JP5008476B2 - Electrode bonding unit and electrode bonding method - Google Patents
Electrode bonding unit and electrode bonding method Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008476B2 JP5008476B2 JP2007168377A JP2007168377A JP5008476B2 JP 5008476 B2 JP5008476 B2 JP 5008476B2 JP 2007168377 A JP2007168377 A JP 2007168377A JP 2007168377 A JP2007168377 A JP 2007168377A JP 5008476 B2 JP5008476 B2 JP 5008476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive resin
- edge
- electrode
- insulating adhesive
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
本発明は、ガラス基板や電子部品などの回路形成体の電極に他の回路形成体の電極を、絶縁性接着剤樹脂を用いて接合する電極接合ユニット及び電極接合方法に関する。 The present invention also relates to another circuit forming body electrodes to the electrodes of the circuit forming body, such as a glass substrate or an electronic component, the electrode assembly unit and the electrode junction how to bond with the insulating adhesive resin.
近年、液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットディスプレイパネルは、大画面化、高精細化が進展し、テレビ受像機、映像機器などの表示デバイスとして用いられている。このようなフラットディスプレイパネルを用いて、高精細、高解像度の表示デバイスを実現するには、画素数を増やし、信号線を増加させる必要がある。信号線を増加させる場合には、それに伴って表示デバイスの周囲の辺部分に配置されている引き出し電極の数が増加するため、電極端子の細線化、電極間隔の微細化(狭ピッチ化)が要求される。 In recent years, flat display panels typified by liquid crystal display panels and plasma display panels have been increased in screen size and definition, and are used as display devices such as television receivers and video equipment. In order to realize a high-definition and high-resolution display device using such a flat display panel, it is necessary to increase the number of pixels and increase the number of signal lines. When the number of signal lines is increased, the number of lead electrodes arranged on the peripheral side portion of the display device is increased accordingly, so that the electrode terminals are thinned and the electrode interval is narrowed (narrow pitch). Required.
しかしながら、電極端子の細線化、電極間隔の微細化が進むと、表示デバイスの引き出し電極と、表示デバイスに信号を伝送する駆動ICが実装された基板の電極との接合部において、接合信頼性が低下するという問題が生じる。このことにつき、以下に詳しく説明する。 However, as the electrode terminals become thinner and the electrode spacing becomes smaller, the bonding reliability at the junction between the lead-out electrode of the display device and the electrode of the substrate on which the driving IC that transmits a signal to the display device is mounted is increased. The problem of deteriorating arises. This will be described in detail below.
図7Aは、従来例の表示デバイス100の構成を示す斜視図である。図7Bは、図7AのA−A線で切り取った一部拡大断面図であり、図7Cは、図7AのB−B線で切り取った一部拡大断面図である。
FIG. 7A is a perspective view showing a configuration of a
従来例の表示デバイス100は、大きさの異なる2枚のガラス基板101a、101bが貼り合わされて構成されている。前面のガラス基板101aの下辺(図7Aの右下の辺)部分と、背面のガラス基板101bの左右両辺(図7Aの左下及び右上の辺)部分には、駆動ICが実装された複数の基板(以下、電子部品という)102が配置され、それらは絶縁性接着剤樹脂103を介して互いに接合されている。
The
図7B及び図7Cに示すように、ガラス基板101bと電子部品102とは、ガラス基板101bの複数の引き出し電極101cと電子部品102の複数の電極102aとが導電性粒子104を介して互いに対向配置された状態で、絶縁性接着剤樹脂103により接合されている。
As shown in FIGS. 7B and 7C, the
このガラス基板101bと電子部品102との従来例の電極接合方法について、図7C、図8A、及び図8Bを参照しつつ説明する。なお、図8A及び図8Bではガラス基板102aの図示を省略している。
A conventional electrode joining method between the
まず、図8Aに示すように、ガラス基板101bの引き出し電極101cと電子部品102の電極102aとの対向領域111の縁部領域111aより内側に、導電性粒子104が分散された絶縁性接着剤樹脂103を配置する。
次いで、一定温度に加熱された圧着ツール105を、図8Bに示すように電子部品102に接触させ、一定の時間、一定の圧力によって、電子部品102を介して絶縁性接着剤樹脂103を加圧加熱する。
この加圧加熱により、絶縁性接着剤樹脂103が溶融し、図7Cに示すように、対向領域111に隣接する外側領域112a,112bまで流動して硬化する。これにより、ガラス基板101bと電子部品102とが絶縁性接着剤樹脂103により接合される。また、このとき、絶縁性接着剤樹脂103中の導電性粒子104が引き出し電極101cと電極102aとの間に配置されて両者が電気的に接続される。
First, as shown in FIG. 8A, an insulating adhesive resin in which
Next, the
By this pressurization and heating, the insulating
上記のような従来例の電極接合方法では、圧着ツール105が単一な加熱加圧条件に設定されているため、導電性粒子104が加圧され過ぎて潰れ過ぎたり、絶縁性接着剤樹脂103が外側領域112a,112bに流動し過ぎて対向領域111に絶縁性接着剤樹脂103が十分に充填されなかったりする恐れがある。このため、接合信頼性が低下するという問題がある。この問題は、電極間隔の微細化(狭ピッチ化)が進むと、絶縁性接着剤樹脂103が溜まるスペースが狭くなるため、ますます顕著になる。
In the conventional electrode joining method as described above, since the
上記問題を改善する方法が、特許文献1(特開2000−180883号公報)に開示されている。特許文献1には、圧着ツール105による加圧を、高い圧力で短時間加圧する第1の加圧と、第1の加圧よりも低い圧力で且つ長時間加圧する第2の加圧とからなる2段階で加圧を行うとともに、圧着ツール105による加熱を、高い温度で短時間加熱する第1の加熱と、第1の加熱よりも低い温度で且つ長時間加熱する第2の加熱とからなる2段階で加熱を行う方法が開示されている。
A method for improving the above problem is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-180883. In
特許文献1によれば、第1の加圧で絶縁性接着剤樹脂103を所定の厚さに制御するとともに、第1の加熱で絶縁性接着剤樹脂103を溶融させるのに十分な熱量を確保し、第2の加圧及び第2の加熱で絶縁性接着剤樹脂103を硬化させる。これにより、導電性粒子104の潰れ過ぎを抑えるとともに、絶縁性接着剤樹脂103が外側領域112a,112bに流動し過ぎて対向領域111に絶縁性接着剤樹脂103が十分に充填されないことも抑えることができる。
