JP5905302B2 - Surface deposit measurement device - Google Patents
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Description
本発明は、表面付着物測定装置に係り、特に測定対象物の表面付着物を検出することができる表面付着物測定装置に関する。 The present invention relates to a surface deposit measuring apparatus, and more particularly to a surface deposit measuring apparatus capable of detecting a surface deposit on a measurement object.
例えば、火力発電プラントのタンクなどの構造物の表面に付着している塩分量を把握することは、その後の工程、例えば塗装の可否判定や、腐食進展の推定などを行う上で重要なことであり、また、構造物の品質管理の上からも必要である。 For example, grasping the amount of salt adhering to the surface of a structure such as a tank of a thermal power plant is important in performing subsequent processes, for example, determining whether coating is possible or estimating corrosion progress. It is also necessary for quality control of structures.
従来の塩分量分析は、例えばガーゼに蒸留水を含ませた上で、ガーゼを測定箇所に当てることで表面の塩分を拭き取って塩分をガーゼ側に回収した後、ガーゼの塩分を抽出して所定の分析装置で測定するという方法がある。この方法は、ガーゼを準備する工程や、抽出及び分析の工程に時間を要し、かつ、測定に用いる器具が多くなるという問題がある。
上述したようなガーゼを用いる測定方法の煩雑さを回避するために、特許文献1には、塩分測定用のプローブであって、構造物の表面に当接させることで、塩分量を測定可能なプローブが記載されている。
In the conventional salt content analysis, for example, after adding distilled water to the gauze, the gauze is applied to the measurement site, the surface salt is wiped off and the salt content is collected on the gauze side, and then the gauze salt content is extracted to obtain a predetermined value. There is a method of measuring with an analyzer. This method has a problem that it takes time to prepare the gauze and the steps of extraction and analysis, and more instruments are used for measurement.
In order to avoid the complexity of the measurement method using gauze as described above, Patent Document 1 discloses a probe for salinity measurement, which can measure the amount of salinity by contacting the surface of the structure. A probe is described.
しかしながら、特許文献1に記載の表面付着物測定装置は、プローブ内にセンサ、攪拌機、及び空気抜き口を有しており、小型化が難しいという問題があった。そのため、小口径の鋼管などには適用することができなかった。また、上述したような構成要素が一体となった構造であるため、洗浄が難しく、特に汚れた面を計測した後は誤差が生じやすいという問題があった。 However, the surface deposit measurement apparatus described in Patent Literature 1 has a sensor, a stirrer, and an air vent in the probe, and has a problem that it is difficult to reduce the size. Therefore, it could not be applied to small diameter steel pipes. In addition, since the above-described components are integrated, there is a problem that cleaning is difficult, and an error is likely to occur particularly after a dirty surface is measured.
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、プローブを小型化することで、より狭隘な測定対象物の測定を可能とする表面付着物測定装置を提供することにある。 The present invention has been made in consideration of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a surface deposit measuring apparatus that can measure a narrower measuring object by downsizing the probe. It is in.
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の表面付着物測定装置は、測定対象物に接触するように配置され、導入される液体に前記測定対象物の表面付着物を溶出させて溶液とするとともに、溶液を排出するプローブと、前記プローブより排出された溶液における前記表面付着物の濃度を検出可能とされた分析計と、前記プローブと前記分析計との間で、順次液体を循環させる液体循環機構とを備え、前記分析計は、円筒形状のチャンバと、前記チャンバの一端に設けられ、前記溶液を導入する分析計導入口と、前記チャンバの他端に設けられ、前記溶液を排出する分析計排出口と、前記チャンバの軸方向中心位置において、対向するように前記チャンバの内周面に設置された一対のセンサと、を有し、前記分析計導入口は、前記溶液が内周面に沿って螺旋状に流れるように方向付けられていることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides the following means.
