JP6442913B2

JP6442913B2 - Piezoelectric drive device, robot, and drive method thereof

Info

Publication number: JP6442913B2
Application number: JP2014164632A
Authority: JP
Inventors: 喜一梶野
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2014-08-13
Filing date: 2014-08-13
Publication date: 2018-12-26
Anticipated expiration: 2034-08-13
Also published as: JP2016040994A

Description

本発明は、圧電駆動装置、及び、圧電駆動装置を備えるロボットなどの各種の装置に関する。 The present invention relates to a piezoelectric drive device and various devices such as a robot including the piezoelectric drive device.

従来から、圧電素子を用いた圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）が知られている（例えば特許文献１）。この圧電駆動装置の基本的な構成は、補強板の２つの面のそれぞれの上に、４つの圧電素子が２行２列に配置された構成であり、合計で８つの圧電素子が補強板の両側に設けられている。個々の圧電素子は、圧電体をそれぞれ２枚の電極で挟んだユニットであり、補強板は、圧電素子の一方の電極としても利用される。補強板の一端には、被駆動体としてのローターに接してローターを回転させるための突起部が設けられている。４つの圧電素子のうちの対角に配置された２つの圧電素子に交流電圧を印加すると、この２つの圧電素子が伸縮運動を行い、これに応じて補強板の突起部が往復運動又は楕円運動を行う。そして、この補強板の突起部の往復運動又は楕円運動に応じて、被駆動体としてのローターが所定の回転方向に回転する。また、交流電圧を印加する２つの圧電素子を他の２つの圧電素子に切り換えることによって、ローターを逆方向に回転させることができる。 Conventionally, a piezoelectric actuator (piezoelectric driving device) using a piezoelectric element is known (for example, Patent Document 1). The basic configuration of this piezoelectric drive device is a configuration in which four piezoelectric elements are arranged in two rows and two columns on each of two surfaces of the reinforcing plate, and a total of eight piezoelectric elements are included in the reinforcing plate. It is provided on both sides. Each piezoelectric element is a unit in which a piezoelectric body is sandwiched between two electrodes, and the reinforcing plate is also used as one electrode of the piezoelectric element. One end of the reinforcing plate is provided with a protrusion for rotating the rotor in contact with the rotor as a driven body. When an AC voltage is applied to two of the four piezoelectric elements arranged diagonally, the two piezoelectric elements expand and contract, and the protrusion of the reinforcing plate reciprocates or elliptically moves accordingly. I do. And according to the reciprocating motion or elliptical motion of the protrusion of the reinforcing plate, the rotor as the driven body rotates in a predetermined rotation direction. In addition, the rotor can be rotated in the reverse direction by switching the two piezoelectric elements to which the AC voltage is applied to the other two piezoelectric elements.

従来は、印加する交流電圧の周波数（以下、「駆動周波数」とも呼ぶ）を、圧電駆動装置の機械的な共振周波数に近い周波数に設定して、圧電駆動装置の往復運動または楕円運動が効率良く行われるようにしている。 Conventionally, the frequency of the AC voltage to be applied (hereinafter also referred to as “drive frequency”) is set to a frequency close to the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device, and the reciprocating motion or elliptical motion of the piezoelectric drive device is efficiently performed. To be done.

特開２００４−３２０９７９号公報JP 2004-320979 A

しかし、圧電駆動装置の機械的な共振周波数は、温度条件や負荷条件等の動作条件（外乱）によって変化するため、同じ交流電圧を印加しても、圧電駆動装置の往復運動または楕円運動の変位量が変化し、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化することになる。このため、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態で維持することが困難であるという課題がある。なお、「機械的な駆動状態」とは、圧電駆動装置が被駆動体（例えば、ローター）を動作させる際における被駆動体の動作状態を意味する。 However, since the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device changes depending on the operating conditions (disturbances) such as temperature conditions and load conditions, even if the same AC voltage is applied, the displacement of the reciprocating motion or elliptical motion of the piezoelectric drive device The amount changes, and the mechanical driving state by the piezoelectric driving device changes. For this reason, there exists a subject that it is difficult to maintain the mechanical drive state by a piezoelectric drive device in the substantially same state. The “mechanical driving state” means an operating state of the driven body when the piezoelectric driving device operates the driven body (for example, the rotor).

単純には、圧電駆動装置の機械的な共振周波数の変化をフィードバックして、駆動周波数を変化させることが考えられるが、圧電駆動装置の機械的な共振周波数の変化を検出することは困難である。このため、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持することを可能とする技術が望まれていた。 Simply, it is possible to feed back the change in the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device to change the drive frequency, but it is difficult to detect the change in the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device. . For this reason, there has been a demand for a technique that can maintain the mechanical drive state of the piezoelectric drive device in substantially the same state even when the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device changes.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
本発明の一形態の圧電駆動装置は；圧電体と、前記圧電体に設けられた電極と、有する圧電素子と；前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と；を備える。前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値が、前記圧電素子が標準特性である場合において設定される駆動周波数に対応する駆動電流値である目標電流値に近づくように、前記圧電素子の駆動電流を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行する。
この形態の圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値が、圧電素子が標準特性である場合において設定される駆動周波数に対応する駆動電流値である目標電流値に近づくように、圧電素子の駆動電流を制御量とし、駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行することができる。これにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化しないようにすることが可能となる。
その他、本発明は、以下の形態としても実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
A piezoelectric driving device according to one aspect of the present invention includes: a piezoelectric body; an electrode provided on the piezoelectric body; a piezoelectric element having the piezoelectric body; The drive circuit drives the piezoelectric element so that the drive current value of the piezoelectric element approaches a target current value that is a drive current value corresponding to a drive frequency set when the piezoelectric element has standard characteristics. Feedback control is performed using the current as a control amount and the drive voltage as an operation amount.
According to the piezoelectric drive device of this aspect, the piezoelectric element is arranged such that the drive current value of the piezoelectric element approaches the target current value that is the drive current value corresponding to the drive frequency set when the piezoelectric element has standard characteristics. It is possible to execute feedback control using the drive current as the control amount and the drive voltage as the operation amount. As a result, even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device changes as described in the problem, it is possible to prevent the mechanical drive state of the piezoelectric drive device from changing.
In addition, the present invention can be realized as the following forms.

（１）本発明の一形態によれば、圧電体と、前記圧電体に設けられた電極と、有する圧電素子と、前記電極に駆動電圧を印加する駆動回路と、を備える圧電駆動装置が提供される。前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流値に基づいて、前記駆動電圧を制御する。
この圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値に基づいて、駆動電圧を制御することにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態が変化しないようにすることが可能となる。 (1) According to an aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric driving device including a piezoelectric body, an electrode provided on the piezoelectric body, a piezoelectric element having the piezoelectric body, and a driving circuit that applies a driving voltage to the electrode. Is done. The drive circuit controls the drive voltage based on a drive current value of the piezoelectric element.
According to this piezoelectric drive device, even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device changes as described in the subject by controlling the drive voltage based on the drive current value of the piezoelectric element, the piezoelectric drive device It is possible to prevent the mechanical drive state from changing.

