JP4958462B2 - Lens drive device - Google Patents
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Description
本発明は、レンズを保持したレンズ支持体を駆動するレンズ駆動装置に関する。 The present invention relates to a lens driving device that drives a lens support holding a lens.
特許文献1及び2には、筐体に対してレンズ支持体をスプリングで支持し、レンズ支持体に設けたコイル体に給電することにより、筐体に固定したマグネット及びヨークに対して生じる電磁力でレンズ支持体を駆動し、電磁力とスプリングの付勢力との釣り合いにより所定位置にレンズ支持体を保持することが開示されている。
In
しかし、特許文献1及び2に開示のレンズ駆動装置では、スプリングの付勢力と電磁力との釣り合いによりレンズ支持体を所定位置に保持する構成である為、レンズ支持体が駆動した時の慣性力をスプリングが受けると、スプリングが大きく変形し、スプリングの弾性による反力により反対方向に変形することを繰り返して振動し、このようなレンズ支持体の振動が収束するまでに所定時間を要するという問題がある(図11(b)参照)。
However, since the lens driving devices disclosed in
また、筐体に対してレンズ支持体はスプリングで支持しているだけであるから、落下等により外部から衝撃が加わったときにレンズ支持体が急激に移動することにより、スプリングが必要以上に変形してしまい、スプリングが損傷するという不都合がある。 Also, since the lens support is only supported by the spring with respect to the housing, the spring is deformed more than necessary by sudden movement of the lens support when an impact is applied from the outside due to dropping or the like. As a result, the spring is damaged.
そこで、本発明は、レンズ支持体が移動を停止したときにおけるレンズ支持体の振動の収束時間を短くでき、且つ外部からの衝撃に対するスプリングの損傷を防止できるレンズ駆動装置の提供を目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a lens driving device that can shorten the convergence time of vibration of the lens support when the movement of the lens support stops, and can prevent the spring from being damaged by an external impact.
請求項1に記載の発明は、レンズを保持する環状のレンズ支持体と、コイル体と、マグネットと、ヨークと、スプリングとを筐体内に具備し、筐体は、レンズの受光側に設けたフレームと、レンズの結像側に設けたホルダと、フレームとホルダとの間に設けたベースとから構成されており、ベースにヨークが密着固定してあり、ホルダは受光素子を固定した基板に取付けるものであり、ヨークはベースの内周に環状に設けてあり且つ断面コ字状を成しており、マグネットはヨークのコ字内に配置してあり、コイル体はレンズ支持体の外周に固定して且つマグネットに対面してヨークのコ字内に配置してあり、スプリングは筐体とレンズ支持体との間に設けて筐体に対してレンズ支持体を光軸方向に移動可能に支持しており、コイル体に給電して生じる電磁力によりレンズ支持体をレンズの光軸方向に駆動して電磁力とスプリングの付勢力との釣り合いにより所定位置にレンズ支持体を保持するレンズ駆動装置において、フレーム及びホルダには各々レンズとの対面位置に開口が形成されており、ホルダの開口を透明な結像側閉鎖部材で塞ぐと共にレンズ支持体とベースとの間に弾性変形可能な環状気密材を設け、環状気密材の内周縁の全周に亘ってレンズ支持体が密着してあり、環状気密材の外周縁の全周をヨークとベースとで密着挟持してあり、ホルダ、結像側閉鎖部材、ベース、レンズ支持体、レンズ及び環状気密材とで囲まれる空間に密閉した結像側ダンパ空間を形成したことを特徴とする。 According to the first aspect of the present invention, an annular lens support that holds a lens, a coil body, a magnet, a yoke, and a spring are provided in the housing, and the housing is provided on the light receiving side of the lens. It is composed of a frame, a holder provided on the imaging side of the lens, and a base provided between the frame and the holder, and a yoke is closely fixed to the base, and the holder is attached to a substrate on which the light receiving element is fixed. The yoke is annularly provided on the inner periphery of the base and has a U-shaped cross section, the magnet is disposed in the U-shape of the yoke, and the coil body is disposed on the outer periphery of the lens support. It is fixed and is placed in the U-shape of the yoke so as to face the magnet, and a spring is provided between the housing and the lens support so that the lens support can be moved in the optical axis direction relative to the housing Supports the power supply to the coil body. In the lens driving device that drives the lens support in the optical axis direction of the lens by the generated electromagnetic force and holds the lens support in a predetermined position by the balance between the electromagnetic force and the biasing force of the spring, each of the frame and the holder includes the lens and face-to-face position, an opening is formed in the elastically deformable annular airtight material provided between the busy Gutotomoni lens support base an opening of the holder with a transparent image-side closure member of the annular airtight material The lens support is in close contact with the entire periphery of the periphery, and the entire periphery of the outer peripheral edge of the annular airtight material is intimately clamped between the yoke and the base, and the holder, the imaging side closing member, the base , and the lens support The imaging-side damper space is formed in a space surrounded by the lens and the annular airtight material .
