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JP4632681B2 - Powder press molding apparatus and ceramic manufacturing method using the same - Google Patents

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JP4632681B2 JP2004087692A JP2004087692A JP4632681B2 JP 4632681 B2 JP4632681 B2 JP 4632681B2 JP 2004087692 A JP2004087692 A JP 2004087692A JP 2004087692 A JP2004087692 A JP 2004087692A JP 4632681 B2 JP4632681 B2 JP 4632681B2
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Description

本発明は、複数の開孔部が互いに相対する方向に外接して開孔され、連通孔を形成したセラミックスを製造する粉末プレス成形装置に関し、さらにはこれを用いたセラミックスの製造方法に関するもので、電子部品を搭載したパッケージ、気体や液体などの流路部材または継ぎ手などの分野に用いられるものである。   The present invention relates to a powder press molding apparatus for manufacturing ceramics in which a plurality of apertures are circumscribed in a direction opposite to each other to form communication holes, and further relates to a method for manufacturing ceramics using the same. It is used in the fields of packages equipped with electronic components, flow path members such as gas and liquid, and joints.

従来より、セラミックスを効率よく量産するためには、粉末プレス成形法、ドクターブレード法、射出成形法、鋳込み成形法などのセラミックスを成形するための一般的な方法が用いられるが、なかでも簡単な形状の製品については、粉末プレス成形法が多用されている。   Conventionally, in order to mass-produce ceramics efficiently, general methods for forming ceramics such as a powder press molding method, a doctor blade method, an injection molding method and a cast molding method are used. For shaped products, powder press molding is often used.

粉末プレス成形法は粉末プレス成形装置を用いて、セラミック原料粉末を所望の製品形状にプレス成形する方法で、この後、成形した未焼結の成形体を所定の温度で焼結して製品を得ることができるもので、例えば電子部品を搭載する簡単なパッケージやその蓋体などの成形に用いられている。   The powder press molding method is a method in which a ceramic raw material powder is press-molded into a desired product shape using a powder press molding apparatus. Thereafter, the molded green body is sintered at a predetermined temperature to obtain a product. For example, it is used for molding a simple package on which an electronic component is mounted or a lid thereof.

図3は、来の粉末プレス成形装置を用いて作製されたパッケージをし、(a)はパッケージの斜視図であり、(b)は(a)のY−Y線における断面図であるFigure 3 is a package which is manufactured using the powder press forming apparatus of the traditional shows, (a) is a perspective view of a package, (b) is a cross-sectional view taken along line Y-Y of (a) It is .

図3に示すパッケージ50は電子部品や各種の素子を搭載するための空間部51と、該空間部51を囲み、一方向を開孔した隔壁52とから構成されている。 A package 50 shown in FIG. 3 includes a space 51 for mounting electronic components and various elements, and a partition wall 52 that surrounds the space 51 and is opened in one direction.

そして、パッケージ50を効率よく製造するには、ダイと上パンチと下パンチを有した金型を備える粉末プレス成形装置を用いればよく、図4に、粉末プレス成形装置の金型にセラミック原料粉末を供給してプレス成形する工程を断面図で示す。 Then, in order to produce the package 50 effectively it may be used a powder press forming apparatus including a mold and a die and upper and lower punches, in FIG. 4, the ceramic material to a mold powder press molding device The process of supplying powder and press molding is shown in a cross-sectional view.

この粉末プレス成形装置40は、略製品形状を有した空間部42を持つダイ41と、空間部42に挿入してセラミック原料粉末46を加圧するための上パンチ43と、下パンチ44と、この下パンチ44に設けられた貫通孔に挿入される下浮動パンチ47とからなる金型を備えて構成されている。そして、ダイ41上面に平行にスライドしてセラミック原料粉末46をダイ41の空間部42に充填するためのフィーダー45が設けてある。 The powder Suepu press forming apparatus 40 includes a die 41 having a space portion 42 having a substantially product shape, the upper punch 43 for pressurizing the ceramic raw material powder 46 is inserted into the spatial portion 42, the lower punch 44 And a die comprising a lower floating punch 47 inserted into a through-hole provided in the lower punch 44. Then, the feeder 45 for filling the ceramic raw material powder 46 in the space 42 of the die 41 to slide parallel to the dialog 41 upper surface is provided.

なお、図4(a)〜(c)、従来の粉末プレス成形装置における成形工程を示す縦断面を示し、その他の部分は不図示としてある。 Incidentally, FIG. 4 (a) ~ (c) shows a longitudinal sectional view showing a molding step of a conventional powder press molding apparatus, other parts are as not shown.