The surface deposit measurement apparatus of the present invention is arranged so as to come into contact with the measurement target, elutes the surface deposit on the measurement target into the introduced liquid to form a solution, and a probe for discharging the solution; An analyzer capable of detecting the concentration of the surface deposit in the solution discharged from the probe; and a liquid circulation mechanism for sequentially circulating a liquid between the probe and the analyzer. Is provided at one end of the chamber, and is provided with an analyzer inlet for introducing the solution, an analyzer outlet provided at the other end of the chamber for discharging the solution, A pair of sensors installed on the inner peripheral surface of the chamber so as to face each other at an axial center position, and the analyzer introduction port allows the solution to flow spirally along the inner peripheral surface Way Characterized in that attached.
上記構成によれば、液体を循環させる機構をプローブから独立させた構成としたことによってプローブを小型化することができ、より狭隘な測定対象物を測定することが可能となる。また、プローブを小型化することで、プローブを測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。 According to the above configuration, since the mechanism for circulating the liquid is independent from the probe, the probe can be reduced in size, and a narrower measurement object can be measured. Further, by downsizing the probe, a fixing device for fixing the probe to the measurement object can be simplified.
上記構成によれば、液体とともに分析計のチャンバ内に流入する気泡がチャンバの中心軸付近に集まりやすくなるため、気泡がセンサに接触しにくくなり、測定精度の安定化を図ることができる。 According to the above configuration, bubbles flowing into the chamber of the analyzer together with the liquid are likely to gather near the central axis of the chamber, so that the bubbles are less likely to contact the sensor, and the measurement accuracy can be stabilized.
また、上記表面付着物測定装置において、前記液体循環機構は、液体が循環する循環流路と、前記循環流路上であって、前記プローブの上流側に設けられた循環ポンプと、前記循環ポンプの上流側に設けられた第一分岐路を介して前記循環流路と接続され、液体が収容された給水タンクと、前記第一分岐路と前記分析計との間に設けられた第二分岐路を介して前記循環流路と接続され、溶液を収容する廃液タンクと、前記第一分岐路上に設けられた第一止め弁と、前記第二分岐路上に設けられた第二止め弁と、前記循環流路上であって、前記第一分岐路と第二分岐路との間に設けられた第三止め弁と、を有することが好ましい。 In the surface deposit measurement apparatus, the liquid circulation mechanism includes a circulation channel through which the liquid circulates, a circulation pump provided on the circulation channel and upstream of the probe, and the circulation pump. A water supply tank that is connected to the circulation flow path via a first branch path provided on the upstream side and stores a liquid, and a second branch path provided between the first branch path and the analyzer A waste liquid tank that is connected to the circulation flow path and contains a solution, a first stop valve provided on the first branch path, a second stop valve provided on the second branch path, It is preferable to have a third stop valve provided on the circulation flow path and between the first branch path and the second branch path.
上記構成によれば、使用後の水を排出し、かつ、清水を連続して供給することができるため、循環流路6の洗浄が実施でき、連続して他のポイントも測定することが可能となる。
According to the above configuration, since the used water can be discharged and fresh water can be continuously supplied, the
また、上記表面付着物測定装置において、前記プローブは、一端に開口部を有し内部に液体を保持するための液保持室が設けられたプローブ本体と、前記液保持室に前記液体を供給する液体供給路と、前記液保持室から前記溶液を排出する液体排出路と、を有することが好ましい。
In the above surface deposits measuring apparatus, the probe includes a probe body fluid holding chamber for holding the liquid therein has an opening portion is provided at one end, the pre-SL solution body to the liquid holding chamber a liquid supply passage for supplying, it is preferable to have a, and the liquid discharge passage and out discharge said solution from said liquid holding chamber.
本発明によれば、液体を循環させる機構をプローブから独立させた構成としたことによってプローブを小型化することができ、より狭隘な測定対象物を測定することが可能となる。また、プローブを小型化することで、プローブを測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。 According to the present invention, since the mechanism for circulating the liquid is made independent of the probe, the probe can be miniaturized and a narrower measurement object can be measured. Further, by downsizing the probe, a fixing device for fixing the probe to the measurement object can be simplified.
