JP6207307B2 - Break device - Google Patents
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Description
本発明は、ブレイク装置に関するものである。 The present invention relates to a break device.
液晶装置は、液晶層を間に介在するように第1基板と第2基板とがシール材によって貼り合わされる貼り合わせ基板によって構成される(例えば特許文献1)。この貼り合わせ基板は、生産性の観点から、まず大判の状態であるマザー基板が作製され、これを分断して複数の単位基板とする。この分断方法について詳細に説明すると、まず貼り合わせ基板の第1基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第2基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第1基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。続いて、貼り合わせ基板の第2基板側の面にスクライブラインを形成し、次に、第1基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第2基板をスクライブラインに沿ってブレイクする。 The liquid crystal device is configured by a bonded substrate in which a first substrate and a second substrate are bonded together with a sealing material so that a liquid crystal layer is interposed (for example, Patent Document 1). From the viewpoint of productivity, first, a large mother substrate is produced from this bonded substrate, and this is divided into a plurality of unit substrates. This cutting method will be described in detail. First, a scribe line is formed on the surface of the bonded substrate on the first substrate side, and then the bonded substrate is pressed and bent from the second substrate side to scribe the first substrate. Break along the line. Subsequently, a scribe line is formed on the surface of the bonded substrate on the second substrate side, and then the bonded substrate is pressed and bent from the first substrate side to break the second substrate along the scribe line.
上述した方法では、第1基板をブレイクした後に、貼り合わせ基板の表裏を反転させて第2基板をブレイクする必要がある。このように貼り合わせ基板の表裏を反転させることは生産性が低下するといった問題が生じるため、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第1基板及び第2基板をブレイクすることが望ましい。 In the method described above, after breaking the first substrate, it is necessary to break the second substrate by inverting the front and back of the bonded substrate. Thus, since reversing the front and back of the bonded substrate causes a problem that productivity is lowered, it is desirable to break the first substrate and the second substrate without reversing the front and back of the bonded substrate.
本発明の課題は、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第1基板及び第2基板をブレイクすることができるブレイク装置を提供することにある。 The subject of this invention is providing the breaking apparatus which can break a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate, without reversing the front and back of a bonding board | substrate.
(1)本発明のある側面に係るブレイク装置は、第1基板と第2基板とを貼り合わせた貼り合わせ基板の第1基板側の面に形成された第1及び第2スクライブラインと第2基板側の面に形成された第3スクライブラインとに沿って貼り合わせ基板をブレイクするブレイク装置である。このブレイク装置は、搬送ユニットと、第1ブレイクユニットと、第2ブレイクユニットと、第3ブレイクユニットと、を備えている。搬送ユニットは、貼り合わせ基板を搬送する。第1ブレイクユニットは、第1スクライブラインに沿って第1基板をブレイクする。第2ブレイクユニットは、第2スクライブラインに沿って第1基板をブレイクする。第3ブレイクユニットは、第3スクライブラインに沿って第2基板をブレイクする。第1ブレイクユニット、第2ブレイクユニット、及び第3ブレイクユニットは、貼り合わせ基板の搬送路に沿って配置されている。 (1) A breaking device according to an aspect of the present invention includes a first scribe line and a second scribe line formed on a first substrate side surface of a bonded substrate obtained by bonding a first substrate and a second substrate. This is a breaking device for breaking a bonded substrate along a third scribe line formed on a substrate side surface. The break device includes a transport unit, a first break unit, a second break unit, and a third break unit. The transport unit transports the bonded substrate. The first break unit breaks the first substrate along the first scribe line. The second break unit breaks the first substrate along the second scribe line. The third break unit breaks the second substrate along the third scribe line. The first break unit, the second break unit, and the third break unit are arranged along the conveyance path of the bonded substrate.
