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JP6155707B2 - Liquid ejection device - Google Patents

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JP6155707B2
JP6155707B2 JP2013045429A JP2013045429A JP6155707B2 JP 6155707 B2 JP6155707 B2 JP 6155707B2 JP 2013045429 A JP2013045429 A JP 2013045429A JP 2013045429 A JP2013045429 A JP 2013045429A JP 6155707 B2 JP6155707 B2 JP 6155707B2
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pressure chamber
pressure
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pressure chambers
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恭裕 関口
孝正 臼井
孝正 臼井
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Brother Industries Ltd
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejection device that ejects liquid.

特許文献1には、液体吐出装置として、ノズルからインクの液滴を吐出するインクジェットヘッドが開示されている。特許文献1に記載のインクジェットヘッドは、流路ユニットと圧電アクチュエータとを備えている。流路ユニットには、複数のノズルと、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、を含むインク流路が形成されている。圧電アクチュエータは、複数の圧力室を覆う圧電層と、圧電層の上面において複数の圧力室にそれぞれ対応して配置された複数の個別電極と、圧電層の下面に配置された共通電極と、を有する。   Patent Document 1 discloses an ink jet head that ejects ink droplets from nozzles as a liquid ejecting apparatus. The inkjet head described in Patent Document 1 includes a flow path unit and a piezoelectric actuator. In the flow path unit, an ink flow path including a plurality of nozzles and a plurality of pressure chambers communicating with the plurality of nozzles is formed. The piezoelectric actuator includes a piezoelectric layer that covers a plurality of pressure chambers, a plurality of individual electrodes that are respectively disposed on the upper surface of the piezoelectric layer so as to correspond to the plurality of pressure chambers, and a common electrode that is disposed on the lower surface of the piezoelectric layer. Have.

個別電極と共通電極が同電位とされている状態から、個別電極と共通電極との間に電位差が生じると、個別電極と共通電極に挟まれた圧電層の活性部が面方向に収縮する。これに伴って、個別電極に対応する圧力室と対向する領域において、平坦な圧電層が圧力室側に凸となるように変形する。また、個別電極と共通電極との間に電位差が生じており、圧電層が圧力室側に凸となった状態から、個別電極と共通電極とが同電位となると、圧電層は凸となった状態から平坦な状態に変形する。このような圧電層の変形を利用してインクを吐出させる方式としては、いわゆる引き打ち方式と押し打ち方式がある。引き打ち方式は、圧力室の容積を一旦増大させ、その後、圧力室の容積を減少させることにより、容積増大時及び減少時に発生した圧力波を重畳し、重畳した圧力波により圧力室のインクに吐出エネルギーを付与する方式である。押し打ち方式は、圧力室の容積を減少させて発生した圧力波により圧力室のインクに吐出エネルギーを付与する方式である。   When a potential difference is generated between the individual electrode and the common electrode from the state where the individual electrode and the common electrode are at the same potential, the active portion of the piezoelectric layer sandwiched between the individual electrode and the common electrode contracts in the surface direction. Along with this, in a region facing the pressure chamber corresponding to the individual electrode, the flat piezoelectric layer is deformed so as to protrude toward the pressure chamber. In addition, there is a potential difference between the individual electrode and the common electrode, and when the individual electrode and the common electrode have the same potential from the state where the piezoelectric layer is convex toward the pressure chamber, the piezoelectric layer becomes convex. It transforms from a state to a flat state. As a method for ejecting ink using such deformation of the piezoelectric layer, there are a so-called pulling method and a pushing method. In the striking method, the pressure chamber volume is temporarily increased and then the pressure chamber volume is decreased to superimpose the pressure waves generated when the volume is increased and decreased, and the superimposed pressure waves are applied to the ink in the pressure chamber. This is a method of applying discharge energy. The pushing method is a method in which ejection energy is applied to ink in a pressure chamber by a pressure wave generated by reducing the volume of the pressure chamber.

特開2011−212901号公報JP 2011-212901 A

特許文献1に開示されているようなインクジェットヘッドにおいて、隣接する複数のノズルから同時にインクを吐出したときの各ノズルの吐出量が、特定の1つのノズルからインクを吐出したときの吐出量よりも少なくなることが知られている。   In the inkjet head as disclosed in Patent Document 1, the ejection amount of each nozzle when ink is ejected simultaneously from a plurality of adjacent nozzles is greater than the ejection amount when ink is ejected from a specific nozzle. It is known to decrease.

例えば、インクジェットプリンタにおいて、高い濃度でベタ印字を行う場合に、各ノズルからのインクの吐出量を多くしたい。ベタ印字を行う場合、多数のノズルから同時にインクが吐出されるため、各ノズルからのインクの吐出量が少なくなる。一方、細い線などの微細なパターンを印字する場合に、各ノズルからのインクの吐出量を少なくしたい。しかしながら、微細なパターンを印字する場合は、隣接するノズルからはインクが吐出されない場合が多いため、各ノズルからのインクの吐出量が多くなる。   For example, when performing solid printing at a high density in an ink jet printer, it is desired to increase the amount of ink discharged from each nozzle. When solid printing is performed, ink is ejected simultaneously from a large number of nozzles, so the amount of ink ejected from each nozzle is reduced. On the other hand, when printing a fine pattern such as a thin line, it is desired to reduce the amount of ink discharged from each nozzle. However, when printing a fine pattern, ink is often not ejected from adjacent nozzles, and the amount of ink ejected from each nozzle increases.

本発明の目的は、隣接する複数のノズルから同時に液体を吐出する場合の各ノズルの吐出量が、1つのノズルから液体を吐出する場合の吐出量よりも少なくなるという問題を改善することである。   An object of the present invention is to improve the problem that the discharge amount of each nozzle when discharging liquid simultaneously from a plurality of adjacent nozzles is smaller than the discharge amount when discharging liquid from one nozzle. .

本発明の液体吐出装置は、第1の観点では、液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室が所定方向に配列されることで形成された圧力室列の前記所定方向の端に隣接し、前記圧力室と同じ大きさであって前記ノズルと連通していない孔とが形成された流路構造体と、前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記孔を覆うように配置され、且つ、前記複数の圧力室の配置平面に沿って延在する圧電層と、前記圧電層に配置され、且つ、前記複数の圧力室とそれぞれ対応する複数の駆動電極と、前記圧電層に配置され、且つ、前記孔と対応する孔用電極と、前記複数の駆動電極及び前記孔用電極の電位を変化させる駆動装置と、を有し、前記複数の駆動電極は、それぞれ、対応する前記圧力室と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第1部分と、対応する前記圧力室に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第2部分と、を有し、前記孔用電極は、対応する前記孔と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第3部分と、対応する前記孔に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第4部分と、を有し、前記圧電層は、複数の前記第1部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第1活性部と、複数の前記第2部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第2活性部と、前記第3部分と前記直交する方向において重なる第3活性部と、前記第4部分と前記直交する方向において重なる第4活性部と、を有することを特徴とする。
また、本発明の液体吐出装置は、第2の観点では、液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とが形成された流路構造体と、前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を覆うように配置され、且つ、前記複数の圧力室の配置平面に沿って延在する圧電層と、前記圧電層に配置され、且つ、前記複数の圧力室とそれぞれ対応する複数の駆動電極と、前記複数の駆動電極の電位を変化させる駆動装置と、を有し、前記複数の駆動電極は、それぞれ、対応する前記圧力室と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第1部分と、対応する前記圧力室に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第2部分と、を有し、前記圧電層は、複数の前記第1部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第1活性部と、複数の前記第2部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第2活性部と、を有し、前記複数の圧力室は、前記圧力室が所定方向に複数配列されることで形成された圧力室列が前記所定方向と交差する方向に複数並ぶように配列されており、前記第2部分は、対応する前記圧力室が属する前記圧力室列に属し当該対応する圧力室に前記所定方向において隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なり、前記圧力室は、前記所定方向と直交する方向に延在していることを特徴とする。
In a first aspect , the liquid ejection device of the present invention includes a plurality of nozzles that eject liquid, a plurality of pressure chambers that communicate with the plurality of nozzles, and the plurality of pressure chambers arranged in a predetermined direction. A flow channel structure that is adjacent to the end in the predetermined direction of the pressure chamber row formed by the hole and is formed with a hole that is the same size as the pressure chamber and that does not communicate with the nozzle ; and the flow channel structure A piezoelectric actuator provided on a body, wherein the piezoelectric actuator is disposed so as to cover the plurality of pressure chambers and the hole , and extends along a plane in which the plurality of pressure chambers are disposed. A plurality of drive electrodes disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the plurality of pressure chambers, respectively , a hole electrode disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the hole, and the plurality of drive electrodes and changes the potential of the hole for the electrode Each of the plurality of drive electrodes is adjacent to the corresponding pressure chamber and a first portion that overlaps the corresponding pressure chamber in a direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer. A second portion that overlaps with the pressure chamber in the orthogonal direction, and the hole electrode has a corresponding third hole that overlaps with the corresponding hole and a direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer. A fourth portion that overlaps the pressure chamber adjacent to the first chamber in the orthogonal direction, and the piezoelectric layer includes a plurality of first active portions that overlap the plurality of first portions in the orthogonal direction, and a plurality of first active portions. wherein a second portion and a plurality of second active portion that overlaps in each direction the perpendicular, the third active portion that overlaps the third portion and the orthogonal direction, a direction odor the perpendicular to the fourth portion of the And having a fourth active portions overlapping, the.
Further, according to a second aspect, the liquid ejection device of the present invention includes a flow channel structure in which a plurality of nozzles that eject liquid and a plurality of pressure chambers that respectively communicate with the plurality of nozzles are formed. A piezoelectric actuator provided on the path structure, wherein the piezoelectric actuator is disposed so as to cover the plurality of pressure chambers, and extends along an arrangement plane of the plurality of pressure chambers. A plurality of drive electrodes disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the plurality of pressure chambers, respectively, and a drive device that changes the potential of the plurality of drive electrodes, and the plurality of drive electrodes includes: Each has a first portion that overlaps with the corresponding pressure chamber in a direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer, and a second portion that overlaps with the pressure chamber adjacent to the corresponding pressure chamber in the orthogonal direction. And before The piezoelectric layer has a plurality of first active portions that overlap with the plurality of first portions in the orthogonal direction, and a plurality of second active portions that overlap with the plurality of second portions in the orthogonal direction, respectively. The plurality of pressure chambers are arranged such that a plurality of pressure chamber rows formed by arranging a plurality of pressure chambers in a predetermined direction are arranged in a direction intersecting the predetermined direction, and the second portion Is overlapped in the direction orthogonal to the pressure chamber belonging to the pressure chamber row to which the corresponding pressure chamber belongs and adjacent to the corresponding pressure chamber in the predetermined direction, and the pressure chamber is orthogonal to the predetermined direction It is characterized by extending.

本発明の液体吐出装置の第1の観点によると、隣接する複数の圧力室のうち、1つの圧力室に対応するノズルから液体を吐出させる場合、1つの圧力室と前記直交する方向において重なる第1活性部は、変形するが、第2活性部は、そのままの状態である。隣接する複数の圧力室に対応するノズルから液体を吐出させる場合、圧力室と前記直交する方向において重なる第1活性部、第2活性部ともに変形する。第2活性部が変形する分、先の場合と比べて、各圧力室の容積の変化量が大きくなる。つまり、隣接する複数の圧力室に対応する複数のノズルから液体を同時に吐出する場合に比べて、1つの圧力室に対応するノズルから液体を吐出する場合の圧力室の容積の変化量が小さくなる。このため、隣接する複数のノズルから同時に液体を吐出する場合の各ノズルの吐出量が、1つのノズルから液体を吐出する場合の吐出量よりも少なくなるという問題を改善することができる。
また、圧力室列の端に隣接する孔に対応する孔用電極を設けている。孔用電極は、対応する孔に隣接する圧力室と厚み方向において重なる第4部分を有している。このため、圧力室列の端の圧力室は、厚み方向において第1部分、第2部分、第4部分と重なっている。従って、圧力室列の端の圧力室は、第1部分、第1部分の両側に配置された第2部分と厚み方向において重なっている他の圧力室と電極配置が同じとなり、他の圧力室とインクを吐出する条件が同じとなる。
また、本発明の液体吐出装置の第2の観点によると、所定方向において隣接する複数の圧力室のうち、1つの圧力室に対応するノズルから液体を吐出させる場合、1つの圧力室と前記直交する方向において重なる第1活性部は、変形するが、第2活性部は、そのままの状態である。所定方向において隣接する複数の圧力室に対応するノズルから液体を吐出させる場合、圧力室と前記直交する方向において重なる第1活性部、第2活性部ともに変形する。第2活性部が変形する分、先の場合と比べて、各圧力室の容積の変化量が大きくなる。つまり、同じ圧力室列に属し所定方向において隣接する複数の圧力室に対応する複数のノズルから液体を同時に吐出する場合に比べて、1つの圧力室に対応するノズルから液体を吐出する場合の圧力室の容積の変化量が小さくなる。このため、所定方向において隣接する複数のノズルから同時に液体を吐出する場合の各ノズルの吐出量が、1つのノズルから液体を吐出する場合の吐出量よりも少なくなるという問題を改善することができる。


According to the first aspect of the liquid ejection device of the present invention , when liquid is ejected from a nozzle corresponding to one pressure chamber among a plurality of adjacent pressure chambers, the first pressure chamber overlaps in the orthogonal direction. The first active part is deformed, but the second active part remains as it is. When liquid is ejected from nozzles corresponding to a plurality of adjacent pressure chambers, both the first active portion and the second active portion that overlap the pressure chamber in the orthogonal direction are deformed. Since the second active part is deformed, the amount of change in the volume of each pressure chamber is larger than in the previous case. That is, the amount of change in the volume of the pressure chamber when the liquid is discharged from the nozzles corresponding to one pressure chamber is smaller than when the liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles corresponding to the plurality of adjacent pressure chambers. . For this reason, the problem that the discharge amount of each nozzle when simultaneously discharging liquid from a plurality of adjacent nozzles is smaller than the discharge amount when discharging liquid from one nozzle can be improved.
Moreover, the hole electrode corresponding to the hole adjacent to the end of the pressure chamber row is provided. The hole electrode has a fourth portion overlapping with the pressure chamber adjacent to the corresponding hole in the thickness direction. For this reason, the pressure chamber at the end of the pressure chamber row overlaps the first portion, the second portion, and the fourth portion in the thickness direction. Accordingly, the pressure chamber at the end of the pressure chamber row has the same electrode arrangement as the other pressure chambers overlapping in the thickness direction with the first portion, the second portion arranged on both sides of the first portion, and the other pressure chambers. And the conditions for ejecting ink are the same.
According to the second aspect of the liquid ejection apparatus of the present invention, when a liquid is ejected from a nozzle corresponding to one pressure chamber among a plurality of pressure chambers adjacent in a predetermined direction, the pressure chamber is orthogonal to the one pressure chamber. The first active part that overlaps in the direction to be deformed is deformed, but the second active part remains as it is. When liquid is ejected from nozzles corresponding to a plurality of pressure chambers adjacent in a predetermined direction, both the first active portion and the second active portion that overlap the pressure chamber in the orthogonal direction are deformed. Since the second active part is deformed, the amount of change in the volume of each pressure chamber is larger than in the previous case. That is, compared with the case where liquid is simultaneously discharged from a plurality of nozzles corresponding to a plurality of pressure chambers belonging to the same pressure chamber row and adjacent in a predetermined direction, the pressure when liquid is discharged from nozzles corresponding to one pressure chamber The amount of change in the chamber volume is reduced. For this reason, the problem that the discharge amount of each nozzle when simultaneously discharging liquid from a plurality of nozzles adjacent in a predetermined direction is smaller than the discharge amount when discharging liquid from one nozzle can be improved. .