しかしながら、特許文献1では、加圧を2段階で行うことにより導電性粒子104の潰れ過ぎは抑えることができるものの、加熱を2段階で行うときにおいて、絶縁性接着剤樹脂103を溶融させるのに十分な熱量を確保するまで第1の加熱を行うので、この第1の加熱の段階で、絶縁性接着剤樹脂103が外側領域112a,112bに流動し過ぎてしまう恐れがある。したがって、第2の加熱を行うときには、ガラス基板101bと電子部品102との接合信頼性を確保するのに十分な量の絶縁性接着剤樹脂103が対向領域111に存在せず、結果として接合信頼性の低下を抑制できない恐れがある。また、第1の加熱により流動する絶縁性接着剤樹脂103の一部には、硬化するのに十分な熱量が供給されず、硬化不足の部分が発生する恐れもある。
However, in
したがって、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、回路形成体の電極に他の回路形成体の電極を、絶縁性接着剤樹脂を用いて接合する電極接合において、接合信頼性の低下をさらに抑制することができる電極接合ユニット及び電極接合方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems, and in the electrode bonding in which the electrode of another circuit forming body is bonded to the electrode of the circuit forming body using an insulating adhesive resin, the bonding reliability and to provide a further electrode assembly unit and the electrode junction how that it is possible to suppress a decrease.
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第1態様によれば、複数の第1の電極を有する第1の回路形成体と、上記それぞれの第1の電極に対向配置された複数の第2の電極を有する第2の回路形成体とを熱硬化性の絶縁性接着剤樹脂により接合して、上記それぞれの第1の電極と第2の電極とを電極接合する電極接合ユニットであって、
上記第1の回路形成体と上記第2の回路形成体との対向領域において上記第2の回路形成体の一端側に位置する縁部領域を加圧加熱可能な縁部用圧着ツールユニットと、
上記対向領域において上記縁部領域に内側で隣接する内側領域を加圧加熱可能な内側用圧着ツールユニットと、
を備える、電極接合ユニットであり、
上記内側用圧着ツールユニットは、上記第1又は第2の回路形成体を介して上記内側領域を加圧加熱可能な内側用圧着ヘッドと、上記絶縁性接着剤樹脂を溶融可能な第1の温度と上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第2の温度とに上記内側用圧着ヘッドを加熱する内側用加熱装置とを備え、
上記縁部用圧着ツールユニットは、上記第1又は第2の回路形成体を介して上記縁部領域を加圧加熱可能な縁部用圧着ヘッドと、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第3の温度に上記縁部用圧着ヘッドを加熱する縁部用加熱装置とを備える、
電極接合ユニットを提供する。
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
According to the first aspect of the present invention, a first circuit forming body having a plurality of first electrodes, and a second circuit having a plurality of second electrodes arranged to face each of the first electrodes. An electrode joining unit that joins the formed body with a thermosetting insulating adhesive resin and joins the first electrode and the second electrode to each other,
An edge crimping tool unit capable of pressurizing and heating an edge region located on one end side of the second circuit formed body in an opposing region of the first circuit formed body and the second circuit formed body;
An inner crimping tool unit capable of pressurizing and heating an inner region adjacent to the edge region on the inner side in the opposing region;
An electrode joining unit comprising :
The inner crimping tool unit includes an inner crimping head capable of pressurizing and heating the inner region via the first or second circuit forming body, and a first temperature capable of melting the insulating adhesive resin. And an inner heating device for heating the inner crimping head to a second temperature at which the insulating adhesive resin can be cured,
The edge crimping tool unit includes an edge crimping head capable of pressurizing and heating the edge region via the first or second circuit forming body, and an insulating adhesive resin capable of curing the insulating adhesive resin. An edge heating device that heats the edge crimping head to a temperature of 3.
An electrode joining unit is provided.
本発明の第2態様によれば、上記内側用加熱装置は、上記内側用圧着ヘッドを、上記第1の温度で予め決められた時間加熱したのち上記第2の温度で加熱し、
上記縁部用加熱装置は、上記内側用加熱装置が上記内側用圧着ヘッドを上記第1又は第2の温度で加熱している間、上記縁部用圧着ヘッドを上記第3の温度で加熱する、第1態様に記載の電極接合ユニットを提供する。
According to the second aspect of the present invention, the inner heating device heats the inner pressure-bonding head at the second temperature after heating at the first temperature for a predetermined time,
The edge heating device heats the edge crimping head at the third temperature while the inner heating device heats the inner crimping head at the first or second temperature. The electrode joining unit according to the first aspect is provided.
本発明の第3態様によれば、さらに、第1の圧力と、上記第1の圧力よりも低い第2の圧力とに、上記内側用圧着ヘッド及び上記縁部用圧着ヘッドの圧力設定が可能な加圧装置を備える、第1態様に記載の電極接合ユニットを提供する。 According to the third aspect of the present invention, it is possible to set the pressure of the inner pressure-bonding head and the edge pressure-bonding head to the first pressure and the second pressure lower than the first pressure. An electrode joining unit according to the first aspect, comprising a pressing device.
本発明の第4態様によれば、上記加圧装置は、上記内側用圧着ヘッド及び上記縁部用圧着ヘッドを、上記第1の圧力に予め決められた時間設定したのち上記第2の圧力に設定する、第3態様に記載の電極接合ユニットを提供する。 According to a fourth aspect of the present invention, the pressurizing apparatus sets the inner pressure-bonding head and the edge pressure-bonding head to the first pressure after setting the first pressure for a predetermined time. The electrode joining unit according to the third aspect to be set is provided.
