JP4869769B2 - Absolute rotary encoder and micrometer - Google Patents
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- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 109
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 27
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 22
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 21
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 21
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
本発明は、磁束結合を利用して変位を測定するアブソリュートロータリエンコーダ及びこれを搭載したマイクロメータに関する。 The present invention relates to an absolute rotary encoder that measures displacement using magnetic flux coupling and a micrometer equipped with the absolute rotary encoder.
ロータリエンコーダは、送信巻線及び受信巻線が配置されたステータと、これらと磁束結合可能なトラックが配置されたロータと、を備える。このエンコーダのうちアブソリュートタイプは、例えば、特許文献1、2に開示されている。特に、特許文献2には、内燃機関の制御に応用される比較的大きなロータリエンコーダが開示されている。
アブソリュートロータリエンコーダは、複数のトラックがロータ上に配置されているので、各トラックに割り当てられる面積は小さい。このため、アブソリュートロータリエンコーダを小型化すると、送信巻線との磁束結合によってトラックに生じる誘導電流が小さくなる。よって、十分な強度の受信信号を受信巻線から得ることができず、測定精度が低下する。 In the absolute rotary encoder, since a plurality of tracks are arranged on the rotor, the area allocated to each track is small. For this reason, when the absolute rotary encoder is reduced in size, the induced current generated in the track due to the magnetic flux coupling with the transmission winding is reduced. Therefore, a sufficiently strong received signal cannot be obtained from the receiving winding, and the measurement accuracy decreases.
また、ステータとロータを筐体に組み込んだ際に、ステータやロータの位置ずれが発生した場合、アブソリュートロータリエンコーダのサイズを問わず、位置ずれの大きさは同じ程度である。したがって、アブソリュートロータリエンコーダを小型化すると位置ずれの影響が大きく、測定精度が低下する原因となる。 In addition, when the stator and the rotor are misaligned when the stator and the rotor are assembled in the housing, the magnitude of the misalignment is almost the same regardless of the size of the absolute rotary encoder. Therefore, if the absolute rotary encoder is reduced in size, the influence of the positional deviation is large, which causes a decrease in measurement accuracy.
本発明は、小型化しても高精度測定が可能なアブソリュートロータリエンコーダ及びこれを搭載したマイクロメータを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an absolute rotary encoder capable of performing high-accuracy measurement even if it is miniaturized, and a micrometer equipped with the absolute rotary encoder.
本発明に係るアブソリュートロータリエンコーダは、軸と、ステータと、その中心に前記軸が通る貫通穴を有すると共に前記軸を中心として回転可能に前記ステータと対向して配置されたロータと、トラックが前記ロータ上で同心円状に配置されたトラック群と、前記トラック群と磁束結合可能に前記ステータに配置された送信巻線群と、前記トラック群と磁束結合可能に前記ステータに配置された受信巻線群と、を備え、前記トラック群の各トラックは、前記ロータ上で交互に配置された第1及び第2の半径の線状円弧部を含むと共に前記軸を中心とする連続した一つのリング状の磁束結合巻線であり、前記トラック群の少なくとも二つのトラックは、前記線状円弧部の数が互いに異なることを特徴とする。 An absolute rotary encoder according to the present invention includes a shaft, a stator, a rotor having a through hole through which the shaft passes at the center thereof, a rotor disposed to face the stator so as to be rotatable about the shaft, and a track. A group of tracks arranged concentrically on the rotor, a transmission winding group arranged in the stator so as to be magnetically coupled to the track group, and a receiving winding arranged in the stator so as to be magnetically coupled to the track group Each track of the track group includes a linear arc portion having first and second radii arranged alternately on the rotor, and a continuous ring shape around the axis. The at least two tracks of the track group are different in the number of the linear arc portions from each other.
本発明に係るアブソリュートロータリエンコーダに備えられる各トラックは、ロータ上で交互に配置された第1及び第2の半径の線状円弧部を含むと共に軸を中心とする連続した一つのリング状の磁束結合巻線である。したがって、アブソリュートロータリエンコーダを小型化しても、受信信号の強度の低下を防ぐことができ、また、ステータやロータの位置すれの影響を小さくすることができる。 Each track provided in the absolute rotary encoder according to the present invention includes linear arc portions having first and second radii arranged alternately on the rotor, and one continuous ring-shaped magnetic flux centering on the axis. It is a coupled winding. Therefore, even if the absolute rotary encoder is reduced in size, it is possible to prevent the strength of the received signal from being lowered and to reduce the influence of the displacement of the stator and the rotor.
