JP6128128B2 - 太陽電池用ガラス基板およびそれを用いた太陽電池 - Google Patents
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Description
近年、CIGS太陽電池用ガラス基板として、高温の熱処理温度に耐えうるガラス材料の提案もされている(例えば、特許文献1〜5参照)。
さらに、CIGS太陽電池の製造および使用の観点から、ガラス基板の強度向上および軽量化、また板ガラス生産時に溶解性、成形性が良好なこと、失透しないこと等が求められる。
しかし、CIGS太陽電池に使用されるガラス基板において高い発電効率、高いアルカリ拡散性、高いガラス転移点温度、所定の平均熱膨張係数、高いガラス強度、低いガラス密度、並びに、板ガラス生産時の高い溶解性、良好な成形性および良好な失透防止性等の特性をバランスよく有することは困難であった。
すなわち、本発明は、以下の通りである。
SiO2を50〜65%、
Al2O3を8〜15%、
B2O3を0〜1%、
MgOを0〜10%、
CaOを1〜12%、
SrOを6〜12%、
BaOを0〜3%、
ZrO2を1〜7%、
Na2Oを2〜8%、
K2Oを0〜8%、
MgO+CaO+SrO+BaOを15〜30%、含有し、
SrO/Na2Oが0.8〜2.5である太陽電池用ガラス基板である。
(3)平均熱膨張係数が70×10−7〜90×10−7/℃である、上記(1)または(2)に記載の太陽電池用ガラス基板。
(5)密度が2.75g/cm3以下である、上記(1)〜(4)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(7)CaOの含有量が3〜11%である上記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(8)CaOの含有量が3〜10%である上記(1)〜(6)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(10)MgO+CaO+SrO+BaOの含有量の和が17〜23%である上記(1)〜(9)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(11)BaOの含有量が2%以下である上記(1)〜(10)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(12)SiO2とAl2O3とは、9SiO2+15Al2O3の式で表される値が570%〜840%の範囲で含有されている、上記(1)〜(11)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(13)Na2OとK2Oとは、3Na2O+2K2Oの式で表される値が14%〜44%の範囲で含有されている、上記(1)〜(12)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板。
(14)ガラス基板と、カバーガラスと、上記ガラス基板と上記カバーガラスとの間に配置されるCu−In−Ga−Seの光電変換層と、を有し、上記ガラス基板と上記カバーガラスのうち少なくとも上記ガラス基板が、上記(1)〜(13)のいずれか一つに記載の太陽電池用ガラス基板であるCu−In−Ga−Se太陽電池。
以下、本発明の太陽電池用ガラス基板について説明する。
SiO2を50〜65%、
Al2O3を8〜15%、
B2O3を0〜1%、
MgOを0〜10%、
CaOを1〜12%、
SrOを6〜12%、
BaOを0〜3%、
ZrO2を1〜7%、
Na2Oを2〜8%、
K2Oを0〜8%、
MgO+CaO+SrO+BaOを15〜30%、含有し、
SrO/Na2Oが0.8〜2.5である組成を有する。
本発明において、太陽電池用ガラス基板の脆さ指標値は、下式(1)により定義される「B」として得られるものである(J.Sehgal, et al.,J.Mat.Sci.Lett.,14,167(1995))。
c/a=0.0056B2/3P1/6 … 式(1)
ここで、Pはビッカース圧子の押し込み荷重であり、a、cはそれぞれ、ビッカース圧痕の対角長および四隅から発生するクラックの長さ(圧子を含む対称な2つのクラックの全長)である。各種ガラスの表面に打ち込んだビッカース圧痕の寸法と式(1)を用いて、脆さ指標値Bを算出することとする。
