JP5586877B2 - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、原版のパターンを投影して基板を露光する露光装置に関するものである。

従来の露光装置においては、ジョブ切り換えによりレチクルを交換する場合、レチクルステージからレチクルを搬出し、レチクル搬入搬出口またはレチクルライブラリへ回収する。さらに、これと同時に、レチクル搬入搬出口またはレチクルライブラリからレチクルステージへレチクルを搬入していた。

また、特開平５−５５１０３号公報（特許文献１）では、次ジョブ（次ロット）で使用するレチクルが予め分かっている場合、そのレチクルをジョブ切り換えに先立ってレチクルステージの近傍に設けられたレチクル待機部に搬入しておく方法が提案されている。これにより、ジョブ切り換えを速やかに行って、スループットを向上させる。
一方、特開２０００−３２３３９１号公報（特許文献２）では、ジョブキューテーブル（キューは待ち行列）の情報に従って、次ジョブ以降の複数のレチクルをレチクルステージの近傍に設けられた複数のレチクル待機部に予め搬入しておく方法が提案されている。

特開平５−５５１０３号公報 特開２０００−３２３３９１号公報

ジョブキューテーブルを有する露光装置において、スループットをさらに向上させるために、次ジョブ以降のレチクルの待機部として装置内の待機部全てを使用する場合、以下の課題がある。

ジョブ順番を常に最優先して露光装置内のレチクル待機部を使用する方式では、装置内に具備されるペリクル異物検査装置（以下ＰＰＣ）の検査ステージについても待機部として使用する場合がある。そして、キューイングされているジョブとは無関係なレチクルに対してＰＰＣを使用してレチクル上の異物付着状態を検査する場合がある。
この場合、（１）ＰＰＣの検査ステージ上に配置されているレチクルを別の待機部に退避させる必要がある。例えば、ＰＰＣの検査ステージ上にあるレチクルをレチクル回収位置（レチクルライブラリ等）に一旦回収した後、異物検査を行いたいレチクルをＰＰＣの検査ステージ上に配置する必要がある。このため、必要以上に異物検査に時間が掛かり、異物検査ができないおそれがある。
また、（２）次ロット以降のジョブとは無関係なレチクルがＰＰＣの検査ステージ上で異物検査されている間、次ジョブのレチクルがレチクル回収位置に存在するため、次ジョブの処理開始までに時間が掛かってしまう。

同様に、露光装置内に具備されるレチクル固体識別情報読み取り装置のステージを待機部として使用した場合において、キューイングされているジョブとは無関係なレチクルに対してレチクル固体識別情報読み取り装置を使用してレチクル情報の読み取りを行うことがある。
この場合、（１）レチクル固体識別情報読み取り装置のステージ上に配置されているレチクルを別の待機部に退避させる必要がある。例えば、レチクル固体識別情報読み取り装置のステージ上にあるレチクルをレチクル回収位置（レチクルライブラリ）に一旦回収した後、レチクル情報の読み取りを行いたいレチクルをレチクル固体識別情報読み取り装置のステージ上に配置する必要がある。このため、必要以上にレチクル情報の読み取りに時間が掛かり、レチクル情報の読み取りができないおそれがある。
また、（２）次ロット以降のジョブとは無関係なレチクルがレチクル固体識別情報読み取り装置のステージ上でレチクル情報の読み取り処理がされている間、次ジョブのレチクルがレチクル回収位置に存在するため、次ジョブの処理開始までに時間が掛かる。

ＰＰＣの検査ステージやレチクル固体識別情報読み取り装置のステージを、後続ジョブのレチクル待機部として常に使用すると以下のようになる。すなわち、後続ジョブとは無関係なレチクルに対してＰＰＣを使用して異物状況を確認する際やレチクル情報の読み取りを行う際に時間が掛かり、スループットが低下してしまう。
そこで、本発明は、例えば、スループットの点で有利な露光装置を提供することを目的とする。

本発明の露光装置は、待ち行列中のジョブの情報に含まれる原版の情報に従って、原版を介して基板を露光する露光装置であって、
前記原版を保持し且つ移動される原版ステージと、
前記原版を待機させるのに使用可能な複数の待機部と、
前記原版ステージに前記原版を搬送する搬送手段と、
前記原版を待機させる待機部としての使用可否を前記複数の待機部のそれぞれに関して選択する選択手段と、
前記選択手段により使用可として選択された待機部に前記ジョブの情報に従って原版を待機させるよう、かつ前記選択手段により使用不可として選択された待機部をその他の待機部にある原版の退避場所とするよう、前記搬送手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置である。

さらに、本発明の原版搬送方法は、待ち行列中のジョブの情報に含まれる原版の情報に従って原版を介し基板を露光する装置に適用される原版搬送方法であって、
原版を待機させる待機部としての使用可否を、原版ステージに搬送されるべき原版を待機させるのに使用可能な複数の待機部のそれぞれに関して選択し、
前記選択により使用可として選択された待機部に前記ジョブの情報に従って原版を待機させるよう、かつ前記選択により使用不可として選択された待機部をその他の待機部にある原版の退避場所とするよう、該原版を搬送する、
ことを特徴とする原版搬送方法である。

