JP5569774B2 - テトラチアフルバレン誘導体 - Google Patents
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- FHCPAXDKURNIOZ-UHFFFAOYSA-N tetrathiafulvalene Chemical class S1C=CSC1=C1SC=CS1 FHCPAXDKURNIOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 77
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 46
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 44
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 44
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 37
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 24
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 23
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- -1 3,7-dimethyloctyl group Chemical group 0.000 description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052943 magnesium sulfate Inorganic materials 0.000 description 12
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 12
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 12
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 9
- XEMRLVBSKVCUDL-UHFFFAOYSA-N benzo[g]quinoxaline Chemical compound N1=CC=NC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 XEMRLVBSKVCUDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- HZNVUJQVZSTENZ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dichloro-5,6-dicyano-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(C#N)=C(C#N)C1=O HZNVUJQVZSTENZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 6
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000005698 Diels-Alder reaction Methods 0.000 description 5
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KFVAJYSLZIFIFZ-UHFFFAOYSA-N 2-sulfanylidenebenzo[f][1,3]benzodithiole-5,8-dione Chemical compound C1=C2C(=O)C=CC(=O)C2=CC2=C1SC(=S)S2 KFVAJYSLZIFIFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 0 C*(C)C(C)=C*N Chemical compound C*(C)C(C)=C*N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 238000002290 gas chromatography-mass spectrometry Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 4
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical class O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ABOWGEIGUHNYOY-UHFFFAOYSA-N 1,4-dihydrobenzo[g]quinoxaline-2,3-dithione Chemical compound C1=CC=C2C=C(N=C(C(S)=N3)S)C3=CC2=C1 ABOWGEIGUHNYOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LCZRGYUBEDYMDY-UHFFFAOYSA-N 4,5-bis(bromomethyl)-1,3-dithiole-2-thione Chemical compound BrCC=1SC(=S)SC=1CBr LCZRGYUBEDYMDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEPYKJGVSFEIDJ-UHFFFAOYSA-N 4,5-bis(hydroxymethyl)-1,3-dithiole-2-thione Chemical compound OCC=1SC(=S)SC=1CO XEPYKJGVSFEIDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MGVBAXXSYJLVAW-UHFFFAOYSA-N 5,10-dihydroxy-5,10-dihydro-6,9-dihydro-6,9-ethanoanthra[2,3-d] [1,3]dithiol-2-thione Chemical compound OC1C2=CC=3SC(=S)SC=3C=C2C(O)C2=C1C1C=CC2CC1 MGVBAXXSYJLVAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FVGHYJLUIYSIFZ-UHFFFAOYSA-N 6,9-dihydro-6,9-ethanoanthra[2,3-d] [1,3]dithiol-2-thione Chemical compound C1=CC2CCC1C1=C2C=C2C=C3SC(=S)SC3=CC2=C1 FVGHYJLUIYSIFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VLYPUOQSRRQYBW-UHFFFAOYSA-N 7,9-dithiapentacyclo[13.2.2.02,14.04,12.06,10]nonadeca-2(14),3,5,10,12,16-hexaen-8-one Chemical compound C1=CC2CCC1C1=C2C=C2C=C3SC(=O)SC3=CC2=C1 VLYPUOQSRRQYBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HAFGMDYWYILOJG-UHFFFAOYSA-N 8-sulfanylidene-7,9-dithiapentacyclo[13.2.2.02,14.04,12.06,10]nonadeca-2(14),4,6(10),11,16-pentaene-3,13-dione Chemical compound O=C1C2=CC=3SC(=S)SC=3C=C2C(=O)C2=C1C1C=CC2CC1 HAFGMDYWYILOJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 3
