JP4959230B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Description

本発明は、顕微鏡対物レンズに関し、特に、物体側に配置されたカバーガラス等の透明な平行平面板の厚さが変化した場合でも良好な結像性能が得られるようにした補正環付顕微鏡対物レンズに関するものである。

一般に、顕微鏡対物レンズは、カバーガラス等の平行平面板の厚さが設計値より大きく異なる場合は、その結像性能が劣化する。この傾向は、対物レンズの開口数（ＮＡ）が大きくなる程顕著になる。

従来、カバーガラスの厚さの変化に応じて、対物レンズ内のレンズ間隔を変化させて、収差変動を補正するいわゆる補正環対物レンズが知られている。

このような補正環対物レンズの従来例として、下記文献のレンズ系が知られている。
特開平１０−１４２５１０号公報 特開平８−１１４７４７号公報 これら従来例のうち、特許文献１に記載されている対物レンズは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つレンズと像側に凸面を向けた正の屈折力を持つレンズとの接合レンズからなる第１レンズ群と、負の屈折力の接合面を有する接合レンズの第２レンズ群と、発散光束を収斂光束に変える第３レンズ群と、最も像側の面が凹面である負の屈折力を有する第４レンズ群とより構成され、第２レンズ群を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。

また、特許文献２には、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ成分を有し、物体からの光をほぼ平行光束に変換する正の屈折力を有する第１レンズ群と、発散性の接合面を含み合成の屈折力が正の屈折力である第２レンズ群と、強い発散作用を持つ負の屈折面を有する第３レンズ群と負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成された対物レンズで、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることにより、カバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。

近年、ガラス等の透明な平行平面板の下に配線を行なう製品や、光学素子を組み込んだ電子機器が増加しており、液晶基板の検査等に見られるような、透明な平行平面板越しに物体の検査を行ない得る装置の需要が高まっている。

このような装置に用いられる顕微鏡対物レンズは、高開口数であることと、長作動距離であることが求められ、補正環対物レンズにおいても高開口数であることと、長作動距離であることが求められる。補正環対物レンズの場合、更に透明な平行平面板越しの物体検査装置に組み込み易いように、コンパクトであることが要求される。

しかし、対物レンズは、高ＮＡで、長作動距離になるにつれ、レンズの径は大になる傾向にある。

前記特許文献１の対物レンズは、ＮＡが大きく、収差が抑えられ、高解像で高コントラストであるが、移動群の後ろの群の光線高を十分に抑えきれず、対物レンズの最大光線高つまり対物レンズ全体の径が大であり、装置に組み込みにくい。

また、特許文献２の対物レンズは、ＮＡが大きく、接合レンズにより色収差が補正され、高解像で高コントラストであるが、移動群の光線高が高く、補正群の移動メカ機構を配置するスペースがなくなり、移動機構を配置すると移動機構を含む対物レンズ全体の径が大になり、装置に組み込みにくい。

本発明は、上記のような従来例の問題点を解決するためになされたもので、良好な結像性能を有し、かつ補正環による移動機構のスペースを確保したコンパクトな対物レンズを提供するものである。

本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、次の条件（１）、（２）、（３）を満足するものである。

（１） ６＜ｆ₂／ｆ＜１６
（２） ０．２＜ｆ₂／ｆ₃＜１．２
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＞４
ただし、ｆ₂は第２レンズ群の焦点距離、ｆ₃は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ₃は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ₄は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径である。

また、本発明の対物レンズは、上記構成のレンズ系であって、全系の焦点距離が下記条件（５）を満足するもので、更に条件（４）を満足することを特徴とする。

（４） −１０＜ｆ₄／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
ただし、ｆ₄は第４レンズ群の焦点距離である。

本発明の顕微鏡対物レンズは、前記のレンズ構成つまり前記の第１、第２、第３、第４レンズ群よりなり、条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが下記条件（７）を満足する範囲内で、第４レンズ群の焦点距離ｆ₄’が条件（６）を満足するものである。

（６） −４０＜ｆ₄’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群が下記条件（８）を満足することが望ましい。

（８） １＜ｆ₁／ｆ＜５
ただし、ｆ₁は第１レンズ群の焦点距離である。

前記の顕微鏡対物レンズにおいて、即ち、前記第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群にて構成され、条件（１）、（２）、（３）を満足する対物レンズで、第２レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ₂、第３レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ₃とする時、下記条件（９）を満足することが望ましい。

（９） Ｈ₂／Ｈ₃＜１
また、前記本発明の対物レンズにおいて、第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ₁を下記条件（１０）を満足する範囲内にすることが望ましい。

（１０） Ｎ₁＞１．７
前記顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群の物体側の面の曲率半径をＲ₁、像側の面の曲率半径をＲ₂とする時、下記条件（１１）を満足することが好ましい。

（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＞１
前記本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群を凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含む構成とし、凸レンズのアッベ数をν_(4p)とする時、下記条件（１２）を満足することが望ましい。

（１２） ν_(4p)＜３５
前記本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の間の空気間隔をＤとする時、下記条件（１３）を満足することが好ましい。

（１３） ０＜Ｄ＜３
尚、本発明の顕微鏡対物レンズは、以上述べた通りであるが、下記の通りのレンズ系も本発明の目的を達成し得る。

即ち、本発明の対物レンズは、前記のように、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面である第４レンズ群とよりなり、前記の条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが前記の（５）に示す範囲内であって、条件（４）を満足するもの、あるいは全系の焦点距離ｆが前記の（７）に示す範囲内であって、条件（６）を満足する対物レンズで、更に条件（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）の少なくとも一つの条件を満足するレンズ系も本発明の目的を達成し得る。

次に、上記の本発明のレンズ構成並びに各条件の設定の理由について述べる。

本発明の顕微鏡対物レンズは、前述のように、正の第１レンズ群と、正の第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含む正の第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面である負の第４レンズ群とよりなり、前記条件（１）、（２）、（３）を満足する。

本発明の対物レンズは、まず正の第１レンズ群により物体より出る高いＮＡの光線の開き角を小さくする作用を有する。

そして、次の第２レンズ群により光束径の広がりを抑えるようにしている。これにより、球面収差や色収差を効果的に補正するようにしている。また、この第２レンズ群は、光軸に沿って移動させることによりガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による球面収差の変動を調整している。

更に、第２レンズ群は、条件（１）を満足するようにその屈折力を規定している。

この条件（１）において、ｆ₂／ｆが下限値の６よりも小になると、第２レンズ群の屈折力が強くなりすぎて負の球面収差が発生し、第１レンズ群で発生する球面収差を補正することが困難である。逆に条件（１）の上限値の１６より大になると、第２レンズ群の屈折力が弱くなり、光束径を抑えきれず、次の第３レンズ群の最大光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大になる。