本発明の第5態様によれば、複数の第1の電極を有する第1の回路形成体と、上記それぞれの第1の電極に対向配置された複数の第2の電極を有する第2の回路形成体とを熱硬化性の絶縁性接着剤樹脂により接合して、上記それぞれの第1の電極と第2の電極とを電極接合する電極接合方法であって、
上記第1の回路形成体と上記第2の回路形成体との対向領域において上記第2の回路形成体の一端側に位置する縁部領域より内側に配置された絶縁性接着剤樹脂を、内側用圧着ツールユニットにより加圧加熱して溶融させたのち硬化させるとともに、
上記加圧加熱により溶融して上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂を、縁部用圧着ツールユニットにより加圧加熱して硬化させる、電極接合方法であり、
上記内側用圧着ツールユニットは、上記絶縁性接着剤樹脂を溶融可能な第1の温度で予め決められた時間、上記絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して溶融させたのち、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第2の温度で上記溶融後の絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して硬化させ、
上記縁部用圧着ツールユニットは、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第3の温度で上記溶融されて上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して硬化させる、
電極接合方法を提供する。
According to the fifth aspect of the present invention, a first circuit forming body having a plurality of first electrodes, and a second circuit having a plurality of second electrodes arranged to face each of the first electrodes. An electrode joining method in which the formed body is joined with a thermosetting insulating adhesive resin, and the first electrode and the second electrode are joined to each other.
Insulating adhesive resin disposed on the inner side of the edge region located on one end side of the second circuit forming body in the opposing region of the first circuit forming body and the second circuit forming body, It is cured by pressurizing and melting with a crimping tool unit for curing,
Insulating adhesive resin that has been melted by the pressure heating and flowed to the edge region is cured by pressure heating with a crimping tool unit for the edge ,
The inner crimping tool unit pressurizes and heats the insulating adhesive resin for a predetermined time at a first temperature at which the insulating adhesive resin can be melted, and then melts the insulating adhesive resin. Pressurizing and curing the molten adhesive adhesive resin at a second temperature capable of curing the adhesive resin,
The edge crimping tool unit is heated by pressurizing and curing the insulating adhesive resin that has been melted and flowed to the edge region at a third temperature at which the insulating adhesive resin can be cured.
An electrode bonding method is provided.
本発明にかかる電極接合ユニットによれば、第1の回路形成体と第2の回路形成体との対向領域の第2の回路形成体の一端側に位置する縁部領域を縁部用圧着ツールユニットで加圧加熱し、縁部領域に内側で隣接する内側領域を内側用圧着ツールユニットで加圧加熱可能に構成されている。言い換えれば、1組の回路形成体の電極接合を行うのに、2つの圧着ツールユニットを、絶縁性接着剤樹脂の状態が異なる領域毎に設けている。これにより、絶縁性接着剤樹脂の状態に応じて、最適な加圧加熱を行うことができるので、従来よりもさらに、接合信頼性の低下を抑制することができる。 According to the electrode bonding unit according to the present invention, the edge region located on the one end side of the second circuit forming body in the region facing the first circuit forming body and the second circuit forming body is used as an edge crimping tool. The unit is configured to be heated by pressure, and the inner region adjacent to the edge region on the inner side can be pressurized and heated by the inner crimping tool unit. In other words, in order to perform electrode bonding of a set of circuit formed bodies, two crimping tool units are provided for each region where the state of the insulating adhesive resin is different. Thereby, since optimal pressurization heating can be performed according to the state of insulating adhesive resin, the fall of joining reliability can be suppressed further than before.
本発明にかかる電極接合方法によれば、上記縁部領域より内側に配置された絶縁性接着剤樹脂を内側用圧着ツールユニットにより加圧加熱して溶融させたのち硬化させるとともに、上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂を縁部用圧着ツールユニットにより加圧加熱して硬化させるようにしている。すなわち、内側用圧着ツールユニットにより溶融されて上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂は、縁部用圧着ツールユニットにより縁部領域で硬化される。当該縁部領域で硬化された絶縁性接着剤樹脂は、その硬化後に内側用圧着ツールユニットにより溶融された絶縁性接着剤樹脂の障壁となる。これにより、絶縁性接着剤樹脂が上記縁部領域に隣接する外側領域に流動し過ぎることを抑制することができる。したがって、接合信頼性の低下を抑制することができる。 According to the electrode bonding method according to the present invention, the insulating adhesive resin disposed on the inner side of the edge region is pressurized and heated by the inner pressure-bonding tool unit to be cured, and then the edge region. The insulative adhesive resin that has flowed into the pressure is cured by being pressurized and heated by the crimping tool unit for the edge. That is, the insulating adhesive resin melted by the inner crimping tool unit and flowing into the edge region is cured in the edge region by the edge crimping tool unit. The insulating adhesive resin cured in the edge region becomes a barrier for the insulating adhesive resin melted by the inner crimping tool unit after the curing. Thereby, it can suppress that insulating adhesive resin flows too much to the outer side area | region adjacent to the said edge part area | region. Therefore, it is possible to suppress a decrease in bonding reliability.
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下、本発明の最良の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
Before continuing the description of the present invention, the same parts are denoted by the same reference numerals in the accompanying drawings.
