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JP6226316B2 - Cleanliness measuring device - Google Patents

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JP6226316B2 JP2013135088A JP2013135088A JP6226316B2 JP 6226316 B2 JP6226316 B2 JP 6226316B2 JP 2013135088 A JP2013135088 A JP 2013135088A JP 2013135088 A JP2013135088 A JP 2013135088A JP 6226316 B2 JP6226316 B2 JP 6226316B2
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Description

本発明は、洗浄対象物の洗浄度検査装置、及び洗浄度検査方法に関する。   The present invention relates to a cleaning degree inspection apparatus and a cleaning degree inspection method for an object to be cleaned.

従来、例えば特許文献1に記載されているような、ガラスやプラスチック等の洗浄対象物を洗浄液で洗浄する洗浄装置は、医療等の分野で広く用いられている。このような洗浄装置による洗浄対象物の洗浄度が十分であるかの検査については、洗浄者が目視により行うことが一般的であった。   DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the washing | cleaning apparatus which wash | cleans cleaning objects, such as glass and a plastics with a washing | cleaning liquid as described in patent document 1, for example is widely used in the field | areas, such as a medical treatment. The inspection of whether the degree of cleaning of the object to be cleaned by such a cleaning apparatus is sufficient is generally performed visually by a cleaning person.

特開2011−510号公報JP 2011-510 A

しかしながら、洗浄者の目視による検査では、洗浄対象物の洗浄度を精度良く検査できない場合があった。   However, the visual inspection of the cleaning person may not be able to accurately inspect the cleaning degree of the object to be cleaned.

本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、洗浄対象物の洗浄度を精度良く検査することができる洗浄度検査装置、及び洗浄度検査方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a cleaning degree inspection apparatus and a cleaning degree inspection method capable of accurately inspecting the degree of cleaning of an object to be cleaned.

(1)本発明に係る洗浄度検査装置は、洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査装置である。この洗浄度検査装置は、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率を測定する第1測定部と、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第2測定部と、第1測定部で測定された導電率と第2測定部で測定された導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度検査部と、を備える。 (1) A cleaning degree inspection apparatus according to the present invention is a cleaning degree inspection apparatus for inspecting the degree of cleaning of an object to be cleaned with a cleaning liquid. This cleaning degree inspection apparatus includes a first measuring unit that measures the conductivity of a cleaning liquid that is not used for cleaning a cleaning target, and a second measuring unit that measures the conductivity of a cleaning liquid used for cleaning the cleaning target. And a cleanliness inspection unit that inspects the cleanliness of the object to be cleaned using the electrical conductivity measured by the first measurement unit and the electrical conductivity measured by the second measurement unit.

上記構成によれば、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を用いて洗浄対象物の洗浄度が検査される。ここで、洗浄対象物の洗浄が進むと、この洗浄に用いられた洗浄液に溶解する成分の量が減っていくため、この洗浄液の導電率が低い程、洗浄対象物の洗浄度が高いことになる。このため、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率が測定され、洗浄対象物の洗浄度が検査されることで、洗浄者の目視によらずとも、洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。   According to the above configuration, the degree of cleaning of the cleaning object is inspected using the conductivity of the cleaning liquid used for cleaning the cleaning object. Here, as the cleaning of the cleaning object progresses, the amount of components dissolved in the cleaning liquid used for the cleaning decreases, so that the lower the conductivity of the cleaning liquid, the higher the cleaning degree of the cleaning object. Become. For this reason, the conductivity of the cleaning liquid used for cleaning the cleaning object is measured, and the cleaning degree of the cleaning object is inspected, so that the cleaning degree of the cleaning object is inspected without the visual inspection of the cleaning person. can do.

更に、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率も洗浄対象物の洗浄度の検査に用いられるため、洗浄前から洗浄液に含有されていた成分に起因する導電率を、洗浄対象物の洗浄度を検査するために用いることができる。例えば、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率と洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率とを比較することで、洗浄対象物を洗浄することによって洗浄液に溶解された成分に起因する導電率を取得して、洗浄度の検査に用いることができる。このため、例えば市水(水道水)等のような土地や場所によって、洗浄前から溶解されている成分(以下、「ノイズ成分」と記載する)に起因する導電率が一定ではない洗浄液を用いた場合でも、精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。   Furthermore, since the conductivity of the cleaning liquid that is not used for cleaning the cleaning object is also used for the inspection of the cleaning degree of the cleaning object, the conductivity caused by the components contained in the cleaning liquid before the cleaning is determined. Can be used to inspect the degree of cleaning. For example, by comparing the conductivity of the cleaning liquid not used for cleaning the cleaning object with the conductivity of the cleaning liquid used for cleaning the cleaning object, the cleaning object was dissolved in the cleaning liquid by cleaning. The conductivity due to the component can be acquired and used for cleaning degree inspection. For this reason, for example, a cleaning liquid whose conductivity is not constant due to a component dissolved before cleaning (hereinafter referred to as “noise component”) depending on land or place such as city water (tap water) is used. Even if there is, the degree of cleaning of the object to be cleaned can be inspected with high accuracy.

(2)上記洗浄対象物には、所定時間継続して洗浄液が流入され、上記洗浄度検査装置は、洗浄対象物への流入前の洗浄液の一部がこの流入前の洗浄液から分岐されて流入される第1流入管と、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液が流入される第2流入管と、を更に備えてもよい。そして、第1測定部は、第1流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定してもよい。第2測定部は、第2流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定してもよい。洗浄度検査部は、所定サンプリング周期で、第1測定部によって測定された導電率と第2測定部によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して第1測定部から取得された所定の複数個の導電率と、連続して第2測定部から取得された所定の複数個の導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。 (2) The cleaning liquid continuously flows into the object to be cleaned for a predetermined time, and the cleaning degree inspection apparatus has a part of the cleaning liquid before flowing into the object to be cleaned branched from the cleaning liquid before inflow. The first inflow pipe may be further provided with a second inflow pipe into which the cleaning liquid used for cleaning the cleaning object is supplied. The first measurement unit may continuously measure the conductivity of the cleaning liquid that has flowed into the first inflow pipe. The second measurement unit may continuously measure the conductivity of the cleaning liquid that has flowed into the second inflow pipe. The cleanliness inspection unit acquires the conductivity measured by the first measurement unit and the conductivity measured by the second measurement unit at a predetermined sampling period, and continuously acquired from the first measurement unit. The degree of cleaning of the object to be cleaned may be inspected using the plurality of conductivity values and the predetermined plurality of conductivity values obtained from the second measurement unit in succession.

上記構成によれば、連続して取得された所定の複数個の導電率を用いて洗浄対象物の洗浄度を検査するため、洗浄液に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化して洗浄度を検査することができる。このため、より精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。   According to the above configuration, in order to inspect the degree of cleaning of an object to be cleaned using a predetermined plurality of conductivity obtained successively, partial concentration deviation of components dissolved in the cleaning liquid, flow rate, etc. The degree of cleaning can be inspected by smoothing the effect on the conductivity. For this reason, it is possible to inspect the cleaning degree of the object to be cleaned with higher accuracy.

(3)上記洗浄度検査部は、連続して第1測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第1平均値として算出するとともに、連続して第2測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第2平均値として算出し、第1平均値と第2平均値とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。 (3) The cleaning degree inspection unit calculates an average value of the sum of squares of a plurality of predetermined conductivity values continuously acquired from the first measurement unit as the first average value, and continuously performs the second measurement. The average value of the sum of squares of a plurality of predetermined electrical conductivities obtained from the section is calculated as the second average value, and the cleaning degree of the object to be cleaned is inspected using the first average value and the second average value. May be.

上記構成によれば、連続して測定された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値が算出されることで、洗浄液に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を更に一層平滑化して洗浄度を検査することができる。このため、より精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。   According to the above configuration, the average value of the sum of squares of a predetermined plurality of conductivity measured continuously is calculated, so that the partial concentration deviation of the component dissolved in the cleaning liquid, the flow rate, etc. The degree of cleaning can be inspected by further smoothing the influence on the conductivity. For this reason, it is possible to inspect the cleaning degree of the object to be cleaned with higher accuracy.

(4)また、上記洗浄度検査装置は、洗浄液中のパーティクルを検出するパーティクルセンサを更に備えてもよい。そして、上記洗浄度検査部は、パーティクルセンサによる検出結果に基づいて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。 (4) The cleaning degree inspection apparatus may further include a particle sensor that detects particles in the cleaning liquid. And the said cleaning degree test | inspection part may test | inspect the cleaning degree of a washing | cleaning target based on the detection result by a particle sensor.

上記構成によれば、洗浄液中に溶解している成分だけでなく、洗浄液中のパーティクル(溶解していない不純物)の検出結果に基づいて洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。   According to the above configuration, it is possible to inspect the cleaning degree of the cleaning object based on the detection result of not only the components dissolved in the cleaning liquid but also the particles (impurities not dissolved) in the cleaning liquid.

(5)本発明に係る洗浄度検査方法は、洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査方法である。そして、この洗浄度検査方法は、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率を測定する第1測定ステップと、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第2測定ステップと、第1測定ステップで測定された導電率と第2測定ステップで測定された導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度測定ステップと、を含む。 (5) The cleaning degree inspection method according to the present invention is a cleaning degree inspection method for inspecting the degree of cleaning of an object to be cleaned with a cleaning liquid. The cleaning degree inspection method includes a first measurement step for measuring the conductivity of a cleaning liquid that is not used for cleaning the object to be cleaned, and a second method for measuring the conductivity of the cleaning liquid used for cleaning the object to be cleaned. A measurement step, and a cleanliness measurement step of inspecting the cleanliness of the object to be cleaned using the conductivity measured in the first measurement step and the conductivity measured in the second measurement step.

上記構成によれば、(1)の発明と同様の作用効果を奏する。   According to the said structure, there exists an effect similar to invention of (1).