この粉末プレス成形装置40を用いて、パッケージ50を製造するには、図4(a)に示すように、ダイ41に下パンチ44の先端の一部を挿入するとともに、下パンチ44の貫通孔に下浮動パンチ47の一部を挿入して、下パンチ44の先端よりもさらに先端を突出させ、ダイ41、下パンチ44先端、および下浮動パンチ47先端とで一方向に開孔した空間部42を形成し、この空間部42内にセラミック原料粉末46を充填した後、(b)に示すように、上パンチ43をダイ41に挿入してセラミック原料粉末46を加圧し、上パンチ43を加圧完了位置まで降下させることによりセラミック成形体を得る。そして、その後、(c)に示すように、下パンチ44と下浮動パンチ47とを上昇させて、セラミック成形体55を粉末プレス成形装置40の金型部分より離型し、これを焼結し、セラミックスを得ている。 Using this powder Suepu press forming apparatus 40, in order to produce the package 50, as shown in FIG. 4 (a), is inserted a portion of the tip of the lower punch 44 in the die 41, the lower punch 44 by inserting part of the lower floating punch 47 into the through hole, is protruded a-edge by remote Moreover tip of the lower punch 44, the die 41, the tip of the lower punch 44, in the beauty under the floating punch 47 tip Oyo the space 42 opening formed in one direction, and thereafter filled with ceramic raw material powder 46 into the space portion 42, (b), the ceramic raw material powder 46 by inserting the upper punch 43 into the die 41 Is pressed and the upper punch 43 is lowered to the pressurizing completion position to obtain a ceramic molded body. Thereafter, as shown in (c), is raised and the lower punch 44 and the lower floating punch 47, and releasing the ceramic molded body 55 from the mold parts flour Suepu press forming apparatus 40, baked it As a result, ceramics have been obtained.

このような、粉末プレス成形装置やこれを用いたセラミックスの製造方法は特許文献1に示す粉末成形装置や特許文献2に示す粉末成形方法に記載されている。   Such a powder press molding apparatus and a ceramic manufacturing method using the same are described in the powder molding apparatus shown in Patent Document 1 and the powder molding method shown in Patent Document 2.

そして、このような工程を経て、図3に示す電子部品搭載用のパッケージ50が作製される。 Then, through these steps, it is shown to electronic package 50 of the component mounting in Figure 3 is produced.

さらに、このようなセラミックスを用いたパッケージについては、特許文献3などに示されるように、内部に圧電振動素子などを搭載したものが例示されている。
実開平6−592号公報 特開平1−273697号公報 特開2002−344277号公報
Further, as for a package using such ceramics, as shown in Patent Document 3 and the like, a package in which a piezoelectric vibration element or the like is mounted is exemplified.
Japanese Utility Model Publication No. 6-592 Japanese Patent Laid-Open No. 1-27737 JP 2002-344277 A

しかしながら、近年は図3に示すようなパッケージ50のような単純な空間部51を有した形状に限らず、例えば、図2に示すような互いに相対する面に空間部31aと32bとを設けて、互いに相対する方向に外接して開孔され、連通孔を形成したパッケージ30などが求められてきている。   However, in recent years, the shape is not limited to a simple space portion 51 such as the package 50 shown in FIG. 3, and for example, the space portions 31 a and 32 b are provided on opposite surfaces as shown in FIG. 2. There has been a demand for a package 30 or the like that is formed by opening a circumscribed hole in a direction opposite to each other to form a communication hole.

そして、このようなパッケージ30を、前述の図4で示すような成形工程で作製することは不可能であり、例えば、ドクターブレード法を用いてセラミックグリーンシートを作製し、これに空間部31aと32bとなる開孔を設けて積層して作製しようとしてもコストのかかるものであり、また、射出成形法により、図2に示すようなパッケージ30を形成するセラミックスを作製する場合、このような複雑な製品形状に対応した複雑な形状の金型が必要となり高価なものになってしまうとともに、成形速度が遅いため、量産性が粉末プレス成形装置と比較して劣るといった課題があった。しかも、使用する原料には多量のバインダーが含まれているため、粉末プレス成形装置により成形したセラミック成形体と比較して脱脂に4〜5倍の時間を要し、生産性が悪いといった課題もあった。 And it is impossible to produce such a package 30 by the molding process as shown in FIG. 4 described above. For example, a ceramic green sheet is produced using a doctor blade method, and a space portion 31a and Even if it is attempted to produce by laminating with an opening to be 32b, it is costly. Also, when producing ceramics for forming the package 30 as shown in FIG. with the mold having a complicated shape corresponding to the product structure becomes expensive required such, because the slow forming speed, mass production there is a problem that inferior as compared with powdered Suepu press forming apparatus. Moreover, the raw material used because it contains a large amount of binder, required 4-5 times longer degreasing as compared to the ceramic molded body formed by powder Suepu press forming apparatus, said low productivity There were also challenges.

また、鋳込み成形法においても、量産性に欠けるという課題が同様にあった。   In addition, the cast molding method also has a problem that it lacks mass productivity.

したがって、本発明の粉末プレス成形装置は、セラミック原料粉末を成形するための粉末プレス成形装置において、ダイと上パンチと下パンチとを有した金型を備えるとともに、前記上パンチおよ前記下パンチに貫通孔を設けてそれぞれ上浮動パンチおよび下浮動パンチを挿入し、前記上浮動パンチと前記下浮動パンチの先端部が近接してスライドするようにしたことを特徴とする。 Thus, the powder press forming apparatus of the present invention is a powder press molding apparatus for molding a ceramic raw material powder, provided with a die having a die and upper and lower punches, the upper punch and the lower punch provided a through-hole to insert the on the floating punch and under the floating punch respectively, wherein the distal end portion of said lower floating punch and the upper floating punch was made to slide in close proximity.