本発明において、前記送信巻線群は、前記受信巻線群を構成する複数の受信巻線の中で一番内側のものより外側に配置されている、ようにすることができる。これによれば、一番内側に配置された受信巻線の内側に配置する送信巻線を省略しているので、アブソリュートロータリエンコーダの小型化を図ることができる。 In the present invention, the transmission winding group may be arranged outside the innermost one of the plurality of reception windings constituting the reception winding group. According to this, since the transmission winding disposed inside the innermost reception winding is omitted, it is possible to reduce the size of the absolute rotary encoder.
本発明において、前記送信巻線群は、送信巻線が一筆書状につながった構成を有する、ようにすることができる。これによれば、各送信巻線を駆動する送信巻線駆動回路を共用化できるので、アブソリュートロータリエンコーダを小型化できる。 In the present invention, the transmission winding group may have a configuration in which the transmission windings are connected in a single stroke. According to this, since the transmission winding drive circuit for driving each transmission winding can be shared, the absolute rotary encoder can be reduced in size.
上記アブソリュートロータリエンコーダは、マイクロメータに搭載することができる。 The absolute rotary encoder can be mounted on a micrometer.
本発明によれば、アブソリュートロータリエンコーダを小型化しても、受信巻線から得られる信号強度の低下を防ぐことができると共にステータやロータの位置ずれの影響を小さくすることができる。したがって、高精度な小型のアブソリュートロータリエンコーダを実現することができる。 According to the present invention, even if the absolute rotary encoder is miniaturized, it is possible to prevent the signal strength obtained from the reception winding from being lowered and to reduce the influence of the positional deviation of the stator and the rotor. Therefore, a highly accurate small-sized absolute rotary encoder can be realized.
以下、図面を参照して、本実施形態に係るアブソリュートロータリエンコーダ(以下、「アブソリュートロータリエンコーダ」を「エンコーダ」と記載する場合もある。)について説明する。なお、図において、既に説明した図中の符号で示すものと同一のものについては、同一符号を付すことにより説明を省略する。 Hereinafter, an absolute rotary encoder according to this embodiment (hereinafter, “absolute rotary encoder” may be referred to as “encoder”) will be described with reference to the drawings. In the figure, the same reference numerals are used to designate the same elements as those shown in the drawings already described, and the description thereof is omitted.
図1は、本実施形態に係るアブソリュートロータリエンコーダの構成要素であるステータ1の平面図であり、図2はロータ3の平面図である。ステータ1の中心には貫通穴5が形成されており、貫通穴5に軸9が通されている。ロータ3もその中心に軸9が通る貫通穴11を有している。貫通穴11に嵌め込まれた図示しないロータブッシュを介して、ロータ3は軸9を中心として矢印A方向に回転可能にステータ1と対向して配置されている。ステータ1やロータ3は、プリント回路基板、ガラス基板、シリコン基板等により構成される。
FIG. 1 is a plan view of a stator 1 that is a constituent element of an absolute rotary encoder according to the present embodiment, and FIG. 2 is a plan view of a
図1に示すステータ1は絶縁基板15を備え、この上にリング状の受信巻線17、19が軸9を中心にして同心円状に形成されている。受信巻線17が外側に位置し、受信巻線19が内側に位置している。受信巻線17は端子T1、T2を有し、受信巻線19は端子T3、T4を有する。受信巻線17、19で受信巻線群G1が構成される。受信巻線17を例として受信巻線の構成を説明する。
The stator 1 shown in FIG. 1 includes an
図3は受信巻線17の平面図である。受信巻線17は、上層導体21と、これに立体交差する下層導体23とのセットUを複数備え、これらをリング状に配置した構成を有する。上層導体21と下層導体23との間に図示しない絶縁層が配置されている。この絶縁層に設けられたスルーホール又はビアホールに埋め込まれた埋込導体25を介して、上層導体21の端部と下層導体23の端部とが接続されている。したがって、受信巻線17は、略ひし形の受信ループ27を複数備え、これらをリング状に配置した構成を有する、と言うこともできる。
FIG. 3 is a plan view of the reception winding 17. The reception winding 17 has a configuration in which a plurality of sets U of
なお、受信ループ27は略正弦波形状など、様々な閉ループ形状とすることができる。図4は略正弦波形状の受信ループ27で構成される受信巻線の平面図である。これを受信巻線17、19として図1のステータ1に配置してもよい。
The
図5は、受信巻線17の受信折返し部29付近の平面図である。受信折返し部29は、受信巻線17の先端側31及び末端側33の両方の二箇所に形成されている。詳しくは、先端側31では、下層導体23が受信折返し部29で折り返されており、末端側33では、上層導体21が受信折返し部29で折り返されている。先端側31の受信折返し部29は下層導体23であり、末端側33の受信折返し部29は上層導体21である。したがって、先端側31の受信折返し部29と末端側33の受信折返し部29とは接続されていない。
FIG. 5 is a plan view of the vicinity of the reception folded
図1の受信巻線19は、受信巻線17と同様の構成を有している。但し、受信巻線19の波長λ2に対応する回転角度は、受信巻線17の波長λ1に対応する回転角度とは異なっている。 The reception winding 19 in FIG. 1 has the same configuration as the reception winding 17. However, the rotation angle corresponding to the wavelength λ 2 of the reception winding 19 is different from the rotation angle corresponding to the wavelength λ 1 of the reception winding 17.
