JP5746523B2

JP5746523B2 - Clamping mechanism for shear test equipment

Info

Publication number: JP5746523B2
Application number: JP2011047821A
Authority: JP
Inventors: リリーディヴィッド; バグマーティン; ジョンサイクスロバート
Original assignee: Nordson Corp
Current assignee: Nordson Corp
Priority date: 2010-03-05
Filing date: 2011-03-04
Publication date: 2015-07-08
Anticipated expiration: 2031-03-04
Also published as: EP2363701A1; JP2011185935A; US8424390B2; US8607641B2; TW201135211A; EP2363701B1; US20130186207A1; TWI513970B; CN102192877B; US20110214510A1; CN102192877A

Description

本発明は、剪断試験ツールに関する。特に、本発明は、セットアップ手順中における取付けプレートに対する剪断試験ツールの移動を可能にするが、剪断試験手順中、剪断試験ツールを取付けプレートに対して適所に維持する装置及び方法に関する。 The present invention relates to a shear test tool. In particular, the present invention relates to an apparatus and method that allows movement of the shear test tool relative to the mounting plate during the setup procedure, but maintains the shear test tool in place relative to the mounting plate during the shear test procedure.

半導体デバイスは、非常に小さく、典型的には５〜５０平方ｍｍであり、かかる半導体デバイスは、典型的には、半導体基板への電気導体の結合のための多くの場所を有している。各結合部は、基板に結合されたはんだ又は金の球状堆積物を含む。結合部と基板の取付け強度（結合部強度と呼ばれる）を試験することが必要であり、その目的は、結合方法が適切であり且つ結合部強度が十分であるという確信を持つことにある。結合部の寸法が非常に小さいので、結合部強度を試験するために用いられるツールは、非常に正確に位置決めされると共に非常に小さな力及び撓みを測定することができなければならない。 Semiconductor devices are very small, typically 5-50 square mm, and such semiconductor devices typically have many locations for coupling of electrical conductors to a semiconductor substrate. Each bond includes a spherical deposit of solder or gold bonded to the substrate. It is necessary to test the bond strength of the bond and the substrate (referred to as bond strength), the purpose being to have confidence that the bond method is appropriate and the bond strength is sufficient. Due to the very small dimensions of the joint, the tool used to test the joint strength must be able to be positioned very accurately and measure very little forces and deflections.

国際公開第２００７／０９３７９９号パンフレット（特許文献１）に記載されている既知の試験装置は、結合部に係合する試験ツールを有している。試験ツールは、結合部を半導体基板から剪断するために用いられ、結合部を剪断するために必要とされる力が記録される。この力を記録するために、力変換器が試験ツールに組込まれている。 A known test apparatus described in International Publication No. 2007/093799 (Patent Document 1) has a test tool that engages with a coupling portion. The test tool is used to shear the bond from the semiconductor substrate, and the force required to shear the bond is recorded. In order to record this force, a force transducer is incorporated into the test tool.

再現性を保証するために、試験ツールの先端部が基板の表面から所定の高さのところの位置で結合部の側部に係合することが必要不可欠である。この距離は、僅かではあるが重要である。その理由は、結合部は、通常、ドームの形をしているからである。表面からの所定の離隔距離により、試験ツールから基板に付与される滑り摩擦力がなくなると共に剪断荷重が結合部インターフェースに対して正確な箇所に付与される。したがって、実際には、最初に試験ツールを移動させてそれを基板表面に接触させ、次いで、試験ツールを所定の距離、典型的には０．０５ｍｍ以下の距離だけ引込め、その後、剪断試験を実施する。 In order to ensure reproducibility, it is essential that the tip of the test tool engages the side of the joint at a predetermined height from the surface of the substrate. This distance is small but important. The reason is that the coupling part is usually in the shape of a dome. The predetermined separation from the surface eliminates the sliding friction force applied from the test tool to the substrate and applies a shear load to the exact location on the joint interface. Thus, in practice, the test tool is first moved to bring it into contact with the substrate surface, and then the test tool is retracted a predetermined distance, typically 0.05 mm or less, after which the shear test is performed. carry out.

幾つかの問題がある。装置それ自体の機構中の動摩擦及び静摩擦により、基板表面との接触を検出する際に問題が生じる場合がある。表面の検出が不正確であれば、試験ツールを引込める距離及びかくして結合部を剪断する高さに影響を及ぼすことが避けられない。かかる距離は、非常に小さく、したがって、基板を圧縮することなしに表面への接触時点を正確に検出することに注意を払う必要がある。また、剪断試験の前に又はその間、試験高さにおける試験ツールの制御されない移動を防止することに注意を払う必要がある。かかる移動は、試験結果の精度に深刻な影響を及ぼすことがあり、試験高さにおける試験ツールの著しい移動により、隣接した結合部又はワイヤに損傷を与えることがある。 There are several problems. Problems may arise in detecting contact with the substrate surface due to dynamic and static friction in the mechanism of the device itself. Inaccurate surface detection will inevitably affect the distance at which the test tool can be retracted and thus the height at which the joint is sheared. Such distances are very small and therefore care must be taken to accurately detect the point of contact with the surface without compressing the substrate. Care should also be taken to prevent uncontrolled movement of the test tool at the test height prior to or during the shear test. Such movement can seriously affect the accuracy of the test results, and significant movement of the test tool at the test height can damage adjacent joints or wires.

基板の表面を検出するときの小さい接触力と試験高さの正確な制御の両方の課題を解決することは困難である。 It is difficult to solve the problems of both small contact force and accurate control of the test height when detecting the surface of the substrate.

米国特許第６，０７８，３８７号明細書（特許文献２）は、試験ツールの試験ヘッドと基板の接触を検出するための装置を開示し、かかる装置は、接触を検出したときに試験ヘッドの下方移動を即座に停止させるように構成されている。試験ツールは、一対の片持ちアームの自由端部に支持され、片持ちアームは、その反対側の端部でベースプレートに固着され、片持ちアームが撓むことにより、ベースプレートに対する試験ヘッドのいくらかの垂直方向移動を可能にする。剪断試験中における試験ヘッドの垂直方向移動を阻止するために、試験ツールは、片持ちアームによってベースプレートに対して弾性的に付勢される。試験ヘッドを空気軸受によってベースプレートから遠ざかるように移動することができ、それにより、試験ヘッドが、最初の接触の検出のために実質的に摩擦なしで垂直方向に移動することを可能にする。かくして、試験ヘッドが基板表面に最初に触れるとき、片持ちアームに支持された試験ヘッドは、基板表面によって押し戻される。ベースプレートに対する試験ヘッドの移動又は片持ちアームの移動を、光学検出器によって検出し、次いで、空気軸受をオフに切換え、ベースプレートに対する片持ちアームの弾性的な付勢によって、試験ヘッドがベースプレートに対して固定されることを確保する。いったん試験ヘッドをベースプレートに対して固定したら、ベースプレートを所定の量だけ持上げ、試験ツールの下端部と基板との間に所望の「ステップオフ距離（step off distance）」の隙間を残す。 U.S. Pat. No. 6,078,387 discloses an apparatus for detecting contact between a test head of a test tool and a substrate, and such apparatus detects the contact of the test head when contact is detected. The downward movement is immediately stopped. The test tool is supported on the free ends of a pair of cantilever arms, which can be secured to the base plate at opposite ends and the cantilever arms flex to cause some of the test head relative to the base plate. Allows vertical movement. To prevent vertical movement of the test head during the shear test, the test tool is elastically biased against the base plate by the cantilever arm. The test head can be moved away from the base plate by an air bearing, thereby allowing the test head to move in a vertical direction substantially without friction for the detection of initial contact. Thus, when the test head first touches the substrate surface, the test head supported by the cantilever arm is pushed back by the substrate surface. The movement of the test head or cantilever arm relative to the base plate is detected by an optical detector, then the air bearing is switched off and the test head is moved relative to the base plate by the elastic bias of the cantilever arm relative to the base plate. Ensure that it is fixed. Once the test head is secured to the base plate, the base plate is lifted by a predetermined amount, leaving a desired “step off distance” gap between the lower end of the test tool and the substrate.

別のシステムでは、片持ちアームにより、試験ツールをベースプレートから遠ざかるように付勢し、最初の位置決め間、ベースプレートに対する試験ヘッドの実質的に摩擦なしの移動を可能にし、次いで、圧縮空気によって駆動されるピストンを用いて、試験ツールをベースプレートに接触させるように押し、それにより、試験手順の間、ベースプレートに押付けるように試験ツールに作用するクランプ力を生じさせる。 In another system, a cantilever arm urges the test tool away from the base plate, allowing a substantially friction-free movement of the test head relative to the base plate during initial positioning and then driven by compressed air. The piston is used to push the test tool into contact with the base plate, thereby creating a clamping force that acts on the test tool to press against the base plate during the test procedure.

国際公開第２００７／０９３７９９号パンフレットInternational Publication No. 2007/093799 Pamphlet 米国特許第６，０７８，３８７号明細書US Pat. No. 6,078,387 国際公開第２００５／１１４７２２号パンフレットInternational Publication No. 2005/114722 Pamphlet

これら両方のシステムは、試験ヘッドを基板の上に正確に位置決めする一方、基板表面の上に位置する試験ツールの最初の位置決めのときのタッチダウン力を比較的小さくするのに有効である。しかしながら、これらのシステムは、幾つかの欠点を有している。 Both of these systems are effective in accurately positioning the test head on the substrate while relatively reducing the touchdown force during the initial positioning of the test tool located on the substrate surface. However, these systems have several drawbacks.

