JP6304419B2 - 樹脂組成物、並びにそれを用いた樹脂シート、プリプレグ、積層板、金属基板、プリント配線板及びパワー半導体装置 - Google Patents
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Description
〔一般式(III)中、Ar1、Ar2、及びAr3はそれぞれ同一又は相異なって、下記一般式のいずれかで示されるいずれかの二価基を表わす。R1、R2、R3、R4、R5、及びR6はそれぞれ同一又は相異なって、水素原子又は炭素数1〜18のアルキル基を表わす。Q1及びQ2はそれぞれ同一又は相異なって、炭素数1〜9の直鎖状アルキレン基を表わし、該直鎖状アルキレン基を構成するメチレン基は、炭素数1〜18のアルキレン基で置換されていてもよく、また、該メチレン基の間に−O−又は−N(R7)−が挿入されていてもよい。ここで、R7は、水素原子もしくは炭素数1〜18のアルキル基を表わす。〕
〔ここで、Rはそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜18のアルキル基を表わし、aは1〜8の整数を、b、e、及びgは1〜6の整数を、cは1〜7の整数を、d及びhは1〜4の整数を、fは1〜5の整数をそれぞれ表わす。また、上記二価基において、Rが複数のとき、全てのRが同一の基を表わしてもよいし、異なる基を表わしてもよい。〕
〔一般式(IV)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕
本発明の樹脂組成物は、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1nm以上500nm未満の範囲にピークを有し、かつα−アルミナを含む第一のフィラーと、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1μm〜100μmの範囲にピークを有する第二のフィラーと、分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂と、を含む。前記樹脂組成物は、例えば、重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm以上500nm未満であり、α−アルミナを含む第一のフィラーと、重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1μm〜100μmである第二のフィラーと、分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂と、を混合することで作製することができる。
前記樹脂組成物は、必要に応じてその他の成分をさらに含んで構成される。かかる構成であることで、優れた熱伝導性と優れた流動性とを両立することができる。
この推定メカニズムについて図面を参照しながら、さらに説明する。
図2に模式的に示すように、第一のフィラー20の表面にはメソゲン基を有する熱硬化性樹脂からなる硬化物30が高次構造を形成する。このため、第一のフィラー20の周囲には熱を効率的に伝えることができる高次構造形成部分(30aと表記する)が存在することになる。この高次構造形成部分30aを有する第一のフィラー20が集合することにより、熱伝導が損失する領域をなくすことができる。このため、フィラー間で非常に効率的に熱を伝えることができると考えられる。
図3に模式的に示すように、この高次構造形成部分30aを有する第一のフィラー20が第二のフィラー10同士で形成される隙間を埋めるように入り込むことで、上記に述べた理由により非常に効率よく熱を伝えることが可能となり、より高い熱伝導率が得ることができると考えられる。図3中の矢印は図1と同様、熱伝導経路を模式的に示すものである。例えば、第二のフィラー10、硬化物30による高次構造形成部分(30a)、第一のフィラー20、硬化物30による高次構造形成部分30a、第二のフィラー10という順序で、熱伝導を損失することなく熱を伝えることができる。
図4は硬化樹脂組成物が第一のフィラー20を含まない場合を模式的に示す。この場合、第二のフィラー10同士で形成される隙間が熱伝導を阻害するため、高い熱伝導率が得られないと考えられる。
図5は硬化樹脂組成物が第一のフィラー20に該当しないフィラー(例えば、α−アルミナ以外の物質からなる平均粒子径(D50)が1nm以上500nm未満のフィラー40)を含む場合を模式的に示す。この場合、例えメソゲン基を有する熱硬化性樹脂からなる硬化物30を用いても、フィラー40の表面に硬化物30の高次構造は形成されない。このため、フィラー40同士や第二のフィラー20とフィラー40との間に形成される隙間が熱伝導を阻害する。このため、高い熱伝導率が得られないと考えられる。
なお、第一のフィラー表面における樹脂硬化物の高次構造の存在は、以下のようにして見出すことができる。
なお、第一のフィラーに限らず、窒化ホウ素、アルミナ、窒化アルミニウム、シリカ等の高熱伝導性セラミックフィラーであれば上記現象を観察することができるが、α−アルミナフィラーである場合、平均粒子径(D50)が第一のフィラーの範囲外であっても、フィラーを中心として形成される干渉模様の面積が極めて大きい。
以下、樹脂組成物に用いる材料及び樹脂組成物の物性について説明する。
前記樹脂組成物は、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1nm以上500nm未満の範囲にピークを有し、かつα−アルミナを含む第一のフィラーを含む。すなわち、前記樹脂組成物は、重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm以上500nm未満であり、かつα−アルミナを含む第一のフィラーを含む。
第一のフィラーの平均粒子径の求め方は、前述の通りである。
第一のフィラーの含有率は、熱伝導性及び流動性を高める観点から、0.2体積%〜10体積%であることが好ましく、0.2体積%〜8体積%であることがより好ましい。
ここで、樹脂組成物の全固形分とは、樹脂組成物から揮発性の成分を除去した残分を意味する。
Aw:第一のフィラーの質量組成比(質量%)
Bw:第二のフィラーの質量組成比(質量%)
Cw:熱硬化性樹脂の質量組成比(質量%)
Dw:硬化剤の質量組成比(質量%)
Ew:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の質量組成比(質量%)
Ad:第一のフィラーの比重
Bd:第二のフィラーの比重
Cd:熱硬化性樹脂の比重
Dd:硬化剤の比重
Ed:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の比重
前記樹脂組成物は、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1μm〜100μmの範囲にピークを有する第二のフィラーの少なくとも1種を含む。すなわち、前記樹脂組成物は、重量累積粒度分布から求めた平均粒子径(D50)が1μm〜100μmである第二のフィラーの少なくとも1種を含む。
Aw:第一のフィラーの質量組成比(質量%)
Bw:第二のフィラーの質量組成比(質量%)
Cw:熱硬化性樹脂の質量組成比(質量%)
Dw:硬化剤の質量組成費(質量%)
Ew:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の質量組成比(質量%)
Ad:第一のフィラーの比重
Bd:第二のフィラーの比重
Cd:熱硬化性樹脂の比重
Dd:硬化剤の比重
Ed:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の比重
なお、第三のフィラーの熱伝導性の好ましい態様は、前記第二のフィラーと同様である。
前記樹脂組成物は、分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂の少なくとも1種を含む。
以下、メソゲン含有エポキシ樹脂の具体例を示すが、本発明における熱硬化性樹脂はこれらに限定されない。
なお、前記樹脂組成物が後述の硬化剤や硬化促進剤を含む場合、ここでいう熱硬化性樹脂の含有率には、これら硬化剤や硬化促進剤の含有率を含めるものとする。
また、樹脂組成物に含まれるα−アルミナのD50が1nm以上500nm未満である場合、前記エポキシ樹脂モノマーの高次構造形成効果が顕著となる傾向にあり、熱伝導性の向上も顕著となる傾向にある。
さらにR1〜R4のうちの2〜4個が水素原子であることが好ましく、3個または4個が水素原子であることが好ましく、4個すべてが水素原子であることが好ましい。R1〜R4のいずれかが炭素数1〜3のアルキル基である場合、R1およびR4の少なくとも一方が炭素数1〜3のアルキル基であることが好ましい。
前記樹脂組成物は、硬化剤を少なくとも1種類含むことが好ましい。硬化剤としては熱硬化性樹脂を熱硬化可能であれば特に制限されない。前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂の場合の硬化剤としては、例えば、酸無水物系硬化剤、アミン系硬化剤、フェノール系硬化剤、及びメルカプタン系硬化剤等の重付加型硬化剤や、イミダゾール等の触媒型硬化剤等を挙げることができる。
中でも、耐熱性の観点から、アミン系硬化剤及びフェノール系硬化剤から選ばれる少なくとも1種類を用いることが好ましく、さらに、保存安定性の観点から、フェノール系硬化剤の少なくとも1種類を用いることがより好ましい。
中でも、熱伝導率の観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタン及び1,5−ジアミノナフタレンから選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、1,5−ジアミノナフタレンであることがより好ましい。
mはそれぞれ独立に、0〜2の整数を表わし、mが2の場合、2つのR1は同一であっても異なっていてもよい。本発明において、mはそれぞれ独立に、0又は1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
また、nはそれぞれ独立に、1〜7の整数を表わす。
さらに、耐熱性の観点から、R2及びR3の少なくとも一方はアリール基であることもまた好ましく、炭素数6〜12のアリール基であることがより好ましい。
なお、上記アリール基は芳香族基にヘテロ原子を含んでいてもよく、ヘテロ原子と炭素の合計数が6〜12となるヘテロアリール基であることが好ましい。
また、上記一般式(I−2)で表わされるカテコールに由来する構造単位を有する化合物においても同様、カテコール以外のフェノール化合物に由来する部分構造の少なくとも1種を含んでいてもよい。
