JP4878876B2 - Epoxy resin, alkali-developable resin composition, and alkali-developable photosensitive resin composition - Google Patents
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Description
本発明は、特定の構造を有するエポキシ樹脂、該エポキシ樹脂にエチレン性不飽和結合を付与した特定の光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物及び該アルカリ現像性樹脂組成物に光重合開始剤を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to an epoxy resin having a specific structure, an alkali-developable resin composition containing a specific photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated bond added to the epoxy resin, and the alkali-developable resin composition. The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator.
アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物及び光重合開始剤を含有するものである。このアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、紫外線もしくは電子線を照射することによって重合硬化させることができるので、光硬化性インキ、感光性印刷版、プリント配線版、各種フォトレジスト等に用いられている。最近、電子機器の軽薄短小化や高機能化の進展に伴い、微細パターンを精度良く形成することができるアルカリ現像性感光性樹脂組成物が望まれている。 The alkali-developable photosensitive resin composition contains an alkali-developable resin composition containing a compound having an ethylenically unsaturated bond and a photopolymerization initiator. Since this alkali-developable photosensitive resin composition can be polymerized and cured by irradiation with ultraviolet rays or electron beams, it is used for photo-curable inks, photosensitive printing plates, printed wiring plates, various photoresists, and the like. Yes. In recent years, with the progress of miniaturization and high functionality of electronic devices, an alkali-developable photosensitive resin composition capable of forming a fine pattern with high accuracy is desired.
アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物に関し、下記特許文献1には、エチレン性不飽和結合を持つプレポリマーを含有する感光性樹脂組成物が提案されている。また、下記特許文献2には、不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物が提案されている。しかし、これらの公知のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、感度や密着性が充分でなく、適切なパターン形状や微細パターンを得ることが困難であった。そのため、感度及び密着性に優れ、微細パターンを精度良く形成できるアルカリ現像性感光性樹脂組成物が望まれていた。 Regarding the alkali-developable resin composition and the alkali-developable photosensitive resin composition, the following Patent Document 1 proposes a photosensitive resin composition containing a prepolymer having an ethylenically unsaturated bond. Patent Document 2 below proposes a photosensitive resin composition containing an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin. However, these known alkali-developable photosensitive resin compositions have insufficient sensitivity and adhesion, and it has been difficult to obtain an appropriate pattern shape and fine pattern. Therefore, an alkali-developable photosensitive resin composition that is excellent in sensitivity and adhesion and can form a fine pattern with high accuracy has been desired.
また、下記特許文献3には、ビスフェノール骨格を持つ二官能エポキシ樹脂等とビスフェノール類とを反応させて得られる多官能エポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物が開示されており、下記特許文献4には、1分子中に2個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂と、1分子中にフェノール性水酸基を含有する化合物等を交互共重合させて得られるエポキシ樹脂を含有するエポキシ樹脂組成物が開示されているが、これらのエポキシ樹脂組成物をアルカリ現像性感光性樹脂組成物に用うることは記載も示唆もされていない。 Patent Document 3 below discloses an epoxy resin composition containing a polyfunctional epoxy resin obtained by reacting a bifunctional epoxy resin having a bisphenol skeleton and the like with bisphenols. Discloses an epoxy resin composition containing an epoxy resin having two epoxy groups in one molecule and an epoxy resin obtained by alternately copolymerizing a compound containing a phenolic hydroxyl group in one molecule. However, there is no description or suggestion that these epoxy resin compositions can be used in alkali-developable photosensitive resin compositions.
解決しようとする問題点は、上述したように、感度及び密着性に優れ、適切なパターン形状や微細パターンを得ることのできるアルカリ現像性樹脂組成物がこれまでなかったということである。 The problem to be solved is that, as described above, there has been no alkali-developable resin composition that has excellent sensitivity and adhesiveness and can obtain an appropriate pattern shape and fine pattern.
従って、本発明の目的は、感度、解像度、現像性、密着性等に優れ、微細パターンを精度良く形成できるアルカリ現像性樹脂組成物、及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an alkali-developable resin composition and an alkali-developable photosensitive resin composition that are excellent in sensitivity, resolution, developability, adhesion, and the like and can form a fine pattern with high accuracy. .
本発明は、下記一般式(I)で表されるエポキシ化合物に、ポリヒドロキシ芳香族化合物(ただし、下記一般式(II)で表されるビスフェノール化合物を除く。)を、該エポキシ化合物のエポキシ基1個に対して、該ポリヒドロキシ芳香族化合物の水酸基が0.1〜1.0個となる比率で交互共重合させて得られる構造を有するエポキシ樹脂(A)を提供することにより、上記目的を達成したものである。 In the present invention , a polyhydroxy aromatic compound (excluding a bisphenol compound represented by the following general formula (II)) is added to the epoxy compound represented by the following general formula (I) and the epoxy group of the epoxy compound . By providing an epoxy resin (A) having a structure obtained by alternately copolymerizing at a ratio of 0.1 to 1.0 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound, Is achieved.
また、本発明は、上記エポキシ樹脂(A)に、不飽和一塩基酸(B)を、該エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、該不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個となる比率で付加させた構造を有するエポキシ付加物に、多塩基酸無水物(C)を、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率でエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(X)を溶媒中に含有することを特徴とするアルカリ現像性樹脂組成物を提供することにより、上記目的を達成したものである。 Further, the present invention is the above epoxy resin (A), the unsaturated monobasic acid (B), with respect to one epoxy group of the epoxy resin (A), the carboxyl group of the unsaturated monobasic acid (B) Is added to the epoxy adduct having a ratio of 0.1 to 1.0 to the polybasic acid anhydride (C) with respect to one hydroxyl group of the epoxy adduct. The photopolymerizable unsaturated compound (X) having a structure obtained by esterification at a ratio of 0.1 to 1.0 acid anhydride structures of the product (C) is contained in the solvent. The above object is achieved by providing an alkali-developable resin composition.
また、本発明は、上記エポキシ樹脂(A)に、不飽和一塩基酸(B)を、該エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、該不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個となる比率で付加させた構造を有するエポキシ付加物に、多塩基酸無水物(C)を、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率でエステル化させて得られる構造を有する反応生成物に、さらにエポキシ化合物(D)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該エポキシ化合物(D)のエポキシ基が0.1〜1.0個となる比率で付加させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(Y)を溶媒中に含有することを特徴とするアルカリ現像性樹脂組成物を提供することにより、上記目的を達成したものである。 Further, the present invention is the above epoxy resin (A), the unsaturated monobasic acid (B), with respect to one epoxy group of the epoxy resin (A), the carboxyl group of the unsaturated monobasic acid (B) Is added to the epoxy adduct having a ratio of 0.1 to 1.0 to the polybasic acid anhydride (C) with respect to one hydroxyl group of the epoxy adduct. The reaction product having a structure obtained by esterifying the product (C) with an acid anhydride structure in a ratio of 0.1 to 1.0 is further added with the epoxy compound (D) to the hydroxyl group of the epoxy adduct. The photopolymerizable unsaturated compound (Y) having a structure obtained by adding 0.1 to 1.0 epoxy groups of the epoxy compound (D) in one solvent is contained in the solvent. By providing an alkali-developable resin composition characterized in that It is those that have achieved the target.
また、本発明は、上記エポキシ樹脂(A)に、不飽和一塩基酸(B)を、該エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、該不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個となる比率で付加させた構造を有するエポキシ付加物に、多塩基酸無水物(C)を、該エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率でエステル化させて得られる構造を有する反応生成物に、エポキシ化合物(D)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該エポキシ化合物(D)のエポキシ基が0.1〜1.0個となる比率で付加させ、さらに多塩基酸無水物(E)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、該多塩基酸無水物(E)の酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率でエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(Z)を溶媒中に含有することを特徴とするアルカリ現像性樹脂組成物を提供することにより、上記目的を達成したものである。 Further, the present invention is the above epoxy resin (A), the unsaturated monobasic acid (B), with respect to one epoxy group of the epoxy resin (A), the carboxyl group of the unsaturated monobasic acid (B) Is added to the epoxy adduct having a ratio of 0.1 to 1.0 to the polybasic acid anhydride (C) with respect to one hydroxyl group of the epoxy adduct. To the reaction product having a structure obtained by esterifying the product (C) at a ratio of 0.1 to 1.0 acid anhydride structures , the epoxy compound (D) is converted to the hydroxyl group 1 of the epoxy adduct. The epoxy compound (D) is added at a ratio of 0.1 to 1.0 epoxy group , and the polybasic acid anhydride (E) is added to one hydroxyl group of the epoxy adduct. , d in a ratio acid anhydride structure polybasic acid anhydride (E) is 0.1 to 1.0 or By providing an alkali developable resin composition photopolymerizable unsaturated compound having a structure obtained by etherification with (Z), characterized in that it contains in the solvent is obtained by achieving the above object.
本発明は、上記アルカリ現像性樹脂組成物に光重合開始剤(F)を含有させることを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供することにより、上記目的を達成したものである。 This invention achieves the said objective by providing the alkali developable photosensitive resin composition characterized by making the said alkali developable resin composition contain a photoinitiator (F).
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、感度、解像度、現像性及び密着性に優れ、微細パターンを精度良く形成できる。 The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is excellent in sensitivity, resolution, developability and adhesion, and can form a fine pattern with high accuracy.
以下、本発明のエポキシ樹脂、アルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物について、好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。 Hereinafter, the epoxy resin, the alkali-developable resin composition and the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments.
本発明のエポキシ樹脂(A)は、上記一般式(I)で表されるエポキシ化合物に、ポリヒドロキシ芳香族化合物(ただし、上記一般式(II)で表されるビスフェノール化合物を除く。)を、該エポキシ化合物のエポキシ基1個に対して、該ポリヒドロキシ芳香族化合物の水酸基が0.1〜1.0個となる比率で交互共重合させることにより得られる。 Epoxy resin (A) of the present invention, the epoxy compound represented by the general formula (I), polyhydroxy aromatic compound (excluding bisphenol compound represented by the general formula (II).), It can be obtained by alternately copolymerizing one epoxy group of the epoxy compound at a ratio of 0.1 to 1.0 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound .
上記一般式(I)中、Cyで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基としては、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、メチルシクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル等が挙げられる。
Xで表される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基としては、例えば、Cyで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基として例示したものが挙げられる。Xで示されるフェニル基及び炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を置換してもよい炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子としては、それぞれ、Y及びZで示されるものとして後に例示するものが挙げられる。
Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、へプチル、オクチル、イソオクチル、第三オクチル、2−エチルヘキシル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルコキシ基としてはメトキシ、エトキシ、プロピルオキシ、ブチルオキシ、ペンチルオキシ、ヘキシルオキシ、ヘプチルオキシ、オクチルオキシ、ノニルオキシ、メトキシメトキシ、メトキシエトキシ、エトキシエトキシ、プロピロキシエトキシ、メトキシエトキシエトキシ、エトキシエトキシエトキシ、プロピロキシエトキシエトキシ、メトキシプロピロキシ等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数2〜10のアルケニル基としては、ビニル、アリル、ブテニル、プロペニル等が挙げられる、Y及びZで示されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
また、Xで示されるフェニル基及び炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を置換してもよい上記のアルキル基及びアルコキシ基、並びにY及びZで示される上記のアルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、該ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。例えば、フッ素原子で置換された炭素原子数1〜10のアルキル基としては、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル等が挙げられる。
In the general formula (I), examples of the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by Cy include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, methylcyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, cyclononyl, cyclodecyl and the like. .
Examples of the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by X include those exemplified as the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by Cy. As the phenyl group represented by X and the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms and the halogen atom which may be substituted with the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, What is illustrated later as what is shown by Y and Z is mentioned.
Examples of the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, amyl, isoamyl, tert-amyl, hexyl, heptyl Octyl, isooctyl, tertiary octyl, 2-ethylhexyl, nonyl, isononyl, decyl, isodecyl and the like. Examples of the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include methoxy, ethoxy, propyloxy, butyloxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, nonyloxy, methoxymethoxy, methoxyethoxy, ethoxyethoxy, propylene Examples include roxyethoxy, methoxyethoxyethoxy, ethoxyethoxyethoxy, propyloxyethoxyethoxy, methoxypropyloxy and the like. Examples of the alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include vinyl, allyl, butenyl, propenyl, etc. Examples of the halogen atom represented by Y and Z include fluorine, chlorine, bromine and iodine. It is done.
In addition, the above-mentioned alkyl group and alkoxy group which may be substituted for the phenyl group represented by X and the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and the above-described alkyl group, alkoxy group and alkenyl group represented by Y and Z May be substituted with a halogen atom, and examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine and iodine. For example, monofluoromethyl, difluoromethyl, trifluoromethyl, trifluoroethyl, perfluoroethyl etc. are mentioned as a C1-C10 alkyl group substituted by the fluorine atom.
本発明のエポキシ樹脂(A)は、その調製に用いられる上記一般式(I)で表されるエポキシ化合物がトリアリールモノシクロアルキルメタン骨格を有することにより、硬化物の基材への密着性、加工性、強度等が優れるため、非硬化部を現像除去する際に、微細パターンであっても鮮明な画像を精度良く形成できるものと考えられる。エポキシ化合物としては、上記一般式(I)において、Cyがシクロヘキシルであるもの;Xがフェニル基であるもの;p及びrが0であるものが好ましい。 The epoxy resin (A) of the present invention has a triarylmonocycloalkylmethane skeleton as the epoxy compound represented by the above general formula (I) used for the preparation thereof, thereby allowing the cured product to adhere to a substrate, Since processability, strength, and the like are excellent, it is considered that a clear image can be formed with high accuracy even if the pattern is a fine pattern when the uncured portion is developed and removed. As the epoxy compound, in general formula (I), those in which Cy is cyclohexyl; those in which X is a phenyl group; those in which p and r are 0 are preferable.
上記一般式(I)で表されるエポキシ化合物の具体例としては、以下の化合物No.1〜No.9の化合物が挙げられる。ただし、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。 Specific examples of the epoxy compound represented by the general formula (I) include the following compound Nos. 1-No. 9 compounds are mentioned. However, the present invention is not limited by the following compounds.
上記ポリヒドロキシ芳香族化合物としては、例えば、4,4−ビフェノール、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ブタン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、4,4’−(1−α―メチルベンジリデン)ビスフェノール、4,4’−(1−α―エチルベンジリデン)ビスフェノール、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、α、α’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、水添ビスフェノール化合物、レソルシノール、ヒドロキノン、2,5−ジ−tert−ブチルヒドロキノン、1,4−ジヒドロキシナフタレン、1,2,4−トリヒドロキシベンゼン、2−[ビス(4−ヒドロキシフェニル)メチル]ベンジルアルコール、サリチル酸等が挙げられる。 Examples of the polyhydroxy aromatic compound include 4,4-biphenol, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) ethane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, and 2,2-bis (4 -Hydroxyphenyl) butane, bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (4-hydroxyphenyl) sulfide, bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, 4,4 ′-(1-α-methylbenzylidene) bisphenol, 4, 4 ′-(1-α-ethylbenzylidene) bisphenol, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, α, α′-bis (4-hydroxyphenyl) ) -1,4-diisopropylbenzene, hydrogenated bisphenol compound, resorcinol, hydride Examples include quinone, 2,5-di-tert-butylhydroquinone, 1,4-dihydroxynaphthalene, 1,2,4-trihydroxybenzene, 2- [bis (4-hydroxyphenyl) methyl] benzyl alcohol, and salicylic acid. .
上記ポリヒドロキシ芳香族化合物としては、その他、後述の多官能エポキシ化合物と、上記でポリヒドロキシ芳香族化合物として例示した化合物との付加物を用いることもできる。 As the polyhydroxy aromatic compound, an adduct of a polyfunctional epoxy compound described later and the compound exemplified above as the polyhydroxy aromatic compound can also be used.
本発明のエポキシ樹脂(A)は、例えば、下記〔化12〕の反応式で示される方法によって製造することができる。
すなわち、エポキシ化合物(1)とポリヒドロキシ芳香族化合物(2)を交互共重合させて、(A)成分であるエポキシ樹脂(3)を得る。エポキシ化合物(1)とポリヒドロキシ芳香族化合物(2)との共重合反応は常法に従って行なうことができるが、エポキシ化合物(1)のエポキシ基1個に対してポリヒドロキシ芳香族化合物(2)の水酸基が0.1〜1.0個、好ましくは0.2〜0.8個の比率を満たす量のエポキシ化合物(1)及びポリヒドロキシ芳香族化合物(2)を使用し、50〜150℃で2〜15時間反応させる。
本発明のエポキシ樹脂(A)は、少なくとも2つ以上のエポキシ基を持つものが好ましく、下記〔化12〕において、(A)成分であるエポキシ樹脂(3)におけるnは0〜10であるのが好ましい。
The epoxy resin (A) of the present invention can be produced, for example, by a method represented by the following reaction formula [Chemical Formula 12].
That is, the epoxy compound (1) and the polyhydroxy aromatic compound (2) are alternately copolymerized to obtain the epoxy resin (3) as the component (A). The copolymerization reaction of epoxy compound (1) and polyhydroxy aromatic compound (2) can be carried out according to a conventional method, the polyhydroxy aromatic compound with respect to one epoxy group d epoxy compound (1) (2 hydroxyl groups from 0.1 to 1.0 amino), good Mashiku uses the amount of the epoxy compound satisfying 0.2 to 0.8 amino ratio (1) and polyhydroxy aromatic compound (2), 50 The reaction is carried out at ˜150 ° C. for 2 to 15 hours.
The epoxy resin (A) of the present invention preferably has at least two epoxy groups. In the following [Chemical Formula 12], n in the epoxy resin (3) as the component (A) is 0-10. Is preferred.
本発明のエポキシ樹脂(A)は、後述のアルカリ現像性樹脂の他、コンクリート、セメントモルタル、各種金属、皮革、ガラス、ゴム、プラスチック、木、布、紙等に対する塗料あるいは接着剤;包装用粘着テープ、粘着ラベル、冷凍食品ラベル、リムーバルラベル、POSラベル、粘着壁紙、粘着床材の粘着剤;アート紙、軽量コート紙、キャストコート紙、塗工板紙、カーボンレス複写機、含浸紙等の加工紙;天然繊維、合成繊維、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維等の収束剤、ほつれ防止剤、加工剤等の繊維処理剤;シーリング材、セメント混和剤、防水材等の建築材料;電子・電気機器用封止剤等の広範な用途に使用することができる。 The epoxy resin (A) of the present invention is a paint or adhesive for concrete, cement mortar, various metals, leather, glass, rubber, plastic, wood, cloth, paper, etc. in addition to the alkali developable resin described later; Tape, adhesive label, frozen food label, removable label, POS label, adhesive wallpaper, adhesive for adhesive flooring; processing of art paper, lightweight coated paper, cast coated paper, coated paperboard, carbonless copier, impregnated paper, etc. Paper: Fiber processing agents such as natural fibers, synthetic fibers, glass fibers, carbon fibers, metal fibers, etc., fraying prevention agents, processing agents, etc .; building materials such as sealing materials, cement admixtures, waterproofing materials; electronic and electrical It can be used for a wide range of applications such as device sealants.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物は、上記エポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を、上記エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基が0.1〜1.0個となる比率で付加させた構造を有するエポキシ付加物に、多塩基酸無水物(C)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し酸無水物構造が0.1〜1.0個となる比率で、さらに必要に応じて上記エポキシ化合物(D)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対しエポキシ基が0.1〜1.0個となる比率で付加させ、続いて必要に応じて上記多塩基酸無水物(E)を、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し酸無水物構造が0.1〜1.0となる比率でエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物を含有する。
上記エポキシ樹脂(A)のエポキシ基1個に対する上記不飽和一塩基酸(B)のカルボキシル基の比率は、好ましくは0.3〜1.0個である。また、上記エポキシ付加物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造の比率は、好ましくは0.3〜0.95個であり、上記エポキシ化合物(D)のエポキシ基の比率は、好ましくは0.3〜0.9個であり、上記多塩基酸無水物(E)の酸無水物構造の比率は、好ましくは0.3〜0.7個である。
In the alkali-developable resin composition of the present invention, the unsaturated monobasic acid (B) is added to the epoxy resin (A), and the unsaturated monobasic acid (B) is added to one epoxy group of the epoxy resin (A). ) To the epoxy adduct having a structure in which the carboxyl group is added at a ratio of 0.1 to 1.0, the polybasic acid anhydride (C) is acid-anhydrated to one hydroxyl group of the epoxy adduct. If necessary, the epoxy compound (D) may be added at a ratio of 0.1 to 1.0 in the physical structure, and 0.1 to 1.0 epoxy group for one hydroxyl group of the epoxy adduct. And then, if necessary, the polybasic acid anhydride (E) is added at a ratio such that the acid anhydride structure is 0.1 to 1.0 with respect to one hydroxyl group of the epoxy adduct. It contains a photopolymerizable unsaturated compound having a structure obtained by esterification.
