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JP5555655B2 - Gas generator, isolator - Google Patents

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JP5555655B2 JP2011079955A JP2011079955A JP5555655B2 JP 5555655 B2 JP5555655 B2 JP 5555655B2 JP 2011079955 A JP2011079955 A JP 2011079955A JP 2011079955 A JP2011079955 A JP 2011079955A JP 5555655 B2 JP5555655 B2 JP 5555655B2
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    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
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Description

本発明は、ガス発生装置、アイソレータに関する。   The present invention relates to a gas generator and an isolator.

ダブルチャンバ式の霧化装置を備える滅菌ガス発生装置や薬剤吸入器等では、伝播水と、霧化対象となる液体を貯留するカップの底面の振動板とを介して、超音波振動のエネルギーが液体に伝わるため、カップの液体は霧化される(例えば、特許文献1参照)。   In a sterilization gas generator or a drug inhaler equipped with a double chamber type atomizer, the energy of ultrasonic vibration is transmitted through the propagation water and the diaphragm on the bottom of the cup that stores the liquid to be atomized. Since the liquid is transmitted to the liquid, the liquid in the cup is atomized (see, for example, Patent Document 1).

特開2005−172692号公報JP 2005-172692 A

一般的に振動板は薄いため、霧化装置を長期間使用していると、振動板に亀裂が発生して穴が開いてしまうことがある。このような場合、霧化対象となる液体が伝搬水を貯留する容器側へと漏れてしまう。したがって、例えば作業者は、定期的に振動板の表面を観測し、振動板に穴が開いていないかを確認する必要があった。   Since the diaphragm is generally thin, if the atomizer is used for a long period of time, the diaphragm may crack and open a hole. In such a case, the liquid to be atomized leaks to the container side storing the propagation water. Therefore, for example, an operator has to regularly observe the surface of the diaphragm and check whether there is a hole in the diaphragm.

本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、振動板の表面を観測することなく、振動板に穴が開いているか否かを検出することができるガス発生装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a gas generator that can detect whether or not there is a hole in the diaphragm without observing the surface of the diaphragm. To do.

上記目的を達成するため、本発明の一つの側面に係るガス発生装置は、底面に設けられた第1開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、液体を貯留するとともに、加圧または減圧される際には密閉される第1空間を有する第1貯留部と、前記第1貯留部で霧化される前記液体を気化する気化部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第2空間と、第2開口部とを有し、前記第2開口部が閉塞された場合に前記第1貯留部とともに前記第2空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第2貯留部と、前記第1空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、前記第2開口部を介して前記第2空間の圧力を測定する圧力測定装置と、を備える。   In order to achieve the above object, a gas generator according to one aspect of the present invention has a diaphragm attached to close a first opening provided on a bottom surface, stores liquid, and pressurizes. Alternatively, the first reservoir having a first space that is sealed when the pressure is reduced, the vaporizer that vaporizes the liquid atomized in the first reservoir, and the propagation water that propagates ultrasonic vibrations are stored. And an ultrasonic transducer attached to the bottom surface that seals the second space together with the first reservoir when the second opening is closed. And a pressure adjusting device that pressurizes or depressurizes the first space, and a pressure measuring device that measures the pressure of the second space through the second opening.

振動板の表面を観測することなく、振動板に穴が開いているか否かを検出することができるガス発生装置を提供することができる。   It is possible to provide a gas generator that can detect whether or not a hole is formed in the diaphragm without observing the surface of the diaphragm.

本発明の一実施形態であるアイソレータ10の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the isolator 10 which is one Embodiment of this invention. 滅菌ガス発生装置33の側面図である。3 is a side view of a sterilization gas generator 33. FIG. マイコン73に実現される機能ブロックを示す図である。It is a figure which shows the functional block implement | achieved by the microcomputer 73. FIG. マイコン73が実施する処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the process which the microcomputer 73 implements. 振動板116に穴がない場合に測定された圧力P1,P2の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of pressure P1, P2 measured when the diaphragm 116 does not have a hole. 振動板116に穴がある場合に測定された圧力P1,P2の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of pressure P1, P2 measured when the diaphragm has a hole. 滅菌ガス発生装置33の空間Aを直接加圧する場合の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example in the case of directly pressurizing the space A of the sterilization gas generator.

本明細書および添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。   At least the following matters will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

図1は、本発明の一実施形態であるアイソレータ10の構成を示す図である。アイソレータ10は、作業者が滅菌された環境で細胞の作業等を行うための装置であり、滅菌ガス発生ユニット20、供給装置21、作業室22、排出装置23、及び制御装置24を含んで構成される。なお、滅菌とは微生物を殺滅して限りなく無菌に近くすることであるが、本明細書ではいわゆる除染、除菌、殺菌なども含めるものとする。また、無菌環境とは限りなく無菌に近い環境であって、除染処理とはその無菌環境を実現するための処理をいい、除染処理に用いる物質を除染物質という。   FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an isolator 10 according to an embodiment of the present invention. The isolator 10 is a device for an operator to perform cell operations in a sterilized environment, and includes a sterilization gas generation unit 20, a supply device 21, a work chamber 22, a discharge device 23, and a control device 24. Is done. Note that sterilization is to kill microorganisms and make them as close to aseptic as possible, but in this specification, so-called decontamination, sterilization, sterilization, and the like are also included. In addition, an aseptic environment is an environment that is almost aseptic, and the decontamination process is a process for realizing the aseptic environment, and a substance used for the decontamination process is called a decontamination substance.

