JP5811660B2

JP5811660B2 - Glass film laminate and method for producing the same

Info

Publication number: JP5811660B2
Application number: JP2011161788A
Authority: JP
Inventors: 隆佳二連木; 青野　貴典; 貴典青野; 正明奥原; 雅規梅谷
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2011-07-25
Filing date: 2011-07-25
Publication date: 2015-11-11
Anticipated expiration: 2031-07-25
Also published as: JP2013022904A

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a glass film laminate, and more specifically, a support film is attached to thin glass (also referred to as “glass film”) used in displays such as organic EL displays and liquid crystal displays, color filters, solar cells, and the like. It is related with the glass film laminated body formed, and its manufacturing method.

近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。 In recent years, thin glass (glass film) having a thickness of about 100 μm or less has been manufactured due to progress in glass manufacturing technology. For example, Patent Document 1 proposes a glass film having a thickness of 200 μm or less, and Patent Document 2 proposes a glass film having a thickness of 0.1 to 100 μm. Since such a glass film has flexibility, a roll-to-roll process can be applied to form a film on the glass film, so that high productivity can be obtained as compared with a conventional sheet (sheet-fed) process. it can. However, a thin glass film is inferior in impact resistance, and handling in a process becomes difficult.

工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。 In order to improve handling in the process, Patent Document 3 proposes a glass film laminate in which a glass film and a support sheet are laminated with an adhesive layer interposed therebetween. In this glass film laminate, when a support sheet wider than the glass film is laminated, the support sheet protrudes from the end of the glass film. Therefore, since the protruding support sheet portion acts to protect the end portion of the glass film, it is said that the protective effect of the glass film inferior in impact resistance can be further enhanced.

しかし、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シートの表面には粘着層が露出しているので、その粘着層にゴミが付着したりハンドリング時の貼り付き不具合が生じたりする。この問題に対しては、特許文献３では、ガラスフィルムの上面を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様や、ガラスフィルムの上面端部を覆うように剥離可能な帯状の保護シートを貼り合わせた態様のガラスフィルム積層体を提案している。 However, since the adhesive layer is exposed on the surface of the support sheet that protrudes from the edge of the glass film, dust adheres to the adhesive layer, or sticking problems occur during handling. For this problem, in Patent Document 3, an aspect in which a protective sheet that can be peeled so as to cover the upper surface of the glass film or a strip-shaped protective sheet that can be peeled so as to cover the upper end of the glass film is used. The glass film laminated body of the aspect which bonded together is proposed.

特開２００８−１３３１７４号公報JP 2008-133174 A 特開２００１−９７７３３号公報JP 2001-97733 A 特開２０１０−２２８１６６号公報JP 2010-228166 A

しかしながら、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの上面に貼り合わされた保護シートは剥離が予定されているので、剥離して粘着層が露出し易く、また、保護シートが剥離された後には再び支持シート上に設けられている粘着層が露出し、露出した粘着層がゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすおそれがある。 However, in the glass film laminate described in Patent Document 3, since the protective sheet bonded to the upper surface of the glass film is scheduled to be peeled off, the adhesive layer is easily peeled off and the protective sheet is peeled off. After that, the pressure-sensitive adhesive layer provided on the support sheet is exposed again, and the exposed pressure-sensitive adhesive layer may cause a problem of dust adhesion or a problem of sticking during handling.

また、特許文献３には、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様も提案されている。しかしながら、この保護シートを剥離せずに残したままで例えば露光工程に投入すると、保護シートの端部の段差が露光マスクに接触したり、その段差部分に現像液が溜まったりする等の問題が発生する。 Patent Document 3 also proposes an aspect in which a protective sheet that can be peeled is attached so as to cover the peripheral edge of the upper surface end of the glass film. However, if this protective sheet is left without being peeled off, for example, when it is put into an exposure process, problems such as a step at the end of the protective sheet coming into contact with the exposure mask or a developer collecting at the stepped portion occur. To do.

また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体のように、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出している態様では、幅広の支持シートに対してガラスフィルムが曲がって貼り付いている可能性がある。こうしたガラスフィルム積層体が例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。 Moreover, when conveying the manufactured glass film laminated body, the both ends of the width direction of a glass film laminated body are detected and conveyed, and the conveyance straightness of a glass film laminated body is ensured. Therefore, in a mode in which the support sheet protrudes from the end of the glass film as in the glass film laminate described in Patent Document 3, there is a possibility that the glass film is bent and adhered to the wide support sheet. is there. When patterning a film formed on a glass film by transporting such a glass film laminate to a photolithography process, for example, an exposure mask is correctly placed on the glass film laminate, but it is bent and pasted. For example, the exposure mask is disposed obliquely with respect to the attached glass film, and there is a problem that an oblique pattern is formed with respect to the glass film.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、ガラスフィルムの端部から支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）がはみ出したガラスフィルム積層体であっても、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる、ガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object thereof is a glass film laminate in which a support sheet (hereinafter referred to as “support film” in the present invention) protrudes from the end of the glass film. However, it can reduce the problem of dust adhering and sticking problems during handling, and there is no stepped part where it comes into contact with the exposure mask or the developer accumulates. It is providing the glass film laminated body which can improve positional accuracy, etc., and its manufacturing method.

上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと、粘着層と、前記ガラスフィルムの幅よりも大きい幅のフィルムであって前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、を有し、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする。 The glass film laminate according to the present invention for solving the above-mentioned problems is a glass film, an adhesive layer, and a film having a width larger than the width of the glass film so as to protrude from both side ends of the glass film. A support film provided on the glass film via the adhesive layer, from each end in the width direction of the support film to each end in the width direction of the glass film on each end side The distance is from 0.5 mm to 1 mm inward from the end in the width direction of the support film.