The ratio of the carboxyl group of the unsaturated monobasic acid (B) to one epoxy group of the epoxy resin (A) is preferably 0.3 to 1.0. The ratio of the acid anhydride structure of the polybasic acid anhydride (C) to one hydroxyl group of the epoxy adduct is preferably 0.3 to 0.95, and the epoxy compound (D) The ratio of the epoxy groups is preferably 0.3 to 0.9, and the ratio of the acid anhydride structure of the polybasic acid anhydride (E) is preferably 0.3 to 0.7. .
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物に含有される、エポキシ樹脂(A)に不飽和一塩基酸(B)を付加させた構造を有するエポキシ付加物に、多塩基酸無水物(C)をエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(X)、及び、該光重合性不飽和化合物(X)に、さらにエポキシ化合物(D)を付加させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(Y)、並びに該光重合性不飽和化合物(Y)に、さらに多塩基酸無水物(E)をエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(Z)は、例えば、下記[化13]の反応式で示される方法によって製造することができる。
まず、(A)成分であるエポキシ樹脂(3)に(B)成分である不飽和一塩基酸(4)を付加させて、エポキシ付加物である化合物(5)を含む樹脂組成物を得る。エポキシ樹脂(A)への不飽和一塩基酸(B)の付加反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、90〜150℃で5〜30時間反応させる。
続いて、エポキシ付加物である化合物(5)に、(C)成分である多塩基酸無水物(6)を反応させてエステル化反応を行い、エステル化合物である化合物(7)[光重合性不飽和化合物(X)]を含む樹脂組成物を得る。エポキシ付加物と多塩基酸無水物(C)とのエステル化反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、50〜150℃で5〜10時間反応させる。
続いて、エステル化合物である化合物(7)に、更に(D)成分のエポキシ化合物である化合物(8)を付加反応させて、化合物(9)[光重合性不飽和化合物(Y)]を得る。エステル化合物とエポキシ化合物(D)との付加反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、30〜150℃で2〜30時間反応を行なう。
続いて、化合物(9)に、更に(E)成分の多塩基酸無水物である化合物(10)を反応させてエステル化を行ない、目的の反応生成物である化合物(11)[光重合性不飽和化合物(Z)]を含む樹脂組成物を得ることができる。上記化合物(9)と多塩基酸無水物(E)とのエステル化反応は、常法に従って行なうことができるが、好ましくは、50〜150℃で3〜10時間反応を行なう。
The polybasic acid anhydride (C) is esterified to the epoxy adduct having a structure in which the unsaturated monobasic acid (B) is added to the epoxy resin (A) contained in the alkali-developable resin composition of the present invention. Photopolymerizable unsaturated compound (X) having a structure obtained by forming a photopolymerizable compound, and photopolymerizable compound having a structure obtained by further adding an epoxy compound (D) to the photopolymerizable unsaturated compound (X) Unsaturated compound (Y), and photopolymerizable unsaturated compound (Z) having a structure obtained by esterifying polybasic acid anhydride (E) to photopolymerizable unsaturated compound (Y), For example, it can be produced by a method represented by the following reaction formula [Chemical 13].
First, unsaturated monobasic acid (4) as component (B) is added to epoxy resin (3) as component (A) to obtain a resin composition containing compound (5) as an epoxy adduct. The addition reaction of the unsaturated monobasic acid (B) to the epoxy resin (A) can be carried out according to a conventional method, but is preferably reacted at 90 to 150 ° C. for 5 to 30 hours.
Subsequently, the compound (5) which is an epoxy adduct is reacted with the polybasic acid anhydride (6) which is the component (C) to carry out an esterification reaction. A resin composition containing the unsaturated compound (X)] is obtained. The esterification reaction between the epoxy adduct and the polybasic acid anhydride (C) can be carried out according to a conventional method, but is preferably performed at 50 to 150 ° C. for 5 to 10 hours.
Subsequently, compound (9) [photopolymerizable unsaturated compound (Y)] is obtained by subjecting compound (7) which is an ester compound to addition reaction with compound (8) which is an epoxy compound of component (D). . The addition reaction between the ester compound and the epoxy compound (D) can be carried out according to a conventional method, but the reaction is preferably carried out at 30 to 150 ° C. for 2 to 30 hours.
Subsequently, the compound (9) is further reacted with the compound (10) which is a polybasic acid anhydride of the component (E) for esterification, and the target reaction product, the compound (11) [photopolymerizable] A resin composition containing the unsaturated compound (Z)] can be obtained. The esterification reaction between the compound (9) and the polybasic acid anhydride (E) can be carried out according to a conventional method, but the reaction is preferably carried out at 50 to 150 ° C. for 3 to 10 hours.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物を得るために使用される不飽和一塩基酸(B)は、該アルカリ現像性樹脂組成物の感度を向上させるために用いられ、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレートあるいは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等が挙げられる。 The unsaturated monobasic acid (B) used for obtaining the alkali-developable resin composition of the present invention is used for improving the sensitivity of the alkali-developable resin composition, for example, acrylic acid, methacrylic acid. , Crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate malate, hydroxyethyl acrylate malate, hydroxypropyl methacrylate malate, hydroxypropyl acrylate malate, dicyclopentadiene malate or one carboxyl group and two or more And polyfunctional (meth) acrylates having a (meth) acryloyl group.
上記1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートは、例えば1分子中に1個のヒドロキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートと二塩基酸無水物又はカルボン酸とを反応させることによって得ることができる。 The polyfunctional (meth) acrylate having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups has, for example, one hydroxyl group and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule. It can be obtained by reacting a polyfunctional (meth) acrylate with a dibasic acid anhydride or carboxylic acid.
上記1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートとしては、下記化合物No.10〜14を挙げることができる。 Examples of the polyfunctional (meth) acrylate having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups include the following compound Nos. 10-14 can be mentioned.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物を得るために使用される多塩基酸無水物(C)は、該アルカリ現像性樹脂組成物の酸価を増大させてパターン形状、現像性及び現像速度を向上させるために用いられ、例えば、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸−無水マレイン酸付加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が挙げられる。これらの中でも、コハク酸無水物、トリメリット酸無水物、ヘキサヒドロ無水フタル酸が好ましい。 The polybasic acid anhydride (C) used for obtaining the alkali-developable resin composition of the present invention increases the acid value of the alkali-developable resin composition to improve the pattern shape, developability and development speed. For example, succinic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, 2,2′-3,3′-benzophenonetetracarboxylic anhydride, 3,3 '-4,4'-benzophenone tetracarboxylic anhydride, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, glycerol tris anhydro trimellitate, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride , Nadic acid anhydride, methyl nadic acid anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydro Hydrophthalic acid, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-maleic anhydride adduct, dodecenyl succinic anhydride An acid, an anhydrous methyl hymic acid, etc. are mentioned. Among these, succinic anhydride, trimellitic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride are preferable.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物を得るために使用されるエポキシ化合物(D)としては、単官能又は多官能エポキシ化合物が挙げられる。
上記単官能エポキシ化合物は該アルカリ現像性樹脂組成物の酸価を調整するのに用いられ、例えば、グリシジルメタクリレート、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、イソブチルグリシジルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ペンチルグリシジルエーテル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジルエーテル、ノニルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリシジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、プロパルギルグリシジルエーテル、p−メトキシエチルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−メトキシグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、2−メチルクレジルグリシジルエーテル、4−ノニルフェニルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p−クミルフェニルグリシジルエーテル、トリチルグリシジルエーテル、2,3−エポキシプロピルメタクリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニルシクロヘキサンモノオキシド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド、ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド、シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキシド、下記化合物No.15〜No.18等が挙げられる。
As an epoxy compound (D) used in order to obtain the alkali developable resin composition of this invention, a monofunctional or polyfunctional epoxy compound is mentioned.
The monofunctional epoxy compound is used to adjust the acid value of the alkali-developable resin composition. For example, glycidyl methacrylate, methyl glycidyl ether, ethyl glycidyl ether, propyl glycidyl ether, isopropyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, isobutyl Glycidyl ether, t-butyl glycidyl ether, pentyl glycidyl ether, hexyl glycidyl ether, heptyl glycidyl ether, octyl glycidyl ether, nonyl glycidyl ether, decyl glycidyl ether, undecyl glycidyl ether, dodecyl glycidyl ether, tridecyl glycidyl ether, tetradecyl glycidyl ether Ether, pentadecyl glycidyl ether, hexadecyl glycidyl ether, 2- Tylhexyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, propargyl glycidyl ether, p-methoxyethyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-methoxy glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, 2-methyl cresyl glycidyl ether, 4- Nonylphenyl glycidyl ether, benzyl glycidyl ether, p-cumylphenyl glycidyl ether, trityl glycidyl ether, 2,3-epoxypropyl methacrylate, epoxidized soybean oil, epoxidized linseed oil, glycidyl butyrate, vinylcyclohexane monooxide, 1, 2-epoxy-4-vinylcyclohexane, styrene oxide, pinene oxide, methyl styrene oxide, sucrose Hexene oxide, propylene oxide, the following compound No. 15-No. 18 etc. are mentioned.
上記多官能エポキシ化合物は、上記光重合性不飽和化合物の分子量を増大させて現像速度を調整するのに用いられ、例えば、多価アルコール又はそのアルキレンオキシド付加物のポリグリシジルエーテル、多塩基酸のポリグリシジルエステル、シクロヘキセン環あるいはシクロペンテン環含有化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキシドあるいはシクロペンテンオキシド含有化合物等を用いることができ、具体的には以下の化合物を挙げることができる。
すなわち、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールB型エポキシ樹脂、ビスフェノールC型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂、ビスフェノールP型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂等のアルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂;上記アルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂を水添して得られる水添ビスフェノール型ジグリシジルエーテル;エチレングリコールジグリシジルエーテル、1,3−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,2−プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の脂肪族多価アルコールのグリシジルエーテル;プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセリン等の多価アルコールに2種以上のアルキレンオキシドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル;フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−3−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−5−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、イソプロピリデンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ジシクロペンタジエンジエポキシド、エチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、1,2−エポキシ−2−エポキシエチルシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのニ塩基酸のグリシジルエステル;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルP−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物、トリフェニルメタン型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物等が挙げられる。
The polyfunctional epoxy compound is used to adjust the development speed by increasing the molecular weight of the photopolymerizable unsaturated compound. For example, polyglycidyl ether of polyhydric alcohol or its alkylene oxide adduct, polybasic acid Cyclohexene oxide or a cyclopentene oxide-containing compound obtained by epoxidizing a polyglycidyl ester, a cyclohexene ring or a cyclopentene ring-containing compound with an oxidizing agent can be used, and specific examples include the following compounds.
