JP6489749B2 - Compressible pin assembly with contact elements connected without friction - Google Patents
Compressible pin assembly with contact elements connected without friction Download PDFInfo
- Publication number
- JP6489749B2 JP6489749B2 JP2014059617A JP2014059617A JP6489749B2 JP 6489749 B2 JP6489749 B2 JP 6489749B2 JP 2014059617 A JP2014059617 A JP 2014059617A JP 2014059617 A JP2014059617 A JP 2014059617A JP 6489749 B2 JP6489749 B2 JP 6489749B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contact element
- compressible member
- compressible
- contact pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
(関連出願)
本出願は、「摩擦なく接続された接触要素を有する圧縮性ピンアセンブリ」と題して2012年10月3日に出願された米国特許出願第13/644,125号の一部継続出願であり、前述の優先権出願は、参照としてその全体がここに組み込まれている。
(Related application)
This application is a continuation-in-part of US patent application Ser. No. 13 / 644,125 filed Oct. 3, 2012 entitled “Compressible Pin Assembly with Contact Elements Connected Frictionlessly” The priority application is incorporated herein by reference in its entirety.
(技術分野)
本発明は、概して電子デバイスの試験に使用される圧縮性コンタクトピン、および特に摩擦なく接続された接触要素を有する圧縮性ピンアセンブリに関する。
(Technical field)
The present invention relates generally to compressible contact pins used for testing electronic devices, and particularly to compressible pin assemblies having contact elements connected without friction.
ポゴピンは、集積回路(IC)デバイスの試験でしばしば使用される。ICパッケージは、通常多数の導体パッドを有し、これは、外部回路へのインターフェースまたは接続点として機能する。これらの導体パッドは、非常に小さく、かつ繊細である。したがって、ICデバイスの機能または性能を試験するために使用される試験装置は、パッドを損傷することなくICデバイス上の1または複数の導体パッドと接触することができなければならない。そうでなければ、デバイスは、意図した目的のために使用することができなくなる場合がある。ポゴピンの設計および圧縮性により、ICデバイスまたはデバイス上の導体パッドと接触することができる。 Pogo pins are often used in integrated circuit (IC) device testing. IC packages usually have a large number of conductor pads, which serve as interfaces or connection points to external circuits. These conductor pads are very small and delicate. Therefore, the test equipment used to test the function or performance of the IC device must be able to contact one or more conductor pads on the IC device without damaging the pads. Otherwise, the device may not be usable for the intended purpose. The pogo pin design and compressibility allow contact with IC devices or conductor pads on the device.
図1は、典型的なポゴピンの従来技術による実施形態を示す。ポゴピン100は、バネ130およびハウジング140によって共に保持された2つの接触要素110および120で構成されている。第1接触要素110は、ICデバイスの導体パッドに確実に接触するよう設計されている。第2接触要素120を試験装置の回路に接続することができる。第1および第2接触要素110および120は、ハウジング140を介して共に電気的に結合されて、ポゴピン100の端部の間の接続をブリッジするため、試験装置およびICデバイス間で電気信号を送信することができる。 FIG. 1 shows a prior art embodiment of a typical pogo pin. The pogo pin 100 is composed of two contact elements 110 and 120 held together by a spring 130 and a housing 140. The first contact element 110 is designed to ensure contact with the conductor pads of the IC device. The second contact element 120 can be connected to the circuit of the test apparatus. The first and second contact elements 110 and 120 are electrically coupled together via the housing 140 to transmit electrical signals between the test equipment and the IC device to bridge the connection between the ends of the pogo pins 100. can do.
ポゴピン100がICデバイスおよび試験装置の間に挟まれる場合、バネ130が圧縮して、第1接触要素110によってICデバイスの導体パッドに力を加える。しかし、ICデバイスおよび試験装置間の電気接続を維持するために、圧縮量または下層ICデバイスとの接触力による変位に関わらず、第1および第2接触要素110および120は、ハウジング140とコンスタントに接触したままでなければならない。したがって、ポゴピン100が圧縮および伸張されると、第1および第2接触要素110および120は、ハウジング140の内壁に擦りつけなければならず、接触抵抗が生じる。第1および第2接触要素110および120とハウジング140との間の摩擦は、各第1および第2接触要素110および120がハウジング140と接触する面150の磨耗および引裂きを引き起こす。これにより今度は、接触抵抗が増加する。このような磨耗および引裂きは、増加する接触抵抗に加えて、ポゴピン100によって送信された信号の品質を徐々に低減することがある。 When the pogo pin 100 is sandwiched between the IC device and the test apparatus, the spring 130 compresses and applies a force to the conductor pad of the IC device by the first contact element 110. However, in order to maintain an electrical connection between the IC device and the test apparatus, the first and second contact elements 110 and 120 are constantly in contact with the housing 140 regardless of the amount of compression or displacement due to contact force with the underlying IC device. Must remain in contact. Thus, when the pogo pin 100 is compressed and extended, the first and second contact elements 110 and 120 must rub against the inner wall of the housing 140, resulting in contact resistance. Friction between the first and second contact elements 110 and 120 and the housing 140 causes wear and tear of the surface 150 where each first and second contact element 110 and 120 contacts the housing 140. This in turn increases the contact resistance. Such wear and tear, in addition to increasing contact resistance, may gradually reduce the quality of the signal transmitted by the pogo pin 100.
したがって、信号の品質の損失無しに、継続的な使用に耐えることができる圧縮性コンタクトピンが必要である。より具体的には、部品の相当な磨耗および引裂きなく、および/または接触抵抗を増加させることなくコンタクトピンが圧縮および伸張することができるように、摩擦なく接続される接触要素からなる圧縮性コンタクトピンが必要である。
Therefore, there is a need for compressible contact pins that can withstand continued use without loss of signal quality. More specifically, a compressible contact consisting of contact elements connected without friction so that the contact pin can be compressed and stretched without substantial wear and tear of the parts and / or without increasing contact resistance. A pin is required.
本発明の実施形態は、一例として示され、添付図面の図によって限定されるものではない。同様の参照符号は、図面を通して対応する部品を指している。 The embodiments of the present invention are shown by way of example and are not limited by the figures of the accompanying drawings. Like reference numerals refer to corresponding parts throughout the drawings.
摩擦なく接続された接触要素を有する圧縮性コンタクトピンが開示される。以下の記載では、説明の目的のために、特定の用語は、本発明の完全な理解を提供するために記載されている。しかし、これらの特定の詳細が本発明を実施するために必要とされない場合があることは、当業者には明らかであろう。いくつかの例では、回路素子間の相互接続は、バスまたは単一の信号線として示されてもよい。あるいは各バスは、単一の信号線としてもよく、あるいは各単一の信号線は、バスでもよい。本明細書で使用される場合、「摩擦なし(frictionless)」または「摩擦なく(frictionlessly)」との言及は、2つ以上の構成要素が移動可能に互いに結合する場合に、面と面との接触がない、または摩擦がないことを指す。さらに、「導体パッド」および「接点バンプ」という語句は、本明細書において互換的に使用することができる。したがって、本発明は、本明細書で記載された特定の例に限定されると解釈されるものではなく、特許請求の範囲に定義された全ての実施形態の範囲を含むものである。 A compressible contact pin having contact elements connected without friction is disclosed. In the following description, for the purposes of explanation, certain terminology is set forth in order to provide a thorough understanding of the present invention. However, it will be apparent to those skilled in the art that these specific details may not be required to practice the invention. In some examples, the interconnection between circuit elements may be shown as a bus or a single signal line. Alternatively, each bus may be a single signal line, or each single signal line may be a bus. As used herein, reference to “frictionless” or “frictionlessly” refers to a face-to-face when two or more components are movably coupled to each other. Refers to no contact or friction. Further, the phrases “conductor pad” and “contact bump” can be used interchangeably herein. Accordingly, the invention is not to be construed as limited to the particular examples described herein, but is to include the scope of all embodiments as defined in the claims.
