JP5541498B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、医療器具の他、電子部品や機械部品などを洗浄する洗浄装置に関するものである。

従来、下記特許文献１に開示されるように、カスト（３）を出入自在に収納するための蓋（２）を有するチャンバー（１）を設け、このチャンバー（１）内に洗浄水を加熱する加熱部（ヒーター５）を設け、前記チャンバー（１）に洗浄水を給水する給水部（シャワーノズル１０）とそのチャンバー（１）内の圧力を低下させて前記洗浄水を沸騰させる真空ポンプ（１３）とその洗浄水を排水する排水部（排水孔１５）とを接続し、前記チャンバー（１）にこのチャンバー（１）とは別の水槽（１７）から熱湯を供給する熱湯供給装置を接続した洗浄装置が知られている（請求項４、図面の簡単な説明、第１図）。

より具体的には、洗浄装置は、ヒーター（５）を有するチャンバー（１）と、熱湯ヒーター（２４）を有する水槽（１７）とを備え、それぞれには水道水が注ぎ込み可能とされている。そして、水槽（１７）に注がれた水道水は、熱湯ヒーター（２４）により加熱されて、９０℃前後の熱湯とされる（公報第２頁右下欄第３−６行）。その後、シャワーバルブ（９）と給湯バルブ（１８）とが交互に開かれ、シャワーノズル（１０）からの水と水槽（１７）からの熱湯とが混合されて、５０℃前後の洗浄水がチャンバー（１）内に貯留される（公報第２頁右下欄第１１−１６行）。その後、チャンバー（１）内を減圧して洗浄水を沸騰させることで被洗浄物の洗浄を図るが、減圧により洗浄水の温度が低下するので、減圧を停止した状態でヒーター（５）を作動させることによる洗浄水の再加熱と、ヒーター（５）を停止した状態で減圧することによる洗浄水の再沸騰とが、数度行われる（公報第３頁左上欄第３行−右上欄第１３行）。そして、その間、水槽（１７）内には予め熱湯が用意され、次回の洗浄に備えている（公報第３頁右上欄第１４−１７行）。

特開昭６０−２２５５６５号公報

特許文献１に開示される洗浄装置では、チャンバー（１）内の減圧とヒーター（５）による洗浄水の再加熱とを繰り返す間、水槽（１７）において熱湯ヒーター（２４）により次回の洗浄用の熱湯が用意される。つまり、ヒーター（５）によりチャンバー（１）内の水を再加熱中も、熱湯ヒーター（２４）により水槽（１７）内の水が加熱される。従って、チャンバー（１）内のヒーター（５）と、水槽（１７）内の熱湯ヒーター（２４）とは、同時に作動し得る構成である。

また、特許文献１に開示される洗浄装置では、シャワーノズル（１０）からの水と水槽（１７）からの熱湯とを混合して、チャンバー（１）内に５０℃前後の洗浄水を貯留するが、水と熱湯とを混ぜるだけで５０℃前後の洗浄水を得るため、水槽（１７）では必ず所望温度の熱湯を用意する必要がある。従って、チャンバー（１）における洗浄中の時間を利用して、水槽（１７）内の水を次回の洗浄に備えて単に加熱するだけでは足りず、必ず所望温度の熱湯を用意する必要がある。そのため、この点からも、チャンバー（１）内のヒーター（５）と、水槽（１７）内の熱湯ヒーター（２４）とは、同時に作動させる必要がある。

チャンバー（１）内のヒーター（５）と、水槽（１７）内の熱湯ヒーター（２４）とが同時に作動し得る構成の場合、設備（洗浄装置が設置される箇所）の電気容量の範囲内で両ヒーター（５，２４）を作動可能に、各ヒーター（５，２４）の電気容量を小さく抑えざるを得ない。従って、設備の電気容量に近い比較的大きな電気容量のヒータを、チャンバー（１）内のヒーター（５）として使用できない。このことは、チャンバー（１）内の洗浄水の加熱（特に再加熱）に時間を要し、運転時間を長引かせる原因となる。

また、特許文献１に開示される洗浄装置では、シャワーノズル（１０）からの水と水槽（１７）からの熱湯とを混合してチャンバー（１）内に温水を貯留するだけであるから、シャワーノズル（１０）からの水の温度や給水量、水槽（１７）からの熱湯の温度や給水量などにより、チャンバー（１）内に貯留される液温が安定しない。そのため、チャンバー（１）を減圧しても、沸騰が安定せず、洗浄効果も安定しないおそれがある。

本発明が解決しようとする課題は、洗浄槽とは別に予熱タンクを設けると共に洗浄槽のヒータとは別に予熱タンクにもヒータを設けても、設備の電気容量内で効果的に両ヒータを制御して、洗浄槽内の液体の加温時間の短縮と、それによる運転時間の短縮を図ることにある。

また、洗浄槽における洗浄または濯ぎ中の時間を利用して、予熱タンク内の液体を最終的には必ずしも目標温度にできなくてもそれを目標に加温しておくことで、洗浄槽内へ給水後の加温時間の短縮と、それによる運転時間の短縮を図ることを課題とする。

ところで、電気ヒータに代えて蒸気ヒータや蒸気ジャケットを用いようとする場合、蒸気ヒータなどからの凝縮水は高温となるため、その有効利用が望まれる。そこで、洗浄槽のヒータとして蒸気ヒータなどを用いる場合、その排熱を有効利用して、予熱タンクにおいて洗浄槽内の液体の入れ替え用の液体を加温しておくことを可能とすることを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、液体が貯留され、その液体に被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、この洗浄槽内の液体を加温する洗浄槽加温手段と、前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、この減圧手段により減圧された前記洗浄槽内の液相部に外気を導入する液相給気手段と、前記洗浄槽よりも小容量で、前記洗浄槽内へ供給するための液体が貯留される予熱タンクと、この予熱タンク内の液体を加温する予熱タンク加温手段とを備え、前記予熱タンク加温手段は、前記洗浄槽加温手段の停止中に作動するか、前記洗浄槽加温手段の排熱を用いて、前記予熱タンク内の液体を加温し、前記洗浄槽内の液体を設定温度まで加温後、液体を沸騰させるまで前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で、前記減圧手段の作動を継続させたまま、前記液相給気手段を用いて前記洗浄槽の内外の差圧により前記被洗浄物よりも下方から前記洗浄槽内の液体中に外気を導入して、前記被洗浄物の洗浄または濯ぎを図る動作を実行可能とされ、前記予熱タンク内の液体は、前記設定温度よりも高い温度を目標温度として加温され、前記洗浄槽内の液体を排水後、前記洗浄槽内に、前記予熱タンクからの液体と、前記予熱タンクを介さない液体とを供給した後、前記洗浄槽加温手段により前記洗浄槽内の液体を前記設定温度に調整することを特徴とする洗浄装置である。
請求項１に記載の発明によれば、洗浄槽とは別に予熱タンクを設けると共に洗浄槽加温手段とは別に予熱タンク加温手段を設け、各加温手段が電気ヒータであっても、両電気ヒータが同時に作動することを防止することで、設備の電気容量内で効果的に両タンク内の液体を加温することができる。一方、各加温手段が蒸気ヒータまたは蒸気ジャケットであっても、洗浄槽加温手段の排熱を用いて、予熱タンク内の液体を加温することで、省エネルギーを図ることができる。
また、請求項１に記載の発明によれば、洗浄槽内の液体を沸騰させるまで洗浄槽内を減圧した状態で、被洗浄物よりも下方から洗浄槽内の液体中に外気を導入することで、洗浄槽内の液体を激しく沸騰させることができる。これにより、洗浄槽内の液体を大きく揺動させることができ、被洗浄物の洗浄または濯ぎを効果的に図ることができる。ところで、予熱タンク内の液体は、最終的には必ずしも目標温度にできなくてもそれを目標に加温しておくだけでも足りる。なぜなら、予熱タンク内の液体は、洗浄槽内へ移された後、洗浄槽加温手段により洗浄槽内の液体を設定温度に調整されて用いられるからである。