(第一実施形態)
以下、本発明の第一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1に示すように、本実施形態の表面付着物測定装置1は、測定対象物Tの表面に付着する塩分の測定装置である。表面付着物測定装置1は、測定対象物Tに接触するように配置されるプローブ2と、このプローブ2内の液保持室3に水を循環させるための液体循環機構4と、循環する水に塩分が溶出した水溶液中の塩分の電気伝導度を測定するための分析計5とを有している。
プローブ2には清水(蒸留水)が導入されるとともに、塩分が溶出した水溶液が排出され、排出された水溶液は、液体循環機構4の循環流路6を介して分析計5に送られる構成である。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the surface deposit measurement apparatus 1 of the present embodiment is a measurement apparatus for salinity adhering to the surface of the measurement target T. The surface deposit measurement apparatus 1 includes a
The
液体循環機構4は、循環流路6を介してプローブ2と分析計5との間で液体を循環させるための機構である。循環流路6は、分析計5の分析計排出口12とプローブ2の液体供給路9とを接続する第一循環流路7と、プローブ2の液体排出路10と分析計5の分析計導入口11とを接続する第二循環流路8とからなる。
The liquid circulation mechanism 4 is a mechanism for circulating the liquid between the
第一循環流路7には、プローブ2に清水を供給するための給水タンク14と、循環流路6内の液体を循環させるための第一ポンプ15と、分析計5から排出された水溶液が導入される廃液タンク16が設けられている。
In the first circulation channel 7, a
具体的には、第一循環流路7における上流側を分析計5側、下流側をプローブ2側とすると、第一循環流路7には、プローブ2の上流側に第一ポンプ15が設けられ、第一ポンプ15の上流側に第一循環流路7から分岐する第一分岐路17が設けられ、第一分岐路17の上流側であって第一分岐路17と分析計5の間に第二分岐路18が設けられている。
Specifically, if the upstream side of the first circulation channel 7 is the
そして、給水タンク14は、第一分岐路17を介して第一循環流路7に接続され、廃液タンク16は、第二分岐路18を介して第一循環流路7に接続されている。
第一分岐路17上には第一止め弁19が設けられており、給水タンク14から第一循環流路7への給水を制御することができる。同様に、第二分岐路18上には第二止め弁20が設けられており、第一循環流路7から廃液タンク16への水溶液の流入路制御することができる。
The
A
さらに、第一循環流路7上であって、第一分岐路17と第二分岐路18との間には、第三止め弁21が設けられており、第一分岐路17と第二分岐路18との間の循環流路6の流れを制御可能とされている。
第一止め弁19、第二止め弁20、及び第三止め弁21は、例えば電磁バルブ等の開閉バルブである。
Further, a
The
第二循環流路8には、循環流路6内の液体を循環させるための第二ポンプ22が設けられている。なお、第二循環流路8に設けられる液体を循環させるための器具は、上記したポンプに限ることはなく、エジェクターを利用することも可能である。
The second circulation channel 8 is provided with a
図2に示すように、プローブ2は、略円柱形状のプローブ本体24を有し、プローブ本体24の一端を測定対象物Tの接触させる部位である。なお、プローブ2の形状は、円柱形状に限ることはなく、一端に測定対象物Tに接触する面を形成することができればよい。例えば箱型形状や、多角柱形状としてもよい。
As shown in FIG. 2, the
プローブ本体24には、一端に円形の開口部25を有し、内部に液体を保持するための液保持室3が形成されている。開口部25の周囲には、液体の漏出を防止するための環状のシール部材26が取り付けられている。
The probe
また、プローブ本体24には、プローブ本体24の他端側より液保持室3へ液体を供給する液体供給路9と、液保持室3よりプローブ本体24の他端側へ液体を排出する液体排出路10が形成されている。上述したように、液体供給路9は第一循環流路7が接続されており、液体排出路10は第二循環流路8が接続されている。
The probe