本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。1 is a schematic plan view of an ink jet printer according to an embodiment of the present invention. インクジェットヘッドの平面図である。It is a top view of an inkjet head. 図2の一部拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2. 図3のIV-IV線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3. 図3のV-V線断面図である。It is the VV sectional view taken on the line of FIG. 従来の引き打ち方式での圧電アクチュエータの動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the piezoelectric actuator by the conventional striking method. 引き打ち方式での圧電アクチュエータの動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the piezoelectric actuator by a pulling method. 従来の押し打ち方式での圧電アクチュエータの動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the piezoelectric actuator by the conventional pushing method. 押し打ち方式での圧電アクチュエータの動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing of the piezoelectric actuator by a pushing method. 変形例に係る圧電アクチュエータを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the piezoelectric actuator which concerns on a modification.

以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置としてのインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。図1は、本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。インクジェットプリンタ1は、水平方向に沿って設置された場合、紙面垂直方向の手前側が上方となり、紙面垂直方向の奥側が下方となる。以下、水平方向に沿って設置された状態におけるインクジェットプリンタ1について説明する。左右方向、前後方向を図示の方向として説明し、左右方向、前後方向は、水平方向とそれぞれ平行である。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、記録用紙100に画像等を記録するプリンタ部2、プリンタ部2の後述するインクジェットヘッド5のメンテナンスを行うメンテナンスユニット3等を備えている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. This embodiment is an example in which the present invention is applied to an ink jet printer as a liquid ejection apparatus. FIG. 1 is a schematic plan view of the ink jet printer according to the present embodiment. When the inkjet printer 1 is installed along the horizontal direction, the near side in the vertical direction on the paper surface is the upper side, and the far side in the vertical direction on the paper surface is the lower side. Hereinafter, the ink jet printer 1 in a state of being installed along the horizontal direction will be described. The left-right direction and the front-rear direction are described as the illustrated directions, and the left-right direction and the front-rear direction are parallel to the horizontal direction. As shown in FIG. 1, the inkjet printer 1 includes a printer unit 2 that records an image or the like on a recording paper 100, a maintenance unit 3 that performs maintenance of an inkjet head 5 (to be described later) of the printer unit 2, and the like.

プリンタ部2は、所定の走査方向、ここでは、左右方向に往復移動可能なキャリッジ4、キャリッジ4に搭載されたインクジェットヘッド5、記録用紙100を水平方向に沿って所定の走査方向に直交する搬送方向、すなわち、前方に搬送する搬送機構6等を有する。プリンタ筐体7内には、記録用紙100を支持するプラテン8が水平方向に沿って設置されている。プラテン8の上方には、走査方向に平行に延びる2つのガイドレール9、10が設けられている。キャリッジ4は、図示しないキャリッジ駆動モータにより駆動されることによって、プラテン8上の記録用紙100と対向する領域において、2本のガイドレール9、10に沿って走査方向に移動する。   The printer unit 2 conveys a carriage 4 that can reciprocate in a predetermined scanning direction, in this case, a left and right direction, an inkjet head 5 mounted on the carriage 4, and a recording paper 100 perpendicular to the predetermined scanning direction along the horizontal direction. It has the conveyance mechanism 6 etc. which convey to a direction, ie, the front. A platen 8 that supports the recording paper 100 is installed in the printer housing 7 along the horizontal direction. Two guide rails 9 and 10 extending in parallel with the scanning direction are provided above the platen 8. The carriage 4 is moved in the scanning direction along the two guide rails 9 and 10 in a region facing the recording paper 100 on the platen 8 by being driven by a carriage drive motor (not shown).

インクジェットヘッド5は、プラテン8との間に隙間を有する状態でキャリッジ4の下部に水平方向に沿って取り付けられている。インクジェットヘッド5の下面は図2に示す複数のノズル20が開口した液滴吐出面となっている。キャリッジ4に搭載されたインクジェットヘッド5は、インクカートリッジホルダ11と図示しないチューブによって接続されている。インクカートリッジホルダ11に装着された4つのインクカートリッジ12a、12b、12c、12dにそれぞれ貯留されたブラック、マゼンタ、シアン、イエローの4色のインクが、チューブを介してインクジェットヘッド5にそれぞれ供給される。   The inkjet head 5 is attached along the horizontal direction to the lower part of the carriage 4 with a gap between the inkjet head 5 and the platen 8. The lower surface of the inkjet head 5 is a droplet discharge surface in which a plurality of nozzles 20 shown in FIG. 2 are opened. The ink jet head 5 mounted on the carriage 4 is connected to the ink cartridge holder 11 by a tube (not shown). Black, magenta, cyan, and yellow inks respectively stored in the four ink cartridges 12a, 12b, 12c, and 12d mounted on the ink cartridge holder 11 are supplied to the inkjet head 5 through the tubes. .

インクジェットヘッド5は、キャリッジ4とともに、プラテン8上を搬送される記録用紙100と対向する範囲だけでなく、対向する範囲から左右外側に外れた位置まで移動する。記録用紙100と対向する範囲よりも右側の位置は、インクジェットヘッド5を使用しないときにキャリッジ4が待機する待機位置である。インクジェットヘッド5は、待機位置に到達したときに、下側に配置されている後述のメンテナンスユニット3と対向する。   The ink jet head 5 moves together with the carriage 4 not only in a range facing the recording paper 100 conveyed on the platen 8 but also to a position outside the left and right sides from the facing range. The position on the right side of the range facing the recording paper 100 is a standby position where the carriage 4 stands by when the inkjet head 5 is not used. When the inkjet head 5 reaches the standby position, the inkjet head 5 faces a later-described maintenance unit 3 disposed on the lower side.

搬送機構6は、プラテン8及びキャリッジ4を挟むように前後に配置された2つの搬送ローラ13、14を有する。搬送ローラ13、14は、図示しない搬送モータによってそれぞれ駆動され、インクジェットヘッド5とプラテン8の間において、記録用紙100を搬送方向へ搬送する。   The transport mechanism 6 includes two transport rollers 13 and 14 arranged in the front and rear so as to sandwich the platen 8 and the carriage 4. The conveyance rollers 13 and 14 are respectively driven by a conveyance motor (not shown), and convey the recording paper 100 in the conveyance direction between the inkjet head 5 and the platen 8.

以上のとおり説明したプリンタ部2は、プラテン8上の記録用紙100に対して、キャリッジ4を走査方向に移動させつつインクジェットヘッド5からインクを吐出させる一方で、2つの搬送ローラ13、14によって記録用紙100を搬送方向に搬送することにより、記録用紙100に所望の画像や文字などを記録するように構成されている。   The printer unit 2 described above discharges ink from the inkjet head 5 while moving the carriage 4 in the scanning direction on the recording paper 100 on the platen 8, while recording by the two transport rollers 13 and 14. By transporting the paper 100 in the transport direction, a desired image or character is recorded on the recording paper 100.

メンテナンスユニット3は、プラテン8の右側の位置、すなわち、待機位置において待機しているインクジェットヘッド5と対向する位置に配置されている。メンテナンスユニット3は、ワイパー15、キャップ16、吸引ポンプ17等を有する。   The maintenance unit 3 is disposed at a position on the right side of the platen 8, that is, a position facing the inkjet head 5 waiting at the standby position. The maintenance unit 3 includes a wiper 15, a cap 16, a suction pump 17, and the like.

キャップ15は、モータ等の駆動源とギヤ等の動力伝達機構によって構成された図示しないキャップ駆動部によって昇降駆動される。キャップ15は、キャップ駆動部により上方へ移動し、インクジェットヘッド5の液滴吐出面に密着することによって複数のノズル20の開口を覆うキャッピングを行う。吸引ポンプ16は、キャップ15に接続されている。吸引ポンプ16は、キャップ15のキャッピング状態で、キャップ15内の空気を吸引して内部を減圧することで、複数のノズル20からキャップ15内へインクを強制的に排出する吸引パージを行う。吸引パージによって、インクに混入している気泡や塵、あるいは、増粘したインク等が排出される。これにより、ノズル20の吐出異常の発生が防止され、吐出異常が発生した場合にはその吐出性能が回復される。ワイパー17は、キャップ15の左側に設けられている。ワイパー17は、吸引パージ後にインクジェットヘッド5が待機位置からプラテン8側へ移動する際に、液滴吐出面に付着したインクを拭き取るワイピングを行う。   The cap 15 is driven up and down by a cap drive unit (not shown) configured by a drive source such as a motor and a power transmission mechanism such as a gear. The cap 15 is moved upward by the cap drive unit, and performs capping to cover the openings of the plurality of nozzles 20 by being in close contact with the droplet discharge surface of the inkjet head 5. The suction pump 16 is connected to the cap 15. The suction pump 16 performs suction suction for forcibly discharging ink from the plurality of nozzles 20 into the cap 15 by sucking air in the cap 15 and reducing the pressure inside the cap 15 in the capped state. By the suction purge, bubbles and dust mixed in the ink or ink having increased viscosity is discharged. As a result, the occurrence of a discharge abnormality of the nozzle 20 is prevented, and when a discharge abnormality occurs, the discharge performance is recovered. The wiper 17 is provided on the left side of the cap 15. The wiper 17 performs wiping to wipe off ink adhering to the droplet discharge surface when the inkjet head 5 moves from the standby position to the platen 8 side after the suction purge.

次に、インクジェットヘッド5について説明する。図2は、インクジェットヘッド5の平面図である。図3は、図2の一部拡大図である。図4は、図3のIV-IV線断面図である。図2〜図4に示すように、インクジェットヘッド5は、複数のノズル20、複数の圧力室21等のインク流路が形成された流路ユニット18と、圧力室21内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ19と、を備えている。   Next, the inkjet head 5 will be described. FIG. 2 is a plan view of the inkjet head 5. FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the inkjet head 5 applies pressure to the ink in the pressure chamber 21 and the flow path unit 18 in which the ink flow paths such as the plurality of nozzles 20 and the plurality of pressure chambers 21 are formed. And a piezoelectric actuator 19 for performing the above operation.

図4に示すように、流路ユニット18は、それぞれ、インク流路の一部が形成された、キャビティプレート22、ベースプレート23、マニホールドプレート24、ノズルプレート25を有する。流路ユニット18は、4枚のプレート22〜25が上下に積層された構造である。4枚のプレート22〜25は、接着剤によって互いに接合されている。最下層のノズルプレート25を除く3枚のプレート22〜24は、それぞれ、ステンレス鋼やニッケル合金鋼等の金属材料で形成されている。最下層のノズルプレート25は、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成されている。   As shown in FIG. 4, the flow path unit 18 includes a cavity plate 22, a base plate 23, a manifold plate 24, and a nozzle plate 25 in which a part of the ink flow path is formed. The flow path unit 18 has a structure in which four plates 22 to 25 are stacked one above the other. The four plates 22 to 25 are joined together by an adhesive. The three plates 22 to 24 excluding the lowermost nozzle plate 25 are each formed of a metal material such as stainless steel or nickel alloy steel. The lowermost nozzle plate 25 is formed of a synthetic resin material such as polyimide.

図2に示すように、4枚のプレート22〜25の積層体である流路ユニット18は、それぞれ、インクカードリッジ12a〜12dとチューブで接続されるインク供給口26と、インク供給口26にそれぞれ連通し、所定方向、ここでは、搬送方向に延びるマニホールド27と、マニホールド27から圧力室21を介してノズル20に至る多数の個別インク流路28と、を有する。インク供給口26を介して、左側から、マニホールド27に、ブラック、マゼンタ、シアン、イエローのインクが供給される。ブラックインクは、顔料を含むインクである。マゼンタインク、シアンインク、イエローインクは、染料を含むインクである。   As shown in FIG. 2, the flow path unit 18, which is a laminate of four plates 22 to 25, is connected to the ink supply ports 26 and the ink supply ports 26 connected to the ink cartridges 12a to 12d by tubes, respectively. Each has a manifold 27 that communicates with each other and extends in a predetermined direction, here, in the transport direction, and a large number of individual ink flow paths 28 from the manifold 27 to the nozzles 20 through the pressure chambers 21. Black, magenta, cyan, and yellow inks are supplied to the manifold 27 from the left side through the ink supply port 26. Black ink is ink containing a pigment. Magenta ink, cyan ink, and yellow ink are inks containing a dye.

流路ユニット18の最下層のノズルプレート25には、複数のノズル20が搬送方向に所定ピッチで形成されている。複数のノズル20は、搬送方向と直交する走査方向に並んで4列のノズル列を構成している。最上層に位置するキャビティプレート22には、ノズル20と同様に所定ピッチで配列された複数の圧力室21が形成されている。複数の圧力室21は、4列の圧力室列37を構成している。すなわち、インク流路は、複数の圧力室21が搬送方向に配列されることによってそれぞれ形成され、搬送方向に直交する走査方向に並んだ複数の圧力室列37を有する。ここで、「複数の圧力室21が搬送方向に並ぶ」とは、一つの圧力室列37を構成する複数の圧力室21が、搬送方向において重なっていることを意味する。圧力室21は、走査方向に延在している。   In the lowermost nozzle plate 25 of the flow path unit 18, a plurality of nozzles 20 are formed at a predetermined pitch in the transport direction. The plurality of nozzles 20 form four nozzle rows side by side in the scanning direction orthogonal to the transport direction. A plurality of pressure chambers 21 arranged at a predetermined pitch are formed in the cavity plate 22 located in the uppermost layer, like the nozzle 20. The plurality of pressure chambers 21 constitute four rows of pressure chambers 37. That is, the ink flow path is formed by arranging the plurality of pressure chambers 21 in the transport direction, and has a plurality of pressure chamber rows 37 arranged in the scanning direction orthogonal to the transport direction. Here, “a plurality of pressure chambers 21 arranged in the transport direction” means that the plurality of pressure chambers 21 constituting one pressure chamber row 37 overlap in the transport direction. The pressure chamber 21 extends in the scanning direction.

圧力室列37の搬送方向の両端には、圧力室21と同じ大きさの孔38が形成されている。孔38は、ノズル20とは連通していないため、孔38からノズル20を介してインクは吐出されない。   Holes 38 having the same size as the pressure chambers 21 are formed at both ends of the pressure chamber row 37 in the transport direction. Since the hole 38 is not in communication with the nozzle 20, ink is not ejected from the hole 38 through the nozzle 20.