第１の欠点は、これらのシステムのコストが比較的高いことである。空気軸受は、剪断試験ツールのコスト全体のうちの比較的高価な構成要素である。 The first drawback is the relatively high cost of these systems. Air bearings are a relatively expensive component of the overall cost of shear test tools.

第２の欠点は、試験手順中、負荷の大部分を片持ちアームで支持しなければならないことである。このことは、負荷の高い試験の場合、使用しなければならない片持ちアームが大きく、その結果、重くなる。これにより、センサを最初に位置決めする際のタッチダウン力が大きくなり、それにより、基板表面に損傷を与えることがある。また、この結果、異なる片持ちアーム組立体が異なる負荷試験又は荷重試験に用いられ、コストが更に増大する。 The second drawback is that most of the load must be supported by cantilever arms during the test procedure. This means that for high load tests, the cantilever arm that must be used is large and consequently heavy. This increases the touchdown force when initially positioning the sensor, which can damage the substrate surface. As a result, different cantilever arm assemblies are used for different load tests or load tests, further increasing costs.

第３の欠点は、空気軸受を用いる方法及び圧縮空気作動式ピストンを用いる方法の両方において、片持ちアームをベースプレートに押付けているときに試験ヘッドが側方に動かされ、したがって、試験ヘッドを基板に対して位置決めすることができるのは、試験を行う前であるということにある。空気軸受のオフへの切換え又はベースプレートに対する試験ツールのクランプは、必然的に、試験ヘッドの横方向移動に加えていくらかの垂直方向移動が生じることを意味している。この移動により、特にステップオフ距離が極めて小さい場合、結果として得られる試験の精度が損なわれる場合がある。 A third disadvantage is that in both the method using air bearings and the method using compressed air actuated pistons, the test head is moved sideways when the cantilever arm is pressed against the base plate, and thus the test head is Can be positioned before the test is performed. Switching off the air bearing or clamping the test tool to the base plate necessarily means that some vertical movement occurs in addition to the lateral movement of the test head. This movement may impair the accuracy of the resulting test, especially when the step-off distance is very small.

したがって、本発明の目的は、上述の問題に取り組み又は少なくとも有用な代替手段を提供することにある。 Accordingly, it is an object of the present invention to address the above problems or at least provide a useful alternative.

本発明の第１の観点によれば、結合部と電子基板との間の取付け強度を試験するための剪断試験装置であって、基板が取付けられたＸ−Ｙテーブルと、試験ツールと、Ｘ−Ｙテーブルと試験ツールとの間の試験方向の相対移動を行う駆動機構と、ベースプレートと、を有し、試験ツールは、弾性コネクタによってベースプレートに取付けられ、弾性コネクタは、ベースプレートに対する試験ツールの、試験方向と垂直な軸線方向の移動を可能し、更に、ベースプレートに対して剛性的に固定され且つ試験ツールと接触する少なくとも１つの当接部と、ベースプレートに対して剛性的に固定されたクランプ装置と、を有し、クランプ装置は、クランプ装置が試験ツールに押付けられない休止位置と、試験ツールをベースプレートに対して軸線方向の適所に固定された状態に維持するようにクランプ装置が試験ツールに押付けられる作動位置との間を移動可能であり、駆動機構が、剪断試験中、Ｘ−Ｙテーブルと試験ツールとの間の試験方向の相対移動を行って、試験ツールにより結合部を電子基板から剪断させるとき、少なくとも１つの当接部は、追加のクランプ力を試験ツールに付与する、剪断試験装置が提供される。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a shear test apparatus for testing an attachment strength between a coupling portion and an electronic board, an XY table to which the board is attached, a test tool, A drive mechanism for performing relative movement in the test direction between the Y table and the test tool, and a base plate, the test tool being attached to the base plate by an elastic connector, the elastic connector being of the test tool relative to the base plate; An axial movement perpendicular to the test direction is possible, and at least one abutment portion rigidly fixed to the base plate and contacting the test tool, and a clamp device rigidly fixed to the base plate The clamping device has a rest position where the clamping device is not pressed against the test tool, and the test tool is axially moved relative to the base plate. The clamping device can be moved between operating positions pressed against the test tool so as to remain fixed in place, and the drive mechanism is between the XY table and the test tool during the shear test. A shear test device is provided in which at least one abutment imparts additional clamping force to the test tool when relative movement in the test direction is performed to shear the coupling from the electronic substrate by the test tool.

好ましくは、クランプ装置は、作動位置において試験ツールに押付けられる単一の要素を有する。変形例として、クランプ装置は、作動位置において試験ツールに接触する１つ又は２つ以上の要素を有しても良い。 Preferably, the clamping device has a single element that is pressed against the test tool in the operating position. As a variant, the clamping device may have one or more elements that contact the test tool in the operating position.

好ましくは、クランプ装置が作動位置にあるとき、試験ツールは、クランプ装置と少なくとも１つの当接部の間に保持される。 Preferably, when the clamping device is in the operating position, the test tool is held between the clamping device and at least one abutment.

好ましくは、クランプ装置が作動位置にあるとき、クランプ装置は、試験ツールを押圧してそれを第１の当接部及び第２の当接部に接触させる。 Preferably, when the clamp device is in the operating position, the clamp device presses the test tool to bring it into contact with the first contact portion and the second contact portion.

好ましくは、クランプ装置は、休止位置と作動位置との間を空気圧機構によって移動可能である。 Preferably, the clamping device is movable between a rest position and an operating position by a pneumatic mechanism.

好ましくは、少なくとも１つの当接部並びに第１の当接部及び／又は第２の当接部の位置は、試験方向と整列した軸線に平行な軸線に沿って調節可能である。 Preferably, the position of the at least one abutment and the first and / or second abutment is adjustable along an axis parallel to the axis aligned with the test direction.

好ましくは、ベースプレートに対する試験ツールの移動を可能にする弾性コネクタは、一対の片持ちアームを含む。 Preferably, the resilient connector that allows movement of the test tool relative to the base plate includes a pair of cantilever arms.

好ましくは、剪断試験装置は、更に、ベースプレートに対する試験ツールの軸線方向の移動が検出されたときに信号を発生させるように構成されたセンサと、センサとクランプ装置に接続された制御装置とを有し、制御装置は、センサからの信号に応答してクランプ装置を作動位置に移動させるように構成される。 Preferably, the shear test device further comprises a sensor configured to generate a signal when an axial movement of the test tool relative to the base plate is detected, and a control device connected to the sensor and the clamping device. The control device is configured to move the clamping device to the operating position in response to a signal from the sensor.

本発明の第２の観点では、本発明の第１の観点としての剪断試験装置を用いて結合部と電子基板との間の取付け部の強度を試験する方法であって、試験ツールを電子基板から軸線方向に所定の距離だけ離れたところに位置決めするステップと、試験ツールと結合部との間の試験方向の相対移動を行い、試験ツールが結合部を基板から剪断させるステップと、結合部が試験ツールに付与する力により、剪断試験装置の少なくとも１つの当接部がクランプ力を試験ツールに付与し、結合部により試験ツールに付与された力を記録するステップと、を有することを特徴とする新規な方法が開示される。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for testing the strength of an attachment portion between a coupling portion and an electronic substrate using the shear test apparatus according to the first aspect of the present invention. Positioning at a predetermined distance in the axial direction from the test tool, performing a relative movement in the test direction between the test tool and the joint, and causing the test tool to shear the joint from the substrate; And at least one abutment portion of the shear test apparatus applies a clamping force to the test tool by a force applied to the test tool, and records the force applied to the test tool by the coupling portion. A novel method is disclosed.

好ましくは、試験ツールを位置決めするステップは、試験ツールを基板に向かって軸線方向下方に移動させるステップと、試験ツールと基板の接触を検出するステップと、接触を検出したら、試験ツールの軸線方向の移動を停止させるステップとを含む。好ましくは、この方法は、更に、停止ステップに続いて、試験ツールをクランプ留めして、試験ツールの位置をベースプレートに対して固定するステップを有する。好ましくは、この方法は、更に、クランプ留めステップに続いて、試験ツール及びベースプレートを基板から所定の距離だけ遠ざけるステップを有する。好ましくは、この方法は、更に、記録ステップに続いて、試験ツールをベースプレートに対してクランプ解除するステップを有する。 Preferably, the step of positioning the test tool comprises: moving the test tool downward axially toward the substrate; detecting contact between the test tool and the substrate; Stopping the movement. Preferably, the method further comprises the step of clamping the test tool to fix the position of the test tool relative to the base plate following the stopping step. Preferably, the method further comprises the step of moving the test tool and the base plate away from the substrate by a predetermined distance following the clamping step. Preferably, the method further comprises the step of unclamping the test tool relative to the base plate following the recording step.