本発明の実施形態は、信号経路に沿った可動部品に対して接触力がない圧縮性コンタクトピンを提供する。圧縮性コンタクトピンの接触要素は、共に摩擦なく連結されるため、ピンが圧縮および伸張する場合に、接触要素の表面は、圧縮性コンタクトピンの任意の他の表面に擦られない、または接触することがない。特定の実施形態において、圧縮性コンタクトピンは、コンタクトピンが圧縮される場合に屈曲する、または曲がるよう変形可能な導体を介して接続された2つの接触要素を含む。他の実施形態は、圧縮性コンタクトピンがハウジング内に配置されたコンタクトピンアセンブリを提供し、ハウジングは、コンタクトピンのための構造上の支持を提供し、かつ接触要素の横移動を防ぐ。 Embodiments of the present invention provide compressible contact pins that have no contact force with respect to moving parts along the signal path. The contact elements of the compressible contact pin are joined together without friction so that when the pin compresses and stretches, the surface of the contact element does not rub or contact any other surface of the compressible contact pin There is nothing. In certain embodiments, the compressible contact pin includes two contact elements connected via a conductor that is deformable to bend or bend when the contact pin is compressed. Other embodiments provide a contact pin assembly in which a compressible contact pin is disposed within the housing, the housing provides structural support for the contact pin and prevents lateral movement of the contact element.
図2Aおよび図2Bは、摩擦なく接続された接触要素を有する圧縮性コンタクトピンの実施形態を示す。圧縮性コンタクトピン200は、第1接触要素210、第2接触要素220、圧縮性部材230、および変形可能な導体240を含む。いくつかの実施形態では、第1接触要素210の形または幾何学形状は、第1接触要素210がICデバイスの導体パッド(または接点「パンプ」)に接触することができるように設計される。同様に、第2接触要素220の形は、第2接触要素220が試験装置の回路に接触することができるように設計されることができる。 2A and 2B show an embodiment of a compressible contact pin having contact elements connected without friction. The compressible contact pin 200 includes a first contact element 210, a second contact element 220, a compressible member 230, and a deformable conductor 240. In some embodiments, the shape or geometry of the first contact element 210 is designed such that the first contact element 210 can contact a conductor pad (or contact “pump”) of the IC device. Similarly, the shape of the second contact element 220 can be designed such that the second contact element 220 can contact the circuitry of the test apparatus.
圧縮性部材230は、第1および第2接触要素210および220間の離間距離を保持し、したがってコンタクトピン200が「自然な」または非圧縮状態の場合にコンタクトピン200の「リーチ」に延在する。さらに、圧縮性部材230は、ICデバイスまたは試験装置に接触する場合に、1または複数の接触要素210および220によって加えられた力のいくらかを吸収する。例えば、第1接触要素210がICデバイスまたはパッケージの導体パッドと接触するようになる場合、圧縮性部材230は、図2Bに示すように第1接触要素210の内向きの移動を許容するように圧縮する。これは、導体パッドとの強固な接触および/または接続を形成するために、第1接触要素210が下層ICデバイスの導体パッドに力を加える原因となる。第1接触要素210がICデバイスの導体パッドに対してもはや圧縮されない場合、圧縮性部材230は、自然な非圧縮状態に戻る。 The compressible member 230 maintains a separation distance between the first and second contact elements 210 and 220 and thus extends to the “reach” of the contact pin 200 when the contact pin 200 is in a “natural” or uncompressed state. To do. Further, the compressible member 230 absorbs some of the force applied by the one or more contact elements 210 and 220 when contacting the IC device or test apparatus. For example, if the first contact element 210 comes into contact with a conductor pad of an IC device or package, the compressible member 230 may allow inward movement of the first contact element 210 as shown in FIG. 2B. Compress. This causes the first contact element 210 to exert a force on the conductor pads of the underlying IC device in order to form a strong contact and / or connection with the conductor pads. If the first contact element 210 is no longer compressed against the conductor pads of the IC device, the compressible member 230 returns to its natural uncompressed state.
変形可能な導体240は、第1接触要素210を第2接触要素220に電気的に結合して、第1および第2接触要素210および220間の電気信号(または電流)の流れを促進する。図2Bに示すように、コンタクトピン200が圧縮される場合に、変形可能な導体240は、変形する(例えば屈曲する、または曲がる)。これにより、コンタクトピン200の圧縮の程度に関わらず、第1接触要素210が第2接触要素220と電気的に連結されたままとなることができる。さらに、第1および第2接触要素210および220の表面、または変形可能な導体240が、圧縮性コンタクトピン200の任意の他の表面と擦りあうことがないため、コンタクトピン200の圧縮は、接触要素210および220または変形可能な導体240との間の摩擦を生じない。 The deformable conductor 240 electrically couples the first contact element 210 to the second contact element 220 and facilitates electrical signal (or current) flow between the first and second contact elements 210 and 220. As shown in FIG. 2B, when the contact pin 200 is compressed, the deformable conductor 240 deforms (eg, bends or bends). This allows the first contact element 210 to remain electrically connected to the second contact element 220 regardless of the degree of compression of the contact pin 200. In addition, the compression of the contact pin 200 is in contact with the surface of the first and second contact elements 210 and 220, or the deformable conductor 240 does not rub against any other surface of the compressible contact pin 200. There is no friction between elements 210 and 220 or deformable conductor 240.
いくつかの実施形態では、圧縮性部材230は、外力または圧力の下で圧縮するが、外力が加えられないと自然と非圧縮状態に戻るバネまたはバネ状構造とすることができる。さらに、圧縮性部材230は、非導電材料から形成され(または被覆され)、これは、第1および第2接触要素210および220間の電気信号の流れを妨げない。他の実施形態において、圧縮性部材230は、単に変形可能な導体240よりも高い電気インピーダンスを有し、第1および第2接触要素210および220間で伝達される電気信号が、変形可能な導体240に沿ってのみ移動することを確実にする。圧縮性部材230は、当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、第1および第2接触要素210および220に取り付けられることができる。例えば、各接触要素210および220は、接着材料(例えば接着剤)を用いて圧縮性部材230の異なる端部に取り付けることができる。あるいは、圧縮性部材230の端部は、各第1および第2接触要素210および220に溶接、またははんだ付けすることができる。 In some embodiments, the compressible member 230 can be a spring or spring-like structure that compresses under an external force or pressure, but naturally returns to an uncompressed state when no external force is applied. Further, the compressible member 230 is formed (or coated) from a non-conductive material that does not impede the flow of electrical signals between the first and second contact elements 210 and 220. In other embodiments, the compressible member 230 has a higher electrical impedance than the deformable conductor 240 so that the electrical signal transmitted between the first and second contact elements 210 and 220 can be deformed. Ensure that it moves only along 240. The compressible member 230 can be attached to the first and second contact elements 210 and 220 using any number of processes well known in the art. For example, each contact element 210 and 220 can be attached to a different end of the compressible member 230 using an adhesive material (eg, an adhesive). Alternatively, the end of the compressible member 230 can be welded or soldered to each first and second contact element 210 and 220.
いくつかの実施形態では、変形可能な導体240は、外力が加えられた場合に変形するよう構造的に構成することができる。あるいは、変形可能な導体240は、銅線などの圧縮されると自然に変形する導電材料とすることができる。当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、変形可能な導体240を第1および第2接触要素210および220に個別に取り付けることができる。例えば、変形可能な導体240の端部を第1および第2接触要素210および220にそれぞれ溶接、またははんだ付けすることができる(例えば、レーザー溶接および/またははんだ付け技術を用いて)。 In some embodiments, the deformable conductor 240 can be structurally configured to deform when an external force is applied. Alternatively, the deformable conductor 240 can be a conductive material that naturally deforms when compressed, such as a copper wire. The deformable conductor 240 can be individually attached to the first and second contact elements 210 and 220 using any number of processes well known in the art. For example, the end of the deformable conductor 240 can be welded or soldered to the first and second contact elements 210 and 220, respectively (eg, using laser welding and / or soldering techniques).