本発明によれば、例えば、スループットの点で有利な露光装置を提供することができる。

本発明の一実施例に係る露光装置の概略図である。 図1の露光装置内のレチクル搬送に関連するユニットについての概略の構成図である。 端末上に表示される、レチクルを配置可能な位置をレチクル待機部として使用するかどうかを設定可能な画面を示す図である。 ＰＰＣのステージをレチクル待機部として使用する場合と、使用しない場合において、表２のジョブキューテーブルに従い、ロット処理およびレチクル配置・搬送に掛かる時間の例を示す図である。 ジョブ実行と関係の無いレチクルをペリクル異物検査する場合において、レチクル待機部としてＰＰＣのステージを使用する場合のレチクル搬送の制御フローを示す図である。 図５の制御フローを開始する前のレチクル待機状態を示す図である。 ジョブ実行と関係の無いレチクルをペリクル異物検査する時に、レチクル待機部としてＰＰＣのステージを使用しない場合のレチクル搬送の制御フローを示す図である。 図７の制御フローを開始する前のレチクル待機状態を示す図である。 図５および図７の制御フローにおいてジョブ実行と無関係なレチクルをペリクル異物検査する時の異物検査およびレチクル搬送処理に掛かる時間の例を示す図である。 ＰＰＣのステージを待機部として使用する場合と使用しない場合において、表２のジョブキューテーブルに従い、ジョブを実行している途中で、次ロット以降のロット処理に使用しないレチクルを異物検査した場合での、ジョブおよびレチクル搬送・その他の処理のそれぞれ掛かる時間の例を示す図である。 ＲＢＣＲを待機部として使用せず、表２のジョブキューテーブルに従いジョブを実行している途中で、次ロット以降のロット処理に使用しないレチクルを異物検査した場合での、ジョブおよびレチクル搬送・その他の処理のそれぞれ掛かる時間の例を示す図である。 ＰＰＣのステージを待機部として使用する際に、ＰＰＣ実行ボタンを押下不可にする、もしくは、異物検査処理を実行しようとした際に警告を出すときのフローを示す図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
図１は、本発明の一実施例の露光装置の概略構成図である。本実施例の露光装置は、待ち行列中のジョブの情報に含まれる原版であるレチクル２の情報に従って、レチクル２を介して基板であるウエハ９を露光する装置である。照明装置１は、光源とシャッタとを有し、原版ステージであるレチクルステージ３は、回路パターンが描かれたレチクル２を保持し且つ移動されるステージである。レチクル位置計測機構４は、レチクルステージ３上のレチクル２の位置を計測する機構で、焼付け用の投影光学系５は、回路パターンを基板であるウエハ９に投影する光学系である。基板ステージを構成するＸＹステージ６は、焼付け対象のウエハ８を載せてＸＹ平面内でＸおよびＹの２方向に移動するステージで、レーザー干渉計７は、ＸＹステージ６の位置を計測する手段である。基板ステージを構成するウエハＺステージ８は、ウエハ９を載せ露光時のピントを調節する（フォーカシングする）ためにウエハ９を垂直方向に移動させるステージで、オートフォーカスユニット１０は、ウエハ９のピント位置を計測する手段である。

図２は、本実施例の露光装置内のレチクル搬送手段に関連する構成要素についての概略構成図である。
露光装置チャンバー１１には、外部からレチクルの出し入れを可能とするレチクル搬入搬出口１８が設けられている。オペレータは、このレチクル搬入搬出口１８よりレチクルをレチクルカセットに入れた状態で露光装置内に挿入する。
搬送手段であるカセットロボット１３あるいはレチクル搬送ロボット１６は、レチクル２を待機させる待機部を有し、レチクルステージ３にレチクル２を搬送する搬送手段である。
この待機部は、ＰＰＣ１７で異物が検出されなかったレチクル２が、当該検査の後、再度の検査を経ることなくレチクルステージ３に保持され、ウエハ８の露光に使用されるまで待機する場所である。従って、当該待機部には、露光に使用されたレチクル２が、ライブラリやカセット等に収納されることなく再度、レチクルステージ３に保持され、ウエハ８の露光に使用されるまで待機することもある。
待機部は、複数設けられ、レチクル２を一時的に収納する手段であるレチクルライブラリ１２（収納部）、レチクル２を保持するハンド（レチクル搬送ロボット１６のハンド）、レチクル２の異物を検査するＰＰＣ１７（検査部）と、レチクル２の固体識別情報を読み取るＲＢＣＲ２２（読取部）およびレチクル２をプリアライメントするレチクルプリステージ１５（プリアライメント部）の少なくとも１つを含む。
さらに、待機部は、一時的に収納される手段である中継収納ユニット１４、レチクル２が一時的に載置され回転される原版回転装置であるレチクル回転装置３０などを有する。

オペレータは、ワークステーション２１に接続された端末２０より挿入されたレチクルの搬送指示を出す。端末２０は、前記待機部でレチクルを待機させるか否かを設定する設定手段である。
また、端末２０は、複数の待機部のうち、レチクルを待機させる待機部を設定する設定手段でもある。
ワークステーション２１およびレチクル搬送制御ボード１９は、前記ジョブの情報と端末２０による設定に従って搬送手段であるカセットロボット１３あるいはレチクル搬送ロボット１６を制御する制御手段である。
ワークステーション２１、レチクル搬送制御ボード１９は、ＰＰＣ１７による異物検査の後、または、ＲＢＣＲ２２によるレチクル２の固体識別情報の読み取りの後に、レチクルステージ３にレチクル２を搬送する場合もある。
さらに、ワークステーション２１およびレチクル搬送制御ボード１９（制御手段）は、待機部にレチクル２が待機した状態において、前記待ち行列中にないジョブに対応したレチクル２の待機部への搬送を少なくとも一時的に禁止する場合もある。
さらに、ワークステーション２１およびレチクル搬送制御ボード１９は、前記待機部にレチクルを待機した前記ジョブを実行しようとした際に端末２０により警告表示を行う場合もある。