次に、第２レンズ群からの光束は、第３レンズ群により収斂される。

本発明の対物レンズは、第２レンズ群を移動させるため、この移動群の移動機構のスペースを確保する必要がある。そのため、光線高のバランスをとることを特徴としている。

対物レンズ全体の最大光線高よりも、移動レンズ群の光線高が小であるとメカ機構を含めた対物レンズ全体の径を大にすることなしに移動レンズ群のメカ機構を配置することができる。

このような関係にするためには、第２レンズ群と第３レンズ群の屈折力の比が条件（２）を満足する必要がある。

（２） ０．２＜ｆ₂／ｆ₃＜１．２
この条件（２）は、第２レンズ群と第３レンズ群における収斂させる屈折力の比を定めたもので、これにより第２レンズ群と第３レンズ群の収斂のバランスをとるようにしている。

第２レンズ群の焦点距離が第３レンズ群の焦点距離よりも小さいか、近い値であると両レンズ群による収斂のバランスをとることができる。

ｆ₂／ｆ₃の値が条件（２）の上限値の１．２よりも大になると、移動レンズ群（第２レンズ群）より後ろのレンズ群の光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大きくなる。また光線高の高い光線では、高次の収差が発生する。

逆にｆ₂／ｆ₃の値が下限値の０．２より外れて小になると、移動レンズ群である第２レンズ群の光線高が高くなりすぎて移動群のメカ機構のスペースがなくなる。

更に、本発明の対物レンズは、第３レンズ群が接合レンズ成分を含むことにより、色収差の補正を行なっている。

また、本発明のレンズ径は、第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群に大きな屈折力を有する。そのために、第４レンズ群をその最も物体側の面を物体側に凸の面とし、このレンズ群全体を負の屈折力を有するようにし、更に、第３レンズ群の最も像側の面と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径の関係を条件（３）を満足するように定める必要がある。

（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＞４
この条件（３）より外れ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜の値が４より小になると、第３レンズ群から第４レンズ群にかけて光線を十分に下げることができなくなり、十分な負の屈折力を得られず、ペッツバール和を適正な値にコントロールできなくなる。

本発明の対物レンズは、全系の焦点距離ｆが、下記条件（５）の範囲内のレンズ系の場合、第４レンズ群の焦点距離ｆ₄を次の条件（４）を満足するようにしている。

（４） −１０＜ｆ₄／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
条件（４）においてｆ₄／ｆの値が上限値の−２より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ₄／ｆの値が下限値の−１０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。

また、本発明の対物レンズの全系の焦点距離ｆが下記条件（７）の範囲内の場合は、第４レンズ群の焦点距離ｆ₄’が下記条件（６）を満足することが望ましい。

（６） −４０＜ｆ₄’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
この場合も、ｆ₄’／ｆの値が条件（６）の上限値の−２０より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ₄’／ｆの値が下限値の−４０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。

本発明の対物レンズは、前述のように、第１レンズ群において物体から出る高ＮＡの光束の開き角を小さくしている。この第１レンズ群の屈折力ｆ₁は、次の条件（８）を満足するように設定することが望ましい。

（８） １＜ｆ₁／ｆ＜５
この条件（８）は、第１レンズ群の屈折力を規定するもので、球面収差、コマ収差、色収差を補正し、また光線高をコントロールするための条件である。

この条件（８）において、ｆ₁／ｆが下限値の１より小になると、この第１レンズ群の屈折力が強くなりすぎて、球面収差、コマ収差、色収差が大きく補正不足になり、この第１レンズ群より後のレンズ群にての補正が困難になる。

逆に、ｆ₁／ｆが上限値の５より大になると、第１レンズ群の屈折力が弱くなりすぎて、光束径を十分絞りきれなくなり、次の第２レンズ群で光線高が高くなり、移動群である第２レンズ群の移動させるためのメカ機構のスペースを確保できなるなる。更に、第２レンズ群での光線高が高くなることにより高次の球面収差が発生する。

以上述べた本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（９）を満足することが望ましい。

（９） Ｈ₂／Ｈ₃＜１
この条件（９）において、Ｈ₂／Ｈ₃の値が上限値１より大になると、第２レンズ群の光線高が高くなりレンズの径が大になり、移動群のメカ機構のスペースがなくなる。

更に、本発明の対物レンズにおいて、下記条件（１０）を満足することが望ましい。

（１０） Ｎ₁＞１．７
第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ₁に関する条件で、球面収差、コマ収差を良好に補正するための条件である。この屈折率Ｎ₁を大きな値にすることにより、このレンズの像側の面の曲率を緩くして球面収差、コマ収差の発生を防ぐことができる。Ｎ₁の値の条件（１０）の下限値の１．７より小になると、球面収差、コマ収差が発生し、後のレンズ群にて補正することが困難になる。

また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（１１）を満足すればより望ましい。

（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＞１
ただし、Ｒ₁、Ｒ₂は、夫々第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面の曲率半径および像側の面の曲率半径である。

この条件（１１）は長い作動距離の対物レンズで、球面収差、コマ収差、フレア等に関するものである。

長作動距離の対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側の面の曲率半径を大にしてフレアを小さくし、像側の面の曲率半径を小さくして球面収差、コマ収差の発生を防ぐようにしている。

この条件（１１）において、下限値の１より小になると、フレアが発生すると共に、球面収差、コマ収差が発生し、このレンズ以降のレンズにより補正しきれなくなる。

また、本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群中の接合レンズの凸レンズのアッベ数ν_(4p)が下記条件（１２）を満足することが望ましい。

（１２） ν_(4p)＜３５
上記条件（１２）は、色収差を補正するためのもので、前記凸レンズのアッベ数ν_(4p)が３５より大になると、色収差が補正不足になる。

更に、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の軸上空気間隔Ｄを下記条件（１３）を満足する範囲内に設定することが望ましい。

（１３） ０＜Ｄ＜３
この空気間隔Ｄが上限値の３以上になって大になると、第３レンズ群にて高くなっている第４レンズ群のスペースが小になりすぎる。もしくは、第４レンズ群の負の屈折力を強くせざるを得なくなり、コマ収差が発生するため好ましくない。

本発明の対物レンズは、十分良好な結像性能を有し、補正環による移動機構のスペースを確保し、しかもコンパクトな構成で、透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を良好に補正し得るものである。

