JP4853836B2

JP4853836B2 - Precision fine positioning apparatus and fine positioning stage equipped with the same

Info

Publication number: JP4853836B2
Application number: JP2007241759A
Authority: JP
Inventors: 義昭久保田; 寿之河野; 洋一本村
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2007-09-19
Filing date: 2007-09-19
Publication date: 2012-01-11
Anticipated expiration: 2027-09-19
Also published as: JP2009076521A

Description

本発明は、半導体および液晶の製造装置において、特に露光装置や検査装置、でマスクや基板を精密に位置決めする装置に関するものである。 The present invention relates to a semiconductor and liquid crystal manufacturing apparatus, and more particularly to an apparatus for accurately positioning a mask and a substrate using an exposure apparatus and an inspection apparatus.

従来の精密微動位置決め装置として特許文献１および特許文献２に記載の装置を説明する。
図１０および図１１は特許文献１の装置を説明する図である。ステージベース２１はその中央に可動ステージ２２を設置できるよう凹形状になっており、可動ステージ２２はステージベース２１の凹部の内壁に支持部材３０で少なくともＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向に移動可能に支持されている。ステージベース２１にはアクチュエータ４の一端が固定され、アクチュエータ４の他端は可動ステージ２２に当接している。このようなアクチュエータ４は可動ステージ２２のＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に平行に少なくとも１個ずつ設けられている
このように構成される精密位置決め装置においてアクチュエータ４に電圧を印加して伸縮させると、ステージベース２１に対して可動ステージ２２は支持部材３０を変形させながら移動する。
図１２は特許文献２の装置を説明する図である。圧電素子３１の上下に下板３２と上板３３が取り付けられており、下板３２と上板３３の間には、圧電素子３１を包囲・密封するベローズ１０がある。この装置において電極３４に電圧を印加すると、圧電素子３１が伸縮するが、この際、下板３２・上板３３およびベローズ１０により圧電素子３１が外気雰囲気と遮断された状態で推力を発生するものである。
特開昭６２−２６６４９０号公報（図１、図２）特開昭６１−２８４３５０号公報（図１） The devices described in Patent Document 1 and Patent Document 2 will be described as conventional precision fine movement positioning devices.
10 and 11 are diagrams for explaining the apparatus of Patent Document 1. FIG. The stage base 21 has a concave shape so that the movable stage 22 can be installed at the center thereof. The movable stage 22 is supported on the inner wall of the concave portion of the stage base 21 by a support member 30 in at least three axes of the X, Y, and Z axes. Is supported so as to be movable. One end of the actuator 4 is fixed to the stage base 21, and the other end of the actuator 4 is in contact with the movable stage 22. At least one such actuator 4 is provided in parallel to the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction of the movable stage 22. In the precision positioning device configured as described above, a voltage is applied to the actuator 4. When it is expanded and contracted, the movable stage 22 moves while deforming the support member 30 with respect to the stage base 21.
FIG. 12 is a diagram for explaining the apparatus of Patent Document 2. In FIG. A lower plate 32 and an upper plate 33 are attached above and below the piezoelectric element 31, and a bellows 10 that surrounds and seals the piezoelectric element 31 is between the lower plate 32 and the upper plate 33. When a voltage is applied to the electrode 34 in this device, the piezoelectric element 31 expands and contracts. At this time, the piezoelectric element 31 generates thrust in a state where the piezoelectric element 31 is blocked from the outside atmosphere by the lower plate 32, the upper plate 33 and the bellows 10. It is.
JP 62-266490 A (FIGS. 1 and 2) JP-A-61-284350 (FIG. 1)

前記特許文献１で説明した精密位置決め装置は、可動ステージ２２の横側面のみを支持部材３０で支持しており、可動ステージ２２の下側にはアクチュエータ４しか配置されておらず、可動ステージ２２の全重量をアクチュエータ４で支持しているため、可動ステージ２２を駆動する推力に加えて可動ステージ２２の重量を支持する推力がアクチュエータ４に必要になりアクチュエータ４が大型になるという問題があった。また、特許文献１には可動ステージ２２の位置を検出するセンサの記述が無いが、実際の精密微動位置決め装置には前記センサが必要であるため、特許文献１の場合には装置内にさらに前記センサを配置するスペースが必要になり、装置が大型化するという問題がある。
一方前記特許文献２は、もともと圧電素子３１を外気と遮断することを目的としたものであるが、下板３２・上板３３およびベローズ１０を組み合わせたものを支持部材と見なすと、ベローズ１０内部にアクチュエータとしての圧電素子３１を配置したことから、精密位置決め装置を小型にできるという効果もある。しかし特許文献２の構成においてベローズ１０は圧電素子３１の推力発生方向のみに伸縮するだけで、推力発生方向と直交する方向および推力発生方向と直交する軸まわりに回転する方向には変形できないため、精密微動位置決め装置としては自由度が制限されるという問題がある。
そこで、本発明は小型で多自由度を有する精密微動位置決め装置を提供することを目的とする。 The precision positioning apparatus described in Patent Document 1 supports only the lateral side surface of the movable stage 22 with a support member 30, and only the actuator 4 is disposed below the movable stage 22. Since the entire weight is supported by the actuator 4, there is a problem that the actuator 4 needs a thrust for supporting the weight of the movable stage 22 in addition to the thrust for driving the movable stage 22, and the actuator 4 becomes large. Further, although Patent Document 1 does not describe a sensor for detecting the position of the movable stage 22, the actual precision fine positioning device requires the sensor. There is a problem that a space for arranging the sensor is required, and the apparatus becomes large.
On the other hand, Patent Document 2 is originally intended to block the piezoelectric element 31 from the outside air, but if a combination of the lower plate 32, the upper plate 33 and the bellows 10 is regarded as a support member, Since the piezoelectric element 31 as an actuator is disposed on the actuator, there is an effect that the precision positioning device can be reduced in size. However, in the configuration of Patent Document 2, the bellows 10 only expands and contracts only in the thrust generation direction of the piezoelectric element 31, and cannot be deformed in a direction orthogonal to the thrust generation direction and a direction rotating around an axis orthogonal to the thrust generation direction. There is a problem that the degree of freedom is limited as a precision fine movement positioning device.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a precision fine movement positioning device that is small and has many degrees of freedom.