That is, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol B type epoxy resin, bisphenol C type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol M type epoxy resin, bisphenol P type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, Alkylidene bisphenol polyglycidyl ether type epoxy resin such as bisphenol Z type epoxy resin; hydrogenated bisphenol type diglycidyl ether obtained by hydrogenating the above alkylidene bisphenol polyglycidyl ether type epoxy resin; ethylene glycol diglycidyl ether, 1,3- Propylene glycol diglycidyl ether, 1,2-propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,8-octanediol diglycidyl ether, 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol di Glycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol diglycidyl ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) propane, 1 , 1,1-tri (glycidyloxymethyl) ethane, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) methane, 1,1,1,1-tetra (glycidyloxymethyl) methane, glycerin tri Glycidyl ethers of aliphatic polyhydric alcohols such as ricidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether, dipentaerythritol hexaglycidyl ether; two or more polyhydric alcohols such as propylene glycol, trimethylolpropane and glycerin Polyglycidyl ethers of polyether polyols obtained by adding an alkylene oxide of the following: phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds, bisphenol A novolac type epoxy compounds, dicyclopentadiene novolak type epoxy compounds A novolac-type epoxy compound such as 3,4-epoxy-3-methylcyclohexylmethyl-3, 4-epoxy-3-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-5-methylcyclohexylmethyl-3,4-epoxy-5-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl-3, 4-epoxy-6-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate, 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) Adipate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane), isopropylidenebis (3,4-epoxycyclohexane), dicyclopentadiene diepoxide, ethylenebis (3,4-epoxycyclohexanecarboxylate) ), Cycloaliphatic epoxy compounds such as 1,2-epoxy-2-epoxyethylcyclohexane; glycidyl esters of dibasic acids such as diglycidyl phthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate, and glycidyl dimer; tetraglycidyl diamino Glycidylamines such as diphenylmethane, triglycidyl P-aminophenol and N, N-diglycidylaniline; heterocyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5,5-dimethylhydantoin and triglycidyl isocyanurate; dicyclopentadiene Dioxide compounds such as dioxide; naphthalene type epoxy compounds, triphenylmethane type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds and the like.
上記多官能エポキシ化合物としては市販のものを用いることもでき、例えば、BREN−S、EPPN−201、EPPN−501N、EOCN−1020、GAN、GOT(日本化薬社製)、アデカレジンEP−4000、アデカレジンEP−4003S、アデカレジンEP−4080、アデカレジンEP−4085、アデカレジンEP−4088、アデカレジンEP−4100、アデカレジンEP−4900、アデカレジンED−505、アデカレジンED−506、アデカレジンKRM−2110、アデカレジンKRM−2199、アデカレジンKRM−2720(旭電化工業社製)、R−508、R−531、R−710(三井化学社製)、エピコート190P、エピコート191P、エピコート604、エピコート801、エピコート828、エピコート871、エピコート872、エピコート1031、エピコートRXE15、エピコートYX−4000、エピコートYDE−205、エピコートYDE−305(ジャパンエポキシレジン社製)、スミエポキシELM−120、スミエポキシELM−434(住友化学社製)、デナコールEM−150、デナコールEX−201、デナコールEX−211、デナコールEX−212、デナコールEX−313、デナコールEX−314、デナコールEX−322、デナコールEX−411、デナコールEX−421、デナコールEX−512、デナコールEX−521、デナコールEX−614、デナコールEX−711、デナコールEX−721、デナコールEX−731、デナコールEX−811、デナコールEX−821、デナコールEX−850、デナコールEX−851、デナコールEX−911、(ナガセケムテックス社製)、エポライト70P、エポライト200P、エポライト400P、エポライト40E、エポライト100E、エポライト200E、エポライト400E、エポライト80MF、エポライト100MF、エポライト1500NP、エポライト1600、エポライト3002、エポライト4000、エポライトFR−1500、エポライトM−1230、エポライトEHDG−L(共栄社化学社製)、SB−20(岡村製油社製)、エピクロン720(大日本インキ化学社製)、UVR−6100、UVR−6105、UVR−6110、UVR−6200、UVR−6228(ユニオン・カーバイド社製)、セロキサイド2000、セロキサイド2021、セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド2083、セロキサイド2085、セロキサイド3000、サイクロマーA200、サイクロマーM100、サイクロマーM101、エポリードGT−301、エポリードGT−302、エポリード401、エポリード403、エポリードHD300、EHPE−3150、ETHB、エポブレンド(ダイセル化学社製)、PY−306、0163、DY−022(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)、サントートST0000、エポトートYD−011、エポトートYD−115、エポトートYD−127、エポトートYD−134、エポトートYD−172、エポトートYD−6020、エポトートYD−716、エポトートYD−7011R、エポトートYD−901、エポトートYDPN−638、エポトートYH−300、ネオトートPG−202、ネオトートPG−207(東都化成社製)、ブレンマーG(日本油脂社製)等が挙げられる。 Commercially available compounds can also be used as the polyfunctional epoxy compound, for example, BREN-S, EPPN-201, EPPN-501N, EOCN-1020, GAN, GOT (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Adeka Resin EP-4000, Adeka Resin EP-4003S, Adeka Resin EP-4080, Adeka Resin EP-4085, Adeka Resin EP-4088, Adeka Resin EP-4100, Adeka Resin EP-4900, Adeka Resin ED-505, Adeka Resin ED-506, Adeka Resin KRM-2110, Adeka Resin KR, Adeka Resin KM Adeka Resin KRM-2720 (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), R-508, R-531, R-710 (Mitsui Chemicals Co., Ltd.), Epicoat 190P, Epicoat 191P, Epicoat 604, Epicoat 801, Epico 828, Epicoat 871, Epicoat 872, Epicoat 1031, Epicoat RXE15, Epicoat YX-4000, Epicoat YDE-205, Epicoat YDE-305 (manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), Sumiepoxy ELM-120, Sumiepoxy ELM-434 (Sumitomo Chemical Co., Ltd.) Manufactured), Denacol EM-150, Denacol EX-201, Denacol EX-211, Denacol EX-212, Denacol EX-313, Denacol EX-314, Denacol EX-322, Denacol EX-411, Denacol EX-421, Denacol EX -512, Denacol EX-521, Denacol EX-614, Denacol EX-711, Denacol EX-721, Denacol EX-731, Denacol EX-811, Denacol E -821, Denacol EX-850, Denacol EX-851, Denacol EX-911 (manufactured by Nagase ChemteX), Epolite 70P, Epolite 200P, Epolite 400P, Epolite 40E, Epolite 100E, Epolite 200E, Epolite 400E, Epolite 80MF, Epolite 100MF, Epolite 1500NP, Epolite 1600, Epolite 3002, Epolite 4000, Epolite FR-1500, Epolite M-1230, Epolite EHDG-L (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), SB-20 (Okamura Oil Co., Ltd.), Epiklon 720 (Large) Nippon Ink Chemical Co., Ltd.), UVR-6100, UVR-6105, UVR-6110, UVR-6200, UVR-6228 (Union Carbide), Celoxide 2 000, Celoxide 2021, Celoxide 2021P, Celoxide 2081, Celoxide 2083, Celoxide 2085, Celoxide 3000, Cyclomer A200, Cyclomer M100, Cyclomer M101, Epolide GT-301, Epolide GT-302, Epolide 401, Epolide 403, Epolide HD300 , EHPE-3150, ETHB, Epo blend (manufactured by Daicel Chemical Industries), PY-306, 0163, DY-022 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), Santo Tote ST0000, Epototo YD-011, Epototo YD-115, Epototo YD -127, Epototo YD-134, Epototo YD-172, Epototo YD-6020, Epototo YD-716, Epototo YD- 011R, EPOTOHTO YD-901, EPOTOHTO YDPN-638, EPOTOHTO YH-300, Neototo PG-202, (manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) Neototo PG-207, include Blemmer G (manufactured by NOF Corporation) and the like.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物を得るために使用される多塩基酸無水物(E)としては、上記多塩基酸無水物(C)として挙げたものを用いることができる。
(A)〜(E)の各成分を反応させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物に、さらにエポキシ化合物(D)を付加させ、続いて多塩基酸無水物(E)をエステル化させることを繰り返してもよく、また、(A)〜(E)の各成分を反応させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物に、さらにエポキシ化合物(D)を付加させた後、多塩基酸無水物(E)に代えてラクトン化合物をエステル化させてもよい。
As the polybasic acid anhydride (E) used for obtaining the alkali-developable resin composition of the present invention, those mentioned as the polybasic acid anhydride (C) can be used.
An epoxy compound (D) is further added to the photopolymerizable unsaturated compound having a structure obtained by reacting each component of (A) to (E), and then the polybasic acid anhydride (E) is esterified. In addition, the epoxy compound (D) may be further added to the photopolymerizable unsaturated compound having a structure obtained by reacting the components (A) to (E). A lactone compound may be esterified instead of the basic acid anhydride (E).