次に本発明の顕微鏡対物レンズの各実施例について述べる。

本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１は、図１に示す通りの構成であって、下記データを有する。
ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．７、β＝−２０、ｆ＝９
ｒ₁ ＝511.7622 ｄ₁ ＝2.8337 ｎ₁ ＝1.75500 ν₁ ＝52.32
ｒ₂ ＝-10.6395 ｄ₂ ＝1.6761
ｒ₃ ＝786.4951 ｄ₃ ＝1.4031 ｎ₂ ＝1.63775 ν₂ ＝42.41
ｒ₄ ＝11.7157 ｄ₄ ＝4.0224 ｎ₃ ＝1.43875 ν₃ ＝94.93
ｒ₅ ＝-13.7840 ｄ₅ ＝1.2031
ｒ₆ ＝20.4811 ｄ₆ ＝3.8894 ｎ₄ ＝1.43875 ν₄ ＝94.93
ｒ₇ ＝-9.9917 ｄ₇ ＝1.4079 ｎ₅ ＝1.63775 ν₅ ＝42.41
ｒ₈ ＝-63.5867 ｄ₈ ＝2.5875
ｒ₉ ＝6.9516 ｄ₉ ＝6.0001 ｎ₆ ＝1.43875 ν₆ ＝94.93
ｒ₁₀＝-12.8237 ｄ₁₀＝1.9998 ｎ₇ ＝1.51633 ν₇ ＝64.14
ｒ₁₁＝6.2806 ｄ₁₁＝6.4514
ｒ₁₂＝-3.9606 ｄ₁₂＝2.1830 ｎ₈ ＝1.51633 ν₈ ＝64.14
ｒ₁₃＝-340.3705 ｄ₁₃＝3.7868 ｎ₉ ＝1.74100 ν₉ ＝52.64
ｒ₁₄＝-9.3379

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．１１９ ７．６９８ ６．９２１
ｄ₂ ２．１９ １．６７６ ０．６５
ｄ₅ ０．６９ １．２０３ ２．２２９

（１） ｆ₂／ｆ＝６．５３７
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．７０７
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝９．１４７
（６） ｆ₄’／ｆ＝−１９．１７２
（７） ｆ＝８．９５４
（８） ｆ₁／ｆ＝１．５４６
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９９２
（１０） Ｎ₁＝１．７５５
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝４８．１００
（１２） ν_(4p)＝５２．６４０
（１３） Ｄ＝２．５８８

上記データ中、ｒ₁ ，ｒ₂ ，・・・は各レンズ面の曲率半径、ｄ₁ ，ｄ₂ ，・・・は各レンズの肉厚および空気間隔、ｎ₁ ，ｎ₂ ，・・・ は各レンズの屈折率、ν₁ ，ν₂ ，・・・ は各レンズのアッベ数である。また、ＮＡは開口数、ＷＤは作動距離、βは倍率、ｆは全系の焦点距離、である。尚、上記値において長さの単位はｍｍである。

この実施例１は、図１に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ₁〜ｒ₂）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凹レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。

この実施例１の対物レンズは、使用するカバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させて補正を行なう。つまり間隔ｄ₂ 、ｄ₅ を変化させて補正を行なう。

このカバーガラスの厚さに対する作動距離ＷＤ、第２レンズ群の移動量（ｄ₂ 、ｄ₅の変化量）をデータ中に示してある。

この実施例１は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。

この実施例１における第２レンズ群の各位置における収差状況は、つまりカバーガラスの厚さが０ｍｍの時、０．７ｍｍの時、２ｍｍの時の収差状況は夫々図１０、図１１、図１２に示す通りである。

尚、この実施例１の対物レンズは、無限遠補正型であり、図３７に示す結像レンズと組み合わせて用いられる。したがって、前記収差図も上記結像レンズを装着した状態でのものである。

これら図１０、図１１、図１２より明らかなように、収差はいずれも良好に補正されており、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は第２レンズ群の移動により良好に補正されている。

本発明の顕微鏡対物レンズの実施例２は、図２に示す通りの構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．７、β＝−２０、ｆ＝９
ｒ₁ ＝351.0865 ｄ₁ ＝2.8152 ｎ₁ ＝1.75500 ν₁ ＝52.32
ｒ₂ ＝-10.6513 ｄ₂ ＝1.5666
ｒ₃ ＝281.3200 ｄ₃ ＝1.3969 ｎ₂ ＝1.63775 ν₂ ＝42.41
ｒ₄ ＝11.6679 ｄ₄ ＝4.0041 ｎ₃ ＝1.43875 ν₃ ＝94.93
ｒ₅ ＝-13.9484 ｄ₅ ＝1.8755
ｒ₆ ＝20.3507 ｄ₆ ＝3.8962 ｎ₄ ＝1.43875 ν₄ ＝94.93
ｒ₇ ＝-9.5944 ｄ₇ ＝1.3983 ｎ₅ ＝1.63775 ν₅ ＝42.41
ｒ₈ ＝-82.6239 ｄ₈ ＝2.5950
ｒ₉ ＝6.8783 ｄ₉ ＝6.0035 ｎ₆ ＝1.43875 ν₆ ＝94.93
ｒ₁₀＝-12.1962 ｄ₁₀＝2.0045 ｎ₇ ＝1.51633 ν₇ ＝64.14
ｒ₁₁＝6.6924 ｄ₁₁＝6.4612
ｒ₁₂＝-3.8209 ｄ₁₂＝2.1906 ｎ₈ ＝1.51633 ν₈ ＝64.14
ｒ₁₃＝121.4062 ｄ₁₃＝3.7920 ｎ₉ ＝1.74100 ν₉ ＝52.64
ｒ₁₄＝-9.3348

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．１１７ ７．６９２ ６．９１３
ｄ₂ ２．０２７ １．５６７ ０．５５６
ｄ₅ １．４１７ １．８７８ ２．８８８

（１） ｆ₂／ｆ＝６．２０７
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．５１８
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝１２．０１２
（６） ｆ₄’／ｆ＝−３７．２３７
（７） ｆ＝８．９９２
（８） ｆ₁／ｆ＝１．５２８
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９９６
（１０） Ｎ₁＝１．７５５
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝３２．９６２
（１２） ν_(4p)＝５２．６４０
（１３） Ｄ＝２．９５０

この実施例２は、図２に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ₁〜ｒ₂）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凹レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と両凹レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と両凸レンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

そして、この実施例２も第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差を補正している。

この第２レンズ群Ｇ２の移動による間隔ｄ₂ 、ｄ₅ の変化で使用するカバーガラスの値に応じた第２レンズ群の移動量は、データ中に示す通りである。

この実施例２も全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足するレンズ系である。つまり、この実施例２はデータ中に記載するように、条件（１）、（２）、（３）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。

また、第２レンズ群の各位置における収差状況は、夫々図１３、図１４、図１５に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまりカバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、第２レンズ群の移動により良好に補正される。