閉鎖部材としては、ガラスや硬質樹脂等の硬質体でも良く、または、ビニル樹脂等の軟質材であってもよい。 The closing member may be a hard body such as glass or hard resin, or may be a soft material such as vinyl resin.
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、環状気密材には結像側ダンパ空間内の空気圧を調整する孔が形成してあることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the annular airtight member is formed with a hole for adjusting the air pressure in the imaging side damper space.
請求項1に記載の発明によれば、コイル体のコイルに給電するとレンズ支持体が受光側又は結像側に瞬時に移動するが、レンズが瞬時に移動すると結像側ダンパ空間の空気圧が高まり又は減圧し、レンズ支持体の移動を抑えるように作用する。このように、結像側ダンパ空間を形成することにより、結像側ダンパ空間の空気圧がレンズ支持体の移動を抑えるように作用するので、レンズ支持体の振動を緩和する。即ち、レンズ支持体が移動してから停止したときに、結像側ダンパ空間がレンズ支持体に作用する慣性力による移動を抑え
、レンズ支持体が移動したときに生じるスプリングの反力による振動を短時間で収束する。
According to the first aspect of the present invention, when the coil of the coil body is supplied with power, the lens support moves instantaneously to the light receiving side or the imaging side, but when the lens moves instantaneously, the air pressure in the imaging side damper space increases. Alternatively, the pressure is reduced to act to suppress the movement of the lens support. In this way, by forming the imaging side damper space, the air pressure in the imaging side damper space acts so as to suppress the movement of the lens support, and thus the vibration of the lens support is reduced. That is, when the lens support moves and then stops, the imaging side damper space suppresses the movement due to the inertial force acting on the lens support, and the vibration caused by the reaction force of the spring generated when the lens support moves. Converge in a short time.
一方、落下等によるレンズ支持体に衝撃力が加わった場合において、レンズ支持体が急激に移動しようとした場合には、結像側ダンパ空間がその空気圧によりレンズ支持体の過大な移動を抑制するので、スプリングの過剰な変形を抑え、スプリングの損傷を防止する。 On the other hand, when an impact force is applied to the lens support due to dropping or the like, when the lens support is about to move suddenly, the imaging-side damper space suppresses excessive movement of the lens support by its air pressure. Therefore, excessive deformation of the spring is suppressed and damage to the spring is prevented.
ホルダの開口に透明な閉鎖部材を設けるだけであるから、構成が簡易である。 Since only a transparent closing member is provided at the opening of the holder, the configuration is simple.
ホルダに閉鎖部材を設けることにより、閉鎖部材が受光素子の保護フィルタを兼ねることができる。 By providing a closing member on the holder, the closing member can also serve as a protective filter for the light receiving element.
結像側ダンパ空間においては、環状気密材が空気圧の変化に応答して変形したり復帰したりして振動するが、環状気密材の振動がスプリングの振動と異なる周波数になり、スプリングの振動を抑えることができる。また、落下時等における衝撃に対しては結像側ダンパ空間が変形することにより、衝撃力を緩和することができる。 In the imaging-side damper space , the annular airtight material vibrates as it deforms and returns in response to changes in air pressure, but the vibration of the annular airtight material has a frequency different from that of the spring, and the vibration of the spring is reduced. Can be suppressed. Further, the impact force can be mitigated by the deformation of the imaging-side damper space against an impact when dropped.
また、結像側ダンパ空間の容積を小さくでき、より強いダンパ作用を得ることができる。 Further, the volume of the imaging side damper space can be reduced, and a stronger damper action can be obtained.
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明と同様の作用効果を得ることができると共に、レンズの移動による結像側ダンパ空間内の圧力を調整することにより、レンズ支持体の移動(通常の移動)をダンパ空間が阻害することなく、レンズ支持体の移動をスムーズに行うことができる。 According to the second aspect of the present invention, the same effect as that of the first aspect of the present invention can be obtained, and the lens support can be obtained by adjusting the pressure in the imaging-side damper space due to the movement of the lens. The movement of the lens support can be smoothly performed without the damper space hindering the movement of the body (normal movement).
以下に、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明するが、まず、図1〜図3及び図11を参照して本発明の第1実施の形態を説明する。図1は第1実施の形態にかかるレンズ駆動装置の縦断面図であり、図2は第1実施の形態にかかるレンズ駆動装置の分解斜視図であり、図3は第1実施の形態にかかるレンズ駆動装置の一部を切断して示す斜視図であり、図11は本実施の形態にかかるレンズ駆動装置について、レンズ支持体が移動したときにおけるレンズ支持体の振動を経過時間毎に測定したグラフである。尚、図2及び図3においてはレンズ及びホルダを除いて示しており、図3には更に受光側閉鎖部材を除いて示している。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. First, the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3 and 11. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the lens driving device according to the first embodiment, FIG. 2 is an exploded perspective view of the lens driving device according to the first embodiment, and FIG. 3 is according to the first embodiment. FIG. 11 is a perspective view showing a part of the lens driving device in a cut state. FIG. 11 shows the lens driving device according to the present embodiment, in which the vibration of the lens support when the lens support moves is measured every elapsed time. It is a graph. 2 and 3, the lens and the holder are omitted, and in FIG. 3, the light receiving side closing member is further omitted.
第1本実施の形態にかかるレンズ駆動装置1は、携帯電話(カメラ装置)に組み込まれるオートフォーカス小型カメラのレンズ駆動装置である。
The
このレンズ駆動装置1は、筐体2を備え、筐体2内にはレンズ3を保持するレンズ支持体5と、コイル体7と、マグネット9と、ヨーク11と、受光側スプリング13a、結像側スプリング13bとが設けられている。
The
筐体2は、受光側に設けたフレーム15と、結像側に設けたホルダ17と、フレーム15とホルダ17との間に設けたベース19とから構成されている。
The
ベース19には、その内周側に環状を成したヨーク11が密着固定してある。ヨーク11は断面コ字状であり、ヨーク11のコ字内には周方向にマグネット9が配置されており、ヨークのコ字内でマグネット9に対面して配置された環状のコイル体7がレンズ3の光軸方向に移動自在に設けられている。
The
コイル体7はレンズ支持体5の外周部に固定されており、レンズ支持体5と共に移動するようになっている。
The
レンズ支持体7は略円筒形状であり、ヨーク3の内周側に配置されている。レンズ支持体7には内周側にレンズ3が保持されている。
The
レンズ支持体7の受光側端には受光側スプリング13aが取付けられており、結像側端には、結像側スプリング13bが取付けられており、レンズ支持体7が移動したときにスプリング13a、13bが弾性変形するようになっている。
A light
受光側スプリング13a及び結像側スプリング13bは環状の板ばねであり(図2参照)、受光側スプリング13aの内周側端部はレンズ支持体7に固定されており、外周側端部はヨーク11とフレーム15との間に挟持されて固定してある。結像側スプリング13bの内周側端部はレンズ支持体7に固定されており、外周側端部はフレーム15側からスペーサ21で押えてベース19に固定されている。尚、スペーサ21は結像側スプリング13bとヨーク11との絶縁を図っている。
The light receiving
フレーム15は平面視四角形状を成し(図2及び図3参照)、中央に受光孔23が形成されている。本実施の形態では、受光孔23には受光側閉鎖部材25を嵌め込んで受光孔23を閉じている。フレーム15はベース19に嵌合固定されていると共にヨーク11の受光側角部11aを周方向に亘って密着している。受光側閉鎖部材25は透明材でできており、レンズ3の受光面3aに対面して設けてある。
The
そして、図1に示すように、レンズ3、ヨーク11、フレーム15及び受光側閉鎖部材25とで密閉した受光側ダンパ空間39を形成している。
As shown in FIG. 1, a light receiving
ホルダ17は、ベース19に密着固定されている。このホルダ17は基板29に取付けるものであり、基板29には受光素子31として撮像素子(CCD)が設けられており、ホルダ17が受光素子31を覆っている。ホルダ17の中央部には開口33が形成されており、このホルダの開口33は透明な結象側閉鎖部材35で塞いでいる。結象側閉鎖部材35はレンズ3の結像側面に対面して設けてある。
The
そして、図1に示すように、ホルダ17、結像側閉鎖部材35、ベース19、ヨーク11、レンズ支持体5及びレンズ3とで密閉した結像側ダンパ空間43を形成している。
As shown in FIG. 1, the image forming
尚、レンズ支持体5の外周面とヨーク内周側面との間の隙間S(図1参照)は、極めて小さく設定されており(例えば、従来の約70%以下)、受光側ダンパ空間39又は結像側ダンパ空間43のダンパ作用に影響を与えることがないようにしている。
The clearance S (see FIG. 1) between the outer peripheral surface of the
次に、本実施の形態にかかるレンズ駆動装置1の作用及び効果について説明する。駆動時にコイル体7に給電すると、マグネット9の磁界内にあるコイル体7に電磁力が生じてレンズ支持体5が光軸方向に移動する。そして、レンズ支持体5の駆動力と受光側スプリング13a及び結像側スプリング13bとの付勢力とが釣り合ったところでレンズ支持体5が停止する。
Next, functions and effects of the
レンズ支持体5が移動してから停止するまでにおいて、レンズ支持体5が瞬時に受光側に移動すると受光側ダンパ空間39の空気圧が高まると共に結像側ダンパ空間43の空気圧が減圧となって、レンズ支持体5の停止位置における振動を抑制しようとする。これにより、レンズ支持体5が移動を停止したときに慣性力による更なる移動を抑え、慣性力により移動した後、スプリング13a、13bの反力によりレンズ支持体5が結像側に移動すると受光側ダンパ空間39の空気圧が減圧になると共に結像側ダンパ空間43の空気圧が高まって、レンズ支持体5の移動を抑制する。
When the
このようにして、本実施の形態では、受光側ダンパ空間39と結像側ダンパ空間43との両方で、レンズ支持体5に作用する慣性力による移動を抑え
、レンズ支持体5が停止したときに生じるスプリング13a、13bの振動を短時間で収束することができる。
Thus, in the present embodiment, when the
一方、落下等によるレンズ支持体5に衝撃力が加わった場合において、レンズ支持体5が急激に移動しようとした場合には、受光側ダンパ空間39及び結像側ダンパ空間43がその空気圧によりレンズ支持体5の過剰な移動を抑制するので、スプリング13a、13bの過剰な変形を防止し、スプリング13a、13bの損傷が防止される。
On the other hand, when an impact force is applied to the
しかも、フレーム15の開口23に閉鎖部材25を設け、ホルダ17の開口33に透明な閉鎖部材35を設けるだけであるから、構成が簡易である。
In addition, since the closing
フレーム15の開口23に受光側閉鎖部材25を設けることにより、閉鎖部材25がレンズ3の保護フィルタを兼ね、レンズ3に埃等が付着するのを防止できる。
By providing the light-receiving
ホルダ17の開口33に結像側閉鎖部材35を設けることにより、閉鎖部材35が受光素子31を埃から保護する保護フィルタを兼ねることができる。
By providing the imaging
ここで、第1実施の形態にかかるレンズ駆動装置1におけるレンズ支持体5の移動後停止した時における振動収束時間を測定する実験を行ったので、従来例と比較して説明する。
Here, an experiment was conducted to measure the vibration convergence time when the
実験では実施例品と比較品との各々のコイルに同じ電圧と電流を印加し、レンズ支持体5が静止するまでの時間を測定したものである。測定はレーザ測長器を用い、レンズの重量は0.2gとした。その結果を図11に示す。図11の(a)が実施例品であり、(b)が比較例品である。
In the experiment, the same voltage and current were applied to the coils of the example product and the comparative product, and the time until the
この図11に示す結果から明らかなように、いずれの場合もレンズ支持体5は停止位置で振動するが、実施例品(a)では振動が収束するまでの時間tが0.07秒であったのに対して、従来品は0.8秒であった。即ち、本実験では、レンズ支持体を移動した後停止した時における振動の収束時間を従来よりも約10倍早めることができた。
As is apparent from the results shown in FIG. 11, the
以下に、図4〜図10を参照して本発明の他の実施の形態を説明するが、以下に説明する実施の形態において、上述した第1実施の形態と同一の作用効果を奏する部分には同一の符号を付することによりその部分の説明を省略し、以下の説明では第1実施の形態と主に異なる点について説明する。 Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 10. In the embodiments described below, the same effects as those of the above-described first embodiment are provided. The same reference numerals are given to omit the description thereof, and in the following description, differences from the first embodiment will be mainly described.
図4に第2実施の形態にかかるレンズ駆動装置1の縦断面図を示す。第2実施の形態は、第1実施の形態において、ヨーク11の受光側角部11aとフレーム15との間にはその全周に亘ってシール材(接着材)37で気密にし、ヨーク11の外周面とベース19との間にはその全周に亘ってシール材(接着材)38で気密し、ベース19とホルダ17との間もその全周に亘ってシール材(接着材)41で気密にした。この第2実施の形態では受光側ダンパ空間39と結像側ダンパ空間43との各々の気密性を高めたので、第1実施の形態よりも更に優れた効果を奏することができる。即ち、第1実施の形態よりもレンズ支持体の振動の収縮時間を短縮でき、落下等によるレンズ支持体5に外力が加わった場合におけるスプリング13a、13bの損傷を更に低減できる。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the
図5に第3実施の形態にかかるレンズ駆動装置1の縦断面図を示す。この第3実施の形態では、上述した第1実施の形態において、ホルダ17の開口33のみに閉鎖部材を設け、フレームの開口23には閉鎖部材を設けないで、結像側ダンパ空間43のみを形成したものである。また、ヨーク11の外周面とベース19との間にはその全周に亘ってシール材(接着材)38で気密し、ベース19とホルダ17との間をその全周に亘ってシール材(接着材)41で気密にしている。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the
この第3実施の形態では、受光側ダンパ空間39がないから、受光側ダンパ空間39との相乗効果を得ることはできないが、結像側ダンパ空間43のみによっても従来よりも、レンズ支持体5の移動時における振動の収束時間を早めることができ、且つ落下等の衝撃が加わった場合にもスプリング13a、13bの過剰な変形による損傷を防止できる。
In the third embodiment, since there is no light-receiving
図6及び図7に第4実施の形態にかかるレンズ駆動装置1を示す。図6は第4実施の形態にかかるレンズ駆動装置の縦断面図であり、図7は分解斜視図である。この第4実施の形態では、上述した第3実施の形態において、結像側スプリング13bに換えて、弾性変形可能な環状気密材(コーン部材)47を設けたものであり、外周側端をベース19に載置してあり、スペーサ21を介してヨーク11で押えてあり、環状気密材47は実質的にベース19とヨーク11との間に挟持されている。
6 and 7 show a
環状気密材47は、樹脂製又は紙製の面体であり、樹脂製の場合にはポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルイミド等を用いることができる。この環状気密材47は外周側端と内周側端との間でスプリングと同様な弾性変形をすることができると共にレンズ支持体5とベース19との間を気密に保持するものである。
The annular
この第4実施の形態によれば、環状気密材47によりレンズ支持体5とベース19との間を気密に保持するので、結像側ダンパ空間43の気密性が高めることができ、第3実施の形態よりも結像側ダンパ空間43による高いダンパ効果を得ることができる。
According to the fourth embodiment, the space between the
図8に第5実施の形態にかかるレンズ駆動装置1を示す。図8(a)は第5実施の形態にかかるレンズ駆動装置の縦断面図であり、(b)は環状気密材を抜き出して示す斜視図である。この第5実施の形態では、上述した第4実施の形態において、ベース19とホルダ17との間をシール材41でシールして、結像側ダンパ空間43の気密性を高めていると共に、環状気密材47に空気圧調整孔49を形成して、結像側ダンパ空間43内の空気圧を調整したものである。
FIG. 8 shows a
この第5実施の形態によれば、レンズ支持体5の移動の場合には、結像側ダンパ空間の空気圧を空気圧調整孔49から逃すので、レンズ支持体5の移動が抑制されるのを防止でき、レンズ支持体5がスムーズに移動できると共に、レンズ支持体5停止するときの振動や落下等の衝撃による急激な移動の場合には、結像側ダンパ空間43が有効に作用することができる。
According to the fifth embodiment, when the
尚、空気圧調整孔49の数や大きさは適宜必要に応じて設定する。
Note that the number and size of the air
図9に第6実施の形態にかかるレンズ駆動装置1を示す。図9は第6実施の形態にかかるカメラ装置の縦断面図である。この第6実施の形態では、上述した第1実施の形態にかかるレンズ駆動装置1において、フレーム15の開口に閉鎖部材25を設けないで、カメラの組付け部材51に組付けたものであり、組付け部材51はフレーム15の受光側面15aに密着して設けている。組付け部材51にはレンズ3の対向面に開口53が設けてあり、この開口53を透明な受光側閉鎖部材25で塞いで、受光側閉鎖部材25、組付け部材51、フレーム15、ヨーク11、レンズ支持体5及びレンズ3とで囲まれる空間に密閉した受光側ダンパ空間39を形成したものである。
FIG. 9 shows a
この第6実施の形態によれば、第1実施の形態と同様に受光側ダンパ空間39と結像側ダンパ空間43との2つのダンパ空間39、43がレンズ支持5に両側から作用するので、第1実施の形態と同様な作用効果を奏することができる。
According to the sixth embodiment, since the two
図10に第7実施の形態にかかるレンズ駆動装置1を示す。図10は第7実施の形態にかかるカメラ装置の縦断面図である。この第7実施の形態では、上述した第6実施の形態にかかるレンズ駆動装置1において、フレーム15と組付け部材51との間に弾性部材(ゴム材)を設けてフレーム15と組付け部材51との間の気密を図ったものである。
FIG. 10 shows a
この第7実施の形態によれば、第6実施の形態における受光側ダンパ空間39の気密性を高めることができるから、更に受光側ダンパ空間39のダンパ作用を高めることができる。
According to the seventh embodiment, since the airtightness of the light receiving
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
例えば、第4及び第5実施の形態において、スペーサ21はなくても良い。また、第4及び第5実施の形態において、更に結像側スプリング13bを設けるものであっても良い。
For example, in the fourth and fifth embodiments, the
第2実施の形態において、図12に示すように、フレーム15及びベース19に空気圧調整孔61を設けて、受光側ダンパ空間39及び結像側ダンパ空間43の空気圧を調整するものであってもよい。この空気圧調整孔61はフレーム15又はベース19のいずれかに設けるものであっても良いし、第2実施の形態に限らず、第1、第3、第4実施の形態や、第6及び第7実施の形態においても同様に空気調整孔61を設けてもよい。更に、第第5実施の形態において、環状気密材47に設けた空気圧調整孔49に換えて、或いは空気圧調整孔49と共にベース19に空気調整孔61を設けるものであってもよい。
In the second embodiment, as shown in FIG. 12, an air
1 レンズ駆動装置
2 筐体
3 レンズ
5 レンズ支持体
7 コイル体
9 マグネット
11 ヨーク
13a 受光側スプリング
13b 結像側スプリング
15 フレーム
17 ホルダ
19 ベース
25 受光側閉鎖部材
31 受光素子
35 結像側閉鎖部材
37、38、41 シール材
47 環状気密材
51 組付け部材
55 弾性部材
DESCRIPTION OF
Claims (2)
2. The lens driving device according to claim 1 , wherein a hole for adjusting an air pressure in the imaging side damper space is formed in the annular hermetic material.
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