この発明によれば、ガラスフィルムとそのガラスフィルムよりも僅かに広い幅の支持フィルムとを粘着層を介して貼り合わせ、ガラスフィルムの端部から０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅だけ支持フィルムがはみ出すように構成したので、（ア）はみ出した支持フィルムがガラスフィルムの端部を保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができる。また、（イ）はみ出した支持フィルムに粘着層が存在していたとしても、そのはみ出し量が僅かであるので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、（ウ）はみ出した部分が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。さらに、（エ）ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部では、支持フィルムが僅かにはみ出しているものの、支持フィルムの端部位置とガラスフィルムの端部位置とが実質的に同位置になっているので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させない。 According to this invention, a glass film and a support film having a width slightly wider than the glass film are bonded together via the adhesive layer, and the support film is only a slight width of 0.5 mm or more and 1 mm or less from the edge of the glass film. Since (a) the protruding support film acts to protect the end of the glass film, it is possible to prevent the occurrence of breakage and scratches. Moreover, even if the adhesive layer is present in the protruding support film (a), since the protruding amount is small, the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling can be reduced. In addition, (c) the protruding part is slight and there is no need to cover it with another film, so there is no step part where it contacts the exposure mask or the developer accumulates, and the glass film laminate is exposed to, for example, an exposure process. Even when it is put in the above, the problem that the exposure mask comes into contact with such a stepped portion or the developer is accumulated does not occur. Furthermore, (d) while conveying the glass film laminate, both ends in the width direction of the glass film laminate are detected. At both ends, although the support film slightly protrudes, the end position of the support film and the glass Since the end position of the film is substantially the same position, for example, the exposure mask or the like is not disposed obliquely with respect to the glass film, and processing defects such as pattern formation can be prevented and processed. Does not reduce the positional accuracy of the hour.

本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。 In the glass film laminate according to the present invention, at least a patterned film is provided on the glass film.

この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。 According to this invention, on the glass film, any one or two or more films selected from a transparent electrode film, a metal film, a semiconductor film, an organic compound film, an inorganic compound film, and the like are provided in a patterned manner. Therefore, such a glass film laminate is applied to, for example, an organic EL display element substrate, a liquid crystal display element substrate, a color filter element substrate, a solar cell element substrate, and the like. The glass film laminate according to the present invention, as described above, can prevent the occurrence of breakage and scratches at the end of the glass film, can reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling, Further, for example, since the exposure mask or the like is not disposed obliquely with respect to the glass film, it is possible to prevent processing defects such as pattern formation and to prevent the positional accuracy during processing from being lowered. Therefore, when a patterned film is provided on the glass film laminate exhibiting such an effect, when the organic EL display or the like is produced using the glass film laminate as an element substrate for an organic EL display, etc. As a result, defects such as defects in pixels and pixels can be reduced, and various patterns can be formed with high positional accuracy.

上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも狭い幅のガラスフィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅方向の各端部から該各端部側における前記ガラスフィルムルムの幅方向の各端部までの距離が、前記支持フィルムの幅方向端部から内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であるように、前記粘着層を介して前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a method for producing a glass film laminate according to the present invention includes a step of preparing a support film provided with an adhesive layer, a step of preparing a glass film having a width smaller than the width of the support film, and The distance from each end in the width direction of the support film to each end in the width direction of the glass film on the side of each end is 0. 0 inward from the end in the width direction of the support film. A step of bonding the support film and the glass film through the adhesive layer so as to be 5 mm or more and 1 mm or less.

この発明によれば、ガラスフィルムの端部から０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅だけ支持フィルムをはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、（ア）ガラスフィルムの端部での破損や傷の発生を防ぐことができ、（イ）ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、（ウ）露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、（エ）例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない。 According to this invention, since it bonds together so that a support film may protrude from the edge part of a glass film only 0.5 mm or more and 1 mm or less, the same effect as the glass film laminated body which concerns on the above-mentioned this invention, A) It can prevent breakage and scratches at the edge of the glass film, and (b) it can reduce the problem of dust adhesion and sticking failure during handling, and (c) the exposure mask contacts the step. There is no problem such as the accumulation of developer and (d) the exposure mask, for example, is not disposed obliquely with respect to the glass film, and processing defects such as pattern formation can be prevented, Position accuracy does not decrease.

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、ガラスフィルムの端部から支持フィルムが僅かにはみ出すように構成したので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、搬送直進性とパターン形成時等の位置精度を向上させることができる。 According to the glass film laminate and the manufacturing method thereof according to the present invention, since the support film is configured to slightly protrude from the end of the glass film, it is possible to reduce the problem of dust adhesion and the problem of sticking during handling. Further, there is no stepped portion where the exposure mask comes into contact with the developer, and the straightness of conveyance and the positional accuracy during pattern formation can be improved.

本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows an example of the glass film laminated body which concerns on this invention. ガラスフィルム積層体の模式的な平面図である。It is a typical top view of a glass film laminated body. パターニングされた膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows an example of the glass film laminated body provided with the film | membrane patterned. ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing apparatus of a glass film laminated body.

本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。 A glass film laminate and a method for producing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention can be modified in various ways as long as it has the technical features, and is not limited to the embodiments specifically shown below.

［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３と、粘着層２と、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい幅Ｂのフィルムであって前記したガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように、粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている支持フィルム１とを有している。そして、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることに特徴がある。すなわち、このガラスフィルム積層体１０は、ガラスフィルム３とそのガラスフィルム３の幅Ａよりも僅かに広い幅Ｂの支持フィルム１とを粘着層２を介して貼り合わせ、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅（距離ａ，ｂ）だけ支持フィルム１がはみ出すように構成されている。 [Glass film laminate]
The glass film laminated body 10 which concerns on this invention is a film of the width | variety B larger than the width | variety A of the glass film 3, the adhesion layer 2, and the glass film 3, as shown in FIG.1 and FIG.2. It has the support film 1 provided in the glass film 3 through the adhesion layer 2 so that it may protrude from the both-ends part 3a, 3b of the film 3. FIG. And distance a, b from each edge part 1a, 1b of the width direction X of the support film 1 to each edge part 3a, 3b of the width direction X of the glass film 3 in the each edge part 1a, 1b side is a support film. 1 is characterized in that it is 0.5 mm or more and 1 mm or less inward from the end portions 1a and 1b in the width direction X. That is, the glass film laminate 10 is formed by laminating the glass film 3 and the support film 1 having a width B slightly wider than the width A of the glass film 3 through the adhesive layer 2, and end portions 3 a of the glass film 3. , 3b, the support film 1 is configured to protrude by a slight width (distance a, b) of 0.5 mm to 1 mm.

以下、各構成について詳しく説明する。 Hereinafter, each configuration will be described in detail.

（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。 (Support film)
As shown in FIG. 1, the support film 1 is a film for supporting the glass film 3, and is bonded to the glass film 3 through the adhesive layer 2. As the support film 1, a flexible resin film is used. Examples of the resin material constituting the support film 1 include polyethylene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyvinylidene chloride, polypropylene, polyvinyl alcohol, polyester, polycarbonate, polystyrene, polyamide, polyacrylonitrile, ethylene vinyl acetate copolymer, and ethylene. -A vinyl alcohol copolymer, an ethylene-methacrylic acid copolymer, nylon, cellophane, a silicone resin, etc. can be mentioned. Among these, polyethylene terephthalate, polyethylene, polyvinylidene chloride and the like can be preferably exemplified.