本発明の顕微鏡対物レンズの実施例３は、図３に示す通りの構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．６、β＝−１７、ｆ＝１０．４
ｒ₁ ＝590.8302 ｄ₁ ＝2.7526 ｎ₁ ＝1.75500 ν₁ ＝52.32
ｒ₂ ＝-10.8634 ｄ₂ ＝1.6914
ｒ₃ ＝188.935 ｄ₃ ＝1.4109 ｎ₂ ＝1.63775 ν₂ ＝42.41
ｒ₄ ＝11.804 ｄ₄ ＝4.0068 ｎ₃ ＝1.43875 ν₃ ＝94.93
ｒ₅ ＝-15.7728 ｄ₅ ＝1.1681
ｒ₆ ＝27.4571 ｄ₆ ＝3.8801 ｎ₄ ＝1.43875 ν₄ ＝94.93
ｒ₇ ＝-9.9939 ｄ₇ ＝1.3337 ｎ₅ ＝1.60562 ν₅ ＝43.7
ｒ₈ ＝-42.8394 ｄ₈ ＝2.4607
ｒ₉ ＝7.131 ｄ₉ ＝5.9995 ｎ₆ ＝1.43875 ν₆ ＝94.93
ｒ₁₀＝-17.6713 ｄ₁₀＝1.9938 ｎ₇ ＝1.51823 ν₇ ＝58.9
ｒ₁₁＝6.2859 ｄ₁₁＝6.4885
ｒ₁₂＝-3.9297 ｄ₁₂＝2.1174 ｎ₈ ＝1.51742 ν₈ ＝52.43
ｒ₁₃＝-95.1977 ｄ₁₃＝3.7247 ｎ₉ ＝1.755 ν₉ ＝52.32
ｒ₁₄＝-8.7085

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．０３９ ７．６１９ ６．８４９
ｄ₂ ２．１７５ １．６９１ ０．６２９
ｄ₅ ０．６８４ １．１６８ ２．２３１

（１） ｆ₂／ｆ＝６．２９２
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．８８２
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝６．００７
（６） ｆ₄’／ｆ＝−３９．５０１
（７） ｆ＝１０．３５９
（８） ｆ₁／ｆ＝１．３６７
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９８６
（１０） Ｎ₁＝１．７７５
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝５４．３１１
（１２） ν_(4p)＝５２．３２
（１３） Ｄ＝２．４６１

この実施例３は、図３に示すように、物体側より順に単体の両凸レンズ（ｒ₁〜ｒ₂）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凹レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例３も第２レンズ群を移動させてカバーガラス等の厚さの変化による収差の補正を行なっている。

データ中にはカバーガラスの厚さに対応する第２レンズ群の位置（ｄ₂ 、ｄ₅ ）等を示してある。

この実施例３は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。

この実施例３における第２レンズ群がデータ中に示す各位置における収差状況は、図１６、図１７、図１８に示す通りである。これら図より明らかなように、いずれも収差は良好に補正されており、カバーガラスの厚さによる収差の変動は良好に補正されている。

本発明の実施例４は、図４に示す通りのレンズ構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．７、ＷＤ＝３．３、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ₁ ＝-7.1161 ｄ₁ ＝3.9842 ｎ₁ ＝1.74100 ν₁ ＝52.64
ｒ₂ ＝-5.3759 ｄ₂ ＝0.2017
ｒ₃ ＝30.4018 ｄ₃ ＝3.6526 ｎ₂ ＝1.49700 ν₂ ＝81.54
ｒ₄ ＝-8.3706 ｄ₄ ＝1.4000 ｎ₃ ＝1.72047 ν₃ ＝34.71
ｒ₅ ＝-14.5668 ｄ₅ ＝1.1749
ｒ₆ ＝31.0081 ｄ₆ ＝1.3300 ｎ₄ ＝1.78590 ν₄ ＝44.2
ｒ₇ ＝13.6781 ｄ₇ ＝4.5217 ｎ₅ ＝1.49700 ν₅ ＝81.54
ｒ₈ ＝-13.6781 ｄ₈ ＝1.2763
ｒ₉ ＝-13.3810 ｄ₉ ＝1.3500 ｎ₆ ＝1.72047 ν₆ ＝34.71
ｒ₁₀＝17.8619 ｄ₁₀＝3.7416 ｎ₇ ＝1.49700 ν₇ ＝81.54
ｒ₁₁＝-20.0357 ｄ₁₁＝0.3057
ｒ₁₂＝19.6054 ｄ₁₂＝3.7698 ｎ₈ ＝1.43875 ν₈ ＝94.93
ｒ₁₃＝-17.6832 ｄ₁₃＝1.4107 ｎ₉ ＝1.83400 ν₉ ＝37.16
ｒ₁₄＝-48.3594 ｄ₁₄＝0.3058
ｒ₁₅＝28.4034 ｄ₁₅＝3.4387 ｎ₁₀＝1.61800 ν₁₀＝63.33
ｒ₁₆＝-16.2132 ｄ₁₆＝1.6859 ｎ₁₁＝1.61340 ν₁₁＝44.27
ｒ₁₇＝-71.1011 ｄ₁₇＝1.4457
ｒ₁₈＝8.1527 ｄ₁₈＝3.1866 ｎ₁₂＝1.80518 ν₁₂＝25.42
ｒ₁₉＝73.3349 ｄ₁₉＝1.4016 ｎ₁₃＝1.61340 ν₁₃＝44.27
ｒ₂₀＝3.8916 ｄ₂₀＝3.3130
ｒ₂₁＝-11.7951 ｄ₂₁＝0.9147 ｎ₁₄＝1.56384 ν₁₄＝60.67
ｒ₂₂＝13.2420

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ３．８３２ ３．３３３ ２．９７４
ｄ₅ ２．０３８ １．１７５ ０．４０９
ｄ₈ ０．４１３ １．２７６ ２．０４２

（１） ｆ₂／ｆ＝６．９８５
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．５９０
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝−８．７２１
（４） ｆ₄／ｆ＝−２．９２７
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ₁／ｆ＝２．５９０
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９１８
（１０） Ｎ₁＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝１．３２４
（１２） ν_(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝１．４４６

この実施例４は、図４に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と両凸レンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と両凸レンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凸レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と両凸レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）と両凸レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₆〜ｒ₁₇）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₇）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）と像側と凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₉〜ｒ₂₀）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₂₀）と単体の両凹レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例４は、ｆ＝３．６であって、全系の焦点距離ｆが条件（５）に示す範囲内のレンズ系である。したがって、実施例４は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。

この実施例４のレンズ系は、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータ中にカバーガラスの厚さに応じてｄ₅とｄ₈を変化させる。