（２）上記圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記圧電素子の駆動電流を制御量とし、前記駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行するようにしてもよい。
この圧電駆動装置によれば、圧電素子の駆動電流値を制御量とし、駆動電圧を操作量とするフィードバック制御を実行することにより、課題で説明したように圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持することが可能となる。 (2) In the piezoelectric drive device, the drive circuit may perform feedback control using the drive current of the piezoelectric element as a control amount and the drive voltage as an operation amount.
According to this piezoelectric driving device, the mechanical resonance frequency of the piezoelectric driving device can be reduced as described in the problem by executing feedback control using the driving current value of the piezoelectric element as a control amount and the driving voltage as an operation amount. Even if it changes, it becomes possible to maintain the mechanical drive state by the piezoelectric drive device in substantially the same state.

（３）上記圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記駆動電圧又は駆動電力が予め設定された上限値を超えないようにする上限値制御を実行するものとしてもよい。
この構成によれば、圧電素子の損傷を抑制することが可能となる。 (3) In the piezoelectric drive device, the drive circuit may execute upper limit control so that the drive voltage or drive power does not exceed a preset upper limit.
According to this configuration, damage to the piezoelectric element can be suppressed.

（４）上記圧電駆動装置において、前記圧電体の厚みは０．０５μｍ以上２０μｍ以下であるものとしてもよい。
この構成によれば、圧電体の厚みが２０μｍを超える場合に比べて、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化した場合において、圧電駆動装置による機械的な駆動状態をほぼ同じ状態に維持する効果が顕著である。 (4) In the piezoelectric driving device, the piezoelectric body may have a thickness of 0.05 μm or more and 20 μm or less.
According to this configuration, when the mechanical resonance frequency of the piezoelectric driving device changes compared to the case where the thickness of the piezoelectric body exceeds 20 μm, the mechanical driving state by the piezoelectric driving device is maintained in substantially the same state. The effect is remarkable.

（５）上記圧電駆動装置において、第１面及び第２面を有する振動板と、前記圧電素子を含む圧電振動体と、を備え、前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面のうちの少なくとも一方の面に配置されているものとしてもよい。
この構成によれば、振動板と圧電振動体との振動によって力を発生することができる。 (5) The piezoelectric driving device includes a diaphragm having a first surface and a second surface, and a piezoelectric vibrating body including the piezoelectric element, wherein the piezoelectric vibrating body includes the first surface of the vibrating plate and It may be arranged on at least one of the second surfaces.
According to this configuration, force can be generated by the vibration of the diaphragm and the piezoelectric vibrating body.

（６）上記圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記振動板の前記第１面及び第２面に配置されているものとしてもよい。
この構成によれば、振動板の第１面と第２面の両面に圧電振動体が配置されているので、圧電駆動装置の駆動力を大きくできる。 (6) In the piezoelectric driving device, the piezoelectric vibrating body may be disposed on the first surface and the second surface of the diaphragm.
According to this configuration, since the piezoelectric vibrating bodies are arranged on both the first surface and the second surface of the diaphragm, the driving force of the piezoelectric driving device can be increased.

（７）上記圧電駆動装置は、前記振動板に設けられ、被駆動体と接触可能な突起部を備えているものとしてもよい。
この構成によれば、突起部を用いて被駆動体を動作させることができる。 (7) The piezoelectric driving device may include a protrusion provided on the diaphragm and capable of contacting the driven body.
According to this configuration, the driven body can be operated using the protrusion.

（８）上記圧電駆動装置において、前記電極は、第１電極と、第２電極と、を含み、前記圧電体は、前記第１電極と前記第２電極との間に位置するものとしてもよい。 (8) In the piezoelectric driving device, the electrode may include a first electrode and a second electrode, and the piezoelectric body may be located between the first electrode and the second electrode. .

本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。 The present invention can be realized in various forms. For example, in addition to a piezoelectric driving device, a driving method of the piezoelectric driving device, a manufacturing method of the piezoelectric driving device, a robot equipped with the piezoelectric driving device, and a piezoelectric driving device. It can be realized in various forms such as a driving method of a robot to be mounted, a liquid feeding pump, and a medication pump.

一実施形態の圧電駆動装置の概略構成を示す平面図及び断面図。The top view and sectional view showing the schematic structure of the piezoelectric drive device of one embodiment. 振動板の平面図。The top view of a diaphragm. 圧電駆動装置と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図。Explanatory drawing which shows the electrical connection state of a piezoelectric drive device and a drive circuit. 圧電駆動装置の動作の例を示す説明図。Explanatory drawing which shows the example of operation | movement of a piezoelectric drive device. 駆動回路の内部構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the internal structure of a drive circuit. 駆動電圧発生回路における駆動電流のフィードバック制御について示す説明図である。It is explanatory drawing shown about the feedback control of the drive current in a drive voltage generation circuit. 他の実施形態の圧電駆動装置の断面図。Sectional drawing of the piezoelectric drive device of other embodiment. 他の実施形態の圧電駆動装置の平面図。The top view of the piezoelectric drive device of other embodiment. 圧電駆動装置を利用したロボットの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of the robot using a piezoelectric drive device. ロボットの手首部分の説明図である。It is explanatory drawing of the wrist part of a robot. 圧電駆動装置を利用した送液ポンプの一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of the liquid feeding pump using a piezoelectric drive device.

Ａ．実施形態：
図１（Ａ）は、本発明の一実施形態における圧電駆動装置１０の概略構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。圧電駆動装置１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１と第２面２１２）にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。 A. Embodiment:
FIG. 1A is a plan view showing a schematic configuration of a piezoelectric driving device 10 according to an embodiment of the present invention, and FIG. The piezoelectric driving device 10 includes a vibration plate 200 and two piezoelectric vibration members 100 arranged on both surfaces (first surface 211 and second surface 212) of the vibration plate 200, respectively. The piezoelectric vibrating body 100 includes a substrate 120, a first electrode 130 formed on the substrate 120, a piezoelectric body 140 formed on the first electrode 130, and a second electrode formed on the piezoelectric body 140. An electrode 150. The first electrode 130 and the second electrode 150 sandwich the piezoelectric body 140. The two piezoelectric vibrators 100 are arranged symmetrically about the diaphragm 200. Since the two piezoelectric vibrators 100 have the same configuration, the configuration of the piezoelectric vibrator 100 on the upper side of the diaphragm 200 will be described below unless otherwise specified.

圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ_２Ｏ_３，ＺｒＯ_２などで形成することができる。Ｓｉ製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。 The substrate 120 of the piezoelectric vibrating body 100 is used as a substrate for forming the first electrode 130, the piezoelectric body 140, and the second electrode 150 by a film forming process. The substrate 120 also has a function as a diaphragm that performs mechanical vibration. The substrate 120 can be formed of, for example, Si, Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ or the like. As the Si substrate 120, for example, a Si wafer for semiconductor manufacturing can be used. In this embodiment, the planar shape of the substrate 120 is a rectangle. The thickness of the substrate 120 is preferably in the range of 10 μm to 100 μm, for example. If the thickness of the substrate 120 is 10 μm or more, the substrate 120 can be handled relatively easily during the film forming process on the substrate 120. If the thickness of the substrate 120 is 100 μm or less, the substrate 120 can be easily vibrated according to the expansion and contraction of the piezoelectric body 140 formed of a thin film.

