JP5846966B2 - クライオポンプ及びその再生方法 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 気体分子を吸着するための吸着領域を備えるクライオパネルと、
前記クライオパネルを囲むクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器を粗引きポンプに接続するためのラフバルブと、
前記クライオポンプ容器の内圧を測定するための圧力センサと、
前記圧力センサの停止期間と、前記クライオパネルの再生と、を制御するための制御部と、を備え、
前記制御部は、前記再生の初期段階に前記停止期間を設定し、かつその停止期間に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開き、
前記制御部は、前記停止期間が経過したとき前記圧力センサを起動し、前記圧力センサの動作中に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開くことを特徴とするクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記クライオポンプ容器の内圧が100Paを超えることが許容されている前記再生の第2段階において前記圧力センサを使用することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルの温度を測定するための温度センサをさらに備え、
前記制御部は、前記初期段階において、吸着された気体分子が前記吸着領域から放出される温度よりも高い目標温度に向けて前記クライオパネルを加熱する昇温制御を実行し、
前記制御部は、前記昇温制御中に、前記温度センサの測定温度が前記放出される温度を超えているときに前記粗引きを実行し、
前記停止期間は、前記再生の開始直前から前記ラフバルブを閉じるまでの期間を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - 気体分子を吸着するための吸着領域を備えるクライオパネルと、
前記クライオパネルを囲むクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器を粗引きポンプに接続するためのラフバルブと、
前記クライオポンプ容器の内圧を測定するための圧力センサと、
前記圧力センサの停止期間と、前記クライオパネルの再生と、を制御するための制御部と、
前記クライオポンプ容器をパージガス源に接続するためのパージバルブと、を備え、
前記制御部は、前記再生の初期段階に前記停止期間を設定し、かつその停止期間に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開き、
前記制御部は、前記初期段階において、前記クライオポンプ容器のパージをするために前記パージバルブを開き、前記ラフバルブが開かれている間は前記パージバルブを閉じて前記パージを中断し、
前記制御部は、前記停止期間において前記パージと前記粗引きとを複数回行うことを特徴とするクライオポンプ。 - 前記クライオポンプ容器の内圧を外部に放出するためのベントバルブをさらに備え、
前記制御部は、前記再生の第2段階において、前記圧力センサの測定結果に基づいて前記ベントバルブを開くか否かを決定することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 気体分子を吸着するための吸着領域を備えるクライオパネルと、
前記クライオパネルを囲むクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器を粗引きポンプに接続するためのラフバルブと、
前記クライオポンプ容器の内圧を測定するための圧力センサと、
前記圧力センサの停止期間と、前記クライオパネルの再生と、を制御するための制御部と、を備え、
前記制御部は、前記再生の初期段階に前記停止期間を設定し、かつその停止期間に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開き、
前記制御部は、前記再生の第2段階において前記クライオポンプ容器の粗引きと前記クライオポンプ容器へのパージガスの供給とを順次行うラフアンドパージを実行し、
前記停止期間は、前記ラフアンドパージの開始前に前記圧力センサの起動が完了するよう設定されていることを特徴とするクライオポンプ。 - クライオポンプの再生方法であって、
クライオポンプのための圧力センサを停止させることと、
気体分子を吸着するための極低温面の昇温を開始することと、
前記圧力センサを停止させた状態で、クライオポンプの粗引きを開始することと、
前記圧力センサを停止させた状態で、前記粗引きを終了することと、
前記粗引きの終了後に前記圧力センサを起動することと、
前記圧力センサの動作中にクライオポンプの粗引きをすることと、を含む方法。 - クライオポンプに溜め込まれた気体を、前記圧力センサで監視しながら外部に排出することを含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012045268A JP5846966B2 (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | クライオポンプ及びその再生方法 |
TW101146860A TWI512194B (zh) | 2012-03-01 | 2012-12-12 | Cryogenic pump and its regeneration method |
KR1020130022385A KR101440720B1 (ko) | 2012-03-01 | 2013-02-28 | 크라이오펌프 및 그 재생방법 |
CN201310064984.5A CN103291585B (zh) | 2012-03-01 | 2013-02-28 | 低温泵及其再生方法 |
US13/782,420 US9440165B2 (en) | 2012-03-01 | 2013-03-01 | Cryopump and method for regenerating the cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012045268A JP5846966B2 (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | クライオポンプ及びその再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013181448A JP2013181448A (ja) | 2013-09-12 |
JP5846966B2 true JP5846966B2 (ja) | 2016-01-20 |
Family
ID=49042044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012045268A Active JP5846966B2 (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | クライオポンプ及びその再生方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9440165B2 (ja) |
JP (1) | JP5846966B2 (ja) |
KR (1) | KR101440720B1 (ja) |