この実施例４の収差状況は、図１９、図２０、図２１に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群を移動させて収差の変動を補正している。

本発明の実施例５は、図５に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．６５、ＷＤ＝３．３、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ₁ ＝-6.6412 ｄ₁ ＝3.5687 ｎ₁ ＝1.74100 ν₁ ＝52.64
ｒ₂ ＝-5.0534 ｄ₂ ＝0.4356
ｒ₃ ＝23.6979 ｄ₃ ＝3.5505 ｎ₂ ＝1.49700 ν₂ ＝81.54
ｒ₄ ＝-8.1019 ｄ₄ ＝1.5638 ｎ₃ ＝1.72047 ν₃ ＝34.71
ｒ₅ ＝-11.7521 ｄ₅ ＝1.5309
ｒ₆ ＝78.7455 ｄ₆ ＝1.4746 ｎ₄ ＝1.78590 ν₄ ＝44.2
ｒ₇ ＝19.2598 ｄ₇ ＝2.4362 ｎ₅ ＝1.49700 ν₅ ＝81.54
ｒ₈ ＝-15.8295 ｄ₈ ＝1.9591
ｒ₉ ＝-10.1039 ｄ₉ ＝1.4738 ｎ₆ ＝1.72047 ν₆ ＝34.71
ｒ₁₀＝21.3847 ｄ₁₀＝3.1322 ｎ₇ ＝1.49700 ν₇ ＝81.54
ｒ₁₁＝-14.3025 ｄ₁₁＝0.3869
ｒ₁₂＝36.9212 ｄ₁₂＝3.5375 ｎ₈ ＝1.43875 ν₈ ＝94.93
ｒ₁₃＝-32.2728 ｄ₁₃＝2.9110 ｎ₉ ＝1.83400 ν₉ ＝37.16
ｒ₁₄＝-66.6984 ｄ₁₄＝0.2023
ｒ₁₅＝16.2178 ｄ₁₅＝5.7735 ｎ₁₀＝1.61800 ν₁₀＝63.33
ｒ₁₆＝-9.5268 ｄ₁₆＝2.9318 ｎ₁₁＝1.61340 ν₁₁＝44.27
ｒ₁₇＝34.5869 ｄ₁₇＝2.2517
ｒ₁₈＝8.6250 ｄ₁₈＝3.6906 ｎ₁₂＝1.80518 ν₁₂＝25.42
ｒ₁₉＝-4963.6686 ｄ₁₉＝1.8920 ｎ₁₃＝1.61340 ν₁₃＝44.27
ｒ₂₀＝3.7707 ｄ₂₀＝2.3770
ｒ₂₁＝-13.6585 ｄ₂₁＝1.4756 ｎ₁₄＝1.56384 ν₁₄＝60.67
ｒ₂₂＝52.7443

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ３．８４６ ３．３３５ ２．９６８
ｄ₅ ２．６６１ １．５３１ ０．６１７
ｄ₈ ０．８２９ １．９５９ ２．８７３

（１） ｆ₂／ｆ＝１０．４８６
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．３００
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝４．０１０
（４） ｆ₄／ｆ＝−４．６４３
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ₁／ｆ＝２．２６０
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．８６２
（１０） Ｎ₁＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝１．３１４
（１２） ν_(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝２．２５２

この実施例５は、図５に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と両凸レンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と両凸レンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凸レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と両凸レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）と両凸レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）と両凹レンズ（ｒ₁₆〜ｒ₁₇）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₇）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）と両凹レンズ（ｒ₁₉〜ｒ₂₀）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₂₀）と単体の両凹レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例５は、全系の焦点距離ｆがデータに示すようにｆ＝３．６であって、条件（５）に示す範囲のレンズ系である。したがって、実施例５は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する対物レンズである。

この実施例５のレンズ系も、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータに示すように、カバーガラスの厚さに対応してｄ₅とｄ₈を変化させて収差変動を補正している。

この実施例５の収差状況は、図２２、図２３、図２４に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動を補正している。

本発明の実施例６は、図６に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．６５、ＷＤ＝３．４９、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ₁ ＝-6.6651 ｄ₁ ＝3.9041 ｎ₁ ＝1.74100 ν₁ ＝52.64
ｒ₂ ＝-5.3303 ｄ₂ ＝0.2960
ｒ₃ ＝20.5175 ｄ₃ ＝3.6703 ｎ₂ ＝1.49700 ν₂ ＝81.54
ｒ₄ ＝-8.6224 ｄ₄ ＝1.6318 ｎ₃ ＝1.72047 ν₃ ＝34.71
ｒ₅ ＝-12.5643 ｄ₅ ＝1.1662
ｒ₆ ＝186.6075 ｄ₆ ＝1.4671 ｎ₄ ＝1.78590 ν₄ ＝44.2
ｒ₇ ＝32.0895 ｄ₇ ＝4.3406 ｎ₅ ＝1.49700 ν₅ ＝81.54
ｒ₈ ＝-17.0960 ｄ₈ ＝1.5963
ｒ₉ ＝-10.8824 ｄ₉ ＝1.5113 ｎ₆ ＝1.72047 ν₆ ＝34.71
ｒ₁₀＝15.1231 ｄ₁₀＝3.7860 ｎ₇ ＝1.49700 ν₇ ＝81.54
ｒ₁₁＝-18.3524 ｄ₁₁＝0.3896
ｒ₁₂＝17.6826 ｄ₁₂＝5.0208 ｎ₈ ＝1.43875 ν₈ ＝94.93
ｒ₁₃＝-17.1958 ｄ₁₃＝2.7453 ｎ₉ ＝1.83400 ν₉ ＝37.16
ｒ₁₄＝-49.0717 ｄ₁₄＝0.2018
ｒ₁₅＝19.5170 ｄ₁₅＝4.0367 ｎ₁₀＝1.61800 ν₁₀＝63.33
ｒ₁₆＝-11.2916 ｄ₁₆＝1.8551 ｎ₁₁＝1.61340 ν₁₁＝44.27
ｒ₁₇＝-124.4000 ｄ₁₇＝1.4947
ｒ₁₈＝7.5168 ｄ₁₈＝3.2427 ｎ₁₂＝1.80518 ν₁₂＝25.42
ｒ₁₉＝21.8154 ｄ₁₉＝1.4959 ｎ₁₃＝1.61340 ν₁₃＝44.27
ｒ₂₀＝3.5464 ｄ₂₀＝3.1412
ｒ₂₁＝-13.9111 ｄ₂₁＝0.8932 ｎ₁₄＝1.56384 ν₁₄＝60.67
ｒ₂₂＝11.1115