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、固定ベースと、前記固定ベースに立設された一対の固定子と、前記一対の固定子に対してそれぞれ一定の空隙を介して対向し、前記固定子に対して上下に移動可能な可動子と、からなる電磁アクチュエータと、ベローズと、前記ベローズの上端及び下端をそれぞれ封止する上端及び下端フランジと、前記ベローズの内部に充填される所定圧力の作動流体と、からなり、前記下端フランジが前記固定ベースに取り付けられる弾性支持機構と、前記可動子と前記上端フランジとによって支持される可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置において、前記弾性支持機構が、前記ベローズ内に収容されるように前記下端フランジに設けられた変位センサと、前記上端フランジに設けられ、前記ベローズ内部へ貫通するネジ穴と、前記ネジ穴に挿入されるシャフトと、前記変位センサが検知可能なように前記シャフトに設けられた変位センサ検出体と、前記ネジ穴と前記シャフトとの隙間を塞ぐシール手段と、を備え、前記可動ベースには、前記シャフトに対応する位置に貫通穴が設けられたこと、を特徴とする精密微動位置決め装置とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記シャフトにロックナットが設けられ、前記ロックナットによって前記シャフトが前記上端フランジに対して固定されること、を特徴とする請求項１記載の精密微動位置決め装置とするものである。
請求項３に記載の発明は、前記電磁アクチュエータにおける前記可動子と前記固定子との位置関係が逆になっていること、を特徴とする請求項１または２記載の精密微動位置決め装置とするものである。
請求項４に記載の発明は、少なくとも３台の請求項１または２または３記載の精密微動位置決め装置と、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記固定ベースを支持するステージベースと、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記可動ベースによって支持される可動ステージと、を備え、前記可動ステージには、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記シャフトに対応する位置に設けられた前記貫通穴に対応した位置にさらに貫通穴が設けられたこと、を特徴とする微動位置決めステージとするものである。
請求項５に記載の発明は、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記可動ベースが、上下に段差を有する板状のベースであって、前記段差の下段の下面に前記弾性支持機構の前記上端フランジが固定され、前記段差の上段の下面に前記可動子が固定され、前記段差の下段の上面で前記可動ステージが支持されたこと、を特徴とする請求項４記載の微動位置決めステージとするものである。
請求項６に記載の発明は、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記可動ベースと、前記可動ステージとの間に、球面支持部を設けたこと、を特徴とする請求項４または５記載の微動位置決めステージとするものである。
請求項７に記載の発明は、前記少なくとも３台の精密微動位置決め装置の各々の前記可動ベースと、前記可動ステージとの間に、金属丸棒の一部の直径が細くされた棒状の部材で形成された撓み支持部を設けたこと、を特徴とする請求項４または５記載の微動位置決めステージとするものである。
In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
The invention according to claim 1 is opposed to the fixed base, the pair of stators erected on the fixed base, and the pair of stators through a certain gap, respectively. An electromagnetic actuator, a bellows, an upper end and a lower end flange for sealing the upper end and the lower end of the bellows, respectively, and a working fluid having a predetermined pressure filled in the bellows. The fine support positioning device comprises: an elastic support mechanism in which the lower end flange is attached to the fixed base; and a movable base supported by the mover and the upper end flange. A displacement sensor provided in the lower end flange so as to be accommodated in the bellows, and provided in the upper end flange, penetrating into the bellows. A screw hole, a shaft inserted into the screw hole, a displacement sensor detector provided on the shaft so that the displacement sensor can detect, and a sealing means for closing a gap between the screw hole and the shaft; And the movable base is provided with a through hole at a position corresponding to the shaft .
The invention according to claim 2 is characterized in that a lock nut is provided on the shaft, and the shaft is fixed to the upper end flange by the lock nut. To do.
According to a third aspect of the present invention, in the electromagnetic actuator, the positional relationship between the mover and the stator is reversed. It is.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided at least three precision fine positioning devices according to claim 1, 2 or 3, and a stage base that supports the fixed base of each of the at least three precision fine positioning devices; A movable stage supported by the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices, and the movable stage has a position corresponding to the shaft of each of the at least three precision fine positioning devices. The fine movement positioning stage is characterized in that a through-hole is further provided at a position corresponding to the through-hole provided in the .
According to a fifth aspect of the present invention, the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices is a plate-like base having a step in the vertical direction, and the elastic support mechanism is provided on the lower surface of the lower step of the step. 5. The fine movement positioning stage according to claim 4, wherein the upper end flange of the step is fixed, the movable element is fixed to the lower surface of the upper stage of the step, and the movable stage is supported on the upper surface of the lower stage of the step. It is what.
The invention described in claim 6 is characterized in that a spherical support portion is provided between the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices and the movable stage. 5. The fine movement positioning stage described in 5 is used.
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a rod-like member in which a diameter of a part of a metal round bar is thinned between the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices and the movable stage. 6. The fine movement positioning stage according to claim 4, further comprising a formed bending support portion .

