JP6204226B2 - 基板処理装置、基板処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板処理装置、基板処理方法に関する。

半導体デバイスの製造においては、被処理体、例えば半導体ウエハ等の基板（以下、単にウエハとも記載する）に、酸化、拡散、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、アニール等の処理を施すために、各種の基板処理装置（半導体装置）が用いられている。そして、基板処理装置の１つとして、一度に多数枚のウエハの熱処理が可能なバッチ処理式の基板処理装置（基板熱処理装置）が知られている。

ここで、従来のバッチ処理式の基板処理装置の構成例について図１を用いて説明する。

図１は基板処理装置のうち、移載領域と、搬入領域との間に設けられた隔壁の周辺の断面図を模式的に示したものである。

図１中隔壁１１よりも図中右側が搬入領域１２となっている。搬入領域１２では、複数枚のウエハを収納した運搬容器（キャリア、ＦＯＵＰともいう）１４により装置外からウエハを搬入する。搬入領域１２は基板処理装置が設置された周囲と同じ雰囲気、例えば大気雰囲気となっている。

また、隔壁１１よりも図中左側が移載領域１３となっている。移載領域１３では、熱処理炉へウエハを供給する際にウエハを保持するボート（保持具）に運搬容器１４内のウエハを移載し、熱処理後のウエハをボートから運搬容器１４内へ移載する。移載領域１３では、ウエハが汚染されることを防止し、場合によってはウエハに自然酸化膜が発生することを防止するため、移載領域１３内は不活性ガス雰囲気、又は清浄乾燥気体雰囲気とされている。また、搬入領域１２の雰囲気が移載領域１３に侵入しないように、移載領域１３内の圧力が搬入領域１２内の圧力よりも高くなるように設定している。

なお、隔壁１１には開口部１１１が設けられており、開口部１１１には開閉可能な扉１１２が設けられている。

搬入領域１２では移載領域１３に供給するウエハが収納された運搬容器１４が載置台１５上に載置される。運搬容器１４には、運搬容器１４内のウエハを取り出すために図示しない取り出し口が図中左側の側面１４１に設けられ、運搬容器１４内のウエハのパーティクル汚染を防止するため、取り出し口には密閉可能な図示しない蓋が設けられている。そして、運搬容器１４は載置台１５に載置される際、取り出し口が隔壁１１の開口部１１１と対向するように載置される。

載置台１５上に載置された運搬容器１４は、載置台１５に設けられた図示しない運搬容器押し当て手段により隔壁１１に押し当てられる。運搬容器１４を隔壁１１に押し当てた際、運搬容器１４の隔壁１１と対向する面が、隔壁１１の開口部１１１を囲むように設けられた図示しないシール部材を介して隔壁１１と当接する。

また、隔壁１１に押し当てられた運搬容器１４は運搬容器１４の上部に設置された押圧手段１６により下方に向かって押圧される。この際、押圧手段１６の先端部１６１は運搬容器１４の上部の把手１４２に設けられた図示しない凹部内に収容されるため、運搬容器１４が図中のＸ軸方向に移動することを規制することができる。

次いで、運搬容器１４の蓋を図示しない蓋開閉機構により開けて、さらに図示しない扉開閉機構により扉１１２を開ける。この際、運搬容器１４は隔壁１１に押し当てられているため、移載領域１３内に搬入領域１２内の雰囲気が侵入することを防ぐことができる。以上の操作により運搬容器１４の内部空間と、移載領域１３とが直接つながるため、移載領域１３側に設けられた図示しない移載手段により、運搬容器１４内のウエハを移載領域１３内に搬入することができる。

しかしながら図１に示した基板処理装置によれば、運搬容器１４の上面側から押圧手段１６により運搬容器を下方に向かって押圧しているため、運搬容器１４が変形し、運搬容器１４と隔壁１１との間に隙間が生じる場合があった。このため、扉１１２を開けた際に搬入領域１２側の雰囲気が移載領域１３側に侵入し移載領域１３の雰囲気が汚染される場合があった。

また、移載領域１３の方が搬入領域１２よりも圧力が高くなっているため、扉１１２を開けた際に、運搬容器１４に対して図中Ｘ軸方向に沿って力がかかる。

そこで、上述のように運搬容器１４の上面側は押圧手段１６によりＺ軸に沿って下方向（図中Ｚ軸のマイナス方向）に押圧し、かつ押圧手段１６の先端部１６１と、把手１４２に設けられた凹部と、を噛み合わせることによりＸ軸方向への移動を規制している。しかしながら、移載領域１３側の圧力により運搬容器１４にかかる力の向きと、押圧手段１６による力の向きとは略９０度である。このため、運搬容器１４の上面側がＸ軸方向に移動することを十分に抑制できなかった。

以上のように、従来の基板処理装置においては、移載領域１３と運搬容器内との間で被処理体を出し入れする際、隔壁１１と運搬容器１４との間に隙間を生じる場合があった。このため、扉１１２を開けた際に搬入領域１２側の雰囲気が移載領域１３側に侵入し移載領域１３の雰囲気が汚染されるという問題があった。

本発明は上記従来技術が有する問題に鑑み、移載領域と搬入領域の載置台上に載置された運搬容器との間で被処理体を出し入れする際、搬入領域と移載領域との間に設けられた隔壁と、搬入領域の載置台上に載置された運搬容器と、の間に隙間が発生することを抑制できる基板処理装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため本発明は、複数の被処理体を収納することができ、前記被処理体を出し入れするための取り出し口と、前記取り出し口が設けられた面側の上部に形成されたフランジと、前記フランジの上面に形成された凹部と、を有する運搬容器を載置する載置台が設けられた搬入領域と、
前記搬入領域とは別の雰囲気に維持された移載領域と、
前記搬入領域と、前記移載領域とを仕切り、開口部が設けられた隔壁と、
前記開口部を開閉する扉と、
前記取り出し口が前記隔壁の前記開口部と対向するようにして前記載置台上に載置された前記運搬容器を、前記隔壁に押し当てる運搬容器押し当て手段と、
前記運搬容器の上部側から前記凹部に対して挿入され、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる運搬容器保持手段と、
を有し、
前記運搬容器保持手段が前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさは、前記運搬容器押し当て手段が、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさ以下である
基板処理装置を提供する。

本発明によれば、移載領域と搬入領域の載置台上に載置された運搬容器との間で被処理体を出し入れする際、搬入領域と移載領域との間に設けられた隔壁と、搬入領域の載置台上に載置された運搬容器と、の間に隙間が発生することを抑制できる基板処理装置を提供することができる。