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ４ ３．４９１ ３．１２６
ｄ₅ ２．１５８ １．１６６ ０．４０５
ｄ₈ ０．６０５ １．５９６ ２．３５８

（１） ｆ₂／ｆ＝１１．２８６
（２） ｆ₂／ｆ₃＝１．１９０
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝−１６．５５０
（４） ｆ₄／ｆ＝−２．８５６
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ₁／ｆ＝２．３０９
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．８３９
（１０） Ｎ₁＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝１．２５０
（１２） ν_(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝１．４９５

この実施例６は、図６に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と両凸レンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₆〜ｒ₇）と両凸レンズ（ｒ₇〜ｒ₈）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₆〜ｒ₈）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と両凸レンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₁）と両凸レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₄）と両凸レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₆〜ｒ₁₇）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₇）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₉〜ｒ₂₀）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₂₀）と単体の両凹レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例６は、全系の焦点距離ｆがｆ＝３．６で、条件（５）の範囲の焦点距離のレンズ系である。

この実施例６は、データに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。

また、第２レンズ群Ｇ２をデータに示すようにｄ₅とｄ₈を変化させて移動することによって、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。

この実施例６の収差状況は、図２５、図２６、図２７に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。

本発明の実施例７は、図７に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８、ＷＤ＝１．５、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ₁ ＝-6.4131 ｄ₁ ＝1.8872 ｎ₁ ＝1.88300 ν₁ ＝40.76
ｒ₂ ＝-3.5144 ｄ₂ ＝0.15
ｒ₃ ＝116.8536 ｄ₃ ＝1.7485 ｎ₂ ＝1.72047 ν₂ ＝34.71
ｒ₄ ＝9.8301 ｄ₄ ＝3.9577 ｎ₃ ＝1.49700 ν₃ ＝81.54
ｒ₅ ＝-6.0797 ｄ₅ ＝1.1614
ｒ₆ ＝14.897 ｄ₆ ＝2.7659 ｎ₄ ＝1.43875 ν₄ ＝94.93
ｒ₇ ＝-10.2282 ｄ₇ ＝1.1828
ｒ₈ ＝-7.8385 ｄ₈ ＝1.6088 ｎ₅ ＝1.75500 ν₅ ＝52.32
ｒ₉ ＝20.1451 ｄ₉ ＝3.8246 ｎ₆ ＝1.43875 ν₆ ＝94.93
ｒ₁₀＝-7.1339 ｄ₁₀＝1.3945 ｎ₇ ＝1.65412 ν₇ ＝39.68
ｒ₁₁＝-14.5872 ｄ₁₁＝0.1
ｒ₁₂＝28.1671 ｄ₁₂＝3.7541 ｎ₈ ＝1.56907 ν₈ ＝71.3
ｒ₁₃＝-14.8567 ｄ₁₃＝0.2
ｒ₁₄＝14.172 ｄ₁₄＝1 ｎ₉ ＝1.72916 ν₉ ＝54.68
ｒ₁₅＝8.8213 ｄ₁₅＝3.5586 ｎ₁₀＝1.43875 ν₁₀＝94.93
ｒ₁₆＝-15.6932 ｄ₁₆＝1.0289 ｎ₁₁＝1.72047 ν₁₁＝34.71
ｒ₁₇＝-292.431 ｄ₁₇＝0.1
ｒ₁₈＝10.3581 ｄ₁₈＝3.928 ｎ₁₂＝1.60300 ν₁₂＝65.44
ｒ₁₉＝15 ｄ₁₉＝3.4576 ｎ₁₃＝1.51633 ν₁₃＝64.14
ｒ₂₀＝3.222 ｄ₂₀＝5.0454
ｒ₂₁＝4.7959 ｄ₂₁＝2.0368 ｎ₁₄＝1.80518 ν₁₄＝25.42
ｒ₂₂＝-13.4523 ｄ₂₂＝0.4 ｎ₁₅＝1.75500 ν₁₅＝52.32
ｒ₂₃＝5.0917 ｄ₂₃＝1.2
ｒ₂₄＝-9.9082 ｄ₂₄＝1.2 ｎ₁₆＝1.80518 ν₁₆＝25.42
ｒ₂₅＝28.8646

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．７８ １．４９９ １．２８７
ｄ₅ １．６２１ １．１６１ ０．７３７
ｄ₇ ０．７２４ １．１８３ １．６０９

（１） ｆ₂／ｆ＝７．９４６
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．２３８
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝２８．２３２
（４） ｆ₄／ｆ＝−４．６４７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ₁／ｆ＝３．０３９
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．７４８
（１０） Ｎ₁＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝１．８２５
（１２） ν_(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

実施例７のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ₆〜ｒ₇）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ₈〜ｒ₉）と両凸レンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₀〜ｒ₁₁）を貼り合わせた３枚の接合レンズ（ｒ₈〜ｒ₁₁）と単体の両凸レンズ（ｒ₁₂〜ｒ₁₃）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₄〜ｒ₁₅）と両凸レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₆〜ｒ₁₇）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ₁₄〜ｒ₁₇）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₉〜ｒ₂₀）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₂₀）と両凸レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）と両凹レンズ（ｒ₂₂〜ｒ₂₃）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₃）と単体の両凹レンズ（ｒ₂₄〜ｒ₂₅）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例７のレンズ系は、データ中に示すように全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の焦点距離である。したがって、第４レンズ群が条件（４）を満足する。つまり実施例７はデータに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。

この実施例７も、第２レンズ群Ｇ２を移動して、つまり、カバーガラスの厚さの変化に対応して、データに示すように、間隔ｄ₅、ｄ₇を変化させて、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。

