JP5912805B2 - 板状物の転写方法 - Google Patents
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Description
図1に示すサポート部材15は、ウェーハ10よりも直径の大きい円板状のもので、例えば厚さが300μm程度のアルミシートが好適に用いられる。サポート部材15としてはアルミシートに限られず、シリコン、ガラス、セラミックあるいは金属製プレートといったような硬質プレートの他、PET(ポリエチレンテレフタレート)製のシートや上記アルミシート等の屈曲可能なシートを用いてもよい。
上記のようにして板状物ユニット1を得たら、次に、図4に示すように、板状物ユニット1のサポート部材15側を保持テーブル21で保持し、ウェーハ10の裏面10bを研削手段22で研削してウェーハ10を所定の厚さ(例えば50〜100μm程度)へと薄化する。
次に、本実施形態では、ウェーハ10に対して透過性を有する波長のレーザビームを分割予定ラインに沿って照射し、ウェーハ10の内部に分割予定ラインに沿った改質層を形成する。改質層の形成は、図5に示すように、上記保持テーブル21と同様の回転可能な負圧チャック式の保持テーブル51上にサポート部材15を同心状に載置し、負圧チャックによりサポート部材15を吸着して板状物ユニット1を保持テーブル51に保持する。そして、保持テーブル51の上方に配設されたレーザ照射手段55の照射部56から、図6に示すようにウェーハ10に対して透過性を有する波長のレーザビームLを、被研削面である裏面10b側から、集光点をウェーハ10の内部に位置付けた状態で分割予定ラインに沿って照射し、改質層10cを形成する。
レーザビーム照射により全ての分割予定ラインに沿ってウェーハ10の内部に改質層10cを形成したら、板状物ユニット1を保持テーブル51から搬出する。そして、ウェーハ10をサポート部材15と接着剤16とから取り外すとともにウェーハ10の裏面10b側に粘着シートを貼着する転写ステップに移る。転写ステップは、以下のステップで行われる。
図7は、一実施形態の剥離用テーブル30Aを示している。この剥離用テーブル30Aは、上面が円形状で中央部に円形の凹部31が形成された金属等からなる枠体32の凹部31に、多孔質材料によって形成された多孔質板34が嵌合されたものである。多孔質板34を囲繞する枠体32の環状縁部33は、多孔質板34の上面である吸引面36よりも所定量突出しており、この突出部分が突出領域37とされ、突出領域37の水平な上面が突出面38とされる。また、多孔質板34の吸引面36の全面は吸引領域39とされる。多孔質板34は、枠体32の中心に形成された吸引路321およびバルブ301を介してコンプレッサ等の吸引源302に連通されており、吸引源302を運転してバルブ301が開かれると、多孔質板34内の空気が吸引されて吸引面36上に負圧が発生し、被加工物が吸引されるようになっている。
また、図9に示すように、板状物ユニット1のウェーハ10側に矩形状の転写用シート40を貼着する。転写用シート40は、図10および図11に示すように、例えば塩化ビニル等からなる基材層41上にアクリル系やゴム系の糊層42が形成された粘着シート43の糊層42上に、中心に円形状の開口44aを有するフィルム44が貼着されて構成されたものである。なお、図10および図11では糊層42を図示しているが、この図11以外での転写用シート40においては、糊層42の図示を省略している。
次に、剥離用テーブル上に、転写用シート40を貼着した板状物ユニット1を載置する。ここでは、図8に示した上記別形態の剥離用テーブル30Bを用いることとするが、図7に示した剥離用テーブル30Aを用いても同様の作用効果を得ることができる。
次に、吸引源302を運転してバルブ301を開き、多孔質板34上の吸引領域39に負圧を発生させ、空間C内の空気を吸引して空間Cを負圧とする。すると、図13に示すように、ウェーハ10が接着剤16から剥離し、転写用シート40の粘着シート43を介して吸引面36に吸引吸着される。これによりサポート部材15と接着剤16とからウェーハ10が取り外される。吸引領域39に負圧を発生させると、板状物ユニット1は中央部分が下方の多孔質板34側に吸引されて僅かにへこむように撓み、これによって図14(a)〜(b)に示すようにウェーハ10の外周面から接着剤16の内周面が剥離する。ウェーハ10は、この外周側の剥離部分が起点となって吸引作用により上面が接着剤16から円滑に剥離していく。なお、このようにウェーハ10が接着剤16から剥離する作用を得るためには、ウェーハ10と吸引面36との間隔、すなわち環状プレート35の厚さである突出面38と吸引面36との高低差が、0.3〜1.5mm程度であることが好ましい。