従来の基板処理装置の説明図。 運搬容器の説明図。 本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置の概略説明図。 図３の一部拡大図。 本発明の実施形態に係る運搬容器保持手段の概略説明図。 本発明の実施形態に係る運搬容器保持手段の概略説明図。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
［基板処理装置］
本実施の形態では、基板処理装置の一構成例について説明する。なお、本実施形態では基板処理装置として縦型熱処理装置を例に説明するが、係る形態に限定されるものではない。

本実施形態の縦型熱処理装置は、搬入領域と、移載領域と、を有することができる。

搬入領域には、運搬容器を載置するための載置台を設けることができる。運搬容器は、複数の被処理体を収納することができ、被処理体を出し入れするための取り出し口と、取り出し口が設けられた面側の上部に形成されたフランジと、フランジの上面に形成された凹部と、を有することができる。

また、移載領域は、搬入領域とは別の雰囲気に維持することができる。

搬入領域と、移載領域とを仕切り、開口部が設けられた隔壁と、隔壁の開口部を開閉する扉と、を設けることができる。

そして、取り出し口が隔壁の開口部と対向するようにして載置台上に載置された運搬容器を、隔壁に押し当てる運搬容器押し当て手段を有することができる。また、運搬容器の上部側から凹部に対して挿入し、運搬容器を隔壁に押し当てる運搬容器保持手段を有することができる。

ここでまず、本実施形態の縦型熱処理装置において被処理体を搬送、保管する際に用いる運搬容器の構成例について図２を用いて説明する。

図２（Ａ）は被処理体の運搬容器の一例の概略斜視図を示している。また、図２（Ｂ）は図２（Ａ）中のブロック矢印Ａに沿って見た場合、すなわち、図中のＹ軸に沿って、Ｙ軸のマイナス方向に向かって見た場合の運搬容器の側面図を示している。なお、本実施形態においては、被処理体を収容する運搬容器として密閉型のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）について説明するが、係る形態に限定されるものではない。

図２（Ａ）に示すように運搬容器２０は一端部に被処理体を出し入れするための取り出し口２１が形成され、他端部は例えば略半楕円形状に形成することができる。

運搬容器２０の取り出し口２１には、取り出し口２１に対応する蓋２２が着脱可能に取り付けられており、運搬容器２０内は蓋２２によって実質的に気密状態とされる。一般的に、運搬容器２０の内部の雰囲気は、清浄空気となっている。

蓋２２には、例えば２つの蓋ロック機構２３が設けられており、蓋ロック機構２３を施錠又は開錠することにより、蓋２２を取り出し口２１から着脱することができる構成となっている。

図２（Ａ）では取り出し口２１に蓋２２を取り付けた状態を示しているため図示していないが、運搬容器２０はその内部に被処理体であるウエハを収容することができる。

運搬容器２０の内壁面には、被処理体であるウエハを多段に配置することができる支持部が形成されている。そして、支持部にウエハの周縁部を載置して支持することにより、略等ピッチで多段にウエハを収納することができる。このため、運搬容器２０は複数枚のウエハを収納することができ、１つの運搬容器２０に対して、例えば２５枚のウエハを収納することができる。用いるウエハの直径は特に限定されるものではないが、例えば直径３００ｍｍのウエハや、直径４５０ｍｍのウエハを好適に用いることができる。特に直径４５０ｍｍのウエハの場合、ウエハにあわせて運搬容器２０のサイズも大きくなり隔壁との間に隙間を生じやすくなるところ、本実施形態の縦型熱処理装置においては隔壁と運搬容器２０との間に隙間が生じることを抑制できる。このため、本実施形態の縦型熱処理装置においては被処理体として４５０ｍｍのウエハをより好ましく用いることができる。

運搬容器２０は、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように、取り出し口２１が設けられた面側の上部にフランジ２４が設けられている。なお、フランジ２４は運搬容器２０の上部だけではなく、例えば図２（Ａ）、（Ｂ）に示したように、取り出し口２１を囲むように取り出し口２１が設けられた面側の側面、及び底面を含む周面に渡って形成することもできる。

そして、フランジ２４の上面には凹部２５を形成できる。凹部２５は、例えば図２（Ａ）に示すようにフランジ２４の上面に離隔して２箇所設けることができる。

凹部２５は図２（Ａ）に示したようにフランジ２４の上面に２箇所に設ける形態に限定されるものではなく、３箇所以上に形成することもできる。また、例えばフランジ２４の上面に運搬容器２０の幅方向全体に渡って、すなわち図中のＹ軸方向に沿って連続した１つの凹部として形成することもできる。

凹部２５の形状は特に限定されないが、例えば、図２（Ｂ）に点線で示すように、凹部２５を通り、取り出し口２１と垂直な断面における凹部２５の断面形状、すなわち、図中のＸＺ平面における凹部２５の断面形状は、四角形形状であることが好ましい。なお、上述のように、２箇所またはそれ以上の箇所に凹部２５を形成する場合、凹部２５の形状は同じ形状とすることができる。

また、運搬容器２０の天井部には、運搬容器２０を把持する際に掴むことが可能である把手２６を設けることができる。

さらに、図２（Ｂ）に示すように運搬容器２０の底部の下面には、複数の位置決め凹部２７を設けることができる。位置決め凹部２７を設けることにより、縦型熱処理装置内を搬送して載置台や載置棚等に載置した際に、載置台や、載置棚等に設けられたピンと運搬容器２０に設けられた位置決め凹部２７とにより、運搬容器２０を位置決めできる。なお、位置決め凹部２７は運搬容器２０の底部に設けられており、側面側からは見えないため図２（Ｂ）中では点線で示している。図２（Ｂ）では位置決め凹部２７を２箇所形成した例を示しているが、位置決め凹部２７は、例えば３箇所に設けることが好ましい。

また、図２（Ｂ）に示すように運搬容器２０の底部に係合凹部２８を設けることができる。そして、運搬容器２０の係合凹部２８の形状に対応したロック機構を搬入領域の載置台に設けておき、運搬容器２０を載置台に載置した際、運搬容器２０を固定できるように構成できる。係合凹部２８についても運搬容器２０の底部に設けられており、側面側からは見えないため図２（Ｂ）中では点線で示している。図２（Ｂ）では係合凹部２８を１箇所に設けた例を示しているが、係合凹部２８についても２箇所以上に設けることもできる。

次に、本実施形態の縦型熱処理装置の構成例について図３を用いて説明する。

図３は、本実施形態の縦型熱処理装置３０の断面模式図を表している。

図３に示すように、本実施形態の縦型熱処理装置３０は例えば、図中横方向（Ｘ軸方向）に並んで配列された、搬入搬出ユニット３１と、搬送保管ユニット３２と、熱処理ユニット３３と、を有することができる。各ユニットについて以下に説明する。
（搬入搬出ユニット）
搬入搬出ユニット３１は搬送保管ユニット３２に隣接して配置することができ、ウエハを複数枚収納した運搬容器２０を縦型熱処理装置３０に搬入搬出するユニットとすることができる。