支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。 The support film 1 may be a single layer film formed of the above-described resin material, or may be a multilayered film. Further, it may be a support film 1 made of a foamable resin material, or a support film 1 made of a resin material to which a stabilizer, a plasticizer, an impact modifier, a colorant, a reinforcing agent, and the like are added. There may be. The presence or absence of coloring of the support film 1 and translucency (transparent, translucent, opaque, etc.) are not particularly limited.

支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。 The thickness of the support film 1 is preferably 1 μm to 200 μm, and more preferably 10 μm to 50 μm. The support film 1 in this thickness range can support the glass film 3 and does not cause problems when the obtained glass film laminate 10 is rolled. When the thickness of the support film 1 is less than 1 μm, the effect of supporting the glass film 3 is not substantially achieved due to being too thin. On the other hand, when the thickness of the support film 1 exceeds 200 μm, when the obtained glass film laminate 10 is rolled, the residual stress in the support film becomes large, and between the support film 1 and the glass film 3. Peeling may occur or the glass film 3 may be broken.

支持フィルム１の幅Ｂは、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい。こうした支持フィルム１は、その幅方向Ｘの両側端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている。 The width B of the support film 1 is larger than the width A of the glass film 3. Such a support film 1 is provided on the glass film 3 via the adhesive layer 2 so that both side end portions 1 a and 1 b in the width direction X protrude from both side end portions 3 a and 3 b of the glass film 3.

支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様の支持フィルム（図２参照）が好ましく用いられる。枚葉態様の支持フィルム１を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部が、ガラスフィルム３の端部からはみ出すように貼り合わされている。また、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム１を用いた場合にも、図２に示すように、支持フィルム１の幅方向Ｘの両端１ａ，１ｂが、同じく長尺態様のガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂからはみ出すように貼り合わされている。 The support film 1 may be a single-wafer support film, but a long support film (see FIG. 2) that can be rolled is preferably used. When the support film 1 in a single wafer mode is used, each side of the support film 1, for example, in the case of a quadrilateral, is bonded so that the ends of the four sides protrude from the end of the glass film 3. . Moreover, also when using the support film 1 of the elongate aspect roll-rolled etc., as shown in FIG. 2, both ends 1a and 1b of the width direction X of the support film 1 are the glass film 3 of a elongate aspect similarly. Are attached so as to protrude from the end portions 3a, 3b on both sides in the width direction X of the.

こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。 Such a support film 1 can be formed into a film by a generally known production method, and can be produced by an extrusion method, a calendar method, a solution / emulsion cast method, or the like.

（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。 (Adhesive layer)
The adhesive layer 2 is provided between the support film 1 and the glass film 3 in order to laminate the support film 1 and the glass film 3. The pressure-sensitive adhesive layer 2 is not limited to a layer that can be finally peeled off from the glass film 3, but also includes a layer that adheres to the glass film 3 permanently or semi-permanently without peeling from the glass film 3, that is, an adhesive layer.

粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。 The material constituting the adhesive layer 2 is a rubber adhesive obtained by mixing natural rubber or synthetic rubber with tackifiers, softeners, anti-aging agents, etc., and an acrylic ester and other functional monomers are copolymerized. Acrylic adhesives, silicone adhesives composed of silicone rubber and resin, polyether and polyurethane adhesives, and the like. Examples of the form include a solvent-type pressure-sensitive adhesive, a non-aqueous emulsion-type pressure-sensitive adhesive, a water-based emulsion-type pressure-sensitive adhesive, a water-soluble pressure-sensitive adhesive, a solventless pressure-sensitive adhesive, and a liquid curable pressure-sensitive adhesive. In addition, when the adhesion layer 2 is provided as an adhesive layer which adheres permanently or semipermanently to the glass film 3, various thermoplastic resin adhesives and thermosetting resin adhesives may be applied.

粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。 The pressure-sensitive adhesive layer 2 may have a single layer structure formed of the above-described materials, or may be a multilayered layer. Moreover, the adhesion layer 2 formed with the adhesive which added various additives as needed may be sufficient as the adhesion layer 2. The presence or absence of coloring of the adhesive layer 2 and translucency (transparent, translucent, opaque, etc.) are not particularly limited.

粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻き等する際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。 The thickness of the adhesive layer 2 is preferably 0.5 μm to 100 μm, and more preferably 1 μm to 50 μm. The pressure-sensitive adhesive layer 2 in this thickness range does not cause a problem when the support film 1 and the glass film 3 are subsequently handled or rolled, although depending on the type of pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer 2. In addition, it can be preferably bonded. When the thickness of the adhesion layer 2 is less than 0.5 μm, the bonding between the support film 1 and the glass film 3 may be insufficient. On the other hand, when the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 2 exceeds 100 μm, the pressure-sensitive adhesive layer 2 may be peeled off, or the pressure-sensitive adhesive layer 2 may protrude from the glass film 3 and come into contact with a roll during bonding.

粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。 For the formation of the pressure-sensitive adhesive layer 2, the above-mentioned material is dissolved in a solvent to obtain a pressure-sensitive adhesive layer coating solution, and the coating solution is directly applied onto the support film 1, or the coating solution is peelable. A method (transfer method) in which the sheet is once coated and then transferred onto the support film 1 can be used. The latter transfer method is preferably used when the support film 1 does not have solvent resistance, or when the support film 1 does not have heat resistance against heat during solvent drying.

塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。 As the coating method, for example, a die coating method, a comma coating method, a knife coating method, a gravure coating method, a roll coating method, or the like can be used.

なお、粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状又は寸法で設けられている。したがって、支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム１の全面に設けられている。すなわち、粘着層２の幅は、支持フィルム１の幅Ｂと同じである。なお、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できるという本発明の作用効果を妨げないのであれば、支持フィルム１よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば１ｍｍだけ小さい寸法で設けられていてもよい。 In addition, the adhesion layer 2 does not exceed the outer dimension of the support film 1. That is, the pressure-sensitive adhesive layer 2 is provided in the same shape or size as the planar view shape of the support film 1. Therefore, it is provided on one surface of the support film 1 so as not to exceed the support film 1, and is usually provided on the entire surface of the support film 1 with the same size. That is, the width of the adhesive layer 2 is the same as the width B of the support film 1. In addition, as long as the effect of the present invention that the problem of dust adhesion and the problem of sticking at the time of handling can be reduced is not hindered, it may be provided with a size slightly smaller than the support film 1, for example, 1 mm. It may be provided with a size as small as possible.