第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図１（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図１の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図１では図示が省略されている。 The first electrode 130 is formed as one continuous conductor layer formed on the substrate 120. On the other hand, as shown in FIG. 1A, the second electrode 150 is divided into five conductor layers 150a to 150e (also referred to as “second electrodes 150a to 150e”). The second electrode 150e at the center is formed in a rectangular shape covering almost the entire length of the substrate 120 at the center in the width direction of the substrate 120. The other four second electrodes 150 a, 150 b, 150 c, and 150 d have the same planar shape and are formed at the four corner positions of the substrate 120. In the example of FIG. 1, both the first electrode 130 and the second electrode 150 have a rectangular planar shape. The first electrode 130 and the second electrode 150 are thin films formed by sputtering, for example. As a material of the first electrode 130 and the second electrode 150, for example, any material having high conductivity such as Al (aluminum), Ni (nickel), Au (gold), Pt (platinum), Ir (iridium) or the like is used. Is available. Instead of the first electrode 130 being one continuous conductor layer, the first electrode 130 may be divided into five conductor layers having substantially the same planar shape as the second electrodes 150a to 150e. In addition, wiring (or wiring layer and insulating layer) for electrical connection between the second electrodes 150a to 150e, and electrical connection between the first electrode 130 and the second electrodes 150a to 150e and the drive circuit The wiring for the purpose (or the wiring layer and the insulating layer) is not shown in FIG.

圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図１（Ａ））が構成される。 The piezoelectric body 140 is formed as five piezoelectric layers having substantially the same planar shape as the second electrodes 150a to 150e. Alternatively, the piezoelectric body 140 may be formed as one continuous piezoelectric layer having substantially the same planar shape as the first electrode 130. Five piezoelectric elements 110a to 110e (FIG. 1A) are configured by a laminated structure of the first electrode 130, the piezoelectric body 140, and the second electrodes 150a to 150e.

圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ_３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ_３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動装置１０を十分に小型化することができる。 The piezoelectric body 140 is a thin film formed by, for example, a sol-gel method or a sputtering method. As a material of the piezoelectric body 140, any material exhibiting a piezoelectric effect such as ceramics having an ABO ₃ type perovskite structure can be used. Examples of ceramics having an ABO ₃ type perovskite structure include lead zirconate titanate (PZT), barium titanate, lead titanate, potassium niobate, lithium niobate, lithium tantalate, sodium tungstate, zinc oxide, titanium Barium strontium acid (BST), strontium bismuth tantalate (SBT), lead metaniobate, lead zinc niobate, lead scandium niobate, or the like can be used. It is also possible to use a material exhibiting a piezoelectric effect other than ceramic, such as polyvinylidene fluoride and quartz. The thickness of the piezoelectric body 140 is preferably in the range of, for example, 50 nm (0.05 μm) to 20 μm. A thin film of the piezoelectric body 140 having a thickness in this range can be easily formed using a film forming process. If the thickness of the piezoelectric body 140 is 0.05 μm or more, a sufficiently large force can be generated according to the expansion and contraction of the piezoelectric body 140. If the thickness of the piezoelectric body 140 is 20 μm or less, the piezoelectric driving device 10 can be sufficiently downsized.

図２は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動装置１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属材料で形成することが可能である。 FIG. 2 is a plan view of the diaphragm 200. The diaphragm 200 has a rectangular-shaped vibrating body portion 210 and three connecting portions 220 that extend from the left and right long sides of the vibrating body portion 210, respectively. Two attachment portions 230 are connected to each other. In FIG. 2, the vibrating body portion 210 is hatched for convenience of illustration. The attachment portion 230 is used for attaching the piezoelectric driving device 10 to another member with a screw 240. The diaphragm 200 can be formed of a metal material such as stainless steel, aluminum, an aluminum alloy, titanium, a titanium alloy, copper, a copper alloy, or an iron-nickel alloy, for example.

振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図１）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば３．５ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば１ｍｍ以上８ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを５０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを７００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。 The piezoelectric vibrating body 100 (FIG. 1) is bonded to the upper surface (first surface) and the lower surface (second surface) of the vibrating body portion 210 using an adhesive. The ratio of the length L to the width W of the vibrating body part 210 is preferably L: W = about 7: 2. This ratio is a preferable value for performing ultrasonic vibration (described later) in which the vibrating body portion 210 bends left and right along the plane. The length L of the vibrating body portion 210 can be set in a range of, for example, 3.5 mm or more and 30 mm or less, and the width W can be set in a range of, for example, 1 mm or more and 8 mm or less. In addition, in order for the vibrating body part 210 to perform ultrasonic vibration, the length L is preferably set to 50 mm or less. The thickness of the vibrating body part 210 (thickness of the vibration plate 200) can be in the range of, for example, 50 μm or more and 700 μm or less. If the thickness of the vibrating body portion 210 is 50 μm or more, the vibrating body portion 210 has sufficient rigidity to support the piezoelectric vibrating body 100. Further, if the thickness of the vibrating body portion 210 is 700 μm or less, a sufficiently large deformation can be generated according to the deformation of the piezoelectric vibrating body 100.

振動板２００の一方の短辺には、突起部２０（「接触部」又は「作用部」とも呼ぶ）が設けられている。突起部２０は、被駆動体と接触して、被駆動体に力を与えるための部材である。突起部２０は、セラミックス（例えばＡｌ_２Ｏ_３）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。 On one short side of the diaphragm 200, a protrusion 20 (also referred to as “contact portion” or “action portion”) is provided. The protrusion 20 is a member that is in contact with the driven body and applies a force to the driven body. The protrusion 20 is preferably formed of a durable material such as ceramics (for example, Al ₂ O ₃ ).

図３は、圧電駆動装置１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。圧電駆動装置１０の５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、対角にある一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の対角の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図３の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図１）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。駆動回路３００は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に周期的に変化する交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、圧電駆動装置１０を超音波振動させて、突起部２０に接触するローター（被駆動体）を所定の回転方向に回転させることが可能である。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。また、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、突起部２０に接触するローターを逆方向に回転させることが可能である。このような電圧の印加は、振動板２００の両面に設けられた２つの圧電振動体１００に対して同時に行われる。なお、図３に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図１では図示が省略されている。 FIG. 3 is an explanatory diagram showing an electrical connection state between the piezoelectric driving device 10 and the driving circuit 300. Among the five second electrodes 150a to 150e of the piezoelectric driving device 10, a pair of diagonal second electrodes 150a and 150d are electrically connected to each other via the wiring 151, and another diagonal pair of first electrodes The two electrodes 150b and 150c are also electrically connected to each other via the wiring 152. These wirings 151 and 152 may be formed by a film forming process, or may be realized by wire-like wiring. Three second electrodes 150b, 150e, and 150d on the right side of FIG. 3 and the first electrode 130 (FIG. 1) are electrically connected to the drive circuit 300 via wirings 310, 312, 314, and 320. . The drive circuit 300 ultrasonically vibrates the piezoelectric drive device 10 by applying an alternating voltage or a pulsating voltage that periodically changes between the pair of second electrodes 150a and 150d and the first electrode 130, It is possible to rotate the rotor (driven body) in contact with the protrusion 20 in a predetermined rotation direction. Here, the “pulsating voltage” means a voltage obtained by adding a DC offset to an AC voltage, and the direction of the voltage (electric field) is one direction from one electrode to the other electrode. In addition, by applying an AC voltage or a pulsating current voltage between the other pair of second electrodes 150b and 150c and the first electrode 130, it is possible to rotate the rotor in contact with the protrusion 20 in the reverse direction. is there. Such application of voltage is simultaneously performed on the two piezoelectric vibrating bodies 100 provided on both surfaces of the diaphragm 200. Note that the wirings (or wiring layers and insulating layers) constituting the wirings 151, 152, 310, 312, 314, and 320 shown in FIG. 3 are not shown in FIG.