- 241001061127 Thione Species 0.000 description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 3
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 3
- 239000005457 ice water Substances 0.000 description 3
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 3
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 3
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 3
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N tetracyanoquinodimethane Chemical compound N#CC(C#N)=C1C=CC(=C(C#N)C#N)C=C1 PCCVSPMFGIFTHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 description 3
- 125000005309 thioalkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- MLIRNWUYOYIGBZ-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trifluoro-n-(trifluoromethylsulfonyl)-n-trimethylsilylmethanesulfonamide Chemical compound FC(F)(F)S(=O)(=O)N([Si](C)(C)C)S(=O)(=O)C(F)(F)F MLIRNWUYOYIGBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KLCYEKAFRSYHOW-UHFFFAOYSA-N 13,15-dithia-11,17-diazatetracyclo[8.7.0.03,8.012,16]heptadeca-1,3,5,7,9,11,16-heptaen-14-one Chemical compound C1=CC=C2C=C(N=C3C(SC(S3)=O)=N3)C3=CC2=C1 KLCYEKAFRSYHOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001731 2-cyanoethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C([H])([H])C#N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- MGNZXYYWBUKAII-UHFFFAOYSA-N cyclohexa-1,3-diene Chemical compound C1CC=CC=C1 MGNZXYYWBUKAII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M phosphonate Chemical compound [O-]P(=O)=O UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- ZOCLAPYLSUCOGI-UHFFFAOYSA-M potassium hydrosulfide Chemical compound [SH-].[K+] ZOCLAPYLSUCOGI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 150000005839 radical cations Chemical class 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N trichloro(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N trichloro(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl RCHUVCPBWWSUMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AQRLNPVMDITEJU-UHFFFAOYSA-N triethylsilane Chemical compound CC[SiH](CC)CC AQRLNPVMDITEJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCPYLLCMEDAXFR-UHFFFAOYSA-N triphosgene Chemical compound ClC(Cl)(Cl)OC(=O)OC(Cl)(Cl)Cl UCPYLLCMEDAXFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N (1,10,13-trimethyl-3-oxo-4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-dodecahydrocyclopenta[a]phenanthren-17-yl) heptanoate Chemical compound C1CC2CC(=O)C=C(C)C2(C)C2C1C1CCC(OC(=O)CCCCCC)C1(C)CC2 TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECFYTOWQYCZGB-UHFFFAOYSA-N 2,3-dichlorobenzo[g]quinoxaline Chemical compound C1=CC=C2C=C(N=C(C(Cl)=N3)Cl)C3=CC2=C1 NECFYTOWQYCZGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UZKKFHMMXWDIPD-UHFFFAOYSA-N 2-sulfanylidene-1,3-dithiole-4,5-dicarboxylic acid dimethyl ester Chemical compound COC(=O)C=1SC(=S)SC=1C(=O)OC UZKKFHMMXWDIPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006283 4-chlorobenzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1Cl)C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000006181 4-methyl benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- KGYVJUSBRARRBU-UHFFFAOYSA-N 5,5-dimethylcyclohexa-1,3-diene Chemical compound CC1(C)CC=CC=C1 KGYVJUSBRARRBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012448 Lithium borohydride Substances 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 1
