JP5934587B2 - Needle valve - Google Patents
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Description
本発明は、微小流量制御特性に優れたニードルバルブに関する。 The present invention relates to a needle valve having excellent minute flow rate control characteristics.
流入口と流出口を有する弁本体内の弁室に弁座を設け、この弁座に離接するテーパ部を有する弁体であるニードルで流量制御を行うニードルバルブにおいて、ニードルのテーパ部の上方位置の外周溝にＯリングを装着したニードルバルブが提案された（例えば、特許文献１参照）。このようなニードルバルブは、流体、例えば水系流体や油系流体などの液体の流量制御に適していた。このニードルバルブは、弁座に傾斜面を有することで、ニードルに装着されたＯリングが弁座の傾斜面に部分的に着座・離脱して流体の確実な通水・遮断を可能にし、ニードルと弁座との間隔すなわち弁の開度に従って流体の流量を調整することが可能であった。しかしながら、ニードルが弁座に着座している閉弁状態からニードルが弁座からわずかに離脱した例えば弁の開度が１０％未満の低開度までの領域において流量制御が困難であった。このような低開度領域における流量特性を評価する手法として、弁の開度に対するＣｖ値（Ｃｖ値は、所謂バルブの容量係数であって、６０°Ｆ（１５．５℃）の清水を、バルブの前後差圧を１ｐｓｉ（６．９ｋＰａ）に保って流した場合の流量をＵＳガロンで表した値である）の変化を計測した流量特性グラフが用いられることがあった。特に、流量特性グラフにおいて、ニードルを弁座から離脱させる開弁動作時における流量特性線と、ニードルを弁座へ着座させる閉弁動作時における流量特性線と、が低開度領域（「弁開度」対「Ｃｖ値」）において比較的大きく開く好ましくない特性であるヒステリシスを示す領域があった。 In a needle valve in which a valve seat is provided in a valve chamber in a valve body having an inflow port and an outflow port and the flow rate is controlled by a needle that is a valve body having a taper portion that is separated from and in contact with the valve seat, the position above the taper portion of the needle There has been proposed a needle valve in which an O-ring is mounted on the outer circumferential groove (see, for example, Patent Document 1). Such a needle valve is suitable for controlling the flow rate of a fluid, for example, a liquid such as an aqueous fluid or an oil fluid. This needle valve has an inclined surface on the valve seat, so that the O-ring attached to the needle is partially seated on and disengaged from the inclined surface of the valve seat so that the fluid can be reliably passed and shut off. It was possible to adjust the flow rate of the fluid according to the distance between the valve seat and the valve seat, that is, the valve opening. However, it is difficult to control the flow rate in the region from the closed state where the needle is seated on the valve seat to the low opening where the needle is slightly detached from the valve seat, for example, the opening of the valve is less than 10%. As a method for evaluating the flow rate characteristic in such a low opening region, the Cv value with respect to the valve opening (Cv value is a so-called valve capacity coefficient, and 60 ° F. (15.5 ° C.) fresh water is used. In some cases, a flow rate characteristic graph in which a change in flow rate when the pressure difference between the front and back of the valve is kept at 1 psi (6.9 kPa) is measured. In particular, in the flow characteristic graph, the flow characteristic line at the time of valve opening operation for releasing the needle from the valve seat and the flow characteristic line at the time of valve closing operation for seating the needle on the valve seat are in the low opening region (“valve opening” There was a region showing hysteresis, which is an undesirable characteristic that opens relatively large in “degree” vs. “Cv value”).
また、エチレン・プロピレンゴムにカーボンナノファイバーを配合した耐塩素性に優れた配管機材用シール部材（例えば、特許文献２参照）と、耐油性に優れた配管機材用シール部材（例えば、特許文献３参照）が提案されていた。 In addition, a sealing member for piping equipment having excellent chlorine resistance in which carbon nanofibers are blended with ethylene / propylene rubber (for example, see Patent Document 2) and a sealing member for piping equipment having excellent oil resistance (for example, Patent Document 3). Have been proposed).
本発明の目的は、微小流量制御特性に優れたニードルバルブを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a needle valve having excellent minute flow rate control characteristics.
本発明にかかるニードルバルブは、
流入口と流出口を有する弁本体内の弁室に傾斜面を有する弁座を設け、この弁座に離接するニードルによって流量制御を行うニードルバルブにおいて、
前記ニードルは、前記傾斜面に対し離接するＯリングを有し、
前記Ｏリングは、エラストマー中にカーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料で形成され、
前記Ｏリングのつぶし率を３％より大きく１１％以下に設定したことを特徴とする。
The needle valve according to the present invention is
In a needle valve that provides a valve seat having an inclined surface in a valve chamber in a valve body having an inflow port and an outflow port, and performs flow rate control with a needle that is separated from and in contact with the valve seat,
The needle has an O-ring that is separated from and in contact with the inclined surface,
The O-ring is formed of a carbon fiber composite material including carbon nanofibers in an elastomer,
The crushing rate of the O-ring is set to be greater than 3% and 11% or less.
本発明にかかるニードルバルブによれば、カーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料で形成されたＯリングを装着することで、Ｏリングのつぶし率を１１％以下に設定し
ても確実に弁閉状態とすることができ、且つ、優れた微小流量制御特性を得ることができる。
According to the needle valve according to the present invention, by mounting an O-ring formed of a carbon fiber composite material including carbon nanofibers, the valve is reliably closed even when the collapse rate of the O-ring is set to 11% or less. And excellent micro flow rate control characteristics can be obtained.
本発明にかかるニードルバルブにおいて、
前記エラストマーは、３元系フッ素ゴムであることができる。
In the needle valve according to the present invention,
The elastomer may be ternary fluororubber.
本発明にかかるニードルバルブにおいて、
前記傾斜面の傾斜角度は、３５度〜５５度であることができる。
In the needle valve according to the present invention,
The inclination angle of the inclined surface may be 35 degrees to 55 degrees.
本発明にかかるニードルバルブにおいて、
前記ニードルと前記弁座とが接触して閉弁したとき、前記Ｏリングが前記弁座に対し前記傾斜面にのみ接触することができる。
In the needle valve according to the present invention,
When the needle and the valve seat contact and close, the O-ring can contact only the inclined surface with respect to the valve seat.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の一実施の形態にかかるニードルバルブは、流入口と流出口を有する弁本体内の弁室に傾斜面を有する弁座を設け、この弁座に離接するニードルによって流量制御を行うニードルバルブにおいて、前記ニードルは、前記傾斜面に対し離接するＯリングを有し、前記Ｏリングは、エラストマー中にカーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料で形成され、前記Ｏリングのつぶし率を１１％以下に設定したことを特徴とする。 A needle valve according to an embodiment of the present invention includes a valve seat having an inclined surface in a valve chamber in a valve body having an inflow port and an outflow port, and a needle valve that performs flow rate control with a needle that is separated from and in contact with the valve seat. The needle has an O-ring that is separated from and in contact with the inclined surface, and the O-ring is formed of a carbon fiber composite material including carbon nanofibers in an elastomer, and the collapse rate of the O-ring is 11% or less. It is characterized by being set to.
図１は、本発明の一実施形態にかかるニードルバルブＶの縦断面図である。ニードルバルブＶの弁本体１には、流入口２と、流出口３と、流入口２から流出口３への流路に設けた弁室４と、弁室４と連通する軸装穴５と、が設けられている。弁室４には、流入口２に開口して装着された環状の弁座６と、弁座６を弁室４内に固定する筒体１３と、弁座６に離接するニードル７と、が配置されている。ニードル７は、弁座６に着座する円錐状のテーパ部７ａと、テーパ部７ａよりも大きい外径を有するフランジ部７ｂと、テーパ部７ａとフランジ部７ｂとの間に形成された環状の溝からなる外周溝１０と、外周溝１０に装着されたＯリング９と、フランジ部７ｂからテーパ部７ａとは反対方向へ延びる軸部８と、軸部８の端部に設けられた軸部８よりも大きい外径を有する係合片１６と、を有している。弁本体１の軸装穴５には、筒体１３の弁座６と対向する側に保持体１４と、筒状のブッシュ１７と、筒体１３と保持体１４との間に配置したガイド体３１と、係合片１６と保持体１４との間に配置されたスプリング１５と、軸部８の端部に当接してブッシュ１７の内壁内を移動可能な軸受け３０と、が設けられている。ブッシュ１７は、環状の断熱プレート３２内に装着され、ブッシュ１７と断熱プレート３２には、ブッシュ１７の内部から外部へ連通する連通孔３２ａ，１７ａが設けられている。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a needle valve V according to an embodiment of the present invention. The valve body 1 of the needle valve V has an
弁本体１には断熱プレート３２及びブッシュ１７を介してアクチュエータ２０が取り付けられている。アクチュエータ２０は、筐体２０ａ内にネジ固定された直動型電動モータ１８を有する。直動型電動モータ１８は、図示しないロータと、ネジ部が形成された出力軸（スクリューシャフト）１９と、ロータの回転力を出力軸１９に伝達する図示しない回転伝達機構などから成り、このロータの回転力は、出力軸１９によって直線運動に変換され、この出力軸１９が軸方向に摺動するように構成されている。
An
ニードルバルブＶは、流体、特に水系流体及び油系流体の流量制御に優れている。水系流体としては、例えば、清水、工業用水、温水、熱水、ボイラー給水、蒸気、重水など、あるいは、塩化ナトリウム、塩化カルシウム、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、フッ化ナトリウムなどの中性塩類水溶液などを挙げることができる。また、油系流体としては、例えば、一般鉱物油、ガソリン、重油、灯油、ナフサ、タール、原油、燃料油、軽油、動植物油、作動油、絶縁油などを挙げることができる。 The needle valve V is excellent in controlling the flow rate of a fluid, particularly an aqueous fluid and an oil fluid. Examples of the aqueous fluid include fresh water, industrial water, hot water, hot water, boiler feed water, steam, heavy water, and neutral salt aqueous solutions such as sodium chloride, calcium chloride, potassium nitrate, sodium nitrate, and sodium fluoride. be able to. Examples of oil-based fluids include general mineral oil, gasoline, heavy oil, kerosene, naphtha, tar, crude oil, fuel oil, light oil, animal and vegetable oil, hydraulic oil, and insulating oil.
