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JP5308204B2 - Heat dissipation sheet - Google Patents

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JP5308204B2
JP5308204B2 JP2009075591A JP2009075591A JP5308204B2 JP 5308204 B2 JP5308204 B2 JP 5308204B2 JP 2009075591 A JP2009075591 A JP 2009075591A JP 2009075591 A JP2009075591 A JP 2009075591A JP 5308204 B2 JP5308204 B2 JP 5308204B2
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-dissipating sheet that is formed of a thermoplastic liquid crystal polymer, exhibits high heat-dissipating properties and is excellent in processability, mechanical strengths and the like. <P>SOLUTION: The heat-dissipating sheet includes a liquid crystal polymer, where the liquid crystal polymer is a thermoplastic liquid crystal polymer and the ratio (&lambda;xy/&lambda;z) of a thermoconductivity &lambda;z in the thickness direction to a thermoconductivity &lambda;xy in the plane direction of the heat-dissipating sheet is 6-60. Such heat dissipating sheet is obtained by extrusion molding a thermoplastic liquid crystal polymer while stretching it. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、熱可塑性液晶ポリマーを用いて形成され、高い放熱性を有すると共に、加工性や機械的強度などにも優れている放熱性シートに関する。   The present invention relates to a heat dissipating sheet which is formed using a thermoplastic liquid crystal polymer and has high heat dissipating properties, as well as excellent workability and mechanical strength.

従来、放熱性シートとしては、高い放熱特性を有する金属やセラミックが利用されてきた。しかし、これらの金属やセラミックでは、多層化が困難であるだけでなく、セラミックは脆弱であるという欠点を有する。
そこで、多層化が可能であるだけでなく、脆弱性も克服できる観点から、樹脂材料を用いた放熱性シートが研究されている。
Conventionally, metals and ceramics having high heat dissipation characteristics have been used as heat dissipation sheets. However, these metals and ceramics are not only difficult to be multilayered, but also have the disadvantage that ceramics are brittle.
Therefore, a heat radiating sheet using a resin material has been studied from the viewpoint of not only multilayering but also being able to overcome fragility.

例えば、特許文献1(特開2007−9084号公報)では、ポリアミド系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ABS系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、メタアクリル系樹脂、熱可塑性エラストマーの中から選ばれる1種以上の熱可塑性樹脂が1重量%以上20重量%未満、及び核部とこの核部から異なる4軸方向に伸びた針状結晶である酸化亜鉛が80重量%を越え99重量%以下からなる樹脂組成物をシート状に形成した放熱樹脂シートが開示されている。   For example, in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2007-9084), a polyamide resin, a polyacetal resin, a polyphenylene ether resin, a polycarbonate resin, an ABS resin, a polyolefin resin, a polystyrene resin, a methacrylic resin, One or more kinds of thermoplastic resins selected from thermoplastic elastomers are 1% by weight or more and less than 20% by weight, and the core part and zinc oxide which is needle-like crystals extending in four axial directions different from the core part are 80% by weight. A heat-dissipating resin sheet in which a resin composition consisting of more than 99% and 99% by weight or less is formed into a sheet shape is disclosed.

特開2007−9084号公報(特許請求の範囲)JP 2007-9084 A (Claims)

しかしながら、特許文献1で用いられている放熱樹脂シートでは、特定の形状の酸化亜鉛が必要となるだけでなく、樹脂に対する酸化亜鉛の割合が高いため、フィルムの延伸時に延伸切れ等が生じたり、機械的強度が低下する可能性がある。   However, in the heat-dissipating resin sheet used in Patent Document 1, not only a specific shape of zinc oxide is required, but also because the ratio of zinc oxide to the resin is high, breakage of the film occurs when the film is stretched, Mechanical strength may be reduced.

従って本発明の目的は、液晶ポリマーから形成され、フィラーの含有率を低減しても放熱性に優れるシートを提供することにある。
本発明の別の目的は、加工性と耐熱性との双方を両立できる放熱性シートを提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a sheet which is formed from a liquid crystal polymer and has excellent heat dissipation even when the filler content is reduced.
Another object of the present invention is to provide a heat dissipating sheet that can achieve both workability and heat resistance.

本発明のさらに別の目的は、寸法安定性に優れるだけでなく、低吸湿性である放熱性シートを提供することにある。
本発明の他の目的は、機械的強度に優れるとともに、比誘電率が小さいだけでなく誘電正接も低い放熱性シートを提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a heat dissipating sheet that is not only excellent in dimensional stability but also has low hygroscopicity.
Another object of the present invention is to provide a heat dissipating sheet that is excellent in mechanical strength and has a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent.

本発明者等は上記した従来技術の問題点を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、液晶ポリマーシートの平面方向と厚み方向の熱伝導率に異方性を付与することにより、シート全体での放熱を促進して、その放熱特性を向上させることができ、得られた液晶ポリマーシートは、フィラーの含有量を低減しても(特に、フィラーを含まなくとも)、放熱性シートとして有用であることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies to solve the above-described problems of the prior art, the present inventors have given anisotropy to the thermal conductivity in the plane direction and the thickness direction of the liquid crystal polymer sheet, so that The heat dissipation can be promoted and the heat dissipation characteristics can be improved, and the obtained liquid crystal polymer sheet is useful as a heat dissipation sheet even if the filler content is reduced (particularly, without the filler). As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、液晶ポリマーで構成された放熱性シートであって、前記液晶ポリマーは熱可塑性液晶ポリマーであり、前記放熱性シートの厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比(λxy/λz)は、6〜60であり、シートの厚さ方向に凹凸転写加工が行われ、前記凹凸部の凹部の深さが原反フィルムの厚みの1/10〜3/5である。 That is, the present invention is a heat dissipation sheet composed of a liquid crystal polymer, wherein the liquid crystal polymer is a thermoplastic liquid crystal polymer, and the thermal conductivity λxy in the planar direction with respect to the thermal conductivity λz in the thickness direction of the heat dissipation sheet. The ratio (λxy / λz) is 6 to 60, and concavo-convex transfer processing is performed in the thickness direction of the sheet , and the depth of the concave portion of the concavo-convex portion is 1/10 to 3/5 of the thickness of the original film. der Ru.

前記放熱性シートは、平面方向の熱伝導率λxyが1.0W/mK以上であってもよく、1GHzにおける比誘電率が4.0以下、また1GHzにおける誘電正接が0.005以下であってもよい。   The heat dissipation sheet may have a plane direction thermal conductivity λxy of 1.0 W / mK or more, a relative dielectric constant at 1 GHz of 4.0 or less, and a dielectric loss tangent at 1 GHz of 0.005 or less. Also good.

このような放熱性シートは、インフレーションなどの成形押出成形(例えば、延伸処理を伴う押出成形)により形成されてもよく、延伸処理を伴う場合、押出成形のMD方向とTD方向の延伸倍率の積が3以上であってもよい。また、押出成形の剪断速度が200sec−1以上であってもよい。 Such a heat-dissipating sheet may be formed by molding extrusion molding such as inflation (for example, extrusion molding with stretching treatment), and in the case involving stretching processing, the product of the stretching ratio in the MD direction and the TD direction of extrusion molding. May be 3 or more. Moreover, the shear rate of extrusion molding may be 200 sec −1 or more.

このような放熱性シートは、シートの厚さ方向に凹凸転写加工が行われていてもよいし、液晶ポリマーの融点以上で熱処理されていてもよい。   Such a heat-radiating sheet may be subjected to uneven transfer processing in the thickness direction of the sheet, or may be heat-treated at a melting point of the liquid crystal polymer or higher.

本発明の放熱性シートは、放熱性に優れるだけでなく、熱可塑性液晶ポリマーから形成されているため、加工性に優れるとともに高い耐熱性も実現できる。
また、本発明の放熱性シートでは、機械的強度に優れているだけでなく、フィラーの含有量を低減しても(特に、フィラーを含まなくとも)、優れた放熱性を実現できる。
さらにまた、本発明の放熱性シートは、寸法安定性に優れるだけでなく、低吸湿性であっても優れた放熱性を示すことができる。
The heat dissipating sheet of the present invention is not only excellent in heat dissipating property, but also formed from a thermoplastic liquid crystal polymer, so that it has excellent workability and high heat resistance.
Moreover, in the heat-radiating sheet of the present invention, not only is it excellent in mechanical strength, but even if the filler content is reduced (particularly, even if the filler is not included), excellent heat-dissipating properties can be realized.
Furthermore, the heat dissipating sheet of the present invention is not only excellent in dimensional stability but also can exhibit excellent heat dissipating properties even if it has low hygroscopicity.

特に、本発明の放熱性シートは、幅広い周波数帯(特に、1GHz以上の高周波帯)における誘電特性にも優れているため、電子機器における信号伝送速度を高めることができるだけでなく、発熱量自体を抑制することができる。   In particular, the heat dissipating sheet of the present invention is excellent in dielectric characteristics in a wide frequency band (especially, a high frequency band of 1 GHz or more), so that not only the signal transmission speed in electronic equipment can be increased, but also the heat generation amount itself. Can be suppressed.

スタンパによる熱可塑性液晶ポリマーフィルムへの凹凸転写加工を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the uneven | corrugated transfer process to the thermoplastic liquid crystal polymer film by a stamper. 熱可塑性液晶ポリマーフィルムに対して熱処理を行う工程を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the process of heat-processing with respect to a thermoplastic liquid crystal polymer film.

[放熱性シート]
本発明の放熱性シートは、熱可塑性液晶ポリマーで構成された放熱性シートであって、以下に記載する溶融成形できる液晶性ポリマーから形成され、この液晶性ポリマーの分子配向性を制御して、厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比が、特定の範囲となる。
[Heat dissipation sheet]
The heat dissipating sheet of the present invention is a heat dissipating sheet composed of a thermoplastic liquid crystal polymer, formed from a liquid crystalline polymer that can be melt-molded as described below, and controlling the molecular orientation of the liquid crystalline polymer, The ratio of the thermal conductivity λxy in the planar direction to the thermal conductivity λz in the thickness direction is in a specific range.

(熱可塑性液晶ポリマー)
熱可塑性液晶ポリマーは、溶融成形できる液晶性ポリマーであれば特にその化学的構成については特に限定されるものではないが、例えば、熱可塑性液晶ポリエステル、又はこれにアミド結合が導入された熱可塑性液晶ポリエステルアミドなどを挙げることができる。
(Thermoplastic liquid crystal polymer)
The thermoplastic liquid crystal polymer is not particularly limited as long as it is a liquid crystalline polymer that can be melt-molded. For example, a thermoplastic liquid crystal polyester or a thermoplastic liquid crystal in which an amide bond is introduced is used. Examples thereof include polyester amide.

また熱可塑性液晶ポリマーは、芳香族ポリエステルまたは芳香族ポリエステルアミドに、更にイミド結合、カーボネート結合、カルボジイミド結合やイソシアヌレート結合などのイソシアネート由来の結合等が導入されたポリマーであってもよい。   The thermoplastic liquid crystal polymer may be a polymer in which an isocyanate-derived bond such as an imide bond, a carbonate bond, a carbodiimide bond, or an isocyanurate bond is further introduced into an aromatic polyester or an aromatic polyester amide.

本発明に用いられる熱可塑性液晶ポリマーの具体例としては、以下に例示する(1)から(4)に分類される化合物およびその誘導体から導かれる公知の熱可塑性液晶ポリエステルおよび熱可塑性液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。ただし、高分子液晶を形成するためには、種々の原料化合物の組合せには適当な範囲があることは言うまでもない。   Specific examples of the thermoplastic liquid crystal polymer used in the present invention include known thermoplastic liquid crystal polyesters and thermoplastic liquid crystal polyester amides derived from the compounds (1) to (4) listed below and derivatives thereof. Can be mentioned. However, it goes without saying that there are suitable ranges for combinations of various raw material compounds in order to form a polymer liquid crystal.

(1)芳香族または脂肪族ジヒドロキシ化合物(代表例は表1参照)

Figure 0005308204
(1) Aromatic or aliphatic dihydroxy compounds (see Table 1 for typical examples)
Figure 0005308204

(2)芳香族または脂肪族ジカルボン酸(代表例は表2参照)

Figure 0005308204
(2) Aromatic or aliphatic dicarboxylic acids (see Table 2 for typical examples)
Figure 0005308204

(3)芳香族または脂肪族ヒドロキシカルボン酸(代表例は表3参照)

Figure 0005308204
(3) Aromatic or aliphatic hydroxycarboxylic acids (see Table 3 for typical examples)
Figure 0005308204

(4)芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミンまたは芳香族アミノカルボン酸(代表例は表4参照)

Figure 0005308204
(4) Aromatic diamine, aromatic hydroxyamine or aromatic aminocarboxylic acid (see Table 4 for typical examples)
Figure 0005308204

これらの原料化合物から得られる液晶ポリマーの代表例として表5および6に示す構造単位を有する共重合体を挙げることができる。   Representative examples of the liquid crystal polymer obtained from these raw material compounds include copolymers having the structural units shown in Tables 5 and 6.

Figure 0005308204
Figure 0005308204

Figure 0005308204
Figure 0005308204

これらの共重合体のうち、p―ヒドロキシ安息香酸および/または6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸を少なくとも繰り返し単位として含む重合体が好ましく、特に、(i)p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸との繰り返し単位を含む重合体、(ii)6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸と、4,4’−ジヒドロキシビフェニルおよびヒドロキノンからなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジオールと、テレフタル酸、イソフタル酸および2,6−ナフタレンジカルボン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジカルボン酸との繰り返し単位を含む重合体、が最も好ましい実施形態である。   Of these copolymers, a polymer containing at least p-hydroxybenzoic acid and / or 6-hydroxy-2-naphthoic acid as a repeating unit is preferable, and in particular, (i) p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxyoxy- A polymer containing a repeating unit with 2-naphthoic acid, (ii) 6-hydroxy-2-naphthoic acid, at least one aromatic diol selected from the group consisting of 4,4′-dihydroxybiphenyl and hydroquinone, and terephthalate A polymer containing a repeating unit with at least one aromatic dicarboxylic acid selected from the group consisting of acid, isophthalic acid and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid is the most preferred embodiment.

例えば、熱可塑性液晶ポリマーが、少なくともp−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸との繰り返し単位を含む場合、繰り返し単位(A)のp−ヒドロキシ安息香酸と、繰り返し単位(B)の6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸とのモル比(A)/(B)は、液晶ポリマー中、(A)/(B)=10/90〜90/10程度であるのが望ましく、より好ましくは、(A)/(B)=50/50〜85/15程度であってもよく、さらに好ましくは、(A)/(B)=60/40〜80/20程度であってもよい。   For example, when the thermoplastic liquid crystal polymer contains at least a repeating unit of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid, the repeating unit (A) of p-hydroxybenzoic acid and the repeating unit (B) of The molar ratio (A) / (B) with 6-hydroxy-2-naphthoic acid is desirably about (A) / (B) = 10/90 to 90/10 in the liquid crystal polymer, more preferably , (A) / (B) = about 50/50 to 85/15, and more preferably (A) / (B) = about 60/40 to 80/20.

また、熱可塑性液晶ポリマーが、6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸と、4,4’−ジヒドロキシビフェニルおよびヒドロキノンからなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジオールと、テレフタル酸、イソフタル酸および2,6−ナフタレンジカルボン酸からなる群から選ばれる少なくとも一種の芳香族ジカルボン酸との繰り返し単位を含む場合、液晶ポリマーにおける各繰り返し単位のモル比は、6−ヒドロシキ−2−ナフトエ酸の繰り返し単位(C):前記芳香族ジオール(D):前記芳香族ジカルボン酸(E)=30〜80:35〜10:35〜10程度であってもよく、より好ましくは、(C):(D):(E)=35〜75:32.5〜12.5:32.5〜12.5程度であってもよく、さらに好ましくは、(C):(D):(E)=40〜70:30〜15:30〜15程度であってもよい。   Further, the thermoplastic liquid crystal polymer is at least one aromatic diol selected from the group consisting of 6-hydroxy-2-naphthoic acid, 4,4′-dihydroxybiphenyl and hydroquinone, terephthalic acid, isophthalic acid and 2,6 -When it contains a repeating unit with at least one aromatic dicarboxylic acid selected from the group consisting of naphthalenedicarboxylic acid, the molar ratio of each repeating unit in the liquid crystal polymer is the repeating unit of 6-hydroxy-2-naphthoic acid (C) : The aromatic diol (D): The aromatic dicarboxylic acid (E) = 30-80: 35-10: 35-10, more preferably (C) :( D) :( E ) = 35 to 75: 32.5 to 12.5: 32.5 to 12.5, more preferably (C) :( D) (E) = 40~70: 30~15: may be about 30 to 15.

また、芳香族ジカルボン酸に由来する繰り返し構造単位と芳香族ジオールに由来する繰り返し構造単位とのモル比は、(D)/(E)=95/100〜100/95であることが好ましい。この範囲をはずれると、重合度が上がらず機械強度が低下する傾向がある。   Moreover, it is preferable that the molar ratio of the repeating structural unit derived from aromatic dicarboxylic acid and the repeating structural unit derived from aromatic diol is (D) / (E) = 95 / 100-100 / 95. Outside this range, the degree of polymerization does not increase and the mechanical strength tends to decrease.

なお、本発明にいう溶融時における光学的異方性とは、例えば試料をホットステージにのせ、窒素雰囲気下で昇温加熱し、試料の透過光を観察することにより認定できる。   The optical anisotropy at the time of melting referred to in the present invention can be recognized by, for example, placing a sample on a hot stage, heating and heating in a nitrogen atmosphere, and observing the transmitted light of the sample.

熱可塑性液晶ポリマーとして好ましいものは、融点(以下、Mpと称す)が260〜360℃の範囲のものであり、さらに好ましくはMpが270〜350℃のものである。なお、Mpは示差走査熱量計(メトラー社DSC)により主吸熱ピークが現れる温度を測定することにより求められる。   The thermoplastic liquid crystal polymer preferably has a melting point (hereinafter referred to as Mp) in the range of 260 to 360 ° C, more preferably Mp of 270 to 350 ° C. In addition, Mp is calculated | required by measuring the temperature where a main endothermic peak appears with a differential scanning calorimeter (Mettler DSC).

前記熱可塑性液晶ポリマーには、本発明の効果を損なわない範囲内で、ポリエチレンテレフタレート、変性ポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエステルエーテルケトン、フッ素樹脂等の熱可塑性ポリマーを添加してもよい。   The thermoplastic liquid crystal polymer may include a thermoplastic polymer such as polyethylene terephthalate, modified polyethylene terephthalate, polyolefin, polycarbonate, polyarylate, polyamide, polyphenylene sulfide, polyester ether ketone, and fluororesin within a range not impairing the effects of the present invention. It may be added.

(フィラー)
さらに、放熱性シートは、フィラー(例えば、高伝導性フィラー)や各種添加剤(例えば、可塑剤、光安定剤、耐候安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、燃焼遅延剤、染顔料、潤滑剤および粘度調節剤など)を含有していてもよい。このようなフィラーは、繊維状であっても、粉粒状であっても、板状であってもいずれでもよい。
(Filler)
Furthermore, the heat-dissipating sheet includes fillers (for example, highly conductive fillers) and various additives (for example, plasticizers, light stabilizers, weathering stabilizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, antistatic agents, combustion retardants, Dyes, pigments, lubricants, viscosity modifiers, and the like). Such fillers may be fibrous, powdery, plate-like, or any.

また、その材質としては、ガラス、シリカ、炭素、硅酸塩、ジルコニア、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、窒化ホウ素などの無機系フィラー;ステンレス、アルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、銅等の金属系フィラー;ポリアミド、フッ素樹脂、ポリエステル、アクリル樹脂、液晶ポリマー、ポリイミド等の有機系フィラーなどが挙げられる。   Moreover, as the material, inorganic fillers such as glass, silica, carbon, oxalate, zirconia, aluminum nitride, aluminum oxide and boron nitride; metal fillers such as stainless steel, aluminum, titanium, iron, nickel, copper; Examples thereof include organic fillers such as polyamide, fluororesin, polyester, acrylic resin, liquid crystal polymer, and polyimide.

フィラーの含有量は、放熱性シート全体の、例えば1〜20重量%程度であってもよく、好ましくは3〜17重量%程度、さらに好ましくは5〜15重量%程度であってもよい。フィラーは、その形状に応じて、公知又は慣用の方法によりポリマーと混和または複合化することができる。   The content of the filler may be, for example, about 1 to 20% by weight, preferably about 3 to 17% by weight, and more preferably about 5 to 15% by weight, based on the entire heat radiating sheet. The filler can be mixed or combined with the polymer by a known or conventional method depending on its shape.

[放熱性シートの製造方法]
本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーから、厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比が特定の範囲にある放熱性シートを形成する場合、例えば、熱可塑性液晶ポリマーを押出成形(Tダイ法、インフレーション法等)によって形成することができる。
[Production method of heat dissipation sheet]
In the case of forming a heat radiation sheet in which the ratio of the thermal conductivity λxy in the planar direction to the thermal conductivity λz in the thickness direction is within a specific range from the thermoplastic liquid crystal polymer used in the present invention, for example, the thermoplastic liquid crystal polymer is It can be formed by extrusion (T-die method, inflation method, etc.).

(押出成形)
押出成形では、延伸処理を伴っていてもよく、例えば、Tダイ法による押出成形では、Tダイから押出した溶融体シートを、フィルムの機械軸方向(以下、MD方向と略す)だけでなく、これと直交する方向(以下、TD方向と略す)の双方に対して同時に延伸してもよいし、またはTダイから押出した溶融体シートを一旦MD方向に延伸し、ついでTD方向に延伸してもよい。
(Extrusion molding)
In extrusion molding, it may be accompanied by stretching treatment. For example, in extrusion molding by the T-die method, the melt sheet extruded from the T-die is not only in the mechanical axis direction of the film (hereinafter abbreviated as MD direction), You may extend | stretch simultaneously with respect to both the direction (henceforth TD direction) orthogonal to this, or the melt sheet | seat extruded from T-die is once extended | stretched to MD direction, and then extended to TD direction. Also good.

また、インフレーション法による押出成形では、リングダイから溶融押出された円筒状シートに対して、所定のドロー比(MD方向の延伸倍率に相当する)およびブロー比(TD方向の延伸倍率に相当する)で延伸してもよい。   In addition, in the extrusion molding by the inflation method, a predetermined draw ratio (corresponding to a stretching ratio in the MD direction) and a blow ratio (corresponding to a stretching ratio in the TD direction) with respect to a cylindrical sheet melt-extruded from a ring die. May be stretched.

このような押出成形の延伸倍率は、MD方向の延伸倍率(またはドロー比)として、例えば、1.0〜10程度であってもよく、好ましくは1.2〜7程度、さらに好ましくは1.3〜5程度であってもよい。また、TD方向の延伸倍率(またはブロー比)として、例えば、1.5〜20程度であってもよく、好ましくは2〜15程度、さらに好ましくは2.5〜10程度であってもよい。   The stretch ratio of such extrusion molding may be, for example, about 1.0 to 10, preferably about 1.2 to 7, more preferably about 1. as the stretch ratio (or draw ratio) in the MD direction. About 3-5 may be sufficient. Further, the draw ratio (or blow ratio) in the TD direction may be, for example, about 1.5 to 20, preferably about 2 to 15, and more preferably about 2.5 to 10.

そして、MD方向とTD方向とのそれぞれの延伸倍率を乗じた積は、例えば、3以上(例えば3.3〜20程度)、好ましくは3.5以上(例えば、3.8〜15程度)、さらに好ましくは4以上(例えば、4.3〜12程度)であってもよい。   And the product which multiplied each draw ratio of MD direction and TD direction is 3 or more (for example, about 3.3-20), preferably 3.5 or more (for example, about 3.8-15), More preferably, it may be 4 or more (for example, about 4.3 to 12).

さらに、ダイから溶融押出する際に熱可塑性ポリマーがダイ領域で受けるダイ剪断速度(単に、剪断速度と称する場合がある)は、製膜する厚みなどに応じて、200秒−1以上(例えば、200〜5000秒−1程度)、好ましくは210〜4000秒−1程度から選択することができる。 Further, the die shear rate that the thermoplastic polymer undergoes in the die region during melt extrusion from the die (sometimes simply referred to as shear rate) is 200 seconds −1 or more (for example, about 200 to 5000 sec -1), preferably be selected from about 210 to 4000 sec -1.

これらの延伸倍率と剪弾速度とは、熱伝導率を制御する上で、互いに密接に関係しており、たとえば、前記MD方向とTD方向とのそれぞれの延伸倍率を乗じた積が、11以上である場合、剪弾速度700秒−1以下(例えば、300〜700秒−1程度、好ましくは350〜650秒−1程度)で製膜してもよい。 These stretching ratios and shredding speeds are closely related to each other in controlling the thermal conductivity. For example, the product obtained by multiplying the respective stretching ratios in the MD direction and the TD direction is 11 or more. In this case, the film may be formed at a shredding speed of 700 sec- 1 or less (for example, about 300 to 700 sec- 1 , preferably about 350 to 650 sec- 1 ).

(凹凸転写加工)
また、放熱性シートは、シートの厚さ方向において、凹凸転写加工が行われていてもよい。この凹凸転写加工では、まず、押出成形などにより原反シートを得て、この原反シートの少なくとも一方の表面に、凹凸が形成されているスタンパを加熱圧接し、その後スタンパを剥離することによって、スタンパに形成された凹凸を原反シートに対して転写することができる。
(Uneven transfer process)
Further, the heat radiating sheet may be subjected to uneven transfer processing in the sheet thickness direction. In this unevenness transfer processing, first, an original sheet is obtained by extrusion or the like, and a stamper on which unevenness is formed is heated and pressed on at least one surface of the original sheet, and then the stamper is peeled off, The unevenness formed on the stamper can be transferred to the original sheet.

なお、スタンパの圧接は、加熱ローラを用いてもよいし、枚様式に圧接してもよい。スタンパには、多数の凹凸部が形成されており、その凹凸パターンは、溝状の凹凸部分が配列している一次元配列であってもよいし、レンチキュラーレンズのような二次元配列であってもよいし、フライアイレンズや、円錐、角錐等の微細な錐体をXY方向に敷きつめた平板レンズのような三次元配列であってもよい。   The stamper may be pressed by using a heating roller or by pressing in a sheet form. The stamper has a large number of uneven portions, and the uneven pattern may be a one-dimensional array in which groove-shaped uneven portions are arrayed, or a two-dimensional array such as a lenticular lens. Alternatively, it may be a three-dimensional array such as a fly-eye lens or a flat lens in which fine cones such as a cone and a pyramid are arranged in the XY direction.

例えば、図1に示すように、スタンパ(S)の厚さ方向断面の凹凸部において、凸部の高さ(t)は、原反フィルム(F)の厚み(t+t)の1/10〜3/5程度、好ましくは1/5〜1/2程度であってもよい。また、凹凸部において、凹凸部の幅は同一でも異なっていてもよく、それぞれ、例えば、原反フィルムの厚みの1/10〜3/5程度、好ましくは1/5〜1/2程度であってもよい。 For example, as shown in FIG. 1, in the concavo-convex portion of the cross section in the thickness direction of the stamper (S), the height (t R ) of the convex portion is 1 of the thickness (t B + t R ) of the raw film (F). It may be about / 10 to 3/5, preferably about 1/5 to 1/2. Further, in the concavo-convex portion, the width of the concavo-convex portion may be the same or different, and each is, for example, about 1/10 to 3/5, preferably about 1/5 to 1/2 of the thickness of the raw film. May be.

スタンパの加熱温度(または加熱部位の表面温度)は、液晶ポリマーの融点(Mp)−60℃〜Mp−20℃程度、好ましくはMp−40℃〜Mp−25℃程度で行われてもよい。   The heating temperature of the stamper (or the surface temperature of the heating part) may be performed at a melting point (Mp) of the liquid crystal polymer of about −60 ° C. to Mp−20 ° C., preferably about Mp−40 ° C. to Mp−25 ° C.

また、スタンパが原反フィルムに対して加える圧力は、面圧換算で10〜200kgf/cm程度、好ましくは15〜150kgf/cm程度であってもよく、線圧換算で5〜400kgf/cm程度、好ましくは10〜300kgf/cm程度であってもよい。 Moreover, the pressure applied stamper against raw film, 10~200kgf / cm 2 approximately at a surface pressure conversion, preferably may be about 15~150kgf / cm 2, 5~400kgf / cm in linear pressure converted Or about 10 to 300 kgf / cm.

(熱処理)
また、原反シートまたはスタンパ処理を行ったシートに対して、液晶ポリマーの融点(Mp)以上(例えば、Mp〜Mp+30℃程度、好ましくはMp+10〜Mp+20℃程度)で熱処理をしてもよい。
(Heat treatment)
Moreover, you may heat-process with respect to the raw material sheet | seat or the sheet | seat which performed the stamper process above melting | fusing point (Mp) of a liquid crystal polymer (for example, about Mp-Mp + 30 degreeC, Preferably about Mp + 10-Mp + 20 degreeC).

例えば、このような熱処理は、原反シートと金属箔などの支持体とを熱圧着させて積層体とし、この積層体に対して熱処理を行ってもよい。例えば、このような熱処理は、図2に示すように連続的に行ってもよい。すなわち、巻き出しロール1から巻き出される長尺な原反シート2と、巻き出しロール3から巻き出されるシート状の支持体4とを重ね合わせた状態で、加熱ロール5に送り込み熱圧着により接合させて積層体10を作製し、この積層体10を第1の加熱処理装置6に送り込んで熱処理する。この後、積層体10を上下2つの引き剥がしロール7,7で引き剥がすことにより、熱処理された熱可塑性液晶ポリマーフィルム2と支持体4に分離させて、熱処理が施された熱可塑性液晶ポリマーフィルム21を得ることができる。なお、熱処理を行った後、さらに内部歪みを解消するためのアニーリング処理を行ってもよい。   For example, such heat treatment may be performed by thermocompression bonding a raw sheet and a support such as a metal foil to form a laminate, and the laminate may be heat-treated. For example, such heat treatment may be performed continuously as shown in FIG. That is, in a state where the long original sheet 2 unwound from the unwinding roll 1 and the sheet-like support 4 unwound from the unwinding roll 3 are overlapped, they are fed into the heating roll 5 and bonded by thermocompression bonding. Thus, the laminated body 10 is manufactured, and this laminated body 10 is sent to the first heat treatment apparatus 6 and heat-treated. Thereafter, the laminate 10 is peeled off by two upper and lower peeling rolls 7, 7 to separate the heat-treated thermoplastic liquid crystal polymer film 2 and the support 4, and the heat-treated thermoplastic liquid crystal polymer film. 21 can be obtained. In addition, after performing heat processing, you may perform the annealing process for eliminating internal distortion further.

(延伸処理)
なお、熱可塑性液晶ポリマーフィルムには、必要に応じて延伸を行ってもよい。延伸方法自体は公知であり、二軸延伸、一軸延伸のいずれを採用してもよいが、分子配向度を制御することがより容易であることから、二軸延伸が好ましい。また、延伸は、公知の一軸延伸機、同時二軸延伸機、逐次二軸延伸機などが使用できる。
(Extension process)
The thermoplastic liquid crystal polymer film may be stretched as necessary. The stretching method itself is known, and either biaxial stretching or uniaxial stretching may be adopted, but biaxial stretching is preferred because it is easier to control the degree of molecular orientation. For stretching, a known uniaxial stretching machine, simultaneous biaxial stretching machine, sequential biaxial stretching machine or the like can be used.

[放熱性シート]
上述のようにして形成された本発明の放熱性シートは、放熱性シート内部で分子配向性が制御されており、厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比(λxy/λz)が6〜60、好ましくは6〜30である。このような比率を有することにより、フィルム全体に均一に熱を放射することができる。
[Heat dissipation sheet]
In the heat dissipation sheet of the present invention formed as described above, the molecular orientation is controlled inside the heat dissipation sheet, and the ratio of the thermal conductivity λxy in the planar direction to the thermal conductivity λz in the thickness direction (λxy / λz) is 6 to 60, preferably 6 to 30. By having such a ratio, heat can be radiated uniformly over the entire film.

また、本発明の放熱性シートは、平面方向の熱伝導率λxyが1.0W/mK以上(例えば1〜30W/mK程度)、好ましくは1.2W/mK以上であってもよい。
さらに、本発明の放熱性シートは、平面方向の熱伝導率λxyと厚み方向の熱伝導率λxyと和(λxy+λz)が1.05W/mK以上(例えば1.1〜30W/mK程度)、好ましくは1.15W/mK以上であってもよい。
Moreover, the heat dissipation sheet of the present invention may have a thermal conductivity λxy in the planar direction of 1.0 W / mK or more (for example, about 1 to 30 W / mK), preferably 1.2 W / mK or more.
Furthermore, the heat dissipation sheet of the present invention has a thermal conductivity λxy in the planar direction and a thermal conductivity λxy in the thickness direction and a sum (λxy + λz) of 1.05 W / mK or more (for example, about 1.1 to 30 W / mK), preferably 1.15 W / mK or more may be sufficient.

また、本発明の放熱性シートは、誘電特性に優れており、例えば1GHzにおける比誘電率は、4.0以下(例えば、1.8〜3.6程度)、好ましくは2.5〜3.4程度であってもよい。このような比誘電率を有することにより、電気信号の電送損失を低減することができる。   The heat-dissipating sheet of the present invention is excellent in dielectric characteristics. For example, the relative dielectric constant at 1 GHz is 4.0 or less (for example, about 1.8 to 3.6), preferably 2.5 to 3. It may be about 4. By having such a relative dielectric constant, it is possible to reduce a transmission loss of an electric signal.

また、1GHzにおける誘電正接は、0.005以下(例えば、0.0001〜0.004程度)、好ましくは0.001〜0.003程度であってもよい。このような誘電正接を有することにより、低電力化や低ノイズ化が可能となり、それに伴って生じる発熱量を低減することができる。   The dielectric loss tangent at 1 GHz may be 0.005 or less (for example, about 0.0001 to 0.004), preferably about 0.001 to 0.003. By having such a dielectric loss tangent, it is possible to reduce power and noise, and to reduce the amount of generated heat.

放熱性シートの厚さは、厚み方向と平面方向との熱伝導率を制御できる限り、用途に応じ適宜設定することができるが、例えば、500μm以下(例えば、5〜450μm程度)、好ましくは10〜400μm程度、さらに好ましくは15〜300μm程度であってもよい。   The thickness of the heat dissipating sheet can be appropriately set according to the application as long as the thermal conductivity in the thickness direction and the planar direction can be controlled. For example, the thickness is 500 μm or less (for example, about 5 to 450 μm), preferably 10 It may be about ˜400 μm, more preferably about 15 to 300 μm.

また、上述したように、凹凸転写加工を受けている場合、放熱性シートは、少なくとも一方の面において凹凸部分が形成されていてもよい。このような凹凸部分の形状は、スタンパの形状が転写した状態で形成される。その結果、このような凹凸部が転写された放熱性シートでは、図1に示すように、凹凸部において、凹部の深さ(t)は、原反フィルムの厚み(t+t)の1/10〜3/5程度、好ましくは1/5〜1/2程度であってもよく、すなわち、凹凸部の形成されていない層(t)に対する凹凸部の形成されている層(t)の割合(t/t)は、1/9〜2/3程度、好ましくは1/4〜1/2程度であってもよい。 Moreover, as above-mentioned, when receiving the uneven | corrugated transfer process, the uneven | corrugated | grooved part may be formed in at least one surface of the heat dissipation sheet. The shape of such an uneven portion is formed in a state where the shape of the stamper is transferred. As a result, in the heat radiating sheet to which such concavo-convex portions are transferred, as shown in FIG. 1, in the concavo-convex portions, the depth (t R ) of the concave portions is equal to the thickness (t B + t R ) of the raw film. It may be about 1/10 to 3/5, and preferably about 1/5 to 1/2, that is, a layer (t B ) having a concavo-convex portion with respect to a layer (t B ) having no concavo-convex portion. The ratio of R 1 ) (t R / t B ) may be about 1/9 to 2/3, and preferably about 1/4 to 1/2.

また、凹凸部において、凹部の幅(W)と凸部の幅(W)とは同一でも異なっていてもよく、それぞれ、例えば、原反フィルムの厚みの1/10〜3/5程度、好ましくは1/5〜1/2程度であってもよい。さらに、凹部の幅(W)に対する凸部の幅(W)の割合(W/W)は、1/5〜5/1程度、好ましくは1/4〜4/1程度であってもよい。 Moreover, in the concavo-convex part, the width (W B ) of the concave part and the width (W R ) of the convex part may be the same or different, and each is, for example, about 1/10 to 3/5 of the thickness of the original film. Preferably, it may be about 1/5 to 1/2. Further, the ratio (W R / W B ) of the width (W R ) of the convex portion to the width (W B ) of the concave portion is about 1/5 to 5/1, preferably about 1/4 to 4/1. May be.

このような熱伝導率の比を有する限り、例えば、放熱性シート内部では、(i)主に平面方向に配列している液晶ポリマー分子と、主に非平面方向に配列している液晶ポリマー分子とが互いに入り混じった形式であってもよいし、(ii)放熱性シートは、液晶ポリマー分子が主に平面方向に配列している層を含んでいてもよいし、または、(iii)放熱性シートは、液晶ポリマー分子が主に平面方向に配列している層と、液晶ポリマー分子が主に非平面方向に配列している層との双方を含んでいてもよい。   As long as it has such a thermal conductivity ratio, for example, inside the heat-dissipating sheet, (i) liquid crystal polymer molecules arranged mainly in the plane direction and liquid crystal polymer molecules arranged mainly in the non-plane direction And (ii) the heat-dissipating sheet may include a layer in which liquid crystal polymer molecules are mainly arranged in a plane direction, or (iii) heat dissipation. The adhesive sheet may include both a layer in which liquid crystal polymer molecules are mainly arranged in a planar direction and a layer in which liquid crystal polymer molecules are mainly arranged in a non-planar direction.

例えば(i)の場合、板状または粉粒状フィラーを熱可塑性液晶ポリマーと混和した放熱性シートが該当し、(ii)の場合、延伸処理が行われた放熱性シートが該当し、(iii)の場合、凹凸転写処理や、片面に支持体を接触させて熱処理を行った放熱性シートが該当する。   For example, in the case of (i), a heat dissipating sheet in which a plate-like or powdered filler is mixed with a thermoplastic liquid crystal polymer corresponds, and in the case of (ii), a heat dissipating sheet that has been subjected to a stretching treatment corresponds to (iii) In this case, a heat-radiating sheet that has been subjected to a heat transfer process with a concavo-convex transfer process or a support on one side is applicable.

以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明は本実施例により何ら限定されるものではない。なお、以下の実施例及び比較例においては、下記の方法により各種物性を測定した。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited at all by this Example. In the following examples and comparative examples, various physical properties were measured by the following methods.

[熱伝導率]
(株)リガク レーザーフラッシュ法熱定数測定装置 LF/TCM FA8510Bを用い、測定温度20℃にて測定した。なお、平面方向の測定には専用のアタッチメントをつけて、測定を行った。
[Thermal conductivity]
Rigaku Co., Ltd. Laser flash method thermal constant measuring device LF / TCM FA8510B was used and measured at a measurement temperature of 20 ° C. The measurement in the planar direction was performed with a dedicated attachment.

(インフレーション法)
インフレーション製膜時に溶融した熱可塑性液晶ポリマーが、ダイ領域で受けるダイ剪断速度を、下記の式により定義した。なお、Qは樹脂吐出量(mm/秒)、Rはダイ直径(mm)、dはダイスリット間隔(mm)を表す。
ダイ剪断速度(秒−1)=(6×Q)/(π×R×d
(Inflation method)
The die shear rate which the thermoplastic liquid crystal polymer melted at the time of forming the inflation film receives in the die region was defined by the following equation. Q represents the resin discharge rate (mm 3 / sec), R represents the die diameter (mm), and d represents the die slit interval (mm).
Die shear rate (second −1 ) = (6 × Q) / (π × R × d 2 )

[シート厚み]
放熱性シートの厚みを、(株)ミツトヨ製デジマチックインジケータを用いて測定した。測定は、放熱性シートから試料断片(縦50cm×横50cm)を採取し、各試料について、ランダムに100点を測定し、その平均値を用いて、シートの厚さとした。
[Sheet thickness]
The thickness of the heat dissipation sheet was measured using a Digimatic indicator manufactured by Mitutoyo Corporation. For the measurement, sample fragments (50 cm long × 50 cm wide) were collected from the heat-dissipating sheet, 100 points were randomly measured for each sample, and the average value was used as the sheet thickness.

[誘電特性]
誘電率測定は周波数1GHzで共振摂動法により実施した。ネットワークアナライザ(Agilent Technology社製「E8362B」)に1GHzの空洞共振器((株)関東電子応用開発)を接続し、空洞共振器に微小な材料(幅:2mm×長さ:90mm)を挿入し挿入前後の共振周波数の変化から材料の誘電率および誘電損失を測定した。
[Dielectric properties]
The dielectric constant was measured by a resonance perturbation method at a frequency of 1 GHz. Connect a 1 GHz cavity resonator (Kanto Electronics Co., Ltd.) to a network analyzer (Agilent Technology “E8362B”), and insert a minute material (width: 2 mm x length: 90 mm) into the cavity resonator. The dielectric constant and dielectric loss of the material were measured from the change in resonance frequency before and after insertion.

参考例1)
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径33.5mm、ダイスリット間隔350μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度2775秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)1.8、横の延伸比(Bl)5.6の条件で膜厚25μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
( Reference Example 1)
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. From a circular inflation die of 33.5 mm and a die slit interval of 350 μm, melt extrusion at a die shear rate of 2775 seconds −1 was performed under the conditions of a longitudinal draw ratio (Dr) of 1.8 and a transverse draw ratio (Bl) of 5.6. A film with a thickness of 25 μm was obtained. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

参考例2)
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径46.0mm、ダイスリット間隔500μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度991秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)2.2、横の延伸比(Bl)4.1の条件で膜厚50μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
( Reference Example 2)
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. It was melt-extruded at a die shear rate of 991 sec-1 from an annular inflation die having a pitch of 46.0 mm and a die slit interval of 500 μm, under the conditions of a longitudinal stretch ratio (Dr) of 2.2 and a lateral stretch ratio (Bl) of 4.1. A film with a thickness of 50 μm was obtained. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

参考例3)
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径75.0mm、ダイスリット間隔1000μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度414秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)2.0、横の延伸比(Bl)6.6の条件で膜厚75μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
( Reference Example 3)
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. From a circular inflation die of 75.0 mm and a die slit interval of 1000 μm, melt extrusion was performed at a die shear rate of 414 sec−1, and under conditions of a longitudinal draw ratio (Dr) of 2.0 and a transverse draw ratio (Bl) of 6.6. A film with a thickness of 75 μm was obtained. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

参考例4)
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径51.0mm、ダイスリット間隔1000μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度225秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)2.2、横の延伸比(Bl)3.6の条件で膜厚175μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
( Reference Example 4)
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. It was melt-extruded at a die shear rate of 225 seconds −1 from an annular inflation die having a die slit interval of 1000 μm at 51.0 mm and a longitudinal draw ratio (Dr) of 2.2 and a transverse draw ratio (Bl) of 3.6. A film having a thickness of 175 μm was obtained. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

(実施例
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径33.5mm、ダイスリット間隔500μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度991秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)2.2、横の延伸比(Bl)4.1の条件で膜厚50μmのフィルムを得た。次いで、得られたフィルムに対して、フィルムに形成される凸部の幅(WB)25μm、凹部の幅(WR)15μm、凸部の高さ(tR)10μmとなるように凹凸が形成されたスタンパを用いて、面圧20kg/cm2、加熱温度260℃で凹凸転写を施し、膜厚50μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
(Example 1 )
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. It was melt-extruded at a die shear rate of 991 sec-1 from an annular inflation die having a die slit spacing of 500 μm at a length of 33.5 mm and a longitudinal draw ratio (Dr) of 2.2 and a transverse draw ratio (Bl) of 4.1. A film with a thickness of 50 μm was obtained. Next, with respect to the obtained film, projections and depressions were formed such that the width (WB) of the protrusions formed on the film was 25 μm, the width (WR) of the depressions was 15 μm, and the height (tR) of the protrusions was 10 μm. Using a stamper, uneven transfer was performed at a surface pressure of 20 kg / cm 2 and a heating temperature of 260 ° C. to obtain a film having a thickness of 50 μm. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

参考例5
図1の装置を使用して、実施例3で得たフィルムを巻き出しロール1から巻き出し、厚さ40μmのステンレス箔(熱膨張係数(S):16×10−6cm/cm/℃)を支持体として、連続熱ロールプレス装置に耐熱ゴムロール51と加熱金属ロール52を取り付け、260℃の加熱状態で圧力20kgf/cm2で圧着して、6m/分の速度で熱可塑性液晶ポリマーフィルム/ステンレス箔の構成の積層体10を作製した。
( Reference Example 5 )
Using the apparatus of FIG. 1, the film obtained in Example 3 was unwound from the unwinding roll 1, and a stainless foil having a thickness of 40 μm (thermal expansion coefficient (S): 16 × 10 −6 cm / cm / ° C.) was used. As a support, a heat resistant rubber roll 51 and a heated metal roll 52 are attached to a continuous hot roll press device, and are pressure-bonded at a pressure of 20 kgf / cm 2 in a heated state at 260 ° C., and a thermoplastic liquid crystal polymer film / stainless foil at a speed of 6 m / min. A laminate 10 having the structure as described above was produced.

続いて、この積層体10を280℃に制御した炉長2mの熱風循環式熱処理炉6に6m/分の速度で供給して連続的に加熱処理し、次いで支持体10を上下2つの引き剥がしロール7,7で引き剥がし、連続的に熱可塑性液晶ポリマーフィルム21を得た。
この後、さらに加熱熱可塑性液晶ポリマーフィルム21を、195℃に制御した炉長2mの熱風循環式熱処理炉8に6m/分の速度で供給してアニーリング処理を行い、膜厚75μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
Subsequently, the laminated body 10 is supplied to the hot-air circulating heat treatment furnace 6 having a furnace length of 2 m controlled at 280 ° C. at a rate of 6 m / min and continuously heat-treated, and then the support body 10 is peeled off at the top and bottom. The film was peeled off with rolls 7 and 7 to obtain a thermoplastic liquid crystal polymer film 21 continuously.
Thereafter, the heated thermoplastic liquid crystal polymer film 21 is further supplied to the hot-air circulating heat treatment furnace 8 having a furnace length of 2 m controlled at 195 ° C. at a rate of 6 m / min for annealing treatment to obtain a film having a thickness of 75 μm. It was. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

(参考比較例1)
p−ヒドロキシ安息香酸と6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸の共重合物(モル比:73/27)で、融点が280℃である熱可塑性液晶ポリマーを単軸押出機で加熱混練し、ダイ直径51.0mm、ダイスリット間隔1000μmの環状インフレーションダイから、ダイ剪断速度162秒−1で溶融押出して、縦の延伸比(Dr)2.0、横の延伸比(Bl)1.4の条件で膜厚175μmのフィルムを得た。得られたフィルムの物性を表7に示す。
(Reference Comparative Example 1)
A thermoplastic liquid crystal polymer having a melting point of 280 ° C., which is a copolymer of p-hydroxybenzoic acid and 6-hydroxy-2-naphthoic acid (molar ratio: 73/27), is kneaded with a single-screw extruder to obtain a die diameter. From a circular inflation die of 51.0 mm and a die slit interval of 1000 μm, melt extrusion was performed at a die shear rate of 162 sec− 1 , and under conditions of a longitudinal draw ratio (Dr) of 2.0 and a transverse draw ratio (Bl) of 1.4. A film having a thickness of 175 μm was obtained. Table 7 shows the physical properties of the obtained film.

Figure 0005308204
Figure 0005308204

表7に示すように、実施例1〜6では、放熱性シートの厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比(λxy/λz)が、6〜60の範囲内に入るとともに、特にλxyとλzとの和が1.15W/mK以上であり、放射性シート全体の熱伝導性に優れるものであった。   As shown in Table 7, in Examples 1 to 6, the ratio (λxy / λz) of the thermal conductivity λxy in the planar direction to the thermal conductivity λz in the thickness direction of the heat radiating sheet falls within the range of 6 to 60. In addition, in particular, the sum of λxy and λz was 1.15 W / mK or more, and the thermal conductivity of the entire radioactive sheet was excellent.

なお、従来技術の範疇に入るものではないが、本発明の特性を対比させるための参考例として記載している参考比較例1では、厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比(λxy/λz)が6〜60の範囲内から外れるとともに、平面方向の熱伝導率λxyが低く、さらには、λxyとλzとの和も0.86W/mKしかないため、シート全体の熱伝導性に劣るものであった。   Although not included in the category of the prior art, in Reference Comparative Example 1 described as a reference example for comparing the characteristics of the present invention, the thermal conductivity λxy in the planar direction with respect to the thermal conductivity λz in the thickness direction is used. The ratio (λxy / λz) is out of the range of 6 to 60, the thermal conductivity λxy in the plane direction is low, and the sum of λxy and λz is only 0.86 W / mK. The heat conductivity was inferior.

本発明の放熱性シートは、熱可塑性液晶ポリマーから形成しているため、高い放熱性を有すると共に、加工性、機械的強度、寸法安定性、耐薬品性、ガスバリヤー性にも優れている。また、高い耐熱性と低吸湿性をも兼ねそろえるため、各種コンピュータ、OA機器、AV機器などの放熱部品、車載用半導体、産業用半導体に用いられる放熱部品、特に放熱シートとして好適に用いることができ、電子部品や電子部品を実装した回路基板等から発生する熱を、効率よく放熱することができる。   Since the heat radiating sheet of the present invention is formed from a thermoplastic liquid crystal polymer, it has high heat radiating properties and is excellent in workability, mechanical strength, dimensional stability, chemical resistance, and gas barrier properties. Also, since it has both high heat resistance and low hygroscopicity, it can be suitably used as heat dissipation parts for various computers, OA equipment, AV equipment, etc., automotive semiconductors, industrial semiconductors, especially heat dissipation sheets. It is possible to efficiently dissipate heat generated from an electronic component or a circuit board on which the electronic component is mounted.

また、本発明の放熱性シートは、上述するような電気・電子製品の回路基板材料として利用することも可能であり、特に薄型化、小型化が進んでいるLED用のプリント配線回路基板材料などとして、有効に利用することができる。   The heat-dissipating sheet of the present invention can also be used as a circuit board material for electrical and electronic products as described above, and in particular, printed wiring circuit board materials for LEDs that are becoming thinner and smaller. As such, it can be used effectively.

以上のとおり、本発明の好適な実施形態を説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の追加、変更または削除が可能であり、そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。   As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described. However, various additions, modifications, or deletions are possible without departing from the spirit of the present invention, and such modifications are also included in the scope of the present invention. It is.

Claims (9)

液晶ポリマーで構成された放熱性シートであって、
前記液晶ポリマーは熱可塑性液晶ポリマーであり、
厚み方向の熱伝導率λzに対する平面方向の熱伝導率λxyの比(λxy/λz)が、6〜60であり、シートの厚さ方向に凹凸転写加工が行われ、前記凹凸部の凹部の深さが原反フィルムの厚みの1/10〜3/5である放熱性シート。
A heat dissipating sheet composed of a liquid crystal polymer,
The liquid crystal polymer is a thermoplastic liquid crystal polymer;
The ratio (λxy / λz) of the thermal conductivity λxy in the planar direction to the thermal conductivity λz in the thickness direction is 6 to 60, and the uneven transfer process is performed in the thickness direction of the sheet, and the depth of the concave portion of the uneven portion is Is a heat-dissipating sheet whose thickness is 1/10 to 3/5 of the thickness of the original film.
請求項1において、凹部の幅(WB)と凸部の幅(WR)が、それぞれ、原反フィルムの厚みの1/10〜3/5である放熱性シート。 In Claim 1, The width | variety (WB) of a recessed part and the width | variety (WR) of a convex part are respectively 1/10-3/5 of the thickness of a raw film, The heat-radiating sheet. 請求項1または2において、平面方向の熱伝導率λxyが1.0W/mK以上である放熱性シート。   The heat-radiating sheet according to claim 1 or 2, wherein a thermal conductivity λxy in a planar direction is 1.0 W / mK or more. 請求項1〜3のいずれか一項において、1GHzにおける比誘電率が4.0以下である放熱性シート。   The heat dissipation sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein a relative dielectric constant at 1 GHz is 4.0 or less. 請求項1〜4のいずれか一項において、1GHzにおける誘電正接が0.005以下である放熱性シート。   The heat-radiating sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein a dielectric loss tangent at 1 GHz is 0.005 or less. 請求項1〜5のいずれか一項において、延伸処理を伴う押出成形により形成され、MD方向とTD方向の延伸倍率の積が3以上である放熱性シート。   The heat-radiating sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the heat-radiating sheet is formed by extrusion with a stretching process, and a product of stretching ratios in the MD direction and the TD direction is 3 or more. 請求項6において、押出成形の剪断速度が200sec−1以上である放熱性シート。 The heat-radiating sheet according to claim 6, wherein the shear rate of extrusion molding is 200 sec −1 or more. 請求項6または7において、押出成形がインフレーション成形である放熱性シート。   The heat-radiating sheet according to claim 6 or 7, wherein the extrusion molding is inflation molding. 請求項1〜8のいずれか一項において、液晶ポリマーの融点以上で熱処理された放熱性シート。   The heat-radiating sheet according to any one of claims 1 to 8, which has been heat-treated at a temperature equal to or higher than a melting point of the liquid crystal polymer.
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