SiO2は、ガラスの骨格を形成する成分で、50質量%(以下、「質量%」を単に「%」と記載する。以下、同様である。)未満ではガラス基板の耐熱性および化学的耐久性が低下し、平均熱膨張係数が増大するおそれがある。好ましくは52%以上であり、より好ましくは53%以上であり、特に好ましくは53.5%以上、さらに好ましくは54%以上である。
しかし、65%超ではガラスの高温粘度が上昇し、溶解性が悪化する問題が生じるおそれがある。好ましくは63%以下であり、より好ましくは62%以下であり、さらに好ましくは61%以下、特に好ましくは59%以下、一層好ましくは57.5%以下である。
Al2O3は、ガラス転移点温度を上げ、耐候性(ソラリゼーション)、耐熱性および化学的耐久性を向上し、ヤング率を上げる。その含有量が8%未満であるとガラス転移点温度が低下するおそれがある。また平均熱膨張係数が増大するおそれがある。好ましくは8.5%以上であり、より好ましくは9%以上であり、さらに好ましくは10%以上、特に好ましくは11%以上、一層好ましくは12%以上である。
SiO2およびAl2O3は、ガラス基板の耐熱性を増加させる成分であるので、9SiO2+15Al2O3(すなわち、(SiO2の含有%×9)と(Al2O3の含有%×15)との合計)が、570%以上となる範囲で含有させるのが好ましい。より好ましくは600%以上、さらに好ましくは630%以上、特に好ましくは660%以上である。しかし、SiO2およびAl2O3は、ガラスの高温粘度を上昇させ、溶解性を悪化させる効果があるので、9SiO2+15Al2O3が840%以下となる範囲で含有させるのが好ましい。より好ましくは800%以下、さらに好ましくは760%以下、特に好ましくは720%以下である。
B2O3は、溶解性を向上させる等のために1%まで含有してもよい。含有量が1%を超えるとガラス転移点温度が下がるおそれ、または平均熱膨張係数が小さくなるおそれがあり、光電変換層を形成するプロセスにとって好ましくない。また失透温度が上昇して失透しやすくなり板ガラス成形が難しくなる。好ましくは、含有量は0.5%以下である。実質的に含有しないことがより好ましい。
なお、「実質的に含有しない」とは、原料等から混入する不可避的不純物以外には含有しないこと、すなわち、意図的に含有させないことを意味する。以下、同様である。
MgOは、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので、含有させることができる。好ましくは0.5%以上であり、より好ましくは1%以上である。10%以下であれば、所望の平均熱膨張係数が得られる。また失透温度が上昇することもなく好ましい。好ましくは7%以下、より好ましくは5%であり、さらに好ましくは3%以下、特に好ましくは2.5%以下である。
CaOは、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので、1〜12%含有させることができる。好ましくは2%以上、より好ましくは3%以上、さらに好ましくは4%以上、特に好ましくは5%以上である。しかし、12%超ではガラス基板の平均熱膨張係数が増大するおそれがある。また、ナトリウム(Na)がガラス基板中で移動しにくくなり発電効率が低下するおそれがある。好ましくは11%以下、より好ましくは10%以下、さらに好ましくは9%以下、特に好ましくは8.5%以下である。
SrOは、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるため、6〜12%含有させる。また、ガラス基板中にSrOが含まれることで、本発明の太陽電池用ガラス基板をCIGS太陽電池のガラス基板として用いる場合、ナトリウム(Na)がガラス基板上のCIGS層へ拡散するのを促進する効果がある。好ましくは6.3%以上、より好ましくは6.5%以上、さらに好ましく7%以上である。しかし、12%超含有するとガラス基板の密度が増大、脆さ指標値が増加するおそれがある。11%以下が好ましく、10%以下であることがより好ましく、9%以下であることがさらに好ましく、8.5%以下であることが特に好ましい。
