JP6288120B2 - Method for manufacturing resin-molded mold and resin molded part of electronic component - Google Patents
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Description
本発明は、樹脂封止金型、および、当該樹脂封止金型を用いて電子部品の樹脂成形部を製造する方法に関する。 The present invention relates to a resin-sealed mold and a method for manufacturing a resin molded portion of an electronic component using the resin-sealed mold.
一般に、リードフレームの上に実装された電子部品(例えば、単機能素子であるディスクリート半導体素子)をトランスファ成形で樹脂封止することにより電子部品の樹脂成形部を製造するための樹脂封止装置が知られている。樹脂封止装置を用いて電子部品の樹脂成形部を製造する際には、まず、樹脂封止金型を構成する上金型と下金型とによりリードフレームがクランプされる。次に、上金型と下金型との間に形成されるキャビティ内に溶融樹脂を充填後、保圧して硬化させることにより、リードフレームのうち、キャビティ内に位置決めされた電子部品の周りに樹脂成形部を有する中間製品が作成される。そして、樹脂封止工程の後、中間製品の表面に形成された樹脂バリがバリ取り機を用いて除去され、リードフレームの加工などを経て製品(例えば半導体装置)が得られる。 2. Description of the Related Art Generally, a resin sealing device for manufacturing a resin molded part of an electronic component by resin-sealing an electronic component (for example, a discrete semiconductor element that is a single function element) mounted on a lead frame by transfer molding Are known. When manufacturing a resin molding part of an electronic component using a resin sealing device, first, the lead frame is clamped by an upper mold and a lower mold that constitute the resin sealing mold. Next, after filling the cavity formed between the upper mold and the lower mold with a molten resin, holding and curing the resin around the electronic components positioned in the cavity of the lead frame An intermediate product having a resin molded part is created. After the resin sealing step, the resin burrs formed on the surface of the intermediate product are removed using a deburring machine, and a product (for example, a semiconductor device) is obtained through processing of the lead frame and the like.
図14は、リードフレーム301の上に実装された電子部品を樹脂封止する工程後で、かつ、リードフレーム301を加工する工程の前の中間製品300を示す。中間製品300では、電子部品の樹脂成形部302からリードフレーム301のアウターリード303が複数本突出している。複数本のアウターリード303は、その変形を防止するために、互いに、フレーム304,304の間に設けられたタイバー305で連結されている。タイバー305は、リードフレーム301を加工する工程において切断される。樹脂封止工程では、キャビティ(樹脂成形部302の部分)、アウターリード303およびタイバー305で形成される領域306にも溶融樹脂が流入し、領域306に樹脂バリが形成される。
FIG. 14 shows the
前記の通り、樹脂バリはバリ取り機で除去される。しかし、図14の領域306に厚い樹脂バリが形成されると、バリ取り機で除去することが困難である。そこで従来、樹脂封止金型の上金型または下金型の表面に、領域306を埋めるように突出したダムブロックを設けることにより、溶融樹脂の領域306への流入が抑制されている。これにより、領域306に形成される樹脂バリが、バリ取り機で除去できる程度まで薄くなる。
As described above, the resin burrs are removed by the deburring machine. However, if a thick resin burr is formed in the
ここで従来、樹脂封止金型のキャビティ内に溶融樹脂が注入されるとき、キャビティ内の空気が圧縮されて溶融樹脂の注入が妨げられたり、溶融樹脂内に空気が取り込まれて製品の樹脂成形部にボイドが発生したりする、という問題があった。この問題を解決するために、樹脂封止金型には、溶融樹脂の注入時にキャビティ内の空気が外部に排出され易くなるように、キャビティから金型外部に連通する溝(エアベントと称される)が設けられていた(例えば特許文献1の図9)。また、特許文献1の図1などには、リードフレーム自身にエアベントを設けることが記載されている。 Conventionally, when the molten resin is injected into the cavity of the resin-sealed mold, the air in the cavity is compressed to prevent the injection of the molten resin, or the air is taken into the molten resin and the product resin. There was a problem that voids occurred in the molded part. In order to solve this problem, the resin-sealed mold has a groove (referred to as an air vent) communicating from the cavity to the outside of the mold so that air in the cavity is easily discharged to the outside when molten resin is injected. ) (For example, FIG. 9 of Patent Document 1). Further, FIG. 1 of Patent Document 1 describes that an air vent is provided in the lead frame itself.
しかし、樹脂封止金型にエアベントを設けた場合、樹脂封止金型のキャビティ内に溶融樹脂が注入されたとき、キャビティから排出される空気に伴って溶融樹脂がエアベントに流入し、エアベントに樹脂バリが形成されてしまう。キャビティに連通するエアベントに厚い樹脂バリが形成されると、バリ取り機を用いたバリ取りが困難になる。この問題を解決するために、エアベントを狭くすることも考えられる。しかし、この場合、溶融樹脂の注入時にキャビティから空気が排出されにくくなってしまい、さらに、樹脂封止金型を繰り返し使用したとき、エアベント内に付着した樹脂が蓄積してエアベントを閉塞してしまうことが考えられる。 However, when an air vent is provided in the resin-sealed mold, when the molten resin is injected into the cavity of the resin-sealed mold, the molten resin flows into the air vent along with the air discharged from the cavity, and enters the air vent. A resin burr will be formed. If a thick resin burr is formed in the air vent communicating with the cavity, it is difficult to deburr using a deburring machine. In order to solve this problem, it is conceivable to narrow the air vent. However, in this case, it becomes difficult for air to be discharged from the cavity when the molten resin is injected, and further, when the resin-sealed mold is used repeatedly, the resin adhered in the air vent accumulates and closes the air vent. It is possible.