第1および第2接触要素210および220の摩擦のない連結は、圧縮性コンタクトピン200の信号経路に沿った磨耗および引裂きを低減し、繰り返し使用した後でもコンタクトピン200を介して送信された電気信号の信号完全性を保つため好都合である。これは今度は、圧縮性コンタクトピン200の使用可能時間を長くする。 The friction-free connection of the first and second contact elements 210 and 220 reduces wear and tear along the signal path of the compressible contact pin 200, and the electrical power transmitted through the contact pin 200 even after repeated use. It is convenient to preserve the signal integrity of the signal. This in turn increases the usable time of the compressible contact pin 200.
図3は、摩擦なく接続された接触要素を有する圧縮性コンタクトピンの他の実施形態を示す。圧縮性コンタクトピン300は、第1接触要素310、第2接触要素320、圧縮性部材330、および変形可能な導体340を含む。第1および第2接触要素310および320は、圧縮性部材330を介して機械的に連結され、これは、コンタクトピン300が非圧縮状態の場合に第1および第2接触要素310および320の間の離間距離を保持する。変形可能な導体340は、第1接触要素310を第2接触要素320に電気的に結合して、第1および第2接触要素310および320間の電気信号の流れを促進する。 FIG. 3 shows another embodiment of a compressible contact pin having contact elements connected without friction. The compressible contact pin 300 includes a first contact element 310, a second contact element 320, a compressible member 330, and a deformable conductor 340. The first and second contact elements 310 and 320 are mechanically coupled via a compressible member 330, which is between the first and second contact elements 310 and 320 when the contact pin 300 is in an uncompressed state. The separation distance is maintained. The deformable conductor 340 electrically couples the first contact element 310 to the second contact element 320 and facilitates electrical signal flow between the first and second contact elements 310 and 320.
第1接触要素310の形は、第1接触要素310がICデバイスの導体パッドに接触するように設計されることができる。実施形態において、第1接触要素310の基部(例えば変形可能な導体340が取り付けられる場所)は、コンタクトピン300をハウジングまたは支持構造体内に保持するために使用される拡張へり部を有し、これは、図4Aおよび図4Bに関してより詳細に説明される。さらに、拡張へり部は、ハウジング内で移動する際に第1接触要素310の全体の磨耗および引裂きを減らすことができる。第2接触要素320の形は、第2接触要素320が試験装置の回路に接触するように設計されることができる。実施形態によると、第2接触要素320基部はまた拡張へり部を有しこれは、コンタクトピン300をハウジング内に保持する、および/またはハウジング内で移動する際に磨耗および引裂きを減らすために使用される。 The shape of the first contact element 310 can be designed such that the first contact element 310 contacts a conductor pad of the IC device. In an embodiment, the base of the first contact element 310 (eg, where the deformable conductor 340 is attached) has an extension lip that is used to hold the contact pin 300 within the housing or support structure. Is described in more detail with respect to FIGS. 4A and 4B. Further, the extension lip can reduce overall wear and tear of the first contact element 310 as it moves within the housing. The shape of the second contact element 320 can be designed such that the second contact element 320 contacts the circuit of the test apparatus. According to embodiments, the second contact element 320 base also has an extension lip that is used to hold the contact pin 300 in the housing and / or reduce wear and tear when moving within the housing. Is done.
図4Aは、圧縮性コンタクトピンアセンブリの実施形態を示す。コンタクトピンアセンブリ400は、第1接触要素310、第2接触要素320、圧縮性部材330、変形可能な導体340、およびハウジング410を含む。第1および第2接触要素310および320、圧縮性部材330、および変形可能な導体340は、図3に示す圧縮性コンタクトピン300を共同で形成する。試験装置がICデバイスに相互接続する場合にハウジング410は、コンタクトピン300を所定の場所に保持する。例えば、ハウジング410の底面は、第1接触要素310の基部が通って適合するほど幅広ではない開口部を有することができる。さらに、ハウジング410は、第1および第2接触要素310および320の移動または変位を案内することにより圧縮性コンタクトピン300のための構造支持を提供する。 FIG. 4A shows an embodiment of a compressible contact pin assembly. Contact pin assembly 400 includes a first contact element 310, a second contact element 320, a compressible member 330, a deformable conductor 340, and a housing 410. The first and second contact elements 310 and 320, the compressible member 330, and the deformable conductor 340 jointly form the compressible contact pin 300 shown in FIG. The housing 410 holds the contact pins 300 in place when the test equipment is interconnected to the IC device. For example, the bottom surface of the housing 410 can have an opening that is not wide enough for the base of the first contact element 310 to fit through. Further, the housing 410 provides structural support for the compressible contact pin 300 by guiding the movement or displacement of the first and second contact elements 310 and 320.
図4Bは、圧縮性コンタクトピン300が圧縮状態の図4Aのコンタクトピンアセンブリを示す。図4Bに示すように、第2接触要素320は、試験装置430に接触し、かつ第1接触要素310は、ICデバイス420の接点バンプに接触させられる。これにより、圧縮性部材330を圧縮させ、したがって第1接触要素310は、ICデバイス420の接点バンプに力を加える。圧縮性部材330が圧縮すると変形可能な導体340はまた、変形する(例えば屈曲する、または曲がる)。それに応じて、第1および第2接触要素310および320、または変形可能な導体340の任意の面が、圧縮性コンタクトピン300の任意の他の面に擦りつけられることなく、変形可能な導体340は、第1接触要素310および第2接触要素320の間の電気接続を維持する。したがって変形可能な導体340は、相当の磨耗または引裂きなく試験装置430およびICデバイス420間の電気信号の送信を促進する。 FIG. 4B shows the contact pin assembly of FIG. 4A with the compressible contact pin 300 in a compressed state. As shown in FIG. 4B, the second contact element 320 contacts the test apparatus 430 and the first contact element 310 is brought into contact with the contact bump of the IC device 420. This compresses the compressible member 330 and thus the first contact element 310 applies a force to the contact bumps of the IC device 420. As the compressible member 330 compresses, the deformable conductor 340 also deforms (eg, bends or bends). Accordingly, the first and second contact elements 310 and 320, or any surface of the deformable conductor 340, without being rubbed against any other surface of the compressible contact pin 300, the deformable conductor 340. Maintains an electrical connection between the first contact element 310 and the second contact element 320. The deformable conductor 340 thus facilitates the transmission of electrical signals between the test apparatus 430 and the IC device 420 without appreciable wear or tear.
いくつかの実施形態では、圧縮性部材330は、外力または圧力の下で圧縮するが、外力が加えられないと自然と非圧縮状態に戻るバネまたはバネ状構造とすることができる。さらに、圧縮性部材330は、非導電材料から形成されることができる。あるいは、圧縮性部材330は、変形可能な導体340よりも高い電気インピーダンスを有することができる。圧縮性部材330は、当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、第1および第2接触要素310および320に取り付けられることができる。例えば、各接触要素310および320は、接着材料(例えば接着剤)を用いて圧縮性部材330の異なる端部に取り付けることができる。あるいは、圧縮性部材330の端部は、第1および第2接触要素310および320に溶接、またははんだ付けすることができる。 In some embodiments, the compressible member 330 can be a spring or spring-like structure that compresses under external force or pressure, but naturally returns to an uncompressed state when no external force is applied. Further, the compressible member 330 can be formed from a non-conductive material. Alternatively, the compressible member 330 can have a higher electrical impedance than the deformable conductor 340. The compressible member 330 can be attached to the first and second contact elements 310 and 320 using any number of processes well known in the art. For example, each contact element 310 and 320 can be attached to a different end of the compressible member 330 using an adhesive material (eg, an adhesive). Alternatively, the end of the compressible member 330 can be welded or soldered to the first and second contact elements 310 and 320.