BaOは、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので、含有させることができる。しかし、3%超含有するとガラス基板の平均熱膨張係数が増大し、密度が増大し、脆さ指標値が増加するおそれがある。また、ヤング率が低下するおそれがある。2.5%以下が好ましく、2%以下であることがより好ましい。
ZrO2は、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので、1%以上で含有させる。7%以下であれば発電効率が良好で、また失透温度が上昇して失透することもなく、板ガラス成形が容易である。6%以下が好ましく、5%以下がより好ましく、4.5%以下がさらに好ましい。また、好ましくは2%以上、より好ましくは2.5%以上、さらに好ましくは3%以上、特に好ましくは3.5%以上である。
TiO2を含有させると失透温度が上昇するため、TiO2は含有しないことが好ましい。ただし、本発明の太陽電池用ガラス基板は、通常のソーダライムガラスに比べて、ガラス基板製造時に溶融ガラス表面に泡層が生成しやすい。泡層が生成すると、溶融ガラスの温度が上がらず、清澄しづらくなり、生産性が悪化する傾向がある。溶融ガラス表面に生成した泡層を薄化または消失させるために、消泡剤としてチタン化合物が溶融ガラス表面に生成した泡層に供給されることがある。チタン化合物は、溶融ガラス中に取り込まれ、TiO2として存在する。このチタン化合物は、無機チタン化合物(例えば、四塩化チタン、酸化チタン等)であってもよく、有機チタン化合物であってもよい。有機チタン化合物としては、チタン酸エステルまたはその誘導体、チタンキレートまたはその誘導体、チタンアシレートまたはその誘導体、シュウ酸チタネート等が挙げられる。上記の理由により、TiO2は、不純物として0.2%以下ガラス基板中に含有することが許容される。
MgO、CaO、SrOおよびBaOについては、ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進させる点から、CaOおよびSrOを含み、かつMgOおよびBaOからなる群から選ばれる少なくとも1種を含んでもよく、それらの合量(すなわち、これらのアルカリ土類金属酸化物(RO)の合量を、(MgO+CaO+SrO+BaO)とも記す。)は、15%以上とする。しかし、合量が30%超では失透温度が上昇し、成形性が悪くなる恐れがある。16%以上が好ましく、17%以上がより好ましい。また、26%以下が好ましく、23%以下がより好ましく、20%以下がさらに好ましく、18%以下が特に好ましい。
Na2Oは、本発明の太陽電池用ガラス基板をCIGS太陽電池のガラス基板として用いる場合、CIGS太陽電池の発電効率向上に寄与するための成分であり、必須成分である。また、ガラス溶解温度での粘性を下げ、溶解しやすくする効果があるので、2〜8%含有させる。ナトリウム(Na)はガラス基板上に構成されたCIGS層中に拡散し、発電効率を高めるが、含有量が2%未満ではガラス基板上のCIGS層へのNa拡散が不十分となり、発電効率も不十分となるおそれがある。含有量が3%以上であると好ましく、含有量が4%以上であるとより好ましい。
Na2O含有量が8%を超えると平均熱膨張係数が大きくなり、ガラス転移点温度が低下する傾向がある。または化学的耐久性が劣化する傾向がある。または、ヤング率が低下するおそれがある。含有量が7.5%以下であると好ましく、7%以下であるとより好ましく、6.5%以下であるとさらに好ましい。
K2Oは、Na2Oと同様の効果があるため、0〜8%含有させる。しかし、8%超ではガラス転移点温度が低下し、平均熱膨張係数が大きくなり、比重が大きくなるおそれがある。含有する場合は0.5%以上であることが好ましく、1%以上であることがより好ましく、3.5%以上であることがさらに好ましい。また、7%以下が好ましく、6%以下であることがより好ましく、5%以下がさらに好ましく、4.5%以下が特に好ましい。
Na2OおよびK2Oは、CIGS太陽電池の発電効率向上に寄与するための成分である。また、ガラス溶解温度での粘性を下げ、溶解しやすくする効果があるので3Na2O+2K2O(すなわち、(Na2Oの含有%×3)と(K2Oの含有%×2)との合計)が14%以上となる範囲で含有させるのが好ましい。より好ましくは16%以上、さらに好ましくは18%以上、特に好ましくは20%以上である。Na2OおよびK2Oは、平均熱膨張係数を大きくし、ガラス転移点温度を低下させる傾向があるので、3Na2O+2K2Oが44%以下となる範囲で含有させるのが好ましい。より好ましくは40%以下、さらに好ましくは36%以下、特に好ましくは32%以下である。