本発明によれば、変位センサを弾性支持機構の内部に設け、弾性支持機構とアクチュエータとを共通の固定ベース上に設けたので、精密微動位置決め装置を小さく構成することができる。また、固定子と可動子との間に空隙を有する電磁アクチュエータと、可動子側を３次元的に弾性支持する弾性支持機構とによって、多自由度の精密微動位置決め装置にできる。
本発明によれば、作動流体の圧力によってベローズを任意の位置に調節でき、弾性支持機構によって可動ベースを確実に支持するので電磁アクチュエータを小型にすることができる。
本発明によれば、固定側となる下端のフランジに作動流体供給口が設けられるので、供給口が可動しないので継ぎ手から流体が漏れる恐れを軽減できる。
本発明によれば、一般的な流体によって弾性支持機構を調節できる。
本発明によれば、一般的な変位センサによってセンサ部を構成できる。
本発明によれば、弾性支持機構の内部にあるにもかかわらず、センサ部の調整を行うことができ、かつ弾性支持機構の気密も保持できる。
本発明によれば、センサ部の調整後にシャフトを固定することができる。
本発明によれば、可動ベースの上からもセンサ部の調整ができる。
本発明によれば、可動ステージの重量は弾性支持機構により支持されるので、アクチュエータは可動ステージに加速度を発生し得るだけの推力を発生すればよく、またベローズ内部に変位センサを内蔵したので、コンパクトな微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、ステージにアクチュエータの推力発生方向と直交する方向に外力を加えれば弾性支持機構のベローズが撓むので６自由度を有する微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、Ｚ軸アクチュエータの可動ベースが段差になっていて、その下段で可動ステージに潜り込んでこれを支持するので、コンパクトな微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、Ｘ軸、Ｙ軸方向に可動ステージを駆動する電磁アクチュエータも、その可動子と固定子との間に空隙があるものなので、可動ステージは電磁アクチュエータの推力発生方向と直交する方向に移動することができ、可動ステージは６自由度を有しながら電磁アクチュエータによって位置・姿勢が制御できる。
本発明によれば、コンパクトな微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、作動流体の圧力によってベローズを任意の位置に調節でき、弾性支持機構によって可動ステージを確実に支持するので電磁アクチュエータを小型にすることができ、コンパクトな微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、一般的な変位センサによってセンサ部を構成できる。
本発明によれば、弾性支持機構の内部にあるにもかかわらず、センサ部の調整を行うことができ、かつ弾性支持機構の気密も保持できる。
本発明によれば、可動ステージの上からもセンサ部の調整ができる。
本発明によれば、可動ステージの６自由度の姿勢を算出することができ、コンパクトな微動位置決めステージが構成できる。
本発明によれば、一般的な変位センサによってセンサ部を構成できる。
本発明によれば、弾性支持機構のベローズが撓んで可動ベースが傾いても、球面支持部または撓み支持部の作用により可動ステージを水平に保つことができる。
本発明によれば、コンパクトな半導体製造又は液晶製造の露光装置又は検査装置とすることができる。 According to the present invention, since the displacement sensor is provided inside the elastic support mechanism, and the elastic support mechanism and the actuator are provided on the common fixed base, the precision fine positioning device can be made small. Further, a multi-degree-of-freedom precision fine positioning device can be realized by an electromagnetic actuator having a gap between the stator and the mover and an elastic support mechanism that elastically supports the mover in a three-dimensional manner.
According to the present invention, the bellows can be adjusted to an arbitrary position by the pressure of the working fluid, and the movable base is reliably supported by the elastic support mechanism, so that the electromagnetic actuator can be made small.
According to the present invention, since the working fluid supply port is provided in the flange at the lower end on the fixed side, the supply port does not move, so that the risk of fluid leaking from the joint can be reduced.
According to the present invention, the elastic support mechanism can be adjusted by a general fluid.
According to the present invention, the sensor unit can be configured by a general displacement sensor.
According to the present invention, the sensor unit can be adjusted despite the presence of the elastic support mechanism, and the airtightness of the elastic support mechanism can be maintained.
According to the present invention, the shaft can be fixed after the sensor unit is adjusted.
According to the present invention, the sensor unit can be adjusted from above the movable base.
According to the present invention, since the weight of the movable stage is supported by the elastic support mechanism, the actuator only needs to generate a thrust force that can generate acceleration in the movable stage, and since the displacement sensor is built in the bellows, A compact fine positioning stage can be configured.
According to the present invention, if an external force is applied to the stage in a direction orthogonal to the thrust generation direction of the actuator, the bellows of the elastic support mechanism is bent, so that a fine movement positioning stage having six degrees of freedom can be configured.
According to the present invention, the movable base of the Z-axis actuator has a step, and the lower stage enters the movable stage to support it. Therefore, a compact fine movement positioning stage can be configured.
According to the present invention, since the electromagnetic actuator that drives the movable stage in the X-axis and Y-axis directions also has a gap between the movable element and the stator, the movable stage is orthogonal to the thrust generation direction of the electromagnetic actuator. The movable stage can be controlled in position and posture by an electromagnetic actuator while having 6 degrees of freedom.
According to the present invention, a compact fine movement positioning stage can be configured.
According to the present invention, the bellows can be adjusted to an arbitrary position by the pressure of the working fluid, and the movable stage is securely supported by the elastic support mechanism, so that the electromagnetic actuator can be made small, and a compact fine movement positioning stage can be configured. .
According to the present invention, the sensor unit can be configured by a general displacement sensor.
According to the present invention, the sensor unit can be adjusted despite the presence of the elastic support mechanism, and the airtightness of the elastic support mechanism can be maintained.
According to the present invention, the sensor unit can be adjusted from above the movable stage.
According to the present invention, the posture of the movable stage with six degrees of freedom can be calculated, and a compact fine movement positioning stage can be configured.
According to the present invention, the sensor unit can be configured by a general displacement sensor.
According to the present invention, even when the bellows of the elastic support mechanism is bent and the movable base is inclined, the movable stage can be kept horizontal by the action of the spherical support portion or the deflection support portion.
According to the present invention, a compact exposure apparatus or inspection apparatus for semiconductor manufacturing or liquid crystal manufacturing can be provided.

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１および図２は、それぞれ本発明の精密微動位置決め装置の正面図および側面図である。精密微動位置決め装置は、概ね、固定ベース１の上にアクチュエータ４の固定子５と弾性支持機構３が取り付けられ、これらを固定ベース１とで狭持するように可動ベース２がアクチュエータ４と弾性支持機構３との上部に設けられている。
可動ベース２は、上下に段差のある板状のベースであって、その下段の下面が、後述する弾性支持機構３の上固定フランジ９に締結され支持されている。また、可動ベース２の上段の下面にはアクチュエータ４の可動子６の一端が固定されていて、可動子６は可動ベース２の下面から下垂するようになっている。アクチュエータ４の固定子５は、複数のマグネット５ｂが一方の面に貼り付けられた板状のヨーク５ａが２枚あって、これらがマグネット５ｂが貼り付けられた面側で対向するよう構成されている。一方、可動子６は板状のコイルベース６ａの両面にコイル６ｂを貼り付けた構造で、空隙m７を介して、コイル６ｂが固定子５のマグネット５ｂと対向するように配置されている。 1 and 2 are a front view and a side view, respectively, of the fine fine positioning device of the present invention. In the precision fine positioning apparatus, the stator 5 and the elastic support mechanism 3 of the actuator 4 are generally mounted on the fixed base 1, and the movable base 2 and the actuator 4 are elastically supported so as to be held between the fixed base 1. It is provided in the upper part with the mechanism 3.
The movable base 2 is a plate-like base having a level difference in the vertical direction, and the lower surface of the lower stage is fastened and supported by an upper fixed flange 9 of an elastic support mechanism 3 described later. One end of the movable element 6 of the actuator 4 is fixed to the upper lower surface of the movable base 2, and the movable element 6 hangs down from the lower surface of the movable base 2. The stator 5 of the actuator 4 includes two plate-like yokes 5a each having a plurality of magnets 5b attached to one surface, and these are opposed to each other on the surface side to which the magnets 5b are attached. Yes. On the other hand, the mover 6 has a structure in which the coil 6b is attached to both surfaces of the plate-like coil base 6a, and the coil 6b is disposed so as to face the magnet 5b of the stator 5 through the gap m7.