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021627 Tin(IV) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRYNUJYAXVDTCB-UHFFFAOYSA-M acetyloxymercury Chemical compound CC(=O)O[Hg] WRYNUJYAXVDTCB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNEHKUCSURWDGO-UHFFFAOYSA-N aluminum sodium Chemical compound [Na].[Al] DNEHKUCSURWDGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIMPFANPVKETMG-UHFFFAOYSA-N barium zirconium Chemical compound [Zr].[Ba] YIMPFANPVKETMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- SIPUZPBQZHNSDW-UHFFFAOYSA-N bis(2-methylpropyl)aluminum Chemical compound CC(C)C[Al]CC(C)C SIPUZPBQZHNSDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 125000004218 chloromethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)* 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N cis-cyclohexene Natural products C1CCC=CC1 HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 125000003963 dichloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 150000004662 dithiols Chemical group 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical group 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012280 lithium aluminium hydride Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- COQAIRYMVBNUKQ-UHFFFAOYSA-J magnesium;barium(2+);tetrafluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[F-].[Mg+2].[Ba+2] COQAIRYMVBNUKQ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 125000002960 margaryl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052987 metal hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004681 metal hydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N pentadecane Chemical group CCCCCCCCCCCCCCC YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 239000005054 phenyltrichlorosilane Substances 0.000 description 1
- IPNPIHIZVLFAFP-UHFFFAOYSA-N phosphorus tribromide Chemical compound BrP(Br)Br IPNPIHIZVLFAFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- BEOOHQFXGBMRKU-UHFFFAOYSA-N sodium cyanoborohydride Chemical compound [Na+].[B-]C#N BEOOHQFXGBMRKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012321 sodium triacetoxyborohydride Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000001119 stannous chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UQFSVBXCNGCBBW-UHFFFAOYSA-M tetraethylammonium iodide Chemical compound [I-].CC[N+](CC)(CC)CC UQFSVBXCNGCBBW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N trichloro(phenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002889 tridecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 1
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 1
- ZBBYMGVOKYWSPO-UHFFFAOYSA-J zinc;2-sulfanylidene-1,3-dithiole-4,5-dithiolate;tetrabutylazanium Chemical compound [Zn+2].[S-]C=1SC(=S)SC=1[S-].[S-]C=1SC(=S)SC=1[S-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC.CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC ZBBYMGVOKYWSPO-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C07D339/00—Heterocyclic compounds containing rings having two sulfur atoms as the only ring hetero atoms
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- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
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- H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
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Description