図4に示すように、キャビティプレート22とノズルプレート25の間の2枚のプレート23、24には、圧力室21とノズル20とを連通させる連通流路29が形成されている。図2に示すように、キャビティプレート22の搬送方向における一端部、ここでは、後端部には、インクカートリッジ12a〜12dとチューブを介してそれぞれ接続される、インク供給口26が形成されている。   As shown in FIG. 4, a communication channel 29 that connects the pressure chamber 21 and the nozzle 20 is formed in the two plates 23 and 24 between the cavity plate 22 and the nozzle plate 25. As shown in FIG. 2, an ink supply port 26 is formed at one end in the conveyance direction of the cavity plate 22, here the rear end, connected to the ink cartridges 12 a to 12 d via tubes. .

図4に示すように、マニホールドプレート24には、マニホールドプレート24を厚み方向に貫通し、且つ、搬送方向に延びる長孔30が形成されている。長孔30が上側のベースプレート23と下側のノズルプレート24によって、プレート22〜25の厚み方向、すなわち、上下方向から塞がれることにより、マニホールド27が構成される。   As shown in FIG. 4, the manifold plate 24 is formed with a long hole 30 that penetrates the manifold plate 24 in the thickness direction and extends in the transport direction. The long hole 30 is blocked by the upper base plate 23 and the lower nozzle plate 24 from the thickness direction of the plates 22 to 25, that is, the vertical direction, thereby forming the manifold 27.

図2に示すように、マニホールド27は、ノズル列に沿って搬送方向に延在しており、1列の圧力室列37にそれぞれ属する圧力室21と連通している。つまり、マニホールド27は、1列の圧力室列37、すなわち、1列のノズル列に対してインクを供給する。   As shown in FIG. 2, the manifold 27 extends in the transport direction along the nozzle row, and communicates with the pressure chambers 21 belonging to the one pressure chamber row 37. That is, the manifold 27 supplies ink to one pressure chamber row 37, that is, one nozzle row.

図4に示すように、キャビティプレート22とマニホールドプレート24との間に位置するベースプレート23には、マニホールド30と、これに対応する1列の圧力室列37に属する圧力室21と、を連通させるための連通流路31が形成されている。   As shown in FIG. 4, the base plate 23 located between the cavity plate 22 and the manifold plate 24 communicates the manifold 30 and the pressure chambers 21 belonging to one row of pressure chambers 37 corresponding thereto. For this purpose, a communication channel 31 is formed.

以上説明した4枚のプレート22〜25が積層した状態で接合されることにより、図4に示すように、流路ユニット18内に、インク供給口26からマニホールド27に至るインク流路と、マニホールド27から圧力室21を経由してノズル20に至る、多数の個別インク流路28と、が形成される。すなわち、流路ユニット18には、インクの液滴を吐出する複数のノズル20と、複数のノズル20にそれぞれ連通する複数の圧力室21と、を含むインク流路が形成されている。複数の圧力室21は、板状のキャビティプレート22に形成されることによって、平面的に配置されている。   By joining the four plates 22 to 25 described above in a stacked state, as shown in FIG. 4, an ink flow path from the ink supply port 26 to the manifold 27, and a manifold in the flow path unit 18. A large number of individual ink flow paths 28 are formed from 27 to the nozzle 20 via the pressure chamber 21. In other words, the flow path unit 18 is formed with an ink flow path that includes a plurality of nozzles 20 that eject ink droplets and a plurality of pressure chambers 21 that respectively communicate with the plurality of nozzles 20. The plurality of pressure chambers 21 are planarly arranged by being formed in the plate-like cavity plate 22.

次に、圧電アクチュエータ19について説明する。図5(a)は、図3のIV-IV線断面図である。図5(b)は、図5(a)の一部拡大図である。図2〜図5に示すように、圧電アクチュエータ19は、流路ユニット18に設けられている。具体的には、流路ユニット18の一表面、ここでは、上面に加熱接着されている。圧電アクチュエータ19は、振動板32と、圧電層33、34と、共通電極35と、個別電極36と、孔用電極49と、ドライバIC40と、を備えている。詳細は後述するが、圧電アクチュエータ19は、個別電極36により圧電層33、34を変形させることで、圧力室21に対応するノズル20からインクを吐出させる。   Next, the piezoelectric actuator 19 will be described. FIG. 5A is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5B is a partially enlarged view of FIG. As shown in FIGS. 2 to 5, the piezoelectric actuator 19 is provided in the flow path unit 18. Specifically, it is heat bonded to one surface, here the upper surface, of the flow path unit 18. The piezoelectric actuator 19 includes a diaphragm 32, piezoelectric layers 33 and 34, a common electrode 35, an individual electrode 36, a hole electrode 49, and a driver IC 40. Although details will be described later, the piezoelectric actuator 19 causes the individual layers 36 to deform the piezoelectric layers 33 and 34 to discharge ink from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21.

振動板32は、流路ユニット18を構成するキャビティプレート22の上面に接着剤により接着されている。振動板32は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。振動板32は、流路ユニット18の上面に複数の圧力室21を覆うように接着されている。   The diaphragm 32 is bonded to the upper surface of the cavity plate 22 constituting the flow path unit 18 with an adhesive. The diaphragm 32 is a substantially rectangular metal plate in plan view, and is made of, for example, an iron-based alloy such as stainless steel, a copper-based alloy, a nickel-based alloy, or a titanium-based alloy. The diaphragm 32 is bonded to the upper surface of the flow path unit 18 so as to cover the plurality of pressure chambers 21.

振動板32の上面、すなわち、圧力室21と反対側の面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主成分とする、圧電材料からなる圧電層33が接着剤により接着されている。圧電層33の上面には、後述する複数の第1活性部44、複数の第2活性部45、46、第3活性部53、第4活性部54を有する圧電層34が配置されている。圧電層33、34は、複数の圧力室21を覆うように配置され、且つ、複数の圧力室21の配置平面に沿って延在している。   The upper surface of the diaphragm 32, that is, the surface opposite to the pressure chamber 21, is composed mainly of lead zirconate titanate (PZT), which is a solid solution and ferroelectric material of lead titanate and lead zirconate. A piezoelectric layer 33 made of a piezoelectric material is bonded with an adhesive. On the upper surface of the piezoelectric layer 33, a piezoelectric layer 34 having a plurality of first active portions 44, a plurality of second active portions 45 and 46, a third active portion 53, and a fourth active portion 54, which will be described later, is disposed. The piezoelectric layers 33 and 34 are disposed so as to cover the plurality of pressure chambers 21, and extend along the plane in which the plurality of pressure chambers 21 are disposed.

共通電極35は、圧電層33と圧電層34との間に、圧電層33、34の全面にわたって配置されている。共通電極35は、図示は省略するが、ドライバIC40と接続されている。共通電極35は、ドライバIC40により、常にグランド電位に保たれている。   The common electrode 35 is disposed over the entire surface of the piezoelectric layers 33 and 34 between the piezoelectric layer 33 and the piezoelectric layer 34. Although not shown, the common electrode 35 is connected to the driver IC 40. The common electrode 35 is always kept at the ground potential by the driver IC 40.

複数の個別電極36は、それぞれ、圧電層34の上面に配置されている。複数の個別電極36は、それぞれ、複数の圧力室21と対応して、複数の圧力室21と同数設けられている。ここで、「複数の個別電極36は、それぞれ、複数の圧力室21と対応する」とは、ある1の個別電極36と、ある1の個別電極36によりインクを吐出させる吐出対象の1の圧力室21とが、1組となっていることを意味する。個別電極36は、金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。   The plurality of individual electrodes 36 are respectively disposed on the upper surface of the piezoelectric layer 34. The plurality of individual electrodes 36 are respectively provided in the same number as the plurality of pressure chambers 21 corresponding to the plurality of pressure chambers 21. Here, “the plurality of individual electrodes 36 respectively correspond to the plurality of pressure chambers 21” means that one individual electrode 36 and one pressure of an ejection target that causes one individual electrode 36 to eject ink. It means that the chamber 21 forms one set. The individual electrode 36 is made of a conductive material such as gold, copper, silver, palladium, platinum, or titanium.

個別電極36は、対応する圧力室21と圧電層34の面方向と直交する方向(以下、「厚み方向」ともいう。)において重なる第1部分41と、対応する圧力室21に隣接する圧力室21と厚み方向において重なる第2部分42、43と、を有する。言い換えれば、第1部分41は、振動板32、圧電層33、34を挟んで、属する個別電極36が対応する圧力室21と対向している。第2部分42、43は、振動板32、圧電層33、34を挟んで、属する個別電極36が対応する圧力室21に隣接する圧力室21と対向している。第1部分41が厚み方向において、搬送方向の中央Cと重なっている圧力室21が、個別電極36が対応する圧力室21である。なお、図3において、圧電層34の面方向と直交する厚み方向は、図3の紙面垂直方向である。   The individual electrode 36 includes a first portion 41 that overlaps the corresponding pressure chamber 21 and a direction perpendicular to the surface direction of the piezoelectric layer 34 (hereinafter also referred to as “thickness direction”), and a pressure chamber adjacent to the corresponding pressure chamber 21. 21 and second portions 42 and 43 overlapping in the thickness direction. In other words, the first portion 41 is opposed to the pressure chamber 21 to which the individual electrode 36 belongs, with the diaphragm 32 and the piezoelectric layers 33 and 34 interposed therebetween. The second portions 42 and 43 are opposed to the pressure chambers 21 adjacent to the pressure chambers 21 to which the individual electrodes 36 belong, with the diaphragm 32 and the piezoelectric layers 33 and 34 interposed therebetween. The pressure chamber 21 where the first portion 41 overlaps the center C in the transport direction in the thickness direction is the pressure chamber 21 to which the individual electrode 36 corresponds. In FIG. 3, the thickness direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer 34 is the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

第1部分41は、属する個別電極36が対応する圧力室21の搬送方向の中央Cと厚み方向において重なっている。第1部分41は、搬送方向と直交する走査方向に延在している。第2部分42は、属する個別電極36が対応する圧力室21と前方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なっている。第2部分42は、搬送方向と直交する走査方向に延在している。第2部分43は、属する個別電極36が対応する圧力室21と後方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なっている。第2部分43は、搬送方向と直交する走査方向に延在している。1つの圧力室21は、第1部分41と、第2部分42、43と、厚み方向において重なっている。具体的には、圧力室21は、対応する個別電極36の第1部分41と、前方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分43と、後方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分42と、厚み方向において重なっている。第1部分41は、対応する圧力室21と前方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分43と、後方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分42と、により搬送方向において挟まれている。   The first portion 41 overlaps in the thickness direction with the center C in the transport direction of the pressure chamber 21 to which the individual electrode 36 belongs. The first portion 41 extends in the scanning direction orthogonal to the transport direction. The second portion 42 overlaps in the thickness direction with the pressure chamber 21 adjacent to the corresponding pressure chamber 21 in front of the corresponding individual electrode 36. The second portion 42 extends in the scanning direction orthogonal to the transport direction. The second portion 43 is overlapped in the thickness direction with the pressure chamber 21 to which the individual electrode 36 to which the second portion 43 belongs corresponds to the pressure chamber 21 adjacent to the rear. The second portion 43 extends in the scanning direction orthogonal to the transport direction. One pressure chamber 21 overlaps the first portion 41 and the second portions 42 and 43 in the thickness direction. Specifically, the pressure chamber 21 is connected to the first portion 41 of the corresponding individual electrode 36, the second portion 43 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21 adjacent to the front, and the pressure chamber 21 adjacent to the rear. It overlaps with the second portion 42 of the corresponding individual electrode 36 in the thickness direction. The first portion 41 includes a second portion 43 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21 adjacent to the corresponding pressure chamber 21 and the second portion 42 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21 adjacent to the rear. Are sandwiched in the transport direction.

第1部分41と前方の第2部分42とは、これらの左端を接続する接続部47により接続されている。第1部分41と後方の第2部分43とは、これらの右端を接続する接続部48により接続されている。すなわち、第1部分41と第2部分42とは、圧電層34の一表面、ここでは、上面において、接続部47により接続されている。第1部分41と第2部分43とは、上面において、接続部48により接続されている。接続部47により接続されている第1部分41と第2部分42とは、導通している。接続部48により接続されている第1部分41と第2部分43とは、導通している。ここで、「導通」とは、電気的に接続された状態をいう。個別電極36は、第1部分41、第2部分42、43、接続部47、48により、点対称な略S字状となっている。   The first portion 41 and the front second portion 42 are connected by a connecting portion 47 that connects these left ends. The first portion 41 and the rear second portion 43 are connected by a connecting portion 48 that connects these right ends. That is, the first portion 41 and the second portion 42 are connected by the connection portion 47 on one surface, here, the upper surface of the piezoelectric layer 34. The first portion 41 and the second portion 43 are connected by a connecting portion 48 on the upper surface. The first portion 41 and the second portion 42 connected by the connection portion 47 are electrically connected. The first portion 41 and the second portion 43 connected by the connection portion 48 are electrically connected. Here, “conduction” means a state of being electrically connected. The individual electrode 36 has a substantially S-shape that is point-symmetrical due to the first portion 41, the second portions 42 and 43, and the connection portions 47 and 48.

複数の個別電極36の第1部分41の端部、すなわち、平面視でノズル20と反対側の端部から、圧力室21と対向しない領域までそれぞれ引き出された複数の接点部39が設けられている。これら複数の接点部39には、図示しないフレキシブルプリント配線板(Flexible Printed Circuit(FPC))が接続される。   A plurality of contact portions 39 each extending from the end of the first portion 41 of each of the plurality of individual electrodes 36, that is, the end opposite to the nozzle 20 in a plan view, to a region not facing the pressure chamber 21 are provided. Yes. A flexible printed circuit (Flexible Printed Circuit (FPC)) (not shown) is connected to the plurality of contact portions 39.

孔用電極49は、圧力室列37の搬送方向における両端に形成されている孔38と対応するものである。孔用電極49は、圧電層34に配置されている。図3及び図5(a)では、圧力室列37の搬送方向における後端に形成されている孔38及び孔38に対応する孔用電極49が示されている。孔用電極49は、対応する孔38と圧電層33、34の厚みにおいて重なる第3部分50と、対応する孔38に隣接する圧力室21と厚み方向において重なる第4部分51と、を有している。   The hole electrodes 49 correspond to the holes 38 formed at both ends of the pressure chamber row 37 in the transport direction. The hole electrode 49 is disposed on the piezoelectric layer 34. 3 and 5A, the hole 38 formed at the rear end in the transport direction of the pressure chamber row 37 and the hole electrode 49 corresponding to the hole 38 are shown. The hole electrode 49 includes a third portion 50 that overlaps the corresponding hole 38 in the thickness of the piezoelectric layers 33 and 34, and a fourth portion 51 that overlaps the pressure chamber 21 adjacent to the corresponding hole 38 in the thickness direction. ing.