エアベント内に付着した樹脂が蓄積する問題は、特許文献1の図1に記載のように、リードフレーム自身にエアベントを設け、エアベント内に付着した樹脂を製品と共に取り除くことにより、解決すると考えられる。ただし、同構成では、リードフレームの形状の自由度が制限されるという新たな問題が生じる。 As described in FIG. 1 of Patent Document 1, the problem of accumulation of the resin adhered in the air vent is considered to be solved by providing an air vent in the lead frame itself and removing the resin adhered in the air vent together with the product. However, this configuration has a new problem that the degree of freedom of the shape of the lead frame is limited.
本発明の第1の課題は、溶融樹脂が注入されるキャビティから空気を外部へ効果的に排出させることと、バリ取り機を用いて中間製品からバリを取りやすくすることとを両立させることが可能な樹脂封止金型を提供することである。 The first problem of the present invention is to make it possible to effectively discharge air from a cavity into which molten resin is injected and to make it easy to remove burrs from an intermediate product using a deburring machine. It is to provide a possible resin-sealed mold.
本発明の第2の課題は、溶融樹脂が注入されるキャビティから空気を効果的に排出させることと、バリ取り機を用いて中間製品からバリを取りやすくすることとを両立させることができる樹脂封止金型を用いて、リードフレームの上に実装された電子部品の樹脂成形部を正確に製造する方法を提供することである。 A second problem of the present invention is a resin that can effectively discharge air from a cavity into which a molten resin is injected and make it easy to remove burrs from an intermediate product using a deburring machine. An object of the present invention is to provide a method for accurately manufacturing a resin molded portion of an electronic component mounted on a lead frame using a sealing mold.
本発明の第1の態様では、
第1金型と第2金型とを備え、
前記第1金型の第1主面と、前記第1主面に対向する前記第2金型の第2主面との間で、電子部品が実装される実装部とそれ以外の非実装部とを有するリードフレームの非実装部をクランプし、前記第1主面に設けられた第1キャビティ部と、前記第2主面に設けられた第2キャビティ部と、で形成されるキャビティ内に配置される前記リードフレームの実装部を樹脂封止するための樹脂封止金型であって、
前記第1金型の第1主面には、前記第1キャビティ部の開口縁部に沿って、前記リードフレームをクランプしたときに、前記リードフレームの前記第2金型側の主面に当接しないように配置されたダムブロックが設けられ、
前記第2金型の第2主面には、前記第2キャビティ部から分離され、前記第2金型の外部に連通するエアベントが設けられ、
前記ダムブロックの前記第1主面からの高さ寸法は、前記リードフレームの厚さ寸法より小さく、
前記エアベントは、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに、前記リードフレームの非実装部の所定部分に対向する位置に設けられ、
前記ダムブロックは、平面視で前記エアベントと前記第1キャビティ部とを接続する第1ブロックを有し、
前記エアベントは、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに、前記ダムブロックの第1ブロックと重なり合うオーバラップ部を有し、
前記オーバラップ部は、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに前記ダムブロックと前記第2金型との間に形成される隙間が、前記リードフレームの非実装部の所定部分の手前側で前記エアベントに連通するような寸法を有し、
前記ダムブロックと前記第2金型との間に形成される隙間の高さ寸法は、前記エアベントの深さ寸法よりも小さく、
前記ダムブロックの第1ブロックは、平面視で前記エアベントのオーバラップ部と重なり合う長辺と該長辺に対して垂直に延びる短辺とで構成される長方形において、前記第1キャビティ部の開口縁部側の一部を切り欠いて成る平面視略コ字状に設けられている、
樹脂封止金型が提供される。
In the first aspect of the present invention,
A first mold and a second mold;
Between the first main surface of the first mold and the second main surface of the second mold facing the first main surface, a mounting portion on which an electronic component is mounted and the other non-mounting portion In a cavity formed by clamping a non-mounting portion of a lead frame having a first cavity portion provided on the first main surface and a second cavity portion provided on the second main surface A resin-sealing mold for resin-sealing a mounting portion of the lead frame to be disposed,
When the lead frame is clamped along the opening edge of the first cavity portion, the first main surface of the first mold contacts the main surface of the lead frame on the second mold side. A dam block arranged so as not to touch,
The second main surface of the second mold is provided with an air vent that is separated from the second cavity portion and communicates with the outside of the second mold,
The height dimension of the dam block from the first main surface is smaller than the thickness dimension of the lead frame,
The air vent is provided at a position facing a predetermined portion of the non-mounting portion of the lead frame when the first die and the second die are overlapped,
The dam block has a first block that connects the air vent and the first cavity part in plan view,
The air vent has an overlap portion that overlaps the first block of the dam block when the first mold and the second mold are overlapped,
The overlap portion has a gap formed between the dam block and the second die when the first die and the second die are overlapped with each other so that a non-mounting portion of the lead frame is formed. have a dimension such as to communicate with the front side to the air vent predetermined portion of,
The height dimension of the gap formed between the dam block and the second mold is smaller than the depth dimension of the air vent,
The first block of the dam block has a rectangular shape composed of a long side that overlaps with the overlap portion of the air vent in a plan view and a short side that extends perpendicularly to the long side, and the opening edge of the first cavity portion Provided in a substantially U-shape in plan view formed by cutting out a part of the part side,
A resin-sealed mold is provided.