図1に示すように、ステータ1は、受信巻線17の外側、受信巻線17と受信巻線19との間に、それぞれ、配置された送信巻線35、37を備える。送信巻線35、37は、曲率一定の線状導体がリング状に絶縁基板15上に形成された構成を有する。送信巻線35と送信巻線37は、一筆書状につながり、送信巻線群G2を構成している。これにより、送信巻線駆動回路を共用化して送信巻線35、37を同時に駆動することができるため、エンコーダの小型化を図ることができる。T5、T6は送信巻線群G2の端子である。
As shown in FIG. 1, the stator 1 includes
また、送信巻線群G2は、受信巻線19の外側に配置、つまり、受信巻線群G1を構成する受信巻線17、19の中で一番内側のものより外側に配置されている。このように、受信巻線19の内側に配置する送信巻線を省略することによりエンコーダの小型化を図っている。
The transmission winding group G2 is arranged outside the reception winding 19, that is, outside the innermost one of the
次に、図2を参照して、ロータ3の構成を説明する。ロータ3は、円盤状の絶縁基板39を有する。トラック41、43が同心円状に絶縁基板39上に形成されている。トラック41は外側に配置され、受信巻線17及び送信巻線群G2と磁束結合可能にされている。これに対して、トラック43は内側に配置され、受信巻線19及び送信巻線群G2と磁束結合可能にされている。トラック41、43によりトラック群G3が構成される。
Next, the configuration of the
トラックの構成についてトラック41を例にして説明する。半径r1(第1の半径の一例)の線状円弧部45と、これより小さい半径r2(第2の半径の一例)の線状円弧部47と、が交互に10個ずつ配置されている。線状円弧部45、47どうしは、ロータ3の半径方向に延びる線状部49によりつながれている。これらにより、軸9を中心とする連続した一つのリング状の磁束結合巻線51が構成される。この磁束結合巻線51がトラック41となる。磁束結合巻線51の波長λ1は受信巻線17の波長λ1と等しい。
The track configuration will be described with the
トラック43となる磁束結合巻線53は、半径r2より小さい半径r3(第1の半径の一例)の線状円弧部55と、これより小さい半径r4(第2の半径の一例)の線状円弧部57と、が交互に9個ずつ配置された構成を有する。線状円弧部55、57は線状部59によりつながれている。磁束結合巻線53の波長λ2は、受信巻線19の波長λ2と等しい。以上のように、磁束結合巻線51、53は、歯車形状のパターンを有する。
The magnetic flux coupling winding 53 serving as the
線状円弧部45とその両側の線状部49でブロック61が構成され、線状円弧部55とその両側の線状部59でブロック61が構成される。ブロック61の数は、外側のトラック41が10個、内側のトラック43が9個となる。
A
図1のステータ1と図2のロータ3で構成される本実施形態に係るエンコーダによれば、トラック41とトラック43でブロック61の数が異なるので、受信巻線17、19から得られる信号の差分をもとにして、ロータ3の一回転における絶対位置の検出をすることができる。
In the encoder according to the present embodiment configured by the stator 1 in FIG. 1 and the
次に、本実施形態の主な効果を比較形態と比較して説明する。図6は、比較形態に係るロータ71の平面図であり、図2と対応する。ロータ71がロータ3と相違するのは、トラックの構成である。ロータ71のトラック41は、10個の磁束結合巻線73を所定のピッチで配置することにより構成される。これに対して、トラック43は、9個の磁束結合巻線73を所定のピッチで配置することにより構成される。磁束結合巻線73は、略矩形の枠状を有する。
Next, the main effects of this embodiment will be described in comparison with a comparative embodiment. FIG. 6 is a plan view of the
ロータ3を備えた本実施形態に係るエンコーダ、ロータ71を備えた比較形態に係るエンコーダを用いて、所定の測定対象物の寸法を測定した。条件は以下の通りであった。トラック41、43の半径はそれぞれ7.4mm、6.3mmであり、ステータに対するロータの回転中心のずれ量は100μm程度、傾きのずれはトラック41部分で25μm程度にした。
Using the encoder according to the present embodiment provided with the
上記測定の際に受信巻線から得られる信号の強度及び寸法の測定誤差を求めた。図7は信号強度の測定結果を示すグラフであり、図8は寸法の測定誤差の結果を示すグラフである。まず、信号強度について説明する。図7のグラフは、比較形態の場合の信号強度を1として、本実施形態の場合の信号強度を比で表している。 Measurement errors in the intensity and dimensions of the signal obtained from the receiving winding during the measurement were determined. FIG. 7 is a graph showing the measurement result of the signal intensity, and FIG. 8 is a graph showing the result of the measurement error of the dimension. First, the signal strength will be described. The graph of FIG. 7 represents the signal strength in the present embodiment as a ratio, where the signal strength in the comparative embodiment is 1.
