JP6049322B2

JP6049322B2 - Liquid discharge head and manufacturing method thereof

Info

Publication number: JP6049322B2
Application number: JP2012140707A
Authority: JP
Inventors: 明久飯尾; 中窪　亨; 亨中窪
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2012-06-22
Filing date: 2012-06-22
Publication date: 2016-12-21
Anticipated expiration: 2032-06-22
Also published as: JP2014004717A

Description

本発明は、インクの吐出によって記録動作を行うインクジェット記録装置に設けられた液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid discharge head provided in an ink jet recording apparatus that performs a recording operation by discharging ink and a method for manufacturing the same.

圧電材料から成る筒状のインク吐出部（圧電素子）によって構成され、駆動電圧の印加によってインク吐出部が変形することで容積が収縮可能な圧力室を有する液体吐出ヘッドの構成と製造方法が、特許文献１に開示されている。 A configuration and a manufacturing method of a liquid discharge head including a pressure chamber that is configured by a cylindrical ink discharge portion (piezoelectric element) made of a piezoelectric material and whose volume can be contracted by deformation of the ink discharge portion by application of a drive voltage. It is disclosed in Patent Document 1.

液体吐出ヘッドは、ユニット積層体（圧電素子基板）によって構成されており、四角筒状で内部に貫通する空洞が形成され、高密度に配置された複数のインク吐出部を有している。インク吐出部に電気信号が供給されると、板厚方向に貫通する圧力室を構成する四つの壁部がそれぞれ樽形状に膨張することで圧力室の容積を収縮し、圧力室に溜まったインクを吐出する。インク吐出部が高密度に配置されていることによって、解像度の高い記録が実現されている。 The liquid discharge head is composed of a unit laminate (piezoelectric element substrate), has a square cylindrical shape with a cavity penetrating inside, and has a plurality of ink discharge portions arranged at high density. When an electric signal is supplied to the ink ejection part, the four wall parts constituting the pressure chamber penetrating in the plate thickness direction expand into a barrel shape, thereby reducing the volume of the pressure chamber, and the ink accumulated in the pressure chamber Is discharged. High-resolution recording is realized by arranging the ink discharge portions at high density.

各圧力室の周囲には、それぞれの圧力室を取り囲むように圧力室分離溝が設けられていることで、実質的にそれぞれ分離された圧力室を含む筒状の複数のインク吐出部が形成されている。圧力室の四つの壁部が樽形状に膨張しても、圧力室分離溝が設けられているために、隣り合う圧力室に壁部の膨張が伝達せず、クロストークが低減される。 Around each pressure chamber, a pressure chamber separation groove is provided so as to surround each pressure chamber, thereby forming a plurality of cylindrical ink discharge portions including substantially separate pressure chambers. ing. Even if the four wall portions of the pressure chamber expand into a barrel shape, since the pressure chamber separation groove is provided, the expansion of the wall portion is not transmitted to the adjacent pressure chamber, and crosstalk is reduced.

圧電材料（圧電体）から成る溝状の圧力室（インクチャネル）を有し、駆動電圧の印加によって圧力室を収縮させてインクを吐出する構成を有する液体吐出ヘッドの構成と製造方法が、特許文献２に開示されている。 Patent application title: STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD OF A LIQUID DISCHARGE HEAD HAVING A GROOVE-TYPE PRESSURE CHAMBER (INK CHANNEL) COMPRISING A PIEZOELECTRIC MATERIAL (PIEZOELECTRIC) AND CONTAINING A STRUCTURE OF DISCHARGING INK BY PRESSURE CONDUCT It is disclosed in Document 2.

圧力室は、圧電材料プレート（圧電性素材の基板）の表面に構成された溝から成り、この溝をトッププレートとノズルプレートで塞ぐことで構成されている。圧力室と交互して、圧電材料プレートに圧力室分離溝（ダミーチャネル）が設けられており、圧力室と圧力室分離溝の間の部分が側壁になっている。圧電材料プレートに電気信号が供給されると側壁が変形し、圧力室の容積を収縮させて、インクをノズルプレートの吐出口（ノズル）から吐出する。圧力室分離溝が設けられているために、圧力室と圧力室分離溝の間の側壁が変形しても、隣り合う圧力室に側壁の変形が伝達しないので、クロストークが低減される。 The pressure chamber is formed by a groove formed on the surface of a piezoelectric material plate (piezoelectric material substrate), and is configured by closing the groove with a top plate and a nozzle plate. Alternating with the pressure chamber, a pressure chamber separation groove (dummy channel) is provided in the piezoelectric material plate, and a portion between the pressure chamber and the pressure chamber separation groove is a side wall. When an electric signal is supplied to the piezoelectric material plate, the side wall is deformed, the volume of the pressure chamber is contracted, and ink is ejected from the ejection port (nozzle) of the nozzle plate. Since the pressure chamber separation groove is provided, even if the side wall between the pressure chamber and the pressure chamber separation groove is deformed, the deformation of the side wall is not transmitted to the adjacent pressure chamber, so that crosstalk is reduced.

特開２００７−１６８３１９号公報JP 2007-168319 A 特許３２１７００６号公報Japanese Patent No. 32117006

しかしながら、特許文献１に開示された発明では、個々のインク吐出部が実質的に独立した四角筒状に形成されているため、インク吐出部の外周面から内周面（圧力室内面）までの壁部の厚さが薄く、インク吐出部の耐久性が低い。高画質な記録のために高い粘度のインクを吐出する場合には、圧力室のインクの吐出力を高める必要があり、それには圧力室の長さを長くしなければならない。しかし、圧力室の長さを長くするためには、インク吐出部の長さを長くする必要があり、空洞を備えた四角筒状のインク吐出部の薄い壁部の長さを長くすることで、インク吐出部の耐久性が更に低くなる。そのため、記録媒体への文字や画像の記録の際に発生する振動や、高粘度のインクを吐出するために繰り返されるインク吐出部の収縮によって、インク吐出部の壁部が破損してインクを吐出することができなくなってしまうおそれがある。そのため、高粘度のインクを吐出することのできる耐久性を有したインク吐出部が必要である。 However, in the invention disclosed in Patent Document 1, since each ink discharge portion is formed in a substantially independent rectangular tube shape, from the outer peripheral surface to the inner peripheral surface (pressure chamber inner surface) of the ink discharge portion. The wall portion is thin and the durability of the ink ejection portion is low. In order to eject high viscosity ink for high-quality recording, it is necessary to increase the ink ejection force of the pressure chamber, and the length of the pressure chamber must be increased. However, in order to increase the length of the pressure chamber, it is necessary to increase the length of the ink discharge portion, and by increasing the length of the thin wall portion of the rectangular cylindrical ink discharge portion having a cavity. In addition, the durability of the ink discharge portion is further reduced. For this reason, the wall portion of the ink discharge portion is damaged by the vibration generated when characters or images are recorded on the recording medium or the ink discharge portion is repeatedly contracted to discharge high viscosity ink, thereby discharging the ink. You may not be able to do it. Therefore, there is a need for an ink discharge section having durability that can discharge high-viscosity ink.