次に、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について詳細に説明するが、これは例示に過ぎない。 Reference will now be made in detail to the presently preferred embodiments of the invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

本発明による剪断試験装置の概略図である。1 is a schematic view of a shear test apparatus according to the present invention. 本発明による剪断試験装置の斜視図である。1 is a perspective view of a shear test apparatus according to the present invention. 本発明による剪断試験装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of a shear test apparatus according to the present invention. クランプ支持ブロック２３を省略した本発明による剪断試験装置の別の斜視図である。It is another perspective view of the shear test apparatus by this invention which abbreviate | omitted the clamp support block 23. FIG. ツールホルダ２００への剪断ツール１０の取付け及び歪ゲージ１６０ａ〜１６０ｄを詳細に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the attachment of the shearing tool 10 to the tool holder 200, and the strain gauges 160a-160d in detail. 光学センサ２０２の要素及びタッチダウン調節ねじ１２０の部分断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view of elements of optical sensor 202 and touchdown adjustment screw 120. 剪断試験装置の一次クランプ用ピストン３３及び他の要素の部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of piston 33 for a primary clamp of a shear test device, and other elements. タッチダウンブロック１２２を詳細に示すためにクランプ支持ブロック２３を省略した剪断試験装置の一部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a part of shear test apparatus which abbreviate | omitted the clamp support block 23 in order to show the touchdown block 122 in detail. 本発明による装置の制御要素を示す概略図である。Fig. 2 is a schematic diagram showing the control elements of the device according to the invention. 本発明による装置を用いて剪断試験を実施する際に行なわれる方法ステップを示すフローチャートである。4 is a flow chart showing method steps performed when performing a shear test using an apparatus according to the present invention. 歪ゲージ１６０ａ〜１６０ｄからの信号を検出する回路の概略図である。It is the schematic of the circuit which detects the signal from the strain gauges 160a-160d.

図１は、本発明による剪断試験装置１２の概略図である。剪断試験装置１２は、カートリッジ１１に取付けられた剪断試験ツール１００を有し、カートリッジ１１は、それ自体、剪断試験装置１２の装置本体に取付けられている。剪断試験ツール１００の下に、動力式又は電動式のステージテーブル１３が設けられており、試験すべきサンプルがステージテーブル１３に取付けられる。図３に示すように、サンプルは、代表的には、はんだの球状堆積物３０２が形成された基板３００であり、はんだの球状堆積物は、基板３００内の電子回路（図示せず）に接続されている。 FIG. 1 is a schematic view of a shear test apparatus 12 according to the present invention. The shear test apparatus 12 has a shear test tool 100 attached to the cartridge 11, and the cartridge 11 is itself attached to the apparatus main body of the shear test apparatus 12. A power or electric stage table 13 is provided under the shear test tool 100, and a sample to be tested is attached to the stage table 13. As shown in FIG. 3, the sample is typically a substrate 300 on which a spherical deposit 302 of solder is formed, and the spherical deposit of solder is connected to an electronic circuit (not shown) in the substrate 300. Has been.

図３に最もよく示すように、剪断試験ツール１００は、剪断試験ヘッド１０を有し、剪断試験ヘッド１０は、ツールホルダ２００内に固定され、ツールホルダ２００は、剪断ビーム本体２２内に固定されている。後で詳細に説明するように、剪断試験ヘッド１０は、試験用の基板３００上の球状堆積物３０２に剪断力を付与する。剪断試験ツール１００は、球状堆積物３０２を試験用の基板３００から剪断したときに剪断試験ヘッド１０が受ける剪断力を測定するための歪ゲージ（後で説明する）を有している。 As best shown in FIG. 3, the shear test tool 100 has a shear test head 10 that is secured within a tool holder 200, which is secured within a shear beam body 22. ing. As will be described in detail later, the shear test head 10 applies a shear force to the spherical deposit 302 on the test substrate 300. The shear test tool 100 has a strain gauge (described later) for measuring the shear force that the shear test head 10 receives when the spherical deposit 302 is sheared from the test substrate 300.

剪断試験ツール１００は、カートリッジ１１内に（後で説明する仕方で）保持され、基板３００に対して垂直な方向（以下、これを「Ｚ方向」又は「軸線方向」という）に移動可能である。剪断試験ツール１００のＺ方向の移動は、カートリッジ１１を装置本体１２に対して移動させることによって達成される。カートリッジ１１は、ボールねじ又はリードねじとナット（図示せず）によって装置本体１２に取付けられ、軸線方向駆動機構によって駆動され、かかる軸線方向駆動機構は、例えば、サーボモータ、ステップモータ（図示せず）、又は当該技術において知られている任意その他適当な制御可能な駆動装置ある。これについては、例えば、英国バッキンガムシェア・エールズベリー・ラバンズレーンインダストリアルエリア・ファラデイロード２５所在のデーグ・ホールディングズ・リミテッド（Dage Holdings Limited）から入手できるDage 4000 Multipurpose Bond Testerを参照されたい。 The shear test tool 100 is held in the cartridge 11 (in a manner described later) and is movable in a direction perpendicular to the substrate 300 (hereinafter referred to as “Z direction” or “axial direction”). . Movement of the shear test tool 100 in the Z direction is achieved by moving the cartridge 11 relative to the apparatus body 12. The cartridge 11 is attached to the apparatus main body 12 by a ball screw or a lead screw and a nut (not shown), and is driven by an axial drive mechanism. The axial drive mechanism includes, for example, a servo motor and a step motor (not shown). Or any other suitable controllable drive known in the art. See, for example, the Dage 4000 Multipurpose Bond Tester available from Dage Holdings Limited at 25 Faraday Road, Buckingham Share, Alesbury, Labans Lane, Industrial Area, UK.

ステージテーブル１３は、試験用の基板３００の平面（以下、「Ｘ−Ｙ平面」という）に対して平行に移動可能である。これにより、試験手順中、球状堆積物３０２を試験軸線方向に沿った試験方向に剪断試験ツール１００に向かって及びそれを越えるように移動させることを可能にする。ステージテーブル１３の移動も、リードねじとナット、ボールねじとナット、又は当該技術においてよく知られている適当なベルト駆動機構、例えば上述のDage 4000 Multipurpose Bond Testerを介してステージテーブル１３に結合された適当なサーボモータ又はステップモータを用いて達成される。 The stage table 13 is movable in parallel to the plane of the test substrate 300 (hereinafter referred to as “XY plane”). This allows the spherical deposit 302 to be moved toward and beyond the shear test tool 100 in the test direction along the test axis direction during the test procedure. The movement of the stage table 13 is also coupled to the stage table 13 via a lead screw and nut, a ball screw and nut, or a suitable belt drive mechanism well known in the art, such as the Dage 4000 Multipurpose Bond Tester described above. This is accomplished using a suitable servo motor or step motor.

また、図１は、制御装置を示し、制御装置は、ステージテーブル１３の移動を制御する２つのジョイスティック制御部１４，１５及びキーボード１６を有している。ディスプレイ１７、試験用の基板３００を照明するライト１８、及び剪断試験ツール１００の正確な位置決めを助ける顕微鏡１９も示されている。これら特徴は又、全て、先行技術においてよく知られており、例えば、上述のDage 4000 Multipurpose Bond Testerである。 FIG. 1 shows a control device, and the control device has two joystick control units 14 and 15 for controlling the movement of the stage table 13 and a keyboard 16. Also shown is a display 17, a light 18 that illuminates a test substrate 300, and a microscope 19 that helps to accurately position the shear test tool 100. All of these features are also well known in the prior art, for example the Dage 4000 Multipurpose Bond Tester described above.

図２を参照すると、カートリッジ１１は、バックプレート２０を有し、一対の片持ち支持アーム２１の一方の端部が、ねじ１０５を用いてバックプレート２０に剛性的に取付けられている。片持ち支持アーム２１は、一方の端部の反対側の端部で、剪断試験ツール１００を支持している。剪断試験ツール１００は、好ましい１つの実施形態では、剪断ビーム本体２２を有し、ツールホルダ２００が剪断ビーム本体２２に取付けられ、剪断試験ヘッド１０がツールホルダ２００に取付けられている。図４で最もよく理解されるように、剪断ビーム本体２２は、割り型クランプを有している。ツールホルダ２００を剪断ビーム本体２２内に挿入し、次いで、ねじ１１０を締付けることによって、ツールホルダ２００を剪断ビーム本体２２内にしっかりとクランプ留めする。ツールホルダ２００は、そのシャフトのクランプ部分から突出した合わせピンに嵌合する。合わせピンは、割り型クランプ２２の割り部に受入れられ、従って、剪断ビーム本体２２に対する剪断試験ツール１００の回転方向位置が確保される。 Referring to FIG. 2, the cartridge 11 has a back plate 20, and one end of a pair of cantilevered support arms 21 is rigidly attached to the back plate 20 using screws 105. The cantilever support arm 21 supports the shear test tool 100 at the end opposite to one end. In one preferred embodiment, the shear test tool 100 has a shear beam body 22 with a tool holder 200 attached to the shear beam body 22 and a shear test head 10 attached to the tool holder 200. As best seen in FIG. 4, the shear beam body 22 has a split clamp. Tool holder 200 is inserted into shear beam body 22 and then screw 110 is tightened to securely clamp tool holder 200 within shear beam body 22. The tool holder 200 is fitted to a mating pin protruding from the clamp portion of the shaft. The alignment pin is received in the split portion of the split clamp 22, and thus the rotational direction position of the shear test tool 100 relative to the shear beam body 22 is ensured.

剪断試験ヘッド１０は、図５で最もよく理解されるように、つまみ付きねじ１０６によってツールホルダ２００に取付けられている。剪断試験ヘッド１０は、その前面に平坦部を有し、つまみ付きねじ１０６は、この平坦部に作用する。つまみ付きねじ１０６を平坦部に押付けることにより、剪断試験ヘッド１０は、ツールホルダ２００に対して正しい回転方向位置にある。剪断試験ツール１００は、剪断ビーム本体２２、ツールホルダ２００及び剪断試験ヘッド１０から構成され、片持ちアーム２１により、剪断試験ツール１００を非常に小さい摩擦しかない状態でＺ方向に移動させることを可能にする。 The shear test head 10 is attached to the tool holder 200 by a thumbscrew 106 as best understood in FIG. The shear test head 10 has a flat portion on the front surface thereof, and the knob screw 106 acts on the flat portion. By pressing the knob screw 106 against the flat portion, the shear test head 10 is in the correct rotational position with respect to the tool holder 200. The shear test tool 100 includes a shear beam body 22, a tool holder 200, and a shear test head 10, and the cantilever arm 21 allows the shear test tool 100 to move in the Z direction with very little friction. To.