滅菌ガス発生ユニット20は、タンク30、ポンプ31、パイプ32、滅菌ガス発生装置33、及び圧力計34を含んで構成される。
タンク30は、過酸化水素水(過酸化水素(H2O2)が溶解した水溶液)を貯蔵する。
ポンプ31は、タンク30から過酸化水素水を汲み上げ、パイプ32を介して滅菌ガス発生装置33に供給する。
The sterilization gas generation unit 20 includes a tank 30, a pump 31, a pipe 32, a sterilization gas generation device 33, and a pressure gauge 34.
The tank 30 stores a hydrogen peroxide solution (an aqueous solution in which hydrogen peroxide (H 2 O 2 ) is dissolved).
The pump 31 pumps up the hydrogen peroxide solution from the tank 30 and supplies it to the sterilization gas generator 33 through the pipe 32.

滅菌ガス発生装置33は、供給される過酸化水素水から滅菌ガスである過酸化水素ガスを発生し、キャリアガスとともに供給装置21へと供給する。なお、滅菌ガス発生装置33の詳細については後述するが、滅菌ガス発生装置33における空間Aでは、過酸化水素水及びキャリアガスが供給されて、過酸化水素ガスが発生する。一方、空間Bは、過酸化水素水を霧化させるための伝搬水が貯留される密閉された空間である。また、圧力計34(圧力測定装置)は、空間Bの圧力P1を測定する。   The sterilization gas generator 33 generates hydrogen peroxide gas, which is a sterilization gas, from the supplied hydrogen peroxide solution, and supplies the hydrogen peroxide gas to the supply device 21 together with the carrier gas. Although details of the sterilization gas generator 33 will be described later, in the space A in the sterilization gas generator 33, hydrogen peroxide water and a carrier gas are supplied to generate hydrogen peroxide gas. On the other hand, the space B is a sealed space in which propagation water for atomizing the hydrogen peroxide solution is stored. The pressure gauge 34 (pressure measuring device) measures the pressure P1 in the space B.

供給装置21は、供給される過酸化水素ガス、またはアイソレータ10の外部の空気を作業室22へと供給する装置であり、電磁バルブ40、及びファン41を含んで構成される。   The supply device 21 is a device that supplies the supplied hydrogen peroxide gas or air outside the isolator 10 to the work chamber 22, and includes an electromagnetic valve 40 and a fan 41.

電磁バルブ40は、制御装置24の制御に基づいて、過酸化水素ガス、または外部の空気をファン41に供給する。ファン41は、電磁バルブ40から供給される過酸化水素ガス、または空気を作業室22へと供給する。   The electromagnetic valve 40 supplies hydrogen peroxide gas or external air to the fan 41 based on the control of the control device 24. The fan 41 supplies hydrogen peroxide gas or air supplied from the electromagnetic valve 40 to the work chamber 22.

作業室22は、例えば細胞等の生体由来材料を対象とする作業を行う空間であり、作業室22には、エアフィルタ50,51、扉52、作業用グローブ53、コンプレッサ54、及び圧力計55が設けられている。   The work chamber 22 is a space for performing work on biological materials such as cells, for example. The work chamber 22 includes air filters 50 and 51, a door 52, a work glove 53, a compressor 54, and a pressure gauge 55. Is provided.

エアフィルタ50は、ファン41から供給される過酸化水素ガス、または空気に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。エアフィルタ51は、作業室22から排出されるガス等に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。なお、エアフィルタ50,51には、例えば、HEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタが用いられる。   The air filter 50 is a filter for removing hydrogen peroxide gas supplied from the fan 41 or dust contained in the air. The air filter 51 is a filter for removing dust or the like contained in gas or the like discharged from the work chamber 22. For example, HEPA (High Efficiency Particulate Air) filters are used for the air filters 50 and 51.

扉52は、細胞等を作業室10に搬入するために作業室10の前面に開閉可能に設けられている。
作業用グローブ53は、扉52が閉じられた状態で作業者が作業室22内の細胞等を作業できるよう、扉52に設けられた開口部(不図示)に取り付けられている。
The door 52 is provided to be openable and closable on the front surface of the work chamber 10 in order to carry cells or the like into the work chamber 10.
The work glove 53 is attached to an opening (not shown) provided in the door 52 so that an operator can work on cells and the like in the work chamber 22 with the door 52 closed.

コンプレッサ54(圧力調整装置)は、作業室22に設けられた開口部80(第3開口部)を介して、アイソレータ10の外部の空気を圧縮して作業室22へと供給する。なお、開口部80には、エアフィルタ50と同様のエアフィルタ(不図示)が設けられている。
圧力計55は、作業室22に設けられた開口部81(第4開口部)を介して、作業室22の内部の空間の圧力P2を測定する。
The compressor 54 (pressure adjusting device) compresses the air outside the isolator 10 and supplies the compressed air to the working chamber 22 through the opening 80 (third opening) provided in the working chamber 22. The opening 80 is provided with an air filter (not shown) similar to the air filter 50.
The pressure gauge 55 measures the pressure P <b> 2 in the space inside the work chamber 22 through the opening 81 (fourth opening) provided in the work chamber 22.

排出装置23は、作業室22から過酸化水素ガスや空気等のガスを排出するための装置であり、電磁バルブ60、及び滅菌処理装置61を含んで構成される。   The discharge device 23 is a device for discharging a gas such as hydrogen peroxide gas or air from the work chamber 22, and includes an electromagnetic valve 60 and a sterilization apparatus 61.

電磁バルブ60は、制御装置24からの制御に基づいて、エアフィルタ51から出力されるガスを、滅菌処理装置61、または滅菌ガス発生装置33の何れかに供給する。なお、電磁バルブ60からの出力が滅菌ガス発生装置33へと供給される場合、作業室22のガスは循環されることになる。
滅菌処理装置61は触媒を備え、電磁バルブ60から出力されるガスを無害化および滅菌処理をしてアイソレータ10の外部へと出力する。
The electromagnetic valve 60 supplies the gas output from the air filter 51 to either the sterilization processing device 61 or the sterilization gas generation device 33 based on the control from the control device 24. In addition, when the output from the electromagnetic valve 60 is supplied to the sterilization gas generator 33, the gas in the working chamber 22 is circulated.
The sterilization apparatus 61 includes a catalyst, renders the gas output from the electromagnetic valve 60 harmless and sterilizes, and outputs the gas to the outside of the isolator 10.