請求項２に記載の発明は、液体が貯留され、その液体に被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、この洗浄槽内の液体を加温する洗浄槽加温手段と、前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、この減圧手段により減圧された前記洗浄槽内の気相部に外気を導入する気相給気手段と、前記洗浄槽よりも小容量で、前記洗浄槽内へ供給するための液体が貯留される予熱タンクと、この予熱タンク内の液体を加温する予熱タンク加温手段とを備え、前記予熱タンク加温手段は、前記洗浄槽加温手段の停止中に作動するか、前記洗浄槽加温手段の排熱を用いて、前記予熱タンク内の液体を加温し、前記洗浄槽内の液体を設定温度まで加温後、前記減圧手段による前記洗浄槽内からの排気を継続して前記洗浄槽内の圧力を低下させる過程で、この減圧による前記洗浄槽内の液体の沸騰中に前記気相給気手段により前記洗浄槽内を液体の沸騰が止むまで瞬時に一時的に復圧することを繰り返す動作により、前記被洗浄物の洗浄または濯ぎを図る動作を実行可能とされ、前記予熱タンク内の液体は、前記設定温度よりも高い温度を目標温度として加温され、前記洗浄槽内の液体を排水後、前記洗浄槽内に、前記予熱タンクからの液体と、前記予熱タンクを介さない液体とを供給した後、前記洗浄槽加温手段により前記洗浄槽内の液体を前記設定温度に調整することを特徴とする洗浄装置である。
請求項２に記載の発明によれば、洗浄槽とは別に予熱タンクを設けると共に洗浄槽加温手段とは別に予熱タンク加温手段を設け、各加温手段が電気ヒータであっても、両電気ヒータが同時に作動することを防止することで、設備の電気容量内で効果的に両タンク内の液体を加温することができる。一方、各加温手段が蒸気ヒータまたは蒸気ジャケットであっても、洗浄槽加温手段の排熱を用いて、予熱タンク内の液体を加温することで、省エネルギーを図ることができる。
また、請求項２に記載の発明によれば、洗浄槽内の液体の沸騰中に、洗浄槽内を瞬時に一時的に復圧することで、液体の沸騰を一気に止めることが繰り返される。従って、洗浄槽内の復圧の度に、それまでの沸騰により液体中に生じていた気泡は、瞬時に凝縮する。この凝縮時の圧力波や圧力差で、液体が攪拌および移送され、被洗浄物の洗浄または濯ぎが図られる。また、被洗浄物がチューブの場合や、被洗浄物が袋穴を有する場合には、沸騰により生じた蒸気をチューブ内や袋穴内に溜め、復圧時にその蒸気溜まりを一気に消して、チューブ内や袋穴内に液体を勢いよく入れることでも、被洗浄物の洗浄または濯ぎが図られる。ところで、予熱タンク内の液体は、最終的には必ずしも目標温度にできなくてもそれを目標に加温しておくだけでも足りる。なぜなら、予熱タンク内の液体は、洗浄槽内へ移された後、洗浄槽加温手段により洗浄槽内の液体を設定温度に調整されて用いられるからである。

請求項３に記載の発明は、前記洗浄槽加温手段と前記予熱タンク加温手段とは、それぞれ電気ヒータから構成され、前記予熱タンクの電気ヒータは、前記洗浄槽の電気ヒータの停止中に作動して、前記洗浄槽内の液体の入れ替え用の液体を加温することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置である。

請求項３に記載の発明によれば、洗浄槽の電気ヒータと予熱タンクの電気ヒータとが同時に作動することを防止することで、設備の電気容量内で効果的に両タンク内の液体を加温することができる。しかも、洗浄槽の電気ヒータが作動していない時間を利用して、後に用いる液体を予熱タンクにて加温しておくことができ、運転時間の短縮を図ることができる。

請求項４に記載の発明は、前記洗浄槽の電気ヒータと前記予熱タンクの電気ヒータとは、双方が並行して作動すると、前記洗浄装置が設置される箇所の設備の使用可能な電気容量を超えるが、片方ずつ作動すると、前記設備の使用可能な電気容量を超えず、前記予熱タンクの電気ヒータのヒータ容量は、前記洗浄槽の電気ヒータのヒータ容量以下であることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置である。

請求項４に記載の発明によれば、洗浄槽の電気ヒータと予熱タンクの電気ヒータとは、双方が並行して作動すると設備の電気容量を超えるが、片方ずつ作動すると設備の電気容量を超えないので、洗浄槽の電気ヒータの停止中に、予熱タンクの電気ヒータを作動しつつ、予熱タンクの液体を加温しておくことができる。両電気ヒータは、同時に作動することがないため、各電気ヒータの容量を、設備の電気容量に近付けることもできる。

請求項５に記載の発明は、前記洗浄槽加温手段と前記予熱タンク加温手段とは、それぞれ蒸気ヒータまたは蒸気ジャケットから構成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置である。

請求項５に記載の発明によれば、各加温手段を蒸気ヒータまたは蒸気ジャケットから構成しても、洗浄槽加温手段の排熱を用いて、予熱タンク内の液体を加温することで、省エネルギーを図ることができる。

本発明によれば、洗浄槽とは別に予熱タンクを設けると共に洗浄槽のヒータとは別に予熱タンクにもヒータを設けても、設備の電気容量内で効果的に両ヒータを制御して、洗浄槽内の液体の加温時間の短縮と、それによる運転時間の短縮を図ることができる。

また、洗浄槽における洗浄または濯ぎ中の時間を利用して、予熱タンク内の液体を最終的には必ずしも目標温度にできなくてもそれを目標に加温しておくだけでも足りる。なぜなら、予熱タンク内の液体は、洗浄槽内へ移された後、洗浄槽加温手段により温度調整されるからである。

さらに、電気ヒータに代えて蒸気ヒータや蒸気ジャケットを用いようとする場合、洗浄槽加温手段の排熱を用いて、予熱タンク内の液体を加温することで、省エネルギーを図ることができる。

本発明の洗浄装置の実施例１を示す概略構成図であり、一部を断面にして示している。 図１の洗浄装置の運転方法の一例を示すフローチャートであり、洗浄槽における運転内容を示している。 図１の洗浄装置の運転方法の一例を示す図であり、洗浄槽内の液温と経過時間との関係を示すグラフの他、洗浄槽電気ヒータおよび予熱タンク電気ヒータの各タイムチャートを示している。 本発明の洗浄装置の実施例２を示す概略構成図であり、一部を断面にすると共に一部を省略して示している。

本発明の洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するものであるが、洗浄に代えてまたはこれに加えて、被洗浄物を濯ぎするものであってもよい。すなわち、洗浄装置は、被洗浄物の洗浄および濯ぎの内、少なくとも一方を実行可能とされる。また、洗浄および濯ぎは、それぞれ被洗浄物の消毒を兼ねていてもよい。
以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

図１は、本発明の洗浄装置の実施例１を示す概略構成図であり、一部を断面にして示している。

本実施例の洗浄装置１は、被洗浄物２が収容される洗浄槽３と、この洗浄槽３よりも小容量の予熱タンク４とを備える。

洗浄槽３には、洗浄槽３内へ水を供給する給水手段５と、洗浄槽３内へ洗浄剤または濯ぎ剤を供給する給液手段６と、洗浄槽３内に貯留される液体を加温する洗浄槽加温手段７と、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する減圧手段８と、減圧された洗浄槽３内の気相部へ外気を導入する気相給気手段９と、減圧された洗浄槽３内の液相部へ外気を導入する液相給気手段１０と、洗浄槽３内の液体を排出する洗浄槽排水手段１１とが設けられる。

また、洗浄槽３には、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出する圧力センサ１２と、洗浄槽３内の液相部の温度（つまり洗浄液または濯ぎ液の温度）を検出する洗浄槽液温センサ１３とが設けられる。なお、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出する圧力センサ１２に代えてまたはこれに加えて、洗浄槽３内の気相部の温度を検出する温度センサ（図示省略）を備えてもよい。飽和環境下では圧力と温度とを換算することができるので、圧力センサ１２と温度センサとの内、いずれのセンサを用いることもできる。

一方、予熱タンク４には、予熱タンク４内へ水を供給する給水手段５と、予熱タンク４内に貯留される液体を加温する予熱タンク加温手段１４と、予熱タンク４内の液体を洗浄槽３内へ供給する送水手段１５と、予熱タンク４内の液体を排出する予熱タンク排水手段１６とが設けられる。また、予熱タンク４には、予熱タンク４内の液相部の温度を検出する予熱タンク液温センサ１７が設けられる。ところで、給水手段５は、予熱タンク４だけでなく、前述したとおり洗浄槽３へも給水可能とする。つまり、本実施例では、給水手段５は、洗浄槽３へ給水可能であると共に、予熱タンク４へも給水可能である。

さらに、洗浄装置１は、前記各センサ１２，１３，１７の検出信号などに基づき前記各手段５〜１１，１４〜１６を制御する制御手段１８を備える。

被洗浄物２は、洗浄または濯ぎを図りたい物品であり、たとえば、医療器具、電子部品または機械部品である。被洗浄物２は、チューブのような管状の物品や、袋穴を有する物品でもよい。その場合でも、管内や穴内の洗浄または濯ぎを効果的に図ることができる。

《洗浄槽３》
洗浄槽３は、内部空間の減圧に耐える中空容器である。図示例の洗浄槽３は、上方へ開口して中空部を有する本体１９と、この本体１９の開口部を開閉する蓋２０とを備える。本体１９に蓋２０をした状態では、本体１９と蓋２０との隙間はパッキン２１で封止される。

《予熱タンク４》
予熱タンク４は、洗浄槽３よりも小容量の中空容器である。たとえば、予熱タンク４は、洗浄槽３の半分の容量である。図示例では、予熱タンク４は、上方へ開口して形成されるが、適宜、蓋を設けてもよい。但し、洗浄槽３とは異なり、予熱タンク４内を密閉する必要はなく、むしろ密閉しないのが望ましい。

《給水手段５》
給水手段５は、洗浄槽３および予熱タンク４へ水を供給する。洗浄槽３および予熱タンク４へ供給する水は、軟水または純水であるのが好ましい。本実施例では、洗浄槽３および予熱タンク４へは、それぞれ、軟水と純水（ＲＯ水）の内、所望の水を切り替えて給水可能とされる。

具体的には、図示例の場合、給水手段５は、軟水が通される第一給水路２２と、純水が通される第二給水路２３とを備える。第一給水路２２には第一給水弁２４が設けられ、第二給水路２３には第二給水弁２５が設けられる。第一給水弁２４より下流の第一給水路２２と、第二給水弁２５より下流の第二給水路２３とは、共通給水路２６として統一され、三方電磁弁２７を介して二股に分岐される。この内の一方は、洗浄槽給水路２８として洗浄槽３へ導かれ、他方は、予熱タンク給水路２９として予熱タンク４へ導かれる。

このような構成であるから、第二給水弁２５を閉じた状態で第一給水弁２４を開くと、洗浄槽３または予熱タンク４へ軟水を供給でき、第一給水弁２４を閉じた状態で第二給水弁２５を開くと、洗浄槽３または予熱タンク４へ純水を供給できる。また、軟水または純水を洗浄槽３へ供給するか予熱タンク４へ供給するかは、三方電磁弁２７により切り替えることができる。

本実施例のように、給水手段５が軟水と純水とを供給できる場合、用途に合わせて水の種類を使い分けることができる。たとえば、洗浄水として軟水を用い、濯ぎ水として純水を用いることができる。但し、第二給水路２３および第二給水弁２５を省略して、洗浄槽３および予熱タンク４へは軟水のみを供給可能としてもよいし、逆に、第一給水路２２および第一給水弁２４を省略して、洗浄槽３および予熱タンク４へは純水のみを供給可能としてもよい。

《給液手段６》
給液手段６は、洗浄槽３内へ洗浄剤または濯ぎ剤を供給する。本実施例では、給液手段６は、洗浄槽３内へ洗浄剤を供給する第一給液手段３０と、洗浄槽３内へ濯ぎ剤を供給する第二給液手段３１とを備える。

第一給液手段３０は、第一タンク３２内の洗浄剤を、第一給液路３３を介して洗浄槽３内へ供給する。第一給液路３３には、第一タンク３２の側から順に、第一給液弁３４とオリフィス３５とが設けられる。洗浄槽３内を減圧した状態で、第一給液弁３４を開くことで、洗浄槽３内へ洗浄剤を供給することができる。本実施例では、給水手段５による洗浄水（軟水）に、第一給液手段３０による洗浄剤を混入することで、洗浄液とする。

第二給液手段３１は、第二タンク３６内の濯ぎ剤（たとえば潤滑防錆剤）を、第二給液路３７を介して洗浄槽３内へ供給する。第二給液路３７には、第二タンク３６の側から順に、第二給液弁３８とオリフィス３９とが設けられる。洗浄槽３内を減圧した状態で、第二給液弁３８を開くことで、洗浄槽３内へ濯ぎ剤を供給することができる。本実施例では、給水手段５による濯ぎ水（純水）に、第二給液手段３１による濯ぎ剤を混入することで、濯ぎ液とする。

但し、第一給液手段３０と第二給液手段３１との内、一方または双方は、所望により省略することができる。たとえば、第二給液手段３１を省略して、給水手段５による水だけで濯ぎを行ってもよい。また、第一給液手段３０と第二給液手段３１とを省略して、給水手段５による水だけで洗浄または濯ぎを行ってもよい。

さらに、洗浄剤を含む水を洗浄液とする場合にも、給水手段５による水に予め洗浄剤を混入しておけば、第一給液手段３０を省略することができる。つまり、給水手段５は、水を供給する以外に、洗浄剤を含む水、またはその他の洗浄液を、洗浄槽３および予熱タンク４へ供給する手段であってもよい。

同様に、濯ぎ剤を含む水を濯ぎ液とする場合にも、給水手段５による水に予め濯ぎ剤を注入しておけば、第二給液手段３１を省略することができる。つまり、給水手段５は、水を供給する以外に、濯ぎ剤を含む水、またはその他の濯ぎ液を、洗浄槽３および予熱タンク４へ供給する手段であってもよい。

《洗浄槽加温手段７》
洗浄槽加温手段７は、洗浄槽３内に貯留された液体を加温する。洗浄槽３内の貯留液を加温する方法は特に問わないが、図示例の洗浄槽加温手段７は、洗浄槽３内の底部に配置された電気ヒータ（以下、洗浄槽電気ヒータという）４０である。この場合、洗浄槽３内に液体（洗浄液または濯ぎ液）を貯留した状態で、洗浄槽電気ヒータ４０に通電することで、洗浄槽３内の液体を加温することができる。本実施例では、洗浄槽電気ヒータ４０は、オンオフ制御される。

《減圧手段８》
減圧手段８は、洗浄槽３内の気体を、排気路４１を介して外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧する。図示例の場合、排気路４１には、洗浄槽３の側から順に、気水分離器４２、熱交換器４３、逆止弁４４、および水封式の真空ポンプ４５が設けられる。

気水分離器４２は、洗浄槽３内からの気体中に含まれる液滴や固形物を除去する。言い換えれば、気水分離器４２は、洗浄槽３内からの蒸気中に含まれる液滴を捕捉して、蒸気の乾き度を向上すると共に、蒸気中に含まれる固形物を捕捉して、下流の熱交換器４３における詰まりを防止する。

気水分離器４２は、その構成を特に問わないが、たとえばデミスター４６が用いられる。具体的には、図示例の気水分離器４２は、中空容器４７と、この容器４７内を上部空間と下部空間とに仕切るよう設けられるデミスター４６とを備える。気水分離器４２の容器４７は、デミスター４６より下部空間の側壁に、洗浄槽３の気相部からの配管が接続され、デミスター４６より上部空間の側壁または上壁に、熱交換器４３への配管が接続される。さらに、気水分離器４２の容器４７は、デミスター４６より下部空間の底壁に、洗浄槽３の液相部への配管４８が接続される。

熱交換器４３は、排気路４１内の蒸気を冷却し凝縮させる。熱交換器４３は、その種類を特に問わないが、たとえばプレート式熱交換器である。熱交換器４３には、熱交給水弁４９を介して水が供給され排出される。従って、洗浄槽３内からの蒸気は、熱交換器４３において、熱交給水弁４９からの水と間接熱交換して、凝縮を図られる。

水封式の真空ポンプ４５は、周知のとおり、封水と呼ばれる水が供給されて作動される。そのために、真空ポンプ４５には、封水給水弁５０を介して水が供給され排出される。封水給水弁５０は、真空ポンプ４５の作動の有無と連動して、開閉される。

ところで、熱交給水弁４９は、減圧手段８を作動させる際には常に開くようにしてもよいが、次のように開閉制御されてもよい。すなわち、減圧開始当初は洗浄槽３内から主として空気を抜くことになるので、熱交換器４３において蒸気を凝縮させる必要性に乏しいことを考慮し、熱交給水弁４９を閉じた状態で真空ポンプ４５を作動させて洗浄槽３内の減圧を開始後、それに遅れる設定タイミングで熱交給水弁４９を開いてもよい。また、その後、洗浄槽３内の減圧に伴って貯留液が真空冷却されるので、洗浄槽３内の液体の温度変化に伴い熱交換器４３への給水量を調整してもよい。この場合、熱交給水弁４９は、開度調整可能な弁から構成される。

《気相給気手段９》
気相給気手段９は、減圧された洗浄槽３内の気相部へ、気相給気路５１を介して外気を導入する。気相給気路５１には、洗浄槽３へ向かって順に、フィルター５２および気相給気弁５３が設けられる。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で気相給気弁５３を開くと、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルター５２を介した空気を洗浄槽３内へ導入して、洗浄槽３内を復圧することができる。気相給気弁５３を電磁弁から構成することで、気相給気弁５３を素早く開放して、洗浄槽３内を瞬時に復圧することができる。

《液相給気手段１０》
液相給気手段１０は、減圧された洗浄槽３内の液相部へ、液相給気路５４を介して外気を導入する。液相給気路５４には、洗浄槽３へ向かって順に、フィルター５５および液相給気弁５６が設けられる。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁５６を開くと、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルター５５を介した空気を、洗浄槽３内の貯留液中に導入することができる。但し、液相給気手段１０は、差圧により外気を自然に導入する以外に、圧縮機やポンプから強制的に空気を送り込んでもよい。また、所望により、空気以外の気体を送り込んでもよい。

ところで、液相給気路５４からの空気は、洗浄槽３内の底部に設けた液相給気ノズル５７を介して、洗浄槽３内の貯留液中に導入される。液相給気ノズル５７は、洗浄槽３内の底部に、横向きに配置されたパイプである。液相給気ノズル５７は、洗浄槽３内の底部ではあるが底面から離隔して、水平に保持されている。そして、液相給気ノズル５７には、パイプの延出方向へ沿って設定間隔で、パイプの周側壁にノズル孔（図示省略）が下方へ開口して形成されている。これにより、洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁５６を開くと、洗浄槽３内の貯留液中に均質に空気を導入することができる。

《洗浄槽排水手段１１》
洗浄槽排水手段１１は、洗浄槽３内の液体を、洗浄槽３の底部から洗浄槽排水路５８を介して排出する。洗浄槽排水路５８には、洗浄槽排水弁５９が設けられる。洗浄槽３内に液体が貯留された状態で洗浄槽排水弁５９を開くと、その液体を洗浄槽３外へ自然に排出することができる。なお、図示例では、前述した気水分離器４２から洗浄槽３の液相部への配管４８は、洗浄槽排水路５８の内、洗浄槽３から洗浄槽排水弁５９への中途に、接続されている。

ところで、洗浄槽３の側壁上部には、必要以上の貯留液を外部へあふれさせる洗浄槽オーバーフロー路６０が設けられており、この洗浄槽オーバーフロー路６０には、逆止弁６１が設けられている。

《予熱タンク加温手段１４》
予熱タンク加温手段１４は、予熱タンク４内に貯留された液体を加温する。予熱タンク４内の貯留液を加温する方法は特に問わないが、図示例の予熱タンク加温手段１４は、予熱タンク４内の底部に配置された電気ヒータ（以下、予熱タンク電気ヒータという）６２である。この場合、予熱タンク４内に液体（洗浄水または濯ぎ水）を貯留した状態で、予熱タンク電気ヒータ６２に通電することで、予熱タンク４内の液体を加温することができる。本実施例では、予熱タンク電気ヒータ６２は、オンオフ制御される。

予熱タンク電気ヒータ６２は、洗浄槽電気ヒータ４０と同じヒータ容量とするのが好ましい。本実施例では、洗浄槽電気ヒータ４０と予熱タンク電気ヒータ６２とは、同一の電気ヒータが用いられる。

洗浄槽電気ヒータ４０と予熱タンク電気ヒータ６２とは、それぞれ、設備（洗浄装置１が設置される箇所の設備中、前記各電気ヒータ４０，６２へ給電する設備）の使用可能な電気容量をフルに生かすことのできるヒータ容量のものを用いるのが好ましい。そのため、洗浄装置１が設置される箇所に応じて、各電気ヒータ４０，６２のヒータ容量は変更される。また、洗浄槽電気ヒータ４０と予熱タンク電気ヒータ６２とは、共通のブレーカ（図示省略）を介して給電される。このように構成しても、後述するように、予熱タンク電気ヒータ６２は、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中にのみ作動するので、両電気ヒータ４０，６２へ給電する電路に設けられたブレーカを作動させるおそれはない。

各電気ヒータ４０，６２のヒータ容量の選定について、より具体的に説明すると、洗浄槽電気ヒータ４０のヒータ容量は、両電気ヒータ４０，６２以外の機器（もちろん同じブレーカから給電される機器に限る）で用いる電気容量を、設備の電気容量から引いた値以下に設定される。また、予熱タンク電気ヒータ６２のヒータ容量は、洗浄槽電気ヒータ４０のヒータ容量以下に設定され、典型的には上述したように、洗浄槽電気ヒータ４０のヒータ容量と同一に設定される。そして、両電気ヒータ４０，６２のヒータ容量を合算した値は、両電気ヒータ４０，６２以外の機器で用いる電気容量を、設備の電気容量から引いた値を超える。このような要件を考慮して、各電気ヒータ４０，６２のヒータ容量が決定される。

《送水手段１５》
送水手段１５は、予熱タンク４内の液体を洗浄槽３内へ移送する。具体的には、予熱タンク４内の液体は、予熱タンク４の底部からの送水路６３を介して、洗浄槽３内へ供給可能とされる。送水路６３には、予熱タンク４の側から順に、送水ポンプ６４および給湯弁６５が設けられる。従って、送水ポンプ６４を作動させた状態で給湯弁６５を開くと、予熱タンク４内の液体を洗浄槽３内へ送り込むことができる。但し、洗浄槽３より上方に予熱タンク４を配置する場合には、送水ポンプ６４を省略してもよく、その場合、給湯弁６５を開くと重力により、予熱タンク４内の液体は自然に洗浄槽３内へ送られる。

《予熱タンク排水手段１６》
予熱タンク排水手段１６は、予熱タンク４内の液体を、予熱タンク４の底部から予熱タンク排水路６６を介して排出する。予熱タンク排水路６６は、図示例では、予熱タンク４から送水ポンプ６４への送水路６３から分岐して設けられる。予熱タンク排水路６６には、予熱タンク４の側から順に、予熱タンク排水弁６７および逆止弁６８が設けられる。予熱タンク４内に液体が貯留された状態で予熱タンク排水弁６７を開くと、その液体を予熱タンク４外へ自然に排出することができる。

ところで、予熱タンク４の側壁上部には、必要以上の貯留液を外部へあふれさせる予熱タンクオーバーフロー路６９が設けられており、この予熱タンクオーバーフロー路６９は、図示例では、前記逆止弁６８の直前において、予熱タンク排水路６６に接続されている。

《センサ１２，１３，１７》
洗浄槽３には、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出する圧力センサ１２と、洗浄槽３内の液相部の温度を検出する洗浄槽液温センサ１３とが設けられる。また、前述したとおり、所望により、圧力センサ１２に代えてまたはこれに加えて、洗浄槽３内の気相部の温度を検出する温度センサが設けられる。一方、予熱タンク４には、予熱タンク４内の液相部の温度を検出する予熱タンク液温センサ１７が設けられる。

また、洗浄槽３には、洗浄槽液位検出器（図示省略）が設けられる。この液位検出器は、洗浄槽３内に設定液位まで液体が貯留されたか否か、洗浄槽３内の貯留液が排水されたか否か、洗浄槽３内に上限液位以上の液体が貯留されていないか否かを検出する。

同様に、予熱タンク４には、予熱タンク液位検出器（図示省略）が設けられる。この液位検出器は、予熱タンク４内に設定液位まで液体が貯留されたか否か、予熱タンク４内の貯留液が排水されたか否か、予熱タンク４内に上限液位以上の液体が貯留されていないか否かを検出する。

《制御手段１８》
制御手段１８は、前記各センサ１２，１３，１７の検出信号などに基づき、前記各手段５〜１１，１４〜１６を制御する制御器７０である。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、三方電磁弁２７、第一給液弁３４、第二給液弁３８、洗浄槽電気ヒータ４０、真空ポンプ４５、熱交給水弁４９、封水給水弁５０、気相給気弁５３、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９、予熱タンク電気ヒータ６２、送水ポンプ６４、給湯弁６５、予熱タンク排水弁６７の他、圧力センサ１２、洗浄槽液温センサ１３、洗浄槽液位検出器、予熱タンク液温センサ１７および予熱タンク液位検出器は、制御器７０に接続されている。そして、制御器７０は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、洗浄槽３内の被洗浄物２の洗浄や濯ぎなどを図る。

次に、本実施例の洗浄装置１の運転方法の一例について説明する。
本実施例の洗浄装置１は、前述したとおり、洗浄槽３の他、予熱タンク４を備える。洗浄槽３では、被洗浄物２の洗浄や濯ぎが行われるが、その間、予熱タンク４では、洗浄槽３内の液体の次回の入れ替え用の液体の加温が行われる。そこで、まず、洗浄槽３における被洗浄物２の洗浄や濯ぎについて説明し、その後、その間に行われる予熱タンク４における液体の加温について説明する。

図２は、本実施例の洗浄装置１の運転方法の一例を示すフローチャートであり、洗浄槽３における運転内容を示している。

洗浄槽３では、予洗工程Ｓ１、一以上の洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３、一以上の濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６、および液切り工程Ｓ７の内から選択された工程を順次に実行する。より具体的には、図示例の場合、予洗工程Ｓ１、第一洗浄工程Ｓ２、第二洗浄工程Ｓ３、第一濯ぎ工程Ｓ４、第二濯ぎ工程Ｓ５、第三濯ぎ工程Ｓ６、および液切り工程Ｓ７の内、選択された工程を順次に実行する。

これら工程の開始前に、洗浄槽３内には被洗浄物２が収容され、洗浄槽３の蓋２０は気密に閉じられる。この際、被洗浄物２は、液相給気ノズル５７より上方に配置され、所望により、網状のバスケットなどに入れられて洗浄槽３内に収容される。

予洗工程Ｓ１と洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３とは実施可能な動作が共通しているので、予洗工程Ｓ１を洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３の一種と捉えることもできる。また、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３と濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６とは、洗浄槽３内に貯留される液体が洗浄液か濯ぎ液かの差にあるので、濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６を洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３の一種と捉えることもできる。さらに、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３や濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６において、洗浄槽３内の液体の温度を高温にすることで、被洗浄物２の消毒を図ることもできるので、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３や濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６には消毒工程を含むと捉えることもできる。

《予洗工程Ｓ１および各洗浄工程Ｓ２，Ｓ３》
予洗工程Ｓ１および各洗浄工程Ｓ２，Ｓ３では、液切り動作、給水動作、洗浄剤投入動作、加温動作、保温動作、冷却動作、復圧動作、および排水動作の内、選択された動作を順次に実行する。

〈液切り動作〉
液切り動作は、減圧手段８により洗浄槽３内を減圧する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、気相給気弁５３、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じると共に、洗浄槽電気ヒータ４０を停止した状態で、減圧手段８を作動させればよい。これにより、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して、洗浄槽３内を減圧することができる。

被洗浄物２が濡れている状況で、液切り動作として、被洗浄物２に付着の液体の飽和蒸気圧以下まで洗浄槽３内を減圧することで、液体を沸騰させて蒸発させ、被洗浄物２からの液切りを図ることができる。その後、減圧手段８を停止した状態で、気相給気弁５３を開けることで、洗浄槽３内は復圧される。

このような減圧と復圧とは、一回に限らず複数回行ってもよい。たとえば、被洗浄物２がチューブの場合、洗浄槽３内を減圧後に復圧することで、復圧時にチューブ内へ空気を導入することができる。そして、その復圧後、洗浄槽３内を再び減圧すれば、導入した空気を膨張させたり、残液を蒸発させたりして、被洗浄物２からの液切りを一層確実に図ることができる。

以上から分かるように、液切り動作は、洗浄槽３内の液体を入れ替える際や、洗浄または濯ぎ後に被洗浄物２を乾燥させる際に行うのが好ましい。前者の場合、入れ替える前後の液体が混ざるのを防止できる。また、後者の場合、後述する液切り工程における液切り動作となる。

設定圧力まで洗浄槽３内を減圧するか、設定時間だけ洗浄槽３内を減圧するか、設定圧力まで洗浄槽３内を減圧して設定時間だけ保持するか、洗浄槽３内の減圧と復圧とを所望に繰り返すかした後、液切り動作を終了する。つまり、減圧手段８の作動を停止した状態で、気相給気弁５３を開けて洗浄槽３内を大気圧まで復圧して、液切り動作を終了する。

〈給水動作〉
給水動作は、給水手段５を用いて、また場合により送水手段１５も用いて、洗浄槽３内へ水を供給する。給水手段５による洗浄槽３内への給水は、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じる一方、気相給気弁５３を開くと共に、洗浄槽電気ヒータ４０および減圧手段８を停止した状態で、第一給水弁２４を開けばよい。この際、三方電磁弁２７は、共通給水路２６と洗浄槽給水路２８とを連通させる。これにより、洗浄水が、洗浄槽３内へ供給される。この給水時、洗浄槽３内の空気は、気相給気路５１を逆流して、洗浄槽３外へ排出される。但し、給水動作では、気相給気弁５３を閉じる代わりに、減圧手段８を作動させてもよい。洗浄槽３内を減圧しつつ給水することで、被洗浄物２がたとえばチューブの場合、チューブ内から空気を追い出すことができる。

また、後述するように、予熱タンク４において既に熱水（温水を含む）が用意されている場合には、送水手段１５による予熱タンク４からの熱水に、給水手段５による水を混ぜて用いることもできる。予熱タンク４から洗浄槽３内への送水は、送水ポンプ６４を作動させた状態で給湯弁６５を開ければよい。予熱タンク４からの熱水と、給水手段５からの水とを混ぜて用いる場合、熱水と水とを交互に給水してもよいし、熱水と水とを同時に並行して給水してもよい。

いずれにしても、次に予熱タンク４内に貯留して加温しようとする水の種類（軟水または純水）が変わる場合があることを考慮して、予熱タンク４内の熱水を使い切りつつ、足りない分を給水手段５から給水するのがよい。また、予熱タンク４内の熱水を全て洗浄槽３内へ送っても、給水手段５による水が混ぜられることで、洗浄槽３内の水は後述する加温目標温度よりも低い温度となるように、予熱タンク４の容量などが決められる。

このようにして、洗浄槽３内の設定水位まで洗浄水が供給されると、洗浄槽液位検出器がそれを検知して、第一給水弁２４を閉じたり、給湯弁６５を閉じると共に送水ポンプ６４を停止したりして、給水動作を終了する。なお、減圧手段８を作動させていた場合、減圧手段８の作動を停止すると共に気相給気弁５３を一気に開けることで、被洗浄物２がたとえばチューブの場合、チューブ内へ洗浄水を一気に流入させて、洗浄効果を高めることができる。但し、引き続いて洗浄剤投入動作を実施する場合には、減圧手段８の作動を継続すると共に、気相給気弁５３を閉じたままで、洗浄剤投入動作へ移行してもよい。

〈洗浄剤投入動作〉
洗浄剤投入動作は、給液手段６により洗浄槽３内へ洗浄剤を供給する。本実施例では、減圧手段８により洗浄槽３内を減圧後、第一給液手段３０により洗浄槽３内へ洗浄剤を引き込むことで、洗浄槽３内の洗浄水に洗浄剤を混入して洗浄液とする。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、気相給気弁５３、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じると共に、洗浄槽電気ヒータ４０を停止した状態で、減圧手段８を作動させて、洗浄槽３内を所望まで減圧した後、減圧手段８を停止させた状態で、第一給液弁３４を開けばよい。

設定時間だけ第一給液弁３４を開くなどして、所望量の洗浄剤を洗浄槽３内へ供給した後、第一給液弁３４を閉じる一方、気相給気弁５３または液相給気弁５６を開けて、洗浄剤投入動作を終了する。被洗浄物２がチューブである場合や、被洗浄物２が袋穴を有している場合、気相給気弁５３を開いて洗浄槽３内を復圧することで、チューブ内や袋穴内に液体を入れることができる。一方、液相給気弁５６を開いて液相部に空気を入れる場合、洗浄槽３内の液体を揺らすことができ、これにより洗浄剤と洗浄水との混合を図り、短時間で洗浄剤を洗浄水中に均一に拡散させることができる。また、液相部へ供給された空気は、洗浄槽３内の液体中を上昇し、やがて気相部へ到達する。気相部の圧力が上昇することで、気相給気弁５３を開いた場合と同様の作用効果を得ることができる。具体的には、被洗浄物２がたとえばチューブの場合、チューブ内に液体を入れることができる。

〈加温動作〉
加温動作は、洗浄槽３内の液体が加温目標温度（設定温度）になるまで、洗浄槽３内の液体を加温する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じた状態で、洗浄槽電気ヒータ４０を作動させればよい。

加温動作中、減圧手段８を停止すると共に、気相給気弁５３を開いた状態に維持する。あるいは、加温動作中、減圧手段８による減圧と、その後の気相給気手段９による復圧とを繰り返してもよい。これにより、被洗浄物２がたとえばチューブの場合、チューブ内の残留空気を膨張および圧縮し、チューブ内に液体を流動させて、チューブ内の洗浄を図ることができる。

あるいは、加温動作中、減圧手段８による減圧と、その後の液相給気手段１０による復圧とを繰り返してもよい。これにより、被洗浄物２がたとえば鉗子の場合、蒸気や空気の溜まる箇所がなくても、洗浄槽３内の液体中に気体を吹き込んで、洗浄槽３内の液体を揺動させることにより、被洗浄物２の洗浄を図ることができる。また、洗浄槽３内の液体を揺らすことで、液体の温度ムラを防止することもできる。

加温動作中、洗浄槽液温センサ１３により洗浄槽３内の液体の温度を監視して、洗浄槽３内の液体が加温目標温度になれば、洗浄槽電気ヒータ４０を停止させて加温動作を終了する。但し、引き続いて保温動作を実施する場合には、そのまま保温動作へ移行してもよい。

〈保温動作〉
保温動作は、加温動作で洗浄槽３内の液体を加温目標温度まで昇温した後、その加温目標温度に液体を設定保温時間だけ保持する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、洗浄槽排水弁５９を閉じた状態で、洗浄槽液温センサ１３による検出温度を加温目標温度に維持するように、洗浄槽電気ヒータ４０への通電の有無を制御する。

保温動作中、減圧手段８による減圧と、その後の液相給気手段１０による復圧とを繰り返してもよい。このような制御を液相給気パルス制御ということにする。この場合、気相給気弁５３は閉じた状態に維持される。あるいは、保温動作中、減圧手段８を停止すると共に、気相給気弁５３を開いた状態に維持してもよい。この場合、液相給気弁５６は閉じた状態に維持される。

保温動作中に液相給気パルス制御を行う場合について、さらに詳細に説明する。この場合、洗浄槽３内の液体を沸騰させるかその直前まで洗浄槽３内を減圧した状態で、液相給気弁５６を開いて、被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液体中に気体を導入して、液体を沸騰させつつ被洗浄物２の洗浄が図られる。

すなわち、減圧手段８により洗浄槽３内の気相部の圧力を洗浄槽３内の液体の蒸気圧以下またはその直前まで下げた状態で、液相給気手段１０により、被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液体中に気体を導入する。たとえば、図３の部分拡大図（工程ｆ）に示すように、洗浄槽３内を減圧して、洗浄槽液温センサ１３により検出される液温が所定温度（加温目標温度からたとえば０．５℃低い温度）まで下がると、液相給気弁５６を開けばよい。これにより、洗浄槽３内の液体を沸騰、しかも激しく沸騰させることができ、被洗浄物２の洗浄を図ることができる。このような所定までの減圧と、その減圧により沸騰可能状態の液体中への気体導入による突沸の誘発とが繰り返される。液相給気パルス制御における洗浄槽３内の復圧時、減圧手段８は、作動を停止してもよいし、作動を継続してもよい。

ところで、洗浄槽３内の液体を沸騰可能状態とするには、基本的には、洗浄槽３内の気相部の圧力を洗浄槽３内の液体の蒸気圧以下とする必要がある。但し、実際には、洗浄槽３内の液体の蒸気圧よりわずかに高い圧力でも、液体の一部に過熱した部分が存在することで、液体中に気体を導入することによって沸騰が起こる場合がある。そこで、洗浄槽３内の気相部の圧力を洗浄槽３内の液体の蒸気圧以下または場合によりその直前まで下げた状態として、液体中に気体を導入すればよい。

洗浄槽３内の液体が加温目標温度になってから設定保温時間経過すると、洗浄槽電気ヒータ４０を停止して、保温動作を終了する。被洗浄物２がたとえばチューブの場合、チューブ内の液温の上昇はチューブ外よりも遅れるが、保温動作を実行することで、チューブ内外の液温を一定に保持することができる。また、液相給気パルス制御を併用することで、洗浄液の突沸を利用して、洗浄槽３内の液体をムラなく加温目標温度にすることができる。

〈冷却動作〉
冷却動作は、所定の終了条件を満たすまで、洗浄槽３内を減圧し、洗浄槽３内の液体を冷却する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じると共に、洗浄槽電気ヒータ４０を停止した状態で、減圧手段８を作動させればよい。

前記終了条件としては、洗浄槽３内の液体が冷却目標温度になるまでとされる。但し、洗浄槽３内が目標圧力になるまでとしたり、目標時間が経過するまでとしたりしてもよい。

冷却動作中、気相給気パルス制御を行うのがよい。気相給気パルス制御を伴う冷却動作では、洗浄槽３内の液体を沸騰させ続けるように洗浄槽３内の減圧を継続し、この間、所定タイミングで、液体の沸騰が止むまで、洗浄槽３内を瞬時に一時的に復圧することが繰り返される。この復圧は、液体の沸騰が止む圧力までなされる。また、瞬時の復圧は、電磁弁からなる気相給気弁５３を一気に開けることでなされる。この復圧時にも、減圧手段８は作動させたままでよい。気相給気弁５３を開けて洗浄槽３内を復圧して、液体の沸騰を中断させた後は、気相給気弁５３を再び閉じて、洗浄槽３内の減圧とそれによる液体の沸騰が図られる。

前記所定タイミングとしては、洗浄槽液温センサ１３に基づき洗浄槽３内の液体の温度を監視して、その温度が所定温度ずつ下がるたびとされる。但し、圧力センサ１２に基づき洗浄槽３内の圧力を監視して、その圧力が所定圧力ずつ下がるたびとしてもよい。あるいは、洗浄槽３内の気相部に温度センサを設け、この温度センサに基づき洗浄槽３内の気相部の温度を監視して、その温度が所定温度ずつ下がるたびとしてもよい。

このように、気相給気パルス制御を伴う冷却動作では、洗浄槽３内を減圧して液体を沸騰させ、この沸騰中に、洗浄槽３内を瞬時に一時的に復圧して、液体の沸騰を一気に止めることが繰り返される。従って、復圧時、それまでの沸騰により液中に生じていた水蒸気の気泡は、瞬時に凝縮することになる。この凝縮時の圧力波や圧力差で、洗浄槽３内の液体が攪拌および移送され、被洗浄物２の洗浄が図られる。また、被洗浄物２が管や穴を有する場合、洗浄槽３内の減圧により、被洗浄物２の管内や穴内には蒸気溜まりが生じるが、洗浄槽３内の復圧により、そのような蒸気溜まりが瞬時に消滅する。従って、被洗浄物２の管内や穴内に液体を激しく出入りさせることができ、それにより被洗浄物２の洗浄が図られる。

このような処理は、前記終了条件が満たされるまでなされる。典型的には、前述したとおり、洗浄槽３内の液体が冷却目標温度になるまで行われる。前記終了条件が満たされると、減圧手段８の作動を停止して、冷却動作を終了する。

〈復圧動作〉
復圧動作は、洗浄槽３内を復圧目標圧力まで復圧する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、液相給気弁５６、洗浄槽排水弁５９を閉じると共に、洗浄槽電気ヒータ４０および減圧手段８を停止した状態で、気相給気弁５３を開けばよい。洗浄槽３内が復圧目標圧力まで復圧されると、復圧動作を終了する。

〈排水動作〉
排水動作は、洗浄槽３内の液体を排出する。具体的には、第一給水弁２４、第二給水弁２５、第一給液弁３４、第二給液弁３８、液相給気弁５６を閉じる一方、気相給気弁５３を開くと共に、洗浄槽電気ヒータ４０および減圧手段８を停止した状態で、洗浄槽排水弁５９を開けばよい。これにより、洗浄槽３内の液体が、洗浄槽３外へ排出される。洗浄槽３内の液体が完全に排出されたことを洗浄槽液位検出器で検知すると、洗浄槽排水弁５９を閉じて、排水動作を終了する。

《各濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６》
各濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６では、液切り動作、給水動作、濯ぎ剤投入動作、加温動作、保温動作、減圧動作、復圧動作および排水動作の内、選択された動作を順次に実行する。この内、液切り動作、給水動作、加温動作、保温動作、減圧動作、復圧動作および排水動作は、上述した各洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３におけるものと同様であるから、その説明を省略する。但し、加温目標温度および設定保温時間の他、各給気パルス制御の有無、各給気パルス制御をどのような圧力や温度で行うかなどは、各工程の各動作に応じて適宜に設定される。

また、濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６における給水動作では、第一給水弁２４に代えて第二給水弁２５を開くことで、洗浄槽３内へは濯ぎ水が供給される。この際、三方電磁弁２７は、共通給水路２６と洗浄槽給水路２８とを連通させる。また、濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６における給水動作でも、予熱タンク４において既に熱水（温水を含む）が用意されている場合には、送水手段１５による予熱タンク４からの熱水に、給水手段５による水を混ぜて用いることができる。

〈濯ぎ剤投入動作〉
濯ぎ剤投入動作は、上述した各洗浄工程Ｓ２，Ｓ３における洗浄剤投入動作に対応するものであり、異なる点は、洗浄槽３内へ供給される液が、洗浄剤ではなく濯ぎ剤である点にある。つまり、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３における洗浄剤投入動作では、減圧手段８により洗浄槽３内を減圧後、第一給液弁３４を開いて洗浄剤を洗浄槽３へ供給したが、濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６における濯ぎ剤投入動作では、減圧手段８により洗浄槽３内を減圧後、第二給液弁３８を開いて濯ぎ剤を洗浄槽３へ供給する。このようにして、洗浄槽３内へ濯ぎ剤を引き込むことで、洗浄槽３内の濯ぎ水に濯ぎ剤を混入して濯ぎ液とする。そして、設定時間だけ第二給液弁３８を開くなどして、所望量の濯ぎ剤を洗浄槽３内へ供給した後、第二給液弁３８を閉じる一方、気相給気弁５３または液相給気弁５６を開けて、濯ぎ剤投入動作を終了する。

《液切り工程Ｓ７》
液切り工程Ｓ７は、前記予洗工程Ｓ１、前記各洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３および前記各濯ぎ工程Ｓ４〜Ｓ６における液切り動作およびその後の復圧動作に対応するものである。つまり、液切り工程Ｓ７における液切り動作は、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３などにおける液切り動作に相当し、液切り工程Ｓ７における復圧動作は、洗浄工程Ｓ２〜Ｓ３などにおける復圧動作に相当する。従って、液切り工程Ｓ７では、洗浄槽３内が空気で満たされた状態で、洗浄槽３内を減圧した後、洗浄槽３内を大気圧まで復圧する。

洗浄槽３では、以上のとおり、予洗工程Ｓ１、第一洗浄工程Ｓ２、第二洗浄工程Ｓ３、第一濯ぎ工程Ｓ４、第二濯ぎ工程Ｓ５、第三濯ぎ工程Ｓ６および液切り工程Ｓ７の内、選択された工程を順次に実行するが、その間、予熱タンク４では、洗浄槽３内の液体の次回の入れ替え用の液体の加温が行われる。たとえば、第二洗浄工程Ｓ３において排水動作を実行し、第一濯ぎ工程Ｓ４において給水動作を実行する場合には、第二洗浄工程Ｓ３（およびそれより前の工程が排水動作を伴わない場合にはその工程も含む）において、予熱タンク４では第一濯ぎ工程Ｓ４に用いる濯ぎ水の加温が図られる。

具体的には、予熱タンク４では、給水動作、加温動作、送水動作および所望により排水動作が、順に行われる。また、これら一連の動作が所望により繰り返される。

〈予熱タンク４への給水動作〉
予熱タンク４への給水動作では、給水手段５を用いて、予熱タンク４内へ水を供給する。給水手段５による予熱タンク４内への給水は、給湯弁６５および予熱タンク排水弁６７を閉じると共に、予熱タンク電気ヒータ６２および送水ポンプ６４を停止した状態で、第一給水弁２４または第二給水弁２５を開けばよい。この際、三方電磁弁２７は、共通給水路２６と予熱タンク給水路２９とを連通させる。従って、第一給水弁２４を開けば、予熱タンク４内へ洗浄水を供給することができ、第二給水弁２５を開けば、予熱タンク４内へ濯ぎ水を供給することができる。

予熱タンク４内にいずれの種類の水を貯留するかは、洗浄槽３内の液体の次回の入れ替え用の液体の種類に応じて決められる。たとえば、洗浄槽３内で被洗浄物２を洗浄液で洗浄後、洗浄槽３内の液体を濯ぎ液に入れ替えて、被洗浄物２を濯ぎしようとする場合、洗浄槽３内において被洗浄物２を洗浄中には、予熱タンク４において濯ぎ水を貯留してその加温が図られる。また、その後、洗浄槽３から濯ぎ液を排水して、洗浄槽３内の被洗浄物２を入れ替えた後、その新たな被洗浄物２を洗浄液で洗浄しようとする場合には、被洗浄物２の濯ぎ中には、予熱タンク４において次回の被洗浄物２の洗浄用の洗浄水を貯留してその加温が図られる。つまり、洗浄槽３において被洗浄物２を入れ替えつつ一連の運転（典型的には洗浄から濯ぎの一連の動作）を複数回行う場合には、次回の運転に用いる液体を、その直前の運転にて加温しておくこともできる。なお、予熱タンク４への給水動作は、洗浄槽３への給水動作の終了後すぐに行うのが好ましい。

〈予熱タンク４内の加温動作〉
予熱タンク４内の加温動作では、予熱タンク４内の液体が予熱目標温度になるまで、予熱タンク４内の液体を加温する。具体的には、給湯弁６５および予熱タンク排水弁６７を閉じると共に、送水ポンプ６４を停止した状態で、予熱タンク電気ヒータ６２を作動させればよい。但し、予熱タンク電気ヒータ６２は、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中にのみ作動するよう制御される。

ところで、予熱目標温度は、洗浄槽３における加温目標温度よりも高い温度に設定するのがよい。そのように設定しても、予熱タンク４の容量は洗浄槽３よりも小さい上、洗浄槽３においては、予熱タンク４からの熱水に給水手段５からの水を混ぜて用いるので、洗浄槽３における給水動作の終了時点で、洗浄槽３内の貯留液の温度が加温目標温度を超えることはない。

また、予熱タンク４内の加温動作において、予熱タンク４内の液体が必ずしも予熱目標温度まで上がらなくても、洗浄槽３内へ移した後、前述したように加温動作を実行することで不都合はない。つまり、予熱タンク４からの熱水の温度や給水量、給水手段５からの水の温度や給水量に拘わらず、洗浄槽３内の加温動作により、洗浄槽３内の貯留液の温度を必ず加温目標温度にして用いることができる。これにより、各給気パルス制御の効果を安定して発揮させることができる。

一方、予熱タンク４内の加温動作において、予熱タンク４内の液体が予熱目標温度に達した後は、その温度を維持するように、予熱タンク液温センサ１７の検出温度に基づき予熱タンク電気ヒータ６２への通電を制御して、液温を保持すればよい。

〈予熱タンク４から洗浄槽３への送水動作〉
予熱タンク４から洗浄槽３への送水動作では、予熱タンク排水弁６７を閉じる一方、送水ポンプ６４を作動させた状態で、給湯弁６５を開けばよい。これにより、予熱タンク４内の液体を洗浄槽３内へ移すことができる。この送水動作は、前述したように、洗浄槽３における給水動作時に行われる。

〈予熱タンク４からの排水動作〉
予熱タンク４からの排水動作では、給湯弁６５を閉じると共に、予熱タンク電気ヒータ６２および送水ポンプ６４を停止した状態で、予熱タンク排水弁６７を開けばよい。予熱タンク４から洗浄槽３への送水動作の終了後、再び次回の液体を予熱タンク４に貯留して加温することが可能であるが、予熱タンク４へ貯留する液体の種類が変わる場合には、送水動作の終了後に排水動作を行ってから、再び給水動作が行われる。一方、液体の種類が変わらない場合には、送水動作の終了後に排水動作を行わずに、給水動作を行ってもよい。

図３は、本実施例の洗浄装置１の運転方法の一例を示す図であり、洗浄槽３内の液温（縦軸）と経過時間（横軸）との関係を示している。また、その下部に示す（Ａ）は洗浄槽電気ヒータ４０のタイムチャートであり、（Ｂ）は予熱タンク電気ヒータ６２のタイムチャートである。

この例では、洗浄槽３について、第一洗浄工程Ｓ２、第二洗浄工程Ｓ３、第一濯ぎ工程Ｓ４および第二濯ぎ工程Ｓ５を選択した例を示している。そして、第一洗浄工程Ｓ２では、給水動作、洗浄剤投入動作、加温動作、保温動作、冷却動作、復圧動作が選択されている。また、第二洗浄工程Ｓ３では、加温動作、保温動作、冷却動作、復圧動作、排水動作が選択されている。また、第一濯ぎ工程Ｓ４では、給水動作、加温動作、保温動作、冷却動作、復圧動作、排水動作が選択されている。さらに、第二濯ぎ工程Ｓ５では、給水動作、濯ぎ剤投入動作、加温動作、保温動作、冷却動作、復圧動作、排水動作が選択されている。

但し、この運転方法は、あくまでも一例であって、適宜に変更可能なことは言うまでもない。すなわち、各洗浄工程（Ｓ２，Ｓ３）や各濯ぎ工程（Ｓ４〜Ｓ６）などの内からどの工程を選択して実行するか、また、選択した工程中でどの動作を選択して実行するか、および、その選択された動作をどのような内容（たとえば温度、圧力、時間など）で実行するかは適宜に変更可能である。

図３の場合について、具体的に説明すると、第一洗浄工程Ｓ２の給水動作ａと洗浄剤投入動作とにより、洗浄槽３内に洗浄液を貯留した後、加温動作ｂおよび保温動作ｃにより、洗浄液を第一加温目標温度Ｔ１まで昇温して保持した後、冷却動作ｄを行った後、復圧動作により洗浄槽３内を大気圧まで復圧する。

その後、第二洗浄工程Ｓ３の加温動作ｅおよび保温動作ｆにより、洗浄液を第二加温目標温度Ｔ２まで昇温して保持した後、冷却動作ｇを行った後、復圧動作により洗浄槽３内を大気圧まで復圧して、排水動作ｈにより洗浄液を排出する。なお、図示例では、第二加温目標温度Ｔ２は第一加温目標温度Ｔ１よりも高く設定され、これにより消毒を兼ねた洗浄を図ることができる。

その後、第一濯ぎ工程Ｓ４の給水動作ｉにより、洗浄槽３内に濯ぎ水を貯留した後、加温動作ｊと保温動作ｋとにより、濯ぎ水を第三加温目標温度Ｔ３まで昇温して保持した後、冷却動作ｌを行った後、復圧動作により洗浄槽３内を大気圧まで復圧して、排水動作ｍにより濯ぎ水を排出する。

その後、第二濯ぎ工程Ｓ５の給水動作ｎと濯ぎ剤投入動作とにより、洗浄槽３内に濯ぎ液を貯留した後、加温動作ｏと保温動作ｐとにより、濯ぎ液を第四加温目標温度Ｔ４まで昇温して保持した後、冷却動作ｑを行った後、復圧動作により洗浄槽３内を大気圧まで復圧して、排水動作ｒにより濯ぎ液を排出する。

これら一連の工程（Ｓ２〜Ｓ５）における各保温動作ｃ，ｆ，ｋ，ｐでは、部分拡大して示すように、液相給気パルス制御が行われる。また、各冷却動作ｄ，ｇ，ｌ，ｑでは、気相給気パルス制御が行われる。このようにして、被洗浄物２の洗浄および濯ぎが効果的に図られる。

この例では、洗浄槽３内には、第一洗浄工程Ｓ２の給水動作ａおよび洗浄剤投入動作において洗浄液が貯留され、その貯留液は第二洗浄工程Ｓ３の排水動作で排水される。その後、洗浄槽３内には、第一濯ぎ工程Ｓ４の給水動作ｉにおいて濯ぎ水が貯留され、その貯留液は同工程の排水動作ｍで排水される。その後、洗浄槽３内には、第二濯ぎ工程Ｓ５の給水動作ｎおよび濯ぎ剤投入動作において濯ぎ液が貯留され、その貯留液は同工程の排水動作ｒで排水される。また、第一洗浄工程Ｓ２から第二濯ぎ工程Ｓ５までの一連の動作を終了した後、洗浄槽３内の被洗浄物２を入れ替えて再び洗浄などを行うこともできる。

この例では、第一洗浄工程Ｓ２の給水動作ａの終了後、次回の給水（第一濯ぎ工程Ｓ４の給水動作ｉ）に備えて、予熱タンク４では濯ぎ水が貯留されて加温される。この際、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中を利用して、予熱タンク電気ヒータ６２を作動させて、予熱タンク４内の貯留液の加温が図られる。図３（Ａ）に示すように、洗浄槽電気ヒータ４０は、第一洗浄工程Ｓ２の加温動作ｂではオンされ、同工程の保温動作ｃではオンオフ制御され、同工程の冷却動作ｄおよび復圧動作ではオフされ、引き続いて実行される第二洗浄工程Ｓ３の加温動作ｅではオンされ、保温動作ｆではオンオフ制御され、同工程の冷却動作ｇ、復圧動作および排水動作ｈではオフされる。従って、同図（Ｂ）に示すように、予熱タンク電気ヒータ６２は、第一洗浄工程Ｓ２の冷却動作ｄおよび復圧動作や、第二洗浄工程Ｓ３の冷却動作ｇ、復圧動作および排水動作ｈ中にオンされて、予熱タンク４内の貯留水を加温する。また、これに加えて、第一洗浄工程Ｓ２や第二洗浄工程Ｓ３の各保温動作ｃ，ｆにおいて、洗浄槽電気ヒータ４０がオフとされている間だけ、予熱タンク電気ヒータ６２をオンしてもよい。

また、第一濯ぎ工程Ｓ４の給水動作ｉ後、次回の給水（第二濯ぎ工程Ｓ５の給水動作ｎ）に備えて、予熱タンク４では濯ぎ水が貯留されて加温される。この際も、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中を利用して、予熱タンク電気ヒータ６２を作動させて、予熱タンク４内の貯留液の加温が図られる。図３（Ａ）に示すように、洗浄槽電気ヒータ４０は、第一濯ぎ工程Ｓ４の加温動作ｊではオンされ、同工程の保温動作ｋではオンオフ制御され、同工程の冷却動作ｌ、復圧動作および排水動作ｍではオフされる。従って、同図（Ｂ）に示すように、予熱タンク電気ヒータ６２は、第一濯ぎ工程Ｓ４の冷却動作ｌ、復圧動作および排水動作ｍ中にオンされて、予熱タンク４内の貯留水を加温する。また、これに加えて、第一濯ぎ工程Ｓ４の保温動作ｋにおいて、洗浄槽電気ヒータ４０がオフとされている間だけ、予熱タンク電気ヒータ６２をオンしてもよい。

