JP5904577B2 - マスク成膜装置及びマスク成膜方法 - Google Patents
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Description
10:基板移動部,10A:移動経路,
20:マスク保持部,21:マスク調整部,
22:基板傾き検知部,22A:基準板,
22B(S1〜S3):ギャップセンサ,
23:間隔検知部,23A(S4〜S8):ギャップセンサ,
24:制御部,
S:基板,Sa:被成膜面,M:マスク
Claims (8)
- 基板の被成膜面にマスクを介して成膜パターンを形成するマスク成膜装置であって、
前記基板を前記被成膜面に沿った特定方向に向けて移動させる基板移動部と、
前記基板移動部の移動経路に前記マスクが対面するように当該マスクを保持するマスク保持部と、
前記マスク保持部に保持された前記マスクの傾きと前記基板移動部の移動経路に対する前記マスクの高さを調整するマスク調整部と、
前記マスクの保持位置より基板移動方向上流側に配置され、前記基板移動部によって移動される前記基板の傾きを検知する基板傾き検知部と、
前記マスクの上方に配置され、前記基板と前記マスクとの間隔を検知する間隔検知部と、
前記基板傾き検知部と前記間隔検知部の一方又は両方の検知出力に基づいて前記マスク調整部を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記基板の移動方向先端が前記マスクの上方に到達するまでの間、前記基板傾き検知部の出力に基づいて、前記移動経路から離れた待避位置で前記マスクの傾きを前記基板の傾きに合わせるように制御し、
前記基板の移動方向先端が前記マスクの上方に到達した後は、前記間隔検知部の出力に基づいて、前記マスクを前記基板の被成膜面に設定距離だけ近接させるように前記マスクの高さを制御することを特徴とするマスク成膜装置。 - 前記基板傾き検知部は、前記移動経路に設けた基準板及び当該基準板と前記基板の間隔を計測するギャップセンサを前記基板の移動方向に沿って複数配置し、前記ギャップセンサの計測値によって前記基板の傾きを検知することを特徴とする請求項1記載のマスク成膜装置。
- 前記基板傾き検知部は、前記ギャップセンサを前記基板の移動方向に沿って設定間隔を空けて一対設けると共に前記基板の移動方向と交差する方向に沿って設定間隔を空けて一対設けたことを特徴とする請求項2記載のマスク成膜装置。
- 前記間隔検知部は、前記基板と前記マスクの間隔を計測するギャップセンサを前記基板の移動方向及び/又は前記基板の移動方向と交差する方向に沿って複数配置し、前記ギャップセンサの計測値によって前記基板と前記マスクの間隔を検知することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマスク成膜装置。
- 前記ギャップセンサは、レーザー干渉式センサであることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のマスク成膜装置。
- 前記マスク保持部を前記基板の移動方向に沿って設定間隔を空けて複数設け、複数の前記マスク保持部の間に前記基板傾き検知部を設けることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のマスク成膜装置。
- 基板をマスクに対して特定方向に相対的に移動させながら、前記基板の被成膜面に前記マスクを介して成膜パターンを形成するマスク成膜方法であって、
前記基板を前記被成膜面に沿った特定方向に向けて移動させ、
前記基板の移動方向先端が前記マスクの上方に到達するまでの間は、前記マスクを前記基板の移動経路から離れた待機位置に保持して、検知された前記基板の傾きと前記マスクの傾きが一致するように前記マスクの傾きを制御し、
前記基板の移動方向先端が前記マスクの上方に到達した後は、前記基板と前記マスクとの間隔を検知して前記マスクを設定間隔だけ前記基板に近接させることを特徴とするマスク成膜方法。 - 前記基板の傾きは、前記基板の移動方向に沿って複数配置された基準板と前記基板との間隔を計測することによって検知することを特徴とする請求項7記載のマスク成膜方法。
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