JP5841336B2 - 基板処理装置および情報管理方法 - Google Patents

Description

この発明は、基板を処理する基板処理装置、および基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法に関する。処理対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。

半導体基板や液晶表示装置用基板に代表される基板を処理する基板処理装置は、コンピュータからなる制御装置を備えており、この制御装置によって装置各部の自動制御が行われる。制御装置は、操作者によって入力された操作情報、および制御装置が行った制御の内容を示すイベント情報を含む装置情報を記録する。装置情報は、基板処理装置に設けられた表示装置に表示される。表示装置に表示された装置情報は、たとえば、基板処理装置に生じた異常の原因調査に使用される。

特開２０１０−９２９２７号公報

基板処理装置の装置情報は、基板が処理される稼働中(稼働状態)だけでなく、メンテナンスが行われるメンテナンス中（メンテナンス状態）にも記録される。しかしながら、装置情報は、稼働中およびメンテナンス中のいずれの期間に生成されたのか区別されずに記録される。したがって、操作者は、表示装置に表示された装置情報を見ても、稼働中およびメンテナンス中のいずれの期間に生成された装置情報であるかを判断できない。

稼働中に発生した異常の原因調査では、操作者は、稼働中に生成された装置情報だけを確認したい場合がある。しかしながら、稼働中およびメンテナンス中の区別なしに装置情報が記録されているので、操作者は、表示装置に表示された装置情報を見ても、表示された装置情報がいずれの期間に生成されたものであるのかを区別できない。そのため、異常の原因調査に必要な情報を絞り込むのに手間がかかってしまう。

そこで、この発明の目的は、いずれの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別できる基板処理装置、および基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法を提供することである。
前記目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）を処理する基板処理装置であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記基板処理装置の状態を選択するために操作者によって操作される装置状態選択手段（９）と、前記装置状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報として出力する状態情報出力手段（１０）と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段（１３）と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記基板処理装置が前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段（１１）と、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とを前記履歴情報出力手段から取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段（１４）と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段（１７）と、前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作されるメンテナンス指定部と、前記装置情報のタイプを表示条件として設定するために操作者によって操作されるタイプ指定部とを含む、条件設定手段（１６）と、前記条件設定手段で設定された表示条件に合う前記履歴情報を前記表示手段に表示させる表示情報選択手段（１８）とを含む、基板処理装置（１）である。なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符号を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を限定する趣旨ではない。

この発明によれば、装置状態選択手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態から基板処理装置の状態が選択される。状態情報出力手段は、装置状態選択手段が操作されることにより、操作者によって選択された基板処理装置の状態を状態情報として出力する。また、装置情報出力手段は、基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力手段は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶手段は、履歴情報出力手段から履歴情報を取得し、履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、基板処理装置がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶手段に記録される。したがって、操作者は、表示手段に表示された履歴情報を見ることにより、基板処理装置がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。
さらに、この発明によれば、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態のいずれかが選択される。表示情報選択手段は、記憶手段に記録された履歴情報から、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を検索して、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を表示手段に表示させる。すなわち、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、表示手段に表示される履歴情報の条件（表示条件）が設定され、表示条件に合う履歴情報だけが表示手段に表示される。これにより、不要な装置情報を表示させずに、必要な情報だけを表示手段に表示させることができる。

請求項２記載の発明は、基板（Ｗ）を処理する基板処理装置であって、基板を処理する複数の処理ユニット（７）と、前記複数の処理ユニットから一部の処理ユニットを選択するために操作者によって操作されるユニット選択手段（２５２）と、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記処理ユニットの状態を選択するために操作者によって操作されるユニット状態選択手段（９）と、前記ユニット選択手段および前記ユニット状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する状態情報出力手段（１０）と、前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段（１３）と、前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段（１１）と、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とを前記履歴情報出力手段から取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段（１４）と、前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段（１７）と、前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作されるメンテナンス指定部と、前記装置情報のタイプを表示条件として設定するために操作者によって操作されるタイプ指定部とを含む、条件設定手段（１６）と、前記条件設定手段で設定された表示条件に合う前記履歴情報を前記表示手段に表示させる表示情報選択手段（１８）とを含む、基板処理装置（２０１）である。

この発明によれば、ユニット選択手段が操作者によって操作されることにより、複数の処理ユニットから一部の処理ユニットが選択される。さらに、ユニット状態選択手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態からいずれかの状態が選択される。状態情報出力手段は、操作者によって選択された処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する。装置情報出力手段は、基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力手段は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニットの状態とを含む履歴情報を出力する。記憶手段は、履歴情報出力手段から履歴情報を取得し、履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、各処理ユニットがどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶手段に記録される。したがって、操作者は、表示手段に表示された履歴情報を見ることにより、各処理ユニットがどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。
さらに、この発明によれば、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態を含む複数の状態のいずれかが選択される。表示情報選択手段は、記憶手段に記録された履歴情報から、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を検索して、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を表示手段に表示させる。すなわち、条件設定手段が操作者によって操作されることにより、表示手段に表示される履歴情報の条件（表示条件）が設定され、表示条件に合う履歴情報だけが表示手段に表示される。これにより、不要な装置情報を表示させずに、必要な情報だけを表示手段に表示させることができる。

請求項３記載の発明は、基板（Ｗ）を処理する基板処理装置（１）の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を前記基板処理装置の状態情報出力手段（１０）が状態情報として出力する第１ステップ（Ｓ１０２）と、前記基板処理装置で起こった事象を前記基板処理装置の装置情報出力手段（１３）が装置情報として出力する第２ステップ（Ｓ１０４）と、前記状態情報と前記装置情報とが前記基板処理装置の履歴情報出力手段（１１）に取得され、前記基板処理装置が前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記履歴情報出力手段が出力する第３ステップ（Ｓ１０５）と、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とが前記基板処理装置の記憶手段（１４）によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第４ステップ（Ｓ１０６）と、前記履歴情報を前記基板処理装置の表示手段（１７）が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第５ステップ（Ｓ１０９、Ｓ１１０、Ｓ１１２、Ｓ１１４）とを含む、情報管理方法である。この発明によれば、請求項１の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。

請求項４記載の発明は、基板（Ｗ）を処理する基板処理装置（２０１）の装置情報を管理する情報管理方法であって、基板を処理する複数の処理ユニット（７）から操作者によって選択された処理ユニットと、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された状態とを含む状態情報を前記基板処理装置の状態情報出力手段（１０）が出力する第１ステップ（Ｓ２０３）と、前記基板処理装置で起こった事象を前記基板処理装置の装置情報出力手段（１３）が装置情報として出力する第２ステップ（Ｓ２０５）と、前記状態情報と前記装置情報とが前記基板処理装置の履歴情報出力手段（１１）に取得され、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記履歴情報出力手段が出力する第３ステップ（Ｓ２０６）と、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とが前記基板処理装置の記憶手段（１４）によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第４ステップ（Ｓ２０７）と、前記履歴情報を前記基板処理装置の表示手段（１７）が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第５ステップ（Ｓ１０９、Ｓ１１０、Ｓ１１２、Ｓ１１４）とを含む、情報管理方法である。この発明によれば、請求項２の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。