この構成によれば、搬送ユニットによって搬送される貼り合わせ基板は、第1及び第2ブレイクユニットによって第1基板がブレイクされ、次に、第3ブレイクユニットによって第2基板がブレイクされる。このように、搬送路に沿って配置された第1〜第3ブレイクユニットによって、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第1基板と第2基板との両方をブレイクすることができる。この結果、生産性を向上させることができる。 According to this configuration, the first substrate is broken by the first and second break units, and then the second substrate is broken by the third break unit. As described above, both the first substrate and the second substrate can be broken without reversing the front and back of the bonded substrate by the first to third break units arranged along the conveyance path. As a result, productivity can be improved.
(2)好ましくは、第2基板は端子領域を有している。また、第1スクライブラインと第2スクライブラインとの間における第1基板の領域は、端子領域と対向している。第3スクライブラインは、第1スクライブライン又は第2スクライブラインと対応する位置に形成されている。この構成によれば、第1及び第2ブレイクユニットによって第1基板をブレイクすることによって、第2基板の端子領域を露出させることができる。 (2) Preferably, the second substrate has a terminal region. The region of the first substrate between the first scribe line and the second scribe line is opposed to the terminal region. The third scribe line is formed at a position corresponding to the first scribe line or the second scribe line. According to this structure, the terminal area | region of a 2nd board | substrate can be exposed by breaking a 1st board | substrate with a 1st and 2nd break unit.
(3)好ましくは、第1ブレイクユニット、第2ブレイクユニット、及び第3ブレイクユニットは、互いに同期してブレイク動作を実行する。この構成によれば、より効率的に貼り合わせ基板を分断することができる。 (3) Preferably, the first break unit, the second break unit, and the third break unit perform a break operation in synchronization with each other. According to this configuration, the bonded substrate can be divided more efficiently.
(4)好ましくは、搬送ユニットは、第1基板が下方を向くように貼り合わせ基板を搬送する。この構成によれば、第1基板における、第1スクライブラインと第2スクライブラインとの間の領域の部分を下方に落下させることができる。 (4) Preferably, the transport unit transports the bonded substrate so that the first substrate faces downward. According to this structure, the part of the area | region between the 1st scribe line and the 2nd scribe line in a 1st board | substrate can be dropped below.
(5)好ましくは、第2ブレイクユニットは、第1ブレイクユニットよりも搬送路の下流に配置されている。また、好ましくは、第2ブレイクユニットは、ブレイクバーとバックアップバーとを有する。ブレイクバーは、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板を第2基板側から押圧する。バックアップバーは、貼り合わせ基板をブレイクする際に貼り合わせ基板を第1基板側から支持する一対の支持部を含む。そして、一方の支持部は、第1スクライブラインと第2スクライブラインとの間において貼り合わせ基板を支持する。 (5) Preferably, the 2nd break unit is arranged downstream of a conveyance way rather than the 1st break unit. Preferably, the second break unit includes a break bar and a backup bar. The break bar presses the bonded substrate from the second substrate side when breaking the bonded substrate. The backup bar includes a pair of support portions that support the bonded substrate from the first substrate side when the bonded substrate is broken. And one support part supports a bonding board | substrate between a 1st scribe line and a 2nd scribe line.
この構成によれば、第2ブレイクユニットは、第2スクライブラインに沿って第1基板をより確実にブレイクすることができる。 According to this configuration, the second break unit can more reliably break the first substrate along the second scribe line.
本発明に係るブレイク装置によれば、貼り合わせ基板の表裏を反転させることなく第1基板及び第2基板をブレイクすることができる。 According to the breaking device according to the present invention, the first substrate and the second substrate can be broken without reversing the front and back of the bonded substrate.