本発明の第2の態様では、
第1の態様に係る樹脂封止金型を用いて、電子部品の樹脂成形部を製造する方法であって、
前記リードフレームの実装部を前記キャビティ内に配置する工程と、
前記第1金型の第1主面と前記第2金型の第2主面との間で前記リードフレームの非実装部をクランプする工程と、
前記キャビティ内に樹脂を注入する工程とを含む、
方法が提供される。
本発明の第2の態様に係る一実施形態では、
前記ダムブロックの前記第1主面からの高さ寸法は、前記リードフレームの非実装部をクランプする工程において、前記非実装部がクランプ力で圧縮されて薄くなったときに、前記ダムブロックと前記第2金型とが接触しない大きさである。
In the second aspect of the present invention,
A method for producing a resin molded part of an electronic component using the resin-sealed mold according to the first aspect ,
Placing the lead frame mounting portion in the cavity;
Clamping a non-mounting portion of the lead frame between the first main surface of the first mold and the second main surface of the second mold;
Injecting a resin into the cavity.
A method is provided.
In one embodiment according to the second aspect of the invention,
The height dimension of the dam block from the first main surface is such that when the non-mounting portion is compressed and thinned by a clamping force in the step of clamping the non-mounting portion of the lead frame, The size is such that the second mold does not contact.
本発明の第2の態様に係る一実施形態では、前記方法は、
前記リードフレームの実装部を樹脂封止する工程の後、バリ取り機で、前記第1金型のダムブロックと前記第2金型との隙間に形成された樹脂バリを除去する工程をさらに含む。
In one embodiment according to the second aspect of the invention, the method comprises:
After the step of resin-sealing the mounting portion of the lead frame, the method further includes a step of removing a resin burr formed in a gap between the dam block of the first mold and the second mold with a deburring machine. .
本発明の第1の態様では、前記第1金型のダムブロックが、前記リードフレームをクランプしたときに前記リードフレームの前記第2金型側の主面に当接しないように配置され、かつ、前記ダムブロックの前記第1主面からの高さ寸法が前記リードフレームの厚さ寸法より小さいので、前記第1金型の第1主面と前記第2金型の第2主面との間で前記リードフレームをクランプしたとき、前記第1金型のダムブロックと前記第2金型との間には隙間が形成される。 In the first aspect of the present invention, the dam block of the first mold is disposed so as not to contact the main surface of the lead frame on the second mold side when the lead frame is clamped, and Since the height dimension of the dam block from the first main surface is smaller than the thickness dimension of the lead frame, the first main surface of the first mold and the second main surface of the second mold are When the lead frame is clamped in between, a gap is formed between the dam block of the first mold and the second mold.
また、前記ダムブロックと前記エアベントとは、部分的に重なり合う。したがって、本発明の第1の態様によれば、前記隙間の存在により、前記リードフレームをクランプした状態では前記キャビティと前記エアベントとが連通するので、前記キャビティ内に溶融樹脂を注入したとき、前記キャビティ内の空気は前記隙間を介して前記エアベントから金型外部に効果的に排出される。また、前記ダムブロックの前記第1主面からの高さ寸法が前記リードフレームの厚さ寸法より小さいので、前記キャビティに連通するエアベントを設けた場合と比較して、前記隙間の部分に形成される樹脂バリは薄くなり、これによりバリ取り機で中間製品から正確にバリを取ることが可能となる。 The dam block and the air vent partially overlap. Therefore, according to the first aspect of the present invention, the cavity and the air vent communicate with each other when the lead frame is clamped due to the presence of the gap, so when the molten resin is injected into the cavity, Air in the cavity is effectively discharged from the air vent to the outside of the mold through the gap. In addition, since the height dimension of the dam block from the first main surface is smaller than the thickness dimension of the lead frame, it is formed in the gap portion as compared with the case where an air vent communicating with the cavity is provided. As a result, the resin burrs become thinner, which makes it possible to deburr the intermediate products accurately with a deburring machine.
さらに、第1の態様によれば、前記第2金型に設けられたエアベントに対向して、前記第1金型にリードフレームの非実装部が配置されている構成において、前記ダムブロックに前記エアベントが部分的に重なり合うことから、前記ダムブロックと前記第2金型との間に形成される隙間はエアベントに連通する。この結果、前記キャビティから金型外部に連通する排気経路が前記リードフレームの非実装部に妨げられることがなく、前記エアベントを介して前記キャビティ内の空気を確実に排出できる。
Further, according to the first aspect, in the configuration in which the non-mounting portion of the lead frame is disposed in the first mold so as to face the air vent provided in the second mold, the dam block includes the Since the air vent partially overlaps, the gap formed between the dam block and the second mold communicates with the air vent. As a result, the exhaust path communicating from the cavity to the outside of the mold is not obstructed by the non-mounting portion of the lead frame, and the air in the cavity can be reliably discharged through the air vent.