また近年、有機半導体を用いた薄膜トランジスタが注目されている。従来のシリコンを用いた薄膜トランジスタの製造プロセスは、真空や蒸着などの工程が必要であり、非常に高い製造設備が必要となる欠点があった。しかし、有機半導体を用いたトランジスタの製造プロセスは、有機半導体材料を溶媒に溶解することでインク化し、印刷プロセスによるオンデマンドなトランジスタの作製により、低コスト化が可能となる。さらに、有機半導体を用いた印刷プロセスにより電子回路の大面積化やフレキシブルデバイスなどの製造が可能となる。
従来報告されているTTF誘導体を用いた薄膜トランジスタは、有機半導体の中でも高い電界効果移動度が確認されている。非特許文献1から2のように、溶媒に溶解させたTTF誘導体から結晶を作製し、ソース−ドレイン電極間にこの結晶を置くことにより有機半導体層を作製し、トランジスタ特性を測定している。この有機半導体層としてDB−TTFを用いた薄膜トランジスタは高い移動度が確認されている。しかしながら、薄膜トランジスタの有機半導体層に単結晶を置くことにより、素子を作製するプロセスは、産業上の利便性を考慮したプロセスにおいて現実的ではない。さらに、一般的なTTF誘導体はイオン化ポテンシャルが浅く、大気安定性に乏しい。
非特許文献3及び特許文献1ではDB−TTF及びDN−TTFのイオン化ポテンシャル改善のために、窒素原子を含有した分子構造が提案されている。窒素原子を含有する前のDB−TTF及びDN−TTFと比較すると、イオン化ポテンシャルの値は改善されているが、移動度の値は大きく低下している。
したがって、本発明は、下記の(1)〜(3)によって解決される。
(1)「一般式(I)で表されるテトラチアフルバレン誘導体
テトラチアフルバレン構造は、ヘテロ環部位のπ電子が7πであり、1個の電子を放出してヒュッケル則を満たす6πになりやすい、つまりテトラチアフルバレン構造は良好なドナー性を示す。このドナー性により、ラジカルカチオンになりやすく、さらにそのラジカルカチオンの状態で安定であり、P型半導体材料として好適である。しかしながら、このドナー性によりイオン化ポテンシャルの値が低く、酸素に対する耐久性に乏しい。一般式(I)で記載される材料は従来のテトラチアフルバレン誘導体と比較して、分子の共役系を拡張した分子構造になっている。共役系を拡張することにより、テトラチアフルバレンのドナー性を弱める可能性が示唆される。つまり、イオン化ポテンシャルが高くなり、劣化の要因となる酸素に対して従来のテトラチアフルバレン誘導体と比較して安定性が上がる。さらに、分子の共役系を拡張することは、電子移動のパスの面積が広くなり良好な電子及びホール輸送が期待される。
前記一般式(I)中の、R1〜R26としては、以下のものを挙げることができる。
置換もしくは無置換のアルキル基としては、炭素数が1以上の直鎖、分岐又は環状のアルキル基であり、これらのアルキル基は更にハロゲン原子(たとえばフッ素原子、塩素原子、臭素原子、沃素原子)、シアノ基、フェニル基又は直鎖乃至分岐のアルキル基で置換されたフェニル基を含有してもよい。
具体的には、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、t−ブチル基、s−ブチル基、n−ブチル基、i−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデカン基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、3,7−ジメチルオクチル基、2−エチルヘキシル基、トリフルオロメチル基、トリフルオロオクチル基、トリフルオロドデシル基、トリフルオロオクタデシル基、2−シアノエチル基、ベンジル基、4−クロロベンジル基、4−メチルベンジル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
また、置換もしくは無置換のアルコキシ基またはチオアルコキシ基である場合は、上記アルキル基の結合位に酸素原子あるいは硫黄原子を挿入してアルコキシ基あるいはチオアルコキシ基としたものが具体例として挙げられる。
上記(1)から(11)テトラチアフルバレン誘導体は下記の(合成経路1)によって製造できる。
還元剤としては、水素化ホウ素ナトリウム、水素化アルミニウムリチウム、水素化ジイソブチルアルミニウム、水素化シアノホウ素ナトリウム、水素化ホウ素リチウム、水素化トリエチルホウ素リチウム、ボラン錯体、トリエチルシラン、水素化ビス(2−メトキシエトキシ)アルミニウムナトリウム、水素化ホウ素ニッケル、水素化トリアセトキシホウ素ナトリウム、水素化ホウ素亜鉛、または、水素化トリ(sec−ブチル)ホウ素リチウム等を用いることができる。
第7及び8段階の反応は文献J.Org.Chem.,2000,65,5794−5805に記載のように、チオン体(1−D)経て、カップリング反応により(1−E)を製造した。
また、一般式(II)であらわされる分子構造を有するテトラチアフルバレン誘導体は第9段階目の反応のように(1−E)を熱処理し、逆Diels−Alder反応により製造することができる。
図1の(A)〜(D)は本発明に係わる有機薄膜トランジスタの概略構造である。本発明に係わる有機薄膜トランジスタの有機半導体層(1)は、一般式で示したテトラチアフルバレン誘導体を主成分とする。本発明の有機薄膜トランジスタには、空間的に分離されたソース電極(2)、ドレイン電極(3)およびゲート電極(4)が設けられており、ゲート電極(4)と有機半導体層(1)の間には絶縁膜(5)が設けられていてもよい。有機薄膜トランジスタはゲート電極(4)への電圧の印加により、ソース電極(2)とドレイン電極(3)の間の有機半導体層(1)内を流れる電流がコントロールされる。
本発明の有機薄膜トランジスタは、支持体上に設けることができ、例えば、ガラス、シリコン、プラスチック等の一般に用いられる基板を利用できる。また、導電性基板を用いることにより、ゲート電極と兼ねること、さらにはゲート電極と導電性基板とを積層した構造にすることもできるが、本発明の有機薄膜トランジスタが応用されるデバイスのフレキシビリティー、軽量化、安価、耐衝撃性等の特性が所望される場合、プラスチックシートを支持体とすることが好ましい。
本発明に係わる有機半導体材料は、蒸着法によって薄膜を形成することができる。有機半導体材料を真空中にて加熱することにより蒸気とし、それを所望の領域に堆積させ、薄膜を形成する。また、本発明に係わる有機半導体材料は、例えばジクロロメタン、テトラヒドロフラン、クロロホルム、トルエン、ジクロロベンゼン及びキシレン等の溶剤に溶解して、支持体上に塗布することによって薄膜を形成することができる。
有機半導体薄膜の厚みは、一般に1μm以下、特に5〜200nmが好ましい。
本発明の有機薄膜トランジスタにおいて用いられる絶縁膜には、種々の絶縁膜材料を用いることができる。例えば、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタル、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコウム酸化チタン酸バリウム、ジルコニウム酸チタン酸鉛、チタン酸鉛ランタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、フッ化バリウムマグネシウム、タンタル酸ニオブ酸ビスマス、トリオキサイドイットリウム等の無機系絶縁材料が挙げられる。
本発明の有機薄膜トランジスタにおいて、絶縁膜と有機半導体層の接着性を向上、ゲート電圧の低減、リーク電流低減等の目的で、これら層間に有機薄膜を設けてもよい。有機薄膜は有機半導体層に対し、化学的影響を与えなければ、特に限定されないが、例えば、有機分子膜や高分子薄膜が利用できる。