この発明の第１実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図である。 この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。 この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。 この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の装置情報を表示するときの流れについて説明するためのフローチャートである。 この発明の第１実施形態に係る基板処理装置の装置情報を記憶および表示するための構成をより具体的に示す機能ブロック図である。 この発明の第１実施形態に係る装置セットアップ画面について説明するための図である。 この発明の第１実施形態に係るログ閲覧画面について説明するための図である。 この発明の第１実施形態に係るログ格納データベースに格納された複数の履歴情報について説明するための図である。 この発明の第１実施形態に係る条件設定画面について説明するための図である。 この発明の第２実施形態に係る基板処理装置の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。 この発明の第２実施形態に係る基板処理装置の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。 この発明の第２実施形態に係る装置セットアップ画面について説明するための図である。 この発明の第２実施形態に係るオーバービュー画面について説明するための図である。 この発明の第２実施形態に係るログ格納データベースに格納された複数の履歴情報について説明するための図である。 この発明の第２実施形態に係るログ閲覧画面について説明するための図である。 この発明の第２実施形態に係る条件設定画面について説明するための図である。

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の第１実施形態に係る基板処理装置１のレイアウトを示す図解的な平面図である。
基板処理装置１は、薬液やリンス液などの処理液によって半導体ウエハ等の円形の基板Ｗを一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である。基板処理装置１は、インデクサブロック２と、インデクサブロック２に結合された処理ブロック３と、基板処理装置１に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する制御装置４とを備えている。図示はしないが、制御装置４は、ＣＰＵと、メモリなどの記憶装置とを含む。

インデクサブロック２は、キャリア保持部５と、インデクサロボットＩＲと、ＩＲ移動機構６とを備えている。キャリア保持部５は、複数枚の基板Ｗを収容できるキャリアＣを保持する。複数のキャリアＣは、水平なキャリア配列方向Ｕに配列された状態でキャリア保持部５に保持される。ＩＲ移動機構６は、キャリア配列方向ＵにインデクサロボットＩＲを移動させる。インデクサロボットＩＲは、キャリア保持部５に保持されたキャリアＣに基板Ｗを搬入する搬入動作、および基板ＷをキャリアＣから搬出する搬出動作を行う。

一方、処理ブロック３は、基板Ｗを処理する複数（たとえば、４つ以上）の処理ユニット７と、センターロボットＣＲとを備えている。複数の処理ユニット７は、平面視において、センターロボットＣＲを取り囲むように配置されている。センターロボットＣＲは、処理ユニット７に基板Ｗを搬入する搬入動作、および基板Ｗを処理ユニット７から搬出する搬出動作を行う。センターロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲから基板Ｗを受け取ると共に、インデクサロボットＩＲに基板Ｗを渡す。

基板処理装置１は、基板処理装置１の情報を表示する表示装置８をさらに備えている。図示はしないが、表示装置８は、ＣＰＵと、メモリなどの記憶装置と、タッチパネルとを含む。基板処理装置１の情報は、このタッチパネルに表示される。さらに、基板処理装置１に対する指令は、操作者によってタッチパネルから入力される。すなわち、第１実施形態では、表示装置８が、基板処理装置１を操作するための指令が操作者によって入力される入力装置としても機能する。表示装置８と入力装置とは、第１実施形態のように共通の装置であってもよいし、別々の装置であってもよい。すなわち、入力装置は、キーボード、マウスその他の入力手段であってもよい。

図２は、この発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。
基板処理装置１は、状態選択操作部９（装置状態選択手段、ユニット状態選択手段）と、状態情報出力部１０（状態情報出力手段）と、履歴情報出力部１１（履歴情報出力手段）とを含む。状態選択操作部９および状態情報出力部１０は、表示装置８に設けられており、履歴情報出力部１１は、制御装置４および表示装置８に設けられている。状態選択操作部９は、基板Ｗが処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態の２つの状態から基板処理装置１の状態を選択するために操作者によって操作される。操作者によって状態選択操作部９が操作されると、状態情報出力部１０は、操作者によって選択された基板処理装置１の状態を状態情報として履歴情報出力部１１に出力する。履歴情報出力部１１は、状態情報出力部１０から状態情報を取得し、履歴情報出力部１１に記憶されている基板処理装置１の状態情報を新たに取得した状態情報に書き換える。これにより、操作者によって選択された基板処理装置１の状態が履歴情報出力部１１に記録される。

また、基板処理装置１は、入力操作部１２と、装置情報出力部１３（装置情報出力手段）と、記憶部１４（記憶手段）とを含む。入力操作部１２は、表示装置８に設けられており、装置情報出力部１３は、制御装置４および表示装置８に設けられている。また、記憶部１４は、制御装置４に設けられている。入力操作部１２は、基板処理装置１に対する指令である操作情報を入力するために操作者によって操作される。操作者によって入力操作部１２が操作されると、装置情報出力部１３は、操作者によって入力された操作情報を、装置情報として履歴情報出力部１１に出力する。また、制御装置４が基板処理装置１を制御すると、装置情報出力部１３は、基板処理装置１で起こった事象（イベント情報）を装置情報として履歴情報出力部１１に出力する。すなわち、装置情報は、操作者によって入力された操作情報と、基板処理装置１で起こった事象の内容を示すイベント情報とを含む。さらに、装置情報は、基板処理装置１で起こった異常の内容を示すアラーム情報を含む。

履歴情報出力部１１は、装置情報出力部１３から出力された装置情報を取得する。履歴情報出力部１１が装置情報を取得すると、履歴情報出力部１１は、取得した装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置１の状態とを含む履歴情報を出力する。すなわち、履歴情報出力部１１は、装置情報と状態情報とを含む履歴情報を作成し、この履歴情報を記憶部１４に出力する。記憶部１４は、履歴情報出力部１１から履歴情報を取得し、この履歴情報を記憶する。したがって、履歴情報出力部１１から出力された履歴情報が記憶部１４に蓄積されることにより、複数の履歴情報が記憶部１４に記録される。