（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。 (Glass film)
The glass film 3 is thin glass laminated on the support film 1 with the adhesive layer 2 interposed therebetween. As the glass material constituting the glass film 3, those having almost any glass composition such as soda lime glass, silica glass, borosilicate glass, non-alkali borosilicate glass, etc. can be applied. When the glass film 3 contains an alkali component, cation substitution occurs on the surface, so-called soda blowing phenomenon may occur, and the structure may become rough. Note that the alkali-free borosilicate glass is glass that does not substantially contain an alkali component, and specifically, glass having an alkali component of 1000 ppm or less. Moreover, the glass film 3 which gave secondary processing, such as tempered glass and surface treatment glass, is also possible according to the use of the glass film laminated body 10 obtained.

ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。 In principle, the glass film 3 can be produced by stretching the glass melt at a temperature above the temperature at which the glass melt solidifies. The thickness of the glass film 3 can be controlled by the glass composition, the thickness of the glass melt, the temperature, and the take-up speed.

ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。 The thickness of the glass film 3 is preferably 10 μm to 200 μm, and more preferably 30 μm to 150 μm. The glass film 3 in this thickness range is effective for handling, roll winding and the like. When the thickness of the glass film 3 is less than 10 μm, the handling of the glass film 3 itself becomes extremely difficult, and the glass film 3 is easily damaged by a slight impact, and the disconnection runs in the width direction X of the long glass film 3. Sometimes. On the other hand, when the thickness of the glass film 3 exceeds 200 μm, the residual stress in the glass film 3 becomes large when the obtained glass film laminate 10 is rolled, and the gap between the glass film 3 and the support film 1 is increased. May cause peeling or breakage of the glass film 3.

ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルムであってもよいが、ロール巻きできる長尺態様のガラスフィルムが好ましく用いられる。 Although the glass film 3 may be a single wafer glass film, a long glass film that can be rolled is preferably used.

（幅の差及び端部間の距離）
上記したように、支持フィルム１の幅Ｂはガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい（Ｂ＞Ａ）。そして、その差（Ｂ−Ａ）は１ｍｍ〜２ｍｍであることが好ましい。このような幅の差、すなわち支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも大きくすることによって、例えば枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用い且つ両フィルムの各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合、支持フィルム１の各辺の端部１ａ，１ｂを、図１に示すように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成できる。一方、ロール巻き等される長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用い且つ両フィルムの幅方向Ｘの両辺の端部を位置合わせして貼り合わせた場合も同様、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂを、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成できる。 (Width difference and distance between ends)
As described above, the width B of the support film 1 is larger than the width A of the glass film 3 (B> A). And it is preferable that the difference (B-A) is 1 mm-2 mm. By making such a difference in width, that is, the width B of the support film 1 is larger than the width A of the glass film 3, for example, using the support film 1 and the glass film 3 in a single wafer mode and each side of both films, for example, In the case of a quadrilateral, when the end portions of the four sides are aligned and bonded, the end portions 1a and 1b of each side of the support film 1 are replaced with the end portions 3a and 1b of the glass film 3, as shown in FIG. It can be configured to protrude slightly from 3b. On the other hand, the end portion of the support film 1 is the same when the support film 1 and the glass film 3 of a long aspect that are rolled or the like are used and the ends of both sides in the width direction X of both films are aligned and bonded together. 1a and 1b can be configured to slightly protrude from the end portions 3a and 3b of the glass film 3, as shown in FIGS.

支持フィルム１とガラスフィルム３とを位置合わせして貼り合わせたガラスフィルム積層体１０は、上記のように、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから僅かにはみ出すように構成される。そして、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂから、該各端部側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂは、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが望ましい。詳しくは、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａからその端部１ａ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ａまでの距離ａが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であること、及び、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ｂからその端部１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの端部３ｂまでの距離ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが望ましい。 As described above, the glass film laminate 10 in which the support film 1 and the glass film 3 are aligned and bonded together has the ends 1 a and 1 b of the support film 1 slightly from the ends 3 a and 3 b of the glass film 3. Configured to protrude. And distance a, b from each edge part 1a, 1b of the width direction X of the support film 1 to each edge part 3a, 3b of the width direction X of the glass film 3 in each said edge part side of the support film 1 It is desirable that it is 0.5 mm or more and 1 mm or less from the end portions 1a and 1b in the width direction X inward. Specifically, the distance a from the end portion 1a in the width direction X of the support film 1 to the end portion 3a in the width direction X of the glass film 3 on the end portion 1a side is from the end portion 1a in the width direction X of the support film 1. The distance b from the end portion 1b in the width direction X of the support film 1 to the end portion 3b in the width direction X of the glass film 3 on the end portion 1b side is 0.5 mm to 1 mm inward. However, it is desirable that it is 0.5 mm or more and 1 mm or less inward from the edge part 1b of the width direction X of the support film 1. FIG.

こうした関係を満たすためには、上記した幅の差（Ｂ−Ａ）は上記のように１ｍｍ〜２ｍｍの範囲内である必要がある。すなわち、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の距離ａ，ｂを満たすためには、幅の差（Ｂ−Ａ）が１ｍｍ〜２ｍｍとなる支持フィルム１とガラスフィルム３を用いなければならないことになる。 In order to satisfy such a relationship, the above-described width difference (B−A) needs to be within a range of 1 mm to 2 mm as described above. That is, in order to satisfy the distances a and b of 0.5 mm or more and 1 mm or less, the support film 1 and the glass film 3 having a width difference (B−A) of 1 mm to 2 mm must be used.

距離ａ，ｂを支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることによって、支持フィルム１と同じ幅Ｂで設けられている粘着層２は、ガラスフィルム積層体１０の端部（「周縁部」と同義。）で僅かに露出している。しかし、その露出の程度は実質的に露出しないと評価できる程度である。 The pressure-sensitive adhesive layer 2 provided with the same width B as that of the support film 1 by setting the distances a and b from 0.5 mm to 1 mm inward from the end portions 1 a and 1 b in the width direction X of the support film 1. Is slightly exposed at the end of the glass film laminate 10 (synonymous with “peripheral part”). However, the degree of exposure is such that it can be evaluated that it is not substantially exposed.