特許文献２に開示された発明では、圧電材料プレートに圧力室が溝状に構成されており、ノズルプレートが圧電材料プレートの溝に対して直交した方向に接合しているため、一枚の圧電材料プレートに対して形成することのできるインクの吐出口は一列のみである。記録媒体へ解像度の高い記録を行うためには、インクの吐出口が高密度に配置されている必要があり、一列では十分でないため、複数の圧電材料プレートを積層しなければならない。しかし、圧電材料プレートの上面には、インクを貯留する共通液室を構成する部材（インクプール）が設けられているため平坦でなく、複数の圧電材料プレートを容易に積層することができない。 In the invention disclosed in Patent Document 2, since the pressure chamber is formed in a groove shape in the piezoelectric material plate and the nozzle plate is joined in a direction orthogonal to the groove of the piezoelectric material plate, There is only one row of ink ejection openings that can be formed on the material plate. In order to perform recording with high resolution on a recording medium, it is necessary that the ink ejection ports be arranged at a high density, and a single row is not sufficient. Therefore, a plurality of piezoelectric material plates must be stacked. However, since a member (ink pool) constituting a common liquid chamber for storing ink is provided on the upper surface of the piezoelectric material plate, it is not flat and a plurality of piezoelectric material plates cannot be easily stacked.

そこで本発明の目的は、前記した問題を解決して、高粘度のインクを吐出できる耐久性を備え、高密度に配置され、クロストークを低減するインク吐出部が設けられたユニット積層体を有する液体吐出ヘッドを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems, and has a unit laminate body that is provided with an ink discharge portion that is arranged at a high density and has a durability capable of discharging high-viscosity ink and that reduces crosstalk. The object is to provide a liquid discharge head.

前記した目的を達成するために、本発明は、記録液を吐出する複数の吐出口を備えた表面プレートと、溝状の複数の開口部と記録液を吐出口へ供給する溝状の複数の圧力室とを備えた記録液吐出体と、記録液吐出体に設けられ、複数の圧力室及び複数の開口部に沿って延び、複数の圧力室同士の間かつ複数の開口部同士の間に備えられた複数の圧力室分離溝と、を有し、記録液吐出体は、第一の圧電材料プレートと第二の圧電材料プレートを交互に積層することで形成され、圧力室と開口部は、第一の圧電材料プレートと第二の圧電材料プレートの積層方向にみて交互に設けられるとともに積層方向にみて重なり合う位置に設けられ、圧力室分離溝は、積層された複数の第一の圧電材料プレートと複数の第二の圧電材料プレートを積層方向に沿って貫通するように設けられていることを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, the present invention provides a surface plate having a plurality of ejection openings for ejecting recording liquid, a plurality of groove-shaped openings, and a plurality of groove-shaped openings for supplying recording liquid to the ejection openings. a recording liquid discharging body having a pressure chamber provided in record liquid discharge member extends along a plurality of pressure chambers and a plurality of openings, between the plurality of openings between and between the adjacent plurality of pressure chambers A plurality of pressure chamber separation grooves provided in the recording liquid discharge body, wherein the recording liquid discharger is formed by alternately laminating a first piezoelectric material plate and a second piezoelectric material plate, and the pressure chamber and the opening is provided overlap each other seen in Rutotomoni laminating direction provided alternately as viewed in the stacking direction of the first piezoelectric material plate and a second piezoelectric material plate position, the pressure chamber separation grooves, a plurality of first stacked Piezoelectric material plate and multiple second piezoelectric material plates in the stacking direction And it is provided so as to penetrate me.

本発明によれば、インク吐出部が、実質的に独立した筒状に構成されているのではなく、積層しているインク吐出部の壁部同士が積層方向に沿って繋がって構成されていることによって、インク吐出部の耐久性を向上させることができる。また、インク吐出部が、インク吐出部の内周面を構成する圧電材料プレートを積層して構成されていることから、圧電材料プレートに溝状に構成されている状態に比べて、インク吐出部を重なり合う状態に配置することができる。よって、インク吐出部が高密度に配置される。さらに、水平方向に隣り合うインク吐出部の間に、圧力室分離溝を設けたことによって、インク吐出部の圧電効果による変形が、隣り合うインク吐出部に伝達しないためにクロストークが低減される。 According to the present invention, the ink discharge portion is not configured in a substantially independent cylindrical shape, but the wall portions of the stacked ink discharge portions are connected in the stacking direction. As a result, the durability of the ink discharge portion can be improved. In addition, since the ink discharge unit is configured by stacking the piezoelectric material plates constituting the inner peripheral surface of the ink discharge unit, the ink discharge unit is compared with a state in which the piezoelectric material plate is configured in a groove shape. Can be arranged in an overlapping state. Therefore, the ink discharge portions are arranged with high density. Further, by providing the pressure chamber separation groove between the ink discharge portions adjacent in the horizontal direction, the crosstalk is reduced because the deformation due to the piezoelectric effect of the ink discharge portion is not transmitted to the adjacent ink discharge portions. .

従って、液体吐出ヘッドは、耐久性が高く、高密度に配置され、クロストークが発生しないインク吐出部によって、解像度が高く、高画質な記録を実現することができる。 Therefore, the liquid ejection head has high durability, is arranged with high density, and can achieve high-resolution and high-quality recording by an ink ejection unit that does not generate crosstalk.