(A)〜(E)の各成分を反応させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(X)、(Y)又は(Z)の含有量は、その含有量が、本発明のアルカリ現像性樹脂組成物において1〜70質量%、特に3〜30質量%が好ましく、固形分の酸価が35〜120mg/KOH、特に50〜110mg/KOHの範囲であるのが好ましい。 The content of the photopolymerizable unsaturated compound (X), (Y) or (Z) having a structure obtained by reacting each component of (A) to (E) is the alkali of the present invention. In the developable resin composition, 1 to 70% by mass, particularly 3 to 30% by mass is preferable, and the acid value of the solid content is preferably 35 to 120 mg / KOH, particularly 50 to 110 mg / KOH.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物には、上記光重合性不飽和化合物の他に、溶媒を含有させる。例えば、光重合性不飽和化合物の含有量を上記の好ましい範囲とする場合、光重合性不飽和化合物以外の残部には溶媒を用いることができる。該溶媒の具体例としては、後述のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に用いられる溶媒として例示するものが挙げられる。また、(A)〜(E)成分から上記光重合性不飽和化合物を合成する際に用いた溶媒を除去せず、そのまま本発明のアルカリ現像性樹脂組成物に含有させてもよい。 The alkali-developable resin composition of the present invention, in addition to the photopolymerizable unsaturated compound, Ru is contained solvent. For example, when making content of a photopolymerizable unsaturated compound into said preferable range, a solvent can be used for remainder other than a photopolymerizable unsaturated compound. Specific examples of the solvent include those exemplified as the solvent used in the alkali-developable photosensitive resin composition described later. Moreover, you may make it contain in the alkali developable resin composition of this invention as it is, without removing the solvent used when synthesize | combining the said photopolymerizable unsaturated compound from (A)-(E) component.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物は、主として、光重合開始剤(F)及び溶媒と混合され、アルカリ現像性感光性樹脂組成物として用いられる。
以下に、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物(以下、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物ともいう)について、好ましい実施形態に基づき説明する。
The alkali-developable resin composition of the present invention is mainly mixed with a photopolymerization initiator (F) and a solvent and used as an alkali-developable photosensitive resin composition.
Below, the said alkali-developable photosensitive resin composition (henceforth the alkali-developable photosensitive resin composition of this invention) is demonstrated based on preferable embodiment.
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、少なくとも、上記光重合性不飽和化合物を含有する本発明のアルカリ現像性樹脂組成物に、光重合開始剤(F)及び溶媒を含有させたものである。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、前記光重合性不飽和化合物の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で50〜90質量%、特に60〜80質量%が好ましい。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention comprises at least a photopolymerization initiator (F) and a solvent in the alkali-developable resin composition of the present invention containing the photopolymerizable unsaturated compound. It is.
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the photopolymerizable unsaturated compound is 50 to 90 in terms of the total mass of the total solid content excluding the solvent from the alkali-developable photosensitive resin composition. % By mass, particularly 60 to 80% by mass is preferred.
上記光重合開始剤(F)としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4'−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4'−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4'−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9'−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2'−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、下記化合物No.19、No.20等が挙げられる。これらの中でも、ベンゾフェノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オンが好ましい。 As the photopolymerization initiator (F), conventionally known compounds can be used. For example, benzophenone, phenylbiphenyl ketone, 1-hydroxy-1-benzoylcyclohexane, benzyl, benzyldimethyl ketal, 1-benzyl- 1-dimethylamino-1- (4′-morpholinobenzoyl) propane, 2-morpholyl-2- (4′-methylmercapto) benzoylpropane, thioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, ethyl Anthraquinone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, benzoin butyl ether, 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2- (4′-isopropyl) benzoylpropane, 4-butylbenzene Nzoyltrichloromethane, 4-phenoxybenzoyldichloromethane, methyl benzoylformate, 1,7-bis (9′-acridinyl) heptane, 9-n-butyl-3,6-bis (2′-morpholinoisobutyroyl) carbazole, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, the following compound No. 19, no. 20 etc. are mentioned. Among these, benzophenone and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one are preferable.
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記光重合開始剤(F)の含有量は、本発明のアルカリ現像性樹脂組成物に溶媒を加えた上記溶液状組成物に対して、0.1〜30質量%、特に0.5〜5質量%が好ましい。 In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the photopolymerization initiator (F) is 0 with respect to the solution-like composition obtained by adding a solvent to the alkali-developable resin composition of the present invention. .1 to 30% by mass, particularly 0.5 to 5% by mass is preferable.
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に含まれる溶媒としては、通常、前記の各成分を溶解または分散しえる溶媒であれば特に制限はないが、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のセルソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素、テトラヒドロフラン、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられ、中でも、ケトン類あるいはセロソルブ系溶媒が好ましい。これらの溶媒は1種又は2種以上の混合溶媒として使用することができる。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記溶媒の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物に占める全固形分濃度が5〜40質量%、特に15〜30質量%となるように調整するとよい。
The solvent contained in the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a solvent that can dissolve or disperse the above-mentioned components. For example, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, diethyl ketone Ketones such as acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; ether solvents such as ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol dimethyl ether; acetic acid Ester solvents such as methyl, ethyl acetate, acetic acid-n-propyl, isopropyl acetate, n-butyl acetate; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, etc. Cellsolv solvent; alcohol solvent such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, amyl alcohol; BTX solvent such as benzene, toluene, xylene; hexane, heptane, octane, cyclohexane, etc. Aliphatic hydrocarbon solvents; terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; mineral spirits, swazol # 310 (Cosmo Matsuyama Oil Co., Ltd.), Solvesso # 100 (Exxon Chemical Co., Ltd.), etc. Paraffinic solvents; halogenated aliphatic hydrocarbon solvents such as carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, and methylene chloride; halogenated aromatic hydrocarbon solvents such as chlorobenzene; carbitol solvents, aniline, triethylamine, pyridine, acetic acid, Acetonitrile, disulfide Arsenide, tetrahydrofuran, N, N- dimethylformamide, N- methylpyrrolidone, and among these, ketones or cellosolve solvent. These solvents can be used as one or a mixture of two or more.
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent is such that the total solid content in the alkali-developable photosensitive resin composition is 5 to 40% by mass, particularly 15 to 30% by mass. It is good to adjust.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物には、さらに不飽和結合を有するモノマー、連鎖移動剤、界面活性剤等を併用することができる。 The alkali-developable resin composition and the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may further contain a monomer having an unsaturated bond, a chain transfer agent, a surfactant, and the like.
上記不飽和結合を有するモノマーとしては、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸N−オクチル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸亜鉛、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ターシャリーブチル、メタクリル酸シクロヘキシル、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリシクロデカンジメチロールジアクリレート等が挙げられる。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記不飽和結合を有するモノマーの含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で0.01〜20質量%、特に0.1〜10質量%が好ましい。
Examples of the monomer having an unsaturated bond include: 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isobutyl acrylate, N-octyl acrylate, isooctyl acrylate, isononyl acrylate, stearyl acrylate, acrylic acid Methoxyethyl, dimethylaminoethyl acrylate, zinc acrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, butyl methacrylate, methacrylic acid Tertiary butyl, cyclohexyl methacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol Lithol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, tricyclodecane dimethylol diacrylate and the like.
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the monomer having an unsaturated bond is 0.01% in the total mass of the total solid content excluding the solvent from the alkali-developable photosensitive resin composition. -20% by mass, particularly 0.1-10% by mass is preferred.
上記連鎖移動剤としては、チオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−〔N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル〕プロピオン酸、3−〔N−(2−メルカプトエチル)アミノ〕プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4-メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物が挙げられる。 Examples of the chain transfer agent include thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N- (2-mercaptopropionyl) glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) carbamoyl] propionic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) amino] propionic acid, N- (3-mercaptopropionyl) alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3 -Mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio) phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto- 2-butanol, mercaptov Enol, 2-mercaptoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopro Mercapto compounds such as pionate), disulfide compounds obtained by oxidizing the mercapto compound, iodinated alkyls such as iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid, etc. Compounds.
上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤、高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもよい。 Examples of the surfactant include fluorine surfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkyl carboxylates, anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkyl sulfonates, and alkyl sulfates, and higher amines. Cationic surfactants such as halogenates and quaternary ammonium salts, nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters and fatty acid monoglycerides, amphoteric surfactants, silicone surfactants Surfactants such as agents can be used, and these may be used in combination.
本発明のアルカリ現像性樹脂組成物及びアルカリ現像性感光性樹脂組成物には、さらに熱可塑性有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、ポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル等が挙げられる。 The properties of the cured product can be improved by further using a thermoplastic organic polymer in the alkali-developable resin composition and the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention. Examples of the thermoplastic organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly (meth) acrylic acid, styrene- (meth) acrylic acid copolymer, (meth) acrylic acid- Examples include methyl methacrylate copolymer, polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, and saturated polyester.
また、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物には、必要に応じて、アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;分散剤;レベリング剤;シランカップリング剤等の慣用の添加物を加えることができる。 In addition, the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention includes, if necessary, thermal polymerization inhibitors such as anisole, hydroquinone, pyrocatechol, tert-butylcatechol, phenothiazine; plasticizer; adhesion promoter; filler. Conventional additives such as an antifoaming agent, a dispersant, a leveling agent, and a silane coupling agent can be added.
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、ロールコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用される。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。 The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a support substrate such as metal, paper, plastic, etc. by a known means such as a roll coater, curtain coater, various printing, and immersion. Moreover, after once applying on support bases, such as a film, it can also transfer on another support base | substrate, There is no restriction | limiting in the application method.
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、主として、前記溶媒及び前記光重合開始剤と混合され、アルカリ現像性感光性樹脂組成物として用いられるもので、該アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、その用途に特に制限はなく、光硬化性塗料、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト等の各種の用途に使用することができる。 The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is mainly mixed with the solvent and the photopolymerization initiator and used as an alkali-developable photosensitive resin composition. There is no restriction | limiting in particular in the use, It can use for various uses, such as a photocurable coating material, a photocurable adhesive agent, a printing plate, a photoresist for printed wiring boards.
また、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長300〜450nmの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。 Moreover, as the light source of the active light used when curing the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, one that emits light having a wavelength of 300 to 450 nm can be used, for example, ultrahigh pressure mercury, mercury Steam arc, carbon arc, xenon arc, etc. can be used.
以下、実施例等を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、下記実施例等において、「%」は、質量%を意味する。
実施例1〜8は、エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.1〜No.8の調製を示し、比較例1〜4は、比較エポキシ樹脂の製造及び比較光重合性不飽和化合物の製造並びに該比較光重合性不飽和化合物を含有する比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9〜No.12の調製を示す。実施例9〜16は、実施例1〜8で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1〜No.8に、光重合開始剤及び溶媒を混合して、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.8の調製を示し、比較例5〜8は、比較例1〜4で得られた比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9〜No.12に、光重合開始剤及び溶媒を混合して、比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.9〜No.12の調製を示す。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example etc. are given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to these Examples. In the following examples and the like, “%” means mass%.