「粘着層２が実質的に露出しないと評価できる程度」の理由は、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際であっても、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くことがなく、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送した際であっても、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうことがなかったためである。さらに、「粘着層２が実質的に露出しないと評価できる程度」の理由として、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、その両端部では、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの位置と実質的に同じ位置（０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下）と言えるので、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対し、悪影響が生じる程度に斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を低下させなかったためである。 The reason why “the adhesive layer 2 can be evaluated as substantially unexposed” is that even when the glass film laminate 10 is rolled, the overlapping glass film laminates do not stick to each other, This is because even when the glass film laminate 10 is roll-conveyed, the glass film laminate 10 is not attached to a conveyance member such as the roll. Furthermore, as a reason of “the extent that it can be evaluated that the adhesive layer 2 is not substantially exposed”, both ends of the glass film laminate 10 in the width direction X are detected when the glass film laminate 10 is transported. Since it can be said that it is substantially the same position (0.5 mm or more and 1 mm or less) as the positions of the end portions 3 a and 3 b of the glass film 3, for example, the exposure mask or the like is disposed obliquely to the extent that the glass film 3 is adversely affected. This is because processing defects such as pattern formation can be prevented and positional accuracy during processing has not been reduced.

一方、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂは、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の距離ａ，ｂでガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからはみ出していることも事実であり、その結果、はみ出した支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂを保護するように作用し、破損や傷の発生を防ぐことができるという効果がある。また、はみ出してはいるが、その程度が僅かであり、他のフィルムで覆う等の必要もないので、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分を生じさせない。そのため、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、露光マスクがそうした段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題を生じさせない。 On the other hand, it is also true that the end portions 1a and 1b of the support film 1 protrude from the end portions 3a and 3b of the glass film 3 at distances a and b of 0.5 mm or more and 1 mm or less. The film 1 acts to protect the end portions 3a and 3b of the glass film 3, and there is an effect that breakage and scratches can be prevented. Further, although it protrudes, the degree thereof is slight, and it is not necessary to cover it with another film, so that a stepped portion that contacts the exposure mask or accumulates the developer is not generated. Therefore, even when the glass film laminate 10 is put into, for example, an exposure process or the like, problems such as the exposure mask coming into contact with such a stepped portion or the developer being accumulated are not caused.

距離ａ，ｂが１ｍｍを超える場合とは、ガラスフィルム積層体１０の両側端部での距離ａ及び距離ｂのいずれか一方又は両方が１ｍｍを超える場合である。すなわち、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが１ｍｍを超えてガラスフィルム３の外方向にはみ出している態様であり、支持フィルム１と同じ幅Ｂで設けられている粘着層２が、その限度でガラスフィルム積層体１０の端部からはみ出す。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付くおそれがあり、また、ガラスフィルム積層体１０をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体１０が貼り付いてしまうおそれがある。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、両端部のうち支持フィルム１がはみ出した側の端部では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが検出される。その結果、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されるおそれがあり、パターン形成等の加工不具合が生じて加工時の位置精度が低下するおそれがある。 The case where the distances a and b exceed 1 mm is a case where either one or both of the distance a and the distance b at both end portions of the glass film laminate 10 exceed 1 mm. That is, the end portions 1a and 1b of the support film 1 are in an aspect that protrudes outward of the glass film 3 beyond 1 mm, and the adhesive layer 2 provided with the same width B as the support film 1 is limited to that limit. It protrudes from the end of the glass film laminate 10. As a result, when the glass film laminate 10 is rolled, there is a possibility that the overlapped glass film laminates may stick together, and when the glass film laminate 10 is roll conveyed, There exists a possibility that the glass film laminated body 10 may stick. Furthermore, although the both ends of the width direction X of the glass film laminated body 10 are detected at the time of conveyance of the glass film laminated body 10, the edge part 1a of the support film 1 is in the edge part of the side which the support film 1 protruded among both ends. , 1b are detected. As a result, for example, the exposure mask or the like may be disposed obliquely with respect to the glass film 3, and processing defects such as pattern formation may occur, resulting in a decrease in positional accuracy during processing.

距離ａ，ｂが０．５ｍｍ未満の場合とは、ガラスフィルム積層体１０の両側端部での距離ａ及び距離ｂのいずれか一方又は両方が０．５ｍｍ未満の場合である。すなわち、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂが０．５ｍｍ未満でガラスフィルム３の外方向にはみ出している態様、及び、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも内方向に位置する態様のいずれかの態様である。こうした態様では、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとがほぼ一致することになるので、支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂを確実に保護できると言うことはできず、製造工程中やその後の工程中で他の部材等当たって、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに破損や傷が発生するおそれがある。 The case where the distances a and b are less than 0.5 mm is a case where one or both of the distance a and the distance b at both end portions of the glass film laminate 10 is less than 0.5 mm. That is, the end portions 1a and 1b of the support film 1 are less than 0.5 mm and protrude in the outward direction of the glass film 3, and the end portions 1a and 1b of the support film 1 are the end portions 3a and 3b of the glass film 3. It is any aspect of the aspect located in an inward direction. In such an embodiment, the end portions 1a and 1b of the support film 1 and the end portions 3a and 3b of the glass film 3 substantially coincide with each other, so that the support film 1 reliably protects the end portions 3a and 3b of the glass film 3. It cannot be said that it can be done, and there is a possibility that the end portions 3a and 3b of the glass film 3 may be damaged or scratched by hitting another member during the manufacturing process or in the subsequent process.

なお、ガラスフィルム３の幅Ａ、支持フィルム１の幅Ｂ、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム３、支持フィルム１及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。 The distances a and b between the width A of the glass film 3, the width B of the support film 1, the end portions 3a and 3b in the width direction X of the glass film 3 and the end portions 1a and 1b of the support film 1 are various. It can be measured by this method. In the present invention and each example described later, the measurement was performed by comparing an enlarged image when the glass film 3, the support film 1, and the glass film laminate 10 to be measured were viewed in plan and an enlarged image of the reference scale.

（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図３に示すように、膜４を設けてもよい。膜４は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜４が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。 (Other configurations)
A film 4 may be provided on the glass film 3 as shown in FIG. Although the film | membrane 4 is not specifically limited, For example, the film of any 1 type or 2 or more types chosen from a transparent electrode film, a metal film, a semiconductor film, a resist film, an organic compound film, an inorganic compound film etc. can be mentioned. In particular, it is preferable that such a film 4 is patterned according to its application.

パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。 As the patterning method, various conventionally known methods can be applied and are not particularly limited. For example, patterning may be performed by applying photolithography using a resist, or patterning may be performed by dry etching or wet etching.