本実施形態に係る洗浄システムを示す図である。It is a figure which shows the washing | cleaning system which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る洗浄度検査装置の正面図である。It is a front view of the cleaning degree inspection device concerning this embodiment. 本実施形態に係る洗浄度検査装置の側面図である。It is a side view of the cleaning degree inspection device concerning this embodiment. 本実施形態に係る洗浄度検査装置の平面図である。It is a top view of the cleaning degree inspection device concerning this embodiment. 本実施形態に係る洗浄度検査装置に搭載される基板である。It is a board | substrate mounted in the cleaning degree inspection apparatus which concerns on this embodiment. 給水(市水)についての検査値の推移と、排水についての検査値の推移とを示すグラフである。It is a graph which shows transition of the inspection value about water supply (city water), and transition of the inspection value about drainage. マンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液と、マンニトール濃度1パーセントの洗浄液と、市水との導電率の計測結果の推移を示すグラフである。It is a graph which shows transition of the measurement result of the electrical conductivity of the cleaning liquid with a mannitol concentration of 0.1 percent, the cleaning liquid with a mannitol concentration of 1 percent, and city water. 図5Aで示すマンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液と市水との導電率の測定結果から算出された検査値を示したグラフである。It is the graph which showed the test value computed from the measurement result of the electrical conductivity of the washing liquid of mannitol concentration 0.1% shown in Drawing 5A, and city water. 所定期間毎に10点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。It is the graph which showed the average value calculated using the sample acquired 10 points | pieces for every predetermined period. 所定期間毎に200点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。It is the graph which showed the average value calculated using the sample acquired 200 points | pieces for every predetermined period. 所定期間毎に500点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。It is the graph which showed the average value calculated using the sample acquired 500 points | pieces for every predetermined period. 所定期間毎に1000点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。It is the graph which showed the average value calculated using the sample acquired 1000 points | pieces for every predetermined period. 本実施形態にかかる洗浄度検査装置における洗浄液の流路の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the flow path of the washing | cleaning liquid in the cleaning degree test | inspection apparatus concerning this embodiment. 本実施形態にかかる洗浄度検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the electrical constitution of the cleaning degree test | inspection apparatus concerning this embodiment. 本実施形態にかかる洗浄度検査装置のバルブの開閉とモータの駆動及び停止タイミングの一例とを示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows an example of the opening / closing of a valve | bulb and the drive of a motor, and a stop timing of the cleanliness inspection apparatus concerning this embodiment.

以下、本発明の好適な一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(洗浄システムの概要)
先ず、図1から図3を用いて、本発明の一実施形態に係る洗浄度検査装置1を備えた洗浄システム100について説明する。
(Outline of cleaning system)
First, a cleaning system 100 including a cleaning degree inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

洗浄システム100は、洗浄液Wによって洗浄対象物Oを洗浄する洗浄装置300と、洗浄対象物Oの洗浄度を検査するための洗浄度検査装置1とからなる。なお、本実施形態においては、洗浄装置300と洗浄度検査装置1とは別体であるが、一体に形成してもよい。本実施形態では、洗浄対象物Oは、例えば、プラスチック製やガラス製等の医療用容器等であるが、特に医療用容器等に限定されない。   The cleaning system 100 includes a cleaning device 300 that cleans the cleaning object O with the cleaning liquid W, and a cleaning degree inspection device 1 that inspects the cleaning degree of the cleaning object O. In the present embodiment, the cleaning device 300 and the cleaning level inspection device 1 are separate bodies, but may be formed integrally. In the present embodiment, the object to be cleaned O is, for example, a medical container made of plastic or glass, but is not particularly limited to a medical container or the like.

洗浄装置300は、洗浄対象物Oを配置するための洗浄容器301を有し、この洗浄容器301に対して洗浄液Wが所定時間継続的に供給(流入)されることで、洗浄対象物Oが洗浄される。なお、洗浄容器301に流入される前の洗浄液W、すなわち、洗浄対象物Oの洗浄に用いられていない洗浄液Wを、以下「給水W1」と記載する。なお、給水W1としては、例えば、水(例えば市水W11)や精製水W12等を用いることができる。   The cleaning apparatus 300 includes a cleaning container 301 for arranging the cleaning object O, and the cleaning liquid W is continuously supplied (inflowed) to the cleaning container 301 for a predetermined time, so that the cleaning object O is Washed. The cleaning liquid W before flowing into the cleaning container 301, that is, the cleaning liquid W that is not used for cleaning the cleaning object O is hereinafter referred to as “water supply W1”. In addition, as the water supply W1, water (for example, city water W11), purified water W12, etc. can be used, for example.

そして、洗浄容器301からは、洗浄対象物Oの洗浄に用いられた洗浄液Wが流出されるようになっている。なお、洗浄に用いられた洗浄液Wを、以下「排水W2」と記載する。   The cleaning liquid W used for cleaning the cleaning target object O flows out from the cleaning container 301. The cleaning liquid W used for cleaning is hereinafter referred to as “drainage W2”.

洗浄度検査装置1は、洗浄対象物Oの洗浄に用いられていない洗浄液W(給水W1)の導電率を測定する導電率計EC1(本発明の「第1測定部」に相当)と、洗浄対象物Oの洗浄に用いられた洗浄液W(排水W2)の導電率を測定する導電率計EC2(本発明の「第2測定部」に相当)と、導電率計EC1で測定された導電率と導電率計EC2で測定された導電率とを用いて、洗浄対象物Oの洗浄度を検査するCPU101(図8参照、本発明の「洗浄度検査部」に相当)と、を備える。   The cleaning degree inspection apparatus 1 includes a conductivity meter EC1 (corresponding to the “first measurement unit” of the present invention) that measures the conductivity of a cleaning liquid W (feed water W1) that is not used for cleaning the cleaning object O, and a cleaning. Conductivity meter EC2 (corresponding to the “second measuring part” of the present invention) that measures the conductivity of the cleaning liquid W (drainage W2) used for cleaning the object O, and the conductivity measured by the conductivity meter EC1 And a CPU 101 (see FIG. 8, corresponding to the “cleaning degree inspection unit” of the present invention) that inspects the degree of cleaning of the object to be cleaned O using the conductivity measured by the conductivity meter EC2.

上記構成によれば、排水W2の導電率を用いて洗浄対象物Oの洗浄度が検査される。ここで、洗浄対象物Oの洗浄が進むと、排水W2に溶解している成分(洗浄剤や洗浄対象物Oに付着している汚れ等の成分。以下、「洗浄由来成分」と記載する)の量が減っていくため、導電率が低い程、洗浄対象物Oの洗浄度が高いことになる。このため、排水W2の導電率を用いることで、排水W2に溶解している成分の量に応じて洗浄対象物Oの洗浄度を検査することができる。   According to the said structure, the cleaning degree of the washing | cleaning target object O is test | inspected using the electrical conductivity of the waste_water | drain W2. Here, as cleaning of the cleaning object O proceeds, components dissolved in the waste water W2 (components such as cleaning agents and dirt adhering to the cleaning object O. Hereinafter, described as “cleaning-derived components”) Therefore, the lower the conductivity, the higher the cleaning degree of the cleaning object O. For this reason, by using the conductivity of the waste water W2, it is possible to inspect the cleaning degree of the cleaning object O according to the amount of the component dissolved in the waste water W2.

更に、給水W1の導電率も洗浄対象物Oの洗浄度の検査に用いられるため、洗浄前から給水W1に溶解されていた成分に起因する導電率を洗浄対象物Oの洗浄度を検査するために用いることができる。例えば、給水W1の導電率と排水W2との導電率とを比較することで、洗浄対象物Oの洗浄によって排水W2に溶解された成分に起因する導電率を取得することができる。このため、洗浄前から洗浄液Wに溶解されているノイズ成分の影響を受けず、精度良く洗浄対象物Oの洗浄度を検査することができる。   Furthermore, since the conductivity of the water supply W1 is also used for the inspection of the cleaning degree of the cleaning object O, the conductivity caused by the components dissolved in the water supply W1 before the cleaning is inspected for the cleaning degree of the cleaning object O. Can be used. For example, by comparing the conductivity of the water supply W1 and the conductivity of the drainage W2, the conductivity due to the component dissolved in the drainage W2 by the cleaning of the cleaning object O can be acquired. For this reason, it is possible to accurately inspect the degree of cleaning of the cleaning object O without being affected by the noise component dissolved in the cleaning liquid W before the cleaning.

また、洗浄度検査装置1は、洗浄対象物Oへの流入前の洗浄液W(給水W1)の一部がこの流入前の洗浄液Wから分岐されて流入される第1流入管2と、洗浄対象物Oの洗浄に用いられた洗浄液W(排水W2)が流入される第2流入管3とを備える。そして、導電率計EC1は、第1流入管2に流入された洗浄液W(給水W1)の導電率を連続的に測定する。導電率計EC2は、第2流入管3に流入された洗浄液W(排水W2)の導電率を連続的に測定する。   Further, the cleaning degree inspection apparatus 1 includes a first inflow pipe 2 into which a part of the cleaning liquid W (feed water W1) before flowing into the cleaning target object O is branched from the cleaning liquid W before flowing in and the cleaning target And a second inflow pipe 3 into which the cleaning liquid W (drainage W2) used for cleaning the object O is supplied. The conductivity meter EC1 continuously measures the conductivity of the cleaning liquid W (feed water W1) that has flowed into the first inflow pipe 2. The conductivity meter EC2 continuously measures the conductivity of the cleaning liquid W (drainage W2) that has flowed into the second inflow pipe 3.

CPU101は、所定サンプリング周期で、導電率計EC1によって測定された導電率と導電率計EC2によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して導電率計EC1から取得された所定の複数個(所定サンプル数)の導電率と、連続して導電率計EC2から取得された上記所定の複数個(所定サンプル数)の導電率とを用いて、洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。   The CPU 101 acquires the conductivity measured by the conductivity meter EC1 and the conductivity measured by the conductivity meter EC2 at a predetermined sampling period, and continuously acquires a predetermined plurality of values acquired from the conductivity meter EC1. The degree of cleaning of the object to be cleaned O is inspected using the (predetermined sample number) conductivity and the predetermined plural (predetermined sample number) conductivity obtained from the conductivity meter EC2.

具体例を説明すると、CPU101は、導電率計EC1で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を第1平均値として算出するとともに、導電率計EC2で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を第2平均値として算出し、第1平均値と第2平均値とを用いて、洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。例えば、CPU101は、第1平均値(又は第1平均値に基づく値)と第2平均値(又は第2平均値に基づく値)とを比較することで、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行う。この一例を挙げれば、CPU101は、第1平均値(又は第1平均値に基づく値)と第2平均値(又は第2平均値に基づく値)との差が所定の閾値以下であるかどうかを判断することで、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行う。   Explaining a specific example, the CPU 101 calculates the average value of the square sum of the conductivity of a predetermined number of samples continuously measured by the conductivity meter EC1 as the first average value, and continuously by the conductivity meter EC2. The average value of the square sum of the measured electrical conductivity of the predetermined number of samples is calculated as the second average value, and the cleaning degree of the cleaning object O is inspected using the first average value and the second average value. For example, the CPU 101 compares the first average value (or the value based on the first average value) with the second average value (or the value based on the second average value), thereby inspecting the cleaning degree of the cleaning object O. I do. In this example, the CPU 101 determines whether the difference between the first average value (or the value based on the first average value) and the second average value (or the value based on the second average value) is equal to or less than a predetermined threshold value. Is determined, the cleaning degree of the cleaning object O is inspected.