図４は、圧電駆動装置１０の動作の例を示す説明図である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、被駆動体としてのローター５０の外周に接触している。図４に示す例では、駆動回路３００（図３）は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加しており、圧電素子１１０ａ，１１０ｄは図４の矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、圧電駆動装置１０の振動体部２１０が振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に変形し、突起部２０の先端が矢印ｙの向きに往復運動するか、又は、楕円運動する。その結果、ローター５０は、その中心５１の周りに所定の方向ｚ（図４では時計回り方向）に回転する。図２で説明した振動板２００の３つの接続部２２０（図２）は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、駆動回路３００が、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加する場合には、ローター５０は逆方向に回転する。なお、中央の第２電極１５０ｅに、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄ（又は他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃ）と同じ電圧を印加すれば、圧電駆動装置１０が長手方向に伸縮するので、突起部２０からローター５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、圧電駆動装置１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、上記先行技術文献１（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。 FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an example of the operation of the piezoelectric driving device 10. The protrusion 20 of the piezoelectric driving device 10 is in contact with the outer periphery of the rotor 50 as a driven body. In the example shown in FIG. 4, the drive circuit 300 (FIG. 3) applies an AC voltage or a pulsating voltage between the pair of second electrodes 150a and 150d and the first electrode 130, and the piezoelectric elements 110a and 110d. Expands and contracts in the direction of arrow x in FIG. In response to this, the vibrating body portion 210 of the piezoelectric driving device 10 is bent in the plane of the vibrating body portion 210 and deformed into a meandering shape (S-shape), and the tip of the protrusion 20 reciprocates in the direction of the arrow y. Or elliptical motion. As a result, the rotor 50 rotates around the center 51 in a predetermined direction z (clockwise direction in FIG. 4). The three connection portions 220 (FIG. 2) of the diaphragm 200 described with reference to FIG. 2 are provided at the positions of the vibration nodes (interferences) of the vibration body portion 210. When the drive circuit 300 applies an AC voltage or a pulsating voltage between the other pair of second electrodes 150b and 150c and the first electrode 130, the rotor 50 rotates in the reverse direction. If the same voltage as the pair of second electrodes 150a and 150d (or the other pair of second electrodes 150b and 150c) is applied to the center second electrode 150e, the piezoelectric driving device 10 expands and contracts in the longitudinal direction. The force applied to the rotor 50 from the protrusion 20 can be further increased. Such an operation of the piezoelectric driving device 10 (or the piezoelectric vibrating body 100) is described in the above-mentioned prior art document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-320979 or corresponding US Pat. No. 7,224,102). The disclosure of which is incorporated by reference.

図５は、駆動回路３００の内部構成を示す説明図である。ここでは、圧電駆動装置１０のうちの一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄに交流電圧又は脈流電圧を印加する回路構成を示す説明図である。なお、図示及び説明は省略するが、圧電駆動装置１０のうちの他の一対の圧電素子１１０ｂ，１１０ｃや中央の圧電素子１１０ｅに交流電圧又は脈流電圧を印加する回路構成も、同様である。 FIG. 5 is an explanatory diagram showing the internal configuration of the drive circuit 300. Here, it is explanatory drawing which shows the circuit structure which applies an alternating voltage or a pulsating voltage to a pair of piezoelectric element 110a, 110d of the piezoelectric drive devices 10. FIG. Although not shown and described, the circuit configuration for applying an alternating voltage or a pulsating voltage to the other pair of piezoelectric elements 110b and 110c and the central piezoelectric element 110e of the piezoelectric driving device 10 is also the same.

駆動回路３００は、駆動電圧発生回路３４０と、モニター回路３５０と、を含んでいる。駆動電圧発生回路３４０は、接地電位以上の一定レベルの直流電圧に対してプラス側とマイナス側に変動する交流電圧または脈流電圧を駆動電圧として発生する。発生した駆動電圧は、配線３１４，３２０を介して、圧電素子１１０ａ，１１０ｄに印加される。この駆動電圧の周波数（以下、「駆動周波数」とも呼ぶ）は、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数に近い周波数に設定されることが好ましい。なお、この駆動周波数については後述する。モニター回路３５０は、圧電素子１１０ａ，１１０ｄに流れる駆動電流Ｉｐの電流値を検出する電流モニター３５２と、駆動電圧発生回路３４０から第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０の間に印加される駆動電圧Ｖｐの電圧値を検出する電圧モニター３５４と、を含んでいる。検出した駆動電流値Ｉｐおよび駆動電圧値Ｖｐは、駆動電圧発生回路３４０に供給される。駆動電圧発生回路３４０は、以下で説明するように、駆動電流値Ｉｐを制御量とし、駆動電圧Ｖｐを操作量とするフィードバック制御を実行する。また、駆動電圧発生回路３４０は、以下で説明するように、駆動電圧値Ｖｐに基づいて、発生する駆動電圧Ｖｐを制限することが好ましい。 The drive circuit 300 includes a drive voltage generation circuit 340 and a monitor circuit 350. The drive voltage generation circuit 340 generates, as a drive voltage, an alternating voltage or a pulsating voltage that fluctuates between a positive side and a negative side with respect to a certain level of DC voltage equal to or higher than the ground potential. The generated drive voltage is applied to the piezoelectric elements 110a and 110d via the wirings 314 and 320. The frequency of the drive voltage (hereinafter also referred to as “drive frequency”) is preferably set to a frequency close to the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device 10. This drive frequency will be described later. The monitor circuit 350 is a current monitor 352 that detects the current value of the drive current Ip that flows through the piezoelectric elements 110a and 110d, and a drive that is applied between the second electrodes 150a and 150d and the first electrode 130 from the drive voltage generation circuit 340. And a voltage monitor 354 for detecting a voltage value of the voltage Vp. The detected drive current value Ip and drive voltage value Vp are supplied to the drive voltage generation circuit 340. As described below, the drive voltage generation circuit 340 performs feedback control using the drive current value Ip as a control amount and the drive voltage Vp as an operation amount. The drive voltage generation circuit 340 preferably limits the generated drive voltage Vp based on the drive voltage value Vp, as will be described below.