図２に示す例は、剪断試験ツール１００をＺ方向に移動させるために一対の片持ちアーム２１を用いているが、他の弾性取付け装置、例えば圧縮ばねを用いてもよい。 The example shown in FIG. 2 uses a pair of cantilever arms 21 to move the shear test tool 100 in the Z direction, but other elastic attachment devices such as compression springs may be used.

クランプ支持ブロック２３がバックプレート２０に剛性的に固定されている。クランプ支持ブロック２３は、剪断ビーム本体２２の周りに延びるフード部分１１２と、例えばねじ（図示せず）によってバックプレート２０に取付けられたバックプレート部分１１４を有している。クランプ支持ブロック２３の一部分１１６は、剪断ビーム本体２２に対してバックプレート２０の反対側に位置決めされている。クランプ機構（後で説明する）がその作動位置にない場合、剪断ビーム本体２２及びかくして剪断試験ツール１００は、クランプ支持ブロック２３内で上下に自由に移動可能である。 The clamp support block 23 is rigidly fixed to the back plate 20. The clamp support block 23 has a hood portion 112 extending around the shear beam body 22 and a back plate portion 114 attached to the back plate 20 by, for example, screws (not shown). A portion 116 of the clamp support block 23 is positioned on the opposite side of the back plate 20 with respect to the shear beam body 22. When the clamping mechanism (described later) is not in its operating position, the shear beam body 22 and thus the shear test tool 100 are free to move up and down within the clamp support block 23.

カートリッジ１１は、剪断試験ツール１００の剪断試験ヘッド１０が基板に接触した時点を検出するための光学センサ２０２を有している。図６に最もよく示すように、光学センサ２０２は、クランプ支持ブロック２３内に支持されている。光学センサ２０２は、発光部２０４と受光部２０６を有している。発光部２０４は、クランプ支持ブロック２３に形成された孔２０８の中を通る光ビームを発射する。 The cartridge 11 has an optical sensor 202 for detecting when the shear test head 10 of the shear test tool 100 contacts the substrate. As best shown in FIG. 6, the optical sensor 202 is supported within the clamp support block 23. The optical sensor 202 includes a light emitting unit 204 and a light receiving unit 206. The light emitting unit 204 emits a light beam that passes through a hole 208 formed in the clamp support block 23.

タッチダウン調節ねじ１２０が、タッチダウンブロック１２２にねじ込まれている。タッチダウンブロック１２２は、図８に最もよく示すねじ１２４によって剪断ビーム本体２２に取付けられている。図６を参照すると、タッチダウン調節ねじ１２０は、スロット１３０（図６及び図７に示す）の中に突出し、タッチダウン調節ねじを下方にねじ込んでそれをスロット１３０の底面１３２に接触させることができ、それにより発光部２０４から発射された光ビームを遮断し、この光ビームが受光部２０６によって検出されることを阻止する。 A touchdown adjustment screw 120 is screwed into the touchdown block 122. Touchdown block 122 is attached to shear beam body 22 by screws 124 best shown in FIG. Referring to FIG. 6, the touchdown adjustment screw 120 protrudes into the slot 130 (shown in FIGS. 6 and 7), and the touchdown adjustment screw can be screwed down to contact the bottom surface 132 of the slot 130. Accordingly, the light beam emitted from the light emitting unit 204 is blocked, and the light beam is prevented from being detected by the light receiving unit 206.

このタッチダウン調節ねじ１２０を下方にねじ込んでそれを底面１３２に押付けるとき、タッチダウン調節ねじ１２０は、上向きの力を試験ツール１００に付与し、試験ツール１００を片持ちアーム２１の付勢力に抗して持上げる。剪断試験ツール１００がタッチダウン調節ねじ１２０によって持上げられる距離が長ければ長いほど、タッチダウン調節ねじ１２０をクランプ支持ブロック２３の底面１３２に押付ける片持ちアーム２１の力が大きくなる。 When the touchdown adjusting screw 120 is screwed downward and pressed against the bottom surface 132, the touchdown adjusting screw 120 applies an upward force to the test tool 100, and the test tool 100 is applied to the biasing force of the cantilever arm 21. Lift up against it. The longer the distance that the shear test tool 100 is lifted by the touchdown adjustment screw 120, the greater the force of the cantilever arm 21 that presses the touchdown adjustment screw 120 against the bottom surface 132 of the clamp support block 23.

剪断試験ツール１００を下方に移動させてそれを基板３００に接触させるとき、タッチダウン調節ねじ１２０の下端部は、それが発光部２０４からの光ビームをもはや遮断しない位置まで底面１３２から持上げられる。これにより、受光部２０６は、光ビームを検出し、それにより、剪断試験ツール１００が基板３００に接触したことを制御システム（後で説明する）に知らせる。 When the shear test tool 100 is moved downward to bring it into contact with the substrate 300, the lower end of the touchdown adjustment screw 120 is lifted from the bottom surface 132 to a position where it no longer blocks the light beam from the light emitter 204. Accordingly, the light receiving unit 206 detects the light beam, thereby notifying the control system (described later) that the shear test tool 100 has contacted the substrate 300.

タッチダウン調節ねじ１２０が底面１３２にほんの僅かしか接触していない場合、タッチダウン調節ねじ１２０の下端部を底面１３２から持上げるのに、ほんの僅かなタッチダウン力しか必要とされない。他方、タッチダウン調節ねじ１２０を下方にねじ込んでそれが大きな力で底面１３２に接触している場合、タッチダウン調節ねじ１２０の下端部を上昇させてそれを底面１３２と接触しないようにするのに、より大きいタッチダウン力が必要とされる。したがって、タッチダウン調節ねじ１２０をタッチダウンブロック１２２の中に下方にねじ込んでそれをクランプ支持ブロック２３の底面１３２に接触させる程度により、光学センサ２０２が剪断試験ツール１００と基板３００の接触を検出することを可能にするのに必要とされるタッチダウン力の大きさを決定する。 If the touchdown adjustment screw 120 is only in contact with the bottom surface 132, only a slight touchdown force is required to lift the lower end of the touchdown adjustment screw 120 from the bottom surface 132. On the other hand, if the touchdown adjustment screw 120 is screwed downward and is in contact with the bottom surface 132 with a large force, the lower end of the touchdown adjustment screw 120 is raised so that it does not contact the bottom surface 132. Greater touchdown force is required. Accordingly, the optical sensor 202 detects contact between the shear test tool 100 and the substrate 300 by the degree to which the touchdown adjustment screw 120 is screwed down into the touchdown block 122 and brought into contact with the bottom surface 132 of the clamp support block 23. Determine the amount of touchdown force needed to make it possible.

光学センサ２０２は、コンピュータ制御部４７（図９を参照して後で説明する）に接続され、コンピュータ制御部４７は、カートリッジ１１及び剪断試験ツール１００のための軸線方向駆動機構を制御し、且つ、Ｘ−Ｙテーブル１３の移動を制御する。バックプレート２０に対する剪断試験ツール１００の上方への移動が、上述したように受光部２０６による光ビームの検出によって検出されると、軸線方向駆動機構による装置本体１２に対するカートリッジ１１の下方への更なる移動が停止される。この時点で、試験ツール１００を基板３００に対して正確に位置決めすることができるように剪断試験ツール１００の更なる移動を阻止することが必要である。本発明のシステムは、いったん基板上への剪断試験ツール１００のタッチダウン（接触）を検出すると、剪断試験ツール１００をカートリッジバックプレート２０に対して適所に保持する一次クランプ機構（後で説明する）を使用する。 The optical sensor 202 is connected to a computer controller 47 (discussed later with reference to FIG. 9), which controls the axial drive mechanism for the cartridge 11 and the shear test tool 100, and The movement of the XY table 13 is controlled. When the upward movement of the shear test tool 100 with respect to the back plate 20 is detected by the detection of the light beam by the light receiving unit 206 as described above, the cartridge 11 is further moved downward with respect to the apparatus main body 12 by the axial drive mechanism. The movement is stopped. At this point, it is necessary to prevent further movement of the shear test tool 100 so that the test tool 100 can be accurately positioned relative to the substrate 300. The system of the present invention provides a primary clamping mechanism (described later) that holds the shear test tool 100 in place against the cartridge backplate 20 once it detects a touchdown of the shear test tool 100 on the substrate. Is used.