図２は、図１におけるニードルバルブの開弁状態を示した部分拡大断面図である。図３は、図１におけるニードルバルブの閉弁状態を示した部分拡大断面図である。図４は、Ｏリングのつぶし率を説明する模式図である。弁座６は、弁室４の流入口２側に設けた段部１ｂにシールリング２１を介して装着されており、この弁座６の流入口２側の開口部である弁口６ｂと、上方（流入口２から弁室４へ向かう方向）に向って拡がる傾斜面６ａと、弁口６ｂと傾斜面６ａとを連結する角部である縮径部６ｃと、が形成されている。なお、本例では金属製の弁座６を採用しているが、樹脂製、或はその他材料から成るものでもよく、実施に応じて任意に採用することができる。勿論、その他の構成部品も同様に実施に応じて任意に採用することができる。
FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing the opened state of the needle valve in FIG. FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a closed state of the needle valve in FIG. FIG. 4 is a schematic diagram for explaining the crushing rate of the O-ring. The
ニードル７の先端の外周部は先端に向けて縮径する円錐状のテーパ部７ａが形成され、テーパ部７ａの上方位置すなわちテーパ部７ａとフランジ７ｂとの間には外周溝１０が設けてあり、着座時にこのニードル７と弁座６との間を密封するＯリング９が装着されている。この外周溝１０には、外周溝１０のテーパ部７ａ側を下方に向けて傾斜するように拡げて空隙部１０ａが形成され、且つ、この外周溝１０におけるＯリング９が当接する面を円弧面１０ｂが形成され、この円弧面１０ｂの半径をＯリング９の半径と略一致させている。この外周溝１０の構造によって、弁微開状態における流体圧の影響を軽減させ、所謂ブローアウト現象の発生を防ぐ機能が発揮される。
A conical tapered
ニードル７は、ガイド体３１と、円盤状の保持体１４と、を組み合わせて形成される貫
通孔３１ａによって軸部８が案内される。筒体１３と保持体１４は、軸部８の周囲にダストシール３３、ガイド体３１及びＯリング１１を装着するための取付溝１２を形成する。なお、筒体１３、ガイド体３１、及び保持体１４は、樹脂製とすることができる。ニードル７は、弁本体１に組み付けられる前に、軸部８に筒体１３とダストシール部材３３とガイド体３１とＯリング１１とを介して保持体１４を組付け、さらに、この保持体１４の上部に、スプリング１５の一端を取り付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた係合片１６によって圧縮しながら係止させて、ニードルユニット２３として組み立てることができる。
The shaft portion 8 of the
弁本体１は、弁室４内の段部１ｂ上に弁座６を載置し、ニードルユニット２３を弁室４と連通形成した軸装穴５から弁本体１に装入して弁座６の上面に位置させた後、軸装穴５からブッシュ１７を装入して保持体１４の上面に位置させ、軸受け３０をブッシュ１７内に装入して軸部８の押し下げることで、ニードル７を介して弁座６を調芯することができる。本実施の形態では、ニードル７のテーパ部７ａにおける最大径を有する拡径部７ｃが、弁座６の傾斜面６ａ下方の縮径部６ｃの一部を押圧しながら調芯することができる。弁座６の調芯の完了後、ボルト等の取付部品を用いて、アクチュエータ２０の筐体２０ａが断熱プレート３２を介して弁本体１に固定されると、ブッシュ１７を介して軸装体である筒体１３と保持体１４が押圧され、弁座６も弁本体１に固定される。従って、本実施の形態ではアクチュエータ２０の設置が完了したとき、ニードル７の軸芯ｏと弁座６の軸芯ｏとが一致した状態となる。
In the valve body 1, the
ニードル７は、直動型電動モータ１８の出力軸１９の先端１９ａが軸受け３０を介してニードル７の軸部８の端部を押圧している。また、ニードル７は、スプリング１５の付勢力によって常時軸受け３０を押圧している。即ち、ニードル７の昇降動が直ちに直動型電動モータ１８の駆動に追随可能となり、弁の開度を正確に制御することができる。
In the
図３に示すように、ニードル７の外周溝１０に取り付けられたＯリング９は、フランジ７ｂの下面が弁座６の上面に当接した閉弁時において、弁座６の環状の傾斜面６ａに対して押しつぶされるように接触して流路を液密に閉鎖することができる。Ｏリング９は、平坦な傾斜面６ａに対して面接触し、角部である縮径部６ｃには接触することなく流路を閉鎖することができる。Ｏリング９は、エラストマー中にカーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料で形成される。カーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料を用いることで、Ｏリング９の剛性を向上させることができ、Ｏリング９のつぶし率が小さくても優れたシール性を有することができる。このように、Ｏリング９のつぶし率を小さくすることで、Ｏリング９が弁座６の傾斜面６ａから離接する瞬間における優れた微小流量制御特性を得ることができる。一般にＯリングのつぶし率を高くするとシール性は向上するが、一方で前記ヒステリシスは悪くなり、ニードルバルブが本来的に有する優れた流量特性を損なってしまう。本発明においては、炭素繊維複合材料を用いたＯリングのつぶし率を１１％以下という従来技術に比べ低めに設定することで、シール性を落とすことなく優れた流量特性を得ることができる。より詳細には、剛性の高いＯリング９を用いることによって、開弁動作時においてＯリング９が弁座６から離れた直後の微小流量と、閉弁動作時においてＯリング９が弁座６に接触する直前の微小流量との差を小さくすることができる。
As shown in FIG. 3, the O-
Ｏリング９に用いられる炭素繊維複合材料の５０％伸び時の応力及び２５℃における貯蔵弾性率が高くなると、ニードルバルブＶにおける微小流量制御特性が改善される傾向があることを見いだした。
It has been found that when the stress at 50% elongation and the storage elastic modulus at 25 ° C. of the carbon fiber composite material used for the O-
Ｏリング９に用いられる炭素繊維複合材料は、５０％伸び時の応力が７．０ＭＰａ以上であることができる。炭素繊維複合材料の５０％伸び時の応力は、具体的には、７．０Ｍ
Ｐａ以上、３０．０ＭＰａ以下とすることができる。５０％伸び時の応力が７．０ＭＰａ以上の炭素繊維複合材料のＯリング９を用いることでニードルバルブＶにおける微小流量特性が改善され、また、５０％伸び時の応力が３０．０ＭＰａ以下であれば成形性に支障を来すことなく高い剛性を有するＯリング９を得ることができる。特に、炭素繊維複合材料は、５０％伸び時の応力が８．０ＭＰａ以上、２２．０ＭＰａ以下とすることができる。
The carbon fiber composite material used for the O-
It can be set to Pa or more and 30.0 MPa or less. By using an O-
また、Ｏリング９に用いられる炭素繊維複合材料は、２５℃における貯蔵弾性率が６０ＭＰａ以上であることができる。炭素繊維複合材料の２５℃における貯蔵弾性率は、具体的には、６０ＭＰａ以上、２５０ＭＰａ以下とすることができる。２５℃における貯蔵弾性率が６０ＭＰａ以上、特に７０ＭＰａ以上の炭素繊維複合材料のＯリング９を用いることがニードルバルブＶにおける微小流量特性の改善には好ましく、また、２５０ＭＰａ以下、特に２００ＭＰａ以下であれば成形性に支障を来すことなく高い剛性を有するＯリング９を得ることができる。
Moreover, the carbon fiber composite material used for the O-
さらに、Ｏリング９に用いられる炭素繊維複合材料は、ＪＩＳ Ｋ６２６２に基づいて、圧縮率２５％、１７５℃、２２時間の条件で測定した圧縮永久ひずみが１０．０％以下であることができる。カーボンナノファイバーを配合することによって炭素繊維複合材料の圧縮永久ひずみは大きくなる傾向があるが、嵩密度の低いカーボンナノファイバーを用いることによって炭素繊維複合材料の圧縮永久ひずみを小さくすることができる。圧縮永久ひずみの小さい炭素繊維複合材料を用いたＯリング９は、ニードルバルブＶにおける長期的に安定した流量制御性を得ることができる。炭素繊維複合材料の圧縮永久ひずみは、具体的には、１．０％以上、１０．０％以下であることができる。炭素繊維複合材料の圧縮永久ひずみが１０．０％を超える場合には、製品寿命まで安定した流量制御性を得ることができない可能性が高い。圧縮永久ひずみが１．０％以上、１０．０％以下の炭素繊維複合材料のＯリング９を用いることでニードルバルブＶにおける長期的に安定した流量特性が得ることができる。さらに、炭素繊維複合材料は、１．０％以上、９．０％以下であることができ、特に、炭素繊維複合材料は、１．０％以上、７．０％以下であることができる。ここで、ゴムにおいて最も一般的な物性測定である常態物性値として、硬さ、伸び、引張強さ、引張応力、引裂き強さ等がある。特にシール性の大小を示すには引張応力（σ）を評価するのが良い。そこで、本発明においては、ニードルバルブのような低変形時の応力を示す値としてσ５０を用いるのが適している。
Furthermore, the carbon fiber composite material used for the O-
また、超微小変形時の応力を示す貯蔵弾性率Ｅ’を用いることで、σ５０と合わせて、ニードルバルブ用のＯリングを評価するのが適している。 Further, it is suitable to evaluate the O-ring for the needle valve together with σ50 by using the storage elastic modulus E ′ indicating the stress at the time of ultra-small deformation.
本実施の形態において、傾斜面６ａの傾斜角度は、約４５度に設定している。これにより、ニードルバルブＶのＯリング９のつぶし率は、閉弁時において、１１％以下に設定されている。具体的には、Ｏリング９のつぶし率は、３％より大きく、１１％以下とする。また、Ｏリング９のつぶし率が３％より大きければ閉弁時における流体の微小漏れを確実に防止し、１１％以下であればＯリングの寿命をほとんど低下することなく微小流量制御が可能である。特に、Ｏリングのつぶし率は、８％以上、１０％以下とすることができる。なお、本発明において、傾斜面６ａの傾斜角度は、ニードル７の軸部８の軸芯ｏに直交する仮想平面ｃに対する傾斜面６ａの角度であり、また、つぶし率ｋは、図４に示すように、その圧縮前すなわち開弁時における線径をａ、圧縮後すなわち閉弁時における線径をｂとして、下記式（１）で表わされる。
ｋ＝１００×（ａ−ｂ）／ａ・・・（１）
In the present embodiment, the inclination angle of the
k = 100 × (ab) / a (1)
上述のような高い剛性を有するＯリング９を採用することによって、Ｏリングに当接する弁座６の傾斜面６ａは、ニードル７の軸部８の軸芯ｏに直交する仮想平面ｃに対する傾
斜角度を大きく設定して、Ｏリングを傾斜面に面接触させることにより、Ｏリング自体の損傷を防止することができる。本実施の形態において、傾斜面６ａの傾斜角度は、４５度であるが、３５度〜５５度であることができ、特に４０度〜５０度であることができる。
By adopting the O-
なお、後述する図１３に示す従来のニードルバルブＶ’においては、傾斜面６ａ’の傾斜角度は約３０度であった。これにより、ニードルバルブＶ’のＯリングのつぶし率は、閉弁時において１８％〜２０％程度となっていた。
In the conventional needle valve V ′ shown in FIG. 13 described later, the inclination angle of the
また、Ｏリング９のつぶし率は、以下のような方法で調整することができる。
１．ニードル７のフランジ部７ｂと弁座６との当接位置を変更する。
２．直動型電動モータ１８の出力軸１９における先端１９ａの位置を変更する。
３．弁座６の傾斜面６ａの形状（例えば角度）を変更する。
４．ニードル７の外周溝１０の形状（例えば深さ）を変更する。
５．Ｏリング９の太さを変更する。
The crushing rate of the O-
1. The contact position between the
2. The position of the
3. The shape (for example, angle) of the
4). The shape (for example, depth) of the outer
5. The thickness of the O-
次に、Ｏリング９を形成する炭素繊維複合材料及びその製造方法について説明する。
本発明の一実施の形態にかかる炭素繊維複合材料は、エラストマー中にカーボンナノファイバーを含む。
Next, a carbon fiber composite material that forms the O-
The carbon fiber composite material according to one embodiment of the present invention includes carbon nanofibers in an elastomer.