搬入搬出ユニット３１の構成は特に限定されないが、例えば図３に示すように、下段ロードポート３１１と上段ロードポート３１２の２段のロードポートを配置することができる。各ロードポートは、運搬容器２０を載置する台と、運搬容器２０を搬送保管ユニット３２内に搬入搬出するための開口部とを有することができる。なお、各ロードポートに供給される運搬容器２０は、その内部に被処理体、例えばウエハを複数枚収納した状態とすることができる。

具体的には、下段ロードポート３１１は、運搬容器２０を載置する第１の搬入搬出台３１１ａと、第１の開口部３１１ｂと、を有することができる。

上段ロードポート３１２は、運搬容器２０を載置する第２の搬入搬出台３１２ａと、第２の開口部３１２ｂと、を有することができる。また、第１の搬入搬出台３１１ａ、第２の搬入搬出台３１２ａ共に、紙面と垂直方向に例えば２個の運搬容器２０を配置するように構成できる。

第１の搬入搬出台３１１ａ、第２の搬入搬出台３１２ａに搬入された運搬容器２０は、後述する、搬送保管ユニット３２の搬送機構部３２４により搬送保管ユニット３２内の第１保管部３２１や第２保管部３２２、移載部３２３の載置台３２３ａ等に搬送できる。また、熱処理ユニット３３で処理を終えたウエハを収納した運搬容器２０は、第１の搬入搬出台３１１ａや、第２の搬入搬出台３１２ａに払い出すことができる。

なお、第１の搬入搬出台３１１ａや、第２の搬入搬出台３１２ａは、運搬容器２０の搬入、搬出状況等に応じて、一時的に運搬容器２０を保管する保管部（第３保管部）として用いることもできる。
（搬送保管ユニット）
搬送保管ユニット３２は、複数の運搬容器２０を保管する第１保管部（第１キャリアステージ）３２１を有することができる。また、必要に応じて複数の運搬容器２０を保管する第２保管部（第２キャリアステージ）３２２を設けることもできる。

搬送保管ユニット３２は、運搬容器２０内のウエハを後述する熱処理ユニット３３の保持具３３２１に移載する際に、運搬容器２０を載置する移載部３２３の載置台３２３ａを有することができる。さらに、第１保管部３２１、第２保管部３２２、移載部３２３の載置台３２３ａや、例えば搬入搬出ユニット３１と、の間で運搬容器２０を搬送する搬送機構部３２４を有することができる。

第１保管部３２１、第２保管部３２２は運搬容器２０を載置し、保管する部材である。縦型熱処理装置３０内に運搬容器２０を載置する保管部を設けておくことにより、後述する熱処理炉３３１１でのウエハへの処理が終わるごとに、熱処理炉３３１１内のウエハを迅速に交換することができ、縦型熱処理装置３０のスループットを高めることができる。

第１保管部３２１は図３に示すように複数段の載置棚３２１ａ〜３２１ｄを有し、各載置棚には紙面と垂直な方向に例えば２個ずつ運搬容器２０を配置できる。載置棚の段数は特に限定されるものではなく、縦型熱処理装置３０の高さ等に応じて任意の段数とすることができる。第１保管部３２１は、搬送保管ユニット３２の選択された一の壁面に設けることができ、例えば搬送保管ユニット３２の熱処理ユニット３３に対向する壁面に配置することが好ましい。

第２保管部３２２は図３に示したように、例えば搬送機構部３２４の下方に設けることができる。なお、本実施形態における下方とは、高さ方向（図３中Ｚ軸方向）で見て下方向を意味しており、水平方向（図３中でのｘ軸方向や、紙面と垂直な方向）の位置は問わない。ただし、第２保管部３２２は、搬送機構部３２４側から、高さ方向（図３中Ｚ軸方向）に沿って下方、すなわち、第２保管部３２２側を見た場合に、搬送機構部３２４と、第２保管部３２２の少なくとも一部と、が重なり合うように配置することが好ましい。特に第２保管部３２２は搬送機構部３２４の真下に配置することが好ましい。

第２保管部３２２は、第２保管部３２２に運搬容器２０を配置した際、運搬容器２０の上端部の高さが、移載部３２３の載置台３２３ａの高さと同じ、または、移載部３２３の載置台３２３ａの高さよりも低くなることが好ましい。ただし、搬送機構部３２４により運搬容器２０を把持できるように、搬送機構部３２４の可動域を考慮に入れて第２保管部３２２の載置台の高さを決定することが好ましい。

第２保管部３２２についても第１保管部３２１と同様に、図３の紙面と垂直な方向に運搬容器２０を例えば２個並べて配置することができる。

移載部３２３は、ＦＩＭＳポートとも呼ばれ、運搬容器２０を載置する載置台３２３ａを有することができる。移載部３２３の載置台３２３ａには、後述する熱処理炉３３１１に多数枚のウエハを供給する保持具３３２１に運搬容器２０内のウエハを移載する際、または、保持具３３２１から運搬容器２０内にウエハを移載する際に、運搬容器２０を載置できる。

移載部３２３の載置台３２３ａについても、紙面と垂直な方向に例えば２つの運搬容器２０を配置できるように構成できる。この場合、後述する開口部４１１、シール部材４１２（図４を参照）、扉４１３、蓋開閉機構等は、移載部３２３の載置台３２３ａ上に配置される運搬容器２０の載置位置に対応してそれぞれ配置されることが好ましい。

なお、図３では第１保管部３２１の下方に移載部３２３の載置台３２３ａを配置した例を示しているが、移載部３２３の設置位置は係る形態に限定されるものではない。例えば第１保管部３２１の載置棚のうち載置棚３２１ｄを移載部３２３の載置台とし、図３で移載部３２３の載置台３２３ａとして示した棚を第１保管部３２１の載置棚の１つとしても良い。すなわち、第１保管部３２１の載置棚３２１ｄと移載部３２３の載置台３２３ａの位置を交換しても良い。

また、移載部３２３に配置できる運搬容器２０の数は２つに限定されるものではなく、任意に変更することもできる。例えば移載部３２３に２つよりも多く運搬容器２０を配置する必要がある場合には、第１保管部３２１の最下段の載置棚３２１ｄについても移載部３２３の載置台３２３ａとすることもできる。この場合、載置棚３２１ｄ部分に配置される運搬容器２０に対応するように後述する開口部４１１、シール部材４１２（図４を参照）、扉４１３や、蓋開閉機構等も設けることができる。