本発明の第2の態様によれば、第1の態様と同様に、前記キャビティ内の空気は前記隙間を介して前記エアベントから金型外部に効果的に排出され、また、バリ取り機で中間製品から正確にバリを取ることが可能となる。このようにして、前記リードフレームの実装部の上に実装された前記電子部品の樹脂成形部を正確に製造することが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, as in the first aspect, the air in the cavity is effectively discharged from the air vent to the outside of the mold through the gap, and is also intermediated by a deburring machine. It is possible to deburr the product accurately. In this way, the resin molded part of the electronic component mounted on the lead frame mounting part can be accurately manufactured.
また、第2の態様に係る一実施形態によれば、前記キャビティに連通するエアベントを設けた場合と比較して、前記第1金型のダムブロックと前記第2金型との隙間に形成された薄い樹脂バリが、バリ取り機で容易かつ確実に除去される。 Further, according to one embodiment of the second aspect, compared to a case where an air vent communicating with the cavity is provided, the gap is formed between the dam block of the first mold and the second mold. A thin resin burr is easily and reliably removed by a deburring machine.
以下、本発明の実施の形態に係る樹脂封止金型について、図面を参照して具体的に説明する。以下の説明では、必要に応じて特定の方向を示す用語(「上」「下」など)を用いるが、これらは本発明の理解を容易にするために用いられるのであって、本発明の範囲を限定する目的で用いられるべきではない。 Hereinafter, a resin-sealed mold according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. In the following description, terms indicating a specific direction (such as “up” and “down”) are used as necessary, but these are used to facilitate understanding of the present invention and are within the scope of the present invention. Should not be used to limit
(樹脂封止装置100)
図1に示すように、樹脂封止装置100は、リードフレーム40(図5から図8を参照)の上に実装された電子部品をトランスファ成形で樹脂封止することにより、電子部品の樹脂成形部50(パッケージ部、図10から図12を参照)を製造するための装置である。電子部品は、例えば単機能素子であるディスクリート半導体素子である。
(Resin sealing device 100)
As shown in FIG. 1, the
樹脂封止装置100は、基台10と、基台10の上に固定された下固定プラテン11と、下固定プラテン11の隅部に固定された4本のタイバー12と、タイバー12の上端部に固定された上固定プラテン13と、下固定プラテン11と上固定プラテン13との間に、タイバー12を介し、上下動可能に設けられた可動プラテン14と、基台10の側方に取り付けられたサーボモータ15と、を備える。
The
可動プラテン14は、当該可動プラテン14と下固定プラテン11との間に設けられたトグル機構16の動作により上下する。トグル機構16は、ボールねじ17とクランク18とを有する。ボールねじ17は、下端側が下固定プラテン11に回転可能に支持され、その下端部にはプーリ17aが取り付けられている。ボールねじ17のプーリ17aと、サーボモータ15の回転軸に取り付けられたプーリ15aとの間には、タイミングベルト19が架け渡されている。このため、タイミングベルト19を介してサーボモータ15の回転がボールねじ17に伝達される。ボールねじ17にはナット17bが設けられ、ボールねじ17が回転するにつれてナット17bが上下する。そして、ナット17bの上下動に連動してクランク18が屈伸し、これにより可動プラテン14が上下する。
The
(樹脂封止金型1)
樹脂封止金型1は、上固定プラテン13と可動プラテン14との間に設けられる。樹脂封止金型1は、リードフレーム40をクランプするための下金型2と上金型3とを備える。下金型2は、可動プラテン14の上に固定された下側モールドベース4と、下側モールドベース4内に設けられた下側チェス20とを有する。上金型3は、上固定プラテン13の下に固定された上側モールドベース5と、上側モールドベース5内に設けられた上側チェス30とを有する。
(Resin sealing mold 1)
The resin sealing mold 1 is provided between the upper fixed
樹脂封止金型1の下側チェス20と上側チェス30とを図2に示す。図2では、下側チェス20および上側チェス30の大略の構造が示されている。ただし、製品を金型から押出して取出すためのエジェクタピン(押出しピン)を有するエジェクタプレートなどは省略している。以下、本明細書では、図2などに示すX方向を縦方向、Y方向を横方向、Z方向を高さ方向と称す。また、本明細書で方向を示す「上」「下」は、それぞれ図中の+Z方向、−Z方向を指す。
The
(下側チェス20)