本発明の第一の実施形態の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a liquid discharge head according to a first embodiment of the present invention. （ａ）は図１に示す液体吐出ヘッドのＡ−Ａ’断面図、（ｂ）は本発明の第一の実施形態のインク吐出ブロックの斜視図である。(A) is A-A 'sectional drawing of the liquid discharge head shown in FIG. 1, (b) is a perspective view of the ink discharge block of 1st embodiment of this invention. （ａ）〜（ｅ）は、第一及び第二の圧電材料プレートに、第一から第三の電極を形成して、第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合して、さらに複数の第一及び第二の圧電材料プレートを積層する工程を示した側面図である。(A) to (e) are formed by forming first to third electrodes on the first and second piezoelectric material plates, joining the second piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate, and It is the side view which showed the process of laminating | stacking these 1st and 2nd piezoelectric material plates. （ａ）は第二の圧電材料プレートの側面図、（ｂ）は第三の電極を配置した側面図、（ｃ）は第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合した状態を示す側面図、（ｄ）は第一の電極を配置した側面図である。(A) is a side view of the second piezoelectric material plate, (b) is a side view in which the third electrode is disposed, and (c) is a side view showing a state in which the second piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate are joined. FIG. 4D is a side view in which the first electrode is arranged. 第一及び第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを積層した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which laminated | stacked the 1st and 2nd piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate. （ａ）は本発明の第二の実施形態のインク吐出ブロックを示す側面図、（ｂ）はその斜視図である。(A) is a side view which shows the ink discharge block of 2nd embodiment of this invention, (b) is the perspective view. （ａ）〜（ｅ）は、第一及び第二の圧電材料プレートに、第一から第三の電極を形成して、第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合して、さらに複数の第一及び第二の圧電材料プレートを積層する工程を示した側面図である。(A) to (e) are formed by forming first to third electrodes on the first and second piezoelectric material plates, joining the second piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate, and It is the side view which showed the process of laminating | stacking these 1st and 2nd piezoelectric material plates. （ａ）は第二の圧電材料プレートの側面図、（ｂ）は第三の電極を配置した側面図、（ｃ）は第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合した状態を示す側面図、（ｄ）は第一の電極を配置した側面図である。(A) is a side view of the second piezoelectric material plate, (b) is a side view in which the third electrode is disposed, and (c) is a side view showing a state in which the second piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate are joined. FIG. 4D is a side view in which the first electrode is arranged. 第一及び第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを積層した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which laminated | stacked the 1st and 2nd piezoelectric material plate and the non-piezoelectric material plate.

以下、発明の実施の形態について図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
記録媒体へ記録液であるインクを吐出することで文字や画像を記録するインクジェット記録装置は、インクが貯留されているインクタンクと、インクを吐出するノズルが備えられている液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドを保持するキャリッジを有している。インクジェット記録装置が記録媒体へ文字や画像を記録する際には、キャリッジが記録媒体上を往復運動しながら、液体吐出ヘッドが、各色のインクを適切な量だけ記録媒体の適切な位置に吐出していく。キャリッジの往復運動にあわせて、記録媒体が所定のピッチで順次送られることで、記録媒体におけるインクの吐出位置がずれていく。このようにキャリッジと記録媒体が動くことによって、記録媒体に画像データが記録される。 (First embodiment)
An ink jet recording apparatus that records characters and images by ejecting ink, which is a recording liquid, onto a recording medium, an ink tank that stores ink, a liquid ejecting head that includes a nozzle that ejects ink, and a liquid A carriage holding the discharge head is provided. When an ink jet recording apparatus records characters or images on a recording medium, the liquid ejection head ejects an appropriate amount of each color ink to an appropriate position on the recording medium while the carriage reciprocates on the recording medium. To go. As the recording medium is sequentially fed at a predetermined pitch in accordance with the reciprocation of the carriage, the ink ejection position on the recording medium is shifted. As the carriage and the recording medium move in this manner, image data is recorded on the recording medium.

図１は、本発明の実施形態に用いる液体吐出ヘッドの斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view of a liquid discharge head used in an embodiment of the present invention.

図１に示すように、本発明の実施形態の液体吐出ヘッドは、インク吐出ブロック（記録液吐出体）５と、後方絞りプレート６と、ノズルプレート（表面プレート）８を有している。後方絞りプレート６は、インク吐出ブロック５の背面に接合されており、不図示の共通液室からインクをインク吐出ブロック５に送る不図示の複数の絞り孔を有している。ノズルプレート８は、インク吐出ブロック５の前面に接合されており、高密度に配置されたインクを吐出するための複数の吐出口７を有している。 As shown in FIG. 1, the liquid discharge head according to the embodiment of the present invention includes an ink discharge block (recording liquid discharge body) 5, a rear diaphragm plate 6, and a nozzle plate (surface plate) 8. The rear diaphragm plate 6 is joined to the back surface of the ink ejection block 5 and has a plurality of diaphragm holes (not shown) for sending ink from a common liquid chamber (not shown) to the ink ejection block 5. The nozzle plate 8 is bonded to the front surface of the ink ejection block 5 and has a plurality of ejection ports 7 for ejecting ink arranged at high density.

インク吐出ブロック５は、図２（ａ）と（ｂ）に示すように、複数の第一の圧電材料プレート１と複数の第二の圧電材料プレート２を積層して構成されている。最上面と最下面には非圧電材料プレート１１が設けられ、さらに積層方向に沿って上面から下面に向けて圧力室分離溝１５が形成されている。インク吐出ブロック５の前面には、インクを吐出する吐出部である溝状の複数の圧力室３と、溝状の複数の開口部４が、圧力室分離溝１５同士の間に配置されている。圧力室３の内周面には第一の電極１２が設けられ、開口部４の内周面の少なくとも一部には第三の電極１４が設けられている。圧力室３と開口部４は、圧力室分離溝１５と平行な方向に沿って平面的にみて交互に一列に重なり合うように設けられている。圧力室分離溝１５を形成する側壁の第一の圧電材料プレート１が露出している露出面には、内周面に第二の電極１３が設けられた凹部９が形成されている。凹部９は、圧力室分離溝１５と直交する方向に、圧力室３の両側に配置されている。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the ink ejection block 5 is configured by laminating a plurality of first piezoelectric material plates 1 and a plurality of second piezoelectric material plates 2. A non-piezoelectric material plate 11 is provided on the uppermost surface and the lowermost surface, and a pressure chamber separation groove 15 is formed from the upper surface to the lower surface along the stacking direction. On the front surface of the ink discharge block 5, a plurality of groove-shaped pressure chambers 3 which are discharge portions for discharging ink and a plurality of groove-shaped openings 4 are arranged between the pressure chamber separation grooves 15. . A first electrode 12 is provided on the inner peripheral surface of the pressure chamber 3, and a third electrode 14 is provided on at least a part of the inner peripheral surface of the opening 4. The pressure chambers 3 and the openings 4 are provided so as to alternately overlap with each other in a plan view along a direction parallel to the pressure chamber separation grooves 15. On the exposed surface where the first piezoelectric material plate 1 on the side wall forming the pressure chamber separation groove 15 is exposed, a recess 9 having a second electrode 13 provided on the inner peripheral surface is formed. The recesses 9 are arranged on both sides of the pressure chamber 3 in a direction orthogonal to the pressure chamber separation groove 15.