搬送指示はワークステーション２１を経由してレチクル搬送ロボット１６およびカセットロボット１３を制御するレチクル搬送制御ボード１９に伝達される。オペレータが挿入されたレチクルをレチクルステージ３に搬送する指示を出した場合、カセットロボット１３はレチクルカセットに入れられたレチクルを中継収納ユニット１４まで搬送し、中継収納ユニット１４においてレチクルをレチクルカセットより取り出す。さらに、レチクル搬送ロボット１３にてレチクルバーコードリーダであるＲＢＣＲ２２のステージに搬送する。その後、ＲＢＣＲ２２にてレチクル情報の読み取り処理を行った後、レチクル搬送ロボット１６のハンドにてＲＢＣＲ２２のステージからレチクルを取り、ＰＰＣ１７のステージに搬送する。ペリクル異物検査装置であるＰＰＣ１７で異物状況を検査し、異物の付着が無く露光に使用できる場合は、レチクル搬送ロボット１３により、レチクルプリステージ１５に搬送する。レチクルプリステージ１５に置かれたレチクルはプリアライメント処理を行った後、更にレチクルステージ３に搬送される。ＲＢＣＲ２２は、レチクルの個別識別情報を読み取るために使用するが、バーコードリーダでなくてもＱＲコードリーダやＩＣタグリーダなどレチクルの個別情報を識別可能な装置であれば良い。

オペレータは、また、レチクル搬入搬出口１８より挿入されたレチクルをレチクルライブラリ１２に収納する指示を出すこともできる。その場合、レチクルはレチクルカセットに入ったままレチクルライブラリ１２の空き位置に収納する。レチクルライブラリ１２と中継収納ユニット１４の間のレチクル搬送は、カセットロボット１３によりレチクルカセットにレチクルが入れられたまま搬送を行う。一方、レチクル中継ユニットとＰＰＣ１７のステージの間は中継収納ユニット１４においてカセットから取り出されたレチクルをレチクル搬送ロボット１６により搬送する。同様にＲＢＣＲ２２のステージとＰＰＣ１７のステージ間およびＰＰＣ１７のステージとレチクルプリステージ１５間もレチクル搬送ロボット１６により中継収納ユニット１４においてカセットから取り出されたレチクルを搬送する。

レチクル搬送ロボット１６は、回転及び移動が可能であり、また、レチクルの配置交換のためにハンドを２つ有する。さらに、レチクル搬送ロボット１６は、レチクル中継収納ユニット１４やＰＰＣ１７、レチクルプリステージ１５に既に置いてあるレチクルを片方のハンドで回収するとともにもう片方のハンドにあるレチクルを新たに配置することが可能である。レチクルプリステージ１５とレチクルステージ３の間のレチクル搬送は回転式のハンドを用い、レチクルプリステージ１５からレチクルステージ３への搬送とレチクルステージ３からレチクルプリステージ１５への搬送を同時に行う。

ＲＢＣＲ２２のステージとＰＰＣ１７のステージとレチクルプリステージ１５およびレチクルステージ３の間は、中継収納ユニット１４においてレチクルカセットから取り出されたレチクルを搬送する。しかし、ＰＰＣ１７のステージとレチクルプリステージ１５およびレチクルステージ３の間はクリーンエリアであり、露光装置が正常であれば装置内はクリーンである。このため、ペリクル異物検査完了済みのレチクルを長時間装置内に放置しても異物が付着することはない。

レチクル近傍の、次ロット以降に使用するレチクルを配置可能な場所において、次ロット以降に使用するレチクルの待機部として使用するかどうかは、端末２０上に表示される使用可否設定画面により使用可否を設定する。図３は、図２に示される端末２０上に表示される、レチクルを配置可能な位置をレチクル待機部として使用するかどうかを設定可能な画面を示す。端末２０上に表示される画面にて、レチクルを配置可能な場所においてレチクル待機部として使用したい場所ではＵｓｅを選択し、使用したくない場所ではＮｏｕｓｅを選択する。使用可否の設定は、使用するかしないかのどちらかを必ず設定する必要がある。図２に示される中継収納ユニット１４は５段のスロットを持ち、レチクルカセットを５つ収納可能とする。よって露光装置内（クリーンエリア）には、レチクルを最大で５枚まで配置可能であり、クリーンエリアにレチクルが５枚入っている時は、中継収納ユニット１４内にレチクルの入っていない空カセットが５つ置かれる。

図４は、ＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用する場合と、使用しない場合において、表２のジョブキューテーブルに従いロット処理およびレチクル配置・搬送に掛かる時間の例を示している。図４中の上段はＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用する場合を表し、下段はＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用しない場合を表している。図４中の横棒の中に書かれている各数字は表１中の処理Ｎｏ．を表しており、また、横線の長さは各処理に掛かる時間の長さを表している。表３には表１の各種処理の間の状態が示してあり、図４中では横棒の中の「Ｓ」に続く数字が表３の状態Ｎｏ．を示している。また、図４は表２に示すジョブキューテーブルの内容に従い、レチクルを搬送したケースを示している。表２はジョブ実行順番情報（ジョブキューテーブル）の例である。表２中のＱｕｅｕｅ
Ｎｏ．に従ってジョブを順番に実行する。各ジョブで使用するレチクルは、ｒｅｔｉｃｌｅ欄に記載してあるレチクルを使用し、ジョブの切り替えに伴いレチクルを変更する。レチクル搬送制御ボード１９は、それぞれの処理に掛かる時間を予め知っており、処理時間を考慮してレチクルの搬送を制御する。また、ジョブ中での異物検査処理はＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合でも実行する。

レチクルをレチクルライブラリ１２からレチクルステージ３まで搬送する際について説明する。
図４において、レチクルライブラリ１２から中継収納ユニット１４へのレチクルカセットの搬送（表２中の処理１）は、カセットロボット１３にて行う。その際、中継収納ユニット１４にはレチクルがカセットに入ったまま収納される。レチクルライブラリ１２から中継収納ユニット１４へのレチクルカセットの搬送は、カセットロボットが１台しかないため同時に行うことはできない。中継収納ユニット１４からＰＰＣ１７へのレチクルの搬送は、まず、レチクル搬送ロボット１６のハンドで行う。

レチクルのレチクルライブラリ１２への回収時は、まずレチクルプリステージ１５上のレチクルをレチクル搬送ロボット１６のハンドで取る。その後、中継収納ユニット１４まで移動し、中継収納ユニット１４の所定のカセット位置にレチクルを搬送した後（表２中の処理１６）、レチクルカセットへのレチクルの取入れ処理を行う（表２中の処理１７）。中継収納ユニット１４からレチクルライブラリ１２までは、カセットロボット１３を使用して搬送する（表２中の処理１８）。