以下、本発明に係るブレイク装置100の実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、ブレイク装置100の説明をする前に、まず、加工対象であるマザー基板(貼り合わせ基板の一例)10について説明する。図1はマザー基板10を示す側面断面図である。
Hereinafter, an embodiment of a
図1に示すように、マザー基板10は、第1基板101と、第2基板102とを有する。第1基板101と第2基板102とは、シール材(図示省略)によって貼り合わされており、第1基板101と第2基板102との間で例えば液晶層を構成する。また、液晶層はシール部材によって囲まれている。このマザー基板10を分断することによって、複数の単位基板Pを作製する。
As shown in FIG. 1, the
例えば、第1基板101は複数のカラーフィルタが形成された基板であり、第2基板102は複数のTFT及び端子領域R1が形成された基板である。端子領域R1は端子Tが形成されている領域であり、単位基板P毎に形成されている。端子Tを介して内部のTFTと外部機器とが電気的に接続されるため、最終的には端子領域R1を外部に露出させる必要がある。
For example, the
端子領域R1を外部に露出できるよう、単位基板P間において、第1〜第3スクライブラインL1〜L3が形成されている。詳細には、第2基板102には第3スクライブラインL3のみが形成されており、第1基板101には第1スクライブラインL1と第2スクライブラインL2とが形成されている。第1スクライブラインL1と第2スクライブラインL2とによって画定される第1基板101の領域R2は、第2基板102の端子領域R1と対向している。また、第3スクライブラインL3は、第1スクライブラインL1と対応する位置に形成される。これら第1〜第3スクライブラインL1〜L3を含むスクライブライン組Sは、単位基板P間ごとに形成されている。なお、本実施形態では、搬送方向と直交する方向にのみ各スクライブラインL1〜L3が形成されているが、搬送方向と平行する方向に複数のスクライブラインが形成されていてもよい。
First to third scribe lines L1 to L3 are formed between the unit substrates P so that the terminal region R1 can be exposed to the outside. Specifically, only the third scribe line L3 is formed on the
図2はブレイク装置100の全体を示す斜視図である。なお、図2の左側を上流、右側を下流とする。また、以下の説明において「搬送方向」とは、下流に向かう方向を意味する。
FIG. 2 is a perspective view showing the entire
図2に示すように、ブレイク装置100は、マザー基板10の両面に形成された各スクライブラインL1〜L3に沿ってマザー基板10をブレイクするための装置であり、第1ブレイクユニット1と、第2ブレイクユニット2と、第3ブレイクユニット3と、複数の搬送ユニット4a〜4cとを有している。
As shown in FIG. 2, the
各搬送ユニット4a〜4cは、マザー基板10を、下流に向かって搬送するためのユニットであり、例えば円筒状のローラなどによって構成することができる。各搬送ユニット4a〜4cは、それぞれがローラを回転させるための駆動源を有していてもよいし、どれか1つの搬送ユニットのみが駆動源を有しており、この駆動源によって他の搬送ユニットのローラを回転駆動してもよい。このように各搬送ユニット4a〜4cのローラが回転することによって、マザー基板10を下流に搬送する。なお、図2の2点鎖線は、マザー基板10の搬送路Cを示している。
Each
第1〜第3ブレイクユニット1〜3は、マザー基板10の搬送路Cに沿って配置されており、上流側から、第1ブレイクユニット1、第2ブレイクユニット2、及び第3ブレイクユニット3の順で並んでいる。また、複数の搬送ユニット4a〜4cは、第1ブレイクユニット1の上流側、第1ブレイクユニット1と第2ブレイクユニット2との間、及び第2ブレイクユニット2と第3ブレイクユニット3との間に、1つずつ配置されている。なお、これら各ユニット1〜4cは、各ユニット間の間隔を変更できるよう、上流側及び下流側に移動可能である。
The first to third break units 1 to 3 are arranged along the conveyance path C of the
第1ブレイクユニット1は、マザー基板10に形成された第1スクライブラインL1に沿ってマザー基板10の第1基板101を分断するためのユニットである。この第1ブレイクユニット1は、ブレイクバー11と、バックアップバー12とを備えている。ブレイクバー11とバックアップバー12とは、上下方向において対向する位置に配置されている。より詳細には、ブレイクバー11とバックアップバー12とは、マザー基板10の搬送路Cを介して対向する位置に配置されており、ブレイクバー11は搬送路Cの上方に配置され、バックアップバー12は搬送路Cの下方に配置されている。