図2に示すように、下側チェス20は、筐体21と、ポットブロック22と、下側キャビティブロック23とを有する。ポットブロック22と下側キャビティブロック23とはそれぞれ直方体形状を有し、共に筐体21内に設けられている。下側キャビティブロック23は、ポットブロック22を横方向(Y方向)で挟んで2つ設けられている。ポットブロック22の上面は、下側キャビティブロック23の上面よりも若干上側に位置し、このためポットブロック22の上面と下側キャビティブロック23の上面との間に段差が形成されている。
(Lower chess 20)
As shown in FIG. 2, the
ポットブロック22は、タブレット樹脂などの固体樹脂が投入される貫通孔であるポット24を有する。ポット24は、平面視で円形である。ポット24内には、固体樹脂を加圧すると共に、後述するキャビティ60内に注入するためのプランジャ(図示せず)が設けられている。プランジャは、固体樹脂を上側チェス30のカル部34に対して押し付け、加圧しながら溶融させる。なお、ポットブロック22内には、固体樹脂を加熱して溶融させるためのヒータを設けてもよい。
The
下側キャビティブロック23は、図3に示すように、縦方向(X方向)に並べて設けられた一対の下側キャビティ25,25を有する。下側キャビティ25は、下側キャビティブロック23の上面23aから下方に向かって先細りした形状を有する(図8などを参照)。下側キャビティ25は、下側チェス20と上側チェス30とが重ね合わされたときに、後述する上側キャビティブロック33に上側キャビティ35と協働してキャビティ60を形成(画定)する。一対の下側キャビティ25の間には、下側キャビティブロック23からポットブロック22へ向けて横方向(Y方向)に延びる溝であるランナ26が設けられている。ただし、ランナ26は、ポット24とは連通していない。
As shown in FIG. 3, the
なお、図2では、図を見やすくするために、ポットブロック22にポット24が1つだけ設けられているが、ポット24は複数個設けられてもよい。複数個のポット24を設けた場合、下側キャビティブロック23にも、ポット24の数に対応する数の下側キャビティ25が設けられる。
In FIG. 2, only one
下側キャビティブロック23の上面23aは、上側キャビティブロック33の下面33aと協働してリードフレーム40をクランプする主面である。図3、図4に示すように、下側キャビティブロック23の上面23aには、下側キャビティ25の開口縁部に沿ってダムブロック27が設けられている。ダムブロック27は、下側キャビティブロック23の上面23aから上方向(+Z方向)に突出している。
The
下側キャビティブロック23の上面23aからのダムブロック27の高さ寸法は、リードフレーム40の厚さよりも若干小さい。具体的には、図8に示すように、ダムブロック27は、下側チェス20と上側チェス30とでリードフレーム40をクランプしたときにリードフレーム40がクランプ力で圧縮されて薄くなってもなお、ダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとが接触しない大きさである。
The height dimension of the
ダムブロック27の形状は、リードフレーム40の形状に応じて変更される。本実施形態では、ダムブロック27は、互いに分離した第1ブロック27aと第2ブロック27bとを有する。第1ブロック27aは、下側キャビティ25に対してランナ26の反対側に設けられ、平面視略コ字状(または略U字状)を有する。横方向(Y方向)に分離した一対のL字状の第2ブロック27b,27bは、下側キャビティ25とランナ26との間に設けられている。このように、ダムブロック27は、リードフレーム40をクランプしたときに、リードフレーム40の上面40a(上金型2側の主面)に当接しないように配置されている。
The shape of the
一対のL字状の第2ブロック27b,27bの間には、下側キャビティ25とランナ26とを接続するゲート28が設けられている。ゲート28は、一対のL字状部27b,27bの間で下側キャビティ25を切り欠いて形成され、対向する2つの側壁と傾斜する底面とを有する。
A
(上側チェス30)
図2に示すように、上側チェス30は、筐体31と、カルブロック32と、上側キャビティブロック33とを有する。カルブロック32と上側キャビティブロック33はそれぞれ直方体形状を有し、共に筐体31内に設けられている。上側キャビティブロック33は、カルブロック32を間にして挟むように横方向(Y方向)に2つ設けられている。
(Upper chess 30)
As shown in FIG. 2, the
カルブロック32には、下側チェス20のポット24から供給される溶融樹脂を一時的に溜めるための凹部分であるカル部34が設けられている。カル部34は、平面視で円形の主部34aと、主部34aを間にして横方向(Y方向)に拡大した突出部34b,34bとを有する。下側チェス20と上側チェス30とが重ね合わされたとき、カル部34の主部32aはポット24に重ね合わされ、カル部34の突出部34bはランナ26に重ね合わされる。これにより、下側チェス20のポット24からカル部34を通ってランナ26、ゲート28、およびキャビティ60が連通し、溶融樹脂の流路が形成される。
The
上側キャビティブロック33は、縦方向(X方向)に並べて設けられた一対の上側キャビティ35を有する。上側キャビティ35は、上側キャビティブロック33の下面33aから上方に向かって先細りした形状を有する(図8などを参照)。前記の通り、上側キャビティ35は、下側チェス20と上側チェス30とが重ね合わされたとき、下側キャビティブロック23に設けられる下側キャビティ25と協働してキャビティ60を形成する。
The
図8は、図6のA−A線に沿った断面図である。下側チェス20と上側チェス30とでリードフレーム40をクランプした状態での下側キャビティブロック23の断面と、上側キャビティブロック33の断面とを図8に示している。上側キャビティブロック33の下面33aは、下側キャビティブロック23の上面23aに対向し、当該上面23aと協働してリードフレーム40をクランプする主面である。
FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG. 8 shows a cross section of the