ロット処理にはレチクルの搬送以外の処理として、レチクル情報読み取り処理やＰＰＣ実行処理、レチクルのプリアライメント処理、露光処理がある。図４中では、それらの処理に掛かる時間についても加味してある。ただし、レチクルロボット１３のハンドの移動や回転に掛かる時間は、レチクルの受渡し処理の中に含めて示している。

図４下段に示すＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用しない場合では表３の状態Ｎｏ．４の状態が無く、異物検査処理は行われているが、ＰＰＣ１７のステージでレチクルが待機していないことを示している。

図４のジョブ完了時のタイミングを見ると、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用するときはタイミング７３でジョブが完了し、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しないときにはタイミング８３でジョブが完了している。このことから表２で示されるような同じレチクルを繰り返して使用する場合においては、ＰＰＣ１７のステージをレチクルの待機部として使用して、クリーンエリア内のレチクルステージ３から近い位置により多くのレチクルを待機させた方がよい。この理由は、レチクル交換をスムーズに行うことができ、ジョブに掛かる時間を短くすることができるからである。

図５は、ジョブ実行と関係の無いレチクルをペリクル異物検査する場合において、レチクル待機部としてＰＰＣ１７のステージを使用する場合のレチクル搬送の制御フローを示している。また、図６にこのフローを開始する前の状態を示す。図６中のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｈはレチクルを示し、ｈがペリクル異物検査を実行したいレチクルとする。このフローでは、装置内（クリーンエリア内）に待機可能なレチクルが全て配置されている。さらに、ＰＰＣ実行前の状態からジョブに関係の無いレチクルｈを異物検査し、再度異物検査実行前の状態に戻るまでレチクルｈの異物検査実行前に処理していたジョブが継続して処理されている場合を示している。

図５に示されるように制御シーケンスがスタートする（ステップＳ３０１）。
レチクル搬送制御ボード１９はＰＰＣ実行コマンドを受信したか否かを判断する（ステップＳ３０２）。ＰＰＣ実行コマンドを受信していない場合は再度、ステップＳ３０２を実行する。ＰＰＣ実行コマンドを受信した場合はステップＳ３０３へ進む。
中継収納ユニット１４にはＰＰＣを実行したいレチクルｈを搬入する空きスロットが無いため、クリーンエリア内のレチクルの内、ジョブ順の遅いレチクルｅを回収する必要がある。まず、レチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃとＲＢＣＲ２２のステージ上のレチクルｅを交換する（ステップＳ３０３）。その後、ステップＳ３０４へ進む。

レチクルロボット１３のハンド上のレチクルｅを中継収納ユニット１４の所定のカセットに格納する（ステップＳ３０４）。その後、ステップＳ３０５へ進む。
中継収納ユニット１４に搬送したレチクルｅをレチクルライブラリ１２へ格納する（ステップＳ３０５）。その後、ステップＳ３０６へ進む。
異物検査を実行したいレチクルｈを中継収納ユニット１４に搬送する（ステップＳ３０６）。その後、ステップＳ３０７へ進む。
中継収納ユニット１４にあるレチクルｈをレチクル搬送ロボット１６のハンドにて、ＰＰＣ１７のステージまで搬送する。その際にハンド上のレチクルｈとＰＰＣ１７のステージ上のレチクルｄを交換する（ステップＳ３０７）。その後、ステップＳ３０８へ進む。

ＰＰＣ１７のステージ上にある、異物検査を実行したいレチクルｈの異物検査処理を実行する（ステップＳ３０８）。その際、同時にステップＳ３０９において、レチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｄとＲＢＣＲ２２のステージ上のレチクルｃを配置交換する（ステップＳ３０９）。異物検査処理完了後、ステップＳ３１０へ進む。
ＰＰＣ１７のステージ上にある、異物検査処理が完了したレチクルｈとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃを配置交換する（ステップＳ３１０）。その後、ステップＳ３１１へ進む。
レチクル搬送ロボット１６のハンド上にあるレチクルｈを中継収納ユニット１４の所定のカセット位置へ搬送する（ステップＳ３１１）。その後、ステップＳ３１２へ進む。

中継収納ユニット１４にあるレチクルｈが入ったレチクルカセットをレチクルライブラリ１２へカセットロボット１３を用いて搬送する（ステップＳ３１２）。その後、ステップＳ３１３へ進む。
レチクルライブラリ１２に一旦回収したレチクルｅを中継収納ユニット１４へ搬送する（ステップＳ３１３）。その後、ステップＳ３１４へ進む。
中継収納ユニット１４にあるレチクルｅをハンドにて、ＲＢＣＲ２２のステージまで搬送する。その際にＲＢＣＲ２２のステージ上にあるレチクルｄとレチクルロボット１３のハンド上にあるレチクルｅを配置交換する（ステップＳ３１４）。その後、ステップＳ３１５へ進む。
ＰＰＣ１７のステージ上のレチクルｃとレチクル搬送ロボット１６のハンド上にあるレチクルｄの配置交換を実施する（ステップＳ３１５）。その後、ステップＳ３１６へ進む。
レチクルｈの異物検査前の元の状態に戻る（ステップＳ３１６）。

図７は、ジョブ実行と関係の無いレチクルをペリクル異物検査する時に、レチクル待機部としてＰＰＣ１７のステージを使用しない場合のレチクル搬送の制御フローを示している。また、図８にこのフローを開始する前の状態を示す図を示す。図８中のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｈはレチクルを示し、ｈが異物検査を実行したいレチクルとする。このフローでは、装置内（クリーンエリア内）に待機可能なレチクルが全て配置されている。さらに、ジョブに無関係なレチクルｈの異物検査実行前の状態からレチクルｈの異物検査処理を実行し、再度異物検査実行前の状態に戻るまで異物検査前に処理していたジョブが継続して処理されている場合を示している。