また、基板処理装置１は、表示操作部１５と、表示条件設定部１６（条件設定手段）と、表示部１７（表示手段）と、表示制御部１８（表示情報選択手段）とを含む。表示操作部１５、表示条件設定部１６、および表示部１７は、表示装置８に設けられており、表示制御部１８は、制御装置４に設けられている。表示操作部１５は、記憶部１４に記憶されている履歴情報を表示部１７に表示させるために操作者によって操作される。表示条件設定部１６は、表示部１７に表示される履歴情報の条件（表示条件）を設定するために操作者によって操作される。表示条件には、たとえば、装置情報が出力された時期や、基板処理装置１の状態が含まれる。表示条件が設定されている状態で表示操作部１５が操作者によって操作されると、表示制御部１８は、記憶部１４に記憶されている複数の履歴情報から表示条件に合う履歴情報を検索し、この表示条件に合う履歴情報だけを記憶部１４から取得する。そして、表示制御部１８は、この取得した履歴情報を表示部１７に表示させる。一方、表示条件が設定されていない状態で表示操作部１５が操作者によって操作されると、表示制御部１８は、記憶部１４に記憶されている複数の履歴情報（たとえば、全ての履歴情報）を取得する。そして、表示制御部１８は、この取得した履歴情報を表示部１７に表示させる。

図３は、この発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、図２および図３を参照する。
基板処理装置１の装置情報が記憶されるときには、基板処理装置１の状態が、操作者による状態選択操作部９の操作によって変更されたか否かが判断される（ステップＳ１０１）。基板処理装置１の状態が変更されていない場合（ステップＳ１０１でＮＯの場合）には、履歴情報出力部１１に記憶されている基板処理装置１の状態情報が書き換えられることなく、装置情報が、装置情報出力部１３から履歴情報出力部１１に出力されたか否かが判断される（ステップＳ１０４）。一方、基板処理装置１の状態が変更された場合（ステップＳ１０１でＹＥＳの場合）には、状態情報が、状態情報出力部１０から履歴情報出力部１１に出力される（ステップＳ１０２）。履歴情報出力部１１は、状態情報を取得し、履歴情報出力部１１に記憶されている基板処理装置１の状態情報を、新たに取得した状態情報に書き換える。これにより、履歴情報出力部１１に記憶されている基板処理装置１の状態が切り替えられる（ステップＳ１０３）。その後、装置情報が、装置情報出力部１３から履歴情報出力部１１に出力されたか否かが判断される（ステップＳ１０４）。

装置情報が装置情報出力部１３から出力されていない場合（ステップＳ１０４でＮＯの場合）には、再び、基板処理装置１の状態が、操作者による状態選択操作部９の操作によって変更されたか否かが判断される（ステップＳ１０１に戻る）。一方、装置情報が装置情報出力部１３から出力されている場合（ステップＳ１０４でＹＥＳの場合）には、履歴情報出力部１１が、この装置情報を取得し、取得した装置情報と、履歴情報出力部１１に記憶されている状態情報とを含む履歴情報を出力する（ステップＳ１０５）。そして、この履歴情報が記憶部１４に記録される（ステップＳ１０６）。履歴情報が記憶部１４に記録された後は、再び、基板処理装置１の状態が、操作者による状態選択操作部９の操作によって変更されたか否かが判断される（ステップＳ１０１に戻る）。この一連の流れが繰り返し行われることにより、複数の履歴情報が記憶部１４に記録される。

図４は、この発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の装置情報を表示するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、図２および図４を参照する。
装置情報が表示部１７に表示されるときには、表示操作部１５が操作者によって操作されたか否かが判断される（ステップＳ１０７）。表示操作部１５が操作されていない場合（ステップＳ１０７でＮＯの場合）には、再び、表示操作部１５が操作者によって操作されたか否かが判断される（ステップＳ１０７）。一方、表示操作部１５が操作された場合（ステップＳ１０７でＹＥＳの場合）には、表示条件が設定されているか否かが判断される（ステップＳ１０８）。

表示条件が設定されている場合（ステップＳ１０８でＹＥＳの場合）には、表示制御部１８は、表示条件に合う履歴情報だけを記憶部１４から取得し、この取得した履歴情報を表示部１７に表示させる（ステップＳ１１０）。そして、履歴情報が表示された後は、表示条件が変更されたか否かが判断される（ステップＳ１１３）。
一方、表示条件が設定されていない場合（ステップＳ１０８でＮＯの場合）には、表示制御部１８は、記憶部１４に記憶されている全ての履歴情報を取得し、この全ての履歴情報を表示部１７に表示させる（ステップＳ１０９）。そして、履歴情報が表示された後は、表示条件が設定されたか否かが判断される（ステップＳ１１１）。表示条件が設定されていない場合（ステップＳ１１１でＮＯの場合）には、同じ履歴情報が表示部１７に表示されたまま、再び、表示条件が設定されたか否かが判断される（ステップＳ１１１）。一方、表示条件が設定された場合（ステップＳ１１１でＹＥＳの場合）には、表示制御部１８は、表示条件に合う履歴情報だけを記憶部１４から取得し、この取得した履歴情報を表示部１７に表示させる（ステップＳ１１２）。その後、表示条件が変更されたか否かが判断される（ステップＳ１１３）。

表示条件が変更されていない場合（ステップＳ１１３でＮＯの場合）には、同じ履歴情報が表示部１７に表示されたまま、再び、表示条件が変更されたか否かが判断される（ステップＳ１１３）。一方、表示条件が変更された場合（ステップＳ１１３でＹＥＳの場合）には、表示制御部１８は、記憶部１４から必要な履歴情報を取得し、この取得した履歴情報を表示部１７に再表示させる（ステップＳ１１４）。

具体的には、新たな表示条件が設定された場合には、新たな表示条件に合う履歴情報だけが表示部１７に再表示される。また、表示条件が解除された場合には、記憶部１４に記憶されている全ての履歴情報が再表示される。そして、履歴情報が再表示された後は、再び、表示条件が変更されたか否かが判断される（ステップＳ１１３に戻る）。
図５は、この発明の第１実施形態に係る基板処理装置１の装置情報を記憶および表示するための構成をより具体的に示す機能ブロック図である。

表示装置８は、複数の画面を選択的に表示する。複数の画面は、基板処理装置１のセットアップを行うときに用いられる装置セットアップ画面１９と、記憶部１４に記憶されている履歴情報を表示するログ閲覧画面２０と、基板処理装置１で生じた異常の内容を表示するアラーム画面（図示せず）とを含む。表示装置８に表示される画面は、操作者の操作によって選択される。装置セットアップ画面１９が選択されると、たとえば、基板処理装置１の状態を切り替えるためのボタンや、基板処理装置１を動作させるためのボタンが表示される。

装置セットアップ画面１９で操作者によって基板処理装置１の状態が選択されると、表示装置８は、操作者によって選択された基板処理装置１の状態を状態情報として制御装置４に出力する。制御装置４は、表示装置８から状態情報を取得し、制御装置４に記憶されている基板処理装置１の状態を操作者によって選択された状態に書き換える。その一方で、装置セットアップ画面１９で操作者によって基板処理装置１の状態が選択されると、表示装置８は、表示装置８に記憶されている基板処理装置１の状態を操作者によって選択された状態に書き換える。また、装置セットアップ画面１９で基板処理装置１に対する指令が操作者によって入力されると、表示装置８は、操作者によって入力された操作情報と、この操作情報が出力されたときに選択されている基板処理装置１の状態とを含む履歴情報を制御装置４に出力する。表示装置８は、状態情報出力部１０、履歴情報出力部１１、および装置情報出力部１３の一例である。