本発明の有機薄膜トランジスタに用いられるゲート電極、ソース電極、ゲート電極としては、導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン、鉛、タンタル、インジウム、アルミニウム、亜鉛、マグネシウム等、及びこれらの合金やインジウム・錫酸化物等の導電性金属酸化物、あるいはドーピング等で導電率を向上させた無機及び有機半導体、例えば、シリコン単結晶、ポリシリコン、アモルファスシリコン、ゲルマニウム、グラファイト、ポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチエニレンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体等が挙げられる。
また、本発明の有機薄膜トランジスタは、必要に応じて各電極からの引出し電極を設けることができる。
本発明の有機薄膜トランジスタは、液晶、有機EL、電気泳動等の表示画像素子を駆動するための素子として利用でき、これらの集積化により、いわゆる「電子ペーパー」と呼ばれるディスプレイを製造することが可能である。また、ICタグ等のデバイスとして、本発明の有機薄膜トランジスタを集積化したICを利用することが可能である。
化合物(3)の合成ルートを以下に示す。
〈4,5−ビス(ヒドロキシメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−2の合成〉
水素化ホウ素ナトリウム(10.22g)に、塩化リチウム(1.00g)を溶解させたメタノール(100ml)を滴下した。その後にTHF(50ml)を入れた。−10℃に冷却後、THF(100ml)に溶解させた1,3−ジチオール−2−チオン−4,5−ジカルボン酸ジメチル:1−1(10.0g)を滴下した。滴下終了後、氷浴で3時間攪拌した。反応終了後、反応溶液を氷水(1l)に注いだ。酢酸エチルで抽出を行い、飽和食塩水で洗浄後、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムをろ別し、酢酸エチルで再結晶を行い、4,5−ビス(ヒドロキシメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−2を収率88%で得た。NMRにより同定を行った。1H−NMR(DMSO,TMS)σ:4.45(d,2H,J=5.5Hz),5.88(t,1H,J=5.5Hz)
〈4,5−ビス(ブロモメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−3の合成〉
4,5−ビス(ヒドロキシメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−2(5.20g)とクロロホルム(60ml)及びテトラヒドロフラン(60ml)を入れ、氷浴により冷却した。クロロホルム(60ml)に溶解した臭化リン(3.04ml)を滴下した。5℃以下で3時間攪拌し、その後、酢酸エチルにより抽出を行った。水、飽和食塩水で洗浄後、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムをろ別し、酢酸エチルで再結晶を行ない、4,5−ビス(ブロモメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−3を収率85%で得た。NMRにより同定を行なった。1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:4.33(s,4H)
〈2−チオキソナフト[2,3−d][1,3]ジチオール−5,8−ジオン:1−4の合成〉
4,5−ビス(ブロモメチル)−1,3−ジチオール−2−チオン:1−3(1.10g)とヨウ化テトラエチルアンモニウム(0.38g)及びp−ベンゾキノン(2.77g)及びアセトニトリル(60ml)を入れ、1時間還流した。その後、ジクロロジシアノベンゾキノン(1.62g)を入れ、7時間還流を行なった。還流終了後、溶媒を留去し、メタノールを入れ沈殿物を濾過により回収した。メタノール、蒸留水、エーテルの順に洗浄を行い、得られた残渣をクロロホルムに溶解後、ろ過を行った。得られたろ液から再結晶を行ない、2−チオキソナフト[2,3−d][1,3]ジチオール−5,8−ジオン:1−4を収率78%で得た。NMRにより同定を行なった。1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:7.04(s,2H),8.15(s,2H)
〈6,9−ジヒドロ−6,9−エタノ−2−チオキソアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−5,10−ジオン:1−5の合成〉
トルエン(300ml)に、2−チオキソナフト[2,3−d][1,3]ジチオール−5,8−ジオン:1−4(0.50g)を入れ、−78℃に冷却した。冷却後、N−(トリメチルシリル)ビス(トリフルオロメタンサルフォニル)イミド(1.34g)を加え、その後に1,3−シクロヘキサジエン(0.84g)を入れた。反応終了後、1MNaHCO3水溶液を入れた。有機層を分液後、飽和食塩水で洗浄し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムをろ別し、トルエンを用いて再結晶を行い6,9−ジヒドロ−6,9−エタノ−2−チオキソアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−5,10−ジオン:1−5を収率77%で得た。
NMRにより同定を行った。1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:1.40−1.43(m,2H),1.78−1.81(m,2H),3.24−3.25(m,2H),3.32−3.35(m,2H),6.16(dd,2H,J1=3.2Hz,J2=4.6Hz),8.08(s,2H)
〈5,10−ジヒドロキシ−5,10−ジヒドロ−6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−6の合成〉
メタノール(60ml)及び、THF(160ml)に、6,9−ジヒドロ−6,9−エタノ−2−チオキソアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−5,10−ジオン:1−5(0.12g)を入れ氷浴により0℃に冷却した。冷却後に水素化ホウ素ナトリウム(0.026g)を溶解させ、4時間攪拌した。反応終了後、反応溶液を氷水に注ぎ沈殿物を濾別した。水で洗浄後、真空乾燥をし、5,10−ジヒドロキシ−5,10−ジヒドロ−6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−6を収率98%で得た。NMRにより同定を行った。1H−NMR(DMSO,TMS)σ:1.00(d,2H,J1=7.3Hz),1.42(d,2H,J1=7.3Hz),2.57(s,2H),2.75(s,2H),4.74(s,2H),5.16(s,2H),5.6(s,2H),7.58(s,2H)
〈6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−7の合成〉
ピリジン(30ml)に5,10−ジヒドロキシ−5,10−ジヒドロ−6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−6(1.03g)を溶解させ、氷浴により0℃に冷却した。冷却後、塩化ホスホニル(0.81ml)を入れ、2時間攪拌した。反応終了後、氷水に注ぎ得られた沈殿物を濾別した。