CN (1) | CN103291585B (ja) |
TW (1) | TWI512194B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104747422B (zh) * | 2013-12-31 | 2016-08-17 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | Pvd设备冷泵再生控制方法及装置 |
JP6253464B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-12-27 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
JP6351525B2 (ja) * | 2015-03-04 | 2018-07-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 |
CN104806500A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-07-29 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 一种低温泵再生控制器 |
JP6615663B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-12-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプ吸蔵ガス量推測装置及びクライオポンプ吸蔵ガス量推測方法 |
CN108614493A (zh) * | 2018-06-13 | 2018-10-02 | 重庆金鹰自动化工程有限公司 | 一种实现超真空状态的冷凝头控制系统 |
JP7369129B2 (ja) * | 2018-09-03 | 2023-10-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの監視方法 |
TWI796604B (zh) | 2019-10-29 | 2023-03-21 | 日商住友重機械工業股份有限公司 | 低溫泵、低溫泵系統及低溫泵的運轉開始方法 |
CN118786282A (zh) * | 2022-03-16 | 2024-10-15 | 住友重机械工业株式会社 | 低温泵的再生方法及低温泵 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0250613B1 (de) * | 1986-06-23 | 1991-07-17 | Leybold Aktiengesellschaft | Kryopumpe und Verfahren zum Betrieb dieser Kryopumpe |
US6318093B2 (en) * | 1988-09-13 | 2001-11-20 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
JPH0754772A (ja) * | 1993-08-12 | 1995-02-28 | Fujitsu Ltd | クライオポンプの運転方法 |
JP3301279B2 (ja) * | 1995-06-29 | 2002-07-15 | ダイキン工業株式会社 | クライオポンプ及びクライオポンプの再生方法 |
DE19781645B4 (de) * | 1996-03-20 | 2005-12-01 | Helix Technology Corp., Mansfield | Reinigungs- und Grob- bzw. Vorvakuum-Cryopumpenregenerationsverfahren, Cryopumpe und Steuer- bzw. Regeleinrichtung |
JPH11324916A (ja) * | 1998-05-14 | 1999-11-26 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプおよびクライオポンプの再生方法 |
JPH11343972A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Daikin Ind Ltd | クライオポンプ、クライオポンプの再生装置および再生方法、並びに、クライオポンプの制御方法 |
US6327863B1 (en) * | 2000-05-05 | 2001-12-11 | Helix Technology Corporation | Cryopump with gate valve control |
KR101084896B1 (ko) * | 2003-06-27 | 2011-11-17 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 자동화된 극저온 펌프의 통합된 안전 세정 |
KR100782913B1 (ko) * | 2003-11-28 | 2007-12-07 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 물의 재생방법 및 장치 |
CN1828053A (zh) * | 2005-03-02 | 2006-09-06 | 佛山市美的日用家电集团有限公司 | 低温泵再生辅助设备及其再生方法 |
JP2009156220A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | クライオポンプおよびその再生方法 |
-
2012
- 2012-03-01 JP JP2012045268A patent/JP5846966B2/ja active Active
- 2012-12-12 TW TW101146860A patent/TWI512194B/zh active
-
2013
- 2013-02-28 CN CN201310064984.5A patent/CN103291585B/zh active Active
- 2013-02-28 KR KR1020130022385A patent/KR101440720B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-01 US US13/782,420 patent/US9440165B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9440165B2 (en) | 2016-09-13 |
TWI512194B (zh) | 2015-12-11 |
KR101440720B1 (ko) | 2014-09-17 |
US20130227968A1 (en) | 2013-09-05 |
CN103291585B (zh) | 2016-01-20 |
JP2013181448A (ja) | 2013-09-12 |
CN103291585A (zh) | 2013-09-11 |
KR20130100746A (ko) | 2013-09-11 |
TW201337105A (zh) | 2013-09-16 |
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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