この実施例７の収差状況は、図２８、図２９、図３０に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。

本発明の実施例８の光学系は、図８に示す通りの構成で、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８５、ＷＤ＝１．２８、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ₁ ＝-10.1037 ｄ₁ ＝1.5759 ｎ₁ ＝1.88300 ν₁ ＝40.76
ｒ₂ ＝-5.4838 ｄ₂ ＝0.15
ｒ₃ ＝73.2387 ｄ₃ ＝2.278 ｎ₂ ＝1.74951 ν₂ ＝35.33
ｒ₄ ＝14.3381 ｄ₄ ＝4.6437 ｎ₃ ＝1.49700 ν₃ ＝81.54
ｒ₅ ＝-6.6845 ｄ₅ ＝1.273
ｒ₆ ＝473.0632 ｄ₆ ＝2.3126 ｎ₄ ＝1.58913 ν₄ ＝61.14
ｒ₇ ＝-16.3646 ｄ₇ ＝1.5111
ｒ₈ ＝66.6774 ｄ₈ ＝4.8207 ｎ₅ ＝1.43875 ν₅ ＝94.93
ｒ₉ ＝-8.7946 ｄ₉ ＝1.35 ｎ₆ ＝1.65412 ν₆ ＝39.68
ｒ₁₀＝-31.5482 ｄ₁₀＝0.1
ｒ₁₁＝27.0709 ｄ₁₁＝2.473 ｎ₇ ＝1.49700 ν₇ ＝81.54
ｒ₁₂＝-29.8881 ｄ₁₂＝0.2
ｒ₁₃＝18.2202 ｄ₁₃＝1.4 ｎ₈ ＝1.72916 ν₈ ＝54.68
ｒ₁₄＝9.0694 ｄ₁₄＝5.7345 ｎ₉ ＝1.43875 ν₉ ＝94.93
ｒ₁₅＝-7.7731 ｄ₁₅＝1.2 ｎ₁₀＝1.61340 ν₁₀＝44.27
ｒ₁₆＝118.3338 ｄ₁₆＝0.1
ｒ₁₇＝6.0069 ｄ₁₇＝3.5034 ｎ₁₁＝1.49700 ν₁₁＝81.54
ｒ₁₈＝100.0715 ｄ₁₈＝2.5178 ｎ₁₂＝1.61340 ν₁₂＝44.27
ｒ₁₉＝3.9277 ｄ₁₉＝3.1927
ｒ₂₀＝4.5166 ｄ₂₀＝2.4729 ｎ₁₃＝1.80518 ν₁₃＝25.42
ｒ₂₁＝-9.4524 ｄ₂₁＝0.62 ｎ₁₄＝1.72916 ν₁₄＝54.68
ｒ₂₂＝3.66 ｄ₂₂＝1.5328
ｒ₂₃＝-2.9476 ｄ₂₃＝1.0016 ｎ₁₅＝1.69895 ν₁₅＝30.13
ｒ₂₄＝-6.9668

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．４５４ １．２８２ １．１６１
ｄ₅ ２．１４８ １．２７３ ０．４９９
ｄ₇ ０．６３７ １．５１１ ２．２８６

（１） ｆ₂／ｆ＝４．２４４
（２） ｆ₂／ｆ₃＝１４．９４２
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝１９．７
（４） ｆ₄／ｆ＝−９．０８７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ₁／ｆ＝４．２４４
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９５６
（１０） Ｎ₁＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝１．８４２
（１２） ν_(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

この実施例８のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ₆〜ｒ₇）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ₈〜ｒ₉）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₈〜ｒ₁₀）と単体の両凸レンズ（ｒ₁₁〜ｒ₁₂）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）と両凸レンズ（ｒ₁₄〜ｒ₁₅）と両凹レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₆）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₁₇〜ｒ₁₈）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₇〜ｒ₁₉）と両凸レンズ（ｒ₂₀〜ｒ₂₁）と両凹レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₂₀〜ｒ₂₂）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ₂₃〜ｒ₂₄）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。

この実施例８の対物レンズの全系の焦点距離ｆはｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の値で、したがって、この実施例８は条件（４）を満足する。つまり実施例８の対物レンズは、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。

また実施例８も、第２レンズ群Ｇ２を移動してカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。例えばデータに示すように、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群を移動して、その前後の間隔ｄ₅、ｄ₇を変化させて収差変動を補正している。

この実施例８の収差状況は、図３１、図３２、図３３に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。

本発明の実施例９は、図９に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８、ＷＤ＝１．５、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ₁ ＝-11.0153 ｄ₁ ＝1.25 ｎ₁ ＝1.88300 ν₁ ＝40.76
ｒ₂ ＝-4.7398 ｄ₂ ＝0.15
ｒ₃ ＝75.4804 ｄ₃ ＝1.834 ｎ₂ ＝1.74951 ν₂ ＝35.33
ｒ₄ ＝12.2874 ｄ₄ ＝5.2782 ｎ₃ ＝1.49700 ν₃ ＝81.54
ｒ₅ ＝-6.7073 ｄ₅ ＝1.3145
ｒ₆ ＝-460.618 ｄ₆ ＝2.2185 ｎ₄ ＝1.58913 ν₄ ＝61.14
ｒ₇ ＝-15.4389 ｄ₇ ＝1.3144
ｒ₈ ＝-315.987 ｄ₈ ＝4.6485 ｎ₅ ＝1.43875 ν₅ ＝94.93
ｒ₉ ＝-7.6277 ｄ₉ ＝1.5 ｎ₆ ＝1.65412 ν₆ ＝39.68
ｒ₁₀＝-22.2502 ｄ₁₀＝0.1
ｒ₁₁＝25.6319 ｄ₁₁＝2.6017 ｎ₇ ＝1.49700 ν₇ ＝81.54
ｒ₁₂＝-122.917 ｄ₁₂＝0.2
ｒ₁₃＝11.0415 ｄ₁₃＝1.2 ｎ₈ ＝1.72916 ν₈ ＝54.68
ｒ₁₄＝7.2433 ｄ₁₄＝6.1973 ｎ₉ ＝1.43875 ν₉ ＝94.93
ｒ₁₅＝-10.786 ｄ₁₅＝1 ｎ₁₀＝1.61340 ν₁₀＝44.27
ｒ₁₆＝25 ｄ₁₆＝0.1
ｒ₁₇＝5.4163 ｄ₁₇＝3.262 ｎ₁₁＝1.49700 ν₁₁＝81.54
ｒ₁₈＝-226.993 ｄ₁₈＝3.1635 ｎ₁₂＝1.61340 ν₁₂＝44.27
ｒ₁₉＝2.8676 ｄ₁₉＝4.6293
ｒ₂₀＝4.1817 ｄ₂₀＝1.9386 ｎ₁₃＝1.80518 ν₁₃＝25.42
ｒ₂₁＝-14.5209 ｄ₂₁＝0.5 ｎ₁₄＝1.755 ν₁₄＝52.32
ｒ₂₂＝3.9555 ｄ₂₂＝1.4401
ｒ₂₃＝-3.4982 ｄ₂₃＝0.6 ｎ₁₅＝1.80518 ν₁₅＝25.42
ｒ₂₄＝-5.8209

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．６９３ １．４９９ １．３５８
ｄ₅ ２．１８ １．３１４ ０．５４６
ｄ₇ ０．４４９ １．３１４ ２．０８３

（１） ｆ₂／ｆ＝１５．７１１
（２） ｆ₂／ｆ₃＝０．７０４
（３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＝４．７４
（４） ｆ₄／ｆ＝−９．０１７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ₁／ｆ＝３．７９１
（９） Ｈ₂／Ｈ₃＝０．９４２
（１０） Ｎ₁＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ₁｜／｜Ｒ₂｜＝２．３２４
（１２） ν_(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