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
《第1実施形態》
図1A〜図1Cを用いて、本発明の第1実施形態にかかる電極接合ユニットの構成を説明する。図1Aは、本発明の第1実施形態にかかる電極接合ユニット20の構成を示す正面図であり、図1Bは、その側面図である。図1Cは、電極接合ユニット20が電極接合を行う状態を示す一部拡大断面図である。
<< First Embodiment >>
The configuration of the electrode bonding unit according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A to 1C. FIG. 1A is a front view showing a configuration of an
図1A〜図1Cにおいて、電極接合ユニット20は、複数の第1の電極1aを有する第1の回路形成体1と、それぞれの第1の電極1aに対向配置された複数の第2の電極2aを有する第2の回路形成体2とを熱硬化性の絶縁性接着剤樹脂により接合して、上記それぞれの第1の電極1aと第2の電極2aとを電極接合するユニットである。ここでは、電極接合ユニット20は、一例として、フラットディスプレイパネルの端子部の接合構造であるガラス基板と電子部品との電極接合を行うものとする。すなわち、第1の回路形成体1をガラス基板とし、第2の回路形成体2を電子部品とする。
1A to 1C, an
電極接合ユニット20は、ガラス基板1と電子部品2との対向領域11において電子部品2の一端部側に位置する縁部領域11Aを加圧加熱可能な縁部用圧着ツールユニット22と、対向領域11において縁部領域11Aに内側で隣接する内側領域11Bを加圧加熱可能な内側用圧着ツールユニット21とを備えている。
The
ここで、「対向領域11」とは、ガラス基板1とフレキシブル基板2とが対向する領域を意味するが、図1Cに示すガラス基板1の一端部1Aとフレキシブル基板2とが対向する領域は含まない。ガラス基板1の一端部1Aは、後で詳しく説明するように、絶縁性接着剤樹脂が当該部分に流動したときに、絶縁性接着剤樹脂が重力により流れ落ちないようにするために設けたものである。したがって、ここではガラス基板1を延長して一端部1Aを構成しているが、他の部材で構成されても良いものである。また、絶縁性接着剤樹脂が重力により流れ落ちる恐れが無い場合には、一端部1Aは設けなくてもよいものである。
Here, the “opposing
また、「縁部領域11A」とは、ガラス基板1又は電子部品2の厚み方向(図1Cの縦方向)でガラス基板1と電子部品2とに挟まれている領域と挟まれていない領域との境界部分よりも内側(上記挟まれている領域側)で、且つ全体の電極間の導通にほとんど影響がない領域をいう。例えば、対向領域11において電極間の導通が必要な領域の長さ(図1Cの横方向)が3mmである場合には、縁部領域11Aの長さは、0.1mm〜1.0mm程度である。
Further, the “
内側用圧着ツールユニット21と縁部用圧着ツールユニット22とは加圧装置23に一体的に取り付けられ、それらは加圧装置23が駆動されることにより上下動可能に構成されている。加圧装置23は、昇降ユニット24のガイドレール24bに固定されている。ガイドレール24bは、昇降ユニット24の駆動用モータ24aが駆動されることで上下動するよう構成されている。すなわち、昇降ユニット24の駆動用モータ24aが駆動されたとき、ガイドレール24bの上下動と一体的に、加圧装置23と内側用圧着ツールユニット21と縁部用圧着ツールユニット22とが上下動するように構成されている。
The inner crimping
内側用圧着ツールユニット21は、電子部品2(又はガラス基板1)を介して内側領域11Bを加圧加熱可能な内側用圧着ヘッド25と、内側用圧着ヘッド25の上部に固定されるとともに加圧装置23の下部に取り付けられ、内側用圧着ヘッド25に加熱力を供給する内側用加熱装置26とを備えている。
The inner crimping
内側用加熱装置26は、ヒータ(図示せず)を内蔵し、図2Aに示すような第1の温度プロファイルにて内側用圧着ヘッド25を加熱するように構成されている。より具体的には、内側用加熱装置26は、第1の温度T1と、第2の温度T2との2段階に内側用圧着ヘッド25を加熱するように構成されている。第1の温度T1は、絶縁性接着剤樹脂を溶融可能な温度領域にある温度であり、第2の温度は、第1の温度T1よりも高く且つ絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な温度領域にある温度である。
The
縁部用圧着ツールユニット22は、電子部品2を介して内側領域11Bを加圧加熱可能な縁部用圧着ヘッド27と、縁部用圧着ヘッド27の上部に固定され、縁部用圧着ヘッド27に加熱力を供給する縁部用加熱装置28とを備えている。
The edge crimping
縁部用加熱装置28は、ヒータ(図示せず)を内蔵し、図2Bに示すような上記第1の温度プロファイルとは異なる第2の温度プロファイルにて縁部用圧着ヘッド27を加熱するように構成されている。より具体的には、縁部用加熱装置28は、第3の温度T3に縁部用圧着ヘッド27を加熱可能に構成されている。第3の温度T3は、第1の温度T1より高く且つ絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な溶融可能な温度領域にある温度である。なお、第3の温度T3は第2の温度T2と同一であってもよい。
The
加圧装置23と駆動用モータ24aとは制御部31の加圧制御部31aに接続され、内側用加熱装置26と縁部用加熱装置28とは制御部31の加熱制御部31bに接続されている。制御部31の加圧制御部31aと加熱制御部31bとは、予め記憶された動作プログラム及び実装データに基づいて、それらに接続された各部及び各装置の動作を制御するように構成されている。
The pressurizing
内側用圧着ヘッド25及び縁部用圧着ヘッド27の下方には、それらに対向し、ガラス基板1を下方から支持可能な圧着ステージ30が配置されている。
Below the inner pressure-
以下、本発明の第1実施形態にかかる電極接合方法及び電極接合構造体について、図1A〜図4を用いて説明する。図3A〜図3Cは、本発明の第1実施形態にかかる電極接合方法の手順を示す断面図である。図4は、本発明の第1実施形態にかかる電極接合構造体の構成を示す断面図である。なお、以下の電極接合動作は、制御部31の制御の下に行われる。