Examples 1 to 8 are the production of an epoxy resin, the production of a photopolymerizable unsaturated compound, and an alkali developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. 1-No. Comparative Examples 1 to 4 show the production of a comparative epoxy resin, the production of a comparative photopolymerizable unsaturated compound, and a comparative alkali developable resin composition No. 1 containing the comparative photopolymerizable unsaturated compound. 9-No. 12 preparations are shown. Examples 9 to 16 are alkali-developable resin composition Nos. Obtained in Examples 1 to 8. 1-No. 8 is mixed with a photopolymerization initiator and a solvent to obtain an alkali-developable photosensitive resin composition No. 1-No. In Comparative Examples 5 to 8, Comparative Alkali Developable Resin Composition Nos. 1 to 4 obtained in Comparative Examples 1 to 4 were prepared. 9-No. 12 is mixed with a photopolymerization initiator and a solvent, and a comparative alkali-developable photosensitive resin composition No. 9-No. 12 preparations are shown.
[実施例1] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.1の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、以下、エポキシ化合物1ともいう)554g、レソルシノール66g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物1ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート413gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1490のエポキシ樹脂(以下、化合物a−1ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(以下、化合物bともいう)50g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.5g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート33gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート233g及び無水コハク酸(以下、化合物cともいう)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。更にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート337gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.1を得た(Mw=6650、Mn=3380、酸価(固形分)107mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.1が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物1とを交互共重合させた構造を有する(A)成分であるエポキシ樹脂a−1に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、エポキシ付加物と化合物cを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−1は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物1の水酸基が0.6個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 1] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 1 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, hereinafter also referred to as epoxy compound 1) 554 g, resorcinol 66 g ( Hereinafter, it is also referred to as polyhydroxy aromatic compound 1), 7.2 g of tetrabutylammonium acetate, and 413 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, and stirred at 90 ° C. for 2 hours and at 120 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-1) solution having an epoxy equivalent of 1490 was obtained. This was charged with 50 g of acrylic acid (hereinafter also referred to as compound b), 2.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 33 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate at 120 ° C. Stir for 15 hours. After cooling to room temperature, 233 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (hereinafter also referred to as compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. Further, 337 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added to obtain the target alkali-developable resin composition No. 1 as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 1 was obtained (Mw = 6650, Mn = 3380, acid value (solid content) 107 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. 1 is an epoxy resin a-1 that is a component (A) having a structure in which an epoxy compound 1 and a polyhydroxy aromatic compound 1 are alternately copolymerized. The epoxy adduct and compound c are reacted at a ratio of 0.8 acid anhydride structure of compound c as component (C) to one hydroxyl group of the epoxy adduct having a structure to which compound b is added. It was obtained. The epoxy resin a-1 has a structure in which the hydroxyl group of the polyhydroxy aromatic compound 1 is alternately copolymerized at a ratio of 0.6 to one epoxy group of the epoxy compound 1.
[実施例2] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.2の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)554g、1,1―ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン134g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物2ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート459gを仕込み、90℃で1時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量860のエポキシ樹脂(以下、化合物a―2ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)97g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.8g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート64gを仕込み、120℃で12時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート251g及び無水コハク酸(化合物c)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。更にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート383gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.2を得た(Mw=2500、Mn=1810、酸価(固形分)100mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.2が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物2とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−2に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、エポキシ付加物と化合物cを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−2は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物2の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 2] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 2 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 554 g, 1,1-bis (4 -Hydroxyphenyl) 134 g of cyclohexane (hereinafter also referred to as polyhydroxy aromatic compound 2), 7.2 g of tetrabutylammonium acetate and 459 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged at 90 ° C. for 1 hour, 120 ° C. For 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-2) solution having an epoxy equivalent of 860 was obtained. This was charged with 97 g of acrylic acid (compound b), 2.8 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 64 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 12 hours. . After cooling to room temperature, 251 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. Further, 383 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the alkali-developable resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was added. 2 was obtained (Mw = 2500, Mn = 1810, acid value (solid content) 100 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound contained in 2 is an epoxy resin a-2, which is an (A) component obtained by alternately copolymerizing an epoxy compound 1 and a polyhydroxy aromatic compound 2, and a component (B). The epoxy adduct and compound c are reacted at a ratio of 0.8 acid anhydride structure of compound c as component (C) to one hydroxyl group of the epoxy adduct having a structure to which compound b is added. It was obtained. In addition, the epoxy resin a-2 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized at a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 2.
[実施例3] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.3の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)554g、2,2―ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン136g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物3ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート460gを仕込み、90℃で1時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1220のエポキシ樹脂(以下、化合物a−3ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)68g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.8g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート45gを仕込み、120℃で12時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート247g及び無水コハク酸(化合物c)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。更にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート373gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.3を得た(Mw=5130、Mn=2630、酸価(固形分)103mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.3が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物3とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−3に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、エポキシ付加物と化合物cを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−3は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物3の水酸基が0.6個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 3] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 3 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 554 g, 2,2-bis (4 -Hydroxyphenyl) propane (136 g) (hereinafter also referred to as polyhydroxy aromatic compound 3), tetrabutylammonium acetate (7.2 g) and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate (460 g) were charged at 90 ° C. for 1 hour, 120 ° C. For 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-3) solution having an epoxy equivalent of 1220 was obtained. This was charged with 68 g of acrylic acid (compound b), 2.8 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 45 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 12 hours. . After cooling to room temperature, 247 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. Further, 373 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added to obtain the target alkali-developable resin composition No. 1 as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 3 was obtained (Mw = 5130, Mn = 2630, acid value (solid content) 103 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound 3 contains the epoxy resin a-3, which is the component (A) obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 3, and the component (B) The epoxy adduct and compound c are reacted at a ratio of 0.8 acid anhydride structure of compound c as component (C) to one hydroxyl group of the epoxy adduct having a structure to which compound b is added. It was obtained. In addition, the epoxy resin a-3 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized with a ratio of 0.6 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 3.
[実施例4] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.4の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)166g、レソルシノール16.6g(ポリヒドロキシ芳香族化合物1)、テトラブチルアンモニウムアセテート2.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート122gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1090のエポキシ樹脂(以下、化合物a−4ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)20g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.7g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート14gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート70g及び無水コハク酸(化合物c)48gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート(以下、化合物d−1ともいう)65g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.7gを加えて、120℃で8時間撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸59g(以下、化合物eともいう)を加えて100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート200gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.4を得た(Mw=6330、Mn=3290、酸価(固形分)68mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.4が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物1とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−4に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.75個の比率で、(E)成分である化合物eの酸無水物構造が0.65個の比率で、エポキシ付加物と化合物c、化合物d−1及び化合物eを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−4は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物1の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 4] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 4 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 166 g, resorcinol 16.6 g (polyhydroxy Aromatic compound 1), 2.2 g of tetrabutylammonium acetate and 122 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged and stirred at 90 ° C. for 2 hours and at 120 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-4) solution having an epoxy equivalent of 1090 was obtained. This was charged with 20 g of acrylic acid (compound b), 0.7 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 14 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. . After cooling to room temperature, 70 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 48 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 65 g of glycidyl methacrylate (hereinafter also referred to as compound d-1) and 0.7 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added and stirred at 120 ° C. for 8 hours. Further, 59 g of tetrahydrophthalic anhydride (hereinafter also referred to as compound e) was added and stirred at 100 ° C. for 3 hours. After cooling to room temperature, 200 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the alkali-developable resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was added. 4 (Mw = 6330, Mn = 3290, acid value (solid content) 68 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound 4 contains the epoxy resin a-4, which is the component (A) obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 1, with the component (B). The ratio of the acid anhydride structure of the compound c as the component (C) to 0.8 for the hydroxyl group of the epoxy adduct having the structure to which the compound b is added is the compound d as the component (D). -1 epoxy group at a ratio of 0.75, and the acid anhydride structure of compound e as component (E) is at a ratio of 0.65, an epoxy adduct, compound c, compound d-1 and compound e It was obtained by reacting. In addition, the epoxy resin a-4 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized at a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 1.
[実施例5] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.5の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)554g、2,5−ジ−tert―ブチルヒドロキノン112g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物4ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート444gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1390のエポキシ樹脂(以下、化合物a−5ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)57g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.5g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート49gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート244g及び無水コハク酸(化合物c)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート(化合物d−1)215g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.5gを加えて、120℃で7時間撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸198g(化合物e)を加えて100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート694gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.5を得た(Mw=4960、Mn=2270、酸価(固形分)74mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.5が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物4とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−5に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.75個の比率で、(E)成分である化合物eの酸無水物構造が0.65個の比率で、エポキシ付加物と化合物c、化合物d−1及び化合物eを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−5は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物4の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 5] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 5 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 554 g, 2,5-di-tert -112 g of butylhydroquinone (hereinafter also referred to as polyhydroxy aromatic compound 4), 7.2 g of tetrabutylammonium acetate and 444 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged at 90 ° C for 2 hours and at 120 ° C for 5 hours. Stir for hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-5) solution having an epoxy equivalent of 1390 was obtained. This was charged with 57 g of acrylic acid (compound b), 2.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 49 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. . After cooling to room temperature, 244 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 215 g of glycidyl methacrylate (compound d-1) and 2.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 7 hours. Further, 198 g of tetrahydrophthalic anhydride (Compound e) was added and stirred at 100 ° C. for 3 hours. The mixture was cooled to room temperature, 694 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the target alkali-developing resin composition No. 1 was obtained as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 5 was obtained (Mw = 4960, Mn = 2270, acid value (solid content) 74 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound contained in 5 is an epoxy resin a-5 which is an (A) component obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 4, and the component (B) The ratio of the acid anhydride structure of the compound c as the component (C) to 0.8 for the hydroxyl group of the epoxy adduct having the structure to which the compound b is added is the compound d as the component (D). -1 epoxy group at a ratio of 0.75, and the acid anhydride structure of compound e as component (E) is at a ratio of 0.65, an epoxy adduct, compound c, compound d-1 and compound e It was obtained by reacting. Further, the epoxy resin a-5 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized with a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 4.