分析計5は、所謂フローセル(フローサイトメーター、フローサイトメトリーともいう)であり、循環する液体の電気伝導率を計測可能な分析装置である。図3に示すように、分析計5は、円筒形状のチャンバ28と、一対のセンサ29とを有しており、チャンバ28内を循環する液体を一対のセンサにより測定するものである。
The
一対のセンサ29は、チャンバ28の軸方向(図3の上下方向)中心位置において、互いに対向するように、チャンバ28の内周面に設置されている。一対のセンサ29は、センサ29とセンサ29の間を流れる液体の電気伝導率を測定可能な電気伝導率センサであり、一対のセンサ29は、図示しない交流電源と接続されている。
The pair of
チャンバ28の軸方向一端には、液体を導入する分析計導入口11が設けられ、チャンバ28の軸方向他端には、液体を排出する分析計排出口12が設けられている。詳しくは、分析計導入口11は、管形状の導入管30と、チャンバ28の内側の端面であって、チャンバ28の軸方向と直交する面に対して傾斜している傾斜端面31とから構成されている。導入管30は、循環する液体をチャンバ28の軸方向一端側より、チャンバ28の軸方向に直交する断面を構成する円の接線方向に導入するように方向付けられている。
An
また、傾斜端面31は、チャンバ28の断面円の接線方向に導入された液体を僅かに上方(軸方向他端側)に傾かせるような傾斜を有している。即ち、分析計導入口11は、導入された液体がチャンバ28の内周面に沿って螺旋状に流れるように構成されている。分析計排出口12は、螺旋状に流れてきた液体を滞りなく排出するように形成されている。
Further, the
次に、本実施形態の表面付着物測定装置1の作用について説明する。
まず、プローブ2を測定対象物Tの表面に固定する。プローブ2は作業者の手でプローブ2を押し当てることで固定することができる。
ここで、第一ポンプ15で送液した液体を第二ポンプ22でバランスよく吸引することで、プローブ2が測定対象物Tから離れてしまっても、液体が垂れることなく維持されるため、プローブ2を適宜移動させることが可能となる。
Next, the effect | action of the surface deposit | attachment measuring apparatus 1 of this embodiment is demonstrated.
First, the
Here, since the liquid fed by the
次に、図4のフローチャートを参照して、測定方法を説明する。
(1)まず、第一止め弁19を開状態とし、給水タンク14から一定量の水を第一ポンプ15を用いて供給する。供給された水は、第一循環流路7に流入する。
Next, the measurement method will be described with reference to the flowchart of FIG.
(1) First, the
(2)次に、第一ポンプ15でプローブ2に水を供給し、その後分析計5を通過後、再び第一ポンプ15に戻るように循環させる。
具体的には、第一ポンプ15でプローブ2に供給された水は、プローブ2の液保持室3に流入し、液保持室3内の水には測定対象物Tの表面に付着する塩分などの付着物が溶出する。付着物が溶出された水溶液はプローブ2から排出され、第二循環流路8に流れる。さらに、水溶液は分析計5を通過し、第二循環流路8に流れる。循環流路6全体に水が満たされたところで、第一止め弁19を閉状態とし、かつ、第一ポンプ15及び第二ポンプ22を稼働させることで、水を循環させる。
(2) Next, water is supplied to the
Specifically, the water supplied to the
(3)分析計5で電気伝導率の出力をモニタリングする。モニタリングは出力が安定するまで継続して行われる。出力の安定は、複数の測定値の標準偏差を元に決定する。設定する標準偏差の値は可変である。
(3) The electrical conductivity output is monitored by the
ここで、分析計5のチャンバ28内に流入される液体の流れは、分析計導入口11から導入され、螺旋状となる。ここで、チャンバ28内には気泡Bも持ち込まれるが、気泡Bは、円柱形状のチャンバ28の中心軸付近に集まりやすくなる。
Here, the flow of the liquid flowing into the
(4)出力が安定したら測定完了である。即ち、電気伝導率を測定することにより、水溶液に含まれる塩分濃度を測定することができる。 (4) When the output is stable, the measurement is complete. That is, the salt concentration contained in the aqueous solution can be measured by measuring the electrical conductivity.