本発明の一実施の形態に用いるカーボンナノファイバーは、平均直径（繊維径）が９ｎｍ〜１１０ｎｍであることができ、さらに９ｎｍ〜２０ｎｍもしくは平均直径が６０ｎｍ〜１１０ｎｍであることができる。このようなカーボンナノファイバーは、その平均直径が比較的細いため、比表面積が大きく、マトリックスであるエラストマーとの表面反応性が向上し、エラストマー中におけるカーボンナノファイバーの分散不良を改善しやすい傾向がある。カーボンナノファイバーは、直径が９ｎｍ以上ではカーボンナノファイバーによってマトリックス材料を囲むように形成された微小セル構造が小さすぎず適度な柔軟性を有すると予測され、逆に１１０ｎｍ以下では微小セル構造が大きすぎず耐摩耗性の効果を有すると予測される。カーボンナノファイバーによって形成される微小セル構造は、カーボンナノファイバーが３次元に張り巡らされた網目構造によってマトリックス材料を囲むように形成されることができる。平均直径が６０ｎｍ〜１１０ｎｍのカーボンナノファイバーは、さらに７０ｎｍ〜１００ｎｍであることができる。また、カーボンナノファイバーは、その表面のエラストマーとの反応性を向上させるために、公知の活性化処理を施すことができる。カーボンナノファイバーの平均直径は、電子顕微鏡による観察によって計測することができる。なお、本発明の詳細な説明においてカーボンナノファイバーの平均直径及び平均長さは、電子顕微鏡による例えば５，０００倍の撮像（カーボンナノファイバーのサイズによって適宜倍率は変更できる）から２００箇所以上の直径及び長さを計測し、その算術平均値として計算して得ることができる。炭素繊維複合材料の圧縮永久ひずみを小さくするために、カーボンナノファイバーの嵩密度を３０〜１２０ｋｇ／ｍ３とすることができ、さらに、カーボンナノファイバーの嵩密度を４０〜１１０ｋｇ／ｍ３とすることができ、特に、カーボンナノファイバーの嵩密度を１４〜１００ｋｇ／ｍ３とすることができる。 The carbon nanofibers used in one embodiment of the present invention can have an average diameter (fiber diameter) of 9 nm to 110 nm, and further can be 9 nm to 20 nm or an average diameter of 60 nm to 110 nm. Since such carbon nanofibers have a relatively small average diameter, the specific surface area is large, the surface reactivity with the matrix elastomer is improved, and the carbon nanofibers in the elastomer tend to be poorly dispersed. is there. Carbon nanofibers are expected to have moderate flexibility when the diameter is 9 nm or more so that the microcell structure formed by the carbon nanofibers surrounding the matrix material is not too small. Conversely, when the diameter is 110 nm or less, the microcell structure is large. However, it is expected to have an effect of wear resistance. The micro cell structure formed by the carbon nanofibers can be formed so as to surround the matrix material by a network structure in which the carbon nanofibers are stretched in three dimensions. Carbon nanofibers having an average diameter of 60 nm to 110 nm may further be 70 nm to 100 nm. The carbon nanofibers can be subjected to a known activation treatment in order to improve the reactivity with the elastomer on the surface. The average diameter of the carbon nanofiber can be measured by observation with an electron microscope. In the detailed description of the present invention, the average diameter and the average length of the carbon nanofibers are, for example, 5,000 times or more from an electron microscope (the magnification can be appropriately changed depending on the size of the carbon nanofibers) and the diameters of 200 or more locations. And the length can be measured and calculated as the arithmetic average value. In order to reduce the compression set of the carbon fiber composite material, the bulk density of the carbon nanofibers can be 30 to 120 kg / m 3, and the bulk density of the carbon nanofibers can be 40 to 110 kg / m 3 . In particular, the bulk density of the carbon nanofibers can be 14 to 100 kg / m 3 .
カーボンナノファイバーは、炭素六角網面のグラファイトの１枚面（グラフェンシート）を巻いて筒状にした形状を有するいわゆる多層カーボンナノチューブ（ＭＷＮＴ：マルチウォールカーボンナノチューブ）であり、部分的にカーボンナノチューブの構造を有する炭素材料も使用することができる。なお、カーボンナノチューブという名称の他にグラファイトフィブリルナノチューブ、気相成長炭素繊維といった名称で称されることもある。 The carbon nanofiber is a so-called multi-walled carbon nanotube (MWNT: multi-wall carbon nanotube) having a shape formed by winding one surface (graphene sheet) of graphite having a carbon hexagonal mesh surface into a cylindrical shape. A carbon material having a structure can also be used. In addition to the name “carbon nanotube”, it may be called “graphite fibril nanotube” or “vapor-grown carbon fiber”.
カーボンナノファイバーは、気相成長法によって得ることができる。気相成長法は、触
媒気相合成法（Catalytic Chemical Vapor Deposition：ＣＣＶＤ）とも呼ばれ、炭化水素等のガスを金属系触媒の存在下で気相熱分解させて未処理のカーボンナノファイバーを製造する方法である。より詳細に気相成長法を説明すると、例えば、ベンゼン、トルエン等の有機化合物を原料とし、フェロセン、ニッケルセン等の有機遷移金属化合物を金属系触媒として用い、これらをキャリアーガスとともに高温例えば４００℃〜１０００℃の反応温度に設定された反応炉に導入し、浮遊状態あるいは反応炉壁にカーボンナノファイバーを生成させる浮遊流動反応法（Floating Reaction Method）や、あらかじめアルミナ、酸化マグネシウム等のセラミックス上に担持された金属含有粒子を炭素含有化合物と高温で接触させてカーボンナノファイバーを基板上に生成させる触媒担持反応法（Substrate Reaction Method）等を用いることができる。例えば、平均直径が９ｎｍ〜２０ｎｍのカーボンナノファイバーは触媒担持反応法によって得ることができ、平均直径が６０ｎｍ〜１１０ｎｍのカーボンナノファイバーは浮遊流動反応法によって得ることができる。カーボンナノファイバーの直径は、例えば金属含有粒子の大きさや反応時間などで調節することができる。
Carbon nanofibers can be obtained by a vapor deposition method. Vapor phase growth is also called catalytic chemical vapor deposition (CCVD), which produces untreated carbon nanofibers by gas phase pyrolysis of hydrocarbons and other gases in the presence of metal catalysts. It is a method to do. The vapor phase growth method will be described in more detail. For example, an organic compound such as benzene or toluene is used as a raw material, an organic transition metal compound such as ferrocene or nickelcene is used as a metal catalyst, and these are used together with a carrier gas at a high temperature such as 400 ° C. Introduced into a reaction furnace set at a reaction temperature of ~ 1000 ° C and floated on a floating reaction method (floating reaction method) that generates carbon nanofibers on the reaction furnace wall or ceramics such as alumina and magnesium oxide in advance A catalyst-supporting reaction method (Substrate Reaction Method) in which the supported metal-containing particles are brought into contact with a carbon-containing compound at a high temperature to generate carbon nanofibers on the substrate can be used. For example, carbon nanofibers having an average diameter of 9 nm to 20 nm can be obtained by a catalyst-supporting reaction method, and carbon nanofibers having an average diameter of 60 nm to 110 nm can be obtained by a floating flow reaction method. The diameter of the carbon nanofiber can be adjusted by, for example, the size of the metal-containing particles and the reaction time.
本発明の一実施の形態に用いるエラストマーは、カーボンナノファイバーを含むことによって所望の剛性が得られるエラストマーから適宜選択して用いることができる。このようなエラストマーとしては、例えば、３元系の含フッ素エラストマーなどを挙げることができる。３元系の含フッ素エラストマーは、分子中にフッ素原子を含むフッ化ビニリデン系の合成ゴムであり、３元系フッ素ゴムとも呼ばれ、例えば、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）−ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）−テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）３元共重合体（ＶＤＦ−ＨＦＰ−ＴＦＥ）、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）−パーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＦＭＶＥ）−テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）３元共重合体（ＶＤＦ−ＨＦＰ−ＴＦＥ）などが挙げられる。３元系の含フッ素エラストマーとしては、例えば、デュポン社製の商品名バイトン、ダイキン工業社製の商品名ダイエル、ソルベイソレクシス社製の商品名テクノフロンなどをあげることができる。以下の説明では、３元系の含フッ素エラストマーをＦＫＭと省略する場合がある。３元系の含フッ素エラストマーは、重量平均分子量が好ましくは５０，０００〜３００，０００であることができる。３元系の含フッ素エラストマーの分子量がこの範囲であると、３元系の含フッ素エラストマー分子が互いに絡み合い、相互につながっているので、３元系の含フッ素エラストマーはカーボンナノファイバーを分散させるために良好な弾性を有することができる。３元系の含フッ素エラストマーは、粘性を有しているので凝集したカーボンナノファイバーの相互に侵入しやすく、さらに弾性を有することによってカーボンナノファイバー同士を分離することができる。３元系の含フッ素エラストマーの重量平均分子量が５０，０００より小さいと、３元系の含フッ素エラストマー分子が相互に充分に絡み合うことができず、後の工程で剪断力をかけても弾性が小さいためカーボンナノファイバーを分散させる効果が小さくなる傾向がある。また、３元系の含フッ素エラストマーの重量平均分子量が３００，０００より大きいと、３元系の含フッ素エラストマーが固くなりすぎて加工が困難となる傾向がある。本実施の形態に用いるＦＫＭは、フッ素含有量が６４質量％〜７１質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋４１２１℃）の中心値が２５〜６５またはムーニー粘度（ＭＬ１＋４１００℃）の中心値が２５〜７０、比重が１．７〜２．０ｇ／ｃｍ３であることができる。フッ素含有量が６４質量％以上であると耐熱性に優れ、フッ素含有量が７１質量％以下であれば耐アルカリ性、耐酸性、耐塩素性などの耐薬品性に優れる。また、ムーニー粘度（ＭＬ１＋４１２１℃）の中心値が２５以上またはムーニー粘度（ＭＬ１＋４１００℃）の中心値が２５以上であると引張強さ（ＴＳ）や圧縮永久ひずみ（ＣＳ）などの基本要求性能を有することができ、ムーニー粘度（ＭＬ１＋４１２１℃）の中心値が６５以下またはムーニー粘度（ＭＬ１＋４１００℃）の中心値が７０以下であれば適度な粘度を有するので加工することができる。 The elastomer used in one embodiment of the present invention can be appropriately selected from elastomers that can obtain desired rigidity by including carbon nanofibers. Examples of such elastomers include ternary fluorine-containing elastomers. The ternary fluorine-containing elastomer is a vinylidene fluoride-based synthetic rubber containing a fluorine atom in the molecule, and is also called a ternary fluorine-containing rubber. For example, vinylidene fluoride (VDF) -hexafluoropropylene (HFP) -Tetrafluoroethylene (TFE) terpolymer (VDF-HFP-TFE), vinylidene fluoride (VDF) -perfluoro (methyl vinyl ether) (FMVE) -tetrafluoroethylene (TFE) terpolymer (VDF) -HFP-TFE) and the like. Examples of ternary fluorine-containing elastomers include DuPont's trade name Viton, Daikin Industries 'trade name Daiel, and Solvay Solexis' trade name Technoflon. In the following description, the ternary fluorine-containing elastomer may be abbreviated as FKM. The ternary fluorine-containing elastomer preferably has a weight average molecular weight of 50,000 to 300,000. If the molecular weight of the ternary fluorine-containing elastomer is within this range, the ternary fluorine-containing elastomer molecules are entangled with each other and connected to each other, so the ternary fluorine-containing elastomer disperses the carbon nanofibers. Can have good elasticity. The ternary fluorine-containing elastomer has viscosity, so that the aggregated carbon nanofibers can easily enter each other, and the carbon nanofibers can be separated by having elasticity. If the weight average molecular weight of the ternary fluorine-containing elastomer is smaller than 50,000, the ternary fluorine-containing elastomer molecules cannot be sufficiently entangled with each other, and elasticity is exerted even if a shearing force is applied in a later step. Since it is small, the effect of dispersing the carbon nanofibers tends to be small. If the weight average molecular weight of the ternary fluorine-containing elastomer is larger than 300,000, the ternary fluorine-containing elastomer tends to be too hard and difficult to process. The FKM used in the present embodiment has a fluorine content of 64 mass% to 71 mass%, a median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 121 ° C.) of 25 to 65, or a median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 100 ° C.) of 25. -70, specific gravity can be 1.7-2.0 g / cm < 3 >. When the fluorine content is 64% by mass or more, the heat resistance is excellent, and when the fluorine content is 71% by mass or less, the chemical resistance such as alkali resistance, acid resistance, and chlorine resistance is excellent. Further, when the median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 121 ° C.) is 25 or more or the median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 100 ° C.) is 25 or more, the basics such as tensile strength (TS) and compression set (CS) are obtained. If the median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 121 ° C.) is 65 or less or the median value of Mooney viscosity (ML 1 + 4 100 ° C.) is 70 or less, it has an appropriate viscosity and can be processed. it can.