図６は、駆動電圧発生回路３４０における駆動電流のフィードバック制御について示す説明図である。図６は、駆動電圧Ｖｐの周波数（駆動周波数）ｆｐと一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄのインピーダンスＺ及び駆動電流Ｉｐとの関係を概念的に示すグラフである。 FIG. 6 is an explanatory diagram showing drive current feedback control in the drive voltage generation circuit 340. FIG. 6 is a graph conceptually showing the relationship between the frequency (drive frequency) fp of the drive voltage Vp, the impedance Z of the pair of piezoelectric elements 110a and 110d, and the drive current Ip.

圧電駆動装置１０は、その長手方向の機械的な振動（「縦一次振動」と呼ぶ）の共振周波数ｆｒ１及びその短手方向の蛇行形状の機械的な振動（「屈曲二次振動」と呼ぶ）の共振周波数ｆｒ２を有している。なお、以下では、縦一次振動の共振周波数を単に「縦共振周波数」とも呼び、屈曲二次振動の共振周波数を単に「横共振周波数」あるいは「屈曲共振周波数」とも呼ぶ。また、縦共振周波数および屈曲共振周波数を特に区別しない場合やまとめて示す場合には、単に「共振周波数」とも呼ぶ。 The piezoelectric driving device 10 has a resonance frequency fr1 of mechanical vibration in the longitudinal direction (referred to as “longitudinal primary vibration”) and a meandering mechanical vibration in the lateral direction (referred to as “flexed secondary vibration”). Resonance frequency fr2. Hereinafter, the resonance frequency of the longitudinal primary vibration is also simply referred to as “longitudinal resonance frequency”, and the resonance frequency of the bending secondary vibration is also simply referred to as “lateral resonance frequency” or “flexural resonance frequency”. Further, when the longitudinal resonance frequency and the bending resonance frequency are not particularly distinguished or collectively shown, they are also simply referred to as “resonance frequency”.

図６の実線は、標準的な使用環境における特性を示している。一般に、一対の圧電素子１１０ａ，１１０ｄのインピーダンスＺは、上記機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２で極小の値をとり、共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２からずれた周波数ほどインピーダンスＺの値は大きくなる特性（図６の上段）を有している。また駆動電流Ｉｐの値は、このインピーダンスＺの変化に応じて変化する。すなわち、インピーダンスＺの値が小さくなれば駆動電流Ｉｐの値は大きくなり、インピーダンスＺの値が大きくなれば駆動電流Ｉｐの値は小さくなる特性を有している（図６の下段）。 A solid line in FIG. 6 indicates characteristics in a standard use environment. In general, the impedance Z of the pair of piezoelectric elements 110a and 110d takes a minimum value at the mechanical resonance frequencies fr1 and fr2, and the impedance Z increases as the frequency deviates from the resonance frequencies fr1 and fr2. 6). Further, the value of the drive current Ip changes according to the change of the impedance Z. That is, the value of the drive current Ip increases as the value of the impedance Z decreases, and the value of the drive current Ip decreases as the value of the impedance Z increases (lower stage in FIG. 6).

そこで、通常、圧電駆動装置１０の駆動周波数ｆｐを機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２と同じ周波数、あるいは、その近くの周波数に設定することにより、圧電駆動装置１０の駆動変位量（機械的な変位量）が大きくなるようにしている。ただし、上記したように、機械的な共振周波数には、縦共振周波数ｆｒ１及び屈曲共振振周波数ｆｒ２の２つが存在しているため、それらの間の周波数ｆｔｓを駆動周波数ｆｐとして設定し、縦一次振動および屈曲二次振動の双方の駆動特性が効率良く得られるようにしている。なお、駆動電圧Ｖｐは、初期状態においては、あらかじめ定めた設定電圧値Ｖｔｓに設定されるものとする。もちろん、駆動周波数ｆｐをいずれか一方の共振周波数に設定するようにしてもよい。なお、以下では、縦共振周波数ｆｒ１と屈曲共振振周波数ｆｒ２の間の周波数ｆｔｓを、「設定駆動周波数ｆｔｓ」とも呼ぶ。 Therefore, the drive displacement amount (mechanical displacement) of the piezoelectric drive device 10 is usually set by setting the drive frequency fp of the piezoelectric drive device 10 to the same frequency as the mechanical resonance frequencies fr1 and fr2 or a frequency close thereto. The amount is increased. However, as described above, since there are two mechanical resonance frequencies, the longitudinal resonance frequency fr1 and the bending resonance vibration frequency fr2, the frequency fts between them is set as the drive frequency fp, and the longitudinal primary frequency Driving characteristics of both vibration and bending secondary vibration can be obtained efficiently. The drive voltage Vp is set to a predetermined set voltage value Vts in the initial state. Of course, the drive frequency fp may be set to one of the resonance frequencies. Hereinafter, the frequency fts between the longitudinal resonance frequency fr1 and the bending resonance vibration frequency fr2 is also referred to as “set drive frequency fts”.

ここで、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数ｆｒ１，ｆｒ２は、従来技術において説明したように、温度条件や負荷条件等の種々の動作条件（外乱）によって変化し、これに応じて、インピーダンス特性及び駆動電流特性が変化する。特に、本実施形態の圧電駆動装置１０（図１）のように、圧電体１４０の厚みが、１００μｍ未満（特に、０．０５μｍ以上２０μｍ以下）の薄膜構造の圧電素子を用いた圧電駆動装置の場合には、機械的な共振周波数は上記動作条件の変化による影響を受け易く変化し易くなる。 Here, as described in the prior art, the mechanical resonance frequencies fr1 and fr2 of the piezoelectric driving device 10 change depending on various operating conditions (disturbances) such as a temperature condition and a load condition. Characteristics and drive current characteristics change. In particular, as in the piezoelectric driving device 10 of the present embodiment (FIG. 1), a piezoelectric driving device using a piezoelectric element having a thin film structure in which the thickness of the piezoelectric body 140 is less than 100 μm (particularly 0.05 μm to 20 μm). In some cases, the mechanical resonance frequency is easily affected by the change in the operating condition and is likely to change.

図６の一点鎖線は、標準的な使用環境に比べて、共振周波数がより高い周波数にずれた場合のインピーダンス特性および駆動電流力特性を示している。この場合の設定駆動周波数ｆｔｓに対応するインピーダンスＺは、標準特性におけるインピーダンス値Ｚｔｓよりも高いインピーダンス値Ｚ１に変化し、これに応じて、駆動電流Ｉｐは、標準特性における設定駆動電流値Ｉｔｓよりも低い電流値Ｉ１に変化する。このため、標準特性の状態、すなわち、共振周波数がずれていない状態に比べて、圧電駆動装置１０の駆動変位量（機械的な変位量）が減少することになる。 The dashed-dotted line in FIG. 6 shows the impedance characteristic and the drive current force characteristic when the resonance frequency is shifted to a higher frequency than in a standard use environment. The impedance Z corresponding to the set drive frequency fts in this case changes to an impedance value Z1 higher than the impedance value Zts in the standard characteristics, and accordingly, the drive current Ip is greater than the set drive current value Its in the standard characteristics. It changes to a low current value I1. For this reason, the driving displacement amount (mechanical displacement amount) of the piezoelectric driving device 10 is reduced as compared with the standard characteristic state, that is, the state where the resonance frequency is not shifted.