Hereinafter, an electrode bonding method and an electrode bonding structure according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A to 4. 3A to 3C are cross-sectional views illustrating the procedure of the electrode bonding method according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of the electrode joint structure according to the first embodiment of the present invention. The following electrode bonding operation is performed under the control of the
まず、図3Aに示すように、ガラス基板1の第1の電極1aと電子部品2の第2の電極2aとを対向配置し、ガラス基板1と電子部品2との対向領域11の内側領域11Bに導電性粒子4が分散された絶縁性接着剤樹脂3を配置する。このとき、図1Bに示すように、圧着ステージ30によりガラス基板1を下方から支持させる。
First, as shown in FIG. 3A, the
次いで、図1A及び図1Bに示す昇降ユニット24の駆動用モータ24aを駆動して、内側用圧着ツールユニット21と縁部用圧着ツールユニット22とを電子部品2の上方近傍まで下降させる。この後又はこのとき同時的に加圧装置23を駆動して、図3Bに示すように、内側用圧着ヘッド25及び縁部用圧着ヘッド27を電子部品2に一定の圧力(例えば、30kg/cm2)で接触させる。これにより、内側用圧着ヘッド25は内側領域11Bを加圧加熱可能な位置に位置し、縁部用圧着ヘッド27は縁部領域11Aを加圧加熱可能な位置に位置する。
Next, the driving
次いで、図1A及び図1Bに示す内側用加熱装置26と縁部用加熱装置28とを駆動して、内側用圧着ヘッド25と縁部用圧着ヘッド27とに加熱力を供給する。このとき、内側用加熱装置26は、内側用圧着ヘッド25に、図2Aに示す第1の温度プロファイルで推移するように加熱力を供給する。すなわち、駆動開始から予め決められた時間までの第1段階(例えば2〜3秒)では、内側用圧着ヘッド25の温度が第1の温度T1で維持されるように加熱力を供給し、上記予め決められた時間を経過してから駆動終了までの第2段階では、内側用圧着ヘッド25の温度が第2の温度T2で維持されるように加熱力を供給する。一方、縁部用加熱装置28は、縁部用圧着ヘッド27の温度が図2Bに示す第2の温度プロファイルで推移するように加熱力を供給する。すなわち、駆動開始から駆動終了までの第1段階から第2段階までの期間を通して、縁部用圧着ヘッド27の温度が第3の温度T3で維持されるように加熱力を供給する。
Next, the
上記第1段階において、第1の温度T1に設定された内側用圧着ヘッド25による加圧加熱により溶融した絶縁性接着剤樹脂3は、電子部品2の一端側の縁部領域11Aに流動するとともに内側領域11Bに隣接する外側領域12Bに流動する。上記縁部領域11Aに流動した絶縁性接着剤樹脂3は、図3Cに示すように、第3の温度T3に設定された縁部用圧着ヘッド27による加圧加熱により、縁部領域11Aに外側で隣接する外側領域12Aに流動せず、縁部領域11A内で硬化される。この縁部領域11A内で硬化した絶縁性接着剤樹脂3が障壁となり、以後、内側用圧着ヘッド25による加圧加熱により溶融した絶縁性接着剤樹脂3は、外側領域12B側に流動するように流動方向がコントロールされる。
In the first stage, the insulating
この後、上記第2段階において、第2の温度T2に温度設定を切り換えられた内側用圧着ヘッド25と第3の温度T3に温度設定されている縁部用圧着ヘッド27との加圧加熱により、絶縁性接着剤樹脂3は図4に示すように硬化し、ガラス基板1と電子部品2とを接合する。このとき、第1の電極1aと第2の電極2aとの間に導電性粒子4が配置され、両者が電気的に接続される。これにより、本発明の第1実施形態にかかる電極接合構造体が作製される。
Thereafter, in the second stage, by pressure heating of the inner crimping
なお、上記では、縁部領域11Aに隣接する外側領域12Aには、絶縁性接着剤樹脂3が流動及び硬化しないものとしたが、本発明はこれに限定されない。縁部領域11Aで硬化した絶縁性接着剤樹脂3が障壁として作用し、外側領域12Aに流動及び硬化する縁性接着剤樹脂3のサイズを従来よりも小さくすることができればよい。この場合でも、従来よりも接合信頼性の低下を抑制することができる。
In the above description, the insulating
なお、上記のように縁部領域11A内で絶縁性接着剤樹脂3を硬化させた場合(図4参照)には、さらに接合信頼性の低下を抑制することができる。このことにつき、以下に説明する。なお、ここでは、図4に示すように縁部領域11A内で絶縁性接着剤樹脂3が存在する領域を第1の領域といい、第1の領域に内側で隣接し絶縁性接着剤樹脂3が存在する領域を第2の領域という。
In addition, when the insulating
図5は、本発明の第1実施形態にかかる電極接合構造体を用いたフラットディスプレイパネル等の表示デバイスの構成の一部を示す断面図である。
本発明の第1実施形態にかかる電極接合構造体を用いてフラットディスプレイパネル等の表示デバイスを作製する場合、ガラス基板1には、例えば、図5に示すように大きさの異なる他のガラス基板5が貼り合わされたのち、当該ガラス基板と隙間を空けて電子部品2が圧着される。この隙間を外部に露出したままにすると、当該隙間から水や腐食性ガス等が侵入し、当該隙間に存在する第1及び第2の電極1a,2Aが酸化される恐れがある。このため、マイグレーション不良が発生し、電気的な導通が阻害される恐れがある。この場合には、高信頼性の接合品質を実現することができなくなる。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a part of the configuration of a display device such as a flat display panel using the electrode joint structure according to the first embodiment of the present invention.