本実施形態によれば、比較形態の約1.2倍の信号強度が得られる。発明が解決しようとする課題の欄で説明したように、アブソリュートロータリエンコーダは小型化すると、送信巻線との磁束結合によってトラックに生じる誘導電流が小さくなり、十分な強度の受信信号を受信巻線から得ることができない。 According to this embodiment, a signal strength about 1.2 times that of the comparative embodiment can be obtained. As described in the section of the problem to be solved by the invention, when the absolute rotary encoder is reduced in size, the induced current generated in the track due to the magnetic flux coupling with the transmission winding becomes small, and the reception signal of sufficient strength is received. Can't get from.
本実施形態は、図2に示すような連続した一つのリング状(歯車形状)の磁束結合巻線51、53でそれぞれ構成されるトラック41、43を備えるので、送信巻線群G2からトラック群G3に効率的に信号を伝達できる。よって、受信信号の強度を大きくできるため、エンコーダが小型化しても、十分な強度の受信信号を受信巻線から得ることが可能となる。
Since the present embodiment includes
次に、寸法の測定誤差について説明する。図8は、比較形態の測定誤差を1とした場合の本実施形態の測定誤差比を示している。本実施形態によれば、比較形態に比べて測定精度を50%程度向上させることができた。 Next, the dimension measurement error will be described. FIG. 8 shows the measurement error ratio of this embodiment when the measurement error of the comparative embodiment is 1. According to the present embodiment, the measurement accuracy can be improved by about 50% compared to the comparative embodiment.
本実施形態によれば、ステータやロータの位置ずれに起因する測定誤差を低減できるのは、以下の理由からだと思われる。図9に示すように、ステータに対するロータの取り付け位置がずれると、ステータとロータ間の距離がトラックの位置に応じて異なる。この場合のトラックに流れる電流を考える。 According to this embodiment, it is considered that the measurement error due to the positional deviation of the stator and the rotor can be reduced for the following reason. As shown in FIG. 9, when the mounting position of the rotor with respect to the stator is shifted, the distance between the stator and the rotor differs depending on the position of the track. Consider the current flowing in the track in this case.
図10に示すように、比較形態のロータ71は、トラックを構成する複数の磁束結合巻線73が互いに分離されているので、それぞれに異なる大きさ誘導電流が発生する。例えば、磁束結合巻線73aに流れる誘導電流iaと磁束結合巻線73bに流れる誘導電流ibは、大きさが異なる。したがって、トラックの位置に応じて誘導電流の大きさが異なることになり、測定精度が低下する原因となる。例えば、同じ0.1mmの位置ずれでも、エンコーダが小型化するとその影響は大きくなる。
As shown in FIG. 10, in the
これに対して本実施形態のロータ3は、図11に示すように、一つのトラックの磁束結合巻線51、53が連続した一つのリング状なので、トラックを流れる誘導電流はトラックの位置に応じて異なることはなく、均一にすることができる。よって、本実施形態によれば、ステータやロータの位置ずれに起因する測定誤差を低減できる。
On the other hand, as shown in FIG. 11, the
以上説明したように、本実施形態によれば、エンコーダを小型化しても、受信信号の強度の低下を防ぐことができ、かつステータやロータの位置ずれの影響を小さくできるので、高精度測定が可能な小型のアブソリュートロータリエンコーダを実現することができる。 As described above, according to the present embodiment, even if the encoder is downsized, it is possible to prevent a decrease in the strength of the received signal and to reduce the influence of the displacement of the stator and the rotor. A possible small absolute rotary encoder can be realized.
