JP6053426B2

JP6053426B2 - 洗浄装置

Info

Publication number: JP6053426B2
Application number: JP2012212308A
Authority: JP
Inventors: 信前嶋
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-09-26
Filing date: 2012-09-26
Publication date: 2016-12-27
Anticipated expiration: 2032-09-26
Also published as: JP2014067871A

Description

本発明は、洗浄液受け容器を有した洗浄装置に関する。

従来例えば特許文献１〜３に記載されるように、各種の加工装置において、加工された被加工物を洗浄するための洗浄装置を備える構成が知られている。特許文献１，２には、それぞれ研削装置（グラインダー）に洗浄装置を備えた構成が開示されており、特許文献３には、切削装置（ダイサー）に洗浄装置を備えた構成が開示されている。

そして、特許文献１にも開示されるように、一般的な洗浄装置の形態においては、洗浄液を受けるための洗浄液受け容器（洗浄液受け容器）を有する構成としている。そして、洗浄液受け容器で受けられた洗浄液は、洗浄液受け容器の下部の一箇所に設けられた排水孔を介して排水される構成としている。

特開平０７−２１１６８５号公報特開２００３−２７３０５５号公報特開２００６−１２８３５９号公報

しかしながら、上述の従来構成の場合では、屑や被洗浄物の破片等が排水孔を目詰まりさせてしまうことや、洗浄液受け容器に堆積して排水孔の周囲を覆ってしまう等の事態が生じることが懸念される。そして、洗浄液の排水が滞ってしまい、洗浄液受け容器から洗浄液が溢れてしまう、つまりは、オーバーフローする不具合が生じるおそれがある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、洗浄装置において、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれを低減する洗浄装置を提供することである。

本発明によると、洗浄装置であって、被洗浄物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された該被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、該保持手段と該洗浄液供給手段とを収容し該被洗浄物に供給された洗浄液を受ける洗浄液受け容器と、該洗浄液受け容器に形成された排水孔に接続されフィルタ部材を通じて洗浄液が流入される排水管と、該排水孔より高い位置で該洗浄液受け容器に形成された予備排水孔に一端が接続される予備排水管と、を備え、該予備排水管の他端は、該排水管における該フィルタ部材よりも下流側で該排水管に接続され、前記予備排水管には、前記予備排水孔からの前記洗浄液の流出を検出することで前記フィルタ部材の詰まりを検出する検出手段が配設されている、ことを特徴とする洗浄装置が提供される。

本発明によると、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれを低減する洗浄装置が提供される。

より具体的には、フィルタ部材を介して排水孔に排水管が接続されることで、排水管内に異物が洗浄液とともに流出することが防止され、これにより、排水管の詰まりが防止され、ひいては、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

また、排水孔より高い位置に予備排水孔が形成されているため、洗浄受け容器内で異物が堆積して洗浄液嵩が増しても、予備排水孔から洗浄液が排水されるため、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

また、一端が予備排水孔に接続される予備排水管の他端は、排水管におけるフィルタ部材よりも下流側で排水管に接続されるため、万一フィルタ部材が詰まっていても排水が可能となり、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

さらに、請求項２に記載の発明によると、予備排水孔から洗浄液が流出した際には、フィルタ部材の詰まりを検出することができる。

これにより、フィルタ部材の詰まりが生じた際には、例えば、警告音などを発生させることとし、これに基づいて清掃を実施するといったことが可能となる。そして、この清掃によって、洗浄液が予備排水管を通じてフィルタを介さずに排水管に流出してしまうことを防止できる。

なお、万一、フィルタ部材の詰まりに気づかない場合や、清掃が間に合わないといった事態が生じた場合でも、予備排水管を通じて排水が可能なので、洗浄液受け容器から洗浄液がオーバーフローするおそれを低減できることになる。