後端の孔38に対応する孔用電極49の第4部分51は、前方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なっている。前端の孔38に対応する孔用電極49の第4部分51は、後方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なっている。第3部分50は、対応する孔38の搬送方向の中央と厚み方向において重なっている。第3部分50は、搬送方向と直交する走査方向に延在している。第4部分51は、対応する孔38と前方又は後方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なっている。第4部分51は、搬送方向と直交する走査方向に延在している。第3部分50と前方の第4部分51とは、これらの左端を接続する接続部52により接続されている。第3部分50と後方の第4部分51とは、これらの右端を接続する接続部52により接続されている。すなわち、第3部分50と第4部分51とは、圧電層34の一表面、ここでは、上面において、接続部52により接続されている。接続部52により接続されている第3部分50と第4部分51とは、導通している。   The fourth portion 51 of the hole electrode 49 corresponding to the hole 38 at the rear end overlaps the pressure chamber 21 adjacent to the front in the thickness direction. The fourth portion 51 of the hole electrode 49 corresponding to the hole 38 at the front end overlaps the pressure chamber 21 adjacent in the rear in the thickness direction. The third portion 50 overlaps the center in the transport direction of the corresponding hole 38 in the thickness direction. The third portion 50 extends in the scanning direction orthogonal to the transport direction. The fourth portion 51 overlaps the corresponding hole 38 in the thickness direction with the pressure chamber 21 adjacent frontward or rearward. The fourth portion 51 extends in the scanning direction orthogonal to the transport direction. The third portion 50 and the front fourth portion 51 are connected by a connecting portion 52 that connects these left ends. The third portion 50 and the rear fourth portion 51 are connected by a connecting portion 52 that connects these right ends. That is, the third portion 50 and the fourth portion 51 are connected by the connecting portion 52 on one surface, here, the upper surface of the piezoelectric layer 34. The third part 50 and the fourth part 51 connected by the connection part 52 are electrically connected.

孔用電極49の第3部分50の端部、すなわち、平面視でノズル20と反対側の端部から、圧力室21と対向しない領域まで引き出された接点部39が設けられている。接点部39には、図示しないFPCが接続される。   A contact portion 39 is provided that extends from the end of the third portion 50 of the hole electrode 49, that is, the end opposite to the nozzle 20 in plan view, to a region that does not face the pressure chamber 21. An FPC (not shown) is connected to the contact portion 39.

ドライバIC40は、FPCに実装されており、図示しない制御装置によって制御される。ドライバIC40は、接点部39を介して、複数の個別電極36、孔用電極49の電位を変化させる。具体的には、ドライバIC40は、個別電極36、孔用電極49の電位をグランド電位と、グランド電位と所定の電位差の所定電位と、に変化させる。個別電極36の第1部分41と第2部分42、43とは導通しているため、ドライバIC40により、同じタイミングで電位が変化する。孔用電極49の第3部分50と第4部分51とは導通しているため、ドライバIC40により、同じタイミングで電位が変化する。   The driver IC 40 is mounted on the FPC and is controlled by a control device (not shown). The driver IC 40 changes the potentials of the plurality of individual electrodes 36 and the hole electrodes 49 via the contact points 39. Specifically, the driver IC 40 changes the potential of the individual electrode 36 and the hole electrode 49 to a ground potential and a predetermined potential that is a predetermined potential difference from the ground potential. Since the first portion 41 and the second portions 42 and 43 of the individual electrode 36 are conductive, the potential changes at the same timing by the driver IC 40. Since the third portion 50 and the fourth portion 51 of the hole electrode 49 are conductive, the potential changes at the same timing by the driver IC 40.

図5に示すように、複数の個別電極36と共通電極35に挟まれた圧電層34は、複数の第1活性部44と、複数の第2活性部45、46と、第3活性部53と、第4活性部54と、を有する。「活性部」は、圧電変形が生じる部分を指す。複数の第1活性部44は、それぞれ、複数の第1部分41と厚み方向において重なっている。複数の第2活性部45は、それぞれ、複数の第2部分42とそれぞれ厚み方向において重なっている。複数の第2活性部46は、それぞれ、複数の第3部分43とそれぞれ厚み方向において重なっている。第3活性部53は、第3部分50と厚み方向において重なっている。第4活性部54は、第4部分51と厚み方向において重なっている。言い換えれば、第1活性部44は、第1部分41と対向している。第2活性部45は、第2部分42と対向している。第2活性部46は、第2部分43と対向している。第3活性部53は、第3部分50と対向している。第4活性部54は、第4部分51と対向している。第1活性部44、第3活性部53は、厚み方向に分極されている。   As shown in FIG. 5, the piezoelectric layer 34 sandwiched between the plurality of individual electrodes 36 and the common electrode 35 includes a plurality of first active portions 44, a plurality of second active portions 45 and 46, and a third active portion 53. And a fourth active part 54. “Active portion” refers to a portion where piezoelectric deformation occurs. The plurality of first active portions 44 respectively overlap with the plurality of first portions 41 in the thickness direction. The plurality of second active portions 45 respectively overlap the plurality of second portions 42 in the thickness direction. The plurality of second active portions 46 respectively overlap with the plurality of third portions 43 in the thickness direction. The third active portion 53 overlaps with the third portion 50 in the thickness direction. The fourth active portion 54 overlaps the fourth portion 51 in the thickness direction. In other words, the first active portion 44 faces the first portion 41. The second active portion 45 faces the second portion 42. The second active part 46 faces the second part 43. The third active portion 53 faces the third portion 50. The fourth active part 54 faces the fourth part 51. The first active part 44 and the third active part 53 are polarized in the thickness direction.

ドライバIC40は、複数の個別電極36の電位を変化させることによって、第1活性部44に圧電変形を生じさせる。ドライバIC40は、孔用電極49の電位を変化させることによって、第3活性部53に圧電変形を生じさせる。すなわち、ドライバIC40は、第1活性部44を面方向に収縮した状態、又は、収縮してない状態とすることにより、第1活性部44を圧力室21側へ凸となった状態から平坦な状態に、又は、平坦な状態から圧力室21側へ凸となった状態に変形させる。ドライバIC40は、第3活性部53を面方向に収縮した状態、又は、収縮してない状態とすることにより、第3活性部53を孔38側へ凸となった状態から平坦な状態に、又は、平坦な状態から孔38側へ凸となった状態に変形させる。   The driver IC 40 causes piezoelectric deformation in the first active portion 44 by changing the potentials of the plurality of individual electrodes 36. The driver IC 40 causes the third active portion 53 to undergo piezoelectric deformation by changing the potential of the hole electrode 49. That is, the driver IC 40 is flat from the state in which the first active part 44 is convex toward the pressure chamber 21 by making the first active part 44 contracted in the surface direction or not contracting. It is deformed to a state or a state where it is convex from the flat state to the pressure chamber 21 side. The driver IC 40 is configured such that the third active portion 53 is contracted in the surface direction or is not contracted, so that the third active portion 53 is in a flat state from a state in which the third active portion 53 is convex toward the hole 38 side. Or it is made to deform | transform from the flat state to the state which became convex to the hole 38 side.

第1活性部44は、吐出対象の圧力室21と厚み方向において重なっている圧電層33、34を変形させるための主となる活性部である。第2活性部45、46は、吐出対象の圧力室21と厚み方向において重なっている圧電層33、34の変形を補助するための活性部である。第2活性部45、46は、厚み方向に分極されている。第2活性部45、46は、第1部分41の電位が変化されることにともなって、第2部分42、43により圧電変形を生じる。第4活性部54も、第2活性部45、46同様、吐出対象の圧力室21と厚み方向において重なっている圧電層33、34の変形を補助するための活性部である。第4活性部54は、厚み方向に分極されている。第4活性部54は、第3部分50の電位が変化されるにともなって、第4部分51により圧電変形を生じる。   The first active part 44 is a main active part for deforming the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the pressure chamber 21 to be ejected in the thickness direction. The second active portions 45 and 46 are active portions for assisting deformation of the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the pressure chamber 21 to be ejected in the thickness direction. The second active portions 45 and 46 are polarized in the thickness direction. The second active portions 45 and 46 cause piezoelectric deformation by the second portions 42 and 43 as the potential of the first portion 41 is changed. Similarly to the second active portions 45 and 46, the fourth active portion 54 is also an active portion for assisting the deformation of the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap with the pressure chamber 21 to be ejected in the thickness direction. The fourth active part 54 is polarized in the thickness direction. The fourth active portion 54 causes piezoelectric deformation by the fourth portion 51 as the potential of the third portion 50 is changed.

従来のインクジェットプリンタにおいては、隣接する複数の圧力室に対応するノズルから同時にインクを吐出する場合の各ノズルの吐出量よりも、1つの圧力室に対応するノズルからインクを吐出する場合の吐出量が多いという問題がある。   In a conventional inkjet printer, the ejection amount when ink is ejected from the nozzles corresponding to one pressure chamber rather than the ejection amount of each nozzle when ink is ejected simultaneously from nozzles corresponding to a plurality of adjacent pressure chambers There is a problem that there are many.

図6は、従来の引き打ち方式の圧電アクチュエータの動作を説明するための図である。図6(a)は、平坦な圧電層103、104が、3つの圧力室102a、102b、102cと対向する部分においてそれぞれ凸となっている状態を示している。個別電極101は、圧電層103の上面に配置されている。共通電極105は、圧電層103と圧電層104との間に配置されている。共通電極105は、グランド電位に保たれている。活性部106a、106b、106cは、個別電極101と共通電極105に挟まれた部分である。個別電極101がグランド電位と所定の電位差の所定電位とされることにより、活性部106a、106b、106cは、圧力室102a、102b、102c側に凸となる。図6(a)では、圧力室102a、102b、102cに対応する個別電極101の全てが所定電位とされている。従って、活性部106a、106b、106cが圧力室102a、102b、102c側へ凸となった状態であるため、圧力室102a、102b、102cと対向する部分の圧電層103、104は、圧力室102a、102b、102c側へ凸となった状態である。図6(b)では、1つの圧力室102bに対応する個別電極101のみがグランド電位とされている。従って、圧力室102bと対向する活性部106bが平坦な状態であるため、圧力室102bと対向する部分の圧電層103、104は、平坦な状態である。図6(c)では、圧力室102a、102b、102cに対応する個別電極101の全てがグランド電位とされている。従って、圧力室102a、102b、102cに対向する活性部106a、106b、106cが平坦な状態であるため、圧力室102a、102b、102cと対向する部分の圧電層103、104は、平坦な状態である。なお、図6における、符号の下の「V」の文字は、対応する個別電極101が所定電位であることを示している。符号の下の「GND」の文字は、対応する個別電極101がグランド電位であることを示している。   FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of a conventional pulling-type piezoelectric actuator. FIG. 6A shows a state in which the flat piezoelectric layers 103 and 104 are convex at portions facing the three pressure chambers 102a, 102b, and 102c, respectively. The individual electrode 101 is disposed on the upper surface of the piezoelectric layer 103. The common electrode 105 is disposed between the piezoelectric layer 103 and the piezoelectric layer 104. The common electrode 105 is kept at the ground potential. The active portions 106 a, 106 b and 106 c are portions sandwiched between the individual electrode 101 and the common electrode 105. When the individual electrode 101 is set to a predetermined potential having a predetermined potential difference from the ground potential, the active portions 106a, 106b, and 106c are convex toward the pressure chambers 102a, 102b, and 102c. In FIG. 6A, all of the individual electrodes 101 corresponding to the pressure chambers 102a, 102b, and 102c are set to a predetermined potential. Accordingly, since the active portions 106a, 106b, and 106c are convex toward the pressure chambers 102a, 102b, and 102c, the portions of the piezoelectric layers 103 and 104 that face the pressure chambers 102a, 102b, and 102c are formed in the pressure chamber 102a. , 102b and 102c are convex. In FIG. 6B, only the individual electrode 101 corresponding to one pressure chamber 102b is set to the ground potential. Therefore, since the active portion 106b facing the pressure chamber 102b is in a flat state, the piezoelectric layers 103 and 104 in a portion facing the pressure chamber 102b are in a flat state. In FIG. 6C, all of the individual electrodes 101 corresponding to the pressure chambers 102a, 102b, and 102c are set to the ground potential. Accordingly, since the active portions 106a, 106b, 106c facing the pressure chambers 102a, 102b, 102c are in a flat state, the portions of the piezoelectric layers 103, 104 facing the pressure chambers 102a, 102b, 102c are in a flat state. is there. In FIG. 6, the letter “V” below the symbol indicates that the corresponding individual electrode 101 has a predetermined potential. The letters “GND” below the reference sign indicate that the corresponding individual electrode 101 is at the ground potential.

図6(a)に示すように、隣接する3つの圧力室102a、102b、102cに対向する圧電層103、104が凸となっている状態から、図6(c)に示すように、圧力室102a、102b、102cに対応する個別電極101を所定電位からグランド電位に切り換えた場合について説明する。圧電層103、104の圧力室102a、102b、102cと対向する部分は、平坦な状態に変形する。図6(a)に示すように、圧力室102a、102b、102cに対向する圧電層103、104が凸となっている状態から、図6(b)に示すように、1つの圧力室102bに対応する個別電極101を所定電位からグランド電位に切り換えた場合について説明する。圧電層103、104の圧力室102bと対向する部分は、平坦な状態に変形しようとする。しかしながら、このとき、圧電層103、104の隣接する圧力室102a、102cと対向する部分は、圧力室102a、102c側へ凸となっている。このため、圧電層103、104は、桁107、108近傍を支点として変形し、圧電層103、104の圧力室102bと対向する部分は、平坦な状態にならず、圧力室102bと反対側へ少し凸となった状態となる。従って、隣接する圧力室102a、102b、102cに対応するノズルからインクを同時に吐出させる場合と比べて、1つの圧力室102bに対応するノズルからインクを吐出させる場合の圧電層103、104の変形量、すなわち、圧力室102bの容積の変化量が大きくなる。つまり、隣接する圧力室102a、102b、102cに対応するノズルから同時にインクを吐出させる場合の各ノズルの吐出量が、1つの圧力室102bに対応するノズルからインクを吐出させる場合の吐出量よりも少なくなる。   As shown in FIG. 6A, from the state in which the piezoelectric layers 103 and 104 facing the three adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c are convex, as shown in FIG. A case where the individual electrodes 101 corresponding to 102a, 102b, and 102c are switched from a predetermined potential to a ground potential will be described. The portions of the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chambers 102a, 102b, and 102c are deformed into a flat state. As shown in FIG. 6A, from the state in which the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chambers 102a, 102b, and 102c are convex, as shown in FIG. A case where the corresponding individual electrode 101 is switched from a predetermined potential to a ground potential will be described. The portions of the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chamber 102b tend to be deformed into a flat state. However, at this time, portions of the piezoelectric layers 103 and 104 facing the adjacent pressure chambers 102a and 102c are convex toward the pressure chambers 102a and 102c. For this reason, the piezoelectric layers 103 and 104 are deformed around the girders 107 and 108 as fulcrums, and the portions of the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chambers 102b are not flat and are opposite to the pressure chambers 102b. It becomes a slightly convex state. Accordingly, the deformation amounts of the piezoelectric layers 103 and 104 when ink is ejected from the nozzles corresponding to one pressure chamber 102b, compared to the case where ink is ejected simultaneously from the nozzles corresponding to the adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c. That is, the amount of change in the volume of the pressure chamber 102b increases. That is, the discharge amount of each nozzle when ink is simultaneously discharged from the nozzles corresponding to the adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c is larger than the discharge amount when ink is discharged from the nozzle corresponding to one pressure chamber 102b. Less.