上側キャビティブロック33の下面33aには、上側チェス30の外部に連絡される溝であるエアベント36が設けられている。エアベント36は、上側キャビティ35から分離され、縦方向(X方向)に延びている。また、エアベント36は、縦方向(X方向)の端部において、下側チェス20のダムブロック27aに部分的に重なり合うオーバラップ部36aを有する。
An
また、本実施形態では、前述の通り下側キャビティブロック23の上面23aからのダムブロック27の高さ寸法が、下側チェス20と上側チェス30とでリードフレーム40をクランプした場合、リードフレーム40がクランプ力により圧縮されて薄くなっても、ダムブロック27と上側キャビティブロック33とが接触しない大きさとなっている。このため、リードフレーム40をクランプしたとき、ダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの間に隙間70が形成される。もちろん、隙間70は、リードフレーム40をクランプする前に下金型2と上金型3とを型閉した状態でも形成される。隙間70を介して、互いに分離した上側キャビティ35とエアベント36とが連通する。隙間70の高さ寸法は、エアベント36の深さ寸法よりも充分に小さい。ただし、後述するように、隙間70はキャビティ60とエアベント36とを接続することによりエアベント36の排気機能の一部を担保する。このため、隙間70は、キャビティ60からの排気を阻害しない程度の広さ(流路面積)を有することが好ましい。
In the present embodiment, as described above, when the height dimension of the
なお、下側チェス20にポット24を複数個設ける場合、上側チェス30にも、ポット24との数に対応する数のカル部34と上側キャビティ35とを設ければよい。
When a plurality of
(リードフレーム40)
本実施形態に係る樹脂封止金型1は任意の形状を有するリードフレームに対応できるが、ここでは図面に記載された例示的なリードフレーム40の形状について説明する。図5から図7に示すように、リードフレーム40は、図示しない電子部品が実装された実装部41,42と、それ以外の非実装部34とを有する。実装部41,42は、幅方向(Y方向)に間隔を空けて構成される。電子部品は、2つの実装部41,42を跨いで実装される。非実装部43は、リードフレーム40のうち実装部41,42を除く部分を指す。図7、図8に示すように、リードフレーム40の上面40aは、ダムブロック27aの上面27cよりも高い位置にある。
(Lead frame 40)
The resin-sealed mold 1 according to this embodiment can correspond to a lead frame having an arbitrary shape, but here, the shape of an
(電子部品の樹脂成形部50の製造方法)
本発明の実施の形態に係る樹脂封止金型1を用いた電子部品の樹脂成形部50の製造方法を図9に示す。樹脂成形部50の製造方法は、実装部41,42に電子部品が実装されたリードフレーム40を準備する工程(S1)と、工程S1で準備されたリードフレーム40を下側キャビティブロック23の上に配置する工程(S2)とを含む(図5から図8を参照)。リードフレーム40は、図示しないパイロットピン、ダムブロック27、および、ポットブロック22と下側キャビティブロック23との段差により位置決めされる。これにより、下側チェス20と上側チェス30とでリードフレーム40をクランプしたとき、実装部41,42がキャビティ60内に配置される。
(Manufacturing method of the
FIG. 9 shows a method for manufacturing the resin molded
さらに、樹脂成形部50の製造方法は、下側チェス20と上側チェス30とでリードフレーム40の非実装部43をクランプする工程(S3)を含む(図8を参照)。クランプ工程S3は、図1に示す可動プラテン14を上方に移動させて行われる。これにより、リードフレーム40は、下側キャビティブロック23の上面23aと上側キャビティブロック33の下面33aとの間にクランプされる。このとき、クランプした状態で、下側キャビティブロック23のダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの間には隙間70が形成されており、すなわち下側チェス20と上側チェス30とが接触しない。これにより、リードフレーム40に加えられるクランプ力が樹脂封止金型1自体に直接に加わらず、金型1の損傷が防止される。
Furthermore, the method for manufacturing the resin molded
さらに、樹脂成形部50の製造方法は、キャビティ60内に溶融樹脂を注入し硬化させてリードフレーム40の実装部41,42を樹脂封止する工程(S4)を含む(図10を参照)。キャビティ60内への溶融樹脂の注入は、ポット24内に設けられたプランジャを上昇させて行われる。溶融樹脂は、下側チェス20のポット24からカル部34を通ってランナ26、ゲート28、そしてキャビティ60に流動する。
Further, the method for manufacturing the resin molded
このとき、ダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの間に形成された隙間70を介し、キャビティ60とエアベント36とが接続されている。このため、キャビティ60内の空気は隙間70を介してエアベント36から金型外部に効果的に排出される。特に、エアベント36に、ダムブロック27aに部分的に重なり合うオーバラップ部36aが設けられていることにより、隙間70は、リードフレーム40の非実装部43の手前側でエアベント36に連通する。この結果、キャビティ60から金型外部に連通する排気経路が非実装部43に妨げられることがなく、キャビティ60内の空気は確実に排出される。
At this time, the
キャビティ60内に充填された溶融樹脂は、硬化して樹脂成形部50を形成する。また、溶融樹脂は、キャビティ60から排出される空気に伴って隙間70、前記溶融樹脂の流路、およびエアベント36内に流入し、硬化してそれぞれ樹脂バリ51,52,53を形成する。