また、移載部３２３についても保持具３３２１と、運搬容器２０との間でのウエハを移載する状況等に応じて、一時的に運搬容器２０を保管する保管部（第４保管部）として用いることもできる。

移載部３２３の構成の詳細については後述する。

搬送機構部３２４は運搬容器２０を搬送する機構とすることができる。

搬送機構部３２４は、搬送保管ユニット３２と、搬送保管ユニット３２の外部と、の間で運搬容器２０を搬送することができる。具体的には例えば、搬入搬出ユニット３１から搬入された運搬容器２０を第１保管部３２１、第２保管部３２２、移載部３２３の載置台３２３ａへ搬送できる。また、熱処理ユニット３３で処理を終えたウエハを収納した運搬容器２０を搬入搬出ユニット３１へ搬出できる。

さらに、搬送機構部３２４は搬送保管ユニット３２内で、運搬容器２０を搬送することもできる。具体的には、第１保管部３２１、第２保管部３２２、移載部３２３の載置台３２３ａ間で運搬容器２０を搬送できる。

搬送機構部３２４は、運搬容器２０を搬送できればよく、その具体的な構成については特に限定されるものではない。例えば、運搬容器２０を、運搬容器２０の上面側から把持して搬送する機構を採用できる。運搬容器２０を運搬容器２０の上面側から把持して搬送できる搬送機構として、例えばオートメーションフランジを好適に用いることができる。
（熱処理ユニット）
熱処理ユニット３３は既述のように、多数枚のウエハを多段に保持した保持具３３２１を収納して、ウエハに熱処理を施す熱処理炉３３１１を有することができる。

熱処理ユニット３３は、熱処理炉３３１１が配置された熱処理炉領域３３１と、運搬容器２０と保持具３３２１との間でウエハを移載する移載領域（ローディングエリア）３３２と、を有することができる。移載領域３３２では、熱処理炉３３１１にウエハを供給する際、又は、熱処理炉３３１１で処理を行ったウエハを搬出する際、運搬容器２０と保持具３３２１との間でウエハを移載することができる。

熱処理炉領域３３１は、図３に示したように移載領域３３２上に配置することができ、熱処理炉３３１１が配置されている。熱処理炉３３１１は、下部が炉口３３１１ａとして開口された縦長の処理容器である反応管３３１２と、反応管３３１２の周囲を覆うように配置されたヒータ３３１３とを有することができる。ヒータ３３１３の構成については特に限定されないが、反応管３３１２内を例えば３００〜１２００℃に加熱できることが好ましい。

反応管３３１２は例えば石英等から構成することができ、反応管３３１２内に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガス導入管や反応管内を制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気管を接続できる。また、反応管の下方にはウエハを挿入するための炉口３３１１ａを設けることができる。

反応管３３１２やヒータ３３１３はベースプレート３３１４上に配置することができ、ベースプレート３３１４に開口部を設けておくことにより、図中下方側からウエハを保持した保持具３３２１等の搬入搬出を行うことができる。ベースプレート３３１４は例えばステンレス鋼により構成されていることが好ましい。

移載領域３３２には、搬送保管ユニット３２の移載部３２３の載置台３２３ａに載置した運搬容器２０内のウエハを移載する保持具３３２１等を設置することができる。

具体的には例えば図３に示したように、移載部３２３の載置台３２３ａに載置した運搬容器２０と、保持具３３２１との間で、ウエハを移載する移載機構３３２２が配置できる。なお、移載機構３３２２は、熱処理炉３３１１にウエハを供給するため、運搬容器２０から保持具３３２１にウエハを移載することもできるが、熱処理後、保持具３３２１から運搬容器２０に処理済みのウエハを移載することもできる。

保持具３３２１はボートとも呼ばれ、多数枚のウエハを棚状に保持できる。保持具３３２１は断熱部（保温筒）３３２５を介して、蓋体３３２３上に載置されている。

蓋体３３２３は図示しない昇降機構上に支持されており、昇降機構によりその位置を上昇することにより熱処理炉３３１１の炉口３３１１ａを密閉することができる。また、昇降機構により蓋体３３２３上に載置された保持具３３２１を熱処理炉３３１１に対して搬入あるいは搬出することができる。

さらに、蓋体３３２３上に載置された保持具３３２１に保持されたウエハを、熱処理炉３３１１内で水平面内で回転できるように回転機構３３２４を設けることもできる。

また、移載領域３３２には、保持具３３２１や蓋体３３２３を下降している時に炉口３３１１ａを塞ぐ図示しないシャッターを配置しておくこともできる。

以上に本実施形態の縦型熱処理装置３０に含まれる各ユニットについて説明した。

縦型熱処理装置３０のうち、縦型熱処理装置３０の外部から運搬容器２０を搬入、保管する領域を搬入領域とすることができる。このため、上述のユニットのうち、搬入搬出ユニット３１及び搬送保管ユニット３２を搬入領域とすることができる。
（移載部及び移載部周辺の構成）
次に上述した移載部及び移載部の周辺の構成例について図４〜図６を用いて説明する。

図４は、図３における点線Ｂで囲まれた領域を拡大して示した図であり、運搬容器２０を移載部３２３の載置台３２３ａ上に載置後、運搬容器２０を隔壁４１に当接させた状態を示している。図５（Ａ）、（Ｂ）は図４における点線Ｃで囲まれた領域をさらに拡大した図であり、図５（Ａ）は凹部２５に運搬容器保持手段４６を挿入した状態を、図５（Ｂ）は凹部２５に運搬容器保持手段４６を挿入していない状態をそれぞれ示している。図６は、図５（Ａ）のＤ−Ｄ´線における断面図を示している。

図４中隔壁４１は、図３に示した搬送保管ユニット３２と、熱処理ユニット３３との間に設けられている。このため、隔壁４１よりも搬送保管ユニット３２側が搬入領域４２、熱処理ユニット３３側が移載領域４３となる。ここでいう移載領域４３は、上述した熱処理ユニット３３の移載領域３３２と同じ領域を意味している。

そして、移載領域４３は例えば不活性ガス雰囲気、又は清浄乾燥気体雰囲気に保たれており、搬入領域４２側の雰囲気が侵入しないように、搬入領域４２よりも圧力を高く設定することができる。なお、移載領域４３の雰囲気については特に限定されるものではなく、実施するプロセスの内容等により任意に選択することができる。例えば移載領域は窒素ガス雰囲気とすることができる。また、清浄乾燥気体雰囲気、具体的には例えばパーティクル及び有機成分が少なく、露天−６０℃以下の空気の雰囲気とすることもできる。