カーボンナノファイバー以外の充填剤としては、エラストマーの充填剤として用いるこ
とのできるカーボンブラック、シリカ、クレー、タルクなどから少なくともひとつを選択することができる。カーボンブラックは、平均粒径が１０ｎｍ〜３００ｎｍであることができる。シリカ、タルク及びクレーは、平均粒径が５ｎｍ〜５０ｎｍであることができる。充填剤をエラストマーに配合することによって、エラストマーのマトリックス領域を充填剤によって微小サイズに分割することができ、その微小サイズに分割されたマトリックス領域はカーボンナノファイバーによって補強すればよいので、充填剤を配合することでカーボンナノファイバーの配合量を少なくすることができる。充填剤は、カーボンナノファイバーの配合量に合わせて、エラストマー１００質量部に対し、０質量部〜５０質量部を含むことができる。
As the filler other than the carbon nanofibers, at least one of carbon black, silica, clay, talc and the like that can be used as an elastomer filler can be selected. The carbon black may have an average particle size of 10 nm to 300 nm. Silica, talc and clay may have an average particle size of 5 nm to 50 nm. By blending the filler with the elastomer, the matrix region of the elastomer can be divided into fine sizes by the filler, and the matrix region divided into the fine sizes may be reinforced with carbon nanofibers. The compounding quantity of carbon nanofiber can be decreased by mix | blending. A filler can contain 0-50 mass parts with respect to 100 mass parts of elastomers according to the compounding quantity of carbon nanofiber.
カーボンナノファイバーは、エラストマー１００質量部に対し、５質量部〜４０質量部を配合することができ、特に１０質量部〜２０質量部を配合することができる。カーボンナノファイバーは、特に平均直径が９ｎｍ〜２０ｎｍのカーボンナノファイバーを用いた場合には５質量部以上または平均直径が６０ｎｍ〜１１０ｎｍのカーボンナノファイバーを用いた場合には１０質量部以上をエラストマーへ配合することによって、ナノサイズのセル構造を形成することができると考えられる。また、カーボンナノファイバーが４０質量部以下の配合量であれば、破断伸び（Ｅｂ）が比較的高いので加工性に優れるともとに動的シール部材を部品へ装着しやすい傾向がある。ここで、「質量部」は、特に指定しない限り「ｐｈｒ」を示し、「ｐｈｒ」は、ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｈｕｎｄｒｅｄ ｏｆ ｒｅｓｉｎ ｏｒ ｒｕｂｂｅｒの省略形であって、ゴム等に対する添加剤等の外掛百分率を表すものである。 Carbon nanofiber can mix | blend 5 mass part-40 mass parts with respect to 100 mass parts of elastomer, and can mix | blend especially 10 mass parts-20 mass parts. In particular, when carbon nanofibers with an average diameter of 9 nm to 20 nm are used, the carbon nanofibers are 5 parts by mass or more when carbon nanofibers with an average diameter of 60 nm to 110 nm are used. It is considered that a nano-sized cell structure can be formed by blending. Further, when the carbon nanofiber is blended in an amount of 40 parts by mass or less, the elongation at break (Eb) is relatively high, so that the workability is excellent and the dynamic seal member tends to be easily attached to the part. Here, “parts by mass” indicates “phr” unless otherwise specified, and “phr” is an abbreviation for “parts per undred of resin or rubber”, and represents the percentage of external additives such as additives to rubber and the like. It is.
本発明の一実施の形態にかかる炭素繊維複合材料の製造方法は、カーボンナノファイバーを、エラストマーに混合し、かつ、剪断力で該エラストマー中に均一に分散して炭素繊維複合材料を得る工程を含むことができる。一般に、エラストマー中に凝集しやすいカーボンナノファイバーを解して分散することは容易ではない。以下に説明するように、エラストマーとカーボンナノファイバーとの特性を利用して製造することができる。本発明の一実施形態にかかるオープンロール法による炭素繊維複合材料の製造方法について説明する。 The method for producing a carbon fiber composite material according to an embodiment of the present invention includes a step of mixing carbon nanofibers with an elastomer and uniformly dispersing the carbon nanofibers in the elastomer with a shearing force to obtain a carbon fiber composite material. Can be included. In general, it is not easy to disperse and disperse carbon nanofibers that easily aggregate in an elastomer. As will be described below, it can be produced by utilizing the characteristics of an elastomer and carbon nanofibers. The manufacturing method of the carbon fiber composite material by the open roll method concerning one Embodiment of this invention is demonstrated.
２本ロールのオープンロールにおける第１のロールと第２のロールとは、所定の間隔、例えば０．５ｍｍ〜１．５ｍｍの間隔で配置され、回転速度Ｖ１，Ｖ２で回転する。まず、第１のロールに巻き付けられたエラストマーの素練りを行ない、エラストマー分子鎖を適度に切断してフリーラジカルを生成する。素練りによって生成されたエラストマーのフリーラジカルがカーボンナノファイバーと結びつきやすい状態となる。 The first roll and the second roll in the two-roll open roll are arranged at a predetermined interval, for example, an interval of 0.5 mm to 1.5 mm, and rotate at rotation speeds V1 and V2. First, the elastomer wound around the first roll is masticated, and the elastomer molecular chain is appropriately cut to generate free radicals. Free radicals of the elastomer generated by mastication are likely to be combined with carbon nanofibers.
次に、第１のロールに巻き付けられたエラストマーのバンクに、カーボンナノファイバー及び必要に応じて充填剤を投入し、混練する。この混練におけるエラストマーの温度は、例えば１００℃〜２００℃であることができ、さらに１５０℃〜２００℃であることができる。このように、後で説明する薄通しに比べて比較的高温でエラストマーとカーボンナノファイバーとが混練されることでカーボンナノファイバーの隙間にエラストマーが侵入しやすくなると考えられる。エラストマーとカーボンナノファイバーとを混合する工程は、オープンロール法に限定されず、例えば密閉式混練法あるいは多軸押出し混練法を用いることもできる。 Next, carbon nanofibers and, if necessary, a filler are charged into the elastomer bank wound around the first roll and kneaded. The temperature of the elastomer in this kneading can be, for example, 100 ° C. to 200 ° C., and further can be 150 ° C. to 200 ° C. As described above, it is considered that the elastomer and the carbon nanofibers are kneaded at a relatively high temperature as compared with the thin thread to be described later, so that the elastomer easily enters the gap between the carbon nanofibers. The step of mixing the elastomer and the carbon nanofiber is not limited to the open roll method, and for example, a closed kneading method or a multiaxial extrusion kneading method can be used.
さらに、第１のロールと第２のロールとのロール間隔を、例えば０．５ｍｍ以下、より好ましくは０〜０．５ｍｍの間隔に設定し、混合物をオープンロールに投入して薄通しを１回〜複数回行なう。薄通しの回数は、例えば１回〜１０回程度行なうことができる。第１のロールの表面速度をＶ１、第２のロールの表面速度をＶ２とすると、薄通しにおける両者の表面速度比（Ｖ１／Ｖ２）は、１．０５〜３．００であることができ、さらに１．
０５〜１．２であることができる。このような表面速度比を用いることにより、所望の剪断力を得ることができる。このように狭いロール間から押し出された炭素繊維複合材料は、エラストマーの弾性による復元力で大きく変形し、その際にエラストマーと共にカーボンナノファイバーが大きく移動する。この薄通しの工程では、できるだけ高い剪断力を得るために、ロール温度を例えば０〜５０℃、より好ましくは５〜３０℃の比較的低い温度に設定して行われ、エラストマーの実測温度も０〜５０℃に調整されることができる。このようにして得られた剪断力により、エラストマーに高い剪断力が作用し、凝集していたカーボンナノファイバーがエラストマー分子に１本ずつ引き抜かれるように相互に分離し、エラストマー中に分散される。特に、エラストマーは、弾性と、粘性と、カーボンナノファイバーとの化学的相互作用と、を有するため、カーボンナノファイバーを容易に分散することができる。そして、カーボンナノファイバーの分散性および分散安定性（カーボンナノファイバーが再凝集しにくいこと）に優れた炭素繊維複合材料を得ることができる。なお、薄通しして得られた炭素繊維複合材料は、さらにロールで圧延されて所定厚さのシート状に分出しすることができる。
Furthermore, the roll interval between the first roll and the second roll is set to, for example, 0.5 mm or less, more preferably 0 to 0.5 mm, and the mixture is put into an open roll to pass through once. ~ Repeat multiple times. For example, the thinning can be performed about 1 to 10 times. When the surface speed of the first roll is V1, and the surface speed of the second roll is V2, the surface speed ratio (V1 / V2) of both in thinness can be 1.05 to 3.00, Further 1.
It can be from 05 to 1.2. By using such a surface velocity ratio, a desired shear force can be obtained. The carbon fiber composite material extruded from between the narrow rolls as described above is greatly deformed by the restoring force due to the elasticity of the elastomer, and at that time, the carbon nanofibers move greatly together with the elastomer. In this thinning process, in order to obtain as high a shearing force as possible, the roll temperature is set to a relatively low temperature of, for example, 0 to 50 ° C., more preferably 5 to 30 ° C., and the measured temperature of the elastomer is also 0. It can be adjusted to -50 ° C. The shearing force thus obtained causes a high shearing force to act on the elastomer, so that the aggregated carbon nanofibers are separated from each other so as to be pulled out one by one to the elastomer molecules and dispersed in the elastomer. In particular, since an elastomer has elasticity, viscosity, and chemical interaction with carbon nanofibers, the carbon nanofibers can be easily dispersed. And the carbon fiber composite material excellent in the dispersibility and dispersion stability of carbon nanofiber (it is hard to re-aggregate carbon nanofiber) can be obtained. The carbon fiber composite material obtained through thinning can be further rolled with a roll and dispensed into a sheet having a predetermined thickness.
より具体的には、オープンロールでエラストマーとカーボンナノファイバーとを混合すると、粘性を有するエラストマーがカーボンナノファイバーの相互に侵入し、かつ、エラストマーの特定の部分が化学的相互作用によってカーボンナノファイバーの活性の高い部分と結合する。次に、エラストマーに強い剪断力が作用すると、エラストマー分子の移動に伴ってカーボンナノファイバーも移動し、さらに剪断後の弾性によるエラストマーの復元力によって、凝集していたカーボンナノファイバーが分離されて、エラストマー中に分散されることになる。本実施の形態によれば、薄通しで炭素繊維複合材料が狭いロール間から押し出された際に、エラストマーの弾性による復元力で炭素繊維複合材料はロール間隔より厚く変形する。その変形は、強い剪断力の作用した炭素繊維複合材料をさらに複雑に流動させ、カーボンナノファイバーをエラストマー中に分散させると推測できる。そして、一旦分散したカーボンナノファイバーは、エラストマーとの化学的相互作用によって再凝集することが防止され、良好な分散安定性を有することができる。 More specifically, when an elastomer and carbon nanofibers are mixed with an open roll, the viscous elastomer penetrates into the carbon nanofibers, and a specific part of the elastomer is chemically interacted with the carbon nanofibers. Binds to highly active moieties. Next, when a strong shearing force acts on the elastomer, the carbon nanofibers move with the movement of the elastomer molecules, and the aggregated carbon nanofibers are separated by the restoring force of the elastomer due to the elasticity after shearing, It will be dispersed in the elastomer. According to the present embodiment, when the carbon fiber composite material is extruded through a narrow and narrow roll, the carbon fiber composite material is deformed to be thicker than the roll interval due to the restoring force due to the elasticity of the elastomer. The deformation can be presumed to cause the carbon fiber composite material subjected to a strong shear force to flow more complicatedly and disperse the carbon nanofibers in the elastomer. The carbon nanofibers once dispersed are prevented from reaggregating due to chemical interaction with the elastomer, and can have good dispersion stability.
エラストマーにカーボンナノファイバーを剪断力によって分散させる工程は、前記オープンロール法に限定されず、密閉式混練法あるいは多軸押出し混練法を用いることもできる。要するに、この工程では、凝集したカーボンナノファイバーを分離できる剪断力をエラストマーに与えることができればよい。特に、オープンロール法は、ロール温度の管理だけでなく、混合物の実際の温度を測定し管理することができるため、好ましい。エラストマーとカーボンナノチューブとの混合前、混合中、あるいは薄通し後の分出しされた炭素繊維複合材料に、架橋剤を混合することができ、架橋して架橋体の炭素繊維複合材料とすることができる。ＦＫＭの架橋は、ポリアミン加硫、ポリオール加硫、パーオキサイド加硫によって行うことができるが、耐薬品性に優れたパーオキサイド加硫を用いることができる。架橋剤は、例えばカーボンナノファイバーをエラストマーへ混合する前、カーボンナノファイバーと一緒、あるいはカーボンナノファイバーとエラストマーを混合した後に投入することができ、例えばスコーチ防止のために架橋剤は薄通し後の未架橋の炭素繊維複合材料に配合することができる。 The step of dispersing the carbon nanofibers in the elastomer by a shearing force is not limited to the open roll method, and a closed kneading method or a multiaxial extrusion kneading method can also be used. In short, in this step, it is sufficient that a shearing force capable of separating the aggregated carbon nanofibers can be given to the elastomer. In particular, the open roll method is preferable because it can measure and manage not only the roll temperature but also the actual temperature of the mixture. A cross-linking agent can be mixed with the carbon fiber composite material that has been dispensed before, during, or after passing through the elastomer and carbon nanotubes, and the cross-linked carbon fiber composite material can be crosslinked. it can. Crosslinking of FKM can be performed by polyamine vulcanization, polyol vulcanization, or peroxide vulcanization, and peroxide vulcanization having excellent chemical resistance can be used. The crosslinking agent can be added, for example, before mixing the carbon nanofibers into the elastomer, together with the carbon nanofibers, or after mixing the carbon nanofibers and the elastomer. It can mix | blend with an unbridged carbon fiber composite material.
Ｏリングは、炭素繊維複合材料を一般に採用されるゴムの成形加工例えば、プレス成形法、射出成形法、押出成形法などによって所望の形状例えば無端状に成形することで得ることができる。Ｏリングは、加硫された炭素繊維複合材料によって形成することができ、例えばプレス成形において一次加硫した後、熱オーブンなどで二次加硫することができる。 The O-ring can be obtained by molding a carbon fiber composite material into a desired shape, for example, endless shape by a rubber molding process generally employed, for example, a press molding method, an injection molding method, an extrusion molding method, or the like. The O-ring can be formed of a vulcanized carbon fiber composite material. For example, the O-ring can be subjected to primary vulcanization in press molding and then secondary vulcanization in a heat oven or the like.
本実施の形態にかかる炭素繊維複合材料の製造方法において、通常、エラストマーの加工で用いられる配合剤を加えることができる。配合剤としては公知のものを用いることが
できる。配合剤としては、例えば、架橋剤、加硫剤、加硫促進剤、加硫遅延剤、軟化剤、可塑剤、硬化剤、補強剤、充填剤、老化防止剤、着色剤、受酸剤などを挙げることができる。これらの配合剤は、混合の過程の適切な時期にエラストマーに投入することができる。
In the method for producing a carbon fiber composite material according to the present embodiment, a compounding agent usually used for processing an elastomer can be added. A well-known thing can be used as a compounding agent. Examples of the compounding agent include a crosslinking agent, a vulcanizing agent, a vulcanization accelerator, a vulcanization retarder, a softening agent, a plasticizer, a curing agent, a reinforcing agent, a filler, an anti-aging agent, a colorant, and an acid acceptor. Can be mentioned. These compounding agents can be added to the elastomer at an appropriate time during the mixing process.
炭素繊維複合材料は、エラストマーとしてＦＫＭを用いた場合、未架橋体において、パルス法ＮＭＲを用いてハーンエコー法によって１５０℃、観測核が１Ｈで測定した、特性緩和時間（Ｔ２’ＨＥ／１５０℃）が５００〜１２００μ秒であることができ、さらに５００〜１３００μ秒であることができ、特に５００〜１１００μ秒であることができる。なお、特性緩和時間（Ｔ２’ＨＥ）における「ＨＥ」は、後述するソリッドエコー法の「ＳＥ」と区別するために用いた表記である。ハーンエコー法による特性緩和時間（Ｔ２’ＨＥ）は、ＦＫＭの分子運動性を示す尺度であって、多成分系の平均的緩和時間を表す。したがって、特性緩和時間（Ｔ２’ＨＥ）は、ハーンエコー法によって検出された複数の緩和時間の平均値であり、「１／Ｔ２’ＨＥ＝ｆａ／Ｔ２ａ＋ｆｂ／Ｔ２ｂ＋ｆｃ／Ｔ２ｃ・・・」と表すことができる。カーボンナノファイバーが分散した炭素繊維複合材料は、マトリックスであるＦＫＭ分子をカーボンナノファイバーが拘束する力を表すと言え、（Ｔ２’ＨＥ／１５０℃）がＦＫＭ単体に比べてカーボンナノファイバーの配合量に応じて小さくなる。したがって、カーボンナノファイバーを混合した炭素繊維複合材料であっても、カーボンナノファイバーが均一に分散していない場合にはＦＫＭ分子を全体に拘束しにくいため、１５０℃におけるハーンエコー法による特性緩和時間（Ｔ２’ＨＥ／１５０℃）がＦＫＭ単体と大きく変わらないと考えられる。 When the FKM is used as an elastomer, the carbon fiber composite material has a characteristic relaxation time (T2′HE / 150) measured at 150 ° C. by a Hahn echo method using a pulsed NMR method at an observation nucleus of 1 H in an uncrosslinked body. ° C) can be from 500 to 1200 microseconds, more preferably from 500 to 1300 microseconds, in particular from 500 to 1100 microseconds. Note that “HE” in the characteristic relaxation time (T2′HE) is a notation used to distinguish from “SE” in the solid echo method described later. The characteristic relaxation time (T2′HE) by the Hahn-echo method is a measure showing the molecular mobility of FKM, and represents the average relaxation time of a multicomponent system. Therefore, the characteristic relaxation time (T2′HE) is an average value of a plurality of relaxation times detected by the Hahn-echo method, and is expressed as “1 / T2′HE = fa / T2a + fb / T2b + fc / T2c. Can do. A carbon fiber composite material in which carbon nanofibers are dispersed represents the ability of carbon nanofibers to restrain FKM molecules as a matrix. (T2'HE / 150 ° C) is a blending amount of carbon nanofibers compared to FKM alone. It becomes small according to. Therefore, even if it is a carbon fiber composite material mixed with carbon nanofibers, the characteristic relaxation time by the Hahn echo method at 150 ° C. is difficult because the FKM molecules are difficult to bind to the whole when the carbon nanofibers are not uniformly dispersed. (T2′HE / 150 ° C.) is considered not to be significantly different from that of FKM alone.