洗浄装置を搭載するのに適した研削装置の斜視図である。本発明実施形態の洗浄装置の構成について示す斜視図である。本発明実施形態の洗浄装置の構成について示す側面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の洗浄装置を搭載するのに適した研削装置２の斜視図が示されている。４は研削装置２のハウジング（ベース）であり、ハウジング４の後方にはコラム６が立設されている。コラム６には、上下方向に延びる一対のガイドレール（一本のみ図示）８が固定されている。

この一対のガイドレール８に沿って研削ユニット１０が上下方向に移動可能に装着されている。研削ユニット１０は、そのハウジング２０が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１２に取り付けられている。

研削ユニット１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０中に回転可能に収容されたスピンドル（不図示）と、スピンドルを回転駆動するサーボモータ２２と、スピンドルの先端に固定されたホイールマウント２４と、ホイールマウント２４に着脱可能に装着された先端に複数の研削砥石２６が固着された研削ホイール２５とを含んでいる。

研削ユニット１０は、研削ユニット１０を一対の案内レール８に沿って上下方向に移動するボールねじ１４とパルスモータ１６とから構成される研削ユニット送り機構１８を備えている。パルスモータ１６をパルス駆動すると、ボールねじ１４が回転し、移動基台１２が上下方向に移動される。

ハウジング４の中間部分にはチャックテーブル５０を有するチャックテーブル機構２８が配設されており、チャックテーブル機構２８は図示しないチャックテーブル移動機構によりＹ軸方向に移動される。３０はチャックテーブル機構２８をカバーする蛇腹である。

ハウジング４の前側部分には、第１のウェーハカセット３２と、第２のウェーハカセット３４と、ウェーハ搬送用ロボット３６と、複数の位置決めピン４０を有する位置決め機構３８と、ウェーハ搬入機構（ローディングアーム）４２と、ウェーハ搬出機構（アンローディングアーム）４４と、洗浄装置６０が配設されている。

また、ハウジング４の概略中央部には、チャックテーブル５０を洗浄する洗浄水噴射ノズル４８が設けられている。この洗浄水噴射ノズル４８は、チャックテーブル５０が装置手前側のウェーハ搬入・搬出領域に位置付けられた状態において、チャックテーブル５０に向かって洗浄水を噴射すべく構成されている。

次に、図２を用いて洗浄装置６０について説明する。洗浄装置６０は、基体６１と、基体６１上に設けられた洗浄液受け容器６２を有している。

洗浄液受け容器６２内には、被洗浄物となるウェーハ（不図示）を吸引保持するスピンナーテーブル６３が収容されている。また、スピンナーテーブル６３を取り囲むように側部カバー６４が設けられており、側部カバー６４は上下動用シリンダー６６によって上下移動されるように構成されている。

側部カバー６４が上方に設けられた上部カバー６５の位置まで到達すると、側部カバー６４、上部カバー６５、洗浄液受け容器６２によって閉じられた洗浄用空間が形成される。

そして、閉じられた洗浄用空間が形成された状態において、洗浄液供給ノズル６７からの洗浄液や、噴射ノズル６８からのエアーがウェーハ（不図示）に向かって噴射され、洗浄が実施される。

他方、側部カバー６４が上下動用シリンダー６６によって下側の位置に位置付けられるとスピンナーテーブル６３が現れ、このスピンナーテーブル６３に対するウェーハ（不図示）のロード／アンロードが行われる。

次に、図３を用いて洗浄装置６０の排水に関する構造について説明する。上方が開放された洗浄液受け容器６２には、上側から筒状の側部カバー６４が挿入されており、側部カバー６４が上下動用シリンダー６６によって上下動される構成としている。

洗浄液受け容器６２の側壁の一面を構成する側壁部６２ａには、排水孔６２ｂが設けられており、この排水孔６２ｂに対し、洗浄液受け容器６２の外部から排水管７０が接続される。

排水孔６２ｂは、洗浄液受け容器６２の内部空間に連通しており、この連通する部位には、フィルタ部材８０が設けられている。これにより、洗浄液受け容器６２内の洗浄液は、フィルタ部材８０を介して排水孔６２ｂへと流入し、排水管７０を通じて外部へと排出される。屑や被洗浄物の破片等の異物は、フィルタ部材８０によって捕捉されるため、外部に排出されることがない。

洗浄液受け容器６２の側壁の他の一面を構成する側壁部６２ｃには、予備排水孔６２ｄが設けられており、この予備排水孔６２ｄに対し、洗浄液受け容器６２の外部から予備排水管７２が接続される。

予備排水管７２の一端は予備排水孔６２ｄに接続される一方で、他端は排水管７０に対して接続される。これにより、予備排水管７２に流出した洗浄液は、排水管７０へと案内され、排水管７０を通じて外部へと排出される。

また、予備排水管７２の排水管７０に対する接続箇所は、排水管７０においてフィルタ部材８０よりも下流側となる位置とされる。これにより、フィルタ部材８０が屑や被洗浄物の破片等の異物で詰まってしまった場合においても、予備排水管７２からの洗浄液を排水管７０を通じて確実に外部に排出することが可能となっている。

また、フィルタ部材８０の形状については、特に限定されるものではないが、洗浄液受け容器６２内に配置される部位において、半球状のフィルタリング面が構成されることが好ましい。半球状とすることにより、フィルタ部材８０における通水面積を広く確保することができ、フィルタ部材８０が完全に詰まってしまうまでの時間を長くすることや、異物を付着し難くすることが期待できる。なお、板状のウェーハの破片の発生が予想される場合には、仮にフィルタリング面が平面であると、フィルタリング面が容易に覆われてしまうことが懸念されるため、半球状のフィルタリング面にて構成することが特に好ましい。

予備排水孔６２ｄは、洗浄液受け容器６２の内部空間に連通しており、この連通する部位には、フィルタ部材が設けられない。これにより、予備排水孔６２ｄの部位においてフィルタ部材の詰まりが発生することがなく、予備排水孔６２ｄに流入した洗浄液受け容器６２内の洗浄液は、予備排水管７２介して排水管７０へと案内され、排水管７０を通じて外部へと排出される。

また、予備排水管７２の一端が接続される予備排水孔６２ｄの位置は、排水管７０が接続される排水孔６２ｂの位置よりも高い位置に設けられている。

これにより、フィルタ部材８０が詰まっていない通常時の状態においては、フィルタ部材８０を通じて排水孔６２ｂへと洗浄液が流入し、排水管７０を通じて洗浄液が外部へと排出される。

また、排水孔６２ｂより高い位置に予備排水孔６２ｄが形成されているため、洗浄液受け容器６２内で異物が堆積して洗浄液嵩が増しても、予備排水孔６２ｄから洗浄液が排水されるため、洗浄液受け容器６２から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

また、本実施形態では、予備排水管７２は、予備排水孔６２ｄの位置から上方に伸びる縦管部７２ａと、縦管部７２ａから水平方向に伸びる横管部７２ｂと、横管部７２ｂから下方に向かって伸びる縦管部７２ｃと、を有して構成されている。

そして、縦管部７２ａには、当該縦管部７２ａに洗浄液が流入した際に、この洗浄液を検出するためのオーバーフローセンサ（検出手段）７６が設けられている。

このオーバーフローセンサ７６は、図示せぬ制御装置に接続され、オーバーフローセンサ７６において洗浄液が検出された際には、所定の警告音を発生させるなどすることで、フィルタ部材８０の詰まりを注意喚起することができる。

なお、このオーバーフローセンサ７６を所定の高さに設置することで、洗浄液受け容器６２内における洗浄液の水嵩を把握するためのフローメータとして使用することとしてもよい。

また、縦管部７２ａを設けることで、洗浄液の水嵩が横管部７２ｂの高さに至るまで洗浄液を貯溜して、オーバーフローに至るまでの時間稼ぎをすることが可能となり、予備排水管７２を通じることでフィルタリングされずに排水管７０へ排出されることを極力抑えることができる。

以上のようにして本発明を実施することができる。
即ち、図２及び図３に示すように、洗浄装置６０であって、被洗浄物を保持するスピンナーテーブル（保持手段）６３と、スピンナーテーブル６３で保持された被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段）６７と、スピンナーテーブル６３と洗浄液供給ノズル６７とを収容し被洗浄物に供給された洗浄液を受ける洗浄液受け容器６２と、洗浄液受け容器６２に形成された排水孔６２ｂに接続されフィルタ部材８０を通じて洗浄液が流入される排水管７０と、排水孔６２ｄより高い位置で洗浄液受け容器６２に形成された予備排水孔６２ｄに一端が接続される予備排水管７２と、を備え、予備排水管７２の他端は、排水管７０におけるフィルタ部材８０よりも下流側で排水管７０に接続される、洗浄装置とする。

また、予備排水管７２には、予備排水孔６２ｄからの前記洗浄液の流出を検出することでフィルタ部材８０の詰まりを検出するオーバーフローセンサ（検出手段）７６を備えることとしている。

これにより、洗浄液受け容器６２から洗浄液がオーバーフローするおそれを低減する洗浄装置６０が提供される。

より具体的には、フィルタ部材８０を介して排水孔６２ｂに排水管７０が接続されることで、排水管７０内に異物が洗浄液とともに流出することが防止され、これにより、排水管７０の詰まりが防止され、ひいては、洗浄液受け容器６２から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

また、排水孔６２ｂより高い位置に予備排水孔６２ｄが形成されているため、洗浄液受け容器内６２で異物が堆積して洗浄液嵩が増しても、予備排水孔６２ｄから洗浄液が排水されるため、洗浄液受け容器６２から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

また、一端が予備排水孔６２ｄに接続される予備排水管７２の他端は、排水管７０におけるフィルタ部材８０よりも下流側で排水管７０に接続されるため、万一フィルタ部材８０が詰まっていても排水が可能となり、洗浄液受け容器６２から洗浄液がオーバーフローするおそれが低減される。

さらに、予備排水孔６２ｄから洗浄液が流出した際には、オーバーフローセンサ７６によってフィルタ部材８０の詰まりを検出することができる。

これにより、フィルタ部材８０の詰まりが生じた際には、例えば、警告音などを発生させることとし、これに基づいて清掃を実施するといったことが可能となる。この清掃によって、洗浄液が予備排水管７２を通じてフィルタを介さずに排水管に流出してしまうことを防止できる。

なお、以上の実施形態では、加工装置（研削装置）に組み込まれる洗浄装置の例を用いて説明したが、本発明は、このような実施形態に限らず、単体の洗浄装置についても適用可能である。

６０洗浄装置
６２洗浄液受け容器
６２ａ側壁部
６２ｂ排水孔
６２ｃ側壁部
６２ｄ予備排水孔
６３スピンナーテーブル
６７洗浄液供給ノズル
６８噴射ノズル
７０排水管
７２予備排水管
７６オーバーフローセンサ
８０フィルタ部材

Claims

洗浄装置であって、
被洗浄物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された該被洗浄物に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
該保持手段と該洗浄液供給手段とを収容し該被洗浄物に供給された洗浄液を受ける洗浄液受け容器と、
該洗浄液受け容器に形成された排水孔に接続されフィルタ部材を通じて洗浄液が流入される排水管と、
該排水孔より高い位置で該洗浄液受け容器に形成された予備排水孔に一端が接続される予備排水管と、を備え、
該予備排水管の他端は、該排水管における該フィルタ部材よりも下流側で該排水管に接続され、
前記予備排水管には、前記予備排水孔からの前記洗浄液の流出を検出することで前記フィルタ部材の詰まりを検出する検出手段が配設されている、
ことを特徴とする洗浄装置。