いくつかの実施形態では、変形可能な導体340は、外力が加えられた場合に変形するよう構造的に構成することができる。あるいは、変形可能な導体340は、銅線などの圧縮されると自然に変形する導電材料とすることができる。当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、変形可能な導体340を第1および第2接触要素310および320に個別に取り付けることができる。例えば、変形可能な導体340の端部を第1および第2接触要素310および320に溶接、またははんだ付けすることができる。 In some embodiments, the deformable conductor 340 can be structurally configured to deform when an external force is applied. Alternatively, the deformable conductor 340 can be a conductive material that naturally deforms when compressed, such as a copper wire. The deformable conductor 340 can be individually attached to the first and second contact elements 310 and 320 using any number of processes well known in the art. For example, the end of the deformable conductor 340 can be welded or soldered to the first and second contact elements 310 and 320.
いくつかの実施形態では、ハウジング410は、非導電材料から形成されることができる。さらに、ハウジング410は、図3に示すような圧縮性コンタクトピン300に類似した多数の圧縮性コンタクトピンを保持するように構成されることができる。例えば、コンタクトピンアセンブリ400は、プローブカードに関連したプローブヘッドに対応させることができる。 In some embodiments, the housing 410 can be formed from a non-conductive material. Further, the housing 410 can be configured to hold a number of compressible contact pins similar to the compressible contact pin 300 as shown in FIG. For example, contact pin assembly 400 can correspond to a probe head associated with a probe card.
第1および第2接触要素310および320の摩擦のない連結は、圧縮性コンタクトピン300の信号経路に沿った磨耗および引裂きを低減し、繰り返し使用した後でもコンタクトピン300を介して送信された電気信号の信号完全性を保つため好都合である。さらに、ハウジング410は、ICデバイスおよび試験装置それぞれに接触させる場合に、第1および第2接触要素310および320の横の移動および/または変位を制限しながら、コンタクトピンアセンブリ400の構造の剛性を維持する。 The frictionless connection of the first and second contact elements 310 and 320 reduces wear and tear along the signal path of the compressible contact pin 300, and the electrical power transmitted through the contact pin 300 even after repeated use. It is convenient to preserve the signal integrity of the signal. Further, the housing 410 provides rigidity to the structure of the contact pin assembly 400 while limiting lateral movement and / or displacement of the first and second contact elements 310 and 320 when contacting the IC device and test equipment, respectively. maintain.
図5Aは、圧縮性コンタクトピンアセンブリの他の実施形態を示す。コンタクトピンアセンブリ500は、第1接触要素210、第2接触要素220、圧縮性部材230、変形可能な導体240、およびハウジング550を含む。第1および第2接触要素210および220、圧縮性部材230、および変形可能な導体240は、図2Aおよび図2Bに関して上述した圧縮性コンタクトピン200を共同で形成する。しかし、この実施形態において、圧縮性部材230は、接触要素210および220の直径と比較してより広い直径を有する。ハウジング550は、試験装置がICデバイスと相互接続する場合に、コンタクトピン200を所定の場所に保持する。例えば、ハウジング550の底面は、圧縮性部材230が通って適合するほど幅広ではない開口部を有することができる。さらに、ハウジング550は、第1および第2接触要素210および220の移動または変位を案内することにより圧縮性コンタクトピン200のための構造支持を提供する。 FIG. 5A illustrates another embodiment of a compressible contact pin assembly. Contact pin assembly 500 includes a first contact element 210, a second contact element 220, a compressible member 230, a deformable conductor 240, and a housing 550. The first and second contact elements 210 and 220, the compressible member 230, and the deformable conductor 240 jointly form the compressible contact pin 200 described above with respect to FIGS. 2A and 2B. However, in this embodiment, the compressible member 230 has a wider diameter compared to the diameter of the contact elements 210 and 220. The housing 550 holds the contact pins 200 in place when the test apparatus interconnects with the IC device. For example, the bottom surface of the housing 550 can have an opening that is not wide enough for the compressible member 230 to fit through. Furthermore, the housing 550 provides structural support for the compressible contact pin 200 by guiding the movement or displacement of the first and second contact elements 210 and 220.
図5Bは、圧縮性コンタクトピン200が圧縮状態の図5Aのコンタクトピンアセンブリを示す。図5Bに示すように、第2接触要素220は、試験装置530に接触し、かつ第1接触要素210は、ICデバイス520の接点バンプに接触させられる。これにより、圧縮性部材230を圧縮させ、したがって第1接触要素210は、ICデバイス520の接点バンプに力を加える。圧縮性部材230が圧縮すると変形可能な導体240はまた、変形する(例えば屈曲する、または曲がる)。それに応じて、第1および第2接触要素210および220、または変形可能な導体240の任意の面が、圧縮性コンタクトピン200の任意の他の面に擦りつけられることなく、変形可能な導体240は、第1接触要素210および第2接触要素220の間の電気接続を維持する。 FIG. 5B shows the contact pin assembly of FIG. 5A with the compressible contact pin 200 in a compressed state. As shown in FIG. 5B, the second contact element 220 contacts the test apparatus 530 and the first contact element 210 is brought into contact with the contact bump of the IC device 520. This compresses the compressible member 230 and thus the first contact element 210 applies a force to the contact bumps of the IC device 520. As the compressible member 230 compresses, the deformable conductor 240 also deforms (eg, bends or bends). Accordingly, the first and second contact elements 210 and 220 or any surface of the deformable conductor 240 is not rubbed against any other surface of the compressible contact pin 200 and the deformable conductor 240. Maintains an electrical connection between the first contact element 210 and the second contact element 220.
いくつかの実施形態では、圧縮性部材230は、外力または圧力の下で圧縮するが、外力が加えられないと自然と非圧縮状態に戻るバネまたはバネ状構造とすることができる。さらに、圧縮性部材230は、非導電材料から形成されることができる。あるいは、圧縮性部材230は、変形可能な導体240よりも高い電気インピーダンスを有することができる。圧縮性部材230は、当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、第1および第2接触要素210および220に取り付けられることができる。例えば、各接触要素210および220は、接着材料を用いて圧縮性部材230の異なる端部に取り付けることができる。あるいは、圧縮性部材230の端部は、第1および第2接触要素210および220に溶接、またははんだ付けすることができる。 In some embodiments, the compressible member 230 can be a spring or spring-like structure that compresses under an external force or pressure, but naturally returns to an uncompressed state when no external force is applied. Further, the compressible member 230 can be formed from a non-conductive material. Alternatively, the compressible member 230 can have a higher electrical impedance than the deformable conductor 240. The compressible member 230 can be attached to the first and second contact elements 210 and 220 using any number of processes well known in the art. For example, each contact element 210 and 220 can be attached to a different end of the compressible member 230 using an adhesive material. Alternatively, the end of the compressible member 230 can be welded or soldered to the first and second contact elements 210 and 220.
いくつかの実施形態では、変形可能な導体240は、外力が加えられた場合に変形するよう構造的に構成することができる。あるいは、変形可能な導体240は、銅線などの圧縮されると自然に変形する導電材料とすることができる。当技術分野で良く知られている任意の数のプロセスを用いて、変形可能な導体240を第1および第2接触要素210および220に個別に取り付けることができる。例えば、変形可能な導体240の端部を第1および第2接触要素210および220に溶接、またははんだ付けすることができる。いくつかの実施形態では、ハウジング550は、非導電材料から形成されることができる。さらに、ハウジング550は、多数の圧縮性コンタクトピンを保持するように構成されることができる。 In some embodiments, the deformable conductor 240 can be structurally configured to deform when an external force is applied. Alternatively, the deformable conductor 240 can be a conductive material that naturally deforms when compressed, such as a copper wire. The deformable conductor 240 can be individually attached to the first and second contact elements 210 and 220 using any number of processes well known in the art. For example, the end of the deformable conductor 240 can be welded or soldered to the first and second contact elements 210 and 220. In some embodiments, the housing 550 can be formed from a non-conductive material. Further, the housing 550 can be configured to hold a number of compressible contact pins.