一方、制御装置４は、装置制御部２１と、ログ保存部２２と、ログ格納データベース２３とを含む。搬送ロボット（インデクサロボットＩＲおよびセンターロボットＣＲ）および処理ユニット７などの基板処理装置１に備えられた装置やバルブは、装置制御部２１に接続されている。装置制御部２１は、基板処理装置１に備えられた装置の動作やバルブの開閉を制御する。具体的には、装置制御部２１は、制御装置４に記憶されている搬送プログラムに従って搬送ロボットを制御することにより、搬送ロボットによって基板Ｗを搬送させる。また、装置制御部２１は、制御装置４に記憶されている処理プログラム（レシピ）に従って処理ユニット７を制御することにより、処理ユニット７によって基板Ｗを処理させる。

装置制御部２１が基板処理装置１を制御すると、制御の内容が、イベント情報としてログ保存部２２に出力される。また、装置制御部２１は、表示装置８から状態情報を取得することにより、操作者によって選択された基板処理装置１の状態を記憶している。装置制御部２１は、イベント情報と、このイベント情報が出力されたときの基板処理装置１の状態とを含む履歴情報をログ保存部２２に出力する。ログ保存部２２は、装置制御部２１から履歴情報を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース２３に保存する。また、ログ保存部２２は、表示装置８から出力された履歴情報（操作情報および状態情報）を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース２３に保存する。これにより、複数の履歴情報がログ格納データベース２３に蓄積される。

また、制御装置４は、ログ取得部２４をさらに含む。表示装置８でログ閲覧画面２０が選択されると、ログ取得部２４は、必要な履歴情報をログ格納データベース２３から取得する。そして、ログ取得部２４は、ログ格納データベース２３から取得した履歴情報を表示装置８に出力し、必要な履歴情報をログ閲覧画面２０に表示させる。ログ取得部２４は、表示制御部１８の一例である。ログ格納データベース２３は、記憶部１４の一例である。装置制御部２１は、履歴情報出力部１１および装置情報出力部１３の一例である。ログ保存部２２は、履歴情報出力部１１の一例である。

図６は、この発明の第１実施形態に係る装置セットアップ画面１９について説明するための図である。図７は、この発明の第１実施形態に係るログ閲覧画面２０について説明するための図である。図８は、この発明の第１実施形態に係るログ格納データベース２３に格納された複数の履歴情報について説明するための図である。
図６に示すように、装置セットアップ画面１９は、表示装置８に表示される画面を選択するために操作者によって操作される画面選択部２５を含む。同様に、図７に示すように、ログ閲覧画面２０は、画面選択部２５を含む。画面選択部２５は、装置セットアップ画面選択ボタン２６、ログ閲覧画面選択ボタン２７、およびアラーム画面選択ボタン２８を含む複数の選択ボタンからなる。装置セットアップ画面選択ボタン２６が操作者によって操作されると、装置セットアップ画面１９が表示装置８に表示される。ログ閲覧画面選択ボタン２７が操作者によって操作されると、ログ閲覧画面２０が表示装置８に表示される。アラーム画面選択ボタン２８が操作者によって操作されると、アラーム画面が表示装置８に表面される。操作者は、いずれかの選択ボタンを選択することにより、表示装置８に表示される画面を選択することができる。

図６に示すように、装置セットアップ画面１９は、メンテナンス開始ボタン２９およびメンテナンス終了ボタン３０をさらに含む。メンテナンス開始ボタン２９およびメンテナンス終了ボタン３０は、状態選択操作部９の一例である。メンテナンス開始ボタン２９が操作者によって操作されると、表示装置８および制御装置４に記憶されている基板処理装置１の状態が、メンテナンス状態に切り替わる。一方、メンテナンス終了ボタン３０が操作者によって操作されると、表示装置８および制御装置４に記憶されている基板処理装置１の状態が、稼働状態に切り替わる。

図６に示すように、装置セットアップ画面１９は、複数の入力ボタン３１をさらに含む。入力ボタン３１は、入力操作部１２の一例である。複数の入力ボタン３１は、たとえば、ログインボタン３２と、原点復帰ボタン３３とを含む。基板処理装置１が稼働状態のときにログインボタン３２が操作者によって操作されると、図８においてＬｏｇＩｄが０１０１の行に示すように、ログインボタン３２が操作されたときの年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のＴｙｐｅが操作情報であることと、装置情報が出力されたとき基板処理装置１は稼働中（稼働状態）であることと、ログインボタン３２が操作されたこととが、１つのＬｏｇＩｄ（０１０１）と共にログ格納データベース２３に記録される。これにより、履歴情報（ログ）がログ格納データベース２３に記録される。

また、装置セットアップ画面１９に設けられたログインボタン３２が操作者によって操作された後に、制御装置４が、ログインを成功させると、図８においてＬｏｇＩｄが０１０２の行に示すように、ログインに成功した年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のＴｙｐｅがイベント情報であることと、装置情報が出力されたとき基板処理装置１が稼働中（稼働状態）であることと、ログインが成功したこととが、１つのＬｏｇＩｄ（０１０２）と共にログ格納データベース２３に記録される。したがって、第１実施形態では、履歴情報（ログ）は、たとえば、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のＴｙｐｅと、装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置１の状態（状態情報）と、報告内容（装置情報）とを含む。

このように、ログ格納データベース２３は、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のＴｙｐｅと、装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置１の状態と、報告内容とに、１つのＬｏｇＩｄを割り当てて、このＬｏｇＩｄと共に、履歴情報を記憶する。図８に示すように、ログ格納データベース２３は、ＬｏｇＩｄを表示するＬｏｇＩｄ列と、年月日および時間を表示するＤａｔｅＡｎｄＴｉｍｅ列と、装置情報のＴｙｐｅを表示するＴｙｐｅ列と、基板処理装置１の状態を表示するＭａｉｎｔｅｎａｎｃｅＳｔａｔｅ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。共通のＬｏｇＩｄが割り振られた情報は、同じ行の対応する列に格納される。すなわち、ログ格納データベース２３は、各履歴情報をそれぞれ異なる行で記憶する。さらに、ログ格納データベース２３は、複数の履歴情報をたとえば時系列で記憶する。ログ閲覧画面２０には、ログ格納データベース２３に記憶されている履歴情報が表示される。

具体的には、ログ閲覧画面選択ボタン２７は、表示操作部１５の一例であり、ログ閲覧画面選択ボタン２７が操作者によって操作されると、ログ格納データベース２３に記憶されている履歴情報がログ閲覧画面２０に表示される。図７に示すように、ログ閲覧画面２０は、複数の履歴情報の一覧表を表示するログ表示部３４を含む。ログ表示部３４は、表示部１７の一例である。ログ表示部３４は、基板処理装置１の状態を表示するメンテナンス中列と、装置情報が出力された年月日および時間を表示する日時列と、装置情報のＴｙｐｅを表示するタイプ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。