水で洗浄後、クロロホルムに溶解した。硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムを濾別後、溶媒を留去し、カラムクロマトグラフィにより、6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−7を収率92%で単離した。1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:1.55−1.57(m,2H),1.66−1.69(m,2H),4.04−4.06(m,2H),6.56−6.57(dd,2H,J1=3.1Hz,J2=4.6Hz),7.54(s,2H),7.85(s,2H)
〈6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−オン:1−8の合成〉
クロロホルム(90ml)に6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−チオン:1−7(0.92g)を溶解させ、酢酸に溶解した酢酸水銀を滴下した。室温で4時間攪拌した。反応終了後、セライト濾過を行い、クロロメチルで洗浄した。濾液をNaHCO3水溶液、蒸留水で洗浄した。洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムを濾別後、溶媒を留去し、6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−オン:1−8を収率76%で得た。
1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:1.54−1.56(m,2H),1.66−1.69(m,2H),4.03−4.06(m,2H),6.56−6.57(dd,2H,J1=3.1Hz,J2=4.6Hz),7.51(s,2H),7.86(s,2H)
IR(KBr)で赤外スペクトルを分析したところC=Oに由来する1718cm−1の吸収を確認した。
〈ビス(6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:(3)の合成〉
6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−2−オン:1−8(0.20g)を、ホスホン酸トリエチル(2.00ml)と混合し、140℃で9時間攪拌した。反応溶液を放冷後、濾別し、メタノールで洗浄した。その後、クロロホルムで洗浄し、ビス(6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:(3)を収率67%で得た。質量分析:GC−MSm/z=281[M2+],元素分析値:C,72.21;H,3.84(実測値;質量%単位)C,72.82;H,4.31(計算値),IR(KBr)の測定を行い、結果を図2に示す。
膜厚300nmの熱酸化膜を有するN型のシリコン基板を濃硫酸に24時間浸漬させ洗浄した。洗浄済みのシリコン基板をシランカップリング剤(オクチルトリクロロシラン)のトルエン溶液(1mM)に浸漬させ、5分間超音波処理を行ない、シリコン酸化膜表面に単分子膜を形成させた。
上記で作製した基板に対して、実施例1で得られたビス(6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(3)を真空蒸着(背圧〜10−4Pa,蒸着レート0.1Å/s、半導体膜厚:50nm)することにより、平滑で均質な有機膜が得られた。
得られた有機膜を光電子分光装置:AC−2(理研計器社製,標準試料:金蒸着膜、照射光量5.0nW)を用いてイオン化ポテンシャルの測定を行った。測定結果よりビス(6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(3)のイオン化ポテンシャルは4.9eVであった。
化合物(1)の合成ルートを以下に示す。
〈ビス(アントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(1)の合成〉
ビス(6,9−ジヒドロ−6,9−エタノアントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:(3)(0.20g)を、窒素通気させた三角フラスコ内に入れ、280℃に設定したホットプレートに置いた。黄色の粉末であった(3)は数分後に赤い粉末に変化しビス(アントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:(1)を収率99%で得た。
元素分析値:C,71.15;H,2.77(実測値;質量%単位)C,71.39;H,3.20(計算値),IR(KBr)の測定を行い、結果を図3に示す。
膜厚300nmの熱酸化膜を有するN型のシリコン基板を濃硫酸に24時間浸漬させ洗浄した。洗浄済みのシリコン基板をシランカップリング剤(オクチルトリクロロシラン)のトルエン溶液(1mM)に浸漬させ、5分間超音波処理を行ない、シリコン酸化膜表面に単分子膜を形成させた。
上記で作製した基板に対して、実施例1で得られたビス(アントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(1)を真空蒸着(背圧〜10−4Pa,蒸着レート0.1Å/s、半導体膜厚:50nm)することにより、平滑で均質な有機膜が得られた。
得られた有機膜を光電子分光装置:AC−2(理研計器社製,標準試料:金蒸着膜、照射光量5nW)を用いてイオン化ポテンシャルの測定を行った。測定結果よりビス(アントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(1)のイオン化ポテンシャルは4.9eVであった。
上記有機膜の面外X線パターンを図4に面内X線パターンを図5に示す。
膜厚300nmの熱酸化膜を有するN型のシリコン基板を濃硫酸に24時間浸漬させ洗浄した。洗浄済みのシリコン基板をシランカップリング剤(フェニルトリクロロシラン)のトルエン溶液(1mM)に浸漬させ、5分間超音波処理を行ない、シリコン酸化膜表面に単分子膜を形成させた。
上記で作製した基板に対して、実施例1で得られたビス(アントラ[2,3−d])テトラチアフルバレン:上記[化4]の(1)を真空蒸着(背圧〜10−4Pa,蒸着レート0.1Å/s、半導体膜厚:50nm)することにより、有機半導体層を形成した。
この有機半導体層上部にシャドウマスクを用いて金を真空蒸着(背圧〜10−4Pa,蒸着レート1〜2Å/s、膜厚:50nm)することによりソース、ドレイン電極を形成した(チャネル長50μm、チャネル幅2mm)。電極とは異なる部位の有機半導体層およびシリコン酸化膜を削り取り、その部分に導電性ペースト(導電性ペースト、藤倉化成製)を付け溶媒を乾燥させた。この部分を用いて、ゲート電極としてのシリコン基板に電圧を印加した。
こうして得られたFET(電界効果型トランジスタ)素子の電気特性をAgilent社製半導体パラメーターアナライザー4156Cを用いて評価した結果、p型のトランジスタ素子としての特性を示した。有機薄膜トランジスタの伝達特性を図6に、出力特性を図7に示す。伝達特性の飽和領域から、電界効果移動度を求めた。
なお、有機薄膜トランジスタの電界効果移動度(μ)算出には、以下の式を用いた。
化合物(4)の合成は実施例1の(1−4)化合物を用いて合成を行なった。
化合物(4)の合成ルートを以下に示す。
トルエン(1000ml)に2−チオキソナフト[2,3−d][1,3]ジチオール−5,8−ジオン:1−4(1.87g)を入れ、−78度に冷却した。冷却後、N−(トリメチルシリル)ビス(トリフルオロメタンサルフォニル)イミド(3.06g)を加え、その後に5,5−ジメチル−1,3−シクロヘキサジエン(5.0g)を入れた。反応終了後、1MNaHCO3水溶液を入れた。有機層を分液後、飽和食塩水で洗浄し、有機層を硫酸マグネシウムで乾燥させた。硫酸マグネシウムを濾別し、トルエンを用いて再結晶を行い6,9−ジヒドロ−6,9−(11,11−ジメチルエタノ)−2−チオキソアントラ[2,3−d][1,3]ジチオール−5,10−ジオン:8−5を収率70%で得た。