図７に示されるように制御シーケンスがスタートする（ステップＳ４０１）。
レチクル搬送制御ボード１９はＰＰＣ実行コマンドを受信したか否かを判断する。ＰＰＣ実行コマンドを受信していない場合は再度Ｓ４０２を実行する（ステップＳ４０２）。ＰＰＣ実行コマンドを受信した場合はステップＳ４０３へ進む。
中継収納ユニット１４で待機しているレチクルｅをレチクルライブラリ１２へ格納する（ステップＳ４０３）。
レチクルｈを中継収納ユニット１４へ搬送する（ステップＳ４０４）。その際、同時にレチクルロボットのハンド上にあるレチクルｃをＰＰＣ１７のステージ上へ配置する（ステップＳ４０５）。その後、ステップＳ４０６へ進む。
中継収納ユニット１４に格納した、異物検査を実行したいレチクルｈをレチクル搬送ロボット１６のハンドにてＰＰＣ１７のステージ上へ搬送する。その際、ＰＰＣ１７のステージ上にあるレチクルｃとレチクル搬送ロボット１６のハンド上にあるレチクルｈを配置交換する（ステップＳ４０６）。その後、ステップＳ４０７に進む。

ＰＰＣ１７のステージ上にあるレチクルｈを異物検査し、異物検査処理を完了する（ステップＳ４０７）。その後、ステップＳ４０８へ進む。
ＰＰＣ１７のステージ上にある異物検査が完了したレチクルｈとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃを配置交換する（ステップＳ４０８）。その後、ステップＳ４０９へ進む。
レチクル搬送ロボット１６のハンド上にあるレチクルｈを中継収納ユニット１４へ搬送する（ステップＳ４０９）。その後、ステップＳ４１０へ進む。
中継収納ユニット１４にあるレチクルｈをレチクルライブラリ１２へ搬送する（ステップＳ４１０）。その後Ｓ４１１へ進む。
一旦、ライブラリに回収したレチクルｅを中継収納ユニット１４へ搬送する。その際、同時にＳ４１２においてＰＰＣ１７のステージ上にあるレチクルｃをレチクル搬送ロボット１６のハンド上へ配置する（ステップＳ４１１）。その後、ステップＳ４１３へ進み、元の状態に戻る。

図９は、上記二つのフローにおいてジョブ実行と無関係なレチクルをペリクル異物検査する時の異物検査およびレチクル搬送処理に掛かる時間を示している。
レチクルの待機部としてＰＰＣ１７のステージを使用する設定となっている場合において、以下の場所にレチクルが待機している状態を想定する。すなわち、レチクルステージ３、レチクルプリステージ１５、レチクル搬送ロボット１６のハンド、ＰＰＣ１７のステージ、ＲＢＣＲ２２のステージ、中継収納ユニット１４にジョブに使用するレチクルが待機している状態を想定する。さらに、ジョブとは無関係なレチクルを異物検査する場合を想定している。
さらに、レチクルの待機部としてＰＰＣ１７のステージを使用しない設定になっている場合において、以下の場所にレチクルが待機している状態を想定する。すなわち、レチクルステージ３、レチクルプリステージ１５、レチクル搬送ロボット１６のハンド、ＲＢＣＲ２２のステージ、中継収納ユニット１４にジョブに使用するレチクルが待機している状態を想定する。さらに、ジョブとは無関係なレチクルを異物検査する場合を想定している。
また、異物検査が行われている間は、異物検査実行前のジョブが継続して行われている場合を想定し、異物検査実行前の状態からジョブに無関係なレチクルを異物検査し、再度異物検査実行前の状態に戻るまでに掛かる時間を示している。図９上段がＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用する設定を選択した場合を示し、図９下段がＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用しない設定を選択した場合を示している。

図９上段のＰＰＣ１７のステージを使用する設定を選択した場合に、ジョブとは関係の無いレチクルのＰＰＣ実行命令をレチクル制御ボードが受信した後、中継収納には空きスロットが無い。このため、装置内（クリーンエリア内）のレチクルを一枚レチクルライブラリ１２に回収する必要があるが、スループットの低下を防ぐためにジョブの実行順が一番遅い、ＰＰＣ１７のステージ上のレチクルをレチクルライブラリ１２に回収することになる。そのために、まずレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃとＲＢＣＲ２２のステージ上のレチクルｅを配置交換し、レチクルｅを中継収納ユニット１４に搬送する。その後、中継収納ユニット１４からレチクルｅ（カセット内）をレチクルライブラリ１２に搬送し、異物検査を実行したいレチクルｈ（カセット内）を中継収納ユニット１４を経由し、ＰＰＣ１７のステージ上まで配置する。ＰＰＣ１７のステージ上に配置する際には、現在ＰＰＣ１７のステージ上に配置されているレチクルｄとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｈを配置交換する。その後、レチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｄとＲＢＣＲ２２のステージ上のレチクルｃを配置交換する。ＰＰＣ１７のステージ上でレチクルｈのＰＰＣを実行後、レチクルｈをライブラリまで搬送することになるが、その際にＰＰＣ１７上のレチクルｈとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃを配置交換し、レチクルｈを中継収納ユニット１４まで搬送する。レチクルｅを再度ＲＢＣＲ２２のステージ上まで搬送する際には、ＲＢＣＲ２２のステージ上のレチクルｄとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｅを配置交換する。さらに、レチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｄとＰＰＣ１７のステージ上のレチクルｃを配置交換する。レチクルｅは再度レチクル情報読み取り処理を実施する。