以下、本実施形態において、ノズル20からインクを吐出させる際の圧電アクチュエータ19の作用について説明する。本実施形態では、引き打ち方式により、ノズル20からインクが吐出される。   Hereinafter, in this embodiment, the operation of the piezoelectric actuator 19 when ink is ejected from the nozzle 20 will be described. In the present embodiment, ink is ejected from the nozzles 20 by a pulling method.

図7は、圧電アクチュエータ19の動作を説明するための図である。図7(a)は、ノズル20からインクを吐出しない待機状態を示す。待機状態では、個別電極36が所定電位とされている。第1活性部44、第2活性部45、46は、圧力室21a、21b、21c側へ凸となっている。このため、圧電層33、34の、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なっている部分は、圧力室21a、21b、21c側へ凸となっている。図7(b)は、1つの圧力室21bに対応する個別電極36がグランド電位とされている状態を示す。図7(c)は、隣接する3つの圧力室21a、21b、21cに対応する3つの個別電極36がグランド電位とされている状態を示す。なお、図7における、符号の下の「V」の文字は、対応する第1部分41、第2部分42、43が所定電位であることを示している。符号の下の「GND」の文字は、対応する第1部分41、第2部分42、43がグランド電位であることを示している。   FIG. 7 is a diagram for explaining the operation of the piezoelectric actuator 19. FIG. 7A shows a standby state in which ink is not ejected from the nozzle 20. In the standby state, the individual electrode 36 is set to a predetermined potential. The first active part 44 and the second active parts 45 and 46 are convex toward the pressure chambers 21a, 21b and 21c. Therefore, the portions of the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the pressure chambers 21a, 21b, and 21c in the thickness direction are convex toward the pressure chambers 21a, 21b, and 21c. FIG. 7B shows a state in which the individual electrode 36 corresponding to one pressure chamber 21b is set to the ground potential. FIG. 7C shows a state in which the three individual electrodes 36 corresponding to the three adjacent pressure chambers 21a, 21b, and 21c are set to the ground potential. In FIG. 7, the letter “V” below the symbol indicates that the corresponding first portion 41 and second portions 42 and 43 are at a predetermined potential. The letters “GND” below the symbol indicate that the corresponding first portion 41 and second portions 42 and 43 are at ground potential.

圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出させる動作について説明する。図7(a)に示すように、個別電極36が所定電位とされている状態から、図7(c)に示すように、圧力室21a、21b、21cに対応する個別電極36の電位を、ドライバIC40により、一旦、共通電極35と同じグランド電位に切り換える。圧力室21bに着目すると、隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36もグランド電位に切り換えられている。圧力室21bと厚み方向において重なる第1活性部44、第2活性部45、46は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形する。このため、圧力室21bと厚み方向において重なる部分の圧電層33、34は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形する。このとき、待機状態と比べて圧力室21b内の容積が増大する。その後、再び、ドライバIC40により個別電極36が所定電位とされると、図7(a)に示す状態に変形し、圧力室21bの容積が減少する。圧力室21bの容積増大と容積減少の切り換えのタイミングを適切に設定することによって、容積増大時に発生する圧力波と容積減少時に発生する圧力波とを重畳させる。これにより、圧力室21b内に大きな圧力波が発生し、圧力室21bに連通するノズル20からインクが押し出されて吐出される。圧力室21a、21cにおいても同様である。   An operation of simultaneously ejecting ink from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c will be described. As shown in FIG. 7A, from the state where the individual electrode 36 is set to a predetermined potential, as shown in FIG. 7C, the potential of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c is changed. The driver IC 40 once switches to the same ground potential as the common electrode 35. Focusing on the pressure chamber 21b, the individual electrodes 36 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a and 21c are also switched to the ground potential. The first active portion 44 and the second active portions 45 and 46 that overlap the pressure chamber 21b in the thickness direction are deformed from a state of being convex toward the pressure chamber 21b to a state of being flat toward the opposite side of the pressure chamber 21b. For this reason, the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap with the pressure chamber 21b in the thickness direction are deformed from a convex shape toward the pressure chamber 21b to a flat state opposite to the pressure chamber 21b. At this time, the volume in the pressure chamber 21b increases compared to the standby state. Thereafter, when the individual electrode 36 is set to a predetermined potential again by the driver IC 40, the state is changed to the state shown in FIG. 7A, and the volume of the pressure chamber 21b is reduced. By appropriately setting the switching timing between the volume increase and the volume decrease of the pressure chamber 21b, the pressure wave generated when the volume is increased and the pressure wave generated when the volume is decreased are superimposed. As a result, a large pressure wave is generated in the pressure chamber 21b, and ink is pushed out from the nozzle 20 communicating with the pressure chamber 21b and discharged. The same applies to the pressure chambers 21a and 21c.

圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる動作について説明する。図7(a)に示すように、個別電極36が所定電位とされている状態から、図7(b)に示すように、圧力室21bに対応する個別電極36の電位を、ドライバIC40により、一旦、共通電極35と同じグランド電位に切り換える。圧力室21bと厚み方向に重なる第1活性部44は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形する。このため、圧力室21bと厚み方向において重なる部分の圧電層33、34は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形しようとする。   An operation of ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b will be described. As shown in FIG. 7A, from the state in which the individual electrode 36 is at a predetermined potential, the potential of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21b is changed by the driver IC 40 as shown in FIG. 7B. Once switched to the same ground potential as the common electrode 35. The first active portion 44 that overlaps the pressure chamber 21b in the thickness direction is deformed from a convex shape toward the pressure chamber 21b to a flat state opposite to the pressure chamber 21b. For this reason, the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the pressure chamber 21b in the thickness direction tend to be deformed from a state in which it protrudes toward the pressure chamber 21b to a state in which it is flat toward the opposite side of the pressure chamber 21b.

圧力室21bは、前後方向で隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36の第2部分42、43と厚み方向において重なっている。圧力室21bに隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36は、所定電位とされているため、第2部分42、43は、所定電位とされたままである。従って、第1活性部44は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形するが、第2活性部45、46は、圧力室21b側へ凸となったままである。これにより、圧力室21b側に凸となっていた圧電層33、34が、圧力室21bと反対側へ平坦な状態に変形しようとするときに、圧力室21b側に凸となっている第2活性部45、46により、圧力室21bと反対側へ変形しようとする圧電層33、34の変形が抑制される。すなわち、待機状態からの圧力室21内の容積の増大が抑制される。その後、再び、ドライバIC40により個別電極36が所定電位とされると、図7(a)に示す状態に戻り、圧力室21の容積が減少する。これにより、圧力室21に連通するノズル20からインクが押し出されて吐出される。   The pressure chamber 21b overlaps in the thickness direction with the second portions 42 and 43 of the individual electrodes 36 corresponding to the pressure chambers 21a and 21c adjacent in the front-rear direction. Since the individual electrodes 36 corresponding to the pressure chambers 21a and 21c adjacent to the pressure chamber 21b are set to a predetermined potential, the second portions 42 and 43 remain at the predetermined potential. Accordingly, the first active portion 44 is deformed from a state of being convex toward the pressure chamber 21b to a state of being flat toward the opposite side of the pressure chamber 21b, while the second active portions 45 and 46 are convex toward the pressure chamber 21b. It remains. Accordingly, when the piezoelectric layers 33 and 34 that are convex toward the pressure chamber 21b are to be deformed into a flat state opposite to the pressure chamber 21b, the second is convex toward the pressure chamber 21b. The active portions 45 and 46 suppress deformation of the piezoelectric layers 33 and 34 that are to be deformed to the opposite side to the pressure chamber 21b. That is, an increase in the volume in the pressure chamber 21 from the standby state is suppressed. After that, when the individual electrode 36 is set to a predetermined potential again by the driver IC 40, the state returns to the state shown in FIG. As a result, the ink is pushed out from the nozzle 20 communicating with the pressure chamber 21 and discharged.

隣接する圧力室21a、21b、21cのうち、1つの圧力室21bに対応する個別電極36の電位を変化させて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合に、圧力室21bに対応する個別電極36の第1部分41は電位が変化される。圧力室21bに隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36の第2部分42、43は電位が変化されない。このため、圧力室21bと厚み方向において重なる第1活性部44は、圧力室21b側へ凸となった状態から圧力室21bと反対側へ平坦な状態に、又は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。第2活性部45、46は、圧力室21b側へ凸となった状態のままである。   Among the adjacent pressure chambers 21a, 21b, and 21c, when the potential of the individual electrode 36 corresponding to one pressure chamber 21b is changed and ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b, the pressure chamber 21b The potential of the corresponding first portion 41 of the individual electrode 36 is changed. The potentials of the second portions 42 and 43 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chambers 21a and 21c adjacent to the pressure chamber 21b are not changed. For this reason, the first active portion 44 that overlaps the pressure chamber 21b in the thickness direction is in a state where it protrudes toward the pressure chamber 21b and is flat toward the opposite side of the pressure chamber 21b, or from the flat state to the pressure chamber 21b. Deforms to a convex side. The 2nd active parts 45 and 46 remain in the state where it became convex to the pressure chamber 21b side.

一方、隣接する圧力室21a、21b、21cに対応する個別電極36の電位を変化させて、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なる第1部分41、第2部分42、43の電位が変化される。このため、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なる第1活性部44、第2活性部45、46ともに変形する。言い換えれば、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出する場合に比べて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の、電位が変化される電極の面積が実質的に小さくなっている。このため、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出する場合に比べて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の、待機状態からの圧力室21内の容積の減少が小さくなり、インクの吐出量が少なくなる。つまり、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出する場合の各ノズル20の吐出量よりも、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の吐出量が少なくなる。   On the other hand, when ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, 21c by changing the potential of the individual electrode 36 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a, 21b, 21c, the pressure chambers 21a, 21b, 21c. The potentials of the first portion 41 and the second portions 42 and 43 that overlap in the thickness direction are changed. For this reason, both the first active part 44 and the second active parts 45 and 46 that overlap the pressure chambers 21a, 21b, and 21c in the thickness direction are deformed. In other words, compared to the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, the area of the electrode whose potential is changed when the ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b. It is substantially smaller. For this reason, in the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b, compared with the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c, the inside of the pressure chamber 21 from the standby state. The decrease in volume is reduced, and the amount of ink discharged is reduced. That is, the ejection amount when ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b is smaller than the ejection amount of each nozzle 20 when ejecting ink simultaneously from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c. Become.

また、上述のように、1つの圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、第2活性部45、46により、待機状態からの圧力室21b内の容積の増大が抑制されるため、さらに吐出量が少なくなる。   Further, as described above, when ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to one pressure chamber 21b, the second active portions 45 and 46 suppress an increase in the volume in the pressure chamber 21b from the standby state. Further, the discharge amount is reduced.

以上説明したように、本実施形態では、隣接する複数の圧力室21a、21b、21cのうち、1つの圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、圧力室21bと厚み方向において重なる第1活性部44は、変形するが、第2活性部45、46は、そのままの状態である。圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なる第1活性部44、第2活性部45、46ともに変形する。第2活性部45、46が変形する分、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合と比べて、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出させる場合の各圧力室21a、21b、21cの容積の変化量が大きくなる。つまり、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出する場合に比べて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の圧力室21bの容積の変化量が小さくなる。このため、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20から同時にインクを吐出する場合の各ノズル20のインクの吐出量が、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の吐出量よりも少なくなるという問題を改善することができる。   As described above, in the present embodiment, when ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to one pressure chamber 21b among the plurality of adjacent pressure chambers 21a, 21b, 21c, the pressure chamber 21b overlaps in the thickness direction. The first active part 44 is deformed, but the second active parts 45 and 46 are left as they are. When ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, both the first active portion 44 and the second active portions 45 and 46 that overlap the pressure chambers 21a, 21b, and 21c in the thickness direction are deformed. Each of the cases in which ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, compared to the case where ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21b, as the second active portions 45 and 46 are deformed. The amount of change in the volume of the pressure chambers 21a, 21b, 21c increases. In other words, the amount of change in the volume of the pressure chamber 21b when ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b is smaller than when ink is ejected simultaneously from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c. Become. Therefore, when the ink is ejected simultaneously from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, the ink ejection amount of each nozzle 20 is the ejection amount when the ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b. The problem of being less than can be improved.

また、上述のように、本実施形態では、隣接する圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出する場合に比べて、1つの圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の電位が変化される電極の面積を実質的に小さくしている。このため、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出する場合の各ノズル20の吐出量よりも、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の吐出量が少なくなる。   Further, as described above, in the present embodiment, ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to one pressure chamber 21b, compared to the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a, 21b, 21c. In this case, the area of the electrode where the potential is changed is substantially reduced. For this reason, the ejection amount when ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b is larger than the ejection amount of each nozzle 20 when ejecting ink simultaneously from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c. Less.

なお、「活性部の変形」とは、活性部が平坦な状態から凸となった状態に変形すること、活性部が凸となった状態から平坦な状態に変形することをいう。また、「圧電層の変形」とは、圧電層が平坦な状態から凸となった状態に変形すること、圧電層が凸となった状態から平坦な状態に変形することをいう。   Note that “deformation of the active portion” means that the active portion is deformed from a flat state to a convex state, and the active portion is deformed from a convex state to a flat state. Further, “deformation of the piezoelectric layer” means that the piezoelectric layer is deformed from a flat state to a convex state, and the piezoelectric layer is deformed from a convex state to a flat state.

本実施形態では、圧力室21の搬送方向の幅は、160μmである。第1部分41の搬送方向の幅は、160μmである。第2部分42、43の搬送方向の幅は、それぞれ20μmである。第1部分41と第2部分42、43との搬送方向の距離は、10μmである。この場合、1列の圧力室列37に含まれるすべての圧力室21に対応するノズル20からインクを吐出する場合の圧電層34の変形面積/1列の圧力室列37に含まれる1の圧力室21を介してノズル20からインクを吐出する場合の圧電層34の変形面積(以下、「列内クロストーク」という。)は、5〜10%の範囲である。列内クロストークは、ベタ印字をする場合の濃度増加、微細なパターンを印字する場合のシャープエッジの観点から、差が大きい方がよい。しかしながら、インクの吐出安定性、インクの着弾精度から、大幅に変化することは望ましくない。このため、インクの吐出安定性やインクの着弾に影響が少ない5〜10%以内が理想的である。第1部分41の搬送方向の幅、第2部分42、43の搬送方向の幅、第1部分41と第2部分42、43との搬送方向の距離を、圧力室21の幅、圧電層33、34の厚み等によって変化させることにより、列内クロストークを変化させることが可能である。   In the present embodiment, the width of the pressure chamber 21 in the transport direction is 160 μm. The width of the first portion 41 in the transport direction is 160 μm. The widths in the transport direction of the second portions 42 and 43 are each 20 μm. The distance in the transport direction between the first portion 41 and the second portions 42 and 43 is 10 μm. In this case, the deformation area of the piezoelectric layer 34 when the ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to all the pressure chambers 21 included in one pressure chamber row 37 / one pressure included in one pressure chamber row 37. When the ink is ejected from the nozzle 20 through the chamber 21, the deformation area of the piezoelectric layer 34 (hereinafter referred to as “in-column crosstalk”) is in the range of 5 to 10%. Intra-column crosstalk should have a large difference from the viewpoint of density increase when printing solid images and sharp edges when printing fine patterns. However, it is not desirable to change significantly from the ink ejection stability and the ink landing accuracy. For this reason, it is ideal that it is within 5 to 10%, which has little effect on ink ejection stability and ink landing. The width of the first portion 41 in the transport direction, the width of the second portions 42 and 43 in the transport direction, the distance in the transport direction between the first portion 41 and the second portions 42 and 43, the width of the pressure chamber 21, and the piezoelectric layer 33. , 34 and the like, it is possible to change the in-column crosstalk.