搬入領域４２については特に雰囲気制御を行う必要はなく、縦型熱処理装置３０が設置された環境と同じ雰囲気、例えば大気雰囲気とすることができる。

隔壁４１には、搬入領域４２と移載領域４３とを連通する開口部４１１を設けることができる。開口部４１１は移載部３２３の載置台３２３ａに載置した運搬容器２０と、移載領域４３との間でウエハを搬送するために設けられている。このため、移載部３２３の載置台３２３ａに運搬容器２０を載置し、運搬容器２０を隔壁４１に当接した際に、運搬容器２０の取り出し口２１に対応する位置に開口部４１１を設けることができる。

搬入領域４２側の隔壁４１には、開口部４１１を囲むようにシール部材４１２を設けることができる。シール部材４１２は後述のように隔壁４１に運搬容器２０を当接した際に、隔壁４１と運搬容器２０との間をシールするために設けられる。なお、図中ではシール部材４１２として断面が略円形状の部材を記載しているが、係る形態に限定されるものではなく、隔壁４１と運搬容器２０との当接する箇所において隔壁４１と運搬容器２０との隙間をシールできるように構成されていればよい。

また、開口部４１１を移載領域４３側から密閉できる開閉可能な扉４１３や、扉４１３が閉じた状態で運搬容器２０の蓋２２を開閉できる図示しない蓋開閉機構を設けることができる。さらに、運搬容器２０を隔壁４１に当接させた後、扉４１３と運搬容器２０と、で囲まれた開口部４１１を含む領域の雰囲気を置換できるように図示しない排気手段やガス供給口を設けることもできる。なお、扉４１３は運搬容器２０の蓋２２が開かれた後、図示しない扉開閉機構により蓋２２とともにウエハの移載の邪魔にならないように例えば図３に点線で示すように上方、または下方に退避できるように構成されることが好ましい。

載置台３２３ａ上には、運搬容器２０を載置した際に運搬容器２０の位置合わせを行うため、運搬容器２０の底部に形成した位置決め凹部２７に対応したピン４４を設けることができる。載置台３２３ａ上に設けるピン４４の数は特に限定されるものではなく、運搬容器２０の位置合わせができるように任意の数を設けることができるが、例えば１つの載置台３２３ａについて３本のピン４４を設けることができる。なお、運搬容器２０は、図４に示すように隔壁４１と運搬容器２０の取り出し口２１が設けられた面とが対向するように移載部３２３の載置台３２３ａ上に載置される。

載置台３２３ａ上にはさらに、運搬容器２０の底部に形成した係合凹部２８に対応したロック機構４５を設けることができる。ロック機構４５の構成は特に限定されるものではないが、例えば図中に示したようにかぎ型形状を有し、図４に示した両矢印ａに沿って回動できるように構成できる。そして、運搬容器２０を載置台３２３ａ上に載置し、ピン４４によりその位置をあわせた後、ロック機構４５を回動させて係合凹部２８に係合させることができる。載置台３２３ａ上に設けるロック機構４５の数についても特に限定されるものではなく、運搬容器２０を固定できるように任意の数を設けることができる。

運搬容器２０を載置台３２３ａ上に載置した際には、運搬容器２０と隔壁４１とは離隔している。そこで、運搬容器２０を載置台３２３ａに載置し、ロック機構４５を運搬容器２０の係合凹部２８に係合させた後、図示しない運搬容器押し当て手段によりＸ軸に沿って隔壁４１の方向へ載置台３２３ａを移動させる。そして、図４に示すように運搬容器２０の隔壁４１と対向する面を隔壁４１と当接させる。この際、運搬容器２０の隔壁４１と対向する面と隔壁４１とはシール部材４１２を介して当接し、運搬容器２０と扉４１３とで囲まれる開口部４１１を含む領域は閉空間となる。

そして、上述のように、移載領域４３の方が搬入領域４２よりも雰囲気の圧力を高く設定することができるため、後述のように扉４１３を解放した場合、運搬容器２０には移載領域４３側の雰囲気圧力がかかることになる。この際、運搬容器２０は底部側については、載置台３２３ａを隔壁４１方向に搬送させる運搬容器押し当て手段により十分な力で押し当てられているため隙間が生じにくい。しかしながら、運搬容器押し当て手段による押圧力では運搬容器２０の上部側まで十分な力を加えることは困難であり、扉４１３を解放した場合、運搬容器２０の上部に隙間を生じ、移載領域４３側の雰囲気を壊す恐れがある。

そこで、本実施形態の縦型熱処理装置３０においては、図４に示したように、運搬容器２０の上面側に運搬容器保持手段４６を設けることができる。運搬容器保持手段４６について以下に説明する。

既述のように運搬容器２０は取り出し口２１が設けられた面側の上部にフランジ２４が設けられており、フランジ２４の上部には凹部２５が設けられている。そして、運搬容器保持手段４６は運搬容器２０の上部側から凹部２５に対して挿入し、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てるように構成することができる。

運搬容器保持手段４６の構成は特に限定されるものではなく、上述のように運搬容器２０のフランジ２４に設けられた凹部２５に運搬容器２０の上部側から挿入し、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てることができるように構成されていればよい。

運搬容器保持手段４６は例えば図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように凹部２５に挿入するローラー部５１と、ローラー部５１と接続された板状体５２とを有することができる。

そして、板状体５２を上下方向に移動させることによりローラー部５１もあわせて上下に移動し、下方に移動させた場合には図５（Ａ）に示したように凹部２５にローラー部５１を挿入できる。また、板状体５２を上方に移動させた場合には、図５（Ｂ）に示したように凹部２５からローラー部５１を取り出し、運搬容器２０の上部に加えていた隔壁４１への押し当てる力を除去することができる。

運搬容器保持手段４６がローラー部５１と、板状体５２とを有する場合、ローラー部５１及び板状体５２のサイズは特に限定されるものではない。ただし、ローラー部５１は凹部２５に挿入されるため、凹部２５に収容できるようにサイズを選択することが好ましい。例えば凹部２５の隔壁４１と垂直方向（図５中のＸ軸方向）の幅が２０ｍｍの場合、ローラー部５１の直径は１９ｍｍ以下とすることが好ましい。

運搬容器保持手段４６の板状体５２とローラー部５１を上下に移動させるため、運搬容器保持手段４６には各種部材を設けることができる。具体的には例えば運搬容器保持手段４６に変位手段５３を接続することができる。変位手段５３は板状体５２に直接接続することもできるが、例えば力伝達手段５４を変位手段５３と板状体５２との間に設け、変位手段５３からの力を板状体５２に伝達するように構成することができる。また、変位手段５３により板状体５２に力を加えた際に運搬容器保持手段４６を上下にスムーズに移動させるため、運搬容器保持手段４６の板状体５２にガイド部材５５を設けておくことができる。