When producing a display device such as a flat display panel using the electrode bonding structure according to the first embodiment of the present invention, the
上記不具合を防止する方法として、例えば、耐水性を有する熱硬化性又は光硬化性の絶縁性封止樹脂6を、ディスペンサを用いて上記隙間を封止するように塗布し、加熱又は光照射により硬化させて上記隙間を塞ぐ方法がある。本第1実施形態にかかる電極接合構造体に対して、上記方法により絶縁性封止樹脂6を施した場合には、縁部領域11A内の一部に位置する第1の領域で絶縁性接着剤樹脂3が硬化していることにより、図5に示すように、絶縁性封止樹脂6が縁部領域11A内において上記第1の領域に隣接する領域13に入り込むことができる。このとき、絶縁性封止樹脂6には、接着力を有さない導電性粒子4を分散する必要がないので、絶縁性封止樹脂6によるガラス基板1と電子部品2との密着性を向上させることができ、さらに接合信頼性の低下を抑制することができる。
As a method for preventing the above problems, for example, a thermosetting or photocurable insulating sealing
なお、これに対して、絶縁性接着剤樹脂3が外側領域12A(図4参照)まで流動して硬化している場合には、縁部領域11A及び外側領域12Aに多数の導電性粒子4が存在し、これらの導電性粒子4により絶縁性接着剤樹脂3によるガラス基板1と電子部品2との密着性が低下する恐れがある。
On the other hand, when the insulating
本発明の第1実施形態にかかる電極接合ユニット20によれば、縁部領域11Aを縁部用圧着ツールユニット22で加圧加熱し、内側領域11Bを内側用圧着ツールユニット21で加圧加熱可能に構成されている。これにより、絶縁性接着剤樹脂3の状態に応じて、最適な加圧加熱を行うことができ、接合信頼性の低下を抑制することができる。また、接合信頼性の低下を抑制できるので、電極間隔の微細化にも対応することができる。
According to the
また、本発明の第1実施形態にかかる電極接合ユニット20によれば、内側用圧着ヘッド25を第1の温度T1と第2の温度T2にて加熱するとともに、縁部用圧着ヘッド27を第3の温度T3にて加熱するように構成されている。すなわち、内側用圧着ヘッド25と縁部用圧着ヘッド27と互いに独立して加熱するように構成されている。これにより、絶縁性接着剤樹脂3の状態に応じて、最適な加圧加熱を行うことができ、接合信頼性の低下を抑制することができる。
In addition, according to the
なお、第1の温度T1は、絶縁性接着剤樹脂3の流動速度が速過ぎて、絶縁性接着剤樹脂3が縁部領域11A内で硬化する前に外側領域12Aに流動することを防ぐために、絶縁性接着剤樹脂3を溶融可能な温度領域の中でも低めの温度に設定されることが好ましい。
The first temperature T1 prevents the insulating
また、本発明の第1実施形態にかかる電極接合方法によれば、内側領域11Bに配置した絶縁性接着剤樹脂3を、内側用圧着ツールユニット21により加圧加熱して溶融させたのち硬化させるとともに、上記溶融により縁部領域11Aに流動した絶縁性接着剤樹脂3を縁部用圧着ツールユニット22により加圧加熱して硬化させるようにしている。これにより、内側用圧着ツールユニット21により溶融されて縁部領域11Aに流動した絶縁性接着剤樹脂3は、縁部用圧着ツールユニット22により縁部領域11Aで硬化される。当該縁部領域11Aで硬化された絶縁性接着剤樹脂3は、その硬化後に内側用圧着ツールユニット21により溶融された絶縁性接着剤樹脂3の障壁となる。これにより、絶縁性接着剤樹脂3が縁部領域11Aに隣接する外側領域12Aに流動し過ぎることを抑制することができる。また、絶縁性接着剤樹脂3の流動速度を減じることができ、特に接合信頼性が要求される内側領域11Bに位置する絶縁性接着剤樹脂3には、硬化するのに十分な熱量を与えて、硬化不足の部分の発生を抑えることができる。したがって、接合信頼性の低下を抑制することができ、電極間隔の微細化にも対応することができる。
Moreover, according to the electrode joining method concerning 1st Embodiment of this invention, the insulating
なお、加圧加熱前の絶縁性接着剤樹脂3の形態は、ペースト状であってもシート(フィルム)状でもよい。例えば、異方性導電性ペーストや異方性導電性フィルム、異方性導電性シートであってもよい。それらの中でも異方性導電性シートが用いられることが、加工性や取り扱い性が優れているので好ましい。なお、上記では、導電性粒子4が分散された絶縁性接着剤樹脂3を用いて電極接合を行ったが本発明はこれに限定されない。例えば、絶縁性接着剤樹脂3としてNCF(ノンコンダクティブフィルム)やNCP(ノンコンダクティブペースト)などを用いて電極接合を行ってもよい。
In addition, the form of the insulating
また、本発明の第1実施形態にかかる電極接合構造体によれば、対向領域11において、縁部領域11A内に位置する第1の領域と第1の領域に内側で隣接する第2の領域とにわたって、絶縁性接着剤樹脂3が配置されている。言い換えれば、縁部領域11Aに隣接する外側領域12Aには絶縁性接着剤樹脂3が存在しないように構成されている。これにより、加圧加熱時に絶縁性接着剤樹脂3が外側領域12Aまで流動せずに縁部領域11Aで硬化して障壁となり、接合信頼性を確保するのに十分な量の絶縁性接着剤樹脂3が対向領域に充填されているものと推定される。また、本電極接合構造体を表示デバイスに用いる場合には、絶縁性封止樹脂6がガラス基板1と電子部品2との間の領域13に入り込むことができるので、さらに、接合信頼性の低下を抑制することができ、電極間隔の微細化に対応することができる。
Moreover, according to the electrode bonding structure according to the first embodiment of the present invention, in the facing
《第2実施形態》
図6を用いて、本発明の第2実施形態にかかる電極接合方法について説明する。
本発明の第2実施形態にかかる電極接合方法においては、内側用圧着ヘッド25及び縁部用圧着ヘッド27が絶縁性接着剤樹脂3に対して付与する圧力が図6のグラフに示すように第1の圧力P1と第2の圧力P2の2段階で推移するように、加圧装置23を駆動させる点で上記第1実施形態と異なる。それ以外の点は同様であるので重複する説明は省略し、以下、主に相違点について説明する。
<< Second Embodiment >>
An electrode joining method according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the electrode joining method according to the second embodiment of the present invention, the pressure applied to the insulating
図6に示すように、本第2実施形態において、絶縁性接着剤樹脂3を溶融させる上記第1段階(例えば2〜3秒)では、内側用圧着ヘッド25及び縁部用圧着ヘッド27の圧力が第1の圧力P1で維持されるように、加圧装置23を駆動(下降)させる。なお、第1の圧力P1は、絶縁性接着剤樹脂3の厚みを適正な厚みにするとともに導電性粒子4を押し潰す(導電性粒子4をガラス基板1及び電子部品2の両方に接触させて両者の電気的接続を確保する)のに必要な圧力に設定することが好ましい。これにより、上記第1実施形態よりもさらに、絶縁性接着剤樹脂3が外側領域12A(図3C参照)に流動することを抑えるとともに、ガラス基板1の第1の電極1aと電子部品2の第2の電極2aとの電気的接続を確保することができる。
As shown in FIG. 6, in the second embodiment, in the first stage (for example, 2 to 3 seconds) in which the insulating
また、絶縁性接着剤樹脂3を硬化させる上記第2段階では、内側用圧着ヘッド25及び縁部用圧着ヘッド27の圧力が第2の圧力P2で維持されるように、加圧装置23を駆動(下降)させる。なお、第2の圧力P2は、第1の圧力P1より低く、絶縁性接着剤樹脂3に歪みが生じない圧力に設定することが好ましい。これにより、導電性粒子4を押し潰し過ぎることを防いで、さらに接合信頼性の低下を抑えることができる。
Further, in the second stage in which the insulating
本発明の第2実施形態にかかる電極接合方法によれば、絶縁性接着剤樹脂3に対して、上記第1段階では第1の圧力P1を付与し、上記第2段階では第2の圧力P2を付与することにより、絶縁性接着剤樹脂3の状態に応じて最適な加圧を行うことができ、さらに接合信頼成の低下を抑えることができる。