The molten resin filled in the
さらに、樹脂成形部50の製造方法は、例えば空気圧式、水圧式のバリ取り機を用いて中間製品から樹脂バリを除去する工程(S5)を含む(図11、図12を参照)。これにより、ダムブロック27a,27bの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの隙間70に形成された薄い樹脂バリ51が除去される。一方、ランナ26などにより形成される溶融樹脂の流路およびエアベント36に形成された厚い樹脂バリ52,53が残った状態となる。
Furthermore, the manufacturing method of the
さらに、樹脂成形部50の製造方法は、リードフレーム40を加工する工程(S6)を含む(図11を参照)。リードフレーム40は、例えばブレードまたはパンチなどの切断機を用いて、図11に示す二点鎖線に沿って切断される。この結果、樹脂成形部50とリードフレーム41,42とを備えた電子部品が製造される。
Furthermore, the manufacturing method of the
ここで、比較例の樹脂封止金型を図13に示す。比較例の樹脂封止金型は、上側キャビティブロック33に設けられるエアベントの構造のみが本実施形態に係る樹脂封止金型1と異なり、他の構造は同一である。したがって、図13では、エアベント236を除いて図8と同一の符号を付している。
Here, the resin-sealed mold of the comparative example is shown in FIG. The resin-sealed mold of the comparative example is different from the resin-sealed mold 1 according to the present embodiment only in the structure of the air vent provided in the
比較例の樹脂封止金型では、上側キャビティブロック33の下面33aにおいて、上側キャビティ35に連通するエアベント236が設けられる。この比較例の樹脂封止金型を用いて、樹脂成形部50の製造方法を実施した場合、リードフレーム40の実装部41,42を樹脂封止する工程(S4)において、エアベント236に厚い樹脂バリが形成される。
In the resin-sealed mold of the comparative example, an
この場合、中間製品から樹脂バリを除去する工程(S5)において、例えば空気圧式、水圧式のバリ取り機を用いて、エアベント236に形成された樹脂バリを除去することは困難である。バリ取り工程S5では、バリ取り機で除去できる薄い樹脂バリのみを除去しておき、エアベント236に残った厚い樹脂バリを、後段のリードフレーム40を加工する工程(S6)で切断して除去することも考えられる。しかし、加工工程S6では、エアベント236内であって樹脂成形部50の周りの部分に形成された厚い樹脂バリを細部にわたって正確に除去することは困難である。また、加工工程S6で、樹脂成形部50の周りに形成された厚く硬い樹脂バリを切断しようとすると、切断機の刃が損傷するおそれがある。
In this case, in the step (S5) of removing the resin burrs from the intermediate product, it is difficult to remove the resin burrs formed on the
一方、本実施形態による樹脂封止金型1を用いた場合、下側キャビティブロック23のダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの隙間70に形成される樹脂バリ51は薄い。このため、例えば空気圧式、水圧式のバリ取り機を用いて樹脂バリ51を正確に除去できる。ランナ26などで形成される溶融樹脂の流路内およびエアベント36内に形成された厚い樹脂バリ52,53はバリ取り機で除去されないが、後段のリードフレーム40を加工する工程(S6)でリードフレーム40の非実装部43と共に除去される。
On the other hand, when the resin-sealed mold 1 according to the present embodiment is used, the
このように、本実施形態では、下側キャビティブロック23のダムブロック27aの上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの隙間70にエアベント36の機能の一部を担保させるという新規な着想に基づくものである。そして、隙間70から溶融樹脂が注入されるキャビティ60の空気を金型外部に効果的に排出させる。これにより、樹脂成形部50内におけるボイドの発生を抑制すると共に、バリ取り機を用いて樹脂成形部50の周辺の樹脂バリを正確に除去できる。
Thus, in this embodiment, the
また、本実施形態では、バリ取り工程S5で、樹脂成形部50の周辺の樹脂バリ(樹脂バリ51)が除去される。したがって、加工工程S6で、図11に示す切断線に沿ってリードフレーム40を切断する際には、溶融樹脂の流路に形成される樹脂バリ52の部分を除いて、切断機の刃が硬い樹脂を切断することがない。これにより、切断機の刃の損傷が抑制される。
In the present embodiment, the resin burr (resin burr 51) around the resin molded
(変形例)
以上、実施形態により本発明を説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良および設計上の変更が可能である。
(Modification)
As mentioned above, although this invention was demonstrated by embodiment, this invention is not limited to the said embodiment, A various improvement and design change are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.