図6は、エラストマーコネクタを有する圧縮性コンタクトピンアセンブリ600の実施形態を示す。圧縮性コンタクトピン600は、第1接触要素610、第2接触要素620、圧縮性部材630、および変形可能な導体640を含む。上述したように、第1接触要素610の形または幾何学形状は、第1接触要素610がICデバイスの導体パッドまたはバンプに接触することができるように設計されることができる。さらに、第2接触要素620の形は、第2接触要素620が試験装置の回路に接触することができるように設計されることができる。いつくかの実施形態では、第2接触要素620の基部の直径は、圧縮性部材630の直径より広く、したがって第2接触要素620の少なくとも一部分は、圧縮性部材630の外周を越えて延在している(例えばハウジングまたは支持構造内にコンタクトピン600を保持するために)。さらに、第1接触要素610の基部の直径は、圧縮性部材630の直径と等しいか、または小さくすることができることに留意すべきである。 FIG. 6 illustrates an embodiment of a compressible contact pin assembly 600 having an elastomeric connector. The compressible contact pin 600 includes a first contact element 610, a second contact element 620, a compressible member 630, and a deformable conductor 640. As described above, the shape or geometry of the first contact element 610 can be designed such that the first contact element 610 can contact the conductor pads or bumps of the IC device. Further, the shape of the second contact element 620 can be designed such that the second contact element 620 can contact the circuit of the test apparatus. In some embodiments, the diameter of the base of the second contact element 620 is wider than the diameter of the compressible member 630 so that at least a portion of the second contact element 620 extends beyond the outer periphery of the compressible member 630. (E.g., to hold the contact pin 600 in a housing or support structure). Furthermore, it should be noted that the diameter of the base of the first contact element 610 can be equal to or smaller than the diameter of the compressible member 630.
圧縮性部材630は、コンタクトピン600が自然なまたは非圧縮状態の場合に第1および第2接触要素610および620の間の離間距離を保持する。ICデバイスおよび/または試験装置に接触するように配置された場合に、圧縮性部材630は、1または複数の接触要素610および620に加えられた力のいくらかを吸収する。いくつかの実施形態では、圧縮性部材630は、外力または圧力によって圧縮するが、外力が加えられない場合に自然に非圧縮状態に戻るバネまたはバネ状構造とすることができる。さらに、いくつかの実施形態では、圧縮性部材630は、第1および第2接触要素610および620間の電気信号の流れを妨げない非導電材料から形成する(または非導電材料によって被覆される)ことができる。他の実施形態において、圧縮性部材630は、変形可能な導体640よりも高い電気インピーダンスを有すことができ、第1および第2接触要素610および620間で伝達される電気信号が変形可能な導体640のみを介して伝わることを確実にする。圧縮性部材630は、接着材料(例えば接着剤)を用いて各接触要素610および620に取り付けることができる。あるいは、圧縮性部材630の端部は、各第1および第2接触要素610および620に溶接、またははんだ付けすることができる。 The compressible member 630 maintains a separation distance between the first and second contact elements 610 and 620 when the contact pin 600 is in a natural or uncompressed state. The compressible member 630 absorbs some of the force applied to the one or more contact elements 610 and 620 when placed in contact with the IC device and / or test apparatus. In some embodiments, the compressible member 630 can be a spring or spring-like structure that compresses with an external force or pressure, but naturally returns to an uncompressed state when no external force is applied. Further, in some embodiments, the compressible member 630 is formed from (or is covered by) a non-conductive material that does not interfere with the flow of electrical signals between the first and second contact elements 610 and 620. be able to. In other embodiments, the compressible member 630 can have a higher electrical impedance than the deformable conductor 640 and the electrical signal transmitted between the first and second contact elements 610 and 620 can be deformed. Ensure that it travels only through conductor 640. The compressible member 630 can be attached to each contact element 610 and 620 using an adhesive material (eg, an adhesive). Alternatively, the end of the compressible member 630 can be welded or soldered to each first and second contact element 610 and 620.
変形可能な導体640は、第1接触要素610を第2接触要素620に電気的に結合して、第1および第2接触要素610および620間の電気信号の流れ(または電流)を促進する。いくつかの実施形態では、変形可能な導体640は、エラストマーコネクタである。エラストマーコネクタは、弾性(例えばシリコン)シールド644内に配置された(銀メッキニッケルなどの)導電粒子642の柱を含む。導電粒子642は、互いに接触して、第1接触要素610を第2接触要素620に架橋する導電材料の柱を形成する。コンタクトピン600が圧縮する場合、弾性シールド644が「変形」(例えば横方向に伸びる)することにより、導電粒子642が互いに押しあう、および/または互いに圧迫することができ、これによりピン600が圧縮される間第1接触要素610および第2接触要素620間の電気接続を維持する。第1および第2接触要素610および620の表面、または変形可能な導体640が、圧縮性コンタクトピン600の任意の他の表面と擦りあうことがないため、コンタクトピン600の圧縮は、接触要素610および620または変形可能な導体640の間の摩擦を生じないということに留意すべきである。 The deformable conductor 640 electrically couples the first contact element 610 to the second contact element 620 to facilitate electrical signal flow (or current) between the first and second contact elements 610 and 620. In some embodiments, the deformable conductor 640 is an elastomeric connector. The elastomeric connector includes a column of conductive particles 642 (such as silver-plated nickel) disposed within an elastic (eg, silicon) shield 644. The conductive particles 642 form a column of conductive material that contacts each other and bridges the first contact element 610 to the second contact element 620. When the contact pin 600 compresses, the elastic shield 644 “deforms” (e.g., extends laterally) so that the conductive particles 642 can press and / or compress each other, thereby compressing the pin 600. During this time, the electrical connection between the first contact element 610 and the second contact element 620 is maintained. Because the surface of the first and second contact elements 610 and 620 or the deformable conductor 640 does not rub against any other surface of the compressible contact pin 600, compression of the contact pin 600 may cause contact element 610 to compress. Note that there is no friction between 620 and 620 or deformable conductor 640.
変形可能な導体640は、従来技術において既知の任意の数のプロセスを用いて第1および第2接触要素610および620に取り付けることができる。例えば、弾性シールド644の端部は、接着材料(例えば接着剤)を用いて第1および第2接触要素610および620にそれぞれ取り付けることができる。いくつかの実施形態では、変形可能な導体640は、第1および第2接触要素610および620間に加えられる力によって所定の場所に保持されることができる。例えば、変形可能な導体640を所定の場所に保持する力は、(例えば圧縮および/または非圧縮状態の)圧縮性部材630における張力によって提供されることができる。 The deformable conductor 640 can be attached to the first and second contact elements 610 and 620 using any number of processes known in the prior art. For example, the ends of the elastic shield 644 can be attached to the first and second contact elements 610 and 620, respectively, using an adhesive material (eg, an adhesive). In some embodiments, the deformable conductor 640 can be held in place by a force applied between the first and second contact elements 610 and 620. For example, the force that holds the deformable conductor 640 in place can be provided by tension in the compressible member 630 (eg, in a compressed and / or uncompressed state).
図7は、エラストマーコネクタを有する圧縮性コンタクトピンアセンブリ700の他の実施形態を示す。圧縮性コンタクトピン700は、第1接触要素710、第2接触要素720、圧縮性部材730、および変形可能な導体740を含む。第1および第2接触要素710および720は、図6に関して上述したような第1および第2接触要素610および620それぞれと同じ、または実質的に類似した特徴を有することができる。さらに、圧縮性部材730は、図6に関して上述した圧縮性部材630と同じまたは実質的に類似した機能を果たすことができる。 FIG. 7 illustrates another embodiment of a compressible contact pin assembly 700 having an elastomeric connector. The compressible contact pin 700 includes a first contact element 710, a second contact element 720, a compressible member 730, and a deformable conductor 740. The first and second contact elements 710 and 720 can have the same or substantially similar features as the first and second contact elements 610 and 620, respectively, as described above with respect to FIG. Further, the compressible member 730 can perform the same or substantially similar function as the compressible member 630 described above with respect to FIG.
