JP5343728B2 - 2軸ステージ装置 - Google Patents
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Description
被移動物を載置すると共に、第1方向に移動可能な第1テーブルと、該第1テーブルを載置すると共に、前記第1方向と直交する第2方向に移動可能な第2テーブルと、前記第1テーブル及び第2テーブルをそれぞれ第1方向及び第2方向に移動させる第1テーブル移動手段及び第2テーブル移動手段と、を備える2軸ステージ装置において、
前記第1テーブル移動手段が、前記第2方向を回転中心として回転運動を行う第1駆動源と、前記第2方向に延び、前記第1駆動源の回転軸と連結されたスプライン軸と、前記スプライン軸に沿って移動可能であると共に、該スプライン軸の回転トルクを伝達するスプライン軸受と、前記スプライン軸受から伝達された回転トルクを前記第1テーブルの前記第1方向への直線運動に変換する第1回転−直線変換機構と、を有し、
前記第2テーブル移動手段が、前記第2方向を回転中心として回転運動を行う第2駆動源と、前記第2駆動源の回転運動を前記第2テーブルの前記第2方向への直線運動に変換する第2回転−直線変換機構と、を有する
ことを特徴とする。
本実施例のステージ装置は、ベース1と、該ベース1の一方の端に取り付けられたXモータ(第1駆動源)7及びYモータ(第2駆動源)2と、該Xモータ7及びYモータ2の回転軸にX継手8及びY継手3を介して連結されたボールスプライン軸101及びY送りねじ5と、前記ボールスプライン軸101に沿ってY軸方向に移動可能なスプライン軸受14と、スプライン軸受14に固定された歯車13と、前記ベース1上に載置され、該ベース1に設けられたY方向ガイド6に沿ってY軸方向に移動可能なYテーブル(第2テーブル)4と、前記スプライン軸受14に固定され、前記ボールスプライン軸101に沿ってY軸方向に移動可能な中間テーブル15と、前記Yテーブル4上に前記中間テーブル15を介して載置され、該中間テーブル15に設けられたX方向ガイド11に沿ってX軸方向に移動可能なXテーブル(第1テーブル)9と、前記Xテーブル9の下面に固定されたラック12と、を有している。
本実施例は、第1実施例の2軸ステージ装置を真空容器に適用したものである。第1実施例の2軸ステージ装置は、真空容器30のベース部分である真空容器ベース301に設置されている。真空容器30は、真空容器ベース301に図示しない真空容器カバーを取り付け、内部を排気することにより真空状態を保持することができる。
本実施例の2軸ステージ装置は、Xモータ7及びYモータ2が真空容器30の外部に配置された構造を有している。真空容器30(真空容器ベース301)にはモータ軸挿入口が設けられているため、内部の気密性を保持できるようモータ軸挿入口にはシール部材が設けられている。本実施例ではシール部材としてOリング31を用いており、モータ軸挿入口にOリング溝を形成し、このOリング溝にOリング31をはめ込んでいる。
2…Yモータ
3…Y継手
4…Yテーブル
5…Y送りねじ
6…Y方向ガイド
7…Xモータ
8…X継手
9…Xテーブル
10…X送りねじ
101…ボールスプライン軸
11…X方向ガイド
12…ラック
13…歯車
14…スプライン軸受
141…スプラインナット
142…サポートベアリング
143…フランジ
15…中間テーブル
16…磁気シール
17…プーリ大
18…プーリ小
19…回転軸
20…タイミングベルト
21…プーリ
22…スチールベルト
23…第3テーブル
24…抜き穴
25…スライド部
30…真空容器
301…真空容器ベース
31…Oリング
Claims (7)
- 被移動物を載置すると共に、第1方向に移動可能な第1テーブルと、該第1テーブルを載置すると共に、前記第1方向と直交する第2方向に移動可能な第2テーブルと、前記第1テーブル及び第2テーブルをそれぞれ第1方向及び第2方向に移動させる第1テーブル移動手段及び第2テーブル移動手段と、を備える2軸ステージ装置において、
前記第1テーブル移動手段が、前記第2方向を回転中心として回転運動を行う第1駆動源と、前記第2方向に延び、前記第1駆動源の回転軸と連結されたスプライン軸と、前記スプライン軸に沿って移動可能であると共に、該スプライン軸の回転トルクを伝達するスプライン軸受と、前記スプライン軸受から伝達された回転トルクを前記第1テーブルの前記第1方向への直線運動に変換する第1回転−直線変換機構と、を有し、
前記第2テーブル移動手段が、前記第2方向を回転中心として回転運動を行う第2駆動源と、前記第2駆動源の回転運動を前記第2テーブルの前記第2方向への直線運動に変換する第2回転−直線変換機構と、を有する
ことを特徴とする2軸ステージ装置。 - 前記第1回転−直線変換機構が、前記第2テーブルに載置され、前記第1テーブルを載置する中間テーブルと、前記スプライン軸受に固定された歯車と、前記第1テーブルに固定されたラックと、から成ることを特徴とする請求項1に記載の2軸ステージ装置。
- 前記第1回転−直線変換機構が、前記第2テーブルに載置され、前記第1テーブルを載置する中間テーブルと、前記スプライン軸受に固定された第1プーリと、前記中間テーブルに固定され、前記第2方向を回転軸とする第2プーリと、前記第1プーリの第2プーリの間に張設されたベルトと、から成ることを特徴とする請求項1に記載の2軸ステージ装置。
- 前記第1回転−直線変換機構が、前記第2テーブル上に載置され、前記第1テーブルを載置する中間テーブルと、前記スプライン軸受に固定されたプーリと、前記プーリにα巻きされ、両端が前記中間テーブルに固定されたベルトと、から成ることを特徴する請求項1に記載の2軸ステージ装置。
- 前記第1駆動源及び第2駆動源が、シール部材を介して真空容器の外部に設置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の2軸ステージ装置。
- 前記シール部材が磁気シールであることを特徴とする請求項5に記載の2軸ステージ装置。
- 前記第1駆動源及び第2駆動源と前記磁気シールとの間に継手が設けられていることを特徴とする請求項6に記載の2軸ステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009147045A JP5343728B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 2軸ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009147045A JP5343728B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 2軸ステージ装置 |
Publications (2)
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JP2011002389A JP2011002389A (ja) | 2011-01-06 |
JP5343728B2 true JP5343728B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43560448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009147045A Active JP5343728B2 (ja) | 2009-06-19 | 2009-06-19 | 2軸ステージ装置 |
Country Status (1)
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-
2009
- 2009-06-19 JP JP2009147045A patent/JP5343728B2/ja active Active
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