図３に示すように、剪断ビーム本体２２は、後側クランプねじ３０と前側クランプねじ３１との間に位置決めされている。後側クランプねじ３０へは、バックプレート２０の孔１４０を通して接近でき、後側クランプねじ３０は、クランプ支持ブロック２３のバックプレート部分１１４を貫いてねじ込まれる。前側クランプねじ３１は、クランプ支持ブロック２３のフード部分１１２の前部を貫いてねじ込まれる。前側クランプねじ３１及び後側クランプねじ３０は、セットアップ手順中、剪断ビーム本体２２が中立位置にあり且つそれに横方向の力が付加されていないときに調節可能である。中立位置において、前側クランプねじ３１及び後側クランプねじ３１は、それらがそれぞれ剪断ビーム本体２２及びツールホルダ２００と極めて軽く接触するまで試験ツール１００に向かって内方にねじ込まれ、それにより、片持ちアーム２１に支持された剪断試験ツール１００をクランプ支持ブロック２３に対してＺ方向に移動させるとき、摩擦をほとんど又は全く生じさせない。 As shown in FIG. 3, the shear beam main body 22 is positioned between the rear clamp screw 30 and the front clamp screw 31. The rear clamp screw 30 is accessible through the hole 140 in the back plate 20, and the rear clamp screw 30 is screwed through the back plate portion 114 of the clamp support block 23. The front clamp screw 31 is screwed through the front portion of the hood portion 112 of the clamp support block 23. The front clamp screw 31 and the rear clamp screw 30 are adjustable during the setup procedure when the shear beam body 22 is in a neutral position and no lateral force is applied thereto. In the neutral position, the front clamp screw 31 and the rear clamp screw 31 are screwed inward toward the test tool 100 until they come into very light contact with the shear beam body 22 and the tool holder 200, respectively, so that they cantilevered. When the shear test tool 100 supported by the arm 21 is moved in the Z direction with respect to the clamp support block 23, little or no friction is generated.

図７に最もよく示すように、クランプ又は一次クランプ用ピストン３３が、前側クランプねじ３１のちょうど反対側に位置決めされている。クランプ用ピストン３３は、クランプ支持ブロック２３のバックプレート１１４に設けられたチャンバ又は孔１４２の中に位置決めされている。圧縮空気が、図４に示す圧縮空気供給ライン１４４を通ってチャンバ１４２内に供給される。いったんチャンバ１４２内に供給された圧縮空気は、ピストン３３にドリル加工された交差ドリル孔１４６に入る。次いで、空気は、ボア１４８に入り、そしてピストン３３の後から出て、バックプレート２０内に形成されているバックチャンバ１５０を加圧する。バックチャンバ１５０は、Ｏリング１５２によってシールされ、その結果、チャンバ１４２，１５０内に取込まれた加圧空気は、ピストン３３を図７の左方に押して、ピストン３３を剪断ビーム本体２２に押付ける。加圧空気を取除くと、ピストン３３は、バックプレート１４の孔１４０内を自由に移動可能であるので、ピストン３３が剪断ビーム本体２２に付与する力はない。 As best shown in FIG. 7, a clamping or primary clamping piston 33 is positioned just opposite the front clamping screw 31. The clamping piston 33 is positioned in a chamber or hole 142 provided in the back plate 114 of the clamp support block 23. Compressed air is supplied into the chamber 142 through the compressed air supply line 144 shown in FIG. The compressed air once supplied into the chamber 142 enters the cross drill hole 146 drilled into the piston 33. The air then enters the bore 148 and exits after the piston 33 to pressurize the back chamber 150 formed in the back plate 20. The back chamber 150 is sealed by the O-ring 152. As a result, the pressurized air taken into the chambers 142 and 150 pushes the piston 33 to the left in FIG. wear. When the pressurized air is removed, the piston 33 can freely move in the hole 140 of the back plate 14, so there is no force that the piston 33 applies to the shear beam body 22.

かくして、ピストン３３は、剪断ビーム本体２２をクランプ留めする大きい力を剪断ビーム本体２２に付与しない休止位置と、剪断ビーム本体２２をクランプ留めする大きい力を剪断ビーム本体２２に付与し、それにより試験ツール１００をピストン３３と前側クランプねじ３１との間にクランプ留めする作動位置との間を移動するように作動可能である。クランプ用ピストン３３は、その作動位置にあるとき、剪断ビーム本体２２及び剪断ツール１００をクランプ支持ブロック２３及びバックプレート２０に対する固定位置に保持する。これにより、Ｚ方向の任意の移動を阻止し、その結果、片持ちアーム２１即ち剪断ツール１００の上での更なる移動は不可能である。クランプ用ピストンについて他の考えられる作動機構が存在する。クランプ用ビストンは、例えば、ソレノイド又はサーボモータによって作動されてもよい。 Thus, the piston 33 provides a rest position that does not apply a large force to the shear beam body 22 that clamps the shear beam body 22, and a large force that clamps the shear beam body 22 to the shear beam body 22, thereby testing. It is operable to move between an operating position in which the tool 100 is clamped between the piston 33 and the front clamping screw 31. When in the operating position, the clamping piston 33 holds the shear beam body 22 and the shearing tool 100 in a fixed position with respect to the clamp support block 23 and the back plate 20. This prevents any movement in the Z direction, so that no further movement on the cantilever arm 21 or shear tool 100 is possible. There are other possible actuation mechanisms for the clamping piston. The clamping viston may be actuated by, for example, a solenoid or a servo motor.

上述したように剪断ツール１００の試験ヘッド１０が下降して試験用の基板３００に触れたことを受光部２０６による光ビームの検出によって判定したときだけ、クランプ用ピストン３３は、作動位置に移動させられ、それにより、剪断ビーム本体２２及び剪断試験ツール１００の位置を固定する。クランプ用ピストン３３は、球状堆積物３０２を剪断ツール１００と係合させるように移動させるときに剪断ツール１００が移動することを阻止する最初のクランプ機構を剪断試験ツール１００に対して構成するので、クランプ用ピストン３３を一次クランプ機構と呼ぶことができる。しかしながら、以下に更に説明するように、剪断試験中に剪断ツール１００に作用する剪断力は、剪断ツール１００に作用するクランプ力を大きくする。 As described above, the clamping piston 33 is moved to the operating position only when it is determined by detecting the light beam by the light receiving unit 206 that the test head 10 of the shearing tool 100 is lowered and touches the test substrate 300. Thereby fixing the position of the shear beam body 22 and the shear test tool 100. The clamping piston 33 constitutes an initial clamping mechanism for the shear test tool 100 that prevents the shear tool 100 from moving when the spherical deposit 302 is moved into engagement with the shear tool 100. The clamping piston 33 can be called a primary clamping mechanism. However, as further described below, the shear force acting on the shear tool 100 during the shear test increases the clamping force acting on the shear tool 100.

剪断ツール１００は、タングステンカーバイド又はそれと同様の硬質で靱性のある材料から作られたクランプパッド３５を有し、クランプパッド３５は、前側クランプねじ３１、後側クランプねじ３０、及びクランプ用ピストン３３に対向するように位置決めされていることに注目すべきである。これにより、剪断試験ツール１００と前側クランプねじ３１、後側クランプねじ３０及びクランプ用ピストン３３の良好な接触を確保し、最小の摩耗しか生じず、システムは良好な再現性及び長い寿命を有する。同様に、前側クランプねじ３１及び後側クランプねじ３０は、硬化鋼で作られた接触面を有する。クランプ用ピストン３３の接触面は、円滑な作動を確保するために真鍮又はそれと類似した材料から作られ、硬化されていない。 The shear tool 100 has a clamp pad 35 made of tungsten carbide or similar hard and tough material, which is connected to the front clamp screw 31, the rear clamp screw 30, and the clamping piston 33. Note that they are positioned to face each other. This ensures good contact between the shear test tool 100 and the front clamp screw 31, the rear clamp screw 30 and the clamping piston 33 with minimal wear and the system has good reproducibility and long life. Similarly, the front clamp screw 31 and the rear clamp screw 30 have contact surfaces made of hardened steel. The contact surface of the clamping piston 33 is made of brass or similar material and is not hardened to ensure smooth operation.

いったんクランプ用ピストン３３が剪断試験ツール１００をバックプレート２０に対して移動できないようにしたら、剪断試験を実施する前に、カートリッジ１１を所定のステップオフ距離だけ基板からＺ方向に遠ざける。この手順は、この種の剪断試験ツールにおける標準であり、国際公開第２００５／１１４７２２号パンフレット（特許文献３）に詳細に説明されている。 Once the clamping piston 33 is prevented from moving the shear test tool 100 relative to the back plate 20, the cartridge 11 is moved away from the substrate in the Z direction by a predetermined step-off distance before performing the shear test. This procedure is the standard for this type of shear test tool and is described in detail in WO 2005/114722.

剪断試験中、試験用の物体は、試験方向の剪断力を剪断ツール１００の試験ツールヘッド１０に付与し、かかる試験方向は、試験用の物体と剪断試験ツール１００の剪断ツールヘッド１０との間の相対移動方向である。図３において、試験方向を矢印３６で示す。剪断試験ツール１００の試験ツールヘッド１０に付与された剪断力は、剪断試験ツール１００を前側クランプねじ３１及び後側クランプねじ３０に押付ける。それにより、剪断力の負荷は、片持ちアーム２１を介してではなく、クランプねじ３０，３１を介してバックプレート２０に伝達される。剪断力が大きければ大きいほど、クランプねじ３０，３１に付与される剪断力が大きくなる。この構成により、剪断試験中に片持ちアーム２１が受ける負荷を減少させる。かくして、剪断試験中、一次クランプ用ピストン３３が、剪断ツール１００を適所に最初にクランプ留めすると共に、剪断力自体が、試験ツール１００に作用するクランプ力を大きくする。 During the shear test, the test object applies a shear force in the test direction to the test tool head 10 of the shear tool 100 such that the test direction is between the test object and the shear tool head 10 of the shear test tool 100. Relative movement direction. In FIG. 3, the test direction is indicated by an arrow 36. The shear force applied to the test tool head 10 of the shear test tool 100 presses the shear test tool 100 against the front clamp screw 31 and the rear clamp screw 30. Thereby, the load of the shearing force is transmitted to the back plate 20 not via the cantilever arm 21 but via the clamp screws 30 and 31. The greater the shear force, the greater the shear force applied to the clamp screws 30, 31. This configuration reduces the load on the cantilever arm 21 during the shear test. Thus, during the shear test, the primary clamping piston 33 initially clamps the shear tool 100 in place and the shear force itself increases the clamping force acting on the test tool 100.

先行技術のカートリッジ組立体では、片持ちアーム２１は、試験中に受ける剪断力の大部分に耐えなければならなかった。このため、大きい試験負荷で剪断試験を実施するとき、頑丈で重厚な片持ちアームを必要としていた。片持ちアームが重厚であればあるほど、剪断試験の前のタッチダウン手順中に剪断試験ツール１００が基板３００に及ぼすタッチダウン力が大きくなる。しかしながら、本発明のクランプねじ装置であれば、片持ちアーム２１の負荷は最小であり、その結果、片持ちアームを比較的軽量に作ることができる。 In prior art cartridge assemblies, the cantilever arm 21 had to withstand most of the shear forces experienced during testing. For this reason, when carrying out a shear test with a large test load, a sturdy and heavy cantilever arm was required. The thicker the cantilever arm, the greater the touchdown force that the shear test tool 100 will exert on the substrate 300 during the touchdown procedure prior to the shear test. However, with the clamp screw device of the present invention, the load on the cantilever arm 21 is minimal, and as a result, the cantilever arm can be made relatively lightweight.

図９は、本発明による装置の制御要素の概略図である。本発明における移動部品は、Ｚ軸用モータ及びエンコーダ４１として示す軸線方向駆動機構、Ｘ−Ｙ平面内におけるステージテーブル１３の移動を生じさせるモータ４２、及び図示の実施形態では空気圧ピストンであるクランプ用ピストン４３である。これら装置の各々は、専用の移動制御電子機器４４によって制御され、移動制御電子機器は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）４５に接続されている。ＰＣ４５はまた、基板３００上の剪断試験ツール１００のタッチダウンを指示する信号を光学センサ２０２から受取る。光学センサ２０２は、ボックス４６として図示され、この光学センサ２０２も、タッチダウン電子機器４７と呼ばれる専用のコントローラを有している。移動制御電子機器４４とタッチダウン電子機器４７との間には、直接的な接続がある。これにより、素早い信号応答を可能にし、軸線方向駆動機構が可能な限り最も早い時間で停止することを確保し、余分な移動及びそれと関連した「重い」タッチダウンを阻止する。 FIG. 9 is a schematic diagram of the control elements of the device according to the invention. The moving parts in the present invention include a Z-axis motor and an axial drive mechanism shown as an encoder 41, a motor 42 that causes the stage table 13 to move in the XY plane, and a clamp that is a pneumatic piston in the illustrated embodiment. Piston 43. Each of these devices is controlled by a dedicated movement control electronic device 44, and the movement control electronic device is connected to a personal computer (PC) 45. The PC 45 also receives a signal from the optical sensor 202 that indicates a touchdown of the shear test tool 100 on the substrate 300. The optical sensor 202 is illustrated as a box 46, which also has a dedicated controller called touchdown electronics 47. There is a direct connection between the movement control electronics 44 and the touchdown electronics 47. This allows for a quick signal response, ensures that the axial drive stops at the earliest possible time, and prevents extra movement and the associated “heavy” touchdown.

図１０は、本発明による装置を用いて断試験をセットアップしてそれを実施する際に行うステップを示す。第１のステップ５０５において、カートリッジ２０及び剪断試験ツール１００を下方に移動させ、剪断試験ヘッド１０を基板３００に接触させる。ステップ５１０において、上述したように受光部２０６による光ビームの検出によって、基板３００の表面上への剪断試験ヘッド１０のタッチダウンを検出する。タッチダウンを検出したら、ステップ５１５において、剪断カートリッジ１１を基板３００に向かって移動させるＺ軸用モータの作動を停止させる。ステップ５２０において、圧縮空気をチャンバ１４２，１５０に供給して、一次クランプ用ピストン３３をその作動位置に移動させ、それを剪断ビーム本体２２に強制的に接触させ、剪断試験ツール１００をバックプレート２０に対して移動できないようにする。ステップ５２５において、剪断試験に備えて、カートリッジを基板から所定のステップオフ距離だけ遠ざける。ステップ５３０において、テーブル１３及びそれに取付けられている基板３００を移動させることによって、剪断試験を開始すると、基板３００上の球状堆積物３０２が試験ツールヘッド１０に接触し、球状堆積物３０２が基板３００から剪断される。 FIG. 10 shows the steps performed in setting up and performing a break test using the apparatus according to the invention. In a first step 505, the cartridge 20 and shear test tool 100 are moved downward to bring the shear test head 10 into contact with the substrate 300. In step 510, the touchdown of the shear test head 10 on the surface of the substrate 300 is detected by detecting the light beam by the light receiving unit 206 as described above. When the touch-down is detected, in step 515, the operation of the Z-axis motor that moves the shear cartridge 11 toward the substrate 300 is stopped. In step 520, compressed air is supplied to the chambers 142, 150 to move the primary clamping piston 33 to its operating position, forcing it into contact with the shear beam body 22, and the shear test tool 100 to the backplate 20. It cannot be moved against. In step 525, the cartridge is moved away from the substrate by a predetermined step-off distance in preparation for the shear test. In step 530, when the shear test is initiated by moving the table 13 and the substrate 300 attached thereto, the spherical deposit 302 on the substrate 300 contacts the test tool head 10 and the spherical deposit 302 is transferred to the substrate 300. Is sheared from.

剪断試験中、ステップ５３５において、試験ヘッド１０が球状堆積物３０２を基板３００から剪断しているときに荷重又は力を剪断試験ヘッド１０に付与する。この剪断力は、好ましくは、歪ゲージによってピックアップされる。図５に最もよく示すように、好ましい１つの実施形態では、４つの歪ゲージ１６０ａ，１６０ｂ，１６０ｃ，１６０ｄがツールホルダ２００に結合されている。カバー１６５が歪ゲージ１６０ａ〜１６０ｄを保護する。歪ゲージ１６０ａ，１６０ｂは、剪断試験中に基板３００から剪断される球状堆積物３０２に面するツールホルダ２００の前側に位置している。歪ゲージ１６０ｃ，１６０ｃは、ツールホルダ２００の反対側、すなわち、後側に位置している。 During the shear test, at step 535, a load or force is applied to the shear test head 10 as the test head 10 is shearing the spherical deposit 302 from the substrate 300. This shear force is preferably picked up by a strain gauge. As best shown in FIG. 5, in one preferred embodiment, four strain gauges 160 a, 160 b, 160 c, 160 d are coupled to the tool holder 200. The cover 165 protects the strain gauges 160a to 160d. The strain gauges 160a, 160b are located on the front side of the tool holder 200 facing the spherical deposit 302 that is sheared from the substrate 300 during the shear test. The strain gauges 160c and 160c are located on the opposite side of the tool holder 200, that is, on the rear side.

歪ゲージ１６０ａ〜１６０ｄは、ワイヤ（図示せず）によって電気回路、例えば図１１に概略的に示す全波ブリッジ回路１２０に接続されている。既知のように、全波ブリッジ回路は、歪ゲージ１６０ａ〜１６０ｄの歪により生じた電気信号を力測定値に変換し、かかる力測定値は、球状堆積物３０２を基板３００から剪断するのに必要とされる力を指示する。 The strain gauges 160a to 160d are connected to an electric circuit, for example, a full-wave bridge circuit 120 schematically shown in FIG. 11, by wires (not shown). As is known, the full wave bridge circuit converts electrical signals generated by strain gauges 160a-160d into force measurements that are required to shear the spherical deposit 302 from the substrate 300. Instruct the force to be taken.

変形例として、上述した国際公開第２００７／０９３７９９（Ａ１）号パンフレット（特許文献１）において説明されているように、剪断ツールに取付けられた圧電結晶によって剪断力を検出してもよい。ステップ５４０において示すように、球状堆積物３０２を剪断ツール１００に対して移動させているときにいずれかの力検出技術を用いると、前側クランプねじ３１及び後側クランプねじ３０は、上述したように、剪断ツール１００に加わる剪断作用を一段と促進する。 As a modification, the shearing force may be detected by a piezoelectric crystal attached to a shearing tool as described in the above-mentioned International Publication No. 2007/093799 (A1) pamphlet (Patent Document 1). As shown in step 540, when any force sensing technique is used while moving the spherical deposit 302 relative to the shear tool 100, the front clamp screw 31 and the rear clamp screw 30 are as described above. The shearing action applied to the shearing tool 100 is further promoted.

ステップ５４５において、剪断試験を終了し、剪断試験ツール１００を基板３００から遠ざけ、ステップ５５０において、開始位置に戻す。ステップ５５５において、チャンバ１４２，１５０から空気圧を取除くことにより、クランプ用ピストン３３を作動停止させ、ピストン３３がその休止位置を取る。これにより、剪断試験ツール１００を片持ちアーム２１で支持した状態で駆動機構によってＺ軸線方向に移動させることができる。ステップ５６０において、同一の方法ステップをステップ５６５で示すように再び実施することにより、繰返してもよい。 In step 545, the shear test is terminated and the shear test tool 100 is moved away from the substrate 300 and in step 550, the shear test tool 100 is returned to the starting position. In step 555, the clamping piston 33 is deactivated by removing the air pressure from the chambers 142, 150, and the piston 33 assumes its rest position. As a result, the shear test tool 100 can be moved in the Z-axis direction by the drive mechanism while being supported by the cantilever arm 21. In step 560, the same method steps may be repeated by performing again as shown in step 565.