次に、図5のフローチャートを参照して、表面付着物測定装置1の循環流路6の洗浄方法を説明する。
(1)給水タンク14と循環流路6とを接続する第一分岐路17に設けられている第一止め弁19を開状態にし、
第一ポンプ15を稼働させて給水タンク14から水を供給することで測定後の液体を押し出し、廃液タンク16に排水する。この際、廃液タンク16と循環流路6とを接続する第二分岐路18に設けられている第二止め弁20は開状態とし、第一分岐路17と第二分岐路18との間の第三止め弁21は閉状態とする。
Next, with reference to the flowchart of FIG. 5, the washing | cleaning method of the
(1) Open the
By operating the
(2)引き続き給水タンク14から水を供給し、プローブ2及び分析計5を洗浄する。このとき、廃液は随時廃液タンク16に排水する。
(3)分析計5で電気伝導率の出力をモニタリングする。モニタリングは出力がベースライン(清水の電気伝導率の値)で安定するまで継続して行われる。
(4)出力がベースラインで安定したら、洗浄完了である。給水タンク14からの水の供給を停止し、第一止め弁19を閉状態とする。
(2) Subsequently, water is supplied from the
(3) The electrical conductivity output is monitored by the
(4) When the output is stable at the baseline, the cleaning is completed. Water supply from the
なお、循環流路6の少なくとも一部が異物により閉塞するなどの異常時においては、ポンプで液体の流れを逆流させ、異物を除去することが可能である。
In the case of an abnormality such as at least a part of the
上記実施形態によれば、液体を循環させる機構をプローブ2から独立させた構成としたことによってプローブ2を小型化することができ、より狭隘な測定対象物Tを測定することが可能となる。また、プローブ2を小型化することで、プローブ2を測定対象物に固定するための固定装置も簡便なものとすることができる。
According to the above embodiment, the
また、使用後の水を排出し、かつ、清水を連続して供給することができるため、循環流路6の洗浄が実施でき、連続して他のポイントも測定することが可能となる。
Moreover, since the used water can be discharged and fresh water can be continuously supplied, the
また、液体とともに分析計5のチャンバ28内に流入する気泡Bがチャンバ28の中心軸付近に集まりやすくなるため、気泡Bがセンサ29に接触しにくくなり、測定精度の安定化を図ることができる。
Further, since the bubbles B flowing into the
(第二実施形態)
以下、本発明に係る表面付着物測定装置の第二実施形態を図面に基づいて説明する。
図6に示すように、第二実施形態に係る表面付着物測定装置1Bは、循環流路6上における第一分岐路17と第二分岐路18との間の洗浄を可能とするために、第三分岐路33と第四分岐路34を設けたことを特徴としている。
(Second embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of a surface deposit measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 6, the surface deposit measurement apparatus 1 </ b> B according to the second embodiment enables cleaning between the
具体的には、第三分岐路33は、第一分岐路17上の第一止め弁19と給水タンク14との間と、第一ポンプ15の上流側(第一分岐路17の下流側)とを接続するラインである。第三分岐路33上には、第一止め弁19などと同様の構成の第四止め弁35が設けられている。
Specifically, the third branch path 33 is between the
また、第四分岐路34は、第二分岐路18上の第二止め弁20と廃液タンク16との間と、第三分岐路33の上流側(第一分岐路17の下流側)とを接続するラインである。第四分岐路34上には、第五止め弁36が設けられている。
さらに、第一循環流路7上であって、第三分岐路33と第四分岐路34との間には、第六止め弁37が設けられており、第三分岐路33と第四分岐路34との間の循環流路6の流れを制御可能とされている。