図３（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の表面には、インクを送り出す圧力室３の内周面を構成する溝（第一の溝）と、凹部９の内周面を構成する溝（第三の溝）が、第一の圧電材料プレート１の表面に交互に並列に設けられている。圧力室３の内周面を構成する溝には第一の電極１２ａが、凹部９の内周面を構成する溝には第二の電極１３が、それぞれ配置されている。また、図３（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の裏面には、第三の電極１４ｂが配置されている。図４（ａ）と（ｂ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の表面には、開口部４の内周面を構成する溝（第二の溝）が、並列に配置されている。開口部４の内周面を構成する溝の底部には、第三の電極１４ａが配置されている。また、図４（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の裏面の、第三の電極１４ａに対向する位置に、第一の電極１２ｂが配置されている。尚、第一の圧電材料プレート１及び第二の圧電材料プレート２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を用い、非圧電材料プレート１１は、セラミック材料等の圧電材料以外を用いるのが望ましい。 As shown in FIGS. 3A and 3B, on the surface of the first piezoelectric material plate 1, a groove (first groove) constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 3 for sending out ink and a recess 9 are formed. Grooves (third grooves) constituting the inner peripheral surface of the first piezoelectric material plate 1 are alternately provided in parallel on the surface. The first electrode 12 a is disposed in the groove constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 3, and the second electrode 13 is disposed in the groove constituting the inner peripheral surface of the recess 9. Further, as shown in FIG. 3D, the third electrode 14 b is disposed on the back surface of the first piezoelectric material plate 1. As shown in FIGS. 4A and 4B, grooves (second grooves) constituting the inner peripheral surface of the opening 4 are arranged in parallel on the surface of the second piezoelectric material plate 2. Yes. A third electrode 14 a is disposed at the bottom of the groove that forms the inner peripheral surface of the opening 4. Further, as shown in FIG. 4D, the first electrode 12b is disposed on the back surface of the second piezoelectric material plate 2 at a position facing the third electrode 14a. The first piezoelectric material plate 1 and the second piezoelectric material plate 2 use a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT), and the non-piezoelectric material plate 11 uses a material other than a piezoelectric material such as a ceramic material. Is desirable.

以上に説明した構成のインクを吐出する液体吐出ヘッドによって、インクが吐出する作用について説明する。 The operation of ejecting ink by the liquid ejection head that ejects ink having the configuration described above will be described.

記録媒体へインクを吐出するために、不図示の共通液室体から供給されたインクは、後方絞りプレート６の不図示の絞り孔を通って、インク吐出ブロック５の圧力室３に流入し、ノズルプレート８の吐出口７まで流入して、充填完了となる。この状態で、受信した記録データ通りに記録媒体へインクを吐出するために、液体吐出ヘッドが電気信号を受け取る。液体吐出ヘッドが電気信号を受け取ると駆動電圧が印加され、第一の電極１２及び第二の電極１３及び第三の電極１４を介して、圧力室３を構成している第一の圧電材料プレート１及び第二の圧電材料プレート２に電界が発生し、圧電効果が生じる。圧電効果が生じると、圧力室３を構成している周囲の圧電材料が膨張し、この結果として圧力室３が収縮される。圧力室３の内部にはインクが充填されているため、圧力室３が収縮することで減少した容積の分のインクが、吐出口７から吐出される。このような、圧力室自体を圧電材料によって形成し、圧電効果による圧電材料の変形によって圧力室を収縮させるグールドタイプの液体吐出ヘッドは、インクの吐出力に優れているため、高粘度のインクを吐出することができる。 In order to discharge ink to the recording medium, the ink supplied from the common liquid chamber body (not shown) flows into the pressure chamber 3 of the ink discharge block 5 through the throttle hole (not shown) of the rear diaphragm plate 6, It flows into the discharge port 7 of the nozzle plate 8 and the filling is completed. In this state, the liquid ejection head receives an electrical signal in order to eject ink onto the recording medium according to the received recording data. When the liquid ejection head receives an electrical signal, a driving voltage is applied, and the first piezoelectric material plate constituting the pressure chamber 3 via the first electrode 12, the second electrode 13, and the third electrode 14. An electric field is generated in the first and second piezoelectric material plates 2 to produce a piezoelectric effect. When the piezoelectric effect occurs, the surrounding piezoelectric material constituting the pressure chamber 3 expands, and as a result, the pressure chamber 3 contracts. Since the inside of the pressure chamber 3 is filled with ink, the ink corresponding to the volume reduced by the contraction of the pressure chamber 3 is ejected from the ejection port 7. Such a Gould type liquid discharge head, in which the pressure chamber itself is formed of a piezoelectric material and the pressure chamber is contracted by deformation of the piezoelectric material due to the piezoelectric effect, is excellent in ink discharge force. It can be discharged.

インクが吐出口７より吐出されると、駆動電圧の印加がストップし、圧電材料の電界が放電される。圧電材料の電界が放電されると、圧電効果がなくなって、圧電材料の膨張が解消され、圧力室３は初期状態の形状に戻る。圧力室３に充填されていたインクは、圧力室３の収縮によって吐出されたため、圧力室３の内部には吐出されたインクの体積分のスペースができる。このスペースに、不図示の共通液室に貯留されているインクが、後方絞りプレート６の不図示の絞り孔を通って、インク吐出ブロック５の圧力室３に流入して充填される。尚、インクの液面は、メニスカスの復帰力によって、ノズルプレート８の吐出口７まで到達する。インクの液面が、吐出口７まで到達するとインクの圧力室３への再充填が完了となる。 When the ink is ejected from the ejection port 7, the application of the driving voltage is stopped and the electric field of the piezoelectric material is discharged. When the electric field of the piezoelectric material is discharged, the piezoelectric effect is lost, the expansion of the piezoelectric material is eliminated, and the pressure chamber 3 returns to the initial shape. Since the ink filled in the pressure chamber 3 is ejected by contraction of the pressure chamber 3, a space corresponding to the volume of the ejected ink is formed inside the pressure chamber 3. In this space, ink stored in a common liquid chamber (not shown) flows into the pressure chamber 3 of the ink discharge block 5 through the throttle hole (not shown) of the rear throttle plate 6 and is filled. The ink level reaches the ejection port 7 of the nozzle plate 8 by the meniscus restoring force. When the ink level reaches the ejection port 7, refilling of the ink into the pressure chamber 3 is completed.

以上のように、圧力室３の収縮によるインクの吐出と、圧力室３の不図示の共通液室からのインクの供給を繰り返すことによって、記録媒体へインクを吐出して、受信した記録データに基づいた文字や画像を記録媒体へ形成する。 As described above, the ink is ejected to the recording medium by repeating the ejection of the ink due to the contraction of the pressure chamber 3 and the supply of the ink from the common liquid chamber (not shown) of the pressure chamber 3, and the received recording data A character or image based on the image is formed on a recording medium.

本実施形態では、隣り合う圧力室分離溝１５同士の間に圧力室３と開口部４が配置され、さらに圧力室３と開口部４が圧力室分離溝１５と平行な方向に沿って交互に複数重なり合うように形成されている。従って、重なり合う圧力室３と開口部４を構成する壁同士が圧電材料プレートの積層方向に沿って繋がっている。このため、実質的に分離した四角筒状に構成されている特許文献１のインク吐出部に比べて、本実施形態のインク吐出部の剛性が向上している。そのため、記録媒体への文字や画像の記録の際に発生する振動や、高粘度のインクを吐出するために繰り返されるインク吐出部の収縮による疲労破壊に対する耐久性が増している。これによって、インク吐出部の壁部が破損して、インクが吐出できなくなるというおそれがなくなる。 In the present embodiment, the pressure chamber 3 and the opening 4 are arranged between the adjacent pressure chamber separation grooves 15, and the pressure chamber 3 and the opening 4 are alternately arranged along a direction parallel to the pressure chamber separation groove 15. A plurality are formed so as to overlap. Accordingly, the overlapping pressure chambers 3 and the walls constituting the opening 4 are connected in the stacking direction of the piezoelectric material plates. For this reason, the rigidity of the ink discharge part of this embodiment is improved compared with the ink discharge part of patent document 1 comprised by the substantially separated square cylinder shape. For this reason, durability against fatigue destruction due to vibration generated during recording of characters and images on a recording medium and contraction of an ink discharge portion repeated for discharging high viscosity ink is increased. This eliminates the possibility that the wall portion of the ink discharge portion is damaged and ink cannot be discharged.

また、インク吐出ブロック５が、圧力室３の内周面を構成する溝を有する第一の圧電材料プレート１を積層して構成されていることから、少なくとも特許文献１と同程度にインクの吐出口７を高密度に配置することができる。 In addition, since the ink ejection block 5 is configured by laminating the first piezoelectric material plate 1 having the grooves constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 3, the ink ejection block 5 is at least the same as that disclosed in Patent Document 1. The outlets 7 can be arranged with high density.

一方で、隣り合う圧力室３同士の間に圧力室分離溝１５が設けられていることで、各圧力室３の変形が隣の圧力室３に伝達することはない。さらに、圧力室分離溝１５と平行な方向に積層されている圧力室３同士は、接着剤を介して積み重なっているため、各圧力室３の変形は伝達することがない。よって、クロストークの発生が低減される構造を有している。 On the other hand, since the pressure chamber separation groove 15 is provided between the adjacent pressure chambers 3, the deformation of each pressure chamber 3 is not transmitted to the adjacent pressure chamber 3. Further, since the pressure chambers 3 stacked in the direction parallel to the pressure chamber separation groove 15 are stacked via the adhesive, the deformation of each pressure chamber 3 is not transmitted. Therefore, it has a structure in which occurrence of crosstalk is reduced.

（第１の実施形態の製造方法）
ここで、以上に説明した液体吐出ヘッド製造方法を説明する。 (Manufacturing method of the first embodiment)
Here, the manufacturing method of the liquid discharge head described above will be described.

図３（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の表面に、圧力室３の内周面を構成する複数の溝と、凹部９の内周面を構成する複数の溝が研削加工によって設けられている。その後、それぞれの溝に、選択めっきによって第一の電極１２ａ及び第二の電極１３が形成される。尚、圧力室３の内周面を構成する複数の溝と凹部９の内周面を構成する複数の溝は、第一の圧電材料プレート１の表面に交互に配列されている。 As shown in FIGS. 3A and 3B, a plurality of grooves constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 3 and a plurality of grooves constituting the inner peripheral surface of the recess 9 are formed on the surface of the first piezoelectric material plate 1. Are provided by grinding. Thereafter, the first electrode 12a and the second electrode 13 are formed in each groove by selective plating. The plurality of grooves constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 3 and the plurality of grooves constituting the inner peripheral surface of the recess 9 are alternately arranged on the surface of the first piezoelectric material plate 1.

一方で、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の表面に、開口部４の内周面を構成する溝を研削加工によって複数設け、開口部４の内周面を構成する溝の底部に、選択めっきによって第三の電極１４ａを形成する。この第二の圧電材料プレート２の表面に非圧電材料プレート１１を接合した後に、第二の圧電材料プレート２の裏面の、第三の電極１４ａに対向する位置に選択めっきを施し、第一の電極１２ｂが形成される。 On the other hand, as shown in FIGS. 4A to 4D, a plurality of grooves constituting the inner peripheral surface of the opening 4 are provided by grinding on the surface of the second piezoelectric material plate 2. The third electrode 14a is formed by selective plating at the bottom of the groove constituting the inner peripheral surface. After the non-piezoelectric material plate 11 is joined to the surface of the second piezoelectric material plate 2, selective plating is performed on the back surface of the second piezoelectric material plate 2 at a position facing the third electrode 14a. Electrode 12b is formed.

その後、図３（ｃ）〜（ｅ）に示すように、図４（ｄ）に示す非圧電材料プレート１１に接合された第二の圧電材料プレート２の裏面に、圧力室３の内周面を構成する溝と第一の電極１２ｂが一致するように、第一の圧電材料プレート１が接合される。第一の圧電材料プレート１を接合した後に、第一の圧電材料プレート１の裏面全面にめっきを施し、第三の電極１４ｂが形成される。そして、図４（ｄ）に示す非圧電材料プレート１１が接合されていない状態の他の第二の圧電材料プレート２が、ユニットに接合された第一の圧電材料プレート１の裏面の圧力室３に対向する位置に、開口部４の内周面を構成する溝が整列するように接合される。 Thereafter, as shown in FIGS. 3C to 3E, the inner peripheral surface of the pressure chamber 3 is formed on the back surface of the second piezoelectric material plate 2 joined to the non-piezoelectric material plate 11 shown in FIG. The first piezoelectric material plate 1 is joined so that the grooves constituting the first electrode 12b coincide with the first electrode 12b. After the first piezoelectric material plate 1 is joined, the entire back surface of the first piezoelectric material plate 1 is plated to form the third electrode 14b. Then, the other second piezoelectric material plate 2 in a state where the non-piezoelectric material plate 11 shown in FIG. 4D is not joined is the pressure chamber 3 on the back surface of the first piezoelectric material plate 1 joined to the unit. Are joined so that the grooves constituting the inner peripheral surface of the opening 4 are aligned.

さらに、他の第一の圧電材料プレート１と非圧電材料プレート１１が接合されていない他の第二の圧電材料プレート２を積層、接合していき、所定の数を積層した後に、もう一枚の非圧電材料プレート１１を最下面の第二の圧電材料プレート２の裏面に接合する。こうして、図５に示すように、ユニット積層体１０が形成される。 Furthermore, another first piezoelectric material plate 1 and another second piezoelectric material plate 2 to which the non-piezoelectric material plate 11 is not bonded are stacked and bonded, and after a predetermined number of layers are stacked, another sheet is added. The non-piezoelectric material plate 11 is bonded to the back surface of the second piezoelectric material plate 2 on the bottom surface. In this way, the unit laminated body 10 is formed as shown in FIG.

ユニット積層体１０が形成されると、圧電効果を発生させるための分極処理が行われる。分極処理は、シリコンオイル等の絶縁体液体にインク吐出ブロック５を浸し、加熱（例えば２００℃）し、形成された電極間に１〜２ｋＶ／ｍｍ程度の電界を印加させる処理である。 When the unit laminated body 10 is formed, a polarization process for generating a piezoelectric effect is performed. The polarization process is a process in which the ink discharge block 5 is immersed in an insulating liquid such as silicon oil, heated (for example, 200 ° C.), and an electric field of about 1 to 2 kV / mm is applied between the formed electrodes.

図２（ａ）と（ｂ）に示すように、それぞれ隣り合う圧力室３を分離するための圧力室分離溝１５が、ユニット積層体１０の上面から下面に向かって、圧力室同士の間かつ開口部同士の間を圧力室３の積層方向に平行に研削加工によって形成される。すなわち、第一の圧電材料プレートの隣り合う第一の溝同士の間かつ隣り合う第二の溝同士の間に形成される。圧力室分離溝１５は、凹部９の内周面を構成する溝を分断し、凹部９を構成している側壁と、開口部４の内周面に及ばないように形成されなければならない。さらに、この圧力室分離溝１５は、ユニット積層体１０の上面から下面に向かって貫通しているが、ユニット積層体１０の前面から背面に向かって貫通せずに、圧力室分離溝１５が背面まで形成されないように形成される。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the pressure chamber separation grooves 15 for separating the adjacent pressure chambers 3 are formed between the pressure chambers from the upper surface of the unit laminate 10 toward the lower surface. The space between the openings is formed by grinding so as to be parallel to the stacking direction of the pressure chambers 3. That is, it is formed between adjacent first grooves and adjacent second grooves of the first piezoelectric material plate. The pressure chamber separation groove 15 must be formed so as to divide the groove constituting the inner peripheral surface of the recess 9 and not reach the side wall constituting the recess 9 and the inner peripheral surface of the opening 4. Further, the pressure chamber separation groove 15 penetrates from the upper surface to the lower surface of the unit laminate 10, but the pressure chamber separation groove 15 does not penetrate from the front to the back of the unit laminate 10 and It is formed so as not to be formed.

ユニット積層体１０に圧力室分離溝１５が形成されると、インク吐出ブロック５が完成する。 When the pressure chamber separation groove 15 is formed in the unit laminate 10, the ink discharge block 5 is completed.

以上のようにしてインク吐出ブロック５が完成した後、圧力室３と吐出口７が整列するように、インク吐出ブロック５の前面にノズルプレート８が接合される。一方、インク吐出ブロック５の背面に、圧力室３と不図示の絞り孔が整列するように、後方絞りプレート６が接合される。 After the ink discharge block 5 is completed as described above, the nozzle plate 8 is joined to the front surface of the ink discharge block 5 so that the pressure chamber 3 and the discharge port 7 are aligned. On the other hand, the rear throttle plate 6 is joined to the back surface of the ink discharge block 5 so that the pressure chamber 3 and a throttle hole (not shown) are aligned.

以上の工程を経て、液体吐出ヘッドが製造される。 The liquid discharge head is manufactured through the above steps.

（第２の実施形態）
図６（ｂ）は、本発明の第二の実施形態を示すインク吐出ブロック２５の斜視図である。尚、インク吐出ブロック２５の前面と背面には、第一の実施形態と同じくノズルプレートと後方絞りプレートが接合される。 (Second Embodiment)
FIG. 6B is a perspective view of the ink ejection block 25 showing the second embodiment of the present invention. Note that the nozzle plate and the rear diaphragm plate are joined to the front surface and the back surface of the ink discharge block 25 as in the first embodiment.

インク吐出ブロック２５は、図６（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１と第二の圧電材料プレート２２を積層して構成され、上面と下面に非圧電材料プレート３１が設けられ、さらに上面から下面に向けて圧力室分離溝３５が形成されている。さらに、インク吐出ブロック２５の前面には、複数の圧力室２３と、複数の開口部２４が、圧力室分離溝３５同士の間に配置されている。圧力室２３の内周面には第一の電極３２が設けられ、開口部２４の内周面の少なくとも一部には第三の電極３４が設けられている。圧力室２３と開口部２４は、圧力室分離溝３５と並列になるように交互に一列に積層されている。それぞれの圧力室分離溝３５に、第二の電極３３が形成されている。 As shown in FIGS. 6A and 6B, the ink discharge block 25 is configured by laminating a first piezoelectric material plate 21 and a second piezoelectric material plate 22, and a non-piezoelectric material plate on the upper surface and the lower surface. 31 is provided, and a pressure chamber separation groove 35 is formed from the upper surface to the lower surface. Further, a plurality of pressure chambers 23 and a plurality of openings 24 are disposed between the pressure chamber separation grooves 35 on the front surface of the ink ejection block 25. A first electrode 32 is provided on the inner peripheral surface of the pressure chamber 23, and a third electrode 34 is provided on at least a part of the inner peripheral surface of the opening 24. The pressure chambers 23 and the openings 24 are alternately stacked in a row so as to be in parallel with the pressure chamber separation grooves 35. A second electrode 33 is formed in each pressure chamber separation groove 35.

図７（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の表面には、インクを送り出す圧力室２３の内周面を構成する溝が、並列に配置されている圧力室２３の内周面を構成する溝には第一の電極３２ａが配置されている。また、図７（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の裏面には、第三の電極３４ｂが配置されている。図８（ｂ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の表面には、開口部２４の内周面を構成する溝が、並列に配置されている。開口部２４の内周面を構成する溝の底部には、第三の電極３４ａが配置されている。また、図８（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の裏面の、第三の電極３４ａに対向する位置に、第一の電極３２ｂが配置されている。尚、第一の圧電材料プレート２１及び第二の圧電材料プレート２２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を用い、非圧電材料プレート３１は、セラミック材料等の圧電材料以外を用いるのが望ましい。 As shown in FIG. 7B, a groove constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 23 that feeds out ink is formed on the surface of the first piezoelectric material plate 21 in an inner periphery of the pressure chamber 23. A first electrode 32a is disposed in the groove constituting the surface. Further, as shown in FIG. 7D, the third electrode 34 b is disposed on the back surface of the first piezoelectric material plate 21. As shown in FIG. 8B, grooves forming the inner peripheral surface of the opening 24 are arranged in parallel on the surface of the second piezoelectric material plate 22. A third electrode 34 a is disposed at the bottom of the groove that forms the inner peripheral surface of the opening 24. Further, as shown in FIG. 8D, the first electrode 32b is disposed on the back surface of the second piezoelectric material plate 22 at a position facing the third electrode 34a. The first piezoelectric material plate 21 and the second piezoelectric material plate 22 use a piezoelectric material such as lead zirconate titanate (PZT), and the non-piezoelectric material plate 31 uses a material other than a piezoelectric material such as a ceramic material. Is desirable.

以上に説明した構成のインクを吐出する液体吐出ヘッドによって、インクが吐出する作用については、第一の実施形態と同様のため省略する。 Since the operation of ejecting ink by the liquid ejection head that ejects ink having the configuration described above is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.

（第２の実施形態の製造方法）
ここで、以上に説明した液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。 (Manufacturing method of the second embodiment)
Here, a manufacturing method of the liquid discharge head described above will be described.

図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の表面に、開口部２４の内周面を構成する溝を研削加工によって設け、開口部２４の内周面を構成する溝の底部に、選択めっきによって第三の電極３４ａを形成する。第二の圧電材料プレート２２の表面に非圧電材料プレート３１を接合した後に、第二の圧電材料プレート２２の裏面の、第三の電極３４ａに対向する位置に選択めっきを施し、第一の電極３２ｂが形成される。 As shown in FIGS. 8A to 8D, grooves constituting the inner peripheral surface of the opening 24 are provided on the surface of the second piezoelectric material plate 22 by grinding, and the inner peripheral surface of the opening 24 is formed. A third electrode 34a is formed on the bottom of the groove to be formed by selective plating. After the non-piezoelectric material plate 31 is joined to the surface of the second piezoelectric material plate 22, selective plating is performed on the back surface of the second piezoelectric material plate 22 at a position facing the third electrode 34a, so that the first electrode 32b is formed.

次に、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の表面に、圧力室２３の内周面を構成する溝を研削加工によって設け、選択めっきによって第一の電極３２ａが形成される。その後に、非圧電材料プレート３１に接合されたユニットの第二の圧電材料プレート２２の裏面に、圧力室２３の内周面を構成する溝と第二の圧電材料プレート２２の裏面に形成された第一の電極３２ｂが一致するように、第一の圧電材料プレート２１が接合される。第一の圧電材料プレート２１を接合した後に、第一の圧電材料プレート２１の裏面全面にめっきを施し、第三の電極３４ｂが形成される。第三の電極３４ｂが形成されたら、前述した第三の電極３４ａが形成された第二の圧電材料プレート２２が、ユニットに接合された第一の圧電材料プレート２１の裏面の圧力室２３に対向する位置に、開口部２４の内周面を構成する溝が整列するように接合される。 Next, as shown in FIGS. 7A to 7D, a groove constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 23 is provided on the surface of the first piezoelectric material plate 21 by grinding, and first plating is performed by selective plating. The electrode 32a is formed. Thereafter, a groove constituting the inner peripheral surface of the pressure chamber 23 and a back surface of the second piezoelectric material plate 22 are formed on the back surface of the second piezoelectric material plate 22 of the unit joined to the non-piezoelectric material plate 31. The first piezoelectric material plate 21 is bonded so that the first electrodes 32b coincide. After the first piezoelectric material plate 21 is bonded, the entire back surface of the first piezoelectric material plate 21 is plated to form the third electrode 34b. When the third electrode 34b is formed, the second piezoelectric material plate 22 formed with the third electrode 34a is opposed to the pressure chamber 23 on the back surface of the first piezoelectric material plate 21 joined to the unit. In such a position, the grooves constituting the inner peripheral surface of the opening 24 are joined so as to be aligned.

このようにして第一の圧電材料プレート２１と第二の圧電材料プレート２２を積層、接合していき、所定の数を積層した後に、非圧電材料プレート３１を第二の圧電材料プレート２２の裏面に接合する。すると、図９に示すように、ユニット積層体３０が形成される。 In this way, the first piezoelectric material plate 21 and the second piezoelectric material plate 22 are laminated and bonded, and after a predetermined number of layers are laminated, the non-piezoelectric material plate 31 is attached to the back surface of the second piezoelectric material plate 22. To join. Then, as shown in FIG. 9, the unit laminated body 30 is formed.

ユニット積層体３０が形成されると、圧電効果を発生させるための分極処理が行われる。分極処理は、第一の実施形態と同様である。 When the unit laminated body 30 is formed, a polarization process for generating a piezoelectric effect is performed. The polarization process is the same as in the first embodiment.

図６（ａ）と（ｂ）に示すように、それぞれ隣り合う圧力室２３を分離するための圧力室分離溝３５が、ユニット積層体３０の上面から下面に向かって、圧力室２３同士の間を圧力室２３の積層方向に平行に研削加工によって形成される。圧力室分離溝３５は、開口部４の内周面に及ばないように形成されなければならない。さらに、この圧力室分離溝３５は、ユニット積層体３０の上面から下面に向かって貫通しているが、ユニット積層体３０の前面から背面に向かって貫通せずに、圧力室分離溝３５が背面まで形成されないように形成される。 As shown in FIGS. 6A and 6B, pressure chamber separation grooves 35 for separating adjacent pressure chambers 23 are formed between the pressure chambers 23 from the upper surface of the unit laminate 30 toward the lower surface. Is formed by grinding in parallel to the stacking direction of the pressure chambers 23. The pressure chamber separation groove 35 must be formed so as not to reach the inner peripheral surface of the opening 4. Further, the pressure chamber separation groove 35 penetrates from the upper surface to the lower surface of the unit laminated body 30, but the pressure chamber separation groove 35 does not penetrate from the front surface of the unit laminated body 30 to the back surface. It is formed so as not to be formed.

最後に圧力室分離溝３５にめっきを施し、第二の電極３３が形成されると、インク吐出ブロック２５が完成する。 Finally, when the second chamber 33 is formed by plating the pressure chamber separation groove 35, the ink discharge block 25 is completed.

以上のようにしてインク吐出ブロック２５が完成した後に、前面にノズルプレート８が、背面に後方絞りプレート６が接合される。 After the ink discharge block 25 is completed as described above, the nozzle plate 8 is joined to the front surface and the rear diaphragm plate 6 is joined to the back surface.

１、２１第一の圧電材料プレート
２、２２第二の圧電材料プレート
３、２３圧力室
４、２４開口部
５、２５インク吐出ブロック
６後方絞りプレート
７吐出口
８ノズルプレート
９凹部
１０、３０ユニット積層体
１１、３１非圧電材料プレート
１２、３２第一の電極
１３、３３第二の電極
１４、３４第三の電極
１５、３５圧力室分離溝 1, 21 First piezoelectric material plate 2, 22 Second piezoelectric material plate 3, 23 Pressure chamber 4, 24 Opening portion 5, 25 Ink discharge block 6 Rear throttle plate 7 Discharge port 8 Nozzle plate 9 Recess 10, 30 Unit Laminate 11, 31 Non-piezoelectric material plate 12, 32 First electrode 13, 33 Second electrode 14, 34 Third electrode 15, 35 Pressure chamber separation groove

Claims

A surface plate having a plurality of ejection openings for ejecting recording liquid;
A recording liquid discharging body a groove-like plurality of openings and the recording liquid and a plurality of pressure chambers grooved supplied to the discharge port,
Provided in front type recording solution discharge member, said plurality of extending along the pressure chambers and the plurality of openings, a plurality of pressure provided between the adjacent and the plurality of openings between each other said plurality of pressure chambers A chamber separation groove,
The recording liquid ejection body is formed by alternately laminating a first piezoelectric material plate and a second piezoelectric material plate, and the pressure chamber and the opening are formed by the first piezoelectric material plate and the second piezoelectric material plate. the viewed in the stacking direction of the piezoelectric material plate provided in a position overlapping when viewed in Rutotomoni the stacking direction are provided alternately, the pressure chamber separation grooves, a plurality of said first piezoelectric material plate which are stacked and a plurality of said first A liquid discharge head, characterized in that the liquid discharge head is provided so as to penetrate the two piezoelectric material plates along the stacking direction.

The pressure chamber is composed of a first groove provided on the surface of the first piezoelectric material plate, and the opening is composed of a second groove provided on the surface of the second piezoelectric material plate. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid discharge head is a liquid discharge head.

A first electrode is provided on the inner peripheral surface of the pressure chamber, a second electrode is provided on at least a part of the inner peripheral surface of the opening, and at least the first of the side walls constituting the pressure chamber separation groove The liquid discharge head according to claim 2 , wherein a third electrode is provided on an exposed surface from which the piezoelectric material plate is exposed.

The first piezoelectric material plate is located between the adjacent first grooves, and has a recessed portion on the exposed surface of the side wall constituting the pressure chamber separating groove, and the third electrode is formed in the recessed portion. The liquid discharge head according to claim 3, wherein the liquid discharge head is provided on a peripheral surface.

Forming a plurality of first grooves on the surface of the first piezoelectric material plate made of a piezoelectric material to form a pressure chamber that supplies a discharge port for discharging the recording liquid;
Forming a first electrode in the plurality of first grooves;
Forming a plurality of second grooves for forming an opening on a surface of a second piezoelectric material plate made of a piezoelectric material;
Forming a second electrode in at least a part of the plurality of second grooves;
Forming the first electrode on the back surface of the second piezoelectric material plate;
Forming a unit by bonding the surface of the first piezoelectric material plate to the back surface of the second piezoelectric material plate;
Forming a third electrode on the back surface of the first piezoelectric material plate joined to the unit;
A plurality of the second piezoelectric material plates and the first piezoelectric material plates are alternately joined to the back surface of the first piezoelectric material plate joined to the unit to form a unit laminate;
The plurality of first piezoelectric material plates and the plurality of second piezoelectric material plates stacked between the adjacent first grooves and between the adjacent second grooves of the unit laminate. Forming a plurality of pressure chamber separation grooves so as to penetrate through the stacking direction;
A liquid discharge head manufacturing method comprising:

Forming on the surface of the first piezoelectric material plate a third groove arranged in parallel and alternately with the first groove, and forming the second electrode in the third groove; The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 5, wherein the third groove includes a step of dividing in the step of forming the pressure chamber separation groove.

6. The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 5, wherein the step of forming the plurality of pressure chamber separation grooves includes the step of forming the second electrode in the pressure chamber separation groove.