NMRにより同定を行った。1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:0.89(s,3H),1.19(s,3H),2.97−2.99(m,1H),3.22(d,2H,J=7.4Hz),3.53−3.56(m,1H),6.06(t,1H,J=6.6Hz,),6.23(t,1H,J=6.6Hz),8.08(s,2H)
得られた化合物8−5を用いて実施例1の合成手順〈5〉から〈8〉と同様な操作を行い。ビス{6,9−ジヒドロ−6,9−(11,11−ジメチルエタノアントラ)[2,3−d]}テトラチアフルバレン:上記[化4]の(4)を得た。NMRにより同定を行った。
1H−NMR(CDCl3,TMS)σ:0.66(s,3H),1.08(s,3H),1.33(d,1H,J=6.3Hz),1.49(d,2H,J=6.3Hz),3.41−3.42(m,1H),3.86−3.87(m,1H),7.37(s,2H),7.61(s,2H)元素分析値:C,73.88;H,4.77(実測値;質量%単位)C,71.98;,5.23(計算値),IR(KBr)の測定を行ない、結果を図9に示す。
得られた有機膜を光電子分光装置:AC−2(理研計器社製,標準試料:金蒸着膜、照射光量25nw)を用いてイオン化ポテンシャルの測定を行った。測定結果よりビス{6,9−ジヒドロ−6,9−(11,11−ジメチルエタノアントラ)[2,3−d]}テトラチアフルバレン:上記[化4]の(4)のイオン化ポテンシャルは5.0eVであった。
化合物(23)の合成ルートを以下に示す。
〈ベンゾ[g]キノキサリン−2,3−ジチオール:3−2の合成〉
テトラヒドロフラン(100ml)に2,3−ジクロロベンゾ[g]キノキサリン:3−1(0.43g)を加え、さらに水硫化カリウム溶液:水酸化カリウムの10%〜20%水溶液(2.83g)を加えた。溶液を室温下で16時間撹拌した。反応溶液を蒸留水(400ml)に注ぎ、塩酸により酸性にした。析出物を蒸留水で洗浄後、クロロホルムで洗浄し、ベンゾ[g]キノキサリン−2,3−ジチオール:3−2を収率98%で得た。
NMR及びMSにより同定を行った。1H−NMR(DMSO,TMS)σ:7.48(dd,2H,J1=6.3,J2=3.2Hz),7.84(s,2H),7.91(dd,2H,J1=6.3,J2=3.5Hz)GC−MSm/z=244
〈ベンゾ[g][1,3]ジチオロ[4,5−b]キノキサリン−2−オン:3−3の合成〉
テトラヒドロフラン(200ml)にベンゾ[g]キノキサリン−2,3−ジチオール:3−2(0.29g)を加え、さらにトリホスゲン(0.60)を加えた。溶液を室温下で18時間撹拌した。反応溶液を蒸留水(400ml)に注ぎ、析出物をろ過した。
その後、ろ別した析出物を蒸留水、メタノールで順次洗浄後、クロロホルムに溶解させ、カラムクロマトグラフィ(展開溶媒:クロロホルム)によりベンゾ[g][1,3]ジチオロ[4,5−b]キノキサリン−2−オン:3−3を分取した。収率は40%であった。
NMR、MS及びIRにより同定を行った。1H−NMR(DMSO,TMS)σ:7.64(dd,2H,J1=6.5,J2=3.2Hz),8.12(dd,2H,J1=6.5,J2=3.2Hz),8.59(s,2H)GC−MSm/z=270IR(KBr)で赤外スペクトルを分析したところC=Oに由来する1728cm−1の吸収を確認した。
〈ビス(ベンゾ[g]キノキサリン)テトラチアフルバレン:上記[化8]の(23)の合成〉
ベンゾ[g][1,3]ジチオロ[4,5−b]キノキサリン−2−オン:3−3(0.21g)を、ホスホン酸トリエチル(6.00ml)と混合し、140℃で9時間攪拌した。反応溶液を放冷後、濾別し、メタノールで洗浄した。その後、クロロホルムで洗浄し、ビス(ベンゾ[g]キノキサリン)テトラチアフルバレン:上記[化8]の(23)を収率91%で得た。質量分析:GC−MSm/z=508,IR(KBr)の測定を行い、結果を図10に示す。
得られた有機膜を光電子分光装置:AC−2(理研計器社製,標準試料:金蒸着膜、照射光量50nw)を用いてイオン化ポテンシャルの測定を行った。測定結果よりビス(ベンゾ[g]キノキサリン)テトラチアフルバレン:(23)のイオン化ポテンシャルは5.5eVであった。
作製した有機薄膜トランジスタの電界効果移動度は、0.50cm2/Vsであった。
得られた有機膜を光電子分光装置:AC−2(理研計器社製,標準試料:金蒸着膜、照射光量5.0nW)を用いてイオン化ポテンシャルの測定を行った。測定結果よりビスナフトテトラチアフルバレンのイオン化ポテンシャルは4.7eVであった。
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4 ゲート電極
5 ゲート絶縁膜
Claims (3)
- 少なくとも請求項1に記載のテトラチアフルバレン誘導体を含有する有機膜。
- 少なくとも請求項1に記載のテトラチアフルバレン誘導体を含有する有機トランジスタ。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010000319A JP5569774B2 (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-05 | テトラチアフルバレン誘導体 |
KR1020117025048A KR101348436B1 (ko) | 2009-03-25 | 2010-03-17 | 테트라티아풀바렌 유도체, 유기막 및 유기 트랜지스터 |
EP10756147A EP2411378B1 (en) | 2009-03-25 | 2010-03-17 | Tetrathiafulvalene derivative, and organic film and organic transistor using the same |
CN201080013567.2A CN102365274B (zh) | 2009-03-25 | 2010-03-17 | 四硫富瓦烯衍生物、以及使用它的有机膜和有机晶体管 |
PCT/JP2010/055143 WO2010110351A1 (en) | 2009-03-25 | 2010-03-17 | Tetrathiafulvalene derivative, and organic film and organic transistor using the same |
US13/259,535 US8530673B2 (en) | 2009-03-25 | 2010-03-17 | Tetrathiafulvalene derivative, and organic film and organic transistor using the same |
TW99108711A TWI469973B (zh) | 2009-03-25 | 2010-03-24 | 四硫富瓦烯衍生物,以及利用彼之有機膜與有機電晶體 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009073990 | 2009-03-25 | ||
JP2009073990 | 2009-03-25 | ||
JP2010000319A JP5569774B2 (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-05 | テトラチアフルバレン誘導体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010248167A JP2010248167A (ja) | 2010-11-04 |
