JP5303207B2 - 光電変換素子の製造方法および光電変換素子 - Google Patents
光電変換素子の製造方法および光電変換素子 Download PDFInfo
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Description
(i)まず、例えばPENフィルムからなる透明基板(11)上に透明導電膜(12)を形成する。透明基板(11)上への透明導電膜の形成方法はスパッタリング法など各種の蒸着法が使用できる。透明導電膜(12)としては、導電性と光の透過性に優れるITOが好ましいが、その他FTO、ZnOなどでもよく、特に限定されるものではない。透明基板(11)上の透明導電膜(12)の形成については、市販のPEN−ITOフィルムなども用いることができる。透明導電膜(12)は、従来、予め所定のパターンで形成されていたが、この段階では、透明基板(11)上の全面に形成し、後工程において、所定のパターンとされる。
対極(3)は、対極用透明基板(31)上に、導電性金属酸化物を含む透明導電膜(32)を形成したものとされる。なお、対極(3)は、アルミニウム、銅、スズなどの金属のシートとしてもよく、金属(アルミニウム、銅、スズなど)またはカーボン製などのメッシュ状電極にゲル状固体電解質を保持させたものでもよく、導電性接着剤層を介してカーボンナノチューブを転写したものであってもよい。
光電変換素子の組立てに際しては、1.で作成した光触媒膜(4)を含む電極(2)と2.で作成した対極(3)とが位置合わせされて、両極(2)(3)間が熱融着フィルムなどの極間電極保護用シール材(35)(36)で密封される。次いで、対極(3)または電極(2)などに予め設けておいた孔や隙間から電解質層(5)を構成する電解液が注入され、これにより、光触媒膜(4)および電解質層(5)が透明電極(2)と対極(3)との間に配されて、光電変換素子(1)が得られる。
(2) 電極
(3) 対極
(4) 光触媒膜
(5) 電解質層
(11) 透明基板
(12) 透明導電膜
(33) 光増感色素
(34) 金属酸化物層
Claims (2)
- 電極と、これに対向する対極と、両極間に配される電解質層および光触媒膜とを有する光電変換素子を製造する方法であって、透明基板上に透明導電膜および金属酸化物層を形成して電極を作製する工程と、電極を加工液に浸漬し、電極を負極、加工液を正極として両極間に電圧を印加して金属酸化物層を電解還元する工程と、電解還元された金属酸化物層に光増感色素を吸着させて光触媒膜を形成する工程とを含んでおり、電極作製工程において、透明基板上に透明導電膜を全面に形成し、その上に金属酸化物層を所定パターンで形成し、電解還元工程において、金属酸化物層が形成されていない部分の透明導電膜が還元されることで、透明導電膜を酸素が失われた金属元素として除去容易とすることを特徴とする、光電変換素子の製造方法。
- 電極と、これに対向する対極と、両極間に配される電解質層および光触媒膜とを有する光電変換素子であって、請求項1に記載された方法で製造されたことを特徴とする、光電変換素子。
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