Further, the fourth branch path 34 has a space between the
Further, a
次に、本実施形態に係る表面付着物測定装置1Bの作用について説明する。
まず、第一実施形態に係る表面付着物測定装置1と同様の方法で、洗浄を行う。第一分岐路17と第二分岐路18との間を除く循環流路6の洗浄が確認できた後、ラインの切り替えを行う。
Next, the operation of the surface
First, cleaning is performed by the same method as the surface deposit measurement apparatus 1 according to the first embodiment. After confirming the cleaning of the
具体的には、第一止め弁19及び第二止め弁20を閉状態とする一方で、第三止め弁21を開状態にする。さらに、第四止め弁35及び第五止め弁36を閉状態とする一方で、第六止め弁37を閉状態とする。即ち、給水タンク14から供給される水が、第三分岐路33を介して循環流路6に流入し、プローブ2、分析計5、及び第三止め弁21が設けられているライン(第一分岐路17と第二分岐路18との間のライン)を経て、廃液タンク16に排水されるような流れを作る。
Specifically, the
上記実施形態によれば、止め弁の操作によるラインの切り替えで、循環流路6の全周を洗浄することができる。
According to the above embodiment, the entire circumference of the
(第三実施形態)
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図7に示すように、本実施形態の表面付着物測定装置1Cは、測定対象物Tの表面に付着する塩分の測定装置である。表面付着物測定装置1Cは、測定対象物Tに接触するように配置されるプローブ2と、このプローブ2内の液保持室3に水を循環させるための液体循環機構4Cと、水に塩分が溶出した水溶液を貯留する回収液ボトル40と、回収液ボトル40に貯留された水溶液中の塩分の電気伝導度を測定するための電気伝導率計41とを有している。プローブ2の構成は、第一実施形態及び第二実施形態と同様である。
(Third embodiment)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIG. 7, the surface deposit measurement apparatus 1 </ b> C of the present embodiment is a measurement apparatus for the salinity adhering to the surface of the measurement target T. The surface
液体循環機構4Cは、循環流路6Cと、清水が貯留された給水タンク14と、循環流路6Cに清水を供給するためのポンプ42とを有している。循環流路6Cは、回収液ボトル40の底部とプローブ2の液体供給路9とを接続する第一循環流路7Cと、プローブ2の液体排出路10と回収液ボトル40の天井部とを接続する第二循環流路8Cとからなる。
The
給水タンク14は、分岐路43を介して循環流路6Cの分岐点44に接続されている。また、回収液ボトル40の上部と分岐点44とは、第五分岐路45によって接続されており、回収液ボトル40の下部は、第二廃液ライン49と接続されている。
The
また、第二循環流路8Cには、循環流路6C内の液体を循環させるためのコンプレッサ47及びエジェクタ48が設けられている。また、エジェクタ48と回収液ボトル40との間には、第一廃液ライン46が分岐している。
The
また、第一巡回流路7C上であって、分岐点44とプローブ2の間には、第七止め弁51が、回収液ボトル40と分岐点の間には第八止め弁52が設けられている。第五分岐路45上には第九止め弁53が、第一廃液ライン46には第十止め弁54が、第二廃液ライン49には第十一止め弁55がそれぞれ設けられている。
A
次に、本実施形態の表面付着物測定装置1Cの作用について説明する。
(1)表面塩分回収
まず、測定対象物Tの表面塩分を回収する。
図8に示すように、5つの止め弁のうち、第七止め弁51のみを開状態にし、ポンプ42を作動させ、分岐路43、第一循環流路7Cを介して給水タンク14からプローブ2に清水を供給する。さらに、コンプレッサ47、及びエジェクタ48を作動させ、第二循環流路8Cを介して、水に塩分が溶出した水溶液を回収液ボトル40に貯留する。
Next, the operation of the surface
(1) Surface salinity recovery First, the surface salinity of the measuring object T is recovered.