制御装置24(判定装置)は、アイソレータ10の各ブロックを制御する装置であり、操作部70、表示部71、記憶装置72、及びマイコン73を含んで構成される。   The control device 24 (determination device) is a device that controls each block of the isolator 10, and includes an operation unit 70, a display unit 71, a storage device 72, and a microcomputer 73.

操作部70は、利用者がアイソレータ10の動作を設定するための操作パネル等である。なお、操作部70の操作結果はマイコン73へと送信される。
表示部71は、操作部70の操作結果や、アイソレータ10の各ブロックの状態等を表示する表示パネルである。
記憶装置72は、マイコン73が実行するプログラムデータや、各種データを記憶する。
The operation unit 70 is an operation panel or the like for the user to set the operation of the isolator 10. The operation result of the operation unit 70 is transmitted to the microcomputer 73.
The display unit 71 is a display panel that displays an operation result of the operation unit 70, a state of each block of the isolator 10, and the like.
The storage device 72 stores program data executed by the microcomputer 73 and various data.

マイコン73は、記憶装置72に記憶されたプログラムデータを実行することにより、各種機能を実現する。例えば、操作部70から、リークチェックを実行させるための指示や、滅菌ガスを発生させるため指示が出力されると、マイコン73は、指示に応じた所定のプログラムを実行し、ポンプ31等を制御する。なお、マイコン73の詳細は後述する。   The microcomputer 73 implements various functions by executing the program data stored in the storage device 72. For example, when an instruction for executing a leak check or an instruction for generating sterilization gas is output from the operation unit 70, the microcomputer 73 executes a predetermined program according to the instruction to control the pump 31 and the like. To do. Details of the microcomputer 73 will be described later.

==滅菌ガス発生装置33の詳細==
図2は、滅菌ガス発生装置33の側面図である。なお、図2において、一部のブロックは断面図で描かれている。滅菌ガス発生装置33は、過酸化水素水(液体)を霧化させる霧化装置100を備えている。また、霧化装置100は、過酸化水素水を貯留するカップ110、伝播水を貯留する貯留容器111、蓋部材112を備えている。
== Details of Sterilization Gas Generator 33 ==
FIG. 2 is a side view of the sterilization gas generator 33. In FIG. 2, some of the blocks are drawn in a cross-sectional view. The sterilization gas generator 33 includes an atomization device 100 that atomizes hydrogen peroxide water (liquid). The atomizer 100 also includes a cup 110 that stores hydrogen peroxide water, a storage container 111 that stores propagation water, and a lid member 112.

カップ110(第1貯留部)には、上側(+Z方向)と下側(−Z方向)に開口部が設けられている。カップ110の下側の開口部200(第1開口部)には、開口部200をふさぐように振動板116が、パッキンを挟んでボルト等で水密的に固定されている。振動板116は、底面(−Z方向の面)が水平になるよう、カップ110に取り付けられている。また、カップ110に振動板116が取り付けられることにより、カップ110には、過酸化水素水を貯留する空間A(第1空間)が形成される。   The cup 110 (first reservoir) is provided with openings on the upper side (+ Z direction) and the lower side (−Z direction). In the lower opening 200 (first opening) of the cup 110, a diaphragm 116 is watertightly fixed with bolts or the like so as to close the opening 200. The diaphragm 116 is attached to the cup 110 so that the bottom surface (surface in the −Z direction) is horizontal. Further, by attaching the diaphragm 116 to the cup 110, a space A (first space) for storing the hydrogen peroxide solution is formed in the cup 110.

貯留容器111の底面には、伝播水に超音波振動を与えるための超音波振動子120が、その放射方向が垂直上向きから所定の角度(例えば、7度)傾いた状態となるように設けられている。伝播水はカップ110内の過酸化水素水へ超音波振動を伝播する。   On the bottom surface of the storage container 111, an ultrasonic vibrator 120 for applying ultrasonic vibration to the propagation water is provided so that the radiation direction is inclined at a predetermined angle (for example, 7 degrees) from the vertical upward direction. ing. The propagation water propagates ultrasonic vibrations to the hydrogen peroxide solution in the cup 110.

蓋部材112には、カップ110が挿入される開口部210、伝播水が注入される注入口220、及び圧力計34が取り付けられる開口部230が設けられている。   The lid member 112 is provided with an opening 210 into which the cup 110 is inserted, an inlet 220 into which propagation water is injected, and an opening 230 to which the pressure gauge 34 is attached.

カップ110は、開口部210を塞ぐように、上側から開口部210に挿入される。なお、カップ110は開口部210に挿入された後、ボルト(不図示)等で蓋部材に取り付けられる。注入口220には、注入口220を開放または閉塞する栓部材113が挿入されている。開口部230(第2開口部)には、伝播水が貯留される空間B(第2空間)の圧力P1を圧力計34が測定できるよう、フランジ114及びパイプ115を介して、圧力計34が取り付けられている。したがって、開口部220は閉塞され、空間Bは密閉される。ここで、貯留容器111及び蓋部材112は、第2貯留部に相当する。なお、貯留容器111及び蓋部材112は、一体形成されていても良い。   The cup 110 is inserted into the opening 210 from above so as to close the opening 210. The cup 110 is inserted into the opening 210 and then attached to the lid member with a bolt (not shown) or the like. A plug member 113 that opens or closes the inlet 220 is inserted into the inlet 220. In the opening 230 (second opening), the pressure gauge 34 is connected via the flange 114 and the pipe 115 so that the pressure gauge 34 can measure the pressure P1 of the space B (second space) in which the propagation water is stored. It is attached. Therefore, the opening 220 is closed and the space B is sealed. Here, the storage container 111 and the lid member 112 correspond to a second storage part. The storage container 111 and the lid member 112 may be integrally formed.

蓋部材112の上側には、過酸化水素ガスを外部へ供給するための供給管140と、供給管140を支持する支持部材150が設けられている。支持部材150は、蓋部材112の上面に設置された筒状部材151と、筒状部材151の上面に設けられたフランジ152を含む。   On the upper side of the lid member 112, a supply pipe 140 for supplying hydrogen peroxide gas to the outside and a support member 150 for supporting the supply pipe 140 are provided. The support member 150 includes a cylindrical member 151 installed on the upper surface of the lid member 112 and a flange 152 provided on the upper surface of the cylindrical member 151.

筒状部材151の径は、円筒状の供給管140の径よりも大きく、筒状部材151の−X側の側面には、キャリアガス(作業室22を循環する空気)が供給されるポート153が設けられている。フランジ152は、筒状部材151の上面の開口部を閉じつつ、中心に供給管140が貫通されている。また、フランジ152の上面には、過酸化水素水が供給されるパイプ32を通すためのポート154が設けられている。なお、パイプ32は、ポート154と、供給管140の側面に設けられた開口部を介して、カップ110に過酸化水素水等が供給できるよう、供給管140の側面に固定されている。   The diameter of the cylindrical member 151 is larger than the diameter of the cylindrical supply pipe 140, and a port 153 through which carrier gas (air circulating in the working chamber 22) is supplied to the −X side side surface of the cylindrical member 151. Is provided. The supply pipe 140 is penetrated in the center of the flange 152 while closing the opening on the upper surface of the cylindrical member 151. A port 154 is provided on the upper surface of the flange 152 for passing the pipe 32 supplied with hydrogen peroxide. The pipe 32 is fixed to the side surface of the supply pipe 140 so that hydrogen peroxide or the like can be supplied to the cup 110 via the port 154 and an opening provided on the side surface of the supply pipe 140.

また、カップ110の上側には、霧化された過酸化水素水を加熱し、気化するためのヒーター130が設けられている。ヒーター130で加熱され、ガス化した過酸化水素ガスは、供給されるキャリアガスとともに供給管140に設けられたポート141から出力される。ポート141は、前述の供給装置21の電磁バルブ40にパイプを介して接続される。このように、カップ110で霧化された過酸化水素水は、過酸化水素ガスとしてポート141から供給装置21へと供給される。なお、ヒーター130、供給管140は気化部に相当する。また、過酸化水素水を貯留する空間Aでは、気化された過酸化水素ガスが発生することになる。   A heater 130 for heating and vaporizing the atomized hydrogen peroxide solution is provided on the upper side of the cup 110. The hydrogen peroxide gas heated and gasified by the heater 130 is output from a port 141 provided in the supply pipe 140 together with the supplied carrier gas. The port 141 is connected to the electromagnetic valve 40 of the supply device 21 described above via a pipe. Thus, the hydrogen peroxide solution atomized by the cup 110 is supplied from the port 141 to the supply device 21 as hydrogen peroxide gas. The heater 130 and the supply pipe 140 correspond to a vaporization unit. In the space A in which the hydrogen peroxide solution is stored, vaporized hydrogen peroxide gas is generated.

==流路について==
ここで、例えば、アイソレータ10の内部のガスが外部へとリークしていないことを確認するためのリークチェックの工程が実行される際に、過酸化水素ガス等が流れる流路について、図1を参照しつつ説明する。
== About the channel ==
Here, for example, FIG. 1 shows a flow path through which hydrogen peroxide gas or the like flows when a leak check process for confirming that the gas inside the isolator 10 does not leak to the outside is executed. This will be described with reference to FIG.

リークチェックの工程では、電磁バルブ40は、過酸化水素ガスをファン41に供給し、電磁バルブ60は、エアフィルタ51から出力されるガスを、滅菌ガス発生装置33へと供給する。このため、作業室22のガスは、例えば、滅菌ガス発生装置33の空間A→電磁バルブ40→ファン41→作業室22→電磁バルブ60→空間Aという流路Aで循環することなる。また、流路Aにリークがない場合、流路Aの内部の空間、つまり空間Aや作業室22の内部の空間は密閉される。したがって、例えばリークチェックの工程で、作業室22の内部の空間が加圧されると、空間Aも加圧されることになる。このように、リークチェックの工程では、空間Aを加圧するための流路Aが形成されていることになる。   In the leak check process, the electromagnetic valve 40 supplies the hydrogen peroxide gas to the fan 41, and the electromagnetic valve 60 supplies the gas output from the air filter 51 to the sterilization gas generator 33. For this reason, the gas in the working chamber 22 circulates in the flow path A, for example, the space A → the electromagnetic valve 40 → the fan 41 → the working chamber 22 → the electromagnetic valve 60 → the space A of the sterilizing gas generator 33. When there is no leak in the flow path A, the space inside the flow path A, that is, the space A and the space inside the work chamber 22 are sealed. Therefore, for example, when the space inside the working chamber 22 is pressurized in the leak check process, the space A is also pressurized. Thus, the flow path A for pressurizing the space A is formed in the leak check process.

==マイコン73の詳細について==
マイコン73により実現される機能ブロックについて説明する。マイコン73は、操作部70から、リークチェックの工程の開始指示が入力されると、所定のプログラムを実行し、図3に示すような、制御部300、測定部301、及び判定部302,303の機能を実現する。
== Details of the microcomputer 73 ==
A functional block realized by the microcomputer 73 will be described. The microcomputer 73 executes a predetermined program when an instruction to start the leak check process is input from the operation unit 70, and the control unit 300, the measurement unit 301, and the determination units 302 and 303 as shown in FIG. Realize the function.