図７に示すように、メンテナンス中列、日時列、タイプ列、および報告内容列は、左からこの順番で左右に配列されている。すなわち、メンテナンス中列は、ログ表示部３４の左端に配置されている。履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態のときに出力された情報であるか否かは、たとえば図形で表示される。具体的には、基板処理装置１が稼働状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、メンテナンス中列の欄は空白である（図形が表示されない）。一方、基板処理装置１がメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば「●」印がメンテナンス中列の欄に表示される。このように、メンテナンス中列がログ表示部３４の左端に配置されており、メンテナンス状態のときに出力された装置情報であるか否かが図形で表示されるので、操作者は、基板処理装置１がどのような状態のときに出力された装置情報であるかを容易に識別することができる。

また、図７に示すように、ログ閲覧画面２０は、条件設定部３５をさらに含む。条件設定部３５は、表示条件設定部１６の一例である。条件設定部３５は、条件設定ボタン３８と、更新ボタン３６とを含む。条件設定ボタン３８は、ログ閲覧画面２０に表示される履歴情報の条件（表示条件）を設定するために操作者によって操作されるボタンである。更新ボタン３６は、設定された表示条件を反映させるためのボタンである。すなわち、表示条件が設定された後に、更新ボタン３６が操作者によって操作されると、ログ閲覧画面２０に表示されている履歴情報が更新され、表示条件に合う履歴情報だけがログ閲覧画面２０に表示される。

図７に示すように、条件設定部３５は、条件指定表示部３７をさらに含む。条件指定表示部３７は、表示条件が指定されているか否かを表示する部分である。条件指定表示部３７は、表示条件が指定されているか否かをたとえば色によって表示する。具体的には、表示条件が指定されている場合には、たとえば、条件指定表示部３７の一部（図７において●で示されている部分）が、条件指定表示部３７の周囲とは異なる色の光を発し、表示条件が指定されていない場合には、条件指定表示部３７の一部が条件指定表示部３７の周囲と同じ色を発する。したがって、操作者は、表示条件が指定されているか否かを容易に識別することができる。

図９は、この発明の第１実施形態に係る条件設定画面３９について説明するための図である。
ログ閲覧画面２０で条件設定ボタン３８が操作者によって操作されると、条件設定画面３９が表示装置８に表示される。条件設定画面３９は、日付指定部４０と、メンテナンス指定部４１と、タイプ指定部４２とを含む。日付指定部４０は、期間を指定するために操作者によって操作される。日付指定部４０は、期間の初めが操作者によって入力される始期指定部４３と、期間の終わりが操作者によって入力される終期指定部４４とを含む。操作者は、始期指定部４３と終期指定部４４とに年月日を入力することにより、任意の期間を指定することができる。日付指定部４０で期間が指定されている場合には、指定された期間に出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。

メンテナンス指定部４１は、基板処理装置１の状態を選択するために操作者によって操作される。メンテナンス指定部４１は、メンテナンスボタン４５および非メンテナンスボタン４６を含む。メンテナンスボタン４５の一部（図９では○の内側の部分）の色は、メンテナンスボタン４５が操作者によって操作されるたびに（操作者によって触れられるたびに）、メンテナンスボタン４５の周囲とは異なる色と、メンテナンスボタン４５の周囲と同じ色との間で切り替わる。非メンテナンスボタン４６についても同様である。

メンテナンスボタン４５および非メンテナンスボタン４６のそれぞれは、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。図９では、メンテナンスボタン４５が選択されておらず、非メンテナンスボタン４６が選択されている状態が示されている。メンテナンスボタン４５が選択されると、メンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。また、非メンテナンスボタン４６が選択されると、稼働状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。

タイプ指定部４２は、装置情報のタイプを指定するために操作者によって操作される。タイプ指定部４２は、イベントボタン４７、操作ボタン４８、およびアラームボタン４９を含む。イベントボタン４７の一部（図９では○の内側の部分）の色は、イベントボタン４７が操作者によって操作されるたびに（操作者によって触れられるたびに）、イベントボタン４７の周囲とは異なる色と、イベントボタン４７の周囲と同じ色との間で切り替わる。操作ボタン４８およびアラームボタン４９についても同様である。

イベントボタン４７、操作ボタン４８、およびアラームボタン４９のそれぞれは、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。図９では、イベントボタン４７、操作ボタン４８、およびアラームボタン４９が選択されている状態が示されている。すなわち、操作者は、複数のボタンを選択することもできる。イベントボタン４７が選択されると、イベント情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。操作ボタン４８が選択されると、操作情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。アラームボタン４９が選択されると、アラーム情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。

条件設定画面３９は、ＯＫボタン５０およびキャンセルボタン５１をさらに含む。操作者によって表示条件が設定された後にＯＫボタン５０が操作者によって操作されると、操作者によって設定された表示条件が記録されると共に、条件設定画面３９が消え、ログ閲覧画面２０に戻る。また、操作者によって表示条件が設定された後にキャンセルボタン５１が操作者によって操作されると、操作者によって設定された表示条件が記録されずに、条件設定画面３９が消え、ログ閲覧画面２０に戻る。したがって、操作者は、表示条件を設定した後に、条件設定画面３９でＯＫボタン５０を操作し、ログ閲覧画面２０で更新ボタン３６を操作することにより、条件設定画面３９で設定した条件に合う履歴情報だけをログ表示部３４に表示させることができる。すなわち、たとえば、条件設定画面３９で非メンテナンスボタン４６が選択された状態で、ＯＫボタン５０および更新ボタン３６が操作されると、非メンテナンス状態（稼働状態）のときに出力された装置情報を含む履歴情報だけがログ表示部３４に表示される。

以上のように第１実施形態では、状態選択操作部９が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態から基板処理装置１の状態が選択される。状態情報出力部１０は、状態選択操作部９が操作されることにより、操作者によって選択された基板処理装置１の状態を状態情報として出力する。また、装置情報出力部１３は、基板処理装置１で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力部１１は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている基板処理装置１の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶部１４は、履歴情報出力部１１から履歴情報を取得し、複数の履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、基板処理装置１がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶部１４に記録される。したがって、操作者は、表示部１７に表示された履歴情報を見ることにより、基板処理装置１がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。

また第１実施形態では、表示条件設定部１６が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかが選択される。表示制御部１８は、記憶部１４に記憶された履歴情報から、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を検索して、操作者によって選択された状態を含む履歴情報を表示部１７に表示させる。すなわち、表示条件設定部１６が操作者によって操作されることにより、表示部１７に表示される履歴情報の条件（表示条件）が設定され、表示条件に合う履歴情報だけが表示部１７に表示される。これにより、不要な装置情報を表示させずに、必要な情報だけを表示部１７に表示させることができる。

次に、この発明の第２実施形態について説明する。この第２実施形態と前述の第１実施形態との主要な相違点は、処理ユニット７ごとに状態を切り替えられることである。すなわち、第１実施形態では、基板処理装置全体の状態が操作者の操作によって切り替えられる場合について説明したが、第２実施形態では、基板処理装置全体の状態だけでなく、複数の処理ユニットの状態が個別に切り替えられる。第２実施形態に係る基板処理装置２０１は、第１実施形態に係る基板処理装置１と同様の構成を備えている。したがって、以下では、第１実施形態に係る基板処理装置１と異なる構成について主として説明する。また、以下の図１０〜図１６において、前述の図１〜図９に示された各部と同等の構成部分については、図１等と同一の参照符号を付してその説明を省略する。

図１０は、この発明の第２実施形態に係る基板処理装置２０１の装置情報を記憶および表示するための構成を示す機能ブロック図である。
基板処理装置２０１は、ユニット選択操作部２５２（ユニット選択手段）を含む。ユニット選択操作部２５２は、表示装置８に設けられている。ユニット選択操作部２５２は、複数の処理ユニット７から一部の処理ユニット７を選択するために操作者によって操作される。ユニット選択操作部２５２で処理ユニット７が選択されると共に、状態選択操作部９が操作されることにより稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかがが選択されると、状態情報出力部１０は、操作者によって選択された状態を、操作者によって選択された処理ユニット７の状態の情報（状態情報）として履歴情報出力部１１に出力する。履歴情報出力部１１は、状態情報出力部１０から状態情報を取得し、履歴情報出力部１１に記憶されている基板処理装置２０１の状態情報を新たに取得した状態情報に書き換える。すなわち、履歴情報出力部１１は、複数の処理ユニット７にそれぞれ対応する複数の状態情報を記憶しており、選択された処理ユニット７の状態情報だけを書き換える。これにより、操作者によって選択された状態が、操作者によって選択された処理ユニット７の状態として履歴情報出力部１１に記録される。

図１１は、この発明の第２実施形態に係る基板処理装置２０１の装置情報を記憶するときの流れについて説明するためのフローチャートである。以下では、装置情報を記憶するときの流れについて説明する。装置情報を表示するときの流れについては、第１実施形態と同様であるのでその説明を省略する。以下では、図１０および図１１を参照する。
基板処理装置２０１の装置情報が記憶されるときには、操作者による状態選択操作部９の操作によって、新たに状態が選択されたか否かが判断される（ステップＳ２０１）。新たに状態が選択されていない場合（ステップＳ２０１でＮＯの場合）には、履歴情報出力部１１に記憶されている状態情報が書き換えられることなく、装置情報が、装置情報出力部１３から履歴情報出力部１１に出力されたか否かが判断される（ステップＳ２０５）。一方、新たに状態が選択された場合（ステップＳ２０１でＹＥＳの場合）には、操作者によるユニット選択操作部２５２の操作によって、一部の処理ユニット７が選択されているか否かが判断される（ステップＳ２０２）。

一部の処理ユニット７が選択されている場合（ステップＳ２０２でＹＥＳの場合）には、選択されている処理ユニット７と選択されている状態とを含む状態情報が、状態情報出力部１０から履歴情報出力部１１に出力され、履歴情報出力部１１に記憶されている状態情報のうち、選択されている処理ユニット７の状態情報だけが、新たに選択された状態に書き換えられる（ステップＳ２０３）。一方、処理ユニット７が選択されていない場合（ステップＳ２０２でＮＯの場合）には、状態情報が、状態情報出力部１０から履歴情報出力部１１に出力され、履歴情報出力部１１に記憶されている全ての状態情報、すなわち、基板処理装置２０１全体の状態が、新たに選択された状態に書き換えられる（ステップＳ２０４）。その後、装置情報が、装置情報出力部１３から履歴情報出力部１１に出力されたか否かが判断される（ステップＳ２０５）。

装置情報が装置情報出力部１３から出力されていない場合（ステップＳ２０５でＮＯの場合）には、再び、基板処理装置２０１の状態が、操作者による状態選択操作部９の操作によって変更されたか否かが判断される（ステップＳ２０１に戻る）。一方、装置情報が装置情報出力部１３から出力されている場合（ステップＳ２０５でＹＥＳの場合）には、履歴情報出力部１１が、この装置情報を取得し、取得した装置情報と、履歴情報出力部１１に記憶されている状態情報とを含む履歴情報を出力する（ステップＳ２０６）。そして、この履歴情報が記憶部１４に記録される（ステップＳ２０７）。履歴情報が記憶部１４に記録された後は、再び、基板処理装置２０１の状態が、操作者による状態選択操作部９の操作によって変更されたか否かが判断される（ステップＳ２０１に戻る）。この一連の流れが繰り返し行われることにより、複数の履歴情報が記憶部１４に記録される。

図１２は、この発明の第２実施形態に係る装置セットアップ画面２１９について説明するための図である。図１３は、この発明の第２実施形態に係るオーバービュー画面２５３について説明するための図である。
表示装置８は、複数の画面を選択的に表示する。複数の画面は、装置セットアップ画面２１９と、ログ閲覧画面２２０と、アラーム画面とを含む。さらに、複数の画面は、複数の処理ユニット７から一部の処理ユニット７を選択するためのオーバービュー画面２５３を含む。オーバービュー画面２５３は、ユニット選択操作部２５２の一例である。各画面２１９，２２０、２５３は、表示装置８に表示される画面を選択するために操作者によって操作される画面選択部２２５を含む。画面選択部２２５は、装置セットアップ画面選択ボタン２６、ログ閲覧画面選択ボタン２７、アラーム画面選択ボタン２８、およびオーバービュー画面選択ボタン２５４を含む複数の選択ボタンからなる。表示装置８に表示される画面は、操作者の操作によって選択される。

図１３に示すように、オーバービュー画面２５３は、画面選択部２２５と、基板処理装置２０１の概観を表示する概観表示部２５５を含む。インデクサロボットＩＲ、センターロボットＣＲ、および複数の処理ユニット７は、概観表示部２５５に概略的に表示される。図１３では、「Ｕ」の文字と、この「Ｕ」を取り囲む正方形とが、一つの処理ユニット７を示している。また、図１３では、概観表示部２５５において複数の処理ユニット７に取り囲まれた○が、センターロボットＣＲを示しており、概観表示部２５５において複数の処理ユニット７とは離れた位置に配置されている○が、インデクサロボットＩＲを示している。操作者は、概観表示部２５５を操作することにより、一部の処理ユニット７を選択することができる。