ガラスフィルム３上にパターニングされた膜４を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜４であってもよい。 As an example of the glass film laminated body 10 which provides the film | membrane 4 patterned on the glass film 3, the element substrate for organic EL displays, the element substrate for liquid crystal displays, the element substrate for color filters, the element substrate for solar cells, for example Etc. In the element substrate for organic EL display, a transparent electrode film such as patterned ITO can be provided on the glass film 3 of the glass film laminate 10. In the element substrate for a liquid crystal display, a similar transparent electrode film such as ITO or a patterned alignment film can be provided. In the color filter element substrate, a similar transparent electrode film such as ITO, a partition wall for coloring layer division, a coloring layer, and the like can be provided. Moreover, in the element substrate for solar cells, the same transparent electrode film etc., such as patterned ITO, can be provided. Further, in order to form various functional film patterns on each of these element substrates, a film 4 formed by forming a resist film on the glass film 3 and patterning the resist film by, for example, photolithography may be used. .

本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂでの破損や傷の発生を防ぐことができ、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがないのでパターン形成等の加工不具合を防ぐことができ且つ加工時の位置精度が低下しない、という効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造する場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。 As described above, the glass film laminate 10 according to the present invention can prevent breakage and scratches at the end portions 3a and 3b of the glass film 3, and can prevent the problem of dust adhesion and sticking problems during handling. The problem can be reduced, and further, for example, the exposure mask or the like is not disposed obliquely with respect to the glass film 3, so that processing defects such as pattern formation can be prevented and the positional accuracy during processing is not lowered. Play. Therefore, by providing the patterned film 4 on the glass film laminate 10 that exhibits such effects, the glass film laminate 10 can be used, for example, as an element substrate for an organic EL display, an element substrate for a liquid crystal display, or an element substrate for a color filter. When manufacturing organic EL displays, liquid crystal displays, color filters, solar cells, etc., as element substrates for solar cells, defects such as defects in elements and pixels can be reduced, and various patterns can be formed. There is an effect that it can be formed with high positional accuracy.

［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、粘着層２が設けられた支持フィルム１を準備する工程と、支持フィルム１の幅Ｂよりも狭い幅Ａのガラスフィルム３を準備する工程と、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルムルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であるように、粘着層２を介して支持フィルム１とガラスフィルム３とを貼り合わせる工程と、を有する。 [Method for producing glass film laminate]
The manufacturing method of the glass film laminated body 10 which concerns on this invention is the process of preparing the support film 1 in which the adhesion layer 2 was provided, the process of preparing the glass film 3 of the width A narrower than the width B of the support film 1, and The distances a and b from the end portions 1a and 1b in the width direction X of the support film 1 to the end portions 3a and 3b in the width direction X of the glass film rum 3 on the end portions 1a and 1b side And bonding the support film 1 and the glass film 3 through the adhesive layer 2 so as to be 0.5 mm or more and 1 mm or less inward from the end portions 1a and 1b in the width direction X of 1. .

この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。なお、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらに図３に示すように、パターニングされた膜４等を設けて、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を製造した後又は製造途中で、粘着層２付きの支持フィルム１を剥離してもよい。 This manufacturing method is an embodiment for manufacturing the glass film laminate 10 according to the present invention described above. The glass film laminate 10 according to the present invention described above may be manufactured by other methods. In addition, the glass film laminated body 10 is manufactured, and as shown in FIG. 3, the patterned film | membrane 4 etc. are provided, the element substrate for organic EL displays, the element substrate for liquid crystal displays, the element substrate for color filters, a solar cell The support film 1 with the pressure-sensitive adhesive layer 2 may be peeled after manufacturing the element substrate or the like.

図４は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図４に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール２３は支持フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール２５はガラスフィルム供給部２４に装着されている。支持フィルムロール２３は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール２３から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２６で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ２８で貼り合わせ部２６まで案内される。 FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a manufacturing apparatus 20 for the glass film laminate 10 that can carry out this manufacturing method. As shown in FIG. 4, the roll-like support film roll 23 is attached to the support film supply unit 22, and the roll-like glass film roll 25 is attached to the glass film supply unit 24. The support film roll 23 is a roll of the support film 1 having the adhesive layer 2 provided on one side via a cover sheet, and the support film 1 fed from the support film roll 23 while peeling the cover sheet; The glass film 3 fed out from the glass film roll 25 is bonded at the bonding portion 26. In addition, the support film 1 and the glass film 3 are guided to the bonding part 26 with the guide roller 28 arrange | positioned as needed.

貼り合わせ部２６では、ニップローラ３０によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路３２を通って巻取部３４に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３６となる。 In the bonding unit 26, the support film 1 and the glass film 3 are bonded together with the nip roller 30 through the adhesive layer 2. The glass film laminated body 10 after bonding is sent to the winding part 34 through the conveyance path 32, and becomes a roll-shaped glass film laminated body roll 36.

この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂから０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の僅かの幅（距離ａ，ｂ）だけ支持フィルム１をはみ出すように貼り合わせるので、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体と同様の作用効果、（ア）ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂでの破損や傷の発生を防ぐことができ、（イ）ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、（ウ）露光マスクが段差部分に接触したり、現像液が溜まったりする等の問題がなく、（エ）例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度が低下しない、という作用効果を奏する。 The glass film laminate 10 produced by this production method has a slight width (distance) of 0.5 mm or more and 1 mm or less from the end portions 3a and 3b of the glass film 3 in the same manner as the glass film laminate 10 according to the present invention described above. Since the support film 1 is bonded so as to protrude only a, b), the same effects as the above-described glass film laminate according to the present invention, (a) damage and scratches at the end portions 3a, 3b of the glass film 3 It is possible to prevent the occurrence of (1) the problem of dust adhesion and the problem of sticking problems during handling, and (3) the problem that the exposure mask touches the stepped part and the developer accumulates. (D) For example, the exposure mask or the like is not disposed obliquely with respect to the glass film 3, and processing defects such as pattern formation can be prevented, and the positional accuracy during processing is reduced. There, it achieves the effect that.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例の内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、ロール巻き時の貼り付き、パターンの位置精度、端部の割れについて評価した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. In addition, this invention is not limited only to the content of the following Examples. In the following examples, when the glass film laminate 10 is manufactured, and the film 4 provided on the glass film laminate 10 is further subjected to a photolithography process and patterned, in this series of steps, it is applied at the time of roll winding. In addition, the positional accuracy of the pattern and the cracks at the edges were evaluated.

［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ５９μｍ、幅３０２ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール２３を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール２５を準備した。 [Example 1]
As the support film 1, a support film roll 23 in which a PET film with an adhesive layer having a thickness of 59 μm, a width of 302 mm, and a length of 10 m (manufactured by Nitto Denko Corporation, RP207) was wound around a 3-inch core was prepared. On the pressure-sensitive adhesive layer 2 provided on the support film 1, a cover sheet is detachably attached. As the glass film 3, a glass film roll 25 in which a thin glass plate (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., OA-10G) having a thickness of 70 μm, a width of 300 mm, and a length of 10 m was wound around a 6-inch core was prepared.