図９下段のＰＰＣ１７のステージを使用しない設定を選択した場合に、ジョブとは関係の無いレチクルのＰＰＣ実行命令をレチクル制御ボードが受信した後、まず、中継収納ユニット１４には空きスロットがない。このため、中継収納ユニット１４内にレチクルカセットに入ったまま待機しているレチクルｅをレチクルライブラリ１２に回収する。その際に、同時にレチクル搬送ロボット１６のハンド上で待機しているレチクルｃをＰＰＣ１７のステージ上に退避する。その後、異物検査を実行したいレチクルｈをＰＰＣ１７のステージまで搬送し、ＰＰＣ１７のステージ上のレチクルｃとレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｈを配置交換する。ＰＰＣ１７のステージ上でレチクルｈの異物検査を実行し、異物検査処理完了後にレチクル搬送ロボット１６のハンド上のレチクルｃとＰＰＣ１７のステージ上のレチクルｈの配置交換を行った後、レチクルｈをレチクルライブラリ１２まで回収する。レチクルｈ（カセット内）が中継収納ユニット１４からレチクルライブラリ１２に搬送されている間に、ＰＰＣ１７のステージ上にあるレチクルｃをレチクル搬送ロボット１６のハンド上に配置する。その後、レチクルライブラリ１２に回収したレチクルｅを中継収納ユニット１４まで搬送する。

図９に示されるようにＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する設定を選択した際は、異物検査処理が終了し元の状態に戻るまでのタイミングがタイミング４７である。これに対して、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合は、タイミング３７で元の状態に戻る。また、異物検査処理に関しても、処理が終了して異物検査を行ったレチクルがレチクルライブラリ１２に回収されるまでに、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合ではタイミング３５であった。しかし、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合ではタイミング３１となっている。

図９に示されるように、ＰＰＣ１７のステージをレチクルの待機部として使用する場合では、ジョブとは関係の無いレチクルを異物検査したい時に、ＰＰＣ１７のステージ上に待機しているレチクルを別の場所に退避する必要がある。このため、ＰＰＣ１７のステージをレチクル待機部として使用しない場合よりも、元の状態に戻るまでに時間が掛かる。図９においてＰＰＣ１７のステージではなく、例えばレチクル搬送ロボット１６のハンドやレチクルプリステージ１５をレチクル待機部として使用しない設定にしても、使用しない設定にした場所をレチクルの退避位置として使用可能なため同様の効果が得られる。また、図９ではジョブとは関係のないレチクルを異物検査したい場合の例を示したが、異物検査ではなくレチクル読み取り処理でも同様である。

図１０は、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合と使用しない場合を示す。図１０は、表２に示されるジョブキューテーブルに従い、ジョブを実行している途中で、次ロット以降のロット処理に使用しないレチクルを異物検査した場合での、ジョブおよびレチクル搬送、その他の処理のそれぞれ掛かる時間の例を示している。異物検査のためのＰＰＣ実行命令はオペレータが端末上で操作し、レチクル搬送制御ボードに送られる。レチクル搬送制御ボードにＰＰＣ実行命令が送られた後、レチクル搬送および異物検査処理がロット処理を考慮した上で行われる。図１０は、図４中のタイミング３８の地点で、ＰＰＣ実行命令が送られた時の、ジョブ・レチクル搬送および異物検査処理・その他の処理を行った場合を想定している。また、図１０ではタイミング３７までの地点では図４と同一なためタイミング３１までを省略して示してある。

図１０上段には、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する設定を選択した場合を示し、図１０下段には、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない設定を選択した場合を示している。異物検査実行は、ジョブに与える影響を少なくしつつ、行う必要がある。
図１０上段には、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する設定を選択した場合が示される。この場合は、ＰＰＣ実行命令を受信した時に、レチクルｂがレチクルステージ３にあり、レチクルａがプリステージ１５上にある。さらに、レチクルｅはＲＢＣＲ２２のステージ上、レチクルｃおよびレチクルｄは配置換えのタイミングなので両方ともレチクル搬送ロボット１６のハンド上にある。ＰＰＣ実行命令を受信していなければレチクルｄはＰＰＣ１７のステージに置かれることになるが、ＰＰＣ実行命令を受信したため、中継収納１４に空きスロットを得るために、レチクルｅはレチクルライブラリ１２まで一旦回収することになる。レチクルｅをレチクルライブラリ１２に収納後、レチクルｈをＰＰＣ１７のステージまで搬送し、異物検査処理を実行する。レチクルｈの異物検査処理が完了し、レチクルライブラリ１２まで回収された後、再度レチクルｅをＲＢＣＲ２２のステージまで搬送する。その後は、継続してジョブが行われることになる。

図１０下段には、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない設定を選択した場合が示される。この場合は、ＰＰＣ実行命令を受信した時に、レチクルｂがレチクルステージ３にあり、レチクルａがプリステージ１５上にある。さらに、レチクルｃはレチクル搬送ロボット１６のハンド上で待機する前の段階としてＰＰＣ１７のステージにてＰＰＣ処理が実行されている。レチクルｄはＲＢＣＲ２２のステージ上にある。レチクルｅは、装置内（クリーンエリア内）に待機可能な場所がないため、中継収納ユニット１２内にレチクルカセットに入ったまま待機している。ＰＰＣ実行命令受信後、中継収納ユニット１２に空きスロットを得るため、レチクルカセットに入ったレチクルｅをレチクルカセットに入ったままレチクルライブラリ１２まで回収する必要がある。また、ＰＰＣ実行命令受信時にレチクル搬送ロボット１６のハンド上にあるレチクルは速やかにＰＰＣ１７のステージ上に退避させる必要がある。その後、異物検査を実行したいレチクルｈをＰＰＣ１７のステージまで搬送し異物検査を行う。レチクルｈの異物検査処理が完了し、レチクルｈがレチクルライブラリ１２に回収された後、ＰＰＣ実行前に一旦レチクルライブラリ１２に回収したレチクルｅを中継収納ユニット１４まで搬送し、ジョブを継続する。

図１０に示されるジョブ完了時のタイミングを見ると、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用するときと使用しないときでロット処理完了時間に違いはない。しかし、異物検査処理は、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用するときはタイミング７５で、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しないときはタイミング７１でライブラリまで戻り、操作が完了している。図１０に示されるようにＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない設定を選択した場合の方がよい。すなわち、ジョブに使用しないレチクルを異物検査したい時には、異物検査したいレチクルｈを異物検査しレチクルライブラリ１２まで回収するまでの時間が、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する設定を選択した場合と比較して短くすることができる。

ジョブの実行と無関係なレチクルの異物検査は、異物検査完了後にライブラリに回収する必要があり、クリーンエリア外へ出てしまうためジョブの実行に使用する際は、再度異物検査処理を実行する必要がある場合がある。しかし、ジョブの実行前に異物付着状況を確認しておきジョブの実行ではクリーンエリア外へ出たレチクルであったとしても異物検査処理を行わずに運用する場合もある。そのため、ジョブの実行と無関係なレチクルを異物検査する際に、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合は、異物検査処理が早く終了する効果がある。

図１１は、ＲＢＣＲ２２を待機部として使用しない場合を示す。図１１は、表２のジョブキューテーブルに従いジョブを実行している途中で、次ロット以降のロット処理に使用しないレチクルを異物検査した場合での、ジョブおよびレチクル搬送・その他の処理のそれぞれ掛かる時間の例を示す図である。タイミング３０の位置でＰＰＣ実行命令が送られた時の、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合としない場合でのレチクル搬送および異物検査処理、ジョブ実行処理に掛かる時間を比較したものである。この例では、中継収納ユニットは４段とし、レチクル個別識別情報読み取り処理をロット処理中に行なわない場合を想定している。

図１１に示されるようにＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合では、ＰＰＣ１７のステージで待機しているレチクルを異物検査処理のために一旦ライブラリまで回収する必要がある。一度、クリーンエリア外へ出たレチクルは、クリーンエリアに入った時に再度異物検査処理を実行する必要がある。そのため、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合ではロット処理の完了のタイミングがタイミング９０であるのに対し、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合ではタイミング８５でロット処理が完了している。異物検査処理は、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合では、タイミング７２で処理が完了しているのに対して、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない場合ではタイミング６７で処理が完了している。

図１１に示されるＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する例のように、異物検査処理完了済みのレチクルをクリーンエリア外に一度退避し、再度クリーンエリア内に搬送した際には、再度異物検査処理が必要となるため、ロット処理に与える影響が大きくなる。
ＲＢＣＲ２２を待機部として使用しても、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用しない設定の場合に、ジョブ実行に無関係なレチクルを複数枚異物検査したい場合がある。この場合には、ジョブの実行の過程で異物検査処理が完了しているレチクルをクリーンエリア外に搬出する必要が生じることがある。その際には、再度クリーンエリア内に搬送したときに再度異物検査処理を行う必要があるため、ロット処理に大きく遅延を与える可能性がある。

上記のように、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する場合と使用しない場合とで、それぞれ利点がある。また、上記例ではＰＰＣ１７のステージに関して、待機部としての使用可否を設定した場合を比較した。しかし、ジョブに使用しないレチクルを異物検査したい場合は、装置内（クリーンエリア内）で待機しているレチクルを近傍の配置可能な位置に一旦退避できれば良い。このため、ＰＰＣ１７のステージに限らずレチクル搬送ロボット１６のハンドやプリステージ１５などを待機部として使用しない場合でも同様の効果が得られる。

同様に、ジョブに使用しないレチクルのレチクル情報を読み取りしたい場合でも、装置内（クリーンエリア内）で待機しているレチクルを近傍の配置可能な位置に一旦退避できれば良い。このため、レチクル個別識別情報読み取り装置のステージに限らずレチクル搬送ロボット１６のハンドやプリステージ１５などを待機部として使用しない場合でも同様の効果が得られる。よって、レチクルステージ３とレチクルライブラリ１２の間にある、レチクル待機部として使用可能な場所において、それぞれレチクル待機部としての使用可否を選択設定できることが好適である。

また、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する設定を選択した際には、ジョブの実行やジョブに無関係なレチクルの異物検査処理に大きな影響を与えることが予想される。このため、ＰＰＣ実行ボタンを押下不可にするか、もしくは、ジョブに影響が出る旨の警告を端末２０上に出す。ＰＰＣ実行ボタンを押下不可にするか、警告を出すかは設定により変更可能とする。同様にＲＢＣＲ２２のステージを待機部として使用しない設定を選択した際も、レチクルバーコード読み取り処理実行ボタンを押下不可にする、もしくは、ロット処理に影響が出る旨の警告を出す。

図１２は、ＰＰＣ１７のステージを待機部として使用する際に、ＰＰＣ実行ボタンを押下不可にする、もしくは、異物検査処理を実行しようとした際に警告を出すときのフローを示す。
図１２に示されるようにシーケンスがスタートする（ステップＳ５０１）。
ＰＰＣ１７のステージを待機部とする設定が選択されているか否かを判断する（ステップＳ５０２）。ＰＰＣ１７のステージを待機部とする場合はステップＳ５０３へ、待機部として使用しない際はステップＳ５０４へ進む。
ＰＰＣ実行ボタンを押下可能な設定となっている場合は（ステップＳ５０３）、ステップＳ５０４へ進み、押下不可となっている際はステップＳ５０９へ進む。押下不可の際は、ジョブとは無関係なレチクルの異物検査を行うことはできない。