なお、図1に示すように、各トラックに対応する受信巻線17、19が一つの場合(1相受信巻線の場合)で説明したが、各トラックに対応する受信巻線が三つの場合(3相受信巻線の場合)でもよい。これを図12に示す。互いに位相をずらして配置された三つの受信巻線17a、17b、17cが一方のトラックと対応し、互いに位相をずらして配置された三つの受信巻線19a、19b、19cが他方のトラックと対応している。さらに図示はしていないが、各トラックに対応する受信巻線が二つや四つの場合(2相や4相受信巻線の場合)でもよい。
In addition, as shown in FIG. 1, the case where there is one receiving winding 17 and 19 corresponding to each track (in the case of a one-phase receiving winding) has been described, but there are three receiving windings corresponding to each track. (In the case of a three-phase receiving winding). This is shown in FIG. Three receiving
また、ロータ3も図2に示す構成に限らず、図13に示す構成でもよい。ロータ81において、外側のトラック41は16個のブロック61で構成され、内側のトラック43は5個のブロック61で構成される。
Further, the
また、トラック群G3を構成するトラックの数が二つの場合で説明したが、三つ以上でもよい。この場合、トラック群G3の少なくとも二つのトラックにおいて、ブロック61(つまり線状円弧部)の数が互いに異なればよい。 Further, although the case where the number of tracks constituting the track group G3 is two has been described, three or more may be used. In this case, the number of blocks 61 (that is, linear arc portions) may be different from each other in at least two tracks of the track group G3.
図14は、本実施形態に係るアブソリュートロータリエンコーダを搭載したマイクロメータ91の正面図である。フレーム93に図1のステータ1が固定され、シンブル95に図2のロータ3が固定されている。本実施形態によれば、ロータ3の直径が例えば20mm以下の小型のマイクロメータ91であっても高精度測定を実現することができる。
FIG. 14 is a front view of a
1・・・ステータ、3・・・ロータ、5・・・貫通穴、9・・・軸、11・・・貫通穴、15・・・絶縁基板、17、17a、17b、17c、19、19a、19b、19c・・・受信巻線、21・・・上層導体、23・・・下層導体、25・・・埋込導体、27・・・受信ループ、29・・・受信折返し部、31・・・先端側、33・・・末端側、35、37・・・送信巻線、39・・・絶縁基板、41、43・・・トラック、45、47・・・線状円弧部、49・・・線状部、51、53・・・磁束結合巻線、55、57・・・線状円弧部、59・・・線状部、61・・・ブロック、71・・・ロータ、73・・・磁束結合巻線、81・・・ロータ、91・・・マイクロメータ、93・・・フレーム、95・・・シンブル、A・・・回転方向、G1・・・受信巻線群、U・・・セット、T1、T2、T3、T4、T5、T6・・・端子、λ1、λ2・・・波長、G2・・・送信巻線群、G3・・・トラック群、r1、r2、r3、r4・・・半径。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stator, 3 ... Rotor, 5 ... Through-hole, 9 ... Shaft, 11 ... Through-hole, 15 ... Insulating substrate, 17, 17a, 17b, 17c, 19, 19a , 19b, 19c: receiving winding, 21 ... upper layer conductor, 23 ... lower layer conductor, 25 ... buried conductor, 27 ... receiving loop, 29 ... receiving folded portion, 31. .. tip side, 33... End side, 35, 37... Transmission winding, 39... Insulating substrate, 41, 43... Track, 45, 47. ..Linear part, 51, 53 ... Magnetic flux coupling winding, 55, 57 ... Linear arc part, 59 ... Linear part, 61 ... Block, 71 ... Rotor, 73 ..Magnetic flux coupling windings, 81 ... rotor, 91 ... micrometer, 93 ... frame, 95 ... thimble, A ... times Direction, G1... Reception winding group, U... Set, T1, T2, T3, T4, T5, T6... Terminal, λ1, λ2. G3: Track group, r1, r2, r3, r4 ... radius.