上述した変位手段５３としては例えばエアシリンダーを用いることができる。また、ガイド部材５５としては例えばＬＭガイド（リニアモーションガイド）を用いることができる。

そして、運搬容器保持手段４６の板状体５２及びローラー部５１の構成は特に限定されるものではないが、上述のように運搬容器２０の凹部２５に挿入した際に、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てるように構成されていることが好ましい。

運搬容器保持手段４６について、例えば板状体５２の一部または全部を弾性体とすることが好ましい。すなわち、運搬容器保持手段４６は、ローラー部５１と、ローラー部５１と接続された板状体５２とを有し、板状体５２は弾性体を含む構成とすることができる。板状体５２に含まれる弾性体としては例えば板バネを用いることができる。このように板状体５２が弾性体を含む場合、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入した際に板状体５２が変形することにより生じた弾性力により、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てることができる。この場合ローラー部５１の構成は特に限定されないが、例えば剛性体により構成することができる。

また運搬容器保持手段４６の構成として、例えばローラー部５１が弾性体を含むように構成することもできる。すなわち、運搬容器保持手段４６は、ローラー部５１と、ローラー部５１と接続された板状体５２と、を有し、ローラー部５１は弾性体を含む構成とすることができる。ローラー部５１は例えばローラー部５１の軸（回転軸）部分を除いて弾性体により構成することができる。ローラー部５１に含まれる弾性体としては特に限定されないが、弾性体としてゴムを用いることが好ましく、弾性体としてフッ素系ゴムを用いることがより好ましい。このようにローラー部５１が弾性体を含む場合、ローラー部５１が凹部２５に挿入され、弾性体が収縮した際に生じる反力により運搬容器２０を隔壁４１に押し当てることができる。

ローラー部５１が弾性体を含む場合、板状体５２の構成は特に限定されるものではなく、任意の構成とすることができるが、例えば剛性体により構成することができる。また、板状体５２は上述のように弾性体を含む構成であってもよい。

上述のように板状体５２のローラー部５１および／または板状体５２が弾性体を含む場合、運搬容器保持手段４６を運搬容器２０の凹部２５に挿入した際、運搬容器保持手段４６が運搬容器２０を隔壁４１に押し当てられるように、運搬容器保持手段４６と、凹部２５との位置を調整することが好ましい。

例えば図５（Ｂ）に示したように、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する前、ローラー部５１と隔壁４１との間の距離Ｌ１が、凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１と隔壁４１との間の距離Ｌ２よりも短いことが好ましい。すなわち、運搬容器２０を運搬容器押し当て手段により隔壁４１に当接させ、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する前、ローラー部５１が凹部２５の真上よりも隔壁４１側に位置することが好ましい。

なお、上述した距離Ｌ１とは図５（Ｂ）に示したように、ローラー部５１のうち、隔壁４１に最も近い位置における、ローラー部５１と隔壁４１との間の距離を示している。また、距離Ｌ２とは、運搬容器２０を運搬容器押し当て手段により隔壁４１に当接した際の、凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１と隔壁４１との間の距離を意味する。

距離Ｌ１と、距離Ｌ２を上述のように構成することにより運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する際に、ローラー部５１の一部はフランジ２４と接触し、フランジ２４を乗り上げて凹部２５に挿入される。そして、運搬容器保持手段４６が凹部２５に挿入されると、運搬容器保持手段４６は凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１により押されて図５（Ａ）、（Ｂ）中Ｘ軸方向に沿って力が加えられる。このため、運搬容器保持手段４６の板状体５２および／またはローラー部５１が弾性体を含む場合、その一部が変形する。そして、例えば板状体５２が弾性体を含む場合には板状体５２の弾性力により、また、ローラー部５１が弾性体を含む場合には、ローラー部５１の弾性体の反力により運搬容器２０を隔壁４１に押し当てることができる。

距離Ｌ１と距離Ｌ２の差（Ｌ２−Ｌ１）である距離Ｌの長さは特に限定されるものではなく、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入した際に、運搬容器保持手段４６に与える変形量等により任意に選択することができるが、距離Ｌは０．５ｍｍ以上であることが好ましい。距離Ｌの上限値は特に限定されるものではないが、距離Ｌが長くなりすぎると、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する際に大きな力を要することになるため、例えば３ｍｍ以下であることが好ましい。

また、運搬容器保持手段４６の配置は上記の構成に限定されるものではなく、例えば運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する際、凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１に対して、運搬容器保持手段４６が斜めになるように挿入することもできる。すなわち、運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入する際、凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１に対して、運搬容器保持手段４６の挿入方向が斜めになるように挿入することができる。特に、凹部２５を構成する壁面のうち、隔壁４１側の壁面２５１と、運搬容器保持手段４６の挿入方向と、の間の角度が鋭角であることがより好ましい。凹部２５の隔壁４１側の壁面２５１に対して運搬容器保持手段４６が斜めになるように挿入することにより、壁面２５１を隔壁４１側に押圧する力をさらに加えることができるようになり好ましい。

壁面２５１に対して運搬容器保持手段４６が斜めになるように挿入する方法は特に限定されないが、例えば、隔壁４１に対してガイド部材５５が斜めになるように配置する方法が考えられる。図５（Ａ）、（Ｂ）においては、隔壁４１とガイド部材５５とが平行に配置されているため、運搬容器保持手段４６は凹部２５を構成する壁面のうち隔壁４１側の壁面２５１と平行に動作する。これに対して、例えば隔壁４１に対してガイド部材５５が斜めになるように配置することにより、運搬容器保持手段４６も斜めに動作するようになり、上述の壁面２５１に対して、運搬容器保持手段４６が斜め挿入することができる。

運搬容器保持手段４６を壁面２５１に対して、運搬容器保持手段４６が斜めになるように挿入する場合、運搬容器保持手段４６の板状体５２及びローラー部５１は剛性体から構成されていてもよい。

また、運搬容器保持手段４６を壁面２５１に対して、運搬容器保持手段４６が斜めになるように挿入する場合、運搬容器保持手段４６は上述したように、ローラー部５１および／または板状体５２が弾性体を含んでいてもよい。ローラー部５１および／または板状体５２が弾性体を含んでいる場合、運搬容器保持手段４６が運搬容器２０を隔壁４１方向に押し当てる力と、運搬容器保持手段４６に含まれる弾性体の反力による運搬容器２０を隔壁４１に押し当てる力とにより、より強い力で運搬容器２０を隔壁に押し当てることが可能になる。このため、運搬容器２０と隔壁４１との間に隙間が生じることを特に抑制できる。