As shown in FIG. 8, among the five stop valves, only the
(2)メスアップ、測定
次に、メスアップを行い、回収液ボトル40内の清水が所定の体積となるようにする。
メスアップの際は、図9に示すように、第七止め弁51及び第八止め弁52を閉状態とするとともに第九止め弁53を開状態にし、ポンプ42を作動させることで、第五分岐路45を介して直接に回収液ボトル40に清水を供給する。
次いで、回収液ボトル40に貯留された水溶液の電気伝導率を電気伝導率計41を用いて測定する。
(2) Measuring up and measuring Next, measuring up is performed so that the fresh water in the recovered
At the time of measuring up, as shown in FIG. 9, the
Next, the electric conductivity of the aqueous solution stored in the recovered
(3)洗浄
次に、循環流路6Cの洗浄を行う。
洗浄を行う際は、図10に示すように、第七止め弁51、第八止め弁52、及び第十止め弁54を開状態にし、残りの止め弁を閉状態にする。次いで、ポンプ42を作動させることで、循環流路6C及び回収液ボトル40が洗浄される。廃水は、第一廃液ライン46より廃棄される。
(3) Cleaning Next, the
When performing cleaning, as shown in FIG. 10, the
また、図示しないが、第七止め弁51と第九止め弁53を閉状態にするとともに、第八止め弁52を開状態とし、給水タンク14の清水を分岐点44から回収液ボトル40に向かって逆流させるように流すことによって、この区間を洗浄することができる。
Although not shown, the
(4)排水
最後に、図11に示すように、第十一止め弁55のみを開状態とし、第二廃液ライン49を介して回収液ボトル40内の水を排水する。
(4) Drainage Finally, as shown in FIG. 11, only the
上記実施形態によれば、回収液ボトル40に貯留される水溶液を測定する際は、水溶液に流れがないため、電気伝導率計以外に、イオン電極や、pH計などの別の浸漬型センサを適用することができる。例えば、回収液ボトル40に浸漬型の電気伝導率計セルを設置する形態を採用することができる。
また、回収液ボトル40内の水溶液を採取し、別途詳細計測に使用することができる。
According to the above embodiment, when measuring the aqueous solution stored in the recovered
Further, the aqueous solution in the collected
また、第一実施形態に係る表面付着物測定装置及び第二実施形態に係る表面付着物測定装置と比較して、洗浄範囲を少なくすることができる。即ち、給水タンク14とプローブ2との間の範囲は常に清水のみが供給されるため、洗浄が必要なくなる。
Moreover, the cleaning range can be reduced as compared with the surface deposit measurement device according to the first embodiment and the surface deposit measurement device according to the second embodiment. That is, since only the fresh water is always supplied in the range between the
なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。例えば、以上で説明した各実施形態では、プローブ2は、作業者の手で測定対象物Tに押し付ける構成としたが、これに限ることはなく、粘着性アタッチメントなどで測定対象物Tの表面に固定してもよい。また、測定対象物Tが磁性体により形成されている場合は、磁石を用いたアタッチメントで固定することもできる。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in each of the embodiments described above, the
また、上記各実施形態においては、循環ポンプを用いて分岐炉を介して接続された給水タンクから水を供給する構成としたが、これに限ることはない。例えば、循環ポンプに直接給水/排水機能が備えられたタンクを設け、循環ポンプから水を送水することができれば、給水タンク及び廃液タンクを省略することもできる。 Moreover, in each said embodiment, although it was set as the structure which supplies water from the feed water tank connected via the branch furnace using the circulation pump, it does not restrict to this. For example, if a tank having a direct water supply / drainage function is provided in the circulation pump and water can be sent from the circulation pump, the water supply tank and the waste liquid tank can be omitted.