変形可能な導体740は、第1接触要素710を第2接触要素720に電気的に結合するエラストマーコネクタである。導電粒子642の単一の柱を含む図6の変形可能な導体640と対照的に、変形可能な導体740は、弾性シールド744内に配置された導電粒子742の複数の柱を含む。コンタクトピン700が圧縮される場合に、弾性シールド744は変形して、各柱内の導電粒子742が互いに押しあう、および/または互いに圧迫することができる。したがって、導電粒子742の各柱は、ピン700が圧縮される間第1接触要素710および第2接触要素720間の対応する電気接続を維持する。導電粒子742の複数の柱を有することにより、第1接触要素710および第2接触要素の間に複数の電流経路が確立され、それにより変形可能な導体740の通電容量が増加するということに留意すべきである。 The deformable conductor 740 is an elastomeric connector that electrically couples the first contact element 710 to the second contact element 720. In contrast to deformable conductor 640 of FIG. 6 that includes a single column of conductive particles 642, deformable conductor 740 includes a plurality of columns of conductive particles 742 disposed within elastic shield 744. When the contact pin 700 is compressed, the elastic shield 744 can deform so that the conductive particles 742 in each column can press against each other and / or compress each other. Thus, each column of conductive particles 742 maintains a corresponding electrical connection between the first contact element 710 and the second contact element 720 while the pin 700 is compressed. Note that having multiple columns of conductive particles 742 establishes multiple current paths between the first contact element 710 and the second contact element, thereby increasing the current carrying capacity of the deformable conductor 740. Should.
上述のように、変形可能な導体740は、従来技術において既知の任意の数のプロセスを用いて第1および第2接触要素710および720に取り付けることができる。例えば、弾性シールド744の端部は、接着材料を用いて第1および第2接触要素710および720にそれぞれ取り付けることができる。いくつかの実施形態では、変形可能な導体740は、第1および第2接触要素710および720間に加えられる力によって所定の場所に保持されることができる。例えば、変形可能な導体740を所定の場所に保持する力は、(例えば圧縮および/または非圧縮状態の)圧縮性部材730における張力によって提供されることができる。 As described above, the deformable conductor 740 can be attached to the first and second contact elements 710 and 720 using any number of processes known in the prior art. For example, the ends of the elastic shield 744 can be attached to the first and second contact elements 710 and 720, respectively, using an adhesive material. In some embodiments, the deformable conductor 740 can be held in place by a force applied between the first and second contact elements 710 and 720. For example, the force that holds the deformable conductor 740 in place can be provided by tension in the compressible member 730 (eg, in a compressed and / or uncompressed state).
図8は、エラストマーコネクタを有する圧縮性コンタクトピンアセンブリ800のさらに他の実施形態を示す。圧縮性コンタクトピン800は、第1接触要素810、第2接触要素820、第1圧縮性部材830、および第1の変形可能な導体840を含む。第1接触要素810および第1圧縮性部材830は、図6に関して上述した第1接触要素610および圧縮性部材630それぞれと同じまたは実質的に類似した機能を果たすことができる。 FIG. 8 illustrates yet another embodiment of a compressible contact pin assembly 800 having an elastomeric connector. The compressible contact pin 800 includes a first contact element 810, a second contact element 820, a first compressible member 830, and a first deformable conductor 840. First contact element 810 and first compressible member 830 may perform the same or substantially similar functions as first contact element 610 and compressible member 630, respectively, described above with respect to FIG.
いくつかの実施形態では、第1の変形可能な導体840は、図6および図7に関して上述した変形可能な導体640または変形可能な導体740それぞれと同じまたは実質的に類似した特徴を有することができる。つまり、第1の変形可能な導体840は、第1接触要素810を第2接触要素820に電気的に結合する導電材料の1または複数の柱を有するエラストマーコネクタとすることができる。他の実施形態では、第1の変形可能な導体840は、圧縮時に第1接触要素810および第2接触要素820間の電気接続を維持することができる任意の導電構造(導電ワイヤーなど)に相当することができる。 In some embodiments, the first deformable conductor 840 may have the same or substantially similar features as the deformable conductor 640 or the deformable conductor 740 described above with respect to FIGS. 6 and 7, respectively. it can. That is, the first deformable conductor 840 can be an elastomeric connector having one or more columns of conductive material that electrically couple the first contact element 810 to the second contact element 820. In other embodiments, the first deformable conductor 840 corresponds to any conductive structure (such as a conductive wire) that can maintain an electrical connection between the first contact element 810 and the second contact element 820 when compressed. can do.
上述のように、第1の変形可能な導体840は、従来技術において既知の任意の数のプロセスを用いて第1および第2接触要素810および820に取り付けることができる。例えば、第1の変形可能な導体840の端部は、接着材料を用いて第1および第2接触要素810および820にそれぞれ取り付けることができる。いくつかの実施形態では、第1の変形可能な導体840は、第1および第2接触要素810および820間に加えられる力によって所定の場所に保持されることができる。例えば、変形可能な導体840を所定の場所に保持する力は、第1圧縮性部材830における張力によって提供されることができる。 As described above, the first deformable conductor 840 can be attached to the first and second contact elements 810 and 820 using any number of processes known in the prior art. For example, the end of the first deformable conductor 840 can be attached to the first and second contact elements 810 and 820, respectively, using an adhesive material. In some embodiments, the first deformable conductor 840 can be held in place by a force applied between the first and second contact elements 810 and 820. For example, the force that holds the deformable conductor 840 in place can be provided by the tension in the first compressible member 830.
第2接触要素820は、第2圧縮性部材822、第2の変形可能な導体824、および導電板826を含む。導電板826は、第1圧縮性部材830の端部に取り付けられ、および第2圧縮性部材822および第2変形可能な導体824は、導電板826の他側に取り付けられる。より具体的には、導電板826は、導電材料(例えば金属)とすることができて、第1の変形可能な導体840および第2の変形可能な導体824の間の電気結合を提供する。他の実施形態では、第2圧縮性部材822の直径は、第1圧縮性部材830の全体直径より大きくすることができる(例えば対応するハウジング内にコンタクトピン800を保持するために) The second contact element 820 includes a second compressible member 822, a second deformable conductor 824, and a conductive plate 826. The conductive plate 826 is attached to the end of the first compressible member 830, and the second compressible member 822 and the second deformable conductor 824 are attached to the other side of the conductive plate 826. More specifically, the conductive plate 826 can be a conductive material (eg, metal) and provides electrical coupling between the first deformable conductor 840 and the second deformable conductor 824. In other embodiments, the diameter of the second compressible member 822 can be greater than the overall diameter of the first compressible member 830 (eg, to retain the contact pin 800 in the corresponding housing).
第2の変形可能な導体824は、試験装置の導体パッドに電気的に結合することができる一方で、第2圧縮性部材822が第2の変形可能な導体824に対して構造の支持を提供する。いくつかの実施形態では、第2の変形可能な導体824は、エラストマーコネクタ(例えば図6および図7に関して上述したような)とすることができる。例えば第2の変形可能な導体824は、試験装置の導体パッドと接触する場合に変形する、または伸びることができる。これは、コンタクトピン800が試験装置との確実な(電気の)接続を確立することを確実にすることができる。いくつかの実施形態では、第2圧縮性部材822は、追加的な圧縮強度(例えば張力)を第2圧縮性部材824に提供するバネまたはバネ状構造に相当することができる。例えば、試験装置が第2の変形可能な導体824に接触する場合、試験装置によって生じる圧縮力に対向することにより、第2圧縮性部材822は、試験装置および導電板826の間の離間距離を保持することができる。 The second deformable conductor 824 can be electrically coupled to the conductor pad of the test apparatus, while the second compressible member 822 provides structural support for the second deformable conductor 824. To do. In some embodiments, the second deformable conductor 824 can be an elastomeric connector (eg, as described above with respect to FIGS. 6 and 7). For example, the second deformable conductor 824 can deform or stretch when in contact with a conductor pad of the test apparatus. This can ensure that the contact pin 800 establishes a reliable (electrical) connection with the test device. In some embodiments, the second compressible member 822 can correspond to a spring or spring-like structure that provides additional compressive strength (eg, tension) to the second compressible member 824. For example, when the test device contacts the second deformable conductor 824, the second compressible member 822 causes the separation between the test device and the conductive plate 826 by opposing the compressive force generated by the test device. Can be held.