この実施例９は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₁〜ｒ₂）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₃〜ｒ₄）と両凸レンズ（ｒ₄〜ｒ₅）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ₃〜ｒ₅）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、像側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ₆〜ｒ₇）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ₈〜ｒ₉）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₉〜ｒ₁₀）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ₈〜ｒ₁₀）と単体の両凸レンズ（ｒ₁₁〜ｒ₁₂）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₄）と両凸レンズ（ｒ₁₄〜ｒ₁₅）と両凹レンズ（ｒ₁₅〜ｒ₁₆）を貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ₁₃〜ｒ₁₆）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ₁₇〜ｒ₁₈）と両凹レンズ（ｒ₁₈〜ｒ₁₉）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₁₇〜ｒ₁₉）と両凸レンズ（ｒ₂₀〜ｒ₂₁）と両凹レンズ（ｒ₂₁〜ｒ₂₂）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ₂₀〜ｒ₂₂）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ₂₃〜ｒ₂₄）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。

この実施例９の対物レンズは、全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内のレンズ系であり、条件（４）を満足する。つまり実施例９は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。

また実施例９のレンズ系は、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を、第２レンズ群Ｇ２を移動して補正している。データに示すように、この実施例９は、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群Ｇ２を移動して（間隔ｄ₅、ｄ₇を変化させて）収差変動を補正している。

この実施例９の収差状況は、図３４、図３５、図３６に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。

尚、実施例１と同様に実施例２乃至実施例９も無限遠補正のレンズ系であり、例えば図３７に示すような結像レンズを配置して使用される。

この図３７に示す結像レンズは、次のデータを有する。

Ｆ＝１８０
Ｒ₁ ＝68.754 Ｄ₁ ＝7.732 Ｎ₁ ＝1.487 Ｖ₁ ＝70.2
Ｒ₂ ＝-37.567 Ｄ₂ ＝3.474 Ｎ₂ ＝1.806 Ｖ₂ ＝40.9
Ｒ₃ ＝-102.847 Ｄ₃ ＝0.697
Ｒ₄ ＝84.309 Ｄ₄ ＝6.023 Ｎ₃ ＝1.834 Ｖ₃ ＝37.1
Ｒ₅ ＝-50.710 Ｄ₅ ＝3.029 Ｎ₄ ＝1.644 Ｖ₄ ＝40.8
Ｒ₆ ＝40.661
ここで、Ｒ₁ ，Ｒ₂ ，・・・Ｒ₆は結像レンズの各レンズ面の曲率半径、Ｄ₁ ，Ｄ₂ ，・・・Ｄ₅ は結像レンズの各レンズの肉厚および空気間隔、Ｎ₁ ，Ｎ₂ ，Ｎ₃ ，Ｎ₄は結像レンズの各レンズの屈折率、Ｖ₁ ，Ｖ₂ ，Ｖ₃ ，Ｖ₄は結像レンズの各レンズのアッベ数、Ｆは結像レンズの焦点距離である。

前記実施例１〜実施例９の対物レンズは、図３７に示す結像レンズとの間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間のいずれかの間隔を設けた配置にて用いられる。

前記各実施例の収差図は、対物レンズと結像レンズとの間隔が１１９ｍｍの時のものである。しかし、１１９ｍｍ以外で前記範囲内の間隔であれば、前記収差図に示すものとほぼ同様の収差状況である。

本発明の対物は、補正環付顕微鏡対物レンズで、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化にも対応でき、厚さの変化による収差変動を容易に補正し得て、常に良好な結像性能にての物体の観察が可能である。

本発明の実施例１の断面図 本発明の実施例２の断面図 本発明の実施例３の断面図 本発明の実施例４の断面図 本発明の実施例５の断面図 本発明の実施例６の断面図 本発明の実施例７の断面図 本発明の実施例８の断面図 本発明の実施例９の断面図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 上記各実施例の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズの断面図

符号の説明

Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｇ４ 第４レンズ群

Claims (9)

1. 物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、下記条件（１）、（２）、（３）を満足し、全系の焦点距離が下記（７）の範囲内で下記条件（６）を満足する顕微鏡対物レンズ。
   （１） ６＜ｆ₂／ｆ＜１６
   （２） ０．２＜ｆ₂／ｆ₃＜１．２
   （３） ｜Ｒ₃｜／｜Ｒ₄｜＞４
   （６） −４０＜ｆ ₄ ’／ｆ＜−２０
   （７） ８＜ｆ＜１１
   ただし、ｆ₂は第２レンズ群の焦点距離、ｆ₃は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ₃は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ₄は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径、ｆ ₄ ’は第４レンズ群の焦点距離である。
2. 下記条件（８）を満足する請求項１の顕微鏡対物レンズ。
   （８） １＜ｆ ₁ ／ｆ＜５
   ただし、ｆ ₁ は前記第１レンズ群の焦点距離である。
3. 下記条件（９）を満足する請求項１又は２の顕微鏡対物レンズ。
   （９） Ｈ ₂ ／Ｈ ₃ ＜１
   ただし、Ｈ ₂ は第２レンズ群の最も高い光線高、Ｈ ₃ は第３レンズ群の最も高い光線高である。
4. 下記条件（１０）を満足する請求項１、２又は３の顕微鏡対物レンズ。
   （１０） Ｎ ₁ ＞１．７
   ただし、Ｎ ₁ は第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率である。
5. 下記条件（１１）を満足する請求項１、２、３又は４の顕微鏡対物レンズ。
   （１１） ｜Ｒ ₁ ｜／｜Ｒ ₂ ｜＞１
   ただし、Ｒ ₁ 、Ｒ ₂ は夫々前記第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面および像側の面の曲率半径である。
6. 前記第４レンズ群が凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含み下記条件（１２）を満足する請求項１、２、３、４又は５の顕微鏡対物レンズ。
   （１２） ν _(4p) ＜３５
   ただし、ν _(4p) は、前記第４レンズ群の接合レンズの凸レンズのアッベ数である。
7. 下記条件（１３）を満足する請求項１、２、３、４、５又は６の顕微鏡対物レンズ。
   （１３） ０＜Ｄ＜３
   ただし、Ｄは第３レンズ群と第４レンズ群の光軸上の空気間隔（ｍｍ）である。
8. 単体の両凸レンズよりなる前記１レンズ群と、
   物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第２レンズ群と、
   両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第３レンズ群と、
   両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズと像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズとよりなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１から７のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
9. 単体の両凸レンズよりなる前記第１レンズ群と、
   物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる前記第２レンズ群と、
   両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第３レンズ群と、
   両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凹レンズと両凸レンズとを貼り合わせた接合メニスカスレンズからなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１から７のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
   

Images