さらに、第一洗浄工程Ｓ２から第二濯ぎ工程Ｓ５までの一連の動作を終了した後、洗浄槽３内の被洗浄物２を入れ替えて再び洗浄などを行う場合には、予め制御器７０に次の運転予約をしておくことで、次のような動作を行ってもよい。すなわち、第二濯ぎ工程Ｓ５の給水動作ｎ後、次回の給水（第一洗浄工程Ｓ２の給水動作ａなど）に備えて、予熱タンク４では洗浄水が貯留されて加温されてもよい。この際も、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中を利用して、予熱タンク電気ヒータ６２を作動させて、予熱タンク４内の貯留液の加温が図られる。図３（Ａ）に示すように、洗浄槽電気ヒータ４０は、第二濯ぎ工程Ｓ５の加温動作ｏではオンされ、同工程の保温動作ｐではオンオフ制御され、同工程の冷却動作ｑ、復圧動作および排水動作ｒではオフされる。従って、同図（Ｂ）に示すように、予熱タンク電気ヒータ６２は、第二濯ぎ工程Ｓ５の冷却動作ｑ、復圧動作および排水動作ｒ中にオンされて、予熱タンク４内の貯留水を加温する。また、これに加えて、第二濯ぎ工程Ｓ５の保温動作ｐにおいて、洗浄槽電気ヒータ４０がオフとされている間だけ、予熱タンク電気ヒータ６２をオンしてもよい。

このように、本実施例の洗浄装置１によれば、洗浄槽電気ヒータ４０の停止中を利用して予熱タンク電気ヒータ６２を作動させて、洗浄槽３内の液体の次回の入れ替え用の液体の加温を図ることができる。これにより、洗浄槽３において実施される各工程の加温動作の初期温度を上げることができ、洗浄装置１の運転時間の短縮を図ることができる。たとえば、図３の例で、第一洗浄工程Ｓ２から第二濯ぎ工程Ｓ５までの一連の動作を繰り返す場合には、第二濯ぎ工程Ｓ５で次回の第一洗浄工程Ｓ２用の洗浄水を予熱タンク４で加温しておけば、第一洗浄工程Ｓ２の初期液温を二点鎖線で示すように高めることができ、結果として加温工程ｂにおける加温時間の短縮を図り、ひいては運転時間の短縮を図ることができる。

図４は、本発明の洗浄装置１の実施例２を示す概略構成図であり、一部を断面にすると共に一部を省略して示している。本実施例２の洗浄装置１も、その構成および運転方法において、基本的には前記実施例１の洗浄装置１と同様である。そのため、以下では、両者の異なる点を中心に説明し、対応する箇所には同一の符号を付して説明する。

本実施例２の洗浄装置１は、前記実施例１の洗浄装置１と、洗浄槽加温手段７および予熱タンク加温手段１４の構成において相違する。これら加温手段７，１４として、前記実施例１では電気ヒータ４０，６２を用いたが、本実施例２では蒸気ヒータ７１，７２が用いられる。

つまり、本実施例の洗浄装置１は、洗浄槽３内の底部には洗浄槽蒸気ヒータ７１が設置され、予熱タンク４内の底部には予熱タンク蒸気ヒータ７２が設置される。この場合、洗浄槽蒸気ヒータ７１には蒸気が供給され、その凝縮水は蒸気トラップ７３を介して排出される。この高温凝縮水は、たとえばオリフィスなどから構成される再蒸発機構７４を通され、これにより減圧されることで再び蒸気化されて予熱タンク蒸気ヒータ７２へ供給される。予熱タンク蒸気ヒータ７２の出口には、蒸気トラップ（図示省略）を設けてもよい。

このような構成の場合、洗浄槽加温手段７からの排熱を用いて、予熱タンク４内の液体を加温することで、省エネルギーを図ることができる。また、洗浄槽蒸気ヒータ７１からの凝縮水をそのまま予熱タンク４内の貯留水と熱交換する場合に比べて、凝縮水を一旦蒸気化してその凝縮熱伝達で予熱タンク４内の貯留水を加温するので、熱効率がよい。

なお、図４では、洗浄槽加温手段７および予熱タンク加温手段１４としてそれぞれ蒸気ヒータ７１，７２を用いたが、一方または双方を蒸気ジャケットとしてよい。つまり、洗浄槽３を取り囲むように蒸気が供給される蒸気ジャケットを設けたり、予熱タンク４を取り囲むように蒸気が供給される蒸気ジャケットを設けたりしてもよい。

本発明の洗浄装置１は、前記実施例の構成に限らず適宜変更可能である。特に、洗浄槽３とは別に予熱タンク４を設けて、予熱タンク４において次回の入れ替え用の液体を加温する構成において、洗浄槽加温手段７の停止中に予熱タンク加温手段１４を作動させるか、洗浄槽加温手段７の排熱を用いて予熱タンク４内の液体を加温するのであれば、その他の構成や運転方法は適宜に変更可能である。

１ 洗浄装置
２ 被洗浄物
３ 洗浄槽
４ 予熱タンク
５ 給水手段
６ 給液手段
７ 洗浄槽加温手段
８ 減圧手段
９ 気相給気手段
１０ 液相給気手段
１１ 洗浄槽排水手段
１２ 圧力センサ
１３ 洗浄槽液温センサ
１４ 予熱タンク加温手段
１５ 送水手段
１６ 予熱タンク排水手段
１７ 予熱タンク液温センサ
１８ 制御手段
４０ 洗浄槽電気ヒータ
６２ 予熱タンク電気ヒータ
７１ 洗浄槽蒸気ヒータ
７２ 予熱タンク蒸気ヒータ

Claims (5)

1. 液体が貯留され、その液体に被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、
   この洗浄槽内の液体を加温する洗浄槽加温手段と、
   前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
   この減圧手段により減圧された前記洗浄槽内の液相部に外気を導入する液相給気手段と、
   前記洗浄槽よりも小容量で、前記洗浄槽内へ供給するための液体が貯留される予熱タンクと、
   この予熱タンク内の液体を加温する予熱タンク加温手段とを備え、
   前記予熱タンク加温手段は、前記洗浄槽加温手段の停止中に作動するか、前記洗浄槽加温手段の排熱を用いて、前記予熱タンク内の液体を加温し、
   前記洗浄槽内の液体を設定温度まで加温後、液体を沸騰させるまで前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で、前記減圧手段の作動を継続させたまま、前記液相給気手段を用いて前記洗浄槽の内外の差圧により前記被洗浄物よりも下方から前記洗浄槽内の液体中に外気を導入して、前記被洗浄物の洗浄または濯ぎを図る動作を実行可能とされ、
   前記予熱タンク内の液体は、前記設定温度よりも高い温度を目標温度として加温され、
   前記洗浄槽内の液体を排水後、前記洗浄槽内に、前記予熱タンクからの液体と、前記予熱タンクを介さない液体とを供給した後、前記洗浄槽加温手段により前記洗浄槽内の液体を前記設定温度に調整する
   ことを特徴とする洗浄装置。
2. 液体が貯留され、その液体に被洗浄物が浸漬される洗浄槽と、
   この洗浄槽内の液体を加温する洗浄槽加温手段と、
   前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
   この減圧手段により減圧された前記洗浄槽内の気相部に外気を導入する気相給気手段と、
   前記洗浄槽よりも小容量で、前記洗浄槽内へ供給するための液体が貯留される予熱タンクと、
   この予熱タンク内の液体を加温する予熱タンク加温手段とを備え、
   前記予熱タンク加温手段は、前記洗浄槽加温手段の停止中に作動するか、前記洗浄槽加温手段の排熱を用いて、前記予熱タンク内の液体を加温し、
   前記洗浄槽内の液体を設定温度まで加温後、前記減圧手段による前記洗浄槽内からの排気を継続して前記洗浄槽内の圧力を低下させる過程で、この減圧による前記洗浄槽内の液体の沸騰中に前記気相給気手段により前記洗浄槽内を液体の沸騰が止むまで瞬時に一時的に復圧することを繰り返す動作により、前記被洗浄物の洗浄または濯ぎを図る動作を実行可能とされ、
   前記予熱タンク内の液体は、前記設定温度よりも高い温度を目標温度として加温され、
   前記洗浄槽内の液体を排水後、前記洗浄槽内に、前記予熱タンクからの液体と、前記予熱タンクを介さない液体とを供給した後、前記洗浄槽加温手段により前記洗浄槽内の液体を前記設定温度に調整する
   ことを特徴とする洗浄装置。
3. 前記洗浄槽加温手段と前記予熱タンク加温手段とは、それぞれ電気ヒータから構成され、
   前記予熱タンクの電気ヒータは、前記洗浄槽の電気ヒータの停止中に作動して、前記洗浄槽内の液体の入れ替え用の液体を加温する
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
4. 前記洗浄槽の電気ヒータと前記予熱タンクの電気ヒータとは、双方が並行して作動すると、前記洗浄装置が設置される箇所の設備の使用可能な電気容量を超えるが、片方ずつ作動すると、前記設備の使用可能な電気容量を超えず、
   前記予熱タンクの電気ヒータのヒータ容量は、前記洗浄槽の電気ヒータのヒータ容量以下である
   ことを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
5. 前記洗浄槽加温手段と前記予熱タンク加温手段とは、それぞれ蒸気ヒータまたは蒸気ジャケットから構成される
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。

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