1 表面付着物測定装置
2 プローブ
3 液保持室
4 液体循環機構
5 分析計
6 循環流路
9 液体供給路
10 液体排出路
11 分析計導入口
12 分析計排出口
14 給水タンク
15 第一ポンプ(循環ポンプ)
16 廃液タンク
17 第一分岐路
18 第二分岐路
19 第一止め弁
20 第二止め弁
21 第三止め弁
24 プローブ本体
25 開口部
28 チャンバ
29 センサ
T 測定対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface
16
Claims (3)
前記プローブより排出された溶液における前記表面付着物の濃度を検出可能とされた分析計と、
前記プローブと前記分析計との間で、順次液体を循環させる液体循環機構とを備え、
前記分析計は、
円筒形状のチャンバと、
前記チャンバの一端に設けられ、前記溶液を導入する分析計導入口と、
前記チャンバの他端に設けられ、前記溶液を排出する分析計排出口と、
前記チャンバの軸方向中心位置において、対向するように前記チャンバの内周面に設置された一対のセンサと、を有し、
前記分析計導入口は、前記溶液が内周面に沿って螺旋状に流れるように方向付けられていることを特徴とする表面付着物測定装置。 A probe that is arranged in contact with the measurement object, elutes the surface deposits of the measurement object into the introduced liquid to form a solution, and discharges the solution;
An analyzer capable of detecting the concentration of the surface deposits in the solution discharged from the probe;
A liquid circulation mechanism for sequentially circulating a liquid between the probe and the analyzer ;
The analyzer is
A cylindrical chamber;
An analyzer inlet provided at one end of the chamber for introducing the solution;
An analyzer outlet provided at the other end of the chamber for discharging the solution;
A pair of sensors installed on the inner peripheral surface of the chamber so as to face each other at the axial center position of the chamber;
The apparatus for measuring surface deposits , wherein the analyzer inlet is oriented so that the solution flows spirally along an inner peripheral surface .
液体が循環する循環流路と、
前記循環流路上であって、前記プローブの上流側に設けられた循環ポンプと、
前記循環ポンプの上流側に設けられた第一分岐路を介して前記循環流路と接続され、液体が収容された給水タンクと、
前記第一分岐路と前記分析計との間に設けられた第二分岐路を介して前記循環流路と接続され、溶液を収容する廃液タンクと、
前記第一分岐路上に設けられた第一止め弁と、
前記第二分岐路上に設けられた第二止め弁と、
前記循環流路上であって、前記第一分岐路と第二分岐路との間に設けられた第三止め弁と、を有することを特徴とする請求項1に記載の表面付着物測定装置。 The liquid circulation mechanism is
A circulation path through which the liquid circulates;
A circulation pump provided on the circulation flow path and upstream of the probe;
A water supply tank that is connected to the circulation flow path via a first branch path provided on the upstream side of the circulation pump, and that contains a liquid;
A waste liquid tank connected to the circulation flow path via a second branch path provided between the first branch path and the analyzer, and containing a solution;
A first stop valve provided on the first branch path;
A second stop valve provided on the second branch path;
Wherein a circulation flow path, the surface deposit measuring device according to claim 1, characterized in that it comprises a and a third check valve disposed between the first minute branch and the second minute branch.
一端に開口部を有し内部に液体を保持するための液保持室が設けられたプローブ本体と、
前記液保持室に前記液体を供給する液体供給路と、
前記液保持室から前記溶液を排出する液体排出路と、を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の表面付着物測定装置。 The probe is
A probe body having an opening at one end and a liquid holding chamber for holding the liquid inside;
A liquid supply passage for supplying the pre-SL solution body to the liquid holding chamber,
Surface deposits measuring device according to claim 1 or claim 2 and having a liquid discharge passage for exiting discharge said solution from said liquid holding chamber.
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