SrOとNa2Oの比(SrO/Na2O)は、0.8以上とする。SrOがNa2O量に対して少ないと、CIGS太陽電池を作製した時にNaがガラス基板上のCIGS層へ拡散するのを促進する効果が弱まる傾向がある。好ましくは0.9以上であり、より好ましくは1.0以上、さらに好ましくは1.1以上である。しかし2.5以上では、ガラス基板の比重が大きくなりすぎるおそれがある。2.1以下が好ましく、より好ましくは1.8以下、さらに好ましくは1.6以下、特に好ましくは1.4以下である。
また、ガラス基板の化学的耐久性向上のため、ガラス中に上記ガラス母組成に対し内割りで、Y2O3、La2O3を合量で2%以下含有させてもよい。
また、鉄酸化物の含有量が0.01質量部以上であると、鉄酸化物成分の混入が不可避である工業原料を使用できるため、工業的な生産が容易となり好ましい。また、鉄酸化物の含有量が0.01質量部以上であると、溶解時に輻射の吸収が著しく大きくなるために、溶融ガラスの温度が上がりやすくなり製造に支障をきたすことがない。より好ましくは0.015質量部以上、さらに好ましくは0.02質量部以上である。
なお、本発明において鉄酸化物としては、弁柄、酸化鉄粉等が挙げられる。
本発明の太陽電池用ガラス基板の製造方法について説明する。
本発明の太陽電池用ガラス基板を製造する場合、従来の太陽電池用ガラス基板を製造する際と同様に、溶解・清澄工程および成形工程を実施する。なお、本発明の太陽電池用ガラス基板は、アルカリ金属酸化物(Na2O、K2O)を含有するアルカリ含有ガラス基板であるため、清澄剤としてSO3を効果的に用いることができ、成形方法としてフロート法およびフュージョン法(ダウンドロー法)に適している。
本発明の太陽電池用ガラス基板の製造方法の好ましい態様について説明する。
次に、リボン状のガラス板をフロート成形炉から引出した後に、冷却手段によって室温状態まで冷却し、切断後、太陽電池用ガラス基板を得る。
本発明の太陽電池用ガラス基板は、所定の平均熱膨張係数、高いガラス強度、低いガラス密度、並びに、板ガラス生産時の高い溶解性、良好な成形性および良好な失透防止性を有し、さらにガラス転移点温度が高く、アルカリ拡散性も高いことから、CIGS太陽電池に用いる場合に発電効率に寄与することができるため、CIGS太陽電池用ガラス基板として好適に用いられる。
本発明の太陽電池用ガラス基板をCIGS太陽電池のガラス基板に適用する場合、ガラス基板の厚さは3mm以下とするのが好ましく、より好ましくは2mm以下、さらに好ましくは1.5mm以下である。
また、ガラス基板にCIGS層を形成する方法は特に制限されないが、ガラス転移温度が高いことから、CIGS層を形成する際の加熱温度を500〜700℃、好ましくは550〜700℃、より好ましくは580〜700℃、さらに好ましくは600〜700℃、特に好ましくは620〜700℃とすることができる。
本発明の太陽電池用ガラス基板をCIGS太陽電池のカバーガラスとして使用する場合、カバーガラスの厚さは3mm以下とするのが好ましく、より好ましくは2mm以下、さらに好ましくは1.5mm以下である。
また、CIGS太陽電池の製造において、CIGS層を有するガラス基板にカバーガラスを組立てる方法は特に制限されないが、加熱して組立てる場合、その加熱温度を500〜700℃、好ましくは600〜700℃とすることができる。
また、本発明の太陽電池用ガラス基板は、所定の平均熱膨張係数、高いガラス強度、低いガラス密度、並びに、板ガラス生産時の高い溶解性、良好な成形性および良好な失透防止性を有するため、CdTe太陽電池用ガラス基板として好適に用いられる。
また、高いガラス転移点温度を有するため、CdTe層形成時に高温で成膜できるため、CdTe太陽電池の発電効率に寄与することができる。
本発明の太陽電池用ガラス基板をCdTe太陽電池の裏板ガラスとして使用する場合、裏板ガラスの厚さは3mm以下とするのが好ましく、より好ましくは2mm以下、さらに好ましくは1.5mm以下である。