図３は、上記で説明した弾性支持機構３の拡大断面図である。弾性支持機構３は、ベローズ１０の下側と上側にそれぞれ、下固定フランジ８と上固定フランジ９が取り付けられている。下固定フランジ８と上固定フランジ９の間にベローズ１０があり、ベローズ１０は内部の作動流体が外部に漏れないよう、全周溶接で下固定フランジ８および上固定フランジ９と固定されている。ベローズ１０の内部において、下固定フランジ８の上には変位センサ１１が固定されている。一方、上固定フランジ９の中心には穴が設けられており、その穴の上部はネジ加工が施され、その穴の下部の内周面にはＯリング溝加工が施されている。この穴にはシャフト１３が挿入されており、シャフト１３の上部は位置調整ネジ１３ａが加工され、上固定フランジ９の穴のネジ部と係合している。シャフト１３の上端にはロックナット１４が挿入されていて、これにより上固定フランジ９に対してシャフト１３を固定している。シャフト１３の位置調整ネジ１３ａの下部は一様断面の円柱形になっており、上固定フランジ９の穴にはめあい勘合され案内部１３ｂを構成するとともに、上固定フランジ９の穴下部のＯリング溝に挿入されたＯリング１５に挿入されている。シャフト１３の下端には変位センサ検出体１２が取り付けられ、変位センサ検出体１２は、変位センサ１１と空隙s１７を介して対向している。前記変位センサ１１は静電容量式や渦電流式のように、空隙を介した検出体との距離を検出する方式のものである。前記下固定フランジ８の側面には継手１６が取り付けられており、継手１６とベローズ１０の内部とが連通するように穴が形成されている。そして、図示しない配管を継手１６に接続することでベローズ１０内部に作動流体を導入することができる。ここで作動流体としては、空気、窒素や不活性ガスが適当である。 FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the elastic support mechanism 3 described above. The elastic support mechanism 3 has a lower fixing flange 8 and an upper fixing flange 9 attached to the lower side and the upper side of the bellows 10, respectively. There is a bellows 10 between the lower fixing flange 8 and the upper fixing flange 9, and the bellows 10 is fixed to the lower fixing flange 8 and the upper fixing flange 9 by welding all around so that the internal working fluid does not leak to the outside. A displacement sensor 11 is fixed on the lower fixing flange 8 inside the bellows 10. On the other hand, a hole is provided in the center of the upper fixing flange 9, and an upper portion of the hole is threaded, and an inner peripheral surface of the lower portion of the hole is subjected to O-ring groove processing. A shaft 13 is inserted into this hole, and an upper portion of the shaft 13 is processed with a position adjusting screw 13 a and engaged with a screw portion of the hole of the upper fixing flange 9. A lock nut 14 is inserted into the upper end of the shaft 13, thereby fixing the shaft 13 to the upper fixing flange 9. The lower part of the position adjusting screw 13a of the shaft 13 has a cylindrical shape with a uniform cross section, and is fitted into the hole of the upper fixing flange 9 to form a guide part 13b, and the O-ring groove in the lower part of the hole of the upper fixing flange 9 It is inserted in the O-ring 15 inserted in. A displacement sensor detection body 12 is attached to the lower end of the shaft 13, and the displacement sensor detection body 12 faces the displacement sensor 11 with a gap s17 interposed therebetween. The displacement sensor 11 is of a type that detects the distance to the detection body via a gap, such as a capacitance type or an eddy current type. A joint 16 is attached to the side surface of the lower fixing flange 8, and a hole is formed so that the joint 16 communicates with the inside of the bellows 10. A working fluid can be introduced into the bellows 10 by connecting a pipe (not shown) to the joint 16. Here, as the working fluid, air, nitrogen or inert gas is suitable.

以上のような精密微動位置決め装置において、弾性支持機構３のベローズ１０内部に作動流体を導入するとベローズ１０が伸びて可動ベース２を上方に押し上げる。ここで、図示しない圧力調整器で作動流体の圧力を調整すると可動ベース２の位置を調整することができる。このようにして可動ベース２は弾性支持機構３によりその重量を支持される。
作動流体によって可動ベース２を任意の位置に調整した時に、変位センサ１１と変位センサ検出体１２との距離が変位センサ１１の検出範囲をはずれるなど適正でない場合には、変位センサ検出体１２の位置を調整する必要がある。この場合は、シャフト１３を回転させ、位置調整ネジ１３ａにより変位センサ検出体１２の上下位置を調整する。なお、シャフト１３の位置に対応する箇所に、可動ベース２には貫通穴が設けてあり、この貫通穴からシャフト１３にアクセスできるようになっていて、ここでシャフト１３を回転できるようになっている。この際、案内部１３ｂの作用により変位センサ１１と変位センサ検出体１２を平行に保つことができる。またＯリング１５がシャフト１３に勘合しているのでベローズ１０内部の気密を保つことができ、作動流体が流出するのを防ぐ。
次に、アクチュエータ４のコイル６ｂに通電すると可動子６を上下方向に動作させる力が発生する。弾性支持機構３は可動ベース２を支持するとともに、作動流体の圧縮性とベローズ１０の弾性により、上下方向に変位することもできるので、アクチュエータ４の推力により可動ベース２を上下動させることが可能になる。この時、可動ベース２の重量は弾性支持機構３により支持されているので、アクチュエータ４は可動ベース２が加速度を発生し得る推力のみ発生すれば良い。よって弾性支持機構３が無く可動ベース２の重量もアクチュエータ４の推力で支持する従来の場合と比較してアクチュエータ４を小型にすることができる。また、変位センサ１１の情報を、図示しない精密微動位置決め装置のコントローラにフィードバックすることにより可動ベース２の位置および速度を制御することができる。 In the precision fine positioning apparatus as described above, when the working fluid is introduced into the bellows 10 of the elastic support mechanism 3, the bellows 10 extends to push the movable base 2 upward. Here, when the pressure of the working fluid is adjusted with a pressure regulator (not shown), the position of the movable base 2 can be adjusted. In this way, the movable base 2 is supported by its weight by the elastic support mechanism 3.
If the distance between the displacement sensor 11 and the displacement sensor detector 12 is not appropriate, for example, when the movable base 2 is adjusted to an arbitrary position by the working fluid, the position of the displacement sensor detector 12 is not suitable. Need to be adjusted. In this case, the shaft 13 is rotated and the vertical position of the displacement sensor detection body 12 is adjusted by the position adjusting screw 13a. The movable base 2 has a through hole at a position corresponding to the position of the shaft 13 so that the shaft 13 can be accessed from the through hole, and the shaft 13 can be rotated here. Yes. At this time, the displacement sensor 11 and the displacement sensor detector 12 can be kept parallel by the action of the guide portion 13b. Further, since the O-ring 15 is engaged with the shaft 13, the inside of the bellows 10 can be kept airtight and the working fluid is prevented from flowing out.
Next, when the coil 6b of the actuator 4 is energized, a force for moving the mover 6 in the vertical direction is generated. The elastic support mechanism 3 supports the movable base 2 and can be displaced in the vertical direction by the compressibility of the working fluid and the elasticity of the bellows 10, so that the movable base 2 can be moved up and down by the thrust of the actuator 4. become. At this time, since the weight of the movable base 2 is supported by the elastic support mechanism 3, the actuator 4 only needs to generate a thrust that the movable base 2 can generate acceleration. Therefore, the actuator 4 can be made smaller than the conventional case in which the elastic support mechanism 3 is not provided and the weight of the movable base 2 is supported by the thrust of the actuator 4. Further, the position and speed of the movable base 2 can be controlled by feeding back information from the displacement sensor 11 to a controller of a precision fine movement positioning device (not shown).

図６および図７は本発明の精密微動位置決め装置を複数台組み合わせて、微動位置決めステージを構成した例である。図６はその上面図、図７はその正面図である。このステージの用途としては、半導体や液晶の製造装置において露光装置や検査装置のレチクルやマスクを精密に微動位置決めするためのものである。
図において、微動位置決めステージは、Ｘ軸２７、Ｙ軸２８およびＺ軸２９の各方向へ並進する自由度と、前記３軸の軸まわりに回転する自由度との合計６自由度を有するものである。板状のステージベース２１の上に、第１実施例で説明した精密微動位置決め装置３台を、その推力発生方向をＺ軸２９方向と一致するよう配置している。そして、３台の精密微動位置決め装置のそれぞれの可動ベースに搭載されているのが板状の可動ステージ２２である。３台の精密微動位置決め装置は、図６のように上から見て矩形の可動ステージ２２の周辺において、一辺の略中央に１台の精密微動位置決め装置が配置され、これに対向する辺に２台の精密微動位置決め装置が配置されている。以下、説明の便宜上、一辺に１台配置されている精密微動位置決め装置を第１の精密微動位置決め装置４０、これと対向する２台の精密微動位置決め装置をそれぞれ第２、第３の精密微動位置決め装置４１、４２とする。 6 and 7 show examples in which a fine movement positioning stage is configured by combining a plurality of precision fine movement positioning apparatuses of the present invention. 6 is a top view thereof, and FIG. 7 is a front view thereof. This stage is used for finely positioning a reticle or mask of an exposure apparatus or inspection apparatus in a semiconductor or liquid crystal manufacturing apparatus.
In the figure, the fine movement positioning stage has a total of six degrees of freedom, that is, the degree of freedom of translation in each direction of the X axis 27, the Y axis 28, and the Z axis 29 and the degree of freedom of rotation around the three axes. is there. On the plate-like stage base 21, the three precision fine positioning devices described in the first embodiment are arranged so that the thrust generation direction coincides with the Z-axis 29 direction. A plate-like movable stage 22 is mounted on each movable base of the three precision fine positioning devices. As shown in FIG. 6, the three fine fine positioning devices are arranged in the vicinity of a rectangular movable stage 22 as viewed from above, and one fine fine positioning device is arranged at the approximate center of one side, and 2 on the opposite side. A precision micro-positioning device for the table is arranged. Hereinafter, for convenience of explanation, the fine fine positioning device arranged on one side is referred to as the first fine fine positioning device 40, and the two fine fine positioning devices opposed thereto are respectively the second and third fine fine positioning devices. Let them be devices 41 and 42.

ここで、精密微動位置決め装置と可動ステージ２２との接触部分について説明する。３台の精密微動位置決め装置の可動ステージとの接触部分は同一構成のため、１台の精密微動位置決め装置で説明する。
図４が精密微動位置決め装置と可動ステージとの接触部分を示す側面図である。図４が示す接触部は、精密微動位置決め装置の可動ベース２の上に球面支持部１８を固定し、球面支持部１８の上側に台座２０を取り付けたものである。そして台座２０の上面に可動ステージ２２の下面が固定されている。球面支持部１８は上方に突出する棒の先端が球面状に加工されている。一方これと接触する台座２０の下面も、球面支持部１８の先端を包むように球面状に凹加工されている。
接触部分をこのような構成にすると台座２０は球面支持部１８の作用により可動ベース２に対して回転自在に動くことができる。 Here, a contact portion between the precision fine movement positioning device and the movable stage 22 will be described. Since the contact portions of the three precision fine movement positioning devices with the movable stage have the same configuration, a description will be given of one precision fine movement positioning device.
FIG. 4 is a side view showing a contact portion between the precision fine movement positioning device and the movable stage. The contact portion shown in FIG. 4 is obtained by fixing the spherical support portion 18 on the movable base 2 of the precision fine positioning device and attaching the pedestal 20 to the upper side of the spherical support portion 18. The lower surface of the movable stage 22 is fixed to the upper surface of the pedestal 20. In the spherical support portion 18, the tip of a bar protruding upward is processed into a spherical shape. On the other hand, the lower surface of the pedestal 20 that comes into contact therewith is also recessed into a spherical shape so as to wrap the tip of the spherical support portion 18.
When the contact portion has such a configuration, the pedestal 20 can move freely with respect to the movable base 2 by the action of the spherical support portion 18.

以上のように微動位置決めステージは、図４で示す接触部を介して、３台の精密微動位置決め装置の球面支持部１８の台座２０のそれぞれの上に可動ステージ２２が固定されている。
また、可動ステージ２２の側面には、可動ステージ２２をＸ軸２７方向に駆動することができるＸ軸アクチュエータ２３が１台と、Ｙ軸２８方向に駆動することができるＹ軸アクチュエータ２４が２台取り付けられている。Ｘ軸アクチュエータ２３は上記で説明した第２、第３の精密微動位置決め装置が取り付けられている辺であって、これら２台の間に位置するよう配置されている。また、Ｙ軸アクチュエータ２４は、Ｘ軸アクチュエータ２３及び精密微動位置決め装置らが配置されていない辺に２台配置されている。このように配置すれば、上記で説明した６軸駆動を実現できると共に、微動位置決めステージ全体の構成が小さくできる。
ここで、Ｘ軸アクチュエータ２３とＹ軸アクチュエータ２４の構成は、第１実施例で説明したアクチュエータ４と同様な電磁アクチュエータを有するものであって、固定子と可動子との間に空隙ｍを有するものである。ただし、Ｘ軸、Ｙ軸アクチュエータには弾性支持機構３のように可動ステージ２２を弾性的に支持する部分は特に必要が無い。これは、Ｚ軸アクチュエータとして機能する３台の精密微動位置決め装置の弾性支持機構３らが可動ステージ２２を重力方向に支持するとともに、ＸＹＺの各方向に弾性的に支持しているからである。
なお、Ｘ、Ｙ軸アクチュエータ及びＺ軸方向から可動ステージ２２を支持する精密微動位置決め装置らのアクチュエータ４は、当然ながら可動子と固定子の位置関係が逆になってもよい。
また、可動ステージ２２の側面には、Ｘ軸２７方向の変位を計測するＸ軸変位センサ２５が２台と、Ｙ軸２８方向の変位を計測するＹ軸変位センサ２６が１台取り付けられている。Ｘ軸変位センサ２５はＸ軸アクチュエータ２３を狭むように配置されている。Ｙ軸変位センサ２６は２台のＹ軸アクチュエータ２４に挟まれるよう、辺の中央付近に配置されている。ここで、Ｘ軸変位センサ２５とＹ軸変位センサ２６の種類としては静電容量式、渦電流式、レーザ干渉計などが適用できる。
また、図７で示すように、上記で説明したシャフト１３を調節するための可動ベース２の穴に対応した穴が可動ステージ２２にも設けられている。 As described above, in the fine movement positioning stage, the movable stage 22 is fixed on each of the bases 20 of the spherical surface support portions 18 of the three precision fine movement positioning devices via the contact portions shown in FIG.
Further, on the side surface of the movable stage 22, one X-axis actuator 23 capable of driving the movable stage 22 in the X-axis 27 direction and two Y-axis actuators 24 capable of driving in the Y-axis 28 direction are provided. It is attached. The X-axis actuator 23 is a side to which the second and third precision fine positioning devices described above are attached, and is disposed between these two units. Two Y-axis actuators 24 are arranged on the side where the X-axis actuator 23 and the precision fine positioning device are not arranged. With this arrangement, the above-described six-axis drive can be realized, and the entire configuration of the fine movement positioning stage can be reduced.
Here, the configuration of the X-axis actuator 23 and the Y-axis actuator 24 includes an electromagnetic actuator similar to the actuator 4 described in the first embodiment, and has a gap m between the stator and the mover. Is. However, the X-axis and Y-axis actuators do not need a portion that elastically supports the movable stage 22 as in the elastic support mechanism 3. This is because the elastic support mechanisms 3 of the three precision fine positioning devices functioning as Z-axis actuators support the movable stage 22 in the direction of gravity and elastically in each direction of XYZ.
In addition, as for the actuator 4 of the precision fine movement positioning device which supports the movable stage 22 from the X and Y axis actuators and the Z axis direction, the positional relationship between the mover and the stator may be reversed.
Further, two X-axis displacement sensors 25 that measure displacement in the X-axis 27 direction and one Y-axis displacement sensor 26 that measures displacement in the Y-axis 28 direction are attached to the side surface of the movable stage 22. . The X-axis displacement sensor 25 is disposed so as to narrow the X-axis actuator 23. The Y-axis displacement sensor 26 is disposed near the center of the side so as to be sandwiched between the two Y-axis actuators 24. Here, as the types of the X-axis displacement sensor 25 and the Y-axis displacement sensor 26, a capacitance type, an eddy current type, a laser interferometer, or the like can be applied.
Further, as shown in FIG. 7, a hole corresponding to the hole of the movable base 2 for adjusting the shaft 13 described above is also provided in the movable stage 22.

以上で構成される微動位置決めステージは、第１実施例での説明と同様に、弾性支持機構３のベローズ１０に作動流体を導入しその圧力を調整することで、３台の弾性支持機構３により可動ステージ２２が任意の位置および姿勢で支持される。この状態で弾性支持機構３内部の変位センサ１１と変位センサ検出体１２の位置が適正でない場合は、シャフト１３を、上記穴を介して回転させて調整する。
次に３台の精密微動位置決め装置に内蔵される３台のアクチュエータ４を、同じ方向に同じ変位量だけ駆動すると可動ステージ２２をＺ軸２９の並進方向に移動・位置決めすることができる。
また、例えば、第１の精密微動位置決め装置４０の可動ベースを下方に、第２及び第３の精密微動位置決め装置の可動ベースを上方に、それぞれ駆動させると、可動ステージ２２をＹ軸２８まわりに回転させることができる。図８は可動ステージ２２がＹ軸２８まわりに回転した状態を示す図である。このようにベローズ１０はその軸線方向すなわちＺ軸２９方向に伸縮するだけではなく、ベローズの軸線と直交する軸まわりに撓むことができるので、３台の微動位置決め装置の移動量を調整することにより可動ステージ２２をＸ軸２７およびＹ軸２８まわりの回転方向に位置決めをすることもできる。この場合の可動ステージ２２の回転角度は３台の変位センサ１１の計測値と変位センサ１１相互の距離とから算出することができる。
同様にして、Ｘ軸アクチュエータ２３およびＹ軸アクチュエータ２４の推力により可動ステージ２２を、Ｘ軸２７およびＹ軸２８方向へ動作させることと、Ｚ軸２９まわりに回転させることが可能になる。
図９はＸ軸アクチュエータ２３によって可動ステージ２２をＸ軸２７方向に移動させた状態を示す図である。Ｘ軸アクチュエータ２３の推力により可動ステージ２２がＸ軸２７方向に移動するとベローズ１０がＸ軸２７方向に撓んでしまい、可動ステージ２２の高さが変化したり傾いたりするが、アクチュエータ４を動作させＺ軸２９方向の位置を制御することにより、球面支持部１８で可動ステージ２２が回転自在に支持されているので、その位置を一定にかつ水平に保つことができる。 The fine movement positioning stage configured as described above is provided by three elastic support mechanisms 3 by introducing a working fluid into the bellows 10 of the elastic support mechanism 3 and adjusting the pressure thereof, as described in the first embodiment. The movable stage 22 is supported at an arbitrary position and posture. In this state, when the positions of the displacement sensor 11 and the displacement sensor detector 12 inside the elastic support mechanism 3 are not appropriate, the shaft 13 is adjusted by rotating it through the hole.
Next, when the three actuators 4 built in the three precision fine positioning devices are driven by the same displacement amount in the same direction, the movable stage 22 can be moved and positioned in the translational direction of the Z axis 29.
For example, when the movable base of the first precision fine positioning device 40 is driven downward and the movable bases of the second and third precision fine positioning devices are driven upward, the movable stage 22 is moved around the Y axis 28. Can be rotated. FIG. 8 is a view showing a state where the movable stage 22 is rotated around the Y axis 28. In this way, the bellows 10 not only expands and contracts in the axial direction, that is, the Z-axis 29 direction, but can also be bent around an axis orthogonal to the bellows axis, so that the amount of movement of the three fine positioning devices can be adjusted. Thus, the movable stage 22 can be positioned in the rotational direction around the X axis 27 and the Y axis 28. In this case, the rotation angle of the movable stage 22 can be calculated from the measured values of the three displacement sensors 11 and the distance between the displacement sensors 11.
Similarly, the movable stage 22 can be moved in the X-axis 27 and Y-axis directions by the thrust of the X-axis actuator 23 and the Y-axis actuator 24 and rotated around the Z-axis 29.
FIG. 9 is a view showing a state in which the movable stage 22 is moved in the X-axis 27 direction by the X-axis actuator 23. When the movable stage 22 moves in the X-axis 27 direction by the thrust of the X-axis actuator 23, the bellows 10 bends in the X-axis 27 direction, and the height of the movable stage 22 changes or tilts, but the actuator 4 is operated. By controlling the position in the Z-axis 29 direction, the movable stage 22 is rotatably supported by the spherical support portion 18, so that the position can be kept constant and horizontal.

ここで、本実施例においてアクチュエータ４の固定子と可動子との間に空隙があることの効果を説明する。以上に説明したとおりに、可動ステージ２２が、ある軸方向に移動した場合、移動方向に直交する他の２軸方向に動作させるアクチュエータの可動子を、その推力方向と直交する方向に移動させてしまう。しかし、本実施例で示す３台の精密微動位置決め装置、Ｘ軸アクチュエータ２３およびＹ軸アクチュエータ２４はともにその可動子と固定子との間に空隙ｍを有するので可動子と固定子が干渉して動作を制限するという問題を回避できる。本実施例の微動位置決めステージが使用される半導体や液晶用露光装置のレチクルやマスクを精密に微動位置決めする装置における必要な移動ストロークは、一般的には数十μm以下であるため、アクチュエータの動作特性が変化するおそれも無い。 Here, the effect of the presence of a gap between the stator and the mover of the actuator 4 in this embodiment will be described. As described above, when the movable stage 22 moves in a certain axial direction, the movable element of the actuator operated in the other two axial directions orthogonal to the moving direction is moved in the direction orthogonal to the thrust direction. End up. However, since the three precision fine positioning devices shown in this embodiment, the X-axis actuator 23 and the Y-axis actuator 24 both have a gap m between the mover and the stator, the mover and the stator interfere with each other. The problem of restricting the operation can be avoided. Since the required movement stroke in a finely positioning apparatus for finely positioning a reticle or mask of a semiconductor or liquid crystal exposure apparatus in which the fine movement positioning stage of this embodiment is used is generally several tens of μm or less, the operation of the actuator There is no risk of changes in characteristics.

さらに、図４で説明した接触部の他の例を図５にて説明する。
図５は図４と同様、精密微動位置決め装置と可動ステージとの接触部分を示す側面図である。図５が示す接触部は、精密微動位置決め装置の可動ベース２の上に、撓み支持部１９を固定し、撓み支持部１９の上側に台座２０を取り付けたものである。そして台座２０の上面に可動ステージ２２の下面が固定されている。撓み支持部１９は、金属丸棒の一部の直径を細くしたものであって、その細くした部分が撓み、また捩れやすいように形成したものである。
このような構成にすると台座２０は撓み支持部１９が変形することにより可動ベース２に対して回転自在に動くことができる。上記微動位置決めステージの実施例では図４で説明した接触部を使って微動位置決めステージを構成した例を説明したが、図５で説明した接触部を使っても同様な効果がある。
Further, another example of the contact portion described in FIG. 4 will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is a side view showing a contact portion between the precision fine movement positioning device and the movable stage, as in FIG. The contact portion shown in FIG. 5 is obtained by fixing a bending support portion 19 on the movable base 2 of the precision fine movement positioning device and attaching a pedestal 20 on the upper side of the bending support portion 19. The lower surface of the movable stage 22 is fixed to the upper surface of the pedestal 20. The bending support portion 19 is formed by reducing the diameter of a part of a metal round bar so that the thinned portion is bent and easily twisted.
With such a configuration, the pedestal 20 can move freely with respect to the movable base 2 by the deformation of the bending support portion 19. In the embodiment of the fine movement positioning stage, the example in which the fine movement positioning stage is configured using the contact portion described in FIG. 4 has been described. However, the same effect can be obtained by using the contact portion described in FIG.