制御部300は、開始指示が入力されると、アイソレータ10の内部でガス等が流れる流路が、流路Aとなるよう電磁バルブ40,60を制御する。また、制御部300は、流路Aの内部の空間を加圧すべく、コンプレッサ54を制御する。
測定部301は、圧力計34を制御して空間Bの圧力P1を測定する。また、測定部301は、圧力計55を制御して空間Aの圧力P2を測定する。
判定部302は、コンプレッサ54が、作業室22の内部へ圧縮空気を供給してから、所定時間(例えば、時間TA)経過したか否かを判定する。
判定部303は、圧力P1,P2の測定結果に基づいて、流路Aにリークがあるか否かと、空間Aと空間Bとの間に設けられた振動板116に穴があるか否かを判定する。
When the start instruction is input, the control unit 300 controls the electromagnetic valves 40 and 60 so that the flow path through which gas or the like flows in the isolator 10 becomes the flow path A. Further, the controller 300 controls the compressor 54 to pressurize the space inside the flow path A.
The measurement unit 301 controls the pressure gauge 34 to measure the pressure P1 in the space B. Further, the measurement unit 301 controls the pressure gauge 55 to measure the pressure P2 in the space A.
The determination unit 302 determines whether or not a predetermined time (for example, time TA) has elapsed since the compressor 54 supplied compressed air to the inside of the work chamber 22.
The determination unit 303 determines whether or not there is a leak in the flow path A and whether or not there is a hole in the diaphragm 116 provided between the space A and the space B based on the measurement results of the pressures P1 and P2. judge.

図4は、リークチェックの工程が実行された際において、マイコン73が実施する処理の一例である。なお、リークチェックの工程が実行される際に、貯留容器111に貯留される伝播水の水位は、例えば図2に示すように、振動板116の底面より低い水位である。   FIG. 4 shows an example of processing performed by the microcomputer 73 when the leak check process is executed. Note that when the leak check process is executed, the level of the propagation water stored in the storage container 111 is lower than the bottom surface of the diaphragm 116, for example, as shown in FIG.

まず、制御部300は、過酸化水素ガスがファン41に出力されるよう電磁バルブ40を制御するとともに、作業室22からのガスが滅菌ガス発生装置33へと供給されるよう電磁バルブ60を制御する(S100)。この結果、アイソレータ10には、流路Aが形成されることになる。   First, the control unit 300 controls the electromagnetic valve 40 so that the hydrogen peroxide gas is output to the fan 41, and controls the electromagnetic valve 60 so that the gas from the work chamber 22 is supplied to the sterilization gas generator 33. (S100). As a result, the flow path A is formed in the isolator 10.

そして、測定部301は、加圧前の圧力P1,P2を測定し(S101)、流路Aの内部の空間を加圧すべく、コンプレッサ54を制御する(S102)。判定部302は、コンプレッサ54が圧縮空気を供給し始めてから、所定時間TAが経過したか否かを判定する(S103)。所定時間TA経過すると(S103:YES)、測定部301は、加圧後の圧力P1,P2を測定する(S104)。   Then, the measurement unit 301 measures the pressures P1 and P2 before pressurization (S101), and controls the compressor 54 to pressurize the space inside the flow path A (S102). The determination unit 302 determines whether or not a predetermined time TA has elapsed since the compressor 54 began to supply compressed air (S103). When the predetermined time TA has elapsed (S103: YES), the measurement unit 301 measures the pressures P1 and P2 after pressurization (S104).

判定部303は、加圧前と加圧後の圧力P2の変化が所定値PA以上であるか否かを判定する(S105)。なお、所定値PAは、流路Aにリークが無い状態で測定される加圧前と加圧後の圧力P2の差の例えば60%の値である。そして、判定部303は、圧力P2の変化、すなわち、加圧前後の圧力P2の差が所定値PAより小さい場合、流路Aにはリークが有ると判定して判定結果を表示部71に表示する(S106)。一方、判定部303は、圧力P2の変化が所定値PAより大きい場合、流路Aにはリークが無いと判定し、判定結果を表示部71に表示する(S107)。   The determination unit 303 determines whether or not the change in the pressure P2 before and after pressurization is greater than or equal to a predetermined value PA (S105). The predetermined value PA is, for example, a value of 60% of the difference between the pressure P2 before and after pressurization measured in a state where there is no leak in the flow path A. Then, the determination unit 303 determines that there is a leak in the flow path A when the change in the pressure P2, that is, the difference between the pressure P2 before and after pressurization is smaller than the predetermined value PA, and displays the determination result on the display unit 71. (S106). On the other hand, when the change in the pressure P2 is greater than the predetermined value PA, the determination unit 303 determines that there is no leak in the flow path A, and displays the determination result on the display unit 71 (S107).

また、加圧前後の圧力P1の差が所定値PAより小さい場合、つまり、密閉された空間Bの圧力の変化が小さい場合、判定部303は、振動板116に異常が無いと判定して判定結果を表示部71に表示する(S109)。一方、空間Bの圧力P1の変化が所定値PAより大きい場合、つまり、密閉されているはずの空間Bの圧力の変化が大きい場合、判定部303は、振動板116に異常が有ると判定して判定結果を表示部71に表示する(S110)。   In addition, when the difference between the pressure P1 before and after pressurization is smaller than the predetermined value PA, that is, when the change in the pressure of the sealed space B is small, the determination unit 303 determines that the diaphragm 116 has no abnormality. The result is displayed on the display unit 71 (S109). On the other hand, when the change in the pressure P1 of the space B is larger than the predetermined value PA, that is, when the change in the pressure of the space B that should be sealed is large, the determination unit 303 determines that the diaphragm 116 has an abnormality. The determination result is displayed on the display unit 71 (S110).

図5は、リークチェックの工程が実施された際に、振動板116に穴がない状態、すなわち、空間Bが密閉されている状態で測定された圧力P1,P2の一例を示す図である。なお、ここでは、時刻t0より前のタイミングで流路Aは形成されている。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of pressures P1 and P2 measured when the diaphragm 116 has no hole, that is, in a state where the space B is sealed when the leak check process is performed. Here, the flow path A is formed at a timing before time t0.