またCdTe太陽電池の製造において、CdTe層を有するガラス基板に裏板ガラスを組立てる方法は特に制限されないが、加熱して組立てる場合、その加熱温度を500〜700℃、好ましくは600〜700℃とすることができる。
本発明の太陽電池用ガラス基板をCdTe太陽電池のガラス基板および裏板ガラスに併用すると、平均熱膨張係数が同等であるため太陽電池組立時の熱変形等が発生せず好ましい。
次に、本発明のCIGS太陽電池について説明する。
本発明のCIGS太陽電池は、ガラス基板と、カバーガラスと、上記ガラス基板と上記カバーガラスとの間に配置されるCu−In−Ga−Seの光電変換層と、を有し、上記ガラス基板と上記カバーガラスのうち少なくとも上記ガラス基板が、本発明の太陽電池用ガラス基板であることを特徴とする。
図1は本発明のCIGS太陽電池の実施形態の一例を模式的に表す断面図である。図1において、本発明のCIGS太陽電池1は、ガラス基板5、カバーガラス19、およびガラス基板5とカバーガラス19との間にCIGS層9を有する。ガラス基板5は、上記で説明した本発明の太陽電池用ガラス基板であることが好ましい。太陽電池1はガラス基板5上にプラス電極7であるMo膜の裏面電極層を有し、その上にCIGS層9を有する。CIGS層の組成はCu(In1−xGax)Se2が例示できる。xはInとGaの組成比を示すもので0<x<1である。
本発明において、CIGS層の端部または太陽電池の端部は封止されていてもよい。封止するための材料としては、例えば本発明の太陽電池用ガラス基板と同じ材料、その他のガラス、樹脂等が挙げられる。
なお、添付の図面に示す太陽電池の各層の厚さは図面に限定されない。
CIGS太陽電池の製造方法におけるCIGS層の成膜工程以外のその他の工程、例えば、バッファ層や透明導電膜層の成膜等は、通常のCIGS太陽電池の製造方法の工程と同様に行えばよい。
次に、本発明のCdTe太陽電池について説明する。
本発明の太陽電池は、ガラス基板と、裏板ガラスと、上記ガラス基板と上記裏板ガラスとの間に配置されるCdTeの光電変換層(CdTe層)とを有し、上記ガラス基板と上記裏板ガラスのうち少なくとも上記ガラス基板が本発明の太陽電池用ガラス基板である。もしくは、上記太陽電池の構成において、裏板ガラスの代わりに、耐水性、耐酸素透過性をもつバックフィルムを用いた太陽電池でもよい。
図4は、本発明のCdTe太陽電池の実施形態の一例を模式的に表す断面図である。
図4において、本発明の太陽電池(CdTe太陽電池)21は、厚さ1〜3mmのガラス基板22、厚さ1〜3mmの裏板ガラス27、およびガラス基板22と裏板ガラス27との間に厚さ3〜15μmのCdTe層25を有する。CdTe層または透明導電膜を形成する際の加熱温度は500℃以上であり、好ましくは550℃以上、より好ましくは580℃以上、さらに好ましくは600℃以上、特に好ましくは620℃以上である。ガラス基板22は上記で説明した本発明の太陽電池用ガラス基板からなるのが好ましい。
CdTe太陽電池21は、ガラス基板22上に厚さ100〜1000nmの透明導電膜23を有する。CdTe層または透明導電膜を形成する際の加熱温度は500℃以上であり、好ましくは550℃以上、より好ましくは580℃以上、さらに好ましくは600℃以上、特に好ましくは620℃以上である。
なお、添付の図面に示す太陽電池の各層の厚さは図面に限定されない。
本発明の太陽電池用ガラス基板の実施例(例1〜13、17〜31)および比較例(例14〜16)を示す。
こうして得られたガラス板の平均熱膨張係数(単位:×10−7/℃)、ガラス転移点温度Tg(単位:℃)、密度(単位:g/cm3)、脆さ指標値(単位:m−1/2)、粘度が102dPa・sとなる温度(T2)(単位:℃)、粘度が104dPa・sとなる温度(T4)(単位:℃)、失透温度(TL)(単位:℃)、Na拡散量、発電効率を測定し、表1〜4に示した。以下に各物性の測定方法を示す。
この平均熱膨張係数は、示差熱膨張計(TMA)を用いて測定し、JIS R3102(1995年度)の規格より求めた。
(2)Tg:
Tgは、TMAを用いて測定した値であり、JIS R3103−3(2001年度)の規格により求めた。
密度は、ガラス板から切り出した、泡を含まない約20gのガラス塊をアルキメデス法によって測定した。
