平に保持されたウエハ１を鉛直方向（Ｚ軸方向）に重ねるための複数の段を有する棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定として容器２の内部に収容される。

ロードポート装置１０は、密封搬送容器２の内部に密封状態で収容してあるウエハ１を、クリーン状態を維持しながら、中間室６０の内部に、移し替えるためのインターフェース装置である。中間室６０には、単一または複数の処理室７０が気密に連結してある。処理室７０は、特に限定されないが、たとえば蒸着装置、スパッタリング装置、エッチング装置など、半導体製造プロセスで用いられる装置である。

中間室６０の内部には、ロボットアーム５０が収容してある。中間室６０の上部には、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）４０が装着してあり、そのＦＦＵ４０から中間室６０の内部に清浄な空気をダウンフローで流し、局所的清浄環境を作り出している。中間室６０の内部の清浄度は、下述する密封搬送容器２の内部の清浄度よりは低いが、外部環境の清浄度よりは高い。

ロードポート装置１０は、壁１１の壁側開口１３を開閉するドア１８を有する。壁１１は、中間室６０の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。ドア１８の動きについては、図３Ａ〜図３Ｄを用いて簡単に説明する。

図３Ａに示すように、テーブル１４の上に容器２が設置されると、容器２のケーシング２ａの下面に設けられた位置決め部３の凹部に位置決めピン１６が嵌合することにより、容器２と可動テーブル１４との位置関係が一義的に決定される。ウエハ１の保管や搬送中には、密封搬送容器２の内部は密封され、ウエハ１の周囲は、クリーンな環境に維持される。

密封搬送容器２が可動テーブル１４の上面に位置決めされて設置されると、密封搬送容器２の下面に形成してある給気ポート５と排気ポート６とが、それぞれテーブル１４の内部に配置してあるボトムパージ装置に気密に連結される。そして、容器２の下部に設けられた給気ポート５および排気ポート６を通してボトムガスパージが行われる。ボトムガスパージが行われた状態で、図３Ｂに示すように、テーブル１４がＸ軸方向に移動し、容器２の開口２ｂを気密に塞いでいる蓋４が取り付けられている開口縁２ｃが、壁１１の壁側開口１３の内部に入り込む。

それと同時に、壁１１の内部（テーブル１４とは反対側）に位置するドア１８が、容器２の蓋４に係合する。その際に、開口縁２ｃと壁側開口１３の開口縁との間はガスケットなどによりシールされ、これらの間は良好に密封される。その後に、図３Ｃに示すように、ドア１８を蓋４と共に、Ｘ軸方向に平行移動させ、あるいは回動移動させて、蓋４を開口縁２ｃから取り外し、開口２ｂを開き、開口２ｂと壁側開口１３とを通して、容器２の内部と壁１１の内部とを連通させる。

その際にも、ボトムガスパージを継続させて動作させても良い。ボトムパージに加えて、あるいはボトムパージを停止させて、壁１１の内部から容器２の内部に向けて、窒素ガスやその他の不活性ガスなどのパージガス（清浄化ガス）を吹き出させる（フロントパージ）。

次に、図３Ｄに示すように、壁１１の内部で、ドア１８をＺ軸下方に移動させれば、容器２の開口２ｂは、壁１１の内部に対して完全に開き、壁１１の内部に配置されたロボットハンド５０（図１Ａ参照）などにより、開口２ｂおよび壁側開口１３を通して、壁１１の内部に、ウエハ１の受渡が行われる。その際にも、容器２の内部および壁１１の内部は、外気から遮断され、少なくともフロントパージが継続され、容器２の内部はクリーンな環境に維持される。容器２の内部にウエハ１を戻して容器２をテーブル１４から取り外すには、上記の逆の動作を行えば良い。

なお、図面においては、理解を容易にするために、密封搬送容器２に比較して、給気ポート５、排気ポート６、ガスパージユニット２０などを拡大して図示してあるが、実際の寸法比とは異なる。