The first break unit 1 is a unit for dividing the
ブレイクバー11は、搬送路Cと平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。ブレイクバー11の下部は、搬送路Cと平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されており、先端(下端)に行くほど細くなる先細り形状となっている。このブレイクバー11の先端における稜線部が、ブレイク動作時にマザー基板10と接触する押圧部111である。ブレイクバー11は、作動位置と非作動位置との間で昇降可能に設置されており、作動位置では押圧部111がマザー基板10を押圧する。また、ブレイクバー11が作動位置から上昇して非作動位置にあるときは、押圧部111はマザー基板10と接触しない。
The
バックアップバー12は、ブレイクバー11の長手方向に沿って延びている、すなわち搬送路Cと平行且つ搬送方向と直交する方向に延びている。バックアップバー12は2つの上部を有しており、各上部は搬送路Cと平行且つ搬送方向と直交する方向に延びる三角柱状に形成されている。また、バックアップバー12の各上部は、先端(上端)に行くほど細くなる先細り形状となっている。このバックアップバー12の各先端における2つの稜線部が、マザー基板10と接触する支持部121a、121bである。この各支持部121a、121bは、押圧部111の長手方向に沿って延びている。各支持部121a、121bは互いに所定間隔をあけて延びている。そして、押圧部111は、支持部121aと支持部121bとの間と対向する位置に配置されている。なお、各支持部121a、121b間の距離は、押圧部111の幅よりも広い。
The
第2ブレイクユニット2は、マザー基板10に形成された第2スクライブラインL2に沿ってマザー基板10の第1基板101を分断するためのユニットである。この第2ブレイクユニット2は、ブレイクバー21と、バックアップバー22とを備えている。ブレイクバー21は先端(下端)に押圧部211を有しており、バックアップバー22は先端(上端)に2つの支持部221a、221bを有している。この第2ブレイクユニット2は、上述した第1ブレイクユニット1と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。
The second break unit 2 is a unit for dividing the
第3ブレイクユニット3は、マザー基板10に形成された第3スクライブラインL3に沿ってマザー基板10の第2基板102を分断するためのユニットである。この第3ブレイクユニット3は、ブレイクバー31と、バックアップバー32とを備えている。ブレイクバー31は先端(上端)に押圧部311を有しており、バックアップバー32は先端(下端)に2つの支持部321a、321bを有している。ブレイクバー31が搬送路Cの下方に位置し、バックアップバー32が搬送路Cの上方に位置する点を除き、第3ブレイクユニット3は、上述した第1ブレイクユニット1と同様の構成であるため、詳細な説明を省略する。
The
次に上述したように構成されたブレイク装置100の動作について説明する。
Next, the operation of the
図2に示すように、まず、マザー基板10のサイズ、及び各スクライブラインL1〜L3のピッチに基づいて、各ユニット1〜4cの位置を調整する。なお、マザー基板10には、スクライブ装置(図示省略)によって第1〜第3スクライブラインL1〜L3からなるスクライブライン組が複数組形成されている。以下の説明において、マザー基板10の下流側の端部に形成されたスクライブライン組を第1スクライブライン組S1とし、第1スクライブライン組S1の上流側に形成されるスクライブライン組を第2スクライブライン組S2とし、第2スクライブライン組S2の上流側に形成されるスクライブライン組を第3スクライブライン組S3とする。なお、第1スクライブライン組S1を除いた各スクライブライン組は、第1〜第3スクライブラインL1〜L3を含んでいる。第1スクライブライン組S1は、第2スクライブラインL2及び第3スクライブラインL3のみを含んでおり、第1スクライブラインL1を含んでいない。
As shown in FIG. 2, first, the positions of the units 1 to 4c are adjusted based on the size of the
次に、各搬送ユニット4a〜4cによってマザー基板10を間欠的に搬送する。具体的には、各搬送ユニット4a〜4cによって、マザー基板10を下流側に搬送し、図3に示すようにマザー基板10の第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2が第2ブレイクユニット2に到達すると、その搬送を停止する。より詳細には、マザー基板10の第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2が第2ブレイクユニット2におけるブレイクバー21の押圧部211の下方に位置すると、各搬送ユニット4a〜4cはマザー基板10の搬送を停止する。このとき、第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1は、第1ブレイクユニット1のブレイクバー11の押圧部111の下方に位置している。なお、マザー基板10が搬送されている間、各ブレイクユニット1〜3のブレイクバー11〜31は、非作動位置にある。