圧力室列37内の両端の圧力室21は、圧力室列37内で隣接する圧力室21が前方又は後方の1つしかない。このため、前端の圧力室21は、第2部分42、43のうち、後方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分42のみと厚み方向で重なっている。後端の圧力室21は、第2部分42、43のうち、前方で隣接する圧力室21に対応する個別電極36の第2部分43のみと厚み方向で重なっている。すなわち、圧力室列37において端に位置していない、他の圧力室21と厚み方向で重なっている個別電極36の第2部分42、43の数が異なり、他の圧力室21と電極配置が異なっている。   The pressure chambers 21 at both ends in the pressure chamber row 37 have only one pressure chamber 21 adjacent to the front or rear in the pressure chamber row 37. For this reason, the pressure chamber 21 at the front end overlaps only the second portion 42 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21 adjacent to the rear in the second portion 42, 43 in the thickness direction. The pressure chamber 21 at the rear end overlaps only the second portion 43 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21 adjacent to the front among the second portions 42 and 43 in the thickness direction. That is, the number of the second portions 42 and 43 of the individual electrodes 36 that are not positioned at the end in the pressure chamber row 37 and overlap in the thickness direction with the other pressure chambers 21 is different, and the electrode arrangement with the other pressure chambers 21 is different. Is different.

本実施形態では、圧力室列37の両端に隣接する孔38に対応する孔用電極49を設けている。孔用電極49は、対応する孔38に隣接する圧力室21と厚み方向において重なる第4部分51を有している。このため、圧力室列37内の両端の圧力室21は、厚み方向において第1部分41、第2部分42又は第2部分43、第4部分51と重なっている。従って、圧力室列37内の両端の圧力室21は、第1部分41、第2部分42、43と厚み方向において重なっている他の圧力室21と電極配置が同じとなり、他の圧力室21とインクを吐出する条件が同じとなる。   In the present embodiment, hole electrodes 49 corresponding to the holes 38 adjacent to both ends of the pressure chamber row 37 are provided. The hole electrode 49 has a fourth portion 51 that overlaps the pressure chamber 21 adjacent to the corresponding hole 38 in the thickness direction. For this reason, the pressure chambers 21 at both ends in the pressure chamber row 37 overlap the first portion 41, the second portion 42 or the second portion 43, and the fourth portion 51 in the thickness direction. Therefore, the pressure chambers 21 at both ends in the pressure chamber row 37 have the same electrode arrangement as the other pressure chambers 21 that overlap the first portion 41 and the second portions 42 and 43 in the thickness direction. And the conditions for ejecting ink are the same.

圧力室列37の端に位置する圧力室21に対応するノズル20のみからインクを吐出する場合、ドライバIC40は、孔38に対応する孔用電極49を所定電位としたままとする。従って、孔38に隣接する圧力室列37の端に位置する圧力室21と厚み方向において重なる第4部分51は、所定電位のままである。このため、他の1つの圧力室21に対応するノズル20からインクを吐出させる場合と同様に、第1活性部44の変形により、ノズル20からインクが吐出される。   When ink is ejected only from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21 positioned at the end of the pressure chamber row 37, the driver IC 40 keeps the hole electrodes 49 corresponding to the holes 38 at a predetermined potential. Therefore, the fourth portion 51 that overlaps the pressure chamber 21 located at the end of the pressure chamber row 37 adjacent to the hole 38 in the thickness direction remains at a predetermined potential. For this reason, as in the case of ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the other one pressure chamber 21, the ink is ejected from the nozzle 20 by the deformation of the first active portion 44.

圧力室列37の端に位置する圧力室21を含む、隣接する複数の圧力室21に対応するノズル20からインクを同時に吐出する場合、ドライバIC40は、これらの圧力室21に対応する個別電極36と同じタイミングで孔用電極49の電位を変化させる。このため、他の圧力室21を含む隣接する複数の圧力室21に対応する複数のノズル20からインクを吐出させる場合と同様に、第1活性部44、第2活性部45又は第2活性部46、第4活性部54の変形により、ノズル20からインクが吐出される。なお、孔38は、インクの吐出に用いられるものではないため、孔用電極49は、孔38からインクを吐出するために用いられるものではない。   When ink is simultaneously ejected from the nozzles 20 corresponding to a plurality of adjacent pressure chambers 21 including the pressure chambers 21 positioned at the end of the pressure chamber row 37, the driver IC 40 has individual electrodes 36 corresponding to these pressure chambers 21. The potential of the hole electrode 49 is changed at the same timing. Therefore, as in the case where ink is ejected from the plurality of nozzles 20 corresponding to the plurality of adjacent pressure chambers 21 including the other pressure chambers 21, the first active unit 44, the second active unit 45, or the second active unit 46, the ink is ejected from the nozzle 20 by the deformation of the fourth active portion 54. Since the hole 38 is not used for discharging ink, the hole electrode 49 is not used for discharging ink from the hole 38.

本実施形態では、隣接する複数の圧力室21に対応する複数のノズル20から同時にインクを吐出させる場合、第1部分41と第2部分42、43とにより、第1活性部44、第2活性部45、46を同時に変形させる。このため、第1部分41と第2部分42、43とは、同時に電位が変化する必要がある。上述のように、第1部分41と第2部分42、43とを導通させておくことで、第1部分41及び第2部分42、43の電位が等しい状態を保ったまま、第1部分41及び第2部分42、43の電位を同時に変化させることができる。これにより、ドライバIC40から、第1部分41と第2部分42、43のそれぞれに、電位を個別に変化させるための配線等を繋ぐ必要がなく、電気的な接続構成が単純になる。また、ドライバIC40の内部の回路も単純にできる。   In the present embodiment, when the ink is simultaneously ejected from the plurality of nozzles 20 corresponding to the plurality of adjacent pressure chambers 21, the first active portion 44 and the second active portion 44 are formed by the first portion 41 and the second portions 42 and 43. The parts 45 and 46 are deformed simultaneously. For this reason, the potential of the first portion 41 and the second portions 42 and 43 needs to change simultaneously. As described above, the first portion 41 and the second portions 42 and 43 are electrically connected to each other, so that the first portion 41 and the second portions 42 and 43 have the same potential while the first portion 41 and the second portions 42 and 43 are kept in the same state. And the electric potential of the 2nd parts 42 and 43 can be changed simultaneously. Thereby, it is not necessary to connect the wiring etc. for changing an electric potential separately from the driver IC 40 to each of the first portion 41 and the second portions 42 and 43, and the electrical connection configuration is simplified. Also, the circuit inside the driver IC 40 can be simplified.

上述のように、第1部分41と第2部分42、43とは、圧電層34の一表面にある。接続部47、48も、圧電層34の一表面にある。第1部分41と第2部分42、43とは、接続部47、48により導通している。従って、圧電層34の一表面にある個別電極36を、圧電層34の一表面上に印刷で一度に形成できる。   As described above, the first portion 41 and the second portions 42 and 43 are on one surface of the piezoelectric layer 34. The connecting portions 47 and 48 are also on one surface of the piezoelectric layer 34. The first portion 41 and the second portions 42 and 43 are electrically connected by connecting portions 47 and 48. Therefore, the individual electrode 36 on one surface of the piezoelectric layer 34 can be formed on the one surface of the piezoelectric layer 34 at a time by printing.

本実施形態では、接続部47、48は、圧電層34の、圧力室21と厚み方向において重ならない領域に形成されている。従って、接続部47、48が圧力室21と厚み方向と重なっていないため、個別電極36の電位が変化したときの接続部47、48の電位変化が、インクの吐出に影響を与えることがない。   In the present embodiment, the connecting portions 47 and 48 are formed in a region of the piezoelectric layer 34 that does not overlap with the pressure chamber 21 in the thickness direction. Accordingly, since the connecting portions 47 and 48 do not overlap with the pressure chamber 21 in the thickness direction, the change in potential of the connecting portions 47 and 48 when the potential of the individual electrode 36 changes does not affect ink ejection. .

第2部分42、43は、対応する圧力室21に搬送方向において隣接する圧力室21と厚み方向において重なる。従って、圧力室列37内の隣接する圧力室21間において、隣接する複数の圧力室21に対応する複数のノズル20から同時にインクを吐出する場合の各ノズル20の吐出量が、1つの圧力室21に対応するノズル20からインクを吐出する場合の吐出量よりも少なくなるという問題を改善することができる。   The second portions 42 and 43 overlap the corresponding pressure chambers 21 in the thickness direction with the pressure chambers 21 adjacent in the transport direction. Accordingly, between the adjacent pressure chambers 21 in the pressure chamber row 37, when the ink is simultaneously discharged from the plurality of nozzles 20 corresponding to the plurality of adjacent pressure chambers 21, the discharge amount of each nozzle 20 is one pressure chamber. Thus, the problem that the ejection amount is smaller than the ejection amount when ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to 21 can be improved.

圧電層33、34を大きく変形させて圧力室21の容積を効果的に変化させるためには、圧力室21の中央に活性部を配置することがよい。上述のように、第1部分41は、搬送方向における圧力室21の中央Cと厚み方向において重なり、且つ、走査方向に延在している。このため、第1活性部44により、圧電層33、34を大きく変形させて、圧力室21の容積を効果的に変化させることができる。   In order to change the volume of the pressure chamber 21 effectively by largely deforming the piezoelectric layers 33 and 34, it is preferable to dispose an active portion in the center of the pressure chamber 21. As described above, the first portion 41 overlaps the center C of the pressure chamber 21 in the transport direction in the thickness direction and extends in the scanning direction. For this reason, the piezoelectric layers 33 and 34 can be greatly deformed by the first active portion 44 to effectively change the volume of the pressure chamber 21.

1つの圧力室21は、搬送方向において隣接する2つの圧力室21に両側から挟まれている。第2部分42、43が、第1部分41の一方側のみに配置されている場合、1列の圧力室列37に対応するノズル20からインクを同時に吐出した場合に、他方側で隣接する圧力室21との間でクロストークの影響が残る。本実施形態では、両側の圧力室21とのクロストークを考慮して、第1部分41の両側に、第2部分42、43を配置している。   One pressure chamber 21 is sandwiched from both sides by two pressure chambers 21 adjacent in the transport direction. When the second portions 42 and 43 are disposed only on one side of the first portion 41, when ink is simultaneously ejected from the nozzles 20 corresponding to one pressure chamber row 37, the pressure adjacent on the other side The effect of crosstalk with the chamber 21 remains. In the present embodiment, the second portions 42 and 43 are disposed on both sides of the first portion 41 in consideration of crosstalk with the pressure chambers 21 on both sides.

本実施形態では、「インク」が本発明の「液体」に相当する。「インク流路」が本発明の「液体流路」に相当する。「流路ユニット18」が本発明の「流路構造体」に相当する。「個別電極36」が本発明の「駆動電極」に相当する。「ドライバIC40」が本発明の「駆動装置」に相当する。「厚み方向」が本発明の「面方向と直交する方向」に相当する。「搬送方向」が本発明の「所定方向」に相当する。「走査方向」が本発明の「所定方向と交差する方向」に相当する。   In the present embodiment, “ink” corresponds to “liquid” of the present invention. The “ink channel” corresponds to the “liquid channel” of the present invention. The “flow path unit 18” corresponds to the “flow path structure” of the present invention. The “individual electrode 36” corresponds to the “drive electrode” of the present invention. The “driver IC 40” corresponds to the “drive device” of the present invention. The “thickness direction” corresponds to the “direction perpendicular to the surface direction” of the present invention. The “conveying direction” corresponds to the “predetermined direction” of the present invention. The “scanning direction” corresponds to the “direction intersecting the predetermined direction” of the present invention.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明を適用可能な形態は、上述の実施形態には限られるものではなく、以下に例示するように、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることが可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the form which can apply this invention is not restricted to the above-mentioned embodiment, As suitably illustrated in the range which does not deviate from the meaning of this invention so that it may illustrate below. It is possible to make changes.

上述の実施形態では、インクの吐出方式として、引き打ち方式を例に挙げた。押し打ち方式においても、隣接する複数の圧力室に対応するノズルからそれぞれインクを同時に吐出する場合の各ノズルのインクの吐出量よりも、1つの圧力室に対応するノズルからインクを吐出する場合の吐出量が多いという問題がある。   In the above-described embodiment, the ink ejection method is exemplified as the ink ejection method. Even in the pushing method, the case where ink is ejected from the nozzle corresponding to one pressure chamber is more than the amount of ink ejected from each nozzle when ink is ejected simultaneously from nozzles corresponding to a plurality of adjacent pressure chambers. There is a problem that the discharge amount is large.

図8は、従来の押し打ち方式の圧電アクチュエータの動作を説明するための図である。なお、圧電アクチュエータの構造は、図6と同じである。図8(a)に示すように、隣接する3つの圧力室102a、102b、102cに対向する圧電層103、104が平坦な状態から、図8(c)に示すように、圧力室102a、102b、102cに対応する個別電極101を所定電位とした場合について説明する。圧力室102bに隣接する圧力室102a、102cに対向する活性部106a、106cは、面方向に収縮している。このため、圧電層103の圧力室102bと対向する部分には、活性部106a、106c側に引っ張られる向きの応力が作用する。この応力は、圧力室102bに対向する活性部106bの収縮を阻害する向きであるため、圧力室102bに対向する圧電層103、104の変形量が小さくなる。図8(a)に示すように、圧力室102a、102b、102cに対向する圧電層103、104が平坦な状態から、図8(b)に示すように、1つの圧力室102bに対応する個別電極101を所定電位とした場合について説明する。圧力室102bと隣接する圧力室102a、102cと対向する活性部106a、106cは、面方向に収縮していない。このため、圧力室102bと対向する部分の圧電層103、104には、上記のような応力は生じない。従って、隣接する圧力室102a、102b、102cに対応するノズルから同時にインクを吐出させる場合と比べて、1つの圧力室102bに対応するノズルからインクを吐出させる場合の圧電層103、104の変形量、すなわち、圧力室102bの容積の変化量が大きくなる。つまり、隣接する圧力室102a、102b、102cに対応するノズルから同時にインクを吐出させる場合の各ノズルの吐出量が、1つの圧力室102bに対応するノズルからインクを吐出させる場合の吐出量よりも少なくなる。   FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of a conventional push-type piezoelectric actuator. The structure of the piezoelectric actuator is the same as in FIG. As shown in FIG. 8A, from the state where the piezoelectric layers 103 and 104 facing the three adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c are flat, as shown in FIG. 8C, the pressure chambers 102a and 102b. , 102c, the case where the individual electrode 101 corresponding to the predetermined potential is described. The active portions 106a and 106c facing the pressure chambers 102a and 102c adjacent to the pressure chamber 102b are contracted in the surface direction. For this reason, the stress of the direction pulled by the active part 106a, 106c side acts on the part facing the pressure chamber 102b of the piezoelectric layer 103. FIG. Since this stress is in a direction that inhibits the contraction of the active portion 106b facing the pressure chamber 102b, the deformation amount of the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chamber 102b is reduced. As shown in FIG. 8 (a), the piezoelectric layers 103 and 104 facing the pressure chambers 102a, 102b and 102c are flat, and as shown in FIG. 8 (b), an individual corresponding to one pressure chamber 102b. A case where the electrode 101 is set to a predetermined potential will be described. The active portions 106a and 106c facing the pressure chambers 102a and 102c adjacent to the pressure chamber 102b are not contracted in the surface direction. For this reason, the stress as described above does not occur in the piezoelectric layers 103 and 104 in the portion facing the pressure chamber 102b. Accordingly, the deformation amount of the piezoelectric layers 103 and 104 when ink is ejected from the nozzles corresponding to one pressure chamber 102b, compared to the case where ink is ejected simultaneously from the nozzles corresponding to the adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c. That is, the amount of change in the volume of the pressure chamber 102b increases. That is, the discharge amount of each nozzle when ink is simultaneously discharged from the nozzles corresponding to the adjacent pressure chambers 102a, 102b, and 102c is larger than the discharge amount when ink is discharged from the nozzle corresponding to one pressure chamber 102b. Less.

本発明は、押し打ち方式にも適用可能である。図9は、圧電アクチュエータ19の動作を説明するための図である。図9(a)は、ノズル20からインクを吐出しない待機状態を示す。待機状態では、個別電極36がグランド電位とされている。このため、圧電層33、34の、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なっている部分が平坦な状態となっている。図9(b)は、1つの圧力室21bに対応する個別電極36が所定電位とされている状態を示す。図9(c)は、隣接する3つの圧力室21a、21b、21cに対応する3つの個別電極36が所定電位とされている状態を示す。   The present invention can also be applied to a pushing method. FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the piezoelectric actuator 19. FIG. 9A shows a standby state in which ink is not ejected from the nozzle 20. In the standby state, the individual electrode 36 is set to the ground potential. For this reason, the portions of the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the pressure chambers 21a, 21b, and 21c in the thickness direction are flat. FIG. 9B shows a state in which the individual electrode 36 corresponding to one pressure chamber 21b is set to a predetermined potential. FIG. 9C shows a state in which the three individual electrodes 36 corresponding to the three adjacent pressure chambers 21a, 21b, and 21c are set to a predetermined potential.

圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる動作について説明する。図9(a)に示すように、個別電極36がグランド電位とされている状態から、図9(b)に示すように、圧力室21bに対応する個別電極36の電位を、ドライバIC40により、所定電位とする。圧力室21bと厚み方向において重なる第1活性部44は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。このため、圧電層33、34の、吐出対象の圧力室21bと厚み方向において重なる部分は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。これにより、圧力室21b内に圧力が発生し、圧力室21bに連通するノズル20からインクが押し出されて吐出される。   An operation of ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b will be described. As shown in FIG. 9A, from the state in which the individual electrode 36 is at the ground potential, as shown in FIG. 9B, the potential of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21b is changed by the driver IC 40. Set to a predetermined potential. The first active portion 44 that overlaps the pressure chamber 21b in the thickness direction is deformed from a flat state to a convex shape toward the pressure chamber 21b. Therefore, the portions of the piezoelectric layers 33 and 34 that overlap the discharge target pressure chamber 21b in the thickness direction are deformed from a flat state to a convex shape toward the pressure chamber 21b. Thereby, pressure is generated in the pressure chamber 21b, and ink is pushed out from the nozzle 20 communicating with the pressure chamber 21b and discharged.

圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出させる動作について説明する。図9(a)に示すように、個別電極36がグランド電位とされている状態から、図9(c)に示すように、隣接する圧力室21a、21b、21cに対応する個別電極36の電位を、ドライバIC40により、所定電位とする。圧力室21bに着目すると、隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36も所定電位とされている。第1活性部44、第2活性部45、46は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。このため、圧電層33、34の圧力室21bと厚み方向において重なる部分は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。このとき、待機状態と比べて圧力室21b内の容積が減少する。これにより、圧力室21b内に圧力が発生し、圧力室21bに連通するノズル20からインクが押し出されて吐出される。圧力室21a、21cにおいても同様である。   An operation of simultaneously ejecting ink from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c will be described. As shown in FIG. 9A, the potential of the individual electrode 36 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a, 21b, and 21c as shown in FIG. Is set to a predetermined potential by the driver IC 40. Focusing on the pressure chamber 21b, the individual electrodes 36 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a and 21c are also set to a predetermined potential. The 1st active part 44 and the 2nd active part 45 and 46 deform | transform from the flat state to the state which became convex toward the pressure chamber 21b side. For this reason, the part which overlaps with the pressure chamber 21b of the piezoelectric layers 33 and 34 in the thickness direction deform | transforms into the state which protruded from the flat state to the pressure chamber 21b side. At this time, the volume in the pressure chamber 21b decreases compared to the standby state. Thereby, pressure is generated in the pressure chamber 21b, and ink is pushed out from the nozzle 20 communicating with the pressure chamber 21b and discharged. The same applies to the pressure chambers 21a and 21c.

圧力室21a、21b、21cのうち、圧力室21bに対応する個別電極36の電位を変化させて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合に、圧力室21bに対応する個別電極36の第1部分41は電位が変化される。圧力室21bに隣接する圧力室21a、21cに対応する個別電極36の第2部分42、43は電位が変化されない。このため、吐出対象の1つの圧力室21bと厚み方向において重なる第1活性部44は、平坦な状態から圧力室21b側へ凸となった状態に変形する。第2活性部45、46は、平坦な状態のままである。   Among the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, when the potential of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21b is changed and ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b, the individual electrode corresponding to the pressure chamber 21b The potential of the first portion 41 of 36 is changed. The potentials of the second portions 42 and 43 of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chambers 21a and 21c adjacent to the pressure chamber 21b are not changed. For this reason, the 1st active part 44 which overlaps with the one pressure chamber 21b of discharge object in the thickness direction deform | transforms into the state which became convex from the flat state to the pressure chamber 21b side. The second active parts 45 and 46 remain flat.

一方、圧力室21a、21b、21cに対応する個別電極36の電位を変化させて、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なる第1部分41、第2部分42、43の電位が変化される。このため、圧力室21a、21b、21cと厚み方向において重なる第1活性部44、第2活性部45、46ともに変形する。言い換えれば、隣接する圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出する場合に比べて、1つの圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の、電位が変化される電極の面積が実質的に小さくなっている。このため、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを吐出する場合に比べて、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の、待機状態からの圧力室21内の容積の減少が小さくなり、インクの吐出量が少なくなる。つまり、圧力室21a、21b、21cに対応するノズル20からインクを同時に吐出する場合の各ノズル20の吐出量よりも、圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出する場合の吐出量が少なくなる。   On the other hand, when the potential of the individual electrode 36 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c is changed and ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the pressure chambers 21a, 21b, and 21c, the thicknesses of the pressure chambers 21a, 21b, and 21c are the same. The potentials of the first portion 41 and the second portions 42 and 43 that overlap in the direction are changed. For this reason, both the first active part 44 and the second active parts 45 and 46 that overlap the pressure chambers 21a, 21b, and 21c in the thickness direction are deformed. In other words, compared with the case where ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to the adjacent pressure chambers 21a, 21b, and 21c, the potential when ink is ejected from the nozzles 20 corresponding to one pressure chamber 21b is changed. The area of the electrode is substantially reduced. For this reason, in the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b, compared with the case where ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c, the inside of the pressure chamber 21 from the standby state. The decrease in volume is reduced, and the amount of ink discharged is reduced. That is, the ejection amount when ejecting ink from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21b is smaller than the ejection amount of each nozzle 20 when ejecting ink simultaneously from the nozzle 20 corresponding to the pressure chamber 21a, 21b, 21c. Become.

また、1つの圧力室21bに対応するノズル20からインクを吐出させる場合、圧力室21bに対応する個別電極36が所定電位とされる。このため、圧力室21bに隣接する圧力室21a、21cと厚み方向において重なっている第2部分42、43は、第1部分41と同様、所定電位となる。圧力室21a、21cと厚み方向において重なる第2活性部45、46は、平坦な状態から圧力室21a、21c側へ凸となった状態に変形する。従って、圧力室21a、21c側へ凸となるように変形する第2活性部45、46により、圧力室21bに対向する部分の圧電層34が引っ張られ、圧力室21bに対向する部分の圧電層33、34の変形が抑制される。これにより、さらに圧力室21bの容積の減少が小さくなり、吐出量が少なくなる。   When ink is ejected from the nozzle 20 corresponding to one pressure chamber 21b, the individual electrode 36 corresponding to the pressure chamber 21b is set to a predetermined potential. For this reason, the 2nd parts 42 and 43 which overlap with the pressure chambers 21a and 21c adjacent to the pressure chamber 21b in the thickness direction become a predetermined electric potential like the 1st part 41. The second active portions 45 and 46 that overlap the pressure chambers 21a and 21c in the thickness direction are deformed from a flat state to a convex shape toward the pressure chambers 21a and 21c. Therefore, the second active portions 45 and 46 that are deformed so as to protrude toward the pressure chambers 21a and 21c pull the piezoelectric layer 34 in the portion facing the pressure chamber 21b, and the piezoelectric layer in the portion facing the pressure chamber 21b. Deformation of 33 and 34 is suppressed. Thereby, the decrease in the volume of the pressure chamber 21b is further reduced, and the discharge amount is reduced.

上述の実施形態では、個別電極36は、点対称な形状となっている。これに限らず、図10(a)に示すように、第1部分41に対して線対称な形状であってもよい。この場合、第2部分42、43とは、それぞれ、第1部分41のいずれか一端と接続部47、48により接続されている。また、隣接する個別電極36は、走査方向における向きが反対となるように配置されていてもよい。また、図10(b)に示すように、図10(a)に示す個別電極36に比べて、第1部分41の走査方向における長さを短くし、第2部分42、43の長さを長くすることも可能である。   In the above-described embodiment, the individual electrode 36 has a point-symmetric shape. However, the shape is not limited to this, and the shape may be symmetrical with respect to the first portion 41 as shown in FIG. In this case, the second portions 42 and 43 are connected to either one end of the first portion 41 by connection portions 47 and 48, respectively. Further, the adjacent individual electrodes 36 may be arranged so that the directions in the scanning direction are opposite. Further, as shown in FIG. 10B, the length of the first portion 41 in the scanning direction is shortened and the length of the second portions 42 and 43 is made shorter than that of the individual electrode 36 shown in FIG. It can also be made longer.

上述の実施形態では、個別電極36は、2つの第2部分42、43を有している。これに限らず、第2部分は、1つであってもよい。例えば、図10(c)に示すように、個別電極36は、個別電極36が対応する圧力室21の前方で隣接する圧力室21と厚み方向において重なる第2部分42を有するようになっていてもよい。また、図10(d)に示すように、第2部分42を有する個別電極36において、隣接する個別電極36は、走査方向における向きが反対となるように配置されていてもよい。また、個別電極36は、対応する圧力室21の前方で隣接する圧力室21と重なる第2部分42を有する場合、後方で隣接する圧力室21がない後端の圧力室21を除いて、圧力室21は、第1部分41、第2部分42と重なっている。このため、孔38は、後端の圧力室21に隣接するものだけでよい。孔用電極49も、後端の圧力室21に隣接する孔38に対応するものだけでよい。   In the above-described embodiment, the individual electrode 36 has two second portions 42 and 43. Not only this but the 2nd part may be one. For example, as shown in FIG. 10C, the individual electrode 36 has a second portion 42 that overlaps with the pressure chamber 21 adjacent to the front side of the pressure chamber 21 corresponding to the individual electrode 36 in the thickness direction. Also good. As shown in FIG. 10D, in the individual electrode 36 having the second portion 42, the adjacent individual electrodes 36 may be arranged so that the directions in the scanning direction are opposite. Moreover, when the individual electrode 36 has the 2nd part 42 which overlaps with the pressure chamber 21 adjacent ahead of the corresponding pressure chamber 21, the pressure chamber 21 is excluded except the pressure chamber 21 of the rear end which does not have the pressure chamber 21 adjacent behind. The chamber 21 overlaps the first portion 41 and the second portion 42. For this reason, the hole 38 need only be adjacent to the pressure chamber 21 at the rear end. The hole electrode 49 is also only required to correspond to the hole 38 adjacent to the pressure chamber 21 at the rear end.

上述の実施形態では、圧電アクチュエータ19は、2層の圧電層33、34を有している。これに限らず、3層以上の圧電層を有していてもよい。図10(e)は、3層の圧電層61〜63を有する圧電アクチュエータ19の拡大平面図である。図10(f)は、図10(e)のVIII-VIII線断面図である。図10(e)及び図10(f)に示すように、上層の圧電層63と中層の圧電層62との間に個別電極36が配置されている。上層の圧電層63の上面には、第1共通電極64が、複数の個別電極36と厚み方向において重なるように配置されている。第1共通電極64は、平面視櫛歯状である。中層の圧電層62と下層の圧電層61との間には、圧電層61、62全面にわたって、第2共通電極65が配置されている。圧電層62、63の、第1部分41と第1共通電極64、第1部分41と第2共通電極65とに挟まれている部分が、第1活性部44である。圧電層62、63の、第2部分42と第1共通電極64、第2部分42と第2共通電極65に挟まれている部分が、第2活性部45である。圧電層62、63の、第2部分43と第1共通電極64、第2部分43と第2共通電極65に挟まれている部分が、第2活性部46である。上層の圧電層63には、個別電極36をドライバIC40に接続するためのスルーホール66が設けられている。   In the above-described embodiment, the piezoelectric actuator 19 has two piezoelectric layers 33 and 34. Not only this but you may have three or more piezoelectric layers. FIG. 10E is an enlarged plan view of the piezoelectric actuator 19 having three piezoelectric layers 61 to 63. FIG. 10F is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. As shown in FIGS. 10E and 10F, the individual electrode 36 is disposed between the upper piezoelectric layer 63 and the middle piezoelectric layer 62. A first common electrode 64 is disposed on the upper surface of the upper piezoelectric layer 63 so as to overlap the plurality of individual electrodes 36 in the thickness direction. The first common electrode 64 has a comb shape in plan view. Between the middle piezoelectric layer 62 and the lower piezoelectric layer 61, the second common electrode 65 is disposed over the entire surface of the piezoelectric layers 61 and 62. A portion of the piezoelectric layers 62 and 63 sandwiched between the first portion 41 and the first common electrode 64 and between the first portion 41 and the second common electrode 65 is the first active portion 44. A portion of the piezoelectric layers 62 and 63 sandwiched between the second portion 42 and the first common electrode 64 and between the second portion 42 and the second common electrode 65 is the second active portion 45. A portion of the piezoelectric layers 62 and 63 sandwiched between the second portion 43 and the first common electrode 64 and between the second portion 43 and the second common electrode 65 is the second active portion 46. The upper piezoelectric layer 63 is provided with a through hole 66 for connecting the individual electrode 36 to the driver IC 40.