炭素繊維複合材料は、エラストマーとしてＦＫＭを用いた場合、未架橋体において、パルス法ＮＭＲを用いてソリッドエコー法によって１５０℃、観測核が１Ｈで測定した、特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ／１５０℃）が１０〜７００μ秒であることができ、さらに特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ／１５０℃）が１０〜５００μ秒であることができ、特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ／１５０℃）が１０〜２００μ秒であることができる。ソリッドエコー法による特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ）は、カーボンナノファイバーによる磁場の不均一性を示す尺度であって、多成分系の平均的緩和時間を表す。したがって、特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ）は、ハーンエコー法によって検出された複数の緩和時間の平均値であり、「１／Ｔ２’ＳＥ＝ｆａ／Ｔ２ａ＋ｆｂ／Ｔ２ｂ＋ｆｃ／Ｔ２ｃ・・・」と表すことができる。カーボンナノファイバーが分散した炭素繊維複合材料は、カーボンナノファイバーが均一に分散することで磁場の不均一性が起こり、１５０℃におけるソリッドエコー法による特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ／１５０℃）がＦＫＭ単体に比べてカーボンナノファイバーの配合量に応じて小さくなる。また、カーボンナノファイバーを混合した炭素繊維複合材料であっても、カーボンナノファイバーが均一に分散していない場合には磁場の不均一性があまり導入されず、したがって１５０℃におけるソリッドエコー法による特性緩和時間（Ｔ２’ＳＥ／１５０℃）がＦＫＭ単体とほとんど変わらないと考えられる。 When the FKM is used as the elastomer, the carbon fiber composite material has a characteristic relaxation time (T2′SE / 150) measured at 150 ° C. by a solid echo method using a pulse method NMR and an observation nucleus of 1 H in an uncrosslinked body. ° C.) can be 10 to 700 μs, and further the characteristic relaxation time (T2′SE / 150 ° C.) can be 10 to 500 μs, and the characteristic relaxation time (T2′SE / 150 ° C.) is 10 to 10 μs. It can be 200 microseconds. The characteristic relaxation time (T2′SE) by the solid echo method is a measure showing the non-uniformity of the magnetic field due to the carbon nanofibers, and represents the average relaxation time of a multicomponent system. Therefore, the characteristic relaxation time (T2′SE) is an average value of a plurality of relaxation times detected by the Hahn echo method, and is expressed as “1 / T2′SE = fa / T2a + fb / T2b + fc / T2c. Can do. The carbon fiber composite material in which carbon nanofibers are dispersed causes magnetic field inhomogeneity due to the uniform dispersion of carbon nanofibers, and the characteristic relaxation time (T2'SE / 150 ° C) by the solid echo method at 150 ° C is FKM. It becomes smaller according to the compounding quantity of carbon nanofiber than a simple substance. In addition, even when carbon nanofibers are mixed with carbon nanofibers, non-uniformity of the magnetic field is not introduced when carbon nanofibers are not uniformly dispersed. It is considered that the relaxation time (T2′SE / 150 ° C.) is almost the same as that of FKM alone.
また、カーボンナノファイバーの周囲には、エラストマーの一部が混練中に分子鎖切断され、それによって生成されたフリーラジカルがカーボンナノファイバーの表面をアタックして吸着したエラストマー分子の凝集体と考えられる界面相が形成される。界面相は、例えばエラストマーとカーボンブラックとを混練した際にカーボンブラックの周囲に形成されるバウンドラバーに類似するものと考えられる。このような界面相は、カーボンナノファイバーを被覆して保護し、また、カーボンナノファイバーを所定量以上配合することで界面相同士が連鎖した界面相に囲まれてナノメートルサイズに分割されたエラストマーの小さなセルを形成すると推定される。このような小さなセルが炭素繊維複合材料の全体にほぼ均質に形成されることで、単に２つの材料を複合したことによる効果を超えた効果を期待することができる。 In addition, around the carbon nanofibers, a part of the elastomer is molecular chain cleaved during kneading, and the free radicals generated thereby attack the surface of the carbon nanofibers and are considered to be aggregates of elastomer molecules. An interfacial phase is formed. The interfacial phase is considered to be similar to a bound rubber formed around carbon black when, for example, an elastomer and carbon black are kneaded. Such an interfacial phase is coated and protected with carbon nanofibers, and by blending more than a predetermined amount of carbon nanofibers, the interfacial phase is surrounded by an interfacial phase and is divided into nanometer-sized elastomers. Are estimated to form small cells. By forming such small cells almost uniformly throughout the carbon fiber composite material, it is possible to expect an effect that exceeds the effect of simply combining the two materials.
上記のように、本発明の一実施の形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。したがって、このような変形例はすべて、本発明の範囲に含まれるものとする。 Although one embodiment of the present invention has been described in detail as described above, those skilled in the art will readily understand that many modifications are possible without departing from the novel matters and effects of the present invention. . Accordingly, all such modifications are intended to be included in the scope of the present invention.
以下、本発明の実施例について述べるが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.
（１）サンプルの作製
密閉式混練機ブラベンダーに、３元系含フッ素ゴム（表１〜５では「ＦＫＭ−１」、「ＦＫＭ−２」、「ＦＫＭ−３」、「ＦＫＭ−４」、「ＦＫＭ−５」で示した）を投入し素練り後、表１、２に示す所定量のカーボンナノファイバー（表１，２，４，５では「ＣＮＴ−１」、「ＣＮＴ−２」、「ＣＮＴ−３」、「ＣＮＴ−４」、「ＣＮＴ−５」で示した）及びカーボンブラック（表１〜５では「ＭＴ」で示した）を３元系含フッ素ゴムに投入しチャンバー温度１５０℃〜２００℃で混練りの後、第１の混練工程を行いロールから取り出した。さらに、その混合物をオープンロール（ロール温度１０℃〜２０℃、ロール間隔０．３ｍｍ）に巻きつけ、薄通しを繰り返し５回行なった。このとき、２本のロールの表面速度比を１．１とした。さらに、ロール間隙を１．１ｍｍにセットして、薄通しして得られたゴム組成物を投入し、分出しした。分出ししたシートを１２０℃、２分間圧縮成形して厚さ１ｍｍの未架橋体のサンプルを得た。さらに、薄通しして得られた未架橋体のサンプルに表１〜５に示した量のパーオキサイド（表１〜５では「ＰＯ」で示した）、トリアリルイソシアヌレート（表１〜５では「ＴＡＩＣ」で示した）、酸化亜鉛（表１〜５では「ＺｎＯ」で示した）及び可塑剤（サンプル７，１５，１６，１９）を加えて分出ししたシートをプレス加硫（１７０℃／１０分）、二次加硫（２００℃／２４時間）で成形して厚さ１ｍｍのシート状の架橋体のサンプル１〜１９を得た。サンプル１は具体的な配合が不明の従来品のＯリングと同等のゴム組成物であり、サンプル２〜８は炭素繊維複合材料であり、サンプル９はカーボンブラックで補強していない３元系含フッ素ゴムであり、サンプル１０〜１２はカーボンブラックの量を変化させたゴム組成物であり、サンプル１３〜１９は嵩密度の低いカーボンナノファイバーで補強することで圧縮永久ひずみを改善したゴム組成物である。
(1) Preparation of sample To a closed-type kneader Brabender, a ternary fluorine-containing rubber ("FKM-1", "FKM-2", "FKM-3", "FKM-4" in Tables 1 to 5), After adding and kneading “FKM-5”), a predetermined amount of carbon nanofibers shown in Tables 1 and 2 (in Tables 1, 2, 4, and 5, “CNT-1”, “CNT-2”, “CNT-3”, “CNT-4”, and “CNT-5”) and carbon black (shown as “MT” in Tables 1 to 5) were put into a ternary fluorine-containing rubber, and the chamber temperature was 150. After kneading at a temperature of from 200 ° C. to 200 ° C., the first kneading step was performed and taken out from the roll. Further, the mixture was wound around an open roll (roll temperature: 10 ° C. to 20 ° C., roll interval: 0.3 mm), and thinning was repeated 5 times. At this time, the surface speed ratio of the two rolls was set to 1.1. Further, the rubber composition obtained through thinning was set by setting the roll gap to 1.1 mm and dispensed. The dispensed sheet was compression molded at 120 ° C. for 2 minutes to obtain a sample of an uncrosslinked body having a thickness of 1 mm. Furthermore, the amount of peroxide (shown as “PO” in Tables 1 to 5) and triallyl isocyanurate (in Tables 1 to 5) shown in Tables 1 to 5 were added to a sample of an uncrosslinked product obtained through thinning. A sheet obtained by adding zinc oxide (shown as “ZnO” in Tables 1 to 5) and a plasticizer (
表１〜５において、「ＦＫＭ−１」は、フッ素含有量が６７質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０１２１℃）の中心値が６５、比重が１．８６ｇ／ｃｍ３の３元系ＦＫＭであり、「ＦＫＭ−２」は、フッ素含有量が６６質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０１２１℃）の中心値が５３、比重が１．８３ｇ／ｃｍ３の３元系ＦＫＭであり、「ＦＫＭ−３」は、フッ素含有量が７０質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０１２１℃）の中心値が４８、比重が１．９０ｇ／ｃｍ３の３元系ＦＫＭであり、「ＦＫＭ−４」は、フッ素含有量が６４質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０１２１℃）の中心値が５４、比重が１．７８ｇ／ｃｍ３の３元系ＦＫＭであり、「ＦＫＭ−５」は、フッ素含有量が６４質量％、ムーニー粘度（ＭＬ１＋１０１２１℃）の中心値が６５、比重が１．７９ｇ／ｃｍ３の３元系ＦＫＭであった。表１〜５において、「ＭＴ」は、算術平均直径が約２００ｎｍのＭＴグレードのカーボンブラックであった。表１，２において、「ＣＮＴ−１」は触媒担持反応法（Substrate Reaction Method）によって製造された平均直径１５ｎｍ、頻度最大直径１８ｎｍ、剛直度指数４．８、ラマンピーク比（Ｄ／Ｇ）１．７、窒素吸着比表面積２６０ｍ２／ｇの多層カーボンナノファイバーであり、「ＣＮＴ−２」は浮遊流動反応法によって製造した後、不活性ガス雰囲気の過熱炉内において２８００℃で熱処理して黒鉛化した平均直径８７ｎｍ、頻度最大直径９０ｎｍ、剛直度指数９．９、平均長さ９．１μｍ、表面の酸素濃度２．１ａｔｍ％、ラマンピーク比（Ｄ／Ｇ）０．１１、窒素吸着比表面積２５ｍ２／ｇ多層カーボンナノファイバーであり、「ＣＮＴ−３」は平均直径１５．３ｎｍ、剛直度指数４．４の多層カーボンナノファイバーであり、「ＣＮＴ−４」は平均直径１８．６ｎｍ、剛直度指数３．１、嵩密度１３０〜１５０ｋｇ／ｍ３の多層カーボンナノファ
イバーであり、「ＣＮＴ−５」は平均直径１８．６ｎｍ、剛直度指数３．１、嵩密度４５〜９５ｋｇ／ｍ３の多層カーボンナノファイバーであった。
In Tables 1 to 5, “FKM-1” is a ternary FKM having a fluorine content of 67 mass%, a Mooney viscosity (ML 1 + 10 121 ° C.) of 65, and a specific gravity of 1.86 g / cm 3 . “FKM-2” is a ternary FKM having a fluorine content of 66 mass%, a Mooney viscosity (ML 1 + 10 121 ° C.) of 53, a specific gravity of 1.83 g / cm 3 , and “FKM-3”. Is a ternary FKM with a fluorine content of 70% by weight, a Mooney viscosity (ML 1 + 10 121 ° C.) of 48 and a specific gravity of 1.90 g / cm 3 , and “FKM-4” contains fluorine. It is a ternary FKM with an amount of 64% by mass, a Mooney viscosity (ML 1 + 10 121 ° C.) of 54 and a specific gravity of 1.78 g / cm 3 , and “FKM-5” has a fluorine content of 64% by mass. , Mooney viscosity (ML 1 + 10 Center value of 21 ° C.) of 65, specific gravity of ternary FKM of 1.79 g / cm 3. In Tables 1 to 5, “MT” was MT grade carbon black having an arithmetic average diameter of about 200 nm. In Tables 1 and 2, “CNT-1” is an average diameter of 15 nm, a frequency maximum diameter of 18 nm, a stiffness index of 4.8, and a Raman peak ratio (D / G) of 1 produced by a catalyst reaction method (Substrate Reaction Method). .7, a multi-layer carbon nanofiber having a nitrogen adsorption specific surface area of 260 m 2 / g, “CNT-2” is manufactured by a floating flow reaction method and then heat-treated at 2800 ° C. in a superheated furnace in an inert gas atmosphere. Average diameter 87 nm, frequency maximum diameter 90 nm, stiffness index 9.9, average length 9.1 μm, surface oxygen concentration 2.1 atm%, Raman peak ratio (D / G) 0.11, nitrogen adsorption specific surface area 25 m 2 / g multilayer carbon nanofiber, “CNT-3” is a multilayer carbon nanofiber having an average diameter of 15.3 nm and a stiffness index of 4.4, “CNT-4 "Is a multilayer carbon nanofiber having an average diameter of 18.6 nm, a stiffness index of 3.1, and a bulk density of 130 to 150 kg / m 3 , and" CNT-5 "is an average diameter of 18.6 nm, a stiffness index of 3.1, It was a multi-layer carbon nanofiber having a bulk density of 45 to 95 kg / m 3 .