脆さ指標値は、前述の各種ガラス板の表面に打ち込んだビッカース圧痕の寸法と上記式(1)を用いて、脆さ指標値を算出する。
粘度は、回転粘度計を用いて測定し、粘度ηが102dPa・sとなるときの温度T2(溶解性の基準温度)と、粘度ηが104dPa・sとなるときの温度T4(成形性の基準温度)を測定した。
(6)失透温度(TL):
失透温度は、ガラス板から切り出したガラス塊5gを白金皿に置き、17時間電気炉中で保持した。保持したガラス塊表面および内部に結晶が析出しない温度の最低値を失透温度とした。
発電効率は、得られたガラス板を太陽電池用基板に用い、以下に示すように評価用太陽電池を作製し、これを用いて発電効率について評価を行った。結果を表1〜4に示す。
評価用太陽電池の作製について、図2、3およびその符号を用いて以下説明している。
なお、評価用太陽電池の層構成は、図1の太陽電池のカバーガラス19および反射防止膜17を有さない以外は、図1に示す太陽電池の層構成とほぼ同様である。
得られたガラス板を大きさ3cm×3cm、厚さ1.1mmに加工し、ガラス基板を得た。ガラス基板5aの上に、スパッタ装置にて、プラス電極7aとしてMo(モリブデン)膜を成膜した。成膜は室温にて実施し、厚み500nmのMo膜を得た。
プラス電極7a(Mo膜)上にスパッタ装置にて、CuGa合金ターゲットでCuGa合金層を成膜し、続いてInターゲットを使用してIn層を成膜することで、In−CuGaのプリカーサ膜を成膜した。成膜は室温にて実施した。蛍光X線によって測定したプリカーサ膜の組成が、Cu/(Ga+In)比が0.8、Ga/(Ga+In)比が0.25となるように各層の厚みを調整し、厚み650nmのプリカーサ膜を得た。
さらに、CdS層上にスパッタ装置にて、透明導電膜13aを以下の方法で成膜した。まず、ZnOターゲットを使用してZnO層を成膜し、次に、AZOターゲット(Al2O3を1.5wt%含有するZnOターゲット)を使用してAZO層を成膜した。各層の成膜は室温にて実施し、厚み480nmの2層構成の透明導電膜13aを得た。
透明導電膜13aのAZO層上にEB蒸着法により、U字型のマイナス電極15aとして膜厚1μmのアルミ膜を成膜した(ここにおいて、U字の電極長は、縦8mm、横4mm、電極幅は、0.5mm)。
ソーラーシミュレータ(山下電装株式会社製、YSS−T80A)に、評価用CIGS太陽電池(すなわち、上記8個のセルを作製した評価用ガラス基板5a)を設置し、あらかじめInGa溶剤を塗布したプラス電極7aにプラス端子(不図示)を、マイナス電極15aのU字の下端にマイナス端子16aを、それぞれ電圧発生器に接続した。ソーラーシミュレータ内の温度は25℃一定に温度調節機にて制御した。疑似太陽光を照射し、60秒後に、電圧を−1Vから+1Vまで0.015V間隔で変化させ、8個のセルのそれぞれの電流値を測定した。
なお、開放電圧(Voc)は端子を開放した時の出力であり、短絡電流(Isc)は短絡した時の電流である。短絡電流密度(Jsc)は、Iscをマイナス電極を除いたセルの面積で割ったものである。
また、最大の出力を与える点が最大出力点と呼ばれ、その点の電圧が最大電圧値(Vmax)、電流が最大電流値(Imax)と呼ばれる。最大電圧値(Vmax)と最大電流値(Imax)の掛け算の値を、開放電圧(Voc)と短絡電流(Isc)の掛け算の値で割った値が曲線因子(FF)として求められる。上記の値を使用し、発電効率を求めた。
Na拡散量は、ガラス基板のアルカリ拡散性の効果をみるために、上記発電効率評価における評価用太陽電池作製時のRTA装置を用いた加熱処理の第2段階終了直後において、Na拡散量を測定した。測定方法は以下のとおりである。
上記RTA装置による加熱処理の第2段階終了後、試料を二次イオン質量分析法(SIMS)にてCIGS層中の23Naの積分強度を測定する。表1〜4に記載した値は、例12で用いたガラス基板を100としたときの相対量である。
なお、本実施例におけるNa拡散量の計算値については、本実施例のうち実際にNa拡散量を測定したものについて、Na拡散量を各組成成分で重回帰分析することで回帰係数を求め計算したものである。
ガラス中のSO3残存量は100〜500ppmであった。