さらに、前記上下浮動パンチのうち、先端部の先端面の面積の大きい方を前記ダイの空間部に挿入し記空間部へセラミック原料粉末を充填した後、他方の浮動パンチを前記空間部へ挿入するようにしたことを特徴とする。 Furthermore, among the heave punches, after filling the ceramic raw material powder inserted City, Previous Symbol space in the space portion of the die to the larger area of the distal end surface of the distal end portion, the space and the other floating punch It is characterized by being inserted into the part.

また、前記空間部へ後から挿入される前記上浮動パンチまたは前記下浮動パンチと、その周囲に配置される前記上パンチあるいは前記下パンチとの間隙が0.005〜0.02mmであることを特徴とする。 The front Kisora The inter and the upper floating punch or the lower floating punch that is inserted after f, gap between the upper punch or the lower punch, which is arranged around it at 0.005~0.02mm It is characterized by being.

また、前記上浮動パンチと前記下浮動パンチの先端部が近接してスライドする間隙が0.01〜0.03mmであることを特徴とする。 Also, gaps tip of the lower floating punch and the upper floating punch is slid in proximity to being a 0.01~0.03Mm.

そして、本発明のセラミックスの製造方法は、前記粉末プレス成形装置を用いて、前記ダイに前記下パンチの一部を挿入する工程と記下パンチの前記貫通孔に前記下浮動パンチの一部を挿入して先端を突出させ、前記ダイ、前記下パンチ先端、およ前記下浮動パンチ先端とで段を有した凹部を形成する工程と、該凹部内にセラミック原料粉末を充填する工程と、前記上パンチと該上パンチの前記貫通孔に挿入した前記先端部の先端面の面積が前記下浮動パンチの面積より小さい前記上浮動パンチとを前記ダイに挿入して降下させ、前記下浮動パンチと前記上浮動パンチとを近接してスライドさせる工程と、前記上パンチをさらに降下させて前記セラミック原料粉末を加圧する工程と、前記上パンチを加圧完了位置まで降下させることによりセラミック成形体を得する工程と得られた該セラミック成形体を焼成する工程とを具備することを特徴とする。 The method of manufacturing a ceramic of the present invention, the powder using a press-forming device, a step of inserting a portion of the lower punch into the die, one of the lower floating punch into the through hole of the pre-Symbol lower punch insert the parts are protruded tip portion, the die, the tip of the lower punch, forming a recess having a stepped at the tip portion of and said lower floating punch, ceramic raw material powder into the recess and a step of filling, and the upper punch, by inserting said distal end portion of the front end surface area is an area smaller than the upper floating punch of the lower floating punch inserted into the through hole of the upper punch into the die is lowered, a step of Ru slide in close proximity to said on floating punch and the lower floating punch, a step of pressing the ceramic raw material powder by further lowering the upper punch, pressing completion position of the upper punch Down to A step of obtain a ceramic molded body by Rukoto, characterized by comprising the step of firing the obtained the ceramic molded body.

本発明によれば、セラミック原料粉末を成形するための粉末プレス成形装置に、ダイと上パンチと下パンチとを有した金型を備え、上パンチおよび下パンチに貫通孔を設けてそれぞれ上浮動パンチおよび下浮動パンチを挿入し、上浮動パンチと下浮動パンチの先端部が近接してスライドするようにしたことから、複数の開孔部が互いに相対する方向に外接して開孔され、連通孔を形成したセラミックスを容易に量産性よく作製することができる。 According to the present invention, the powder press molding apparatus for molding a ceramic raw material powder, comprising a mold and a die and upper and lower punches, respectively provided with a through hole in the upper punch and lower punch insert the upper floating punch and under a floating punch, since the a tip portion of the upper floating punch and a lower floating punch was made to slide in close proximity, a plurality of openings are circumscribed in opposite directions to each other is apertured, Ru can be manufactured with easily mass production of ceramic forming the communication hole.

さらに、上下浮動パンチのうち、先端部の先端面の面積の大きい方をダイの空間部に挿入し、空間部へセラミック原料粉末を充填した後、他方の浮動パンチを空間部へ挿入するようにしたことから、セラミック原料粉末が充填された空間部内で、例えば上下浮動パンチのうち先端面の面積の大きい方をスライドさせて大きく動かすことは、セラミック原料粉末の部分的な移動にともなって、他方の浮動パンチを変形させ寸法精度の問題が生じるからである。 Furthermore, among the top and bottom floating punch, after filling the ceramic raw material powder inserted City, the spatial part in the space of the larger the dialog area of the distal end surface of the distal end portion, spatial portion and the other floating punch from what has been to insert into, the ceramic raw material powder in the space portion filled, for example, be moved largely by sliding the larger area of the front end surface of the heave punches, partial of ceramic raw material powder This is because the other floating punch is deformed with the movement to cause a problem of dimensional accuracy.

また、空間部へ後から挿入される上浮動パンチまたは下浮動パンチと、その周囲に配置される上パンチあるいは下パンチとの間隙が0.005〜0.02mmとしたことから、この間隙が小さいことにより上パンチと上浮動パンチの摺動が悪く金型を破損することを防止でき、また、反面上記間隙が大きすぎることによる上浮動パンチと下浮動パンチの間隙の設定が困難になることを防止できる。 Further, a floating punch or the lower floating punch on that will be inserted after the sky The inter f, since the gap between the punch or the lower punch on which is disposed around it was 0.005~0.02Mm, the gap it is possible to prevent the sliding of the upper punch and the upper floating punch damage the bad mold by small, also contrary difficult gap setting of the upper floating punch and a lower floating punch by the gap is too large Can be prevented.