かくして、本発明によるシステムにより、剪断ツール１００は、試験用の基板に比較的小さく且つ調節可能なタッチダウン力でタッチダウンすることを可能にする。この小さいタッチダウン力は、上述した理由で必要とされる片持ちアーム２１の比較的小さい質量による。また、このシステムにより、試験ツール１００をカートリッジ１１に対して固定することができ、その結果、試験ツール１００の垂直方向位置を正確に制御することを可能にする。これは、正確且つ再現可能な剪断試験にとって重要である。剪断試験ツール１００が受ける剪断負荷は、片持ちアームを介してではなく、上述のクランプ装置を介してバックプレート２０に伝達されるので、異なる荷重試験について異なるカートリッジ組立体を備えておく必要はない。 Thus, the system according to the present invention allows the shear tool 100 to touch down to a test substrate with a relatively small and adjustable touchdown force. This small touchdown force is due to the relatively small mass of the cantilever arm 21 that is required for the reasons described above. This system also allows the test tool 100 to be fixed with respect to the cartridge 11 so that the vertical position of the test tool 100 can be accurately controlled. This is important for accurate and reproducible shear tests. Since the shear load experienced by the shear test tool 100 is transmitted to the back plate 20 not via the cantilever arm but via the clamping device described above, it is not necessary to have different cartridge assemblies for different load tests. .

〔本発明の好ましい観点を記載した実施形態〕
１．結合部と電子基板との間の取付け強度を試験するための剪断試験装置であって、前記基板が取付けられたＸ−Ｙテーブルと、試験ツールと、前記Ｘ−Ｙテーブルと前記試験ツールとの間の試験方向の相対移動を行う駆動機構と、ベースプレートと、を有し、前記試験ツールは、弾性コネクタによって前記ベースプレートに取付けられ、前記弾性コネクタは、前記ベースプレートに対する前記試験ツールの、前記試験方向と垂直な軸線方向の移動を可能し、更に、前記ベースプレートに対して剛性的に固定され且つ前記試験ツールと接触する少なくとも１つの当接部と、前記ベースプレートに対して剛性的に固定されたクランプ装置と、を有し、前記クランプ装置は、前記クランプ装置が前記試験ツールに押付けられない休止位置と、前記試験ツールを前記ベースプレートに対して前記軸線方向の適所に固定された状態に維持するように前記クランプ装置が前記試験ツールに押付けられる作動位置との間を移動可能であり、前記駆動機構が、剪断試験中、前記Ｘ−Ｙテーブルと前記試験ツールとの間の前記試験方向の相対移動を行って、前記試験ツールにより前記結合部を前記電子基板から剪断させるとき、前記少なくとも１つの当接部は、追加のクランプ力を前記試験ツールに付与する、剪断試験装置。 [Embodiments describing preferred aspects of the invention]
1. A shear test apparatus for testing a mounting strength between a coupling portion and an electronic board, comprising: an XY table to which the board is attached; a test tool; and the XY table and the test tool. And a base plate, the test tool being attached to the base plate by an elastic connector, the elastic connector being the test direction of the test tool relative to the base plate At least one abutting portion rigidly fixed to the base plate and in contact with the test tool, and a clamp rigidly fixed to the base plate A clamping position, the resting position where the clamping device is not pressed against the test tool, and the test A clamping device is movable between an operating position where it is pressed against the test tool so as to keep the tool fixed in place in the axial direction with respect to the base plate, During the test, when the relative movement in the test direction between the XY table and the test tool is performed and the coupling part is sheared from the electronic substrate by the test tool, the at least one contact part is A shear test device for applying an additional clamping force to the test tool.

２．前記クランプ装置は、前記作動位置において前記試験ツールに押付けられる単一の要素を有する、実施形態１に記載の剪断試験装置。
３．前記クランプ装置が前記作動位置にあるとき、前記試験ツールは、前記クランプ装置と前記少なくとも１つの当接部の間に保持される、実施形態又は２に記載の剪断試験装置。
４．前記少なくとも１つの当接部は、前記ベースプレートに対して適所に剛性的に固定された第１の当接部及び第２の当接部を含む、実施形態１〜３のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
５．前記第１の当接部と前記第２の当接部は、前記軸線方向において互いに間隔を置いた関係をなして位置決めされる、実施形態４に記載の剪断試験装置。 2. The shear test apparatus of embodiment 1, wherein the clamp apparatus has a single element that is pressed against the test tool in the operating position.
3. The shear test apparatus of embodiment or 2, wherein the test tool is held between the clamp apparatus and the at least one abutment when the clamp apparatus is in the operating position.
4). The at least one abutting portion includes any one of Embodiments 1 to 3, including a first abutting portion and a second abutting portion that are rigidly fixed in place to the base plate. Shear test equipment.
5. The shear test apparatus according to the fourth embodiment, wherein the first contact portion and the second contact portion are positioned in a mutually spaced relationship in the axial direction.

６．前記第１の当接部と前記第２の当接部は、前記試験ツールの互いに反対側に配置される、実施形態項４又は５に記載の剪断試験装置。
７．前記剪断試験中、前記駆動機構が前記Ｘ−Ｙテーブルと前記試験ツールとの間の前記試験方向の相対移動を行い、前記試験ツールにより前記結合部を前記基板から剪断させるとき、前記第１の当接部及び前記第２の当接部は、追加のクランプ力を前記試験ツールに付与する、実施形態４〜６のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
８．前記駆動機構は、試験方向軸線に沿った試験方向の前記相対移動を行い、前記第１の当接部及び／又は前記第２の当接部の位置は、前記試験方向軸線と平行な１又は２以上の軸線に沿って調節可能である、実施形態４〜７のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
９．前記クランプ装置は、前記休止位置と前記作動位置との間を空気圧機構によって移動可能である、実施形態１〜８のいずれか１項に記載の剪断試験装置。 6). The shear test apparatus according to embodiment 4 or 5, wherein the first contact portion and the second contact portion are arranged on opposite sides of the test tool.
7). During the shear test, the driving mechanism performs a relative movement in the test direction between the XY table and the test tool, and the test tool shears the coupling portion from the substrate. 7. The shear test device according to any one of embodiments 4 to 6, wherein the contact portion and the second contact portion impart an additional clamping force to the test tool.
8). The drive mechanism performs the relative movement in the test direction along the test direction axis, and the position of the first contact portion and / or the second contact portion is 1 or parallel to the test direction axis. The shear test apparatus of any one of embodiments 4-7, wherein the apparatus is adjustable along two or more axes.
9. The shear test apparatus according to any one of Embodiments 1 to 8, wherein the clamp apparatus is movable between the rest position and the operating position by a pneumatic mechanism.

１０．前記クランプ装置は、空気圧作動式ピストンである、実施形態９に記載の剪断試験装置。
１１．前記弾性コネクタは、一対の片持ちアームを有し、その一方の端部が前記ベースプレートに固定され、その一方の側の反対側の端部が前記試験ツールを支持する、実施形態１〜１０のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
１２．前記剪断試験装置は、更に、前記ベースプレートに対する前記試験ツールの前記軸線方向の移動が検出されたときに信号を発生させるように構成されたセンサと、前記センサと前記クランプ装置に接続された制御装置とを有し、前記制御装置は、前記センサからの信号に応答して前記クランプ装置を前記作動位置に移動させるように構成される、実施形態１〜１１のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
１３．前記試験ツールは、前記ベースプレートに対して適所に固定されたクランプ支持ブロック内に受入れられる、実施形態１〜１２のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
１４．前記少なくとも１つの当接部は、前記クランプ支持ブロックに取付けられ、前記クランプ装置は、前記クランプ支持ブロック内に配置される、実施形態１３に記載の剪断試験装置。 10. The shear test device of embodiment 9, wherein the clamping device is a pneumatically actuated piston.
11. The elastic connector has a pair of cantilever arms, one end of which is fixed to the base plate, and the opposite end of one side supports the test tool. The shear test apparatus according to any one of claims.
12 The shear test device further includes a sensor configured to generate a signal when the axial movement of the test tool relative to the base plate is detected, and a control device connected to the sensor and the clamp device 12. The shear test of any one of embodiments 1-11, wherein the control device is configured to move the clamping device to the operating position in response to a signal from the sensor. apparatus.
13. Embodiment 13. The shear test apparatus of any one of embodiments 1-12, wherein the test tool is received in a clamp support block that is fixed in place relative to the base plate.
14 14. The shear test device of embodiment 13, wherein the at least one abutment is attached to the clamp support block, and the clamp device is disposed within the clamp support block.

１５．前記クランプ装置は、前記クランプ支持ブロック内に配置された空気圧作動式ピストンである、実施形態１３又は１４に記載の剪断試験装置。
１６．前記剪断試験ツールは、剪断ビーム本体に取付けられたツールホルダ及び前記ツールホルダに固定された試験ヘッドを有する、実施形態１〜１５のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
１７．更に、前記試験ツールに取付けられたタッチダウンブロックと、前記タッチダウンブロックにねじ込まれたタッチダウンねじと、発光部と、受光部と、を有し、前記タッチダウンねじの端部は、前記発光部と前記受光部との間に位置決めされ、前記試験ツールは、前記ベースプレートに対して適所に固定されたクランプ支持ブロック内に受入れられ、前記発光部と前記受光部は、前記タッチダウンねじの互いに反対側で前記クランプ支持ブロック内に配置される、実施形態１〜１６のいずれか１項に記載の剪断試験装置。
１８．前記試験ツールは、前記ベースプレートに対して適所に固定されたクランプ支持ブロック内に受入れられ、前記発光体と前記受光体は、前記タッチダウンねじの互いに反対側で前記クランプ支持ブロック内に設けられる、実施形態１７に記載の剪断試験装置。
１９．前記結合部は、前記基板に結合されたはんだの球状堆積物である、実施形態１〜１８のいずれか１項に記載の剪断試験装置。 15. 15. The shear test device according to embodiment 13 or 14, wherein the clamping device is a pneumatically actuated piston disposed within the clamp support block.
16. 16. The shear test apparatus according to any one of embodiments 1 to 15, wherein the shear test tool has a tool holder attached to a shear beam main body and a test head fixed to the tool holder.
17. The touch-down block attached to the test tool, a touch-down screw screwed into the touch-down block, a light emitting unit, and a light receiving unit, and an end of the touch down screw has the light emission The test tool is received in a clamp support block fixed in place with respect to the base plate, and the light emitting unit and the light receiving unit are connected to each other of the touchdown screw. 17. The shear test device of any one of embodiments 1-16, disposed on the opposite side within the clamp support block.
18. The test tool is received in a clamp support block fixed in place with respect to the base plate, and the light emitter and the light receiver are provided in the clamp support block on opposite sides of the touchdown screw, The shear test device according to embodiment 17.
19. The shear test apparatus according to any one of Embodiments 1 to 18, wherein the joint is a spherical deposit of solder joined to the substrate.

２０．実施形態１〜１９のいずれか１項に記載の剪断試験装置を用いて結合部と電子基板との間の取付け強度を試験する方法であって、前記試験ツールを前記基板から軸線方向に所定の距離だけ離れたところに位置決めするステップと、前記試験ツールと前記結合部の間の試験方向の相対移動を行い、前記試験ツールにより、前記結合部を前記基板から剪断させるステップと、前記結合部が前記試験ツールに付与する力により、前記剪断試験装置の前記少なくとも１つの当接部がクランプ力を前記試験ツールに付与し、前記結合部により、前記試験ツールに付与された力を記録するステップを有する、方法。 20. A method for testing the mounting strength between a coupling portion and an electronic board using the shear test apparatus according to any one of Embodiments 1 to 19, wherein the test tool is set in a predetermined axial direction from the board. Positioning at a distance, performing a relative movement in a test direction between the test tool and the joint, and shearing the joint from the substrate by the test tool; and The step of applying the clamping force to the test tool by the at least one abutting portion of the shear test device by the force applied to the test tool, and recording the force applied to the test tool by the coupling portion. Having a method.

２１．前記試験ツールを位置決めする前記ステップは、前記試験ツールを前記基板に向かって前記軸線方向に移動させるステップと、前記試験ツールと前記基板の接触を検出するステップと、前記接触が検出されると、前記試験ツールの前記軸線方向の移動を停止させるステップと、を含む実施形態２０に記載の方法。
２２．更に、前記停止ステップに続いて、前記試験ツールをクランプ留めして、前記試験ツールの位置を前記ベースプレートに対して固定するステップを有する、実施形態２１に記載の方法。
２３．更に、前記クランプ留めステップに続いて、前記試験ツール及び前記ベースプレートを前記基板から所定の距離だけ遠ざけるステップを有する、実施形態２２に記載の方法。
２４．更に、前記記録ステップに続いて、前記試験ツールを前記ベースプレートに対してクランプ解除するステップを有する、実施形態２２又は２３に記載の方法。 21. The step of positioning the test tool comprises: moving the test tool toward the substrate in the axial direction; detecting contact between the test tool and the substrate; and detecting the contact; 21. The method of embodiment 20, comprising stopping the axial movement of the test tool.
22. 22. The method of embodiment 21, further comprising the step of clamping the test tool to fix the position of the test tool relative to the base plate following the stopping step.
23. 23. The method of embodiment 22, further comprising the step of moving the test tool and the base plate away from the substrate by a predetermined distance following the clamping step.
24. 24. The method of embodiment 22 or 23, further comprising the step of unclamping the test tool relative to the base plate following the recording step.

１０試験ヘッド
１１カートリッジ
１２剪断試験装置
１３ステージデーブル(Ｘ−Ｙテーブル)
２０バックプレート（ベースプレート）
２１片持ち支持アーム（弾性コネクタ）
２３クランプ支持ブロック
３０後側クランプねじ（当接部）
３１前側クランプねじ（当接部）
３３クランプ用ピストン（クランプ装置；単一の要素）
３６試験方向
４３一次クランプ用ピストン（クランプ装置）
４４タッチダウン用電子機器
４６タッチダウンセンサ（センサ）
４７移動制御用電子機器
１００剪断試験ツール（試験ツール）
１２０タッチダウン調節ねじ（タッチダウンねじ）
１２２タッチダウンブロック
２０２光学センサ（センサ）
２０４発光部
２０６受光部
３００基板（電子基板）
３０２球状堆積物（結合部） 10 Test head 11 Cartridge 12 Shear test device 13 Stage table (XY table)
20 Back plate (base plate)
21 Cantilevered support arm (elastic connector)
23 Clamp support block 30 Rear clamp screw (contact part)
31 Front clamp screw (contact part)
33 Clamping piston (clamping device; single element)
36 Test direction 43 Primary clamping piston (clamping device)
44 Electronic equipment for touchdown 46 Touchdown sensor (sensor)
47 Electronic equipment 100 for movement control Shear test tool (test tool)
120 Touchdown adjustment screw (Touchdown screw)
122 Touchdown block 202 Optical sensor (sensor)
204 Light Emitting Unit 206 Light Receiving Unit 300 Substrate (Electronic Substrate)
302 Spherical deposit (joint)

Claims

A shear test device for testing the mounting strength between a joint and an electronic substrate,
An XY table to which the substrate is attached;
Testing tools,
A drive mechanism that performs relative movement in the test direction between the XY table and the test tool; and a base plate, and the test tool is attached to the base plate by an elastic connector, Allowing movement of the test tool relative to the base plate in an axial direction perpendicular to the test direction;
A first contact portion and a second contact portion that are rigidly fixed to the base plate , are spaced apart from each other in the test direction, and are in contact with the test tool;
A clamping device rigidly fixed to the base plate,
The clamping device is configured so that the clamping device maintains the rest position where the clamping device is not pressed against the test tool, and the test tool is fixed in place in the axial direction with respect to the base plate. It can move between operating positions pressed against the tool,
When the clamping device is in the operating position, the test tool is clamped between the clamping device and the first abutment in the test direction;
The clamping device is in the operating position, and the drive mechanism performs a relative movement in the test direction between the XY table and the test tool during the shear test, and the test tool performs the relative movement in the test direction. The shear test apparatus, wherein when the coupling portion is sheared from the electronic substrate, the first contact portion and the second contact portion apply an additional clamping force to the test tool.

The shear testing device of claim 1, wherein the clamping device has a single element that is pressed against the test tool in the operating position.

3. The shear test apparatus according to claim 1, wherein the first contact portion and the second contact portion are positioned at a distance from each other in the axial direction.

The shear test apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the first contact portion and the second contact portion are disposed on opposite sides of the test tool.

The drive mechanism performs the relative movement in the test direction along the test direction axis, and the position of the first contact portion and / or the second contact portion is 1 or parallel to the test direction axis. The shear test apparatus according to claim 1, wherein the shear test apparatus is adjustable along two or more axes.

The shear test device according to claim 1 , wherein the clamp device is movable between the rest position and the operating position by a pneumatic mechanism.

The shear test device according to claim 6, wherein the clamping device is a pneumatically operated piston.

The shear test device further includes a sensor configured to generate a signal when the axial movement of the test tool relative to the base plate is detected, and a control device connected to the sensor and the clamp device And
The shear test device according to claim 1 , wherein the control device is configured to move the clamp device to the operating position in response to a signal from the sensor.

The shear test apparatus according to claim 1 , wherein the test tool is received in a clamp support block that is fixed in place relative to the base plate.

The shear test apparatus according to claim 9, wherein the at least one abutting portion is attached to the clamp support block, and the clamp apparatus is disposed in the clamp support block.

11. The shear test device according to claim 9 or 10, wherein the clamp device is a pneumatically operated piston disposed in the clamp support block.

A touchdown block attached to the test tool;
A touchdown screw screwed into the touchdown block;
A light emitting unit;
A light receiving portion,
An end of the touchdown screw is positioned between the light emitting unit and the light receiving unit,
The test tool is received in a clamp support block fixed in place relative to the base plate;
The light emitting unit and the light receiving unit are disposed in the clamp support block on opposite sides of the touchdown screw,
The shear test apparatus according to any one of claims 1 to 11 .

The shear test apparatus according to claim 1, wherein each of the first contact portion and the second contact portion further includes a first clamp screw and a second clamp screw.

Each of the first contact portion and the second contact portion further includes a front clamp screw and a rear clamp screw, and the test tool is disposed between the front clamp screw and the rear clamp screw. The shear test apparatus according to claim 1.