Claims (7)
ステータと、
その中心に前記軸が通る貫通穴を有すると共に前記軸を中心として回転可能に前記ステータと対向して配置されたロータと、
トラックが前記ロータ上で同心円状に配置されたトラック群と、
前記トラック群と磁束結合可能に前記ステータに配置された送信巻線群と、
前記トラック群と磁束結合可能に前記ステータに配置された受信巻線群と、を備え、
前記トラック群の各トラックは、前記ロータ上で交互に配置された第1及び第2の半径の線状円弧部を含むと共に前記軸を中心とする連続した一つのリング状の磁束結合巻線であり、
前記トラック群の少なくとも二つのトラックは、前記線状円弧部の数が互いに異なる
ことを特徴とするアブソリュートロータリエンコーダ。 The axis,
A stator,
A rotor having a through-hole through which the shaft passes at the center and being arranged to face the stator so as to be rotatable about the shaft;
A group of tracks in which the tracks are arranged concentrically on the rotor;
A transmission winding group disposed on the stator so as to be magnetically coupled to the track group;
A receiving winding group disposed on the stator so as to be magnetically coupled to the track group, and
Each track of the track group includes a linear arc portion having first and second radii arranged alternately on the rotor, and a continuous ring-shaped magnetic flux coupling winding centering on the axis. Yes,
The absolute rotary encoder characterized in that at least two tracks of the track group have different numbers of the linear arc portions.
ことを特徴とする請求項1に記載のアブソリュートロータリエンコーダ。 2. The absolute rotary encoder according to claim 1, wherein the transmission winding group is disposed outside an innermost winding among a plurality of reception windings constituting the reception winding group.
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のアブソリュートロータリエンコーダ。 The absolute rotary encoder according to claim 1 or 2, wherein the transmission winding group has a configuration in which transmission windings are connected in a single stroke.
A micrometer comprising the absolute rotary encoder according to any one of claims 1 to 6.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115105A JP4869769B2 (en) | 2005-04-19 | 2006-04-19 | Absolute rotary encoder and micrometer |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005120819 | 2005-04-19 | ||
JP2005120819 | 2005-04-19 | ||
JP2006115105A JP4869769B2 (en) | 2005-04-19 | 2006-04-19 | Absolute rotary encoder and micrometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006322927A JP2006322927A (en) | 2006-11-30 |
JP4869769B2 true JP4869769B2 (en) | 2012-02-08 |
Family
ID=37542699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006115105A Active JP4869769B2 (en) | 2005-04-19 | 2006-04-19 | Absolute rotary encoder and micrometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4869769B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015016300A1 (en) | 2014-12-26 | 2016-06-30 | Mitutoyo Corporation | Inductive detection type rotary encoder |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5583317B2 (en) | 2007-02-23 | 2014-09-03 | Ntn株式会社 | Rotation detection device and bearing with rotation detection device |
JP5081553B2 (en) | 2007-09-27 | 2012-11-28 | Ntn株式会社 | Rotation detection device and bearing with rotation detection device |
DE102008017857A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Inductive rotation angle sensor and method for operating an inductive rotation angle sensor |
JP5133199B2 (en) | 2008-10-28 | 2013-01-30 | 株式会社ミツトヨ | Inductive detection type rotary encoder |
JP5221494B2 (en) | 2008-12-24 | 2013-06-26 | Ntn株式会社 | Rotation detection device and bearing with rotation detection device |
JP5239025B2 (en) * | 2009-03-11 | 2013-07-17 | 株式会社ミツトヨ | Inductive detection type rotary encoder |
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US9163926B2 (en) | 2012-01-25 | 2015-10-20 | Mitutoyo Corporation | Inductive detection type rotary encoder |
JP5874142B2 (en) * | 2012-01-25 | 2016-03-02 | 株式会社ミツトヨ | Inductive detection type rotary encoder |
KR101283893B1 (en) | 2012-03-29 | 2013-07-16 | 대성전기공업 주식회사 | Non-contact type rotation angle detecting device using magnetic field |
CN106403806B (en) * | 2016-10-14 | 2020-08-28 | 联合汽车电子有限公司 | Angular position sensor, angular position measuring system and method |
JP7353992B2 (en) * | 2020-01-14 | 2023-10-02 | 株式会社ミツトヨ | Rotary encoder |
DE102020205202A1 (en) | 2020-04-23 | 2021-10-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Inductive angle measuring device |
EP4421453A1 (en) * | 2023-02-23 | 2024-08-28 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Scanning element for an inductive angular measurement device |
US20250052558A1 (en) | 2023-08-09 | 2025-02-13 | Mitutoyo Corporation | Displacement measuring apparatus |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115105A patent/JP4869769B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006322927A (en) | 2006-11-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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