また、熱伝導性を特に高める観点から、繰り返し数nで表される構造単位は、レゾルシノールに由来する基を含んでいることが好ましい。
なお、(m+n)の下限値は特に制限されない。
なお、上記一般式(II−1)〜(II−4)のいずれかで表わされる部分構造を有するフェノールノボラック樹脂は電界脱離イオン化質量分析法(FD−MS)によって、そのフラグメント成分として前記部分構造を容易に特定することができる。
これらMn及びMwは、GPCを用いた通常の方法により測定される。
前記樹脂組成物においてフェノール系硬化剤を用いる場合、必要に応じて硬化促進剤を併用しても構わない。硬化促進剤を併用することで、さらに十分に硬化させることができる。硬化促進剤の種類や配合量は特に限定されないが、反応速度や反応温度、保管性などの観点から、適切なものを選択することができる。硬化促進剤の具体例としては、イミダゾール系化合物、有機リン系化合物、第3級アミン、及び第4級アンモニウム塩などが挙げられる。これらは1種単独でも、2種類以上を併用してもよい。
中でも、耐熱性の観点から、有機ホスフィン化合物、及び有機ホスフィン化合物と有機ボロン化合物との錯体からなる群より選択される少なくとも1つであることが好ましい。
前記樹脂組成物は、シランカップリング剤の少なくとも1種をさらに含むことが好ましい。シランカップリング剤を添加する効果としては、第一のフィラーや第二のフィラーの表面とその周りを取り囲む熱硬化性樹脂の間で共有結合を形成する役割(バインダ剤に相当)を果たし、熱を効率良く伝達する働きや、さらには水分の浸入を妨げることによって絶縁信頼性の向上にも寄与する。
これらシランカップリング剤は1種単独でも、2種類以上を併用してもよい。
前記樹脂組成物は、有機溶剤の少なくとも1種をさらに含んでいてもよい。有機溶剤を含むことで、種々の成形プロセスに適合させることができる。有機溶剤としては、通常用いられる有機溶剤を用いることができる。具体的には、アルコール系溶剤、エーテル系溶剤、ケトン系溶剤、アミド系溶剤、芳香族炭化水素系溶剤、エステル系溶剤、ニトリル系溶剤等を挙げることができる。例えば、メチルイソブチルケトン、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、スルホラン、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン等を用いることができる。これらは1種単独でも、2種類以上を併用した混合溶剤として用いてもよい。
本発明における樹脂組成物は、上記成分に加え、必要に応じてその他の成分を含むことができる。例えば、エラストマー、分散剤等が挙げられる。エラストマーとしては、アクリル樹脂が挙げられ、より具体的には(メタ)アクリル酸または(メタ)アクリル酸エステルから誘導されるホモポリマーまたはコポリマーを挙げることができる。分散剤としては、味の素ファインテック株式会社製アジスパーシリーズ、楠本化成株式会社製HIPLAADシリーズ、株式会社花王製ホモゲノールシリーズ等が挙げられる。これら分散剤は二種類以上を併用することができる。
本発明の半硬化樹脂組成物は前記樹脂組成物に由来するものであり、前記樹脂組成物を半硬化処理してなる。前記半硬化樹脂組成物は、例えば、これをシート状に成形した場合に、半硬化処理していない樹脂組成物からなる樹脂シートに比べて取り扱い性が向上する。
本発明の硬化樹脂組成物は前記樹脂組成物に由来するものであり、前記樹脂組成物を硬化処理してなる。前記硬化樹脂組成物は熱伝導性と絶縁性に優れる。これは例えば、樹脂組成物に含まれる分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂が特定のフィラーと組み合わされた結果、高次構造を形成しているためと考えることができる。
例えば、未硬化状態の樹脂組成物又は前記半硬化樹脂組成物を100℃〜250℃で1時間〜10時間、好ましくは130℃〜230℃で1時間〜8時間加熱することで硬化樹脂組成物が得られる。
本発明の樹脂シートは、前記樹脂組成物をシート状に成形してなる。前記樹脂シートは、例えば、前記樹脂組成物を離型フィルム上に塗布し、必要に応じて含まれる溶剤を除去することで製造することができる。前記樹脂シートは、前記樹脂組成物から形成されることで、熱伝導性、流動性、及び可とう性に優れる。
例えば、未硬化状態の樹脂シート又はBステージシートを100℃〜250℃で1時間〜10時間、好ましくは130℃〜230℃で1時間〜8時間加熱することで硬化樹脂組成物からなる樹脂シートが得られる。また、1MPa〜20MPaの圧力をかけながら上記加熱を行うことが好ましい。
本発明のプリプレグは、繊維基材と、前記繊維基材に含浸された前記樹脂組成物と、を有して構成される。かかる構成であることで、熱伝導率及び絶縁性に優れたプリプレグとなる。また、α−アルミナフィラーを含有する樹脂組成物は、チキソ性が向上するため、後述する塗工工程や含浸工程における第二のフィラーの沈降を抑制することができる。したがって、プリプレグの厚み方向での第二のフィラーの濃淡分布の発生を抑えることができ、結果として、熱伝導率及び絶縁性に優れるプリプレグが得られる。
本発明における積層板は、被着材と、前記被着材上に配置された半硬化樹脂組成物層又は硬化樹脂組成物層と、を有する。前記半硬化樹脂組成物層及び硬化樹脂組成物層は、前記樹脂組成物から構成される樹脂組成物層、前記樹脂シート、及び前記プリプレグから選択される少なくとも1つに由来する半硬化樹脂組成物層及び硬化樹脂組成物層である。前記樹脂組成物から形成される半硬化樹脂組成物層又は硬化樹脂組成物層を有することで、熱伝導性及び絶縁性に優れた積層板となる。
前記積層板の一例として、後述のプリント配線板を作製するのに用いることができる金属箔付樹脂硬化物及び金属基板を挙げることができる。
前記金属箔付樹脂硬化物を構成する金属箔及び硬化樹脂組成物層の詳細は、既述の通りである。
前記金属基板を構成する金属箔及び硬化樹脂組成物層の詳細は、既述の通りである。
本発明のプリント配線板は、金属板と、硬化樹脂組成物層と、配線層とがこの順に積層されてなる。前記硬化樹脂組成物層は、前記樹脂組成物から構成される樹脂組成物層、前記樹脂シート、及び前記プリプレグから選択される少なくとも1つに由来する硬化樹脂組成物層である。前記樹脂組成物から形成される硬化樹脂組成物層を有することで、熱伝導性及び絶縁性に優れたプリント配線板となる。
本発明のパワー半導体装置は、金属板、はんだ層及び半導体チップがこの順に積層された半導体モジュールと、放熱部材と、前記半導体モジュールの前記金属板と前記放熱部材との間に配置された本発明の樹脂組成物のシート状成形体である樹脂シートの硬化体と、を含む。
前記パワー半導体装置は、半導体モジュール部分のみが封止材等で封止されていても、パワー半導体モジュール全体がモールド樹脂等でモールドされていてもよい。以下、前記パワー半導体装置の一例を図面を用いて説明する。
また、図12はパワー半導体装置の構成の別の一例を示す概略断面図である。図12では、金属板106とはんだ層110と半導体チップ108とがこの順に積層された半導体モジュールにおける金属板106と、放熱ベース基板104との間に樹脂シートの硬化体102が配置され、半導体モジュールと放熱ベース基板104とがモールド樹脂112でモールドされている。
(第一のフィラー)
・HIT−70[α−アルミナ、住友化学(株)製、平均粒子径:150nm]
・AA−04[α−アルミナ、住友化学(株)製、平均粒子径:400nm]
・HP−40[窒化ホウ素、水島合金鉄(株)製、平均粒子径:18μm]
・FAN−f30[窒化アルミニウム、古河電子(株)製、平均粒子径:30μm]
・FAN−f05[窒化アルミニウム、古河電子(株)製、平均粒子径:5μm]
・ShapalH[窒化アルミニウム、トクヤマ(株)製、平均粒子径:0.6μm]
・下記樹脂A(特許第4619770号公報参照)
・CRN[カテコールレゾルシノールノボラック(仕込み比:5/95)樹脂、日立化成工業(株)製、シクロヘキサノン50%含有]
<CRNの合成方法>
撹拌機、冷却器、温度計を備えた3Lのセパラブルフラスコに、レゾルシノール627g、カテコール33g、37%ホルムアルデヒド316.2g、シュウ酸15g、水300gを入れ、オイルバスで加温しながら100℃に昇温した。104℃前後で還流し、還流温度で4時間反応を続けた。その後、水を留去しながらフラスコ内の温度を170℃に昇温した。170℃を保持しながら8時間反応を続けた。反応後、減圧下20分間濃縮を行い、系内の水等を除去し、目的であるフェノール樹脂CRNを得た。
また、得られたCRNについて、FD−MSにより構造を確認したところ、一般式(II−1)〜(II−4)で表される部分構造すべての存在が確認できた。
Mn及びMwの測定は、(株)日立製作所製高速液体クロマトグラフィL6000、及び(株)島津製作所製データ解析装置C−R4Aを用いて行った。分析用GPCカラムは東ソー(株)製G2000HXL及びG3000HXLを使用した。試料濃度は0.2質量%、移動相にはテトラヒドロフランを用い、流速1.0ml/minで測定を行った。ポリスチレン標準サンプルを用いて検量線を作成し、それを用いてポリスチレン換算値でMn及びMwを計算した。
水酸基当量は、塩化アセチル−水酸化カリウム滴定法により測定した。なお、滴定終点の判断は溶液の色が暗色のため、指示薬による呈色法ではなく、電位差滴定によって行った。具体的には、測定樹脂の水酸基をピリジン溶液中塩化アセチル化した後その過剰の試薬を水で分解し、生成した酢酸を水酸化カリウム/メタノール溶液で滴定したものである。得られたCRNについて以下に示す。
・TPP:トリフェニルホスフィン[硬化促進剤]
・KBM−573:3−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン[シランカップリング剤、信越化学工業(株)製]
・CHN:シクロヘキサノン
・PETフィルム[藤森工業(株)製、75E−0010CTR−4]
・銅箔[古河電工(株)製、厚さ:80μm、GTSグレード]
<樹脂組成物の作製>
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)10.22質量%、硬化剤(CRN)6.30質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.56質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
上記で作製したエポキシ樹脂ワニスを、アプリケータを用いて乾燥後の厚みが200μmとなるようにPETフィルム上に塗布した後、100℃で10分間乾燥させた。その後、真空プレスにて熱間加圧(プレス温度:180℃、真空度:1kPa、プレス圧:15MPa、処理時間:60秒)を行い、半硬化樹脂組成物の樹脂シートとしてBステージシートを得た。
上記で得られたBステージシート(厚さ:200μm)のPETフィルムを剥がした後、10mm角に打ち抜き、プレス機を用いて、大気圧条件下、温度:180℃、プレス圧:15MPaで1分間加圧して押しつぶした。押しつぶした試料の外形投影像を300DPI以上のスキャナで取り込み、画像解析ソフト(Adobe Photoshop)にて2値化処理した後、押しつぶす前後における面積(ピクセル数)の変化率からフロー量を評価した。
上記で得られたBステージシートのPETフィルムを剥がした後、2枚の銅箔で、そのマット面がそれぞれBステージシートに対向するようにして挟み、真空プレスにて真空圧着(温度:180℃、真空度:1kPa、プレス圧:15MPa、処理時間:8分)した。その後、大気圧条件下、140℃で2時間、165℃で2時間、さらに190℃で2時間加熱し、銅箔付樹脂硬化物を得た。
(樹脂シート硬化物)
上記で得られた銅箔付樹脂硬化物の銅箔をエッチングして取り除き、硬化樹脂組成物として樹脂シート硬化物を得た。得られた樹脂シート硬化物を、10mm角に切り出してグラファイトスプレーにて黒化処理した後、キセノンフラッシュ法(NETZSCH社製LFA447 nanoflash)を用いて熱拡散率を評価した。この値と、アルキメデス法で測定した密度と、DSC(Perkin Elmer社製DSC Pyris1)で測定した比熱との積から、樹脂シート硬化物の熱伝導率を求めた。
結果を表1に示した。
1−ν=[(λmix−λres)/(λres−λfil)]×(λres/λmix)x
(ただし、x=1/(1+χ))
結果を表1に示した。
λres:樹脂シートにおける樹脂部分の熱伝導率(W/mK)
λfil:樹脂シートにおけるフィラー部分の熱伝導率(W/mK)(第二のフィラーが窒化ホウ素の場合は60、窒化ホウ素とアルミナの混合物の場合は60、窒化アルミニウムの場合は130とした。)
ν:フィラーの体積分率(体積%)
χ:フィラーの形状パラメーター(第二のフィラーが窒化ホウ素の場合は3.1、窒化アルミニウムの場合は2.2とした。)
上記樹脂組成物の作製に用いた熱硬化性樹脂、硬化剤、及び硬化促進剤の混合物を溶融させ、2枚のアルミ板(厚さ:200μm)で挟み込み、大気圧条件下、140℃で1時間、165℃で1時間、さらに190℃で1時間加熱し、アルミ板付フィラー無し樹脂硬化物(厚さ:約150μm)を得た。
結果を表1に示した。
上記で得られた銅箔付樹脂硬化物の銅箔をエッチングして取り除き、硬化樹脂組成物として樹脂シート硬化物を得た。得られた樹脂シート硬化物を、100mm角以上の寸法で切り出して試料とした。ヤマヨ試験器(有)製YST−243−100RHOを用いて、直径25mmの円筒電極で挟み、昇圧速度500V/s、室温、大気中にて絶縁破壊電圧を測定し、5点以上の測定点の平均値と最低値とを求めた。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70:0.45体積%とAA−04:11.76体積%の混合物)12.21質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)58.53質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)10.22質量%、硬化剤(CRN)6.30質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.56質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー63.84質量%(窒化アルミニウム、FAN−f30:49.02体積%とFAN−f05:14.82体積%の混合物)、第三のフィラー(窒化アルミニウム、ShapalH)10.39質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)7.23質量%、硬化剤(CRN)4.46質量%、硬化促進剤(TPP)0.08質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)13.48質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
また、第二のフィラーの平均粒子径(D50)は、24μmであった。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂(樹脂B)10.22質量%、硬化剤(CRN)6.30質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.56質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂(樹脂C)10.34質量%、硬化剤(CRN)6.05質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.69質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂(樹脂D)10.42質量%、硬化剤(CRN)5.90質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.76質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表1に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)74.23質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)7.23質量%、硬化剤(CRN)4.46質量%、硬化促進剤(TPP)0.08質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)13.48質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表1に示した。
第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.61質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)10.26質量%、硬化剤(CRN)6.34質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.61質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表2に示した。
第一のフィラーの代わりにシリカナノフィラー((株)アドマテックス製、商品名:アドマナノ、平均粒子径:15nm)0.25質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.49質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)10.22質量%、硬化剤(CRN)6.30質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.56質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表2に示した。
α−アルミナフィラー(住友化学(株)製、商品名:AA−07、平均粒子径:700nm)0.72質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素,HP−40)66.82質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)12.65質量%、硬化剤(CRN)3.90質量%、硬化促進剤(TPP)0.13質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)11.81質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表2に示した。
γ−アルミナナノフィラー(大明化学(株)製、商品名:TM−300D、平均粒子径:10nm)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂(樹脂A)10.22質量%、硬化剤(CRN)6.30質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.56質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表2に示した。
第一のフィラー(α−アルミナ、HIT−70)0.45質量%、第二のフィラー(窒化ホウ素、HP−40)70.29質量%、熱硬化性樹脂としてビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC(株)製、商品名:EPICLON850、メソゲン基なし)10.08質量%、硬化剤(CRN)6.58質量%、硬化促進剤(TPP)0.11質量%、シランカップリング剤(KBM−573)0.07質量%、及び溶剤(CHN)12.42質量%を混合し、溶剤を含む樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
結果を表2に示した。
なお、表1及び表2において、「−」は未添加であることを示す。
Claims (17)
- レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1nm以上500nm未満の範囲にピークを有し、かつα−アルミナを含む第一のフィラーと、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1μm〜100μmの範囲にピークを有する第二のフィラーと、分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂と、を含む樹脂組成物の硬化体である硬化樹脂組成物であり、
前記第一のフィラーの少なくとも一部は、前記硬化樹脂組成物において前記第二のフィラー同士で形成される隙間に入り込んでおり、
前記第一のフィラーの少なくとも一部の表面には、前記熱硬化性樹脂からなる硬化物が高次構造を形成している、硬化樹脂組成物。 - 重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm以上500nm未満であり、α−アルミナを含む第一のフィラーと、重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1μm〜100μmである第二のフィラーと、分子内にメソゲン基を有する熱硬化性樹脂と、を含む樹脂組成物の硬化体である硬化樹脂組成物であり、
前記第一のフィラーの少なくとも一部は、前記硬化樹脂組成物において前記第二のフィラー同士で形成される隙間に入り込んでおり、
前記第一のフィラーの少なくとも一部の表面には、前記熱硬化性樹脂からなる硬化物が高次構造を形成している、硬化樹脂組成物。 - 前記第一のフィラーの含有率が、前記樹脂組成物の全体積中の0.1体積%〜10体積%である請求項1又は請求項2に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記第二のフィラーの含有率が、前記樹脂組成物の全体積中の55体積%〜85体積%である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記第二のフィラーは、窒化物フィラーを含む請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記窒化物フィラーは、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムからなる群より選択される少なくとも1種を含む請求項5に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂である請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記メソゲン基は3個以上の6員環基が直鎖状に連結した構造を有する請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記エポキシ樹脂は下記一般式(III)又は(IV)で表される請求項7に記載の硬化樹脂組成物。
〔一般式(III)中、Ar1、Ar2、及びAr3はそれぞれ同一又は相異なって、下記一般式のいずれかで示されるいずれかの二価基を表わす。R1、R2、R3、R4、R5、及びR6はそれぞれ同一又は相異なって、水素原子又は炭素数1〜18のアルキル基を表わす。Q1及びQ2はそれぞれ同一又は相異なって、炭素数1〜9の直鎖状アルキレン基を表わし、該直鎖状アルキレン基を構成するメチレン基は、炭素数1〜18のアルキレン基で置換されていてもよく、また、該メチレン基の間に−O−又は−N(R7)−が挿入されていてもよい。ここで、R7は、水素原子もしくは炭素数1〜18のアルキル基を表わす。〕
〔ここで、Rはそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜18のアルキル基を表わし、aは1〜8の整数を、b、e、及びgは1〜6の整数を、cは1〜7の整数を、d及びhは1〜4の整数を、fは1〜5の整数をそれぞれ表わす。また、上記二価基において、Rが複数のとき、全てのRが同一の基を表わしてもよいし、異なる基を表わしてもよい。〕
〔一般式(IV)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕 - フェノールノボラック樹脂をさらに含む請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物。
- 前記フェノールノボラック樹脂が、下記一般式(I−1)及び(I−2)からなる群より選択される少なくとも1つで表わされる構造単位を有する化合物を含む請求項10に記載の硬化樹脂組成物。
一般式(I−1)及び(I−2)中、R1はそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、又はアラルキル基を表わす。R2及びR3はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、又はアラルキル基を表わす。mはそれぞれ独立に、0〜2の整数を表し、nはそれぞれ独立に、1〜7の整数を表わす。 - 前記フェノールノボラック樹脂は、前記フェノールノボラック樹脂を構成するフェノール化合物からなるモノマーの含有比率が5質量%〜80質量%である請求項10又は請求項11に記載の硬化樹脂組成物。
- 被着材と、前記被着材上に配置され、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物からなる硬化樹脂組成物層とを有する積層板。
- 金属箔と、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物からなる硬化樹脂組成物層と、金属板とが、この順に積層された金属基板。
- 金属板と、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物からなる硬化樹脂組成物層と、配線層とが、この順に積層されたプリント配線板。
- 請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の硬化樹脂組成物からなる樹脂シート。
- 金属板、はんだ層及び半導体チップがこの順に積層された半導体モジュールと、放熱部材と、前記半導体モジュールの前記金属板と前記放熱部材との間に配置された請求項16に記載の樹脂シートと、を含むパワー半導体装置。
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