本発明の太陽電池用ガラス基板は、CIGS太陽電池またはCdTe太陽電池用のガラス基板だけでなく、カバーガラスや裏板ガラスにも使用することができ、さらに他の太陽電池用基板やカバーガラスに使用することもできる。
なお、2012年9月10日に出願された日本特許出願2012−198334号の明細書、特許請求の範囲、図面および要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
5、5a ガラス基板
7、7a プラス電極
9、9a CIGS層
11、11a バッファ層
13、13a 透明導電膜
15、15a マイナス電極
17 反射防止膜
19 カバーガラス
21 CdTe太陽電池
22 ガラス基板
23 透明導電膜
24 バッファ層
25 CdTe層
26 裏面電極
27 裏板ガラス
Claims (15)
- 下記酸化物基準の質量百分率表示で、
SiO2を50〜65%、
Al2O3を11〜15%、
B2O3を0〜1%、
MgOを0〜10%、
CaOを1〜12%、
SrOを6〜8.5%、
BaOを0〜3%、
ZrO2を3.5〜7%、
Na2Oを2〜8%、
K2Oを0〜8%、
MgO+CaO+SrO+BaOを15〜30%、含有し、
SrO/Na2Oが0.8〜2.1である太陽電池用ガラス基板。 - ガラス転移点温度が640℃以上である、請求項1に記載の太陽電池用ガラス基板。
- 50〜350℃における平均熱膨張係数が70×10−7〜90×10−7/℃である、請求項1または2に記載の太陽電池用ガラス基板。
- 粘度が104dPa・sとなる温度(T4)が1230℃以下、粘度が102dPa・sとなる温度(T2)が1650℃以下、前記T4と失透温度(TL)との関係がT4−TL≧−30℃である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- 密度が2.75g/cm3以下である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- Al2O3の含有量が11〜14.5%である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- CaOの含有量が3〜11%である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- CaOの含有量が3〜10%である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- Na2Oの含有量が4〜7%である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- MgO+CaO+SrO+BaOの含有量の和が17〜23%である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- BaOの含有量が2%以下である、請求項1〜10のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- SiO2とAl2O3とは、9SiO2+15Al2O3の式で表される値が570%〜840%の範囲で含有されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- Na2OとK2Oとは、3Na2O+2K2Oの式で表される値が14%〜44%の範囲で含有されている、請求項1〜12のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板。
- ガラス基板と、カバーガラスと、前記ガラス基板と前記カバーガラスとの間に配置されるCu−In−Ga−Seの光電変換層と、を有し、前記ガラス基板と前記カバーガラスのうち少なくとも前記ガラス基板が、請求項1〜13のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板であるCu−In−Ga−Se太陽電池。
- ガラス基板と、裏板ガラスと、前記ガラス基板と前記裏板ガラスとの間に配置されるCdTeの光電変換層と、を有し、前記ガラス基板と前記裏板ガラスのうち少なくとも前記ガラス基板が、請求項1〜13のいずれか一項に記載の太陽電池用ガラス基板であるCdTe太陽電池。
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