運搬容器保持手段４６が運搬容器２０を隔壁４１に押し当てる力の大きさは特に限定されるものではないが、移載部３２３の載置台３２３ａに設けられた運搬容器押し当て手段が、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てる力の大きさ以下とすることが好ましい。これは、運搬容器保持手段４６は移載部３２３の載置台３２３ａに設けられた運搬容器押し当て手段の補助的手段として設けられ、運搬容器２０の上部に隙間ができない程度に運搬容器２０を押圧できれば足りるからである。また、運搬容器保持手段４６による運搬容器２０を隔壁４１に押し当てる力の大きさをより大きくしようとすると運搬容器保持手段４６の装置サイズが大きくなり他の部材と干渉する恐れがあるためである。

運搬容器２０のフランジ２４の上部には既述のように凹部２５を２箇所設けることができる。このため、例えば図６に示したように各凹部２５に対して運搬容器保持手段４６を設けることができる。すなわち、運搬容器保持手段４６を運搬容器２０の上部側に２つ設けることができる。２つの運搬容器保持手段４６を設ける場合、変位手段５３を２つの運搬容器保持手段４６により共有して、２つの運搬容器保持手段４６を、１つの変位手段５３で同時に動かすように構成することもできる。ただし、図６に示したように２つの変位手段５３を設け、変位手段５３と、板状体５２及びローラー部５１と、を力伝達手段５４により１対１の関係で接続することが好ましい。これは上述のように、例えばウエハの直径が４５０ｍｍの場合等、ウエハの直径が大きい場合、運搬容器２０のサイズも大きくなり隔壁４１との間に隙間が生じやすくなる。そこで、２つの変位手段５３を設け、変位手段５３と、板状体５２及びローラー部５１と、を力伝達手段５４により１対１の関係で接続することにより、板状体５２及びローラー部５１により運搬容器２０を十分な力で押圧でき、運搬容器２０と隔壁４１との間に隙間が生じることを抑制できる。

ここまで説明したように運搬容器２０の上部側に運搬容器保持手段４６を設けることにより、効率的に、かつより確実に隔壁４１と、搬入領域４２の載置台３２３ａ上に載置された運搬容器２０と、の間に隙間が発生することを抑制することが可能になる。また、運搬容器保持手段４６は運搬容器２０のフランジ２４に形成された凹部２５に挿入できる程度の力で運搬容器２０に対して力を加えるのみである。このため、運搬容器２０はほとんど変形せず、運搬容器２０と隔壁４１との間に隙間が生じることを抑制することができる。

また、図３の移載部３２３の載置台３２３ａにおいては紙面と垂直な方向に例えば２つの運搬容器２０を載置できる。このため、例えば運搬容器２０の側面側に運搬容器２０を隔壁４１側に押圧する部材を設ける場合、２つの運搬容器２０間の距離を十分に離隔する必要が生じる。そして、２つの運搬容器２０の間隔を拡げるためには載置台３２３ａの幅を長くする必要が生じるため、縦型熱処理装置３０のフットプリントも増大するという問題があった。これに対して、本実施形態の縦型熱処理装置３０に設ける運搬容器保持手段４６は運搬容器２０の上部側に配置することができるから、２つの載置台３２３ａ間の距離に殆ど影響を与えず、縦型熱処理装置３０のフットプリントの増大を防ぐこともできる。

さらに、運搬容器保持手段４６はその先端が凹部２５内に挿入されるため、運搬容器２０に力がかかった場合でも運搬容器２０の凹部２５から離脱しにくくなっている。このため、運搬容器２０と隔壁４１との間に隙間が生じることをより確実に防ぐことが可能になる。

なお、ここまで本実施形態の縦型熱処理装置３０の構成について説明したが、本実施形態の縦型熱処理装置３０においては上述した各ユニット以外にもさらに任意の構成を付加することができる。例えば、図３に示すようにコンピュータからなる制御部３４を設けることができる。制御部３４はプログラム、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部などを備えることができる。プログラムには、制御部から縦型熱処理装置３０の各部に制御信号を送り、例えば運搬容器２０の搬送や、運搬容器保持手段４６の動作や、隔壁４１の扉４１３の開閉、運搬容器２０と保持具３３２１との間でのウエハの移載、熱処理炉３３１１の熱処理等の各処理工程等を進行させるように命令（各ステップ）を組みこむことができる。プログラムは、コンピュータ記憶媒体、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）及びメモリーカード等の記憶媒体に格納されて制御部にインストールできる。

以上に説明した本実施形態の基板処理装置によれば、移載領域と搬入領域の載置台上に載置された運搬容器との間で被処理体を出し入れする際、搬入領域と移載領域との間に設けられた隔壁と、搬入領域の載置台上に載置された運搬容器と、の間に隙間が発生することを抑制することができる。
［基板処理方法］
次に本実施形態の基板処理方法の一構成例について説明する。なお、本実施形態では縦型熱処理装置を用いた場合の基板処理方法を例に説明するが、係る形態に限定されるものではない。

本実施形態の基板処理方法は、複数の被処理体を収納することができ、被処理体を出し入れするための取り出し口と、取り出し口が設けられた面側の上部に形成されたフランジと、フランジの上面に形成された凹部と、を有する運搬容器を載置する載置台が設けられた搬入領域と、搬入領域とは別の雰囲気に維持された移載領域と、搬入領域と、移載領域とを仕切り、開口部が設けられた隔壁と、開口部を開閉する扉と、を備え、運搬容器の取り出し口が隔壁の開口部と対向するようにして、運搬容器を載置台上に載置し、運搬容器を隔壁に押し当て、扉を開いて運搬容器内の被処理体を移載領域に搬送して被処理体を処理する基板処理装置の基板処理方法に関する。そして、本実施形態の基板処理方法は、運搬容器を隔壁に押し当てた際、運搬容器の上部側から凹部に対して運搬容器保持手段を挿入し、運搬容器を隔壁に押し当てることができる。

本実施形態の基板処理方法は、例えば図３、図４に示したように搬入領域４２、移載領域４３、及び搬入領域４２と移載領域４３とを仕切るように設けられた隔壁４１とを備えた縦型熱処理装置３０において実施することができる。このため、以下に説明する以外の点については上述の基板処理装置に関して行った説明と同様の構成とすることができるため、説明を省略する。