第2接触要素820の設計は、多数の導体パッドを横切る圧縮力が一様でない分布を含む場合に特に良く適している。例えば、図9は、圧縮性コンタクトピンアセンブリ900のさらに他の実施形態を示す。コンタクトピンアセンブリ900は、ハウジングアセンブリ910内に配置された一対のコンタクトピン800Aおよび800Bを含む。各コンタクトピン800および800は、図8に関して上述したコンタクトピン800と全く同一のコピーとすることができる。ハウジング910は、試験装置と相互作用する場合に、コンタクトピン800Aおよび800Bを所定の場所に保持する。例えばハウジング910の上面は、コンタクトピン800および800の第2接触要素820Aおよび820Bがそれぞれ通り抜けるほど幅広くない開口部を有することができる。ハウジング910は、第1接触要素810Aおよび810Bそれぞれの移動または変位をガイドすることにより、コンタクトピン800Aおよび800Bの構造の支持を提供する。 The design of the second contact element 820 is particularly well suited when the compressive force across multiple conductor pads includes a non-uniform distribution. For example, FIG. 9 illustrates yet another embodiment of a compressible contact pin assembly 900. Contact pin assembly 900 includes a pair of contact pins 800A and 800B disposed within housing assembly 910. Each contact pin 800 and 800 may be an exact copy of contact pin 800 described above with respect to FIG. The housing 910 holds the contact pins 800A and 800B in place when interacting with the test apparatus. For example, the top surface of the housing 910 can have an opening that is not wide enough for the second contact elements 820A and 820B of the contact pins 800 and 800 to pass through, respectively. The housing 910 provides support for the structure of the contact pins 800A and 800B by guiding the movement or displacement of the first contact elements 810A and 810B, respectively.
図9は、それぞれのコンタクトピン800Aおよび800Bの第2接触要素820Aおよび820Bと接触する試験装置920をさらに示す。ここに示すように、試験装置920は、一様でない厚さを有する(例えば試験装置920の右側は、左側より厚い)。試験装置920はまた、不不均一な厚さの2つの導体パッド922および924(例えば導体パッド924は、導体パッド922よりも突出する)を含む。結果として、試験装置920の右側は、試験装置920の左側が接触要素820に加えるよりも大きな下向きの力を接触要素820に加えることがある。しかし、両方の接触要素820Aおよび820Bが圧縮性であるため、対応するコンタクトピン800Aおよび800Bは、試験装置920に対して予負荷されることができる。これにより、両方のコンタクトピン800Aおよび800Bは、ハウジングの他側での実質的に同じ変位量を維持しながら、それぞれの導体パッド922および924との確実な接続を確立することができる。言い換えれば、試験装置920によって加えられた力は、圧縮性部材830Aおよび830Bにおける張力にほとんど、または全く関係がない(例えば第1接触要素810Aおよび810Bがデバイスの対応する接点バンプに接触する場合)。これは、第1接触要素810Aおよび810Bがまたデバイスのそれぞれの接点バンプとの確実な接続を確立できることを確実にする。 FIG. 9 further illustrates a test apparatus 920 that contacts the second contact elements 820A and 820B of the respective contact pins 800A and 800B. As shown here, the test apparatus 920 has a non-uniform thickness (eg, the right side of the test apparatus 920 is thicker than the left side). The test apparatus 920 also includes two conductor pads 922 and 924 of non-uniform thickness (eg, the conductor pad 924 protrudes more than the conductor pad 922). As a result, the right side of the test device 920 may apply a greater downward force on the contact element 820 than the left side of the test device 920 applies to the contact element 820. However, because both contact elements 820A and 820B are compressible, the corresponding contact pins 800A and 800B can be preloaded to the test device 920. This allows both contact pins 800A and 800B to establish a secure connection with the respective conductor pads 922 and 924 while maintaining substantially the same amount of displacement on the other side of the housing. In other words, the force applied by the test apparatus 920 has little or no relationship to the tension in the compressible members 830A and 830B (eg, when the first contact elements 810A and 810B contact the corresponding contact bumps of the device). . This ensures that the first contact elements 810A and 810B can also establish a secure connection with the respective contact bumps of the device.
特定の実施形態が示され説明されたが、この開示から逸脱することなくより広い態様において変更および修正が可能であり、したがって、特許請求の範囲は、この開示の真の精神と技術範囲内であるような全ての変更および修正をその範囲内に包含するものであることは当業者には明らかだろう。 While particular embodiments have been shown and described, changes and modifications can be made in broader aspects without departing from this disclosure, and thus the claims are intended to be within the true spirit and scope of this disclosure. It will be apparent to those skilled in the art that all such changes and modifications are included within the scope.
さらに、本明細書に開示される様々な回路は、それらの動作、レジスタ転送、ロジックコンポーネント、トランジスタ、レイアウト配置、および/または他の特性に関して、コンピュータ支援設計ツールを用いて様々なコンピュータ可読媒体に具体化されたデータおよび/または命令として記載、および表現される(または表される)ことに留意しなければならない。このような回路式が実行されるファイルおよび他のオブジェクトのフォーマットは、C,Verilog,およびVHDLなどの動作言語をサポートするフォーマット、RTL等のレジスタレベル記述言語をサポートするフォーマット、およびGDSII,GDSIII,GDSIV,CIF,MEBESなどのジオメトリ記述言語をサポートするフォーマット、および任意の他の適切なフォーマットおよび言語を非限定的に含む。このようにフォーマット化されたデータおよび/または命令を具体化することができるコンピュータ可読媒体は、様々な形の不揮発性記憶媒体(例えば光学、磁気または半導体記憶媒体)を非限定的に含む。 Further, the various circuits disclosed herein may be implemented on a variety of computer-readable media using computer-aided design tools with respect to their operation, register transfer, logic components, transistors, layout arrangements, and / or other characteristics. It should be noted that it is described and expressed (or represented) as embodied data and / or instructions. Formats of files and other objects in which such circuit expressions are executed include formats that support operating languages such as C, Verilog, and VHDL, formats that support register level description languages such as RTL, and GDSII, GDSIII, Includes, but is not limited to, formats that support geometry description languages such as GDSIV, CIF, MEBES, and any other suitable formats and languages. Computer readable media that can embody such formatted data and / or instructions include, but are not limited to, various forms of non-volatile storage media (eg, optical, magnetic, or semiconductor storage media).