まず、時刻t0において、圧力P1,P2は測定される(S101)。そして、時刻t2から所定期間、コンプレッサ54は圧縮空気を作業室22の内部へと供給する(S102)。このため、圧力P2は上昇し、コンプレッサ54の動作が停止された後は徐々に減少する。また、振動板116には穴がない状態であるため、空間Bは密閉された状態であり、圧力P1に変化はない。   First, at time t0, the pressures P1 and P2 are measured (S101). Then, the compressor 54 supplies the compressed air to the inside of the working chamber 22 for a predetermined period from time t2 (S102). For this reason, the pressure P2 rises and gradually decreases after the operation of the compressor 54 is stopped. Further, since the diaphragm 116 has no holes, the space B is sealed and the pressure P1 does not change.

時刻t1から所定時間TAだけ経過した時刻t2において、圧力P2の加圧前後での差は、所定値PAよりも大きい(S105:YES)。このため、流路Aにはリークが無いことが判定され、リーク無しの表示が表示部71に表示される(S107)。また、時刻t2において、圧力P1の加圧前後での差は、所定値PAよりも小さい(S108:NO)。したがって、振動板116には異常が無いことが判定され、その旨が表示部71に表示される(S109)。なお、時刻t3において、加圧された圧力を低下すべく、例えば作業室22に設けられたバルブ(不図示)が開放される。   At time t2 when a predetermined time TA has elapsed from time t1, the difference between before and after the pressure P2 is applied is greater than the predetermined value PA (S105: YES). For this reason, it is determined that there is no leak in the channel A, and a display indicating no leak is displayed on the display unit 71 (S107). At time t2, the difference between before and after the pressure P1 is increased is smaller than the predetermined value PA (S108: NO). Therefore, it is determined that there is no abnormality in the diaphragm 116, and that effect is displayed on the display unit 71 (S109). At time t3, for example, a valve (not shown) provided in the work chamber 22 is opened to reduce the pressurized pressure.

図6は、リークチェックの工程が実施された際に、振動板116に穴がある状態で測定された圧力P1,P2の一例を示す図である。なお、時刻t0〜t3のタイミングは、図5で説明したタイミングと同様である。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the pressures P1 and P2 measured when the diaphragm 116 has a hole when the leak check process is performed. Note that the timings of the times t0 to t3 are the same as the timings described in FIG.

まず、時刻t0において、圧力P1,P2は測定される(S101)。そして、時刻t2から所定期間、コンプレッサ54は圧縮空気を作業室22の内部へと供給する(S102)。このため、圧力P2は上昇し、コンプレッサ54の動作が停止された後は徐々に減少する。ここでは、振動板116には穴がある状態であるため、空間Bの密閉状態は維持されておらず、空間Bの圧力P1は圧力P2と同様に変化する。   First, at time t0, the pressures P1 and P2 are measured (S101). Then, the compressor 54 supplies the compressed air to the inside of the working chamber 22 for a predetermined period from time t2 (S102). For this reason, the pressure P2 rises and gradually decreases after the operation of the compressor 54 is stopped. Here, since the diaphragm 116 has a hole, the sealed state of the space B is not maintained, and the pressure P1 of the space B changes similarly to the pressure P2.

そして、時刻t1から所定時間TAだけ経過した時刻t2において、圧力P2の加圧前後での差は、所定値PAよりも大きい(S105:YES)。このため、流路Aにはリークが無いことが判定され、リーク無しの表示が表示部71に表示される(S107)。また、時刻t2において、圧力P1の加圧前後での差は、所定値PAよりも大きい(S108:YES)。したがって、振動板116には異常が有ることが判定され、その旨が表示部71に表示される(S110)。   Then, at the time t2 when the predetermined time TA has elapsed from the time t1, the difference between the pressure P2 before and after the pressurization is larger than the predetermined value PA (S105: YES). For this reason, it is determined that there is no leak in the channel A, and a display indicating no leak is displayed on the display unit 71 (S107). At time t2, the difference between before and after the pressure P1 is increased is larger than the predetermined value PA (S108: YES). Therefore, it is determined that there is an abnormality in the diaphragm 116, and that effect is displayed on the display unit 71 (S110).

以上、本実施形態のアイソレータ10について説明した。なお、アイソレータ10に含まれる滅菌ガス発生装置33の空間Aを直接加圧する場合であっても、本実施形態と同様の効果を得ることができる。具体的には、例えば図7に示すように、ポート141の開口をフランジ400で閉塞し、ポート153に、空間Aを加圧できるよう、フランジ401及びパイプ402を介してコンプレッサ54を取り付ける。そして、コンプレッサ54を動作させて空間Aを加圧すると、振動板116に穴があるか否かにより空間Bの圧力P1は変化する。したがって、滅菌ガス発生装置33においては、振動板116を直接観測することなく、振動板116に穴が開いているか否かを検出することができる。   The isolator 10 of this embodiment has been described above. Even when the space A of the sterilization gas generator 33 included in the isolator 10 is directly pressurized, the same effect as in the present embodiment can be obtained. Specifically, for example, as shown in FIG. 7, the opening of the port 141 is closed with a flange 400, and the compressor 54 is attached to the port 153 via the flange 401 and the pipe 402 so that the space A can be pressurized. When the compressor 54 is operated to pressurize the space A, the pressure P1 in the space B changes depending on whether or not the diaphragm 116 has a hole. Therefore, in the sterilizing gas generator 33, it is possible to detect whether or not the diaphragm 116 has a hole without directly observing the diaphragm 116.

また、アイソレータ10では、作業室22の開口部80を介して流路Aの内部の空間が加圧される。このような場合に、滅菌ガス発生装置33の空間Aも加圧されることになるため、空間Bの圧力P1を測定することにより、振動板116に穴が開いているか否かを検出することができる。   In the isolator 10, the space inside the flow path A is pressurized via the opening 80 of the work chamber 22. In such a case, since the space A of the sterilization gas generator 33 is also pressurized, it is detected whether the diaphragm 116 has a hole by measuring the pressure P1 of the space B. Can do.

例えば、振動板116に穴がある場合、流路Aが加圧されると圧力P1は上昇する。このため、例えば、時刻t2において測定された圧力P1のみに基づいて、振動板116に穴があるか否かを判定しても良い。ただし、本実施形態の判定部303は、加圧前後の圧力P1の差に基づいて判定しているため、圧力計34にオフセットがあるような場合であっても、穴の有無を精度良く判定できる。   For example, when the diaphragm 116 has a hole, the pressure P1 increases when the flow path A is pressurized. Therefore, for example, whether or not there is a hole in the diaphragm 116 may be determined based only on the pressure P1 measured at time t2. However, since the determination unit 303 of the present embodiment determines based on the difference between the pressure P1 before and after pressurization, even if there is an offset in the pressure gauge 34, the presence / absence of a hole is accurately determined. it can.

また、加圧前後の圧力P1の差が所定値PAよりも大きい場合、表示部71には、振動板116に異常があることが表示される。このため、作業者は、振動板116に穴が開いていることを直ちに把握することができる。   When the difference between the pressure P1 before and after pressurization is larger than the predetermined value PA, the display unit 71 displays that the diaphragm 116 is abnormal. For this reason, the operator can immediately grasp that the diaphragm 116 has a hole.

また、一般に、過酸化水素水が霧化された後に気化される滅菌工程は、リークチェックの工程の後に実行される。本実施形態では、過酸化水素水が霧化される滅菌工程が実行される前に、振動板116の穴の有無が判定される。このため、より安全に滅菌工程を実行することができる。   In general, the sterilization process in which the hydrogen peroxide solution is vaporized after being atomized is performed after the leak check process. In this embodiment, the presence or absence of a hole in the diaphragm 116 is determined before the sterilization process in which the hydrogen peroxide solution is atomized is executed. For this reason, a sterilization process can be performed more safely.

また、アイソレータ10では、圧力計34,55が設けられているが、例えば、作業室22の開口部81と、空間Bの開口部230とを切り替えることが可能な電磁バルブ等を用いて、圧力計34のみで圧力P1,P2を測定させても良い。このような場合、アイソレータ10で使用する圧力計の数を減らすことができる。   In the isolator 10, the pressure gauges 34 and 55 are provided. For example, the pressure is obtained by using an electromagnetic valve or the like that can switch between the opening 81 of the work chamber 22 and the opening 230 of the space B. The pressures P1 and P2 may be measured only by the total 34. In such a case, the number of pressure gauges used in the isolator 10 can be reduced.

なお、上記実施例は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。   In addition, the said Example is for making an understanding of this invention easy, and is not for limiting and interpreting this invention. The present invention can be changed and improved without departing from the gist thereof, and the present invention includes equivalents thereof.

例えば、貯留容器111には、伝播水が貯留されていない場合であっても、本実施形態と同様に振動板116の穴の有無の検出が可能である。   For example, even if the propagation water is not stored in the storage container 111, the presence or absence of a hole in the diaphragm 116 can be detected as in the present embodiment.

また、圧力計55の代わりに、例えば、大気圧と空間Bの圧力との差を測定する差圧計を用いても本実施形態と同様の効果を得ることができる。   Further, instead of the pressure gauge 55, for example, even if a differential pressure gauge that measures the difference between the atmospheric pressure and the pressure in the space B is used, the same effect as in the present embodiment can be obtained.

また、コンプレッサ54の代わりに流路Aの内部の空間を減圧するポンプ(圧力調整装置)を用いる場合であっても、振動板116の穴の有無の検出が可能である。   Even when a pump (pressure adjusting device) that decompresses the space inside the flow path A is used instead of the compressor 54, the presence or absence of a hole in the diaphragm 116 can be detected.

また、本実施形態では圧力調整装置としてコンプレッサ54を用いたが、コンプレッサ54の代わりにファン41を圧力調整装置として使用しても良い。この場合であって、流路Aの内部の空間を加圧することができる。   In this embodiment, the compressor 54 is used as the pressure adjusting device. However, the fan 41 may be used as the pressure adjusting device instead of the compressor 54. In this case, the space inside the channel A can be pressurized.

また、圧力計34の代わりに、例えば空間Bの湿度を測定する湿度計を設け、リークチェックの工程において、湿度計が測定する湿度が低下した場合、振動板116に穴があると判定しても良い。   Further, instead of the pressure gauge 34, for example, a hygrometer for measuring the humidity of the space B is provided, and in the leak check process, if the humidity measured by the hygrometer is reduced, it is determined that the diaphragm 116 has a hole. Also good.

また、コンプレッサ54は、滅菌ガス発生装置33に設けられた開口部(不図示)を介して、流路Aを加圧しても良い。   Further, the compressor 54 may pressurize the flow path A through an opening (not shown) provided in the sterilization gas generator 33.