上記構成によれば、所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値が算出されることで、給水W1や排水W2に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化することができる。このため、より精度良く洗浄対象物Oの洗浄度を検査することができる。   According to the above configuration, by calculating the average value of the square sum of the conductivity of a predetermined number of samples, the conductivity such as the partial concentration deviation of the components dissolved in the feed water W1 and the drainage W2 and the flow velocity are obtained. The effect of this can be smoothed. For this reason, it is possible to inspect the cleaning degree of the cleaning object O with higher accuracy.

洗浄度検査装置1は、更に洗浄対象物Oの洗浄に用いられた洗浄液W(排水W2)中のパーティクルを検出するパーティクルセンサPS1(図7)を更に備える。そして、CPU101は、パーティクルセンサPS1による検出結果に基づいて洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。これによって、洗浄液W中に溶解している洗浄由来成分だけでなく、洗浄液W中のパーティクル(溶解しない洗浄由来成分)の検出結果に基づいて、洗浄対象物Oの洗浄度を検査することができる。   The cleaning degree inspection apparatus 1 further includes a particle sensor PS1 (FIG. 7) that detects particles in the cleaning liquid W (drainage W2) used for cleaning the cleaning object O. Then, the CPU 101 inspects the cleaning degree of the cleaning object O based on the detection result by the particle sensor PS1. Accordingly, the degree of cleaning of the cleaning object O can be inspected based on the detection result of not only the cleaning-derived components dissolved in the cleaning liquid W but also the particles (cleaning-derived components not dissolved) in the cleaning liquid W. .

(洗浄度検査装置の詳細)
以下に、図1から図9を用いて洗浄度検査装置1の詳細を説明する。
(Details of cleanliness inspection equipment)
Below, the detail of the cleaning degree test | inspection apparatus 1 is demonstrated using FIGS. 1-9.

(洗浄度検査装置の詳細:機械的構成)
まず、図2Aから図3を用いて洗浄度検査装置の機械的構成を説明する。洗浄度検査装置1は、キャスター付きの略直方体状の筐体内に、第1流入管2、第2流入管3、及び基盤1A等を備えるものである。第1流入管2には、洗浄装置100からの給水W1が流入される。なお、本実施形態では、給水W1として、洗浄対象物Oの洗浄のために市水W11を用いるだけでなく、洗浄の仕上げのリンス処理のために精製水W12を用いる。このため、第1流入管2には、市水W11だけでなく、精製水W12が流入される場合がある。なお、第2流入管3には、上述したように排水W2が流入される。
(Details of cleanliness inspection device: mechanical configuration)
First, the mechanical configuration of the cleaning degree inspection apparatus will be described with reference to FIGS. 2A to 3. The cleaning degree inspection apparatus 1 includes a first inflow pipe 2, a second inflow pipe 3, a base 1A, and the like in a substantially rectangular parallelepiped casing with casters. The water supply W1 from the cleaning device 100 flows into the first inflow pipe 2. In the present embodiment, as the water supply W1, not only the city water W11 is used for cleaning the cleaning object O, but also the purified water W12 is used for rinsing processing for cleaning. For this reason, not only the city water W11 but also purified water W12 may flow into the first inflow pipe 2. The drainage water W2 flows into the second inflow pipe 3 as described above.

また、図3で示すように、基盤1Aには、導電率計EC1(導電率変換器)、導電率計EC2(導電率変換器)、バルブ切替タイマ(TM1、TM2)、A/D変換器(AD)等が搭載されている。   As shown in FIG. 3, the base 1A includes a conductivity meter EC1 (conductivity converter), a conductivity meter EC2 (conductivity converter), a valve switching timer (TM1, TM2), and an A / D converter. (AD) etc. are installed.

導電率計EC1は、第1流入管2に流入された給水W1の導電率を所定の導電率計測期間において連続して測定する。また、導電率計EC2は、第2流入管3に流入された排水W2の導電率を所定の導電率計測期間において連続して測定する。これらの導電率計EC1、EC2としては、例えば、メトラートレド社製のものを使用することができる。パーティクルセンサPS1は、給水W1や排水W2に含有されているパーティクルを検出するセンサである。パーティクルセンサPS1としては、例えば、北斗電子工業社製のものを使用することができる。   The conductivity meter EC1 continuously measures the conductivity of the feed water W1 flowing into the first inflow pipe 2 during a predetermined conductivity measurement period. The conductivity meter EC2 continuously measures the conductivity of the waste water W2 flowing into the second inflow pipe 3 during a predetermined conductivity measurement period. As these conductivity meters EC1 and EC2, for example, those manufactured by METTLER TOLEDO can be used. The particle sensor PS1 is a sensor that detects particles contained in the water supply W1 and the waste water W2. As the particle sensor PS1, for example, one made by Hokuto Electronics Co., Ltd. can be used.

CPU101は、導電率計EC1、EC2の測定結果に基づいて洗浄対象物Oの洗浄度を検査するとともに、パーティクルセンサPS1の検出結果に基づいて洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。詳細については、図8を用いて後述する。   The CPU 101 inspects the cleaning degree of the cleaning object O based on the measurement results of the conductivity meters EC1 and EC2, and inspects the cleaning degree of the cleaning object O based on the detection result of the particle sensor PS1. Details will be described later with reference to FIG.

(洗浄度検査装置の詳細:洗浄対象物Oの洗浄度の検査方法)
以下に、図4から図6Dを用いて、洗浄度検査装置1によって行われる洗浄度検査方法を説明する。本実施形態に係る洗浄度検査方法の第1の特徴は、上述したように、排水W2の導電率だけでなく、給水W1の導電率も用いることで、洗浄由来成分に起因した導電率を取得して洗浄対象物Oの洗浄度を検査することである。
(Details of cleanliness inspection device: Inspection method for cleanliness of cleaning object O)
Hereinafter, a cleaning degree inspection method performed by the cleaning degree inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 4 to 6D. As described above, the first characteristic of the cleaning degree inspection method according to the present embodiment is that not only the conductivity of the waste water W2 but also the conductivity of the feed water W1 is used to obtain the conductivity caused by the component derived from the cleaning. Then, the cleaning degree of the cleaning object O is inspected.

以下に、図4を用いて、上記第1の特徴の利点を証明する。図4では、給水W1(市水W11)の導電率の測定結果の推移と、排水W2の導電率の測定結果の推移とが示されている。具体的には、市水W11及び排水W2のそれぞれについて、所定サンプリング周期で導電率が取得され、各期間I、II、III、IVにおいて、取得された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を平方根した値(以下、「検査値」と記載する)が算出されており、図4では算出された検査値が示されている。なお、各期間I、II、III、IVは、測定開始から所定時間(例えば1000ms)経過する毎の期間である。   Hereinafter, the advantage of the first feature will be proved using FIG. In FIG. 4, the transition of the measurement result of the conductivity of the water supply W1 (city water W11) and the transition of the measurement result of the conductivity of the waste water W2 are shown. Specifically, for each of the city water W11 and the drainage W2, the conductivity is acquired at a predetermined sampling period, and the average sum of squares of the conductivity of the acquired predetermined number of samples in each period I, II, III, IV. A value obtained by squaring the value (hereinafter referred to as “inspection value”) is calculated, and FIG. 4 shows the calculated inspection value. Each of the periods I, II, III, and IV is a period each time a predetermined time (for example, 1000 ms) elapses from the start of measurement.

図4で示すように、時間の経過とともに、排水W2の導電率に基づく上記検査値が下がり、給水W1の導電率に基づく検査値に近づいている。そして、洗浄が十分に進んだ期間IVでは、これらの値が一致している。このことから、排水W2の導電率と給水W1の導電率との差分は、洗浄対象物Oの洗浄によって洗浄液Wに溶解された洗浄由来成分に基づくものであり、この差分を用いることで、ノイズ成分の影響を受けずに、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが示されている。   As shown in FIG. 4, with the passage of time, the inspection value based on the conductivity of the drainage water W2 decreases and approaches the inspection value based on the conductivity of the water supply W1. In the period IV in which the cleaning is sufficiently advanced, these values match. From this, the difference between the conductivity of the waste water W2 and the conductivity of the feed water W1 is based on the component derived from the cleaning dissolved in the cleaning liquid W by the cleaning of the cleaning object O. It has been shown that the cleaning degree of the cleaning object O can be accurately inspected without being affected by the components.

更に、本実施形態に係る洗浄度検査方法の第2の特徴は、上述したように、所定サンプリング周期で給水W1及び排水W2の導電率を取得し、給水W1、排水W2それぞれについて、連続して取得された所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を算出し、この平均値を洗浄対象物Oの洗浄度の検査に用いることである。   Furthermore, as described above, the second feature of the cleanliness inspection method according to the present embodiment is that the conductivity of the water supply W1 and the drainage W2 is acquired at a predetermined sampling period, and the water supply W1 and the drainage W2 are continuously obtained. An average value obtained by averaging the square sums of the conductivity of the obtained predetermined number of samples is calculated, and this average value is used for the inspection of the cleaning degree of the cleaning object O.