具体的には、オーバービュー画面２５３に表示された処理ユニット７は、操作者がオーバービュー画面２５３内の処理ユニット７に触れるたびに、選択状態と非選択状態との間で切り替わる。選択状態と非選択状態とは、たとえば、色によって区別される。図１３に示された４つの処理ユニット７のうち、左上に位置する処理ユニット７は、選択状態を示しており、他の３つの処理ユニット７は、非選択状態を示している。オーバービュー画面２５３で選択された処理ユニット７の状態は、装置セットアップ画面２１９でメンテナンス開始ボタン２９およびメンテナンス終了ボタン３０が操作者によって操作されることにより変更される。

すなわち、図１２に示すように、装置セットアップ画面２１９は、ユニット選択表示部２５６を含む。ユニット選択表示部２５６は、一部の処理ユニット７が選択されているか否かをたとえば色によって表示する。具体的には、一部の処理ユニット７が選択されている場合には、ユニット選択表示部２５６が選択状態になっており、たとえば、ユニット選択表示部２５６の一部（図１２において●で示されている部分）が、ユニット選択表示部２５６の周囲とは異なる色の光を発している。一方、一部の処理ユニット７が選択されていない場合には、ユニット選択表示部２５６が非選択状態になっており、たとえば、ユニット選択表示部２５６の一部がユニット選択表示部２５６の周囲と同じ色を発している。したがって、操作者は、ユニット選択表示部２５６を見ることにより、一部の処理ユニット７が選択されているか否かを容易に識別することができる。

ユニット選択表示部２５６が非選択状態の場合に、メンテナンス開始ボタン２９およびメンテナンス終了ボタン３０が操作者によって操作されると、基板処理装置２０１全体の状態が、操作者によって新たに選択された状態に変更される。一方、ユニット選択表示部２５６が選択状態の場合に、メンテナンス開始ボタン２９およびメンテナンス終了ボタン３０が操作者によって操作されると、選択された処理ユニット７の状態だけが、操作者によって新たに選択された状態に変更される。これにより、選択された処理ユニット７の状態だけが変更され、選択されていない処理ユニット７の状態は、そのまま維持される。

図１４は、この発明の第２実施形態に係るログ格納データベース２３に格納された複数の履歴情報について説明するための図である。
ログ格納データベース２３は、ＬｏｇＩｄを表示するＬｏｇＩｄ列と、年月日および時間を表示するＤａｔｅＡｎｄＴｉｍｅ列と、装置情報のＴｙｐｅを表示するＴｙｐｅ列と、基板処理装置２０１の状態を表示するＭａｉｎｔｅｎａｎｃｅＳｔａｔｅ列と、選択されている処理ユニット７を表示するＭａｉｔｅｎａｎｃｅＵｎｉｔ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ列に表示される基板処理装置２０１の状態は、稼働中、装置メンテナンス、およびユニットメンテナンスのいずれかである。「稼働中」は、基板処理装置２０１全体が稼働状態であることを示し、「装置メンテナンス」は、基板処理装置２０１全体がメンテナンス状態であることを示す。また、「ユニットメンテナンス」は、一部の処理ユニット７だけがメンテナンス状態であることを示す。

たとえば、１つの処理ユニット７だけがメンテナンス状態である場合に、装置セットアップ画面２１９に設けられた原点復帰ボタン３３（図１２参照）が操作者によって操作されると、図１４においてＬｏｇＩｄが０１０５の行に示すように、原点復帰ボタン３３が操作されたときの年月日および時間、すなわち、装置情報が出力された年月日および時間と、装置情報のＴｙｐｅが操作情報であることと、装置情報が出力されたときに基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態であることと、どの処理ユニット７が選択されているかと、原点復帰ボタン３３が操作されたこととが、１つのＬｏｇＩｄ（０１０５）と共にログ格納データベース２３に記録される。これにより、稼働状態、メンテナンス状態、およびユニットメンテナンス状態のいずれかに振り分けられた履歴情報が、ログ格納データベース２３（図５参照）に記録される。

図１５は、この発明の第２実施形態に係るログ閲覧画面２２０について説明するための図である。
ログ閲覧画面２２０は、複数の履歴情報の一覧表を表示するログ表示部３４を含む。ログ表示部３４は、基板処理装置２０１の状態を表示するメンテナンス中列と、装置情報が出力された年月日および時間を表示する日時列と、装置情報のＴｙｐｅを表示するタイプ列と、装置情報の内容を表示する報告内容列とを含む。メンテナンス中列、日時列、タイプ列、および報告内容列は、左からこの順番で左右に配列されている。履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態またはユニットメンテナンス状態のときに出力された情報であるか否かは、たとえば図形で表示される。

具体的には、基板処理装置２０１が稼働状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、メンテナンス中列の欄は空白である。また、基板処理装置２０１全体がメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば「●」印がメンテナンス中列の欄に表示される。また、基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行では、たとえば矩形のアイコンがメンテナンス中列の欄に表示される。このように、履歴情報に含まれる装置情報が、メンテナンス状態またはユニットメンテナンス状態のときに生成された情報であるか否かが図形で表示されるので、操作者は、基板処理装置２０１がどのような状態のときに生成された装置情報であるかを容易に識別することができる。

また、基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行の報告内容では、装置情報の概略が表示される。そして、この装置情報の詳細は、ログ表示部３４とは異なる位置に表示される。すなわち、ログ閲覧画面２２０は、基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報の詳細を表示する詳細表示部２５７を含む。詳細表示部２５７は、たとえば、ログ表示部３４の下に設けられている。ログ表示部３４において、基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置状態を含む履歴情報を表示する行に操作者が触れると、この行が選択される。そして、選択された行に対応する履歴情報の詳細が、詳細表示部２５７に表示される。詳細表示部２５７に表示される内容としては、たとえば、選択されている処理ユニット７や、操作者の詳細が含まれる。このように、履歴情報の詳細が詳細表示部２５７に表示されるから、ログ表示部３４の表示が複雑化することを抑制または防止できる。

図１６は、この発明の第２実施形態に係る条件設定画面２３９について説明するための図である。
条件設定画面２３９は、日付指定部４０と、メンテナンス指定部２４１と、タイプ指定部４２とを含む。メンテナンス指定部２４１は、メンテナンスボタン４５および非メンテナンスボタン４６を含む。さらに、メンテナンス指定部２４１は、ユニットメンテナンスボタン２５８を含む。ユニットメンテナンスボタン２５８の一部の色は、ユニットメンテナンスボタン２５８が操作者によって操作されるたびに（操作者によって触れられるたびに）、ユニットメンテナンスボタン２５８の周囲とは異なる色と、ユニットメンテナンスボタン２５８の周囲と同じ色との間で切り替わる。ユニットメンテナンスボタン２５８は、操作者によって操作されるたびに選択状態と非選択状態との間で切り替わる。