本発明の精密微動位置決め装置の正面図Front view of precision fine positioning device of the present invention 本発明の精密微動位置決め装置の側面図Side view of precision fine positioning device of the present invention 図１の弾性支持機構の拡大断面図1 is an enlarged cross-sectional view of the elastic support mechanism of FIG. 精密微動位置決め装置と可動テーブルとの接触部を示す側面図Side view showing contact portion between precision fine positioning device and movable table 精密微動位置決め装置と可動テーブルとの接触部の他の例を示す側面図Side view showing another example of contact portion between precision fine positioning device and movable table 本発明の精密微動位置決め装置を使った微動位置決めステージの上面図Top view of fine movement positioning stage using precision fine movement positioning device of the present invention 図６の側面図Side view of FIG. 図６の微動位置決めステージの可動ステージがＹ軸まわりに回転した状態を示す側面図の一部Part of a side view showing a state in which the movable stage of the fine positioning stage in FIG. 6 is rotated about the Y axis 図６の微動位置決めステージの可動ステージがＸ軸方向に移動した状態を示す側面図FIG. 6 is a side view showing a state in which the movable stage of the fine positioning stage in FIG. 6 has moved in the X-axis direction. 従来例としての特許文献１の装置を示す上面図The top view which shows the apparatus of patent document 1 as a prior art example 従来例としての特許文献１の装置を示す側断面図Side sectional view showing the device of Patent Document 1 as a conventional example 従来例としての特許文献２の装置を示す側断面図Side sectional view showing the device of Patent Document 2 as a conventional example

Explanation of symbols

１固定ベース
２可動ベース
３弾性支持機構
４アクチュエータ
５固定子
５ａヨーク
５ｂマグネット
６可動子
６ａコイルベース
６ｂコイル
７空隙ｍ
８下固定フランジ
９上固定フランジ
１０ベローズ
１１変位センサ
１２変位センサ検出体
１３シャフト
１３ａ位置調整ネジ
１３ｂ案内部
１４ロックナット
１５Ｏリング
１６継手
１７空隙ｓ
１８球面支持部
１９撓み支持部
２０台座
２１ステージベース
２２可動ステージ
２３Ｘ軸アクチュエータ
２４Ｙ軸アクチュエータ
２５Ｘ軸変位センサ
２６Ｙ軸変位センサ
２７Ｘ軸
２８Ｙ軸
２９Ｚ軸
３０支持部材（弾性体）
３１圧電素子
３２下板
３３上板
３４電極
４０第１の精密微動位置決め装置
４１第２の精密微動位置決め装置
４２第３の精密微動位置決め装置

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed base 2 Movable base 3 Elastic support mechanism 4 Actuator 5 Stator 5a Yoke 5b Magnet 6 Movable element 6a Coil base 6b Coil 7 Gap m
8 Lower fixing flange 9 Upper fixing flange 10 Bellows 11 Displacement sensor 12 Displacement sensor detector 13 Shaft 13a Position adjusting screw 13b Guide portion 14 Lock nut 15 O-ring 16 Joint 17 Gap s
18 Spherical support portion 19 Deflection support portion 20 Pedestal 21 Stage base 22 Movable stage 23 X-axis actuator 24 Y-axis actuator 25 X-axis displacement sensor 26 Y-axis displacement sensor 27 X-axis 28 Y-axis 29 Z-axis 30 Support member (elastic body)
31 Piezoelectric Element 32 Lower Plate 33 Upper Plate 34 Electrode 40 First Precision Fine Positioning Device 41 Second Precision Fine Positioning Device 42 Third Precision Fine Positioning Device

Claims

A fixed base;
An electromagnetic comprising: a pair of stators erected on the fixed base; and a mover that is opposed to the pair of stators through a predetermined gap and is movable up and down with respect to the stator. An actuator,
An elastic support comprising a bellows, an upper end and a lower end flange for sealing the upper end and the lower end of the bellows, respectively, and a working fluid having a predetermined pressure filled in the bellows, and the lower end flange is attached to the fixed base Mechanism,
A movable base supported by the movable element and the upper end flange;
In the precision fine positioning device with
The elastic support mechanism is
A displacement sensor provided on the lower flange so as to be accommodated in the bellows;
A screw hole provided in the upper end flange and penetrating into the bellows;
A shaft inserted into the screw hole;
A displacement sensor detection body provided on the shaft so that the displacement sensor can be detected;
Sealing means for closing a gap between the screw hole and the shaft;
With
In the movable base,
A through hole was provided at a position corresponding to the shaft;
Precision fine positioning device characterized by.

A lock nut is provided on the shaft, and the shaft is fixed to the upper end flange by the lock nut;
The precision fine movement positioning device according to claim 1.

The positional relationship between the mover and the stator in the electromagnetic actuator is reversed,
The fine fine positioning device according to claim 1 or 2, wherein

At least three precision fine-movement positioning devices according to claim 1, 2 or 3,
A stage base that supports the fixed base of each of the at least three precision fine positioning devices;
A movable stage supported by the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices;
With
In the movable stage,
A through hole was further provided at a position corresponding to the through hole provided at a position corresponding to the shaft of each of the at least three precision fine positioning devices;
Fine movement positioning stage characterized by

The movable base of each of the at least three precision fine positioning devices;
A plate-like base having a step in the vertical direction, wherein the upper end flange of the elastic support mechanism is fixed to the lower surface of the lower step of the step, the mover is fixed to the lower surface of the upper step of the step, and the lower step of the step The movable stage is supported on the upper surface of
The fine movement positioning stage according to claim 4.

A spherical support is provided between the movable base of each of the at least three precision fine positioning devices and the movable stage;
6. The fine movement positioning stage according to claim 4 or 5, wherein:

Between the movable base of each of the at least three precision fine-movement positioning devices and the movable stage, a bending support portion formed of a rod-like member having a part of the diameter of a metal round bar is provided. thing,
6. The fine movement positioning stage according to claim 4 or 5, wherein: