JP4725814B2

JP4725814B2 - Light source unit, illumination optical device, exposure apparatus, and exposure method

Info

Publication number: JP4725814B2
Application number: JP2008296687A
Authority: JP
Inventors: 洋行近藤; 秀基小松田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2008-11-20
Filing date: 2008-11-20
Publication date: 2011-07-13
Anticipated expiration: 2023-04-09
Also published as: JP2009060139A

Description

本発明は、光源ユニット、照明光学装置、露光装置および露光方法に関する。さらに詳細には、本発明は、５〜５０ｎｍ程度の波長を有するＥＵＶ光（極端紫外線）を用いて半導体素子などのマイクロデバイスをフォトリソグラフィ工程で製造するのに使用される露光装置に好適な光源ユニットに関するものである。 The present invention relates to a light source unit, an illumination optical apparatus, an exposure apparatus, and an exposure method. More specifically, the present invention is a light source suitable for an exposure apparatus used for manufacturing microdevices such as semiconductor elements in a photolithography process using EUV light (extreme ultraviolet rays) having a wavelength of about 5 to 50 nm. It is about the unit.

この種の露光装置では、転写すべき回路パターンの微細化に伴って解像力の一層の向上が要求されており、露光光としてより短波長の光を用いるようになっている。なお、本明細書における「光」とは、目で見える狭義の「光」だけではなく、電磁波のうち１ｍｍよりも短い波長を有する、いわゆる赤外線からＸ線までを含む広義の「光」を意味する。近年、次世代装置として、５〜５０ｎｍ程度の波長を有するＥＵＶ（Extreme UltraViolet）光を用いる露光装置（以下、「ＥＵＶＬ（Extreme UltraViolet Lithography：極紫外リソグラフィ）露光装置」という）が提案されている。 In this type of exposure apparatus, further improvement in resolving power is required as the circuit pattern to be transferred becomes finer, and light having a shorter wavelength is used as exposure light. In addition, “light” in this specification means not only “light” in a narrow sense that can be seen with eyes, but also “light” in a broad sense including a so-called infrared ray to X-ray having a wavelength shorter than 1 mm among electromagnetic waves. To do. In recent years, an exposure apparatus using EUV (Extreme UltraViolet) light having a wavelength of about 5 to 50 nm (hereinafter referred to as “EUVL (Extreme UltraViolet Lithography) exposure apparatus”) has been proposed as a next-generation apparatus.

現在、ＥＵＶ光を供給する光源として、以下に示す３つのタイプの光源が提案されている。
（１）ＳＲ（シンクロトロン放射光）を供給する光源
（２）レーザ光をターゲット上に集光し、ターゲットをプラズマ化してＥＵＶ光を得るＬＰＰ（Laser Produced Plasma）光源
（３）ＤＰＰ（Discharge Produced Plasma）光源。ターゲット物質からなる電極、あるいは電極間にターゲット物質が存在する状態で電極間に電圧を印加すると、ある電圧を越えたところで電極間で放電が生じ、ターゲット材料をプラズマ化する。この放電によって電極間に大電流が流れ、この電流によって生じる磁場によりプラズマ自身が微小空間内に圧縮され、プラズマ温度を上昇させる。この高温プラズマからＥＵＶ光が放出される。このように、放電によりプラズマにエネルギーを供給し（励起し）、ＥＵＶ光を放出させる光源を一般にＤＰＰ光源と呼ぶ。 Currently, the following three types of light sources have been proposed as light sources for supplying EUV light.
(1) Light source for supplying SR (synchrotron radiation) (2) LPP (Laser Produced Plasma) light source for collecting EUV light by condensing laser light on the target and converting the target into plasma (3) DPP (Discharge Produced) Plasma) light source. When a voltage is applied between electrodes in the state where an electrode made of the target material or the target material exists between the electrodes, a discharge occurs between the electrodes when a certain voltage is exceeded, and the target material is turned into plasma. This discharge causes a large current to flow between the electrodes, and the plasma itself is compressed into a minute space by the magnetic field generated by this current, raising the plasma temperature. EUV light is emitted from this high temperature plasma. A light source that supplies (excites) energy to plasma by discharge and emits EUV light is generally called a DPP light source.

上述のＤＰＰ光源やＬＰＰ光源では、所定の発光点より発散光が射出されるが、この発散光の射出に伴ってデブリ（飛散粒子）も放出される。以下、ＤＰＰ光源およびＬＰＰ光源を「プラズマ光源」と総称する。そこで、プラズマ光源から供給される発散光すなわちプラズマ発散光を一旦集光させ、この集光点の近傍に配置されたピンホール部材によりデブリを遮る必要がある。従来技術では、発光点の周りの構造物が障害になり、光量損失を良好に抑えて所望の光強度分布でプラズマ発散光を集光させる構成が提案されていない。 In the above-described DPP light source and LPP light source, divergent light is emitted from a predetermined light emitting point, and debris (scattered particles) are also emitted as the divergent light is emitted. Hereinafter, the DPP light source and the LPP light source are collectively referred to as “plasma light source”. Therefore, it is necessary to once collect the divergent light supplied from the plasma light source, that is, the plasma divergent light, and block the debris by a pinhole member arranged in the vicinity of the condensing point. In the prior art, a structure for concentrating plasma divergent light with a desired light intensity distribution while suppressing a loss of light quantity satisfactorily due to a structure around the light emitting point is not proposed.

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニットを提供することを目的とする。また、本発明では、反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニットから供給されるＥＵＶ光を用いて、マスクパターンを感光性基板上に忠実に且つ高スループットで転写することのできる露光装置および露光方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a light source unit capable of condensing DPP divergent light while reducing the adhesion of debris to a reflecting surface. In the present invention, the EUV light supplied from the light source unit capable of condensing the DPP divergent light while reducing the adhesion of debris to the reflecting surface is used to faithfully and mask the mask pattern on the photosensitive substrate. An object of the present invention is to provide an exposure apparatus and an exposure method capable of transferring at a high throughput.

前記課題を解決するために、本発明の第１形態では、標的材料をプラズマ化し、該プラズマからＥＵＶ光を放出する光源本体と、貫通孔を有する第１反射鏡と、前記光源本体と前記第１反射鏡との間の光路中に配置された第２反射鏡とを備え、
前記光源本体から放出されるデブリを前記第１反射鏡と前記第２反射鏡との間の光路中において除去するためのデブリ除去機構をさらに備え、
前記ＥＵＶ光を、前記第１反射鏡の反射面、前記第２反射鏡の反射面、および前記第１反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置に集光することを特徴とする光源ユニットを提供する。 In order to solve the above problems, in the first embodiment of the present invention, a target material is converted into plasma, and a light source body that emits EUV light from the plasma, a first reflecting mirror having a through hole, the light source body, and the first A second reflecting mirror disposed in the optical path between the first reflecting mirror,
A debris removal mechanism for removing debris emitted from the light source body in an optical path between the first reflecting mirror and the second reflecting mirror;
The EUV light is condensed at a predetermined position through a reflecting surface of the first reflecting mirror, a reflecting surface of the second reflecting mirror, and a through hole of the first reflecting mirror. I will provide a.

本発明の第２形態では、第１形態の光源ユニットと、該光源ユニットからのＥＵＶ光を被照射面へ導くための導光光学系とを備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an illumination optical apparatus comprising: the light source unit of the first aspect; and a light guide optical system for guiding EUV light from the light source unit to an irradiated surface. To do.

本発明の第３形態では、所定のパターンが形成された反射型のマスクを照明するための第２形態の照明光学装置と、前記マスクのパターン像を感光性基板上に形成するための投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置を提供する。 In the third embodiment of the present invention, the illumination optical apparatus of the second embodiment for illuminating a reflective mask on which a predetermined pattern is formed, and projection optics for forming a pattern image of the mask on a photosensitive substrate. An exposure apparatus is provided.

本発明の第４形態では、第２形態の照明光学装置を用いて所定のパターンが形成された反射型のマスクを照明する照明工程と、投影光学系を介して前記マスクのパターンを前記感光性基板上へ投影露光する露光工程とを含むことを特徴とする露光方法を提供する。 In the fourth embodiment of the present invention, an illumination process of illuminating a reflective mask on which a predetermined pattern is formed using the illumination optical apparatus of the second embodiment, and the pattern of the mask is exposed to the photosensitive via a projection optical system. And an exposure step of performing projection exposure onto a substrate.

本発明の光源ユニットは、ＥＵＶ光を供給するための光源本体と、貫通孔を有する第１反射鏡と、光源本体と第１反射鏡との間の光路中に配置された第２反射鏡と、デブリ除去機構とを備えている。デブリ除去機構は、光源本体から放出されるデブリを第１反射鏡と第２反射鏡との間の光路中において除去する。その結果、反射面へのデブリの付着を低減しつつ、ＤＰＰ光源本体からのＤＰＰ発散光を所定の位置へ集光させることができる。 A light source unit of the present invention includes a light source body for supplying EUV light, a first reflecting mirror having a through hole, and a second reflecting mirror disposed in an optical path between the light source body and the first reflecting mirror. And a debris removing mechanism. The debris removing mechanism removes debris emitted from the light source body in the optical path between the first reflecting mirror and the second reflecting mirror. As a result, DPP diverging light from the DPP light source body can be condensed at a predetermined position while reducing the adhesion of debris to the reflecting surface.

したがって、本発明の露光装置および露光方法では、反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニットから供給されるＥＵＶ光を用いて、マスクパターンを感光性基板上に忠実に且つ高スループットで転写することができ、ひいては高精度なマイクロデバイスを高スループットで製造することができる。 Therefore, in the exposure apparatus and exposure method of the present invention, the mask pattern is made photosensitive by using EUV light supplied from a light source unit capable of condensing DPP diverging light while reducing debris adhesion to the reflecting surface. Transfer can be performed faithfully and with high throughput on the substrate, and as a result, a highly accurate microdevice can be manufactured with high throughput.

本発明の実施形態を、添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態にかかる光源ユニットを備えた露光装置の全体構成を概略的に示す図である。また、図２は、ウェハ上に形成される円弧状の露光領域（すなわち実効露光領域）と光軸との位置関係を示す図である。図１において、投影光学系の光軸方向すなわち感光性基板であるウェハの法線方向に沿ってＺ軸を、ウェハ面内において図１の紙面に平行な方向にＹ軸を、ウェハ面内において図１の紙面に垂直な方向にＸ軸をそれぞれ設定している。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a view schematically showing an overall configuration of an exposure apparatus including a light source unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the positional relationship between the arc-shaped exposure area (that is, the effective exposure area) formed on the wafer and the optical axis. In FIG. 1, the Z axis along the optical axis direction of the projection optical system, that is, the normal direction of the wafer as the photosensitive substrate, the Y axis in the direction parallel to the paper surface of FIG. The X axis is set in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

図１の露光装置は、露光光を供給するためのＤＰＰタイプの光源ユニット１を備えている。光源ユニット１から供給されたＥＵＶ光は、波長選択フィルタ（不図示）を介して、照明光学系２に入射する。ここで、波長選択フィルタは、光源ユニット１が供給するＥＵＶ光から、所定波長（たとえば１３．５ｎｍまたは１１．５ｎｍ）近傍のＥＵＶ光だけを選択的に透過させ、他の波長光の透過を遮る特性を有する。波長選択フィルタを透過したＥＵＶ光３は、照明光学系２および平面反射鏡４を介して、転写すべきパターンが形成された反射型のマスク（レチクル）Ｍを照明する。 The exposure apparatus of FIG. 1 includes a DPP type light source unit 1 for supplying exposure light. The EUV light supplied from the light source unit 1 enters the illumination optical system 2 via a wavelength selection filter (not shown). Here, the wavelength selection filter selectively transmits only EUV light in the vicinity of a predetermined wavelength (for example, 13.5 nm or 11.5 nm) from the EUV light supplied by the light source unit 1 and blocks transmission of other wavelength light. Has characteristics. The EUV light 3 transmitted through the wavelength selection filter illuminates a reflective mask (reticle) M on which a pattern to be transferred is formed via the illumination optical system 2 and the plane reflecting mirror 4.

マスクＭは、そのパターン面がＸＹ平面に沿って延びるように、Ｙ方向に沿って移動可能なマスクステージ５によって保持されている。そして、マスクステージ５の移動は、レーザ干渉計６により計測されるように構成されている。照明されたマスクＭのパターンからの光は、反射型の投影光学系ＰＬを介して、感光性基板であるウェハＷ上にマスクパターンの像を形成する。すなわち、ウェハＷ上には、図２に示すように、たとえばＹ軸に関して対称な細長い円弧状の露光領域（すなわち静止露光領域）が形成される。 The mask M is held by a mask stage 5 that can move along the Y direction so that its pattern surface extends along the XY plane. The movement of the mask stage 5 is configured to be measured by a laser interferometer 6. The light from the illuminated pattern of the mask M forms an image of the mask pattern on the wafer W, which is a photosensitive substrate, via the reflective projection optical system PL. That is, on the wafer W, as shown in FIG. 2, for example, an elongated arc-shaped exposure region (that is, a static exposure region) symmetrical with respect to the Y axis is formed.

図２を参照すると、光軸ＡＸを中心とした半径φを有する円形状の領域（イメージサークル）ＩＦ内において、このイメージサークルＩＦに接するようにＸ方向の長さがＬＸでＹ方向の長さがＬＹの円弧状の実効露光領域ＥＲが設定されている。ウェハＷは、その露光面がＸＹ平面に沿って延びるように、Ｘ方向およびＹ方向に沿って二次元的に移動可能なウェハステージ７によって保持されている。なお、ウェハステージ７の移動は、マスクステージ５と同様に、レーザ干渉計８により計測されるように構成されている。 Referring to FIG. 2, in a circular area (image circle) IF having a radius φ centered on the optical axis AX, the length in the X direction is LX and the length in the Y direction so as to contact the image circle IF. An arc-shaped effective exposure region ER with LY is set. The wafer W is held by a wafer stage 7 that can move two-dimensionally along the X and Y directions so that the exposure surface extends along the XY plane. The movement of the wafer stage 7 is measured by a laser interferometer 8 as in the mask stage 5.

こうして、マスクステージ５およびウェハステージ７をＹ方向に沿って移動させながら、すなわち投影光学系ＰＬに対してマスクＭおよびウェハＷをＹ方向に沿って相対移動させながらスキャン露光（走査露光）を行うことにより、ウェハＷの１つの露光領域にマスクＭのパターンが転写される。また、ウェハステージ７をＸ方向およびＹ方向に沿って二次元的に移動させながら走査露光を繰り返すことにより、ウェハＷの各露光領域にマスクＭのパターンが逐次転写される。 Thus, the scanning exposure (scanning exposure) is performed while moving the mask stage 5 and the wafer stage 7 along the Y direction, that is, while relatively moving the mask M and the wafer W along the Y direction with respect to the projection optical system PL. As a result, the pattern of the mask M is transferred to one exposure region of the wafer W. In addition, the pattern of the mask M is sequentially transferred to each exposure region of the wafer W by repeating scanning exposure while moving the wafer stage 7 two-dimensionally along the X direction and the Y direction.

図３は、図１の光源ユニットおよび照明光学系の内部構成を概略的に示す図である。また、図４は、光源本体の内部構成を概略的に示す図である。図３を参照すると、光源ユニット１は、ＤＰＰ発散光を供給するための光源本体１１と、光源本体１１からのＤＰＰ発散光を所定の位置に集光するための集光光学系１２とを備えている。光源本体１１は、図４に示すように、間隔を隔てて配置された２つの電極１１ａおよび１１ｂと、２つの電極１１ａと１１ｂとの間に電圧を印加するための電力供給源１１ｃとを備えている。 FIG. 3 is a diagram schematically showing the internal configuration of the light source unit and illumination optical system of FIG. FIG. 4 is a diagram schematically showing the internal configuration of the light source body. Referring to FIG. 3, the light source unit 1 includes a light source body 11 for supplying DPP diverging light and a condensing optical system 12 for condensing the DPP diverging light from the light source main body 11 at a predetermined position. ing. As shown in FIG. 4, the light source body 11 includes two electrodes 11 a and 11 b arranged at a distance, and a power supply source 11 c for applying a voltage between the two electrodes 11 a and 11 b. ing.

光源本体１１では、カソード電極１１ａとアノード電極１１ｂとの間に標的材料を入れた状態で、電力供給源１１ｃからの電圧印加を受けて、カソードとしての第１電極１１ａとアノードとしての第２電極１１ｂとの間に放電が起こり、この放電電流により発生したプラズマが電磁力により収斂され、高温で高密度のプラズマとなる。このプラズマからＥＵＶ光が放出される。標的材料として、キセノン（Ｘｅ）ガスやスズ（Ｓｎ）等が用いられる。 In the light source body 11, the first electrode 11a as the cathode and the second electrode as the anode are received by applying a voltage from the power supply source 11c with the target material placed between the cathode electrode 11a and the anode electrode 11b. A discharge occurs between the discharge current 11b and the plasma generated by the discharge current is converged by an electromagnetic force to be a high-density plasma at a high temperature. EUV light is emitted from this plasma. As the target material, xenon (Xe) gas, tin (Sn), or the like is used.

一方、集光光学系１２は、図３に示すように、光源本体１１側から順に、中央に貫通孔が形成された凸面反射鏡１２ｂと、同じく中央に貫通孔が形成された凹面反射鏡１２ａとを備えている。ここで、第１反射鏡としての凹面反射鏡１２ａは光源本体１１に向かって凹面状の反射面を有し、第２反射鏡としての凸面反射鏡１２ｂは凹面反射鏡１２ａに向かって凸面状の反射面を有する。 On the other hand, as shown in FIG. 3, the condensing optical system 12 includes, in order from the light source body 11 side, a convex reflecting mirror 12b having a through hole at the center and a concave reflecting mirror 12a having a through hole at the center. And. Here, the concave reflecting mirror 12a as the first reflecting mirror has a concave reflecting surface toward the light source body 11, and the convex reflecting mirror 12b as the second reflecting mirror is convex toward the concave reflecting mirror 12a. Has a reflective surface.

こうして、光源本体１１の発光点より発したＤＰＰ発散光は、凸面反射鏡１２ｂの貫通孔を介して、凹面反射鏡１２ａに入射する。凹面反射鏡１２ａの反射面で反射された光は、凸面反射鏡１２ｂの反射面で反射された後、凹面反射鏡１２ａの貫通孔を介して、所定の点１２ｃに集光する。 In this way, the DPP divergent light emitted from the light emitting point of the light source body 11 enters the concave reflecting mirror 12a through the through hole of the convex reflecting mirror 12b. The light reflected by the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a is reflected by the reflecting surface of the convex reflecting mirror 12b, and then condensed at a predetermined point 12c through the through hole of the concave reflecting mirror 12a.

光源ユニット１（１１，１２）からのＥＵＶ光は、集光点１２ｃで一旦集光した後、この集光点１２ｃの近傍に配置されたピンホール部材（不図示）に入射する。ピンホール部材を通過したＥＵＶ光は、凹面反射鏡１３を介してほぼ平行光束となり、一対のフライアイミラー１４ａおよび１４ｂからなるオプティカルインテグレータ１４に導かれる。一対のフライアイミラー１４ａおよび１４ｂとして、たとえば特開平１１−３１２６３８号公報において本出願人が開示したフライアイミラーを用いることができる。なお、フライアイミラーのさらに詳細な構成および作用については、同公報における関連の記載を参照することができる。 The EUV light from the light source unit 1 (11, 12) is once condensed at the condensing point 12c and then incident on a pinhole member (not shown) disposed in the vicinity of the condensing point 12c. The EUV light that has passed through the pinhole member becomes a substantially parallel light beam through the concave reflecting mirror 13, and is guided to the optical integrator 14 including a pair of fly-eye mirrors 14a and 14b. As the pair of fly-eye mirrors 14a and 14b, for example, a fly-eye mirror disclosed by the present applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-312638 can be used. For more detailed configuration and operation of the fly-eye mirror, reference can be made to related descriptions in the publication.

こうして、第２フライアイミラー１４ｂの反射面の近傍、すなわちオプティカルインテグレータ１４の射出面の近傍には、所定の形状を有する実質的な面光源が形成される。実質的な面光源からの光は、平面反射鏡４により偏向された後、視野絞り（不図示）を介して、マスクＭ上に細長い円弧状の照明領域を形成する。照明されたマスクＭのパターンからの光は、投影光学系ＰＬを介して、ウェハＷ上にマスクパターンの像を形成する。 Thus, a substantial surface light source having a predetermined shape is formed in the vicinity of the reflecting surface of the second fly's eye mirror 14b, that is, in the vicinity of the exit surface of the optical integrator 14. Light from a substantial surface light source is deflected by the plane reflecting mirror 4 and then forms an elongated arc-shaped illumination area on the mask M via a field stop (not shown). Light from the illuminated pattern of the mask M forms an image of the mask pattern on the wafer W via the projection optical system PL.

図５は、本実施形態の数値実施例にかかる集光光学系の構成を概略的に示す図である。この数値実施例は、比較的良好に収差補正された集光光学系１２の一例を示している。次の表（１）に、図５に示す数値実施例にかかる集光光学系１２の諸元の値を掲げる。表（１）の主要諸元において、λは露光光（ＥＵＶ光）の波長を、Ｈは発光点（発光領域）１１ｄの大きさ（物体高）を、ＮＡは物体側（光源ユニット側）開口数をそれぞれ表している。また、表（１）の光学部材諸元において、面番号は光源ユニット側からの光学面の順序を、ｒは各光学面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各光学面の軸上間隔すなわち面間隔（ｍｍ）をそれぞれ示している。なお、面間隔ｄの値は、反射する度にその符号が変わるものとしている。 FIG. 5 is a diagram schematically showing a configuration of a condensing optical system according to a numerical example of the present embodiment. This numerical example shows an example of the condensing optical system 12 with aberrations corrected relatively well. The following table (1) lists the values of the specifications of the condensing optical system 12 according to the numerical example shown in FIG. In the main specifications of Table (1), λ is the wavelength of the exposure light (EUV light), H is the size of the light emitting point (light emitting area) 11d (object height), and NA is the object side (light source unit side) aperture. Each represents a number. Also, in the optical member specifications of Table (1), the surface number is the order of the optical surfaces from the light source unit side, r is the radius of curvature (mm) of each optical surface, and d is the axial spacing of each optical surface, The surface spacing (mm) is shown. Note that the value of the surface interval d changes in sign each time it is reflected.

（表１）
（主要諸元）
λ＝１３．５ｎｍ
Ｈ＝−１ｍｍ〜＋１ｍｍ
ＮＡ＝０．７

（光学部材諸元）
面番号ｒｄ光学部材
（発光点） 300
1 -353.02832 -285 （凹面反射鏡１２ａ）
2 -429.74950 435 （凸面反射鏡１２ｂ）
（集光点） (Table 1)
(Main specifications)
λ = 13.5nm
H = -1mm to + 1mm
NA = 0.7

(Optical member specifications)
Surface number rd Optical member
(Light emission point) 300
1 -353.02832 -285 (concave reflector 12a)
2 -429.74950 435 (convex reflector 12b)
(Condensing point)

前述したように、従来技術では、発光点１１ｄの周りの構造物が障害になり、光量損失を良好に抑えて所望の光強度分布でＤＰＰ発散光を集光させる構成が提案されていない。この点について、図６乃至図８を参照して簡単に説明する。図６には、ＤＰＰ光源本体６０からのＤＰＰ発散光を単純に１つの凹面反射鏡６１により集光させる構成が示されている。しかしながら、図６に示す構成では、一対の電極６０ａおよび６０ｂの周りに放電を発生させるための比較的大きな構造物（不図示）が設けられているので、凹面反射鏡６１により集光作用を受けた光が集光点６２に達する前に当該構造物に遮られてしまう。 As described above, in the related art, a structure around the light emitting point 11d becomes an obstacle, and a configuration for condensing DPP divergent light with a desired light intensity distribution while suppressing light loss is not proposed. This point will be briefly described with reference to FIGS. FIG. 6 shows a configuration in which DPP diverging light from the DPP light source body 60 is simply collected by one concave reflecting mirror 61. However, in the configuration shown in FIG. 6, since a relatively large structure (not shown) for generating discharge is provided around the pair of electrodes 60a and 60b, the concave reflecting mirror 61 receives the light collecting action. The light is blocked by the structure before reaching the condensing point 62.

図７には、ＤＰＰ光源本体（不図示）の発光点７２からのＤＰＰ発散光を入れ子状の斜入射ミラー７１により集光点７３に集光させる構成が示されている。しかしながら、図７に示す構成では、発光点７２と集光点７３とを焦点とする楕円球面の一部を反射面とする斜入射ミラー７１により一部の光束が遮られ、集光作用を受けた光束の光強度分布に高周波のうねりが発生するため、ウェハＷ上の照度均一性に悪影響が及ぶことになる。 FIG. 7 shows a configuration in which DPP divergent light from a light emitting point 72 of a DPP light source main body (not shown) is condensed at a condensing point 73 by a nested oblique incidence mirror 71. However, in the configuration shown in FIG. 7, a part of the light beam is blocked by the oblique incidence mirror 71 having a part of an elliptical spherical surface with the light emitting point 72 and the condensing point 73 as a focal point, and receives a condensing action. High-frequency undulation occurs in the light intensity distribution of the luminous flux, which adversely affects the illuminance uniformity on the wafer W.

図８には、ＤＰＰ光源本体（不図示）の発光点８０からのＤＰＰ発散光をシュバルツシルド光学系８１により集光点８２に集光させる構成が示されている。しかしながら、図８に示す構成では、ＤＰＰ光源本体からのＤＰＰ発散光がシュバルツシルド光学系８１の凹面反射鏡８１ａに入射する際に、光束の中央部分がシュバルツシルド光学系８１の凸面反射鏡８１ｂにより大きく遮られる。その結果、シュバルツシルド光学系８１において非常に大きな光量損失が発生し、伝達効率が非常に悪くなる。 FIG. 8 shows a configuration in which DPP divergent light from a light emitting point 80 of a DPP light source body (not shown) is condensed on a condensing point 82 by a Schwarzschild optical system 81. However, in the configuration shown in FIG. 8, when the DPP divergent light from the DPP light source body enters the concave reflecting mirror 81 a of the Schwarzschild optical system 81, the central portion of the light beam is caused by the convex reflecting mirror 81 b of the Schwarzschild optical system 81. Largely blocked. As a result, a very large light quantity loss occurs in the Schwarzschild optical system 81, and the transmission efficiency becomes very poor.

これに対し、本実施形態では、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光が、凸面反射鏡１２ｂの中央貫通孔を介して、凹面反射鏡１２ａに入射する。そして、凹面反射鏡１２ａの反射面で反射された光が、凸面反射鏡１２ｂの反射面で反射された後、凹面反射鏡１２ａの中央貫通孔を介して、集光点１２ｃに達する。このとき、発光点１１ｄと凸面反射鏡１２ｂおよび凹面反射鏡１２ａと集光点１２ｃとをある程度近づけることにより、凸面反射鏡１２ｂの中央貫通孔および凹面反射鏡１２ａの中央貫通孔のサイズが比較的小さく抑えられる。 On the other hand, in this embodiment, the DPP divergent light from the DPP light source body 11 enters the concave reflecting mirror 12a through the central through hole of the convex reflecting mirror 12b. Then, after the light reflected by the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a is reflected by the reflecting surface of the convex reflecting mirror 12b, it reaches the condensing point 12c through the central through hole of the concave reflecting mirror 12a. At this time, by making the light emitting point 11d, the convex reflecting mirror 12b, the concave reflecting mirror 12a, and the condensing point 12c close to some extent, the sizes of the central through hole of the convex reflecting mirror 12b and the central through hole of the concave reflecting mirror 12a are relatively small. Can be kept small.

その結果、本実施形態では、凹面反射鏡１２ａでの反射および凸面反射鏡１２ｂでの反射に際して中央貫通孔に起因する光量損失がわずかに発生するが、一対の電極１１ａおよび１１ｂの周りの構造物（不図示）により光束が遮られることはない。また、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光が、光軸ＡＸに沿った凹面反射鏡１２ａと凸面反射鏡１２ｂとからなり比較的良好に収差補正された集光光学系１２の集光作用を受けるため、光束の光強度分布に高周波のうねりが発生することなく、所望の光強度分布でＤＰＰ発散光を集光させることができ、ひいてはウェハＷ上の照度均一性を確保することができる。 As a result, in the present embodiment, there is a slight loss of light amount due to the central through hole upon reflection at the concave reflecting mirror 12a and reflection at the convex reflecting mirror 12b, but structures around the pair of electrodes 11a and 11b. The light beam is not blocked by (not shown). Further, the DPP divergent light from the DPP light source main body 11 is subjected to the condensing action of the condensing optical system 12 which is composed of the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b along the optical axis AX and whose aberration is corrected relatively well. Therefore, the DPP divergent light can be collected with a desired light intensity distribution without causing high-frequency undulations in the light intensity distribution of the luminous flux, and as a result, the illuminance uniformity on the wafer W can be ensured.

以上のように、本実施形態の光源ユニット１（１１，１２）では、一対の電極１１ａおよび１１ｂの周りの構造物すなわち発光点１１ｄの周りの構造物が障害になることなく、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光を、光量損失を良好に抑えて所望の光強度分布で所定の集光点１２ｃへ集光させることができる。したがって、本実施形態の露光装置では、光量損失を良好に抑えて所望の光強度分布でＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニット１から供給されるＥＵＶ光３を用いて、マスクＭのパターンをウェハＷ上に忠実に且つ高スループットで転写することができる。 As described above, in the light source unit 1 (11, 12) of the present embodiment, the structure around the pair of electrodes 11a and 11b, that is, the structure around the light emitting point 11d does not become an obstacle, and the DPP light source body 11 The DPP diverging light from the light can be condensed at a predetermined condensing point 12c with a desired light intensity distribution while suppressing a loss of light amount. Therefore, in the exposure apparatus of the present embodiment, the EUV light 3 supplied from the light source unit 1 that can condense the DPP divergent light with a desired light intensity distribution while suppressing the loss of light quantity is used. The pattern can be transferred onto the wafer W faithfully and with high throughput.

なお、上述の実施形態では、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光を集光させるための集光光学系１２を、第１反射鏡としての凹面反射鏡１２ａと第２反射鏡としての凸面反射鏡１２ｂとにより構成している。しかしながら、これに限定されることなく、たとえば第２反射鏡として平面反射鏡や凹面反射鏡を用いることもできる。また、本実施形態では、反射鏡１２ａ、１２ｂの反射面を球面としたが、これを円錐曲線や、非球面、自由曲面としても良いことは言うまでもない。 In the above-described embodiment, the condensing optical system 12 for condensing the DPP divergent light from the DPP light source body 11 includes the concave reflecting mirror 12a as the first reflecting mirror and the convex reflecting mirror as the second reflecting mirror. 12b. However, the present invention is not limited to this, and for example, a plane reflecting mirror or a concave reflecting mirror can be used as the second reflecting mirror. Further, in the present embodiment, the reflecting surfaces of the reflecting mirrors 12a and 12b are spherical surfaces, but it goes without saying that they may be conical curves, aspherical surfaces, and free-form surfaces.

また、上述の実施形態では、集光光学系１２を構成する一対の反射鏡の中央に貫通孔をそれぞれ形成している。しかしながら、これに限定されることなく、各反射鏡の貫通孔の形成位置については、各反射鏡のパワー配置と同様に、様々な変形例が可能である。また、上述の実施形態では、ＥＵＶ光源としてＤＰＰタイプの光源を用いているが、これに限らず、ＬＰＰタイプの光源を用いることもできる。 In the above-described embodiment, a through hole is formed in the center of the pair of reflecting mirrors constituting the condensing optical system 12. However, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made with respect to the formation positions of the through holes of the respective reflecting mirrors as in the power arrangement of the respective reflecting mirrors. In the above-described embodiment, a DPP type light source is used as the EUV light source. However, the present invention is not limited to this, and an LPP type light source can also be used.

ところで、本実施形態では、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光の射出に際して、デブリが放出されるだけでなく、熱も放射される。したがって、凹面反射鏡１２ａおよび凸面反射鏡１２ｂは、ＤＰＰ発散光の照射熱の影響だけでなく、ＤＰＰ光源本体１１からの放射熱の影響も受ける。そこで、本実施形態では、加工性が高く且つ熱伝導率の高い材料、すなわちシリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）などを用いて、凹面反射鏡１２ａの本体および凸面反射鏡１２ｂの本体を形成することが好ましい。この構成により、各反射鏡の表面（反射面）から伝わる熱を迅速に裏面に伝え、たとえば適当な冷却機構の作用により各反射鏡から熱を除去することができる。 By the way, in this embodiment, not only debris but also heat is radiated when the DPP divergent light is emitted from the DPP light source body 11. Therefore, the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b are not only influenced by the irradiation heat of the DPP diverging light but also influenced by the radiant heat from the DPP light source body 11. Therefore, in this embodiment, the main body of the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b are made of a material having high workability and high thermal conductivity, that is, silicon (Si), aluminum (Al), copper (Cu), or the like. It is preferable to form a main body. With this configuration, heat transmitted from the front surface (reflecting surface) of each reflecting mirror can be quickly transmitted to the back surface, and heat can be removed from each reflecting mirror by the action of an appropriate cooling mechanism, for example.

図９は、集光光学系の各反射鏡を冷却する冷却機構の一例を概略的に示す図である。図９を参照すると、集光光学系１２を構成する凹面反射鏡１２ａの裏面および凸面反射鏡１２ｂの裏面に、ヒートパイプ２０ａおよび２０ｂがそれぞれ密着するように取り付けられている。こうして、ヒートパイプ２０ａおよび２０ｂの作用により、凹面反射鏡１２ａおよび凸面反射鏡１２ｂから熱を外部へ逃がすことができる。ただし、集光光学系１２の各反射鏡１２ａ，１２ｂに適用可能な冷却機構は、図９の構成例に限定されることなく、例えば各反射鏡１２ａ，１２ｂの本体内部を冷却液体（冷水など）が通過するような構造を採用することもできる。 FIG. 9 is a diagram schematically showing an example of a cooling mechanism that cools each reflecting mirror of the condensing optical system. Referring to FIG. 9, the heat pipes 20a and 20b are attached to the back surface of the concave reflecting mirror 12a and the back surface of the convex reflecting mirror 12b constituting the condensing optical system 12, respectively. Thus, heat can be released to the outside from the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b by the action of the heat pipes 20a and 20b. However, the cooling mechanism applicable to each reflecting mirror 12a, 12b of the condensing optical system 12 is not limited to the configuration example of FIG. 9, and for example, a cooling liquid (cold water or the like) is provided inside the main body of each reflecting mirror 12a, 12b. ) Can also be adopted.

また、本実施形態では、集光光学系１２を構成する凹面反射鏡１２ａおよび凸面反射鏡１２ｂは、ＤＰＰ光源本体１１からの放射熱の影響およびＤＰＰ発散光の照射熱の影響を受けるため、交換可能に構成されていることが好ましい。特に、反射面がＤＰＰ光源本体１１に直接さらされる凹面反射鏡１２ａは、ある程度頻繁に交換する必要が予想されるため、容易に交換可能な構成であることが望ましい。 In the present embodiment, the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b constituting the condensing optical system 12 are affected by the radiant heat from the DPP light source body 11 and the irradiation heat of the DPP diverging light. It is preferable that the configuration is possible. In particular, the concave reflecting mirror 12a whose reflecting surface is directly exposed to the DPP light source body 11 is expected to be replaced to some extent frequently.

集光光学系１２を構成する凹面反射鏡１２ａおよび凸面反射鏡１２ｂの容易な交換を実現するために、凹面反射鏡１２ａの反射面の位置および凸面反射鏡１２ｂの反射面の位置を計測するための位置計測手段を備えていることが好ましい。図１０は、集光光学系を構成する反射鏡の反射面位置を計測する位置計測系の一例を概略的に示す図である。図１０に示す位置計測系では、マスク２１ａ，２１ｂ，２１ｃからの光が、結像光学系の前群２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、凹面反射鏡１２ａの反射面、結像光学系の後群２３ａ，２３ｂ，２３ｃを介して、スクリーン（またはＣＣＤ）２４ａ，２４ｂ，２４ｃにマスクパターンをそれぞれ形成する。 In order to easily exchange the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b constituting the condensing optical system 12, in order to measure the position of the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a and the position of the reflecting surface of the convex reflecting mirror 12b. It is preferable to provide the position measuring means. FIG. 10 is a diagram schematically illustrating an example of a position measurement system that measures the reflection surface position of the reflecting mirror that constitutes the condensing optical system. In the position measurement system shown in FIG. 10, the light from the masks 21a, 21b, and 21c is emitted from the front groups 22a, 22b, and 22c of the imaging optical system, the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a, and the rear group 23a of the imaging optical system. Mask patterns are formed on screens (or CCDs) 24a, 24b, and 24c through 23b and 23c, respectively.

こうして、スクリーン２４ａ，２４ｂ，２４ｃにそれぞれ形成されるマスクパターンの二次元的な位置情報に基づいて、凹面反射鏡１２ａの交換に際して、新たな凹面反射鏡１２ａを高精度に位置決めすることができる。このとき、凹面反射鏡１２ａの反射面での反射率の変化を検知するように位置計測系（２１〜２４）を構成することが好ましい。この構成により、たとえばデブリに起因する凹面反射鏡１２ａの反射面の汚れ程度（光学特性の劣化程度）をより一層正確に検知することができ、ひいては凹面反射鏡１２ａを適切なタイミングで交換することができる。 Thus, based on the two-dimensional position information of the mask patterns formed on the screens 24a, 24b, and 24c, the new concave reflecting mirror 12a can be positioned with high accuracy when the concave reflecting mirror 12a is replaced. At this time, it is preferable to configure the position measurement system (21 to 24) so as to detect a change in reflectance on the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a. With this configuration, for example, the degree of contamination of the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a caused by debris (deterioration of optical characteristics) can be detected more accurately, and the concave reflecting mirror 12a can be replaced at an appropriate timing. Can do.

また、凸面反射鏡１２ｂの交換に際しても、図１０と同様な構成を有する位置計測系（２１〜２４）を用いて、新たな凸面反射鏡１２ｂを高精度に位置決めしたり、凸面反射鏡１２ｂの反射面の汚れ程度を検知したりすることができる。なお、各反射鏡の反射面の位置を計測し且つ反射面の汚れ程度を検知するための計測系の構成については、図１０の構成例に限定されることなく、様々な変形例が可能である。 Further, when replacing the convex reflecting mirror 12b, the position measuring system (21 to 24) having the same configuration as in FIG. 10 is used to position the new convex reflecting mirror 12b with high accuracy, or the convex reflecting mirror 12b. It is possible to detect the degree of dirt on the reflecting surface. Note that the configuration of the measurement system for measuring the position of the reflecting surface of each reflecting mirror and detecting the degree of dirt on the reflecting surface is not limited to the configuration example of FIG. 10, and various modifications are possible. is there.

また、上述したように、ＤＰＰ光源本体１１からのＤＰＰ発散光の射出に際して放出されるデブリが凹面反射鏡１２ａの反射面や凸面反射鏡１２ｂの反射面に付着すると、凹面反射鏡１２ａや凸面反射鏡１２ｂの反射特性（光学特性）が劣化し、その交換頻度が増大してしまう。そこで、本実施形態では、ＤＰＰ光源本体１１から放出されるデブリを凹面反射鏡１２ａ（第１反射鏡）と凸面反射鏡１２ｂ（第２反射鏡）との間の光路中において除去するためのデブリ除去機構を備えていることが好ましい。 Further, as described above, when debris emitted upon emission of DPP divergent light from the DPP light source body 11 adheres to the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a or the reflecting surface of the convex reflecting mirror 12b, the concave reflecting mirror 12a or the convex reflecting mirror is used. The reflection characteristics (optical characteristics) of the mirror 12b deteriorate, and the replacement frequency increases. Therefore, in the present embodiment, debris for removing debris emitted from the DPP light source body 11 in the optical path between the concave reflecting mirror 12a (first reflecting mirror) and the convex reflecting mirror 12b (second reflecting mirror). A removal mechanism is preferably provided.