ユニットメンテナンスボタン２５８が選択されると、基板処理装置２０１がユニットメンテナンス状態のときに出力された装置情報を含む履歴情報がログ表示部３４に表示されるように表示条件が設定される。操作者は、メンテナンスボタン４５、非メンテナンスボタン４６、およびユニットメンテナンスボタン２５８から一つまたは二つを選択することができる。たとえば、ユニットメンテナンスボタン２５８だけが選択された状態で、条件設定画面２３９に設けられたＯＫボタン５０と、ログ閲覧画面２２０に設けられた更新ボタン３６とが順次操作されると、ユニットメンテナンス状態のときに生成された装置情報を含む履歴情報だけがログ閲覧画面２２０のログ表示部３４に表示される。

以上のように第２実施形態では、ユニット選択操作部２５２が操作者によって操作されることにより、複数の処理ユニット７から一部の処理ユニット７が選択される。さらに、状態選択操作部９が操作者によって操作されることにより、稼働状態およびメンテナンス状態のいずれかが選択される。状態情報出力部１０は、操作者によって選択された処理ユニット７と、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する。装置情報出力部１３は、基板処理装置２０１で起こった事象を装置情報として出力する。履歴情報出力部１１は、状態情報と装置情報とを取得し、装置情報と、この装置情報が出力されたときに選択されている各処理ユニット７の状態とを含む履歴情報を出力する。記憶部１４は、履歴情報出力部１１から履歴情報を取得し、複数の履歴情報を記憶する。すなわち、装置情報は、各処理ユニット７がどの状態のときに生成されたのか区別された状態で記憶部１４に記録される。したがって、操作者は、表示部１７に表示された履歴情報を見ることにより、各処理ユニット７がどの状態のときに生成された装置情報であるかを容易に区別することができる。

この発明の実施の形態の説明は以上であるが、この発明は、前述の実施形態の内容に限定されるものではなく、請求項記載の範囲内において種々の変更が可能である。
たとえば、前述の第１および第２実施形態では、基板処理装置１、２０１が、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置である場合について説明したが、基板処理装置１、２０１は、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式の基板処理装置であってもよい。

また、前述の第１および第２実施形態では、基板処理装置１、２０１が、半導体ウエハなどの円形の基板を処理する装置である場合について説明したが、基板処理装置１、２０１は、液晶表示装置用ガラス基板などの多角形の基板を処理する装置であってもよい。
また、前述の第１実施形態では、ログ保存部２２が、表示装置８および装置制御部２１から履歴情報を取得し、取得した履歴情報をログ格納データベース２３に保存する場合について説明した。しかし、ログ保存部２２が設けられておらず、表示装置８および装置制御部２１からログ格納データベース２３に、直接、履歴情報が送られてもよい。

その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

１ 基板処理装置
７ 処理ユニット
９ 状態選択操作部（装置状態選択手段、ユニット状態選択手段）
１０ 状態情報出力部（状態情報出力手段）
１１ 履歴情報出力部（履歴情報出力手段）
１３ 装置情報出力部（装置情報出力手段）
１４ 記憶部（記憶手段）
１６ 表示条件設定部（条件設定手段）
１７ 表示部（表示手段）
１８ 表示制御部（表示情報選択手段）
２０１ 基板処理装置
２５２ ユニット選択操作部（ユニット選択手段）
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 基板を処理する基板処理装置であって、
   基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記基板処理装置の状態を選択するために操作者によって操作される装置状態選択手段と、
   前記装置状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を状態情報として出力する状態情報出力手段と、
   前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段と、
   前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記基板処理装置が前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段と、
   前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とを前記履歴情報出力手段から取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段と、
   前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段と、
   前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作されるメンテナンス指定部と、前記装置情報のタイプを表示条件として設定するために操作者によって操作されるタイプ指定部とを含む、条件設定手段と、
   前記条件設定手段で設定された表示条件に合う前記履歴情報を前記表示手段に表示させる表示情報選択手段とを含む、基板処理装置。
2. 基板を処理する基板処理装置であって、
   基板を処理する複数の処理ユニットと、
   前記複数の処理ユニットから一部の処理ユニットを選択するために操作者によって操作されるユニット選択手段と、
   基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から前記処理ユニットの状態を選択するために操作者によって操作されるユニット状態選択手段と、
   前記ユニット選択手段および前記ユニット状態選択手段が操作されたときに、操作者によって選択された前記処理ユニットと、操作者によって選択された状態とを含む状態情報を出力する状態情報出力手段と、
   前記基板処理装置で起こった事象を装置情報として出力する装置情報出力手段と、
   前記状態情報と前記装置情報とを取得し、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力し、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を出力する履歴情報出力手段と、
   前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とを前記履歴情報出力手段から取得し、前記履歴情報を記憶する記憶手段と、
   前記履歴情報を前記記憶手段から取得し、前記履歴情報を表示する表示手段と、
   前記複数の状態から選択した状態を表示条件として設定するために操作者によって操作されるメンテナンス指定部と、前記装置情報のタイプを表示条件として設定するために操作者によって操作されるタイプ指定部とを含む、条件設定手段と、
   前記条件設定手段で設定された表示条件に合う前記履歴情報を前記表示手段に表示させる表示情報選択手段とを含む、基板処理装置。
3. 基板を処理する基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法であって、
   基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された前記基板処理装置の状態を前記基板処理装置の状態情報出力手段が状態情報として出力する第１ステップと、
   前記基板処理装置で起こった事象を前記基板処理装置の装置情報出力手段が装置情報として出力する第２ステップと、
   前記状態情報と前記装置情報とが前記基板処理装置の履歴情報出力手段に取得され、前記基板処理装置が前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記履歴情報出力手段が出力する第３ステップと、
   前記基板処理装置が前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記基板処理装置が前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とが前記基板処理装置の記憶手段によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第４ステップと、
   前記履歴情報を前記基板処理装置の表示手段が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第５ステップとを含む、情報管理方法。
4. 基板を処理する基板処理装置の装置情報を管理する情報管理方法であって、
   基板を処理する複数の処理ユニットから操作者によって選択された処理ユニットと、基板が処理される稼働状態およびメンテナンスが行われるメンテナンス状態を含む複数の状態から操作者によって選択された状態とを含む状態情報を前記基板処理装置の状態情報出力手段が出力する第１ステップと、
   前記基板処理装置で起こった事象を前記基板処理装置の装置情報出力手段が装置情報として出力する第２ステップと、
   前記状態情報と前記装置情報とが前記基板処理装置の履歴情報出力手段に取得され、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態のときに出力された前記装置情報については、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む履歴情報を、前記履歴情報出力手段が出力する第３ステップと、
   前記複数の処理ユニットの全てが前記稼働状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの全てが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報と、前記複数の処理ユニットの一部だけが前記メンテナンス状態であることと前記装置情報とを含む前記履歴情報とが前記基板処理装置の記憶手段によって取得され、前記履歴情報が前記記憶手段に記録される第４ステップと、
   前記履歴情報を前記基板処理装置の表示手段が前記記憶手段から取得し、前記履歴情報が前記表示手段に表示される第５ステップとを含む、情報管理方法。

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