レチクル搬送制御ボード１９はＰＰＣ実行ボタンが押下され、ＰＰＣ実行コマンドを受信したか否かを判断する（ステップＳ５０４）。ＰＰＣ実行コマンドを受信していない場合は再度Ｓ５０４を実行する。ＰＰＣ実行コマンドを受信した場合はＳ５０６へ進む。
レチクル搬送制御ボード１９はＰＰＣ実行コマンドを受信したか否かを判断する（ステップＳ５０５）。ＰＰＣ実行コマンドを受信していない場合は再度、ステップＳ５０７を実行する。ＰＰＣ実行コマンドを受信した場合はステップＳ５０５へ進む。
ロット処理が遅延する旨の警告を出した後（ステップＳ５０６）、ステップＳ５０８へ進む。
ステップＳ５０７およびステップＳ５０８において異物検査処理を実行し、処理完了後、ステップＳ５０９へ進みシーケンスが終了する。

上記図１２ではＰＰＣ１７のステージについて示したが、ＲＢＣＲ２２のステージを待機部として使用する際にロット処理とは無関係なレチクルのレチクル情報読み取り処理を実施した際も同様のフローとなる。
本実施例では、ＲＢＣＲ２２とレチクル２を１８０度回転させる原版回転装置が同一配置場所であるが、ＲＢＣＲ２２と、レチクル２を１８０度回転させる原版回転装置が別配置場所となる場合もあり、同一配置場所となる場合と同様な効果が得られる。

以上説明したように本発明の実施例によれば、ジョブキューテーブルに従いロット処理に使用する予約レチクルの待機部を決定する際に、予約レチクルを待機可能な場所をレチクル待機部として使用するかしないかを選択設定可能にする。これにより、ジョブに使用しないレチクルを異物検査したい時にレチクル待機部のうち少なくとも一つを使用しない設定とし、その場所を他の待機部で待機しているレチクルの退避場所として使用する。これにより、全ての待機部を使用する設定を選択した場合と比較して、異物検査に時間が掛かり、ジョブが遅れることを低減できる。
この予約レチクル待機部の使用可否を選択設定可能な機能を採用することにより、ユーザの運用に合わせた待機部の使用可否設定が可能となり、運用スループットの低下を低減する。
なお、これまでは、異物検査に合格したレチクルをクリーンエリア外に移動したのち再度異物検査すると再度合格になることを前提に全体の処理時間について説明してきた。しかし、場合によっては、再度異物検査した際、その結果が不合格となる場合も考えられる。こうした場合は、レチクルを装置外に一旦搬出し、クリーニングを行ってから再度装置内に搬入することになり、大幅な時間遅れが発生しうる。例えば、クリーンエリア外に配置されるレチクルカセットはユーザが管理するものであるため、当該カセット内の汚染状況によって、出し入れによりレチクルが汚染される危険性が異なる。そこで、カセット内のクリーン状況を勘案してユーザが待機場所を選択できるようにすれば、より効率の良い運用を実現することができる。

（デバイス製造方法の実施例）
つぎに、本発明の一実施形態のデバイス（半導体デバイス、液晶表示デバイス等）の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用した露光装置を使用し得る。 半導体デバイスは、ウエハ（半導体基板）に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程とを経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、その工程で露光されたウエハを現像する工程とを含みうる。後工程は、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）と、パッケージング工程（封入）とを含みうる。また、液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を用いて、感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、その工程で露光されたガラス基板を現像する工程とを含みうる。 本実施形態のデバイス製造方法は、デバイスの性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも一つにおいて従来よりも有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。

１：照明装置、２：レチクル、３：レチクルステージ、４：レチクル位置計測機構、５：投影光学系、６：ＸＹステージ、７：レーザー干渉計、８：ウエハ、９：ウエハＺステージ、１０：オートフォーカスユニット、１１：露光装置チャンバー、１２：レチクルライブラリ、１３：カセットロボット、１４：中継収納ユニット、１５：プリステージ、１６：レチクル搬送ロボット、１７：ＰＰＣ、１８：レチクル搬入搬出口、１９：レチクル搬送制御ボード、２０：端末、２１：ワークステーション、
２２：ＲＢＣＲ ３０：レチクル回転装置

Claims (7)

1. 待ち行列中のジョブの情報に含まれる原版の情報に従って、原版を介して基板を露光する露光装置であって、
   前記原版を保持し且つ移動される原版ステージと、
   前記原版を待機させるのに使用可能な複数の待機部と、
   前記原版ステージに前記原版を搬送する搬送手段と、
   前記原版を待機させる待機部としての使用可否を前記複数の待機部のそれぞれに関して選択する選択手段と、
   前記選択手段により使用可として選択された待機部に前記ジョブの情報に従って原版を待機させるよう、かつ前記選択手段により使用不可として選択された待機部をその他の待機部にある原版の退避場所とするよう、前記搬送手段を制御する制御手段と、
   を有することを特徴とする露光装置。
2. 前記複数の待機部は、前記原版を一時的に収納する収納部、前記原版を保持するハンド、前記原版の異物を検査する検査部、前記原版の固体識別情報を読み取る読取部、および前記原版をプリアライメントするプリアライメント部の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記検査部による検査の後、または、前記読取部による読み取りの後に、前記原版ステージに前記原版を搬送することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
4. 前記制御手段は、前記選択手段により使用可として選択された待機部に原版が待機した状態において、前記待ち行列中にないジョブに対応した原版の当該待機部への搬送を少なくとも一時的に禁止することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の露光装置。
5. 前記搬送手段は、２つのハンドを有し、かつ前記複数の待機部のうちの一つを構成する、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置。
6. 請求項１乃至５のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   前記工程で露光された基板を現像する工程と、
   を有することを特徴とするデバイス製造方法。
7. 待ち行列中のジョブの情報に含まれる原版の情報に従って原版を介し基板を露光する装置に適用される原版搬送方法であって、
   原版を待機させる待機部としての使用可否を、原版ステージに搬送されるべき原版を待機させるのに使用可能な複数の待機部のそれぞれに関して選択し、
   前記選択により使用可として選択された待機部に前記ジョブの情報に従って原版を待機させるよう、かつ前記選択により使用不可として選択された待機部をその他の待機部にある原版の退避場所とするよう、該原版を搬送する、
   ことを特徴とする原版搬送方法。

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