さらに、上浮動パンチと下浮動パンチの先端部が近接してスライドする間隙を0.01〜0.03mmとすることにより、間隙によって生じるセラミックス内のバリの発生を防止し、さらには、間隙が小さすぎることによる上浮動パンチと下浮動パンチの先端部が互いに接触して破損することを防止できる。 Further, by making the gap to slide proximate the front end portion of the upper floating punch and a lower floating punch and 0.01~0.03Mm, to prevent the occurrence of burrs in the ceramics produced by between gap, furthermore, possible to prevent the tip of the upper floating punch and a lower floating punch due gap is too small to damage in contact with each other.

さらに本発明のセラミックスの製造方法によれば、ダイに下パンチの一部を挿入する工程と、下パンチの貫通孔に下浮動パンチの一部を挿入して先端を突出させ、ダイ、下パンチ先端、および下浮動パンチ先端とで段を有した凹部を形成する工程と、凹部内にセラミック原料粉末を充填する工程と、上パンチと、この上パンチの貫通孔に挿入した先端部の先端面の面積が下浮動パンチの面積より小さい上浮動パンチとをダイに挿入して降下させ、下浮動パンチと上浮動パンチとを近接してスライドさせる工程と、上パンチをさらに降下させてセラミック原料粉末を加圧する工程と、上パンチを加圧完了位置まで降下させることによりセラミック成形体を得る工程としたことから、成形密度のばらつきを抑えて、高精度のセラミック成形体を得ることができるので、これを焼成すると精度のよいセラミックスを量産性よく作製できる。 Further, according to the manufacturing method of the ceramics of the present invention, are protruded inserting a portion of the lower punch in dialog, the distal end portion by inserting a part of the lower floating punch the through hole of the lower punch, a die, of the lower punch tip, Oyo the tip of the beauty under the floating punch forming a recess having a stepped with a step of filling the ceramic raw material powder in a concave portion, and the upper punch, the through-holes of the upper punch inserted the area of the distal end surface of the distal end portion is inserted and less than on the floating punch area under the floating punch dialog is lowered, a step of Ru slide in close proximity to the lower floating punch and the upper floating punch, upper a step of pressing the ceramic raw material powder by further lowering the punch, since it was to obtain a ceramic molded body by lowering the upper punch to press completion position, by suppressing the variation in molding density, high-precision Ceramic composition Runode can be obtained body, which an accurate ceramic mass productivity may be prepared and baked.

以下、本発明を実施するための最良の形態について説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described.

図1(a)〜(c)、本発明の粉末プレス成形装置における形工程を示す縦断面図であるFigure 1 (a) ~ (c) is a longitudinal sectional view showing a more definitive formed shape Engineering powdered Suepu press forming apparatus of the present invention.

この粉末プレス成形装置20の金型は、略製品形状を有した空間部2を持つダイ1と、予め空間部2に充填したセラミック原料粉末10を加圧するための上パンチ3と、下パンチ4、さらには、これら上パンチ3と下パンチ4にそれぞれ貫通孔7,8を設けて、この貫通孔7,8に挿入する上浮動パンチ5、下浮動パンチ6を設けてある。 Mold the powder Suepu press forming apparatus 20 includes a die 1 having a space portion 2 having a substantially product shape, the upper punch 3 for pressurizing the ceramic raw material powder 10 filled in advance in the space portion 2, the lower a punch 4, further the respectively provided on the upper punch 3 and the lower punch 4 through holes 7 and 8, the floating punch 5 on to be inserted into the through hole 7 and 8, is provided with a lower floating punch 6.

そして、ダイ1上面に平行にスライドしてセラミック原料粉末10をダイ1の空間部2に充填するためのフィーダー9が設けてある。 Then, the feeder 9 for filling the ceramic raw material powder 10 in the space portion 2 of the die 1 to slide parallel to the dialog first upper surface is provided.

なお、図1には粉末プレス成形装置20の金型部分の断面を示し、その他の部分は不図示としてあるが、粉末プレス成形装置20の金型以外の部分は、適宜、一般的な粉末プレス成形機を用いればよく、上浮動パンチ5の駆動手段としては、エアー又は油圧式のシリンダーを用いればよい。 Incidentally, in FIG. 1 shows a cross-section of the mold portion of the powder press forming apparatus 20, but other parts are as not shown, a portion other than the mold powder powder press forming apparatus 20, as appropriate, general powder A press molding machine may be used, and an air or hydraulic cylinder may be used as a driving means for the upper floating punch 5.

そして、本発明は、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が、ダイ1の空間部2内で、互いに近接してスライドすることを特徴としている。 The present invention is characterized in that the tip portions of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 slide close to each other in the space portion 2 of the die 1.

すなわち、本発明は、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部を、互いに近接してスライドするようにしたことから、本来、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6との間にセラミック原料粉末10によって形成される仕切り壁が形成されなくなることから、容易に安価に、セラミックス内に複数の開孔部が互いに相対する方向に外接して開孔された連通孔を形成することができるのである。 That is, the present invention, the distal end portion of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6, since it was to slide in close proximity to each other, naturally, the ceramic material between the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 Since the partition wall formed by the powder 10 is not formed, it is possible to easily and inexpensively form a communication hole in which a plurality of apertures are circumscribed in a direction opposite to each other in the ceramic. is there.