100 ポゴピン
110 第1接触要素
120 第2接触要素
130 バネ
140 ハウジング
200,300 圧縮性コンタクトピン
210,310 第1接触要素
220,320 第2接触要素
230,330 圧縮性部材
240,340 導体
400,500 コンタクトピンアセンブリ
410,550 ハウジング
420,520 ICデバイス
430,530 試験装置
100 pogo pin 110 first contact element 120 second contact element 130 spring 140 housing 200,300 compressible contact pin 210,310 first contact element 220,320 second contact element 230,330 compressible member 240,340 conductor 400,500 Contact pin assembly 410, 550 Housing 420, 520 IC device 430, 530 Test equipment
Claims (17)
第1接触要素と、
第2接触要素と、
1または複数の外力が前記第1接触要素および前記第2接触要素の間に加えられる場合に圧縮し、かつ外力が加えられていない場合に前記第1および第2接触要素間の離間距離を維持するための、前記第1接触要素および前記第2接触要素の間に連結された第1圧縮性部材と、
前記第1接触要素および前記第2接触要素の間に連結された第1のエラストマーコネクタであって、前記第1のエラストマーコネクタが前記第1接触要素を前記第2接触要素に電気的に結合し、かつ前記1または複数の外力が前記第1接触要素および前記第2接触要素の間に加えられる場合に、変形することによって前記電気結合を維持する、第1のエラストマーコネクタと、
を備え、
前記第1のエラストマーコネクタは、前記1または複数の外力が加えられる場合に変形する弾性シールドを備え、
前記第1のエラストマーコネクタは、前記第1圧縮性部材の内側に、前記第1圧縮性部材との間に間隙を有して配置され、
前記第1のエラストマーコネクタは、前記第1圧縮性部材から電気的に絶縁されており、
複数の導電粒子が、前記第1接触要素と前記第2接触要素との電気接続を形成するため、前記弾性シールド内に配置され、
前記コンタクトピンが圧縮される場合に、前記複数の導電粒子が互いに圧迫する、
コンタクトピン。 A contact pin,
A first contact element;
A second contact element;
Compresses when one or more external forces are applied between the first contact element and the second contact element and maintains a separation distance between the first and second contact elements when no external force is applied A first compressible member coupled between the first contact element and the second contact element,
A first elastomeric connector coupled between the first contact element and the second contact element, wherein the first elastomeric connector electrically couples the first contact element to the second contact element. And a first elastomeric connector that maintains the electrical coupling by deforming when the one or more external forces are applied between the first contact element and the second contact element;
With
The first elastomer connector comprises an elastic shield that deforms when the one or more external forces are applied,
The first elastomer connector is disposed inside the first compressible member with a gap between the first compressible member,
The first elastomer connector is electrically insulated from the first compressible member;
A plurality of conductive particles are disposed within the elastic shield to form an electrical connection between the first contact element and the second contact element;
When the contact pin is compressed, the plurality of conductive particles press against each other;
Contact pin.
前記第1圧縮性部材および前記第1のエラストマーコネクタに連結された第1側を有する導電板と、
前記導電板の第2側に連結された第2のエラストマーコネクタと、
前記導電板の前記第2側に連結され、かつ前記第2のエラストマーコネクタの周りに配置された第2圧縮性部材と、
を備える、請求項1に記載のコンタクトピン。 At least one of the first or second contact elements is
A conductive plate having a first side coupled to the first compressible member and the first elastomer connector;
A second elastomeric connector coupled to the second side of the conductive plate;
A second compressible member connected to the second side of the conductive plate and disposed around the second elastomer connector;
The contact pin according to claim 1, comprising:
前記コンタクトピンの前記圧縮性本体に連結された第1側を有する導電板と、
前記導電板の第2側に連結されたエラストマーコネクタであって、前記エラストマーコネクタは、前記圧縮性本体の反対端において他の接触要素に電気的に連結されている、エラストマーコネクタと、
前記導電板の前記第2側に連結され、かつ前記エラストマーコネクタの周りに配置された圧縮性部材と、
を備え、
前記エラストマーコネクタは、1または複数の外力が加えられる場合に変形する弾性シールドを備え、
前記エラストマーコネクタは、前記圧縮性部材の内側に、前記圧縮性部材との間に間隙を有して配置され、
前記エラストマーコネクタは、前記圧縮性部材から電気的に絶縁されており、
複数の導電粒子が、前記弾性シールド内に配置され、
前記接触要素が圧縮される場合に、前記複数の導電粒子が互いに圧迫する
接触要素。 A contact element for a contact pin having a compressible body, said contact element comprising:
A conductive plate having a first side connected to the compressible body of the contact pin;
An elastomeric connector coupled to a second side of the conductive plate, wherein the elastomeric connector is electrically coupled to another contact element at an opposite end of the compressible body;
A compressible member connected to the second side of the conductive plate and disposed around the elastomer connector;
With
The elastomer connector comprises an elastic shield that deforms when one or more external forces are applied;
The elastomer connector is disposed inside the compressible member, with a gap between the compressible member,
The elastomer connector is electrically insulated from the compressible member;
A plurality of conductive particles are disposed within the elastic shield,
The contact element in which the plurality of conductive particles press against each other when the contact element is compressed.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/216,103 US9570828B2 (en) | 2012-10-03 | 2014-03-17 | Compressible pin assembly having frictionlessly connected contact elements |
US14/216,103 | 2014-03-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015175844A JP2015175844A (en) | 2015-10-05 |
JP6489749B2 true JP6489749B2 (en) | 2019-03-27 |
Family
ID=54255137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014059617A Expired - Fee Related JP6489749B2 (en) | 2014-03-17 | 2014-03-24 | Compressible pin assembly with contact elements connected without friction |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6489749B2 (en) |
TW (1) | TW201537180A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI582434B (en) * | 2015-12-18 | 2017-05-11 | 吳俊杰 | Probe device |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4060919B2 (en) * | 1997-11-28 | 2008-03-12 | 富士通株式会社 | Electrical connection device, contact manufacturing method, and semiconductor test method |
JP4379949B2 (en) * | 1999-05-13 | 2009-12-09 | Jsr株式会社 | Anisotropic conductive sheet, method for manufacturing the same, electrical inspection apparatus for circuit device, and electrical inspection method |
JP2002158052A (en) * | 2000-11-21 | 2002-05-31 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Pressure contact holding type connector and its connecting structure |
DE10143200A1 (en) * | 2001-09-04 | 2003-04-03 | Era Contact Gmbh | Electrical pressure contact |
JP4274832B2 (en) * | 2003-03-27 | 2009-06-10 | 株式会社エンプラス | Contact unit |
JP3878578B2 (en) * | 2003-05-06 | 2007-02-07 | 一彦 後藤 | Contact probe, semiconductor and electrical inspection apparatus using the same |
JP2009047565A (en) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Jsr Corp | Sheetlike probe and method of manufacturing the same |
-
2014
- 2014-03-24 JP JP2014059617A patent/JP6489749B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-04-03 TW TW103112587A patent/TW201537180A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015175844A (en) | 2015-10-05 |
TW201537180A (en) | 2015-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI751061B (en) | Test socket and test apparatus having the same, manufacturing method for the test socket | |
TWI762406B (en) | Test socket and test apparatus having the same | |
KR101806472B1 (en) | Burn-in test socket having wire silicon rubber interposed between contact pin and semiconductor device | |
US9570828B2 (en) | Compressible pin assembly having frictionlessly connected contact elements | |
KR101920855B1 (en) | Electrical test socket | |
US9831589B2 (en) | Compressible pin assembly having frictionlessly connected contact elements | |
KR20110040625A (en) | Sliding type pogo pin and zero insertion force connector | |
CN112930574B (en) | Conductive particle and signal transmission connector having the same | |
JP6489749B2 (en) | Compressible pin assembly with contact elements connected without friction | |
CN203929824U (en) | There is the compressible contact probe without frictional connection | |
KR20180111221A (en) | Pincers-type contact plunger tiltable by wedge action, and PION pin of test socket for minimizing interference between coil spring using the same | |
KR102002816B1 (en) | Device for hybrid test socket having ferromagnetic core pin and metal powder | |
JP2014075343A (en) | Compressive pin assembly having contact element connected without friction | |
KR101957717B1 (en) | Trapezoidal type PION pin with improved contact yield, and test socket having the same | |
JP2012042448A (en) | Probe card for semiconductor device and vertical type probe therefor | |
KR102270275B1 (en) | Test socket | |
JP6084591B2 (en) | Probe member for pogo pins | |
KR102062470B1 (en) | Film type probe card with cantilever probe for RF chip test | |
KR102530618B1 (en) | Test socket, test apparatus having the same, and manufacturing method for the test socket | |
KR20010085324A (en) | Interconnect contact device | |
US20240319227A1 (en) | Test socket | |
KR102661984B1 (en) | Data signal transmission connector | |
KR102714657B1 (en) | Test socket | |
KR102220172B1 (en) | Data signal transmission connector | |
US10705116B2 (en) | Test socket of flexible semiconductor chip package and bending test method using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180209 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6489749 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |