JP5281611B2 - 分離装置及びその分離方法 - Google Patents
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Description
第二基材を吸着することによって、第一基材と第二基材との間に部分的に分離を招くステップと、
第一基材と第二基材を部分的に再分離し、且つ分離された第二基材に対して挟んで固定するステップと、
挟んで固定され、且つ部分的に分離された第二基材を引っ張ることによって第二基材と第一基材との間を完全に分離させるステップとを含む。
2 第一チャックユニット
21 吸着装置
22 剥離装置
220 端部
3 位置決め装置
30 位置決め部
4 第二チャックユニット
5 受け取る装置
6 気体供給装置
7 静電気除去装置
70 移動可能な電極
B 第一基材
f01,f02 縁
F1,F2 第二基材
M 分離装置
N 吸引力
P1 第一位置
P2 第二位置
Pa 所定位置
W 作業流体
Claims (16)
- 互いに接続する第一基材と第二基材との間を完全に分離するために用いられる分離装置であって、前記分離装置は、
互いに接続する前記第一基材と前記第二基材をサポートするのに用いられるベースと、
前記ベースに相対して第一位置と第二位置との間に移動でき、前記第一位置と前記第二位置との間の所定位置に位置した時、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、分離された前記第二基材を挟んで固定し、且つ前記所定位置から前記第二位置に移動した時、挟んで固定された前記第二基材が駆動され、前記第一基材から完全に分離されるようになっている第一チャックユニットと、を含み、
前記第一チャックユニットは、吸着装置と剥離装置を含み、前記剥離装置はV型構造を有する一対の刀刃を備え、前記第一チャックユニットが前記第一位置と前記第二位置との間の前記所定位置に位置した時、前記吸着装置は吸着方式によって、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、前記一対の刀刃の端部は、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くとともに、且つ分離された前記第二基材を挟んで固定し、
電極を有する静電気除去装置を更に含み、前記静電気除去装置の前記電極は前記第二基材の周辺空気に対して放電を行う
分離装置。 - 位置決め装置を更に含み、前記位置決め装置は、互いに接続する前記第一基材と前記第二基材を前記ベースの上に位置決めする請求項1に記載の分離装置。
- 前記位置決め装置は複数の位置決め部を含み、前記位置決め装置の前記複数の位置決め部は回転可能な方式で前記第一基材の上を圧迫する請求項2に記載の分離装置。
- 前記吸着装置は少なくとも吸盤を含み、前記剥離装置は少なくとも刀刃を含む請求項1〜3のいずれかに記載の分離装置。
- 前記ベースは、互いに接続する前記第一基材と前記第二基材に対して直立式のサポートを行う請求項1〜4のいずれかに記載の分離装置。
- 第二チャックユニットを更に含み、前記第一チャックユニットにより挟んで固定された前記第二基材は、前記第一チャックユニットに駆動され、前記第一基材から完全に分離した時、前記第二チャックユニットは、分離された前記第二基材を挟んで固定し、前記第一チャックユニットは、分離された前記第二基材から分離される請求項1〜5のいずれかに記載の分離装置。
- 受け取り装置を更に含み、前記受け取り装置は、分離された前記第二基材を受け取るように構成してある請求項1〜6のいずれかに記載の分離装置。
- 作業流体を供給する気体供給装置を更に含み、前記第一基材と前記第二基材との間の分離を行った時、前記気体供給装置により提供された作業流体は前記第一基材と前記第二基材との間に送られる請求項1〜7のいずれかに記載の分離装置。
- 前記作業流体は気体を含む請求項8に記載の分離装置。
- 前記第一基材は回路基板を含み、前記第二基材は少なくとも薄膜を含む請求項1〜9のいずれかに記載の分離装置。
- 前記静電気除去装置の前記電極は前記第一チャックユニットの移動につれ移動する請求項1〜10のいずれかに記載の分離装置。
- 互いに接続する第一基材と第二基材との間を完全に分離する分離方法であって、前記分離方法は、
互いに接続する前記第一基材と前記第二基材に対してサポートを行うステップ、
前記第二基材を吸着することによって、前記第一基材と前記第二基材との間に部分的に分離を招くステップ、
V型構造を有する一対の刀刃が前記第一基材と前記第二基材を部分的に再分離し、且つ前記一対の刀刃の端部は分離された前記第二基材を挟んで固定するステップ、及び
挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間を完全に分離させるステップとを含む分離方法。 - 互いに接続する前記第一基材と前記第二基材のサポートを行う時に前記第一基材に対して圧迫を行う請求項12に記載の分離方法。
- 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第一基材から完全に分離した後、すでに前記第一基材に完全に分離された前記第二基材を挟んで固定することで、前記第二基材が前記第一基材に接するのを防ぐ請求項12または13に記載の分離方法。
- 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間の分離プロセスを行い、前記第一基材と前記第二基材との間に対して同時に気体を吹く請求項12〜14のいずれかに記載の分離方法。
- 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間の分離プロセスを行い、前記第二基材の周辺空気に対して同時に放電する請求項12〜15のいずれかに記載の分離方法。
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