[実施例6] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.6の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)554g、2,2―ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン114g(ポリヒドロキシ芳香族化合物3)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート445gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1230のエポキシ樹脂(以下、化合物a−6ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)65g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.6g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート44gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート243g及び無水コハク酸(化合物c)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル(以下、化合物d−2ともいう)300g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.6gを加えて、120℃で8時間撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸198g(化合物e)を加えて100℃で3時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート694gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.6を得た(Mw=8010、Mn=3370、酸価(固形分)57mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.6が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物3とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−6に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−2のエポキシ基が0.75個の比率で、(E)成分である化合物eの酸無水物構造が0.65個の比率で、エポキシ付加物と化合物c、化合物d−2及び化合物eを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−6は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物3の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 6] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 6 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 554 g, 2,2-bis (4 -Hydroxyphenyl) propane 114 g (polyhydroxyaromatic compound 3), tetrabutylammonium acetate 7.2 g and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 445 g were charged and stirred at 90 ° C. for 2 hours and 120 ° C. for 5 hours. did. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-6) solution having an epoxy equivalent of 1230 was obtained. This was charged with 65 g of acrylic acid (compound b), 2.6 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 44 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. . After cooling to room temperature, 243 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. Cool to room temperature, add 300 g of 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether (hereinafter also referred to as compound d-2) and 2.6 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and stir at 120 ° C. for 8 hours. did. Further, 198 g of tetrahydrophthalic anhydride (Compound e) was added and stirred at 100 ° C. for 3 hours. The mixture was cooled to room temperature, 694 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the target alkali-developing resin composition No. 1 was obtained as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 6 (Mw = 8010, Mn = 3370, acid value (solid content) 57 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound contained in 6 is an epoxy resin a-6, which is obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 3, and the component (B). The ratio of the acid anhydride structure of the compound c as the component (C) to 0.8 for the hydroxyl group of the epoxy adduct having the structure to which the compound b is added is the compound d as the component (D). -Epoxy group of -2 at a ratio of 0.75, and the acid anhydride structure of compound (e), which is component (E), is at a ratio of 0.65, an epoxy adduct, compound c, compound d-2 and compound e It was obtained by reacting. The epoxy resin a-6 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized at a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 3.
[実施例7] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.7の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)166g、サリチル酸21g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物5ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート2.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート124gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1150のエポキシ樹脂(以下、化合物a−7ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)20g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.9g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート13gを仕込み、120℃で10時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート97g及び無水コハク酸(化合物c)80gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート(化合物d−1)108g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.9gを加えて、120℃で7時撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸99g(化合物e)を加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート281gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.7を得た(Mw=3050、Mn=1860、酸価(固形分)62mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.7が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物5とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−7に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.75個の比率で、(E)成分である化合物eの酸無水物構造が0.53個の比率で、エポキシ付加物と化合物c、化合物d−1及び化合物eを反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−7は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物5の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 7] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali-developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 7 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 166 g, salicylic acid 21 g (hereinafter, polyhydroxy (Also referred to as aromatic compound 5), tetrabutylammonium acetate 2.2 g and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 124 g were charged and stirred at 90 ° C. for 2 hours and 120 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-7) solution having an epoxy equivalent of 1150 was obtained. This was charged with 20 g of acrylic acid (compound b), 0.9 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 13 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 10 hours. . After cooling to room temperature, 97 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 80 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 108 g of glycidyl methacrylate (compound d-1) and 0.9 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 7 hours. Furthermore, 99 g (compound e) of tetrahydrophthalic anhydride was added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 281 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the target alkali-developing resin composition No. 1 was obtained as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 7 was obtained (Mw = 3050, Mn = 1860, acid value (solid content) 62 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound contained in 7 is an epoxy resin a-7, which is obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 5, and the (B) component. The ratio of the acid anhydride structure of the compound c as the component (C) to 0.8 for the hydroxyl group of the epoxy adduct having the structure to which the compound b is added is the compound d as the component (D). -1 epoxy group at a ratio of 0.75, and the acid anhydride structure of compound e as component (E) is at a ratio of 0.53, an epoxy adduct, compound c, compound d-1 and compound e It was obtained by reacting. In addition, the epoxy resin a-7 has a structure in which one hydroxyl group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized with a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 5.
[実施例8] エポキシ樹脂の製造及び光重合性不飽和化合物の製造並びに該光重合性不飽和化合物を含有するアルカリ現像性樹脂組成物No.8の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277、エポキシ化合物1)554g、2,5−ジ−tert―ブチルヒドロキノン112g(以下、ポリヒドロキシ芳香族化合物4ともいう)、テトラブチルアンモニウムアセテート7.2g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート444gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1390のエポキシ樹脂(以下、化合物a−5ともいう)溶液を得た。これにアクリル酸(化合物b)57g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.5g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート49gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート244g及び無水コハク酸(化合物c)160gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート(化合物d−1)123g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.5gを加えて、120℃で7時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート694gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性樹脂組成物No.8を得た(Mw=6400、Mn=2800、酸価(固形分)58mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性樹脂組成物No.8が含有する光重合性不飽和化合物は、エポキシ化合物1とポリヒドロキシ芳香族化合物4とを交互共重合させて得られた(A)成分であるエポキシ樹脂a−5に、(B)成分である化合物bを付加させた構造を有するエポキシ付加物の水酸基1個に対し、(C)成分である化合物cの酸無水物構造が0.8個の比率で、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基が0.4個の比率で、エポキシ付加物と化合物c及び化合物d−1を反応させて得られたものである。また、上記エポキシ樹脂a−5は、エポキシ化合物1のエポキシ基1個に対し、ポリヒドロキシ芳香族化合物4の水酸基が0.5個の比率で交互共重合させた構造を有するものである。
[Example 8] Production of epoxy resin, production of photopolymerizable unsaturated compound, and alkali developable resin composition No. 1 containing the photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 8 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277, epoxy compound 1) 554 g, 2,5-di-tert -112 g of butylhydroquinone (hereinafter also referred to as polyhydroxy aromatic compound 4), 7.2 g of tetrabutylammonium acetate and 444 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged at 90 ° C for 2 hours and at 120 ° C for 5 hours. Stir for hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin (hereinafter also referred to as compound a-5) solution having an epoxy equivalent of 1390 was obtained. This was charged with 57 g of acrylic acid (compound b), 2.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 49 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. . After cooling to room temperature, 244 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride (compound c) were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 123 g of glycidyl methacrylate (compound d-1) and 2.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 7 hours. The mixture was cooled to room temperature, 694 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and the target alkali-developing resin composition No. 1 was obtained as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 8 was obtained (Mw = 6400, Mn = 2800, acid value (solid content) 58 mgKOH / g).
In addition, alkali developable resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound contained in 8 is an epoxy resin a-5 which is an (A) component obtained by alternately copolymerizing the epoxy compound 1 and the polyhydroxy aromatic compound 4, and the component (B) The ratio of the acid anhydride structure of the compound c as the component (C) to 0.8 for the hydroxyl group of the epoxy adduct having the structure to which the compound b is added is the compound d as the component (D). -1 epoxy group at a ratio of 0.4, the epoxy adduct was obtained by reacting compound c and compound d-1. Further, the epoxy resin a-5 has a structure in which one epoxy group of the epoxy compound 1 is alternately copolymerized with a ratio of 0.5 hydroxyl groups of the polyhydroxy aromatic compound 4.
[比較例1] 比較エポキシ樹脂の製造及び比較光重合性不飽和化合物の製造並びに該比較光重合性不飽和化合物を含有する比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277)277g、1,1−ビス(4’―ヒドロキシシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン87g、テトラブチルアンモニウムアセテート3.6g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート243gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1060のエポキシ樹脂溶液を得た。これにアクリル酸41g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール1.5g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート28gを仕込み、120℃で16時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート127g及び無水コハク酸80gを加えて100℃で5時間撹拌した。更にプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート197gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9を得た(Mw=5100、Mn=3070、酸価(固形分)116mgKOH/g)。
[Comparative Example 1] Production of a comparative epoxy resin, production of a comparative photopolymerizable unsaturated compound, and comparative alkali-developable resin composition No. 1 containing the comparative photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 9 277 g of 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277), 1,1-bis (4′-hydroxysilane) (Phenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane 87 g, tetrabutylammonium acetate 3.6 g and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 243 g were charged at 90 ° C. for 2 hours, 120 ° C. For 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin solution having an epoxy equivalent of 1060 was obtained. This was charged with 41 g of acrylic acid, 1.5 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 28 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 16 hours. After cooling to room temperature, 127 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 80 g of succinic anhydride were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. Further, 197 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added to prepare a comparative alkali developable resin composition No. 1 as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 9 was obtained (Mw = 5100, Mn = 3070, acid value (solid content) 116 mgKOH / g).
[比較例2] 比較エポキシ樹脂の製造及び比較光重合性不飽和化合物の製造並びに該比較光重合性不飽和化合物を含有する比較アルカリ現像性樹脂組成物No.10の調製
1,1−ビス(4’―エポキシプロピルオキシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン(エポキシ当量277)277g、1,1−ビス(4’―ヒドロキシシフェニル)−1−(1’’−ビフェニル)−1−シクロヘキシルメタン109g、テトラブチルアンモニウムアセテート3.6g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート257gを仕込み、90℃で2時間、120℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量1380のエポキシ樹脂溶液を得た。これにアクリル酸34g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール1.3g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート129g及び無水コハク酸80gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル150g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.0gを加えて、120℃で8時間撹拌した。更に無水コハク酸65gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート343gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として比較アルカリ現像性樹脂組成物No.10を得た(Mw=7920、Mn=3810、酸価(固形分)60mgKOH/g)。
[Comparative Example 2] Production of comparative epoxy resin, production of comparative photopolymerizable unsaturated compound, and comparative alkali-developable resin composition No. 1 containing the comparative photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 10 1,1-bis (4′-epoxypropyloxyphenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane (epoxy equivalent 277) 277 g, 1,1-bis (4′-hydroxysilane) (Phenyl) -1- (1 ″ -biphenyl) -1-cyclohexylmethane 109 g, tetrabutylammonium acetate 3.6 g and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 257 g were charged at 90 ° C. for 2 hours, 120 ° C. For 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin solution having an epoxy equivalent of 1380 was obtained. This was charged with 34 g of acrylic acid, 1.3 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 23 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. The mixture was cooled to room temperature, 129 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 80 g of succinic anhydride were added, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours. The mixture was cooled to room temperature, 150 g of 4-hydroxybutyl acrylate glycidyl ether and 2.0 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 8 hours. Further, 65 g of succinic anhydride was added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 343 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and a comparative alkali developable resin composition No. 1 was prepared as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 10 was obtained (Mw = 7920, Mn = 3810, acid value (solid content) 60 mgKOH / g).
