JP5020079B2 - 均一なエッチング特性を有する層を提供する方法及び組成物 - Google Patents
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Description
組成物1
アクリル酸イソボルニル
アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
組成物2
アクリル酸イソボルニル
アクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
組成物3
アクリル酸イソボルニル
3−アクリロキシプロピルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
組成物4
アクリル酸イソボルニル
3−アクリロキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
組成物5
アクリル酸イソボルニル
アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
R1R2
組成物6
アクリル酸イソボルニル
アクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
R1R2
組成物7
アクリル酸イソボルニル
3−アクリロキシプロピルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
R1R2
組成物8
アクリル酸イソボルニル
3−アクリロキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シラン
ジアクリル酸エチレングリコール
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
R1R2
Claims (25)
- 基板上に均一のエッチング特性を有する層を形成する組成物であって、
シリコン含有重合可能な成分と、シリコンのない重合可能な成分を含む複数の重合可能な成分と、
流体相状態と凝固相状態の間の、前記複数の重合可能な成分の位相状態の変化を容易にするための開始剤成分と、
を含み、
前記シリコン含有重合可能な成分は、アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン、またはアクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シランを含み、
前記シリコンのない重合可能な成分は、アクリル酸エステルを含み、
前記複数の重合可能な成分間の相対的な蒸発速度は毎秒0.1%未満であることを特徴とする組成物。 - 前記複数の重合可能な成分のそれぞれは、所定の時間的間隔の間、所定範囲内の相対的な蒸発速度を有することを特徴する請求項1に記載の組成物。
- 前記組成物は、基板上に複数の小滴の形成することを容易にする粘度を有し、それぞれの小滴は80pLの容積を有することを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記組成物は、スピンオン技術を適用して前記基板上に堆積されることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記シリコンのない重合可能な成分は、アクリル酸イソボルニルを含むことを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記シリコンのない重合可能な成分は、さらにジアクリル酸エチレングリコールを含むことを特徴とする請求項5に記載の組成物。
- 前記シリコン含有重合可能な成分には、3−アクリロキシプロピルビス(トリメチルシロキシ)メチルシランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記シリコン含有重合可能な成分には3−アクリロキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シランが含まれ、前記シリコンのない重合可能な成分にはアクリル酸イソボルニルが含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記シリコンのない重合可能な成分には架橋剤成分が含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 開始剤成分には、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 界面活性剤がさらに含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 前記シリコンのない重合可能な成分には第1と第2のサブコンポーネントが含まれ、前記第1サブコンポーネントは架橋剤成分であって、組成物の約10〜40%の範囲で含まれ、前記第2サブコンポーネントは組成物の約20〜60%の範囲で含まれ、前記シリコン含有重合可能な成分は組成物の約30〜50%の範囲で含まれることを特徴とする請求項1に記載の組成物。
- 基板上に均一のエッチング特性を有する層を形成する組成物であって、
シリコン含有アクリル酸エステル成分と、第1と第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分が含まれる複数のアクリル酸エステル成分と、
流体相状態と凝固相状態の間の、前記複数のアクリル酸エステル成分の位相状態の変化を容易にするための開始剤成分と、
を含み、
前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は、アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン、またはアクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シランを含み、
前記第1のシリコンのないアクリル酸エステル成分はアクリル酸イソボルニルを含み、
前記第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分はジアクリル酸エチレングリコールを含み、
前記複数のアクリル酸エステル成分間の相対的な蒸発速度は毎秒0.1%未満であることを特徴とする組成物。 - 前記組成物は、基板上に複数の小滴を形成することを容易にする粘度を有し、それぞれの小滴は80pLの容積を有することを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 前記組成物は、スピンオン技術を適用して前記基板上に堆積されることを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシランを含む前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は、前記組成物の30〜50%を構成し、アクリル酸イソボルニルを含む第1のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約20〜60%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含む前記第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約10〜40%を構成することを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- アクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は前記組成物の30〜50%を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第1のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約20〜60%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約10〜40%を構成することを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 3−アクリロキシプロピルビス(トリメチルシロキシ)メチルシランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は前記組成物の30〜50%を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第1のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約20〜60%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約10〜40%を構成することを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 3−アクリロキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シランを含んだ前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は前記組成物の30〜50%を構成し、アクリル酸イソボルニルを含んだ前記第1のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約20〜60%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコールを含んだ前記第2のシリコンのないアクリル酸エステル成分は組成物の約10〜40%を構成することを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 前記シリコンのないアクリル酸エステル成分は、架橋剤成分を含むことを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 開始剤成分には、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オンが含まれることを特徴とする請求項13に記載の組成物。
- 基板上に均一のエッチング特性を有する層を形成する組成物であって、
アクリル酸イソボルニル成分と、
ジアクリル酸エチレングリコールと、
光開始剤成分と、
アクリロキシメチルビス(トリメチルシロキシ)メチルシラン、アクリロキシメチルトリス(トリメチルシロキシ)シラン、3−アクリロキシプロピルビス(トリメチルシロキシ)メチルシランから成るセットから選択されたシリコン含有アクリル酸エステル成分と、
を含み、
前記アクリル酸イソボルニル成分、前記ジアクリル酸エチレングリコール、および前記シリコン含有アクリル酸エステル成分を含む重合可能な成分間の相対的な蒸発速度は毎秒0.1%未満であることを特徴とする組成物。 - 前記シリコン含有アクリル酸エステル成分は前記組成物の30〜50%を構成し、アクリル酸イソボルニル成分は組成物の約20〜60%を構成し、ジアクリル酸エチレングリコール成分は組成物の約10〜40%を構成することを特徴とする請求項22に記載の組成物。
- 界面活性剤がさらに含まれることを特徴とする請求項23に記載の組成物。
- 基板上に均一のエッチング特性を有する層を形成する組成物であって、
アクリル酸イソボルニル成分と、
ジアクリル酸エチレングリコールと、
光開始剤成分と、
3−アクリロキシプロピルトリス(トリメチルシロキシ)シランを含むシリコン含有アクリル酸エステル成分と、
を含み、
前記アクリル酸イソボルニル成分、前記ジアクリル酸エチレングリコール、および前記シリコン含有アクリル酸エステル成分を含む重合可能な成分間の相対的な蒸発速度は毎秒0.1%未満であることを特徴とする組成物。
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