例えば、実施形態では、下側チェス20にダムブロック27が設けられ、上側チェス30にエアベント36が設けられる例を説明したが、本発明はこれに限定されることなく、逆に上側チェス30にダムブロックが設けられ、下側チェス20にエアベントが設けられてもよい。
For example, in the embodiment, the example in which the
また、実施形態において、図8では、下側キャビティブロック23のダムブロック27の上面27cと上側キャビティブロック33の下面33aとの隙間70の高さ寸法(Z方向寸法)がキャビティ60側からエアベント36側に向かって縦方向(X方向)に一定である例を図示している。しかし、本発明はこれに限定されることなく、例えば隙間70の高さ寸法がキャビティ60側からエアベント36側に向かって縦方向(X方向)に徐々に大きくなるように傾斜していてもよい。
Further, in the embodiment, in FIG. 8, the height dimension (Z dimension) of the
また、実施形態では、一本のエアベント36が隙間70に連通して縦方向(X方向)に真っ直ぐ延びる例を説明しているが、本発明はこれに限定されることなく、隙間70に連通していれば任意の位置に設けることができる。さらに、エアベント36は真っ直ぐ延びるように設ける必要はなく、成形のし易さに応じて平面視で曲がっていてもよく、分岐していてもよい。さらに、複数本のエアベント36を設けてもよい。
In the embodiment, an example has been described in which one
1 樹脂封止金型
2 下金型
20 下側チェス
22 ポットブロック
23 下側キャビティブロック
23a 下側キャビティブロックの上面
24 ポット
25 下側キャビティ
26 ランナ
27 ダムブロック
27a ダムブロックの上面
28 ゲート
3 上金型
30 上側チェス
32 カルブロック
33 上側キャビティブロック
33a 上側キャビティブロックの下面
34 カル部
35 上側キャビティ
36 エアベント
36a オーバラップ部
40 リードフレーム
41,42 実装部
43 非実装部
50 樹脂成形部
60 キャビティ
70 隙間
100 樹脂封止装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (4)
前記第1金型の第1主面と、前記第1主面に対向する前記第2金型の第2主面との間で、電子部品が実装される実装部とそれ以外の非実装部とを有するリードフレームの非実装部をクランプし、前記第1主面に設けられた第1キャビティ部と、前記第2主面に設けられた第2キャビティ部と、で形成されるキャビティ内に配置される前記リードフレームの実装部を樹脂封止するための樹脂封止金型であって、
前記第1金型の第1主面には、前記第1キャビティ部の開口縁部に沿って、前記リードフレームをクランプしたときに、前記リードフレームの前記第2金型側の主面に当接しないように配置されたダムブロックが設けられ、
前記第2金型の第2主面には、前記第2キャビティ部から分離され、前記第2金型の外部に連通するエアベントが設けられ、
前記ダムブロックの前記第1主面からの高さ寸法は、前記リードフレームの厚さ寸法より小さく、
前記エアベントは、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに、前記リードフレームの非実装部の所定部分に対向する位置に設けられ、
前記ダムブロックは、平面視で前記エアベントと前記第1キャビティ部とを接続する第1ブロックを有し、
前記エアベントは、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに前記ダムブロックの第1ブロックと重なり合うオーバラップ部を有し、
前記オーバラップ部は、前記第1金型と前記第2金型とを重ね合わせたときに前記ダムブロックと前記第2金型との間に形成される隙間が、前記リードフレームの非実装部の所定部分の手前側で前記エアベントに連通するような寸法を有し、
前記ダムブロックと前記第2金型との間に形成される隙間の高さ寸法は、前記エアベントの深さ寸法よりも小さく、
前記ダムブロックの第1ブロックは、平面視で前記エアベントのオーバラップ部と重なり合う長辺と該長辺に対して垂直に延びる短辺とで構成される長方形において、前記第1キャビティ部の開口縁部側の一部を切り欠いて成る平面視略コ字状に設けられている、
樹脂封止金型。 A first mold and a second mold;
Between the first main surface of the first mold and the second main surface of the second mold facing the first main surface, a mounting portion on which an electronic component is mounted and the other non-mounting portion In a cavity formed by clamping a non-mounting portion of a lead frame having a first cavity portion provided on the first main surface and a second cavity portion provided on the second main surface A resin-sealing mold for resin-sealing a mounting portion of the lead frame to be disposed,
When the lead frame is clamped along the opening edge of the first cavity portion, the first main surface of the first mold contacts the main surface of the lead frame on the second mold side. A dam block arranged so as not to touch,
The second main surface of the second mold is provided with an air vent that is separated from the second cavity portion and communicates with the outside of the second mold,
The height dimension of the dam block from the first main surface is smaller than the thickness dimension of the lead frame,
The air vent is provided at a position facing a predetermined portion of the non-mounting portion of the lead frame when the first die and the second die are overlapped,
The dam block has a first block that connects the air vent and the first cavity part in plan view,
The air vent has an overlap portion that overlaps the first block of the dam block when the first mold and the second mold are overlapped,
The overlap portion has a gap formed between the dam block and the second die when the first die and the second die are overlapped with each other so that a non-mounting portion of the lead frame is formed. have a dimension such as to communicate with the front side to the air vent predetermined portion of,
The height dimension of the gap formed between the dam block and the second mold is smaller than the depth dimension of the air vent,
The first block of the dam block has a rectangular shape composed of a long side that overlaps with the overlap portion of the air vent in a plan view and a short side that extends perpendicularly to the long side, and the opening edge of the first cavity portion Provided in a substantially U-shape in plan view formed by cutting out a part of the part side,
Resin sealing mold.
前記リードフレームの実装部を前記キャビティ内に配置する工程と、
前記第1金型の第1主面と前記第2金型の第2主面との間で前記リードフレームの非実装部をクランプする工程と、
前記キャビティ内に樹脂を注入する工程とを含む、
方法。 A method for producing a resin molded part of an electronic component using the resin-sealed mold according to claim 1 ,
Placing the lead frame mounting portion in the cavity;
Clamping a non-mounting portion of the lead frame between the first main surface of the first mold and the second main surface of the second mold;
Injecting a resin into the cavity.
Method.
請求項2に記載の方法。 The height dimension of the dam block from the first main surface is such that when the non-mounting portion is compressed and thinned by a clamping force in the step of clamping the non-mounting portion of the lead frame, The second mold is not in contact with the mold,
The method of claim 2 .
請求項2または3に記載の方法。 After the step of resin-sealing the mounting portion of the lead frame, the method further includes a step of removing a resin burr formed in a gap between the dam block of the first mold and the second mold with a deburring machine. ,
The method according to claim 2 or 3 .
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