Next, the mother board |
この状態において、第1及び第2ブレイクユニット1、2が作動する。具体的には、第1ブレイクユニット1のブレイクバー11が作動位置まで下降し、押圧部111がマザー基板10を第2基板102側から第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1に沿って押圧する。これによって、マザー基板10の第1基板101が第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1に沿ってブレイクされる。
In this state, the first and second break units 1 and 2 operate. Specifically, the
上記第1ブレイクユニット1によるブレイク動作の際、マザー基板10は、バックアップバー12の各支持部121a、121bによって、下側から支持されている。具体的には、第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1を跨いだ状態で、各支持部121a、121bがマザー基板10を支持している。すなわち、一方の支持部121aは、第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1よりも上流側において第1基板101と接触している。また、もう一方の支持部121bは、第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1よりも下流側において第1基板101と接触している。
During the break operation by the first break unit 1, the
また、第2ブレイクユニット2のブレイクバー21も同様に作動位置まで下降し、押圧部211がマザー基板10を第2基板102側から第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2に沿って押圧する。これによって、マザー基板10の第1基板101が第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2に沿ってブレイクされる。
Similarly, the
上記第2ブレイクユニット2によるブレイク動作の際、マザー基板10は、バックアップバー22の各支持部221a、221bによって、下側から支持されている。具体的には、第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2を跨いだ状態で、各支持部221a、221bがマザー基板10を支持している。すなわち、一方の支持部221aは、第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2よりも上流側において第1基板101と接触している。また、もう一方の支持部221bは、第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2よりも下流側において第1基板101と接触している。
During the break operation by the second break unit 2, the
マザー基板10の第1基板101が、第1スクライブライン組S1の第2スクライブラインL2及び第2スクライブライン組S2の第1スクライブラインL1に沿ってブレイクされると、第1及び第2ブレイクユニット1、2の各ブレイクバー11、21は非作動位置に戻る。そして、各搬送ユニット4a〜4cが作動し、マザー基板10はさらに下流側に搬送される。
When the
図4に示すように、マザー基板10の第1スクライブライン組S1の第3スクライブラインL3が第3ブレイクユニット3に到達すると、各搬送ユニット4a〜4cはマザー基板10の搬送を停止する。詳細には、マザー基板10の第1スクライブライン組S1の第3スクライブラインL3が第3ブレイクユニット3におけるブレイクバー31の押圧部311の上方に位置すると、各搬送ユニット4a〜4cは搬送動作を停止する。なお、この状態において、マザー基板10の第2スクライブライン組S2の第2スクライブラインL2は、第2ブレイクユニット2に到達している。詳細には、マザー基板10の第2スクライブライン組S2の第2スクライブラインL2は、第2ブレイクユニット2におけるブレイクバー21の押圧部211の下方に位置する。またさらには、この状態において、マザー基板10の第3スクライブライン組S3の第1スクライブラインL1は、第1ブレイクユニット1に到達している。詳細には、マザー基板10の第3スクライブライン組S3の第1スクライブラインL1は、第1ブレイクユニット1におけるブレイクバー11の押圧部111の下方に位置する。