以下に、図5Aから図6Dを用いて、本実施形態の第2の特徴の利点を証明する。図5Aでは、マンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液Wと、マンニトール濃度1パーセントの洗浄液Wと、市水W11との導電率の計測結果の推移を示す。図5Aで示すように、マンニトール濃度が1パーセントの洗浄液Wの導電率と給水W1の導電率とは有意差がある。このことから、洗浄液Wに溶解されている洗浄由来成分がある程度多い場合については、排水W2の導電率と給水W1の導電率とを用いて洗浄対象物Oの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが示される。   Hereinafter, the advantage of the second feature of the present embodiment will be proved using FIGS. 5A to 6D. FIG. 5A shows the transition of the measurement results of the conductivity of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1%, the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 1%, and the city water W11. As shown in FIG. 5A, there is a significant difference between the conductivity of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 1 percent and the conductivity of the feed water W1. For this reason, when the cleaning-derived component dissolved in the cleaning liquid W is somewhat large, the cleaning degree of the cleaning object O should be accurately inspected using the conductivity of the waste water W2 and the conductivity of the feed water W1. It can be shown that

しかしながら、図5Aで示すように、マンニトール濃度が0.1パーセントの洗浄液Wの導電率と市水W11の導電率とには有意差がない。この理由としては、マンニトール濃度が0.1パーセントの洗浄液Wや市水W11の流速、溶解されている成分の部分的な濃度の偏り等によって、導電率の測定結果が不均一となっている(ばらつきが生じている)からである。このことから、洗浄対象物Oの洗浄が進み、排水W2に溶解されている洗浄由来成分が減少してくると、排水W2の導電率と給水W1の導電率とを用いて洗浄対象物Oの洗浄度の検査を精度良く行うことが困難であることが理解される。従って、高い洗浄レベルが要求される場合には、給水W1の導電率と排水W2の導電率とを単に比較するだけでは、洗浄対象物Oの洗浄度の検査の精度に不足がある。   However, as shown in FIG. 5A, there is no significant difference between the conductivity of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1 percent and the conductivity of the city water W11. The reason for this is that the conductivity measurement results are non-uniform due to the flow rate of the cleaning liquid W or city water W11 having a mannitol concentration of 0.1 percent, partial concentration deviation of the dissolved components, etc. ( This is because there is variation. From this, when the cleaning of the cleaning object O proceeds and the components derived from the cleaning dissolved in the waste water W2 decrease, the conductivity of the cleaning object O is determined using the conductivity of the waste water W2 and the conductivity of the feed water W1. It is understood that it is difficult to perform the cleaning degree inspection with high accuracy. Therefore, when a high cleaning level is required, simply comparing the conductivity of the feed water W1 and the conductivity of the drainage W2 is insufficient in the accuracy of the cleaning degree inspection of the cleaning object O.

以下、本実施形態に係る洗浄度検査方法では、上記第2の特徴によって、給水W1や排水W2に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化することができることを説明する。図5Bでは、図5Aで示すマンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液Wの導電率と市水W11の導電率との測定結果から算出された検査値が示されている。なお、検査値は、上述したように、所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を平方根した値である。なお、図5Bでは、測定開始から所定時間(例えば1000ms)経過する毎の各期間について、10点取得されたサンプル(導電率)を用いて検査値が算出されている。なお、グラフの右欄の説明において、「1〜10」と記載されているのは、1つめのサンプルから10個目のサンプルまでの導電率(測定開始から所定時間経過するまでの期間に取得された導電率)を用いて算出された値であることを意味している。グラフの右欄のその他の数値範囲についても、同様の意味である。   Hereinafter, in the cleanliness inspection method according to the present embodiment, the influence on the conductivity such as partial concentration deviation and flow velocity of components dissolved in the water supply W1 and the wastewater W2 is smoothed by the second feature. Explain what you can do. FIG. 5B shows the inspection values calculated from the measurement results of the conductivity of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1% shown in FIG. 5A and the conductivity of the city water W11. As described above, the inspection value is a value obtained by squaring the average value of the square sum of the conductivity of a predetermined number of samples. In FIG. 5B, the inspection value is calculated using 10 samples (conductivity) obtained for each period every time a predetermined time (for example, 1000 ms) elapses from the start of measurement. In the description of the right column of the graph, “1 to 10” indicates the conductivity from the first sample to the tenth sample (obtained during the period from the start of measurement until a predetermined time elapses). It is a value calculated using the measured conductivity). The other numerical ranges in the right column of the graph have the same meaning.

図5Bのグラフで示すように、マンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液Wの検査値と、市水W11の検査値との間には、有意差がある。この理由は、マンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液Wの検査値と、市水W11について、所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を算出することで、溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の影響を平滑化することができるからである。このことから、排水W2についての所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した第1平均値と、給水W1についての導電率の二乗和を平均した第2平均値とを用いることで、洗浄対象物Oの洗浄が進み、洗浄液Wに含有されている不純物が減少してきた場合でも、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが理解される。従って、本実施形態に係る洗浄度検査方法では、上記第2の特徴によって、高い洗浄レベルが要求される場合であっても、洗浄対象物Oの洗浄度を精度良く行うことができることが理解される。   As shown in the graph of FIG. 5B, there is a significant difference between the inspection value of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1% and the inspection value of the city water W11. The reason for this is that, for the test value of the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1 percent and the city water W11, the average value obtained by averaging the square sum of the electrical conductivity of a predetermined number of samples is calculated, so that the dissolved component part This is because it is possible to smooth the influence of the concentration deviation, the flow velocity, etc. From this, by using the first average value that averages the square sum of the electrical conductivity of the predetermined number of samples for the drainage W2 and the second average value that averages the square sum of the electrical conductivity for the feed water W1, It is understood that even when the cleaning of the object O advances and the impurities contained in the cleaning liquid W decrease, the cleaning degree of the cleaning object O can be inspected with high accuracy. Therefore, in the cleaning degree inspection method according to the present embodiment, it is understood that the cleaning degree of the cleaning object O can be accurately performed by the second feature even when a high cleaning level is required. The

次に、図6Aから図6Dを用いて、洗浄対象物Oの洗浄度の検査精度と、サンプル数との関係を説明する。なお、図6Aから図6Dは、マンニトール濃度0.1パーセントの洗浄液W、0.01パーセントの洗浄液W、及び市水W11について、測定開始から所定時間(例えば1000ms)経過する毎の各期間において、取得された所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を示す(検査値ではない)。図6Aは、平均値の算出に用いられるサンプル数が10のグラフ、図6Bは、平均値の算出に用いられるサンプル数が200のグラフ、図6Cは、平均値の算出に用いられるサンプル数が500のグラフ、図6Dは、平均値の算出に用いられるサンプル数が1000のグラフである。図6Aから図6Dの各グラフでは、サンプル数が多い程、同一の洗浄液Wについての、各期間のそれぞれの平均値にばらつきが生じないことが示される。このことから、サンプル数が多い程、より精度よく洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行うことが理解され、サンプル数が200以上であることが検査精度の点から好ましいことが理解される。   Next, the relationship between the inspection accuracy of the cleaning degree of the cleaning object O and the number of samples will be described with reference to FIGS. 6A to 6D. 6A to 6D show the cleaning liquid W having a mannitol concentration of 0.1%, the cleaning liquid W of 0.01%, and the city water W11 in each period every predetermined time (for example, 1000 ms) from the start of measurement. An average value obtained by averaging the sum of squares of the conductivity of the obtained predetermined number of samples is shown (not an inspection value). 6A is a graph with 10 samples used for calculating the average value, FIG. 6B is a graph with 200 samples used for calculating the average value, and FIG. 6C is a sample number used for calculating the average value. 500 graph and FIG. 6D are graphs with 1000 samples used for calculation of the average value. 6A to 6D show that as the number of samples increases, the average value of each period for the same cleaning liquid W does not vary. From this, it is understood that the greater the number of samples, the more accurately the degree of cleaning of the cleaning object O is inspected, and it is understood that the number of samples is preferably 200 or more from the viewpoint of inspection accuracy.

(洗浄度検査装置の詳細:洗浄度検査装置における洗浄液Wの流路構成)
以下に、図7を用いて、洗浄度検査装置1における洗浄液Wの流路構成の一例を説明する。まず、この説明の前提として、図1を用いて、洗浄装置300に対する給水W1の供給方法と、洗浄装置300からの排水W2の流出方法の一例について説明する。洗浄装置300内の洗浄容器301に対して市水W11や精製水W12が給水W1として所定時間継続的に供給される。市水W11の供給及び精製水W12の供給は、個別の給水管(図略)を介して行われる。
(Details of cleanliness inspection device: flow path configuration of cleaning liquid W in cleanness inspection device)
Hereinafter, an example of the flow path configuration of the cleaning liquid W in the cleaning degree inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG. First, as a premise of this description, an example of a method for supplying the water supply W1 to the cleaning device 300 and an example of a method for discharging the waste water W2 from the cleaning device 300 will be described with reference to FIG. The city water W11 and the purified water W12 are continuously supplied to the cleaning container 301 in the cleaning apparatus 300 as the feed water W1 for a predetermined time. The city water W11 and the purified water W12 are supplied through individual water supply pipes (not shown).

なお、精製水W12の供給は、洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になった後に仕上げのリンス処理のために行われる。従って、市水W11の供給後に精製水W12の供給が行われるようになっている。なお、本実施形態では、市水W11の供給時だけでなく精製水W12の供給時にも洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行うが、この限りではなく、リンス処理時には洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行わなくてもよい。   The purified water W12 is supplied for a rinsing process after the cleaning result of the cleaning object O becomes good. Accordingly, the purified water W12 is supplied after the city water W11 is supplied. In the present embodiment, the cleaning degree of the cleaning object O is inspected not only when the city water W11 is supplied but also when the purified water W12 is supplied. However, the present invention is not limited to this. It is not necessary to perform the inspection.

また、洗浄装置300において洗浄に用いられた排水W2は、排水管(図略)を介して洗浄装置300から流出されるようになっている。   Further, the waste water W2 used for cleaning in the cleaning device 300 flows out of the cleaning device 300 through a drain pipe (not shown).

図7に戻って、洗浄度検査装置1は、市水W11を洗浄装置300に供給するための給水管から分岐された流路管10に連結された流路管11を備える。更に、洗浄度検査装置1は、精製水W12を洗浄装置に供給するための給水管から分岐された流路管20に連結された流路管21を備える。なお、図2Bで示す第1流入管2は、流路管11、21から成る。   Returning to FIG. 7, the cleaning degree inspection apparatus 1 includes a flow path pipe 11 connected to a flow path pipe 10 branched from a water supply pipe for supplying the city water W11 to the cleaning apparatus 300. Furthermore, the cleaning degree inspection apparatus 1 includes a flow path pipe 21 connected to a flow path pipe 20 branched from a water supply pipe for supplying purified water W12 to the cleaning apparatus. Note that the first inflow pipe 2 shown in FIG. 2B includes flow path pipes 11 and 21.

流路管11の途中にはモータM1に接続された市水元弁V1が配置されており、流路管21の途中にはモータM2に接続された精製水元弁V2が配置されている。モータM1、M2の作動及び停止を切り替えることによって、これらの弁V1、V2の開閉を制御して、市水W11及び精製水W12の洗浄度検査装置1への流入を制御することができる。流路管11と流路管21とはそれぞれその下流側端で、流路管12に連結されており、流路管11を通った市水W11が流路管12に流入し、流路管21を通った精製水W12が流路管12に流入することが出来るようになっている。   A city water source valve V1 connected to the motor M1 is arranged in the middle of the flow path pipe 11, and a purified water source valve V2 connected to the motor M2 is arranged in the middle of the flow path pipe 21. By switching operation and stop of the motors M1 and M2, the opening and closing of these valves V1 and V2 can be controlled to control the inflow of the city water W11 and the purified water W12 into the cleanliness inspection apparatus 1. The channel pipe 11 and the channel pipe 21 are respectively connected to the channel pipe 12 at their downstream ends, and the city water W11 that has passed through the channel pipe 11 flows into the channel pipe 12, and the channel pipe The purified water W12 that has passed through 21 can flow into the flow pipe 12.

なお、本実施形態では、上述したように市水W11を用いて洗浄対象物Oを十分に洗浄した後に、洗浄の仕上げとして精製水W12を用いて洗浄対象物Oのリンス処理を行う。従って、市水元弁V1と精製水元弁V2との両方が開状態になることはなく、市水W11及び精製水W12のうち何れか一方のみが流路管12に流入するようになっている。もっとも、この構成に限定されず、市水W11及び精製水W12の混合液が流路管12に流入されてもよい。   In the present embodiment, as described above, the cleaning target object O is sufficiently cleaned using the city water W11, and then the cleaning target object O is rinsed using the purified water W12 as a finishing process. Therefore, both the city water source valve V1 and the purified water source valve V2 are not opened, and only one of the city water W11 and the purified water W12 flows into the flow path pipe 12. Yes. But it is not limited to this structure, The mixed liquid of the city water W11 and the purified water W12 may be flowed into the flow path pipe 12. FIG.

流路管12の途中には、導電率計EC1が配置されており、これによって、流路管12に流入された市水W11や精製水W12の導電率を測定することができるようになっている。なお、本実施形態では、市水W11と精製水W12の混合液の導電率を測定することはないが、これらの導電率を測定してもよい。   A conductivity meter EC1 is disposed in the middle of the flow channel 12, so that the conductivity of the city water W11 and the purified water W12 flowing into the flow channel 12 can be measured. Yes. In addition, in this embodiment, although the electrical conductivity of the liquid mixture of the city water W11 and the purified water W12 is not measured, you may measure these electrical conductivity.

流路管12における導電率計EC1の下流側の所定位置には、流路管13が分岐されているとともに、この所定位置の下流側には、モータM4に接続された給水下流側弁V4が配置されている。モータM4の作動及び停止を切り替えることによって、給水下流側弁V4の開閉を制御することができる。流路管12を通過した市水W11及び精製水W12は洗浄度検査装置1の外部に排出される。   A flow path pipe 13 is branched at a predetermined position downstream of the conductivity meter EC1 in the flow path pipe 12, and a water supply downstream valve V4 connected to the motor M4 is provided downstream of the predetermined position. Is arranged. By switching the operation and stop of the motor M4, the opening and closing of the water supply downstream valve V4 can be controlled. The city water W11 and the purified water W12 that have passed through the flow path pipe 12 are discharged to the outside of the cleaning degree inspection apparatus 1.

また、洗浄度検査装置1は、洗浄装置300の排水管(図略)から分岐された流路管30に連結された流路管31を備える。なお、図2Bで示す第2流入管3は、図7の流路管31から成る。この流路管31は、その下流側端に継ぎ手C1を介して、流路管32と流路管35とが接続されており、流路管31から流路管32、35に排水W2が流入される。なお、流路管35に流入された排水W2は流路管35を通って洗浄度検査装置1の外部に排出される。   Further, the cleaning degree inspection apparatus 1 includes a flow path pipe 31 connected to a flow path pipe 30 branched from a drain pipe (not shown) of the cleaning apparatus 300. The second inflow pipe 3 shown in FIG. 2B is composed of the flow path pipe 31 shown in FIG. The flow path pipe 31 has a flow path pipe 32 and a flow path pipe 35 connected to the downstream end of the flow path pipe 31 via a joint C1, and the waste water W2 flows into the flow path pipes 32 and 35 from the flow path pipe 31. Is done. The waste water W2 that has flowed into the flow channel pipe 35 is discharged to the outside of the cleanliness inspection apparatus 1 through the flow channel pipe 35.

流路管32の途中には、モータM3に接続された排水元弁V3が配置されている。モータM3の作動及び停止を切り替えることによって、排水元弁V3の開閉を制御して、排水W2の洗浄度検査装置1への流入を制御することができる。流路管32における排水元弁V3より下流側には、導電率計EC2が配置されており、これによって、流路管32に流入された排水W2の導電率を測定することができるようになっている。   A drainage source valve V3 connected to the motor M3 is disposed in the middle of the flow path pipe 32. By switching between the operation and stop of the motor M3, the opening and closing of the drainage source valve V3 can be controlled, and the inflow of the drainage W2 into the cleanliness inspection apparatus 1 can be controlled. A conductivity meter EC2 is disposed on the downstream side of the drainage source valve V3 in the flow channel pipe 32, whereby the conductivity of the drainage water W2 flowing into the flow channel tube 32 can be measured. ing.

流路管32の下流側端には、この端から2つに分岐するように流路管33と流路管34とが連結されている。流路管33には、流路管32からの排水W2が流入するが、この排水W2は流路管33を通過して洗浄度検査装置1の外部に排出される。   A flow path pipe 33 and a flow path pipe 34 are connected to the downstream end of the flow path pipe 32 so as to branch into two from this end. The drainage water W2 from the channel pipe 32 flows into the channel pipe 33. The drainage water W2 passes through the channel pipe 33 and is discharged to the outside of the cleanliness inspection apparatus 1.

また、流路管34の途中には、上述した流路管13の下流側端が連結されており、この連結部より下流側には、パーティクルセンサPS1が配置されている。これによって、パーティクルセンサPS1は、流路管32を通過して流路管34を流通する排水W2のパーティクルを検出することができるとともに、流路管13を通過して流路管34に流入された市水W11や精製水W12のパーティクルを検出することができる。なお、本実施形態では、市水W11のパーティクルだけでなく精製水W12のパーティクルも検出するが、市水W11のパーティクル及び精製水W12のパーティクルのうち何れか一方のみを検出してもよい。   Further, the downstream end of the above-described flow channel tube 13 is connected to the middle of the flow channel tube 34, and the particle sensor PS1 is disposed on the downstream side of the connection portion. As a result, the particle sensor PS1 can detect particles of the waste water W2 passing through the flow channel pipe 32 and flowing through the flow channel pipe 34, and also flows into the flow channel pipe 34 through the flow path tube 13. The particles of the city water W11 and the purified water W12 can be detected. In this embodiment, not only the particles of the city water W11 but also the particles of the purified water W12 are detected, but only one of the particles of the city water W11 and the particles of the purified water W12 may be detected.

なお、流路管13の途中には、モータM5に接続された給水・センサ間弁V5が配置されており、流路管34におけるパーティクルセンサPS1より上流側には、モータM6に接続された排水・センサ間弁V6が配置されている。モータM5、M6の作動及び停止をそれぞれ切り替えることで、給水・センサ間弁V5及び排水・センサ間弁V6の開閉をそれぞれ切り替えることができる。   A water supply / sensor valve V5 connected to the motor M5 is disposed in the middle of the flow path pipe 13, and the drainage connected to the motor M6 is upstream of the particle sensor PS1 in the flow path pipe 34. -An inter-sensor valve V6 is arranged. By switching the operation and stop of the motors M5 and M6, the water supply / sensor valve V5 and the drain / sensor valve V6 can be switched.

なお、給水・センサ間弁V5及び排水・センサ間弁V6は、択一的に開状態に切り替えられ、その両方が開状態になることはない。従って、パーティクルセンサPS1は、給水W1(市水W11や精製水W12)及び排水W2のうち何れか一方のパーティクルを検出することになる。   The water supply / sensor valve V5 and the drainage / sensor valve V6 are alternatively switched to the open state, and neither of them is opened. Accordingly, the particle sensor PS1 detects any one of the particles of the water supply W1 (city water W11 and purified water W12) and drainage W2.

流路管34を通過した市水W11又は排水W2は洗浄度検査装置1の外部に排出される。   The city water W11 or the waste water W2 that has passed through the flow path pipe 34 is discharged to the outside of the cleaning degree inspection apparatus 1.

(洗浄度検査装置の詳細:洗浄度検査装置の電気的構成)
以下に、図8を用いて、洗浄度検査装置1における電気的構成を説明する。洗浄度検査装置1は、上述した導電率計EC1、EC2、パーティクルセンサPS1、及びモータM1〜M6の他に、CPU101、A/Dコンバータ102、駆動制御回路103、モニタ104、RAM105、ROM106及び操作部107等を備える。
(Details of cleanliness inspection device: electrical configuration of cleanliness inspection device)
Hereinafter, the electrical configuration of the cleaning degree inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG. In addition to the above-described conductivity meters EC1, EC2, particle sensor PS1, and motors M1 to M6, the cleaning degree inspection apparatus 1 includes a CPU 101, an A / D converter 102, a drive control circuit 103, a monitor 104, a RAM 105, a ROM 106, and an operation. Part 107 and the like.

CPU101は、図略のバスを介してA/Dコンバータ102、駆動制御回路103、モニタ104、RAM105、ROM106、及び操作部107等と通信可能に接続されている。なお、モニタ104は、例えば液晶表示パネル等である。RAM105は、CPU101のワーキングメモリとして機能するものである。ROM106は、洗浄度検査装置1の起動用プログラム等が記憶される。操作部107は、例えばタッチパネル等であり、ユーザの操作を受け付けるものである。   The CPU 101 is communicably connected to the A / D converter 102, the drive control circuit 103, the monitor 104, the RAM 105, the ROM 106, the operation unit 107, and the like via a bus (not shown). The monitor 104 is, for example, a liquid crystal display panel. The RAM 105 functions as a working memory for the CPU 101. The ROM 106 stores a startup program for the cleaning degree inspection apparatus 1 and the like. The operation unit 107 is, for example, a touch panel and receives user operations.

また、CPU101には、A/Dコンバータ102を介して導電率計EC1、EC2が接続されている。これによって、導電率計EC1、EC2によって測定された導電率を示すアナログ信号が、導電率計EC1、EC2からA/Dコンバータ102に連続的に入力される。そして、A/Dコンバータ102でアナログ信号がデジタルデータ(導電率データ)に変換されてCPU101に入力される。   Also, conductivity meters EC1 and EC2 are connected to the CPU 101 via the A / D converter 102. As a result, analog signals indicating the conductivity measured by the conductivity meters EC1 and EC2 are continuously input to the A / D converter 102 from the conductivity meters EC1 and EC2. The analog signal is converted into digital data (conductivity data) by the A / D converter 102 and input to the CPU 101.

CPU101は、入力された導電率データを所定サンプリング周期で取得してRAM105に記憶する。なお、RAM105には、導電率計EC1、EC2それぞれについて所定の複数個(所定サンプル数)の導電率データを記憶することができるようになっており、RAM105に記憶されている導電率データのうち最も古い導電率データに上書きするように新たな導電率データを記憶する。そして、CPU101は、RAM105に記憶されている所定サンプル数の導電率データを用いて、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行う。   The CPU 101 acquires the input conductivity data at a predetermined sampling period and stores it in the RAM 105. The RAM 105 can store a plurality of predetermined conductivity data (predetermined number of samples) for each of the conductivity meters EC1 and EC2, and among the conductivity data stored in the RAM 105, New conductivity data is stored so as to overwrite the oldest conductivity data. Then, the CPU 101 inspects the cleaning degree of the cleaning object O using the conductivity data of a predetermined number of samples stored in the RAM 105.

具体例としては、CPU101は、所定サンプリング周期毎に、RAM105から導電率計EC1についての所定サンプル数の導電率データを取得する。そして、CPU101は、取得されたこれらの導電率データが示す各導電率の二乗和の平均値(第1平均値)を算出して、この第1平均値を平方根した検査値(「給水W1の検査値」と記載する)を算出する。同様にして、CPU101は、RAM105から導電率計EC2についての所定サンプル数の導電率データを取得する。そしてCPU101は、取得されたこれらの導電率データが示す各導電率の二乗和の平均値(第2平均値)を算出して、この第2平均値を平方根した検査値(「排水W2の検査値」と記載する)を算出する。   As a specific example, the CPU 101 acquires a predetermined number of samples of conductivity data for the conductivity meter EC1 from the RAM 105 at every predetermined sampling period. And CPU101 calculates the average value (1st average value) of the square sum of each conductivity which these acquired conductivity data show, and the test value ("Water supply W1 of water supply W1"). Calculated as “inspection value”). Similarly, the CPU 101 acquires conductivity data of a predetermined number of samples for the conductivity meter EC2 from the RAM 105. Then, the CPU 101 calculates an average value (second average value) of the sum of squares of the respective conductivity indicated by the acquired conductivity data, and an inspection value (“inspection of the drainage W2” obtained by square root of the second average value). Value)).

CPU101は、給水W1の検査値と排水W2の検査値との差分を算出し、この差分が所定の閾値以下であるかどうかで洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行い、この差分が所定の閾値以下である場合には、この検査結果が良好であると判断する。なお、必ずしも給水W1の検査値と排水W2の検査値との差分を算出する必要はなく、他の方法によって、給水W1の検査値と排水W2の検査値との比較を行い、洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行ってもよい。   The CPU 101 calculates the difference between the inspection value of the water supply W1 and the inspection value of the drainage W2, and inspects the degree of cleaning of the object to be cleaned O based on whether the difference is equal to or less than a predetermined threshold value. If it is less than or equal to the threshold value, it is determined that the test result is good. Note that it is not always necessary to calculate the difference between the inspection value of the water supply W1 and the inspection value of the waste water W2, and the inspection value of the water supply W1 and the inspection value of the waste water W2 are compared by another method, and the cleaning object O The degree of cleaning may be inspected.

また、本実施形態では、給水W1の検査値と排水W2の検査値を算出し、給水W1の検査値と排水W2の検査値を洗浄対象物Oの洗浄度の検査に用いているが、給水W1の検査値と排水W2の検査値を算出しなくてもよい。例えば、給水W1についての上記第1平均値と排水W2についての上記第2平均値とを直接比較することで、検査対象物Oの洗浄度の検査を行ってもよい。   In the present embodiment, the inspection value of the water supply W1 and the inspection value of the waste water W2 are calculated, and the inspection value of the water supply W1 and the inspection value of the waste water W2 are used for the inspection of the cleaning degree of the cleaning object O. It is not necessary to calculate the inspection value of W1 and the inspection value of drainage W2. For example, the cleaning degree of the inspection object O may be inspected by directly comparing the first average value for the water supply W1 and the second average value for the drainage W2.

CPU101は、洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果(検査結果が不良又は良好等)をモニタ104に表示する。更に、CPU101は、算出された給水W1の検査値と排水W2の検査値等もモニタ104に表示してもよい。例えば、CPU101は、図6Aから図6Dで示すようなグラフを表示することもできる。   The CPU 101 displays on the monitor 104 the inspection result of the degree of cleaning of the cleaning object O (the inspection result is defective or good). Further, the CPU 101 may display the calculated inspection value of the water supply W1, the inspection value of the drainage W2, and the like on the monitor 104. For example, the CPU 101 can also display graphs as shown in FIGS. 6A to 6D.

また、CPU101には、A/Dコンバータ102を介してパーティクルセンサPS1が接続されている。これによって、パーティクルセンサPS1によって検出されたパーティクルの量を示すアナログ信号が、A/Dコンバータ102に入力される。このアナログ信号は、A/Dコンバータ102でデジタルデータ(パーティクル量データ)に変換される。パーティクル量データは、A/Dコンバータ102からCPU101に入力される。   Further, the particle sensor PS <b> 1 is connected to the CPU 101 via the A / D converter 102. Thus, an analog signal indicating the amount of particles detected by the particle sensor PS1 is input to the A / D converter 102. This analog signal is converted into digital data (particle amount data) by the A / D converter 102. The particle amount data is input from the A / D converter 102 to the CPU 101.

CPU101は、入力されるパーティクル量データを所定の時間経過毎に取得して、このパーティクル量データに基づいて、洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。具体例としては、CPU101は、パーティクルデータの示す排水W2のパーティクル量を用いて洗浄対象物Oの洗浄度を検査する。なお、給水W1に予めパーティクルが混入している可能性もある。このようなパーティクルを考慮して洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行うため、本実施形態では、排水W2のパーティクル量だけでなく、給水W1のパーティクル量も検出されて洗浄度の検査に用いられる。例えば、洗浄対象物Oに対する洗浄の開始前や、リンス処理の開始前の所定期間において、所定周期毎に給水W1(市水W11、精製水W12)のパーティクル量を検出し、この検出したパーティクル量の平均値を初期値として算出する。そして、この初期値と排水W2のパーティクル量とを比較して、検査結果が判断される。具体例を挙げれば、給水W1のパーティクル量から初期値を差し引いた値が所定の閾値以下であれば、検査結果が良好であると判断される。なお、給水W1のパーティクル量は必ずしも検出される必要はなく、排水W2のパーティクル量が所定の閾値以下である場合に、洗浄度の検査結果が良好となってもよい。CPU101は、この検査結果をモニタ104に表示してもよい。   The CPU 101 acquires input particle amount data every predetermined time, and inspects the cleaning degree of the cleaning object O based on the particle amount data. As a specific example, the CPU 101 inspects the cleaning degree of the cleaning object O using the particle amount of the waste water W2 indicated by the particle data. In addition, there is a possibility that particles are mixed in the water supply W1 in advance. In order to inspect the cleaning degree of the object to be cleaned O in consideration of such particles, in this embodiment, not only the amount of particles of the waste water W2 but also the amount of particles of the water supply W1 is detected and used for the inspection of the degree of cleaning. It is done. For example, the particle amount of the water supply W1 (city water W11, purified water W12) is detected every predetermined period in a predetermined period before the cleaning of the cleaning object O or before the start of the rinsing process, and the detected particle amount Is calculated as an initial value. Then, the inspection result is determined by comparing the initial value with the particle amount of the waste water W2. As a specific example, if the value obtained by subtracting the initial value from the amount of particles in the water supply W1 is equal to or smaller than a predetermined threshold value, it is determined that the inspection result is good. Note that the particle amount of the water supply W1 does not necessarily need to be detected, and when the particle amount of the waste water W2 is equal to or less than a predetermined threshold, the test result of the cleaning degree may be good. The CPU 101 may display the inspection result on the monitor 104.

本実施形態では、洗浄装置300と洗浄度検査装置1とが通信可能に構成され、洗浄度検査装置1によって自動的に精製水W12によるリンス処理を行うように設定が変更される。もっとも、ユーザ(洗浄者)は、モニタ104によって、導電率に基づく検査結果とパーティクル量に基づく検査結果との両方が良好であることを確認した場合に、市水W11による洗浄を終了させて、精製水W12によるリンス処理を行うように洗浄装置300の設定を変更してもよい。なお、本実施形態においては、市水W11と同様にリンス処理においても、精製水W12についての導電率の測定及びパーティクルの検出を行うが、精製水W12については導電率の測定及びパーティクルの検出を行わず、リンス処理時には洗浄対象物Oの洗浄度の検査を行わなくてもよい。   In the present embodiment, the cleaning apparatus 300 and the cleaning degree inspection apparatus 1 are configured to be communicable, and the setting is changed so that the cleaning degree inspection apparatus 1 automatically performs the rinsing process with the purified water W12. However, when the user (cleaner) confirms that both the inspection result based on the conductivity and the inspection result based on the particle amount are good by the monitor 104, the cleaning with the city water W11 is terminated. You may change the setting of the washing | cleaning apparatus 300 so that the rinse process by the purified water W12 may be performed. In the present embodiment, the conductivity measurement and particle detection are performed on the purified water W12 in the rinsing process similarly to the city water W11, but the conductivity measurement and particle detection are performed on the purified water W12. Without cleaning, the cleaning degree of the cleaning object O need not be inspected during the rinsing process.

CPU101は、駆動制御回路103に対して、モータM1〜M6を動作させることを指示する駆動信号を送信することで、各弁V1〜V6の開閉を制御する。以下、各弁V1〜V6の開閉タイミングを、導電率計EC1、EC2による給水W1、排水W2の導電率の測定の期間と、パーティクルセンサPS1による給水W1、排水W2のパーティクルの検出の期間と関連づけて説明する。   The CPU 101 controls the opening and closing of the valves V <b> 1 to V <b> 6 by transmitting a drive signal instructing the drive control circuit 103 to operate the motors M <b> 1 to M <b> 6. Hereinafter, the opening and closing timings of the valves V1 to V6 are associated with the periods of measurement of the conductivity of the water supply W1 and drainage W2 by the conductivity meters EC1 and EC2, and the period of detection of the particles of the water supply W1 and drainage W2 by the particle sensor PS1. I will explain.

(洗浄度検査装置の詳細:各弁V1〜V6の開閉タイミング)
図7、図8及び図9を参照して、各弁V1〜V6の開閉タイミングの一例を説明する。なお、図9では、CPU101が導電率計EC1、EC2、及びパーティクルセンサPS1から信号を受け付ける期間についても示しているが、CPU101は、洗浄度検査の開始時(例えば、電源オン時)からこれらの信号の受け付けを開始し、洗浄度検査装置1の動作停止時(例えば、電源オフ時)にこれらの信号の受け付けを終了する。
(Details of cleanliness inspection device: Opening and closing timing of each valve V1 to V6)
An example of the opening / closing timing of the valves V1 to V6 will be described with reference to FIGS. FIG. 9 also shows a period in which the CPU 101 receives signals from the conductivity meters EC1 and EC2 and the particle sensor PS1, but the CPU 101 does not start the cleaning test (for example, when the power is turned on). Reception of signals is started, and reception of these signals is terminated when the operation of the cleaning degree inspection apparatus 1 is stopped (for example, when the power is turned off).

まず、洗浄度の検査処理の開始タイミングt1に、CPU101は、市水元弁V1と、給水・センサ間弁V5を開状態にさせる。これによって、パーティクルセンサPS1には市水が流入される。(市水W11及び排水W2を用いた検査期間の開始)。この後のタイミングt2に、CPU101は、給水・センサ間弁V5を閉状態にさせる。このタイミングt1からタイミングt2までの期間(例えば約1分間)において、CPU101は、パーティクルセンサPS1からの信号に基づいて、所定周期毎に市水W11のパーティクル量を取得し、これらの取得されたパーティクル量の平均値を初期値として算出する。なお、初期値の算出には、所定値以上の量のパーティクルが安定的に検出され始めた後に取得されたパーティクル量(例えば、20秒から40秒間に取得されたパーティクル量)が使用される。初期値は、洗浄対象物Oの洗浄に由来せず、予め市水W11に含有されているパーティクル量を示す。   First, at the start timing t1 of the cleaning degree inspection process, the CPU 101 opens the city water source valve V1 and the water supply / sensor valve V5. Thereby, city water flows into the particle sensor PS1. (Start of inspection period using city water W11 and drainage W2). At the timing t2 thereafter, the CPU 101 closes the water supply / sensor valve V5. During the period from the timing t1 to the timing t2 (for example, about 1 minute), the CPU 101 acquires the particle amount of the city water W11 for each predetermined period based on the signal from the particle sensor PS1, and these acquired particles. The average amount is calculated as the initial value. For the calculation of the initial value, the amount of particles acquired after the amount of particles equal to or greater than the predetermined value has been stably detected (for example, the amount of particles acquired for 20 to 40 seconds) is used. The initial value indicates the amount of particles that are not derived from the cleaning of the cleaning object O and are contained in the city water W11 in advance.

そして、タイミングt2では、CPU101は、給水・センサ間弁V5を閉状態にさせて、初期値の算出を終了する。そして、CPU101は、給水下流側弁V4を開状態にさせて、導電率計EC1に市水W11が連続的に流入される。これによって、市水W11の導電率の測定が開始される。また、排水元弁V3は、上記タイミングt1において開状態にされており、タイミングt2では、導電率計EC21には排水W2が連続的に流入される。これによって、排水W2の導電率測定が開始される。なお、CPU101は、導電率計EC1、EC2から入力された信号(導電率データ)の示す導電率が所定の値(例えば、0)よりも大きくなったときに、所定サンプリング周期毎に導電率データを取得してRAM105に記憶する処理を開始する。そして、CPU101は、導電率データを取得する毎に、市水W11、排水W2のそれぞれについて所定のサンブル数の導電率データを用いて検査値を取得し、これらの検査値の差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。   At timing t2, the CPU 101 closes the water supply / sensor valve V5 and ends the calculation of the initial value. Then, the CPU 101 opens the water supply downstream valve V4, and the city water W11 is continuously flowed into the conductivity meter EC1. Thereby, the measurement of the conductivity of the city water W11 is started. Further, the drainage source valve V3 is opened at the timing t1, and the drainage W2 continuously flows into the conductivity meter EC21 at the timing t2. Thereby, the conductivity measurement of the waste water W2 is started. The CPU 101 determines the conductivity data for each predetermined sampling period when the conductivity indicated by the signals (conductivity data) input from the conductivity meters EC1 and EC2 is greater than a predetermined value (for example, 0). Is acquired and stored in the RAM 105. Each time the CPU 101 acquires the conductivity data, the CPU 101 acquires the inspection value using the predetermined number of sample conductivity data for each of the city water W11 and the drainage water W2, and the difference between these inspection values is a predetermined threshold value. It is judged whether it is below or not, and it was judged whether the inspection result of the cleaning degree of the cleaning object O became good.

また、タイミングt2において、CPU101は、排水・センサ間弁V6を開状態にして、パーティクルセンサPS1に排水W2を流入させる。そして、CPU101は、パーティクルセンサPS1からの信号に基づいて、所定周期毎に排水W2のパーティクル量を取得する処理を開始する。排水W2のパーティクル量が取得されたときに、CPU101は、タイミングt1からタイミングt2までの期間に算出された初期値と、取得されたパーティクル量との差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。   Further, at the timing t2, the CPU 101 opens the drainage / sensor valve V6 and causes the drainage W2 to flow into the particle sensor PS1. And CPU101 starts the process which acquires the particle amount of the waste_water | drain W2 for every predetermined period based on the signal from particle sensor PS1. When the particle amount of the waste water W2 is acquired, the CPU 101 determines whether or not the difference between the initial value calculated in the period from the timing t1 to the timing t2 and the acquired particle amount is equal to or less than a predetermined threshold value. Then, it is determined whether or not the inspection result of the cleaning degree of the cleaning object O is good.

CPU101は、導電率に基づく洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になっるとともに、パーティクル量に基づく洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったと判断したタイミングt3に、弁V1、V3、V4、V6を閉状態にするとともに、洗浄完了の信号を洗浄機300に送信する(市水W11及び排水W2を用いた検査期間の終了)。この洗浄完了の信号を受信した洗浄機300は、市水W11を用いた洗浄対象物Oの洗浄を終了し、精製水W12を用いた洗浄対象物Oの洗浄処理(リンス処理)を開始する。なお、CPU101は、洗浄完了の信号を洗浄機300に送信するのに代えて、又はこの送信に加えて、モニタ104に洗浄完了を表示してもよい。そして、ユーザが、洗浄機300の設定を、市水W11を用いた洗浄対象物Oの洗浄からリンス処理に手動で切り替えてもよい。   At the timing t3 when the CPU 101 determines that the cleaning result of the cleaning object O based on the conductivity becomes good and the cleaning result of the cleaning object O based on the particle amount has improved, the valve 101 V1, V3, V4, and V6 are closed, and a cleaning completion signal is transmitted to the cleaning machine 300 (end of the inspection period using the city water W11 and the waste water W2). Upon receiving this cleaning completion signal, the cleaning machine 300 ends the cleaning of the cleaning object O using the city water W11 and starts the cleaning process (rinsing process) of the cleaning object O using the purified water W12. Note that the CPU 101 may display the cleaning completion on the monitor 104 instead of or in addition to transmitting the cleaning completion signal to the cleaning machine 300. Then, the user may manually switch the setting of the cleaning machine 300 from the cleaning of the cleaning object O using the city water W11 to the rinsing process.

その後、洗浄装置300においてリンス処理が開始されたタイミングt4において、CPU101は、精製水元弁V2と給水・センサ間弁V5とを開状態に切り替え、パーティクルセンサPS1に精製水W12を流入させる。これによって、CPU101は、パーティクルセンサPS1から精製水W12のパーティクル量を示す信号を受信する。CPU101は、その後のタイミングt5において、給水・センサ間弁V5を閉状態に変更する。タイミングt4からタイミングt5までの期間において、CPU101は、精製水W12のパーティクル量を取得し、この取得したパーティクル量を用いて精製水W12についての初期値を算出する。この初期値の算出方法は、市水W12についての初期値の算出方法と同様である。   Thereafter, at timing t4 when the rinsing process is started in the cleaning device 300, the CPU 101 switches the purified water source valve V2 and the water supply / sensor valve V5 to the open state, and causes the purified water W12 to flow into the particle sensor PS1. Thereby, the CPU 101 receives a signal indicating the amount of particles of the purified water W12 from the particle sensor PS1. At subsequent timing t5, the CPU 101 changes the water supply / sensor valve V5 to the closed state. In a period from timing t4 to timing t5, the CPU 101 acquires the particle amount of the purified water W12, and calculates an initial value for the purified water W12 using the acquired particle amount. This initial value calculation method is the same as the initial value calculation method for the city water W12.

そして、タイミングt5では、CPU101は、給水下流側弁V4を開状態にさせ、精製水W12が導電率計EC1に流入される。これによって、精製水W12の導電率の測定が開始される。。また、排水元弁V3は、上記タイミングt4において開状態にされており、タイミングt5では、導電率計EC21には排水W2が流入される。これによって、排水W2の導電率測定が開始される。なお、CPU101は、導電率計EC1、EC2から入力された信号(導電率データ)の示す導電率が所定の値(例えば、0)よりも大きくなったときに、所定サンプリング周期毎に導電率データを取得してRAM105に記憶する処理を開始する。CPU101は、導電率データを取得する毎に、精製水W12、排水W2のそれぞれについて所定のサンブル数の導電率データを用いて検査値を取得し、これらの検査値の差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。   At timing t5, the CPU 101 opens the water supply downstream valve V4 and the purified water W12 flows into the conductivity meter EC1. Thereby, the measurement of the conductivity of the purified water W12 is started. . Further, the drainage source valve V3 is opened at the timing t4, and the drainage water W2 flows into the conductivity meter EC21 at the timing t5. Thereby, the conductivity measurement of the waste water W2 is started. The CPU 101 determines the conductivity data for each predetermined sampling period when the conductivity indicated by the signals (conductivity data) input from the conductivity meters EC1 and EC2 is greater than a predetermined value (for example, 0). Is acquired and stored in the RAM 105. Each time the CPU 101 acquires conductivity data, the CPU 101 acquires test values for the purified water W12 and the drainage W2 using conductivity data of a predetermined number of samples, and the difference between these test values is less than a predetermined threshold value. It is determined whether or not there is a good cleaning result of the cleaning degree of the cleaning object O.

また、タイミングt5において、CPU101は、排水・センサ間弁V6を開状態にして、パーティクルセンサPS1に排水W2を流入させる。これによって、CPU101は、パーティクルセンサPS1からの信号に基づいて、所定周期毎に排水W2のパーティクル量を取得する処理を開始する。CPU101は、タイミングt4からタイミングt5までの期間に算出された初期値と、取得されたパーティクル量との差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。   At timing t5, the CPU 101 opens the drainage / sensor valve V6 and causes the drainage W2 to flow into the particle sensor PS1. Thereby, the CPU 101 starts a process of acquiring the particle amount of the waste water W2 at predetermined intervals based on the signal from the particle sensor PS1. The CPU 101 determines whether or not the difference between the initial value calculated in the period from the timing t4 to the timing t5 and the acquired particle amount is equal to or less than a predetermined threshold value, and the cleaning result inspection result of the cleaning object O Judge whether or not is better.

CPU101は、導電率に基づく洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になっるとともに、パーティクル量に基づく洗浄対象物Oの洗浄度の検査結果が良好になったと判断したタイミングt6に、弁V2、V3、V4、V6を閉状態にするとともに、リンス処理完了の信号を洗浄機300に送信する(精製水W12及び排水W2を用いた検査期間の終了)。このリンス処理完了の信号を受信した洗浄機300は、リンス処理を終了する。なお、CPU101は、リンス処理完了の信号を洗浄機300に送信するのに代えて、又はこの送信に加えて、モニタ104にリンス処理完了を表示してもよい。そして、ユーザが、リンス処理を終了させるように、洗浄機300の設定を手動で切り替えてもよい。   At the timing t6 when the CPU 101 determines that the cleaning result of the cleaning object O based on the conductivity becomes good and the cleaning result of the cleaning object O based on the particle amount becomes good, the valve 101 V2, V3, V4, and V6 are closed, and a rinse processing completion signal is transmitted to the washing machine 300 (end of the inspection period using the purified water W12 and the waste water W2). The washing machine 300 that has received the signal indicating the completion of the rinsing process ends the rinsing process. Note that the CPU 101 may display the completion of the rinsing process on the monitor 104 instead of or in addition to transmitting the rinsing process completion signal to the cleaning machine 300. Then, the user may manually switch the setting of the washing machine 300 so as to end the rinsing process.

なお、上述したように、本実施形態では、CPU101は、パーティクル量に基づく洗浄度の検査と、導電率に基づく洗浄度の検査とを平行して行うが、この限りではない。例えば、導電率に基づく洗浄度の検査がまず行われ、この検査結果が良好である場合に、パーティクル量に基づく洗浄度の検査が行われてもよい。また、逆に、パーティクル量に基づく洗浄度の検査がまず行われ、その後に導電率に基づく洗浄度の検査が行われてもよい。   As described above, in the present embodiment, the CPU 101 performs the cleaning degree inspection based on the particle amount and the cleaning degree inspection based on the conductivity in parallel, but this is not restrictive. For example, the cleaning degree inspection based on the conductivity may be performed first, and when the inspection result is good, the cleaning degree inspection based on the particle amount may be performed. Conversely, the cleaning degree inspection based on the particle amount may be performed first, and then the cleaning degree inspection based on the conductivity may be performed.

また、本実施形態では、市水W11を用いての洗浄対象物Oの洗浄度の検査後に、精製水W12を用いての洗浄対象物Oの洗浄度の検査を開始しているが、市水W11及び精製水W12の何れか一方についてのみ、洗浄度の検査を行ってもよい。   In the present embodiment, after the cleaning degree of the cleaning object O using the city water W11 is checked, the cleaning degree of the cleaning object O using the purified water W12 is started. Only one of W11 and purified water W12 may be inspected for cleanliness.

なお、上述した各弁V1〜V6の開閉タイミング、導電率計EC1、EC2及びパーティクルセンサPS1からの信号の受け付け開始や終了タイミングはあくまで一例であり、適宜変更することができる。   The opening / closing timings of the valves V1 to V6 and the start and end timings of reception of signals from the conductivity meters EC1, EC2 and the particle sensor PS1 are merely examples, and can be changed as appropriate.

(変形例)
本実施形態では、導電率計EC1で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値(第1平均値)を算出するとともに、導電率計EC2で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値(第2平均値)を算出し、これらの第1平均値と第2平均値とを洗浄対象物Oの洗浄度の検査に用いているが、第1平均値と第2平均値とを算出することは本発明の必須の構成ではない。洗浄度の精度がそれほど必要でない場合や微量の溶解された成分であっても導電率に大きな差がある場合などは、導電率計EC1、EC2で測定された導電率を直接比較することで、洗浄対象物Oの洗浄度の検査をおこなってもよい。この場合には、例えば、導電率計EC1、EC2で測定された各導電率に対してフィルタ処理を行うことで、洗浄液Wに予め溶解されているノイズ成分の影響を受けずに、洗浄対象物Oの洗浄度を検査することができる。
(Modification)
In the present embodiment, the average value (first average value) of the square sum of the conductivity of a predetermined number of samples continuously measured by the conductivity meter EC1 is calculated and continuously measured by the conductivity meter EC2. An average value (second average value) of the sum of squares of the conductivity of a predetermined number of samples is calculated, and these first average value and second average value are used for the inspection of the cleaning degree of the cleaning object O. It is not an essential configuration of the present invention to calculate the first average value and the second average value. If the degree of cleanliness is not so necessary, or if there is a large difference in conductivity even with a small amount of dissolved component, by directly comparing the conductivity measured by the conductivity meter EC1, EC2, The cleaning degree of the cleaning object O may be inspected. In this case, for example, by subjecting each conductivity measured by the conductivity meters EC1 and EC2 to filter processing, the object to be cleaned is not affected by noise components dissolved in the cleaning liquid W in advance. The cleaning degree of O can be inspected.

1 洗浄度検査装置
2 第1流入管
3 第2流入管
101 CPU(洗浄度検査部)
EC1 導電率計(第1測定部)
EC2 導電率計(第2測定部)
PS1 パーティクルセンサ
W 洗浄液
W1 給水(洗浄に用いられていない洗浄液)
W2 排水(洗浄に用いられた洗浄液)
O 洗浄対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cleanliness inspection apparatus 2 1st inflow pipe 3 2nd inflow pipe 101 CPU (cleanliness inspection part)
EC1 conductivity meter (first measurement unit)
EC2 conductivity meter (second measuring unit)
PS1 Particle sensor W Cleaning liquid W1 Water supply (cleaning liquid not used for cleaning)
W2 drainage (cleaning solution used for cleaning)
O Object to be cleaned

Claims (3)

洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査装置であって、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられていない前記洗浄液の導電率を測定する第1測定部と、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第2測定部と、
前記第1測定部で測定された導電率と前記第2測定部で測定された導電率とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度検査する洗浄度検査部と
前記第1測定部及び前記第2測定部の下流側に配置されたパーティクルセンサと、
前記第1測定部と前記パーティクルセンサとの間に配置された給水・センサ間弁と、
前記第2測定部と前記パーティクルセンサとの間に配置された排水・センサ間弁と、を備え、
前記パーティクルセンサは、前記給水・センサ間弁と前記排水・センサ間弁とが択一的に開状態に切り替えられることによって、前記第1測定部及び前記第2測定部の何れか一方を通過した前記洗浄水のパーティクル量を検出し、
前記洗浄度検査部は、前記パーティクルセンサによる前記第1測定部を通過した前記洗浄水のパーティクル量と前記第2測定部を通過した前記洗浄水のパーティクル量との差分が所定の閾値以下となったときに、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度測定装置。
A cleaning degree inspection device for inspecting the degree of cleaning of an object to be cleaned with a cleaning liquid,
A first measuring unit that measures the conductivity of the cleaning liquid that is not used for cleaning the cleaning object;
A second measuring unit for measuring the conductivity of the cleaning liquid used for cleaning the cleaning object;
A cleanliness inspection unit that inspects the cleanliness of the object to be cleaned using the conductivity measured by the first measurement unit and the conductivity measured by the second measurement unit ;
A particle sensor disposed downstream of the first measurement unit and the second measurement unit;
A water supply / sensor valve disposed between the first measuring unit and the particle sensor;
A drainage / sensor valve disposed between the second measurement unit and the particle sensor,
The particle sensor passes through one of the first measurement unit and the second measurement unit by selectively switching the water supply / sensor valve and the drain / sensor valve to an open state. Detecting the amount of particles of the washing water,
In the cleaning degree inspection unit, a difference between a particle amount of the cleaning water that has passed through the first measurement unit and a particle amount of the cleaning water that has passed through the second measurement unit by the particle sensor is equal to or less than a predetermined threshold. A cleaning degree measuring device for inspecting the cleaning degree of the object to be cleaned.
前記洗浄対象物には、所定時間継続して洗浄液が流入され、
前記洗浄対象物への流入前の洗浄液の一部がこの流入前の洗浄液から分岐されて流入される第1流入管と、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液が流入される第2流入管と、を更に備え、
前記第1測定部は、前記第1流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定し、
前記第2測定部は、前記第2流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定し、
前記洗浄度検査部は、所定サンプリング周期で、前記第1測定部によって測定された導電率と前記第2測定部によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して前記第1測定部から取得された所定の複数個の導電率と、連続して前記第2測定部から取得された前記所定の複数個の導電率とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する、請求項1に記載の洗浄度検査装置。
The cleaning liquid flows into the cleaning object continuously for a predetermined time,
A first inflow pipe into which a part of the cleaning liquid before flowing into the object to be cleaned is branched and flows from the cleaning liquid before flowing in;
A second inflow pipe into which a cleaning liquid used for cleaning the object to be cleaned flows,
The first measuring unit continuously measures the conductivity of the cleaning liquid flowing into the first inflow pipe,
The second measuring unit continuously measures the conductivity of the cleaning liquid flowing into the second inflow pipe,
The cleanliness inspection unit acquires the conductivity measured by the first measurement unit and the conductivity measured by the second measurement unit at a predetermined sampling period, and continuously from the first measurement unit. The degree of cleaning of the object to be cleaned is inspected using the predetermined plurality of conductivity acquired and the predetermined plurality of conductivity acquired continuously from the second measurement unit. The cleaning degree inspection apparatus according to 1.
前記洗浄度検査部は、連続して前記第1測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第1平均値として算出するとともに、連続して前記第2測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第2平均値として算出し、前記第1平均値と前記第2平均値とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する、請求項1又は2に記載の洗浄度測定装置。   The cleaning degree inspection unit calculates an average value of the sum of squares of a plurality of predetermined conductivity values obtained continuously from the first measurement unit as a first average value, and continuously calculates the second measurement unit. The average value of the sum of squares of the predetermined plurality of conductivities obtained from is calculated as a second average value, and the degree of cleaning of the object to be cleaned is calculated using the first average value and the second average value. The cleaning degree measuring apparatus according to claim 1 or 2, wherein the cleaning degree measuring apparatus is inspected.
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