[比較例3] 比較エポキシ樹脂の製造及び比較光重合性不飽和化合物の製造並びに該比較光重合性不飽和化合物を含有する比較アルカリ現像性樹脂組成物No.11の調製
2,2―ビス(4―エポキシプロピルオキシフェニル)プロパン(エポキシ当量190)380g、2,2―ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン114g、テトラブチルアンモニウムアセテート4.8g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート329gを仕込み、90℃で2時間、110℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量852のエポキシ樹脂溶液を得た。これにアクリル酸70g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.1g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート47gを仕込み、120℃で15時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート217g及び無水コハク酸160gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート215g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール2.0gを加えて、120℃で8時間撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸198gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート623gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として比較アルカリ現像性樹脂組成物No.11を得た(Mw=3630、Mn=1510、酸価(固形分)68mgKOH/g)。
[Comparative Example 3] Production of comparative epoxy resin, production of comparative photopolymerizable unsaturated compound, and comparative alkali-developable resin composition No. 1 containing the comparative photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 11 380 g of 2,2-bis (4-epoxypropyloxyphenyl) propane (epoxy equivalent 190), 114 g of 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, 4.8 g of tetrabutylammonium acetate and propylene glycol-1 -329 g of monomethyl ether-2-acetate was charged and stirred at 90 ° C for 2 hours and at 110 ° C for 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin solution having an epoxy equivalent of 852 was obtained. This was charged with 70 g of acrylic acid, 2.1 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 47 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. After cooling to room temperature, 217 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 160 g of succinic anhydride were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 215 g of glycidyl methacrylate and 2.0 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 8 hours. Further, 198 g of tetrahydrophthalic anhydride was added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 623 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added to give a comparative alkali developable resin composition No. 1 as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 11 (Mw = 3630, Mn = 1510, acid value (solid content) 68 mgKOH / g).
[比較例4] 比較エポキシ樹脂の製造及び比較光重合性不飽和化合物の製造並びに該比較光重合性不飽和化合物を含有する比較アルカリ現像性樹脂組成物No.12の調製
レソルシノールジグリシジルエーテル(エポキシ当量122)733g、レソルシノール165g、テトラブチルアンモニウムアセテート9.6g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート599gを仕込み、90℃で2時間、110℃で5時間撹拌した。室温まで冷却して、エポキシ当量509のエポキシ樹脂溶液を得た。これにアクリル酸212g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール5.3g、及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート142gを仕込み、120℃で15時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート562g及び無水コハク酸480gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、グリシジルメタクリレート646g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール5.3gを加えて、120℃で8時間撹拌した。更に無水テトラヒドロフタル酸593gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート1632gを加えて、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として比較アルカリ現像性樹脂組成物No.12を得た(Mw=3890、Mn=1710、酸価(固形分)83mgKOH/g)。
[Comparative Example 4] Production of comparative epoxy resin, production of comparative photopolymerizable unsaturated compound, and comparative alkaline developable resin composition No. 1 containing the comparative photopolymerizable unsaturated compound. Preparation of 12 733 g of resorcinol diglycidyl ether (epoxy equivalent 122), 165 g of resorcinol, 9.6 g of tetrabutylammonium acetate and 599 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged at 90 ° C. for 2 hours at 110 ° C. Stir for 5 hours. After cooling to room temperature, an epoxy resin solution having an epoxy equivalent of 509 was obtained. This was charged with 212 g of acrylic acid, 5.3 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and 142 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stirred at 120 ° C. for 15 hours. The mixture was cooled to room temperature, 562 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and 480 g of succinic anhydride were added, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 646 g of glycidyl methacrylate and 5.3 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol were added, and the mixture was stirred at 120 ° C. for 8 hours. Further, 593 g of tetrahydrophthalic anhydride was added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, 1632 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added, and a comparative alkali-developable resin composition No. 1 was prepared as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 12 was obtained (Mw = 3890, Mn = 1710, acid value (solid content) 83 mgKOH / g).
[実施例9〜16(実施例1〜8で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1〜No.8をそれぞれ含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.8の調製)及び比較例5〜8(比較例1〜4で得られた比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9〜No.12をそれぞれ含有する比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.9〜No.12の調製)]
実施例1〜8で得られたアルカリ現像性樹脂組成物No.1〜8及び比較例1〜4で得られた比較アルカリ現像性樹脂組成物No.9〜12の44gに対し、それぞれ、トリメチロールプロパントリアクリレート6.3g、ベンゾフェノン2.1g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート78gを加えてよく撹拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.8及び比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.9〜No.12を得た。
[Examples 9 to 16 (Preparation of alkali-developable photosensitive resin compositions No. 1 to No. 8 containing alkali-developable resin compositions No. 1 to No. 8 obtained in Examples 1 to 8, respectively) ) And Comparative Examples 5 to 8 (Comparative Alkali Developable Photosensitive Resin Compositions No. 9 to No. 9 respectively containing Comparative Alkali Developable Resin Composition Nos. 9 to 12 obtained in Comparative Examples 1 to 4). 12 preparation)]
Alkali-developable resin composition No. obtained in Examples 1-8. Comparative alkali-developable resin composition Nos. 1-8 and Comparative Examples 1-4 obtained in Comparative Examples 1-4. 6.3 g of trimethylolpropane triacrylate, 2.1 g of benzophenone and 78 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added to 44 g of 9-12, respectively, and the alkali-developable photosensitive resin composition Item No. 1-No. 8 and comparative alkali-developable photosensitive resin composition No. 9-No. 12 was obtained.
上記実施例9〜16で調製したアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.8及び比較例5〜8で調製した比較アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.9〜No.12の評価を以下のようにして行った。
すなわち、基板上にγ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(1300r.p.m、50秒間)し乾燥させた。70℃で20分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール5%溶液をコートして酸素遮断膜とした。70℃20分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、2.5%炭酸ナトリウム溶液に25℃で30秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、230℃で1時間ベークしてパターンを定着させた。得られたパターンについて、以下の評価を行った。結果を表1に示す。
The alkali-developable photosensitive resin composition No. prepared in Examples 9-16 above. 1-No. 8 and comparative alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 prepared in Comparative Examples 5-8. 9-No. Evaluation of 12 was performed as follows.
Specifically, γ-glycidoxypropylmethylethoxysilane was spin-coated on a substrate and spin-dried well, and then the alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (1300 rpm) for 50 seconds and dried. I let you. After pre-baking at 70 ° C. for 20 minutes, a 5% polyvinyl alcohol solution was coated to form an oxygen barrier film. After drying at 70 ° C. for 20 minutes, the film was exposed using an ultrahigh pressure mercury lamp as a light source using a predetermined mask, developed by immersing in a 2.5% sodium carbonate solution at 25 ° C. for 30 seconds, and washed thoroughly with water. After washing with water and drying, the pattern was fixed by baking at 230 ° C. for 1 hour. The following evaluation was performed about the obtained pattern. The results are shown in Table 1.
<解像度>
露光現像時に、線幅10μm以下でも良好にパターン形成できたものをA、線幅10〜15μmであれば良好にパターン形成できたものをB、線幅15μm以上のものでないと良好なパターン形成ができなかったものをCと評価した。
<現像性>
現像して得られた15μmラインアンドスペースの線間に残存する現像残渣の有無で判断した。残渣が認められなかったものを○、残渣が認められたものを×とした。
<密着性>
現像して得られたパターンのはがれを目視により観察し、パターンはがれが全く観察されなかったものを○、パターンはがれが一部に観察されたものを△、パターンはがれが全面に観察されるものを×とした。
<Resolution>
At the time of exposure and development, A is good pattern formation even if the line width is 10 μm or less, B is good pattern formation if the line width is 10 to 15 μm, and good pattern formation is required unless the line width is 15 μm or more. What was not made was evaluated as C.
<Developability>
Judgment was made based on the presence or absence of a development residue remaining between 15 μm line and space lines obtained by development. A sample in which no residue was observed was marked with ◯, and a sample in which a residue was identified was marked with ×.
<Adhesion>
Observe the peeling of the pattern obtained by development visually, ○ if the pattern peeling was not observed at all, △ if the pattern peeling was partially observed, what the pattern peeling was observed on the entire surface X.
また、以下の方法に従って、パターン形状の評価を行った。
すなわち、ガラス基板上に上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(600rpm、7秒間)して10分間風乾させた後、90℃で2分間ホットプレートにより加熱した。次いで、画素サイズ30μm×100μmのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光し、2.5%炭酸ナトリウム水溶液で現像した後、良く水洗し、230℃で30分焼成してパターンを定着させた。得られたパターンについて走査型電子顕微鏡(SEM)を用いてパターン形状の観察を行なった。パターン形状が順テーパーであるものを○、垂直形状であるものを△、オーバーハング(逆テーパー)であるものを×とした。結果を表1に示す。
Moreover, the pattern shape was evaluated according to the following method.
That is, the alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (600 rpm, 7 seconds) on a glass substrate, air-dried for 10 minutes, and then heated on a hot plate at 90 ° C. for 2 minutes. Next, using a mask with a pixel size of 30 μm × 100 μm, using a super-high pressure mercury lamp as a light source, exposing it to light, developing it with a 2.5% aqueous sodium carbonate solution, thoroughly washing it with water, and baking it at 230 ° C. for 30 minutes. Fixed. The pattern shape was observed about the obtained pattern using the scanning electron microscope (SEM). A pattern having a forward taper was indicated by ◯, a pattern having a vertical shape by Δ, and a pattern having an overhang (reverse taper) by ×. The results are shown in Table 1.
実施例9〜16のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、解像度、現像性及び密着性に優れ良好なパターン形状を持つものであった。
それに対して、比較例5〜6のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、密着性に優れ良好なパターン形状を持つものの、解像度が低下し、線幅15μm以上でないと形成できず、また、現像性も思わしくなかった。また、比較例7〜8のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、解像度及び現像性には優れるものの、密着性が悪く、パターン形状も良好でなかった。
The alkali-developable photosensitive resin compositions of Examples 9 to 16 were excellent in resolution, developability and adhesion, and had good pattern shapes.
On the other hand, the alkali-developable photosensitive resin compositions of Comparative Examples 5 to 6 have excellent adhesion and good pattern shape, but the resolution is lowered and the line width of 15 μm or more cannot be formed. The sex was not too good. Moreover, although the alkali developable photosensitive resin composition of Comparative Examples 7-8 was excellent in the resolution and developability, adhesiveness was bad and the pattern shape was also not favorable.
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