第2共通電極65は、ドライバIC40により、常に、グランド電位に保たれている。第1共通電極64は、ドライバIC40により、常に、グランド電位と所定の電位差の、所定電位に保たれている。個別電極36は、ドライバIC40により、グランド電位と所定電位とに変化される。個別電極36がグランド電位とされ、第1共通電極64との電位差により、圧電層61〜63が、圧力室21側へ凸となっている状態が待機状態である。待機状態から、個別電極36が所定電位とされると、第2共通電極65との電位差により、圧電層61〜63が、圧力室21と反対側へ凸となった状態に変形する。この後、個別電極36をグランド電位とし、圧電層61〜63が、圧力室21側へ凸となっている待機状態とする。これにより、圧力室21の容積が減少後、増大し、圧力室21を介してノズル20からインクが吐出される。   The second common electrode 65 is always kept at the ground potential by the driver IC 40. The first common electrode 64 is always kept at a predetermined potential that is a predetermined potential difference from the ground potential by the driver IC 40. The individual electrode 36 is changed to a ground potential and a predetermined potential by the driver IC 40. The state in which the individual electrode 36 is set to the ground potential and the piezoelectric layers 61 to 63 are convex toward the pressure chamber 21 due to the potential difference with the first common electrode 64 is a standby state. When the individual electrode 36 is set to a predetermined potential from the standby state, the piezoelectric layers 61 to 63 are deformed in a convex shape on the side opposite to the pressure chamber 21 due to a potential difference with the second common electrode 65. Thereafter, the individual electrode 36 is set to the ground potential, and the piezoelectric layers 61 to 63 are set to a standby state in which they protrude toward the pressure chamber 21 side. As a result, the volume of the pressure chamber 21 decreases and then increases, and ink is ejected from the nozzle 20 via the pressure chamber 21.

上述の実施形態では、個別電極36は、ドライバIC40に接続され、個別電極36の第1部分41と第2部分42、43とは導通している。これに限らず、第1部分41と第2部分42、43とが導通しておらず、第1部分41、第2部分42、43が、それぞれ、ドライバIC40に接続されていてもよい。この場合、吐出対象の圧力室21と対応する個別電極36の第1部分41と同じタイミングで、吐出対象の圧力室と隣接する圧力室21と厚み方向で重なる第2部分42、43の電位を変化させるようにすればよい。   In the above-described embodiment, the individual electrode 36 is connected to the driver IC 40, and the first portion 41 and the second portions 42 and 43 of the individual electrode 36 are electrically connected. Not limited to this, the first portion 41 and the second portions 42 and 43 may not be electrically connected, and the first portion 41 and the second portions 42 and 43 may be connected to the driver IC 40, respectively. In this case, at the same timing as the first portion 41 of the individual electrode 36 corresponding to the discharge target pressure chamber 21, the potentials of the second portions 42 and 43 that overlap the pressure chamber 21 adjacent to the discharge target pressure chamber 21 in the thickness direction are set. Change it.

上述の実施形態では、第1部分41と第2部分42、43とは、変化する電位の値が略同じである。これに限らず、例えば、第1部分41と第2部分42、43との間に、接続部47、48以外の抵抗を設け、変化する電位の値が異なるようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the first portion 41 and the second portions 42 and 43 have substantially the same potential value. For example, a resistor other than the connection portions 47 and 48 may be provided between the first portion 41 and the second portions 42 and 43 so that the value of the changing potential is different.

上述の実施形態では、個別電極36の第1部分41と第2部分42、43とは、圧電層34の一表面において、導通している。これに限らず、一表面において接続を妨げるような部材等がある場合は、例えば、圧電層33、34との間で導通していてもよい。   In the above-described embodiment, the first portion 41 and the second portions 42 and 43 of the individual electrode 36 are electrically connected on one surface of the piezoelectric layer 34. However, the present invention is not limited to this, and when there is a member or the like that prevents connection on one surface, for example, conduction may be established between the piezoelectric layers 33 and 34.

上述の実施形態では、複数の個別電極36は、複数の圧力室21と同数である。これに限らず、複数の個別電極は、複数の圧力室と同数でなくてもよい。例えば、個別電極が1層ではなく、複数層にある場合である。個別電極が共通電極を挟んで2層にある場合は、複数の個別電極の数は、複数の圧力室の数の2倍となる。   In the embodiment described above, the number of the plurality of individual electrodes 36 is the same as the number of the plurality of pressure chambers 21. However, the number of the individual electrodes is not limited to the number of the plurality of pressure chambers. For example, this is a case where the individual electrodes are not in one layer but in multiple layers. When the individual electrodes are in two layers across the common electrode, the number of the plurality of individual electrodes is twice the number of the plurality of pressure chambers.

上述の実施形態では、インクジェットプリンタ1の記録方式は、インクジェットヘッド5が移動するシリアル型のインクジェット記録方式である。これに限らず、インクジェットプリンタ1の記録方式は、インクジェットヘッドが移動しないライン型のインクジェット記録方式であってもよい。また、インクジェットプリンタ以外の液体吐出装置にも適用可能である。   In the above embodiment, the recording method of the ink jet printer 1 is a serial ink jet recording method in which the ink jet head 5 moves. However, the recording method of the ink jet printer 1 may be a line type ink jet recording method in which the ink jet head does not move. Also, the present invention can be applied to liquid ejection devices other than ink jet printers.

1 インクジェットプリンタ
5 インクジェットヘッド
18 流路ユニット
19 圧電アクチュエータ
20 ノズル
21 圧力室
33、34、61〜63 圧電層
35 共通電極
36 個別電極
37 圧力室列
38 孔
40 ドライバIC
41 第1部分
42、43 第2部分
44 第1活性部
45、46 第2活性部
47、48、52 接続部
49 孔用電極
50 第3部分
51 第4部分
53 第3活性部
54 第4活性部
64 第1共通電極
65 第2共通電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet printer 5 Inkjet head 18 Flow path unit 19 Piezoelectric actuator 20 Nozzle 21 Pressure chamber 33, 34, 61-63 Piezoelectric layer 35 Common electrode 36 Individual electrode 37 Pressure chamber row 38 Hole 40 Driver IC
41 1st part 42, 43 2nd part 44 1st active part 45, 46 2nd active part 47, 48, 52 Connection part 49 Hole electrode 50 3rd part 51 4th part 53 3rd active part 54 4th activity Part 64 first common electrode 65 second common electrode

Claims (8)

液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室が所定方向に配列されることで形成された圧力室列の前記所定方向の端に隣接し、前記圧力室と同じ大きさであって前記ノズルと連通していない孔とが形成された流路構造体と、
前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記複数の圧力室及び前記孔を覆うように配置され、且つ、前記複数の圧力室の配置平面に沿って延在する圧電層と、
前記圧電層に配置され、且つ、前記複数の圧力室とそれぞれ対応する複数の駆動電極と、
前記圧電層に配置され、且つ、前記孔と対応する孔用電極と、
前記複数の駆動電極及び前記孔用電極の電位を変化させる駆動装置と、を有し、
前記複数の駆動電極は、それぞれ、対応する前記圧力室と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第1部分と、対応する前記圧力室に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第2部分と、を有し、
前記孔用電極は、対応する前記孔と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第3部分と、対応する前記孔に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第4部分と、を有し、
前記圧電層は、複数の前記第1部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第1活性部と、複数の前記第2部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第2活性部と、前記第3部分と前記直交する方向において重なる第3活性部と、前記第4部分と前記直交する方向において重なる第4活性部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
A plurality of nozzles for discharging liquid, a plurality of pressure chambers respectively communicating with the plurality of nozzles, and an end in the predetermined direction of a pressure chamber row formed by arranging the plurality of pressure chambers in a predetermined direction A flow path structure that is adjacent and formed with a hole that is the same size as the pressure chamber and does not communicate with the nozzle ;
A piezoelectric actuator provided in the flow path structure,
The piezoelectric actuator is
A piezoelectric layer disposed so as to cover the plurality of pressure chambers and the hole , and extending along a plane in which the plurality of pressure chambers are disposed;
A plurality of drive electrodes disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the plurality of pressure chambers;
A hole electrode disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the hole;
A drive device that changes the potential of the plurality of drive electrodes and the hole electrode ;
Each of the plurality of drive electrodes overlaps with the corresponding pressure chamber in a direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer, and in a direction orthogonal to the pressure chamber adjacent to the corresponding pressure chamber. A second part,
The hole electrode includes a third portion that overlaps the corresponding hole and a direction perpendicular to the surface direction of the piezoelectric layer, a fourth portion that overlaps the pressure chamber adjacent to the corresponding hole, and the fourth portion. Have
The piezoelectric layer includes a plurality of first active portion that overlaps the plurality of the first portion and the direction of the perpendicular, respectively, and a plurality of second active portion that overlaps the plurality of the second portion and the direction of the perpendicular, respectively, wherein A liquid ejecting apparatus comprising: a third active portion that overlaps with a third portion in the orthogonal direction; and a fourth active portion that overlaps with the fourth portion in the orthogonal direction .
前記駆動装置は、前記圧力室列の端に位置する第1の前記圧力室に対応する前記ノズル及び前記第1の圧力室に隣接する第2の前記圧力室に対応する前記ノズルからの液体の吐出の有無に応じて、前記孔用電極の電位を変更することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。The driving device is configured to supply liquid from the nozzle corresponding to the first pressure chamber located at an end of the pressure chamber row and the second pressure chamber adjacent to the first pressure chamber. The liquid ejection apparatus according to claim 1, wherein the potential of the hole electrode is changed according to the presence or absence of ejection. 前記駆動装置は、前記第1の圧力室に対応する前記ノズルから液体を吐出し、前記第2の圧力室に対応する前記ノズルから液体を吐出しない場合、前記孔用電極を、前記第2の圧力室に対応する前記駆動電極と同じ電位に保持することを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置。In the case where the driving device discharges liquid from the nozzle corresponding to the first pressure chamber and does not discharge liquid from the nozzle corresponding to the second pressure chamber, the driving device moves the electrode for the hole to the second pressure chamber. The liquid ejection apparatus according to claim 2, wherein the liquid ejection apparatus is held at the same potential as the driving electrode corresponding to the pressure chamber. 前記駆動装置は、前記第1の圧力室に対応する前記ノズル及び前記第2の圧力室に対応する前記ノズルから液体を同時に吐出する場合、前記孔用電極を、前記第2の圧力室に対応する前記駆動電極と同じタイミングで電位を変化させることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出装置。When the driving device simultaneously discharges liquid from the nozzle corresponding to the first pressure chamber and the nozzle corresponding to the second pressure chamber, the driving electrode corresponds to the second pressure chamber. The liquid discharge apparatus according to claim 3, wherein the potential is changed at the same timing as the driving electrode. 前記駆動装置は、前記第1の圧力室に対応する前記ノズルから液体を吐出し、前記第2の圧力室に対応する前記ノズルから液体を吐出しない場合、前記孔用電極を、前記第2の圧力室に対応する前記駆動電極と同じ電位に保持し、前記第1の圧力室に対応する前記ノズル及び前記第2の圧力室に対応する前記ノズルから液体を同時に吐出する場合、前記孔用電極を、前記第2の圧力室に対応する前記駆動電極と同じタイミングで電位を変化させることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出装置。In the case where the driving device discharges liquid from the nozzle corresponding to the first pressure chamber and does not discharge liquid from the nozzle corresponding to the second pressure chamber, the driving device moves the electrode for the hole to the second pressure chamber. In the case where liquid is simultaneously discharged from the nozzle corresponding to the first pressure chamber and the nozzle corresponding to the second pressure chamber while being held at the same potential as the drive electrode corresponding to the pressure chamber, The liquid ejection apparatus according to claim 2, wherein the potential is changed at the same timing as that of the drive electrode corresponding to the second pressure chamber. 液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とが形成された流路構造体と、A flow path structure in which a plurality of nozzles for discharging liquid and a plurality of pressure chambers respectively communicating with the plurality of nozzles are formed;
前記流路構造体に設けられた圧電アクチュエータと、を備え、A piezoelectric actuator provided in the flow path structure,
前記圧電アクチュエータは、The piezoelectric actuator is
前記複数の圧力室を覆うように配置され、且つ、前記複数の圧力室の配置平面に沿って延在する圧電層と、A piezoelectric layer disposed so as to cover the plurality of pressure chambers and extending along an arrangement plane of the plurality of pressure chambers;
前記圧電層に配置され、且つ、前記複数の圧力室とそれぞれ対応する複数の駆動電極と、A plurality of drive electrodes disposed in the piezoelectric layer and corresponding to the plurality of pressure chambers;
前記複数の駆動電極の電位を変化させる駆動装置と、を有し、A drive device that changes the potential of the plurality of drive electrodes,
前記複数の駆動電極は、それぞれ、対応する前記圧力室と前記圧電層の面方向と直交する方向において重なる第1部分と、対応する前記圧力室に隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なる第2部分と、を有し、Each of the plurality of drive electrodes overlaps with the corresponding pressure chamber in a direction orthogonal to the surface direction of the piezoelectric layer, and in a direction orthogonal to the pressure chamber adjacent to the corresponding pressure chamber. A second part,
前記圧電層は、複数の前記第1部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第1活性部と、複数の前記第2部分とそれぞれ前記直交する方向において重なる複数の第2活性部と、を有し、The piezoelectric layer includes a plurality of first active portions that overlap with the plurality of first portions in the orthogonal direction, and a plurality of second active portions that overlap with the plurality of second portions in the orthogonal direction, respectively. Have
前記複数の圧力室は、前記圧力室が所定方向に複数配列されることで形成された圧力室列が前記所定方向と交差する方向に複数並ぶように配列されており、The plurality of pressure chambers are arranged such that a plurality of pressure chamber rows formed by arranging a plurality of the pressure chambers in a predetermined direction are arranged in a direction intersecting the predetermined direction,
前記第2部分は、対応する前記圧力室が属する前記圧力室列に属し当該対応する圧力室に前記所定方向において隣接する前記圧力室と前記直交する方向において重なり、The second portion belongs to the pressure chamber row to which the corresponding pressure chamber belongs, and overlaps the corresponding pressure chamber in the direction orthogonal to the pressure chamber adjacent in the predetermined direction,
前記圧力室は、前記所定方向と直交する方向に延在していることを特徴とする液体吐出装置。The liquid ejection device, wherein the pressure chamber extends in a direction orthogonal to the predetermined direction.
前記第2部分は、前記所定方向において、前記第1部分の両側に配置され、
前記第1部分及び前記第1部分の両側に配置された前記第2部分は、前記所定方向において重なっていることを特徴とする請求項6に記載の液体吐出装置。
The second part is disposed on both sides of the first part in the predetermined direction ,
The liquid ejecting apparatus according to claim 6, wherein the first portion and the second portion disposed on both sides of the first portion overlap in the predetermined direction .
前記第2部分は、前記圧力室の延在方向において、前記圧力室の中央部分と前記所定方向と直交する方向に重なっていることを特徴とする請求項又はに記載の液体吐出装置。 The second portion, in the extending direction of the pressure chamber, the liquid ejecting apparatus according to claim 6 or 7, characterized that you have overlapped in the direction perpendicular to the central portion of the pressure chamber and said predetermined direction.
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