そしてこの様な成形を可能とするには、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6のうち、各々の先端部の面積が大きい方をダイ1の空間部2に予め挿入しておき、小さい方をセラミック原料粉末10を充填した後、セラミック原料粉末10中に挿入するようにすることが重要である。つまり、図1に示すような場合には、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部の先端面の面積は上浮動パンチ5の方が下浮動パンチ6よりも小さいことから、上浮動パンチ5の方をセラミック原料粉末10を充填した後にダイ1の空間部2へ挿入させることが肝要である。 And to allow such a molding, of an upper floating punch 5 and the lower floating punch 6, the larger the area of the front end portion of each previously inserted into the space portion 2 of the die 1, a small It is important to insert the ceramic material powder 10 into the ceramic material powder 10 after filling. That is, when as shown in FIG. 1, since near the top area of the front end surface of the floating punch 5 and the tip portion of the lower floating punch 6 is above the floating punch 5 is smaller than the lower floating punch 6, the upper float It is important to insert the punch 5 into the space 2 of the die 1 after filling the ceramic raw material powder 10.

なぜならば、セラミック原料粉末10が充填された空間部2内で下浮動パンチ6のみをスライドさせて大きく動かすことは、セラミック原料粉末10の部分的な移動が発生し、そのためにセラミック原料粉末10の移動にともなって、上浮動パンチ5が変形したりすることで寸法精度に問題が生じるからである。 This is because the ceramic raw material powder 10 is greatly moved by sliding only the lower floating punch 6 in the space portion 2 which is filled, ceramic raw material partial movement of the powder 10 is generated, the ceramic raw material powder 10 in order that This is because there is a problem in dimensional accuracy due to deformation of the upper floating punch 5 with the movement of.

そして、このように上浮動パンチ5と下浮動パンチ6との間隙を近接させるためには、上パンチ3と上浮動パンチ5との間隙をできる限り小さくして、上浮動パンチ5がぐらつかないようにすることが重要で、この間隙は0.005〜0.02mmとすることが好ましく、より好ましくは0.005〜0.01mmである。   In order to make the gap between the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 close to each other in this way, the gap between the upper punch 3 and the upper floating punch 5 is made as small as possible so that the upper floating punch 5 does not wobble. The gap is preferably 0.005 to 0.02 mm, and more preferably 0.005 to 0.01 mm.

この間隙を0.005mm未満とすると上パンチ3と上浮動パンチ5との摺動が難しくなって、金型の破損につながり、0.02mmより大きくなると上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の間隙を設定し難くなることから注意が必要である。 Is sliding is difficult for the upper punch 3 and the upper floating punch 5 when the gap to less than 0.005 mm, leading to breakage of the mold, the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 becomes greater than 0.02mm Care should be taken because it becomes difficult to set the gap.

そして、本発明は、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が近接してスライドする間隙が0.01〜0.03mmであることが好適である。 The present invention, it is preferable that the gap be tip close slides the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 is 0.01 to 0.03 mm.

ここで、間隙が0.01〜0.03mmであるとしたのは、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が近接してスライドする間隙が0.01mm未満であると、互いの先端部が接触して欠ける問題が起こり、0.03mmを越えるとセラミックス内の連通孔にバリが発生しやすくなるからで、酷い場合は連通孔を封鎖してしまうからである。 Here, while gap has to be 0.01 to 0.03 mm, when the gap the tip of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 is slid in proximity is less than 0.01 mm, each other Ino tip cause problems lacking in contact, because burrs communication hole in the ceramic exceeds 0.03mm is likely to occur, because the worst case would be blocked communication holes.

そして、本発明のセラミックスの製造方法は、ダイに下パンチの一部を挿入するとともに、下パンチの貫通孔に下浮動パンチの一部を挿入して先端を突出させ、ダイ、下パンチ先端、および下浮動パンチ先端とで段を有した凹部を形成し、この凹部内にセラミック原料粉末を充填した後、上パンチと、この上パンチの貫通孔に挿入した先端部の先端面の面積が下浮動パンチの面積より小さい上浮動パンチとをダイに挿入して降下させ、下浮動パンチと上浮動パンチとを近接してスライドさせた後、上パンチをさらに降下させてセラミック原料粉末を加圧し、上パンチを加圧完了位置まで降下させることによりセラミック成形体を得た後、これを焼結することを特徴とするものである。 The method of manufacturing a ceramic of the present invention is to insert a part of the lower punch in dialog, is projected to the distal end portion by inserting a part of the lower floating punch the through hole of the lower punch, a die, a lower punch tip, Oyo recess is formed having a stepped between under the floating punch tip beauty, after filling the ceramic raw material powder in the recess, and the upper punch, the tip is inserted into the through hole of the upper punch tip surface area was is lowered to insert the area Yorichiisai on the floating punch below the floating punch dialog of, after sliding in close proximity to the lower floating punch and the upper floating punch, by further lowering the upper punch The ceramic raw material powder is pressurized and the upper punch is lowered to the pressurization completion position to obtain a ceramic molded body, which is then sintered.

ここで、本発明の粉プレス成形装置20を用いたセラミックスの製造方法について説明する。 Here, a method for manufacturing the ceramic with powder powder press forming apparatus 20 of the present invention.

まず、図1(a)に示すようにダイ1と各パンチをセットし、ダイ1上面を往復運動するフィーダー9によってセラミック原料粉末10を空間部2に充填する。 First, as shown in FIG. 1A, the die 1 and each punch are set, and the ceramic raw material powder 10 is filled in the space 2 by a feeder 9 that reciprocates on the upper surface of the die 1.

つぎに、(b)に示すように、上パンチ3と上浮動パンチ5を下降させ、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6を近接してスライドできるようにセットする。この時、上浮動パンチ5は上パンチ3の先端面より突出させて配置する。 Next, (b), the lowering the upper punch 3 and the upper floating punch 5 is set so as to be slid in close proximity to the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6. At this time, the upper floating punch 5 is disposed so as to protrude from the front end surface of the upper punch 3.

その後、上パンチ3と上浮動パンチ5を降下させて、ダイ1の空間部2に上パンチ3を挿入させ、下浮動パンチ6も上パンチ3と上浮動パンチ5の降下とともに徐々に降下させる。 Thereafter, by lowering the upper punch 3 and the upper floating punch 5, to insert the upper punch 3 in the space portion 2 of the die 1 is gradually lowered along with lowering of the upper punch 3 and the upper floating punch 5 also underneath floating punch 6 Let

そして、上パンチ3がセラミック原料粉末10を圧縮する加圧完了手前(下死点手前)まで来た時に、上パンチ3を加圧完了位置(下死点)まで降下させることにより成形を完了する。   Then, when the upper punch 3 comes to the point before the pressurization completion (before the bottom dead center) to compress the ceramic raw material powder 10, the upper punch 3 is lowered to the pressurization completion position (bottom dead center) to complete the molding. .

このように、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6を可動させることによりセラミック原料粉末10を流動化させてセラミック原料粉末の詰まりを良くすることができるため、全体の成形密度を近似させことができる。 In this way, by moving the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 , the ceramic raw material powder 10 can be fluidized to improve the clogging of the ceramic raw material powder, so that the overall molding density can be approximated. it can.

しかる後、図1(c)に示すように、上パンチ3と上浮動パンチ5を上昇させるとともに、下パンチ4を上昇させることによりセラミック成形体35を取り出すようになっている。 Thereafter, as shown in FIG. 1 (c), along with raising the upper punch 3 and the upper floating punch 5, so that the take out the ceramic molded body 35 by raising the lower punch 4.

このように、本発明の粉末プレス成形装置20を用いてプレス成形すれば、図2(a),(b)に示すような形状のセラミック成形体でも成形密度のばらつきを抑え、精度の高いセラミックスを量産することができる。 Thus, if press molding using a powder Suepu press forming device 20 of the present invention, FIG. 2 (a), the suppressed variations in molding density ceramic molded body having a shape (b), the accuracy of High ceramics can be mass-produced.

そして、本発明の粉末プレス成形装置20により成形したセラミック成形体を所望の温度で焼成することにより、図2(a),(b)に示すセラミックスからなるパッケージ30を破損なく作製することができる。 Then, by firing the ceramic molded body molded by the powder press molding apparatus 20 of the present invention at a desired temperature, the package 30 made of ceramics shown in FIGS. 2A and 2B can be produced without breakage. .

そして、このように作製されるセラミックスは、液体や気体の流路部材として用いるこ
ともできる。例えば、流路部材としてインクジェットプリンタヘッドに用いる場合は、インクジェットプリンタヘッド(以下、単にヘッドと称す)はインクを加圧するインク加圧室と該インク加圧室を加圧する駆動部と前記インク加圧室へインクを流入するためのインク流路と、前記駆動部によってインク加圧室を加圧してインクを吐出するノズルから構成されるので、本発明の一例を示す流路部材はインク流路として用いられ、インクタンクから流入するインクの流路とインク加圧室に供給するためのインク貯留室として用いられる。
The ceramic produced in this way can also be used as a liquid or gas flow path member. For example, when an ink jet printer head is used as a flow path member, an ink jet printer head (hereinafter simply referred to as a head) includes an ink pressurizing chamber that pressurizes ink, a drive unit that pressurizes the ink pressurizing chamber, and the ink pressurizing chamber. Since the ink flow path for flowing ink into the chamber and the nozzle that pressurizes the ink pressurization chamber by the drive unit and discharges ink, the flow path member showing an example of the present invention is an ink flow path. Used as an ink storage chamber for supplying the ink flow path from the ink tank and the ink pressurizing chamber.

本発明の粉末プレス成形装置を用いた流路部材をヘッドに用いると、高精度な流路部材を安価に作製することができる。   When the flow path member using the powder press molding apparatus of the present invention is used for the head, a highly accurate flow path member can be produced at low cost.

ここで、本発明におけるダイ1、下パンチ4、下浮動パンチ6、上パンチ3、上浮動パンチ5の形状としては、本発明に示す形状のものに限定されるものではなく、セラミックスの形状や連通孔の位置や形状にあわせて適宜選択して用いれば良く、連通孔の数を増やすことや多岐にわたることなど、さらには、上パンチ3と上浮動パンチ5を一体化させることや、コアピンを付加するなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良や変更したものにも適用できることは言う迄もない。 Here, holder Lee 1 put the present invention, the lower punch 4, the lower floating punch 6, the upper punch 3, the shape of the upper floating punch 5, but the invention is not limited to the shape shown in the present invention, the ceramic the shape and may be appropriately selected and used in accordance with the position and shape of the communication hole, such as span it and range to increase the number of communication hole, further, integrating the upper punch 3 and the upper floating punch 5 and thereby, like adding core pin, not to mention it can also be applied to those improvements and modifications without departing from the scope of the present invention.

また、適用できる成形方法、プレス成形装置としては、ダイス固定式片パンチ加圧成型法、ダイス固定式両パンチ加圧成型法、下パンチ固定式フローティング・ダイ成型法などのいずれにおいても適用可能である。なお、プレス装置の種類も機械式でも油圧式でも良く、限定されない。 In addition, as an applicable molding method and press molding apparatus, it can be applied to any of a die fixed type single punch pressure molding method, a die fixed type double punch pressure molding method, a lower punch fixed type floating die molding method, and the like. is there. The type of press device may be mechanical or hydraulic, and is not limited.

加えて、セラミック原料粉末の種類もアルミナ、ジルコニア、窒化アルミ、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、窒化珪素、炭化珪素、チタン酸バリウム系誘電体材料などのセラミック原料粉末のほか、本発明ではセラミック原料粉末で説明したが、磁石用合金粉末などの各種金属材料の原料にも適用でき、範疇に含むものである。 In addition to ceramic raw material powders such as alumina, zirconia, aluminum nitride, mullite, steatite, forsterite, silicon nitride, silicon carbide, barium titanate dielectric materials, etc. Although described in terms of powder, it can also be applied to raw materials for various metal materials such as magnet alloy powder, and is included in the category.

次に、本発明の実施例を説明する。   Next, examples of the present invention will be described.

アルミナ粉末原料に添加剤を加えてセラミック原料粉末10を作製し、ダイ1と上パンチ3と下パンチ4とを有した金型を備えるとともに、上パンチ3および下パンチ4に貫通孔7,8を設けてそれぞれ上浮動パンチ5および下浮動パンチ6を挿入し、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が近接してスライドする粉末プレス成形装置20を用いて成形を行った。この時、上パンチ3と上浮動パンチ5との間隙を0.005〜0.01mmの範囲に設定し、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が近接してスライドする間隙を0.005mm、0.01mm、0.03mm、0.035mmと設定して成形を行った。 To produce a ceramic raw material powder 10 by adding additives to the alumina powder raw material, provided with a die having a die 1 and the upper punch 3 and the lower punch 4, through the upper punch 3 and lower punch 4 hole 7 , subjected to molding using a powder press molding apparatus 20 for inserting each on the floating punch 5 and under the floating punch 6 provided 8, the tip of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 is slid in proximity It was. At this time, by setting the gap between the upper punch 3 and the upper floating punch 5 in the range of 0.005~0.01Mm, a gap tip slides in proximity of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 0 Molding was performed with the settings of 0.005 mm, 0.01 mm, 0.03 mm, and 0.035 mm.

その結果、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が近接してスライドする間隙を0.005mmとしたものは上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部が接触して欠けが発生し、0.035mmのものは間隙にバリが残り使用不可であった。 As a result , when the gap between which the tip of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 slides close to each other is set to 0.005 mm , the tip of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 come into contact with each other and chipping occurs. It occurs, those of 0.035mm Bali between gap was remaining unavailable.

この間隙が0.01mmと0.03mmのものはいずれも、上浮動パンチ5と下浮動パンチ6の先端部に欠けは発生せず、また、間隙にバリの発生は見られず良好であった。 Both lacked the distal end of the upper floating punch 5 and the lower floating punch 6 is not generated, and generation of burrs in the gap is good not observed what this gap between 0.01mm and 0.03mm there were.

そして、これら成形体を1600℃で焼成してセラミックスを得た。そして、これらを双眼顕微鏡で観察したところ、特にクラックやバリによる突起などもなく、流路部材、特
にヘッドなどに用いても問題なく使える状態であった。
These molded bodies were fired at 1600 ° C. to obtain ceramics. Then, was observed them in binocular microscope, no such particular projection by cracks and burrs, the flow path member, especially
It was also ready for use without any problem by using such as the F head on.

本発明は、電子部品を搭載したパッケージや気体や液体などの流路部材または継ぎ手などの分野に利用可能である。 The present invention can be used in the field of a package in which electronic components are mounted, a flow path member such as gas or liquid, or a joint.

(a)〜(c)は本発明の粉末プレス成形装置における成形工程を説明するための縦断面図である。(A) ~ (c) is a longitudinal sectional view for explaining a molding process in powder Suepu press forming apparatus of the present invention. 本発明の粉末プレス成形装置を用いて作製されたパッケージを示し、(a)は斜視図、(b)は(a)のX−X線断面図である。The package fabricated using the powder Suepu press forming apparatus of the present invention shows, (a) is a perspective view, a sectional view taken along line X-X of (b) is (a). 従来の粉末プレス成形装置を用いて作製されたパッケージを示し、(a)はパッケージの斜視図であり、(b)は(a)の−Y線における断面図である Shows the prepared packages using conventional powder press forming apparatus, (a) is a perspective view of a package, a cross-sectional view taken along Y -Y line (b) is (a). (a)〜(c)は従来の粉末プレス成形装置における成形工程を示す縦断面図である。(A) ~ (c) is a longitudinal sectional view showing a molding step of the conventional flour Suepu press forming apparatus.

1,41 :ダイ
2,42 :空間部
3,43 :上パンチ
4,44 :下パンチ
5 :上浮動パンチ
6,47 :下浮動パンチ
7 :貫通孔
8 :貫通孔
9,45 :フィーダー
10,46 :セラミック原料粉末
20,40 :粉末プレス成形装置
30,50 :パッケージ
31a :空間部
32b :空間部
31c :空間部内面
32d :空間部内面
35,55 :セラミック成形体
51 :空間部
52 :隔壁
1, 41: Die 2, 42: Space 3, 43: Upper punch 4, 44: Lower punch 5: Upper floating punch 6, 47: Lower floating punch 7: Through hole 8: Through hole 9, 45: Feeder 10, 46: ceramic raw material powder 20 and 40: powder Suepu press forming apparatus 30, 50: package 31a: space 32 b: space 31c: space inside surface 32d: space inside surface 35, 55: ceramic body 51: space 52 : Bulkhead

Claims (5)

セラミック原料粉末を成形するための粉末プレス成形装置において、ダイと上パンチと下パンチとを有した金型を備えるとともに、前記上パンチおよ前記下パンチに貫通孔を設けてそれぞれ上浮動パンチおよび下浮動パンチを挿入し、前記上浮動パンチと前記下浮動パンチの先端部が近接してスライドするようにしたことを特徴とする粉末プレス成形装置。 In powder press molding apparatus for molding a ceramic raw material powder, die and the upper punch and provided with a mold having a lower punch, respectively on the floating punch is provided a through hole in the upper punch and the lower punch Oyo insert the beauty under floating punch, powder press molding apparatus wherein the tip of said lower floating punch and the upper floating punch was made to slide in close proximity. 前記上下浮動パンチのうち、先端部の先端面の面積の大きい方を前記ダイの空間部に挿入し記空間部へセラミック原料粉末を充填した後、他方の浮動パンチを前記空間部へ挿入するようにしたことを特徴とする請求項1記載の粉末プレス成形装置。 Wherein among the heave punches, inserted City space of the die the greater the area of the distal end surface of the distal end portion, the front Symbol space after filling the ceramic raw material powder, the other floating punch into the space 2. The powder press molding apparatus according to claim 1, wherein the powder press molding apparatus is inserted. 記空間部へ後から挿入される前記上浮動パンチまたは前記下浮動パンチと、その周囲に配置される前記上パンチあるいは前記下パンチとの間隙が0.005〜0.02mmであることを特徴とする請求項2記載の粉末プレス成形装置。 It gap before and the upper floating punch or the lower floating punch that is inserted after Kisora The inter f, and the upper punch or the lower punch, which is disposed around is 0.005~0.02mm The powder press molding apparatus according to claim 2. 前記上浮動パンチと前記下浮動パンチの先端部が近接してスライドする間隙が0.01〜0.03mmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の粉末プレス成形装置。 Powder press forming apparatus according to any one of claims 1 to 3 gaps tip of the lower floating punch and the upper floating punch is slid in proximity to being a 0.01~0.03mm . 請求項1乃至4のいずれかに記載の粉末プレス成形装置を用いて、前記ダイに前記下パンチの一部を挿入する工程と記下パンチの前記貫通孔に前記下浮動パンチの一部を挿入して先端を突出させ、前記ダイ、前記下パンチ先端、およ前記下浮動パンチ先端とで段を有した凹部を形成する工程と、該凹部内にセラミック原料粉末を充填する工程と、前記上パンチと該上パンチの前記貫通孔に挿入した前記先端部の先端面の面積が前記下浮動パンチの面積より小さい前記上浮動パンチとを前記ダイに挿入して降下させ、前記下浮動パンチと前記上浮動パンチとを近接してスライドさせる工程と、前記上パンチをさらに降下させて前記セラミック原料粉末を加圧する工程と、前記上パンチを加圧完了位置まで降下させることによりセラミック成形体を得る工程と得られた該セラミックス成形体を焼成する工程とを具備することを特徴とするセラミックスの製造方法。 Using powder press forming apparatus according to any one of claims 1 to 4, comprising the steps of inserting a portion of the lower punch to the die, a part of the lower floating punch into the through hole of the pre-Symbol lower punch inserted by protruding the distal end portion of the die, the tip of the lower punch, forming a recess having a stepped at the tip portion of and said lower floating punch, a ceramic raw material powder into the recess a step of filling, and the upper punch, by inserting the said tip of the distal end surface area area smaller than the upper floating punch of the lower floating punch inserted into the through hole of the upper punch into the die drops is a step of Ru slide in close proximity to said on floating punch and the lower floating punch, a step of pressing the ceramic raw material powder by further lowering the upper punch, the upper punch to press completion position By lowering Method of manufacturing a ceramic, characterized by comprising: a ceramic molded body obtained Ru step, and a step of firing the obtained the ceramic molded body.
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