そこで、駆動電圧発生回路３４０は、設定駆動電流値Ｉｔｓを目標駆動電流値とし、電流モニター３５２により検出された駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くようにフィードバック制御して駆動電圧Ｖｐを発生する。例えば、図６に示すように、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓよりも低い電流値Ｉ１の場合には、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くように駆動電圧Ｖｐの電圧値を高くする。逆に、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓよりも大きい電流値の場合には、駆動電流値Ｉｐが目標駆動電流値Ｉｔｓに近付くように駆動電圧Ｖｐの電圧値を低くする。 Therefore, the drive voltage generation circuit 340 uses the set drive current value Its as the target drive current value, and performs feedback control so that the drive current value Ip detected by the current monitor 352 approaches the target drive current value Its, thereby setting the drive voltage Vp. Occur. For example, as shown in FIG. 6, when the drive current value Ip is a current value I1 lower than the target drive current value Its, the voltage value of the drive voltage Vp so that the drive current value Ip approaches the target drive current value Its. To increase. On the contrary, when the drive current value Ip is larger than the target drive current value Its, the voltage value of the drive voltage Vp is lowered so that the drive current value Ip approaches the target drive current value Its.

但し、駆動電圧Ｖｐの電圧値が過度に大きくなると、圧電素子１１０ａ，１１０ｄを損傷させる可能性がある。そこで、駆動電圧発生回路３４０は、駆動電圧値Ｖｐが、予め定めた上限値Ｖｕを超えないように制御することが好ましい。 However, if the voltage value of the drive voltage Vp becomes excessively large, the piezoelectric elements 110a and 110d may be damaged. Therefore, it is preferable that the drive voltage generation circuit 340 performs control so that the drive voltage value Vp does not exceed a predetermined upper limit value Vu.

また、駆動電圧Ｖｐの電圧値が過度に小さくなると、圧電素子１１０ａ，１１０ｄが十分な大きさで変位しない可能性がある。そこで、駆動電圧発生回路３４０は、駆動電圧値Ｖｐが、圧電素子１１０が駆動可能な電圧の下限値Ｖｄを下回らないように制御することが好ましい。但し、駆動電圧Ｖｐの上限値制御と下限値制御の両方又は一方を省略してもよい。 Further, if the voltage value of the drive voltage Vp is excessively small, the piezoelectric elements 110a and 110d may not be displaced with a sufficient size. Therefore, it is preferable that the drive voltage generation circuit 340 controls the drive voltage value Vp so that it does not fall below the lower limit value Vd of the voltage that the piezoelectric element 110 can drive. However, both or one of the upper limit control and the lower limit control of the drive voltage Vp may be omitted.

以上のように、本実施形態の圧電駆動装置１０の駆動回路３００は、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置１０による機械的な変位量が一定となるように駆動することができる。これにより、圧電駆動装置１０が被駆動体（例えば、ローター）を駆動する際における被駆動体の駆動状態を、圧電駆動装置１０の機械的な共振周波数が変化しても、ほぼ同じ状態に維持することが可能である。 As described above, the drive circuit 300 of the piezoelectric drive device 10 of the present embodiment is configured so that the mechanical displacement amount by the piezoelectric drive device 10 is constant even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device 10 changes. Can be driven. As a result, the driving state of the driven body when the piezoelectric driving apparatus 10 drives the driven body (for example, the rotor) is maintained substantially the same even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric driving apparatus 10 changes. Is possible.

Ｂ．圧電駆動装置の他の実施形態：
図７は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置１０ａの断面図であり、第１実施形態の図１（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動装置１０ａでは、圧電振動体１００が、図１（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図７においても、図１（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動装置１０ａも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。 B. Other embodiments of the piezoelectric drive:
FIG. 7 is a cross-sectional view of a piezoelectric driving device 10a as another embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. 1B of the first embodiment. In the piezoelectric driving device 10a, the piezoelectric vibrating body 100 is disposed on the diaphragm 200 in a state where the top and bottom of FIG. That is, here, the second electrode 150 is disposed close to the diaphragm 200 and the substrate 120 is disposed farthest from the diaphragm 200. In FIG. 7, as in FIG. 1B, wiring (or a wiring layer and an insulating layer) for electrical connection between the second electrodes 150a to 150e, the first electrode 130, and the second electrode Illustration of wirings (or wiring layers and insulating layers) for electrical connection between 150a to 150e and the drive circuit is omitted. This piezoelectric drive device 10a can also achieve the same effect as that of the first embodiment.

図８（Ａ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｂの平面図であり、第１実施形態の図１（Ａ）に対応する図である。図８（Ａ）〜（Ｃ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図８（Ａ）の圧電駆動装置１０ｂでは、一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃが省略されている。この圧電駆動装置１０ｂも、図４に示すような１つの方向ｚにローター５０を回転させることが可能である。なお、図８（Ａ）の３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄには同じ電圧が印加されるので、これらの３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄを、連続する１つの電極層として形成してもよい。 FIG. 8A is a plan view of a piezoelectric driving device 10b as still another embodiment of the present invention, and corresponds to FIG. 1A of the first embodiment. 8A to 8C, for convenience of illustration, the connection part 220 and the attachment part 230 of the diaphragm 200 are not shown. In the piezoelectric driving device 10b in FIG. 8A, the pair of second electrodes 150b and 150c are omitted. The piezoelectric driving device 10b can also rotate the rotor 50 in one direction z as shown in FIG. Since the same voltage is applied to the three second electrodes 150a, 150e, and 150d in FIG. 8A, these three second electrodes 150a, 150e, and 150d are formed as one continuous electrode layer. May be.

図８（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｃの平面図である。この圧電駆動装置１０ｃでは、図１（Ａ）の中央の第２電極１５０ｅが省略されており、他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが図１（Ａ）よりも大きな面積に形成されている。この圧電駆動装置１０ｃも、第１実施形態とほぼ同様な効果を達成することができる。 FIG. 8B is a plan view of a piezoelectric driving device 10c as still another embodiment of the present invention. In the piezoelectric driving device 10c, the second electrode 150e at the center in FIG. 1A is omitted, and the other four second electrodes 150a, 150b, 150c, and 150d have a larger area than that in FIG. Is formed. This piezoelectric drive device 10c can also achieve substantially the same effect as in the first embodiment.

図８（Ｃ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｄの平面図である。この圧電駆動装置１０ｄでは、図１（Ａ）の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが省略されており、１つの第２電極１５０ｅが大きな面積で形成されている。この圧電駆動装置１０ｄは、長手方向に伸縮するだけであるが、突起部２０から被駆動体（図示省略）に対して大きな力を与えることが可能である。 FIG. 8C is a plan view of a piezoelectric driving device 10d as still another embodiment of the present invention. In the piezoelectric driving device 10d, the four second electrodes 150a, 150b, 150c, and 150d in FIG. 1A are omitted, and one second electrode 150e is formed with a large area. The piezoelectric driving device 10d only expands and contracts in the longitudinal direction, but can apply a large force from the protrusion 20 to the driven body (not shown).

図１及び図８（Ａ）〜（Ｃ）から理解できるように、圧電振動体１００の第２電極１５０としては、少なくとも１つの電極層を設けることができる。但し、図１及び図８（Ａ），（Ｂ）に示す実施形態のように、長方形の圧電振動体１００の対角の位置に第２電極１５０を設けるようにすれば、圧電振動体１００及び振動板２００を、その平面内で屈曲する蛇行形状に変形させることが可能である点で好ましい。 As can be understood from FIG. 1 and FIGS. 8A to 8C, at least one electrode layer can be provided as the second electrode 150 of the piezoelectric vibrating body 100. However, if the second electrode 150 is provided at the diagonal position of the rectangular piezoelectric vibrator 100 as in the embodiment shown in FIGS. 1 and 8A and 8B, the piezoelectric vibrator 100 and The diaphragm 200 is preferable in that it can be deformed into a meandering shape that bends in the plane.

Ｃ．圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動装置１０は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置１０は、例えば、ロボット（電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）も含む）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。 C. Embodiments of a device using a piezoelectric drive:
The piezoelectric drive device 10 described above can apply a large force to the driven body by utilizing resonance, and can be applied to various devices. The piezoelectric driving device 10 is, for example, a robot (including an electronic component conveying device (IC handler)), a dosing pump, a calendar feeding device for a clock, and a printing device (for example, a paper feeding mechanism. However, a piezoelectric driving device used for a head. Then, since the diaphragm is not resonated, it cannot be applied to the head. Hereinafter, representative embodiments will be described.

図９は、上述の圧電駆動装置１０を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動装置１０が設けられており、圧電駆動装置１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。 FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of a robot 2050 using the piezoelectric driving device 10 described above. The robot 2050 includes a plurality of link portions 2012 (also referred to as “link members”) and an arm 2010 (“a” that includes a plurality of joint portions 2020 that connect the link portions 2012 in a rotatable or bendable state. It is also called “arm”. Each joint portion 2020 includes the above-described piezoelectric drive device 10, and the joint portion 2020 can be rotated or bent by an arbitrary angle using the piezoelectric drive device 10. A robot hand 2000 is connected to the tip of the arm 2010. The robot hand 2000 includes a pair of grip portions 2003. The robot hand 2000 also has a built-in piezoelectric driving device 10, and the piezoelectric driving device 10 can be used to open and close the gripping unit 2003 to grip an object. The piezoelectric drive device 10 is also provided between the robot hand 2000 and the arm 2010, and the robot hand 2000 can be rotated with respect to the arm 2010 using the piezoelectric drive device 10.

図１０は、図９に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動装置１０を備えており、圧電駆動装置１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数本の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動装置１０が搭載されている。このため、圧電駆動装置１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。 FIG. 10 is an explanatory diagram of the wrist portion of the robot 2050 shown in FIG. The wrist joint portion 2020 sandwiches the wrist rotating portion 2022, and the wrist link portion 2012 is attached to the wrist rotating portion 2022 so as to be rotatable around the central axis O of the wrist rotating portion 2022. . The wrist rotation unit 2022 includes the piezoelectric driving device 10, and the piezoelectric driving device 10 rotates the wrist link unit 2012 and the robot hand 2000 around the central axis O. The robot hand 2000 is provided with a plurality of grips 2003. The proximal end portion of the grip portion 2003 can be moved in the robot hand 2000, and the piezoelectric driving device 10 is mounted on the base portion of the grip portion 2003. For this reason, by operating the piezoelectric driving device 10, it is possible to move the gripping part 2003 and grip the object.

なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動装置１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動装置１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動装置１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。 The robot is not limited to a single-arm robot, and the piezoelectric driving device 10 can be applied to a multi-arm robot having two or more arms. Here, inside the wrist joint 2020 and the robot hand 2000, in addition to the piezoelectric driving device 10, a power line for supplying power to various devices such as a force sensor and a gyro sensor, a signal line for transmitting a signal, and the like And requires a lot of wiring. Therefore, it is very difficult to arrange the wiring inside the joint portion 2020 and the robot hand 2000. However, since the piezoelectric drive device 10 of the above-described embodiment can reduce the drive current compared to a normal electric motor or a conventional piezoelectric drive device, the joint portion 2020 (particularly, the joint portion at the tip of the arm 2010) or a robot hand. Wiring can be arranged even in a small space such as 2000.

図１１は、上述の圧電駆動装置１０を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動装置１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動装置１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動装置１０を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。 FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of a liquid feed pump 2200 using the above-described piezoelectric driving device 10. The liquid feed pump 2200 includes a reservoir 2211, a tube 2212, the piezoelectric driving device 10, a rotor 2222, a deceleration transmission mechanism 2223, a cam 2202, a plurality of fingers 2213, 2214, 2215, 2216, and a case 2230. 2217, 2218, and 2219 are provided. The reservoir 2211 is a storage unit for storing a liquid to be transported. The tube 2212 is a tube for transporting the liquid sent out from the reservoir 2211. The protrusion 20 of the piezoelectric driving device 10 is provided in a state of being pressed against the side surface of the rotor 2222, and the piezoelectric driving device 10 rotationally drives the rotor 2222. The rotational force of the rotor 2222 is transmitted to the cam 2202 via the deceleration transmission mechanism 2223. Fingers 2213 to 2219 are members for closing the tube 2212. When the cam 2202 rotates, the fingers 2213 to 2219 are sequentially pushed outward in the radial direction by the protrusion 2202A of the cam 2202. The fingers 2213 to 2219 close the tube 2212 in order from the upstream side in the transport direction (reservoir 2211 side). Thereby, the liquid in the tube 2212 is transported to the downstream side in order. In this way, it is possible to realize a small liquid feed pump 2200 that can deliver an extremely small amount with high accuracy and that is small. In addition, arrangement | positioning of each member is not restricted to what was illustrated. Further, a member such as a finger may not be provided, and a ball or the like provided on the rotor 2222 may close the tube 2212. The liquid feed pump 2200 as described above can be used for a medication device that administers a drug solution such as insulin to the human body. Here, by using the piezoelectric driving device 10 according to the above-described embodiment, the driving current is smaller than that of the conventional piezoelectric driving device, so that the power consumption of the dosing device can be suppressed. Therefore, it is particularly effective when the medication apparatus is battery-driven.

Ｄ．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。 D. Variation:
The present invention is not limited to the above-described examples and embodiments, and can be implemented in various modes without departing from the gist thereof. For example, the following modifications are possible.

（１）変形例１：
上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。 (1) Modification 1:
In the above embodiment, the first electrode 130, the piezoelectric body 140, and the second electrode 150 are formed on the substrate 120. However, the substrate 120 is omitted, and the first electrode 130 and the piezoelectric material are formed on the vibration plate 200. The body 140 and the second electrode 150 may be formed.

（２）変形例２：
上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。 (2) Modification 2:
In the above embodiment, one piezoelectric vibrating body 100 is provided on each of both surfaces of the vibration plate 200, but one of the piezoelectric vibrating bodies 100 can be omitted. However, providing the piezoelectric vibrating bodies 100 on both surfaces of the diaphragm 200 is preferable in that it is easier to deform the diaphragm 200 into a meandering shape bent in the plane.