According to the electrode joining method according to the second embodiment of the present invention, the first pressure P1 is applied to the insulating
なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、上記では、フラットディスプレイパネルの端子部の接合構造であるガラス基板とフレキシブル基板の接合構造を例に取って説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、有機ELパネルを代表とするフレキシブル基板同士の接合構造や、ガラスエポキシ配線基板とフレキシブル基板との接合構造などの高い接合信頼性が要求される電子機器分野においても、本発明の技術は適用することができる。 In addition, this invention is not limited to said each embodiment, It can implement in another various aspect. For example, in the above description, the glass substrate and flexible substrate bonding structure, which is the bonding structure of the terminal portion of the flat display panel, has been described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, the technology of the present invention is also applied to the field of electronic equipment that requires high bonding reliability, such as a bonding structure between flexible substrates typified by an organic EL panel and a bonding structure between a glass epoxy wiring substrate and a flexible substrate. can do.
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。 It is to be noted that, by appropriately combining arbitrary embodiments of the various embodiments described above, the effects possessed by them can be produced.
本発明にかかる電極接合ユニット及び電極接合方法は、接合信頼性の低下を抑制することができるので、回路形成体の電極に他の回路形成体の電極を、絶縁性接着剤樹脂を用いて接合する技術、特にフラットディスプレイパネルや有機ELパネル、液晶パネルなどの高い接合信頼性が要求される電子機器分野の電極接合に有用である。 Electrode assembly unit and the electrode junction how according to the present invention, the bonding because the reduction in reliability can be suppressed, the electrodes of the other circuits forming body on the electrode of the circuit forming body, using an insulating adhesive resin It is useful for electrode bonding in the field of electronic equipment that requires high bonding reliability, such as bonding technology, particularly flat display panels, organic EL panels, and liquid crystal panels.
1 ガラス基板
1a 第1の電極
2 電子部品
2a 第2の電極
3 絶縁性接着剤樹脂
4 導電性粒子
5 他のガラス基板
6 絶縁性封止樹脂
11 対向領域
11A 縁部領域
11B 内側領域
12A,12B 外側領域
20 電極接合ユニット
21 内側用圧着ツールユニット
22 縁部用圧着ツールユニット
23 加圧装置
24 昇降ユニット
25 内側用圧着ヘッド
26 内側用加熱装置
27 縁部用圧着ヘッド
28 縁部用加熱装置
30 圧着ステージ
31 制御部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
上記第1の回路形成体と上記第2の回路形成体との対向領域において上記第2の回路形成体の一端側に位置する縁部領域を加圧加熱可能な縁部用圧着ツールユニットと、
上記対向領域において上記縁部領域に内側で隣接する内側領域を加圧加熱可能な内側用圧着ツールユニットと、
を備える、電極接合ユニットであり、
上記内側用圧着ツールユニットは、上記第1又は第2の回路形成体を介して上記内側領域を加圧加熱可能な内側用圧着ヘッドと、上記絶縁性接着剤樹脂を溶融可能な第1の温度と上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第2の温度とに上記内側用圧着ヘッドを加熱する内側用加熱装置とを備え、
上記縁部用圧着ツールユニットは、上記第1又は第2の回路形成体を介して上記縁部領域を加圧加熱可能な縁部用圧着ヘッドと、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第3の温度に上記縁部用圧着ヘッドを加熱する縁部用加熱装置とを備える、
電極接合ユニット。 A first circuit forming body having a plurality of first electrodes and a second circuit forming body having a plurality of second electrodes arranged opposite to the first electrodes are thermosetting insulating. An electrode bonding unit that bonds the first electrode and the second electrode by bonding with an adhesive resin,
An edge crimping tool unit capable of pressurizing and heating an edge region located on one end side of the second circuit formed body in an opposing region of the first circuit formed body and the second circuit formed body;
An inner crimping tool unit capable of pressurizing and heating an inner region adjacent to the edge region on the inner side in the opposing region;
An electrode joining unit comprising :
The inner crimping tool unit includes an inner crimping head capable of pressurizing and heating the inner region via the first or second circuit forming body, and a first temperature capable of melting the insulating adhesive resin. And an inner heating device for heating the inner crimping head to a second temperature at which the insulating adhesive resin can be cured,
The edge crimping tool unit includes an edge crimping head capable of pressurizing and heating the edge region via the first or second circuit forming body, and an insulating adhesive resin capable of curing the insulating adhesive resin. An edge heating device that heats the edge crimping head to a temperature of 3.
Electrode bonding unit.
