[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP5037961B2 - 物体検知センサ - Google Patents

物体検知センサ Download PDF

Info

Publication number
JP5037961B2
JP5037961B2 JP2007023278A JP2007023278A JP5037961B2 JP 5037961 B2 JP5037961 B2 JP 5037961B2 JP 2007023278 A JP2007023278 A JP 2007023278A JP 2007023278 A JP2007023278 A JP 2007023278A JP 5037961 B2 JP5037961 B2 JP 5037961B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection
sensor
unit
output
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007023278A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008190902A (ja
Inventor
克昭 菅沼
泰徳 多田
浩 石黒
雅博 井上
俊実 河崎
康 川人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osaka University NUC
Togawa Rubber Co Ltd
Original Assignee
Osaka University NUC
Togawa Rubber Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka University NUC, Togawa Rubber Co Ltd filed Critical Osaka University NUC
Priority to JP2007023278A priority Critical patent/JP5037961B2/ja
Publication of JP2008190902A publication Critical patent/JP2008190902A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5037961B2 publication Critical patent/JP5037961B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Description

本発明は、物体の接触を検知する物体検知センサに関する。
従来から、様々な分野において人や物の接触を検知するためのセンサが広く使用されている。センサを形成するセンサ素子としては、静電容量センサ、静電誘導センサや圧電センサ等が知られている。これらの各種センサにおいては、感度はともかく設置場所の観点からコンパクトである方が望ましい。例えば、特許文献1には、静電容量型の人体検知センサが開示されている。この人体検知センサでは、コンパクトにするために静電容量センサを構成する回路の簡素化が行われている。しかしながら、センサ素子の性質上、センシングを行うための回路や、この回路やセンサを駆動させるための電源が必要となる。
また、特許文献2にもコンパクト化された静電容量センサが開示されているが、この静電容量センサにはセンシングを行うための発振回路や発振回路を動作させるための電源が必要となる。このように従来のセンサ素子を使用する場合、各種回路や電源を必要とすることからセンサをコンパクトにすることは困難である。
特開2006−133029号公報(段落番号0020等) 特開2006−10594号公報(段落番号0029等)
本発明の目的は、上記問題に鑑み、センサを駆動するための回路や電源をコンパクトにできるセンサを提供することである。
上記目的を達成するための本発明に係る物体検知センサの特徴は、静電誘導作用を利用して物体が接触したことを検知し、前記物体の帯電傾向よりも正または負に帯電し易い帯電傾向を有する誘電体から形成され、一方の面に前記物体に接触させる接触面を設けた検出部と、前記検出部の他方の面と接触するように配設した導体の一部に形成され、前記物体と前記検出部との接触状態からの状態変化に応じて前記静電誘導作用による帯電現象を電気信号として検出する検出電極部と、前記導体の他の部分に形成され、前記電気信号を所定の基準電位に対するセンサ信号として出力する出力部と、を備える点にある。
このような構成とすれば、検出部に生じる静電誘導作用による帯電現象に基づいてセンサ信号を生成しているため、簡単な構成で物体検知センサを形成することができる。したがって、物体検知センサをコンパクトに形成することができ、設置場所の制約にとらわれることのない使用が可能となる。
前記物体検知センサは、前記検出電極部の帯電現象の極性と前記出力部の帯電現象の極性とが相反するものであると好適である。このような構成であれば、検出電極部が静電誘導作用による帯電現象を電気信号として検出する際、出力部の極性が常に相反するように出力されるため、物体と検出部との接触、或いは乖離をセンサ出力の正負の極性により確認することができる。
前記物体検知センサは、前記検出部が、シリコーンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、ポリウレタンから選択される少なくとも一種であると好適である。例えば、シリコーンゴムを検出部とすれば、シリコーンゴムは他の物質と比べて負に帯電しやすいために、物体の帯電特性によってセンサ出力の正負が逆転することがないため、物体の接触、或いは乖離をセンサ出力の極性に基づいて識別することができる。また、例えば、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、ポリウレタンも他の物質に比べて、負に帯電しやすい特性を備えているため、物体の接触、或いは乖離をセンサ出力の極性に基づいて識別することができる。
前記物体検知センサは、前記出力部が、外部にセンサ信号を出力する端子電極と、前記端子電極と前記検出電極部とを接続する配線とを有すると好適である。このような構成とすれば、センサ出力を外部に出力する際に使用する端子電極と検出電極部とを分けて構成して配線することができるため、検出電極部を必要以上に大きくしなくて良く、必要な箇所のみに設ければ良いこととなる。したがって、低コストで物体検知センサを形成することが可能となる。
前記物体検知センサは、前記基準電位が、グランド電位であると好適である。このように基準電位をグランド電位とすれば、物体検知センサを動作させるための他の電源を不要とすることができ、物体検知センサの構成をコンパクトにできる。
以下、本発明に係る物体検知センサ1の実施例を図面に基づいて説明する。図1は、物体検知センサ1の全体を示す構成図である。物体検知センサ1は、センサ素子である検出部3を有するが、本実施形態では検出部3としてシリコーンゴム4を利用した場合の例として説明する。シリコーンゴム4は一方の面に接触面5が形成され、物体20の接触の検出を行う。シリコーンゴム4は、導体からなる検出電極部6と接触するように設けられる。本物体検知センサ1は、接触面5と物体20が接触した際の帯電現象による静電誘導作用を利用して物体20の検知を行うが、検出電極部6がこの帯電現象を電気信号として検出する。
検出電極部6と接続して設けられる出力部7も導体からなり、検出電極部6で検出した電気信号は出力部7に伝達される。ここで、検出電極部6と出力部7とは別々の導体からなり夫々を接続するように構成されても良いし、導体の一部に検出電極部6を形成し、その導体の他の部分に出力部7を形成するような構成としても良い。
これらの検出電極部6や出力部7は、基板10上に金属配線を行うことにより形成される。ここで、基板はリジッド基板、或いはフレキシブル基板に限定されるわけではない。どちらを使用するかはセンサの用途や使用場所や設置場所等によって選択可能である。また、この金属配線は銅や銀、或いは金に限るものではなく、導体であれば良い。シリコーンゴム4と検出電極部6とは貼り合わせるように形成される。この貼り合わせは接着剤等の材料を介して貼り合わせるものではなく、単に接触していれば良い。例えば、検出電極部6上にシリコーンゴム4を被せただけのような接触で良い。したがって、シリコーンゴム4が有する接触面5は、検出電極部6と貼り合わされる面とは異なる他の面に形成される。
物体20の検出に応じて検出電極部6が検出する電気信号をセンサ信号として出力部7から出力するために、物体検知センサ1は基準電位を確定するための電位確定部11を備える。この電位確定部11は少なくとも2つの端子を備え、第1端子15は出力部7に接続され、第2端子17はグランド電位に接続される。このように接続されることにより、検出電極部6が検出する電気信号を出力部7がグランド電位に対するセンサ出力として出力することが可能となる。
次に、本物体検知センサ1の物体検出の原理に関して説明する。本物体検知センサ1は、シリコーンゴム4と検出電極部6との間で生じる静電誘導作用を利用している。通常、物体はその物体に固有の電荷を有している。電荷には正負の2種類があり、その特性は、例えば、一方に対して反発力が働けば他方に対しては吸引力が働く。平衡状態にある物体の電荷は正負双方の電荷が一様に分布しており帯電状態にはない。平衡状態において別の正又は負に帯電した物体が接触、或いは乖離すると、平衡状態にある物体の電荷の分布状態が変化する。この時、物体に対向する部位が正に帯電するか、或いは負に帯電するかは自身の帯電傾向と接触する物体の帯電傾向とにより相対的に決まる。すなわち、帯電傾向の中間の物体は正に帯電しやすい物体が接触すれば負に帯電するが、負に帯電しやすい物体が接触すれば正に帯電する。
図2(a)のような正に帯電した物体Aと、帯電していない物体Bを考える。図2(b)のように物質Aと物質Bとを接近させると、物体Bの負電荷は物体A側に引き寄せられ、正電荷は反対側に移動する。この時、物体Bが有する正負夫々の電荷量は等しく、全体としては電気的に中性を保つが、電荷の空間的偏りが生じる。このような現象を静電誘導という。
本物体検知センサ1はこのような静電誘導作用を利用しているが、上述の通り正負いずれに帯電するかは、接触面5が有する帯電傾向と近づく物体20が有する帯電傾向とによって決まる。このため検出部3に使用する物質によっては、物体20によりセンサ出力の正負が逆転してしまう可能性がある。しかしながら、シリコーンゴム4は他の物質と比較し、負に帯電しやすい性質を備える。したがって、物体20によりセンサ出力が正になったり負になったりする可能性が低いため、センサ出力の符号から物体20が接触したのか、或いは離れたのかを簡単に識別することが可能となる。
この静電誘導作用を本物体検知センサ1に適用した例に関して図3を使用して説明する。図3(a)は、物体20を検知する前の状態である。この状態では、シリコーンゴム4と検出電極部6と出力部7とは一様に電荷が分布し電気的中性状態を保っている。検知対象物となる物体20が有する帯電傾向とシリコーンゴム4が有する帯電傾向とが異なり、シリコーンゴム4の方が負に帯電しやすい場合には、物体20が接触面5に接触すると、図3(b)のようにシリコーンゴム4は負に帯電する。しかしながら、この状態では、物体20とシリコーンゴム4との双方においては、正負の電荷量が等しいため、電気的に中和され、検出電極部6と出力部7とには静電誘導は起こらない。
次に、物体20が、接触面5から離れると、図3(c)のようにシリコーンゴム4に負電荷が残留するため検出電極部6と出力部7とにおいて静電誘導が起こり、シリコーンゴム4の直下の部分は正電荷が集まり、その他の部分(図3(c)では出力部7)は負電荷が集まる。この状態から平衡状態に遷移しようとするが、抵抗器12を介してグランドへ負電荷が放出されるまでは、センサ信号として負電圧を発生する。負電荷が放出されると図3(d)のように検出電極部6と出力部7とにおいて正負の電荷が一様に分布し、出力電圧は0ボルトとなるが、シリコーンゴム4は負電荷で帯電されたままとなる。ここで、正に帯電した物体20を近づけると図3(e)のように静電誘導の発生に応じて出力部7側に正電荷が集まり、センサ信号として正電圧を発生する。更に、物体20とシリコーンゴム4が接触した後、抵抗値12を介してグランドと電荷の受け渡しが完了すると、図3(f)のように静電誘導はなくなり、検出電極部6と出力部7とにおいて正負の電荷が一様に分布し、出力電圧は0ボルトとなる。したがって、物体20の接触や乖離と共にセンサ信号の出力が可能となる。ここで、図3において、+及び−の符号で電荷を記載したが、帯電状態を示すために使用したものであり、電荷量とは無関係であることを付記する。
本発明に係る物体検知センサ1の特性確認用のサンプルを図4に示す。検出部3としてシリコーンゴム4を使用し、基板10に銀ペーストにより検出電極部6を形成している。この形成は、本発明者により公知技術となっているシリコーンゴムの配線技術(出願番号2006−320806)を使用することも当然に可能である。検出電極部6は一定の間隔をもって形成され、出力部7は物体の検出に応じてセンサ信号を外部に出力するための出力端子8と、この出力端子8と検出電極部6とを接続する配線9からなる。また、基準電位確定用のグランド端子13を備え、出力端子8とグランド端子13との間には抵抗器12を有する。
図4に示す物体検知センサ1のサンプルを使用して行った実験結果に関して以下に示す。図5は、指で接触面5を触った場合と離した場合の出力端子8から得られた出力を示したものである。図5のように接触面5を触った場合には正電圧を出力し、離した場合には負電圧を出力していることがわかる。したがって、本物体検知センサ1により物体20の接触、及び乖離の検出が可能である。
図6は、接触面5の上に予め物体20を置き、物体20の上から加重した場合のセンサ出力を示したものである。図6より時間的変化によるセンサ出力に変化はなく、また、図示はしないが加重の大きさを変化させた場合にもセンサ出力は得られなかった。この結果より、本物体検知センサ1が圧力に起因して動作していないことがわかる。
図7は、接触面5に物体20を所定の高さから落とした場合のセンサ出力の変化を示したものである。本実験では、物体20は同じものを使用し、高さは10mm、30mm、50mm、70mmの4パターンとし、それぞれ10回落とした場合の平均と標準偏差から求めたものである。この結果より、高い場所から落とした方が出力が大きくなっており、センサ出力は物体20が接触面5に接触する際の速度に依存することがわかる。
図8は、面積18mm2、50mm2、100mm2、150mm2、225mm2の天然ゴムシートを高さ20mmから落とし、その時のセンサ出力を示したものである。実験は夫々の面積ごとに10回繰り返して行い、その平均と標準偏差から求めたものである。この結果より、面積が広い方が大きな出力が得られることがわかる。
図9は、同じ高さから異なる材料の物体を落とした場合におけるセンサ出力を示したものである。使用した物体は、アルミニウムの円柱、アクリル円柱の底面にコピー用紙、ポリエチレン、天然ゴムを貼ったものである。実験は、夫々の物体について10回繰り返して行い、その平均と標準偏差から求めたものである。この結果より、接触させる物体によって出力が変化していることから、本物体検知センサ1が接触、或いは乖離を識別するだけでなく、物体の種別も識別できる可能性があることを示している。
上記実験結果から、シリコーンゴム4を検出部3として使用することにより物体検知センサ1を作成することが可能であるといえる。シリコーンゴム4で物体検知センサ1を構成することにより、特殊な素子を必要とせず配線するだけでセンサとして機能することが可能となり、例えば、フレキシブル基板等に配線することによりセンサ自体を引き伸ばすことも可能となる。
〔その他の実施例〕
上記実施形態において、基板10をリジッド基板でもフレキシブル基板でも可能として説明したが、基板を使用しなくても良い。例えば、検出電極部6を単体で形成したものとシリコーンゴム4とにより本物体検知センサ1を形成することも当然に可能である。
上記実施形態において、基準電位はグランド電位として説明したが、これに限らない。例えば、所定の正電圧とすることも可能であるし、負電圧とすることも当然に可能である。このように形成すれば、センサ信号の出力レベルにより物体20の接触、或いは乖離を識別することができると共に、センサ出力が入力される外部素子の絶対最大定格をどちらか一方の符号の定格とすることができ、低コストで利用できる。
上記原理説明において、物体20と接触面5との接触(状態甲)後の乖離(状態乙)と、その乖離(状態乙)後の接触(状態丙)とでセンサ信号を出力するとして説明したが、これに限らない。物体20或いは接触面5のいずれか一方が、正負いずれかの帯電状態にあれば、乖離(状態乙)前の接触(状態甲)においても、センサ信号を出力することは、当然に可能である。
上記実施形態において、検出電極部6は図4に示すように、一定の間隔をもって形成されるとして説明したが、これに限らない。例えば、図10(a)のように間隔をなくし枠のみとすることも可能であるし、図10(b)のように間隔を広くすることも可能である。更には、図10(c)のように間隔を設けずにいわゆるべたパターンとすることも当然に可能である。図示はしないが、べたパターンの方がセンサ出力が大きくなることがわかっている。
上記実施形態において、物体20の検出を接触として説明したが、これに限らない。所定の距離まで、接近した場合においても検出することは可能であることから、接近センサとして利用することも可能である。
上記実施形態において、検出部3をシリコーンゴム4として説明したが、これに限らない。図示はしないが、天然ゴムを検出部3、アクリルを物体20として実験した場合において、上述の実施形態と同様の実験結果が得られた。また、ニトリルゴムやクロロプレンゴムやフッ素ゴムやポリウレタン等を検出部3として使用することも可能である。更には、検出部3として負に帯電しやすいものを使用するだけでなく、正に帯電しやすいものを使用して物体検知センサ1を構成することも当然に可能である。このような構成であれば、物体20の接近、又は乖離に対してセンサ信号の正負がシリコーンゴムの場合と比べて逆に出力されるので読み替えるだけでよい。
上記実施形態において、検出電極部6の形状を図示して説明したが、これに限らない。本説明で使用した形状は単なる一例であり、設計変更をすることは当然に可能である。
上記実施形態において、物体20に関して特に記載しなかったが物体20が人であっても検知することは当然に可能であり、人の指に対して検知することも確認されている。したがって、人や指で反応する本センサをスイッチ等に転用することは、当然に本発明の権利範囲である。
その他の実施形態として図11に図示するような構造で物体検知センサ1を構成することも可能である。図11に図示される物体検知センサ1は、検出部3上に保持部30を配設すると共に、この保持部30により第2検出部40を保持する構造で構成される。物体21が物体検知センサ1に接触していない場合には、図11(a)に示されるように検出部3の検出面5と第2検出部40の検出面41とが、直接接触しないように空隙を作る。物体21と物体検知センサ1とが接触すると、図11(b)のように第2検出部40が変形し、検出面5と第2検出面41とが接触する。この接触により検出部3が帯電し、検出電極部6と出力部7とにおいて静電誘導が生じセンサ信号として出力電圧を発生する。この場合に検出部3と第2検出部40とは、相反する帯電傾向を有する物質であると好適である。例えば、検出部3がシリコーンゴム4であれば、シリコーンゴムは負に帯電しやすい性質を有しているため、第2検出部40は正に帯電しやすい性質を有する物質であれば良い。このような物質の一つとして、アクリル系材料(例えば、アクリルエラストマ等)やナイロン系材料(例えば、ナイロンエラストマ等)を使用すると好適である。このような構成とすれば、物体21が帯電しているか否かに関わらず、接触を検知することが可能となる。更には、検出面5を構造体30と第2検出部40とで覆うことにより検出面5を清浄に保つことができるため、汚れや濡れの影響を受けることなく安定したセンサ出力を得ることが可能となる。
本発明に係る、物体検知センサの全体を示す構成図 接触電気を示す図 物体検知センサの動作原理を示す図 本実施形態に係る、物体検知センサのサンプルを示す図 指で触った場合のセンサ出力の関係を示す図 加重した場合のセンサ出力の関係を示す図 接触速度とセンサ出力の関係を示す図 接触面積とセンサ出力の関係を示す図 接触させる物体の違いによるセンサ出力を示す図 検出電極部の一例を示す図 その他の実施形態に係る、物体検知センサの応用例を示す図
符号の説明
1:物体検知センサ
3:検出部
4:シリコーンゴム
5:接触面
6:検出電極部
7:出力部
8:出力端子
9:配線
10:基板
11:電位確定部
12:抵抗器
13:グランド端子
15:第1端子
17:第2端子
20:物体
30:構造体
40:第2検出部
41:第2検出面

Claims (5)

  1. 静電誘導作用を利用して物体が接触したことを検知する物体検知センサであって、
    前記物体の帯電傾向よりも正または負に帯電し易い帯電傾向を有する誘電体から形成され、一方の面に前記物体に接触させる接触面を設けた検出部と、
    前記検出部の他方の面と接触するように配設した導体の一部に形成され、前記物体と前記検出部との接触状態からの状態変化に応じて前記静電誘導作用による帯電現象を電気信号として検出する検出電極部と、
    前記導体の他の部分に形成され、前記電気信号を所定の基準電位に対するセンサ信号として出力する出力部と、を備える物体検知センサ。
  2. 前記検出電極部の帯電現象の極性と前記出力部の帯電現象の極性とが相反するものである請求項1に記載の物体検知センサ。
  3. 前記検出部が、シリコーンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、フッ素ゴム、ポリウレタンから選択される少なくとも一種である請求項1又は2に記載の物体検知センサ。
  4. 前記出力部が、外部にセンサ信号を出力する端子電極と、前記端子電極と前記検出電極部とを接続する配線とを有する請求項1から3のいずれか一項に記載の物体検知センサ。
  5. 前記基準電位が、グランド電位である請求項1から4のいずれか一項に記載の物体検知センサ。
JP2007023278A 2007-02-01 2007-02-01 物体検知センサ Active JP5037961B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007023278A JP5037961B2 (ja) 2007-02-01 2007-02-01 物体検知センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007023278A JP5037961B2 (ja) 2007-02-01 2007-02-01 物体検知センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008190902A JP2008190902A (ja) 2008-08-21
JP5037961B2 true JP5037961B2 (ja) 2012-10-03

Family

ID=39751154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007023278A Active JP5037961B2 (ja) 2007-02-01 2007-02-01 物体検知センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5037961B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103777803B (zh) * 2013-08-12 2017-04-19 北京纳米能源与系统研究所 一种单电极触摸传感器及其制备方法
US10101869B2 (en) 2013-08-13 2018-10-16 Samsung Electronics Company, Ltd. Identifying device associated with touch event
US10042446B2 (en) 2013-08-13 2018-08-07 Samsung Electronics Company, Ltd. Interaction modes for object-device interactions
US10108305B2 (en) 2013-08-13 2018-10-23 Samsung Electronics Company, Ltd. Interaction sensing
US10073578B2 (en) 2013-08-13 2018-09-11 Samsung Electronics Company, Ltd Electromagnetic interference signal detection
US10141929B2 (en) 2013-08-13 2018-11-27 Samsung Electronics Company, Ltd. Processing electromagnetic interference signal using machine learning
US10714676B2 (en) 2016-11-18 2020-07-14 Ricoh Company, Ltd. Sensor and sensor system

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11134986A (ja) * 1997-10-28 1999-05-21 Yashima Engineering Kk 物体検出装置
JP2000131162A (ja) * 1998-10-28 2000-05-12 Ks Techno Kk 敷物センサ
JP4251269B2 (ja) * 2002-12-30 2009-04-08 ソニー株式会社 片足歩行検出用歩行路、片足歩行検出システム、及び片足歩行検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008190902A (ja) 2008-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5037961B2 (ja) 物体検知センサ
TWI408036B (zh) 薄片狀觸覺感測系統
JP4463653B2 (ja) ハイブリッドセンサ
CN100354618C (zh) 静电电容式传感器及其制造方法
JP2011014280A (ja) タッチセンサ
WO2011125725A1 (ja) 静電容量型センサ装置および静電容量型センサの静電容量計測装置
US10572021B2 (en) Elastomer suspension with actuation functionality or sensing functionality
KR101004941B1 (ko) 촉각 센서
JP2004117042A (ja) センサシート
Zuk et al. Capacitive touch sensor
JP2023051944A (ja) 静電容量型検知センサ、静電容量型検知センサモジュールおよび静電容量型検知センサを用いた状態判定方法
JP2001027570A (ja) 静電容量式力覚センサ
KR102066329B1 (ko) 촉각 센서, 그 제조 방법 및 그 동작 방법
KR20200009206A (ko) 압력 터치 센서 장치
KR20150096318A (ko) 압력 센서 및 스타일러스 펜
CN100562717C (zh) 混合传感器
JP2014115099A (ja) 圧力センサ
CN111857425A (zh) 输入装置及力传感器
JP2000018905A (ja) 静電容量式センサ
KR101776667B1 (ko) 디스플레이 모듈의 프레임을 이용하여 압력을 감지하는 압력감지장치
JPH0926434A (ja) 静電容量式加速度センサのための回路装置
EP4421598A1 (en) Self-powered triboelectric touch contact transductor device
KR102299747B1 (ko) 정전용량 우선 방전식 압력센서모듈
KR102210954B1 (ko) 터치감지장치를 이용하는 압력감지장치
JP4155897B2 (ja) 入力装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100112

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111124

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111208

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120621

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120705

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5037961

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250