縦型熱処理装置３０の移載領域４３は例えば不活性ガス雰囲気、又は清浄乾燥気体雰囲気に保たれており、搬入領域４２側の雰囲気が侵入しないように、搬入領域４２よりも圧力が高くなるように設定することができる。搬入領域４２については特に雰囲気制御を行う必要はなく、縦型熱処理装置３０が設置された環境と同じ雰囲気、例えば大気雰囲気とすることができる。

そして、本実施形態の基板処理方法においては、搬入領域４２に設けられた載置台３２３ａ上に運搬容器２０の取り出し口２１が隔壁４１の開口部４１１と対向するようにして運搬容器２０を載置台３２３ａ上に載置する載置工程を実施できる。

載置工程は、例えば搬入搬出ユニット３１の第１の搬入搬出台３１１ａ又は第２の搬入搬出台３１２ａや、搬送保管ユニット３２の第１保管部３２１又は第２保管部３２２に載置された運搬容器２０を搬送機構部３２４により搬送、載置することにより実施できる。載置台３２３ａ上に運搬容器２０を載置する際には、載置台３２３ａ上に設けられたピン４４と、運搬容器２０底部に設けられた位置決め凹部２７と、により位置を合わせることが好ましい。また、載置台３２３ａ上に運搬容器２０を載置後、載置台３２３ａ上に設けられたロック機構４５を、運搬容器２０の底部に形成した係合凹部２８に係合し、運搬容器２０を載置台３２３ａに固定することが好ましい。

次に、運搬容器２０を隔壁に押し当てる運搬容器押し当て工程を実施することができる。運搬容器押し当て工程は、例えば載置台３２３ａに設けられた運搬容器押し当て手段により、載置台３２３ａを隔壁４１の方向へ移動させることにより実施できる。この際、運搬容器２０の隔壁４１と対向する面と隔壁４１とはシール部材４１２を介して当接し、運搬容器２０と扉４１３とで囲まれる開口部４１１を含む領域は閉空間となる。

そして、運搬容器押し当て工程においては、運搬容器押し当て手段により運搬容器２０を隔壁４１に押し当てた際さらに、運搬容器２０の上部側から凹部２５に対して運搬容器保持手段４６を挿入し、運搬容器２０を隔壁４１に押し当てることができる。

運搬容器保持手段４６については既述のため説明を省略する。

運搬容器保持手段４６を凹部２５に挿入することにより、移載領域４３と搬入領域４２の載置台３２３ａ上に配置された運搬容器２０との間で被処理体を出し入れする際、隔壁４１と、搬入領域４２の載置台３２３ａ上に載置された運搬容器２０と、の間に隙間が発生することをより確実に抑制できる。

この後、運搬容器２０と扉４１３とで囲まれる開口部４１１を含む領域について、移載領域４３と同じ雰囲気となるようにガスの置換を行うガス置換工程を実施することができる。

また、ガス置換工程後に、運搬容器２０の蓋２２を蓋開閉機構により開ける蓋解放工程や、開口部４１１に設けられた、扉４１３を図示しない扉開閉機構により開ける扉解放工程を実行できる。

以上の工程を実施することにより、運搬容器２０の内部空間と、移載領域４３とが直接つながる。このため、移載機構３３２２により、運搬容器２０内の被処理体であるウエハを保持具３３２１に移載し、熱処理炉３３１１に挿入することによりウエハに処理を施すことができる。また、熱処理炉３３１１により処理を終えたウエハを保持具３３２１から移載機構３３２２により運搬容器２０に移載することもできる。

以上に説明した本実施形態の基板処理方法によれば、移載領域と搬入領域の載置台上に載置された運搬容器との間で被処理体を出し入れする際、搬入領域と移載領域との間に設けられた隔壁と、搬入領域の載置台上に載置された運搬容器と、の間に隙間が発生することを抑制することができる。

２０ 運搬容器
２１ 取り出し口
２４ フランジ
２５ 凹部
３２３ａ 載置台
４１ 隔壁
４１１ 開口部
４１３ 扉
４２ 搬入領域
４３ 移載領域
４６ 運搬容器保持手段
５１ ローラー部
５２ 板状体

Claims (5)

1. 複数の被処理体を収納することができ、前記被処理体を出し入れするための取り出し口と、前記取り出し口が設けられた面側の上部に形成されたフランジと、前記フランジの上面に形成された凹部と、を有する運搬容器を載置する載置台が設けられた搬入領域と、
   前記搬入領域とは別の雰囲気に維持された移載領域と、
   前記搬入領域と、前記移載領域とを仕切り、開口部が設けられた隔壁と、
   前記開口部を開閉する扉と、
   前記取り出し口が前記隔壁の前記開口部と対向するようにして前記載置台上に載置された前記運搬容器を、前記隔壁に押し当てる運搬容器押し当て手段と、
   前記運搬容器の上部側から前記凹部に対して挿入され、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる運搬容器保持手段と、
   を有し、
   前記運搬容器保持手段が前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさは、前記運搬容器押し当て手段が、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさ以下である
   基板処理装置。
2. 前記運搬容器保持手段は、
   ローラー部と、
   前記ローラー部と接続された板状体とを有し、
   前記板状体は弾性体を含む請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記運搬容器保持手段は、
   ローラー部と、
   前記ローラー部と接続された板状体とを有し、
   前記ローラー部は弾性体を含む請求項１に記載の基板処理装置。
4. 前記運搬容器保持手段を前記凹部に挿入する際、
   前記凹部を構成する壁面のうち前記隔壁側の壁面に対して、前記運搬容器保持手段が斜めになるように挿入する請求項１乃至３いずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 複数の被処理体を収納することができ、前記被処理体を出し入れするための取り出し口と、前記取り出し口が設けられた面側の上部に形成されたフランジと、前記フランジの上面に形成された凹部と、を有する運搬容器を載置する載置台が設けられた搬入領域と、
   前記搬入領域とは別の雰囲気に維持された移載領域と、
   前記搬入領域と、前記移載領域とを仕切り、開口部が設けられた隔壁と、
   前記開口部を開閉する扉と、を備え、
   前記運搬容器の前記取り出し口が前記隔壁の前記開口部と対向するようにして、前記運搬容器を前記載置台上に載置し、運搬容器押し当て手段により前記運搬容器を前記隔壁に押し当て、前記扉を開いて前記運搬容器内の被処理体を前記移載領域に搬送して前記被処理体を処理する基板処理装置の基板処理方法において、
   前記運搬容器を前記隔壁に押し当てた際、前記運搬容器の上部側から前記凹部に対して運搬容器保持手段を挿入し、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる工程を有し、
   前記運搬容器保持手段が前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさは、前記運搬容器押し当て手段が、前記運搬容器を前記隔壁に押し当てる力の大きさ以下である
   基板処理方法。

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