上記縁部用加熱装置は、上記内側用加熱装置が上記内側用圧着ヘッドを上記第1又は第2の温度で加熱している間、上記縁部用圧着ヘッドを上記第3の温度で加熱する、請求項1に記載の電極接合ユニット。 The inner heating device heats the inner pressure-bonding head at the second temperature after heating at the first temperature for a predetermined time,
The edge heating device heats the edge crimping head at the third temperature while the inner heating device heats the inner crimping head at the first or second temperature. The electrode joining unit according to claim 1 .
上記第1の回路形成体と上記第2の回路形成体との対向領域において上記第2の回路形成体の一端側に位置する縁部領域より内側に配置された絶縁性接着剤樹脂を、内側用圧着ツールユニットにより加圧加熱して溶融させたのち硬化させるとともに、
上記加圧加熱により溶融して上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂を、縁部用圧着ツールユニットにより加圧加熱して硬化させる、電極接合方法であり、
上記内側用圧着ツールユニットは、上記絶縁性接着剤樹脂を溶融可能な第1の温度で予め決められた時間、上記絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して溶融させたのち、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第2の温度で上記溶融後の絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して硬化させ、
上記縁部用圧着ツールユニットは、上記絶縁性接着剤樹脂を硬化可能な第3の温度で上記溶融されて上記縁部領域に流動した絶縁性接着剤樹脂を加圧加熱して硬化させる、
電極接合方法。 A first circuit forming body having a plurality of first electrodes and a second circuit forming body having a plurality of second electrodes arranged opposite to the first electrodes are thermosetting insulating. It is an electrode bonding method for bonding the first electrode and the second electrode by bonding with an adhesive resin,
Insulating adhesive resin disposed on the inner side of the edge region located on one end side of the second circuit forming body in the opposing region of the first circuit forming body and the second circuit forming body, It is cured by pressurizing and melting with a crimping tool unit for curing,
Insulating adhesive resin that has been melted by the pressure heating and flowed to the edge region is cured by pressure heating with a crimping tool unit for the edge ,
The inner crimping tool unit pressurizes and heats the insulating adhesive resin for a predetermined time at a first temperature at which the insulating adhesive resin can be melted, and then melts the insulating adhesive resin. Pressurizing and curing the molten adhesive adhesive resin at a second temperature capable of curing the adhesive resin,
The edge crimping tool unit is heated by pressurizing and curing the insulating adhesive resin that has been melted and flowed to the edge region at a third temperature at which the insulating adhesive resin can be cured.
Electrode bonding method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007168377A JP5008476B2 (en) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | Electrode bonding unit and electrode bonding method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007168377A JP5008476B2 (en) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | Electrode bonding unit and electrode bonding method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009010062A JP2009010062A (en) | 2009-01-15 |
JP5008476B2 true JP5008476B2 (en) | 2012-08-22 |
Family
ID=40324889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007168377A Expired - Fee Related JP5008476B2 (en) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | Electrode bonding unit and electrode bonding method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008476B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8319503B2 (en) | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
CN108899351A (en) * | 2018-07-13 | 2018-11-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of display panel and display device |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6675356B2 (en) * | 2016-08-16 | 2020-04-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Electronic component mounting equipment |
CN114585163B (en) * | 2022-05-09 | 2022-07-22 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | Precise forming device and forming method for aluminum-based rigid-flex printed board |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3118059B2 (en) * | 1992-02-26 | 2000-12-18 | 株式会社リコー | Connection structure of liquid crystal display device and connection device therefor |
JP3540178B2 (en) * | 1998-12-21 | 2004-07-07 | シャープ株式会社 | Manufacturing method of liquid crystal display device |
JP2000250063A (en) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Shibaura Mechatronics Corp | Electronic parts press-bonding device |
JP2000323817A (en) * | 1999-05-10 | 2000-11-24 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | Thermocompression bonding apparatus |
-
2007
- 2007-06-27 JP JP2007168377A patent/JP5008476B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8319503B2 (en) | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
CN108899351A (en) * | 2018-07-13 | 2018-11-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of display panel and display device |
CN108899351B (en) * | 2018-07-13 | 2021-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display panel and display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009010062A (en) | 2009-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4983181B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
US6501525B2 (en) | Method for interconnecting a flat panel display having a non-transparent substrate and devices formed | |
WO2008018160A1 (en) | Method and apparatus for connecting printed wiring boards | |
JP5008476B2 (en) | Electrode bonding unit and electrode bonding method | |
US6674178B1 (en) | Semiconductor device having dispersed filler between electrodes | |
JPH10112478A (en) | Ball grid array semiconductor device and its mounting method | |
JP5228479B2 (en) | Manufacturing method of electronic device | |
KR102047733B1 (en) | Mounting Method Of Electronic Component, Bonding Structure Of Electronic Component, Substrate Device, Display Device, And Display System | |
JP3915765B2 (en) | Joining method | |
JP2008187122A (en) | Electrode connection device and electrode connecting method | |
KR101679953B1 (en) | FOG Bonding device and methode the same | |
JP4762873B2 (en) | Electrode bonding method | |
JP5005443B2 (en) | Electrode bonding unit and electrode bonding method | |
JP2008076930A (en) | Display device and manufacturing method therefor | |
JP4648294B2 (en) | Electrode bonding method and electrode bonding structure | |
JP3966516B2 (en) | Mounting method and apparatus | |
JP2009032845A (en) | Thermocompression bonding device and packaging method for electrical component | |
JP5406974B2 (en) | Thermocompression bonding apparatus and electrical component mounting method | |
JP2008306024A (en) | Electrode connection method and electrode connection structure | |
JP2000058597A (en) | Method of mounting electronic component | |
JPH1197487A (en) | Mounting method and the device and anisotropic conductive sheet | |
KR100792555B1 (en) | Improved bonding structure of pattern electrodes and method for bonding the same | |
JP2005086145A (en) | Manufacturing methods of thermocompression bonding device and display device | |
JP2002244146A (en) | Method for internal connection of flat panel display provided with opaque substrate, and device formed by the method | |
JP2012079807A (en) | Semiconductor device manufacturing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |