[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP4884833B2 - Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same - Google Patents

Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same Download PDF

Info

Publication number
JP4884833B2
JP4884833B2 JP2006135522A JP2006135522A JP4884833B2 JP 4884833 B2 JP4884833 B2 JP 4884833B2 JP 2006135522 A JP2006135522 A JP 2006135522A JP 2006135522 A JP2006135522 A JP 2006135522A JP 4884833 B2 JP4884833 B2 JP 4884833B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dye
acid
curable composition
negative curable
containing negative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2006135522A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007219467A (en
Inventor
亨 藤森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2006135522A priority Critical patent/JP4884833B2/en
Priority to US11/653,917 priority patent/US8614037B2/en
Publication of JP2007219467A publication Critical patent/JP2007219467A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4884833B2 publication Critical patent/JP4884833B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを構成する着色画像の形成に好適な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに染料含有のカラーフィルタ及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a dye-containing negative curable composition suitable for forming a colored image constituting a color filter used in a liquid crystal display device or a solid-state imaging device, a dye-containing color filter, and a method for producing the same.

液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。   As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display element (LCD) or a solid-state imaging element (CCD, CMOS, etc.), a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.

このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。   Among these, the pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. It has the advantage of being stable to heat and the like. Further, since patterning is performed by a photolithography method, it has been widely used as a suitable method for manufacturing a color filter for a large-screen, high-definition color display with high positional accuracy.

顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布、乾燥させて塗膜を形成した後、この塗膜をパターン露光、現像することで着色された画素が形成され、この操作を所望の色相数に合わせて各色ごとに繰り返し行なうことによってカラーフィルタが得られる。このような顔料分散法として、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物を用いた例が記載されたものがある(例えば、特許文献1〜4参照)。   When producing a color filter by a pigment dispersion method, a radiation sensitive composition is applied on a glass substrate with a spin coater or a roll coater and dried to form a coating film, and then this coating film is subjected to pattern exposure and development. A colored filter is formed, and a color filter is obtained by repeating this operation for each color according to the desired number of hues. As such a pigment dispersion method, there is one in which an example using a negative photosensitive composition in which a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator are used in combination with an alkali-soluble resin is described (for example, Patent Documents 1 to 4). reference).

一方、近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。   On the other hand, in recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices. However, it is difficult to further improve the resolution with conventional pigment dispersion systems, and there are problems such as color unevenness caused by coarse particles of the pigment, so that it is used for applications that require fine patterns such as solid-state imaging devices. Was not suitable.

かかる問題に鑑み、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照)。
特開平2−181704号公報 特開平2−199403号公報 特開平5−273411号公報 特開平7−140654号公報 特開平6−75375号公報
In view of such a problem, a technique for using a dye instead of a pigment has been proposed (for example, see Patent Document 5).
JP-A-2-181704 JP-A-2-199403 Japanese Patent Laid-Open No. 5-273411 JP-A-7-140654 JP-A-6-75375

しかしながら、染料を用いた硬化性組成物は、染料の溶解性が悪かったり、例えば耐光性、耐熱性、塗布均一性など様々な性能において一般に顔料に比べて劣るという課題がある。
また、固体撮像素子用カラーフィルタの作製用途の場合には、1.0μm以下の膜厚が要求されるため、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、したがって基板との密着や硬化度が不充分となったり、フィルタをなす露光部で染料が抜けてしまうなど、パターン形成性が著しく低下してしまう傾向もある。
However, a curable composition using a dye has a problem that the solubility of the dye is poor, and in general, it is inferior to a pigment in various performances such as light resistance, heat resistance and coating uniformity.
In addition, in the case of the use for producing a color filter for a solid-state image sensor, a film thickness of 1.0 μm or less is required, and therefore a large amount of dye must be added to the curable composition, and therefore, There is also a tendency that the pattern forming property is remarkably deteriorated such that the adhesion and the degree of curing are insufficient, or the dye is removed at the exposed portion forming the filter.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、着色剤に染料を用いた構成とするのに好適であって、高感度で、断面矩形の微細パターンの形成が可能である染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに高い生産性(高いコストパフォーマンス)にて作製され、パターンが鮮鋭(特に断面形状が良好な矩形)で解像度の高いカラーフィルタ(特に固体撮像素子用カラーフィルタ)及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above, and is suitable for a constitution using a dye as a colorant, and has high sensitivity and can form a fine pattern having a rectangular cross section with high sensitivity. Composition, a color filter (especially a color filter for a solid-state image sensor) having a sharp pattern (especially a rectangle with a good cross-sectional shape) and a high resolution, and a method for producing the same It aims at providing and makes it a subject to achieve this objective.

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (A)染料、(B)オキシム系光重合開始剤、及び(C)ラジカル重合性モノマーとして、酸価が25〜200mgKOH/gであって粘度が12000〜100000mPa・s(25℃)の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物を少なくとも含有する染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<2> (D)バインダー樹脂を更に含有することを特徴とする前記<1>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<3> 前記(A)染料が、吸収特性の異なる少なくとも2種の染料の混合物からなることを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<4> 前記酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物が、水酸基含有5官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸性基を導入した化合物である前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<5> 前記酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物が、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのOH部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたものである前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<6> 前記染料の組成物全固形分に対する含有量が38質量%以上である前記<1>〜<5>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物である。
<7> 前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルタである。
<8> 前記<1>〜<6>のいずれか1つに記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> As an (A) dye, (B) an oxime photopolymerization initiator, and (C) a radical polymerizable monomer, the acid value is 25 to 200 mgKOH / g and the viscosity is 12,000 to 100,000 mPa · s (25 ° C. The dye-containing negative curable composition containing at least an acid group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound.
<2> The dye-containing negative curable composition according to <1>, further comprising (D) a binder resin.
<3> The dye-containing negative curable composition according to <1> or <2>, wherein the (A) dye is a mixture of at least two dyes having different absorption characteristics.
<4> Any one of the above <1> to <3>, wherein the acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound is a compound obtained by reacting a hydroxyl group of a hydroxyl group-containing pentafunctional acrylic compound to introduce the acidic group. The dye-containing negative curable composition described in 1.
<5> In any one of the above items <1> to <4>, wherein the acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound is obtained by replacing the OH moiety of dipentaerythritol pentaacrylate with a carboxyl group-containing substituent. It is a dye-containing negative curable composition as described.
<6> The dye-containing negative curable composition according to any one of <1> to <5>, wherein the content of the dye relative to the total solid content of the dye is 38% by mass or more.
<7> A color filter formed using the dye-containing negative curable composition according to any one of <1> to <6>.
<8> After applying the dye-containing negative curable composition according to any one of the above <1> to <6> on a support, exposing to light through a mask, and developing to form a pattern This is a method for manufacturing a color filter.

本発明によれば、着色剤に染料を用いた構成とするのに好適であって、高感度で、断面矩形の微細パターンの形成が可能である染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、高い生産性(高いコストパフォーマンス)にて作製され、パターンが鮮鋭(特に断面形状が良好な矩形)で解像度の高いカラーフィルタ(特に固体撮像素子用カラーフィルタ)及びその製造方法を提供することができる。
特に、ステッパー露光によりパターン形成した際に効果的である。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it is suitable to set it as the structure which used dye for the coloring agent, and is high sensitivity, and the dye containing negative curable composition in which the formation of a fine pattern with a rectangular cross section is possible, and high It is possible to provide a color filter (especially a color filter for a solid-state imaging device) which is manufactured with high productivity (high cost performance), has a sharp pattern (especially, a rectangle having a good cross-sectional shape), and has a high resolution, and a manufacturing method thereof.
This is particularly effective when a pattern is formed by stepper exposure.

以下、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに該染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて構成されるカラーフィルタ及びその製造方法について詳述する。   Hereinafter, the dye-containing negative curable composition of the present invention, a color filter constituted using the dye-containing negative curable composition, and a method for producing the same will be described in detail.

《染料含有ネガ型硬化性組成物》
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、(A)染料、(B)オキシム系光重合開始剤、及び(C)ラジカル重合性モノマーを少なくとも含み、前記(C)ラジカル重合性モノマーとして、酸価が25〜200mgKOH/gであって粘度が12000〜100000mPa・s(25℃)の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物を用いた構成とする。また、一般には(E)有機溶剤を用いて構成することができ、好ましくは更に(D)バインダー樹脂を含有する。さらに必要に応じて、架橋剤等の他の成分を含んでいてもよい。
<< Dye-containing negative curable composition >>
The dye-containing negative curable composition of the present invention contains at least (A) a dye, (B) an oxime-based photopolymerization initiator, and (C) a radical polymerizable monomer. An acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound having an acid value of 25 to 200 mgKOH / g and a viscosity of 12,000 to 100,000 mPa · s (25 ° C.) is used. Moreover, it can generally comprise using (E) organic solvent, Preferably (D) Binder resin is contained further. Furthermore, other components such as a crosslinking agent may be included as necessary.

本発明においては、硬化性の染料系組成物のラジカル重合性モノマーとして特に酸価が25mgKOH/g以上の酸性基を含む多官能(メタ)アクリル化合物を選択することで、より高い感度が得られ、矩形形状の良好な微細パターンの形成に有効である。   In the present invention, a higher sensitivity can be obtained by selecting a polyfunctional (meth) acrylic compound containing an acidic group having an acid value of 25 mgKOH / g or more as the radical polymerizable monomer of the curable dye-based composition. It is effective for forming a fine rectangular pattern.

(A)染料
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、染料の少なくとも一種を含有する。染料としては、特に制限なく使用することができ、従来カラーフィルタ用途として公知の染料などから選択することができる。染料のうち、有機溶剤に溶解性を有する有機溶剤可溶性染料が好ましい。
(A) Dye The dye-containing negative curable composition of the present invention contains at least one dye. The dye can be used without any particular limitation, and can be selected from conventionally known dyes for use in color filters. Of the dyes, organic solvent-soluble dyes that are soluble in organic solvents are preferred.

例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。   For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 And dyes described in JP-A-6-194828.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、アリールアゾ、ピラゾロトリアゾールアゾ、ピリドンアゾ等のアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。   Chemical structures include pyrazole azo, anilino azo, aryl azo, pyrazolo triazole azo, pyridone azo, etc., triphenylmethane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolo. Dyes such as pyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, and indigo can be used. Particularly preferred are pyrazole azo dyes, anilinoazo dyes, pyrazolotriazole azo dyes, pyridone azo dyes, anthraquinone dyes and anthrapyridone dyes.

また、水又はアルカリで現像を行なうレジスト系に構成する場合には、現像によりバインダー及び/又は染料を完全に除去する観点から、酸性染料及び/又はその誘導体が好適である。そのほか、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又はこれらの誘導体等も有用に使用することができる。
以下、上記の酸性染料及びその誘導体について説明する。
In the case where the resist system is developed with water or alkali, acidic dyes and / or derivatives thereof are preferable from the viewpoint of completely removing the binder and / or dye by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be used effectively.
Hereinafter, the acidic dye and its derivative will be described.

〜酸性染料及びその誘導体〜
酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、後述する有機溶剤や現像処理時に用いる現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
-Acid dyes and their derivatives-
The acidic dye is not particularly limited as long as it is a dye having an acidic group such as a sulfonic acid, a carboxylic acid, or a phenolic hydroxyl group, but is soluble in an organic solvent or a developing solution used at the time of development processing, and forms a salt with a basic compound. It is selected in consideration of all required performances such as properties, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance and the like.

以下、酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
Specific examples of acid dyes are given below. However, the present invention is not limited to these. For example,
acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
acid chroma violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;

acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99;111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99; 111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;

Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
、及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

上記の酸性染料の中でも、
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63,74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
acid green 25;
などの染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
Among the above acid dyes,
acid black 24;
acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
acid orange 8, 51, 56, 74, 63, 74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
acid green 25;
And the like and derivatives of these dyes are preferred.

また、上記以外の、
アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44,38;C.I.Solvent Orange45;Rhodamine B, Rhodamine 110、3−[(5−chloro−2−phenoxyphenyl)hydrazono]−3,4−dihydro−4−oxo−5−[(phenylsulfonyl)amino]−2,7−Naphthalenedisulfonic acid等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好適に使用することができる。
In addition to the above,
Azo, xanthene, and phthalocyanine acid dyes are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38; I. Solvent Orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110, 3-[(5-chloro-2-phenoxyphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5-[(phenylsulfonyl) amino] -2,7-naphthyl, etc. These acid dyes and derivatives of these dyes can also be suitably used.

酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等のアミド化合物などを使用することができ、染料含有ネガ型硬化性組成物を溶液状に調製したときに溶解可能なものであれば特に限定はなく、後述の有機溶剤や現像処理に用いる現像液に対する溶解性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the derivative of the acidic dye, an inorganic salt of an acidic dye having an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acidic dye and a nitrogen-containing compound, an amide compound such as a sulfonamide of an acidic dye, or the like may be used. The dye-containing negative curable composition is not particularly limited as long as it can be dissolved when it is prepared in solution, and is soluble in the organic solvent and the developer used in the development process, absorbance, and composition. It is selected in consideration of all necessary performances such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like.

前記「酸性染料と含窒素化合物との塩」について説明する。酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性及び耐光性の改良に効果的な場合がある。
酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物は、塩又はアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合、含窒素化合物としては、できるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。
The “salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound” will be described. The method of forming a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent) and improving heat resistance and light resistance.
Nitrogen-containing compounds that form salts with acid dyes, and nitrogen-containing compounds that form amide bonds with acid dyes are soluble in salt or amide compounds in organic solvents and developers, salt-forming properties, dye absorbance / color value, It is selected in consideration of all of the interaction with other components in the composition, heat resistance as a colorant, light resistance, and the like. When selecting only from the viewpoint of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound is preferably as low as possible in molecular weight, more preferably a molecular weight of 300 or less, more preferably a molecular weight of 280 or less, and a molecular weight of 250 or less. Particularly preferred.

「酸性染料と含窒素化合物との塩」における、含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、nと略記する。)について説明する。nは、酸性染料分子と対イオンをなす含窒素化合物(アミン化合物)とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることがさらに好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。   The molar ratio of nitrogen-containing compound / acid dye (hereinafter abbreviated as “n”) in “salt of acid dye and nitrogen-containing compound” will be described. n is a value that determines the molar ratio between the acidic dye molecule and the nitrogen-containing compound (amine compound) forming a counter ion, and can be freely selected according to the salt forming conditions of the acidic dye-amine compound. Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selecting from the standpoint of absorbance only, n is preferably a value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a value between 0 <n ≦ 4, and 0 <n. It is particularly preferable to take a numerical value between ≦ 3.5.

上記の酸性染料は、その構造上酸性基を導入したことにより酸性染料となっていることから、その置換基を変更することにより逆に非酸性染料とすることができる。すなわち、酸性染料はアルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともあり、非酸性染料を好適に使用する場合もある。非酸性染料としては、上記の酸性染料の酸性基を有しないものなどが好適に使用可能である。   Since the above acidic dye is an acidic dye due to the introduction of an acidic group in its structure, it can be converted to a non-acidic dye by changing its substituent. In other words, the acid dye may suitably act during alkali development, but on the other hand, it may be over-developed, and a non-acid dye may be preferably used. As the non-acidic dye, those having no acidic group of the above acidic dye can be suitably used.

上記した染料は、補色系であるイエロー、マゼンタ、シアンを構成するときにはそれぞれ単色の染料を用いることができるが、原色系であるレッド、グリーン、ブルーを構成するときには、一般に2種類以上の染料を組合わせて用いることができる。本発明においては、吸収特性の異なる少なくとも2種の染料を組合わせた混合系(混合物)として好適に用いることができ、原色系の色相を好適に構成することができる。   The above-mentioned dyes can be used as monochromatic dyes when constituting complementary colors such as yellow, magenta, and cyan, respectively, but when constituting primary colors such as red, green, and blue, generally two or more kinds of dyes are used. It can be used in combination. In the present invention, it can be suitably used as a mixed system (mixture) in which at least two kinds of dyes having different absorption characteristics are combined, and a primary color hue can be suitably configured.

染料の染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量としては、染料により異なるが、該組成物の全固形成分に対して0.5〜80質量%が好ましく、10〜60質量%がより好ましい。また、2種以上の染料を混合して調色する場合には、最も少量添加する染料の量としては、全染料量を100%としたときの少なくとも10%以上であるのが好ましい。   The content of the dye in the dye-containing negative curable composition varies depending on the dye, but is preferably 0.5 to 80% by mass, more preferably 10 to 60% by mass with respect to the total solid components of the composition. . When mixing two or more kinds of dyes, the amount of the dye to be added in the smallest amount is preferably at least 10% when the total dye amount is 100%.

(B)光重合開始剤
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、オキシム系の光重合開始剤の少なくとも一種を含有する。光重合開始剤は、染料含有ネガ型硬化性組成物をネガ型に構成する場合に、後述のラジカル重合性モノマーと共に含有して重合硬化させ得るものである。
(B) Photopolymerization initiator The dye-containing negative curable composition of the present invention contains at least one oxime-based photopolymerization initiator. When the dye-containing negative curable composition is formed into a negative type, the photopolymerization initiator can be contained and polymerized and cured together with a radical polymerizable monomer described later.

光重合開始剤としては、後述のラジカル重合性モノマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。   The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize a radical polymerizable monomer described later, but is preferably selected from the viewpoints of properties, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost, and the like.

光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物及びハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from a halomethyl oxadiazole compound and a halomethyl-s-triazine compound, a 3-aryl-substituted coumarin compound, a lophine dimer, a benzophenone compound, and an acetophenone compound. And derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complex and salts thereof, and oxime compounds.

活性ハロゲン化合物であるハロメチルオキサジアゾール化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、等が挙げられる。   Examples of halomethyloxadiazole compounds that are active halogen compounds include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloromethyl- 5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) ) -1,3,4-oxadiazole.

また、活性ハロゲン化合物であるハロメチル−s−トリアジン系化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物及び4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。   Examples of the halomethyl-s-triazine compound which is an active halogen compound include vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in JP-B-59-1281 and 2- (2) described in JP-A-53-133428. Naphth-1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compound and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compound.

具体的には、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、   Specifically, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3,4-methylenedioxyphenyl) -1 , 3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1-p -Dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6- Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1-yl)- , 6-Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -Naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,

2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、 2- [4- (2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5- Methyl-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2 -(5-Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl -S-triazine, 2- 6-Ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s -Triazine,

4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonyl) Methyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, -Di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ,

4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [mN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s- Triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) Minophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine,

4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N- Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p -N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2, 6-di (trick Romechiru) -s- triazine,

4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [m-Fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylamino) Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 -(M-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloro) Methyl) -s-triazine,

4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 4- (o-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro -PN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) ) -S-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN-chloro) Ethylamino) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine.

その他、みどり化学社製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、   In addition, TAZ series (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, TAZ-113, TAZ-123) manufactured by Midori Chemical, T manufactured by PANCHIM Series (for example, T-OMS, T-BMP, TR, TB), Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Ciba Specialty Chemicals) Irgacure 819, Irgacure 261), Darocur series (eg Darocur 1173), 4,4'-bis (diethylamino) -benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2- Phenyl Acetophenone,

2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5 -Diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2, 4-Dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether, and the like are also useful.

前記オキシム系化合物としては、特開2000−80068号公報、WO−02/100903A1、特開2001−233842号公報などに記載のオキシム系開始剤が知られている。具体的な例としては、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘキサンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(エチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(ブチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、1−(O-アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−メチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−プロピル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メエチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−ブチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、などが挙げられる。但し、これらに限定されない。   As the oxime compound, oxime initiators described in JP-A No. 2000-80068, WO-02 / 100903A1, and JP-A No. 2001-233842 are known. Specific examples include 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio). Phenyl] -1,2-pentanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-hexanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4 -(Phenylthio) phenyl] -1,2-pentanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 2- (O-benzoyloxime)- 1- [4- (methylphenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (ethylphenylthio) phenyl] -1, -Butanedione, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (butylphenylthio) phenyl] -1,2-butanedione, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- ( 2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-methyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone 1- (O-acetyloxime) -1- [9-propyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9- Ethyl-6- (2-methylethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone, 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-butylbenzoyl) 9H- carbazol-3-yl] ethanone, and the like. However, it is not limited to these.

これら光重合開始剤は、単独で使用しても2種以上混合して使用してもよい。
中でも、感度の点で、少なくとも1種はトリアジン系の光重合開始剤もしくはオキシム系の光重合開始剤が好ましく、本発明においてはオキシム系の光重合開始剤が用いられる
前記同様の点から、特に、(好ましくはチバ・スペシャルティ・ケイミカルズ社製の)2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、(好ましくはチバ・スペシャルティ・ケイミカルズ社製の)1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン及びこれらの組合せを用いた構成が最も好ましい。
These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.
Among these, from the viewpoint of sensitivity, at least one is preferably a triazine photopolymerization initiator or an oxime photopolymerization initiator. In the present invention, an oxime photopolymerization initiator is used .
From the same point as above, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione (preferably manufactured by Ciba Specialty Chemicals) (preferably 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone (commercially available from Ciba Specialty Chemicals) and combinations thereof were used. The configuration is most preferred.

前記光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物等、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
A sensitizer and a light stabilizer can be used in combination with the photopolymerization initiator.
Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, and 2-ethyl-9-anthrone. 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2- Methoxyxanthone, 2-ethoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzylacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- (dimethylamino) ) Phenyl-p-methylstyryl ketone Examples include benzophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, benzothiazole compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, tinuvin 1130, 400, and the like. It is done.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、上記の光重合開始剤のほかに他の公知の開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に記載の、α−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
In addition to the above photopolymerization initiator, other known initiators can be used in the dye-containing negative curable composition of the present invention.
Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound described in US Pat. No. 2,367,660, the α described in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670 A carbonyl compound, an acyloin ether described in US Pat. No. 2,448,828, an aromatic acyloin compound substituted with an α-hydrocarbon described in US Pat. No. 2,722,512, Polynuclear quinone compounds described in US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758, triallylimidazole dimer / p-aminophenyl ketone described in US Pat. No. 3,549,367 Benzothiazole compounds / trihalomethyl-s-triazine compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, and the like. .

光重合開始剤(及び公知の開始剤)の染料含有ネガ型硬化性組成物中における総含有量としては、後述のラジカル重合性モノマー固形分(質量)に対して、0.01〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、重合硬化を良好に行なわせることができ、重合率は大きくなるが分子量が低くなって膜強度が弱くなることもない。   The total content of the photopolymerization initiator (and the known initiator) in the dye-containing negative curable composition is 0.01 to 50% by mass with respect to the solid content (mass) of the radical polymerizable monomer described later. Is preferable, 1-30 mass% is more preferable, and 1-20 mass% is especially preferable. When the content is within the above range, polymerization and curing can be performed satisfactorily, and the polymerization rate increases, but the molecular weight does not decrease and the film strength does not decrease.

(C)ラジカル重合性モノマー
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、ラジカル重合性モノマーとして、酸価が25〜200mgKOH/gであって粘度が12000〜100000mPa・s(25℃)の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物の少なくとも一種を含有することを特徴とするものである。この重合性モノマーを選択的に用いるので、高感度に、微細ながら良好な矩形状のパターンプロファイルの画素パターンを得ることができる。
(C) Radical polymerizable monomer The dye-containing negative curable composition of the present invention has an acid value of 25 to 200 mgKOH / g and a viscosity of 12,000 to 100,000 mPa · s (25 ° C.) as a radical polymerizable monomer. It contains at least one kind of acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound. Since this polymerizable monomer is selectively used, it is possible to obtain a pixel pattern having a fine and fine rectangular pattern profile with high sensitivity.

本発明に係るラジカル重合性モノマーは、常圧下で100℃以上の沸点を有し、酸価が25〜200mgKOH/gの酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物である。 The radical polymerizable monomer according to the present invention is an acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure and an acid value of 25 to 200 mgKOH / g .

酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物の酸性基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基などが好ましく、さらに好ましくは、カルボキシル基、スルホ基であり、特に好ましくはカルボキシル基である。   As an acidic group of an acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound, a carboxyl group, a sulfo group, a phosphoric acid group and the like are preferable, a carboxyl group and a sulfo group are more preferable, and a carboxyl group is particularly preferable.

前記酸価は25〜200mgKOH/gとする。酸価が25mgKOH/g以上であると、未露光部溶解性の点で効果的である。中でも、酸価は、25mgKOH/g〜200mgKOH/gが好ましく、より好ましくは26mgKOH/g〜100mgKOH/gであり、さらに好ましくは、50mgKOH/g〜100mgKOH/gである。 The acid value is 25 to 200 mgKOH / g . An acid value of 25 mgKOH / g or more is effective in terms of solubility in unexposed areas. Among them, the acid value is preferably 25 mgKOH / g to 200 mgKOH / g, more preferably 26 mgKOH / g to 100 mgKOH / g, and still more preferably 50 mgKOH / g to 100 mgKOH / g.

酸価は、常法により測定される。例えば、ビュレットでの滴定測定や、ポテンシオメトリック自動測定機AT−310(京都電子(株)製)を用いて測定されるものである。   The acid value is measured by a conventional method. For example, it is measured using a titration measurement with a burette or a potentiometric automatic measuring machine AT-310 (manufactured by Kyoto Electronics Co., Ltd.).

上記の「常圧下で100℃以上の沸点を有し、酸価が25mgKOH/g以上の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物」としては、特に限定されないが、例えば、水酸基含有5官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸性基(好ましくはカルボキシル基又はスルホ基、特にカルボキシル基)を導入した化合物(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのOH部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたもの等)などが挙げられる。   The above-mentioned “acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure and having an acid value of 25 mgKOH / g or more” is not particularly limited. A compound in which the hydroxyl group is reacted to introduce the acidic group (preferably a carboxyl group or a sulfo group, particularly a carboxyl group) (such as those obtained by replacing the OH site of dipentaerythritol pentaacrylate with a carboxyl group-containing substituent). It is done.

酸価が25〜200mgKOH/gの酸性基を含む多官能(メタ)アクリル化合物は、さらに粘度が高いものが好ましく、具体的には、粘度(25℃)が11,500mPa・s以上であるものが好ましい。粘度が11,500mPa・s以上であると、レジスト液の粘度を調整するのに有効である。
中でも、粘度は11,500〜100,000mPa・s(25℃)が好ましく、より好ましくは12,000〜100,000mPa・s(25℃)であり、さらに好ましくは20,000〜100,000mPa・s(25℃)である。
The polyfunctional (meth) acrylic compound containing an acidic group with an acid value of 25 to 200 mgKOH / g is preferably higher in viscosity, and specifically has a viscosity (25 ° C.) of 11,500 mPa · s or more. Those are preferred. When the viscosity is 11,500 mPa · s or more, it is effective for adjusting the viscosity of the resist solution.
Among them, the viscosity is preferably 11,500 to 100,000 mPa · s (25 ° C.), more preferably 12,000 to 100,000 mPa · s (25 ° C.), and further preferably 20,000 to 100,000 mPa · s. s (25 ° C.).

粘度は、硬化性組成物を25℃に調温した状態で常法により測定される。例えば、回転式粘度計(例えば東機産業社製)、振動式粘度計(例えばSV−10(AND社製))を用いて測定されるものである。   A viscosity is measured by a conventional method in the state which adjusted the temperature of the curable composition to 25 degreeC. For example, it is measured using a rotary viscometer (for example, manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) and a vibration type viscometer (for example, SV-10 (manufactured by AND Corporation)).

上記のうち、好ましいラジカル重合性モノマーの例として、東亜合成化学(株)製のTO−2359、TO−2360、TO−2348、又はTO−2349が好適に用いられる。   Of the above, TO-2359, TO-2360, TO-2348, or TO-2349 manufactured by Toa Synthetic Chemical Co., Ltd. is preferably used as an example of a preferable radical polymerizable monomer.

上記のうち、高感度に、微細ながら良好な矩形状のパターンプロファイルの画素パターンを得る点で、オキシム系の光重合開始剤と「水酸基含有5官能アクリル化合物の水酸基を反応させて酸性基(好ましくはカルボキシル基又はスルホ基、特にカルボキシル基)を導入した化合物」とを組み合わせた組成が好ましく、特に、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン又は1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン(いずれもチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)あるいはこれらの両方と、東亜合成化学(株)製のTO−2359、TO−2360、TO−2348、又はTO−2349あるいはこれらを組み合わせた組成が好ましい。   Among the above, in terms of obtaining a pixel pattern having a fine but good rectangular pattern profile with high sensitivity, an oxime-based photopolymerization initiator is reacted with a hydroxyl group of a hydroxyl group-containing pentafunctional acrylic compound (preferably Are preferably combined with a compound in which a carboxyl group or a sulfo group, particularly a carboxyl group) is introduced, and in particular, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2- Octanedione or 1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone (both manufactured by Ciba Specialty Chemicals) or these And TO-2359, TO-2360, TO-2348, or TO-2349 manufactured by Toa Synthetic Chemical Co., Ltd. Preferably the composition is a combination of these.

ラジカル重合性モノマーの染料含有ネガ型硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の固形分に対して1〜60質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、未露光部の溶出性を良好に保ちつつ、良好な硬化性を確保することができる。   The content of the radical polymerizable monomer in the dye-containing negative curable composition is preferably 1 to 60% by mass and more preferably 10 to 50% by mass with respect to the solid content of the composition. When the content is within the above range, good curability can be ensured while keeping the elution of the unexposed portion good.

(D)バインダー樹脂
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、必要に応じてバインダー樹脂の少なくとも一種を含有することができる。バインダー樹脂は、有機溶剤可溶であれば公知の樹脂成分から適宜選択することができ、有機高分子重合体が好適に用いられる。中でも、アルカリ可溶性バインダーが好適であり、アルカリ可溶性バインダーは、水可溶性又はアルカリ可溶性を有するものであれば、特に限定はなく、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
(D) Binder resin The dye-containing negative curable composition of the present invention can contain at least one binder resin as required. The binder resin can be appropriately selected from known resin components as long as it is soluble in an organic solvent, and an organic polymer is suitably used. Among these, an alkali-soluble binder is suitable, and the alkali-soluble binder is not particularly limited as long as it is water-soluble or alkali-soluble, and is preferably selected from the viewpoints of heat resistance, developability, availability, and the like.

前記アルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、特に、側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。   The alkali-soluble binder is preferably a linear organic polymer, soluble in an organic solvent, and developable with a weak alkaline aqueous solution. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54-25957. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, as described in JP-A-59-53836 and JP-A-59-71048. Examples thereof include a polymer, a maleic acid copolymer, and a partially esterified maleic acid copolymer. In particular, an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid in the side chain is useful.

上記のほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドン、ポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール等も有用である。   In addition to the above, an acid anhydride added to a polymer having a hydroxyl group, a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, Polyvinyl alcohol is also useful.

また、親水性基を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級又は3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。   In addition, a monomer having a hydrophilic group may be copolymerized, and examples thereof include alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and N-methylolacrylamide. Secondary or tertiary alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) Examples include acrylate, branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like.

上記以外に、親水性基を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、燐酸部位、燐酸エステル部位、4級アンモニウム塩の部位、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸又はその塩の部位、モルホリノエチル基などを含むモノマー等も有用である。   In addition to the above, as a monomer having a hydrophilic group, a tetrahydrofurfuryl group, a phosphoric acid site, a phosphate ester site, a quaternary ammonium salt site, an ethyleneoxy chain, a propyleneoxy chain, a sulfonic acid or its salt site, a morpholinoethyl group Monomers containing these are also useful.

また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有するポリマー等も有用である。前記重合性基を含有するポリマーの例としては、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。また、硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテル等も有用である。   In order to improve the crosslinking efficiency, a polymerizable group may be included in the side chain, and a polymer containing an allyl group, a (meth) acryl group, an allyloxyalkyl group or the like in the side chain is also useful. Examples of the polymer containing a polymerizable group include KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), Cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like. In addition, in order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

上記の各種アルカリ可溶性バインダーのうち、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。   Of the various alkali-soluble binders described above, from the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable, and developability control is also possible. From the above viewpoint, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable.

前記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、及びKSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好ましい。   Examples of the acrylic resin include a copolymer composed of monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and the like, and KS resist-106 (Osaka Organic Chemical). Kogyo Co., Ltd.) and Cyclomer P series (Daicel Chemical Industries, Ltd.) are preferred.

前記アルカリ可溶性バインダーは、質量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000〜1×105の重合体が更に好ましく、5000〜5×104の重合体が特に好ましい。 The alkali-soluble binder is preferably a polymer having a mass average molecular weight (polystyrene conversion value measured by GPC method) of 1000 to 2 × 10 5 , more preferably 2000 to 1 × 10 5 , and 5000 to 5 ×. 10 4 polymers are particularly preferred.

バインダー樹脂は、本発明では必ずしも必須の成分ではないが、膜面状を改質することを目的として添加する場合がある。その場合の添加量は、染料含有ネガ型硬化性組成物の固形分に対し、1〜40質量%であることが好ましく、1〜30質量%であることがより好ましい。バインダー樹脂を前記範囲内で含有すると、塗布膜面均一性を効果的に向上させることができ、露光部の溶出抑止の点でも有効である。なお、バインダー樹脂の量が多すぎると、露光部の溶出抑制性が著しく劣化する場合がある。   The binder resin is not necessarily an essential component in the present invention, but may be added for the purpose of modifying the film surface state. In this case, the addition amount is preferably 1 to 40% by mass and more preferably 1 to 30% by mass with respect to the solid content of the dye-containing negative curable composition. When the binder resin is contained within the above range, the uniformity of the coating film surface can be effectively improved, and it is also effective in suppressing the elution of the exposed portion. In addition, when there is too much quantity of binder resin, the elution suppression property of an exposure part may deteriorate remarkably.

(E)有機溶剤
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の調製の際には、一般に有機溶剤の少なくとも一種を用いることができる。用いられるそれぞれの有機溶剤は、各成分の溶解性や染料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
(E) Organic solvent In preparing the dye-containing negative curable composition of the present invention, generally at least one organic solvent can be used. Each organic solvent to be used is not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component and the coating property of the dye-containing negative curable composition, but particularly the solubility, coating property, and safety of the dye and binder. Is preferably selected in consideration of

有機溶剤の具体例としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;   Specific examples of the organic solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, and alkyl esters. , Methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, etc .; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, such as methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Acid ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy- 2-methylpropio Methyl acid, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl, etc; methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等; Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。 Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone are preferred; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are preferred.

上記の成分を用いて構成される本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、高感度で良好な矩形パターンが得られると共に、さらに高透過率、広い現像ラチチュードにも優れる。   The dye-containing negative curable composition of the present invention constituted by using the above components can provide a high-sensitivity and good rectangular pattern, and is also excellent in high transmittance and wide development latitude.

(F)他の成分
〜熱重合防止剤〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2′−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
(F) Other components-thermal polymerization inhibitor-
In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the dye-containing negative curable composition of the present invention. For example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2 ' -Methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful.

〜架橋剤〜
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得るようにすることも可能である。この場合には、以下に示す架橋剤の少なくとも一種を用いて構成することができる。
前記架橋剤としては、架橋反応によって膜硬化を行なえるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グルコールウリル化合物、又はウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物、又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも特に、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
~ Crosslinking agent ~
In the present invention, it is also possible to obtain a film that is further cured by using a cross-linking agent. In this case, it can comprise using at least 1 type of the crosslinking agent shown below.
The crosslinking agent is not particularly limited as long as the film can be cured by a crosslinking reaction. For example, at least selected from (a) an epoxy resin, (b) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. A phenol compound substituted with at least one group selected from a melamine compound, a guanamine compound, a glycoluril compound, or a urea compound substituted with one group, (c) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group , A naphthol compound, or a hydroxyanthracene compound. Of these, polyfunctional epoxy resins are particularly preferred.

〜その他の各種添加物〜
本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
~ Other various additives ~
In the dye-containing negative curable composition of the present invention, various additives such as a filler, a polymer compound other than the above, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, An anti-aggregation agent or the like can be blended.

前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of the various additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; nonionic, cationic And anionic surfactants: vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ) Ethyltrimetoki Adhesion promoters such as silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl- 6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol and other antioxidants; 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. And an anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate.

また、染料含有ネガ型硬化性組成物のアルカリ溶解性を促進し、現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
Further, when the alkali solubility of the dye-containing negative curable composition is promoted and the developability is further improved, an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less, is added to the composition. Additions can be made.
Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の露光には、プロキシミティ方式、ミラープロジェクション方式、およびステッパー方式のいずれの方式も適用可能であるが、特にステッパー方式(縮小投影露光機を用いた縮小投影露光方式)で露光を行なうのが好ましい。このステッパー方式は、露光量を段階的に変動しながら露光を行なうことによってパターンを形成するものであり、ステッパー露光を行なった際に特に本発明の効果の1つであるパターンの矩形性をより良好にすることができる。ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、i線ステッパー(商品名:FPA−3000i5+、キャノン(株)製)等を用いることができる。   For the exposure of the dye-containing negative curable composition of the present invention, any of a proximity method, a mirror projection method, and a stepper method can be applied, and in particular, a stepper method (reduction using a reduction projection exposure machine). It is preferable to perform exposure by a projection exposure method. In this stepper method, a pattern is formed by performing exposure while varying the exposure amount in stages, and the rectangularity of the pattern, which is one of the effects of the present invention, is particularly improved when performing stepper exposure. Can be good. As an exposure apparatus used for stepper exposure, for example, an i-line stepper (trade name: FPA-3000i5 +, manufactured by Canon Inc.) can be used.

本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物は、液晶表示装置(LCD)や固体撮像素子(例えばCCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷用インキ、インクジェット用インキ、及び塗料などの作製用途として、好適に用いることができる。   The dye-containing negative curable composition of the present invention is used for forming a colored pixel such as a color filter used in a liquid crystal display (LCD), a solid-state imaging device (for example, CCD, CMOS, etc.), a printing ink, It can be suitably used as a production application for ink-jet inks and paints.

《カラーフィルタ及びその製造方法》
次に、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物が用いられる。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いることで、現像性に優れると共に感度よく良好な高度の硬度が得られるので、形状良好で高解像度の微細なパターンで構成されたカラーフィルタを簡易に作製することができる。
<< Color filter and manufacturing method thereof >>
Next, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method.
In the method for producing a color filter of the present invention, the above-described dye-containing negative curable composition of the present invention is used. By using the dye-containing negative curable composition of the present invention, it is possible to obtain a high degree of hardness with excellent developability and sensitivity, so that a color filter composed of a fine pattern with a good shape and high resolution can be easily obtained. Can be produced.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を設けて構成したものである。具体的には、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することでネガ型の着色パターンを形成することによって好適に作製することができる(画像形成工程)。また、必要により、形成された着色パターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。   The method for producing a color filter of the present invention comprises a step of applying the dye-containing negative curable composition of the present invention on a support, exposing through a mask, and developing to form a pattern. . Specifically, the radiation-sensitive composition layer is formed by coating the dye-containing negative curable composition of the present invention on a support by a coating method such as spin coating, cast coating, roll coating, and the like. Is exposed to light through a predetermined mask pattern and developed with a developing solution to form a negative colored pattern (image forming step). Moreover, the hardening process which hardens | cures the formed coloring pattern by heating and / or exposure as needed may be included.

カラーフィルタの作製においては、前記画像形成工程(及び必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。この際に使用される光若しくは放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。   In the production of a color filter, a color filter having a desired hue can be produced by repeating the image forming step (and curing step if necessary) by the desired number of hues. As light or radiation used at this time, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line are particularly preferably used.

前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
Examples of the support include soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements and the like. Examples thereof include a silicon substrate and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These substrates may have black stripes that separate pixels.
Further, if necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface.

前記現像液としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物(未硬化部)を溶解する一方、照射された硬化部を溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製する際に使用される前述の有機溶剤が挙げられる。   Any developer can be used as long as it has a composition that dissolves the dye-containing negative curable composition (uncured part) of the present invention but does not dissolve the irradiated cured part. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used. As said organic solvent, the above-mentioned organic solvent used when preparing the dye-containing negative curable composition of this invention is mentioned.

前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に現像後水で洗浄する。
Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. , Choline, pyrrole, piperidine, alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution obtained by dissolution is preferable.
When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.

本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。   The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof.

(実施例1〜5、7〜9及び比較例1〜3、参考例1
1)染料含有ネガ型硬化性組成物の調製
下記表1に示す組成の化合物を混合して溶解し、本発明及び比較の染料含有ネガ型硬化性組成物を調製した。
(Examples 1-5, 7-9 and Comparative Examples 1-3 , Reference Example 1 )
1) Preparation of dye-containing negative curable composition The compounds having the compositions shown in Table 1 below were mixed and dissolved to prepare the present invention and a comparative dye-containing negative curable composition.


前記表1中の組成(A)〜(E)の詳細は以下の通りである。
*樹脂A:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(=80/20〔モル比〕)
*モノマーA:東亜合成化学(株)製のTO−2359(酸価:26.3mgKOH/g、粘度(25℃):12,400mPa・s)
*モノマーB:東亜合成化学(株)製のTO−2360(酸価:66.8mgKOH/g、粘度(25℃):44,200mPa・s)
*モノマーC:東亜合成化学(株)製のTO−1382(酸価:23.6mgKOH/g、粘度(25℃):10,900mPa・s)
*モノマーD:日本化薬(株)製のカヤラドDPHA(酸価:0mgKOH/g、粘度(25℃):7,000mPa・s)
*モノマーE:東亜合成化学(株)製のTO−2349(酸価:67.8mgKOH/g、粘度(25℃):43,300mPa・s)
*モノマーF:東亜合成化学(株)製のTO−2348(酸価:25.8mgKOH/g、粘度(25℃):12,400mPa・s)
*TAZ−107:みどり化学(株)製
*オキシムA:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製
2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン
*オキシムB:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製
1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン
The details of the compositions (A) to (E) in Table 1 are as follows.
* Resin A: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 80/20 [molar ratio])
* Monomer A: TO-2359 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (acid value: 26.3 mgKOH / g, viscosity (25 ° C.): 12,400 mPa · s)
* Monomer B: TO-2360 (acid value: 66.8 mgKOH / g, viscosity (25 ° C.): 44,200 mPa · s) manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd.
* Monomer C: TO-1382 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (acid value: 23.6 mg KOH / g, viscosity (25 ° C.): 10,900 mPa · s)
* Monomer D: Kayrad DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (acid value: 0 mgKOH / g, viscosity (25 ° C.): 7,000 mPa · s)
* Monomer E: TO-2349 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (acid value: 67.8 mgKOH / g, viscosity (25 ° C.): 43,300 mPa · s)
* Monomer F: TO-2348 manufactured by Toagosei Co., Ltd. (acid value: 25.8 mg KOH / g, viscosity (25 ° C.): 12,400 mPa · s)
* TAZ-107: Midori Chemical Co., Ltd. * Oxime A: Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.
2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione * Oxime B: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.
1- (O-acetyloxime) -1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethanone

2)下塗り層付ガラス基板の作製
レジストCT−2000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を、シリコンウエハー基板上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて硬化膜(下塗り層)を形成した。
2) Preparation of glass substrate with undercoat layer Resist CT-2000L solution (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) was applied onto a silicon wafer substrate using a spin coater so as to have a film thickness of 2 μm. A cured film (undercoat layer) was formed by heating and drying for 1 hour.

3)染料含有ネガ型硬化性組成物の露光・現像(画像形成)
前記1)で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物の各々を順次、それぞれ異なる前記2)で得た下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層の上に膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
次いで、i線縮小投影露光装置を使用して塗布膜に365nmの波長で線幅2μmのマスクを通して露光量を変化させて照射した。照射後、100%CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を用いて23℃,60秒間の条件で現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スピン乾燥させてパターン像(カラーフィルタ)を得た。画像の形成は、光学顕微鏡及びSEM写真観察により通常の方法で確認した。
3) Exposure and development of dye-containing negative curable composition (image formation)
Each of the dye-containing negative curable compositions obtained in 1) is sequentially applied to a spin coater so that the film thickness becomes 1 μm on the undercoat layer of the silicon wafer substrate with the undercoat layer obtained in 2). And prebaked at 100 ° C. for 120 seconds.
Next, using an i-line reduction projection exposure apparatus, the coating film was irradiated with a wavelength of 365 nm through a mask having a line width of 2 μm while changing the exposure amount. After the irradiation, development was performed using a developer of 100% CD-2000 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) at 23 ° C. for 60 seconds. Next, after rinsing with running water for 20 seconds, spin drying was performed to obtain a pattern image (color filter). The formation of the image was confirmed by an ordinary method using an optical microscope and SEM photograph observation.

4)評価
各実施例及び比較例で得られた染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて得た各パターン像に対して、以下の評価を行なった。評価結果は下記表2に示す。
4) Evaluation The following evaluation was performed on each pattern image obtained using the dye-containing negative curable composition obtained in each Example and Comparative Example. The evaluation results are shown in Table 2 below.

−1.感度−
2μm幅パターンにおいて、ドットとスペースとの幅が1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。値の小さい方が高感度であり、感度として良好なことを示す。
-1. Sensitivity
In a 2 μm width pattern, the exposure amount at which the dot-to-space width was 1: 1 was defined as an appropriate exposure amount, and the exposure amount was defined as sensitivity. Smaller values indicate higher sensitivity, indicating better sensitivity.

−2.プロファイル−
前記1.の適正露光量におけるSEM画像により、パターン像の断面形状(線幅方向を含む平面で切断したときの断面)を目視で観察し、プロファイルが矩形であるものを「○」とし、ラウンドトップ(頭が丸い)形状のものを「×」とした。
-2. Profile
1 above. Using a SEM image at an appropriate exposure amount, the cross-sectional shape of the pattern image (the cross-section when cut by a plane including the line width direction) is visually observed. (×) is the shape with a round shape.

前記表2に示すように、実施例では、高感度が得られ、形成されたパターン像の断面形状は良好な矩形であった。これに対し、比較例では、感度及びパターン像の断面矩形性が大幅に劣っていた。   As shown in Table 2, in the example, high sensitivity was obtained, and the cross-sectional shape of the formed pattern image was a good rectangle. On the other hand, in the comparative example, the sensitivity and the cross-sectional rectangularity of the pattern image were significantly inferior.

なお、上記の実施例で用いたラジカル重合性モノマー以外に、既述の他の「酸価が25mgKOH/g以上の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物」を用いて構成した場合も本実施例と同様の作用を発揮し得、上記同様に高感度が得られ、良好な矩形断面を有するパターン形成が可能である。   In addition, in addition to the radical polymerizable monomer used in the above-mentioned examples, the present invention is also applied to the case where the above-described other “acid group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound having an acid value of 25 mgKOH / g or more” is used. An effect similar to that of the example can be exhibited, high sensitivity can be obtained in the same manner as described above, and a pattern having a good rectangular cross section can be formed.

Claims (8)

(A)染料、(B)オキシム系光重合開始剤、及び(C)ラジカル重合性モノマーとして、酸価が25〜200mgKOH/gであって粘度が12000〜100000mPa・s(25℃)の酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物を少なくとも含有する染料含有ネガ型硬化性組成物。 As (A) dye, (B) oxime photopolymerization initiator, and (C) radical polymerizable monomer, the acid value is 25 to 200 mgKOH / g and the viscosity is 12,000 to 100,000 mPa · s (25 ° C.) . A dye-containing negative curable composition containing at least a group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound. (D)バインダー樹脂を更に含有することを特徴とする請求項1に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye-containing negative curable composition according to claim 1, further comprising (D) a binder resin. 前記(A)染料が、吸収特性の異なる少なくとも2種の染料の混合物からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye-containing negative curable composition according to claim 1 or 2, wherein the (A) dye comprises a mixture of at least two dyes having different absorption characteristics. 前記酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物が、水酸基含有5官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸性基を導入した化合物である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye according to any one of claims 1 to 3, wherein the acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound is a compound in which the hydroxyl group of a hydroxyl group-containing pentafunctional acrylic compound is reacted to introduce the acidic group. Containing negative curable composition. 前記酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物が、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのOH部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたものである請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye-containing composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the acidic group-containing polyfunctional (meth) acrylic compound is obtained by replacing the OH moiety of dipentaerythritol pentaacrylate with a carboxyl group-containing substituent. Negative curable composition. 前記染料の組成物全固形分に対する含有量が38質量%以上である請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物。   The dye-containing negative curable composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the content of the dye with respect to the total solid content of the dye is 38% by mass or more. 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter formed using the dye-containing negative curable composition according to any one of claims 1 to 6. 請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。   It has the process of exposing through a mask, developing, and forming a pattern, after apply | coating the dye-containing negative curable composition of any one of Claims 1-6 on a support body, It is characterized by the above-mentioned. A method for manufacturing a color filter.
JP2006135522A 2006-01-17 2006-05-15 Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same Active JP4884833B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006135522A JP4884833B2 (en) 2006-01-17 2006-05-15 Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
US11/653,917 US8614037B2 (en) 2006-01-17 2007-01-17 Dye-containing negative working curable composition, color filter and method of producing thereof

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006008682 2006-01-17
JP2006008682 2006-01-17
JP2006135522A JP4884833B2 (en) 2006-01-17 2006-05-15 Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007219467A JP2007219467A (en) 2007-08-30
JP4884833B2 true JP4884833B2 (en) 2012-02-29

Family

ID=38496788

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006135522A Active JP4884833B2 (en) 2006-01-17 2006-05-15 Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4884833B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4631808B2 (en) * 2006-06-08 2011-02-16 住友化学株式会社 Colored photosensitive resin composition
JP5274151B2 (en) * 2008-08-21 2013-08-28 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, color filter, method for producing the same, and solid-state imaging device
JP5121644B2 (en) * 2008-09-24 2013-01-16 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, color filter, method for producing the same, and solid-state imaging device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3668978B2 (en) * 1993-07-29 2005-07-06 東レ株式会社 Photosensitive insulation paste
JPH09230126A (en) * 1996-02-23 1997-09-05 Kansai Paint Co Ltd Near infrared photosensitive colored composition for color filter and production of color filter formed by using the composition
JP3992343B2 (en) * 1997-12-18 2007-10-17 日本合成化学工業株式会社 Photosensitive resin composition
JP2001042521A (en) * 1999-08-03 2001-02-16 Toppan Printing Co Ltd Photosensitive colored composition and color filter using same
JP2004341121A (en) * 2003-05-14 2004-12-02 Fujifilm Arch Co Ltd Photocurable composition for image sensor color filter, and image sensor color filter and method for manufacturing the same
JP2005148717A (en) * 2003-10-20 2005-06-09 Mitsubishi Chemicals Corp Coloring composition for color filter, color filter and liquid crystal display device
JP2005181684A (en) * 2003-12-19 2005-07-07 Konica Minolta Medical & Graphic Inc Lithographic printing plate material and method for making lithographic printing plate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007219467A (en) 2007-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4926576B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4837603B2 (en) Negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP2006071890A (en) Dye-containing negative curable composition, and color filter, and method for producing color filter
JP2006078602A (en) Dye-containing negative-type curable composition, color filter and method for producing the same
JP4884832B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4805068B2 (en) Method for producing dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4884853B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4884833B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4459091B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP2008058642A (en) Method for preparing dye-containing negative curable composition, and color filter and method for producing the same
US8614037B2 (en) Dye-containing negative working curable composition, color filter and method of producing thereof
JP2006276512A (en) Photosetting image recording material, and, color filter and method for manufacturing the same
JP4408421B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4757639B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP5235966B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP4322608B2 (en) Color filter and manufacturing method thereof
JP4808459B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP2005283679A (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for manufacturing the same
JP5214001B2 (en) Negative curable composition
JP5052360B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP2005274968A (en) Dye containing negative type curable composition, color filter, and method for manufacturing color filter
JP4667989B2 (en) Photocurable composition, color filter and method for producing the same
JP2006072134A (en) Dye-containing negative curable composition, and color filter, and method for producing color filter
JP2005274967A (en) Dye containing negative type curable composition, color filter, and method for manufacturing color filter
JP2006235196A (en) Curable composition with negative color, color filter and method for manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090210

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110111

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110318

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110823

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111024

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111115

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111207

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4884833

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250