JP6326315B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Landscapes
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Description
2 基板
2a 塗布始端
2b 塗布終端
3 テーブル
4 基台
5 走行レール
6 塗膜形成ユニット
7 走行体
7a 柱部
7b 梁部
7c 前進走行方向前面
7d 昇降用スリット
7e 前進走行方向後面
8 ノズル
9 連結部
10 硬化手段
11 スライド機構
11a ねじ軸
11b ナット
12 モータ
13 旋回機構
14 サポートメンバー
14a 後端
15 スイングアーム
15a 一端
16 回転軸
C 塗液
D 水平方向間隔
F UV光
L 基板の長さ
V 走行体の走行速度(塗布処理速度)
Va 硬化手段の移動速度
a テーブル
b 基板
c 塗膜
d 塗膜形成ユニット
e 塗液
f ノズル
g 硬化手段
h 連結部
i UV光
LX 間隔
VX 走行速度
θ スイングアームの角度
Claims (7)
- 塗液を吐出するノズルと塗液を硬化させる硬化手段とが連結部を介して連結された塗膜形成ユニットを基板の長さ方向に走行移動して、該ノズルにより基板を塗布処理した後、該硬化手段で基板に塗布された塗液を硬化処理する塗布装置であって、上記連結部に、上記ノズルと上記硬化手段との水平方向間隔を調整する調整機構を備え、
前記調整機構は、前記硬化手段を基板面に沿って旋回可能とする旋回機構であることを特徴とする塗布装置。 - 前記硬化手段は、個々に異なる前記水平方向間隔の設定が可能に、基板の幅方向に複数配列され、前記連結部は、これら硬化手段を個別に前記ノズルに連結するために複数設けられることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記調整機構は、前記ノズルに対して前記硬化手段を相対移動させるための駆動手段を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。
- 塗液を吐出するノズルと塗液を硬化させる硬化手段とが連結部を介して連結された塗膜形成ユニットを基板の長さ方向に走行移動して、該ノズルにより基板を塗布処理した後、該硬化手段で基板に塗布された塗液を硬化処理する塗布装置であって、上記連結部に、上記ノズルと上記硬化手段との水平方向間隔を調整する調整機構を備え、
前記調整機構は、前記硬化手段を基板の長さ方向に沿ってスライド可能とするスライド機構であり、
前記硬化手段は、個々に異なる前記水平方向間隔の設定が可能に、基板の幅方向に複数配列され、前記連結部は、これら硬化手段を個別に前記ノズルに連結するために複数設けられることを特徴とする塗布装置。 - 前記調整機構は、前記ノズルに対して前記硬化手段を相対移動させるための駆動手段を備えることを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。
- 請求項1,2または4いずれかの項に記載の塗布装置を用い、前記調整機構により前記ノズルと前記硬化手段との水平方向間隔を設定した後、前記塗膜形成ユニットを走行移動して、該ノズルによる塗布処理と該硬化手段による硬化処理を行うようにしたことを特徴とする塗布方法。
- 請求項3または5に記載の塗布装置を用い、前記塗膜形成ユニットを走行移動して前記ノズルによる塗布処理を行うとき、前記駆動手段で前記硬化手段を該ノズルに対して相対移動しながら硬化処理を行うようにしたことを特徴とする塗布方法。
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