（２）常態物性、貯蔵弾性率等の測定
常態物性として、サンプル１〜１９について、室温における硬度、引張強さ、破断伸び、５０％及び１００％モジュラス及び破壊エネルギーを測定した。
ゴム硬度（表１〜５において「Ｈｓ（ＪＩＳ−Ａ）」で示した。）は、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に基づいて測定した。
引張強さ（表１〜５において「ＴＳ（ＭＰａ）」で示した。）、破断伸び（表１〜５において「Ｅｂ（％）」で示した。）、５０％伸び時の応力（表１〜５において「σ５０（ＭＰａ）」で示した。）、１００％伸び時の応力（表１〜５において「σ１００（ＭＰａ）」で示した。）及び破壊エネルギー（表１〜５において「破壊Ｅ（Ｊ）」で示した。）は、ＪＩＳ３号形もしくは６号形のダンベル形状に切り出した試験片について、島津製作所社製の引張試験機を用いて、２３±２℃、引張速度５００ｍｍ／ｍｉｎでＪＩＳ Ｋ６２５１に基づいて引張試験を行い測定した。なお、「σ５０」及び「σ１００」は、「５０％モジュラス（Ｍ５０）」及び「１００％モジュラス（Ｍ１００）」と呼ばれることがある。
(2) Measurement of normal physical properties, storage elastic modulus, etc. As normal physical properties, hardness at room temperature, tensile strength, elongation at break, 50% and 100% modulus and fracture energy were measured for samples 1-19.
The rubber hardness (shown as “Hs (JIS-A)” in Tables 1 to 5) was measured based on JIS K 6253.
Tensile strength (indicated by “TS (MPa)” in Tables 1 to 5), elongation at break (indicated by “Eb (%)” in Tables 1 to 5), stress at 50% elongation (Table 1) -5, indicated by "σ50 (MPa)"), stress at 100% elongation (indicated by "σ100 (MPa)" in Tables 1-5) and fracture energy (in Tables 1-5, "Fracture E"). (J) ”is a test piece cut into a JIS No. 3 or No. 6 dumbbell shape, using a tensile tester manufactured by Shimadzu Corporation, 23 ± 2 ° C., and a tensile speed of 500 mm / min. Then, a tensile test was performed based on JIS K6251. “Σ50” and “σ100” may be referred to as “50% modulus (M50)” and “100% modulus (M100)”.
サンプル１〜１９について、測定温度が２５℃における貯蔵弾性率を測定した。貯蔵弾性率（表１〜５において「Ｅ’（２５℃）（ＭＰａ）」で示した）は、短冊形（４０×１×２（巾）ｍｍ）に切り出した試験片について、ＳＩＩ社製の動的粘弾性試験機ＤＭＳ６１００を用いて、チャック間距離２０ｍｍ、測定温度−１００〜３００℃、動的ひずみ±０．０５％、周波数１ＨｚでＪＩＳ Ｋ６３９４に基づいて動的粘弾性試験を行い測定した。 Samples 1 to 19 were measured for storage elastic modulus at a measurement temperature of 25 ° C. The storage elastic modulus (shown as “E ′ (25 ° C.) (MPa)” in Tables 1 to 5)) is a test piece cut into a strip (40 × 1 × 2 (width) mm) manufactured by SII. Using a dynamic viscoelasticity tester DMS6100, the distance between chucks was 20 mm, the measurement temperature was −100 to 300 ° C., the dynamic strain was ± 0.05%, the frequency was 1 Hz, and the dynamic viscoelasticity test was performed based on JIS K6394. .
パーオキサイドを配合せずに得られた無架橋体のサンプル２〜４及び９〜１２について、パルス法ＮＭＲを用いてハーンエコー法による測定を行った。この測定は、日本電子（株）製「ＪＭＮ−ＭＵ２５」を用いて行った。測定は、観測核が１Ｈ、共鳴周波数が２５ＭＨｚ、９０゜パルス幅が２μｓｅｃの条件で行い、ハーンエコー法のパルスシーケンス（９０゜ｘ−Ｐｉ−１８０゜ｘ）にて、Ｐｉをいろいろ変えて減衰曲線を測定した。また、サンプルは、磁場の適正範囲までサンプル管に挿入して測定した。測定温度は、１５０℃であった。
The
サンプル１３〜１９について、ＪＩＳ Ｋ６２６２に基づいて、圧縮率２５％、１７５℃、２２時間の条件で圧縮永久ひずみ試験を行い、圧縮永久ひずみ（表４，５において「ＣＳ（％）」で示した）を測定した。
表１、２、４、５から、サンプル２〜１８によれば、従来品のサンプル１に比べて、５０％伸び時の応力と貯蔵弾性率が大きく向上した。また、表３から、サンプル９〜１２は、ＭＴグレードのカーボンブラックを５０ｐｈｒまで増やしてもサンプル２〜１８における５０％伸び時の応力と貯蔵弾性率には及ばないことが確認された。さらに、表４，５から、サンプル１３〜１８は、サンプル１、５、７に比べて、圧縮永久ひずみを低くすることができた。
From Tables 1, 2, 4, and 5, according to
（３）ニードルバルブの流量特性の測定
前記（１）で作成したサンプル３、４、６、７及び１３〜１９の炭素繊維複合材料を用いてＯリングを作製した。図１３に示す従来のキッツ社製の電動比例制御ニードルバルブ（サイズ１／２Ｂ）と、サンプル１、３、４、６、７及び１３〜１９のＯリングを組みつけた図１〜４に示すキッツ社製の電動比例制御ニードルバルブ（サイズ１／２Ｂ）について、弁の開度が０％〜１００％におけるＣｖ値を測定した。図１〜４に示す実施例のニードルバルブＶの弁座６の傾斜面６ａの角度が４５度であるのに対し、図１３に示す比較例（従来）のニードルバルブＶ’の弁座６’の傾斜面６ａ’の角度が３０度であった。そして、図１〜４に示す実施例のニードルバルブＶのＯリング９が傾斜面６ａに当接して押しつぶされるのに対し、図１３に示す比較例のニードルバルブＶ’のＯリング９’は拡径部６ｃ’に当接して押しつぶされるように構成していた。実施例１〜４、６〜１１及び比較例２、４におけるＯリングのつぶし率は９．０％であり、比較例１におけるＯリングのつぶし率は１７．７％であった。図１〜４のニードルバルブＶ及び図１３のニードルバルブＶ’における上記以外の構成は、同様であった。流体は、水道水を用いた。
(3) Measurement of flow characteristics of needle valve O-rings were produced using the carbon fiber composite materials of
比較例１は、従来品のＯリング（サンプル１に相当する）を図１３に示す従来品のニードルバルブＶ’に組みつけてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０％〜７％（横軸）に対するＣｖ値（縦軸）を示す流量特性グラフを図５に示した。図５において、符号４０で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号４１で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Comparative Example 1, a Cv value was measured by assembling a conventional O-ring (corresponding to Sample 1) to a conventional needle valve V 'shown in FIG. As a result, FIG. 5 shows a flow characteristic graph showing the Cv value (vertical axis) with respect to the
比較例２は、従来品のＯリング（サンプル１に相当する）を図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図６に示した。図６において、符号５０で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号５１で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Comparative Example 2, a Cv value was measured by assembling a conventional O-ring (corresponding to Sample 1) to the needle valve shown in FIGS. As a result, FIG. 6 shows a flow characteristic graph of the Cv value with respect to the valve opening degree of 0 to 7% showing a minute flow characteristic. In FIG. 6, the curve indicated by
図５において、比較例１の流量特性グラフは、弁の開度が０．５％〜２．０％の間で曲線４０と曲線４１との間隔が広く、ヒステリシスループで閉じられた面積が大きかったので、開弁動作時の微小流量と閉弁動作時の微小流量との差が大きく、正確に制御できていないことが判った。図６において、比較例２の流量特性グラフは、弁の開度が１．０％〜３．５％の間で曲線５０と曲線５１との間隔が広く、ヒステリシスループで閉じられた面積が大きかったので、開弁動作時の微小流量と閉弁動作時の微小流量との差が大きく、正確に制御できていないことが判った。この結果から、弁座の傾斜面の角度を３０度から４５度へ変更してＯリングのつぶし率を１７．７％から９．０％に変更しただけでは、ヒステリシスループで閉じられた面積を小さくすることはできないことが判った。
In FIG. 5, the flow characteristic graph of Comparative Example 1 shows that the valve opening is between 0.5% and 2.0%, the interval between the
実施例１は、サンプル３のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図７に示した。図７において、符号４２で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号４３で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 1, the O-ring of
実施例２は、サンプル４のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図８に示した。図８において、符号４４で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号４５で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 2, the Cv value was measured by assembling the O-ring of
実施例３は、サンプル６のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図９に示した。図９において、符号４６で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号４７で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 3, the C-value was measured by assembling the O-ring of
実施例４は、サンプル７のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１０に示した。図１０において、符号４８で示した曲線が閉弁状態（
開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号４９で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 4, the C-value was measured by attaching the O-ring of
This is a flow characteristic when the
図７〜図１０において、本発明にかかるＯリングを採用し、且つ、つぶし率を９．０％に変更した実施例１〜４のニードルバルブにおける流量特性グラフは、弁の開度が０．５％〜２．０％の間で開弁時の曲線４２、４４、４６、４８と閉弁時の曲線４３、４５、４７、４９、５１との間隔が狭く、ヒステリシスループで閉じられた面積が小さかったので、開弁動作時の微小流量と閉弁動作時の微小流量との差が小さく、正確に制御できていることが判った。
7-10, the flow rate characteristic graph in the needle valve of Examples 1-4 which employ | adopted the O-ring concerning this invention and changed the crushing rate to 9.0% is the valve opening degree of 0. The area between the
また、図・表を示さないが、実施例１〜４及び比較例１，２とはバルブの呼び径（弁座口径）のサイズが異なる、キッツ社製の電動比例制御ニードルバルブ（サイズ３／４Ｂ）を用いて、サンプル１、３、４、６、７のＯリングを組みつけてＣｖ値を測定した。その結果、弁座の傾斜面の角度を３０度から４５度へ変更してＯリングのつぶし率を１８．５％から１０．０％に変更しただけでは、比較例であるサンプル１ではヒステリシスループで閉じられた面積を小さくすることはできなかったが、本発明にかかるサンプル３，４，６，７のＯリングを採用してつぶし率を１０．０％に変更したところヒステリシスループで閉じられた面積が小さくなった。このように、ニードルバルブのサイズを１／２Ｂから３／４Ｂへ変更しても実施例１〜４と同様の結果が得られた。
In addition, although not shown in the figure and table, the electric proportional control needle valve manufactured by KITZ (