（３）変形例３：
上記実施形態では、駆動電圧値Ｖｐが、予め定めた上限値Ｖｕを超えないように制御する構成を例に説明したが、駆動電流Ｉｐと駆動電圧Ｖｐの積で表される駆動電力が、予め定めた上限値を超えないように制御するようにしてもよい。 (3) Modification 3:
In the above embodiment, the configuration in which the drive voltage value Vp is controlled so as not to exceed the predetermined upper limit value Vu has been described as an example. However, the drive power represented by the product of the drive current Ip and the drive voltage Vp is You may make it control so that the defined upper limit may not be exceeded.

（４）変形例４：
上記実施形態では、成膜プロセスで形成した薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０を例に説明したが、いわゆるバルク状の圧電体を用いた圧電駆動装置を駆動する駆動回路においても適用可能である。いわゆるバルク状の圧電体を用いた圧電駆動装置において、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な変位量が一定となるように駆動することができ、圧電駆動装置の機械的な共振周波数が変化しても、圧電駆動装置による機械的な駆動状態を同じ状態で容易に維持することが可能である。なお、「バルク状の圧電体」とは、厚さが１００μｍ以上の圧電体を意味する。ただし、上記実施形態の薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０の方が機械的な共振周波数の変化の影響が大きいので、実施形態のバルク状の薄膜状の圧電体１４０を用いた圧電駆動装置１０の方が、効果が大きい。 (4) Modification 4:
In the above embodiment, the piezoelectric driving device 10 using the thin film piezoelectric body 140 formed by the film forming process has been described as an example. However, the driving circuit for driving the piezoelectric driving device using the so-called bulk piezoelectric body is also used. Applicable. In a piezoelectric drive device using a so-called bulk piezoelectric body, even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric drive device changes, it can be driven so that the mechanical displacement amount by the piezoelectric drive device becomes constant, Even if the mechanical resonance frequency of the piezoelectric driving device changes, the mechanical driving state by the piezoelectric driving device can be easily maintained in the same state. The “bulk piezoelectric body” means a piezoelectric body having a thickness of 100 μm or more. However, since the piezoelectric drive device 10 using the thin film-like piezoelectric body 140 of the above embodiment is more affected by the change in mechanical resonance frequency, the bulk-like thin film-like piezoelectric body 140 of the embodiment is used. The piezoelectric drive device 10 is more effective.

以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。 The embodiments of the present invention have been described above based on some examples. However, the above-described embodiments of the present invention are for facilitating the understanding of the present invention and limit the present invention. It is not a thing. The present invention can be changed and improved without departing from the spirit and scope of the claims, and it is needless to say that the present invention includes equivalents thereof.

１０…圧電駆動装置
２０…突起部
５０…ローター
５１…中心
１００…圧電振動体
１１０…圧電素子
１２０…基板
１３０…第１電極
１４０…圧電体
１５０…第２電極
１５１，１５２…配線
２００…振動板
２１１…第１面
２１２…第２面
２１０…振動体部
２２０…接続部
２３０…取付部
２４０…ネジ
３００…駆動回路
３１０，３１２，３１４，３２０…配線
３４０…駆動電圧発生回路
３５０…モニター回路
３５２…電流モニター
３５４…電圧モニター
２０００…ロボットハンド
２００３…把持部
２０１０…アーム
２０１２…リンク部
２０２０…関節部
２０２２…手首回動部
２０５０…ロボット
２２００…送液ポンプ
２２０２…カム
２２０２Ａ…突起部
２２１１…リザーバー
２２１２…チューブ
２２１３…フィンガー
２２２２…ローター
２２２３…減速伝達機構
２２３０…ケース DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Piezoelectric drive device 20 ... Projection part 50 ... Rotor 51 ... Center 100 ... Piezoelectric vibrating body 110 ... Piezoelectric element 120 ... Substrate 130 ... First electrode 140 ... Piezoelectric body 150 ... Second electrode 151, 152 ... Wiring 200 ... Diaphragm 211 ... first surface 212 ... second surface 210 ... vibrating body portion 220 ... connecting portion 230 ... mounting portion 240 ... screw 300 ... driving circuit 310, 312, 314, 320 ... wiring 340 ... driving voltage generating circuit 350 ... monitor circuit 352 ... Current monitor 354 ... Voltage monitor 2000 ... Robot hand 2003 ... Holding part 2010 ... Arm 2012 ... Link part 2020 ... Joint part 2022 ... Wrist rotation part 2050 ... Robot 2200 ... Liquid feeding pump 2202 ... Cam 2202A ... Protrusion 2211 ... Reservoir 2212 ... Tube 2213 ... Finger 22 22 ... Rotor 2223 ... Deceleration transmission mechanism 2230 ... Case

Claims

A piezoelectric body, an electrode provided on the piezoelectric body, a piezoelectric element having the piezoelectric body,
A drive circuit for applying a drive voltage to the electrodes;
With
The drive circuit drives the piezoelectric element so that the drive current value of the piezoelectric element approaches a target current value that is a drive current value corresponding to a drive frequency set when the piezoelectric element has standard characteristics. A piezoelectric drive device that performs feedback control using a current as a control amount and the drive voltage as an operation amount .

The piezoelectric drive device according to claim 1 ,
The piezoelectric drive device, wherein the drive circuit performs upper limit control so that the drive voltage or drive power does not exceed a preset upper limit.

In the piezoelectric drive device according to claim 1 or 2 ,
The piezoelectric driving device, wherein the piezoelectric body has a thickness of 0.05 μm or more and 20 μm or less.

In the piezoelectric drive device according to any one of claims 1 to 3 ,
A diaphragm having a first surface and a second surface;
A piezoelectric vibrator including the piezoelectric element,
The piezoelectric vibrator is disposed on at least one of the first surface and the second surface of the diaphragm.

The piezoelectric drive device according to claim 4 .
The piezoelectric vibrator is disposed on the first surface and the second surface of the diaphragm.

In the piezoelectric drive device according to claim 4 or 5 ,
A piezoelectric driving device comprising a protrusion provided on the diaphragm and capable of contacting a driven body.

In the piezoelectric drive device according to any one of claims 1 to 6 ,
The electrode includes a first electrode and a second electrode,
The piezoelectric driving device, wherein the piezoelectric body is located between the first electrode and the second electrode.

A plurality of link portions and a joint portion connecting the plurality of link portions;
The piezoelectric drive device according to any one of claims 1 to 7, wherein the plurality of link portions are bent at the joint portions.
Robot equipped with.

The robot driving method according to claim 8 , wherein the driving circuit of the piezoelectric driving device performs feedback control using the driving current value of the piezoelectric element as a control amount and the driving voltage as an operation amount . A robot driving method in which the plurality of link portions are rotated by the joint portions.

A method for driving a piezoelectric driving device according to any one of claims 1 to 7 ,
A method for driving a piezoelectric drive device, wherein feedback control is performed using a drive current value of the piezoelectric element as a control amount and the drive voltage as an operation amount .