As shown in FIG. 4, when the third scribe line L <b> 3 of the first scribe line set S <b> 1 of the
この状態において、第1ブレイクユニット1と第2ブレイクユニット2と第3ブレイクユニット3が互いに同期して作動する。具体的には、第1ブレイクユニット1のブレイクバー11が作動位置まで下降し、押圧部111がマザー基板10を第2基板102側から第3スクライブライン組S3の第1スクライブラインL1に沿って押圧する。これによって、マザー基板10の第1基板101が第3スクライブライン組S3の第1スクライブラインL1に沿ってブレイクされる。また、マザー基板10は、パックアップバー12の各支持部121a、121bによって、下側から支持されている。
In this state, the first break unit 1, the second break unit 2, and the
また、第2ブレイクユニット2のブレイクバー21が作動位置まで下降し、押圧部211がマザー基板10を第2基板102側から第2スクライブライン組S2の第2スクライブラインL2に沿って押圧する。これによって、マザー基板10の第1基板101が第2スクライブライン組S2の第2スクライブラインL2に沿ってブレイクされる。ここで、マザー基板10は第1基板101が下方を向く状態で搬送されているため、第1基板101の領域R2に相当する部分が下方へ落下し、端子Tが外部に露出した状態となる。
Further, the
上記第2ブレイクユニット2によるブレイク動作の際、マザー基板10は、バックアップバー22の各支持部221a、221bによって、下側から支持されている。より具体的には、図5に示すように、第2スクライブライン組S2の第2スクライブラインL2を跨いだ状態で、各支持部221a、221bがマザー基板10を支持している。すなわち、一方の支持部221aは、第2スクライブラインL2よりも上流側において第1基板101と接触している。また、もう一方の支持部221bは、第2スクライブラインL2よりも下流側において第1基板101と接触している。ここで、一方の支持部221bは、第2スクライブライン組S2における第1スクライブラインL1と第2スクライブラインL2との間において第1基板101と接触している。すなわち、一方の支持部221bは、第1基板の領域R2と接触している。
During the break operation by the second break unit 2, the
また、第3ブレイクユニット3のブレイクバー31が作動位置まで上昇し、押圧部311がマザー基板10を第1基板101側から第1スクライブライン組S1の第3スクライブラインL3に沿って押圧する。これによって、マザー基板10の第2基板102が第1スクライブライン組S1の第3スクライブラインL3に沿ってブレイクされる。また、マザー基板10は、バックアップバー32の各支持部321a、321bによって、上側から支持されている。
Further, the
以上の動作を繰り返すことによって、マザー基板10を分断して複数の単位基板Pを取り出すことができる。
By repeating the above operation, the
[変形例]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
[Modification]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these, A various change is possible unless it deviates from the meaning of this invention.
変形例1
上記実施形態では、上流側から、第1ブレイクユニット1、第2ブレイクユニット2、第3ブレイクユニット3の順で配置されているが、特にこれに限定されない。例えば、第3ブレイクユニット3を最も上流側に配置したり、第1ブレイクユニット1と第2ブレイクユニット2との配置を入れ替えてもよい。
Modification 1
In the above embodiment, the first break unit 1, the second break unit 2, and the
変形例2
上記実施形態では、第1〜第3ブレイクユニット1〜3は、互いに同期してブレイク動作を実行するが、特にこれに限定されない。例えば、第1〜第3ブレイクユニット1〜3は、異なるタイミングで各ブレイク動作を実行してもよい。
Modification 2
In the above embodiment, the first to third break units 1 to 3 execute the break operation in synchronization with each other, but are not particularly limited thereto. For example, the first to third break units 1 to 3 may execute the respective break operations at different timings.
変形例3
上記実施形態では、マザー基板10は、第1基板101が下方、第2基板102が上方を向いた状態で搬送されるが、特にこれに限定されず、例えば、第1基板101が上方、第2基板102が下方を向いた状態で搬送されてもよい。この場合、第1〜第3ブレイクユニット1〜3は、ブレイクバー11〜31とバックアップバー12〜32の位置が、上述した実施形態に対して上下で反転する。
In the above embodiment, the
100 ブレイク装置
1 第1ブレイクユニット
2 第2ブレイクユニット
3 第3ブレイクユニット
4a〜4c 搬送ユニット
10 マザー基板(貼り合わせ基板)
101 第1基板
102 第2基板
L1 第1スクライブライン
L2 第2スクライブライン
L3 第3スクライブライン
DESCRIPTION OF
101 1st board |
Claims (5)
前記貼り合わせ基板を搬送する搬送ユニットと、
前記第1スクライブラインに沿って前記第1基板をブレイクする第1ブレイクユニットと、
前記第2スクライブラインに沿って前記第1基板をブレイクする第2ブレイクユニットと、
前記第3スクライブラインに沿って前記第2基板をブレイクする第3ブレイクユニットと、
を備え、
前記第1ブレイクユニット、第2ブレイクユニット、及び第3ブレイクユニットは、前記貼り合わせ基板の搬送路に沿って互いに間隔をあけて配置されており、
前記第1ブレイクユニットは、前記第2基板側から前記第1スクライブラインに沿って前記貼り合わせ基板を押圧する第1ブレイクバーを有し、
前記第2ブレイクユニットは、前記第2基板側から前記第2スクライブラインに沿って前記貼り合わせ基板を押圧する第2ブレイクバーを有し、
前記第3ブレイクユニットは、前記第1基板側から前記第3スクライブラインに沿って前記貼り合わせ基板を押圧する第3ブレイクバーを有する、
ブレイク装置。 First and second scribe lines formed on the first substrate side surface of the bonded substrate obtained by bonding the first substrate and the second substrate, and a third scribe line formed on the second substrate side surface; A breaking device for breaking a bonded substrate along
A transport unit for transporting the bonded substrate;
A first break unit for breaking the first substrate along the first scribe line;
A second break unit for breaking the first substrate along the second scribe line;
A third break unit for breaking the second substrate along the third scribe line;
With
The first break unit, the second break unit, and the third break unit are arranged spaced apart from each other along the conveyance path of the bonded substrate board ,
The first break unit has a first break bar that presses the bonded substrate along the first scribe line from the second substrate side,
The second break unit has a second break bar that presses the bonded substrate along the second scribe line from the second substrate side,
The third break unit has a third break bar that presses the bonded substrate along the third scribe line from the first substrate side.
Break device.
前記第1スクライブラインと前記第2スクライブラインとの間における前記第1基板の領域は、前記端子領域と対向しており、
前記第3スクライブラインは、前記第1スクライブライン又は前記第2スクライブラインと対応する位置に形成されている、
請求項1に記載のブレイク装置。 The second substrate has a terminal region;
A region of the first substrate between the first scribe line and the second scribe line is opposed to the terminal region;
The third scribe line is formed at a position corresponding to the first scribe line or the second scribe line;
The break device according to claim 1.
前記第2ブレイクユニットは、前記貼り合わせ基板をブレイクする際に前記貼り合わせ基板を前記第2基板側から押圧するブレイクバーと、前記貼り合わせ基板をブレイクする際に前記貼り合わせ基板を前記第1基板側から支持する一対の支持部を含むバックアップバーとを有し、
一方の前記支持部は、前記第1スクライブラインと第2スクライブラインとの間において前記貼り合わせ基板を支持する、
請求項1から4のいずれかに記載のブレイク装置。 The second break unit is disposed downstream of the transport path from the first break unit,
The second break unit includes a break bar that presses the bonded substrate from the second substrate side when the bonded substrate is broken, and the bonded substrate that is bonded to the first substrate when the bonded substrate is broken. A backup bar including a pair of support portions supported from the substrate side;
One of the support portions supports the bonded substrate between the first scribe line and the second scribe line,
The break device according to any one of claims 1 to 4.
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