図１１は、集光光学系を構成する一対の反射鏡間の光路中において除去するためのデブリ除去機構の一例を概略的に示す図であって、（ａ）は斜視図を示し、（ｂ）は光軸に沿った断面図を示している。図１１を参照すると、デブリ除去機構は、凹面反射鏡１２ａと凸面反射鏡１２ｂとの間の空間を包囲するための筒状のケーシング２５を有し、この空間にはＥＵＶ光に対して比較的高い透過率を有する微量の所定ガスがガス導入口２５ａを介して導入されるように構成されている。 FIG. 11 is a diagram schematically showing an example of a debris removing mechanism for removing in the optical path between a pair of reflecting mirrors constituting the condensing optical system, where (a) shows a perspective view and (b) ) Shows a cross-sectional view along the optical axis. Referring to FIG. 11, the debris removal mechanism has a cylindrical casing 25 for enclosing the space between the concave reflecting mirror 12a and the convex reflecting mirror 12b, and the space is relatively free from EUV light. A very small amount of a predetermined gas having a high transmittance is introduced through the gas inlet 25a.

ケーシング２５は、たとえばステンレス鋼、銅、アルミニウムなどの金属により形成され、グランド電位に接続されている。なお、導入可能な所定ガスとして、たとえばヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）、クリプトン（Ｋｒ）、窒素（Ｎ₂）、酸素（Ｏ₂）、オゾン（Ｏ₃）を用いることができる。また、デブリ除去機構は、光軸ＡＸを中心として放射状に延びる断面を有する複数のプレート部材２６を備えている。 The casing 25 is formed of, for example, a metal such as stainless steel, copper, or aluminum, and is connected to the ground potential. For example, helium (He), argon (Ar), neon (Ne), xenon (Xe), krypton (Kr), nitrogen (N ₂ ), oxygen (O ₂ ), ozone (O ₃ ) can be used. The debris removing mechanism includes a plurality of plate members 26 having a cross section that extends radially about the optical axis AX.

複数のプレート部材２６は、たとえばステンレス鋼、銅、アルミニウムなどの金属により形成され、電源により正電位（数１０Ｖ〜数ｋＶ程度）が印加されるように構成されている。換言すれば、複数のプレート部材２６とケーシング２５との間には所定の電圧が印加されるように設定されている。また、複数のプレート部材２６は、光軸ＡＸを中心として一体的に回転可能に構成されている。さらに、ケーシング２５および複数のプレート部材２６は、図示を省略した適当な冷却機構により冷却可能に構成されている。 The plurality of plate members 26 are formed of, for example, a metal such as stainless steel, copper, or aluminum, and are configured to be applied with a positive potential (several tens of volts to several kV) by a power source. In other words, a predetermined voltage is set between the plurality of plate members 26 and the casing 25. The plurality of plate members 26 are configured to be integrally rotatable around the optical axis AX. Further, the casing 25 and the plurality of plate members 26 are configured to be cooled by an appropriate cooling mechanism (not shown).

図１１に示すデブリ除去機構では、プラズマから放出されたデブリの一部がケーシング２５の内部空間へ侵入するが、ケーシング２５の内部に導入されたガス分子との衝突により急速にその運動エネルギーを失い、ガス分子とほぼ同じ運動エネルギーを持ってケーシング２５の内部空間を浮遊するようになる。そして、プラズマから輻射されたＥＵＶ光により、浮遊しているデブリが直接的にイオン化されたり、イオン化されたガス分子（原子）との衝突によりデブリがイオン化されたりする。 In the debris removal mechanism shown in FIG. 11, a part of the debris emitted from the plasma enters the internal space of the casing 25, but rapidly loses its kinetic energy due to collision with gas molecules introduced into the casing 25. Then, it floats in the internal space of the casing 25 with almost the same kinetic energy as the gas molecules. Then, the debris floating is ionized directly by EUV light radiated from the plasma, or debris is ionized by collision with ionized gas molecules (atoms).

デブリがマイナスにイオン化された場合、正電位が印加されている複数のプレート部材２６に引き寄せられて付着・堆積する。その結果、凹面反射鏡１２ａの反射面および凸面反射鏡１２ｂの反射面へのデブリの付着を低減することができ、ひいては反射特性の劣化および反射鏡の交換頻度を低減することができる。このとき、各反射鏡１２ａ，１２ｂの表面にコートされている多層反射膜をグランド電位に接続することにより、反射面へのデブリの付着をさらに効果的に低減することができる。 When the debris is ionized negatively, the debris is attracted to and attached to and deposited on the plurality of plate members 26 to which a positive potential is applied. As a result, it is possible to reduce the adhesion of debris to the reflecting surface of the concave reflecting mirror 12a and the reflecting surface of the convex reflecting mirror 12b. As a result, it is possible to reduce the deterioration of reflection characteristics and the frequency of replacing the reflecting mirror. At this time, by attaching the multilayer reflective film coated on the surfaces of the reflecting mirrors 12a and 12b to the ground potential, the adhesion of debris to the reflecting surface can be further effectively reduced.

一方、デブリがプラスにイオン化された場合、グランド電位に接続されているケーシング２５の内側面に付着・堆積する。このとき、各反射鏡１２ａ，１２ｂの表面にコートされている多層反射膜に、複数のプレート部材２６と同じ電位またはそれよりも高い電位を印加することにより、反射面へのデブリの付着・堆積を防ぐことができる。また、ケーシング２５の内側面に剥離容易なシート（紙、樹脂、セラミックスなどの絶縁材料や、アルミニウム、銅等の金属箔）を貼って、このシート上にデブリを付着・堆積させてもよい。この場合、シート上にデブリが大量に付着するのを待ってシート交換するだけで、清浄な環境に容易に戻すことができる。 On the other hand, when debris is ionized positively, it adheres and accumulates on the inner surface of the casing 25 connected to the ground potential. At this time, the same potential as the plurality of plate members 26 or higher potential is applied to the multilayer reflective film coated on the surfaces of the reflecting mirrors 12a and 12b, thereby attaching and depositing debris on the reflecting surface. Can be prevented. Alternatively, a sheet (an insulating material such as paper, resin, ceramics, or a metal foil such as aluminum or copper) may be attached to the inner surface of the casing 25, and debris may be adhered and deposited on the sheet. In this case, it is possible to easily return to a clean environment by simply replacing the sheet after waiting for a large amount of debris to adhere to the sheet.

なお、プラズマからのＥＵＶ光だけではデブリのイオン化を十分に行うことができない場合には、ケーシング２５の一部に形成された開口部（または光透過部）を介してケーシング２５の内部へ紫外線を導入し、この紫外線の作用によりデブリのイオン化を促進するように構成しても良い。この場合、紫外線を供給する光源として、水銀ランプ、エキシマランプ、エキシマレーザーなどを用いることができる。あるいは、電子源からの電子ビームをケーシング２５の内部へ導入してデブリをイオン化しても良い。 In addition, when ionization of debris cannot be sufficiently performed only by EUV light from plasma, ultraviolet rays are emitted into the casing 25 through an opening (or a light transmitting portion) formed in a part of the casing 25. It may be configured to introduce and promote debris ionization by the action of the ultraviolet rays. In this case, a mercury lamp, excimer lamp, excimer laser, or the like can be used as a light source for supplying ultraviolet rays. Alternatively, the debris may be ionized by introducing an electron beam from an electron source into the casing 25.

なお、図１１に示すデブリ除去機構を用いる場合、露光に際して集光光学系１２から射出される光束の光強度分布の均一化を図るために、複数のプレート部材２６を光軸ＡＸ廻りに一体的に回転させることが好ましい。また、図１１の構成例では、複数のプレート部材２６に正電位を印加しているが、これに限定されることなく、複数のプレート部材２６に負電位を印加しても良い。また、印加する電位は、直流でも良いし、交流でも良い。さらに、交流電位を印加する場合、その周波数について様々な態様が可能である。 When the debris removal mechanism shown in FIG. 11 is used, a plurality of plate members 26 are integrated around the optical axis AX in order to make the light intensity distribution of the light beam emitted from the condensing optical system 12 uniform during exposure. It is preferable to rotate it. In the configuration example of FIG. 11, a positive potential is applied to the plurality of plate members 26, but the present invention is not limited to this, and a negative potential may be applied to the plurality of plate members 26. Further, the applied potential may be direct current or alternating current. Furthermore, when an alternating potential is applied, various modes are possible for the frequency.

なお、デブリ除去機構は、図１１に示すような第２反射鏡に貫通孔の開いている集光光学系だけでなく、シュバルツシルド光学系のように第２反射鏡に貫通孔の開いていない光学系に対しても用いることができる。図１２は、本実施形態のデブリ除去機構をシュバルツシルド集光光学系に適用した例を概略的に示す図である。図１２を参照すると、真空容器４１の内部に、ＤＰＦ（Dense Plasma Focus）方式によるＥＵＶ光源４３が配置されている。真空容器４１は、不図示の排気装置により真空（例えば０．１Torr以下）に排気されている。 The debris removing mechanism is not limited to a condensing optical system having a through-hole in the second reflecting mirror as shown in FIG. 11, but has no through-hole in the second reflecting mirror as in the Schwarzschild optical system. It can also be used for optical systems. FIG. 12 is a diagram schematically showing an example in which the debris removal mechanism of this embodiment is applied to a Schwarzschild condensing optical system. Referring to FIG. 12, an EUV light source 43 using a DPF (Dense Plasma Focus) method is disposed inside the vacuum vessel 41. The vacuum vessel 41 is evacuated to a vacuum (for example, 0.1 Torr or less) by an exhaust device (not shown).

ＥＵＶ光源４３では、電極近傍に生成されたプラズマ４４からＥＵＶ光４５が放出される。放出されたＥＵＶ光４５は、Ｍｏ／Ｓｉ多層膜がコートされた凹面反射鏡（第１反射鏡）４６で反射され、同じくＭｏ／Ｓｉ多層膜がコートされた凸面反射鏡（第２反射鏡）４７で反射された後、ピンホール５２上に集光され、後段の光学系へ導かれる。凹面反射鏡４６および凸面反射鏡４７にコートされている多層膜は、波長１３．５ｎｍの光に対して反射率のピークがくるように成膜されている。すなわち、ピンホール５２を通過した後に後段の光学系に導かれるＥＵＶ光は、波長が１３．５ｎｍ近傍の光のみとなる。 In the EUV light source 43, EUV light 45 is emitted from the plasma 44 generated in the vicinity of the electrode. The emitted EUV light 45 is reflected by a concave reflecting mirror (first reflecting mirror) 46 coated with a Mo / Si multilayer film, and is also a convex reflecting mirror (second reflecting mirror) coated with a Mo / Si multilayer film. After being reflected at 47, the light is condensed on the pinhole 52 and guided to the subsequent optical system. The multilayer film coated on the concave reflecting mirror 46 and the convex reflecting mirror 47 is formed so as to have a reflectance peak with respect to light having a wavelength of 13.5 nm. That is, the EUV light guided to the subsequent optical system after passing through the pinhole 52 is only light having a wavelength in the vicinity of 13.5 nm.

凹面反射鏡４６および凸面反射鏡４７は、ケーシング４８内に固定されている。ケーシング４８にはガス導入用のポート４９が取り付けられており、このポート４９からＨｅガスがケーシング４８の内部へ導入される。ケーシング４８内において凹面反射鏡４６と凸面反射鏡４７との間には、光路に平行になるように複数枚のアルミニウム製の薄板からなる羽５０が取り付けられている。この羽５０は、光軸を中心として回転可能に構成されている。 The concave reflecting mirror 46 and the convex reflecting mirror 47 are fixed in the casing 48. A gas introduction port 49 is attached to the casing 48, and He gas is introduced into the casing 48 from the port 49. In the casing 48, between the concave reflecting mirror 46 and the convex reflecting mirror 47, a plurality of aluminum thin blades 50 are attached so as to be parallel to the optical path. The wing 50 is configured to be rotatable about the optical axis.

羽５０の回転駆動は、超音波モーターや電動モーターにより行われる。ケーシング４８は、真空容器４１の壁面に取り付けられている。真空容器４１の隣には真空容器４２が設置されており、真空容器４１と４２とはＥＵＶ光が通過する開口部のみを介して連通している。真空容器４２は、不図示の真空排気装置により、真空容器４１とは別に真空排気がなされている。このような構成とすることにより、真空容器４１と４２との間で差動排気を行うことができ、ひいてはピンホール５２よりも下流側の真空度の劣化を低減することができる。 The wing 50 is rotationally driven by an ultrasonic motor or an electric motor. The casing 48 is attached to the wall surface of the vacuum container 41. A vacuum container 42 is installed next to the vacuum container 41, and the vacuum containers 41 and 42 communicate with each other only through an opening through which EUV light passes. The vacuum vessel 42 is evacuated separately from the vacuum vessel 41 by an unillustrated evacuation device. By adopting such a configuration, differential evacuation can be performed between the vacuum vessels 41 and 42, and deterioration of the degree of vacuum downstream of the pinhole 52 can be reduced.

ケーシング４８内に入り込んだデブリは、ポート４９から導入されたＨｅガスにより衝突され、散乱され、そのエネルギーを急速に失いケーシング４８内を浮遊するようになる。ケーシング４８内を浮遊するデブリは、羽５０やケーシング４８の内壁に衝突して吸着される。その結果、凹面反射鏡４６上および凸面反射鏡４７上に付着・堆積するデブリ量は大幅に低減され、各反射鏡の反射率低下を抑えることができる。 The debris that has entered the casing 48 is collided and scattered by the He gas introduced from the port 49, and rapidly loses its energy and floats in the casing 48. The debris floating in the casing 48 collides with the wings 50 and the inner wall of the casing 48 and is adsorbed. As a result, the amount of debris that adheres and accumulates on the concave reflecting mirror 46 and the convex reflecting mirror 47 is greatly reduced, and a decrease in the reflectance of each reflecting mirror can be suppressed.

真空容器４２内においてＥＵＶ光束の近傍に筒状の部材５１を配置すると、真空容器４２内に入り込んできたデブリが筒状部材５１の内壁に衝突し、吸着するので、ピンホール５２よりも下流側にデブリが流入するのを低減することができる。ケーシング４８、羽５０および筒状部材５１を冷却すると、吸着したデブリが再放出される確率が低下し、ひいては吸着効率がより高くなるので好ましい。冷却方式としては、冷媒（水などの液体）による冷却や、ペリチェ素子などの電子冷却や、ヒートパイプによる冷却などを用いると良い。筒状部材５１がない方がピンホール５２よりも下流側の真空度が良い場合には、筒状部材５１の設置を省略することもできる。 If the cylindrical member 51 is arranged in the vicinity of the EUV light beam in the vacuum vessel 42, debris that has entered the vacuum vessel 42 collides with and is attracted to the inner wall of the cylindrical member 51, so that it is downstream of the pinhole 52. It is possible to reduce the inflow of debris. Cooling the casing 48, the wings 50, and the cylindrical member 51 is preferable because the probability that the adsorbed debris is re-released is reduced and the adsorption efficiency is further increased. As a cooling method, cooling with a refrigerant (liquid such as water), electronic cooling of a Peltier element, cooling with a heat pipe, or the like may be used. If the degree of vacuum on the downstream side of the pinhole 52 is better without the cylindrical member 51, the installation of the cylindrical member 51 can be omitted.

上述の実施形態にかかる露光装置では、照明系によってマスクを照明し（照明工程）、投影光学系を用いてマスクに形成された転写用のパターンを感光性基板に露光する（露光工程）ことにより、マイクロデバイス（半導体素子、撮像素子、液晶表示素子、薄膜磁気ヘッド等）を製造することができる。以下、本実施形態の露光装置を用いて感光性基板としてのウェハ等に所定の回路パターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例につき図１３のフローチャートを参照して説明する。 In the exposure apparatus according to the above-described embodiment, the illumination system illuminates the mask (illumination process), and exposes the transfer pattern formed on the mask using the projection optical system onto the photosensitive substrate (exposure process). Microdevices (semiconductor elements, imaging elements, liquid crystal display elements, thin film magnetic heads, etc.) can be manufactured. Hereinafter, referring to the flowchart of FIG. 13 for an example of a method for obtaining a semiconductor device as a micro device by forming a predetermined circuit pattern on a wafer or the like as a photosensitive substrate using the exposure apparatus of this embodiment. I will explain.

先ず、図１３のステップ３０１において、１ロットのウェハ上に金属膜が蒸着される。次のステップ３０２において、そのｌロットのウェハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布される。その後、ステップ３０３において、本実施形態の露光装置を用いて、マスク（レチクル）上のパターンの像がその投影光学系を介して、その１ロットのウェハ上の各ショット領域に順次露光転写される。 First, in step 301 of FIG. 13, a metal film is deposited on one lot of wafers. In the next step 302, a photoresist is applied on the metal film on the lot of wafers. Thereafter, in step 303, using the exposure apparatus of the present embodiment, the pattern image on the mask (reticle) is sequentially exposed and transferred to each shot area on the wafer of one lot via the projection optical system. .

その後、ステップ３０４において、その１ロットのウェハ上のフォトレジストの現像が行われた後、ステップ３０５において、その１ロットのウェハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク上のパターンに対応する回路パターンが、各ウェハ上の各ショット領域に形成される。その後、更に上のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細な回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。 Thereafter, in step 304, the photoresist on the one lot of wafers is developed, and in step 305, the resist pattern is etched on the one lot of wafers to form a pattern on the mask. Corresponding circuit patterns are formed in each shot area on each wafer. Thereafter, a device pattern such as a semiconductor element is manufactured by forming a circuit pattern of an upper layer. According to the semiconductor device manufacturing method described above, a semiconductor device having an extremely fine circuit pattern can be obtained with high throughput.

本発明の実施形態にかかる光源ユニットを備えた露光装置の全体構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the whole structure of the exposure apparatus provided with the light source unit concerning embodiment of this invention. ウェハ上に形成される円弧状の露光領域（すなわち実効露光領域）と光軸との位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of the arc-shaped exposure area | region (namely, effective exposure area | region) formed on a wafer, and an optical axis. 図１の光源ユニットおよび照明光学系の内部構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the internal structure of the light source unit of FIG. 1, and an illumination optical system. 光源本体の内部構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the internal structure of a light source main body. 本実施形態の数値実施例にかかる集光光学系の構成を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the structure of the condensing optical system concerning the numerical example of this embodiment. ＤＰＰ光源本体からのＤＰＰ発散光を単純に１つの凹面反射鏡により集光させる構成の不都合を説明する図である。It is a figure explaining the inconvenience of the structure which concentrates the DPP divergent light from a DPP light source main body simply by one concave reflecting mirror. ＤＰＰ光源本体からのＤＰＰ発散光を入れ子状の斜入射ミラーにより集光させる構成の不都合を説明する図である。It is a figure explaining the inconvenience of the structure which condenses the DPP divergent light from a DPP light source main body with a nested oblique incidence mirror. ＤＰＰ光源本体からのＤＰＰ発散光をシュバルツシルド光学系により集光させる構成の不都合を説明する図である。It is a figure explaining the inconvenience of the structure which condenses the DPP divergent light from a DPP light source main body with a Schwarzschild optical system. 集光光学系の各反射鏡を冷却する冷却機構の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly an example of the cooling mechanism which cools each reflective mirror of a condensing optical system. 集光光学系を構成する反射鏡の反射面位置を計測する位置計測系の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly an example of the position measurement system which measures the reflective surface position of the reflective mirror which comprises a condensing optical system. 集光光学系を構成する一対の反射鏡間の光路中において除去するためのデブリ除去機構の一例を概略的に示す図であって、（ａ）は斜視図を示し、（ｂ）は光軸に沿った断面図を示している。It is a figure which shows roughly an example of the debris removal mechanism for removing in the optical path between a pair of reflective mirrors which comprise a condensing optical system, Comprising: (a) shows a perspective view, (b) shows an optical axis. FIG. 本実施形態のデブリ除去機構をシュバルツシルド集光光学系に適用した例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the example which applied the debris removal mechanism of this embodiment to the Schwarzschild condensing optical system. マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る際の手法の一例について、そのフローチャートを示す図である。It is a figure which shows the flowchart about an example of the method at the time of obtaining the semiconductor device as a microdevice.

Explanation of symbols

１光源ユニット
２照明光学系
５マスクステージ
７ウェハステージ
１１光源本体
１１ａ，１１ｂ電極
１２集光光学系
１２ａ凹面反射鏡
１２ｂ凸面反射鏡
１４オプティカルインテグレータ
１４ａ，１４ｂフライアイミラー
Ｍマスク
ＰＬ投影光学系
Ｗウェハ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source unit 2 Illumination optical system 5 Mask stage 7 Wafer stage 11 Light source main body 11a, 11b Electrode 12 Condensing optical system 12a Concave reflector 12b Convex reflector 14 Optical integrator 14a, 14b Fly eye mirror M Mask PL Projection optical system W Wafer

Claims

A light source body that converts the target material into plasma and emits EUV light from the plasma;
A first reflecting mirror having a through hole;
A second reflecting mirror disposed in an optical path between the light source body and the first reflecting mirror ;
A casing for enclosing a space between the first reflecting mirror and the second reflecting mirror; and a plurality of plate members provided in the casing and having a cross section extending radially around the optical axis. , and a debris removal mechanism for removing the optical path between the debris emitted from the light source body and the second reflecting mirror and the first reflecting mirror,
The EUV light is condensed at a predetermined position through a reflecting surface of the first reflecting mirror, a reflecting surface of the second reflecting mirror, and a through hole of the first reflecting mirror. .

The light source unit according to claim 1, wherein a predetermined gas is introduced into the space .

The light source unit according to claim 2, wherein the predetermined gas is helium, argon, neon, xenon, krypton, nitrogen, oxygen, or ozone .

The light source unit according to claim 1, wherein the plurality of plate members and the casing are configured to be cooled .

The light source unit according to any one of claims 1 to 4, wherein a predetermined voltage is applied between the plurality of plate members and the casing .

The light source unit according to claim 1, wherein the plurality of plate members are configured to be rotatable about the optical axis .

A light source body that converts target material into plasma and emits EUV light from the plasma, a first reflecting mirror having a through hole, and a second reflection disposed in an optical path between the light source body and the first reflecting mirror With a mirror,
A plurality of plate members having a cross section extending radially around the optical axis, and for removing debris emitted from the light source body in an optical path between the first reflecting mirror and the second reflecting mirror; A debris removal mechanism,
Condensing the EUV light at a predetermined position via the reflecting surface of the first reflecting mirror, the reflecting surface of the second reflecting mirror, and the through hole of the first reflecting mirror,
The light source unit , wherein the plurality of plate members are configured to be cooled .

The debris removal mechanism has a casing for enclosing a space between the first reflecting mirror and the second reflecting mirror, and the casing is configured to be cooled. The light source unit described in 1.

9. An illumination optical apparatus comprising: the light source unit according to claim 1; and a light guide optical system for guiding EUV light from the light source unit to an irradiated surface.

An illumination optical apparatus according to claim 9 for illuminating a reflective mask on which a predetermined pattern is formed, and a projection optical system for forming a pattern image of the mask on a photosensitive substrate. An exposure apparatus characterized by that.

The exposure according to claim 10, wherein the mask and the photosensitive substrate are moved relative to the projection optical system along a predetermined direction to project and expose the mask pattern onto the photosensitive substrate. apparatus.

An illumination process for illuminating a reflective mask on which a predetermined pattern is formed using the illumination optical apparatus according to claim 9, and projection exposure of the mask pattern onto the photosensitive substrate via a projection optical system An exposure method comprising an exposure step.

13. The exposure step of projecting and exposing the pattern of the mask onto the photosensitive substrate by moving the mask and the photosensitive substrate relative to the projection optical system along a predetermined direction. An exposure method according to 1.