吸引剥離ステップを終えたら、転写用シート40が貼着しているウェーハ10を剥離用テーブル30Bから搬出する。そして、図15に示すように転写用シート40のフィルム44を剥離し、次いで、粘着シート43の露出した糊層42の外周部分を環状フレーム60に貼着する。環状フレーム60は、ステンレス等の剛性を有する環状金属板であり、図16に示すように、ウェーハ10の周囲に同心状に位置付けた状態で粘着シート43の糊層42に貼着する。環状フレーム60は全面が粘着シート43に貼着可能な大きさとされ、貼着後に環状フレーム60の外縁からはみ出した粘着シート43の余剰部分はカットするとよい。
以上で転写ステップは終了し、次に本実施形態では、改質層形成ステップでウェーハ10の内部に形成した改質層10cを起点としてウェーハ10を個々のデバイス11に分割する分割ステップを行う。
上記実施形態によれば、研削して薄化されたウェーハ10は、吸引剥離ステップにおいて剥離用テーブル30Bに吸引吸着することで、サポート部材15と接着剤16とから剥離する。本実施形態では、接着剤16を溶解することなく薄化したウェーハ10をサポート部材15と接着剤16とから取り外すことができるため、サポート部材15および接着剤16からの薄化後のウェーハ10の取り外しが非常に容易となり、その結果、従来に比べて生産性を高めることが可能となる。
実施例として、剥離用テーブルにおける突出面の有無により板状物に割れを発生させることなく板状物に転写用シートを貼着するという転写作業が可能か否かについて、以下の通り検証した。
10…ウェーハ(板状物)
10a…ウェーハの表面
10b…ウェーハの裏面
10c…改質層
15…サポート部材
16…接着剤
21…保持テーブル
30A,30B…剥離用テーブル
35…環状プレート(環状部材、突出領域)
36…吸引面
37…突出領域
38…突出面
39…吸引領域
40…転写用シート
41…基材層
42…糊層
43…粘着シート
44…フィルム
44a…開口
55…レーザ照射手段
60…環状フレーム
L…レーザビーム
UV…紫外線(外的刺激)
Claims (4)
- 板状物の転写方法であって、
サポート部材上に接着剤を配設するとともに該接着剤中に板状物の表面側を埋設し、該接着剤で板状物の外周が囲繞された状態に該板状物が該サポート部材上に固定された板状物ユニットを形成する板状物ユニット形成ステップと、
該板状物ユニット形成ステップを実施した後、前記板状物ユニットの前記サポート部材側を保持テーブルで保持し前記板状物の裏面側を研削して所定の厚さへと薄化する研削ステップと、
該研削ステップを実施した後、前記板状物を前記サポート部材と前記接着剤とから取り外すとともに該板状物の裏面側に粘着シートを貼着する転写ステップと、を備え、
前記転写ステップは、
前記板状物より大きく、かつ、該板状物を囲繞した前記接着剤の外周サイズよりは小さい吸引領域と、該吸引領域を囲繞し該吸引領域の吸引面から突出した突出面を含む突出領域と、を有した剥離用テーブルを準備する剥離用テーブル準備ステップと、
基材層と該基材層上に形成された糊層とを有する粘着シートと、該粘着シートの該糊層上に貼着された前記板状物と同径以上の開口を有するフィルムと、からなる転写用シートの該開口を介して、前記板状物ユニットの該板状物に該転写用シートを貼着する転写用シート貼着ステップと、
該転写用シート貼着ステップを実施した後、前記剥離用テーブルの前記吸引領域に前記板状物ユニットの前記板状物を対面させて該板状物ユニットを前記転写用シートを介して該剥離用テーブルに載置することで前記突出面が該板状物の外周を囲繞する前記接着剤を支持した状態とする載置ステップと、
該載置ステップを実施した後、前記吸引領域に負圧を作用させて前記板状物が前記転写用シートを介して前記吸引面に吸引吸着されることで前記サポート部材と前記接着剤とから該板状物を取り外す吸引剥離ステップと、
該吸引剥離ステップを実施した後、前記転写用シートの前記フィルムを剥離して前記粘着シートの外周を環状フレームに貼着する環状フレーム貼着ステップと、
を有することを特徴とする板状物の転写方法。 - 前記剥離用テーブル準備ステップでは、前記吸引面上に前記板状物の外径サイズより大きい内径を有した環状部材を載置することで前記剥離用テーブルを形成することを特徴とする請求項1に記載の板状物の転写方法。
- 前記板状物ユニット形成ステップにおいて、前記接着剤は、外的刺激を付与することで硬化する特性を有し、前記サポート部材上に該接着剤を介して板状物を載置した後、該接着剤に該外的刺激を付与して硬化させることで前記サポート部材上に板状物を固定することを特徴とする請求項1または2に記載の板状物の転写方法。
- 前記研削ステップを実施した後、
前記転写ステップを実施する前に前記板状物に対して透過性を有する波長のレーザビームを該板状物に照射して改質層を形成する改質層形成ステップと、
該転写ステップを実施した後、前記板状物に外力を付与して前記改質層を起点に該板状物を分割する分割ステップと、
を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の板状物の転写方法。
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