JP5310195B2 - 基板保持具、電子部品検査装置及び電子部品検査方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 複数の電子部品が実装された基板に対しプローブによって前記電子部品毎に検査を行うための基板保持具であって、
前記基板の表面側において前記電子部品に臨む複数の第1の収容部を有し、前記基板の表面に当接させられる第1のトレイと、
前記基板の裏面側において前記電子部品に臨む複数の第2の収容部を有し、前記基板の裏面に当接させられる第2のトレイと、を備え、
前記第1のトレイは、前記基板の表面とは反対側に、前記基板の表面側から前記基板を与圧する第1の与圧機構が有する第1の平坦面が少なくとも一つの前記第1の収容部を含むように当接されるためのものであり、前記第2のトレイは、前記基板の裏面とは反対側に、前記基板の裏面側から前記基板を与圧する第2の与圧機構が有する第2の平坦面が、前記第1の平坦面と対向するように且つ少なくとも一つの前記第2の収容部を含むように当接されるためのものであり、
前記第1の収容部及び前記第2の収容部の少なくとも一方は、前記電子部品に対し前記プローブが進退させられる貫通孔として形成されている、ことを特徴とする基板保持具。 - 複数の電子部品が実装された基板に対しプローブによって前記電子部品毎に検査を行うための電子部品検査装置であって、
前記基板の表面側において前記電子部品に臨む複数の第1の収容部を有し、前記基板の表面に当接させられる第1のトレイと、
前記基板の裏面側において前記電子部品に臨む複数の第2の収容部を有し、前記基板の裏面に当接させられる第2のトレイと、
少なくとも一つの前記第1の収容部を含むように前記第1のトレイの前記基板の表面とは反対側に当接させられる第1の平坦面を有し、前記基板の表面側から前記基板を与圧する第1の与圧機構と、
前記第1の平坦面と対面するように且つ少なくとも一つの前記第2の収容部を含むように前記第2のトレイの前記基板の裏面とは反対側に当接させられる第2の平坦面を有し、前記基板の裏面側から前記基板を与圧する第2の与圧機構と、を備え、
前記第1の収容部及び前記第2の収容部の少なくとも一方は、前記電子部品に対し前記プローブが進退させられる貫通孔として形成されており、
複数の前記電子部品に対応する複数のプローブを有する、ことを特徴とする電子部品検査装置。 - 前記第1の与圧機構及び前記第2の与圧機構は、前記基板を部分的に与圧する、ことを特徴とする請求項2記載の電子部品検査装置。
- 前記第1のトレイが前記基板の表面に当接させられ、前記第2のトレイが前記基板の裏面に当接させられた状態で、前記第1のトレイの縁部と前記第2のトレイの縁部とを挟持するチャック機構を更に備える、ことを特徴とする請求項2又は3記載の電子部品検査装置。
- 前記第1の収容部が前記貫通孔として形成されている場合には、前記プローブは、前記第1の平坦面と前記第2の平坦面とに挟まれる複数の前記電子部品に対応するように前記第1の与圧機構に設けられ、
前記第2の収容部が前記貫通孔として形成されている場合には、前記プローブは、前記第1の平坦面と前記第2の平坦面とに挟まれる複数の前記電子部品に対応するように前記第2の与圧機構に設けられる、ことを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項記載の電子部品検査装置。 - 複数の前記電子部品に対応するように設けられた前記プローブは、1枚のプローブ基板に取り付けられている、ことを特徴とする請求項5記載の電子部品検査装置。
- 複数の電子部品が実装された基板に対しプローブによって前記電子部品毎に検査を行うための電子部品検査方法であって、
複数の第1の収容部を有する第1のトレイ、及び複数の第2の収容部を有する第2のトレイを準備し、前記基板の表面側において前記第1の収容部を前記電子部品に臨ませた状態で、前記第1のトレイを前記基板の表面に当接させると共に、前記基板の裏面側において前記第2の収容部を前記電子部品に臨ませた状態で、前記第2のトレイを前記基板の裏面に当接させる工程と、
第1の平坦面を有する第1の与圧機構、及び第2の平坦面を有する第2の与圧機構を準備し、前記第1の平坦面と前記第2の平坦面とが対面するように且つ前記第1の平坦面が少なくとも一つの前記第1の収容部を含むように且つ前記第2の平坦面が少なくとも一つの前記第2の収容部を含むように、前記第1の平坦面を前記第1のトレイの前記基板の表面とは反対側に当接させると共に、前記第2の平坦面を前記第2のトレイの前記基板の裏面とは反対側に当接させて、前記基板の表面側及び裏面側の両側から前記基板を与圧する工程と、
前記第1のトレイ及び前記第2のトレイの少なくとも一方に形成される複数の貫通孔に対応した複数の前記電子部品に対し、前記貫通孔を通して前記プローブを進退させ、測定する工程と、を備えることを特徴とする電子部品検査方法。
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