次に、図面を参照しながら、本実施形態に係るフロントパージを行うためのガスパージユニット２０について説明する。

図１Ｂに示すように、本実施形態では、壁１１に形成してある壁側開口１３は、四角形の開口面を有し、壁１１における上辺部１３ｂ、下辺部１３ｃ、二つの両側辺部１３ａで囲まれている。図３Ｄに示すように、容器２の開口２ｂは、壁側開口１３に対応する形状をしており、壁側開口１３と同じまたは少し小さな寸法に設定してある。

図１Ｂに示すように、本実施形態では、壁側開口１３の上辺部１３ｂおよび下辺部１３ｃに、それぞれ、上辺ノズル部材２２ａと下辺ノズル部材２２ｂとが、ドア１８を避けるように、壁１１の内面に取付てある。壁１１の内面とは、設置台１２とは反対側の壁１１の面である。これらの上辺ノズル部材２２ａと下辺ノズル部材２２ｂとが、ガスパージユニット２０を構成している。

図１Ｂに示すように、上辺ノズル部材２２ａと下辺ノズル部材２２ｂとは、壁側開口１３の上辺部１３ｂおよび下辺部１３ｃに、それぞれＹ軸方向に沿って、容器２の開口２ｂよりもＹ軸方向に長くなるように配置してある。

ノズル部材２２ａおよび２２ｂは、それぞれたとえばＹ軸方向に細長い管状部材で構成してあり、図１Ｃに示すように、内部に四角断面の吹き出し流路２３を有し、一つの角部に、上辺ノズル口２６ａまたは下辺ノズル口２６ｂが形成してある。

本実施形態では、図２（Ａ）に示すように、上辺ノズル口２６ａまたは下辺ノズル口２６ｂは、四角管状のノズル部材２２のＹ軸方向にそれぞれ連続して形成されたスリット状の貫通孔で構成してある。

図１Ｃに示すように、ノズル部材２２ａ，２２ｂには、必ずしも必須ではないが、給気部材２４が連結してあっても良い。本実施形態では、給気部材２４は、ノズル部材２２ａ，２２ｂと同様に、Ｙ軸方向に細長い管状部材で構成してあり、内部に四角断面の吹き出し流路２５を有する。ノズル部材２２ａ，２２ｂに形成された連通孔２７と、給気部材２４に形成された連通孔２９とは、フィルタ２１を介して連通してある。

これらの連通孔２７および２９は、たとえばＺ軸方向にそれぞれ連続して形成されたスリット状の貫通孔、または断続的に形成された貫通孔で構成してある。給気部材２４の給気流路２５を流通する清浄化ガスは、連通孔２７および２９とフィルタ２１を通して、ノズル部材２２ａ，２２ｂの吹き出し流路２３の内部に入り込み、上辺ノズル口２６ａまたは下辺ノズル口２６ｂから外部に吹き出される。

給気部材２４を用いることで、上辺ノズル口２６ａまたは下辺ノズル口２６ｂから外部に吹き出される清浄化ガスの流速をＹ軸方向により均一にすることができる。あるいは、給気部材２４を用いることで、上辺ノズル口２６ａまたは下辺ノズル口２６ｂから外部に吹き出される清浄化ガスの流速をＹ軸方向に沿って意図的に制御することも可能である。

給気部材２４を通してのノズル部材２２ａ，２２ｂへのガスの供給、あるいはノズル部材２２ａ，２２ｂへの直接のガスの供給は、図示省略してあるが、たとえば双方共に、Ｚ軸の下方向から行っても良いし、上から行っても良い。また、一方のノズル部材２２ｂでは、下方向からガスの供給を行い、他方のノズル部材２２ａでは、上方向からガスの供給を行うようにしても良い。また、一方のノズル部材２２ｂでは、Ｙ軸方向の右からガスの供給を行い、他方のノズル部材２２ａでは、Ｙ軸方向の左からガスの供給を行うようにしても良い。さらに、双方のノズル部材２２ａ，２２ｂ共に、Ｙ軸方向の同じ側からガスの供給を行うようにしても良い。

なお、本実施形態では、ノズル口２６ａ，２６ｂは、スリット状に細長い吹き出し口で構成してあるが、図２（Ｂ）に示すように、複数の吹き出し口の集合体であっても良い。また、ノズル口２６ａ，２６ｂは、管状部材の長手方向に沿って形成されたスリット状の貫通孔、円形の貫通孔、あるいは管状部材から突出したノズルの内部に形成してある貫通孔であっても良い。さらに、ノズル口２６ａ，２６ｂは、必ずしも相互に同じ種類の貫通孔で構成する必要はなく、たとえば上辺ノズル口２６ａをスリット状の貫通孔で構成し、下辺ノズル口２６ｂを複数の吹き出し口の集合体で構成しても良く、あるいは、その逆であっても良い。さらに本実施形態では、図２（Ｃ）および図２（Ｄ）に示すように、ノズル部材２２ａ，２２ｂ２２を円筒形状またはその他の筒形状にしても良い。

本実施形態では、図３Ｄに示すように、一対のノズル部材２２ａ，２２ｂは、壁側開口１３の上辺部１３ｂおよび下辺部１３ｃで壁１１の内面に、それぞれＺ軸方向に対向するように取り付けてある。そのため、上辺ノズル口２６ａから吹き出されるガスの吹き出し方向が、Ｚ軸上方から容器２の内部に向き、下辺ノズル口２６ｂから吹き出されるガスの吹き出し方向が、Ｚ軸下方から容器２の内部に向く方向になっている。

特に、本実施形態では、上辺ノズル部材２２ａと下辺ノズル部材２２ｂとにより、パージ対象容器２の内部のガス置換を行う。そのため、開口１３の側辺部１３ａには、ノズル部材を配置する必要がなくなる。たとえば図１Ａに示すウエハ搬送用のロボットアーム５０の動きには、矢印Ｒ方向の回転動作があり、その回転動作時に、従来では、開口１３の側辺部に位置するノズル部材が邪魔になることがある。本実施形態では、図３Ｄに示すように、開口１３の側辺部には、ノズル部材を配置する必要がなくなるので、ロボットアーム５０の動きを遮ることなくパージ可能となる。

また、本実施形態のパージユニット２０では、図３Ｄに示すように、開口２ｂおよび１３の上下から容器２の内部へガスを放出するため、開口部中央付近でガスが抜ける。これに対して、上側から一方のみの場合は、容器２の下部におけるガスの置換が不十分と成る恐れがある。したがって本実施形態では、特に上下方向で均一にガス置換することが可能になる。その結果、容器２内に収容してあるウエハ１などの処理対象物の品質を均一化することができる。

さらに、本実施形態では、それぞれのノズル口２６ａ，２６ｂから吹き出されるガスの流量は略同じであることが好ましいが、場合によっては異ならせても良い。

ノズル口２６ａから吹き出されるガスの流量をＱ１とし、ノズル口２６ｂから吹き出されるガスの流量をＱ２とした場合には、Ｑ１／Ｑ２を変化可能に構成しても良い。流量比を調整するために、ノズル口２６ａとノズル口２６ｂとで、開口面積を変えたり、部材２２ａ，２２ｂの内部に仕切り板を入れたり、吹き出し口の数を変えたりしても良い。

本実施形態では、これらの上辺ノズル口２６ａおよび下辺ノズル口２６ｂのＹ軸方向の長さは同じであり、図１Ｂに示すように、容器２の開口２ｂのＹ軸方向長さと実質的に同等以上であることが好ましい。このように構成することで、容器２の内部に収容してある全てのウエハ１の表裏面に、清浄化ガスが流通することになる。

ただし、本実施形態では、これらの上辺ノズル口２６ａおよび下辺ノズル口２６ｂのＹ軸方向の長さを同じにする必要はなく、異ならせても良い。また、上辺ノズル口２６ａおよび下辺ノズル口２６ｂのＹ軸方向の長さを、容器２の開口２ｂのＹ軸方向長さよりも短く形成し、Ｙ軸方向に沿って位置ずれさせても良い。

ノズル口２６ａ，２６ｂから吹き出されるガスの種類は、特に限定されないが、少なくとも壁１１の内側環境よりも清浄度が高い（パーティクルや水分などを含まない）ガスであることが必要であり、たとえば窒素ガスなどの不活性ガスが例示される。ノズル口２６ａ，２６ｂから吹き出されるガスの種類と清浄度は同じであることが好ましいが、場合によっては変化させても良い。

第２実施形態
図４に示すように、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット２０Ａでは、上辺ノズル部材２２ａおよび下辺ノズル部材２２ｂには、ノズル口２６ａ，２６ｂとは別に、上辺カーテンノズル口２８ａおよび下辺カーテンノズル口２８ｂがそれぞれ形成してある。カーテンノズル口２８ａ，２８ｂは、図１Ｄに示すように、ノズル口２６ａ．２６ｂにそれぞれ隣接して、四角管状のノズル部材２２の平面部に形成してある。このカーテンノズル口２８ａ，２８ｂからは、図４に示すように、開口２ｂおよび１３の開口面に沿う方向に清浄化ガスを吹き出すようになっている。

本実施形態では、ノズル口２６ａ，２６ｂとカーテンノズル口２８ａ，２８ｂとは、ノズル部材２２ａ，２２ｂのＹ軸方向にそれぞれ連続して形成されたスリット状の貫通孔で構成してあり、それらはＺ軸方向に所定間隔で離れて平行なノズル口である。ノズル口２６ａ，２６ｂとカーテンノズル口２８ａ，２８ｂとは、必ずしも同じ種類の貫通孔で構成する必要はなく、たとえばノズル口２６ａ，２６ｂをスリット状の貫通孔で構成し、カーテンノズル口２８ａ，２８ｂを複数の吹き出し口の集合体で構成しても良く、あるいは、その逆であっても良い。

本実施形態では、図４に示すように、一対のノズル部材２２ａ，２２ｂは、壁側開口１３の上辺部１３ｂおよび下辺部１３ｃで壁１１の内面に、それぞれ対向するように取り付けてある。そのため、ノズル口２６ａ，２６ｂから吹き出されるガスの吹き出し方向が、容器２の内部に向き、カーテンノズル口２８ａ，２８ｂから吹き出されるガスの吹き出し方向が開口１３および２ｂの開口面に沿う方向になっている。

本実施形態では、それぞれのカーテンノズル口２８，２８から吹き出されるガスの流量は略同じであることが好ましいが、場合によっては異ならせても良い。

なお、本実施形態では、これらのノズル口２６ａ，２６ｂおよびカーテンノズル口２８ａ，２８ｂのＹ軸方向の長さを同じにする必要はなく、たとえばカーテンノズル口２８ａ，２８ｂのＹ軸方向長さを、ノズル口２６ａ，２６ｂのＹ軸方向長さよりも長くしても良い。その場合には、壁１１の内側から容器２の内部への汚れた気体の流れを遮蔽する効果が高められる。

サイドノズル口２６およびカーテンノズル口２８から吹き出されるガスの種類と清浄度は同じであることが好ましいが、場合によっては変化させても良い。

本実施形態のガスパージユニット２０Ａでは、開口１３の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出すカーテンノズル口２８ａ，２８ｂが、開口１３の上辺部１３ｂおよび下辺部１３ｃに沿ってそれぞれ壁１１の内側に配置してある。このため、各カーテンノズル口２８ａ，２８ｂから吹き出されるガスの流れは、開口１３を通して容器２の外部（壁１１の内側）から容器２の内部に入り込もうとする流れを遮るカーテン流れを構成する。

本実施形態では、ノズル口２６ａ，２６ｂとカーテンノズル口２８ａ，２８ｂとが単一のノズル部材２２ａ，２２ｂに形成してある。単一のノズル部材２２ａ，２２ｂに形成することで、部品点数を削減することが可能であり、ユニット２０Ａの小型化に寄与する。

本実施形態では、カーテンノズル口２８ａ，２８ｂを用いてカーテン流れを形成することができるため、図４に示す上辺ノズル部材２２ａよりもＺ軸方向の上側に取り付けてあるダウンフロー方式のカーテンノズル３０をなくすことも可能になる。ただし、このダウンフロー方式のカーテンノズル３０を併用して用いても良い。

また、本実施形態では、上辺カーテンノズル口２８ａおよび／または下辺カーテンノズル口２８ｂは、それぞれ上辺ノズル部材２２ａおよび下辺ノズル部材２２ｂとは別のノズル部材に形成して、それらの近くに配置しても良い。

本実施形態では、上述した以外は、第１実施形態と同様な構成と作用効果を奏する。また、第１実施形態と共通する部材や符号の説明は省略する。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。

たとえば、上述した実施形態では、本発明のガスパージユニットを、ロードポート装置１０に適用したが、それ以外の装置にも適用しても良い。たとえば本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所で、クリーンな環境が求められる装置や場所に設置しても良い。

１… ウエハ
２… 密封搬送容器
２ａ… ケーシング
２ｂ… 開口
２ｃ… 開口縁
３… 位置決め部
４… 蓋
５… 給気ポート
６… 排気ポート
１０… ロードポート装置
１１… 壁
１２… 設置台
１３… 壁側開口
１３ａ… 側辺部
１３ｂ… 上辺部
１３ｂ… 下辺部
１４… 可動テーブル
１６… 位置決めピン
１８… ドア
２０，２０Ａ… ガスパージユニット
２１… フィルタ
２２ａ… 上辺ノズル部材
２２ｂ… 下辺ノズル部材
２３… 吹き出し流路
２４… 給気部材
２５… 給気流路
２６ａ… 上辺ノズル口
２６ｂ… 下辺ノズル口
２７… 連通孔
２８ａ… 上辺カーテンノズル口
２８ｂ… 下辺カーテンノズル口
２９… 連通孔
３０… カーテンノズル
４０… ＦＦＵ
５０… ロボットアーム
６０… 中間室
７０… 処理室

Claims (4)

1. 開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して、前記開口の上辺部から前記パージ対象容器の内部に向けて上から下に斜めに清浄化ガスを吹き出す上辺ノズル口が形成してある上辺ノズル部材と、
   前記開口の下辺部から前記パージ対象容器の内部に向けて下から上に斜めに清浄化ガスを吹き出す下辺ノズル口が形成してある下辺ノズル部材とを有するガスパージユニットを具備するガスパージ装置であって、
   前記パージ対象容器は、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
   前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
   前記ガスパージユニットは、前記壁の内側で、前記壁側開口の上辺部および下辺部に取り付けてあるガスパージ装置。
2. 前記上辺ノズル部材および下辺ノズル部材は、それぞれ細長い管状部材で構成してあり、内部に四角断面の吹き出し流路を有し、一つの角部に、前記上辺ノズル口または下辺ノズル口が形成してあり、
   前記上辺ノズル口および前記下辺ノズル口は、それぞれ前記開口の上辺部および下辺部の長手方向に沿って連続的または断続的に形成してある請求項１に記載のガスパージ装置
3. 前記上辺ノズル部材には、前記開口の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す上辺カーテンノズル口がさらに形成してある請求項１または２に記載のガスパージ装置。
4. 前記下辺ノズル部材には、前記開口の開口面に沿って清浄化ガスを吹き出す下辺カーテンノズル口がさらに形成してある請求項１〜３のいずれかに記載のガスパージ装置。

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