10 アイソレータ
20 滅菌ガス発生ユニット
21 供給装置
22 作業室
23 排出装置
24 制御装置
30 タンク
31 ポンプ
32,115,402 パイプ
33 滅菌ガス発生装置
40,60 電磁バルブ
41 ファン
50,51 エアフィルタ
52 扉
53 グローブ
61 滅菌処理装置
70 操作部
71 表示部
72 記憶装置
73 マイコン
100 霧化装置
110 カップ
111 貯留容器
112 蓋部材
113 栓部材
114,152,400,401 フランジ
116 振動板
120 超音波振動子
130 ヒーター
140 供給管
141,153,154 ポート
150 支持部材
151 筒状部材
200,210,230 開口部
220 注入口
300 制御部
301 測定部
302,303 判定部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Isolator 20 Sterilization gas generation unit 21 Supply apparatus 22 Work room 23 Discharge apparatus 24 Control apparatus 30 Tank 31 Pump 32,115,402 Pipe 33 Sterilization gas generation apparatus 40,60 Electromagnetic valve 41 Fan 50,51 Air filter 52 Door 53 Globe 61 Sterilization processing device 70 Operation unit 71 Display unit 72 Storage device 73 Microcomputer 100 Atomization device 110 Cup 111 Storage container 112 Cover member 113 Plug member 114, 152, 400, 401 Flange 116 Vibration plate 120 Ultrasonic vibrator 130 Heater 140 Supply Pipe 141, 153, 154 Port 150 Support member 151 Cylindrical member 200, 210, 230 Opening 220 Inlet 300 Control unit 301 Measuring unit 302, 303 Determination unit

Claims (6)

底面に設けられた第1開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、液体を貯留するとともに、加圧または減圧される際には密閉される第1空間を有する第1貯留部と、
前記第1貯留部で霧化される前記液体を気化する気化部と、
超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第2空間と、第2開口部とを有し、前記第2開口部が閉塞された場合に前記第1貯留部とともに前記第2空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第2貯留部と、
前記第1空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、
前記第2開口部を介して前記第2空間の圧力を測定する圧力測定装置と、
を備えることを特徴とするガス発生装置。
A first storage section having a diaphragm attached to close the first opening provided on the bottom surface, storing liquid and having a first space sealed when pressurized or depressurized; ,
A vaporization unit that vaporizes the liquid atomized in the first storage unit;
Having a second space for storing propagation water that propagates ultrasonic vibrations, and a second opening, and sealing the second space together with the first storage when the second opening is closed; A second storage part having an ultrasonic transducer attached to the bottom surface;
A pressure adjusting device for pressurizing or depressurizing the first space;
A pressure measuring device that measures the pressure of the second space through the second opening;
A gas generator characterized by comprising:
底面に設けられた第1開口部を塞ぐように取り付けられた振動板を有し、過酸化水素水を貯留する第1空間を有する第1貯留部と、前記第1貯留部で霧化される前記過酸化水素水を気化する気化部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第2空間及び第2開口部を有し、前記第2開口部が閉塞された場合に前記第1貯留部とともに前記第2空間を密閉する、底面に超音波振動子が取り付けられる第2貯留部と、を含む滅菌物質発生装置と、
前記第1空間を加圧または減圧するための流路と、
前記滅菌物質発生装置または前記流路の何れかに設けられ、閉塞された場合には前記第1空間を密閉する第3開口部と、
前記第3開口部を介して前記第1空間を加圧または減圧する圧力調整装置と、
前記第2開口部を介して前記第2空間の圧力を測定する圧力測定装置と、
を備えるアイソレータ。
A first storage portion having a diaphragm attached to close the first opening provided on the bottom surface and having a first space for storing hydrogen peroxide solution, and atomized by the first storage portion A vaporization section that vaporizes the hydrogen peroxide solution; a second space that stores propagation water that propagates ultrasonic vibration; and a second opening. The first storage when the second opening is closed. A second storage unit that seals the second space together with the unit, and an ultrasonic transducer is attached to the bottom surface;
A flow path for pressurizing or depressurizing the first space;
A third opening that is provided in either the sterilizing substance generator or the flow path and seals the first space when closed;
A pressure adjusting device that pressurizes or depressurizes the first space through the third opening;
A pressure measuring device that measures the pressure of the second space through the second opening;
An isolator comprising:
請求項2に記載のアイソレータであって、
前記圧力調整装置により前記第1空間の圧力が変化される前に測定された前記第2空間の圧力と、前記圧力調整装置により前記第1空間の圧力が変化された後に測定された前記第2空間の圧力との差が、所定の圧力より大きいか否かを判定する判定装置を更に備えること、
を特徴とするアイソレータ。
The isolator according to claim 2,
The pressure of the second space measured before the pressure of the first space is changed by the pressure adjusting device, and the second of the pressure measured after the pressure of the first space is changed by the pressure adjusting device. A determination device for determining whether or not a difference from the pressure in the space is greater than a predetermined pressure;
An isolator characterized by.
請求項3に記載のアイソレータであって、
前記判定装置が前記所定の圧力より前記差が大きいと判定した場合、前記振動板に穴が有ることを示す情報を表示する表示部を更に備えること、
を特徴とするアイソレータ。
The isolator according to claim 3,
When the determination device determines that the difference is greater than the predetermined pressure, the display device further includes a display unit that displays information indicating that the diaphragm has a hole;
An isolator characterized by.
請求項2〜4の何れか一項に記載のアイソレータであって、
前記圧力調整装置は、
前記過酸化水素水が霧化される前に前記第1空間を加圧または減圧すること、
を特徴とするアイソレータ。
The isolator according to any one of claims 2 to 4,
The pressure regulator is
Pressurizing or depressurizing the first space before the hydrogen peroxide solution is atomized;
An isolator characterized by.
請求項2〜5の何れか一項に記載のアイソレータであって、
前記滅菌物質発生装置または前記流路の何れかに設けられ、前記第3開口部が閉塞されている場合に閉塞されると、前記第1空間を密閉する第4開口部を更に備え、
前記圧力測定装置は、
前記第4開口部を介して前記第1空間の圧力を測定すること、
を特徴とするアイソレータ。
The isolator according to any one of claims 2 to 5,
Provided in either the sterilizing substance generator or the flow path, and further provided with a fourth opening for sealing the first space when closed when the third opening is closed;
The pressure measuring device includes:
Measuring the pressure in the first space through the fourth opening;
An isolator characterized by.
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