そこで、実施例５及び比較例３として、サンプル７のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けて、つぶし率を変えたときのＣｖ値を測定し、流量特性を評価した。実施例５は、Ｏリングのつぶし率を６．０％に設定し、弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１１に示した。比較例３は、Ｏリングのつぶし率を３．０％に設定し、弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１２に示した。図１１及び図１２において、符号５２、５４で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号５３，５５で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。図１１に示すように、つぶし率を６．０％とした実施例５の流量特性グラフにおけるＣｖ値は開度２．５％以下の範囲で多少不安定な要素も認められたが、ヒステリシスループで閉じられた面積を小さくすることができた。これに対し、図１２に示すように、つぶし率を３．０％とした比較例３では開度０．０％すなわち閉弁時でも少量のリークが認められた。
Therefore, as Example 5 and Comparative Example 3, the O-ring of
実施例６は、サンプル１３のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１４に示した。図１４において、符号５７で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号５８で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 6, the C-value was measured by attaching the O-ring of
実施例７は、サンプル１４のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１５に示した。図１５において、符号５９で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号６０で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 7, the O-ring of
実施例８は、サンプル１５のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣ
ｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１６に示した。図１６において、符号６１で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号６２で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 8, the O-ring of
The v value was measured. As a result, FIG. 16 shows a flow characteristic graph of the Cv value with respect to the valve opening degree of 0 to 7% showing the minute flow characteristic. In FIG. 16, the curve indicated by
実施例９は、サンプル１６のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１７に示した。図１７において、符号６３で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号６４で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 9, the O-ring of
実施例１０は、サンプル１７のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１８に示した。図１８において、符号６５で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号６６で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 10, the O-ring of
実施例１１は、サンプル１８のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図１９に示した。図１９において、符号６７で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号６８で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Example 11, the O-ring of
比較例４は、サンプル１９のＯリングを図１〜４に示すニードルバルブに組み付けてＣｖ値を測定した。その結果として、微小流量特性を示す弁の開度０〜７％に対するＣｖ値の流量特性グラフを図２０に示した。図２０において、符号６９で示した曲線が閉弁状態（開度０％）から開弁状態（開度７％）までのニードル７を弁座６から上昇させたときの流量特性であり、符号７０で示した曲線が開弁状態（開度７％）から閉弁状態（開度０％）までのニードル７を弁座６へ下降させたときの流量特性である。
In Comparative Example 4, the Cv value was measured by attaching the O-ring of
図１４〜図１９において、本発明にかかる実施例のＯリングを採用し、且つ、つぶし率を９．０％に変更した実施例６〜１１のニードルバルブにおける流量特性グラフは、弁の開度が０．５％〜２．０％の間で開弁時の曲線５７、５９、６１、６３、６５と閉弁時の曲線５８、６０、６２、６４、６６、６８との間隔が狭く、ヒステリシスループで閉じられた面積が小さかったので、開弁動作時の微小流量と閉弁動作時の微小流量との差が小さく、正確に制御できていることが判った。さらに、弁の開度が２．０％〜５．０％の間において曲線５７〜６８の傾斜がほぼ一定であり、弁の開度に応じて概ね比例して流量が制御されていることを示し、微小流量における比例制御性に優れることが判った。また、図２０において、比較例４のニードルバルブでは、弁の開度が２．０％〜５．０％の間において曲線５７〜６８の傾斜がほぼ一定となったが、ヒステリシスループで閉じられた面積が大きくなった。
14 to 19, the flow characteristic graphs in the needle valves of Examples 6 to 11 in which the O-ring of the example according to the present invention is employed and the crushing rate is changed to 9.0% are shown in FIG. Between 0.5% and 2.0%, the distance between the
これらの効果を得るため、本発明にかかるＯリングには、前述のＣＮＴ−５を含有するのが好ましく、これに前記ＭＴ，ＦＫＭ−４を配合するのがより好ましい。また、ＣＮＴ−１，２，３のいずれかを含有しつつ、ＭＴと組み合わせることによる、粒状カーボン（カーボンブラック）と繊維状カーボン（カーボンナノファイバー）の複合もよい。 In order to obtain these effects, the O-ring according to the present invention preferably contains the above-mentioned CNT-5, and more preferably contains the MT and FKM-4. Further, a composite of granular carbon (carbon black) and fibrous carbon (carbon nanofiber) by combining with MT while containing any of CNT-1, 2, 3 may be used.
（４）耐液性試験
耐液性試験は、低温から高温まで幅広い温度範囲で使用でき、熱伝導性に優れたフッ素系流体であるパーフルオロポリエーテルを用いた。パーフルオロポリエーテルは、半導体製造装置のチャンバーの温度調節用の熱媒体として使用されているが、フッ素ゴム系のシール部材に対してパーフルオロポリエーテルが溶剤として作用し、シール部材を劣化させることがある。
(4) Liquid resistance test In the liquid resistance test, perfluoropolyether, which is a fluorine-based fluid that can be used in a wide temperature range from low temperature to high temperature and has excellent thermal conductivity, was used. Perfluoropolyether is used as a heat medium for temperature control of chambers of semiconductor manufacturing equipment, but perfluoropolyether acts as a solvent on fluororubber-based seal members, causing the seal members to deteriorate. There is.
耐液性試験（表６，７では「ＰＦＰＥテスト」と示した）として、１３０℃のパーフルオロポリエーテルに１０３時間浸漬した後のサンプル１３〜１９の炭素繊維複合材料について、前記（２）と同様の条件で、硬度、引張強さ、破断伸び、５０％及び１００％モジュラスを測定した。その測定結果を表６、７に示した。
As a liquid resistance test (shown as “PFPE test” in Tables 6 and 7), the carbon fiber composite materials of
また、表１〜３における各測定結果に対する表６，７における各測定結果の差を計算し、表６，７にΔＨｓ，ΔＴＳ，ΔＥｂ，Δσ５０，Δσ１００で示した。さらに、耐液性試験前のサンプル１３〜１９の炭素繊維複合材料に対する耐液性試験後のサンプル１３〜１９の炭素繊維複合材料の体積変化（表６，７では「ΔＶ」と示した）及び質量変化（表６，７では「ΔＷ」と示した）を測定し、表６，７に示した。
Moreover, the difference of each measurement result in Tables 6 and 7 with respect to each measurement result in Tables 1 to 3 was calculated, and Tables 6 and 7 indicate ΔHs, ΔTS, ΔEb, Δσ50, and Δσ100. Furthermore, the volume change (shown as “ΔV” in Tables 6 and 7) of the carbon fiber composite materials of
表６，７から、サンプル１３〜１８の炭素繊維複合材料は、耐液性試験後の５０％伸び時の応力が８．０ＭＰａ以上であった。また、サンプル１３〜１８の炭素繊維複合材料は、耐液性試験の前後において体積変化率が２．５％以下であった。サンプル１３〜１９の炭素繊維複合材料は、耐液性試験の前後において質量変化率が３．２％以下であった。サンプル１３〜１８の炭素繊維複合材料は、耐液性試験の前後において５０％伸び時の応力の変化率が±６．５％以内であった。サンプル１３，１４，１６の炭素繊維複合材料は、耐液性試験の前後において５０％伸び時の応力の変化率が負ではなかった。サンプル１３〜１８の炭素繊維複合材料は、耐液性試験によって劣化しにくく、しかもＯリングとしてバルブに装着したときの微小流量制御性に優れていた。
From Tables 6 and 7, in the carbon fiber composite materials of
Ｖ ニードルバルブ、Ｖ’従来のニードルバルブ、１ 弁本体、２ 流入口、３ 流出口、４ 弁室、５ 軸装穴、６ 弁座、７ ニードル、８ 軸部、９ Ｏリング、１０ 外周溝、１１ Ｏリング、１２ 取付溝、１３ 筒体、１４ 保持体、１５ スプリング、１６ 係合片、１７ ブッシュ、１８ 直動型電動モータ、１９ 出力軸、２０ アクチュエータ、２１ シールリング、２３ ニードルユニット、３０ 軸受け、３１ ガイド体、３２ 断熱プレート、３３ ダストシール、ｏ 中心軸、ｃ 中心軸ｏに直交する仮想平面 V needle valve, V'conventional needle valve, 1 valve body, 2 inlet, 3 outlet, 4 valve chamber, 5 shaft mounting hole, 6 valve seat, 7 needle, 8 shaft, 9 O ring, 10 outer peripheral groove , 11 O-ring, 12 mounting groove, 13 cylinder, 14 holding body, 15 spring, 16 engaging piece, 17 bush, 18 direct acting electric motor, 19 output shaft, 20 actuator, 21 seal ring, 23 needle unit, 30 bearing, 31 guide body, 32 heat insulating plate, 33 dust seal, o central axis, c virtual plane perpendicular to central axis o
Claims (4)
前記ニードルは、前記傾斜面に対し離接するＯリングを有し、
前記Ｏリングは、エラストマー中にカーボンナノファイバーを含む炭素繊維複合材料で形成され、
前記Ｏリングのつぶし率を３％より大きく１１％以下に設定した、ニードルバルブ。 In a needle valve that provides a valve seat having an inclined surface in a valve chamber in a valve body having an inflow port and an outflow port, and performs flow rate control with a needle that is separated from and in contact with the valve seat,
The needle has an O-ring that is separated from and in contact with the inclined surface,
The O-ring is formed of a carbon fiber composite material including carbon nanofibers in an elastomer,
A needle valve in which the crushing rate of the O-ring is set to be larger than 3% and not larger than 11%.
前記エラストマーは、３元系フッ素ゴムである、ニードルバルブ。 Oite to claim 1,
The needle valve, wherein the elastomer is ternary fluororubber.
前記傾斜面の傾斜角度は、３５度〜５５度である、ニードルバルブ。 In claim 1 or 2 ,
The needle valve has an inclination angle of 35 to 55 degrees.
前記ニードルと前記弁座とが接触して閉弁したとき、前記Ｏリングが前記弁座に対し前記傾斜面にのみ接触する、ニードルバルブ。 In any one of Claims 1-3 ,
The needle valve in which the O-ring contacts only the inclined surface with respect to the valve seat when the needle and the valve seat are closed.
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