続いて、図４に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２２に支持フィルムロール２３を設置し、ガラスフィルム供給部２４にガラスフィルムロール２５を設置した。続いて、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出したガラスフィルム３とを、各々のフィルムの中心合わせ制御を行って、貼り合わせ部２６のニップローラ３０でラミネートした。その後、搬送路３２を搬送させて、直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３６を作製した。 Subsequently, using the laminating apparatus shown in FIG. 4, a support film roll 23 was installed in the support film supply unit 22, and a glass film roll 25 was installed in the glass film supply unit 24. Subsequently, the support film 1 fed out from the support film roll 23 and the glass film 3 fed out from the glass film roll 25 were laminated by the nip roller 30 of the laminating section 26 by performing centering control of each film. Then, the conveyance path 32 was conveyed, and it wound up on the core whose diameter is 6 inches, and produced the glass film laminated body roll 36. FIG.

次に、ガラスフィルム積層体ロール３６を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体１０の端部１ａ，１ｂを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体１０の端部１ａ，１ｂが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体１０を得た。 Next, the glass film laminated body roll 36 was set in the unwinding part of the coating apparatus (not shown), and the glass film laminated body 10 was drawn out. Then, the photoresist was apply | coated by the micro gravure printing on the glass film 3 of the rolled-out glass film laminated body 10, and it wound up after that. Then, the glass film laminated body roll after forming a photoresist was set to the unwinding part of the exposure apparatus, and the glass film laminated body roll was let out. In addition, the drawing to the exposure apparatus is performed on the exposure stage by detecting the end portions 1a and 1b of the glass film laminate 10 with an ultrasonic sensor so that the ends 1a and 1b of the glass film laminate 10 are at a fixed position. Then, the exposure operation was performed five times. Then, it developed using the developing device and obtained the glass film laminated body 10 with a pattern in which the pattern was formed in five places.

得られたガラスフィルム積層体１０において、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａは＋１ｍｍであり、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも＋１ｍｍであった。なお、距離ａ，ｂの「＋」は、図１に示すように、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂから内方向にガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが存在している場合であり、「−」は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂから外方向にガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂがはみ出している場合である。 In the obtained glass film laminate 10, the distance a from the end 1a of the support film 1 to the end 3a of the glass film 3 is +1 mm, and from the end 1b of the support film 1 to the end 3b of the glass film 3 The distance b was also +1 mm. In addition, "+" of distance a and b is a case where the edge parts 3a and 3b of the glass film 3 exist inward from the edge parts 1a and 1b of the support film 1, as shown in FIG. “-” Indicates a case where the end portions 3 a and 3 b of the glass film 3 protrude outward from the end portions 1 a and 1 b of the support film 1.

［実施例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３０１ｍｍとし、貼り合わせ部２６でのガラスフィルム３と支持フィルム１との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋０．５ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも＋０．５ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Example 2]
In Example 1, the width of a PET film with an adhesive layer (manufactured by Nitto Denko Corporation, RP207) is set to 301 mm, and the bonding position between the glass film 3 and the support film 1 at the bonding portion 26 is controlled to support the film. The distance a from one end 1a to the end 3a of the glass film 3 was +0.5 mm, and the distance b from the end 1b of the support film 1 to the end 3b of the glass film 3 was also +0.5 mm. Other than that was carried out similarly to Example 1, and obtained the glass film laminated body with a pattern.

［比較例１］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９８ｍｍとし、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを−１ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも−１ｍｍとした。それ以外、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 1]
In Example 1, the width of a PET film with an adhesive layer (manufactured by Nitto Denko Corporation, RP207) is 298 mm, the bonding position of the support film 1 and the glass film 3 at the bonding part 26 is controlled, and the support film The distance a from the end 1a of the glass film 3 to the end 3a of the glass film 3 was set to -1 mm, and the distance b from the end 1b of the support film 1 to the end 3b of the glass film 3 was also set to -1 mm. Other than that was carried out similarly to Example 1, and obtained the glass film laminated body with a pattern.

［比較例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９９ｍｍとし、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルムの端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを−０．５ｍｍとし、支持フィルム１の端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂも−０．５ｍｍとした。それ以外、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 2]
In Example 1, the width of the PET film with an adhesive layer (manufactured by Nitto Denko Corporation, RP207) is set to 299 mm, the bonding position of the supporting film 1 and the glass film 3 at the bonding portion 26 is controlled, and the supporting film The distance a from the end 1a of the glass film 3 to the end 3a of the glass film 3 was set to -0.5 mm, and the distance b from the end 1b of the support film 1 to the end 3b of the glass film 3 was also set to -0.5 mm. Other than that was carried out similarly to Example 1, and obtained the glass film laminated body with a pattern.

［比較例３］
実施例２において、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋１ｍｍとし、支持フィルムの端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂを±０ｍｍとした。それ以外は、実施例２と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 3]
In Example 2, the bonding position between the support film 1 and the glass film 3 at the bonding portion 26 is controlled, and the distance a from the end 1a of the support film 1 to the end 3a of the glass film 3 is set to +1 mm. The distance b from the end 1b of the support film to the end 3b of the glass film 3 was ± 0 mm. Other than that was carried out similarly to Example 2, and obtained the glass film laminated body with a pattern.

［比較例４］
実施例１において、貼り合わせ部２６での支持フィルム１とガラスフィルム３との貼り合わせ位置を制御して、支持フィルム１の端部１ａからガラスフィルム３の端部３ａまでの距離ａを＋１．５ｍｍとし、支持フィルムの端部１ｂからガラスフィルム３の端部３ｂまでの距離ｂを＋０．５ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。 [Comparative Example 4]
In Example 1, the bonding position between the support film 1 and the glass film 3 at the bonding unit 26 is controlled, and the distance a from the end 1a of the support film 1 to the end 3a of the glass film 3 is set to +1. The distance b from the end 1b of the support film to the end 3b of the glass film 3 was set to +0.5 mm. Other than that was carried out similarly to Example 1, and obtained the glass film laminated body with a pattern.

［測定と結果］
実施例１，２及び比較例１〜４により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、上記したように、支持フィルム１の幅Ｂとガラスフィルム３の幅Ａとの差（Ｂ−Ａ）、及び、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの距離ａ，ｂを表１示した。 [Measurements and results]
For the patterned glass film laminates obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4, as described above, the difference (B−A) between the width B of the support film 1 and the width A of the glass film 3, The distances a and b between the end portions 1a and 1b of the support film 1 and the end portions 3a and 3b of the glass film 3 are shown in Table 1.

表１中の搬送テストの評価項目である「ロール巻き時の貼り付き」、「パターンの位置精度」及び「端部の割れ」は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、「ロール巻き時の貼り付き」とは、作製したガラスフィルム積層体１０をロール巻きした場合に、ガラスフィルム積層体１０同士が貼り付くか否かを評価した結果であり、「１」は全く貼り付かなかった場合とし、「２」は僅かに貼り付きがあったと思われる程度に良好な場合とし、「３」は貼り付きが生じていた場合とした。また、「パターン位置精度」とは、５つのパターン各々において、ガラスフィルム積層体１０に形成された膜パターン４（図３参照）が、ガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する形成位置として所定の位置に形成されているか否かを評価した結果であり、「１」は膜パターンの形成位置が良好な場合とし、「２」は膜パターンの形成位置が厳密には僅かにずれているがあまり問題にならない場合とし、「３」は支持フィルムの端部１ａ，１ｂに対しては精度よく設けられていたが、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに対する精度としてはやや不十分な場合とした。また、「端部の割れ」とは、ガラスフィルム積層体１０の製造工程後及び膜パターンの形成工程後に、作製したガラスフィルム積層体１０を構成するガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに割れや傷が生じていたか否かの評価であり、「１」は割れや傷が全く生じていなかった場合とし、「２」は僅かに傷があったが実用上あまり問題ない場合とし、「３」は傷又は割れが生じていた場合とした。 The evaluation items of the conveyance test in Table 1, “sticking at the time of roll winding”, “positional accuracy of the pattern”, and “cracking at the end” were subjected to a photolithography process using the produced glass film laminate 10. It was evaluated later. Here, “sticking at the time of roll winding” is a result of evaluating whether or not the glass film laminates 10 are stuck together when the produced glass film laminate 10 is rolled, and “1”. Was a case where no sticking occurred, “2” was a case where it was as good as it seemed that there was a slight sticking, and “3” was a case where sticking had occurred. “Pattern position accuracy” means that, in each of the five patterns, the film pattern 4 (see FIG. 3) formed on the glass film laminate 10 is the end 3a of the glass film 3 constituting the glass film laminate 10. , 3b is a result of evaluating whether or not the film pattern is formed at a predetermined position. “1” indicates that the film pattern formation position is good, and “2” indicates that the film pattern formation position is strictly Is slightly shifted but does not cause much problem, and “3” was provided accurately for the end portions 1a and 1b of the support film, but as the accuracy for the end portions 3a and 3b of the glass film 3 Slightly insufficient. In addition, the “end portion crack” means that after the manufacturing process of the glass film laminate 10 and the film pattern forming step, the end portions 3a and 3b of the glass film 3 constituting the produced glass film laminate 10 are cracked. It is an evaluation of whether or not a flaw has occurred. “1” is a case where no cracks or flaws are generated, “2” is a case where there is a slight flaw but there is no problem in practical use, and “3”. In the case where scratches or cracks occurred.

なお、総合評価として、「○」は使用可能なもので、「△」は「３」の評価が少なくとも１つあるもの又は全部が「２」であるもので、使用にはやや問題があるものとした。 In addition, as a comprehensive evaluation, “○” is usable, “△” has at least one evaluation of “3” or all “2”, and there are some problems in use. It was.

表１の結果から分かるように、ガラスフィルム３の幅Ａよりも大きい幅Ｂの支持フィルム１を、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わせ、且つ支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂからその各端部１ａ，１ｂ側におけるガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂまでの距離ａ，ｂが、支持フィルム１の幅方向Ｘの端部１ａ，１ｂから内方に向かって０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下の条件を満たした実施例１，２は、良好な結果が得られた。こうした条件を満たさない比較例１〜４の場合は、十分な結果が得られなかった。 As can be seen from the results in Table 1, the support film 1 having a width B larger than the width A of the glass film 3 is applied to the glass film 3 via the adhesive layer 2 so as to protrude from both side ends 3a and 3b of the glass film 3. The distances a and b from the ends 1a and 1b in the width direction X of the support film 1 to the ends 3a and 3b in the width direction X of the glass film 3 on the ends 1a and 1b are Examples 1 and 2 satisfying the conditions of 0.5 mm or more and 1 mm or less inward from the end portions 1a and 1b in the width direction X of the support film 1 gave good results. In Comparative Examples 1 to 4 that did not satisfy these conditions, sufficient results were not obtained.

１支持フィルム
１ａ，１ｂ支持フィルムの端部
２粘着層
３ガラスフィルム
３ａ，３ｂガラスフィルムの端部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃガラスフィルム積層体
２０ガラスフィルム積層体の製造装置
２２支持フィルム供給部
２３支持フィルムロール
２４ガラスフィルム供給部
２５ガラスフィルムロール
２６貼り合わせ部
２８ガイドローラ
３０ニップローラ
３２搬送路
３４巻取部
３６ガラスフィルム積層体ロール
Ａガラスフィルムの幅
Ｂ支持フィルムの幅
ａガラスフィルムの一方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ｂガラスフィルムの他方の端部から支持フィルムの端部までの距離 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support film 1a, 1b End part of support film 2 Adhesive layer 3 Glass film 3a, 3b End part of glass film 10, 10A, 10B, 10C Glass film laminated body 20 Manufacturing apparatus of glass film laminated body 22 Support film supply part 23 Support film roll 24 Glass film supply section 25 Glass film roll 26 Laminating section 28 Guide roller 30 Nip roller 32 Conveying path 34 Winding section 36 Glass film laminate roll A Glass film width B Support film width a One side of glass film Distance from end to end of support film b Distance from other end of glass film to end of support film

Claims

A glass film, an adhesive layer, and a support having a width larger than the width of the glass film and provided on the entire surface of the glass film via the adhesive layer so as to protrude from both side ends of the glass film And having a film,
The adhesive layer is provided only on one side of the support film,
The distance from each end in the width direction of the support film to each end in the width direction of the glass film on each end side is 0.5 mm or more inward from the end in the width direction of the support film. A glass film laminate having a thickness of 1 mm or less.

The glass film laminate according to claim 1, wherein at least a patterned film is provided on the glass film.

Preparing a support film provided with an adhesive layer only on one side ;
Preparing a glass film having a width narrower than the width of the support film;
The distance from each end in the width direction of the support film to each end in the width direction of the glass film on each end side is 0.5 mm or more inward from the end in the width direction of the support film. Bonding the support film and the glass film through the adhesive layer so that the entire surface of the glass film is covered with the support film so as to be 1 mm or less. A manufacturing method of a layered product.