JP5569774B2 true JP5569774B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=42781044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010000319A Expired - Fee Related JP5569774B2 (ja) | 2009-03-25 | 2010-01-05 | テトラチアフルバレン誘導体 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8530673B2 (ja) |
EP (1) | EP2411378B1 (ja) |
JP (1) | JP5569774B2 (ja) |
KR (1) | KR101348436B1 (ja) |
CN (1) | CN102365274B (ja) |
TW (1) | TWI469973B (ja) |
WO (1) | WO2010110351A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110215306A1 (en) * | 2010-03-02 | 2011-09-08 | Takuji Kato | Organic semiconductor element and organic electrode |
JP5734575B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-17 | 株式会社リコー | 有機積層膜 |
JP5730493B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-10 | 株式会社リコー | 新規有機導電性膜を使用した有機電極 |
JP5730492B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-10 | 株式会社リコー | 有機電極を用いた有機薄膜トランジスタとその製造方法 |
JP2013138173A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-07-11 | Ricoh Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP6085914B2 (ja) | 2011-11-28 | 2017-03-01 | 株式会社リコー | エレクトロクロミック化合物、エレクトロクロミック組成物及び表示素子 |
CN102757353B (zh) * | 2012-05-23 | 2014-08-13 | 中国科学院化学研究所 | 有机无机杂化室温金属性分子磁体及其制备方法 |
JP6789540B2 (ja) * | 2017-02-28 | 2020-11-25 | Jnc株式会社 | カルコゲン含有有機化合物およびその用途 |
CN111533948B (zh) * | 2020-04-20 | 2021-05-18 | 北京邮电大学 | 一种温和条件下利用有机分子导体制备多孔三维有机力学传感元件的方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007042717A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Tokyo Institute Of Technology | テトラチアフルバレン誘導体、テトラセレナフルバレン誘導体及びp型有機電界効果トランジスタ |
US7907911B2 (en) * | 2005-08-16 | 2011-03-15 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Scheduling multi-user transmission in the downlink of a multi-antenna wireless communication system |
JP5578414B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2014-08-27 | 株式会社リコー | テトラチアフルバレン誘導体を用いた有機トランジスタ及びその製造方法 |
JP5734575B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-17 | 株式会社リコー | 有機積層膜 |
JP5730493B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-10 | 株式会社リコー | 新規有機導電性膜を使用した有機電極 |
JP5730492B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2015-06-10 | 株式会社リコー | 有機電極を用いた有機薄膜トランジスタとその製造方法 |
-
2010
- 2010-01-05 JP JP2010000319A patent/JP5569774B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-17 CN CN201080013567.2A patent/CN102365274B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-17 WO PCT/JP2010/055143 patent/WO2010110351A1/en active Application Filing
- 2010-03-17 US US13/259,535 patent/US8530673B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-17 EP EP10756147A patent/EP2411378B1/en not_active Not-in-force
- 2010-03-17 KR KR1020117025048A patent/KR101348436B1/ko active IP Right Grant
- 2010-03-24 TW TW99108711A patent/TWI469973B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110132615A (ko) | 2011-12-08 |
TWI469973B (zh) | 2015-01-21 |
TW201105647A (en) | 2011-02-16 |
EP2411378B1 (en) | 2012-12-19 |
KR101348436B1 (ko) | 2014-01-06 |
EP2411378A4 (en) | 2012-02-01 |
US20120035364A1 (en) | 2012-02-09 |
WO2010110351A1 (en) | 2010-09-30 |
CN102365274A (zh) | 2012-02-29 |
CN102365274B (zh) | 2014-03-12 |
US8530673B2 (en) | 2013-09-10 |
EP2411378A1 (en) | 2012-02-01 |
JP2010248167A (ja) | 2010-11-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140530 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140612 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5569774 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |